JP2005030829A - プッシャおよび半導体装置の特性検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体チップに及ぶダメージを抑制しつつ、半導体チップへの熱伝導を向上させる。
【解決手段】熱風を先端に送る空洞2をプッシャ1に設けるとともに、プッシャ1を加熱するヒートブロック4を設け、プッシャ1の先端に網目状部材3を設け、プッシャ1および網目状部材3を樹脂で構成する。此により、測定対象デバイスの高温測定を行う際に、測定対象デバイスに及ぶダメージをを抑制する事が可能となるとともに、空洞部を介して測定対象デバイスに熱風を送ることが可能となる。このため、測定対象デバイスに及ぶダメージを抑制するために、樹脂製押圧部を用いた場合においても、測定対象デバイスへの熱伝導を向上させることが可能となり、測定対象デバイスの高温測定を効率よく行うことが可能となる。
【選択図】 図1
【解決手段】熱風を先端に送る空洞2をプッシャ1に設けるとともに、プッシャ1を加熱するヒートブロック4を設け、プッシャ1の先端に網目状部材3を設け、プッシャ1および網目状部材3を樹脂で構成する。此により、測定対象デバイスの高温測定を行う際に、測定対象デバイスに及ぶダメージをを抑制する事が可能となるとともに、空洞部を介して測定対象デバイスに熱風を送ることが可能となる。このため、測定対象デバイスに及ぶダメージを抑制するために、樹脂製押圧部を用いた場合においても、測定対象デバイスへの熱伝導を向上させることが可能となり、測定対象デバイスの高温測定を効率よく行うことが可能となる。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はプッシャおよび半導体装置の特性検査装置に関し、特に、半導体チップの高温測定方法に適用して好適なものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の半導体装置の特性検査装置では、例えば、特許文献1に開示されているように、電気的特性測定時の測定対象デバイス自体の発熱による測定対象デバイスの温度上昇を抑えて、一定の温度範囲での測定を可能とするために、コンタクトプッシャに放熱ブロックを設ける方法が行われている。
【0003】
【特許文献1】
特開平11−337614号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の半導体装置の特性検査装置では、半導体チップをコンタクトプッシャで抑えると、半導体チップにダメージが及ぶという問題があった。
一方、半導体チップをコンタクトプッシャで抑えた時の半導体チップに与えるダメージを低減するために、コンタクトプッシャを樹脂で形成すると、半導体チップへの熱伝導性が劣化し、半導体チップの高温測定が困難になるという問題があった。
【0005】
そこで、本発明の目的は、半導体チップに及ぶダメージを抑制しつつ、半導体チップへの熱伝導を向上させることが可能なプッシャおよび半導体装置の特性検査装置を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、本発明の一態様に係るプッシャによれば、先端が網目状に構成され、測定対象デバイスに押圧可能な樹脂製押圧部と、前記樹脂製押圧部に設けられた空洞部と、前記樹脂製押圧部を加熱するヒートブロックとを備えることを特徴とする。
【0007】
これにより、測定対象デバイスの高温測定を行う際に、測定対象デバイスに樹脂製押圧部を接触させることが可能となり、測定対象デバイスに及ぶダメージを抑制することが可能となるとともに、空洞部を介して測定対象デバイスに熱風を送ることが可能となる。このため、測定対象デバイスに及ぶダメージを抑制するために、樹脂製押圧部を用いた場合においても、測定対象デバイスへの熱伝導を向上させることが可能となり、測定対象デバイスの高温測定を効率よく行うことが可能となる。
【0008】
また、本発明の一態様に係るプッシャによれば、測定対象デバイスに押圧可能な樹脂製押圧部と、前記樹脂製押圧部を加熱するヒートブロックと、前記樹脂製押圧部に埋め込まれ、前記ヒートブロックで発生した熱を前記測定対象に伝達する金属部材とを備えることを特徴とする。
