JP2005101055A - 処理液による基板の処理装置 - Google Patents
処理液による基板の処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005101055A JP2005101055A JP2003329899A JP2003329899A JP2005101055A JP 2005101055 A JP2005101055 A JP 2005101055A JP 2003329899 A JP2003329899 A JP 2003329899A JP 2003329899 A JP2003329899 A JP 2003329899A JP 2005101055 A JP2005101055 A JP 2005101055A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- liquid
- processing
- semiconductor wafer
- processing apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Weting (AREA)
Abstract
【課題】この発明は半導体ウエハの周縁部だけを確実にエッチング処理することができるようにした処理装置を提供することにある。
【解決手段】半導体ウエハの周縁部を処理液によって処理する処理装置において、
半導体ウエハをほぼ水平に保持して周方向に回転駆動する第1の駆動手段1と、半導体ウエハよりもわずかに小径に形成され半導体ウエハと回転中心をほぼ一致させるとともにこの基板の上面に対して所定の間隔で離間して対向可能に設けられた回転盤11と、この回転盤を回転駆動する駆動機構12と、回転駆動される上記回転盤の上面に処理液を供給しその処理液を回転する上記回転盤の周縁部から半導体ウエハの周縁部に流す上部ノズル体13とを具備する。
【選択図】 図1
【解決手段】半導体ウエハの周縁部を処理液によって処理する処理装置において、
半導体ウエハをほぼ水平に保持して周方向に回転駆動する第1の駆動手段1と、半導体ウエハよりもわずかに小径に形成され半導体ウエハと回転中心をほぼ一致させるとともにこの基板の上面に対して所定の間隔で離間して対向可能に設けられた回転盤11と、この回転盤を回転駆動する駆動機構12と、回転駆動される上記回転盤の上面に処理液を供給しその処理液を回転する上記回転盤の周縁部から半導体ウエハの周縁部に流す上部ノズル体13とを具備する。
【選択図】 図1
Description
この発明は基板の周縁部を処理液によって処理するための処理装置に関する。
たとえば、基板としての半導体ウエハに回路パターンを形成する場合、この半導体ウエハに導電膜や絶縁膜などの複数の薄膜からなる積層膜を成膜する工程がある。半導体ウエハに対する成膜は、たとえばCVD装置などによって行なわれる。半導体ウエハに積層膜を形成した場合、その積層膜が半導体ウエハの周縁部にも形成されてしまうということがある。
積層膜が形成された半導体ウエハはスピン処理装置などによって洗浄処理される。その場合、半導体ウエハの周縁部をスピン処理装置のチャックによって保持すると、その周縁部の積層膜が剥離する虞があり、剥離した積層膜はその半導体ウエハや他の半導体ウエハに付着し、汚染の原因になる。
そこで、従来は半導体ウエハに積層膜を形成したならば、その周縁部を外周縁から内方へ1〜3mmの範囲にわたって処理液としてのエッチング液でエッチングし、その周縁部に形成された積層膜を除去するということが行なわれている。半導体ウエハの周縁部をエッチングする方法としては、ノズルによってエッチング液を半導体ウエハの周縁部に噴射するということが行なわれていた。
エッチング液をノズルによって半導体ウエハの周縁部に噴射してエッチングを行なう方法によると、周縁部に噴射されたエッチング液が半導体ウエハのデバイス面に飛散し、デバイス面に不要なエッチングを行なってしまうという虞がある。
しかも、ノズルによって半導体ウエハの周縁部にエッチング液を噴射する場合、半導体ウエハの周縁部をスピン処理装置のチャックによって保持し、この半導体ウエハを回転させながら行なうことになる。しかしながら、半導体ウエハの周縁部をスピン処理装置のチャックで保持して回転させながらエッチングする場合、そのチャックによる保持部分が確実にエッチングされないということもある。
この発明は、基板の周縁部を確実に処理液によって処理することができ、しかもデバイス面に不要な処理をすることがないようにした基板の処理装置を提供することにある。
この発明は、基板の周縁部を処理液によって処理する処理装置において、
上記基板をほぼ水平に保持して周方向に回転駆動する第1の駆動手段と、
上記基板よりもわずかに小径に形成され上記基板と回転中心をほぼ一致させるとともにこの基板の上面に対して所定の間隔で離間して対向可能に設けられた回転盤と、
この回転盤を回転駆動する第2の駆動手段と、
回転駆動される上記回転盤の上面に処理液を供給しその処理液を回転する上記回転盤の周縁部から上記基板の周縁部に流す上部処理液供給手段と
を具備したことを特徴とする基板の処理装置にある。
上記基板をほぼ水平に保持して周方向に回転駆動する第1の駆動手段と、
上記基板よりもわずかに小径に形成され上記基板と回転中心をほぼ一致させるとともにこの基板の上面に対して所定の間隔で離間して対向可能に設けられた回転盤と、
この回転盤を回転駆動する第2の駆動手段と、
回転駆動される上記回転盤の上面に処理液を供給しその処理液を回転する上記回転盤の周縁部から上記基板の周縁部に流す上部処理液供給手段と
を具備したことを特徴とする基板の処理装置にある。
上記回転盤の中心部には、この回転盤と上記基板との間に不活性ガスを供給するガス供給管が接続されていることが好ましい。
回転駆動される上記基板の下面のほぼ全体に処理液を供給する下部処理液供給手段が設けられていることが好ましい。
この発明は、基板の周縁部を処理液によって処理する処理装置において、
回転駆動されるテーブルと、
このテーブルに設けられ上記基板の周縁部を保持するチャックピン及びこのチャックピンによる上記基板の保持を解除したときに上記基板の下面を支持する支持ピンと、
外周面にノズル孔が形成されるとともに上記回転テーブルの中心部上方に配置され回転駆動されることで生じる遠心力に応じた距離で上記ノズル孔から処理液を噴射するノズル体と
を具備したことを特徴とする基板の処理装置にある。
回転駆動されるテーブルと、
このテーブルに設けられ上記基板の周縁部を保持するチャックピン及びこのチャックピンによる上記基板の保持を解除したときに上記基板の下面を支持する支持ピンと、
