JP2005064130A - Carrier device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、被搬送物を爪部材で両側から挟み込んで上下方向に支持しながら搬送する搬送装置に関するものである。 The present invention relates to a transport device that transports an object to be transported while sandwiching it from both sides with a claw member and supporting it in the vertical direction.
例えば半導体製造施設においては、ウエハへの塵埃の付着を防止するため、ＦＯＵＰ（ｆｒｏｎｔ ｏｐｅｎｉｎｇ ｕｎｉｆｉｅｄ ｐｏｄ）等の収納容器にウエハを収納した状態で搬送を行っている。収納容器の搬送にあたっては、特許文献１に示されているように、収納容器の側面上部に突起状等の支持部を形成し、この支持部を搬送装置の爪部材で両側から挟み込むようにして把持した後、爪部材を上下方向および水平方向に移動させることによって、収納容器を所定の載置部に載置する。そして、収納容器の載置が完了すると、爪部材を開いて支持部から離隔し、爪部材を上昇等させて収納容器から退避させることによって、収容容器内のウエハを取り出し可能な状態にする。
しかしながら、上記のように収納容器の支持部を爪部材で挟み込むようにして把持する搬送装置においては、収納容器が正規の位置に載置されていることを前提に爪部材を位置決めするため、収納容器が正規の位置から外れていると、爪部材が支持部や支持部とは異なる部分に衝突する場合がある。また、爪部材による支持部の把持が不十分となって搬送中に収納容器が落下する場合もある。そして、このようして衝突や落下が起ると、衝撃によりウエハが破損したり、収納容器内に塵埃が飛散してウエハを汚染する原因になる。また、収納容器から爪部材を離隔させる場合においても、収納容器が正規の位置から外れると、爪部材の退避途中に、爪部材が収納容器の支持部等に引っ掛かる結果、上述のウエハの破損や汚染の原因となる衝撃を収納容器に与える場合がある。 However, in the transport device that holds the support portion of the storage container so as to be sandwiched between the claw members as described above, the claw member is positioned on the assumption that the storage container is placed at a proper position. If the container is out of the normal position, the claw member may collide with a support part or a part different from the support part. In addition, the holding container may not be sufficiently gripped by the claw member, and the storage container may fall during transportation. If such a collision or a drop occurs, the wafer is damaged by the impact, or dust is scattered in the storage container to contaminate the wafer. Even when the claw member is separated from the storage container, if the storage container is removed from the normal position, the claw member is caught on the support portion of the storage container while the claw member is being retracted. The container may be given an impact that causes contamination.
このように、従来においては、収納容器が正規の位置から外れたり、正規の位置から外れた収納容器を検出して爪部材の位置決めを調整できないという問題点がある。 As described above, conventionally, there is a problem that the storage container is out of the normal position, or the positioning of the claw member cannot be adjusted by detecting the storage container out of the normal position.
本発明は、被搬送物の支持面部を両側から挟み込んで下側から上下方向に支持する爪部材と、前記被搬送物の支持面部の真下側から外側までの範囲で前記爪部材を水平方向に移動可能な水平移動機構と、前記被搬送物を載置高さ位置から搬送高さ位置までの範囲で昇降させるように前記爪部材を上下方向に移動可能な昇降機構と、前記被搬送物の支持面部を爪部材で支持しながら下降させて載置状態とした後、該支持面部から爪部材を被搬送物の側方に退避させ、爪部材のみを上昇させる装着制御手段と、載置状態にされた被搬送物の側方から支持面部の下側に爪部材を進入させた後、該爪部材の上昇により支持面部を支持しながら被搬送物を上昇させる抜脱制御手段と、前記装着制御手段による爪部材のみの上昇時に、前記被搬送物の側方に退避された爪部材の先端部よりも進入側に前記支持面部の側面を位置させる当接部材とを有することを特徴としている。これにより、爪部材が支持面部に引っ掛かることによる被搬送物の衝撃や揺れ、脱落を防止することができる。 The present invention provides a claw member that sandwiches the support surface portion of the object to be conveyed from both sides and supports it vertically from the lower side, and the claw member in the horizontal direction within a range from directly below the support surface portion of the object to be conveyed to the outside. A movable horizontal movement mechanism, an elevating mechanism capable of moving the claw member in the vertical direction so as to raise and lower the conveyed object in a range from a placement height position to a conveying height position; A mounting control means for lowering the support surface portion while supporting the support surface portion with the claw member to set the mounting state, and then retracting the claw member from the support surface portion to the side of the object to be transported to raise only the claw member; An attachment / detachment control means for raising the object to be conveyed while supporting the support surface part by ascending the claw member after the claw member has entered from the side of the conveyed object to the lower side of the support surface part, and the mounting When only the claw member is raised by the control means, It is characterized in that from the front end portion of the saved pawl member and a contact member to position the side surfaces of the support surface on the entry side. Accordingly, it is possible to prevent the object to be transported from being impacted, shaken, or dropped due to the claw member being caught on the support surface portion.
また、本発明は、被搬送物の支持面部を両側から挟み込んで下側から上下方向に支持する爪部材と、前記被搬送物の支持面部の真下側から外側までの範囲で前記爪部材を水平方向に移動可能な水平移動機構と、前記被搬送物を載置高さ位置から搬送高さ位置までの範囲で昇降させるように前記爪部材を上下方向に移動可能な昇降機構と、前記爪部材が前記被搬送物の支持面部に当接したことを検知する保持検知センサーと、載置状態にされた前記被搬送物の支持面部と前記爪部材とを非接触で対向可能にする水平移動高さ位置の水平面内に前記爪部材が存在するときに、前記被搬送物の所定部位を検知する高さ位置検知センサーと、 前記被搬送物の支持面部を爪部材で支持しながら下降させて載置状態とし、前記高さ位置検知センサーにより爪部材が支持面部に対して非接触になったことを確認した後、該支持面部から爪部材を被搬送物の側方に退避させ、爪部材のみを上昇させる装着制御手段と、載置状態にされた被搬送物の支持面部に対して前記爪部材が非接触の進入高さ位置であることを前記高さ位置検知センサーにより確認した後、被搬送物の側方から支持面部の下側に爪部材を進入させ、前記保持検知センサーにより爪部材が支持面部に当接したことを確認した後、該爪部材の上昇により支持面部を支持しながら被搬送物を上昇させる抜脱制御手段とを有することを特徴としている。 Further, the present invention provides a claw member that sandwiches the support surface portion of the object to be conveyed from both sides and supports it from the lower side to the up and down direction, and the claw member horizontally in a range from directly below to the outside of the support surface part of the object to be conveyed. A horizontal movement mechanism that can move in a direction, a lifting mechanism that can move the claw member up and down so as to raise and lower the object to be moved in a range from a placement height position to a conveyance height position, and the claw member A horizontal movement height that allows the support surface portion of the object to be transported and the claw member to face each other in a non-contact manner. When the claw member is present in a horizontal plane at a vertical position, a height position detection sensor that detects a predetermined portion of the transported object and a support surface portion of the transported object are lowered while being supported by the claw member. Placed by the height position detection sensor. After confirming that the claw member is not in contact with the support surface portion, the mounting control means for retracting the claw member from the support surface portion to the side of the object to be transported and raising only the claw member, and the mounting state After confirming by the height position detection sensor that the claw member is in a non-contact approach height position with respect to the support surface portion of the transported object, the lower side of the support surface portion from the side of the transport object And a removal control means for raising the object to be conveyed while supporting the support surface portion by raising the claw member after confirming that the claw member is in contact with the support surface portion by the holding detection sensor. It is characterized by having.
これにより、装着動作時および抜脱動作時において、被搬送物に爪部材が衝突して衝撃を与えたり、被搬送物に爪部材を引っ掛けて脱落させる等の原因を解消することができる。 As a result, it is possible to eliminate causes such as the claw member colliding with the object to be transported and giving an impact during the mounting operation and the withdrawal operation, or the claw member being hooked on the object to be dropped.