これにより、測定対象デバイスの高温測定を行う際に、測定対象デバイスに樹脂製押圧部を接触させることが可能となり、測定対象デバイスに及ぶダメージを抑制することが可能となるとともに、金属部材を介して測定対象デバイスに熱を伝えることが可能となる。このため、測定対象デバイスに及ぶダメージを抑制するために、樹脂製押圧部を用いた場合においても、測定対象デバイスへの熱伝導を向上させることが可能となり、測定対象デバイスの高温測定を効率よく行うことが可能となる。
【0009】
また、本発明の一態様に係るプッシャによれば、測定対象デバイスに押圧可能な金属製押圧部と、前記加熱するヒートブロックと、前記金属製押圧部の先端に設けられた樹脂層とを備えることを特徴とする。
これにより、測定対象デバイスの高温測定を行う際に、樹脂層を介して金属製押圧部を接触させることが可能となる。このため、測定対象デバイスへの熱伝導の劣化を抑制しつつ、測定対象デバイスに及ぶダメージを抑制することが可能となり、測定対象デバイスの高温測定を効率よく行うことが可能となる。
【0010】
また、本発明の一態様に係る半導体装置の特性検査装置によれば、半導体チップの電気的特性を測定するLSIテスタと、前記半導体チップと前記LSIテスタと電気的に接続するソケットと、前記半導体チップが搭載された半導体パッケージを前記ソケットに押圧する樹脂製プッシャと、前記樹脂製プッシャを介して前記半導体パッケージを加熱する加熱手段と、前記樹脂製プッシャに設けられ、熱風を先端に送り込む空洞部とを備えることを特徴とする。
【0011】
これにより、半導体チップの高温測定を行う際に、樹脂製プッシャを用いて半導体パッケージをソケットに接触させることが可能となり、半導体チップが半導体パッケージから露出している場合においても、半導体チップに及ぶダメージを抑制することが可能となるとともに、空洞部を介して半導体パッケージに熱風を送ることが可能となる。このため、半導体チップに及ぶダメージを抑制するために、樹脂製プッシャを用いた場合においても、半導体チップへの熱伝導を向上させることが可能となり、半導体チップの高温測定を効率よく行うことが可能となる。
【0012】
また、本発明の一態様に係る半導体装置の特性検査装置によれば、半導体チップの電気的特性を測定するLSIテスタと、前記半導体チップと前記LSIテスタと電気的に接続するソケットと、前記半導体チップが搭載された半導体パッケージを前記ソケットに押圧する樹脂製プッシャと、前記樹脂製プッシャを介して前記半導体パッケージを加熱する加熱手段と、前記樹脂製プッシャに埋め込まれ、前記加熱手段で発生させられた熱を先端に伝導させる金属部材とを備えることを特徴とする。
【0013】
これにより、半導体チップの高温測定を行う際に、樹脂製プッシャを用いて半導体パッケージをソケットに接触させることが可能となり、半導体チップが半導体パッケージから露出している場合においても、半導体チップに及ぶダメージを抑制することが可能となるとともに、金属部材を介して半導体パッケージに熱を伝えることが可能となる。このため、半導体チップに及ぶダメージを抑制するために、樹脂製プッシャを用いた場合においても、半導体チップへの熱伝導を向上させることが可能となり、半導体チップの高温測定を効率よく行うことが可能となる。
【0014】
また、本発明の一態様に係る半導体装置の特性検査装置によれば、半導体チップの電気的特性を測定するLSIテスタと、前記半導体チップと前記LSIテスタと電気的に接続するソケットと、前記半導体チップが搭載された半導体パッケージを前記ソケットに押圧する金属製プッシャと、前記金属製プッシャを介して前記半導体パッケージを加熱する加熱手段と、前記金属製プッシャの先端に設けられた樹脂層とを備えることを特徴とする。
【0015】
これにより、半導体チップの高温測定を行う際に、樹脂層を介して金属製プッシャを半導体チップに接触させることが可能となる。このため、半導体チップが半導体パッケージから露出している場合においても、半導体チップへの熱伝導の劣化を抑制しつつ、半導体チップに及ぶダメージを抑制することが可能となり、半導体チップの高温測定を効率よく行うことが可能となる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態に係る半導体装置の特性検査装置について図面を参照しながら説明する。
図1は、本発明の第1実施形態に係る半導体装置の特性検査装置の概略構成を示す断面図である。