外周面にノズル孔が形成されるとともに上記回転テーブルの中心部上方に配置され回転駆動されることで生じる遠心力に応じた距離で上記ノズル孔から処理液を噴射するノズル体と
を具備したことを特徴とする基板の処理装置にある。
上記ノズル体には処理液と純水とが選択的に供給可能となっていて、上記ノズル体のノズル孔から最初に純水を噴射してその純水が上記基板の周縁部に噴射される回転数に上記ノズル体の回転数を設定した後、上記ノズル孔から処理液を噴射させることが好ましい。
上記ノズル体の下方には、このノズル体のノズル孔から噴射された処理液が上記基板の周縁部以外の箇所に噴射されるのを制限する噴射範囲規制部材が設けられていることが好ましい。
この発明は、基板の周縁部を処理液によって処理する処理装置において、
所定の直径のリング状の液路を有する処理槽と、
この液路に上記処理液を所定方向に流れるように供給する処理液供給手段と、
上記基板のデバイス面を下にし非デバイス面を上にしてこの非デバイス面を保持し周縁部が上記液路を所定方向に流れる処理液に接触させる保持手段と
を具備したことを特徴とする基板の処理装置にある。
所定の直径のリング状の液路を有する処理槽と、
この液路に上記処理液を所定方向に流れるように供給する処理液供給手段と、
上記基板のデバイス面を下にし非デバイス面を上にしてこの非デバイス面を保持し周縁部が上記液路を所定方向に流れる処理液に接触させる保持手段と
を具備したことを特徴とする基板の処理装置にある。
上記デバイス面に不活性ガスを供給しこのデバイス面に処理液が回り込むのを防止するガス供給手段が設けられていることが好ましい。
上記処理槽には、上記液路の処理液に周縁部を接触させた基板の上面とほぼ同じ高さに、上記液路に供給された処理液を排出す排液部が設けられていることが好ましい。
この発明は、基板の周縁部を処理液によって処理する処理装置において、
上端面と下端面とが開口した円筒状であって内周面に上記基板の周縁部が挿入され螺旋溝が形成された処理体と、
上記螺旋溝に処理液を供給する処理液供給手段と、
上記基板の板面を保持する保持手段と、
この保持手段若しくは上記処理体を回転駆動し上記保持手段に保持された基板を上記螺旋溝に沿って相対的に移動させる駆動手段と
を具備したことを特徴とする基板の処理装置にある。
上端面と下端面とが開口した円筒状であって内周面に上記基板の周縁部が挿入され螺旋溝が形成された処理体と、
上記螺旋溝に処理液を供給する処理液供給手段と、
上記基板の板面を保持する保持手段と、
この保持手段若しくは上記処理体を回転駆動し上記保持手段に保持された基板を上記螺旋溝に沿って相対的に移動させる駆動手段と
を具備したことを特徴とする基板の処理装置にある。
上記処理体は、下側部分が螺旋溝に処理液が供給される処理領域で、上側部分が螺旋溝にリンス液が供給されるリンス領域であることが好ましい。
上記処理体の少なくとも螺旋溝が形成された内周部分は液体が浸透する材料で形成されていることが好ましい。
この発明によれば、処理液を基板の周縁部だけに供給することが可能となるから、デバイス面に不要な処理を行なわずに、周縁部だけを確実に処理することが可能となる。
以下、この発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
(第1の実施の形態)
図1乃至図3はこの発明の第1の実施の形態の処理装置を示し、この処理装置は第1の駆動手段1を備えている。この第1の駆動手段1は外周面に保持溝2が形成された複数、この実施の形態では4つのローラ3を有する。各ローラ3は軸線を垂直にした取付け軸4の上端部に取付け固定されている。
図1乃至図3はこの発明の第1の実施の形態の処理装置を示し、この処理装置は第1の駆動手段1を備えている。この第1の駆動手段1は外周面に保持溝2が形成された複数、この実施の形態では4つのローラ3を有する。各ローラ3は軸線を垂直にした取付け軸4の上端部に取付け固定されている。
各取付け軸4は、平面形状が矩形状の基体6に設けられた軸受7に回転可能に支持されている。4つの軸受7のうちの2つは、残りの2つの軸受7に対して接離する方向、つまり図2に矢示Aで示す方向に移動可能に設けられているこの一対の軸受7は連結板8aで連結され、この連結板8aを介してシリンダ8によって駆動されるようになっている。4つの取付け軸4のうちの、少なくとも1つ、この実施の形態では基体6に固定された2つの軸受7に設けられた一方の取付け軸4は駆動源9によって回転駆動されるようになっている。
4つのローラ3の保持溝2には基板としての半導体ウエハWの周縁部が係合保持される。つまり、シリンダ8によって2つのローラ3が他の2つのローラ3に対して離間する方向の退避位置に駆動された状態で、図示しないロボットによって半導体ウエハWが4つのローラ2の間にデバイス面を上にして供給される。
ついで、シリンダ8によって2つのローラ3が他の2つのローラ2に接近する方向に駆動されることで、半導体ウエハWは周縁部が4つのローラ3の保持溝2によってほぼ水平に保持される。その状態で、1つのローラを駆動源9によって回転駆動すれば、上記半導体ウエハWを周方向に回転させることができるようになっている。
4つのローラ2によって保持された半導体ウエハWの上面側には、半導体ウエハWよりも直径がわずかに小径、たとえば2〜6mm程度、小径に形成された回転盤11が中心を半導体ウエハWの中心とほぼ一致させて配設されている。この回転盤11の中心部の上面にはガス供給管を兼ねる中空状の駆動軸10が設けられている。この駆動軸10には第2の駆動手段を構成する駆動機構12が連結されている。この駆動機構12は、詳細は図示しないが回転駆動源と上下駆動源とを有し、上記回転盤11を上記駆動軸10を介して所定の回転速度で回転駆動するとともに、上記回転盤11と上記半導体ウエハWとの対向間隔を設定することができるようになっている。
上記回転盤11と半導体ウエハWとの対向面間には上記駆動軸10を通じて窒素ガスなどの不活性ガスが供給される。対向面間の中心部に供給された不活性ガスは、径方向外方に向かって流れ、周縁部から流出する。
上記回転盤11の上面には上部処理液供給手段としての上部ノズル体13によって処理液としてのエッチング液が供給される。回転盤11の上面に供給されたエッチング液は、回転盤11が回転駆動されることで、その周辺部に形成されたテーパ部11aから半導体ウエハWの上面のデバイス面に流れる。つまり、エッチング液は、回転盤11の周縁部から露出した半導体ウエハWのデバイス面の周縁部に流れるようになっている。回転盤11が回転駆動されていることで、エッチング液は回転盤11の周方向全長から半導体ウエハWのデバイス面の周縁部にほぼ均一に流出する。
