JP2005101272A - 集積化pinホトダイオードセンサ - Google Patents
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Abstract
【課題】MOSトランジスタやPINホトダイオードで発生する迷走電流の迷走路を形成し、他の信号処理回路やPINホトダイオードに帰還し、誤動作の原因を生み出す。また、PINホトダイオードのバイアス電圧とCMOSデバイスの電源電圧の分離が実現できていないため、動作速度が制限されていた。
【解決手段】N+基板1のうち、PINホトダイオード10を形成しない領域にP+埋め込み層13、その上にN−エピタキシャル層2を形成し、該N−エピタキシャル層にNウエル3並びにPウエル4を形成し、各ウエルに、PチャンネルMOSトランジスタ8並びにNチャンネルMOSトランジスタ9を形成し、P+拡散5とN−エピタキシャル層とN+基板によりPINホトダイオード10を形成して、該PINホトダイオード、P−チャンネルMOSトランジスタで発生し、Nエピタキシャル層に流入する基板電流をP+埋め込み層で消滅させるようにする。
【選択図】図1
【解決手段】N+基板1のうち、PINホトダイオード10を形成しない領域にP+埋め込み層13、その上にN−エピタキシャル層2を形成し、該N−エピタキシャル層にNウエル3並びにPウエル4を形成し、各ウエルに、PチャンネルMOSトランジスタ8並びにNチャンネルMOSトランジスタ9を形成し、P+拡散5とN−エピタキシャル層とN+基板によりPINホトダイオード10を形成して、該PINホトダイオード、P−チャンネルMOSトランジスタで発生し、Nエピタキシャル層に流入する基板電流をP+埋め込み層で消滅させるようにする。
【選択図】図1
Description
本発明は、DVD、CD,光通信用受信モジュール、レーザプリンタのエッジ検出、高速の光電スイッチ、等に応用される集積化PINホトダイオードとアナログCMOSデバイスを同一Si基板に一体で集積化した集積化PINホトダイオードセンサに関する。
従来、集積化PINホトダイオードセンサデバイスは、同一のSi基板内に、高濃度のP+拡散、絶縁層(I層)、高濃度のN+基板で構成されたPINホトダイオードとバイポーラリニア回路、あるいはアナログCMOS回路が一体的に集積されたデバイスを称しており、バイポーラ型は特許文献1に、CMOS型は特許文献2にその詳細が述べられている。本発明は、この内、CMOS型集積化PINホトダイオードセンサの欠点を是正するためのものであり、ここでは、特許文献2に沿って従来の技術を説明し、本発明との違いを詳細に言及する。
特許文献2に述べられているように、CMOSとPINホトダイオードを同一基板に形成した集積化PINホトダイオードセンサは、図4に示すように、高濃度のN+基板1の上に構成されている。N+基板1を用いる理由は、濃度が1Ω・cm以上の高濃度基板になるとそこで生成、消滅する電子あるいは正孔が役割として果たすキャリアのライフタイムをきわめて短くすることが出来る。ライフタイムを短くすることの意義は、キャリアを早期に消滅させることが出来るためで、入射光により励起された光を効率よく電流に変換できることを意味している。このN+基板の上にN+エピタキシャル層2を形成する。この領域の濃度は、比抵抗が高ければ高いほど良い、現在の技術では、10KΩ・cmuP程度が可能である。この理由は、この領域をできれば全て空乏層化したいためである。濃度が低いということは、不純物濃度が少ないことを意味しており、このため、接合に電圧を印加したとき、電荷保存を保つため、空乏層が伸びて行きやすい背景があるためである。ただし、不純物濃度が低く、不純物によるトラップ密度が少なくても、歪や結晶欠陥によるトラップが多く発生しライフタイムを低下させたのでは、再結合により、量子効率が低下するため、出来る限りライフタイムを低下させない結晶成長が要求される。このため、キャップ層を設け、高濃度から、低濃度へ急峻に変化させるのを防ぐ技術や、高濃度基板から発生する不純物のオートドープによる拡散を防ぐため、雰囲気中の不純物を一掃させる2段エピタキシャル技術の組み合わせ等が応用される。
上記N+エピタキシャル層中にCMOSを形成するには、濃度が低すぎるため、濃度補正が必要で、イオン注入技術を用いてNウエル3並びにPウエル4が形成される。イオン注入によりPあるいはBが注入され、その後、1180℃、12時間の拡散工程により各ウエルが形成される。各ウエルの濃度は低すぎるとパンチスルーが起き易くなり、高すぎると、容量を大きくさせるため、回路負荷が重たくなる欠点があるため、シート抵抗にして15−30Ω・cm程度に設定するのが妥当である。次にSOP技術によりフィールド領域が形成され、動作領域とフィールド領域が分離される。この時、一般にフィールド拡散が施されるがここでは省略する。フィールド領域は酸化膜11によって形成される。次に、ポリSi12が形成され、MOSトランジスタのソースとドレインを形成するN+拡散5並びにP+拡散6が形成される。このN+拡散5はNウエル3の電位を電源電位に安定させるため、またP+拡散6はPウエル4の電位をGNDに安定させるため同時に形成される。
