JP2005093763A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】保護回路を内蔵したパワー半導体装置において、保護回路の動作による駆動回路の入力電圧低下を防止し、信頼性の高い半導体装置を提供することを目的とする。
【解決手段】半導体装置1のIN端子には駆動回路が接続され、通常動作時はハイ信号が半導体装置1のIN端子に加えられ、コンタクト9を介してアルミ配線8に接続されたN型拡散抵抗11を通りパワースイッチ素子2のゲートに信号が伝わる。また、半導体装置1のIN端子とパワースイッチ素子2の間には、可変抵抗体5として、ポリシリコン10とN型拡散抵抗11とでMOS構造が形成されている。正常動作時にはパワースイッチ素子2のゲートと接地電位との間に接続されたゲート遮断MOS4はオフ状態であり、前記MOS構造がオン状態となる。異常検出時には、ゲート遮断MOS4はオン状態であり、前記MOS構造がオフ状態となる。
【選択図】図2
【解決手段】半導体装置1のIN端子には駆動回路が接続され、通常動作時はハイ信号が半導体装置1のIN端子に加えられ、コンタクト9を介してアルミ配線8に接続されたN型拡散抵抗11を通りパワースイッチ素子2のゲートに信号が伝わる。また、半導体装置1のIN端子とパワースイッチ素子2の間には、可変抵抗体5として、ポリシリコン10とN型拡散抵抗11とでMOS構造が形成されている。正常動作時にはパワースイッチ素子2のゲートと接地電位との間に接続されたゲート遮断MOS4はオフ状態であり、前記MOS構造がオン状態となる。異常検出時には、ゲート遮断MOS4はオン状態であり、前記MOS構造がオフ状態となる。
【選択図】図2
Description
本発明は、ランプ、LED、インダクタなどの負荷を駆動するパワースイッチ素子に関する。
従来、ランプやコイル等の負荷を駆動する手法として、負荷の低電位側に半導体装置を設け、その半導体装置のオン、オフにより、負荷を駆動する方法が一般的によく用いられている。この半導体装置は各種保護機能を一般的に備えている。
従来の半導体装置の回路図を図3に示す。
電源7に接続されたランプ、コイル等の負荷6の低電位側に、スイッチとなる半導体装置1が接続されている。
この半導体装置1は、異常検出回路3を備えており、負荷6に過電流が流れるとその電流に応じたパワースイッチ素子2のドレイン端子(D端子)電位の変動を検出して、ゲート遮断MOS4のゲートにオン信号を送る。その結果、ゲート遮断MOS4がオンして、そのドレイン端子およびドレイン端子に接続されたパワースイッチ素子2のゲートの電位が0V近くになるため、パワースイッチ素子2がオフし、過電流による破壊から守られる(例えば、特許文献1参照)。
また、負荷6に過電流保護が働かない程度で、長時間電流が流れ続けたり、過電流保護はかかるが、その状態が長く続き、半導体装置の温度が上がり過ぎた場合にも、異常検出回路3が働き、ゲート遮断MOS4のゲートにオン信号を送り、そのゲート遮断MOSのドレイン端子は0V近くになりパワースイッチ素子2をオフし破壊から守る。
次に上記従来の半導体装置の断面構造図を図4に示す。
半導体装置1のIN端子には半導体装置1を制御するためにマイコン等の駆動回路が接続され、各種保護が働いた場合、ゲート遮断MOS4のゲートにオン信号を送り、そのゲート遮断MOS4のドレイン端子は0V近くになるため、半導体装置1のIN端子からパワースイッチ素子2のゲートG間に接続された抵抗12に、マイコン等の制御素子から電流が流れ込む。
上記抵抗12は一般にポリシリコン抵抗が用いられるが、パワースイッチ素子2のスイッチングスピードを早くするため、低抵抗に設定される。この場合、電流異常や温度異常等に対して各種保護が働いた場合、半導体装置1の入力電流が大きいため、マイコン等の制御素子は入力電圧を維持出来なくなる。
近年は特に電源装置の省エネルギー化のため、マイコン等の駆動回路における電流能力は下がって来ている。このような場合、異常電流等により回路の保護機能が働き、パワースイッチ素子はオフされるが、駆動回路の入力電圧が低下してくるため、半導体装置1のIN電圧が下がり、異常検出回路3が作動しなくなってしまう。異常検出回路ブロック3は横型MOS、抵抗、ダイオード、ツェナーダイオード等がP型拡散層の中、あるいは上に作られ回路を構成している。パワースイッチ素子2は低い電圧でもオンするため、異常電流等が流れているにもかかわらず、異常検出回路3が機能せず、パワースイッチ素子2は破壊に至る。
特開2002−100972号公報(第4図)
上記従来の技術を用いた場合、入力端子から流れ込む電流を小さくして、マイコン等の制御素子の電圧で確実に異常検出回路3の動作を継続させるためには、半導体装置1の入力端子からパワースイッチ素子のゲート間に接続された抵抗値を高くする方法があるが、この場合パワースイッチ素子2のスイッチングスピードの遅れが大きくなり、負荷のオン・オフのスイッチング動作を遅れなく正確に制御する事が出来ない。半導体装置1のIN端子からパワースイッチ素子2のゲート間に接続された抵抗値を小さくすると従来技術で述べた様に異常状態が長引いたりすると、駆動回路の入力電圧が下がり異常検出回路3が働かなくなり、パワースイッチ素子2はオンし、破壊に至る。