ローラ3によって保持された半導体ウエハWの下方には、半導体ウエハWの下面、つまり非デバイス面の全体にエッチング液を供給する下部処理液供給手段としての下部ノズル体14が設けられている。
上記構成の処理装置によれば、デバイス面を上にした半導体ウエハWの周縁部をローラ3によって保持したならば、回転盤11を半導体ウエハWの上面に所定の間隔、たとえば3mm程度の間隔で離間対向させて接近させる。
ついで、駆動源9によって1つのローラ3を回転駆動し、半導体ウエハWを周方向に回転させるとともに、回転盤11を半導体ウエハWと同方向又は逆方向に回転させた後、この回転盤11の上面に上部ノズル体13からエッチング液を供給する。
回転盤11の上面に供給されたエッチング液は、図3に矢印Bで示すように回転盤11の回転によって生じる遠心力で径方向外方に流れ、テーパ面11aを伝わってその周縁部から下方に落下する。回転盤11は半導体ウエハWよりもわずかに小径に形成されている。そのため、エッチング液は回転盤11の周縁部から半導体ウエハWのデバイス面の周縁部に落下し、そこから外周面に沿って流れるから、半導体ウエハWのデバイス面の周縁部及び外周面がエッチングされることになる。
回転盤1の上面にエッチング液を供給すると同時に、回転盤11と半導体ウエハWとの対向面間に駆動軸10を通じて窒素ガスなどの不活性ガスを供給する。不活性ガスは、図3に矢印Cで示すように回転盤11と半導体ウエハWとの対向面間の隙間Gを通って径方向中心部から外方に流れる。そのため、回転盤11の周縁部から半導体ウエハWのデバイス面の周縁部に流れたエッチング液は、不活性ガスの流れによって半導体ウエハWの径方向内方へ入り込むのが防止されるから、半導体ウエハWのデバイス面の周縁部が必要以上にエッチング処理されるのが防止される。
回転盤11が回転駆動されることで、この回転盤11の上面に供給されたエッチング液は周方向全体からほぼ均一に半導体ウエハWの周縁部に流れ落ちる。そのため、エッチング液による半導体ウエハWのエッチングを、周方向全体にわたって均一に行なうことができる。
ローラ3によって保持された半導体ウエハWは周方向に回転駆動される。そのため、半導体ウエハWの周縁部のローラ3による保持位置が常に変化し、一定にならないから、そのことによっても半導体ウエハWの周縁部を周方向にわたって均一にエッチングすることができる。
上部ノズル体13から回転盤1の上面にエッチング液を供給すると同時に、下部ノズル体14から半導体ウエハWの下面の非デバイス面全体にエッチング液を噴射すれば、半導体ウエハWは周縁部ととともに非デバイス面を同時にエッチング処理することができる。
(第2の実施の形態)
図4乃至図6はこの発明の第2の実施の形態の処理装置としてのスピン処理装置を示し、このスピン処理装置はカップ体21を備えている。このカップ体21の底部には複数の排出管22が周方向に所定間隔で接続されている。各排出管22は図示しない排気ポンプに連通している。
なお、上記カップ体21は下カップ21aと上カップ21bとを有し、上カップ21bは図示しないシリンダなどの駆動機構によって上下方向に駆動可能になっている。
図4乃至図6はこの発明の第2の実施の形態の処理装置としてのスピン処理装置を示し、このスピン処理装置はカップ体21を備えている。このカップ体21の底部には複数の排出管22が周方向に所定間隔で接続されている。各排出管22は図示しない排気ポンプに連通している。
なお、上記カップ体21は下カップ21aと上カップ21bとを有し、上カップ21bは図示しないシリンダなどの駆動機構によって上下方向に駆動可能になっている。
上記カップ体21内には保持部としての回転テーブル23が設けられている。この回転テーブル23の上面の周辺部には周方向に所定間隔で複数の支持部材24が回動可能に設けられている。各支持部材24の上端面には図示しないたとえば傾斜面などからなる段部を有するチャックピン25が支持部材24の回転中心から偏心した位置に設けられている。
上記回転テーブル23には基板としての半導体ウエハWがデバイス面を上にして供給される。つまり、回転テーブル23に供給された半導体ウエハWは、周縁部の下面が上記チャックピン25の段部に係合させられる。その状態で上記支持部材24を回転させると、上記チャックピン25が偏心回転するから、半導体ウエハWの周縁部が保持される。なお、支持部材24は、図示しないばねによってチャックピン25が半導体ウエハWを保持する回転方向に付勢されていて、上記ばねの付勢力に抗して回転させることで、保持状態を解除できるようになっている。
上記回転テーブル23は制御モータ31によって回転駆動される。この制御モータ31は、筒状の固定子32内に同じく筒状の回転子33が回転可能に挿入されてなり、この回転子33に上記回転テーブル23が動力伝達部材33aを介して連結されている。
上記制御モータ31は制御装置34によって回転が制御される。それによって、上記回転テーブル23は上記制御装置34により所定の回転数で回転させることができる。
上記制御モータ31は制御装置34によって回転が制御される。それによって、上記回転テーブル23は上記制御装置34により所定の回転数で回転させることができる。
上記回転子33内には筒状の固定軸35が挿通されている。この固定軸35の上端には上記回転テーブル23の上面側に位置するノズルヘッド36が設けられている。つまり、ノズルヘッド36は回転テーブル23と一緒に回転しない状態で設けられている。このノズルヘッド36には処理液としてのエッチング液を噴射する第1の下部ノズル体37及びリンス液を噴射する第2の下部ノズル体38が設けられている。
それによって、上記下部ノズル体37,38から回転テーブル23に保持された半導体ウエハWの下面の中央部分に向けて処理液及びリンス液を選択的に噴射することができるようになっている。つまり、半導体ウエハWは下面をエッチング及びリンス処理することができるようになっている。
上記回転テーブル23の上面側は乱流防止カバー39によって覆われている。この乱流防止カバー39は回転テーブル23に保持された半導体ウエハWの下面側に乱流が発生するのを防止するようになっており、その中央部分には上記各ノズル37,38から半導体ウエハWの下面にエッチング液やリンス液を噴射可能とする透孔40が開口形成されている。
上記回転テーブル23には、上記チャックピン25よりも径方向内方に複数の支持ピン42、この実施の形態では4本の支持ピン42が後述するように上下動可能かつ周方向に所定間隔で設けられている。図5(a),(b)は回転テーブル23に対する支持ピン42の取付け構造を示している。すなわち、回転テーブル23には取付け孔43が上下面を貫通して形成されている。この取付け孔43には可動軸44が上下動可能に挿通されている。可動軸44の下端面にはねじ45によって下部ブッシュ46が取付けられている。
