JP2005051836A - 案内装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】超音波モータとの摩擦駆動によって発生する粉塵が超音波モータと案内装置の可動体との隙間に噛み込むことを防止し、超音波モータによる安定した駆動特性が得られるようにする。
【解決手段】超音波モータとの摩擦駆動によって可動体としてのステージ63を動かす案内装置において、スクレーパ2を有する粉塵除去機構1を、上記可動体の表面に接触するように超音波モータ51の両側に配置し、上記スクレーパ2で上記可動体の超音波モータ51との当接面に付着する粉塵を掻き取る。この際、上記スクレーパ2には、可動体の可動方向上流側のみを接触させる駆動手段を設けた構成である。
【選択図】図2
【解決手段】超音波モータとの摩擦駆動によって可動体としてのステージ63を動かす案内装置において、スクレーパ2を有する粉塵除去機構1を、上記可動体の表面に接触するように超音波モータ51の両側に配置し、上記スクレーパ2で上記可動体の超音波モータ51との当接面に付着する粉塵を掻き取る。この際、上記スクレーパ2には、可動体の可動方向上流側のみを接触させる駆動手段を設けた構成である。
【選択図】図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、超音波モータの摩擦駆動により直線運動や回転運動を行う可動体を駆動させる案内装置に関するものであり、特に摩擦駆動による摩耗粉やダストからなる粉塵を有効に除去することが可能で、精密加工機械、精密測定装置、半導体製造装置に用いられる案内装置として好適なものである。
【0002】
【従来の技術】
超音波モータは、最小振幅がナノメートルオーダーと小さく、高分解能の位置決めが可能であり、しかも同サイズの他の電磁モータと比較して駆動力が大きいといった特徴を有するため、これまでカメラのレンズズーム機構や腕時計のバイブレーションアラームなど回転運動系への実用化が行われており、最近では直線運動系への適用もなされている。
【0003】
図4に超音波モータを可動体の駆動源とする従来の案内装置の一例を示す。この案内装置は、図に示すようにベース盤61上にクロスローラガイドの如く一対のガイド部材62を備え、これらのガイド部材62によって可動体としてのステージ63を直線的に案内するようになっている。
【0004】
また、ステージ63の一方の側面には、ガイド部材62に対して平行に駆動力伝達部材64が、ステージ63の他方の側面には、上記駆動力伝達部材64と平行にリニアスケール65がそれぞれ設置されており、このリニアスケール65と対向する位置には測定ヘッド66を設けて位置検出手段67を構成するとともに、上記駆動力伝達部材64と対向する位置には一つの超音波モータ500を設置し、超音波モータの摩擦部材56を上記駆動力伝達部材64の当接面64aに対して垂直に当接させてある。
【0005】
なお、図中、57は超音波モータを収容する筐体、68は位置検出手段67より得られた位置情報を基にステージ63の駆動条件を制御する制御部、69は制御部68から出力された信号を基に超音波モータを駆動させるための指令信号を出力するドライバーである。
【0006】
次に超音波モータについて詳説する。図5に図4の案内装置に用いる超音波モータをケース57内に収容した状態の断面図を示す。超音波モータ500は、圧電セラミック板52の一方の主面に4分割された電極膜53a,53b,53c,53dを有し、対角に位置する電極膜53aと電極膜53dを結線するとともに、対角に位置する電極膜53bと電極膜53cを結線し、かつ他方の主面には、ほぼ全面に共通電極膜(不図示)を形成した振動体55と、この振動体55の一方端面に設けたセラミックスやガラスからなる摩擦部材56とからなり、上記共通電極膜をアースするとともに、電極膜53bと電極膜53dにそれぞれ位相を異ならせた電圧を印加することにより、圧電セラミック板52に縦振動と横振動を発生させ、これらの振動の合力によって摩擦部材56を楕円運動させるようになっていた。
【0007】
また、超音波モータ500は、ケース57内においてその両側面をスプリング58により保持されており、スプリング58の押圧力によって超音波モータ500をステージ63の駆動力伝達部材64に押し付けて予圧を与えるようになっていた。
【0008】
その為、この超音波モータ500を駆動させると、その摩擦部材56の摩擦駆動によってステージ63をガイド部材62に沿って可動させることができ、ステージ63の移動に伴う位置検出手段67からの位置情報と、予め設定してあるステージ63の基準位置情報との偏差に応じて変化するパラメータを基に制御部68にて例えばPID演算処理を行ってドライバー69に超音波モータ51への指令信号を出力するフィードバック制御を行うことにより、ステージ63を移動、位置決めするようになっていた。
【0009】
【特許文献1】特開平11−18446号公報
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、超音波モータ500の摩擦部材56やステージ63の駆動力伝達部材64は互いに摩耗し、その粉塵が駆動力伝達部材64の当接面64aに付着したり、周囲の雰囲気からのダストが駆動力伝達部材64の当接面64aに付着したりするため、この粉塵が超音波モータ51の摩擦部材56とステージ63の駆動力伝達部材64との間に噛み込むと接触状態が変化することから、ステージ63の駆動特性を不安定にさせるとともに、超音波モータ51の摩擦部材56やステージ63の駆動力伝達部材64の摩耗が促進され、短期間の使用で超音波モータ51や駆動力伝達部材64を交換しなければならないといった課題があった。
【0011】
また、超音波モータ51の摩擦部材56やステージ63の駆動力伝達部材64は互いに摩耗し、その粉塵が飛散するため、周囲の雰囲気を汚染するといった課題があった。
【0012】
その為、これらの課題に対し、特許文献1には、駆動力伝達部材64に付着した粉塵を除去するため、ブラシやローラあるいはフェルトや剥離爪等を駆動力伝達部材64に当接させて粉塵を除去する技術が開示されている。
【0013】
しかしながら、ブラシ、ローラ、フェルト、剥離爪等を用いて粉塵を除去しようとしても、掻き残しが生じ、掻き残しを無くするためにブラシ等の回転力を上げるとステージ63の可動に支障をきたし、不要なトルクにより摩擦部材56が摩擦駆動力を充分伝達させることができない。また、掻き取った粉塵が駆動力伝達部材64に再付着したりして案内装置の運動性能に影響を与えるといった課題があり、確実に粉塵を除去することができなかった。
【0014】
