JP2005055774A - 光強度変調器 - Google Patents
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Abstract
【課題】 低電圧で効率的に光強度の変調が可能な光強度変調器を提供する。
【解決手段】 基板11の中央で光導波路12が2本に平行して形成された部分には、光導波路12の上部にバッファ層13を介して上部電極15が形成されている。上部電極15は、バッファ層13と接する下端15aから遠ざかった幅広部15bで光導波路12の平均幅Mよりも広い幅Lで形成され、幅広部15bから下端15aに向けて鋭角に窄まる。そして、下端15aでは光導波路12の平均幅Mよりも狭い幅Wに形成されている。また、幅広部15bから更に上方、すなわち光導波路12から遠ざかる方向に向けて、上部電極15は鈍角に窄まるように形成されている。
【選択図】 図2
【解決手段】 基板11の中央で光導波路12が2本に平行して形成された部分には、光導波路12の上部にバッファ層13を介して上部電極15が形成されている。上部電極15は、バッファ層13と接する下端15aから遠ざかった幅広部15bで光導波路12の平均幅Mよりも広い幅Lで形成され、幅広部15bから下端15aに向けて鋭角に窄まる。そして、下端15aでは光導波路12の平均幅Mよりも狭い幅Wに形成されている。また、幅広部15bから更に上方、すなわち光導波路12から遠ざかる方向に向けて、上部電極15は鈍角に窄まるように形成されている。
【選択図】 図2
Description
本発明は、光導波路とこの光導波路を挟んで上下方向に電極を有する光強度変調器に関するものである。
LiNbO3 などの電気光学効果を有する材料に導波路および電極を形成した光デバイスは、光通信などの分野で広く用いられている。こうした光デバイスのうち、光強度変調器は電極にパルス信号を入力すると高速で光をオン・オフして光信号を発生する素子であり、光通信システムの中心的な構成部品として用いられている。
こうした光強度変調器は、電気光学効果を有する基板に光導波路を形成し、この基板上面に沿って並列するように電極を配置した、いわゆるコプレナー(CPL)タイプが従来より知られている。こうしたCPLタイプの光強度変調器の改良型として、基板の厚み方向に沿って光導波路の上下に電極を形成した光強度変調器が知られている。(例えば、特許文献1参照)。
特許第2805027号公報
しかしながら、特許文献1に記載されたような構成の光強度変調器の場合、光導波路の下側に形成された下部電極が、光導波路の上部の上部電極よりも幅が広く形成されているために電界が拡散し易く、効率的に光強度を変調するのに難があった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、低電圧で効率的に光強度の変調が可能な光強度変調器を提供することを目的とする。
上記の目的を達成するために、本発明によれば、屈折率を上昇させる拡散物質を基板の上面の一部に拡散形成された導波路と、前記導波路の両側で該導波路に沿って前記基板に掘り込まれた溝と、該基板の下面に形成された下部電極と、下端が前記導波路に接続されるとともに前記導波路の幅よりも狭く形成され、上端に向かって前記導波路の幅よりも広く広げられた上部電極とを備えたことを特徴とする光強度変調器が提供される。
このような光強度変調器によれば、上部電極の電界を光導波路に向けて集中させることが可能になる。さらに光導波路の両側に溝を形成して、光導波路を基板の上面から突出させることで上部電極の電界の拡散が更に抑制され、光導波路に効率よく電界を集中できる。こうして光導波路に向けて電界を効率よく集中させることができれば、低電圧で光導波路を流れる光の強度を変調することができる。よって、低電圧動作の光強度変調器を実現できる。
前記上部電極は、前記導波路に向けて鋭角に窄まり、前記導波路から遠ざかる方向に向けて鈍角、または円弧状に窄まる形状に形成されていれば好ましい。
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、上部電極の電界を光導波路に向けて集中させることが可能になる。さらに光導波路の両側に溝を形成して、光導波路を基板の上面から突出させることで上部電極の電界の拡散が更に抑制され、光導波路に効率よく電界を集中できる。こうして光導波路に向けて電界を効率よく集中させることができれば、低電圧で光導波路を流れる光の強度を変調することができる。よって、低電圧動作の光強度変調器を実現できる。
前記上部電極は、前記導波路に向けて鋭角に窄まり、前記導波路から遠ざかる方向に向けて鈍角、または円弧状に窄まる形状に形成されていれば好ましい。
