JP2005099303A - 基板貼り合わせ装置、電気光学装置の製造方法、及び電気光学装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の基板貼り合わせ装置は、基板10,20の各々を対向状態にて保持する上部テーブル303及び下部テーブル304と、前記両テーブルを収容する真空チャンバ302と、前記上部テーブル303を垂直移動させる垂直移動テーブル310と、前記下部テーブル304を前記基板面方向に移動させる水平移動テーブル350とを備えた基板貼り合わせ部280と、該基板貼り合わせ部280の前段に設けられて前記基板10,20の粗位置決めを行う基板位置調整部270とを備えている。
【選択図】 図10
Description
(液晶装置)
まず、本発明に係る製造方法により得られる電気光学装置の一形態である液晶装置について説明する。
図1は、本発明に係る液晶装置について、各構成要素とともに示す対向基板側から見た平面図であり、図2は図1のH−H’線に沿う断面図である。図3は、液晶装置の画像表示領域においてマトリクス状に形成された複数の画素における各種素子、配線等の等価回路図で、図4は、液晶装置の部分拡大断面図である。なお、以下の説明に用いた各図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならせてある。
また、液晶装置100をカラー表示用として構成する場合には、対向基板20において、TFTアレイ基板10の後述する各画素電極に対向する領域に、例えば、赤(R)、緑(G)、青(B)のカラーフィルタをその保護膜とともに形成する。
次に、上記液晶装置100の製造方法に適用できる、本発明に係る基板貼り合わせ装置を備えたデバイス製造装置について、図面を参照して説明する。本デバイス製造装置は、先の液晶装置100の製造工程中、基板上への液晶及びシール材の配置と、真空下での2枚の基板の貼り合わせとを行うものである。
尚、以下では、TFTアレイ基板10を下基板、対向基板20を上基板と称して説明する。
材料供給部250は、図6に示すように、基板を保持してX方向、Y方向及びθ方向(Z軸と平行な軸周りの回転方向)に移動自在なテーブル65と、テーブル65の上方に配設され液晶材料(電気光学材料)を吐出、滴下する液滴吐出ヘッド66と、液滴吐出ヘッド66の近傍に配設されシール材を塗布するシール材塗布部67とを主体に構成されている。
なお、液晶材料を滴下させるのに液滴吐出ヘッド66の他に、精密薬液吐出機(計量型ディスペンサ)など、滴下する液晶材料量を制御できるものであればどのような装置を用いてもよい。また、ギャップ制御材は略球形状に形成され、シール材に含まれるものに限られることなく、繊維形状に形成されシール材に含まれるものや、シール材に含まれず基板から柱状に突出して形成されたもの等さまざまなものを使用することができるが、基板の所定位置に固定され、基板の貼り合わせ時等において基板上を移動しないものを用いることが好ましい。
この振動板94はインク室93の壁面を構成している。その振動板94の外側には、各インク室93に対応して、ピエゾ素子(圧力発生手段)92が設けられている。ピエゾ素子92は、水晶等の圧電材料を一対の電極(図示せず)で挟持したものである。
図9に示す基板貼り合わせ部280は、真空下にて下基板10と上基板20との貼り合わせを行う真空チャンバ302と、この真空チャンバ2の内部に導入された上基板20を保持する上部テーブル(第1のテーブル)303と、下基板10を保持する下部テーブル(第2のテーブル)304と、上部テーブル303を上下方向(図示Z方向)に移動させる垂直移動テーブル(垂直駆動部)310と、下部テーブル304を水平面内(図示XYθ方向)で移動させる水平移動テーブル(水平駆動部)350とを備えて構成されている。
本実施形態に係る基板貼り合わせ部280では、このような上下分離型の真空チャンバ302を備えていることで、大型の基板を用いた場合にも、円滑かつ安全に挿脱可能であり、大量処理に適した構造となっている。
そして、上部テーブル303の背面側(下部テーブル304と反対側)には、上側チャンバ302aの上面に設けられた開口部302c、302cのそれぞれに挿通されて真空チャンバ302の外側へ延びるシャフト309,309が接続されており、これらのシャフト309,309は、上側チャンバ302aの上方に設けられた垂直移動テーブル310に連結されている。
