JP2005081171A - 基板クリーニング装置及びクリーニング方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 クリーニング装置の構成を小型化、コンパクト化することができ、しかもテープ交換頻度を少なくする。
【解決手段】 テープ供給リール１１からテープ回収リール１２までの間のテープ走行経路に、反転送りローラ２１の位置で折り返されるテープ往復路部が形成され、このテープ往復路部の上下の位置に加圧ローラ２２ａ，２２ｂを有する第１の加圧ローラユニット２２と加圧ローラ２３ａ，２３ｂを有する第２の加圧ローラユニット２３が設けられ、加圧ローラ２２ａと加圧ローラ２３ａ及び加圧ローラ２２ｂと加圧ローラ２３ｂとはほぼ相対向する位置に配置されて、第１の加圧ローラユニット２２を下降させ、第２の加圧ローラユニット２３を上昇させて、クリーニングテープ１０を透明基板３の表裏両面に押圧させ、透明基板３を水平移動させることによりテープクリーニングが実行される。
【選択図】 図２

Description

本発明は、例えば液晶パネルにおける電極引き出し部等、基板の表裏両面に対して、所定の幅にわたってテープでクリーニングする基板クリーニング装置及びクリーニング方法に関するものである。

例えば、液晶パネルは、２枚の透明基板の間に液晶を封入したものであり、一方の透明基板を他方の透明基板よりサイズを大きくすることにより、少なくとも２辺において一方の透明基板を張り出させるようにしている。そして、この張り出し部には所定数の電極を形成して、この電極はＩＣ回路基板に接続される。ＩＣ回路基板は透明基板の電極に対してＴＡＢ(Tape Automated Bonding)，ＣＯＧ(Chip On Glass)等といった方式で搭載され、さらに印刷回路基板が接続されることになる。そして、このＩＣ回路基板の搭載前には、少なくとも電極形成部をクリーニングする必要があり、テープを用いてクリーニングされるのが一般的である。即ち、クリーニングテープを基板に摺接させることによって、この基板の電極形成部における異物や有機物質等からなる汚損物を拭き取るようにして除去される。ここで、必要に応じてクリーニングテープにはクリーニング液を含浸させるか、または基板に適用する直前に噴霧することもできる。

クリーニングテープを用いた基板のクリーニングを自動化したものとして、例えば特許文献１に示したようなものが知られている。即ち、テープ供給リールを用いて、このテープ供給リールからクリーニングテープを送り出し、このクリーニングテープを基板に対して押圧すると共に、基板とクリーニングテープとの間を相対移動させて摺接させるようにして汚れを拭き取るようにする。ここで、この公知のクリーニングテープの基板への押圧手段としては、加圧エアを噴出させるノズルを用いており、これらテープ供給リール及びその押圧手段、さらにはテープ引き回し経路を構成するガイドローラ等を移動ブロックに装着して、基板のクリーニング時には移動ブロック全体を基板における電極の引き出し方向に移動させ、この間に押圧手段からクリーニングテープに向けて加圧エアを供給することによって、クリーニングテープを基板表面に摺接させるようにしている。

ところで、基板のクリーニングをより徹底化するために、その電極形成面だけでなく、裏面側もクリーニングする要請が高くなってきている。このためには、裏面クリーニングユニットを別途設けるようにする。前述した表面側のクリーニングユニットに加えて裏面側のクリーニングユニットを設けると、構成が複雑かつ大型化するという問題点がある。

また、この種のクリーニング装置においては、クリーニングテープは供給リールから供給されることから、供給リールのテープが尽きると、その交換を行わなければならない。このクリーニングテープの交換を自動化するのは極めて困難であり、作業者によりリール交換作業を行うようにするのが一般的である。この意味ではクリーニング装置の完全自動化が図られない。そして、作業者による作業を少なくする点から、またリール交換作業を行っている間はクリーニング動作が停止されることから、装置の稼動効率の点からも、できるだけリール交換作業の頻度を少なくする必要がある。ここで、基板の表面側のクリーニングユニットと裏面側のクリーニングユニットとの２つのユニットを設けると、リール交換頻度が２倍になる。ここで、表裏両面のクリーニングテープの交換タイミングを合わせることも不可能ではないが、２つのテープ交換を行う関係から、テープ交換作業が長時間に及ぶことになり、また多少のタイミングのずれもあること等から、作業性及び装置の稼動効率の点ではなお不満が残ることになる。
特開平９−１５６３４号公報