また、特許文献1には、粉塵の再付着を防止するためにクリーニング溶液を塗布することが開示されているが、このクリーニング溶液が駆動力伝達部材64に付着すると、超音波モータ51の摩擦部材56とステージ63の駆動力伝達部材64との間にすべりが発生し、ステージ63の駆動特性に悪影響を与えるといった課題があった。
【0015】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明は上記課題に鑑み、本発明の案内装置は、楕円運動する振動体と、該振動体の楕円運動を伝達する摩擦部材とからなる超音波モータと、上記摩擦部材が当接して摩擦駆動を行うことにより可動する可動体とを有する案内装置において、上記摩擦部材よりも上記可動体の可動方向上流側に、上記摩擦部材が当接する領域と同じ可動体の表面の領域に接触することで粉塵を除去するスクレーパを配置したことを特徴とする。
【0016】
また、上記スクレーパは、上記可動体に接触・離間を可能にした駆動機構を有しており、上記摩擦部材の両側に上記スクレーパを配置するとともに、可動体を往復運動させた場合の可動方向上流側のスクレーパのみが接触するように制御したことを特徴とする。
【0017】
さらに、本発明の案内装置は、上記超音波モータ及び上記スクレーパを覆う粉塵飛散防止用筐体を有することを特徴とする。
【0018】
さらにまた、本発明の案内装置は、上記可動体表面から該可動体表面と対向する上記粉塵飛散防止用筐体の対向面の距離が10〜500μmとしたことを特徴とする。
【0019】
また、本発明の案内装置は、上記スクレーパと上記可動体の当接面との接触角度が15°以上であるとともに、上記スクレーパと上記可動体の当接面の接触圧力が50〜500gの範囲内であることを特徴とする。
【0020】
さらに、本発明の案内装置は、上記スクレーパに付着した粉塵を掻き取って回収する粉塵回収用の溝を上記可動体表面に設けたことを特徴とする。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について説明する。なお、従来例と同一部分については同一符号で示す
図1に本発明の超音波モータを可動体の駆動源とする本発明の案内装置の一例を示す。また、図2は本発明の案内装置に備える粉塵除去手段の一例を示す図で、(a)はその一部断面図、(b)はそのA−A線断面図である。
【0022】
この案内装置は、ベース盤61上にクロスローラガイドの如き一対のガイド部材62を備え、これらガイド部材62によって可動体としてのステージ63を直線的に往復運動可能に案内するようになっている。
【0023】
また、ステージ63はその一方の側面にガイド部材62に対して平行に取り付けた駆動力伝達部材64を、ステ―ジ63の他方の側面には、上記駆動力伝達部材64と平行にリニアスケール65をそれぞれ有しており、そのリニアスケール65と対向する位置には測定ヘッド66を設けて位置検出手段67を構成するとともに、上記駆動力伝達部材64と対向する位置には一つの超音波モータ(不図示)を配置し、超音波モータ500の摩擦部材56を上記駆動力伝達部材64の当接面に対して垂直に当接させてある。
【0024】
なお、図中、68は位置検出手段67より得られた位置情報を基にステージ63の駆動条件を制御する制御部、69は上記制御部68から出力された信号を基に超音波モータを駆動させるための指令信号を出力するドライバーであり、8は超音波モータ500及び粉塵を除去する粉塵除去機構を収容する粉塵飛散防止用筐体である。
【0025】
また、図1に示す超音波モータの構造及び超音波モータの取付構造は、図6に示したものと同一であるため、ここでは説明を省略する。
【0026】
次に、粉塵除去機構1の詳細について図2(a)(b)を基に説明する。
【0027】
図に示す粉塵除去機構1は、スクレーパ2(2a、2b)、弾性ヒンジ3、押しつけ部4、圧電アクチュエータ5(5a、5b)、変位拡大用弾性ヒンジ6とから構成されている。
【0028】
スクレーパ2は超音波モータ500より少なくともステージ63の可動方向上流側に配置している。即ち、ステージ63の可動方向が図中で下側である場合には、スクレーパ2bの位置が上流側となる。しかしながら、本件で説明するステージ63はガイド部材62に沿って往復運動するためにスクレーパ2は超音波モータ500の両側にスクレーパ2a、2bを配置している。また、スクレーパ2は駆動力伝達部材64と略同等の幅を持った刃先を有するブレードであって、直接、駆動力伝達部材64の表面に当接するカウンターブレードを用いている。スクレーパ2の材質としては、ジルコニア、窒化珪素及びジルコニアにDLC(ダイヤモンド・ライク・カーボン)コーティングをした材料などで構成されている。
【0029】
弾性ヒンジ3は変位拡大用弾性ヒンジ6によって拡大された圧電アクチュエータ5a、5bの変位に対して押し付け部4を平行移動させるために必要で、ステンレスや銅等の金属材料によって構成される。
【0030】
押しつけ部4はスクレーパ2を駆動力伝達部材64に均一な押し付け力で押し付けるためにスクレーパ2が回転するようになっていてステンレスや銅等の金属材料によって構成される。
【0031】
圧電アクチュエータ5はスクレーパ2を駆動力伝達部材64に一定の押し付け力で押し付けるために必要な変位機構である。圧電アクチュエータ5a、5bの直流電圧を印可すると圧電アクチュエータは約10μm変位する。この変位を変位拡大用弾性ヒンジ6によって増幅し、押し付け部4を介してスクレーパ2を変位させる。この圧電アクチュータ5a、5bはジルコン酸チタン酸鉛やチタン酸バリウムを主成分とする圧電セラミック体から構成されている。
【0032】
変位拡大用弾性ヒンジ6は圧電アクチュエータ5a、5bの変位を増幅して押し付け部4に伝達する役割を持ち、ステンレスや銅等の金属材料によって構成される。
【0033】
また、バネ7はスクレーパ2の押し付け力を調整するために使用し、弾性ヒンジ3にバネ7を押し付けて圧電アクチュエータ5a、5bの押し付け力を緩和する役割を持ち、ステンレスや銅等の金属材料によって構成される。
【0034】
そして、粉塵除去機構1の動作としては、制御部68より指令を送ると圧電アクチュエータ5(5a、5b)に電圧を印可され、変位拡大用弾性ヒンジ6が変位を増幅しながら連動してスクレーパ2に動力を伝達し、駆動力伝達部材64の表面から離間していたスクレーパ2は一定の接触圧力で接触する。この接触圧力は予めバネ7にて調整することが可能である。また、スクレーパ2と弾性ヒンジ3はピンによって固定され、スクレーパ2の刃先が駆動力伝達部材64へ均等に接触するように構成してある。
【0035】
