JP2005101235A

JP2005101235A - 基板移動装置

Info

Publication number: JP2005101235A
Application number: JP2003332411A
Authority: JP
Inventors: Jinko Nishio; 仁孝西尾
Original assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Current assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Priority date: 2003-09-24
Filing date: 2003-09-24
Publication date: 2005-04-14

Abstract

【課題】表示パネルに使用されるように所定サイズに分断された貼り合わせマザー基板を、比較的小さなスペースにおいて、所定の姿勢になるように移動させることができる基板移動装置を提供する。
【解決手段】貼り合わせマザー基板５０を吸着する基板保持手段１１ａ，１１ｂを回転自在に保持する軸を備えた旋回アーム１３ａが、回転する間に、前記基板保持手段を前記軸を中心に旋回アームの旋回方向とは逆向きに回転させる。基板旋回手段１３による基板保持手段の旋回が、動力伝達機構によって基板回転手段１２に伝達され、連動して基板回転手段が回転される。
【選択図】図１

Description

本発明において、「基板」には、複数の基板に分断されるマザー基板、また、鋼板等の金属基板、木板、プラスチック基板、プリント基板およびセラミックス基板、半導体基板、ガラス基板等の脆性材料基板等の単板が含まれる。さらに、このような単板に限らず、一対の基板同士を貼り合わせた貼り合わせ基板、一対の基板同士を積層させた積層基板も含まれる。

本発明は、例えば、液晶表示装置のパネル基板（表示パネル用貼り合わせ基板）に使用される一対のマザーガラス基板が相互に貼り合わされた貼り合わせマザー基板を、所定サイズに分断された後に、その貼り合わせマザー基板を所定位置に搬送する基板搬送装置において、貼り合わせマザー基板を所定の姿勢になるように移動させるために使用される基板移動装置に関する。

液晶表示装置等の表示パネルに使用されるガラス基板を貼り合わせた貼り合わせマザー基板は、通常、基板分断装置によって所定の大きさに分断され、分断された貼り合わせマザー基板は、基板搬送装置によって所定位置にまで搬送されるようになっている
特許文献１（特開平１１−１１６２６０号公報）には、貼り合わせマザー基板を所望のサイズにスクライブして分割するガラス加工装置が開示されている。このガラス加工装置は、貼り合わせマザー基板を搬送又は反転させる搬送反転ロボットが備えられている。この搬送反転ロボットは吸着された貼り合わせマザー基板を伸縮自在なアームによって、一方向に搬送するようになっている。

図６は搬送反転機を構成する搬送反転ロボット１３１の詳細図である。図６に示すように搬送反転ロボット１３１おいて、水平方向に延在するレール１３２が、不図示の駆動源によって上下動(矢印Ｊ４方向)および旋回可能(矢印Ｊ５方向)に支持されている。そのレール１３２に沿って可動ベース１３３が位置しており、その可動ベース１３３から水平方向に突き出したアーム１３４は、軸回転可能(矢印Ｊ６方向)に設けられている。そのアーム１３４の先端には、上方と下方にそれぞれ開口した一対の吸盤１３５が設けられている。又、この搬送反転ロボット１３１自身移動可能になっている。

搬送反転ロボット１３１の下側の吸盤１３５で貼り合わせマザー基板を吸着し、アーム１３４を１８０°軸回転してその貼り合わせマザー基板を持ち上げ、その状態で置台の上に載置する。吸着を解除してから吸盤１３５のみを移動させ、その吸盤１３５によって、貼り合わせマザー基板を上方から吸着して次のガラススクライバーのテーブルに移載すれば、貼り合わせマザー基板は反転した状態でセットされる。

また、図７は搬送反転機を具備する加工装置のシステム図である。この加工装置システムは、給材部Ｚ１と、除材部Ｚ２と、９０°回転するテーブル１１２を備えたガラススクライバー１１１と、反転ロボット１４５と、貼り合わせマザー基板５０を一時的に載置する置台１４１を備えた中間テーブル１４６を備えている。

この加工装置は、ガラススクライバー１１１により、貼り合わせマザー基板５０の上側の基板のスクライブされると、テーブル１１２はＲ１２の位置に後退し、貼り合わせマザー基板５０は反転ロボット１４５により、中間テーブル１４６上の置き台１４１に置かれて反転され、Ｒ１２に位置するテーブル１１２に戻される、さらに、まだスクライブされていない側の基板がＸ軸、Ｙ軸方向に同様にスクライブされる。