そこで、本発明においては、基板の表面側と裏面側とでは、電極が形成されている表面側は極めて厳格にクリーニングする必要はあるものの、裏面側は表面側ほど高いクリーニング精度が要求されないこと、また基板は予め清浄化されており、基板の表面側をクリーニングした後であっても、テープには殆ど汚れが付着することはないので、この表面側のクリーニングを行った後に、再度裏面側をクリーニングしても、裏面側に要求されるクリーニング精度は維持できるという点に鑑みて、クリーニング装置の構成を小型化、コンパクト化でき、しかもテープ交換頻度を少なくすることを目的としてなされたものである。

そこで、本発明は、テープ供給リールからテープ回収リールまでのクリーニングテープの走行経路に加圧ローラを臨ませて、この加圧ローラによりクリーニングテープを基板に加圧して、クリーニングテープと基板とを相対的に移動させることによって、基板に対して所定の幅分にわたってクリーニングテープを摺接させることによりクリーニングする装置であって、前記クリーニングテープの走行経路に反転送りローラを設けて、この反転送りローラによって前記基板の厚み以上の間隔だけ離間したテープ往復路部を形成し、このテープ往復路部の途中に前記基板の表面側にクリーニングテープを押圧する第１の加圧ローラと、前記基板の裏面側にクリーニングテープを押圧する第２の加圧ローラとが配設されており、これら第１，第２の加圧ローラはテープ往復路部を挟んで概略相対向する位置に配置され、かつこれら第１，第２の加圧ローラは前記基板に対して近接・離間する方向に移動可能な手段に装着される構成としたことをその特徴とするものである。

クリーニング時には、クリーニングテープを動かすようにしても良いが、基板を移動させることによって、クリーニングテープを基板の表裏両面に対して摺接させるようにする方が、動きの安定性及びテープの消費量低減等の点で好ましい。即ち、基板を移動手段に装着して、第１，第２の加圧ローラによって、基板の表裏両面にクリーニングテープが押圧させた状態で、この移動手段により基板を反転送りローラから離間する方向に移動させるようにする。従って、クリーニング時にはクリーニングテープは固定的に保持され、基板を１回クリーニングする毎にクリーニングテープをピッチ送りする。そして、反転送りローラによるクリーニングテープの送りの１ピッチは、両加圧ローラによりクリーニングテープが基板に押圧される寸法に基づいて設定する。そこで、クリーニングテープの長さ方向に加圧ローラにより基板に押圧される長さ以上の寸法分を１ゾーンとする。このゾーンは、好ましくは前述した押圧長さとほぼ一致するか、若しくはそれより僅かに長い寸法とする。そして、１回のクリーニング終了毎に１乃至複数ゾーン分だけクリーニングテープをテープ供給リール側からテープ回収リール側にピッチ送りする。このために、ローラ往復移動手段を設けて、反転送りローラをこのローラ往復移動手段に装着する。つまり、第１，第２の加圧ローラを１個ずつで構成する場合には、ピッチ送りは１ゾーンずつ行う。第１，第２の加圧ローラは１個ずつで構成することもできるが、所謂２度拭きを可能にするために、それぞれ２個の加圧ローラで構成する方が、より有効なクリーニング効果が得られる。この場合、反転送りローラによるピッチ送りは２ゾーン分の長さとし、また前後に位置する加圧ローラの間隔は間に２つのゾーンが存在する寸法分だけ離間させる。

