JP2005101376A - 電子部品収納用パッケージおよび電子装置 - Google Patents

電子部品収納用パッケージおよび電子装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2005101376A
JP2005101376A JP2003334419A JP2003334419A JP2005101376A JP 2005101376 A JP2005101376 A JP 2005101376A JP 2003334419 A JP2003334419 A JP 2003334419A JP 2003334419 A JP2003334419 A JP 2003334419A JP 2005101376 A JP2005101376 A JP 2005101376A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
metal frame
electronic component
insulating substrate
package
electronic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2003334419A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshiaki Shimojo
義秋 下城
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to JP2003334419A priority Critical patent/JP2005101376A/ja
Publication of JP2005101376A publication Critical patent/JP2005101376A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/1517Multilayer substrate
    • H01L2924/15172Fan-out arrangement of the internal vias
    • H01L2924/15174Fan-out arrangement of the internal vias in different layers of the multilayer substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/1517Multilayer substrate
    • H01L2924/15192Resurf arrangement of the internal vias
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/161Cap
    • H01L2924/1615Shape
    • H01L2924/16195Flat cap [not enclosing an internal cavity]

Landscapes

  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

【課題】 金属枠体に蓋体を強固に接合することができるとともに、絶縁基板の外形寸法を小型化することが可能な、気密封止の信頼性に優れた小型で高信頼性の電子部品収納用パッケージおよび電子装置を提供すること。
【解決手段】 電子部品収納用パッケージは、上面に電子部品の搭載部1aが形成された絶縁基板1と、絶縁基板1の上面の外周部に搭載部1aを囲繞するように接合された金属枠体2とを具備しており、金属枠体2は、上端に鍔部2aが全周にわたって形成されている。
【選択図】 図1