尚、この反転ロボット１４５は図６の搬送反転ロボット１３１と実質的に同一のものである。
特開平１１−１１６２６０号公報

前記特許文献１に記載されているように、貼り合わせマザー基板を搬送する際に、図５に示すようにアームを直線移動させる駆動装置全体を旋回させる構成や、図６に示すようにアームを旋回させる装置全体を直線移動させる構成にすると、装置全体の重量が重くなりコストがかかる上に、慣性が大きくなり、装置を高速移動させることが出来ず、作業効率が低下するという問題もある。

本発明は、このような問題を解決するものであり、その目的は、簡単な機構で、例えば貼り合わせマザー基板等の基板を保持した状態で、比較的小さなスペースにおいて基板の姿勢を変更して搬送ことができる基板移動装置を提供することにある。

本発明の基板移動装置は、基板を保持する基板保持手段と、該基板を保持する該基板保持手段と、前記基板保持手段に対して垂直な第１の軸回りに回転させる基板回転手段と、該基板保持手段を、該基板保持手段に対して垂直な前記第１の軸とは異なる第２の軸回りに旋回させる基板旋回手段と、を具備することを特徴とする。

前記基板旋回手段による基板保持手段の旋回が、動力伝達機構によって前記基板回転手段に伝達され、連動して前記基板回転手段を回転させる。

前記基板回転手段による基板保持手段の回転方向が、前記基板旋回手段による基板回転手段の旋回方向とは反対になっている。

前記基板回転手段による基板保持手段の回転角度が、前記基板旋回手段による基板回転手段の旋回角度の２倍である。

前記基板回転手段による基板保持手段の回転駆動と、前記基板旋回手段による基板保持手段の旋回駆動とが独立している。

前記基板回転手段の動力源と、前記基板旋回手段の動力源とが独立している。

前記基板回転手段による基板保持手段の動力源と、前記基板旋回手段動力源と前記基板移動装置の基部の備える基板移動装置。

本発明の基板移動装置では、基板保持手段によって保持された基板は、基板回転手段によって、基板に対して垂直な第１の軸周りに回転されつつ、基板回転手段が、基板旋回手段によって、基板に対して垂直な第１の軸とは異なる第２の軸回りに旋回されるために、基板保持手段によって保持された基板は、比較的小さなスペースで、所定の姿勢にされて搬送される。また、重量の大きな駆動モータを全て基板搬送装置の基部の部分に備えるため、アーム部の構造を簡単、軽量にすることができるため、慣性が少なく旋回アームを高速移動させることができる。

以下、本発明の実施形態について説明する。

図１は、本発明の基板移動装置の一例を示す一部破断正面図である。この基板移動装置は、例えば、貼り合わせマザー基板５０を所定のサイズに分断する際に、貼り合わせマザー基板５０を所定位置に搬送するために使用される基板搬送装置に取り付けられている。

図１に示す基板移動装置は、水平方向および垂直方向への旋回可能になった基板搬送装置の支持ビーム１６に取り付けられている。この基板移動装置には、例えば、分断されて水平状態に載置された貼り合わせマザー基板５０を吸着して保持する基板保持手段１１が設けられている。この基板保持手段１１は、貼り合わせマザー基板５０に吸着してその貼り合わせマザー基板５０を保持する複数の吸着パッド１１ａと、全ての吸着パッド１１ａが取り付けられた１枚の吸着パッド取付板１１ｂとを備えている。吸着パッド取付板１１ｂは平板状に構成されて、例えば水平状態に配置されている。吸着パッド取付板１１ｂの下面には、例えば１６個の吸着パッド１１ａが、４行×４列に設けられている。

本発明の基板移動装置には、貼り合わせマザー基板５０が保持された基板保持手段１１を、貼り合わせマザー基板５０とともに、保持された貼り合わせマザー基板５０に対して垂直な第１の軸回りに回転させる基板回転手段１２と、この基板回転手段１２自体を、貼り合わせマザー基板５０が保持された基板保持手段１１とともに、貼り合わせマザー基板５０に対して垂直な前記第１の軸とは異なる第２の軸回りに旋回させる基板旋回手段１３とが設けられている。