P+拡散6はまた、同時にPINホトダイオードのアノードを形成するためにも用いられている。
各拡散、ポリSi12にはコンタクトホールが形成され、電極7により接続され、CMOS回路が構成される。その結果、P−チャンネルMOSトランジスタ8、N−チャンネルMOSトランジスタ9、PINホトダイオード10が同時に1つのSi基板上に構成される。
PINホトダイオード10の構成については、さらに詳しく述べると、高濃度のN+基板1がアノードを形成し、低濃度N−エピタキシャル層2が絶縁層を形成し、P+拡散6がカソードを形成しPINホトダイオード10を形成している。このプロセスと従来のCMOSプロセスの違いは、PINホトダイード10を形成するため新たにN−エピタキシャル層2が追加されたのみで、カソードはP+拡散6により、CMOSのPチャンネルトランジスタのソース・ドレインの形成と同時に形成されている。
このような構成を実現することによりCMOSとPINホトダイオード10が1つの基板上に構成され、またCMOSはアナログ回路を構成することが出来るため、PINホトダイオードに自由な形状を与えてセンサ機能を与え、そこで光電変換された電流出力をそのセンサ機能に合わせた信号処理を行う集積化PINホトダイオードセンサを形成している。
従来の構造でその大きな特徴といえるのは、Nウエル3と基板が第1の接合で形成されているため、電源電圧とPINホトダイオード10とが必然的に同一電圧となる特徴を有しているということである。
特許第2680455号
特許第2815201号
上記、従来技術に示すように、N−エピタキシャル層2には、ライフタイムの劣化を防ぐため、キャップ層を設ける、あるいは2段エピタキシャルを行っている。キャップ層を設ける理由は、N+基板1の濃度が非常に高いため、低濃度のエピタキシャル層を1回で形成することが困難であるため、N+基板1を比較的濃度の低いキャップ層で覆い、N+基板1からのオートドープを防止することにより、非常に低濃度なエピタキシャル層2が形成できるという理由のためである。
このキャップ層は1〜4μm程度形成する。また、2段エピタキシャルを行う理由は、N+基板1から出てきたエピタキシャル成長槽内の不純物を一掃し、再度、エピタキシャルを行うことで、オートドープを防ぎ、かつ結晶ひずみを防ぎ、持って良好なライフタイムを持つ基板形成を行うためのものである。
ところが、一方で、このようなキャップ層を形成するため、N−エピタキシャル層2には、予想以上に濃度の高い層が形成されることになり、そのため、このN−エピタキシャル層2の全ての領域を空乏化することが困難になる。
半導体理論によれば、PN接合に加えられた電界は全て、空乏層にかかることになっているが、電流が流れている場合には、シート抵抗が低くても、抵抗によるわずかな電圧ドロップが発生するため、このキャップ層にわずかではあるが、電位が発生していると考えるのが妥当である。
ここで、考えておく必要のある点は、N−エピタキシャル層は非常に濃度が低いため、ライフタイムが長く、したがって、発生したキャリアは予想以上に長い時間、長い領域を遊泳するということである。
PINホトダイオード10は、図4に示すような縦構造で形成されているため、キャリアの大部分は、N+基板1に到達し、そこで再結合して電流として捕らえられるのであるが、このPINホトダイオード10の横方向にわずかな電位が形成されていると、この電位により、一部、N−エピタキシャル層2に漏れ出すキャリアが発生することになる。
また、図5に示すように、MOSトランジスタからも基板電流25が発生することが良く知られている。この現象は以下のように説明される。ここで、説明するMOSトランジスタは現象を理解していただくため、N−チャンネルMOSトランジスタとして説明する。図5に示すトランジスタは飽和領域で動作しているものとする。トランジスタが飽和領域で動作するか非飽和領域で動作するかは、与えられるゲート電圧によることは、よく知られている。ここで、飽和領域であるため、ゲート20の電圧Vgはドレイン21の電圧をVdとするとVg<(Vd−Vth)の関係が成り立っている。ここでソース22はGND電位である。また、Vthはしきい値電圧をあらわしている。このような電圧がゲート20に加わると、図に示すようなチャンネル23が形成され、チャンネル23の一部が空乏層24に突入する。この空乏層24では、キャリアが加速され、その結果、大きなエネルギーをもつようになるため、空乏層内の固定電子と衝突し、そのため、固定電子を励起させ、電子と正孔を生成させる多重衝突を起こすことになる。ここで、生成された電子はドレインに流れ込み、電流となるが、生成された正孔は一部消滅せず、基板への流入電流となって基板へ流れることになる。これが基板電流25である。