スクレーパ2の動作タイミングとしては、ステージ63が超音波モータ500に対して右側(図中上側)に移動する時に、摩擦部材56が駆動力伝達部材64の表面に当接して摩擦駆動を行うが、その可動方向であるならば、圧電アクチュエータ5aに電圧を印可して摩擦部材56の上流側に配置したスクレーパ2aを駆動力伝達部材64に接触させることによって駆動力伝達部材64に付着した粉塵を駆動力伝達部材64の外側に除去するようになっている。この場合には、他のスクレーパ2bは駆動力伝達部材64から離間させなければならない。離間させることによって摩耗粉がスクレーパ2の内側に付着するのを防止することができるものである。また、ステージ63が超音波モータに対して左側(図中下側)に移動する時にはその逆であるため説明を省略する。
【0036】
次に、本発明の案内装置の駆動状態について説明する。
【0037】
まず、ドライバー69より指令信号を出力して超音波モータ51の摩擦部材56を楕円運動させると、駆動力伝達部材64との摩擦駆動によってステージ63をガイド部材62に沿って移動させることができ、ステージ63の移動に伴う位置検出手段67からの位置情報と、予め設定してあるステージ63の基準位置情報との偏差に応じて変化するパラメータを基に制御部68にて例えばPID演算処理を行ってドライバー69に超音波モータ51への指令信号を出力するフィードバック制御を行うことにより、ステージ63を所定の条件で移動させる。
【0038】
この時、駆動力伝達部材64の当接面64aには、超音波モータ51との摩擦駆動等によって発生した粉塵が付着する。
【0039】
しかしながら、本発明の案内装置によれば、粉塵除去機構1のスクレーパ2a、2bは、駆動力伝達部材64の可動方向上流側のスクレーパ2をその当接面64aに接触させることにより、駆動力伝達部材64の当接面に付着する粉塵を摩擦部材56の駆動のたびに掻き取ることが可能であり、常に清掃面で摩擦部材56が摩擦駆動させることができるとともに、粉塵の飛散を効率的に防止している。これにより、駆動力伝達部材64の超音波モータ51との当接面64aに粉塵が残らないようにすることができる。
【0040】
その為、本発明の案内装置によれば、駆動力伝達部材64の当接面64aと超音波モータの摩擦部材56との隙間に粉塵が噛み込むのを大幅に低減することができるため、常に安定した接触状態を得ることができ、超音波モータの駆動によってステージ63を安定して駆動させることができるため、可動中における精度が1μm、位置決め精度が0.1μmといった高精度が要求されるような場合でも精度良く移動、位置決めすることができる。
【0041】
また、本発明の案内装置では駆動力伝達部材64と粉塵除去機構1に飛散した粉塵を周囲に設けた粉塵飛散防止用筐体8により覆うことによって、粉塵を周囲に飛散させないようにすることができる。
【0042】
ところで、このような効果を奏するためには、駆動力伝達部材64の表面からそれと対向する粉塵飛散防止用筐体8の対向面の距離Tを10〜500μmとすることが好ましい。即ち、両者の距離Tが10μm未満であると、粉塵が駆動ガイド64の当接面と粉塵飛散防止用筐体8との隙間に噛み込み、ステージ63が動かなくなる恐れがある。逆に距離Tが500μmを超えると、駆動力伝達部材64の当接面64aから粉塵飛散防止用筐体8までの距離が離れすぎるため、飛散した粉塵をその周囲にまき散らし、使用環境を汚染し、ステージ63のガイド部材62等に噛み込むと、ステージ63の移動精度に悪影響を与えるからである。
【0043】
また、スクレーパ2と駆動力伝達部材64との当接面の接触角度Dは15°以上であるとともに、スクレーパ2と駆動力伝達部材64との当接面の接触圧力Fが50〜500gの範囲内であることが好ましい。
【0044】
即ち、両者の角度Dが15°以下であると、スクレーパ2で粉塵を掻き取っても、駆動力伝達部材64に粉塵が残留して粉塵除去を効果的に行うことができなくなる。また、両者の接触圧力Fが50g以下であるとスクレーパ2で粉塵を掻き取っても駆動力伝達部材64に粉塵が残留する。逆に接触圧力Fが500gを超えるとスクレーパの接触圧力によって粉塵が駆動力伝達部材64に凝着し、最悪の場合には駆動力伝達部材64を傷つけてしまうからである。
【0045】
さらに、スクレーパ2の刃先に付着した粉塵が駆動力伝達部材64の当接面64aに再付着するのを防止するため、駆動力伝達部材64の可動方向端部、即ち、駆動力伝達部材64の両側に溝9を設ける。この溝9の動作方法を図3(a)、(b)にて説明する。なお、図3(a)は上面図、図3(b)は(a)のB−B線断面図である。図に示すようにスクレーパ2aを駆動力伝達部材64に接触させたままステージ63が超音波モータに対して右側に移動させるとスクレーパ2aが溝9aに入る。そしてさらにステージ63を右側に移動させるとスクレーパ2aの粉塵を付着した面が溝9aのエッジに接触し、この溝9aのエッジによって粉塵を掻き取り、スクレーパ2aをクリーニングする。スクレーパ2bについても同様の動作によって溝9aのエッジでクリーニングを行う。この動作を行うことによってスクレーパ2は常に粉塵のない状態となり、再付着を完全に防止することができる。
【0046】
以上、本実施形態では、可動体が直線運動する案内装置を例にとって説明したが、可動体が回転運動する案内装置にも適用できることは言う迄もなく、さらに、可動体を駆動させる超音波モータについても、多重モード型のものに限らず、単一振動モードの定在波型や進行波、複数振動モードのモード変換型、複合振動型の超音波モータであっても構わない。
【0047】
このように、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば、種々改良や変更したものにも適用できることはいう迄もない。
【0048】
【実施例】
(実施例1)
ここで、図2の粉塵除去機構1を備えた図1に示す本発明の案内装置と、図5粉塵除去機構1を備えていない図4に示す従来の案内装置を用意し、各案内装置のステージ63を1時間移動させた後の超音波モータ51の摩耗部材56とステージ63の駆動力伝達部材64に付着する粉塵の付着量について比較する実験を行った。
【0049】
以下、実験に使用する案内装置の仕様について説明する。
【0050】
案内装置を構成するガイド部材62には、ストロークが100mmのクロスローラガイドを用い、上記ガイド部材62によって5kgの重さを有するステージ63を移動させるようにした。また、ステージ63の一方の側面にはアルミナセラミック製の駆動力伝達部材64を配置し、超音波モータ51との当接面64aの表面粗さを算術平均粗さ(Ra)で0.05μmとした。
【0051】