いずれにせよ、テープの送りを正確に行うために、テープ供給リール及びテープ回収リールには、それぞれクラッチを設けて、ローラ往復移動手段によって反転送りローラを前進させて、テープ供給リールからクリーニングテープを繰り出す際には、テープ回収リール側はクラッチ作動状態とし、またテープ供給リールのクラッチを解除することによって、テープ供給リールからクリーニングテープを１ピッチ分だけ送り出す。その後に、反転送りローラを後退させる際にはテープ供給リール側はクラッチ作動状態とする一方、テープ回収リールのクラッチを解除するように構成する。さらに、テープ供給リールには、さらにバックテンション用のモータを装着し、またテープ回収リールには、さらにテープ送り用のモータを装着するのがより望ましい。

そして、本発明のテープクリーニング方法は、テープ供給リールからテープ回収リールまでのクリーニングテープの走行経路に反転送りローラによって基板の厚み以上の間隔だけ離間したテープ往復路部を形成して、基板を移動させる間に、この基板に対して所定の幅分にわたってクリーニングテープを摺接させてクリーニングするようにするものであって、テープ往復路部の途中に基板の表面側に第１の加圧ローラを、また基板の裏面側には第２の加圧ローラを配設して、このテープ往復路部の間であって、これら第１，第２の加圧ローラ間に挿入する基板搬入工程と、これら第１，第２の加圧ローラによって、クリーニングテープを基板の表裏両面で実質的に同じ位置に押圧するローラ作動工程と、基板を反転ローラから離間する方向に移動させる間に、クリーニングテープを基板の表裏両面と摺接させることにより所定幅にわたってクリーニングするテープクリーニング工程と、基板が第１，第２の加圧ローラの位置から抜け出した後に、これら第１，第２の加圧ローラを相互に離間させるローラ退避工程と、クリーニングテープの送りを行って、その未使用部を第１の加圧ローラと対面する位置に移行させるテープ送り工程とからなることを特徴としている。

従って、本発明の効果としては、１本のテープ供給リールから送り出されるクリーニングテープを反転往復させるようにして、基板の表裏両面をクリーニングするようにしているので、構成が簡単でコンパクトな装置によって基板をクリーニングすることができ、しかもクリーニングテープの消費量を低減できると共に、リール交換作業の頻度を少なくできるので、作業効率を向上させることができる。また、クリーニングテープの同じ部分を表面側と裏面側とで２度使うことになるが、より厳格な清浄化が必要な表面側は新しいテープを用いてクリーニングし、１度使用した後のテープで裏面側をクリーニングするので、裏面側も必要な程度にはクリーニングできる。

次に、図面に基づいて本発明における最良の実施の形態について説明する。まず、図１にクリーニングが行われる基板の一例としての液晶パネルの全体構成を示す。同図から明らかなように、液晶パネル１は、上下の透明基板２，３を重ね合わせたものからなり、両透明基板２，３間には所定のギャップが形成されており、このギャップ内には液晶が封入されている。下側の透明基板３は、その少なくとも２辺において、上側の透明基板２より張り出しており、これらの張り出し部分には所定数の電極群４が形成されている。これら各電極群４は所定数の電極を備えており、電極群４毎に１枚の回路基板またはＩＣが搭載される。従って、クリーニングはこれら電極群４が形成されている下側の透明基板３における張り出し部分のほぼ全体がテープクリーニングされる。

この液晶パネル１のクリーニングを行う装置の全体構成を図２に示す。図中において、１０はクリーニングテープであって、このクリーニングテープ１０は前述した下側の透明基板３における張り出し部の幅寸法より僅かに広い幅を有するテープである。このクリーニングテープ１０はテープ供給リール１１に巻回して設けられており、このテープ供給リール１１から所定のテープ走行経路に沿ってクリーニングテープ１０を引き回した上で、テープ回収リール１２に巻き取り回収される。これらテープ供給リール１１及びテープ回収リール１２の回転軸１１ａ，１２ａは支持板１３に取り付けられている。また、回転軸１１ａ，１２ａにはそれぞれクラッチ付きモータ１４，１５が接続されている。回転軸１１ａ側のモータ１４はバックテンションを作用させるためのものであり、また回転軸１２ａのモータ１５はテープ送り用のモータである。

