JP2005098775A - Image collection device - Google Patents

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Yoshikazu Tamura
佳和 田村
Yukinori Yamashita
幸典 山下
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Panasonic Holdings Corp
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent erroneous recognition by a positional deviation at the time of highly accurate recognition by fluctuation of an image caused by a heat devil generated by radiation heat. <P>SOLUTION: The image collection device for recognition of a shape and pattern of the work piece B2 attracted by and mounted on the high temperature stage 1 of 100-300°C comprises an optical system for imaging the work piece B2 through a lens, wherein the image is collected through the radiation heat 3 radiated from the high temperature stage 1. An air curtain 4 is constituted by arranging many air jet holes at the lens tip peripheral part free from interference with the light path of the lens 8 surrounding the light path space, and accumulating the radiation heat 3 in the light path space by the jet out air from the air jet out holes. Thereby the heat devil generated by the air temperature difference between the radiation heat 3 and room temperature is prevented, and the highly accurate recognition of the work piece B2 on the high temperature stage 1 can be realized. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

この発明は、高温ステージ上に搭載された被加工物の認識精度向上する陽炎低減構成についての画像収集装置に関するものである。   The present invention relates to an image collecting apparatus for a flame reduction configuration that improves the recognition accuracy of a workpiece mounted on a high-temperature stage.

従来の光学系構成について図面を参照しながら説明する。   A conventional optical system configuration will be described with reference to the drawings.

従来の被加工物の認識は、図３のような構成が用いられていた。図３のような構成において、高温ステージ１に吸着搭載された被加工物Ｂ２の形状あるいはパターンを認識するために焦点距離３（４０〜１１０ｍｍ位）離れた位置にレンズ８（４〜１２倍）が配置されている。   Conventional recognition of a workpiece uses a configuration as shown in FIG. In the configuration as shown in FIG. 3, the lens 8 (4 to 12 times) is positioned at a focal distance 3 (about 40 to 110 mm) in order to recognize the shape or pattern of the workpiece B2 sucked and mounted on the high temperature stage 1. Is arranged.

レンズには撮像用のＣＣＤカメラ１０と照明用の光ファイバあるいは、ＬＥＤ１１が挿入されている。光ファイバーの場合は光源１２と接続されている。また、前記構成部分は、ＸＹ軸１３とＺ軸２３に接続されている。また、レンズ８からオフセット量１４離れた位置にＺ軸先端の吸着コレット２１が配置されており、ＸＹ軸移動時には同時に移動するものである。また、吸着コレット２１の先端部には被加工物Ａ２０が吸着されており、被加工物Ａ２０の形状あるいはパターンを認識するために焦点距離１９（４０〜１００ｍｍ）離れた位置にレンズ１５が配置されている。レンズ１２には撮像用のＣＣＤカメラ１６と照明用の光ファイバあるいは、ＬＥＤ１７が挿入されており、光ファイバーの場合は光源１８と接続されている。また、図４は、前記構成の断面図である。   A CCD camera 10 for imaging and an optical fiber for illumination or an LED 11 are inserted in the lens. In the case of an optical fiber, it is connected to the light source 12. The constituent parts are connected to the XY axis 13 and the Z axis 23. Further, a suction collet 21 at the tip of the Z-axis is disposed at a position away from the lens 8 by an offset amount of 14 and moves at the same time when the XY-axis moves. Further, the workpiece A20 is adsorbed at the tip of the suction collet 21, and the lens 15 is disposed at a position away from the focal length 19 (40 to 100 mm) in order to recognize the shape or pattern of the workpiece A20. ing. The lens 12 is inserted with a CCD camera 16 for imaging and an optical fiber for illumination or an LED 17. In the case of an optical fiber, the lens 12 is connected to a light source 18. FIG. 4 is a cross-sectional view of the above configuration.