一方、ステージ63の駆動源である超音波モータ51は、振動体55を、長さ30mm、幅7.5mm、厚み3mmの直方体をしたチタン酸ジルコン酸鉛系の圧電セラミック体52により形成し、振動体55の端面に、長さ4.2mm、直径3mmの円柱状をしたアルミナセラミック製の摩擦部材56を接合したものを用いた。なお、摩擦部材56の駆動力伝達部材64との当接面は、曲率半径が7mmの球面とした。
【0052】
また、本発明の案内装置に用いる粉塵除去機構1のスクレーパ2は、ジルコニア製のスクレーパとし、駆動力伝達部材64の当接面との接触角度を10°、20°、30°で実験を行った。また、スクレーパ2の押し付け力をバネ7にて変化させて粉塵の付着量を測定した。
【0053】
実験にあたっては、制御部18に予め設定しておくステージ63の移動プロファイルとして、移動距離100mm、加減速度0.03G、最高速度100mm/secに設定した台形制御とし、超音波モータ51を40kHzの駆動周波数で駆動させるようにした。
【0054】
そして、この条件にてステージ63を10時間駆動させ、走行試験後に超音波モータの摩擦部材56とステージ63の駆動力伝達部材64に付着する粉塵の量を測定した。なお、粉塵の付着量については、1mm2当たりに粒径1μm以上の粉塵が付着する量をパーティクルカウンターで測定した。結果を表1に示す。
【0055】
【表1】
【0056】
表1に示すように粉塵除去機構1を持たない従来の案内装置では、粉塵の付着量が1000個と多かったのに対し、図2に示す粉塵除去機構1を有する本発明の案内装置では、刃先接触角度を15°以上で刃先押付力を50〜500gの範囲に設定することで0個であり、粉塵の付着を効果的に抑えられることが確認できた。
【0057】
(実施例2)
次に、図2の粉塵除去機構1を備えた図1に示す本発明の案内装置と、図5粉塵除去機構1を備えていない図4に示す従来の案内装置を用意し、実施例1と同じ駆動条件にてステージ63を移動させ、その時の位置検出手段67からの位置情報と予め設定してある基準位置情報との偏差を測定し、この偏差が1μmを越えた時をステージ63の駆動特性が不安定であるとし、そのときの移動距離を測定した。結果は図6に示す通りである。
【0058】
この結果、従来の案内装置は、200kmの移動で位置決め精度が1μmを越え、ステージ63の駆動特性が不安定になった。また、この時、ステージ63の駆動力伝達部材64を観察してみると、小さな粉塵が多数付着していた。その結果、500km移動後の超音波モータ51の摩擦部材56とステージ63の駆動力伝達部材64の合計摩耗量を測定したところ、0.2mm3と多かった。
【0059】
これに対し、図1に示す粉塵除去手段を備えた本発明の案内装置は、ステージ63を500km移動させる途中において偏差が1μmを越えることはなく、ステージ63を安定して駆動させることができた。また、500km移動後の超音波モータ51の摩擦部材56とステージ63の駆動力伝達部材64の合計摩耗量を測定したところ0.01mm3と極めて少なくすることができ優れていた。
【0060】
【発明の効果】
本発明の案内装置によれば、摩擦部材が当接する領域と同じ可動体の表面の領域に接触することで粉塵を除去するスクレーパを配置したことにより、可動体の表面に付着する粉塵を摩擦部材の駆動のたびに掻き取ることが可能であり、常に清掃面で摩擦部材が摩擦駆動させることができるとともに、粉塵の飛散を効率的に防止することができる。これにより、可動体の表面と超音波モータの摩擦部材との隙間に粉塵が噛み込むのを大幅に低減することができるため、常に安定した接触状態を得ることができ、超音波モータの駆動によって可動体を安定して駆動させることができるため、可動中における精度が1μm、位置決め精度が0.1μmといった高精度が要求されるような場合でも精度良く移動、位置決めすることができる。
【0061】
上記スクレーパは、上記可動体に接触・離間を可能にした駆動機構を有しており、上記摩擦部材の両側に上記スクレーパを配置するとともに、可動体を往復運動させた場合の可動方向上流側のスクレーパのみが接触するように制御したために、可動の際の不要なトルクを防止して正確に駆動力を伝達することができるものである。
【0062】
上記超音波モータ及び上記スクレーパを覆う粉塵飛散防止用筐体を有しているために飛散した粉塵を周囲に飛散させないようにすることができる。
【0063】
また、上記可動体表面から該可動体表面と対向する上記粉塵飛散防止用筐体の対向面の距離が10〜500μmとすると更に飛散防止効果を得ることができる。
【0064】
さらに、上記スクレーパと上記可動体の当接面との接触角度を15°以上にするとともに、上記スクレーパと上記可動体の当接面の接触圧力が50〜500gの範囲内としたために、粉塵が可動体の表面の領域に凝着し、可動体を傷つけるのを防止することができる。
【0065】
さらにまた、上記スクレーパに付着した粉塵を掻き取って回収する粉塵回収用の溝を上記可動体表面に設けたために、スクレーパには常に粉塵のない状態となり、再付着を完全に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】超音波モータを可動体の駆動源とする本発明の案内装置の一例を示す斜視図である。
【図2】本発明の案内装置に備える粉塵除去手段の一例を示す図で、(a)はその上面図、(b)はその断面図である。
【図3】本発明の案内装置に備える粉塵除去手段の他の例を示す図で、(a)はその上面図、(b)はその断面図である。
【図4】超音波モータを可動体の駆動源とする従来の案内装置の一例を示す斜視図である。
【図5】案内装置に用いる超音波モータをケース内に収容した状態を示す一部を破断した平面図である。
【図6】本発明の案内装置と従来の案内装置におけるステージの移動距離と位置決め精度との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
1:粉塵除去機構
2:スクレーパ
3:弾性ヒンジ
4:押し付け部
5:圧電アクチュエータ
6:変位拡大用弾性ヒンジ
7:バネ
8:粉塵飛散防止用筐体
9:溝
61:ベース盤
62:ガイド部材
63:ステージ
64:駆動力伝達部材
65:リニアモータ
66:測定ヘッド
67:位置検出手段
68:制御部
69:ドライバー
【発明の属する技術分野】
本発明は、超音波モータの摩擦駆動により直線運動や回転運動を行う可動体を駆動させる案内装置に関するものであり、特に摩擦駆動による摩耗粉やダストからなる粉塵を有効に除去することが可能で、精密加工機械、精密測定装置、半導体製造装置に用いられる案内装置として好適なものである。
【0002】
【従来の技術】