上記可動軸44は上記回転テーブル23の上面側に設けられた上部ブッシュ47に軸芳香に移動可能に支持されており、上端には下面が開口した筒状のカバー48が一体形成されている。上記下部ブッシュ46と上部ブッシュ47との間には可動軸44を下方に付勢したばね49が設けられている。そして、上記可動軸44の上端の上記カバー48の上面に上記支持ピン42がほぼ垂直に螺着されている。
支持ピン42はチャックピン25によって回転テーブル23に保持された半導体ウエハWの下面よりも低い位置にあり、チャックピン25による保持状態が解除されたときに上昇することで、上記半導体ウエハWの下面を押圧して所定の高さに上昇させて支持するようになっている。なお、上記乱流防止カバー39には上記カバー48が突出可能な開口39aが形成されている。
図4に示すように、上記動力伝達部材33aの外周には押圧リング51が上下動可能に設けられている。この押圧リング51には連結部材52の一端が連結されている。この連結部材52の他端はシリンダ53に連結されている。シリンダ53は連結部材52を介して上記押圧リング51を上下動させる。
押圧リング51が図5(a)に示す下降位置から図5(b)に示すように上昇位置に駆動されると、この押圧リング51の上面によって下部ブッシュ46が押圧されるから、上端に支持ピン41が立設された可動軸44がばね49の付勢力に抗して上昇方向に駆動される。それによって、上記支持ピン41が半導体ウエハWを上昇させて支持する。つまり、半導体ウエハWはチャックピン25による周縁部の保持状態が解除され、支持ピン41によって下面が支持されることになる。
上記カップ体1の側方には駆動機構としてのアーム体55が設けられている。このアーム体55は垂直部56と、この垂直部56の上端に基端部が連結された水平部57とを有する。上記垂直部56の下端は回転モータ58に連結されている。回転モータ58はアーム体55を水平方向に所定の角度で回転駆動するようになっている。
上記回転モータ58は、図示しないリニアガイドによって上下方向にスライド可能に設けられた可動板59に取付けられている。この可動板59は上下駆動シリンダ61によって上下方向に駆動されるようになっている。
上記アーム体55の水平部57の先端部には、モータなどの回転駆動源62が設けられ、この回転駆動源62の回転軸62aには上部ノズル体63が設けられている。上部ノズル体63は円盤状をなしていて、外周面には複数の液用ノズル孔64が開口形成され、下面には図示しないが窒素などの不活性ガスを噴射する気体用ノズル孔が開口形成されている。なお、上記回転駆動源62は上記制御装置34によって回転数を設定することができるようになっている。
上記上部ノズル体63には上記回転軸を介して図示しない処理液としてのエッチング液と純水とが選択的に供給されるようになっている。上部ノズル体63に供給されてエッチング液又は純水はその外周面に開口した液用ノズル孔64から噴射する。また、気体用ノズル孔からは不活性ガスを噴射することができるようになっている。
上部ノズル体63の液用ノズル孔64から径方向外方へ噴射されるエッチング液と純水との半導体ウエハWの中心から径方向外方への飛散距離は、エッチング液と純水との供給圧力、上部ノズル体63の半導体ウエハWの上面からの高さ、及び上部ノズル体63の回転速度によって決定される。
したがって、たとえばエッチング液と純水との供給圧力及び上部ノズル体63の高さを一定にすれば、上記エッチング液と純水との飛散距離を上部ノズル体63の回転数によって設定することができる。
つぎに、上記構成のスピン処理装置によって所定の処理が終えた半導体ウエハW又はスピン処理装置によって所定の処理を行なう前の半導体ウエハWの周縁部をエッチング処理する場合について説明する。
まず、上記半導体ウエハWがデバイス面を上にして回転テーブル23のチャックピン25によって保持されている場合には、このチャックピン25による半導体ウエハWの保持状態を解除する。ついで、シリンダ53を作動させ、連結部材52を介して押圧リング51を上昇させる。それによって、上端に支持ピン42が設けられた可動軸44が押圧されて上昇するから、半導体ウエハWはチャックピン25による周縁部の保持状態が開放されて保持される。
つぎに、アーム体55の水平部57を回動させて上部ノズル体63を半導体ウエハWの中心部上方の所定の高さに位置決めしたのち、この上部ノズル体63の液用ノズル孔64から純水を噴射させながら回転駆動源62を作動させ、上記上部ノズル体63を回転させる。上部ノズル体63の回転数は制御装置34によって徐々に増加させてゆく。それによって、上部ノズル体63の液用ノズル孔64から噴射される純水の飛散距離が回転数に比例して大きくなる。
図6に矢印Xで示すように、上部ノズル体63の回転数が上昇し、上記液用ノズル孔64から噴射する純水が半導体ウエハWの周縁部に到達したならば、上部ノズル体63の回転数をその状態で維持する。そして、上部ノズル体63に対して純水の供給を停止し、エッチング液を供給する。
それによって、液用ノズル孔64から噴射するエッチング液は半導体ウエハWの周縁部だけに供給されることになるから、その周縁部だけがエッチングされることになる。このとき、第1の下部ノズル体37からもエッチング液を噴射し、半導体ウエハWの下面全体を同時にエッチングしてもよい。
上記液用ノズル孔64からエッチング液を噴射して半導体ウエハWの周縁部をエッチングする際、図6に矢印Yで示すように上部ノズル体63の下面に形成された図示しない気体用ノズル孔から半導体ウエハWの中心部分に不活性ガスを供給すれば、中心部分から径方向外方に向かって流れるから、半導体ウエハWの周縁部に供給されたエッチング液が半導体ウエハWの周縁部から径方向内方へ流れるのを阻止することができる。そのため、半導体ウエハWは周縁部だけがエッチングされ、上面のデバイスが形成された部分がエッチングされることがない。
半導体ウエハWにエッチング液を所定時間供給したならば、上部ノズル体63へのエッチング液の供給を停止して純水を供給する。このとき、上部ノズル体63の回転数は低下させずに維持しておく。それによって、エッチング液が半導体ウエハWの周縁部よりも径方向内方の部分、つまりエッチングする必要のない部分に滴下するのが防止される。
エッチング液から純水への切り替えが終了し、上部ノズル体63内のエッチング液が純水に置換されたならば、上部ノズル体63を所定時間回転させた後、その回転を停止する。それによって、半導体ウエハWの周縁部に純水が所定時間供給されるから、エッチング液によってエッチングされた半導体ウエハWの周縁部が純水によってリンス処理されることになる。このとき、半導体ウエハWの下面に第2の下部ノズル体38によって半導体ウエハWの下面に純水を供給すれば、その下面全体をリンス処理することができる。