この基板電流25のうち、極性の同じP−チャンネルMOSトランジスタの基板電流25は、従来の構造では接合が存在しないため、阻止されることがなく、Nウエル3からN−エピタキシャル層2へ流れ出すことになる。すると、このN−エピタキシャル層2のライフタイムは非常に長い性質を持つため、この層内に形成されている微弱な電位差により、縦横無尽にセンサ中を流れまわることになる。したがって、この電流が、PINホトダイオード10に流れ込むと、この電流はPINホトダイオード10を通じた帰還回路を形成することになる。
すなわち、N−エピタキシャル層2が分布定数的な回路パスを与え、それにより、従来、予想しなかった回路と、回路あるいはPINホトダイオード間に帰還ループが形成され、このため、望まない帰還ループにより回路劣化が引き起こされるという欠点を有しているということである。
上記欠点が、従来の集積化PINホトダイオードの課題の1つとなっている。
もう1つの課題は、従来の集積化ホトダイオードセンサにおいては、N+基板1とNウエル3が同一接合であり、このため、電源電圧がそのまま、基板にかかる構造となっているため、PINホトダイオード10のバイアス電圧を高くすることができない構造となっていることである。
Siデバイスにおけるキャリアの動作速度は、移動度によって規制されているが、この移動度は、電界に依存し、その速度が最高速度に到達したときの速度を飽和速度として与えられている。したがって、飽和速度により、キャリアを動作させることが高速動作させることの基本となる。
この飽和速度を用い、Nエピタキシャル層2を走行するわけであるから、遮断周波数を上げるには、N−エピタキシャル層2の厚さを薄くすれば良い。ところが、この要請と矛盾する要請が2つある。それは1つは、容量で、容量の増大は回路動作における負荷を与えることになる。容量はε/d(ε:誘電率、d:N−エピタキシャル層の厚さ)で与えられているため、厚さを薄くすると容量が増加する。このためセンサの面積を小さくする必要がある。もう1つは、光の吸収特性の問題で、吸収長を確保するには、N−エピタキシャル層2の厚さが50μm程度必要とされる。この厚さを薄くすることは量子効率を低下させることにつながる。基板に反射面をもたせることで、要求される厚さを1/2にするとしてもこの量子効率の低下は、考慮する必要がある。上記、矛盾する2つの要因を考慮した上で、飽和速度を確保する必要がある。
この飽和速度を与える電界を得るには、電界として約10kV・cm以上が必要である。これはN−エピタキシャル層の厚さと、印加電圧の関係で求められ、厚さが20μmの場合、20V印加することが要求されることを意味している。
ところが、上で述べたように、従来の構造では、CMOSデバイス7の電源電圧とPINホトダイオード10のバイアス電圧が共通となっているため、同一のバイアスしか与えられないという欠点を有している
現在の技術的流れからわかるように、微細加工を推進してゆくと、デバイスのパンチスルー電圧は低下し、このため、高い電源電圧を取ることは、高速化、高集積化を進める上で、大きな課題となっている。
現在の技術的流れからわかるように、微細加工を推進してゆくと、デバイスのパンチスルー電圧は低下し、このため、高い電源電圧を取ることは、高速化、高集積化を進める上で、大きな課題となっている。
上記、構造的制限はかかる課題に矛盾する条件を与えており、これが集積化PINホトダイオードセンサの性能を制限する基本的な欠点となっている。
例えば、電源電圧を5Vとすると、PINホトダイオードにかかるバイアス電圧は、1段のVthによるドロップ、ならびに出力のバイアス変動領域を確保することを考えると残された部分がバイアス電圧になったとして、約3.5V程度しかバイアス電圧を与えることしかできない。N−エピタキシャル層2の厚さを18μmとすると、1.67kV・cmの電界しか与えることができないため、PINホトダイオードの遮断周波数は150MHz程度に抑えられてしまうことになる。
本来、I層(N−エピタキシャル層2)のシート抵抗が1kΩ・cmUPであれば、20Vのバイアス電圧を印加することにより、N−エピタキシャル層2の厚さを制御することにより、走行速度を制御することで、1.5−2.0GHz程度の遮断周波数を有することができるのにもかかわらず、従来の構造であるため、その性能を十分に発揮されず、性能が制限される欠点も有していた。
従来の構造による集積化PINホトダイオードセンサは、上記に述べたように、N−エピタキシャル層2に基づく迷走電流による帰還回路構成、PINホトダイオード10とNウエル3が同一接合であるということに基づく、バイアス電圧制限による移動度を飽和速度まで上げることが出来ないという2つの大きな欠点を抱えていた。