そして、下部テーブル304の背面側(上部テーブル303と反対側)には、下側チャンバ302bの下面に設けられた開口部302d、302dのそれぞれに挿通されて真空チャンバ302の外側へ延びるシャフト315,315が接続されており、これらのシャフト315,315は、下側チャンバ302b下方の支持台300d内に収容された水平移動テーブル350に連結されている。
水平移動テーブル350と下部テーブル304とを連結するシャフト315に真空シール(弾性シール部材)360が覆設され、シャフト315が水平移動テーブル350により移動しても真空チャンバ302内の気密状態を保持するようにシールされる。真空シール360は、下側チャンバ302bの下面側に設けた真空ベローズ(蛇腹状弾性部材)323からなり、真空ベローズ323の上側フランジは下側チャンバ302bの下面に設けられた開口部302dの辺縁にて気密に固定され、下側フランジは、水平移動テーブル350の上面(図示左側)、ないしシャフト315の下端部に設けられたフランジ部315f(図示右側)上面にて気密に固定される。
尚、図示では、真空ベローズ323の下側フランジの固定構造として、2種類の異なる固定構造が混在して示されているが、上記した構造のいずれか、あるいは他の固定構造であっても良い。
基板位置調整部270は、図10(a)及び図10(b)に示すように、ロボットハンド62hの上面に設けられた基板支持部62s…により支持された基板10の位置調整を行う複数の位置決めピン70x、70yを備えており、位置決めピン70xは図示X方向に進退自在に設けられ、位置決めピン70yは図示Y方向に進退自在に設けられている。そして、2本のロボットハンド62h上に支持された基板10を、4本の位置決めピン70x、及び2本の位置決めピン70yが四方から水平方向に押圧することで、基板10の平面的な粗位置決めが成されるようになっている。
図11には、水平移動テーブル350上に立設された6本のシャフト315と、各シャフト315に覆設された真空ベローズ323の平面構成が示されている。すなわち、水平移動テーブル350は、6本のシャフト315をXY方向に水平移動させるとともに、符号Oで示す位置を中心とする半径rの円周に沿ってθ方向に回転移動させることが可能に構成されている。
次に、上記構成を備えたデバイス製造装置200による液晶装置100の製造手順を図面を参照しつつ説明する。
まず、図4に示したように、ガラス基板10’上にTFT30を形成し、さらに画素電極9及び配向膜12等を形成してTFTアレイ基板(下基板)10を得る一方、ガラス基板20’上に遮光膜23、対向電極21、配向膜22等を形成して対向基板(上基板)20を得る。
また、チャック部303aとチャック部304aとが対向基板20と支持基板10と接触して押圧する領域は、接触している面全体で押圧してもよいし、シール材の形成領域のみに接触して押圧してもよい。シール材が配置されている領域のみを押圧する方法では、シール材が配置されていない領域を押圧しないので、基板10、20の撓みによる基板の狭ギャップ化や、基板上に配置されたスペーサによる構成部材の破損を防ぐことができる。
また、液晶材料の滴下に液滴吐出ヘッド66を用いることにより、滴下する液晶材料の量を正確に調節することができる。そのため、基板10、20とシール材52に封入される液晶材料量を正確に調節することができ、ひいては基板10、20のセルギャップを正確に制御することができる。
Claims (10)
- 互いに対向して保持した一対の基板を、シール材を介して貼り合わせる基板貼り合わせ装置であって、
前記一対の基板の各々を対向状態にて保持する一対のテーブルと、
前記一対のテーブルを収容する真空チャンバと、
前記一方のテーブルを移動させる移動手段と、を備えた基板貼り合わせ部と、
前記一対のテーブルを基準として前記基板の粗位置決めを行う基板位置調整部と、を備え、
前記基板貼り合わせ部は、一端を前記一方のテーブルに、他端を前記移動手段に接続してなるシャフトと、前記真空チャンバと前記シャフトとの間を気密に保持する弾性シール部材と、を備えていることを特徴とする基板貼り合わせ装置。 - 互いに対向して保持した一対の基板を、シール材を介して貼り合わせる基板貼り合わせ装置であって、