このように、上部ノズル体63を回転させ、その回転によって生じる遠心力で半導体ウエハWの周縁部にエッチング液を供給するようにした。エッチングの開始時には、上部ノズル体63の回転数が所定の回転数、つまり液用ノズル孔64から噴射されるエッチング液が半導体ウエハWの周縁部だけに供給されるまでは純水を供給し、またエッチングの終了時には、液用ノズル孔64に純水を供給してから上部ノズル体63の回転を停止するようにした。
そのため、エッチング液が半導体ウエハWの周縁部以外の部分に供給されることがないから、半導体ウエハWの周縁部だけをエッチングし、周縁部以外のデバイスが形成された部分がエッチングされることがない。
つまり、上部ノズル体63の回転数が、エッチング液に半導体ウエハWの周縁部に到達する遠心力が作用しない回転数の場合、その液用ノズル孔64からは純水が供給される。そのため、上部ノズル体63の回転数が所定の回転数以下では半導体ウエハWの周縁部以外の部分に純水が供給されることになるから、半導体ウエハWのデバイス面がエッチング液によって不要にエッチングされることなく、周縁部だけをエッチングすることができる。
半導体ウエハWの周縁部をエッチングする際、チャックピン25による半導体ウエハWの周縁部の保持状態を解除し、支持ピン42によって下面を支持するようにした。半導体ウエハWの周縁部がチャックピン25よって保持されていると、その部分にエッチング液が回り込まず、確実にエッチングされないということがある。しかしながら、支持ピン42によって半導体ウエハWの下面を支持してエッチングすれば、周縁部全体を均一にエッチングすることが可能となる。
上部ノズル体63の液用ノズル孔64には純水とエッチング液とを選択的に供給することが可能である。そのため、エッチング液を供給した後で純水を供給すれば、エッチングされた半導体ウエハWの周縁部をエッチング処理に連続してリンス処理することができる。
このように、スピン処理装置によって半導体ウエハWのエッチングを行なうことができるようにしたから、そのエッチング処理をスピン処理装置によるスピン処理と連続して行なうことができる。そのため、生産性の向上を図ることができるばかりか、エッチング処理専用の装置を必要としないという利点を有する。
図7は第2の実施の形態に変形例である。この実施の形態では上部ノズル体63の下面側に傘状の噴射範囲規制部材66が設けられている。この噴射範囲規制部材66は半導体ウエハWの直径よりもわずかに小径に形成されている。つまり、噴射範囲規制部材66の外周から半導体ウエハWの周縁部が露出するようになっている。
それによって、上部ノズル体63の液用ノズル孔64から噴射されたエッチング液が半導体ウエハWの周縁部以外の箇所に付着するのを防止できるから、半導体ウエハWの周縁部以外がエッチングされるのを防止することができる。
(第3の実施の形態)
図8と図9はこの発明の第3の実施の形態を示す。この実施の形態の処理装置は筐体70を有する。この筐体70内には処理槽71が設けられている。この処理槽71は中央部に開口部72が形成されたリング状をなしていて、上記開口部72の周囲にはリング状の液路73が形成されている。上記開口部72の直径は、周縁部がエッチング処理される半導体ウエハWの直径よりもわずかに小さく設定されている。
図8と図9はこの発明の第3の実施の形態を示す。この実施の形態の処理装置は筐体70を有する。この筐体70内には処理槽71が設けられている。この処理槽71は中央部に開口部72が形成されたリング状をなしていて、上記開口部72の周囲にはリング状の液路73が形成されている。上記開口部72の直径は、周縁部がエッチング処理される半導体ウエハWの直径よりもわずかに小さく設定されている。
上記液路73には処理液としてのエッチング液Lが複数の処理液供給手段としての液用ノズル体74によって供給される。各液用ノズル体74は図8に示すように先端部を液路73に対して同じ周方向、この実施の形態では反時計方向に向けて設けられている。それによって、各液用ノズル体74から液路73に供給されたエッチング液Lは、図8に矢印で示すように液路73を反時計方向に向かって流れる。
上記液路73は内壁73aと外壁73bを有する。外壁73bには内壁73aの上端よりもわずかに高い位置に排液部としての複数の排液孔75が周方向に所定間隔で設けられている。後述するように、液路73に供給されて排液孔75から流出したエッチング液Lは処理槽71の下方に設けられたドレンパン76で受けられてから、このドレンパン76に接続された複数の排液管77を通じて排出される。
周縁部がエッチング処理される半導体ウエハWは、図7に示すように吸引チャック78に非デバイス面が吸着され、デバイス面を下にして上記処理槽71に供給される。つまり、半導体ウエハWは、デバイス面の周縁部が上記液路73に対向し、しかもデバイス面が内壁73aの上端に対して近接する状態で位置決めされる。
上記吸引チャック78の周囲には半導体ウエハWの上面の周辺部から外周に向かって不活性ガスを供給する環状の供給路79が形成されている。処理槽71の所定の位置に位置決めされた半導体ウエハWの下面には環状の噴射口を有する下部ノズル体81によって半導体ウエハWの下面(デバイス面)の周辺部に径方向外方に向かって流れるよう不活性ガスが供給される。
なお、上記筐体70の側壁には、上記下部ノズル体81から半導体ウエハWのデバイス面に供給された不活性ガスを排気する複数の排気管82が周方向に所定間隔、たとえば90度間隔で接続されている。
このように構成された処理装置によれば、吸引チャック78によって非デバイス面が吸着された半導体ウエハWは、デバイス面の周縁部を処理槽71の液路73に対向させて位置決めされる。上記液路73には液用ノズル体74によって供給されたエッチング液が所定方向である、反時計方向に沿って流れている。そのため、半導体ウエハWの周縁部は、液路73を流れるエッチング液によってエッチングされることになる。
吸着チャック78によって保持された半導体ウエハWの上面の周辺部には、この吸着チャック78の外側に設けられた環状の供給路79から不活性ガスが外周に向かって供給され、下面のデバイス面の周辺部には下部ノズル体81から不活性ガスが外周に向かって環状に供給される。
それによって、半導体ウエハWのデバイス面の周縁部を液路73に供給されたエッチング液Lに接触させても、そのエッチング液Lが半導体ウエハWの周縁部から上下面の径方向内方へ流入するのが阻止されるから、半導体ウエハWの周縁部以外の部分がエッチングされるのが防止される。
しかも、液路73に供給されたエッチング液Lはこの液路73を所定方向に流れている。そのため、半導体ウエハWの周縁部にはエッチング液が均一に接触するから、その周縁部が均一にエッチングされることになる。