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1は、本発明の光強度変調器の概略を示す外観斜視図である。光強度変調器10は、例えばLiNbO3 などの電気光学効果を有する材料から形成されてなる基板11を備えている。この基板11には、屈折率を上昇させるTiなどの拡散物質を表面に堆積し、基板11の厚み方向に拡散させて形成された、3次元の光導波路12が形成されている。
光導波路12は、両端で1本の光導波路が途中で2つに分岐され、中央部分では2本の光導波路12が平行して形成された構造を成している。こうした光導波路12の上面には、光導波路12に沿って誘電体薄膜からなるバッファ層13が形成されている。こうしたバッファ層13は、例えばSiO2 やAl2O3などで形成されていれば良い。
図2は、図1に示す光強度変調器の断面Sでの形状を示した断面図である。基板11の中央で光導波路12が2本に平行して形成された部分には、光導波路12の上部にバッファ層13を介して上部電極15が形成されている。
上部電極15は、バッファ層13と接する下端15aから遠ざかった幅広部15bで光導波路12の平均幅Mよりも広い幅Lで形成され、幅広部15bから下端15aに向けて鋭角に窄まる。そして、下端15aでは光導波路12の平均幅Mよりも狭い幅Wに形成されている。また、幅広部15bから更に上方、すなわち光導波路12から遠ざかる方向に向けて、上部電極15は鈍角に窄まるように形成されている。なお、上部電極15の周囲は絶縁材等で覆われているのが好ましい。
基板11には、光導波路12の両側に沿って溝16が形成されている。こうした溝16によって、光導波路12の上部は基板11の上面で突条を成して延びる形状を成す。なお溝16は、基板11上にバッファ層13を形成した後、光導波路12に相当する部分をレジストで覆ってからエッチングを行なって基板11を掘り下げることで形成すれば良い。
光導波路12の下側には、基板11を介して下部電極18が形成されている。こうした下部電極18は、例えば光導波路12の平均幅Mとほぼ同じ幅mで形成されれば好ましい。
このように、上部電極15を略水滴状の多角形に形成し、かつ、下部電極18を光導波路12の平均幅とほぼ同じ幅に形成することによって、上部電極15の電界を光導波路12に向けて集中させることが可能になる。さらに光導波路12の両側に溝16を形成して、光導波路12を基板11の上面から突出させることで上部電極15の電界の拡散が更に抑制され、光導波路12に効率よく電界を集中できる。こうして光導波路12に向けて電界を効率よく集中させることができれば、低電圧で光導波路12を流れる光の強度を変調することができる。よって、低電圧動作の光強度変調器を実現できる。
なお、こうした上部電極15の形状は、図2に示したもの以外にも、例えば、図3に示すように、断面が略逆三角形の上部電極21であっても良い。こうした上部電極21においても、バッファ層13と接する下端15aから遠ざかった幅広部21bで光導波路12の平均幅Mよりも広い幅Lで形成され、幅広部21bから下端21aに向けて鋭角に窄まる。そして、下端21aで光導波路12の平均幅Mよりも狭い幅Wに形成されている。また、幅広部21bから更に上方に向けて、上部電極21は円弧状に窄まるように形成されている。これにより、上部電極21の電界を光導波路12に向けて集中させ、低電圧で光導波路12を流れる光の強度を変調することができる。
本出願人は、本発明の光強度変調器の効果を検証した。まず、上部電極15がバッファ層13を介して光導波路12に対面する先端形状を段階的に変化させた複数の光強度変調器を作成して、電界強度を測定した。検証にあたって、図4に示す各形状のサンプルを準備した。各サンプルは上部電極15の下端15aを全て7μmとして、この下端15aから遠ざかる方向の上部電極15の角度を0°(傾斜なし),11°,20°,29°,40°にそれぞれ形成したサンプルNo.1〜5を準備した。なお、図中の寸法表示の単位はμmとした。
そして、上述した各サンプル1〜5の上部電極15の下端15aにおける電界強度をそれぞれ測定した。これら上部電極15の角度を変えた電界強度の測定結果を図5に示す。図5に示す結果によれば、上部電極15が下端15aから遠ざかる方向の角度を10°〜30°に設定すれば、上部電極15の下端15aでの電界強度を350000(V/m)以上の高いレベルに保てることが判明した。また、上部電極15が下端15aから遠ざかる方向の角度を10°〜40°に設定すれば、上部電極15の下端15aでの電界強度を340000(V/m)以上のレベルに保てることが判明した。
次に、図6に示す各形状のサンプル、すなわち上部電極15の幅広部15bでの幅を27μmに揃えてた上で、下端15aから幅広部15bに向かう角度を0°(傾斜なし),11°,22°,31°,39°,45°にそれぞれ形成したサンプルNo.6〜11を準備した。なお、図中の寸法表示の単位はμmとした。
