JP2005084420A - フライアイレンズの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】高温下での使用に耐え、各レンズ単体の精度が維持されて、照度分布のバラつき等の問題を起こさないフライアイレンズの製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】接着剤を塗布したレンズ単体1を縦横に配置したレンズ群を、その回りを包囲する四角形のホールディング枠2内に収め、前記ホールディング枠2に配設した前記レンズ群のレンズ行列数に対応する数の締込みネジ3を締込むことによって、前記レンズ群を前記ホールディング枠2内に確固と保持させ、その状態で前記レンズ単体同士を加熱溶着する。
【選択図】図1
【解決手段】接着剤を塗布したレンズ単体1を縦横に配置したレンズ群を、その回りを包囲する四角形のホールディング枠2内に収め、前記ホールディング枠2に配設した前記レンズ群のレンズ行列数に対応する数の締込みネジ3を締込むことによって、前記レンズ群を前記ホールディング枠2内に確固と保持させ、その状態で前記レンズ単体同士を加熱溶着する。
【選択図】図1
Description
本発明はフライアイレンズの製造方法、より詳細には、超LSIの加工機器であるステッパ(縮小投影機)やプリント配線板用露光装置等に使用される、小さな凸レンズ(レンズ単体)を連結して構成されるフライアイレンズの製造方法に関するものである。
フライアイレンズは、多数の同じレンズ単体を縦横に配列した結像素子で、それを構成するレンズ単体の数の多重像を生じ、光源が点の場合には多くの点像が得られるもので、照明系の光学特性の向上、改善等のために、各種露光装置やステッパ等に用いられている。
フライアイレンズの製造方法としては、小さな凸レンズであるレンズ単体を1個1個製造し、各レンズ単体を接合することにより、凸面の集合体を構成する方法と、金型を用いて一体成形する方法とがある。前者の方法においては、例えば5列×5列のフライアイレンズの場合、先ず、5個のレンズ単体31を、その側面に接着剤32を塗布して1列に並べ(図3(A))、1列に接着して一体化する(図3(B))。
このレンズ列33の作成は、レンズ単体31の接着剤32を塗布した側面同士を密着させ、その状態で加熱炉内に入れることにより行なう。加熱炉内において加熱されることにより接着剤32が溶融し、各レンズ単体31同士が接着接合される。
このようにして5個のレンズを一体化したものを5列分作り、その長手側側面に上記同様の接着剤32を塗布して各側面同士を接着し(図3(C))、5列×5列のレンズ単体の集合体であるフライアイレンズに仕上げる(図3(D))。
列同士の接合に際しては、図4(A)、(B)に示すような締付金具34を2つ用い、締込みネジ35を締込んで両端部からレンズ列33群を加圧しつつ、加熱溶着して仕上げる。
フライアイレンズの使用環境は高温の場合が多いため、上記接着剤としては、高温に耐え得る無機接着剤又はセラミック接着剤が用いられている。しかるに、これらの接着剤の場合は、薄く均一に塗布することが困難であるところから、接着層の厚みが問題となる。即ち、接着層の厚みにバラつきがあると、各レンズ単体の芯ずれが起こり(図5(B)参照)、平行光、照度分布(焦点)のバラつきの原因となる。また、接着層のバラつきにより、レンズ側面の直角、垂直度に変化が起こるため、入射光、出射先の光量に差が生じ、均一性に欠ける。
なお、フライアイレンズの製造方法として、下記の如きものが出願されているが、それらは何れも、金型を用いて初めから一体成形するものであって、本願発明に係る製造法とは異なるものである。
特開平6−144842号
特開平7−156284号
特開平8−26746号
特開2000−56101号
本発明は、レンズ単体を縦横に接合して一体化する上記従来のフライアイレンズの製造方法における欠点を除去するためになされたもので、高温下での使用に耐え、各レンズ単体の精度が維持されて、照度分布のバラつき等の問題を起こさないフライアイレンズの製造方法を提供することを課題とする。
上記課題を解決するための請求項1に係る発明は、接着剤を塗布したレンズ単体を縦横に配置したレンズ群を、その回りを包囲する四角形のホールディング枠内に収め、前記ホールディング枠に配設した前記レンズ群のレンズ行列数に対応する数の締込みネジを締込むことによって、前記レンズ群を前記ホールディング枠内に確固と保持させ、その状態で前記レンズ単体同士を加熱溶着することを特徴とするフライアイレンズの製造方法である。