また、本発明は、軌道上を走行する走行台車と、前記走行台車に吊り下げ状態に昇降可能に支持された保持体と、前記保持体に設けられ、被搬送物の支持面部を両側から進退移動させることにより下側から上下方向に支持する一対の爪部材と、前記爪部材が前記被搬送物の支持面部に当接したことを検知する保持検知センサーと、載置状態にされた前記被搬送物の支持面部と前記爪部材とを非接触で対向可能にする水平移動高さ位置の水平面内に前記爪部材が存在するときに、前記被搬送物の所定部位を検知する高さ位置検知センサーと、前記被搬送物の支持面部を爪部材で支持しながら下降させて載置状態とし、前記高さ位置検知センサーにより爪部材が支持面部に対して非接触になったことを確認した後、該支持面部から爪部材を被搬送物の側方に退避させ、爪部材のみを上昇させる装着制御手段と、載置状態にされた被搬送物の支持面部に対して前記爪部材が非接触の進入高さ位置であることを前記高さ位置検知センサーにより確認した後、被搬送物の側方から支持面部の下側に爪部材を進入させ、前記保持検知センサーにより爪部材が支持面部に当接したことを確認した後、該爪部材の上昇により支持面部を支持しながら被搬送物を上昇させる抜脱制御手段とを有することを特徴としている。これにより、装着時や抜脱時において、被搬送物に爪部材が衝突して衝撃を与えたり、被搬送物に爪部材を引っ掛けて脱落させる等の原因を解消することができる。 The present invention also provides a traveling carriage that travels on a track, a holding body that is supported by the traveling carriage so as to be lifted and lowered, and a support surface portion of an object to be conveyed that moves forward and backward from both sides. A pair of claw members that are supported in the vertical direction from the lower side by being moved, a holding detection sensor that detects that the claw member is in contact with a support surface portion of the object to be conveyed, and the object that is placed. Height position detection for detecting a predetermined portion of the object to be conveyed when the nail member is present in a horizontal plane at a horizontal movement height position that allows the support surface portion of the object to be conveyed and the nail member to face each other without contact. After the sensor and the support surface portion of the object to be transported are lowered while being supported by the claw member to be placed, and after confirming that the claw member is not in contact with the support surface portion by the height position detection sensor The claw member is conveyed from the support surface. A mounting control means for lifting only the claw member to the side of the claw member, and that the claw member is in a non-contact approach height position with respect to the support surface portion of the object to be transported placed. After confirming by the position detection sensor, the claw member is entered from the side of the conveyed object to the lower side of the support surface portion, and after confirming that the claw member is in contact with the support surface portion by the holding detection sensor, It is characterized by having a removal control means for raising the object to be conveyed while supporting the support surface portion by raising the member. Thereby, at the time of attachment or removal, it is possible to eliminate causes such as the claw member colliding with the object to be conveyed and giving an impact, or the nail member being hooked on the object to be dropped and dropping.
また、本発明は、前記被搬送物の側方に退避された爪部材の先端部よりも進入側に前記支持面部の側面を位置させる位置規制部材を有することを特徴としている。これにより、爪部材が支持面部に引っ掛かることによる被搬送物の衝撃や揺れ、脱落を防止することができる。 Further, the present invention is characterized by having a position regulating member that positions the side surface of the support surface portion closer to the entry side than the tip portion of the claw member retracted to the side of the conveyed object. Accordingly, it is possible to prevent the object to be transported from being impacted, shaken, or dropped due to the claw member being caught on the support surface portion.
また、本発明は、前記位置規制部材は、前記一対の爪部材間の中心位置に前記被搬送物の支持面部を位置決めするように左右対称に設けられていることを特徴としている。これにより、被搬送物の支持面部と一対の爪部材との位置関係を常に一定の状態に維持させることができるため、爪部材が支持面部に引っ掛かる等による被搬送物の衝撃や揺れ、脱落をより一層十分に防止することができる。 Further, the present invention is characterized in that the position restricting member is provided symmetrically so as to position the support surface portion of the conveyed object at a center position between the pair of claw members. As a result, the positional relationship between the support surface portion of the object to be conveyed and the pair of claw members can always be maintained in a constant state, so that the object to be conveyed can be prevented from being shocked, shaken, or dropped due to the claw member being caught on the support surface portion. This can be prevented more sufficiently.
また、本発明は、前記高さ位置検知センサーが前記位置規制部材に設けられていることを特徴としている。これにより、高さ位置検知センサーの取り付けを容易に行うことができる。 Further, the present invention is characterized in that the height position detection sensor is provided on the position regulating member. Thereby, attachment of a height position detection sensor can be performed easily.
また、本発明は、前記装着制御手段は、前記被搬送物の支持面部を爪部材で支持しながら下降させて載置状態とする際に、載置状態に載置するときの下降速度が最も低速となるように、下降速度を可変する下降速度制御手段を有することを特徴としている。これにより、被搬送物の載置を短時間で完了できると共に、安定して行うことができる。 Further, according to the present invention, when the mounting control unit lowers the support surface portion of the object to be transported while supporting it with the claw member and sets the mounting state, the lowering speed when mounting in the mounting state is the highest. It is characterized by having a descending speed control means for varying the descending speed so as to be low. Thereby, the placement of the object to be conveyed can be completed in a short time and can be performed stably.
本発明の搬送装置は、爪部材が支持面部に引っ掛かることによる被搬送物の衝撃や揺れ、脱落を防止することができるという利点がある。 The conveyance device of the present invention has an advantage that the object to be conveyed can be prevented from being shocked, shaken, or dropped due to the claw member being caught on the support surface portion.
本発明の実施形態を図１ないし図１３に基づいて以下に説明する。
本実施例に係る搬送装置の一種である懸垂搬送装置は、半導体製品製造施設のように、工程内や工程間において処理対象物を搬送して処理を加えながら最終製品とする施設の搬送システムに適用される。尚、以降の説明においては、半導体基板や液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の処理対象物を搬送する搬送システムに適用した場合について説明するが、これに限定されるものではなく、電子部品や機械部品、化学品、食品、書類等の荷物を搬送する全業種の搬送システムに適用することができる。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.
A suspended transfer device, which is a type of transfer device according to the present embodiment, is used in a transfer system of a facility that is used as a final product while transferring an object to be processed in a process or between processes as in a semiconductor product manufacturing facility. Applied. In the following description, a case where the present invention is applied to a transport system that transports an object to be processed such as a semiconductor substrate, a glass substrate for a liquid crystal display device, a glass substrate for a photomask, and a substrate for an optical disk will be described. However, the present invention can be applied to a transport system for all industries that transports electronic parts, mechanical parts, chemicals, foods, documents, and other items.