このような構成で、１００〜３００℃に一定保温された高温ステージ１上の被加工物Ｂ２をレンズ８を介しＣＣＤ１０で撮像する。この際画像は、輻射熱３を通して収集される。又、吸着コレット２１先端に吸着された被加工物Ａ２０も同時にレンズ１５を介しＣＣＤ１６で撮像する。その後、各被加工物の画像を認識処理し、重ね合わせ接合が可能なようにＸＹ軸１３及びＺ軸２３にてオフセット距離１４プラス認識補正量を動作させ、被加工物Ｂ２上に被加工物Ａ２０を搭載、接合する構成である。   With such a configuration, the workpiece B2 on the high-temperature stage 1 kept at a constant temperature of 100 to 300 ° C. is imaged by the CCD 10 via the lens 8. At this time, the image is collected through the radiant heat 3. The workpiece A20 adsorbed on the tip of the adsorption collet 21 is simultaneously imaged by the CCD 16 via the lens 15. After that, the image of each workpiece is recognized, and the offset distance 14 plus the recognition correction amount is operated on the XY axis 13 and the Z axis 23 so that the superposition joining is possible, and the workpiece is placed on the workpiece B2. A20 is mounted and joined.

あるいは、特許文献１のような構造及び方法もとられていた。
特開平０９-１３９３９９号公報 Alternatively, the structure and method as in Patent Document 1 have been used.
JP 09-139399 A

上記のような従来の構成では、以下のような課題があった。１００〜３００℃に一定保温された高温ステージ１上に吸着搭載された被加工物Ｂ２の形状あるいはパターンの高精度認識時にレンズ８と高温ステージ１上の被加工物Ｂ２の焦点距離３（４０〜１００ｍｍ位）が常温大気エアを介して離れているために、被加工物Ｂ２とレンズ８との間で高温ステージ１からの輻射熱３の影響を受け、被加工物Ｂ２とレンズ８間の常温大気エア２７の空間にコントロール不可能な温度差が生じる。これにより、撮像画像は輻射熱による陽炎により揺らぎ、特に高倍率で高精度認識する際の位置ずれ誤認識によりボンディング精度に悪影響をおよぼしていた。   The conventional configuration as described above has the following problems. The focal length 3 (40 to 40) between the lens 8 and the workpiece B2 on the high-temperature stage 1 when the shape or pattern of the workpiece B2 sucked and mounted on the high-temperature stage 1 kept at a constant temperature of 100 to 300 ° C. is recognized with high accuracy. About 100 mm) is separated from the workpiece B2 by the radiant heat 3 from the high temperature stage 1 between the workpiece B2 and the lens 8, so that the ambient temperature atmosphere between the workpiece B2 and the lens 8 is separated. An uncontrollable temperature difference occurs in the air 27 space. As a result, the picked-up image fluctuates due to the heat radiation caused by radiant heat, and the bonding accuracy is adversely affected by misrecognition of misalignment particularly when recognizing with high magnification and high accuracy.

したがって、この発明の目的は、撮像画像が輻射熱による陽炎により揺らぎを低減し、高精度認識する際の位置ずれ誤認識を防止する画像収集装置を提供することである。   Accordingly, an object of the present invention is to provide an image collecting apparatus that reduces fluctuations in a captured image due to a positive flame caused by radiant heat, and prevents misrecognition of misalignment in high accuracy recognition.

前記課題を解決するためにこの発明の請求項１記載の画像収集装置は、１００〜３００℃の高温ステージ上に吸着搭載した被加工物の形状およびパターンを認識するために、前記被加工物をレンズを介して撮像する光学系を有し、撮像された画像が前記高温ステージからの輻射熱を通して収集される画像収集装置であって、前記レンズの光路の障害とならないレンズ先端周辺部位置に、光路空間を取り囲むような多数個のエア噴出穴を配置し、前記エア噴出穴より噴出する空気により前記輻射熱を光路空間に蓄積するエアカーテンを構成した。   In order to solve the above-described problem, an image collecting apparatus according to claim 1 of the present invention is configured to recognize the shape and pattern of a workpiece that is suction-mounted on a high temperature stage of 100 to 300 ° C. An image acquisition device having an optical system for imaging through a lens and collecting the captured image through radiant heat from the high-temperature stage, wherein the optical path is positioned at the lens tip peripheral position that does not interfere with the optical path of the lens. A large number of air ejection holes surrounding the space are arranged, and an air curtain that accumulates the radiant heat in the optical path space by the air ejected from the air ejection holes is configured.