超音波モータは、最小振幅がナノメートルオーダーと小さく、高分解能の位置決めが可能であり、しかも同サイズの他の電磁モータと比較して駆動力が大きいといった特徴を有するため、これまでカメラのレンズズーム機構や腕時計のバイブレーションアラームなど回転運動系への実用化が行われており、最近では直線運動系への適用もなされている。
【0003】
図4に超音波モータを可動体の駆動源とする従来の案内装置の一例を示す。この案内装置は、図に示すようにベース盤61上にクロスローラガイドの如く一対のガイド部材62を備え、これらのガイド部材62によって可動体としてのステージ63を直線的に案内するようになっている。
【0004】
また、ステージ63の一方の側面には、ガイド部材62に対して平行に駆動力伝達部材64が、ステージ63の他方の側面には、上記駆動力伝達部材64と平行にリニアスケール65がそれぞれ設置されており、このリニアスケール65と対向する位置には測定ヘッド66を設けて位置検出手段67を構成するとともに、上記駆動力伝達部材64と対向する位置には一つの超音波モータ500を設置し、超音波モータの摩擦部材56を上記駆動力伝達部材64の当接面64aに対して垂直に当接させてある。
【0005】
なお、図中、57は超音波モータを収容する筐体、68は位置検出手段67より得られた位置情報を基にステージ63の駆動条件を制御する制御部、69は制御部68から出力された信号を基に超音波モータを駆動させるための指令信号を出力するドライバーである。
【0006】
次に超音波モータについて詳説する。図5に図4の案内装置に用いる超音波モータをケース57内に収容した状態の断面図を示す。超音波モータ500は、圧電セラミック板52の一方の主面に4分割された電極膜53a,53b,53c,53dを有し、対角に位置する電極膜53aと電極膜53dを結線するとともに、対角に位置する電極膜53bと電極膜53cを結線し、かつ他方の主面には、ほぼ全面に共通電極膜(不図示)を形成した振動体55と、この振動体55の一方端面に設けたセラミックスやガラスからなる摩擦部材56とからなり、上記共通電極膜をアースするとともに、電極膜53bと電極膜53dにそれぞれ位相を異ならせた電圧を印加することにより、圧電セラミック板52に縦振動と横振動を発生させ、これらの振動の合力によって摩擦部材56を楕円運動させるようになっていた。
【0007】
また、超音波モータ500は、ケース57内においてその両側面をスプリング58により保持されており、スプリング58の押圧力によって超音波モータ500をステージ63の駆動力伝達部材64に押し付けて予圧を与えるようになっていた。
【0008】
その為、この超音波モータ500を駆動させると、その摩擦部材56の摩擦駆動によってステージ63をガイド部材62に沿って可動させることができ、ステージ63の移動に伴う位置検出手段67からの位置情報と、予め設定してあるステージ63の基準位置情報との偏差に応じて変化するパラメータを基に制御部68にて例えばPID演算処理を行ってドライバー69に超音波モータ51への指令信号を出力するフィードバック制御を行うことにより、ステージ63を移動、位置決めするようになっていた。
【0009】
【特許文献1】特開平11−18446号公報
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、超音波モータ500の摩擦部材56やステージ63の駆動力伝達部材64は互いに摩耗し、その粉塵が駆動力伝達部材64の当接面64aに付着したり、周囲の雰囲気からのダストが駆動力伝達部材64の当接面64aに付着したりするため、この粉塵が超音波モータ51の摩擦部材56とステージ63の駆動力伝達部材64との間に噛み込むと接触状態が変化することから、ステージ63の駆動特性を不安定にさせるとともに、超音波モータ51の摩擦部材56やステージ63の駆動力伝達部材64の摩耗が促進され、短期間の使用で超音波モータ51や駆動力伝達部材64を交換しなければならないといった課題があった。
【0011】
また、超音波モータ51の摩擦部材56やステージ63の駆動力伝達部材64は互いに摩耗し、その粉塵が飛散するため、周囲の雰囲気を汚染するといった課題があった。
【0012】
その為、これらの課題に対し、特許文献1には、駆動力伝達部材64に付着した粉塵を除去するため、ブラシやローラあるいはフェルトや剥離爪等を駆動力伝達部材64に当接させて粉塵を除去する技術が開示されている。
【0013】
しかしながら、ブラシ、ローラ、フェルト、剥離爪等を用いて粉塵を除去しようとしても、掻き残しが生じ、掻き残しを無くするためにブラシ等の回転力を上げるとステージ63の可動に支障をきたし、不要なトルクにより摩擦部材56が摩擦駆動力を充分伝達させることができない。また、掻き取った粉塵が駆動力伝達部材64に再付着したりして案内装置の運動性能に影響を与えるといった課題があり、確実に粉塵を除去することができなかった。
【0014】
また、特許文献1には、粉塵の再付着を防止するためにクリーニング溶液を塗布することが開示されているが、このクリーニング溶液が駆動力伝達部材64に付着すると、超音波モータ51の摩擦部材56とステージ63の駆動力伝達部材64との間にすべりが発生し、ステージ63の駆動特性に悪影響を与えるといった課題があった。
【0015】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明は上記課題に鑑み、本発明の案内装置は、楕円運動する振動体と、該振動体の楕円運動を伝達する摩擦部材とからなる超音波モータと、上記摩擦部材が当接して摩擦駆動を行うことにより可動する可動体とを有する案内装置において、上記摩擦部材よりも上記可動体の可動方向上流側に、上記摩擦部材が当接する領域と同じ可動体の表面の領域に接触することで粉塵を除去するスクレーパを配置したことを特徴とする。
【0016】
また、上記スクレーパは、上記可動体に接触・離間を可能にした駆動機構を有しており、上記摩擦部材の両側に上記スクレーパを配置するとともに、可動体を往復運動させた場合の可動方向上流側のスクレーパのみが接触するように制御したことを特徴とする。
【0017】
さらに、本発明の案内装置は、上記超音波モータ及び上記スクレーパを覆う粉塵飛散防止用筐体を有することを特徴とする。
【0018】
さらにまた、本発明の案内装置は、上記可動体表面から該可動体表面と対向する上記粉塵飛散防止用筐体の対向面の距離が10〜500μmとしたことを特徴とする。
【0019】
また、本発明の案内装置は、上記スクレーパと上記可動体の当接面との接触角度が15°以上であるとともに、上記スクレーパと上記可動体の当接面の接触圧力が50〜500gの範囲内であることを特徴とする。