上記の搬送システムは、図１３に示すように、ＯＨＴ（ｏｖｅｒ ｈｅａｄ ｈｏｉｓｔ ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）方式の搬送方式およびリニア駆動方式の走行方式を採用している。この搬送システムは、天井面に固設されたレール機構２１と、レール機構２１に沿って走行する懸垂搬送装置１とを有している。レール機構２１は、直線軌道や曲線軌道、分岐軌道等を形成する各種のモジュールの組み合わせからなっており、これら各種のモジュールを組み合せることによって、ＣＶＤ装置等の処理装置１７の上方や側方を通過する搬送軌道を形成している。
As shown in FIG. 13, the transport system employs an OHT (over head hoist transport) transport system and a linear drive travel system. This transport system includes a
レール機構２１の各モジュールは、押出し成形等により形成された中空状のレール枠体２２と、レール枠体２２を天井面に取り付ける固定具２３とを有している。レール枠体２２は、鉛直方向に配置される左側面壁２２ａおよび右側面壁２２ｂと、両側面壁２２ａ・２２ｂの上端部同士を連結した上面壁２２ｃとを有している。上面壁２２ｃの下面中心部には、永久磁石２４（二次側磁石）が長手方向に設けられている。また、左側面壁２２ａと右側面壁２２ｂとは、左右対称に形成されている。各側面壁２２ａ・２２ｂの下端位置には、下面部２２ｄ・２２ｄが形成されている。下面部２２ｄ・２２ｄは、内側方向に向けて形成されており、下面部２２ｄ・２２ｄ同士が対向されたときに、懸垂搬送装置１の後述する棒状支持部材５が通過する最小限の隙間を出現させる程度の長さに設定されている。
Each module of the
また、各側壁部２２ａ・２２ｂの中間位置には、ガイド部２２ｅが形成されている。ガイド部２２ｅは、上面壁２２ｃに対して平行に配置され、先端部が下方に曲折されている。ガイド部２２ｅは、懸垂搬送装置１の後述するガイドローラ１４に係合可能に配置されている。そして、ガイド部２２ｅは、搬送径路が２方向に分岐されている場合、ガイドローラ１４の係合により懸垂搬送装置１を何れかの分岐方向に進行させるようになっている。
A
上記のガイド部２２ｅと上面壁２２ｃとの間には、絶縁材料で形成された支持梁２５・２５が上下一対に設けられている。各支持梁２５の先端部には、一次給電線１６がそれぞれ設けられている。また、支持梁２５は、一次給電線１６を搬送軌道の全長に渡って一定の高さ位置に保持するように、搬送軌道方向に所定の間隔で配置されている。一次給電線１６は、図示しない給電装置に接続されており、給電装置からの高周波電力を懸垂搬送装置１の後述する給電機構１５に供給するようになっている。
A pair of upper and
上記のように構成されたレール枠体２２は、懸垂搬送装置１を走行可能に係合している。懸垂搬送装置１は、収納容器５１を昇降可能に保持および懸吊する昇降懸吊機構３と、昇降懸吊機構３の上面に連結された駆動機構４とを有している。尚、収納容器５１は、一部が外部雰囲気に解放されたＯＣ（ｏｐｅｎ ｃａｓｓｅｔｔｅ）形式や、容器内部が密閉されたＦＯＵＰ（ｆｒｏｎｔ ｏｐｅｎｉｎｇ ｕｎｉｆｉｅｄ ｐｏｄ）形式のキャリアであり、内部にウエハを収納する収納箱５２と、収納箱５２の上面に設けられたフランジ部材５３とを有している。フランジ部材５３は、収納箱５２の上面に突出された胴部５３ａと、胴部５３ａの上端に形成され、胴部５３ａの外径よりも大きな外径を有する支持面部５３ｂとを有しており、縦断面がＴ字形状に形成されている。
The
上記の駆動機構４は、レール枠体２２の内部において鉛直方向に配置された棒状支持部材５と、棒状支持部材５の上端に設けられた一次側コイル（一次側磁石）６とを有している。一次側コイル６は、レール機構２１の永久磁石２４（二次側磁石）に対向するように配置されており、永久磁石２４とでリニアモータを構成している。一次側コイル６は、一次側鉄心コア（積層鉄心）と３相コイルとで構成されており、３相交流の電流が通電されることにより直線状に移動する進行磁界を発生する。そして、一次側コイル６は、レール機構２１の永久磁石２４との間の磁気作用により懸垂搬送装置１を走行させる推進力や、停止状態を維持する保持力を発生させる。
The drive mechanism 4 includes a rod-like support member 5 disposed in the vertical direction inside the
上記の一次側コイル６の両側には、給電機構１５・１５が左右対称に設けられている。これらの給電機構１５・１５は、棒状支持部材５により支持されている。各給電機構１５は、二次側鉄心と巻線とを有しており、上述の一次給電線１６から供給される高周波電力を受け、高周波電流を生成する。給電機構１５は、図示しない電流変換部に接続されている。電流変換部は、整流回路において高周波電流を一旦直流に変換し、ＰＷＭ変換回路において３相交流に変換した後、この電流を上述の一次側コイル６に通電させるようになっている。
On both sides of the
給電機構１５の下方には、ガイド機構１２と走行ローラ機構７とがこの順に設けられている。ガイド機構１２は、レール機構２１の幅方向にスライド可能に設けられたスライド機構１３と、スライド機構１３の両端部に回転自在に設けられたガイドローラ１４・１４とを有している。ガイド機構１２は、ガイドローラ１４・１４の何れか一方を上述のガイド部２２ｅに係合することにより進行方向を変更可能にしている。
Below the
また、走行ローラ機構７は、棒状支持部材５に水平方向に固設された走行支持板８と、走行支持板８の下面に設けられた軸受け部材９と、軸受け部材９に回転自在に軸支されたローラ回転軸１０と、ローラ回転軸１０の両端部に設けられた走行ローラ１１とを有している。走行ローラ１１は、懸垂搬送装置１の走行時の安定性を確保するように、懸垂搬送装置１の走行方向の前側および後側において左右一対に設けられている。また、走行ローラ１１は、レール枠体２２の下面部２２ｄに載置されている。そして、走行ローラ機構７は、懸垂搬送装置１をレール機構２１に走行自在に係合させていると共に、リニアモータである一次側コイル６と永久磁石２４とのギャップ長を確保している。
The
上記の走行ローラ機構７等を支持する棒状支持部材５は、下端部がレール枠体２２の外部に突出されている。棒状支持部材５の下端部は、昇降懸吊機構３に連結されている。昇降懸吊機構３は、昇降機構３１と、昇降機構３１により昇降される把持機構３２とを有している。昇降機構３１は、略長方体形状に形成された収容枠体４１と、収容枠体４１に収容された４台の懸吊モジュールとを有している。各懸吊モジュールは、把持機構３２を介して収納容器５１を懸吊するタイミングベルト４３と、タイミングベルト４３を巻戻しおよび巻取る巻取ドラムと、タイミングベルト４３を巻戻し方向および巻取り方向に送り出すタイミングプーリと、巻取ドラムを巻戻し方向および巻取り方向に切替え可能に回転駆動するドラム駆動モータとを有している。そして、昇降機構３１は、収納容器５１を載置高さ位置から搬送高さ位置までの範囲で昇降させるように把持機構３２を上下方向に移動可能になっている。
The rod-like support member 5 that supports the traveling
一方、把持機構３２は、図３に示すように、略長方体形状に形成された収容枠体３４と、収容枠体３４の両側に左右対称に設けられた爪部材３３・３３と、収容枠体３４の下面に左右対称に設けられた位置規制部材３５・３５とを有している。各爪部材３３は、略Ｃ字形状に形成されており、上側に位置する上辺部３３ａと、下側に位置する下辺部３３ｂと、上辺部３３ａおよび下辺部３３ｂを連結する連結部３３ｃとを有している。爪部材３３の上辺部３３ａは、収容枠体３４内に位置されていると共に、この収容枠体３４内において図示しない爪部材駆動機構に連結されている。爪部材駆動機構は、両爪部材３３・３３を互いに逆方向に進退移動させることによって、爪部材３３・３３を開閉させるようになっている。
On the other hand, as shown in FIG. 3, the gripping
また、爪部材３３の連結部３３ｃおよび下辺部３３ｂは、収容枠体３４の外部に位置されている。連結部３３ｃは、収容枠体３４の側面に沿って垂下されている。下辺部３３ｂは、連結部３３ｃの下端部から内側方向に９０度曲折されている。連結部３３ｃは、下辺部３３ｂと収容枠体３４の下面との間にフランジ部材５３の支持面部５３ｂを収容する程度の長さに設定されている。これにより、爪部材３３・３３は、フランジ部材５３の上面と収容枠体３４の下面との間に隙間５６を形成させながら支持するようになっている。
Further, the connecting