そして、上述した各サンプル6〜11の上部電極15の下端15aにおける電界強度をそれぞれ測定した。これら上部電極15の角度を変えた電界強度の測定結果を図7に示す。図7に示す結果によれば、幅広部15bの幅が一定であれば、上部電極15が下端15aから遠ざかる方向の角度を40°近傍に設定すれば、上部電極15の下端15aでの電界強度を最も強い370000(V/m)以上の高いレベルに保てることが判明した。また、例えば25°〜45°の範囲にすれば、上部電極15の下端15aでの電界強度を340000(V/m)以上に保てることが判明した。
更に、図2に示す光導波路12の両側に沿って基板11に形成された溝16の深さDを0〜7μmに1μm毎に設定して、上部電極15の下端15aにおけるそれぞれの電界強度を測定した(深さD=0μmは溝を形成しない場合)。これら溝16の効果を検証した測定結果を図8に示す。図8によれば、溝を3μm以上深く、例えば3〜7μmの範囲に形成することによって、上部電極15の下端15aにおける電界強度を5000000(V/m)以上の高いレベルに保てることが判明した。
10 光強度変調器
11 基板
12 光導波路(導波路)
13 バッファ層
15 上部電極
15a 下端
16 溝
18 下部電極
11 基板
12 光導波路(導波路)
13 バッファ層
15 上部電極
15a 下端
16 溝
18 下部電極
Claims (2)
- 屈折率を上昇させる拡散物質を基板の上面の一部に拡散形成された導波路と、前記導波路の両側で該導波路に沿って前記基板に掘り込まれた溝と、該基板の下面に形成された下部電極と、下端が前記導波路に接続されるとともに前記導波路の幅よりも狭く形成され、上端に向かって前記導波路の幅よりも広く広げられた上部電極とを備えたことを特徴とする光強度変調器。
- 前記上部電極は、前記導波路に向けて鋭角に窄まり、前記導波路から遠ざかる方向に向けて鈍角、または円弧状に窄まる形状に形成されたことを特徴とする光強度変調器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003288170A JP2005055774A (ja) | 2003-08-06 | 2003-08-06 | 光強度変調器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003288170A JP2005055774A (ja) | 2003-08-06 | 2003-08-06 | 光強度変調器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005055774A true JP2005055774A (ja) | 2005-03-03 |
Family
ID=34366935
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003288170A Withdrawn JP2005055774A (ja) | 2003-08-06 | 2003-08-06 | 光強度変調器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005055774A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009078248A1 (ja) * | 2007-12-14 | 2009-06-25 | Nec Corporation | 導波路型光デバイス |
JP2019045880A (ja) * | 2013-11-15 | 2019-03-22 | Tdk株式会社 | 光変調器 |
CN114994960A (zh) * | 2022-05-08 | 2022-09-02 | 上海图灵智算量子科技有限公司 | 电极组件、调制器及芯片 |
-
2003
- 2003-08-06 JP JP2003288170A patent/JP2005055774A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2009078248A1 (ja) * | 2007-12-14 | 2009-06-25 | Nec Corporation | 導波路型光デバイス |
US8358891B2 (en) | 2007-12-14 | 2013-01-22 | Nec Corporation | Waveguide type optical device |
JP2019045880A (ja) * | 2013-11-15 | 2019-03-22 | Tdk株式会社 | 光変調器 |
CN114994960A (zh) * | 2022-05-08 | 2022-09-02 | 上海图灵智算量子科技有限公司 | 电极组件、调制器及芯片 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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