上記問題点を解決するために、本発明はN+基板上にPINホトダイオードとMOSトランジスタを形成した集積型PINホトダイオードセンサにおいて、上記N+基板のうち、PINホトダイオードを形成しない領域の一部または全部にP+埋め込み層を形成し、この上にN−エピタキシャル層を形成し、該N−エピタキシャル層にNウエル並びにPウエルを形成し、各ウエルにN+拡散並びにP+拡散を行うことにより、PチャンネルMOSトランジスタ並びにNチャンネルMOSトランジスタを形成するとともに、P+拡散とN−エピタキシャル層とN+基板によりPINホトダイオードを形成し、該PINホトダイオード、あるいはP−チャンネルMOSトランジスタで発生し、Nエピタキシャル層に流入する基板電流をP+埋め込み層で消滅させるようにしたことを特徴とする。
また、上記PINホトダイオードとMOSトランジスタを電位的に異なる電圧を与えるため、P+埋め込み層とPウエルで、NウエルとN+基板を電位的に分離したことを特徴とする。
さらに本発明は、P+基板上にPINホトダイオードとMOSトランジスタを形成した集積型PINホトダイオードセンサにおいて、上記P+基板のうち、PINホトダイオードを形成しない領域の一部または全部にN+埋め込み層を形成し、この上にP−エピタキシャル層を形成し、該P−エピタキシャル層にNウエル並びにPウエルを形成し、各ウエルにN+拡散並びにP+拡散を行うことにより、PチャンネルMOSトランジスタ並びにNチャンネルMOSトランジスタを形成するとともに、N+拡散とP−エピタキシャル層とP+基板によりPINホトダイオードを形成し、該PINホトダイオード、あるいはP−チャンネルMOSトランジスタで発生し、Pエピタキシャル層に流入する基板電流をN+埋め込み層で消滅させるようにしたことを特徴とする。
また、上記PINホトダイオードとMOSトランジスタを電位的に異なる電圧を与えるため、N+埋め込み層とNウエルで、PウエルとP+基板を電位的に分離したことを特徴とする。
さらに本発明では、上記P+埋め込み層とPウエルとの間、またはN+埋め込み層とNウエルとの間で、N−エピタキシャル層を消滅させたことを特徴とする。
また、上記N+基板またはP+基板に与える電圧とMOSトランジスタに与える電源電圧を別の端子から与えることを特徴とする。
さらに、昇圧回路を内在し、基板に電源電圧より高い電圧を与えたことを特徴とする。
このように、本発明によれば、PINホトダイオードで発生する迷走電流が信号処理回路に帰還されるのを防止したり、あるいはP−チャンネルMOSトランジスタの基板電流が迷走して他の信号処理回路に帰還したり、PINホトダイオードに帰還して誤動作が発生するのを防止するのに有効な構造を与えている。
この結果、高感度な集積化PINホトダイオードセンサを供給することが可能となるため、POF通信における受信モジュール、DVDやCD装置のピット検出センサ、レーザプリンタのエッジ検出センサ、高感度な光電センサ等、これまでに無い高感度、高速センサの応用に十分有効なデバイスを提供するものである。
また、CMOSデバイスとPINホトダイオードのバイアス電圧の分離が可能な構造はPINホトダイオードの性能を限界性能へ引き上げることが出来、その結果、動作周波数も2GHz程度まで上げることが出来、その結果、データ伝送に対する新たな応用分野を開拓するに十分なデバイスを提供している。
また、この構造は、昇圧回路の内臓も許容するため、単電源回路の実現も視野に入れたものとなっている。
以下本発明の実施形態を図によって説明する。
図1に示すように、本発明は、CMOSとPINホトダイオードを高濃度のN+基板1の上に形成した集積化PINホトダイオードセンサに関する。N+基板1を用いる理由は、濃度が1Ω・cm以上の高濃度基板になるとそこで生成、消滅する電子あるいは正孔が役割として果たすキャリアのライフタイムをきわめて短くすることが出来る。ライフタイムを短くすることの意義は、キャリアを早期に消滅させることが出来るためで、入射光により励起された光を効率よく電流に変換できることを意味している。
このN+基板の上にN+エピタキシャル層2を形成する。この領域の濃度は、比抵抗が高ければ高いほど良い、現在の技術では、10KΩ・cmuP程度が可能である。この理由は、この領域をできれば全て空乏層化したいためである。濃度が低いということは、不純物濃度が少ないことを意味しており、このため、接合に電圧を印加したとき、電荷保存を保つため、空乏層が伸びて行きやすい背景があるためである。ただし、不純物濃度が低く、不純物によるトラップ密度が少なくても、歪や結晶欠陥によるトラップが多く発生しライフタイムを低下させたのでは、再結合により、量子効率が低下するため、出来る限りライフタイムを低下させない結晶成長が要求される。このため、キャップ層を設け、高濃度から、低濃度へ急峻に変化させるのを防ぐ技術や、高濃度基板から発生する不純物のオートドープによる拡散を防ぐため、雰囲気中の不純物を一掃させる2段エピタキシャル技術の組み合わせ等が応用される。