【0017】
図1において、プッシャ1には、熱風を先端に送る空洞2が設けられるとともに、プッシャ1を加熱するヒートブロック4が設けられている。また、プッシャ1の先端には、網目状部材3が設けられている。ここで、プッシャ1および網目状部材3は樹脂で構成することができる。
一方、半導体パッケージPK1にはキャリア基板5が設けられ、キャリア基板5上には、半導体チップ6aがフェースダウン実装されるとともに、キャリア基板5の裏面には突出電極6bが設けられている。
【0018】
また、プッシャ1の下方には、半導体パッケージPK1を着脱可能なソケット7が設けられている。そして、ソケット7には、突出電極6bに接触可能な接続端子8が設けられるとともに、接続端子8は、半導体チップ6aの電気的な特性を検査するLSIテスタ9に接続されている。
そして、半導体チップ6aの高温測定を行う場合、半導体チップ6aが搭載された半導体パッケージPK1をソケット7上に搬送する。そして、半導体パッケージPK1がソケット7上に搬送されると、半導体パッケージPK1をプッシャ1で押圧することにより、突出電極6bを接続端子8に接触させる。そして、プッシャ1を介してヒートブロック4の熱を半導体チップ6aに伝達し、半導体チップ6aを加熱しながら、LSIテスタ9により半導体チップ6aに信号の入出力を行う。
【0019】
ここで、プッシャ1を樹脂で構成することにより、半導体チップ6aが半導体パッケージPK1から露出している場合においても、半導体チップ6aに及ぶダメージを抑制しつつ、半導体チップ6aをプッシャ1で押圧することが可能となる。また、プッシャ1に空洞部2を設けることにより、空洞部2を介して半導体パッケージPK1に熱風を送ることが可能となり、プッシャ1を樹脂で構成した場合においても、半導体チップ6aへの熱伝導を向上させることが可能として、半導体チップ6aの高温測定を効率よく行うことが可能となる。
【0020】
なお、キャリア基板5としては、例えば、フィルム基板の他、プリント基板、多層配線基板、ビルドアップ基板、テープ基板、ガラス基板などを用いるようにしてもよい。また、突出電極6bとしては、例えば、Auバンプ、Au/Niバンプ、半田材などで被覆されたCuバンプやNiバンプ、あるいは半田ボールなどを用いることができる。
【0021】
また、半導体チップ6aをキャリア基板5上にフェースダウン実装する場合、例えば、半田接合や合金接合などの金属接合を用いるようにしてもよく、ACF(Anisotropic Conductive Film)接合、NCF(Nonconductive Film)接合、ACP(Anisotropic Conductive Paste)接合、NCP(Nonconductive Paste)接合などの圧接接合を用いるようにしてもよい。
【0022】
また、半導体パッケージPK1としては、BGA(ボール・グリッド・アレイ)の他、CSP(チップ・サイズ・パッケージ)、COF(チップ・オン・フィルム)、TCP(テープ・キャリア、パッケージ)、COG(チップ・オン・グラス)、TCM(テープキャリアモジュール)などのフェースダウン実装が行われる全ての半導体パッケージに適用するようにしてもよい。
【0023】
図2は、本発明の第2実施形態に係る半導体装置の特性検査装置の概略構成を示す断面図である。
図2において、樹脂で構成されたプッシャ11には、プッシャ11を加熱するヒートブロック14が設けられるとともに、ヒートブロック14で発生した熱を先端に伝達する金属部材12が埋め込まれている。
【0024】
一方、半導体パッケージPK2にはキャリア基板15が設けられ、キャリア基板15上には、半導体チップ16aがフェースダウン実装されるとともに、キャリア基板15の裏面には突出電極16bが設けられている。
また、プッシャ11の下方には、半導体パッケージPK2を着脱可能なソケット17が設けられている。そして、ソケット17には、突出電極16bに接触可能な接続端子18が設けられるとともに、接続端子18は、半導体チップ16aの電気的な特性を検査するLSIテスタ19に接続されている。
【0025】