請求項２記載の画像収集装置は、請求項１記載の画像収集装置において、レンズ先端周辺部に配置されたエアーホルダにエア噴出穴が設けられ、前記エア噴出穴経路が高温ステージに対して０〜４５°の範囲で被加工物から外方向に配置されている。   According to a second aspect of the present invention, there is provided the image collecting device according to the first aspect, wherein an air ejection hole is provided in an air holder disposed at a peripheral portion of the lens tip, and the air ejection hole path is zero with respect to the high temperature stage. It is arranged outward from the work piece in a range of ˜45 °.

請求項３記載の画像収集装置は、請求項１または２記載の画像収集装置において、レンズ先端周辺部に配置されたエアーホルダにエア噴出穴が設けられ、前記エア噴出穴が連続して１列および２列に輪状に配置されている。   According to a third aspect of the present invention, in the image collecting device according to the first or second aspect, an air ejection hole is provided in an air holder disposed in a peripheral portion of the lens tip, and the air ejection holes are continuously arranged in one row. And arranged in a ring in two rows.

請求項４記載の画像収集装置は、請求項１記載の画像収集装置において、エアカーテンが高温ステージを直接エア冷却しないように前記高温ステージ上面に断熱板を配置した。   According to a fourth aspect of the present invention, in the image collecting apparatus of the first aspect, a heat insulating plate is disposed on the upper surface of the high temperature stage so that the air curtain does not directly cool the high temperature stage with air.

請求項５記載の画像収集装置は、請求項１記載の画像収集装置において、被加工物認識時にのみエアカーテンを構成する。   According to a fifth aspect of the present invention, in the image collecting apparatus according to the first aspect, the air curtain is configured only when the workpiece is recognized.

この発明の請求項１記載の画像収集装置によれば、レンズの光路の障害とならないレンズ先端周辺部位置に、光路空間を取り囲むような多数個のエア噴出穴を配置し、エア噴出穴より噴出する空気により輻射熱を光路空間に蓄積するエアカーテンを構成したので、レンズの光路空間と常温大気エア空間を空気のカーテンで隔離することにより、被加工物が搭載されている高温ステージからの輻射熱が常温大気エア空間に拡散することを抑え、輻射熱を空気カーテンとレンズ先端で囲まれた空間に蓄積し、光路空間の温度安定化を図ることができる。以上のことにより、レンズと被加工物との間に輻射熱と常温の空間温度差により生じる陽炎を防止し、高温ステージ上の被加工物の高精度認識が可能となる。   According to the image collecting apparatus of the first aspect of the present invention, a large number of air ejection holes surrounding the optical path space are arranged at the peripheral position of the lens tip so as not to obstruct the optical path of the lens. Since the air curtain that accumulates the radiant heat in the optical path space is configured by the air that circulates, the radiant heat from the high-temperature stage on which the workpiece is mounted can be separated by separating the optical path space of the lens and the room temperature atmospheric air space with an air curtain. It is possible to suppress the diffusion to the room temperature atmospheric air space, accumulate the radiant heat in the space surrounded by the air curtain and the lens tip, and stabilize the temperature of the optical path space. As described above, the heat generated due to the difference between the radiant heat and the room temperature between the lens and the workpiece is prevented, and the workpiece on the high-temperature stage can be recognized with high accuracy.