また、下辺部３３ｂと上述の爪部材駆動機構による移動長との関係は、爪部材３３・３３が閉状態にされたときに、下辺部３３ｂ・３３ｂの先端同士の間隔が支持面部５３ｂの外径よりも小さくて胴部５３ａの外径よりも大きくなるように設定されている。これにより、爪部材３３・３３は、閉状態にされることによって、下辺部３３ｂの先端をフランジ部材５３の胴部５３ａに接触させることなく、下辺部３３ｂの先端部で支持面部５３ｂを両側から挟み込んで上下方向に支持可能になっている。一方、爪部材３３・３３が開状態にされたときには、下辺部３３ｂ・３３ｂの先端同士の間隔が収容枠体３４の外径よりも大きくなるように設定されている。尚、フランジ部材５３の支持面部５３ｂは、収容枠体３４の外径よりも十分に小さな外径に設定されている。これにより、爪部材３３・３３は、開状態にすれば、フランジ部材５３（支持面部５３ｂ）に接触することなく上下方向に移動可能になっている。
Further, the relationship between the
上記の爪部材３３・３３の内側には、位置規制部材３５・３５が左右対称に設けられている。これらの位置規制部材３５・３５は、上端が収容枠体３４の下面両端部にそれぞれ固設され、連結部３３ｃに沿って垂下された後、下端が下辺部３３ｂの先端部の上方近傍に位置するように設けられている。また、位置規制部材３５・３５は、フランジ部材５３の支持面部５３ｂの幅よりも大きな間隔で配置されている。これにより、位置規制部材３５・３５は、爪部材３３・３３で支持面部５３ｂを両側から挟み込んだ状態であるときに、支持面部５３ｂの両側面に対向し、支持面部５３ｂの側面に当接することにより支持面部５３ｂを位置規制部材３５・３５間に存在させるようになっている。
上記の位置規制部材３５・３５の内側面には、フランジ検知センサー５５の発光器５５ａおよび受光器５５ｂがそれぞれ設けられている。フランジ検知センサー５５は、発光器５５ａから出射した光を受光器５５ｂで受光するか否かで検出信号の出力と停止とを切り替えるように構成されている。また、フランジ検知センサー５５は、支持面部５３ｂを支持したときに形成される隙間５６内で光を進行させるように設けられている。これにより、フランジ検知センサー５５は、載置台６０に載置状態にされた収納容器５１におけるフランジ部材５３の支持面部５３ｂと爪部材３３・３３とを非接触で対向可能にする水平移動高さ位置の水平面内に爪部材３３・３３が存在するとき、即ち、支持面部５３ｂと収納箱５２との間に支持面部５３ｂが非接触で存在するときに、支持面部５３ｂを検知することが可能になっている。
A
また、各爪部材３３・３３における下辺部３３ｂの先端部上面には、第１および第２保持検知センサー５７ａ・５７ｂがそれぞれ設けられている。第１および第２保持検知センサー５７ａ・５７ｂは、例えばリミットスイッチ等からなっており、下辺部３３ｂの先端部上面が支持面部５３ｂに当接したことを検知するようになっている。
Moreover, the 1st and 2nd holding |
上記のフランジ検知センサー５５および第１および第２保持検知センサー５７ａ・５７ｂは、図１に示すように、昇降制御装置６１に接続されている。昇降制御装置６１は、第１および第２保持検知センサー５７ａ・５７ｂが接続された爪部材離隔判定部６２と、フランジ検知センサー５５が接続されたフランジ検知判定部６３とを有している。爪部材離隔判定部６２は、第１および第２保持検知センサー５７ａ・５７ｂからの出力信号がＯＮ状態であれば、爪部材３３・３３により支持面部５３ｂが保持されていると認識する一方、ＯＦＦ状態であれば、爪部材３３・３３が支持面部５３ｂから離隔したと認識する機能を有している。また、フランジ検知判定部６３は、フランジ検知センサー５５からの出力信号がＯＦＦ状態であれば、支持面部５３ｂがフランジ検知センサー５５の取り付け高さ位置、即ち、爪部材３３・３３の下辺部３３ｂ・３３ｂが支持面部５３ｂと収納容器５１との間に非接触で存在すると認識する一方、ＯＮ状態であれば、収納容器５１が爪部材３３・３３により支持状態または抜脱状態であると認識する機能を有している。
The
上記の爪部材離隔判定部６２は、爪部材開閉指示部６４に接続されている。爪部材開閉指示部６４は、把持機構３２に接続されており、爪部材離隔判定部６２からの認識信号に基づいて把持機構３２の爪部材３３・３３を開閉させる機能を有している。また、爪部材離隔判定部６２は、昇降指示部６５にも接続されている。昇降指示部６５には、上述のフランジ検知判定部６３が接続されていると共に、搬送高さ判定部６６が接続されている。搬送高さ判定部６６は、昇降機構３１により把持機構３２が搬送高さにまで上昇したことを検出して昇降指示部６５に出力する機能を有している。
The claw member
上記の昇降指示部６５は、搬送高さ判定部６６からの検出信号が入力されたときに、昇降機構３１に対して把持機構３２の上昇を停止させる機能と、爪部材離隔判定部６２およびフランジ検知判定部６３からの認識信号に基づいて把持機構３２の昇降および停止を制御する機能とを有している。この制御機能を具体的に説明すると、昇降指示部６５がカセット装着モードで動作している場合には、収納容器５１を保持した状態で把持機構３２を下降させ、フランジ検知判定部６３からの認識信号により爪部材３３の下辺部３３ｂが支持面部５３ｂに対して非接触の高さ位置にまで下降したことを確認したときに下降を停止させる機能と、下降を停止したときに、爪部材離隔判定部６２からの認識信号により爪部材３３・３３と収納容器５１とが離隔したことを確認することでカセット装着の成否を判定する機能とを発揮するようになっている。また、昇降指示部６５がカセット抜脱モードで動作している場合には、収納容器５１を保持しない状態で把持機構３２を下降させ、フランジ検知判定部６３からの認識信号により爪部材３３の下辺部３３ｂが支持面部５３ｂに対して非接触の高さ位置にまで下降したことを確認したときに下降を停止させる機能と、爪部材３３・３３を閉状態にして把持機構３２を上昇させたときに、爪部材離隔判定部６２からの認識信号により爪部材３３・３３と収納容器５１とが離隔したことを確認することでカセット装着の成否を判定する機能とを発揮するようになっている。
The lifting / lowering
また、昇降制御装置６１は、速度切換高さ判定部６７と、速度切換高さ判定部６７に接続された下降速度切換え部６８と、下降速度切換え部６８に接続された高速指示部６９および低速指示部７０とを有している。速度切換高さ判定部６７は、把持機構３２が速度切換高さ位置に存在するか否かを判定する機能を有している。下降速度切換え部６８は、把持機構３２が速度切換高さ判定部６７で速度切換高さ位置に到達したと判定されたときに、把持機構３２が下降する条件であれば、高速指示部６９および低速指示部７０を制御して把持機構３２の下降速度を高速から低速に切り替える機能を有している。高速指示部６９は、昇降機構３１に対して把持機構３２を高速で移動させるように指示する機能を有している。低速指示部７０は、昇降機構３１に対して把持機構３２を低速で移動させるように指示する機能を有している。
In addition, the lifting
上記のように構成された昇降制御装置６１は、カセット装着認識部７１およびカセット抜脱認識部７２に接続されている。これらの認識部７１・７２には、カセット着脱信号読取部７３が接続されている。カセット着脱信号読取部７３には、図示しないメインコントローラが接続されている。そして、カセット着脱信号読取部７３は、メインコントローラからの指示信号を受信し、指示信号がカセット着脱信号であれば、この信号をカセット装着認識部７１およびカセット抜脱認識部７２にそれぞれ出力する機能を有している。また、カセット装着認識部７１は、カセット着脱信号がカセット装着を指示する信号内容であるか否かを判定し、カセット装着であれば、昇降制御装置６１をカセット装着モードに設定する機能を有している。一方、カセット抜脱認識部７２は、カセット着脱信号がカセット抜脱を指示する信号内容であるか否かを判定し、カセット抜脱であれば、昇降制御装置６１をカセット抜脱モードに設定する機能を有している。
The lifting
尚、昇降制御装置６１やカセット装着認識部７１、カセット抜脱認識部７２は、上述のようにハードウエア的に構成されていても良いし、ソフトウエア的に構成されていても良い。即ち、図２のカセット装着ルーチンおよび図７のカセット抜脱ルーチンからなるプログラムにより同一の機能を発揮するように構成されていても良い。この際、各ルーチンからなるプログラムは、記憶部のＲＯＭに予め読み出し専用に書き込まれていても良いし、ＣＤ等の記録媒体に記録されたものが必要時に読み出されて記憶部に書き込まれても良いし、さらにはインターネット等の電気通信回線を介して伝送されて記憶部に書き込まれても良い。
In addition, the raising / lowering
上記の構成において、搬送装置の動作を図２および図７の各ルーチンに基づいて説明する。 In the above configuration, the operation of the transport apparatus will be described based on the routines shown in FIGS.