そして、半導体チップ16aの高温測定を行う場合、半導体チップ16aが搭載された半導体パッケージPK2をソケット17上に搬送する。そして、半導体パッケージPK2がソケット17上に搬送されると、半導体パッケージPK2をプッシャ11で押圧することにより、突出電極16bを接続端子18に接触させる。そして、プッシャ11を介してヒートブロック14の熱を半導体チップ16aに伝達し、半導体チップ16aを加熱しながら、LSIテスタ19により半導体チップ16aに信号の入出力を行う。
【0026】
ここで、プッシャ11を樹脂で構成することにより、半導体チップ16aが半導体パッケージPK2から露出している場合においても、半導体チップ16aに及ぶダメージを抑制しつつ、半導体チップ16aをプッシャ11で押圧することが可能となる。また、プッシャ11に金属部材12を埋め込むことにより、金属部材12を介して半導体パッケージPK2に熱を効率よく伝えることが可能となり、プッシャ11を樹脂で構成した場合においても、半導体チップ16aへの熱伝導を向上させることが可能として、半導体チップ16aの高温測定を効率よく行うことが可能となる。
【0027】
図3は、本発明の第3実施形態に係る半導体装置の特性検査装置の概略構成を示す断面図である。
図3において、金属で構成されたプッシャ21には、プッシャ21を加熱するヒートブロック24が設けられるとともに、プッシャ21の先端には樹脂層22が設けられている。なお、プッシャ21の先端には樹脂層22を設ける場合、プッシャ21の先端に樹脂をコーティングしてもよいし、プッシャ21の先端に樹脂部材を貼り付けるようにしてもよい。
【0028】
一方、半導体パッケージPK3にはキャリア基板25が設けられ、キャリア基板25上には、半導体チップ26aがフェースダウン実装されるとともに、キャリア基板25の裏面には突出電極26bが設けられている。
また、プッシャ21の下方には、半導体パッケージPK3を着脱可能なソケット27が設けられている。そして、ソケット27には、突出電極26bに接触可能な接続端子28が設けられるとともに、接続端子28は、半導体チップ26aの電気的な特性を検査するLSIテスタ29に接続されている。
【0029】
そして、半導体チップ26aの高温測定を行う場合、半導体チップ26aが搭載された半導体パッケージPK3をソケット27上に搬送する。そして、半導体パッケージPK3がソケット27上に搬送されると、半導体パッケージPK3をプッシャ21で押圧することにより、突出電極26bを接続端子28に接触させる。そして、プッシャ21を介してヒートブロック24の熱を半導体チップ26aに伝達し、半導体チップ26aを加熱しながら、LSIテスタ29により半導体チップ26aに信号の入出力を行う。
【0030】
ここで、プッシャ21の先端に樹脂層22を設けることにより、半導体チップ26aが半導体パッケージPK3から露出している場合においても、半導体チップ26aに及ぶダメージを抑制しつつ、半導体チップ26aをプッシャ21で押圧することが可能となるとともに、半導体チップ26aへの熱伝導の劣化を抑制することが可能となり、半導体チップ26aの高温測定を効率よく行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施形態の半導体装置の特性検査装置の構成を示す断面図。
【図2】第2実施形態の半導体装置の特性検査装置の構成を示す断面図。
【図3】第3実施形態の半導体装置の特性検査装置の構成を示す断面図。
【符号の説明】
PK1〜PK3 半導体パケージ、1、11、21 プッシャ、2 空洞、3網目状部材、4、14、24 ヒートブロック、5、15、25 キャリア基板、6a、16a、26a 半導体チップ、6b、16b、26b 突出電極、7、17、27 ソケット、8、18、28 接続端子、9、19、29 LSIテスタ、12 埋め込み金属、22 樹脂層
【発明の属する技術分野】
本発明はプッシャおよび半導体装置の特性検査装置に関し、特に、半導体チップの高温測定方法に適用して好適なものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の半導体装置の特性検査装置では、例えば、特許文献1に開示されているように、電気的特性測定時の測定対象デバイス自体の発熱による測定対象デバイスの温度上昇を抑えて、一定の温度範囲での測定を可能とするために、コンタクトプッシャに放熱ブロックを設ける方法が行われている。
【0003】
【特許文献1】