請求項２では、レンズ先端周辺部に配置されたエアーホルダにエア噴出穴が設けられ、エア噴出穴経路が高温ステージに対して０〜４５°の範囲で被加工物から外方向に配置されているので、エア噴出穴から噴出されるエアが光路の障害とならない。   According to a second aspect of the present invention, an air ejection hole is provided in the air holder disposed in the periphery of the lens front end, and the air ejection hole path is disposed outward from the workpiece within a range of 0 to 45 ° with respect to the high temperature stage. Therefore, the air ejected from the air ejection hole does not obstruct the optical path.

請求項３では、レンズ先端周辺部に配置されたエアーホルダにエア噴出穴が設けられ、エア噴出穴が連続して１列および２列に輪状に配置されているので、高温ステージからの輻射熱が常温大気エア空間に拡散することを全周にわたって抑えることができる。   According to the third aspect of the present invention, air jet holes are provided in the air holder disposed in the periphery of the lens front end, and the air jet holes are continuously arranged in a ring shape in one and two rows, so that radiant heat from the high temperature stage is generated. Diffusion to the room temperature atmospheric air space can be suppressed over the entire circumference.

請求項４では、エアカーテンが高温ステージを直接エア冷却しないように高温ステージ上面に断熱板を配置したので、高温ステージや被加工物が冷却することによる影響を低減することができる。   According to the fourth aspect, since the heat insulating plate is disposed on the upper surface of the high temperature stage so that the air curtain does not directly cool the high temperature stage with air, the influence of cooling the high temperature stage and the workpiece can be reduced.

請求項５では、被加工物認識時にのみエアカーテンを構成するので、エアカーテンによる被加工物の熱低下の影響を最小限に抑えることができる。   According to the fifth aspect, since the air curtain is configured only when the workpiece is recognized, it is possible to minimize the influence of the heat decrease of the workpiece due to the air curtain.

この発明の実施の形態を図１および図２に基づいて説明する。図１は本発明の実施形態の光学系構成について示した概念図、図２は本発明の実施形態の要部断面図である。   An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a conceptual diagram showing an optical system configuration according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view of an essential part of the embodiment of the present invention.

図１および図２に示すように、１００〜３００℃の高温ステージ１上に吸着搭載した被加工物Ｂ２の形状およびパターンを認識するために、被加工物Ｂ２をレンズ８を介して撮像する光学系を有し、撮像された画像が高温ステージ１からの輻射熱３を通して収集される。この構成において、１００〜３００℃に一定保温された高温ステージ１の輻射熱３によりもたらされる陽炎を防止する必要がある。その為には、レンズ８と被加工物Ｂ２との間の光路２８間において輻射熱３と常温大気エア空間の温度差により生じる陽炎が発生しにくく、レンズ８と被加工物Ｂ２との間の輻射熱３が周囲の常温大気エアに拡散しにくいようにする必要がある。そこで、レンズ８の光路の障害とならないレンズ先端周辺部位置に、光路空間を取り囲むような多数個のエア噴出穴２９を連続して配置し、空気を噴出しエアカーテン４を構成し、輻射熱３を光路空間に蓄積させることができる構造とする。   As shown in FIG. 1 and FIG. 2, an optical for imaging the workpiece B <b> 2 through a lens 8 in order to recognize the shape and pattern of the workpiece B <b> 2 sucked and mounted on a high temperature stage 1 of 100 to 300 ° C. A captured image is collected through radiant heat 3 from the hot stage 1. In this configuration, it is necessary to prevent a positive flame caused by the radiant heat 3 of the high-temperature stage 1 kept at a constant temperature of 100 to 300 ° C. For this purpose, the heat generated between the lens 8 and the workpiece B2 due to the temperature difference between the radiant heat 3 and the room temperature atmospheric air space is unlikely to occur, and the radiant heat between the lens 8 and the workpiece B2 is not generated. It is necessary to prevent 3 from diffusing into ambient ambient air. Therefore, a large number of air ejection holes 29 surrounding the optical path space are continuously arranged at the peripheral position of the front end of the lens that does not obstruct the optical path of the lens 8, and the air curtain 4 is constructed to radiate heat 3. In the optical path space.