テープ走行経路はガイドローラ１６〜２０により形成され、これらガイドローラ１６〜２０は支持板１３から張り出したアーム１３ａ，１３ｂに取り付けられている。各ガイドローラのうち、ガイドローラ１７とガイドローラ１８との間はテープ往復路部となっている。このテープ往復路部は反転送りローラ２１の位置で折り返される経路であって、この往復経路の間隔は液晶パネル１におけるテープクリーニングが行われる透明基板３の厚み寸法よりある程度大きくなっている。これによって、液晶パネル１を図示しない水平搬送手段によってこのテープ往復路部内に挿入し、またこのテープ往復路部から脱出させることができるようになっている。

テープクリーニングを実行するために、テープ往復路部の上下の位置に第１の加圧ローラユニット２２，第２の加圧ローラユニット２３が設けられる。これら各加圧ローラユニット２２，２３はそれぞれ２個のローラ２２ａ，２２ｂ及び２３ａ，２３ｂを有し、これらのローラはゴムローラ等の弾性ローラからなり、クリーニングテープ１０のうちのテープ往復路部に位置する部位を透明基板３の表面側の電極群４を形成した部位と、その裏面部とに対して所定の力で押圧できるようになっている。そして、加圧ローラ２２ａと加圧ローラ２３ａ及び加圧ローラ２２ｂと加圧ローラ２３ｂとはほぼ相対向する位置に配置されている。

第１，第２の加圧ローラユニット２２，２３は、図２に矢印で示したように、上下動可能になっている。そこで、第１の加圧ローラユニット２２の概略構成を図３に示す。なお、第２の加圧ローラユニット２３もこの第１の加圧ローラユニット２２と実質的に同様な構成となっているので、その図示及び説明を省略する。第１の加圧ローラユニット２２は昇降ブロック２４を有し、この昇降ブロック２４は上下方向に設けたガイド２５に沿って往復移動可能となっており、加圧ローラ２２ａ，２２ｂはこの昇降ブロック２４において、ガイド２５と直交する方向に所定の間隔だけ離間させた位置に取り付けられている。そして、昇降ブロック２４は例えばエアシリンダ等からなる昇降駆動手段２６により上下方向に所定のストローク分だけ往復移動できるようになっている。

従って、第１の加圧ローラユニット２２が上昇し、第２の加圧ローラユニット２３が下降して、それぞれテープ往復路部に位置するクリーニングテープ１０からローラ２２ａ，２２ｂ及び２３ａ，２３ｂが離間した状態が退避位置であり、この状態にすると、テープ送り及び液晶パネル１における透明基板３のテープ往復路部への挿入が可能になる。また、第１の加圧ローラユニット２２が下降し、第２の加圧ローラユニット２３が上昇すると、ローラ２２ａ，２２ｂ及び２３ａ，２３ｂによってクリーニングテープ１０を透明基板３の表裏両面に押圧させることができ、この状態で透明基板３を水平移動させると、テープクリーニングが実行される。

また、反転送りローラ２１は、図２に矢印で示した方向に、つまり水平方向に所定のストロークだけ往復移動できるようになっている。このために、反転送りローラ２１は、図４に示したように、スライドブロック２７を有し、反転送りローラ２１はこのスライドブロック２７に取り付けられている。そして、スライドブロック２７は、水平方向に設けたガイド２８に係合しており、かつソレノイドやモータ等から構成される往復動手段２９によって、所定のストローク分だけ水平方向に往復移動できるようになっている。この反転送りローラ２１は、クリーニングテープ１０をテープ供給リール１１側からテープ回収リール１２側に送るためのものであり、１回の送り量は往復動手段２９による往復動作により制御されることになる。

クリーニング装置は以上のように構成されるものであって、次にこのクリーニング装置を用いて液晶パネル１の透明基板３に形成されている電極群４の表裏両面をクリーニングする方法を説明する。