Description

本発明は、電子部品を搭載し収容するための電子部品収納用パッケージおよびそれを用いた電子装置に関するものである。
従来、圧電振動子や半導体素子等の電子部品は、これらの電子部品を気密に収容するための電子部品収納用パッケージ(以下、パッケージともいう)内に気密封止されて電子装置となり、携帯電話やコンピュータ等の各種電子機器の部品として使用される。
このような電子部品を気密に収容するパッケージにおいて、最も信頼性の高いとされるものは、酸化アルミニウム質焼結体等のセラミックスから成り、上面の中央部に電子部品を収容し搭載するための凹部を有する絶縁基板と、絶縁基板の凹部内から外表面にかけて導出された複数の配線導体と、絶縁基板の上面に凹部を取り囲むように被着された枠状の封止用メタライズ層と、封止用メタライズ層にろう付けされた鉄−ニッケル−コバルト合金や鉄−ニッケル合金等から成る封止用の金属枠体と、金属枠体の上面にシーム溶接により接合される鉄−ニッケル合金や鉄−ニッケル−コバルト合金から成る蓋体とから構成されるタイプのものである。
このタイプのパッケージの場合、絶縁基板の凹部内に電子部品を搭載し収容するとともに電子部品の電極とメタライズ配線導体とを電気的に接続した後、金属枠体に蓋体を載置し、この蓋体の外周縁にシーム溶接機の一対のローラー電極を接触させながら転動させるとともに、この一対のローラー電極間に溶接のための大電流を流し金属枠体と蓋体とを直接的にシーム溶接することによって、内部に電子部品が気密に収納された製品としての電子装置となる。この電子装置は、配線導体のうち絶縁基板の外表面に導出された部位を外部電気回路に接続することにより外部電気回路基板に実装されて使用される。
特開平7−30007号公報 特開平6−310614号公報
近年、上記従来の電子装置を実装する外部電気回路基板は、電子機器の小型化の要求にともない、電子装置に加えてその他の容量素子や抵抗器等のいわゆる表面実装型の電子部品を高密度で実装する必要が生じている。そのため、電子装置用のパッケージは、外部電気回路基板の実装表面に占める占有面積を小さくするために、絶縁基板の外形寸法を極力小さくすることが求められている。
しかしながら、従来のパッケージおよび電子装置においては、金属枠体と蓋体とを溶接して強固に接合するために、金属枠体と蓋体との間の接合幅を確保する必要があり、金属枠体の上面の幅をあまり狭くすることができない。そのため、金属枠体が上面に接合される絶縁基板の外形寸法を小型化することが難しいという問題があった。
本発明は、かかる従来の問題点に鑑みて完成されたものであり、その目的は、金属枠体に蓋体を強固に接合することができるとともに、絶縁基板の外形寸法を小型化することが可能な、気密封止の信頼性に優れた小型で高信頼性の電子部品収納用パッケージおよび電子装置を提供することにある。
本発明の電子部品収納用パッケージは、上面に電子部品の搭載部が形成された絶縁基板と、該絶縁基板の上面の外周部に前記搭載部を囲繞するように接合された金属枠体とを具備しており、該金属枠体は、上端に鍔部が全周にわたって形成されていることを特徴とするものである。
また本発明の電子部品収納用パッケージは、好ましくは、前記金属枠体は、前記鍔部よりも下側の外面が上端から下端に向かうに伴って内側に傾斜していることを特徴とするものである。
また本発明の電子装置は、上記構成の電子部品収納用パッケージと、前記搭載部に搭載された電子部品と、前記金属枠体の上面に接合されて前記電子部品を気密封止する蓋体とを具備していることを特徴とするものである。
本発明の電子部品収納用パッケージによれば、絶縁基板の上面に搭載部を囲繞するようにして接合された金属枠体は、上端に鍔部が全周にわたって形成されていることから、鍔部の分だけ上端で幅が広くなるため、蓋体を強固に接合するための幅を有効に確保することができる。また、蓋体を接合するための幅を鍔部により確保することができるため、下端部分の幅を広くする必要はなく、金属枠体が接合される絶縁基板を小型化することができる。