また、上記課題を解決するための請求項2に係る発明は、前記レンズ単体と同一素材製のホールディング枠を用いることを特徴とするものであり、また、請求項3に係る発明は、前記ホールディング枠の締込みネジを前記ホールデング枠と同一素材製とするものである。
また、上記課題を解決するための請求項4に係る発明は、レンズ単体を縦横に接合して構成されるレンズ集合体の周囲に補強枠を定着することを特徴とするものであり、また、請求項5に係る発明は、前記補強枠を前記レンズ単体と同一素材製とするというものである。
また、上記課題を解決するための請求項6に係る発明は、接着剤をシルクスクリーン等の印刷方法によりレンズの接着面に印刷することを特徴とするものである。
請求項1に記載のホールディング枠を用いる製造方法によれば、縦横に並置された多数のレンズ単体間の接着層の厚みにバラつきがあっても、各締込みネジの締込み度合を加減することによってそのバラつきを吸収することができるので、レンズ単体にズレが生ずることを防止することができる。
請求項2及び3に記載の縦横に接合する各レンズ単体と同一素材製のホールディング枠を用いる製造方法によれば、接合されるレンズ群とその周囲を包囲するホールディング枠とが同一素材であって膨張係数が同じであるため、加熱処理時に膨張係数の違いからレンズが破壊されるおそれがなく、調整後の精度を保持することができる効果がある。
請求項4及び5に記載のレンズアレイの周囲に補強枠を備えたフライアイレンズによれば、補強枠によって周辺部が保護されるため、周辺部のレンズ単体の端部が欠損することが防止され、更に、透過率を下げるためにフライアイレンズに蒸着処理することが多いが、その処理に際してフライアイレンズを把持する場合、補強枠を持つことができるので、容易且つ安定状態に把持することが可能となる効果がある。
請求項6に記載の接着剤をシルクスリーン等の印刷方法によりレンズの接着面に印刷する製造方法によれば、接着層の厚みのバラつきをなくして均一な接着層とすることができる効果がある。
本発明の好ましい実施の形態を、添付図面に依拠して説明する。本発明に係るフライアイレンズの製造方法の第1は、接着剤を塗布したレンズ単体1を縦横に配置したレンズ群を、その回りを包囲する四角形のホールディング枠2内に収め、ホールディング枠2に配設した前記レンズ群のレンズ行列数に対応する数の締込みネジ3を締込むことによって、前記レンズ群をホールディング枠2内に確固と保持させ、その状態でレンズ単体1同士を加熱溶着するというものである。
その場合、好ましくは、一体化する各レンズ単体1と同一素材製のホールディング枠2を用いる。即ち、レンズ単体1は通例石英ガラス(合成石英ガラス)であるが、ホールディング枠2もこれと同じ石英ガラス製とする。ホールディング枠2は四角形で、その2辺乃至4辺に、レンズ単体1の行列数に対応する数の締込みネジ3を備える。そして更に好ましくは、締込みネジ3もホールディング枠2と同一素材(通例石英ガラス)製とする。
このホールディング枠2を用いてフライアイレンズを製造する場合、加熱炉内における加熱処理に際し、レンズ単体1とホールディング枠2(並びに締込みネジ3)とは同一資材製であって熱膨張率が等しいため、それが異なることによってレンズ単体1が過度に押圧されて圧壊されたり、部分的に過熱状態となってヒビ割れを起こしたりするおそれがない。
本発明において用いる接着剤は、一般にフリットと呼ばれる熱溶融性のガラス粉末を主原料とするものであることが好ましい。以下の製造方法においても同様である。
本発明に係るフライアイレンズの製造方法の第2は、上記第1の方法又は他の方法によってレンズ単体1を縦横に接合して構成したレンズ集合体4の周囲に、適宜幅の補強枠5を固定することを特徴とする。補強枠5の素材は特に問わず、金属製であってもよいが、好ましくは、レンズ単体1と同一素材製とする。補強枠5は、予め四角形に組んだものであって、その中にレンズ集合体4を嵌め込むものであってもよいし、バラバラのものであって、後からレンズ集合体4の周囲に接着するものであってもよい。
フライアイレンズは、その構成レンズ数が多い場合最外周は使用しないことが多いので、補強枠5が存在しても、フライアイレンズとしての機能が阻害されることはない。また、補強枠5によって周辺部が保護されるため、周辺部のレンズ単体1の端部が欠損することが防止される。更に、透過率を下げるためにフライアイレンズに蒸着処理することが多いが、その処理に際してフライアイレンズを把持する場合、補強枠5を把持することができるので、容易且つ安定状態に把持することが可能となる。