【0020】
さらに、本発明の案内装置は、上記スクレーパに付着した粉塵を掻き取って回収する粉塵回収用の溝を上記可動体表面に設けたことを特徴とする。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について説明する。なお、従来例と同一部分については同一符号で示す
図1に本発明の超音波モータを可動体の駆動源とする本発明の案内装置の一例を示す。また、図2は本発明の案内装置に備える粉塵除去手段の一例を示す図で、(a)はその一部断面図、(b)はそのA−A線断面図である。
【0022】
この案内装置は、ベース盤61上にクロスローラガイドの如き一対のガイド部材62を備え、これらガイド部材62によって可動体としてのステージ63を直線的に往復運動可能に案内するようになっている。
【0023】
また、ステージ63はその一方の側面にガイド部材62に対して平行に取り付けた駆動力伝達部材64を、ステ―ジ63の他方の側面には、上記駆動力伝達部材64と平行にリニアスケール65をそれぞれ有しており、そのリニアスケール65と対向する位置には測定ヘッド66を設けて位置検出手段67を構成するとともに、上記駆動力伝達部材64と対向する位置には一つの超音波モータ(不図示)を配置し、超音波モータ500の摩擦部材56を上記駆動力伝達部材64の当接面に対して垂直に当接させてある。
【0024】
なお、図中、68は位置検出手段67より得られた位置情報を基にステージ63の駆動条件を制御する制御部、69は上記制御部68から出力された信号を基に超音波モータを駆動させるための指令信号を出力するドライバーであり、8は超音波モータ500及び粉塵を除去する粉塵除去機構を収容する粉塵飛散防止用筐体である。
【0025】
また、図1に示す超音波モータの構造及び超音波モータの取付構造は、図6に示したものと同一であるため、ここでは説明を省略する。
【0026】
次に、粉塵除去機構1の詳細について図2(a)(b)を基に説明する。
【0027】
図に示す粉塵除去機構1は、スクレーパ2(2a、2b)、弾性ヒンジ3、押しつけ部4、圧電アクチュエータ5(5a、5b)、変位拡大用弾性ヒンジ6とから構成されている。
【0028】
スクレーパ2は超音波モータ500より少なくともステージ63の可動方向上流側に配置している。即ち、ステージ63の可動方向が図中で下側である場合には、スクレーパ2bの位置が上流側となる。しかしながら、本件で説明するステージ63はガイド部材62に沿って往復運動するためにスクレーパ2は超音波モータ500の両側にスクレーパ2a、2bを配置している。また、スクレーパ2は駆動力伝達部材64と略同等の幅を持った刃先を有するブレードであって、直接、駆動力伝達部材64の表面に当接するカウンターブレードを用いている。スクレーパ2の材質としては、ジルコニア、窒化珪素及びジルコニアにDLC(ダイヤモンド・ライク・カーボン)コーティングをした材料などで構成されている。
【0029】
弾性ヒンジ3は変位拡大用弾性ヒンジ6によって拡大された圧電アクチュエータ5a、5bの変位に対して押し付け部4を平行移動させるために必要で、ステンレスや銅等の金属材料によって構成される。
【0030】
押しつけ部4はスクレーパ2を駆動力伝達部材64に均一な押し付け力で押し付けるためにスクレーパ2が回転するようになっていてステンレスや銅等の金属材料によって構成される。
【0031】
圧電アクチュエータ5はスクレーパ2を駆動力伝達部材64に一定の押し付け力で押し付けるために必要な変位機構である。圧電アクチュエータ5a、5bの直流電圧を印可すると圧電アクチュエータは約10μm変位する。この変位を変位拡大用弾性ヒンジ6によって増幅し、押し付け部4を介してスクレーパ2を変位させる。この圧電アクチュータ5a、5bはジルコン酸チタン酸鉛やチタン酸バリウムを主成分とする圧電セラミック体から構成されている。
【0032】
変位拡大用弾性ヒンジ6は圧電アクチュエータ5a、5bの変位を増幅して押し付け部4に伝達する役割を持ち、ステンレスや銅等の金属材料によって構成される。
【0033】
また、バネ7はスクレーパ2の押し付け力を調整するために使用し、弾性ヒンジ3にバネ7を押し付けて圧電アクチュエータ5a、5bの押し付け力を緩和する役割を持ち、ステンレスや銅等の金属材料によって構成される。
【0034】
そして、粉塵除去機構1の動作としては、制御部68より指令を送ると圧電アクチュエータ5(5a、5b)に電圧を印可され、変位拡大用弾性ヒンジ6が変位を増幅しながら連動してスクレーパ2に動力を伝達し、駆動力伝達部材64の表面から離間していたスクレーパ2は一定の接触圧力で接触する。この接触圧力は予めバネ7にて調整することが可能である。また、スクレーパ2と弾性ヒンジ3はピンによって固定され、スクレーパ2の刃先が駆動力伝達部材64へ均等に接触するように構成してある。
【0035】
スクレーパ2の動作タイミングとしては、ステージ63が超音波モータ500に対して右側(図中上側)に移動する時に、摩擦部材56が駆動力伝達部材64の表面に当接して摩擦駆動を行うが、その可動方向であるならば、圧電アクチュエータ5aに電圧を印可して摩擦部材56の上流側に配置したスクレーパ2aを駆動力伝達部材64に接触させることによって駆動力伝達部材64に付着した粉塵を駆動力伝達部材64の外側に除去するようになっている。この場合には、他のスクレーパ2bは駆動力伝達部材64から離間させなければならない。離間させることによって摩耗粉がスクレーパ2の内側に付着するのを防止することができるものである。また、ステージ63が超音波モータに対して左側(図中下側)に移動する時にはその逆であるため説明を省略する。
【0036】
次に、本発明の案内装置の駆動状態について説明する。
【0037】
まず、ドライバー69より指令信号を出力して超音波モータ51の摩擦部材56を楕円運動させると、駆動力伝達部材64との摩擦駆動によってステージ63をガイド部材62に沿って移動させることができ、ステージ63の移動に伴う位置検出手段67からの位置情報と、予め設定してあるステージ63の基準位置情報との偏差に応じて変化するパラメータを基に制御部68にて例えばPID演算処理を行ってドライバー69に超音波モータ51への指令信号を出力するフィードバック制御を行うことにより、ステージ63を所定の条件で移動させる。
【0038】
この時、駆動力伝達部材64の当接面64aには、超音波モータ51との摩擦駆動等によって発生した粉塵が付着する。
【0039】