また本発明の電子部品収納用パッケージにおいて好ましくは、金属枠体は、鍔部よりも下側の外面が上端から下端に向かうに伴って内側に傾斜していることから、金属枠体の鍔部より下側の下端の外形寸法をより一層小さくすることができ、絶縁基板をより一層容易に小型化することができる。また、鍔部の下面が金属枠体の側面に対して一定の角度を成して斜めになっているので、鍔部の金属枠体に対する強度をより強くすることができ、蓋体の幅をより大きくして蓋体との接合幅をより有効に確保し、より気密封止の信頼性に優れた電子部品収納用パッケージを提供することができる。
本発明の電子装置は、上記構成の電子部品収納用パッケージと、搭載部に搭載された電子部品と、金属枠体の上面に接合されて電子部品を気密封止する蓋体とを具備していることから、気密封止の信頼性に優れた小型で高信頼性のものとなる。
本発明の電子部品収納用パッケージおよび電子装置を添付の図面を基に説明する。図1は本発明のパッケージおよび電子装置9の実施の形態の一例を示す断面図である。図1において、1は絶縁基板、2は金属枠体である。これらの絶縁基板1および金属枠体2とにより主にパッケージが構成される。また、絶縁基板1の上面の搭載部1aに電子部品3を搭載するとともに、金属枠体2の上面に蓋体4を接合して電子部品3を気密封止することにより電子装置が構成される。
絶縁基板1は、上面に電子部品の搭載部1aが形成されており、酸化アルミニウム質焼結体やガラスセラミックス,窒化アルミニウム質焼結体,ムライト質焼結体等の絶縁材料により形成される。
なお、図1の例では絶縁基板1は平板状であるが、上面に凹部を有する直方体状等の形状で、この凹部の底面に搭載部1aが設けられた形状のものでもよい。
絶縁基板1は、例えば酸化アルミニウム質焼結体から成る場合、酸化アルミニウム,酸化珪素,酸化マグネシウム,酸化カルシウム等の原料粉末に適当な有機バインダー,溶剤を添加混合して泥漿状となし、これを従来周知のドクターブレード法によりシート状とすることによって絶縁基板1用のセラミックグリーンシートを得、しかる後、このセラミックグリーンシートに適当な打ち抜き加工を施すとともに複数枚積層し、高温で焼成することによって製作される。
また、絶縁基板1は、上面の搭載部1aまたはその周辺から側面や下面等の外表面にかけて複数の配線導体5が導出されている。
搭載部1aに搭載される電子部品3は、その電極が、配線導体5のうち搭載部1aやその周辺に露出した部位にボンディングワイヤや半田等を介して電気的に接続される。
配線導体5は、タングステン,モリブデン,マンガン,銅,銀,金等の金属材料からなり、例えばタングステンから成る場合、タングステン粉末に適当な有機バインダー,溶剤を添加混合して得たタングステンペーストを、絶縁基板1となるセラミックグリーンシートに従来周知のスクリーン印刷法により所定パターンに印刷塗布し、これを絶縁基板1となるセラミックグリーンシートとともに焼成することによって、所定のパターンに被着形成される。
また、絶縁基板1は、上面の外周部に搭載部1aを囲繞するようにして金属枠体2が接合されている。金属枠体2は、電子部品3の搭載部1aを気密封止するためのものであり、金属枠体2の上面に蓋体4を接合することにより、搭載部1aに搭載された電子部品3が絶縁基板1と金属枠体2と蓋体4とから成る容器の内部に気密封止される。金属枠体2の形状は四角枠状である。これにより、半導体集積回路素子や圧電振動子等の一般に四角形状である電子部品3を無駄なスペースを取ることなく効率よく取り囲むものとなっている。この場合、金属枠体2は、各角部が円弧状に面取りされて角部で欠け等が生じることを防止することが好ましい。
金属枠体2は、鉄−ニッケル−コバルト合金や鉄−ニッケル合金等の金属材料からなり、例えば鉄−ニッケル−コバルト合金からなる場合、鉄−ニッケル−コバルト合金の板材に適当な圧延加工や打抜き加工、エッチング加工等の加工を施すことにより形成される。
また、金属枠体2の絶縁基板1に対する接合は、例えば、絶縁基板1の上面の外周部に搭載部1aを囲繞するようにして枠状のメタライズ層を形成しておき、この枠状のメタライズ層に金属枠体2の下端面を銀ろう等のろう材を介して接合すること等により行なうことができる。
また、金属枠体2に対する蓋体4の接合は、金属枠体2の上面に蓋体4の下面の外周部を位置合わせして載せ、蓋体4の外周部に沿ってシーム溶接や電子ビーム溶接等の加熱溶接を施すこと等により行なうことができる。
そして、パッケージの搭載部1aに電子部品3を搭載するとともにその電極を配線導体5に電気的に接続し、その後、金属枠体2の上面に蓋体4を接合して電子部品3を気密封止することにより、電子装置9が構成される。