(第4の実施の形態)
図10はこの発明の第4の実施の形態の処理装置を示す。この処理装置は円筒状の処理体91を備えている。この処理体91は金属や合成樹脂などの剛性を備えた材料で形成された外筒部92と、この外筒部92の内に一体的に設けられた内筒部93とによって形成されていて、軸線をほぼ垂直にして固定的に設けられている。
図10はこの発明の第4の実施の形態の処理装置を示す。この処理装置は円筒状の処理体91を備えている。この処理体91は金属や合成樹脂などの剛性を備えた材料で形成された外筒部92と、この外筒部92の内に一体的に設けられた内筒部93とによって形成されていて、軸線をほぼ垂直にして固定的に設けられている。
上記内筒部93は、液体が浸透可能で、しかも半導体ウエハWが接触しても半導体ウエハWを傷付けることのない柔らかさを備えた材料、たとえばスポンジなどによって形成されている。この内筒部93の内周面には螺旋溝94が上下方向全長にわたって形成されている。上記内筒部93の軸方向中途部はたとえばゴムなどのように液体を浸透させることのない弾性材料によってリング状に形成された遮液部材95を介して下筒部93aと上筒部93bとに隔別されている。
上記下筒部93aの螺旋溝94の上部にはエッチング液供給管96が軸線を螺旋溝94に対して接線方向に向けて接続されている。このエッチング液供給管96からは下筒部93aの螺旋溝94にエッチング液が供給される。下筒部93aの螺旋溝94に供給されたエッチング液はその螺旋溝94を通って下方へ流れるとともに、大半はスポンジで作られた下筒部93aに浸透する。
下筒部93aの下部には螺旋溝94に連通してエッチング液排出管97が接続されている。下筒部93aの螺旋溝94を流れたエッチング液及び下筒部93aに浸透して下方へ流れるエッチング液は上記エッチング液排出管97から排出されるようになっている。
上記上筒部93bの上部には純水などのリンス液を螺旋溝94に供給するリンス液供給管98が軸線を螺旋溝94の接線方向に向けて接続されている。上筒部93bの下部には螺旋溝94に沿って流れたリンス液及び上筒部93bに浸透して下方へ流れたリンス液を排出するリンス液排出管99が接続されている。
なお、上筒部93bに浸透したリンス液は遮液部材95によって下筒部93bに浸透するのが阻止されるようになっている。
したがって、上記処理体91の遮液部材95よりも下側は、エッチング液が供給されることで、基板としての半導体ウエハWの周縁部を後述するごとくエッチング処理する処理領域となっており、上側がリンス液によって半導体ウエハWのエッチングされた周縁部をリンス処理するリンス領域となっている。
したがって、上記処理体91の遮液部材95よりも下側は、エッチング液が供給されることで、基板としての半導体ウエハWの周縁部を後述するごとくエッチング処理する処理領域となっており、上側がリンス液によって半導体ウエハWのエッチングされた周縁部をリンス処理するリンス領域となっている。
上記処理体91の下方には、半導体ウエハWの下面を吸着保持する吸着チャック101が設けられている。この吸着チャック101はねじ軸102の上端に取付けられている。このねじ軸102は上端部がナット体103に螺合され、下端は昇降盤104の上面に設けられた駆動手段としてのモータ105の回転軸105aに連結されている。
上記ナット体103は固定部106に固定された支持部材107に取付け固定されている。上記昇降盤104の両側にはスライダ108が設けられている。このスライダ108はベース盤109に立設されたガイド部材110のガイド溝111に移動可能に係合している。
それによって、上記モータ105が作動してその回転軸105aによりねじ軸102が回転駆動されると、このねじ軸102は回転しながらナット体103に対して上下動するようになっている。
上記ねじ軸102のねじのピッチと、上記処理体91の内筒部93に形成された螺旋溝94のピッチとは同じに形成されている。また、半導体ウエハWの外形寸法と、螺旋溝94の内径寸法とはほぼ同じに設定されている。
したがって、上記ねじ軸102がモータ105により、ナット体103に対して上昇する方向に回転駆動されると、ねじ軸102の上端の吸着チャック101に保持された半導体ウエハWは、周縁部を上記螺旋溝94に挿入係合させ、この螺旋溝94に沿って上昇するようになっている。
つぎに、上記構成の処理装置によって半導体ウエハWの周縁部をエッチング処理する場合について説明する。まず、図示しないロボットなどによって周縁部が未処理の半導体ウエハWを吸着チャック101に受け渡して吸着保持する。
エッチング液供給管96から下筒部93aにエッチング液を供給するとともに、リンス液供給管98から上筒部93bにリンス液を供給したならば、モータ105を作動させてねじ軸102を回転させながら上昇させる。
ねじ軸102が回転しながら上昇することで、吸着チャック101に吸着保持された半導体ウエハWは下筒部93aの螺旋溝94に周縁部を係合させて処理体91内を上昇する。下筒部93aにはエッチング液供給管96によってエッチング液が供給され、そのエッチング液は螺旋溝94に沿って流れるとともに下筒部93aに浸透する。
それによって、図11に鎖線で示すように螺旋溝94に周縁部を係合させて回転しながら上昇する半導体ウエハWは、その周縁部がエッチング液によってエッチングされることになる。
半導体ウエハWは下筒部93aの螺旋溝94を通過すると、上筒部93bの螺旋溝94に移行する。上筒部93bの螺旋溝94にはリンス液が供給されている。そのため、下筒部93aの螺旋溝94を通過することで周縁部がエッチングされた半導体ウエハWは、エッチング液が付着残留する周縁部がリンス液によってリンス処理されることになる。そして、同図に鎖線で示すように、半導体ウエハWの処理体91の上端開口から上方へ出ることで、ねじ軸102の回転上昇が停止してリンス処理が終了する。それと同時に、図示しないロボットによって吸着チャック101から受け取られ、ケース(図示せず)に収容される。
エッチング及びリンス処理された半導体ウエハWが吸着チャック101除去されると、ねじ軸102がモータ105によって逆方向に回転駆動される。そして、吸着チャック101が処理体91の下端開口よりも下方に下降したならば、ねじ軸102の回転が停止し、未処理の半導体ウエハWが供給されるまで待機状態となる。
このように、この実施の形態の処理装置によれば、半導体ウエハWの周縁部を処理体91の内周面に形成された螺旋溝94に係合させ、回転させながら上昇させることで、その周縁部をエッチング処理することができる。つまり、半導体ウエハWは螺旋溝94に係合した周縁部だけを確実にエッチング処理することが可能となる。