上記N+エピタキシャル層2中にCMOSを形成するには、濃度が低すぎるため、濃度補正が必要で、イオン注入技術を用いてNウエル3並びにPウエル4が形成される。イオン注入によりPあるいはBが注入され、その後、1180℃、12時間の拡散工程により各ウエルが形成される。各ウエルの濃度は低すぎるとパンチスルーが起き易くなり、高すぎると、容量を大きくさせるため、回路負荷が重くなる欠点があるため、シート抵抗にして15〜30Ω・cm程度に設定するのが妥当である。次にSOP技術によりフィールド領域が形成され、動作領域とフィールド領域が分離される。この時、一般にフィールド拡散が施されるがここでは省略する。フィールド領域は酸化膜11によって形成される。次に、ポリSi12が形成され、MOSトランジスタのソースとドレインを形成するN+拡散5並びにP+拡散6が形成される。このN+拡散5はNウエル3の電位を電源電位に安定させるため、またP+拡散6はPウエル4の電位をGNDに安定させるため同時に形成される。
P+拡散6はまた、同時にPINホトダイオードのアノードを形成するためにも用いられている。
各拡散、ポリSi12にはコンタクトホールが形成され、電極7により接続され、CMOS回路が構成される。その結果、P−チャンネルMOSトランジスタ8、N−チャンネルMOSトランジスタ9、PINホトダイオード10が同時に1つのSi基板上に構成される。
このような構成を実現することによりCMOSとPINホトダイオード10が1つの基板上に構成され、またCMOSはアナログ回路を構成することが出来るため、PINホトダイオード10に自由な形状を与えてセンサ機能を与え、そこで光電変換された電流出力をそのセンサ機能に合わせた信号処理を行う集積化PINホトダイオードセンサを形成している。
図4に示す従来例との大きな違いは、図1に示すように、本発明ではN+基板1とN+エピタキシャル層2との間にP+埋め込み層13が形成されていることである。P+埋め込み層13としてBを利用する。また、N+基板1の不純物としてAsが適している。これは、拡散係数がAsが低く、Bが高いことに起因している。上記、P+埋め込み層13は、N+基板1に最初に形成し、その後、従来例と同じ工程でプロセスが実施される。
上記、構造の採用は、PINホトダイオード10のバイアス電圧を与える上で、大きなアドバンテージを得ることが出来る。P+埋め込み層13とPウエル4とで、PINホトダイオード10並びにNウエル3を囲むことにより、Nウエル3をN+基板1から分離することができる。この時、P+埋め込み層13並びにPウエル4をGND電位にしておくことにより、寄生的に形成されるNPNトランジスタに対してもバイアス条件が与えられないため、動作することが無い。このため、明快に、PINホトダイオード10とCMOSデバイスの電源電圧を分離することが出来る。
したがって、図2に示すように、このような構造を与えることによりPINホトダイオード10とCMOSデバイスを別電源で動作させることが出来るため、CMOSデバイスは微細構造に適した構造を採用することが出来、一方、PINホトダイオード10には、キャリアの走行速度が飽和速度で動作できる電界を与えることが出来る。
バイアス電圧を別電源で与えることが出来る理由を詳細に図2を用いて説明する。CMOSは、Nウエル3にPチャンネルトランジスタが形成され、Pウエル4にNチャンネルトランジスタが形成される。この時、Nウエル3は電源電圧30によりその電圧Vdd1に接続されている。一方、Pウエル4はGNDに接続されている。このPウエル4とP+埋め込み層13は同じ種類の拡散であるためGND電位が与えられる。したがって、Nウエル3とP+埋め込み層13間は逆バイアスの関係になる。また、N+基板1にはバイアス電圧31により電圧VBが与えられている。このN+基板1はP+埋め込み層13で分離されているため、このP+埋め込み層13間に逆バイアスが印加されることになる。したがって、Pウエル3とN+基板1はP+埋め込み層13により分離されていることになる。
PINホトダイオード10を構成しているアノードは電位的にはプリアンプのバイアス電圧Vbで設定されるため、PINホトダイオード10には(VB−Vb)の電圧が与えられることが出来、CMOSの電源電圧Vdd1よりはるかに高い電圧が与えられるため、空乏層中のキャリアには飽和速度を与えることが出来、高速化が可能となる。
このため、微細化も同時に出来るため、CMOSデバイス並びにPINホトダイオード10の高速性を追求することが出来、従来のデバイスの10倍近い性能を引き出すことが出来る。
さて、上記のような機能を実現するにあたって重要なことはP+埋め込み層13とPウエル4との間で、N−エピタキシャル層2を消滅させることである。ここで、重要なことは、ウエルの形成時の温度が高いことである。Asは拡散係数が小さくBの拡散係数が高い特徴を有しているため、この特徴を利用して、上記、構造を実現する。N+基板1の不純物としてAsを利用し、P+埋め込み層13ならびにPウエル4の不純物としてBを利用すると、N+基板1の浮き上がりは小さいがP+埋め込み層13の浮き上がりは大きくなり、Pウエル4との這い上がりにより、N−エピタキシャル層2を消してしまうことが出来る。その結果、PINホトダイオード10のバイアス電圧とCMOSデバイスの電源電圧を分離することが出来、なおかつ基板電流のパスを焼失させることが出来る。