しかしながら、本発明の案内装置によれば、粉塵除去機構1のスクレーパ2a、2bは、駆動力伝達部材64の可動方向上流側のスクレーパ2をその当接面64aに接触させることにより、駆動力伝達部材64の当接面に付着する粉塵を摩擦部材56の駆動のたびに掻き取ることが可能であり、常に清掃面で摩擦部材56が摩擦駆動させることができるとともに、粉塵の飛散を効率的に防止している。これにより、駆動力伝達部材64の超音波モータ51との当接面64aに粉塵が残らないようにすることができる。
【0040】
その為、本発明の案内装置によれば、駆動力伝達部材64の当接面64aと超音波モータの摩擦部材56との隙間に粉塵が噛み込むのを大幅に低減することができるため、常に安定した接触状態を得ることができ、超音波モータの駆動によってステージ63を安定して駆動させることができるため、可動中における精度が1μm、位置決め精度が0.1μmといった高精度が要求されるような場合でも精度良く移動、位置決めすることができる。
【0041】
また、本発明の案内装置では駆動力伝達部材64と粉塵除去機構1に飛散した粉塵を周囲に設けた粉塵飛散防止用筐体8により覆うことによって、粉塵を周囲に飛散させないようにすることができる。
【0042】
ところで、このような効果を奏するためには、駆動力伝達部材64の表面からそれと対向する粉塵飛散防止用筐体8の対向面の距離Tを10〜500μmとすることが好ましい。即ち、両者の距離Tが10μm未満であると、粉塵が駆動ガイド64の当接面と粉塵飛散防止用筐体8との隙間に噛み込み、ステージ63が動かなくなる恐れがある。逆に距離Tが500μmを超えると、駆動力伝達部材64の当接面64aから粉塵飛散防止用筐体8までの距離が離れすぎるため、飛散した粉塵をその周囲にまき散らし、使用環境を汚染し、ステージ63のガイド部材62等に噛み込むと、ステージ63の移動精度に悪影響を与えるからである。
【0043】
また、スクレーパ2と駆動力伝達部材64との当接面の接触角度Dは15°以上であるとともに、スクレーパ2と駆動力伝達部材64との当接面の接触圧力Fが50〜500gの範囲内であることが好ましい。
【0044】
即ち、両者の角度Dが15°以下であると、スクレーパ2で粉塵を掻き取っても、駆動力伝達部材64に粉塵が残留して粉塵除去を効果的に行うことができなくなる。また、両者の接触圧力Fが50g以下であるとスクレーパ2で粉塵を掻き取っても駆動力伝達部材64に粉塵が残留する。逆に接触圧力Fが500gを超えるとスクレーパの接触圧力によって粉塵が駆動力伝達部材64に凝着し、最悪の場合には駆動力伝達部材64を傷つけてしまうからである。
【0045】
さらに、スクレーパ2の刃先に付着した粉塵が駆動力伝達部材64の当接面64aに再付着するのを防止するため、駆動力伝達部材64の可動方向端部、即ち、駆動力伝達部材64の両側に溝9を設ける。この溝9の動作方法を図3(a)、(b)にて説明する。なお、図3(a)は上面図、図3(b)は(a)のB−B線断面図である。図に示すようにスクレーパ2aを駆動力伝達部材64に接触させたままステージ63が超音波モータに対して右側に移動させるとスクレーパ2aが溝9aに入る。そしてさらにステージ63を右側に移動させるとスクレーパ2aの粉塵を付着した面が溝9aのエッジに接触し、この溝9aのエッジによって粉塵を掻き取り、スクレーパ2aをクリーニングする。スクレーパ2bについても同様の動作によって溝9aのエッジでクリーニングを行う。この動作を行うことによってスクレーパ2は常に粉塵のない状態となり、再付着を完全に防止することができる。
【0046】
以上、本実施形態では、可動体が直線運動する案内装置を例にとって説明したが、可動体が回転運動する案内装置にも適用できることは言う迄もなく、さらに、可動体を駆動させる超音波モータについても、多重モード型のものに限らず、単一振動モードの定在波型や進行波、複数振動モードのモード変換型、複合振動型の超音波モータであっても構わない。
【0047】
このように、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば、種々改良や変更したものにも適用できることはいう迄もない。
【0048】
【実施例】
(実施例1)
ここで、図2の粉塵除去機構1を備えた図1に示す本発明の案内装置と、図5粉塵除去機構1を備えていない図4に示す従来の案内装置を用意し、各案内装置のステージ63を1時間移動させた後の超音波モータ51の摩耗部材56とステージ63の駆動力伝達部材64に付着する粉塵の付着量について比較する実験を行った。
【0049】
以下、実験に使用する案内装置の仕様について説明する。
【0050】
案内装置を構成するガイド部材62には、ストロークが100mmのクロスローラガイドを用い、上記ガイド部材62によって5kgの重さを有するステージ63を移動させるようにした。また、ステージ63の一方の側面にはアルミナセラミック製の駆動力伝達部材64を配置し、超音波モータ51との当接面64aの表面粗さを算術平均粗さ(Ra)で0.05μmとした。
【0051】
一方、ステージ63の駆動源である超音波モータ51は、振動体55を、長さ30mm、幅7.5mm、厚み3mmの直方体をしたチタン酸ジルコン酸鉛系の圧電セラミック体52により形成し、振動体55の端面に、長さ4.2mm、直径3mmの円柱状をしたアルミナセラミック製の摩擦部材56を接合したものを用いた。なお、摩擦部材56の駆動力伝達部材64との当接面は、曲率半径が7mmの球面とした。
【0052】
また、本発明の案内装置に用いる粉塵除去機構1のスクレーパ2は、ジルコニア製のスクレーパとし、駆動力伝達部材64の当接面との接触角度を10°、20°、30°で実験を行った。また、スクレーパ2の押し付け力をバネ7にて変化させて粉塵の付着量を測定した。
【0053】
実験にあたっては、制御部18に予め設定しておくステージ63の移動プロファイルとして、移動距離100mm、加減速度0.03G、最高速度100mm/secに設定した台形制御とし、超音波モータ51を40kHzの駆動周波数で駆動させるようにした。
【0054】
そして、この条件にてステージ63を10時間駆動させ、走行試験後に超音波モータの摩擦部材56とステージ63の駆動力伝達部材64に付着する粉塵の量を測定した。なお、粉塵の付着量については、1mm2当たりに粒径1μm以上の粉塵が付着する量をパーティクルカウンターで測定した。結果を表1に示す。
【0055】
【表1】
【0056】
表1に示すように粉塵除去機構1を持たない従来の案内装置では、粉塵の付着量が1000個と多かったのに対し、図2に示す粉塵除去機構1を有する本発明の案内装置では、刃先接触角度を15°以上で刃先押付力を50〜500gの範囲に設定することで0個であり、粉塵の付着を効果的に抑えられることが確認できた。
【0057】
(実施例2)