本発明のパッケージおよび電子装置9において、金属枠体2は上端に鍔部2aが全周にわたって形成されている。これにより、鍔部2aの分だけ金属枠体2の幅が上端で広くなるため、蓋体4を強固に接合するための幅を有効に確保することができる。また、蓋体4を接合するための幅を鍔部2aにより確保することができるため、金属枠体2の下端部の幅を広くする必要はなく、金属枠体2が接合される絶縁基板1を容易に小型化することができる。
鍔部2aの幅は0.5〜3mmが好ましい。0.5mm未満では、蓋体4の接合を有効に強くすることが難しくなる傾向にあり、3mmを超えると、パッケージが必要以上に大きくなり、また鍔部2aの良好な平坦度が得られず、かえって蓋体4の接合が難しくなって気密封止の信頼性が低下するおそれがある。また、外部電気回路基板のうち鍔部2aの下方に位置する部位に表面実装型の電子部品を実装する際の位置決め等が鍔部2aに遮られて難しくなるおそれもある。
また、鍔部2aの幅は全周で同じ幅でよいが、金属枠体2の形状等に応じてより蓋体4の接合を強くすることができるように鍔部2aの幅を部分的に変えてもよい。例えば、金属枠体2が長方形状である場合、蓋体4の接合強度が低下しやすい長辺側の中央部付近の幅を他の部分の幅よりも広くしてもよい。また、応力等の歪が集中しやすい角部分で幅を広くしてもよい。
また、鍔部2aの厚みは全周で同じでよいが、外周側から中心側に向かうにつれて厚くなるようにしてもよい。この場合、鍔部2aの上面に蓋体4を接合する際に、鍔部2aが変形しにくくなるので、気密封止の信頼性がよりいっそう優れたものとなる。
また、鍔部2aは、金属枠体2と一体成形されたものであることが好ましい。鍔部2aを金属枠体2と一体成形されたものとしておくと、鍔部2aが金属枠体2の上端に強固に設けられたものとなり、金属枠体2の鍔部2aの上面に蓋体4を溶接する際、鍔部2aが欠けたり、亀裂を生じたりすることが効果的に防止され、より一層気密封止の信頼性に優れたパッケージおよび電子装置9を提供することができる。
鍔部2aが一体成形された金属枠体2は、例えば、圧延加工や打抜き加工、エッチング加工等の加工を施すことにより形成する際、金属枠体2の上端に鍔部2aが形成されるように打抜き金型やエッチング加工用のマスク材を作製しておくことにより形成することができる。
この金属枠体2は、鍔部2aよりも下側の外面が上端から下端に向かうに伴って内側に傾斜していることが好ましい。これにより、金属枠体2の下端の外形寸法をより一層小さくすることができ、絶縁基板1をより一層容易に小型化することができる。また、鍔部2aの下面が金属枠体2の側面と一定の角度を成して斜めに交わることになるので、鍔部2aの金属枠体2に対する強度をより強くすることができ、蓋体4の幅をより大きくして蓋体4との接合幅をより有効に確保し、より気密封止の信頼性に優れたパッケージおよび電子装置9を提供することができる。
金属枠体2が鍔部2aよりも下側の外面が上端から下端に向かうに伴って内側に傾斜している場合の傾斜角度は、厚さが0.5〜2mm程度の金属枠体2の場合、金属枠体2の側面と下端面とのなす角度が45〜85度であることが好ましい。この角度が45度未満では、鍔部2aの強度を向上させることが難しくなる傾向があり、45度を超えて大きく傾かせると、金属枠体2の下端の幅が小さくなり絶縁基板1に対する接合強度が低くなるおそれがある。
また、この傾斜の角度は、金属枠体2の全周にわたって同じ角度とする必要はなく、蓋体4の接合をより効果的に補強するために鍔部2aの幅を大きく確保したい部位(熱応力が大きく作用する角部分や、長方形の金属枠体の場合の長辺側の中央部分等)で傾斜を大きくするようにしてもよい。
また、蓋体4と金属枠体2との接合性を高めるうえで、鍔部2aは上面が平坦面であることが好ましい。
なお、本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内であれば種々の変更が可能である。
本発明の電子部品収納用パッケージを用いた電子装置の実施の形態の一例を示す断面図である。
符号の説明
1・・・絶縁基板
1a・・・搭載部
2・・・金属枠体
2a・・・鍔部
3・・・電子部品
4・・・蓋体
5・・・配線導体
9・・・電子装置