ここで、具体的な実現性を検討してみる。確実に基板電流25を消滅させるには、P+埋め込み層13とPウエル4との間で、N−エピタキシャル層を消滅させてしまうことである。Pウエル4の深さは通常、5〜7μmとするのが妥当である。P+埋め込み層の濃度を高くすると、同じ不純物を用いても浮き上がりは大きくなる。ここでは、P+埋め込み層13の不純物濃度を1桁以上、Pウエルよりも高くする。その結果、7〜10μの浮き上がりが期待される。したがって、12〜17μmのN−エピタキシャル層2を形成することが出来ることになる。この厚さはPINホトダイオード10に要求される光の吸収層の厚さとして十分であり、また、要求される接合容量として十分な間隔を確保できる厚さとなっている。
次に本発明における、PINホトダイオード10に印加されるバイアス電圧について述べる。PINホトダイオード10のバイアス電圧が十分確保されているか否かは、キャリアの飽和速度と密接な関係がある。Siデバイスの場合、十分な飽和速度を得るには、バイアス電圧VBと空乏層厚dとの比率として(電界を与えている。)1×104V・cm程度必要である。それにより飽和速度に到達するが、それより低い点圧の場合、飽和速度に到達しないため、遮断周波数が低下することになる。
電源電圧として5V単一電圧の場合、PINホトダイオード10に印加することが可能な電圧は、3.5V程度である。これは、トランジスタの閾値、ならびにトランスインピーダンスの動作電圧範囲の確保が必要なため、回路的に1.2〜1.5V必要とされるからで、残りの3.5Vがバイアス電圧として与えられる。PINホトダイオード10のI層の厚さを15μmに設定すると、その電圧は、2.3kV・cmで十分な電界を与えるにいたっていない。このため、その遮断周波数は100〜150MHz程度となり、現在、高速通信等に要求されているGHzオーダの動作速度を得るのは不可能である。
この要求に対し、図2に示す本発明の構造では、PINホトダイオード10とNウエル4とはP+埋め込み層13で分離されているため、図2に示すように、PINホトダイオード10のバイアス電圧VB31と電源電圧Vdd130とは分離することが可能である。
基板の電圧はバイアス電圧VB31となりNウエル4の電圧はVdd130で与えられるため、これらを別々の端子、あるいは昇圧回路により与えることにより、分離された高い電圧を与えることが出来、このため、キャリアを飽和速度で動作させることが出来る。飽和速度で動作させることが出来ると、I層(N−エピタキシャル層2)の厚さを20μmとすれば、遮断周波数1.2GHzが10μmとすれば、2.4GHzが可能となり、したがって、高速通信用途で要求されている2.5GbPs程度の動作を集積化PINホトダイオードセンサで動作させることが可能となる。
図3に、単一電源で動作する1チップ受光モジュールの実施例を示す。本実施例では、昇圧回路35によりPINホトダイオード10に電源電圧から昇圧したバイアス電圧VB31が印加される。バイアス電圧VB31の電圧は、PINホトダイオード10のI層(N−エピタキシャル層2)の厚さに応じて設定すればよい。I層の厚さを10μmに設定すると、バイアス電圧VB31の電圧は10V程度が妥当である。PINホトダイオード10のアノードを増幅器32とトランスインピーダンス抵抗33で構成されたトランスインピーダンスアンプに接続し、光出力をこのアンプで電流電圧変換し、その出力をリミットアンプ34へ入力し、インピーダンス変換を行って出力する回路を構成する。
上記、構成でP+埋め込み層13を用いたが、これの代わりにN+埋め込み層を用いることも可能である。この場合は、バイアス電圧の分離をすることは出来ないものの、基板電流を防止することは可能である。
本構成を実現すると、単一の電源電圧で動作する2Rモジュールを1チップで作成することが可能であり、また、PINホトダイオード10へのバイアス電圧VB31が十分な電圧を確保しているため、高速動作が可能であり、2.5GbPsに1チップで対応できるモジュールの作成を可能とするものである。
なお、以上の実施形態では、N+基板1をスタート基板として本発明を説明したが、第1の接合と第2の接合を逆転させてP+基板を基準にして組み立てることもできる。
即ち、他の実施形態として、P+基板上にPINホトダイオードとMOSトランジスタを形成した集積型PINホトダイオードセンサにおいて、上記P+基板のうち、PINホトダイオードを形成しない領域の一部または全部にN+埋め込み層を形成し、この上にP−エピタキシャル層を形成し、該P−エピタキシャル層にNウエル並びにPウエルを形成し、各ウエルにN+拡散並びにP+拡散を行うことにより、PチャンネルMOSトランジスタ並びにNチャンネルMOSトランジスタを形成するとともに、N+拡散とP−エピタキシャル層とP+基板によりPINホトダイオードを形成し、該PINホトダイオード、あるいはP−チャンネルMOSトランジスタで発生し、Pエピタキシャル層に流入する基板電流をN+埋め込み層で消滅させるようにすることもできる。
