JP2005106521A - 半導体レーザユニット及びガス濃度測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体レーザユニット4は、受光器9が有底筒状の本体5内の中心軸線L−L上の奥部に配置されており、半導体レーザ11cを含む半導体レーザモジュール11と、可視光をガイド光として出射するレーザポインタ12と、受光器9の光軸上に配置され、半導体レーザ11cから出射される測定光と、レーザポインタ12から出射されるガイド光とを略同軸上で合波する合分波手段13とが本体5に組み込まれている。
【選択図】 図2
Description
前記半導体レーザおよび濃度測定対象ガスと同じ種類のガスを封入したガスセルを備え、前記測定光を出射する半導体レーザモジュール11と、
測定雰囲気に前記測定光を導くためのガイド光として可視光を出射するレーザポインタ12と、
前記測定光と前記ガイド光とを略同軸上に合波する合分波手段13とを備えたことを特徴とする。
前記半導体レーザおよび濃度測定対象ガスと同じ種類のガスを封入したガスセルを備え、ガス吸収線に対応した各々異なる波長のレーザ光を前記各測定光として出射する複数の半導体レーザモジュール11と、
測定雰囲気に前記各測定光を導くためのガイド光として、可視光を出射するレーザポインタ12と、
複数の前記測定光のうち、所定の測定光を反射させる反射ミラー21を備えた合分波手段13であって、前記所定の測定光と、複数の前記測定光のうちの前記所定の測定光以外の測定光とを略同軸上に合波するとともに、前記所定の測定光と前記可視光とを略同軸上に合波する合分波手段13とを備えたことを特徴とする。
前記半導体レーザから出射した測定光を平行光に変換するコリメートレンズ11dと、
前記半導体レーザへの反射光の戻りを抑圧する光アイソレータ11eと、
前記半導体レーザの温度を測定する温度計測素子11iと、
前記半導体レーザの温度を制御する温度制御素子11fと、
前記ガスセル11gと、
前記半導体レーザから後方出射されたレーザ光を前記ガスセルを通過した後に受光する受光器11hとがバタフライ型ケース11aに内蔵されて気密封止されていることを特徴とする。
請求項1〜5のいずれかに記載の半導体レーザユニット4と、
前記本体5内であって、かつ前記本体の中心軸線L−L上近傍に配置された受光器と、
前記本体の開口5aに設置され、前記半導体レーザユニットからの測定光の出射に伴って測定雰囲気から反射してくる反射測定光を受けて前記受光器に集光させる集光手段7であって、当該集光手段における前記中心軸線上近傍に、前記測定光および前記レーザポインタ12からのガイド光を通過させる窓部8を有する集光手段7と、
当該集光手段で集光されて前記受光器により受光した前記反射測定光を電気信号に変換して、当該電気信号に基づいてガス濃度を算出する計測部3a,3b,3cとを、前記本体内に一体に備えたことを特徴とする。
2 光学部
3 計測部
3a 測定光増幅部
3b 受光信号検出部
3c 演算部
3d 波長安定化回路
4 半導体レーザユニット
5 本体
5a 開口
6 把持部
7 集光レンズ(集光手段)
8 窓部
9 受光器
11 半導体レーザモジュール
11a バタフライ型ケース本体
11b 出射窓
11c 半導体レーザ
11d コリメートレンズ
11e 光アイソレータ
11f ペルチェ素子(温度制御素子)
11g ガスセル
11h フォトダイオード(受光器)
11i サーミスタ(温度計測素子)
12 レーザポインタ
12a 本体
12b 半導体レーザ
13 合分波手段
14 支持部材
15 絶縁部材
16(16A,16B) 放熱器
17 光軸調整機構部
21 反射ミラー
22 ダイクロイックミラー
23 取付部
23a 凹部
24 調整アーム
24a 先端部
25 固定ネジ
26 調整ネジ
26a 先端
27 ビームスプリッタ
28 取付板
29 熱伝導器
32(32A,32B) 第1本体部
33(33A,33B) 第2本体部
32a,33a 開口部
32b,33b 底部
32c,33c 鍔部
32d,33d 突起部
32e,33e 窓部
32f,33f 貫通穴
32g,33g フランジ
34 スペーサ部材
34a フランジ
34b 貫通穴
41 ガスセル製造装置
42 ガスセル治具
43 電源部
44 ガスボンベ
45 真空ポンプ
46a,46b,46c,46d バルブ
47 制御部
48 圧力計
49 第1電極
50 第2電極
51 ガスセル封入容器
52 ガスセル接合部
53 シール部材
54a,54b 凹部
55 配管
100 光学部
101 計測部
102 光源ユニット
103 光ファイバ
104 本体
104a 開口
105 把持部
106 集光レンズ
107 出射部
108 受光器
109 レーザポインタ
110 ケース本体
111 半導体レーザモジュール
112 参照ガスセル
113 フォト検出器