先ず、図示しないメインコントローラは、全ての収納容器５１の保管状態や搬送先等を管理および監視していると共に、搬送軌道上に存在する全ての懸垂搬送装置１の搬送状態を管理および監視している。そして、懸垂搬送装置１を処理装置１７に移動させる場合には、懸垂搬送装置１と処理装置１７とを特定した後、この特定した内容を含んだ指令信号を懸垂搬送装置１に送信する。そして、この指令信号に基づいて懸垂搬送装置１が処理装置１７に移動する。この後、収納容器５１を処理装置１７に装着する場合には、収納容器５１の装着を指示する内容を含んだ指令信号が懸垂搬送装置１に送信される。一方、処理装置１７から収納容器５１を取り出す場合には、収納容器５１の取り出しである抜脱を指示する内容を含んだ指令信号が懸垂搬送装置１に送信される。
First, the main controller (not shown) manages and monitors the storage state and the transfer destination of all the
上記のようにして懸垂搬送装置１に指令信号が送信されると、この指令信号を受けた懸垂搬送装置１は、指令信号に含まれる信号内容を読み取り、カセット装着を示す信号内容であれば、カセット装着モードであると認識し、図２のカセット装着ルーチンを実行する。一方、信号内容がカセット抜脱を示す場合には、カセット抜脱モードであると認識し、図７のカセット抜脱ルーチンを実行する。
When a command signal is transmitted to the
例えば収納容器５１を処理装置１７にセットする場合には、保管棚等に保管された収納容器５１が懸垂搬送装置１の把持機構３２の爪部材３３・３３により両側から挟み込むようにして把持され、搬送に支障のない搬送高さ位置にまで引き上げられた後、処理装置１７に搬送される。尚、このような収納容器５１を保持して搬送高さ位置にまで引き上げる一連の動作は、後述の図７のカセット抜脱ルーチンの実行による動作と同一である。
For example, when the
次に、収納容器５１を保持した懸垂搬送装置１が所定の処理装置１７に移動し、この処理装置１７の載置台６０上に到達すると、図２のカセット装着ルーチンが実行される。先ず、図３に示すように、昇降機構３１からタイミングベルト４３が高速で繰り出されることによって、タイミングベルト４３に懸吊された把持機構３２が高速で下降される（Ｓ１）。この際、所定距離を下降した速度切換高さ位置にまで把持機構３２が下降したか否かが判定される（Ｓ２）。そして、所定距離を下降していなければ（Ｓ２，ＮＯ）、高速の下降が継続される。この結果、把持機構３２が搬送高さ位置から速度切換高さ位置までの所定距離を短時間で移動するため、装着に要する時間が短縮される。そして、所定距離を下降したときに（Ｓ２，ＹＥＳ）、低速の下降に切り替えられる（Ｓ３）。
Next, when the suspended
尚、高速の下降とは、収納容器５１内のウエハが荷崩れしない範囲で最大の下降速度であることが好ましい。また、下降速度は、下降途中で変化しても良く、例えば搬送高さ位置から徐々に下降速度が増大されるようになっていても良い。また、低速の下降とは、載置台６０に収納容器５１を載置したときの衝撃でウエハが荷崩れしない程度の速度を意味する。また、下降速度は、下降途中で変化しても良く、例えば搬送高さ位置から徐々に下降速度が減少され、載置時に最低速度となるように設定されていても良い。
The high speed descent is preferably the maximum descent speed as long as the wafer in the
所定距離を下降して低速の下降に切り替えられると、懸垂搬送装置１は、フランジ検知センサー５５の検知信号がＯＦＦ状態であるか否かを判定し（Ｓ４）、ＯＦＦ状態でなければ（Ｓ４，ＮＯ）、把持機構３２の下降を継続する。尚、爪部材３３・３３がフランジ部材５３の支持面部５３ｂを把持して上下方向に支持している場合、フランジ検知センサー５５は、発光器５５ａと受光器５５ｂとの間に障害物が存在しないため、光の送受信によりＯＮ状態の検知信号を出力している。
When the predetermined distance is lowered and switched to a low speed descent, the
この結果、図４に示すように、収納容器５１が昇降機構３１と共に下降し、載置台６０に載置される。この際、上述のように、収納容器５１が載置台６０に低速で下降されながら載置されるため、載置による衝撃は極めて小さなものとなり、収納容器５１内のウエハの荷崩れや塵埃の飛散は殆んど起らない。また、収納容器５１が載置台６０に載置された場合においても、フランジ検知センサー５５の検知信号がＯＮ状態であるため、把持機構３２が下降を継続する。これにより、以後は、把持機構３２のみが下降し、爪部材３３・３３がフランジ部材５３の支持面部５３ｂから離隔する。そして、把持機構３２がさらに下降し、フランジ検知センサー５５により検知され、フランジ検知センサー５５の検知信号がＯＦＦ状態に変化したときに（Ｓ４，ＹＥＳ）、爪部材３３が支持面部５３ｂに対して非接触になったと認識されて下降が停止される（Ｓ５）。
As a result, as shown in FIG. 4, the
この後、第１および第２保持検知センサー５７ａ・５７ｂの検知信号がＯＦＦ状態か否かが判定されることによって、両方の爪部材３３・３３が支持面部５３ｂから離隔しているか否かが判定される（Ｓ６）。第１および第２保持検知センサー５７ａ・５７ｂの少なくとも一方がＯＮ状態である場合には（Ｓ６，ＮＯ）、
爪部材３３・３３の少なくとも一方が支持面部５３ｂに引っ掛かっている等の原因により載置が失敗したと認識する。そして、失敗した旨をオペレータに報知したり、懸垂搬送装置１の動作を停止する等の失敗処理を行った後（Ｓ９）、本ルーチンを終了する。
Thereafter, it is determined whether or not the detection signals of the first and second
It is recognized that the placement has failed due to a cause such that at least one of the
一方、第１および第２保持検知センサー５７ａ・５７ｂの両方がＯＦＦ状態である場合には（Ｓ６，ＹＥＳ）、図５に示すように、爪部材３３・３３の下辺部３３ｂ・３３ｂが支持面部５３ｂと収納箱５２との間に非接触で存在すると判断し、爪部材３３・３３を互いに離れる方向に移動させる（Ｓ７）。これにより、爪部材３３・３３は、下辺部３３ｂ・３３ｂの先端同士の間隔が収容枠体３４の外径よりも大きくなるまで拡大した開状態、即ち、収納容器５１のフランジ部材５３の側方に退避された状態となる。尚、このような爪部材３３・３３の退避時においては、爪部材３３・３３の下辺部３３ｂ・３３ｂが上述のように支持面部５３ｂと収納箱５２との間に非接触で位置していることが確認されているため、爪部材３３が収納容器５１に引っ掛かって収納容器５１を傾けたり、収納容器５１に衝突して衝撃を与えることはない。これにより、収納容器５１内のウエハの破損や塵埃による汚染が防止される。
On the other hand, when both the first and second
この後、図６に示すように、爪部材３３・３３を開状態としながら把持機構３２を上昇させて上限位置、即ち、搬送高さ位置にまで上昇させる（Ｓ８）。この際、収納容器５１が正規の位置に載置され、懸垂搬送装置１の真下に位置していた場合には、爪部材３３・３３が収納容器５１のフランジ部材５３の側方に退避されているため、支持面部５３ｂに爪部材３３が引っ掛かることはない。
Thereafter, as shown in FIG. 6, the gripping