また、上記PINホトダイオードとMOSトランジスタを電位的に異なる電圧を与えるため、N+埋め込み層とNウエルで、PウエルとP+基板を電位的に分離することが好ましい。さらに、上記N+埋め込み層とNウエルとの間で、N−エピタキシャル層を消滅させることが好ましい。また、上記P+基板に与える電圧とMOSトランジスタに与える電源電圧を別の端子から与えたり、昇圧回路を内在し、基板に電源電圧より高い電圧を与えることもできる。
この他の実施形態は第1の接合と第2の接合を逆にしただけであり、基本的に第1の実施形態と同様であるが、P+基板は−電圧にバイアスされることになる。
次いで、本発明の実施例を示す。
N+基板1として、Asドープしたシート抵抗0.01Ω・cmの基板を採用した。P+埋め込み層13の濃度は1020/cm3とかなり高濃度とし、不純物としてBを採用した。N−エピタキシャル層2の厚さは15μmとし、この層の比抵抗は2KΩ・cmuPとした。キャップ層の厚さは1μmとし、有効な吸収層の厚さは14μmとした。Nウエル3並びにPウエル4は、それぞれイオン注入により、PとBを注入し、その後、1180℃で12時間のドライブを行い、濃度が1015/cm3となるように制御した。その時の深さは5μmである。この時、P+埋め込み層13は約10μm浮き上がっている。
その後、酸化膜11によるフィールドを形成した。次に前面にポリSiを形成し、電極並びにゲート部を形成し、この後、P+拡散5、N+拡散6を形成し、最後に電極7を形成し、P−チャンネルMOSトランジスタ8、N−チャンネルMOSトランジョイスタ9ならびにPINホトダイオード10を作成し、集積化PINホトダイオードを完成させた。
完成したPINホトダイオードの量子効率は、波長650Nmの光を用いた場合、0.45A/Wとなっている。この理由は、PINホトダイオードの吸収層の厚さを15μmと通常の単体のホトダイオードの厚さ、20μmより薄くしているため量子効率が約10%ダウンしている。
課題となる帰還に対する評価は、内蔵させるCMOSとしてトランスインピーダンス回路、並びにリミット回路を一体化したPOF光通信用モジュールを作成した。
トランスインピーダンス抵抗として80kΩを採用し、P+埋め込み層のあるものと無いものとを作成し、両者の符合誤り率で与えられる最小受光感度を比較して評価することとした。
P+埋め込み層13が無いモジュールの最小受光感度は−30dBmであったものが、P+埋め込み層13があるものでは−35dBmと5dBm改善されることが確認された。これは、P+埋め込み層13により帰還回路が遮断されたことによる効果であると解釈している。
もう1つの実施例は、図3に示す回路ブロックによる評価である。ただし、昇圧回路35は省略し、N+基板1、並びにCMOSデバイスの電源電圧が外から印加できる回路構成をとった。トランスインピーダンス抵抗33は5KΩに設定した。増幅器32ならびにトランスインピーダンス抵抗33で構成したトランスインピーダンスアンプの遮断周波数は1.6GHzである。また、リミットアンプ34の遮断周波数は2GHzで、出力の立ち上がり、並びに立下り時間を30Psに設計している。
上記、回路において、まず、電源電圧と、PINホトダイオード10のバイアス電圧を同一の5Vで動作させたところ、得られた回路の遮断周波数は150MHzであった。
一方、電源電圧は5Vのままとし、PINホトダイオード10のバイアス電圧を15Vに上げて同一の評価を行ったところ、回路の遮断周波数は1.5GHzまで上昇させることが出来た。
この結果は、バイアス電圧を分離した構造を与えたことによる効果であることが認識されている。
本発明は、CMOSとPINホトダイオードを一体化した集積化センサであり、その動作速度は原理的に1.5〜2.0GHzまで可能であるため、装置間のデータ伝送、家庭内のPOFに利用される受信モジュール、空間伝送用モジュール、非接触距離計のデイテクタ、DVD用デイテクタ、等その応用分野は広く、また、一体化されたことによる雑音特性の向上は、上記、応用製品の品質向上に大いに役立つものである。
1 N+基板
2 N−エピタキシャル層
3 Nウエル
4 Pウエル
5 P+拡散
6 N+拡散
7 電極
8 PチャンネルMOSトランジスタ
9 NチャンネルMOSトランジスタ
10 PIN−PD
11 SiO2
12 ポリSi
13 P+埋め込み層
20 ゲート
21 ドレイン
22 ソース
23 チャンネル
24 空乏層
25 基板電流
30 Vdd1
31 VB
32 増幅器
33 トランスインピーダンス抵抗
34 リミットアンプ
35 昇圧回路