基板回転手段１２は、吸着パッド取付板１１ｂの水平方向における中心部に下端部が取り付けられた垂直な回転軸１２ａ、この回転軸１２ａの上端部に水平状態で取り付けられた従動歯車１２ｂとを備えている。回転軸１２ａは、基板旋回手段１３を構成する水平状態になった旋回アーム１３ａの先端部にベアリングを介して回転可能に支持されている。回転軸１２ａは、旋回アーム１３ａの先端部を上下方向に貫通しており、旋回アーム１３ａの上方に突出した上端部に、前記従動歯車１２ｂの中心部が取り付けられている。

旋回アーム１３ａの基端部は、垂直状態になった駆動シャフト１３ｂの下端部に取り付けられている。駆動シャフト１３ｂの上端部は、基板搬送装置の支持ビーム１６に取り付けられたサーボモータ１３ｃの駆動軸に連結されている。

駆動シャフト１３ｂには、旋回アーム１３ａの上側において、従動歯車１２ｂに噛み合った主歯車１３ｄが取り付けられている。主歯車１３ｄの歯数は、従動歯車１２ｂの歯数の２倍になっている。従って、従動歯車１２ｂの回転角度は、主歯車１３ｄの回転角度の２倍になっている。

このような構成の基板移動装置は、所定のサイズに分断された貼り合わせマザー基板５０を、基板搬送装置によって所定の位置に搬送する際に、貼り合わせマザー基板５０を所定の姿勢になるように移動させるために使用される。この場合、各吸着パッド１１ａが、水平状態になった貼り合わせマザー基板５０を吸着するように、吸着パッド取付板１１ｂ全体が、貼り合わせマザー基板５０上に位置するように、基板搬送装置の支持ビーム１６が移動させられる。そして、各吸着パッド１１ａが貼り合わせマザー基板５０の上方に位置すると、各吸着パッド１１ａが貼り合わせマザー基板５０を吸着するように、支持ビーム１６が下降する。これにより、吸着パッド取付板１１ｂ全体が下降して、全ての吸着パッド１１ａが貼り合わせマザー基板５０を吸着する。

その後、支持ビーム１６が上昇することによって、吸着パッド取付板１１ｂ全体が上昇する。これにより、吸着パッド取付板１１ｂに取り付けられた全ての吸着パッド１１ａが、貼り合わせマザー基板５０を吸着した状態で上昇する。

このような状態になると、サーボモータ１３ｃが駆動されて、駆動シャフト１３ｂは所定方向に回転させられる。駆動シャフト１３ｂの回転によって、主歯車１３ｄも駆動シャフト１３ｂと同じ方向に回転させられるとともに、駆動シャフト１３ｂと一体となった旋回アーム１３ａも、駆動シャフト１３ｂを中心として駆動シャフト１３ｂと同じ方向に旋回させられる。

旋回アーム１３ａの先端部が所定方向に旋回されることによって、この旋回アーム１３ａの先端部に取り付けられた回転軸１２ａが、駆動シャフト１３ｂの軸心を中心とした円周上を旋回する。このとき、旋回アーム１３ａと一体となって回転する主歯車１３ｄの回転によって、回転軸１２ａに取り付けられた従動歯車１２ｂが、主歯車１３ｄの回転方向とは反対方向に、主歯車１３ｄの回転角度の２倍の回転角度で回転させられる。これにより、従動歯車１２ｂと一体となった回転軸１２ａも、従動歯車１２ｂと同方向に同様の回転角度になるように回転させられる。

これにより、回転軸１２ａの下端部に取り付けられた吸着パッド取付板１１ｂは、回転軸１２ａの回転によって、回転軸１２ａの軸心を中心として回転される。このように、回転軸１２ａ自体が旋回アーム１３ａの旋回によって、駆動シャフト１３ｂを中心とした円周上をサーボモータの駆動方向に旋回している間に、回転軸１２ａの回転によって、吸着パッド１１ａに吸着された貼り合わせマザー基板５０はサーボモータの駆動方向とは反対に回転させられる。