一方、収納容器５１が正規の位置から外れて載置された場合のように、懸垂搬送装置１の真下から爪部材３３の開閉方向に外れた状態で収納容器５１が載置された場合には、把持機構３２は、タイミングベルト４３で懸吊されているだけであるため、爪部材３３・３３と支持面部５３ｂとが離隔すると、重力の影響を受けて爪部材３３の開閉方向に移動する。この際、把持機構３２の位置規制部材３５・３５は、上端が収容枠体３４の下面両端部にそれぞれ固設され、爪部材３３の連結部３３ｃに沿って垂下された後、下端が下辺部３３ｂの先端部の上方近傍に位置するように設けられている。従って、爪部材３３・３３の下辺部３３ｂ・３３ｂが支持面部５３ｂの下方に移動して開状態にされたときには、フランジ部材５３の支持面部５３ｂが位置規制部材３５・３５間に位置した状態となっている。
On the other hand, when the
これにより、把持機構３２が爪部材３３の開閉方向に大幅に移動する状態になった場合でも、把持機構３２の位置規制部材３５・３５が支持面部５３ｂの側面に当接するため、支持面部５３ｂが位置規制部材３５・３５間に存在することになる。また、開状態の爪部材３３・３３は、爪部材３３・３３の下辺部３３ｂ・３３ｂの先端部の間隔が位置規制部材３５・３５の間隔よりも大きくなるように設定されている。この結果、把持機構３２を上昇させたときに、爪部材３３・３３の下辺部３３ｂ・３３ｂが支持面部５３ｂに引っ掛かることはない。
As a result, even when the
次に、処理装置１７から収納容器５１を抜脱する場合には、上記のようにして空状態となった懸垂搬送装置１が所定の処理装置１７に移動する。そして、この処理装置１７の載置台６０上に到達したときに、図７のカセット抜脱ルーチンが実行される。先ず、図８に示すように、爪部材３３・３３が開状態にされた後（Ｓ１１）、昇降機構３１からタイミングベルト４３が高速で繰り出されることによって、タイミングベルト４３に懸吊された把持機構３２が高速で下降される（Ｓ１２）。この際、所定距離を下降した速度切換高さ位置にまで把持機構３２が下降したか否かが判定され（Ｓ１３）、所定距離を下降していなければ（Ｓ１３，ＮＯ）、高速の下降が継続される。尚、空状態の把持機構３２を下降させる速度は、収納容器５１を保持した状態の把持機構３２を下降させる速度よりも高速であっても良い。
Next, when the
所定距離を下降すると（Ｓ１３，ＹＥＳ）、低速の下降に切り替えられる（Ｓ１４）。そして、懸垂搬送装置１は、フランジ検知センサー５５の検知信号がＯＦＦ状態であるか否かを判定し（Ｓ１５）、ＯＦＦ状態でなければ（Ｓ１５，ＮＯ）、把持機構３２の下降を継続する。この結果、開状態の爪部材３３・３３の間にフランジ部材５３の支持面部５３ｂが低速で進入し、図９に示すように、支持面部５３ｂがフランジ検知センサー５５で検知されたときに（Ｓ１５，ＹＥＳ）、下降が停止される（Ｓ１６）。これにより、爪部材３３・３３の下辺部３３ｂ・３３ｂが支持面部５３ｂと収納箱５２の上面との間の高さ位置に位置決めされることになる。
When the predetermined distance is lowered (S13, YES), it is switched to a low-speed descent (S14). Then, the suspended
この後、図１０に示すように、爪部材３３・３３が閉方向に移動され、爪部材３３・３３の間隔が縮小されることによって、下辺部３３ｂ・３３ｂが支持面部５３ｂの下方で水平移動される（Ｓ１７）。この際、爪部材３３が支持面部５３ｂに接触することがないため、収納容器５１内のウエハの荷崩れや塵埃の飛散は起らない。
Thereafter, as shown in FIG. 10, the
上記のようにして支持面部５３ｂが爪部材３３・３３により両側から挟み込むようにされると、続いて、図１１に示すように、収容枠体３４が低速で上昇される（Ｓ１８）。そして、この低速の上昇を継続しながら、第１および第２保持検知センサー５７ａ・５７ｂがＯＮ状態になったか否かが判定され（Ｓ１９）、ＯＮ状態でない、即ち、ＯＦＦ状態を維持していれば（Ｓ１９，ＮＯ）、続いて上昇を開始してから一定時間が経過したか否かを判定する（Ｓ２０）。一定時間が経過していない場合は（Ｓ２０，ＮＯ）、Ｓ１９を再実行し、ＯＮ状態に切り替わりを監視する。また、一定時間を経過した場合には（Ｓ２０，ＹＥＳ）、収納箱５２の把持を失敗したと判断し、この失敗した旨の情報をオペレータに報知する等の失敗処理を行った後（Ｓ２１）、本ルーチンを終了する。
When the
また、Ｓ１９において、第１および第２保持検知センサー５７ａ・５７ｂがＯＮ状態に切り替わった場合には（Ｓ１９，ＹＥＳ）、両方の爪部材３３・３３で支持面部５３ｂを上下方向に支持できたと判断し、把持機構３２を高速で上昇させる（Ｓ２２）。そして、図１２に示すように、爪部材３３・３３を開状態としながら把持機構３２を上昇させて上限位置、即ち、搬送高さ位置にまで上昇させ（Ｓ２３）、本ルーチンを終了する。
In S19, when the first and second
以上のように、本実施例の搬送装置は、図３に示すように、収納容器５１（被搬送物）の支持面部５３ｂを両側から挟み込んで下側から上下方向に支持する爪部材３３・３３と、収納容器５１の支持面部５３ｂの真下側から外側までの範囲で爪部材３３・３３を水平方向に移動可能な図示しない水平移動機構と、収納容器５１を載置高さ位置から搬送高さ位置までの範囲で昇降させるように爪部材３３・３３を上下方向に移動可能な昇降機構３１と、収納容器５１の支持面部５３ｂを爪部材３３・３３で支持しながら下降させて載置状態とした後、支持面部５３ｂから爪部材３３・３３を収納容器５１の側方に退避させ、爪部材３３・３３のみを上昇させる装着制御手段（図１の昇降制御装置６１やカセット装着認識部７１等、図２のカセット装着ルーチン）と、載置状態にされた収納容器５１の側方から支持面部５３ｂの下側に爪部材３３・３３を進入させた後、爪部材３３・３３の上昇により支持面部５３ｂを支持しながら収納容器５１を上昇させる抜脱制御手段（図１の昇降制御装置６１やカセット抜脱認識部７２等、図７のカセット抜脱ルーチン）と、装着制御手段による爪部材３３・３３のみの上昇時に、収納容器５１の側方に退避された爪部材３３・３３の先端部よりも進入側に支持面部５３ｂの側面を位置させる位置規制部材３５・３５（当接部材）とを有した構成にされている。そして、このように構成された懸垂搬送装置１は、爪部材が支持面部に引っ掛かることによる被搬送物の衝撃や揺れ、脱落を防止することが可能になっている。
As described above, as shown in FIG. 3, the transport device according to the present embodiment sandwiches the
尚、本実施例においては、収納容器５１の支持面部５３ｂは、縦断面がＴ字形状のフランジ部材５３の頭部に設定されているが、これに限定されるものではなく、収納容器５１自体の下面部であっても良いし、収納容器５１の側面に形成された凹部等であっても良い。また、爪部材３３は、単数であっても、複数であっても良い。また、本実施例における水平移動機構としては、例えばボールネジ機構やシリンダ機構、ベルト機構を用いることができる。昇降機構３１は、本実施例のように把持機構３２をタイミングベルト４３で懸吊して昇降させる構成であっても良いし、把持機構３２の側面を支持しながらボールネジ機構やシリンダ機構により昇降させる構成であっても良い。
In the present embodiment, the
また、本実施例の位置規制部材３５は、支持面部５３ｂの両側に当接可能な状態となるように、左右対称に設けられているが、支持面部５３ｂの四方を囲むように例えば４ヶ所に設けられていても良い。この場合には、収納容器５１の左右の位置ズレに加えて、収納容器５１の前後方向の位置ズレによる懸吊時のバランスの崩れによる脱落も防止することが可能になる。また、位置規制部材３５は、少なくとも先端部が柔軟な材質、例えば合成樹脂やラバーで形成されていることが好ましい。これにより、カセット抜脱時において、爪部材３３・３３を下降させるときに、位置規制部材３５が支持面部５３ｂに衝突した場合でも、衝突時の衝撃を位置規制部材３５が減衰させるため、支持面部５３ｂの破損を十分に防止することができる。
Further, the