上記課題を解決するために、本発明の半導体装置は、パワー素子とその制御回路を備えた半導体装置であって、前記制御回路は、前記パワー素子に流れる電流または温度の異常を検出する異常検出回路と、前記異常検出回路からの出力信号に応じて前記パワー素子への入力を遮断するスイッチ素子と、前記パワー素子の入力端子に接続され、前記異常検出回路からの出力信号に応じて抵抗値が変化する可変抵抗体とを備えたことを特徴とする。
また、上記半導体装置は、前記異常検出回路からの出力信号により前記スイッチ素子がオン状態であるときは、前記可変抵抗体は高抵抗値となり、前記異常検出回路からの出力信号により前記スイッチ素子がオフ状態であるときは、前記可変抵抗体は低抵抗値となるものである。
さらに、前記可変抵抗体はMOS構造と高抵抗体との並列抵抗からなり、前記スイッチ素子がオフ状態であるときは、前記MOS構造がオン状態となって低抵抗値となり、前記スイッチ素子がオン状態であるときは、前記MOS構造がオフ状態となって高抵抗となるものである。
前記高抵抗体として前記MOS構造が形成された半導体基板の拡散抵抗を用いることが好ましい。
また、前記パワー素子がN型MOSFETで構成されることが好ましいが、IGBTで構成されていても、バイポーラトランジスタで構成されていてもよい。
また、本発明の半導体装置において、前記パワー素子は負荷を介して電源に接続されており、その入力端子には前記パワー素子を駆動するための駆動回路が接続されていることが好ましい。
本発明によれば、IN端子に接続されるマイコン等の駆動回路の電流能力が低くとも使用可能であり、パワースイッチ素子2のスイッチングスピードを落とす事なく、ランプ、LED、インダクタなどの負荷を駆動するパワースイッチ素子2に関し、過電流、短絡電流が流れた場合や、その電流でパワースイッチ素子2が発熱した場合、パワースイッチ素子2の入力を低電位にし、パワースイッチ素子2をオフして破壊から守り、信頼性を向上させる。
以下、本発明の実施の形態について、図を用いて説明する。
図1は本発明の実施の形態における半導体装置の回路図であり、図3と比較すると、IN端子からパワースイッチ素子2のゲートの間に接続される抵抗が可変抵抗体5である点が異なり、それ以外は同じ構成である。
上記可変抵抗体の構造模式図を図2に示す。(a)は平面図であり、(b)は図2(a)に示したA−A’方向の断面図である。
図2(a)に示すように、半導体装置1(図示せず)のIN端子には半導体装置1を制御するためにマイコン等の駆動回路(図示せず)が接続され、通常動作時はハイ信号(例えば5V)が半導体装置1のIN端子に加えられ、コンタクト9を介してアルミ配線8に接続されたN型拡散抵抗11を通りパワースイッチ素子2のゲートに信号が伝わる。
また、図2(b)に示すように、ポリシリコン10とN型拡散抵抗11とでMOS構造が形成されており、ゲート酸化膜(図示せず)上に形成されたポリシリコン10に電圧が加わると、その真下にキャリアの流れる通路(以下、チャンネルという。)が出来て、IN端子からの信号は矢印の様に流れる。
半導体装置1の動作を以下に詳細に説明する。まず、正常動作時において、異常検出回路3からゲート遮断MOS4のゲートに0Vの電圧信号が送られるため、ゲート遮断MOS4はオフ状態であり、そのドレイン電位は高電位に保たれる。このドレインはパワースイッチ素子2のゲートと接続されているため、パワースイッチ素子2はオン状態となる。この場合において、異常検出回路3からポリシリコン10に対してアルミ配線8、さらにコンタクト9を介して、前記MOS構造のしきい値電圧以上の信号が加わる。このポリシリコン10は、N型拡散抵抗11とオーバーラップしている。
この場合において、MOS構造がオンして、ポリシリコン10直下でチャンネルが形成されるため、半導体装置1のIN端子とパワースイッチ素子2との間は低抵抗に保たれる。
一方、負荷に過電流が流れる等して保護回路が動作する場合、異常検出回路3からゲート遮断MOS4のゲートにオン信号が入力して、パワー遮断MOS4が導通し、そのドレイン電位はソース電位、すなわち、接地電位とほぼ同電位になるため、ゲート遮断MOS4のドレイン端子は0V近くになる。また、ゲート遮断MOS4のゲートにオン信号を送ると同時に、異常検出回路3からアルミ配線8とコンタクト9を介してポリシリコン10に0Vの電圧信号が送られる。この結果、ポリシリコン10の真下に形成されていたチャンネルは閉じられ、IN端子からの信号はN型拡散抵抗11を通って、コンタクト9を介してアルミ配線8で接続されたパワースイッチ素子2のゲートに信号が送られる。この場合、N型拡散抵抗11の抵抗値はシート抵抗とU字部分の距離の乗算であり、上記MOS構造のチャンネル抵抗と比較して十分に高い抵抗値となる。このため、抵抗を流れる電流は十分に小さくなり、駆動回路の入力電圧の低下がほとんど起こらないため、異常検出回路3が働き続け、パワースイッチ素子2はオフ状態が保たれるため、破壊しない。
以上のように本実施の形態によれば、MOS構造の可変抵抗体をパワースイッチ素子のゲートと、駆動回路が接続された入力端子との間に配置することにより、通常の動作時にはMOS構造が導通して低抵抗が保たれ、また異常動作時にはMOS構造が遮断して高抵抗が保たれる。よって、スイッチングスピードを低下させることなく、負荷のオン・オフのスイッチング動作を遅れなく正確に制御する事が出来ると同時に、異常時の回路保護も確実に行えるものである。