図２は本発明の基板移動装置の動作説明のための概略平面図である。図２に示すように、例えば、駆動シャフト１３ｂが矢印Ａ方向に９０°にわたって回転すると、駆動シャフト１３ｂと一体となった旋回アーム１３ａは、駆動シャフト１３ｂと同様に矢印Ａ方向に９０°にわたって旋回する。これにより、各吸着パッド１１ａによって吸着された貼り合わせマザー基板５０も、駆動シャフト１３ｂを中心として、矢印Ａ方向に９０°にわたって旋回する。駆動シャフト１３ｂが矢印Ａ方向に９０°にわたって回転すると、駆動シャフト１３ｂに一体的に取り付けられた主歯車１３ｄも、同方向に９０°にわたって回転し、これにより、主歯車１３ｄの歯数に対して１／２の歯数の従動歯車１２ｂは、主歯車１３ｄの２倍の回転角度、すなわち、１８０°にわたって、主歯車１３ｄとは反対方向に回転することになる。従って、従動歯車１２ｂに一体的に取り付けられた回転軸１２ａは、旋回アーム１３ａが矢印Ａで示す方向に９０°にわたって旋回している間に、矢印Ａで示す方向とは反対方向（図２に矢印Ｂで示す方向）に１８０°にわたって回転することになる。これにより、回転軸１２ａの下端部に取り付けられた吸着パッド取付板１１ｂは、同様に、駆動シャフト１３ｂを中心として矢印Ａ方向に９０°にわたって旋回する間に、回転軸１２ａを中心として、矢印Ａで示す方向とは反対方向である矢印Ｂで示す方向に、１８０°にわたって回転することになる。

その結果、吸着パッド取付板１１ｂの各吸着パッド１１ａに吸着された貼り合わせマザー基板５０は、図２に示すように、矢印Ｂで示す方向に、回転軸１２ａの軸心位置をずらせつつ、９０°にわたって回動される。本実施形態の基板移動装置では、駆動モータが一つですみ、重量の大きな駆動モータを基板搬送装置の基部の部分に備えるため、アーム部の構造を簡単、軽量にすることができるため、慣性が少なく旋回アームを高速移動させることができ、比較的小さなスペースにおいて、貼り合わせマザー基板５０を水平状態を保持して、９０°にわたって回動させることができる。
従って、本実施形態の基板移動装置では、比較的小さなスペースにおいて、貼り合わせマザー基板５０を水平状態を保持して、９０°にわたって回動させることができる。

図３は、本発明の基板移動装置の他の例を示す斜視図、図４は本発明の基板移動装置の構成を示す概略構成図、図５は本発明の基板移動装置の動作を説明する説明図である。この基板移動装置も、貼り合わせマザー基板５０を所定のサイズに分断する際に、貼り合わせマザー基板５０（図５参照）を所定位置に搬送するために使用される基板搬送装置の支持ビーム（図示せず）に連結ブロック２６を介して取り付けられている。連結ブロック２６には、垂直状態に配置された連結シャフト３１が、ベアリングを介して回転自在に貫通しており、その連結シャフト３１内を、駆動シャフト２５がベアリングを介して回転自在に挿通しており、連結シャフト３１と駆動シャフト２５はそれぞれ独立して回転することができる。

連結シャフト３１の上端部および駆動シャフト２５の上端部は、連結ブロック２６の上方にそれぞれ突出している。連結シャフト３１内を挿通する駆動シャフト２５の上端部には、回転用サーボモータ２７の駆動軸が連結されている。

連結ブロック２６から上方に突出した連結シャフト３１の上端部には、旋回用従動プーリ３２が取付けられており、連結ブロック２６の上方には、この旋回用従動プーリ３２に隣接して、旋回用主プーリ３３が設けられている。旋回用主プーリ３３は、垂直状態で回転可能に配置された回転軸３４に取り付けられている。そして、旋回用主プーリ３３と旋回用従動プーリ３２とにわたって旋回用伝動ベルト３５が巻き掛けられて、これら旋回用主プーリ３３と旋回用従動プーリ３２と旋回用伝動ベルト３５とによってベルト伝動機構が構成されている。旋回用主プーリ３３が取り付けられた回転軸３４は、旋回用サーボモータ３６によって回転駆動されるようになっている。

連結ブロック２６内を貫通する連結シャフト３１の下端部には、中空になった旋回アーム２３の基端部が連結シャフト３１と一体的に回転するように取り付けられている。この旋回アーム２３は、水平状態に配置されており、旋回用サーボモータ３６の回転が、旋回用主プーリ３３、旋回用伝動ベルト３５、旋回用従動プーリ３２を介して連結シャフト３１に伝達されて、連結シャフト３１が回転されることによって、旋回アーム２３の先端部が、連結シャフト３１の軸心を中心として、連結シャフト３１と一体的に旋回するようになっている。

連結シャフト３１内を挿通する駆動シャフト２５の下端部は、中空状態になった旋回アーム２３の内部に位置しており、その下端部に、回転用主プーリ２８が駆動シャフト２５と一体的に回転するように取り付けられている。

