JP2005103392A - 膜形成方法、電気光学装置および電気光学装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 液滴吐出装置により液状体2を吐出して基板48上に機能性膜を形成する方法であって、吐出前の液状体2にあらかじめシリコーンオイル、もしくはシランカップリング剤を混入させておくことにより、吐出された液滴4の表面に、液滴4の溶媒より高沸点のシリコーンオイル、もしくはシランカップリング剤を吸着させる。これにより、液滴4の表面にシリコーンオイル、もしくはシランカップリング剤の被膜6が形成されるので、低沸点の溶媒が蒸発することによる液滴4の乾燥速度を低下させることができる。これにより、液滴4の乾燥条件を制御することが可能になり、所望の機能性膜を形成することができる。
【選択図】 図1
Description
また、所望の機能性膜を備えることにより、表示品質に優れた電気光学装置の提供を目的とする。
この構成によれば、塗布された液状体の表面に、高沸点の気液界面吸着剤の被膜が形成されるので、低沸点の溶媒または分散媒が蒸発することによる液状体の乾燥速度を低下させることができる。これにより、液状体の乾燥条件を制御することが可能になり、所望の膜を形成することができる。
この構成によれば、塗布された液状体の表面に、高沸点のシリコーンオイル、又はシランカップリング剤の被膜を形成することができる。これにより、液状体の溶媒または分散媒が低沸点の場合でも、液状体の乾燥条件を制御することが可能になり、所望の膜を形成することができる。
この構成によれば、塗布された液状体の表面のみに、前記気液界面吸着剤の被膜を簡単かつ確実に形成することができる。
この構成によれば、成膜後に残留する気液界面吸着剤が、膜の性質に及ぼす影響は少ない。
これらの構成によっても、塗布された液状体の表面に、高沸点の気液界面吸着剤の被膜を形成することができる。これにより、液状体の溶媒または分散媒が低沸点の場合でも、液状体の乾燥条件を制御することが可能になり、所望の膜を形成することができる。
一部の液状体の表面のみに気液界面吸着剤を吸着させた場合でも、その液状体からの蒸気の影響が他の液状体に及ぶのを防止することが可能になり、また他の液状体からの蒸気の影響を受けるのを防止することが可能になる。したがって、所望の膜を形成することができる。
この構成によれば、先に塗布された液状体と後から塗布された液状体とを同等に自然乾燥させることが可能になり、一様な膜を形成することができる。
この構成によれば、各液状体の乾燥速度を個別に制御することが可能になり、所望の膜を形成することができる。
この構成によれば、先に塗布された液状体と後から塗布された液状体とを同等に自然乾燥させることが可能になり、一様な膜を形成することができる。
この構成によれば、所望の機能性膜を備えることにより、表示品質に優れた電気光学装置を提供することができる。
この構成によれば、塗布された液状体の表面に、高沸点の気液界面吸着剤の被膜が形成されるので、低沸点の溶媒または分散媒が蒸発することによる液状体の乾燥速度を低下させることができる。これにより、液状体の乾燥条件を制御することが可能になり、所望の機能性膜を備えた電気光学装置を製造することができる。
この構成によれば、塗布された液状体の表面に、高沸点のシリコーンオイル、もしくはシランカップリング剤の被膜を形成することができる。これにより、液状体の溶媒または分散媒が低沸点の場合でも、液状体の乾燥条件を制御することが可能になり、所望の機能性膜を備えた電気光学装置を製造することができる。
この構成によれば、一部の液状体と他の液状体との相互間に蒸気の影響が及ぶのを防止することが可能になる。したがって、所望の膜を形成することができる。
この構成によれば、各液状体の乾燥速度を個別に制御することが可能になり、所望の膜を形成することができる。
最初に、本発明の第1実施形態につき、図1ないし図3を用いて説明する。第1実施形態では、あらかじめ気液界面吸着剤を混入させた液状体を吐出して、吐出された液滴の表面に気液界面吸着剤の被膜を形成する。