本発明に係るフライアイレンズの製造方法の第3は、接着剤をシルクスクリーン等の印刷方法により、各レンズ単体1の接着側面に印刷することを特徴とする。この場合の接着剤の印刷は、接着側面を上にして各レンズ単体1を起こして多数並べた状態にて行なう。
この方法によれば、接着層を所望の均一の厚さに設けることができ、以て接着層の不均一性に起因するレンズ単体1の芯ずれが防止される。この第3の方法は、上記第1及び第2の方法と併用され得るものである。
1 レンズ単体
2 ホールディング枠
3 締込みネジ
4 レンズ集合体
5 補強枠
2 ホールディング枠
3 締込みネジ
4 レンズ集合体
5 補強枠
Claims (6)
- 接着剤を塗布したレンズ単体を縦横に配置したレンズ群を、その回りを包囲する四角形のホールディング枠内に収め、前記ホールディング枠に配設した前記レンズ群のレンズ行列数に対応する数の締込みネジを締込むことによって、前記レンズ群を前記ホールディング枠内に確固と保持させ、その状態で前記レンズ単体同士を加熱溶着することを特徴とするフライアイレンズの製造方法。
- 前記ホールディング枠は前記レンズ単体と同一素材製である請求項1に記載のフライアイレンズの製造方法。
- 前記ホールディング枠の締込みネジは前記ホールディング枠と同一素材製である請求項2に記載のフライアイレンズの製造方法。
- レンズ単体を縦横に接合して構成されるレンズ集合体の周囲に補強枠を定着することを特徴とするフライアイレンズの製造方法。
- 前記補強枠は前記レンズ単体と同一素材製である請求項4に記載のフライアイレンズの製造方法。
- 前記レンズ単体の接合側面への接着剤の塗布をシルクスクリーン等の印刷方法により行なうことを特徴とするフライアイレンズの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003317230A JP2005084420A (ja) | 2003-09-09 | 2003-09-09 | フライアイレンズの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2003317230A JP2005084420A (ja) | 2003-09-09 | 2003-09-09 | フライアイレンズの製造方法 |
Publications (1)
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JP2005084420A true JP2005084420A (ja) | 2005-03-31 |
Family
ID=34416883
Family Applications (1)
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JP (1) | JP2005084420A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021527516A (ja) * | 2018-06-22 | 2021-10-14 | アヴァヴァ、 インク.Avava, Inc. | 組織治療のための光学アレイ |
CN117805948A (zh) * | 2024-03-01 | 2024-04-02 | 河南百合特种光学研究院有限公司 | 一种石英复眼透镜的高温烧结方法 |
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2003
- 2003-09-09 JP JP2003317230A patent/JP2005084420A/ja active Pending
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JP2021527516A (ja) * | 2018-06-22 | 2021-10-14 | アヴァヴァ、 インク.Avava, Inc. | 組織治療のための光学アレイ |
CN117805948A (zh) * | 2024-03-01 | 2024-04-02 | 河南百合特种光学研究院有限公司 | 一种石英复眼透镜的高温烧结方法 |
CN117805948B (zh) * | 2024-03-01 | 2024-05-17 | 河南百合特种光学研究院有限公司 | 一种石英复眼透镜的高温烧结方法 |
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