まず、往復動手段２９による反転送りローラ２１の間欠送り量について、図５に基づいて説明する。クリーニングテープ１０には、その長さ方向にゾーンＺを設定する。このゾーンＺは、加圧ローラを設定された押圧力でクリーニングテープ１０を透明基板３に圧接させたときに、このクリーニングテープ１０が透明基板３と接触する範囲（図中に斜線で示した範囲）より僅かに広い範囲とする。従って、１枚の液晶パネル１に対しては、１つのゾーンＺ１が使用される。ただし、第１，第２の加圧ローラユニット２２，２３はそれぞれ２個の加圧ローラ２２ａ，２２ｂ及び２３ａ，２３ｂを含んでいるので、一方の加圧ローラ２２ａ，２３ａで透明基板３をクリーニングしたゾーンは他方の加圧ローラ２２ｂ，２３ｂでクリーニングする際には使用しない。つまり、１枚の液晶パネル１の透明基板３をクリーニングする際には、２つのゾーンが使用される。ここで、両加圧ローラ間の間隔は、好ましくは透明基板３における端部から最初の電極群４が形成されている部位までの幅寸法より短いものとする。

そこで、図５において、クリーニングテープ１０にゾーンＺ０〜Ｚ６を想定したときに、加圧ローラ２２ａ（２３ａ）をゾーンＺ１に配置し、また加圧ローラ２２ｂ（２３ｂ）をゾーンＺ４の位置に配置しておく。図中において、加圧ローラ２２ａ（２３ａ）で透明基板３をクリーニングしたゾーンは左下がりの斜線で、また加圧ローラ２２ｂ（２３ｂ）でクリーニングしたゾーンは右下がりの斜線で示している。この場合、クリーニングテープ１０が反転送りローラ２１の１回の動作で送られる、１ピッチ分の長さは、２ゾーン分の合計の長さとする。これによって、加圧ローラ２２ａでは奇数番目のゾーンが、また加圧ローラ２２ｂでは偶数番目のゾーンが使用され、かつ第１の加圧ローラユニット２２を通過した後は未使用ゾーンが存在しなくなる。

そして、反転送りローラ２１によってクリーニングテープ１０が正確に２ゾーン分の長さ毎にピッチ送りさせるために、このピッチ送り時には、まずテープ回収リール１２側ではクラッチ付きモータ１５のクラッチを作動状態にし、またテープ供給リール１１側のクラッチ付きモータ１４については、クラッチを解除状態となし、モータを作動させて、バックテンションをかける。そして、往復動手段２９を作動させて、反転送りローラ２１を前進させることによって、テープ供給リール１１からクリーニングテープ１０を１ピッチに相当する長さ分だけ送り出す。その後、テープ供給リール１１のクラッチ付きモータ１４のクラッチを作動状態とし、またテープ回収リール１２側のクラッチ付きモータ１５のクラッチを解除すると共に、モータを作動させる。これと同時に往復動手段２９を作動させて、反転送りローラ２１を当初の位置に引き戻す。これによって、１ピッチ分のクリーニングテープ１０がテープ回収リール１２に巻き取られる。

而して、第１の加圧ローラユニット２２を上昇させ、かつ第２の加圧ローラユニット２３を下降させて、ガイドローラ１７から反転送りローラ２１を経てガイドローラ１８に至るクリーニングテープ１０の往復路部における上下の間隔を広げた図６（ａ）の状態にする。そして、液晶パネル１を水平搬送手段によりこの間隔内の所定の位置まで進入させる。これが基板搬入工程である。このときには、テープ供給リール１１及びテープ回収リール１２のクラッチ付きモータ１４，１５をクラッチ作動状態として、回転軸１１ａ，１２ａが回転しないように保持する。