液滴吐出装置を用いて機能性膜を形成する場合、機能性膜の形成材料を溶媒に溶解させた液状体(インクジェット用インク)を作製し、その液状体を液滴吐出装置から基板上に吐出して、吐出された液状体を乾燥させることにより、機能性膜を形成する。本実施形態では、あらかじめ気液界面吸着剤を混入させた液状体を作製する。この気液界面吸着剤とは、気体と液体との自由表面に吸着して被膜を形成する物質である。
図1は、インクジェットヘッドのノズル部における側面断面の部分拡大図である。あらかじめ気液界面吸着剤が混入された液状体2を、インクジェットヘッド(以下、単にヘッドと呼ぶ)20から吐出すると、基板48に付着した液滴4の自由表面に、気液界面吸着剤が吸着して被膜6が形成される。
上述した液状体は、液滴吐出装置によって吐出する。図2は、液滴吐出装置の斜視図である。液滴吐出装置10は、ベース12、第1移動手段14、第2移動手段16、重量測定手段である電子天秤(不図示)、ヘッド20、キャッピングユニット22、およびクリーニングユニット24を主として構成されている。第1移動手段14および第2移動手段16を含む液滴吐出装置10の動作は、制御装置23により制御されるようになっている。なお図2において、X方向はベース12の左右方向であり、Y方向は前後方向であり、Z方向は上下方向である。
ここで、ヘッド20の構造例について、図3を参照して説明する。図3は、インクジェットヘッドの側面断面図である。ヘッド20は、液滴吐出方式により液状体2をノズル91から吐出するものである。液滴吐出方式として、圧電体素子としてのピエゾ素子を用いて液状体を吐出させるピエゾ方式や、液状体を加熱して発生した泡(バブル)により液状体を吐出させる方式など、公知の種々の技術を適用することができる。このうちピエゾ方式は、液状体に熱を加えないため、材料の組成等に影響を与えないという利点を有する。そこで、図3のヘッド20には、上述したピエゾ方式が採用されている。
次に、上述した液滴吐出装置を用いて液状体を吐出し、基板上に膜を形成する方法について、図1を用いて説明する。
次に、図2に示すヘッド20および/または基板48を所定位置に移動させ、ヘッド20から基板48に対して液状体を吐出する。すると、図1に示すように、吐出された液滴4の自由表面に、気液界面吸着剤であるシリコーンオイルが吸着して、被膜6が形成される。
次に、本実施形態の膜形成方法を使用して製造した電気光学装置の一例である有機EL装置につき、図4および図5を用いて説明する。
次に、本実施形態の電気光学装置の製造方法につき、図6および図7を用いて説明する。なお図6および図7では、理解を容易にするため回路部等の記載を省略している。以下には、上述した膜形成方法を応用して有機EL装置の発光層を形成する方法について説明する。
そして、図7(d)に示すように、濡れ広がった液状体5を乾燥させる(乾燥工程)。これにより、液状体5の溶媒が蒸発して発光層260が形成される。
なお、図5に示す発光層260以外の機能層についても、上述した電気光学装置の製造方法を使用して形成することにより、製造工程のスループットを向上させることが可能である。また有機EL装置の機能層以外にも、カラーフィルタや金属配線、マイクロレンズアレイなどを、各実施形態の液滴吐出方法を使用して製造することにより、製造工程のスループットを向上させることが可能である。
次に、本発明の第2実施形態につき、図8を用いて説明する。第2実施形態では、あらかじめ基板上に気液界面吸着剤を塗布しておき、その基板上に液状体を吐出して、吐出された液滴の表面に気液界面吸着剤の被膜を形成する。なお、第1実施形態と同様の構成となる部分については、その詳細な説明を省略する。
次に、図8(b)に示すように、作製した液状体を液滴吐出装置により基板48上に吐出する。なお、基板48上に塗布された気液界面吸着剤8が乾燥する前に、インクを吐出することが望ましい。すると、基板48上に塗布された気液界面吸着剤8が、基板48上に吐出された液滴4の内部に流入し、その液滴4の表面に吸着して被膜6が形成される。
次に、本発明の第3実施形態につき、図9を用いて説明する。第3実施形態では、基板48上に吐出された液滴4に気液界面吸着剤を吹き付けて、その液滴4の表面に気液界面吸着剤の被膜6を形成する。なお、第1実施形態と同様の構成となる部分については、その詳細な説明を省略する。