この場合、図１のような構成において、高温ステージ１に吸着搭載された被加工物Ｂ２の形状あるいはパターンを認識するために焦点距離７（４０〜１１０ｍｍ位）離れた位置にレンズ８（４〜１２倍）が配置されており、レンズ先端には光路２８の障害とならないように多数個のエア噴出穴２９が図２の断面図に示すような０〜４５°のノズル角度θ２６で外側傾斜した状態で１列以上輪状に連続して配置されたエアホルダ５が取リ付けられている。   In this case, in the configuration as shown in FIG. 1, in order to recognize the shape or pattern of the workpiece B2 sucked and mounted on the high temperature stage 1, the lens 8 (4 to 4 to 4) is located at a position away from the focal length 7 (about 40 to 110 mm). 12), and a large number of air ejection holes 29 are inclined outwardly at a nozzle angle θ26 of 0 to 45 ° as shown in the sectional view of FIG. 2 so as not to obstruct the optical path 28 at the lens tip. The air holder 5 arranged continuously in a ring shape in one or more rows in the state is attached.

また、エアホルダ５の取り付いたレンズ８には撮像用のＣＣＤカメラ１０と照明用の光ファイバあるいは、ＬＥＤ１１が挿入されている。光ファイバの場合は光源１２と接続されている。また、前記構成部分は、ＸＹ軸１３とＺ軸２３に接続されている。また、レンズ１５からオフセット量１４離れた位置にＺ軸先端の吸着コレット２１が配置されている。吸着コレット２１の先端部には被加工物Ａ２０が吸着されており、被加工物Ａ２０の形状あるいはパターンを認識するために焦点距離１９（４０〜１００ｍｍ）離れた位置にレンズ１５が配置されている。レンズ１５には撮像用のＣＣＤカメラ１６と照明用の光ファイバあるいは、ＬＥＤ１７が挿入されている。また、吸着コレット２１はボンドヘッド２２に取り付けられ、モータ２４によりＺ軸方向に駆動する。   A CCD camera 10 for imaging and an optical fiber for illumination or an LED 11 are inserted into the lens 8 to which the air holder 5 is attached. In the case of an optical fiber, it is connected to the light source 12. The constituent parts are connected to the XY axis 13 and the Z axis 23. Further, a suction collet 21 at the tip of the Z axis is disposed at a position away from the lens 15 by an offset amount of 14. The workpiece A20 is adsorbed to the tip of the suction collet 21, and the lens 15 is disposed at a position away from the focal length 19 (40 to 100 mm) in order to recognize the shape or pattern of the workpiece A20. . The lens 15 is inserted with a CCD camera 16 for imaging and an optical fiber for illumination or an LED 17. The suction collet 21 is attached to the bond head 22 and is driven in the Z-axis direction by the motor 24.

このような構成で、高温ステージ１上の被加工物Ｂ２をレンズ８及びＣＣＤ１０で撮像する。被加工物Ｂ上に移動後、被加工物Ｂの認識前に、レンズ８先端のエアホルダ５に取付けられたエアバルブ６より高圧エア９を供給する。供給後、エアホルダ５に連続して配置された多数個のエア噴出穴２９からエアが０〜７０°程度の角度を持って広がりながら噴射されクローズなエアカーテン４を形成することができ、高温ステージ１からの輻射熱３をエアカーテン４とレンズ８先端で蓄積することができる。このように、高温ステージ１からの輻射熱３の一時蓄積により認識時に陽炎の原因となる常温空間の温度差減少を図り、高精度認識を可能とする。   With such a configuration, the workpiece B2 on the high temperature stage 1 is imaged by the lens 8 and the CCD 10. After moving onto the workpiece B and before recognizing the workpiece B, high pressure air 9 is supplied from an air valve 6 attached to the air holder 5 at the tip of the lens 8. After supply, air can be ejected from a large number of air ejection holes 29 continuously arranged in the air holder 5 while being spread with an angle of about 0 to 70 ° to form a closed air curtain 4, and a high temperature stage The radiant heat 3 from 1 can be accumulated at the air curtain 4 and the lens 8 tip. As described above, the temporary accumulation of the radiant heat 3 from the high temperature stage 1 reduces the temperature difference in the room temperature space that causes a hot flame at the time of recognition, thereby enabling highly accurate recognition.