この状態から、図６（ｂ）に示したように、第１の加圧ローラユニット２２を下降させ、また第２の加圧ローラユニット２３を上昇させて、相対向する加圧ローラ２２ａ，２２ｂと、加圧ローラ２３ａ，２３ｂとによりクリーニングテープ１０を透明基板３の表裏両面に押圧すると共に、これら加圧ローラで透明基板３を挟持させる。これがローラ作動工程である。そこで、水平搬送手段を作動させて、液晶パネル１を矢印方向、つまり反転送りローラ２１から離間する方向に移動させて、テープクリーニング工程が実行される。これによって、透明基板３における電極群４を形成した部位の表裏両面がクリーニングテープ１０と摺接して、透明基板３に付着している汚れが拭き取られる。加圧ローラユニット２２，２３では、それぞれ２個の加圧ローラで２度拭されて、汚れが拭き取られることになる。従って、有機汚れ等も確実に除去することができる。

透明基板３が加圧ローラ２２ｂ，２３ｂの位置を抜け出ると、第１の加圧ローラユニット２２が上昇し、第２の加圧ローラユニット２３が下降して、クリーニングテープ１０に対する押圧力が解除されて、間隔が広がるようになる。これがローラ退避工程である。この状態で、クリーニングテープ１０が１ピッチ分だけ送られるテープ送り工程となる。即ち、図６（ｃ）に示したように、反転送りローラ２１を仮想線で示した位置から１ピッチ分だけ前進させて、実線で示した位置に移動させる。既に説明したように、この反転送りローラ２１の前進時には、クリーニングテープ１０がテープ供給リール１１から送り出される。その後、反転送りローラ２１を仮想線位置まで引き戻して、使用済みのクリーニングテープ１０を１ピッチ分だけテープ回収リール１２に巻き取る。その後に、水平搬送手段によって液晶パネル１がクリーニングテープ１０の往復路部に挿入されることになり、前述した動作を繰り返すことによって、次の液晶パネル１の透明基板３に対するテープクリーニングが実行される。

ここで、透明基板３における電極群４を形成した表面側では、クリーニングテープ１０のうちの共に未使用部分を用いて２回クリーニングされることから、極めて高いクリーニング精度が要求される表面側の汚れは完全に拭き取られる。そして、この透明基板３の表面側は、工程を繰り返す毎に洗浄されており、ほぼ清浄な状態になっているので、クリーニングテープ１０を１回摺接させただけでは、殆ど汚れることはない。従って、表面側のように厳しいクリーニング条件が課されていない裏面側をクリーニングするためにもう一度使用したとしても、表面側で拭き取った汚れが再付着するおそれはなく、要求される精度のクリーニングを行うことができる。

このように、クリーニングテープ１０を往復させることによって、透明基板３の表裏両面のクリーニングを行っていることから、クリーニング装置の構成が著しく簡略化、コンパクト化される。また、クリーニングテープ１０の消費量を半減させてなお要求されるクリーン度となることから、ランニングコストの低減が図られると共に、人手作業となるテープ供給リール１１及びテープ回収リール１２の交換頻度を少なくでき、効率的なクリーニングを行えるようになる。

クリーニングされる基板の一例としての液晶パネルを示す平面図である。 基板クリーニング装置の概略構成を示す正面図である。 加圧ローラユニットの駆動機構を示す外観図である。 反転送りローラの駆動機構を示す外観図である。 クリーニングテープのピッチ送り量の説明図である。 基板クリーニング装置による基板のクリーニングを行う方法を示す説明図である。

符号の説明

１ 液晶パネル
２，３ 透明基板
４ 電極群
１０ クリーニングテープ
１１ テープ供給リール
１２ テープ回収リール
１６〜２０ ガイドローラ
２１ 反転送りローラ
２２ 第１の加圧ローラユニット
２３ 第２の加圧ローラユニット
２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂ 加圧ローラ
２６ 昇降駆動手段
２９ 往復動手段

Claims (7)