旋回アーム２３の先端部内には、垂直状態になった回転軸２２がベアリングを介して回転可能に設けられている。旋回アーム２３内に位置する回転軸２２には、回転用従動プーリ２４が、回転軸２２と一体的に回転するように取り付けられており、この回転用従動プーリ２４と、回転用主プーリ２８との間に、回転用伝動ベルト２９が巻き掛けられている。従って、回転用従動プーリ２４と回転用主プーリ２８と回転用伝動ベルト２９とによってベルト伝動機構が形成されており、回転用サーボモータ２７によって駆動シャフト２５が回転されると、その回転が、回転用主プーリ２８、回転用伝動ベルト２９、回転用従動プーリ２４を介して回転軸２３に伝達されるようになっている。

駆動シャフト２５の回転が伝達される回転軸２２は、旋回アーム２３の下方に設けられた連結体３７に取り付けられている。そして、この連結体３７に、それぞれが水平状態で相互に平行になった４本の吸着パッド支持体２１の一方の端部がそれぞれ取り付けられており、各吸着パッド支持体２１に、貼り合わせマザー基板５０に吸着する４個の吸着パッド２１ａが取付けられている。

本実施形態において、各吸着パッド支持体２１、各吸着パッド２１ａおよび連結体３７が基板保持手段を構成している。また、連結体３７に取り付けられた回転軸２２、回転軸２２に取り付けられた回転用従動プーリ２４、駆動シャフト２５、駆動シャフト２５に取り付けられた回転用主プーリ２８、回転用従動プーリ２４および回転用主プーリ２８に巻き掛けられた回転用伝動ベルト２９、および回転用サーボモータ２７が、基板回転手段を構成している。

さらに、回転軸２２が取り付けられた旋回アーム２３、旋回アーム２３に取り付けられた連結シャフト３１、連結シャフト３１に取り付けられた旋回用従動プーリ３２、旋回用サーボモータ３６、旋回用サーボモータ３６に取り付けられた旋回用主プーリ３３、旋回用主プーリ３３および旋回用従動プーリ３２に巻き掛けられた旋回用伝動ベルト３５が、基板旋回手段を構成している。

このような構成の基板移動装置では、各吸着パッド２１ａが貼り合わせマザー基板５０を吸着した状態になると、図１に示す基板移動装置と同様に、貼り合わせマザー基板５０を９０°にわたって回動させることができる。

この場合、旋回用サーボモータ３６が駆動すると、旋回用サーボモータ３６の回転が、旋回用主プーリ３３、旋回用伝動ベルト３５および旋回用従動プーリ３２を介して連結シャフト３１に伝達されることによって、連結シャフト３１が回転させられる。これにより、連結シャフト３１の下端部に一体的に取り付けられた旋回アーム２３が、例えば、図５に矢印Ａで示す方向に、連結シャフト３１を中心として９０°にわたって旋回させられる。旋回アーム２３の先端部が回動させられることによって、この旋回アーム２３の先端部に取り付けられた回転軸２２が、連結シャフト３１を中心とした円周上を旋回する。

同時に、回転用サーボモータ２７が回転駆動することによって、駆動シャフト２５が回転させられて、駆動シャフト２５の回転が、回転用主プーリ２８、伝動伝動回転用伝動ベルト２９、回転用従動プーリ２４を介して回転軸２２に伝達される。これにより、回転軸２２の下端部の各九着パッド支持体２１を取り付けられた連結体３７が、回転軸２２を中心として回転させられる。

この場合、回転用サーボモータ２７によって回転する駆動シャフト２５と、旋回用サーボモータ３４によって回転される連結シャフト３１の回転方向が相互に反対方向になっており、また、駆動シャフト２５によって回転される回転軸２２の回転角度が、連結シャフト３１の回転角度、すなわち、旋回アーム２３の回転角度の２倍になっている。これにより、回転軸２２の下端部に取り付けられた各吸着パッド支持体２１は、回転軸２２の回転により、回転軸２２の軸心を中心として回転しつつ、連結シャフト３１の軸心を中心とした円周上を旋回させられることになる。

そして、例えば、図５に示すように、連結シャフト３１が矢印Ａ方向に９０°にわたって回転することによって、旋回アーム２３が矢印Ａ方向に９０°にわたって旋回させられる場合に、回転軸２２が、矢印Ａとは反対方向に１８０°にわたって回転させらることによって、回転軸２２の下端部に取り付けられた吸着パッド取付板２１も、同様に、連結シャフト３１を中心として９０°にわたって旋回する間に、回転軸２２を中心として、矢印Ａで示す方向とは反対方向である矢印Ｂで示す方向に、１８０°にわたって回転させらることになる。