114 ケース
115 コネクタ
116 冷却用フィン
117 温度制御素子
200 光学部
300 光源ユニット
301 保護ガラス
302 円筒型ケース
303 半導体レーザ
304 基板
305 基台
306 温度制御素子
307(307a,307b,307c) 非球面レンズ
308 取付台
309a,309b 光アイソレータ
310 参照ガスセル
311 フォト検出器
L−L 中心軸線
Claims (6)
- 半導体レーザ(11c)は、ガス吸収線に周波数安定化された測定光を測定雰囲気に出射し、該測定光の出射に伴って前記測定雰囲気から反射されてくる反射測定光を受光器(9)により受光し、該受光器の出力信号から前記半導体レーザの変調周波数の基本波位相敏感検波信号および2倍波位相敏感検波信号を検出し、両者の信号の比に基づいて前記測定雰囲気のガス濃度を測定するガス濃度測定装置(1)に用いられる半導体レーザユニット(4)であって、
前記半導体レーザおよび濃度測定対象ガスと同じ種類のガスを封入したガスセルを備え、前記測定光を出射する半導体レーザモジュール(11)と、
測定雰囲気に前記測定光を導くためのガイド光として可視光を出射するレーザポインタ(12)と、
前記測定光と前記ガイド光とを略同軸上に合波する合分波手段(13)とを備えたことを特徴とする半導体レーザユニット。 - 前記合分波手段(13)は、前記測定光を反射する反射ミラー(21)と、該反射ミラーにより反射された前記測定光と前記ガイド光とを略同軸上に合波するダイクロイックミラー(22)とを備えたことを特徴とする請求項1記載の半導体レーザユニット。
- 前記反射ミラー(21)で反射される前記測定光の出射方向を調整する光軸調整機構部(17)を備えたことを特徴とする請求項2記載の半導体レーザユニット。
- 半導体レーザ(11c)は、ガス吸収線に周波数安定化された測定光を測定雰囲気に出射し、該測定光の出射に伴って前記測定雰囲気から反射されてくる反射測定光を受光器(9)により受光し、該受光器の出力信号から前記半導体レーザの変調周波数の基本波位相敏感検波信号および2倍波位相敏感検波信号を検出し、両者の信号の比に基づいて前記測定雰囲気のガス濃度を測定するガス濃度測定装置(1)に用いられる半導体レーザユニット(4)であって、
前記半導体レーザおよび濃度測定対象ガスと同じ種類のガスを封入したガスセルを備え、ガス吸収線に対応した各々異なる波長のレーザ光を前記各測定光として出射する複数の半導体レーザモジュール(11)と、
測定雰囲気に前記各測定光を導くためのガイド光として、可視光を出射するレーザポインタ(12)と、
複数の前記測定光のうち、所定の測定光を反射させる反射ミラー(21)を備えた合分波手段(13)であって、前記所定の測定光と、複数の前記測定光のうちの前記所定の測定光以外の測定光とを略同軸上に合波するとともに、前記所定の測定光と前記可視光とを略同軸上に合波する合分波手段(13)とを備えたことを特徴とする半導体レーザユニット。 - 前記半導体レーザモジュール(11)は、前記半導体レーザ(11c)と、
前記半導体レーザから出射した測定光を平行光に変換するコリメートレンズ(11d)と、
前記半導体レーザへの反射光の戻りを抑圧する光アイソレータ(11e)と、
前記半導体レーザの温度を測定する温度計測素子(11i)と、
前記半導体レーザの温度を制御する温度制御素子(11f)と、
前記ガスセル(11g)と、
前記半導体レーザから後方出射されたレーザ光を前記ガスセルを通過した後に受光する受光器(11h)とがバタフライ型ケース(11a)に内蔵されて気密封止されていることを特徴とする請求項1記載の半導体レーザユニット。 - 底部を有する筒状の本体(5)と、
請求項1〜5のいずれかに記載の半導体レーザユニット(4)と、
前記本体(5)内であって、かつ前記本体の中心軸線(L−L)上近傍に配置された受光器と、
前記本体の開口(5a)に設置され、前記半導体レーザユニットからの測定光の出射に伴って測定雰囲気から反射してくる反射測定光を受けて前記受光器に集光させる集光手段(7)であって、当該集光手段における前記中心軸線上近傍に、前記測定光および前記レーザポインタ(12)からのガイド光を通過させる窓部(8)を有する集光手段(7)と、
当該集光手段で集光されて前記受光器により受光した前記反射測定光を電気信号に変換して、当該電気信号に基づいてガス濃度を算出する計測部(3a,3b,3c)とを、前記本体内に一体に備えたことを特徴とするガス濃度測定装置。
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JP2003337855A JP2005106521A (ja) | 2003-09-29 | 2003-09-29 | 半導体レーザユニット及びガス濃度測定装置 |
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