1. テープ供給リールからテープ回収リールまでのクリーニングテープの走行経路に加圧ローラを臨ませて、この加圧ローラによりクリーニングテープを基板に加圧して、クリーニングテープと基板とを相対的に移動させることによって、基板に対して所定の幅分にわたってクリーニングテープを摺接させることによりクリーニングする装置であって、
   前記クリーニングテープの走行経路に反転送りローラを設けて、この反転送りローラによって前記基板の厚み以上の間隔だけ離間したテープ往復路部を形成し、このテープ往復路部の途中に前記基板の表面側にクリーニングテープを押圧する第１の加圧ローラと、前記基板の裏面側にクリーニングテープを押圧する第２の加圧ローラとが配設されており、
   これら第１，第２の加圧ローラはテープ往復路部を挟んで概略相対向する位置に配置され、
   かつこれら第１，第２の加圧ローラは前記基板に対して近接・離間する方向に移動可能な手段に装着される
   構成としたことを特徴とする基板クリーニング装置。
2. 前記第１，第２の加圧ローラによって、前記基板の表裏両面にクリーニングテープが押圧された状態で、この基板を前記反転送りローラから離間する方向に移動させる構成としたことを特徴とする請求項１記載の基板クリーニング装置。
3. 前記反転送りローラは、前記両加圧ローラによって前記クリーニングテープが前記基板に押圧される寸法以上の長さ毎にゾーンを設定し、１回のクリーニング毎に１乃至複数ゾーン分だけクリーニングテープを前記テープ供給リール側から前記テープ回収リール側にピッチ送りするために、往復移動手段を設ける構成としたことを特徴とする請求項１記載の基板クリーニング装置。
4. 前記第１，第２の加圧ローラは、それぞれ２個の加圧ローラを含むものであり、また前記反転送りローラは、前記両加圧ローラによって前記クリーニングテープが前記基板に押圧される長さ寸法以上の長さを１つのゾーンとして、１回のクリーニング毎に２つのゾーン分だけクリーニングテープを前記テープ供給リール側から前記テープ回収リール側にピッチ送りするために往復移動手段を設け、さらに前記２個からなる加圧ローラの一方を奇数番目のゾーンに、また他方の加圧ローラを偶数番目のゾーンに配置する構成としたことを特徴とする請求項１記載の基板クリーニング装置。
5. 前記テープ供給リール及び前記テープ回収リールには、それぞれクラッチを設けて、前記反転送りローラを前進させる際には前記テープ供給リールのクラッチを解除し、この反転送りローラを後退させる際には前記テープ回収リールのクラッチを解除するように構成したことを特徴とする請求項３または請求項４記載の基板クリーニング装置。
6. 前記テープ供給リールには、さらにバックテンション用のモータを装着し、また前記テープ回収リールには、さらにテープ送り用のモータを装着する構成としたことを特徴とする請求項５記載の基板クリーニング装置。
7. テープ供給リールからテープ回収リールまでのクリーニングテープの走行経路に反転送りローラによって前記基板の厚み以上の間隔だけ離間したテープ往復路部を形成して、基板を移動させる間に、この基板に対して所定の幅分にわたってクリーニングテープを摺接させてクリーニングする方法であって、
   前記テープ往復路部の途中に前記基板の表面側に第１の加圧ローラを、また前記基板の裏面側には第２の加圧ローラを配設して、このテープ往復路部の間であって、これら第１，第２の加圧ローラ間に挿入する基板搬入工程と、
   これら第１，第２の加圧ローラによって、前記クリーニングテープを前記基板の表裏両面で実質的に同じ位置に押圧するローラ作動工程と、
   前記基板を前記反転ローラから離間する方向に移動させる間に、前記クリーニングテープを基板の表裏両面と摺接させることにより所定幅にわたってクリーニングするテープクリーニング工程と、
   前記基板が前記第１，第２の加圧ローラの位置から抜け出した後に、これら第１，第２の加圧ローラを相互に離間させるローラ退避工程と、
   前記クリーニングテープの送りを行って、その未使用部を前記第１の加圧ローラと対面する位置に移行させるテープ送り工程と
   からなることを特徴とする基板クリーニング方法。

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