次に、図2の粉塵除去機構1を備えた図1に示す本発明の案内装置と、図5粉塵除去機構1を備えていない図4に示す従来の案内装置を用意し、実施例1と同じ駆動条件にてステージ63を移動させ、その時の位置検出手段67からの位置情報と予め設定してある基準位置情報との偏差を測定し、この偏差が1μmを越えた時をステージ63の駆動特性が不安定であるとし、そのときの移動距離を測定した。結果は図6に示す通りである。
【0058】
この結果、従来の案内装置は、200kmの移動で位置決め精度が1μmを越え、ステージ63の駆動特性が不安定になった。また、この時、ステージ63の駆動力伝達部材64を観察してみると、小さな粉塵が多数付着していた。その結果、500km移動後の超音波モータ51の摩擦部材56とステージ63の駆動力伝達部材64の合計摩耗量を測定したところ、0.2mm3と多かった。
【0059】
これに対し、図1に示す粉塵除去手段を備えた本発明の案内装置は、ステージ63を500km移動させる途中において偏差が1μmを越えることはなく、ステージ63を安定して駆動させることができた。また、500km移動後の超音波モータ51の摩擦部材56とステージ63の駆動力伝達部材64の合計摩耗量を測定したところ0.01mm3と極めて少なくすることができ優れていた。
【0060】
【発明の効果】
本発明の案内装置によれば、摩擦部材が当接する領域と同じ可動体の表面の領域に接触することで粉塵を除去するスクレーパを配置したことにより、可動体の表面に付着する粉塵を摩擦部材の駆動のたびに掻き取ることが可能であり、常に清掃面で摩擦部材が摩擦駆動させることができるとともに、粉塵の飛散を効率的に防止することができる。これにより、可動体の表面と超音波モータの摩擦部材との隙間に粉塵が噛み込むのを大幅に低減することができるため、常に安定した接触状態を得ることができ、超音波モータの駆動によって可動体を安定して駆動させることができるため、可動中における精度が1μm、位置決め精度が0.1μmといった高精度が要求されるような場合でも精度良く移動、位置決めすることができる。
【0061】
上記スクレーパは、上記可動体に接触・離間を可能にした駆動機構を有しており、上記摩擦部材の両側に上記スクレーパを配置するとともに、可動体を往復運動させた場合の可動方向上流側のスクレーパのみが接触するように制御したために、可動の際の不要なトルクを防止して正確に駆動力を伝達することができるものである。
【0062】
上記超音波モータ及び上記スクレーパを覆う粉塵飛散防止用筐体を有しているために飛散した粉塵を周囲に飛散させないようにすることができる。
【0063】
また、上記可動体表面から該可動体表面と対向する上記粉塵飛散防止用筐体の対向面の距離が10〜500μmとすると更に飛散防止効果を得ることができる。
【0064】
さらに、上記スクレーパと上記可動体の当接面との接触角度を15°以上にするとともに、上記スクレーパと上記可動体の当接面の接触圧力が50〜500gの範囲内としたために、粉塵が可動体の表面の領域に凝着し、可動体を傷つけるのを防止することができる。
【0065】
さらにまた、上記スクレーパに付着した粉塵を掻き取って回収する粉塵回収用の溝を上記可動体表面に設けたために、スクレーパには常に粉塵のない状態となり、再付着を完全に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】超音波モータを可動体の駆動源とする本発明の案内装置の一例を示す斜視図である。
【図2】本発明の案内装置に備える粉塵除去手段の一例を示す図で、(a)はその上面図、(b)はその断面図である。
【図3】本発明の案内装置に備える粉塵除去手段の他の例を示す図で、(a)はその上面図、(b)はその断面図である。
【図4】超音波モータを可動体の駆動源とする従来の案内装置の一例を示す斜視図である。
【図5】案内装置に用いる超音波モータをケース内に収容した状態を示す一部を破断した平面図である。
【図6】本発明の案内装置と従来の案内装置におけるステージの移動距離と位置決め精度との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
1:粉塵除去機構
2:スクレーパ
3:弾性ヒンジ
4:押し付け部
5:圧電アクチュエータ
6:変位拡大用弾性ヒンジ
7:バネ
8:粉塵飛散防止用筐体
9:溝
61:ベース盤
62:ガイド部材
63:ステージ
64:駆動力伝達部材
65:リニアモータ
66:測定ヘッド
67:位置検出手段
68:制御部
69:ドライバー
Claims (6)
- 楕円運動する振動体と、該振動体の楕円運動を伝達する摩擦部材とからなる超音波モータと、上記摩擦部材が当接して摩擦駆動を行うことにより可動する可動体とを有する案内装置において、
上記摩擦部材よりも上記可動体の可動方向上流側に、上記摩擦部材が当接する領域と同じ可動体の表面の領域に接触することで粉塵を除去するスクレーパを配置したことを特徴とする案内装置。 - 上記スクレーパは、上記可動体に接触・離間を可能にした駆動機構を有しており、上記摩擦部材の両側に上記スクレーパを配置するとともに、可動体を往復運動させた場合の可動方向上流側のスクレーパのみが接触するように制御したことを特徴とする請求項1記載の案内装置。
- 上記超音波モータ及び上記スクレーパを覆う粉塵飛散防止用筐体を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の案内装置。
- 上記可動体表面から該可動体表面と対向する上記粉塵飛散防止用筐体の対向面の距離が10〜500μmとしたことを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の案内装置。
- 上記スクレーパと上記可動体の当接面との接触角度が15°以上であるとともに、上記スクレーパと上記可動体の当接面の接触圧力が50〜500gの範囲内であることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の案内装置。
- 上記スクレーパに付着した粉塵を掻き取って回収する粉塵回収用の溝を上記可動体表面に設けたことを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載の案内装置。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2003203186A JP2005051836A (ja) | 2003-07-29 | 2003-07-29 | 案内装置 |
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