前記一対の基板の各々を対向状態にて保持する第1のテーブル及び第2のテーブルと、
前記両テーブルを収容する真空チャンバと、
前記第1のテーブルと前記第2のテーブルを相対的に移動させる垂直移動手段と、
前記第2のテーブルを前記基板面方向に移動させる水平移動手段と、を備えた基板貼り合わせ部と、
前記基板貼り合わせ部の前段に設けられて前記第1のテーブル又は第2のテーブルを基準として前記基板の粗位置決めを行う基板位置調整部と、を備え、
前記基板張り合わせ部は、前記真空チャンバに設けられた開口部に挿通されて一端を前記第2のテーブルに接続されたシャフトと、該シャフトの他端に接続された水平駆動部と、前記真空チャンバと前記シャフトとの間を気密に保持する弾性シール部材と、を備えていることを特徴とする基板貼り合わせ装置。 - 前記弾性シール部材は、前記シャフトを覆って、前記真空チャンバの開口部辺縁と、前記水平駆動部との間に架設された蛇腹状弾性部材を備えることを特徴とする請求項2に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記蛇腹状弾性部材は、一端を前記真空チャンバの壁面に固定され、他端を前記水平駆動部の上面に固定されていることを特徴とする請求項3に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記シャフトは、前記水平駆動部側の端部に設けられたフランジ部を介して前記水平駆動部と接続され、
前記蛇腹状弾性部材は、一端を前記真空チャンバの壁面に固定され、他端を前記フランジ部に固定されていることを特徴とする請求項3に記載の基板貼り合わせ装置。 - 前記真空チャンバと水平駆動部との間に、前記シャフトの外周面を気密に回転摺動自在とされた回転シール部材が設けられており、
前記蛇腹状弾性部材は、その少なくとも一端を前記回転シール部材に固定されていることを特徴とする請求項3に記載の基板貼り合わせ装置。 - 前記垂直移動手段は、前記真空チャンバに設けられた開口部に挿通されて一端を前記第1のテーブルに接続されたシャフトと、該シャフトの他端に接続された垂直駆動部と、前記シャフトと前記真空チャンバとの気密を保持する弾性シール部材とを備えており、
前記弾性シール部材は、前記シャフトの外周面を摺動するOリングを備えることを特徴とする請求項2ないし6のいずれか一項に記載の基板貼り合わせ装置。 - 前記真空チャンバは、前記基板面に対して垂直方向に移動自在とされた第1のチャンバと、該第1のチャンバと気密に係合される第2のチャンバとを備えてなり、
前記第1のチャンバを第2のチャンバから離間した位置にて、該第1のチャンバと第2のチャンバとの間から、前記第1のテーブルと第2のテーブルとの間に前記基板を供給可能とされていることを特徴とする請求項2ないし7のいずれか一項に記載の基板貼り合わせ装置。 - 対向配置された一対の基板間に電気光学材料を挟持してなる電気光学装置の製造方法であって、
請求項1ないし7のいずれか一項に記載の基板貼り合わせ装置を用い、真空下で前記一対の基板の貼り合わせを行うことを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項9に記載の製造方法により得られたことを特徴とする電気光学装置。
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KR101334095B1 (ko) | 2006-11-28 | 2013-11-28 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 기판 합착장치 |
KR101778585B1 (ko) | 2016-01-19 | 2017-09-15 | 주식회사 제이스텍 | 평면상 및 회전 위치보정기능을 포함한 디스플레이 패널 합착용 진공챔버 구조 |
CN114616612A (zh) * | 2019-10-28 | 2022-06-10 | 松下知识产权经营株式会社 | 真空贴合装置 |
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2003
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