2 N−エピタキシャル層
3 Nウエル
4 Pウエル
5 P+拡散
6 N+拡散
7 電極
8 PチャンネルMOSトランジスタ
9 NチャンネルMOSトランジスタ
10 PIN−PD
11 SiO2
12 ポリSi
13 P+埋め込み層
20 ゲート
21 ドレイン
22 ソース
23 チャンネル
24 空乏層
25 基板電流
30 Vdd1
31 VB
32 増幅器
33 トランスインピーダンス抵抗
34 リミットアンプ
35 昇圧回路
Claims (7)
- N+基板上にPINホトダイオードとMOSトランジスタを形成した集積型PINホトダイオードセンサにおいて、上記N+基板のうち、PINホトダイオードを形成しない領域の一部または全部にP+埋め込み層を形成し、この上にN−エピタキシャル層を形成し、該N−エピタキシャル層にNウエル並びにPウエルを形成し、各ウエルにN+拡散並びにP+拡散を行うことにより、PチャンネルMOSトランジスタ並びにNチャンネルMOSトランジスタを形成するとともに、P+拡散とN−エピタキシャル層とN+基板によりPINホトダイオードを形成し、該PINホトダイオード、あるいはP−チャンネルMOSトランジスタで発生し、Nエピタキシャル層に流入する基板電流をP+埋め込み層で消滅させるようにしたことを特徴とする集積化PINホトダイオードセンサ。
- 上記PINホトダイオードとMOSトランジスタを電位的に異なる電圧を与えるため、P+埋め込み層とPウエルで、NウエルとN+基板を電位的に分離したことを特徴とする請求項1記載の集積化PINホトダイオードセンサ。
- P+基板上にPINホトダイオードとMOSトランジスタを形成した集積型PINホトダイオードセンサにおいて、上記P+基板のうち、PINホトダイオードを形成しない領域の一部または全部にN+埋め込み層を形成し、この上にP−エピタキシャル層を形成し、該P−エピタキシャル層にNウエル並びにPウエルを形成し、各ウエルにN+拡散並びにP+拡散を行うことにより、PチャンネルMOSトランジスタ並びにNチャンネルMOSトランジスタを形成するとともに、N+拡散とP−エピタキシャル層とP+基板によりPINホトダイオードを形成し、該PINホトダイオード、あるいはP−チャンネルMOSトランジスタで発生し、Pエピタキシャル層に流入する基板電流をN+埋め込み層で消滅させるようにしたことを特徴とする集積化PINホトダイオードセンサ。
- 上記PINホトダイオードとMOSトランジスタを電位的に異なる電圧を与えるため、N+埋め込み層とNウエルで、PウエルとP+基板を電位的に分離したことを特徴とする請求項3記載の集積化PINホトダイオードセンサ。
- 上記P+埋め込み層とPウエルとの間、またはN+埋め込み層とNウエルとの間で、N−エピタキシャル層を消滅させたことを特徴とする請求項1または3記載の集積化PINホトダイオードセンサ。
- 上記N+基板またはP+基板に与える電圧とMOSトランジスタに与える電源電圧を別の端子から与えることを特徴とした請求項2または4記載の集積化PINホトダイオードセンサ。
- 昇圧回路を内在し、基板に電源電圧より高い電圧を与えたことを特徴とする請求項2または4記載の集積化PINホトダイオードセンサ。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003333106A JP2005101272A (ja) | 2003-09-25 | 2003-09-25 | 集積化pinホトダイオードセンサ |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007329179A (ja) * | 2006-06-06 | 2007-12-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Mos型固体撮像装置及びmos型固体撮像装置の製造方法 |
CN100465676C (zh) * | 2007-04-17 | 2009-03-04 | 浙江大学 | 一种基于布拉格光栅和mos结构的波长选择光开关 |
EP2216815A1 (en) * | 2009-02-05 | 2010-08-11 | Austriamicrosystems AG | Integrated circuit comprising a PIN diode and method of production |
US8120121B2 (en) | 2006-09-13 | 2012-02-21 | X-Fab Semiconductor Foundries Ag | Semiconductor device |
-
2003
- 2003-09-25 JP JP2003333106A patent/JP2005101272A/ja not_active Withdrawn
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