なお、本実施の形態では、可変抵抗体をなすMOS構造のゲート電極材料としてポリシリコンを用いたが、他の金属材料、例えばアルミ配線等であってもよい。また、可変抵抗体としてNMOS構造を示したが、N型基板上にPMOSが形成される構造であってもよい。
また、本実施の形態では、パワースイッチ素子2としてN型MOSFETで構成される例を示したが、IGBTで構成されていても、バイポーラトランジスタで構成されていてもよい。
本発明に係る半導体装置は、回路保護機能を備えたパワー半導体装置、特に低電圧で駆動する制御素子を用いる半導体装置として有用である。
1 半導体装置
2 パワースイッチ素子
3 異常検出回路
4 ゲート遮断MOS
5 可変抵抗体
6 負荷
7 電源
8 アルミ配線
9 コンタクト
10 ポリシリコン
11 N型拡散抵抗
12 抵抗
2 パワースイッチ素子
3 異常検出回路
4 ゲート遮断MOS
5 可変抵抗体
6 負荷
7 電源
8 アルミ配線
9 コンタクト
10 ポリシリコン
11 N型拡散抵抗
12 抵抗
Claims (8)
- パワー素子とその制御回路を備えた半導体装置であって、
前記制御回路は、
前記パワー素子に流れる電流または温度の異常を検出する異常検出回路と、
前記異常検出回路からの出力信号に応じて前記パワー素子への入力を遮断するスイッチ素子と、前記パワー素子の入力端子に接続され、前記異常検出回路からの出力信号に応じて抵抗値が変化する可変抵抗体とを備えたことを特徴とする半導体装置。 - 前記異常検出回路からの出力信号により前記スイッチ素子がオン状態であるときは、前記可変抵抗体は高抵抗値となり、
前記異常検出回路からの出力信号により前記スイッチ素子がオフ状態であるときは、前記可変抵抗体は低抵抗値となることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 前記可変抵抗体はMOS構造と高抵抗体との並列抵抗からなり、前記スイッチ素子がオフ状態であるときは、前記MOS構造がオン状態となって低抵抗値となり、
前記スイッチ素子がオン状態であるときは、前記MOS構造がオフ状態となって高抵抗となることを特徴とする請求項2記載の半導体装置。 - 前記高抵抗体として前記MOS構造が形成された半導体基板の拡散抵抗を用いることを特徴とする請求項3記載の半導体装置。
- 前記パワー素子がN型MOSFETで構成されることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記パワー素子がIGBTで構成されることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記パワー素子がバイポーラトランジスタで構成されることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記パワー素子は負荷を介して電源に接続されており、その入力端子には前記パワー素子を駆動するための駆動回路が接続されていることを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003325841A JP2005093763A (ja) | 2003-09-18 | 2003-09-18 | 半導体装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7733133B2 (en) * | 2008-01-10 | 2010-06-08 | Nec Electronics Corporation | Power switch circuit having variable resistor coupled between input terminal and output transistor and changing its resistance based on state of output transistor |
KR20170064490A (ko) | 2015-12-01 | 2017-06-09 | 다이요 유덴 가부시키가이샤 | 적층 세라믹 콘덴서용 유전체 재료 및 적층 세라믹 콘덴서 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60132355A (ja) * | 1983-12-20 | 1985-07-15 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置 |
JPH06244414A (ja) * | 1993-02-22 | 1994-09-02 | Hitachi Ltd | 半導体素子の保護回路ならびにこれを有する半導体装置 |
JPH09116101A (ja) * | 1995-10-24 | 1997-05-02 | Hitachi Ltd | 制御回路内蔵絶縁ゲート型半導体装置 |
-
2003
- 2003-09-18 JP JP2003325841A patent/JP2005093763A/ja active Pending
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