また、エアカーテン４の最下部には高温ステージ１をエア冷却しない構造を有する。すなわち、エアカーテン４の内側は高温ステージ１をブロー、エア冷却することがないような位置関係とし、高温ステージ１の側壁及び被加工物Ｂ２周辺がブロー冷却されないようにブローエア断熱整流板２５を取付けることで、エアカーテン４の下部への影響を低減することができる。   The lowermost part of the air curtain 4 has a structure in which the high temperature stage 1 is not air-cooled. That is, the inside of the air curtain 4 is positioned so that the high-temperature stage 1 is not blown and air-cooled, and the blow-air heat insulating rectifying plate 25 is attached so that the side wall of the high-temperature stage 1 and the periphery of the workpiece B2 are not blow-cooled. Thereby, the influence on the lower part of the air curtain 4 can be reduced.

以上のような状態で被加工物Ｂ２を認識する。又、吸着コレット２１先端に吸着された被加工物Ａ２０も同時にレンズ１５を介しＣＣＤ１６で撮像する（被加工物Ａ２０は常温雰囲気であるため、そのまま認識）する。その後、各被加工物の画像を認識処理し、重ね合わせ接合が可能なようにＸＹ軸１３及びＺ軸２３にてオフセット距離１４プラス認識補正量動作させ、被加工物Ｂ２上に被加工物Ａ２０を搭載、接合する構成である。   The workpiece B2 is recognized in the state as described above. Further, the workpiece A20 adsorbed on the tip of the adsorption collet 21 is simultaneously imaged by the CCD 16 via the lens 15 (the workpiece A20 is recognized as it is because it is in a normal temperature atmosphere). Thereafter, an image of each workpiece is recognized, and the offset distance 14 plus the recognition correction amount is operated on the XY axis 13 and the Z axis 23 so that the superposition joining is possible, and the workpiece A20 is placed on the workpiece B2. It is the structure which mounts and joins.

本発明にかかる画像収集装置は、レンズの光路空間と常温大気エア空間を空気のカーテンで隔離することにより、被加工物が搭載されている高温ステージからの輻射熱が常温大気エア空間に拡散することを抑え、輻射熱を空気カーテンとレンズ先端で囲まれた空間に蓄積し、光路空間の温度安定化を図ることができる。そのため、１００〜３００℃の加熱されたステージ上の被加工物をステージからの輻射熱による陽炎の影響をあまり受けずに高精度認識する構成として有用である。   In the image collecting apparatus according to the present invention, by separating the optical path space of the lens and the room temperature atmospheric air space with an air curtain, the radiant heat from the high temperature stage on which the workpiece is mounted is diffused into the room temperature atmospheric air space. And the radiant heat can be accumulated in the space surrounded by the air curtain and the lens tip to stabilize the temperature of the optical path space. Therefore, it is useful as a configuration for accurately recognizing a workpiece on a stage heated to 100 to 300 ° C. without being affected by the heat of the radiant heat from the stage.

本発明の実施形態の光学系構成について示した概念図である。It is the conceptual diagram shown about the optical system structure of embodiment of this invention. 本発明の実施形態の要部断面図である。It is principal part sectional drawing of embodiment of this invention. 従来例の光学系構成について示した概念図である。It is the conceptual diagram shown about the optical system structure of the prior art example. 従来例の問題点を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the problem of a prior art example.