Claims (3)

  1. 上面に電子部品の搭載部が形成された絶縁基板と、該絶縁基板の上面の外周部に前記搭載部を囲繞するように接合された金属枠体とを具備しており、該金属枠体は、上端に鍔部が全周にわたって形成されていることを特徴とする電子部品収納用パッケージ。
  2. 前記金属枠体は、前記鍔部よりも下側の外面が上端から下端に向かうに伴って内側に傾斜していることを特徴とする請求項1記載の電子部品収納用パッケージ。
  3. 請求項1または請求項2記載の電子部品収納用パッケージと、前記搭載部に搭載された電子部品と、前記金属枠体の上面に接合されて前記電子部品を気密封止する蓋体とを具備していることを特徴とする電子装置。
JP2003334419A 2003-09-25 2003-09-25 電子部品収納用パッケージおよび電子装置 Pending JP2005101376A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003334419A JP2005101376A (ja) 2003-09-25 2003-09-25 電子部品収納用パッケージおよび電子装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003334419A JP2005101376A (ja) 2003-09-25 2003-09-25 電子部品収納用パッケージおよび電子装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005101376A true JP2005101376A (ja) 2005-04-14

Family

ID=34462113

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003334419A Pending JP2005101376A (ja) 2003-09-25 2003-09-25 電子部品収納用パッケージおよび電子装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2005101376A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007266171A (ja) * 2006-03-28 2007-10-11 Kyocera Corp セラミック容器
CN104766830A (zh) * 2015-04-02 2015-07-08 南昌欧菲生物识别技术有限公司 一种指纹传感器封装结构、封装方法及电子设备
JP2015173234A (ja) * 2014-03-12 2015-10-01 株式会社東芝 高周波半導体装置用パッケージおよびその製造方法、並びに高周波半導体装置
US10535972B2 (en) 2017-08-09 2020-01-14 Shinko Electric Industries Co., Ltd. Electronic component package and electronic component device

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007266171A (ja) * 2006-03-28 2007-10-11 Kyocera Corp セラミック容器
JP2015173234A (ja) * 2014-03-12 2015-10-01 株式会社東芝 高周波半導体装置用パッケージおよびその製造方法、並びに高周波半導体装置
CN104766830A (zh) * 2015-04-02 2015-07-08 南昌欧菲生物识别技术有限公司 一种指纹传感器封装结构、封装方法及电子设备
CN104766830B (zh) * 2015-04-02 2018-07-06 南昌欧菲生物识别技术有限公司 一种指纹传感器封装结构、封装方法及电子设备
US10535972B2 (en) 2017-08-09 2020-01-14 Shinko Electric Industries Co., Ltd. Electronic component package and electronic component device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2011147054A (ja) 電子装置、および、電子装置の製造方法
JP4439291B2 (ja) 圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置
JP4332037B2 (ja) 電子部品収納用パッケージおよび電子装置
JP2005101376A (ja) 電子部品収納用パッケージおよび電子装置
JP2005311144A (ja) 電子部品収納用パッケージおよび電子装置
JP2948998B2 (ja) 電子素子収納用パッケージ
JP3556567B2 (ja) 電子部品収納用パッケージ
JP2005072421A (ja) 電子部品収納用パッケージおよび電子装置
JP4614594B2 (ja) 電子部品収納用パッケージ
JP2003179175A (ja) 配線基板
WO2020045563A1 (ja) 半導体パッケージおよびこれを備えた半導体装置
JP2005050935A (ja) 多数個取り配線基板
JP5865783B2 (ja) 電子部品収納用容器および電子装置
JP2002184885A (ja) 電子部品収納用パッケージおよびその製造方法
JP2004327562A (ja) 電子部品収納用パッケージおよび電子装置
JP2004296725A (ja) 電子部品収納用パッケージ
JP4331957B2 (ja) 圧電振動子収納用パッケージ
JP2005191140A (ja) 電子部品収納用パッケージおよび電子装置
JP2003303910A (ja) 配線基板
JP2000195976A (ja) 電子部品収納用パッケージ
JP2004111847A (ja) 電子部品搭載用基板
JP2005101374A (ja) 半導体素子収納用パッケージおよび半導体装置
JP2004200416A (ja) 配線基板
JP2002231836A (ja) 電子部品搭載用基板
JP2005191108A (ja) 電子部品搭載用配線基板