処理体91の下筒部93aにはエッチング液が供給され、上筒部93bにはリンス液が供給される。そのため、半導体ウエハWの周縁部に、エッチング処理と連続してリンス処理を行うことが可能となるから、生産性の向上を図ることができる。
処理体91の下筒部93aと上筒部93bは弾性を有するとともに、液体が浸透可能な材料によって作られている。そのため、各筒部93a,93bが半導体ウエハWの周縁部を傷付けることがないばかりか、各筒部93a,93bの螺旋溝94はそれぞれエッチング液及びリンス液を十分に含んでいるため、半導体ウエハWの周縁部に対して十分にエッチング処理及びリンス処理を行うことができる。
上筒部93bに供給されたリンス液は、遮液部材95によって下筒部93aに浸透するのが阻止される。そのため、リンス液供給管98から上筒部93bに供給されたリンス液が下筒部93aに流れ込んで、下筒部93aに供給されたエッチング液がリンス液によって希釈されるということがないから、下筒部93aでのエッチング処理を確実に行なうことができる。
処理体91にはエッチング処理領域が下側で、リンス処理領域が上側に形成されている。そのため、リンス処理領域にエッチング液が入り込むことがないから、リンス処理領域でのリンス処理を確実に行うことができる。
この実施の形態においては、半導体ウエハWを回転させながら上昇させるようにしたが、半導体ウエハWは回転だけさせ、処理体を下降させるようにしてもよく、或いは処理体を回転させながら下降させるようにしてもよい。
処理体の下方に昇降盤を配置したが、処理体の上方に昇降盤を配置し、吸着チャックによって半導体ウエハの上面を吸着保持し、この吸着チャックを処理体の下方から上方へ上昇させることで、半導体ウエハに対してエッチングとリンスとの処理を順次行なうようにしてもよい。
1…第1の駆動手段、10…駆動軸(ガス供給管)11…回転盤、12…駆動機構(第2の駆動手段)、13…上部ノズル体(上部処理液供給手段)、14…下部ノズル体(下部処理液供給手段)、23…回転テーブル、25…チャックピン、42…支持ピン、63…上部ノズル体、64…液用ノズル孔、66…噴射範囲規制部材、71…処理槽、73…液路、74…液用ノズル体(処理液供給手段)、75…排液孔(排液部)、78…吸着チャック(保持手段)、81…下部ノズル体(ガス供給手段)、91…処理体、94…螺旋溝、96…エッチング液供給管(処理液供給手段)、101…吸着チャック(保持手段)、102…ねじ軸(駆動手段)、105…モータ(駆動手段)。
Claims (12)
- 基板の周縁部を処理液によって処理する処理装置において、
上記基板をほぼ水平に保持して周方向に回転駆動する第1の駆動手段と、
上記基板よりもわずかに小径に形成され上記基板と回転中心をほぼ一致させるとともにこの基板の上面に対して所定の間隔で離間して対向可能に設けられた回転盤と、
この回転盤を回転駆動する第2の駆動手段と、
回転駆動される上記回転盤の上面に処理液を供給しその処理液を回転する上記回転盤の周縁部から上記基板の周縁部に流す上部処理液供給手段と
を具備したことを特徴とする基板の処理装置。 - 上記回転盤の中心部には、この回転盤と上記基板との間に不活性ガスを供給するガス供給管が接続されていることを特徴とする請求項1記載の基板の処理装置。
- 回転駆動される上記基板の下面のほぼ全体に処理液を供給する下部処理液供給手段が設けられていることを特徴とする請求項1記載の基板の処理装置。
- 基板の周縁部を処理液によって処理する処理装置において、
回転駆動されるテーブルと、
このテーブルに設けられ上記基板の周縁部を保持するチャックピン及びこのチャックピンによる上記基板の保持を解除したときに上記基板の下面を支持する支持ピンと、
外周面にノズル孔が形成されるとともに上記回転テーブルの中心部上方に配置され回転駆動されることで生じる遠心力に応じた距離で上記ノズル孔から処理液を噴射するノズル体と
を具備したことを特徴とする基板の処理装置。 - 上記ノズル体には処理液と純水とが選択的に供給可能となっていて、上記ノズル体のノズル孔から最初に純水を噴射してその純水が上記基板の周縁部に噴射される回転数に上記ノズル体の回転数を設定した後、上記ノズル孔から処理液を噴射させることを特徴とする請求項4記載の基板の処理装置。
- 上記ノズル体の下方には、このノズル体のノズル孔から噴射された処理液が上記基板の周縁部以外の箇所に噴射されるのを制限する噴射範囲規制部材が設けられていることを特徴とする請求項4記載の基板の処理装置。
- 基板の周縁部を処理液によって処理する処理装置において、
所定の直径のリング状の液路を有する処理槽と、
この液路に上記処理液を所定方向に流れるように供給する処理液供給手段と、
上記基板のデバイス面を下にし非デバイス面を上にしてこの非デバイス面を保持し周縁部が上記液路を所定方向に流れる処理液に接触させる保持手段と
を具備したことを特徴とする基板の処理装置。 - 上記デバイス面に不活性ガスを供給しこのデバイス面に処理液が回り込むのを防止するガス供給手段が設けられていることを特徴とする請求項7記載の基板の処理装置。
- 上記処理槽には、上記液路の処理液に周縁部を接触させた基板の上面とほぼ同じ高さに、上記液路に供給された処理液を排出す排液部が設けられていることを特徴とする請求項7記載の基板の処理装置。
- 基板の周縁部を処理液によって処理する処理装置において、
上端面と下端面とが開口した円筒状であって内周面に上記基板の周縁部が挿入され螺旋溝が形成された処理体と、
上記螺旋溝に処理液を供給する処理液供給手段と、
上記基板の板面を保持する保持手段と、
この保持手段若しくは上記処理体を回転駆動し上記保持手段に保持された基板を上記螺旋溝に沿って相対的に移動させる駆動手段と
を具備したことを特徴とする基板の処理装置。 - 上記処理体は、下側部分が螺旋溝に処理液が供給される処理領域で、上側部分が螺旋溝にリンス液が供給されるリンス領域であることを特徴とする請求項10記載の基板の処理装置。
- 上記処理体の少なくとも螺旋溝が形成された内周部分は液体が浸透する材料で形成されていることを特徴とする請求項10又は請求項11に記載の基板の処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003329899A JP2005101055A (ja) | 2003-09-22 | 2003-09-22 | 処理液による基板の処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003329899A JP2005101055A (ja) | 2003-09-22 | 2003-09-22 | 処理液による基板の処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005101055A true JP2005101055A (ja) | 2005-04-14 |