これにより、各吸着パッド支持体２１の各吸着パッド２１ａに吸着された貼り合わせマザー基板５０は、図５に示すように、矢印Ｂで示す方向に、回転軸２２の位置をずらせつつ９０°にわたって回動させられる。従って、本実施形態の基板移動装置でも、重量の大きな駆動モータを全て基板搬送装置の基部の部分に備えるため、アーム部の構造を簡単、軽量にすることができるため、慣性が少なく旋回アームを高速移動させることができ、比較的小さなスペースにおいて、貼り合わせマザー基板５０を水平状態を保持して、９０°にわたって回動させることができる。

なお、上記各実施形態では、水平な貼り合わせマザー基板５０を吸着して、貼り合わせマザー基板５０を水平方向に９０°にわたって回動させる場合について説明したか、本発明は、このような構成に限定されるものではなく、垂直状態あるいは垂直状態に対して傾斜した状態に配置されたガラス基板を、９０°以外の所定の角度に回動させることもできる。

また、吸着されて搬送される基板として、上述のように脆性材料基板の一種であるガラス基板を貼り合わせた貼り合わせマザー基板一例として説明したが、これに限らない。基板は、鋼板等の金属基板、木板、プラスチック基板、およびセラミクス基板、ガラス基板、半導体基板等の脆性材料基板であってもよい。

さらに、基板にはマザー基板の他に、マザー基板同士を組み合わせて貼り合わせた貼り合わせ基板、異なるマザー基板を組み合わせて貼り合わせた貼り合わせ基板、マザー基板を組み合わせて積層させた基板が含まれる。

本発明は、例えば表示パネルに使用されるように所定サイズに分断された貼り合わせマザー基板を、比較的小さなスペースにおいて、所定の姿勢になるように移動させることができる。

本発明の基板移動装置の一例を示す一部破断正面図である。本発明の基板移動装置の動作説明のための概略平面図である。本発明の基板移動装置の他の例を示す一部破断正面図である。その基板移動装置の構成を示す正面断面図である。その基板移動装置の動作説明のための概略平面図である。従来技術を示す搬送反転機を構成する搬送反転ロボットの詳細図である。従来技術を示す搬反転機を具備するガラス加工装置のシステム図である。

符号の説明

１１基板保持手段
１１ａ吸着パッド
１１ｂ吸着パッド取付板
１２基板回転手段
１２ａ回転軸
１２ｂ従動歯車
１３基板旋回手段
１３ａ旋回アーム
１３ｂ駆動シャフト
１３ｃサーボモータ
１３ｄ主歯車
２１吸着パッド支持体
２１ａ吸着パッド
２２回転軸
２３旋回アーム
２４回転用従動プーリ
２５駆動シャフト
２７回転用サーボモータ
２８回転用主プーリ、
２９回転用伝動ベルト
３１連結シャフト
３２旋回用従動プーリ
３３旋回用主プーリ
３５旋回用伝動ベルト
３６旋回用サーボモータ
３７連結体

Claims

基板を保持する基板保持手段と、
該基板を保持する該基板保持手段と、前記基板保持手段に対して垂直な第１の軸回りに回転させる基板回転手段と、
該基板保持手段を、該基板保持手段に対して垂直な前記第１の軸とは異なる第２の軸回りに旋回させる基板旋回手段と、
を具備することを特徴とする基板移動装置。
前記基板旋回手段による基板保持手段の旋回が、動力伝達機構によって前記基板回転手段に伝達され、連動して前記基板回転手段を回転させる請求項１に記載の基板移動装置。
前記基板回転手段による基板保持手段の回転方向が、前記基板旋回手段による基板回転手段の旋回方向とは反対になっている請求項２に記載の基板移動装置。
前記基板回転手段による基板保持手段の回転角度が、前記基板旋回手段による基板回転手段の旋回角度の２倍である請求項３に記載の基板移動装置。
前記基板回転手段による基板保持手段の回転駆動と、前記基板旋回手段による基板保持手段の旋回駆動とが独立している請求項１に記載の基板移動装置。
前記基板回転手段の動力源と、前記基板旋回手段の動力源とが独立している請求項５に記載の基板移動装置。
前記基板回転手段による基板保持手段の動力源と、前記基板旋回手段動力源と前記基板移動装置の基部の備える請求項６に記載の基板移動装置。