次に、各実施形態の膜形成方法を使用して形成した電子機器につき、図10を用いて説明する。図10は、携帯電話の斜視図である。図10において符号1000は携帯電話本体を示し、符号1001は表示部を示している。この携帯電話1000は、各実施形態の膜形成方法を使用して形成した表示部1001を備えている。したがって、良好な表示特性を発揮する携帯電話1000を低コストで提供することができる。
分散媒としてエタノール、キシレンおよび水を採用し、各分散媒にポリスチレン微粒子(粒径1.5μm)を0.1wt%の濃度で分散させた。また各分散液につき、シリコーンオイルを添加したものと添加しないものを作製した。なお、シリコーンオイルは0.1wt%以下の濃度で添加した。
Claims (15)
- 液状体を塗布して膜を形成する膜形成方法であって、
塗布された前記液状体の表面に、該液状体の溶媒または分散媒より高沸点であり、かつ該液状体に対して表面配向性を持つ気液界面吸着剤を吸着させることを特徴とする膜形成方法。 - 前記気液界面吸着剤は、シリコーンオイル、又はシランカップリング剤であることを特徴とする請求項1に記載の膜形成方法。
- 塗布前の前記液状体に、あらかじめ前記気液界面吸着剤を混入させておくことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の膜形成方法。
- 塗布前の前記液状体における前記気液界面吸着剤の濃度は、前記液状体に対して、約1.0×10−7wt%以上、約0.1wt%以下であることを特徴とする請求項3に記載の膜形成方法。
- 前記液状体が塗布される基板上に、あらかじめ前記気液界面吸着剤を塗布しておくことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の膜形成方法。
- 塗布された前記液状体の表面に、前記気液界面吸着剤を吹き付けることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の膜形成方法。
- 隣接する複数の領域に液状体を順次塗布して膜を形成する膜形成方法であって、一部の前記領域に塗布された前記液状体の表面のみに、前記気液界面吸着剤を吸着させることを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれかに記載の膜形成方法。
- 先に塗布された前記液状体の表面のみに、前記気液界面吸着剤を吸着させることを特徴とする請求項7に記載の膜形成方法。
- 前記各領域に塗布された前記液状体の表面に、それぞれ異なる前記気液界面吸着剤を吸着させることを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれかに記載の膜形成方法。
- 先に塗布された前記液状体の表面に吸着させる前記気液界面吸着剤の沸点は、後から塗布された前記液状体の表面に吸着させる前記気液界面吸着剤の沸点より、高沸点とすることを特徴とする請求項9に記載の膜形成方法。
- 請求項1ないし請求項10のいずれかに記載の膜形成方法を使用して製造したことを特徴とする電気光学装置。
- 複数のドット領域に液状体を塗布して機能性膜を形成する電気光学装置の製造方法であって、
塗布された前記液状体の表面に、該液状体の溶媒または分散媒より高沸点であり、かつ該液状体に対して表面配向性を持つ気液界面吸着剤を吸着させることを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 前記気液界面吸着剤は、シリコーンオイル、又はシランカップリング剤であることを特徴とする請求項12に記載の電気光学装置の製造方法。
- 隣接する前記各ドット領域のうち、一部の前記ドット領域に塗布された前記液状体の表面のみに、前記気液界面吸着剤を吸着させることを特徴とする請求項12または請求項13に記載の電気光学装置の製造方法。
- 前記各ドット領域に塗布された前記液状体の表面に、それぞれ異なる前記気液界面吸着剤を吸着させることを特徴とする請求項12または請求項13に記載の電気光学装置の製造方法。
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