Family
ID=34459021
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003329899A Pending JP2005101055A (ja) | 2003-09-22 | 2003-09-22 | 処理液による基板の処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005101055A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008300454A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP2008300452A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP2008300453A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP2009059826A (ja) * | 2007-08-30 | 2009-03-19 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP2011044495A (ja) * | 2009-08-19 | 2011-03-03 | Mtk:Kk | エッチング処理装置 |
JP2015153989A (ja) * | 2014-02-18 | 2015-08-24 | 株式会社ディスコ | ウェットエッチング装置 |
CN114669548A (zh) * | 2022-05-26 | 2022-06-28 | 智程半导体设备科技(昆山)有限公司 | 一种单片式半导体基材清洗机 |
-
2003
- 2003-09-22 JP JP2003329899A patent/JP2005101055A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008300454A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP2008300452A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP2008300453A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP2009059826A (ja) * | 2007-08-30 | 2009-03-19 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP2011044495A (ja) * | 2009-08-19 | 2011-03-03 | Mtk:Kk | エッチング処理装置 |
JP2015153989A (ja) * | 2014-02-18 | 2015-08-24 | 株式会社ディスコ | ウェットエッチング装置 |
CN114669548A (zh) * | 2022-05-26 | 2022-06-28 | 智程半导体设备科技(昆山)有限公司 | 一种单片式半导体基材清洗机 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6793769B2 (en) | Substrate processing apparatus | |
US8821681B2 (en) | Apparatus and method for wet treatment of disc-like articles | |
KR100935280B1 (ko) | 처리액 공급노즐 및 처리액 공급장치 | |
US9620393B2 (en) | Substrate treatment apparatus and substrate treatment method | |
KR100706666B1 (ko) | 기판을 처리하는 장치 및 방법, 그리고 이에 사용되는분사헤드 | |
US9786488B2 (en) | Liquid processing method, memory medium and liquid processing apparatus | |
KR101796833B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
TW201506993A (zh) | 液體處理裝置 | |
KR20080033211A (ko) | 매엽식 기판세정방법 | |
CN107275260B (zh) | 基板处理装置以及基板处理方法 | |
US7300598B2 (en) | Substrate processing method and apparatus | |
US20060185695A1 (en) | Method and apparatus for cleaning semiconductor wafer | |
JP2008187083A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
KR101205828B1 (ko) | 기판 세정 방법 | |
JP2005101055A (ja) | 処理液による基板の処理装置 | |
KR20080072230A (ko) | 스캔 분사형 노즐 구동부를 가진 기판 처리 장치 | |
JP2007335587A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2003017452A (ja) | 基板処理方法及び基板処理装置 | |
JP2008159872A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
KR100745482B1 (ko) | 기판 이면 처리 장치 | |
JP2005217138A (ja) | スピン処理装置及びスピン処理方法 | |
JP4112923B2 (ja) | 基板の処理装置及び処理方法 | |
JP6555706B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
CN109075051B (zh) | 基板处理装置以及基板处理方法 | |
JP2018142593A (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 |