符号の説明Explanation of symbols

１ 高温ステージ
２ 被加工物Ｂ
３ 輻射熱
４ エアカーテン
５ エアホルダ
６ エアバルブ
７ 焦点距離（ＷＤ）
８ レンズ
９ 高圧エア
１０ ＣＣＤカメラ
１１ 光ファイバあるいは、ＬＥＤ
１２ 光源
１３ Ｘ軸Ｙ軸
１４ オフセット距離
１５ レンズ
１６ ＣＣＤカメラ
１７ 光ファイバあるいは、ＬＥＤ
１８ 光源
１９ 焦点距離（ＷＤ）
２０ 被加工物Ａ
２１ 吸着コレット
２２ ボンドヘッド
２３ Ｚ軸
２４ モータ
２５ ブローエア断熱整流板
２６ ノズル角度θ
２７ 常温大気エア
２８ 光路
２９ エア噴出穴 1 High temperature stage 2 Work piece B
3 Radiant heat 4 Air curtain 5 Air holder 6 Air valve 7 Focal length (WD)
8 Lens 9 High pressure air 10 CCD camera 11 Optical fiber or LED
12 Light source 13 X axis Y axis 14 Offset distance 15 Lens 16 CCD camera 17 Optical fiber or LED
18 Light source 19 Focal length (WD)
20 Workpiece A
21 Adsorption collet 22 Bond head 23 Z-axis 24 Motor 25 Blow air heat insulation rectifying plate 26 Nozzle angle θ
27 Room temperature atmospheric air 28 Optical path 29 Air ejection hole

Claims (5)

１００〜３００℃の高温ステージ上に吸着搭載した被加工物の形状およびパターンを認識するために、前記被加工物をレンズを介して撮像する光学系を有し、撮像された画像が前記高温ステージからの輻射熱を通して収集される画像認識装置であって、前記レンズの光路の障害とならないレンズ先端周辺部位置に、光路空間を取り囲むような多数個のエア噴出穴を配置し、前記エア噴出穴より噴出する空気により前記輻射熱を光路空間に蓄積するエアカーテンを構成したことを特徴とする画像収集装置。   In order to recognize the shape and pattern of the workpiece mounted on the high-temperature stage at 100 to 300 ° C., an optical system for imaging the workpiece through a lens is provided, and the captured image is the high-temperature stage. An image recognition device that collects through the radiant heat from a plurality of air ejection holes that surround the optical path space at the peripheral position of the lens tip that does not interfere with the optical path of the lens, from the air ejection holes An image collecting apparatus comprising an air curtain that accumulates the radiant heat in an optical path space by jetting air. レンズ先端周辺部に配置されたエアーホルダにエア噴出穴が設けられ、前記エア噴出穴経路が高温ステージに対して０〜４５°の範囲で被加工物から外方向に配置されている請求項１記載の画像収集装置。   2. An air ejection hole is provided in an air holder disposed at a peripheral portion of the lens tip, and the air ejection hole path is disposed outward from the workpiece within a range of 0 to 45 ° with respect to the high temperature stage. The image collecting apparatus described. レンズ先端周辺部に配置されたエアーホルダにエア噴出穴が設けられ、前記エア噴出穴が連続して１列および２列に輪状に配置されている請求項１または２記載の画像収集装置。   The image collecting apparatus according to claim 1 or 2, wherein an air ejection hole is provided in an air holder disposed in a peripheral portion of the lens tip, and the air ejection holes are continuously arranged in a ring shape in one and two rows. エアカーテンが高温ステージを直接エア冷却しないように前記高温ステージ上面に断熱板を配置した請求項１記載の画像収集装置。   The image collecting apparatus according to claim 1, wherein a heat insulating plate is disposed on the upper surface of the high temperature stage so that the air curtain does not directly cool the high temperature stage with air. 被加工物認識時にのみエアカーテンを構成する請求項１記載の画像収集装置。   The image collecting apparatus according to claim 1, wherein the air curtain is configured only when the workpiece is recognized.
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