また、本実施例の懸垂搬送装置１は、収納容器５１の支持面部５３ｂを両側から挟み込んで下側から上下方向に支持する爪部材３３・３３と、収納容器５１の支持面部５３ｂの真下側から外側までの範囲で爪部材３３・３３を水平方向に移動可能な水平移動機構と、収納容器５１を載置高さ位置から搬送高さ位置までの範囲で昇降させるように爪部材３３・３３を上下方向に移動可能な昇降機構３１と、爪部材３３・３３が収納容器５１の支持面部５３ｂに当接したことを検知する第１および第２保持検知センサー５７ａ・５７ｂ（保持検知センサー）と、載置状態にされた収納容器５１の支持面部５３ｂと爪部材３３・３３とを非接触で対向可能にする水平移動高さ位置の水平面内に爪部材３３・３３が存在するときに、収納容器５１の所定部位を検知するフランジ検知センサー５５（高さ位置検知センサー）と、収納容器５１の支持面部５３ｂを爪部材３３・３３で支持しながら下降させて載置状態とし、フランジ検知センサー５５により爪部材３３・３３が支持面部５３ｂに対して非接触になったことを確認した後、支持面部５３ｂから爪部材３３・３３を収納容器５１の側方に退避させ、爪部材３３・３３のみを上昇させる装着制御手段（図１の昇降制御装置６１やカセット装着認識部７１等、図２のカセット装着ルーチン）と、載置状態にされた収納容器５１の支持面部５３ｂに対して爪部材３３・３３が非接触の進入高さ位置であることをフランジ検知センサー５５により確認した後、収納容器５１の側方から支持面部５３ｂの下側に爪部材３３・３３を進入させ、第１および第２保持検知センサー５７ａ・５７ｂにより爪部材３３・３３が支持面部５３ｂに当接したことを確認した後、爪部材３３・３３の上昇により支持面部５３ｂを支持しながら収納容器５１を上昇させる抜脱制御手段（図１の昇降制御装置６１やカセット抜脱認識部７２等、図７のカセット抜脱ルーチン）とを有した構成にされている。
Further, the suspended
より具体的には、懸垂搬送装置１は、図１３に示すように、軌道上を走行する走行ローラ機構７等の走行台車と、走行台車に吊り下げ状態に昇降可能に支持された把持機構３２（保持体）と、把持機構３２に設けられ、収納容器５１の支持面部５３ｂを両側から進退移動させることにより下側から上下方向に支持する一対の爪部材３３・３３とを有している。さらに、懸垂搬送装置１は、図３に示すように、爪部材３３・３３が収納容器５１の支持面部５３ｂに当接したことを検知する第１および第２保持検知センサー５７ａ・５７ｂ（保持検知センサー）と、載置状態にされた収納容器５１の支持面部５３ｂと爪部材３３・３３とを非接触で対向可能にする水平移動高さ位置の水平面内に爪部材３３・３３が存在するときに、収納容器５１の支持面部５３ｂ（所定部位）を検知するフランジ検知センサー５５（高さ位置検知センサー）と、収納容器５１の支持面部５３ｂを爪部材３３・３３で支持しながら下降させて載置状態とし、フランジ検知センサー５５により爪部材３３・３３が支持面部５３ｂに対して非接触になったことを確認した後、支持面部５３ｂから爪部材３３・３３を収納容器５１の側方に退避させ、爪部材３３・３３のみを上昇させる装着制御手段と、載置状態にされた収納容器５１の支持面部５３ｂに対して爪部材３３・３３が非接触の進入高さ位置であることをフランジ検知センサー５５により確認した後、収納容器５１の側方から支持面部５３ｂの下側に爪部材３３・３３を進入させ、第１および第２保持検知センサー５７ａ・５７ｂにより爪部材３３・３３が支持面部５３ｂに当接したことを確認した後、爪部材３３・３３の上昇により支持面部５３ｂを支持しながら収納容器５１を上昇させる抜脱制御手段とを有した構成にされている。
More specifically, as shown in FIG. 13, the
そして、このように構成された懸垂搬送装置１は、装着動作時および抜脱動作時において、収納容器５１に爪部材３３・３３が衝突して衝撃を与えたり、収納容器５１に爪部材３３・３３を引っ掛けて脱落させる等の原因を解消することが可能になっている。尚、第１および第２保持検知センサー５７ａ・５７ｂ（保持検知センサー）は、リミットスイッチであっても良いし、爪部材３３・３３の変位を検出する変位センサー、爪部材３３・３３の重量変化を検出するロードセル等であっても良い。
The
さらに、懸垂搬送装置１は、収納容器５１の側方に退避された爪部材３３・３３の先端部よりも進入側に支持面部５３ｂの側面を位置させる位置規制部材３５を有した構成にされている。これにより、爪部材３３・３３が支持面部５３ｂに引っ掛かることによる収納容器５１の衝撃や揺れ、脱落を防止することが可能になっている。
Furthermore, the
さらに、上記の位置規制部材３５・３５は、一対の爪部材３３・３３間の中心位置に支持面部５３ｂを位置決めするように左右対称に設けられた構成にされている。これにより、収納容器５１の支持面部５３ｂと一対の爪部材３３・３３との位置関係を常に一定の状態に維持させることができるため、爪部材３３・３３が支持面部に引っ掛かる等による収納容器５１の衝撃や揺れ、脱落をより一層十分に防止することが可能になっている。
Further, the
さらに、フランジ検知センサー５５（高さ位置検知センサー）は、位置規制部材３５・３５に設けられている。これにより、フランジ検知センサー５５の取り付けを容易に行うことが可能になっている。
Further, the flange detection sensor 55 (height position detection sensor) is provided on the
尚、フランジ検知センサー５５（高さ位置検知センサー）は、フランジ部材５３を検知するようになっているが、これに限定されるものではなく、収納容器５１の上面や側面に設けられた突起部等の特定部位を検知するようになっていても良い。また、フランジ検知センサー５５は、位置規制部材３５の内側に設けられていても良いし、収容枠体３４の下面に設けられ、収容枠体３４と支持面部５３ｂの上面との距離を検出するように構成されていても良い。さらに、フランジ検知センサー５５は、爪部材３３・３３の連結部３３ｃ・３３ｃの内側面に設けられていても良い。
The flange detection sensor 55 (height position detection sensor) is configured to detect the
また、本実施例における装着制御手段は、収納容器５１の支持面部５３ｂを爪部材３３・３３爪部材で支持しながら下降させて載置状態とする際に、載置状態に載置するときの下降速度が最も低速となるように、下降速度を可変する下降速度制御手段（図１の高速指示部６９、低速指示部７０および図２のＳ１〜Ｓ１３、図７のＳ１２〜Ｓ１４）を有した構成にされている。これにより、収納容器５１の載置を短時間で完了できると共に、安定して行うことができるようになっている。尚、下降速度の可変は、本実施例のように高速と低速の２段階であっても良いし、２段階以上の多段階であっても良いし、連続的に変化するものであっても良い。
Further, the mounting control means in the present embodiment is used when the mounting surface is placed in the placement state when the
以上のように、本発明を好適な実施の形態に基づいて説明したが、本発明はその趣旨を超えない範囲において変更が可能である。 As mentioned above, although this invention was demonstrated based on suitable embodiment, this invention can be changed in the range which does not exceed the meaning.
例えば半導体製造施設でウエハに対して各種の処理を施す際に、ウエハを収納容器に収納して搬送する用途にも適用できる。 For example, the present invention can also be applied to a case where a wafer is stored in a storage container and transferred when various processes are performed on the wafer in a semiconductor manufacturing facility.
１ 懸垂搬送装置
３ 昇降懸吊機構
４ 駆動機構
５ 棒状支持部材
６ 一次側コイル
７ 走行ローラ機構
１２ ガイド機構
１３ スライド機構
１４ ガイドローラ
１５ 給電機構
３１ 昇降機構
３２ 把持機構
３３ 爪部材
３３ａ 上辺部
３３ｂ 下辺部
３３ｃ 連結部
３４ 収容枠体
３５ 位置規制部材
４１ 収容枠体
４３ タイミングベルト
５１ 収納容器
５２ 収納箱
５３ フランジ部材
５３ａ 胴部
５３ｂ 支持面部
５５ フランジ検知センサー
５６ 隙間５６
５７ａ 第１保持検知センサー
５７ｂ 第２保持検知センサー
６０ 載置台
６１ 昇降制御装置
６２ 爪部材離隔判定部
６３ フランジ検知判定部
６４ 爪部材開閉指示部
６５ 昇降指示部
６６ 搬送高さ判定部
６７ 速度切換高さ判定部
６８ 下降速度切り替え部
６９ 高速指示部
７０ 低速指示部
７１ カセット装着認識部
７２ カセット抜脱認識部
７３ カセット着脱信号読取部
DESCRIPTION OF
57a 1st holding |
Claims (7)
前記被搬送物の支持面部の真下側から外側までの範囲で前記爪部材を水平方向に移動可能な水平移動機構と、
前記被搬送物を載置高さ位置から搬送高さ位置までの範囲で昇降させるように前記爪部材を上下方向に移動可能な昇降機構と、
前記被搬送物の支持面部を爪部材で支持しながら下降させて載置状態とした後、該支持面部から爪部材を被搬送物の側方に退避させ、爪部材のみを上昇させる装着制御手段と、
載置状態にされた被搬送物の側方から支持面部の下側に爪部材を進入させた後、該爪部材の上昇により支持面部を支持しながら被搬送物を上昇させる抜脱制御手段と、
前記装着制御手段による爪部材のみの上昇時に、前記被搬送物の側方に退避された爪部材の先端部よりも進入側に前記支持面部の側面を位置させる当接部材と
を有することを特徴とする搬送装置。 A claw member that sandwiches the support surface portion of the object to be conveyed from both sides and supports it vertically from below,
A horizontal movement mechanism capable of moving the claw member in a horizontal direction in a range from directly below to the outside of the support surface portion of the conveyed object;
An elevating mechanism capable of moving the claw member in the vertical direction so as to elevate the object to be conveyed in a range from a placement height position to a conveyance height position;
Mounting control means for lowering the support surface portion of the transported object while supporting it with a claw member and placing it in a placed state, then retracting the claw member from the support surface portion to the side of the transported material and raising only the claw member When,
An extraction control means for raising the object to be conveyed while supporting the support surface part by ascending the claw member after the claw member has entered from the side of the object to be conveyed placed to the lower side of the support surface part ,
A contact member that positions the side surface of the support surface portion closer to the entry side than the tip portion of the claw member retracted to the side of the object to be conveyed when the attachment control means lifts only the claw member. A transport device.
前記被搬送物の支持面部の真下側から外側までの範囲で前記爪部材を水平方向に移動可能な水平移動機構と、
前記被搬送物を載置高さ位置から搬送高さ位置までの範囲で昇降させるように前記爪部材を上下方向に移動可能な昇降機構と、
前記爪部材が前記被搬送物の支持面部に当接したことを検知する保持検知センサーと、
載置状態にされた前記被搬送物の支持面部と前記爪部材とを非接触で対向可能にする水平移動高さ位置の水平面内に前記爪部材が存在するときに、前記被搬送物の所定部位を検知する高さ位置検知センサーと、
前記被搬送物の支持面部を爪部材で支持しながら下降させて載置状態とし、前記高さ位置検知センサーにより爪部材が支持面部に対して非接触になったことを確認した後、該支持面部から爪部材を被搬送物の側方に退避させ、爪部材のみを上昇させる装着制御手段と、
載置状態にされた被搬送物の支持面部に対して前記爪部材が非接触の進入高さ位置であることを前記高さ位置検知センサーにより確認した後、被搬送物の側方から支持面部の下側に爪部材を進入させ、前記保持検知センサーにより爪部材が支持面部に当接したことを確認した後、該爪部材の上昇により支持面部を支持しながら被搬送物を上昇させる抜脱制御手段と
を有することを特徴とする搬送装置。 A claw member that sandwiches the support surface portion of the object to be conveyed from both sides and supports it vertically from below,
A horizontal movement mechanism capable of moving the claw member in a horizontal direction in a range from directly below to the outside of the support surface portion of the conveyed object;
An elevating mechanism capable of moving the claw member in the vertical direction so as to elevate the object to be conveyed in a range from a placement height position to a conveyance height position;
A holding detection sensor for detecting that the claw member is in contact with the support surface portion of the object to be conveyed;
When the claw member is present in a horizontal plane at a horizontal movement height position that allows the support surface portion of the transported object placed in a placed state and the claw member to face each other in a non-contact manner, a predetermined value of the transported object is determined. A height position detection sensor for detecting a site;
The support surface portion of the object to be transported is lowered while being supported by the claw member to be placed, and after confirming that the claw member is not in contact with the support surface portion by the height position detection sensor, the support surface portion is supported. A mounting control means for retracting the claw member from the surface portion to the side of the object to be conveyed and raising only the claw member;
After confirming by the height position detection sensor that the claw member is in a non-contact approach height position with respect to the support surface portion of the object to be transported placed, the support surface portion from the side of the object to be transported The claw member is made to enter the lower side, and after confirming that the claw member is in contact with the support surface portion by the holding detection sensor, the object to be conveyed is lifted while supporting the support surface portion by raising the claw member. And a control device.
前記走行台車に吊り下げ状態に昇降可能に支持された保持体と、
前記保持体に設けられ、被搬送物の支持面部を両側から進退移動させることにより下側から上下方向に支持する一対の爪部材と、
前記爪部材が前記被搬送物の支持面部に当接したことを検知する保持検知センサーと、
載置状態にされた前記被搬送物の支持面部と前記爪部材とを非接触で対向可能にする水平移動高さ位置の水平面内に前記爪部材が存在するときに、前記被搬送物の所定部位を検知する高さ位置検知センサーと、
前記被搬送物の支持面部を爪部材で支持しながら下降させて載置状態とし、前記高さ位置検知センサーにより爪部材が支持面部に対して非接触になったことを確認した後、該支持面部から爪部材を被搬送物の側方に退避させ、爪部材のみを上昇させる装着制御手段と、
載置状態にされた被搬送物の支持面部に対して前記爪部材が非接触の進入高さ位置であることを前記高さ位置検知センサーにより確認した後、被搬送物の側方から支持面部の下側に爪部材を進入させ、前記保持検知センサーにより爪部材が支持面部に当接したことを確認した後、該爪部材の上昇により支持面部を支持しながら被搬送物を上昇させる抜脱制御手段と
を有することを特徴とする搬送装置。 A traveling carriage traveling on the track;
A holding body supported so as to be lifted and lowered in a suspended state by the traveling carriage;
A pair of claw members that are provided on the holding body and that support the object to be conveyed in the vertical direction from the lower side by moving the support surface portion of the conveyed object from both sides;
A holding detection sensor for detecting that the claw member is in contact with the support surface portion of the object to be conveyed;
When the claw member is present in a horizontal plane at a horizontal movement height position that enables the support surface portion of the transported object placed in the placed state and the claw member to face each other in a non-contact manner, a predetermined state of the transported object is determined. A height position detection sensor for detecting a site;
The support surface portion of the object to be transported is lowered while being supported by the claw member to be placed, and after confirming that the claw member is not in contact with the support surface portion by the height position detection sensor, the support surface portion is supported. An attachment control means for retracting the claw member from the surface portion to the side of the object to be conveyed and raising only the claw member;
After confirming by the height position detection sensor that the claw member is in a non-contact approach height position with respect to the support surface portion of the object to be transported placed, the support surface portion from the side of the object to be transported The claw member is made to enter the lower side, and after confirming that the claw member is in contact with the support surface portion by the holding detection sensor, the object to be conveyed is lifted while supporting the support surface portion by raising the claw member. And a control unit.
前記被搬送物の支持面部を爪部材で支持しながら下降させて載置状態とする際に、載置状態に載置するときの下降速度が最も低速となるように、下降速度を可変する下降速度制御手段を有することを特徴とする請求項４ないし６の何れか１項に記載の搬送装置。 The mounting control means includes
A descent that varies the descent speed so that the descent speed when placing in the loading state is the lowest when the descent is performed while supporting the support surface portion of the transported object with the claw member. The transport apparatus according to claim 4, further comprising a speed control unit.
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