特開平11−337614号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の半導体装置の特性検査装置では、半導体チップをコンタクトプッシャで抑えると、半導体チップにダメージが及ぶという問題があった。
一方、半導体チップをコンタクトプッシャで抑えた時の半導体チップに与えるダメージを低減するために、コンタクトプッシャを樹脂で形成すると、半導体チップへの熱伝導性が劣化し、半導体チップの高温測定が困難になるという問題があった。
【0005】
そこで、本発明の目的は、半導体チップに及ぶダメージを抑制しつつ、半導体チップへの熱伝導を向上させることが可能なプッシャおよび半導体装置の特性検査装置を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、本発明の一態様に係るプッシャによれば、先端が網目状に構成され、測定対象デバイスに押圧可能な樹脂製押圧部と、前記樹脂製押圧部に設けられた空洞部と、前記樹脂製押圧部を加熱するヒートブロックとを備えることを特徴とする。
【0007】
これにより、測定対象デバイスの高温測定を行う際に、測定対象デバイスに樹脂製押圧部を接触させることが可能となり、測定対象デバイスに及ぶダメージを抑制することが可能となるとともに、空洞部を介して測定対象デバイスに熱風を送ることが可能となる。このため、測定対象デバイスに及ぶダメージを抑制するために、樹脂製押圧部を用いた場合においても、測定対象デバイスへの熱伝導を向上させることが可能となり、測定対象デバイスの高温測定を効率よく行うことが可能となる。
【0008】
また、本発明の一態様に係るプッシャによれば、測定対象デバイスに押圧可能な樹脂製押圧部と、前記樹脂製押圧部を加熱するヒートブロックと、前記樹脂製押圧部に埋め込まれ、前記ヒートブロックで発生した熱を前記測定対象に伝達する金属部材とを備えることを特徴とする。
これにより、測定対象デバイスの高温測定を行う際に、測定対象デバイスに樹脂製押圧部を接触させることが可能となり、測定対象デバイスに及ぶダメージを抑制することが可能となるとともに、金属部材を介して測定対象デバイスに熱を伝えることが可能となる。このため、測定対象デバイスに及ぶダメージを抑制するために、樹脂製押圧部を用いた場合においても、測定対象デバイスへの熱伝導を向上させることが可能となり、測定対象デバイスの高温測定を効率よく行うことが可能となる。
【0009】
また、本発明の一態様に係るプッシャによれば、測定対象デバイスに押圧可能な金属製押圧部と、前記加熱するヒートブロックと、前記金属製押圧部の先端に設けられた樹脂層とを備えることを特徴とする。
これにより、測定対象デバイスの高温測定を行う際に、樹脂層を介して金属製押圧部を接触させることが可能となる。このため、測定対象デバイスへの熱伝導の劣化を抑制しつつ、測定対象デバイスに及ぶダメージを抑制することが可能となり、測定対象デバイスの高温測定を効率よく行うことが可能となる。
【0010】
また、本発明の一態様に係る半導体装置の特性検査装置によれば、半導体チップの電気的特性を測定するLSIテスタと、前記半導体チップと前記LSIテスタと電気的に接続するソケットと、前記半導体チップが搭載された半導体パッケージを前記ソケットに押圧する樹脂製プッシャと、前記樹脂製プッシャを介して前記半導体パッケージを加熱する加熱手段と、前記樹脂製プッシャに設けられ、熱風を先端に送り込む空洞部とを備えることを特徴とする。
【0011】
これにより、半導体チップの高温測定を行う際に、樹脂製プッシャを用いて半導体パッケージをソケットに接触させることが可能となり、半導体チップが半導体パッケージから露出している場合においても、半導体チップに及ぶダメージを抑制することが可能となるとともに、空洞部を介して半導体パッケージに熱風を送ることが可能となる。このため、半導体チップに及ぶダメージを抑制するために、樹脂製プッシャを用いた場合においても、半導体チップへの熱伝導を向上させることが可能となり、半導体チップの高温測定を効率よく行うことが可能となる。
【0012】
また、本発明の一態様に係る半導体装置の特性検査装置によれば、半導体チップの電気的特性を測定するLSIテスタと、前記半導体チップと前記LSIテスタと電気的に接続するソケットと、前記半導体チップが搭載された半導体パッケージを前記ソケットに押圧する樹脂製プッシャと、前記樹脂製プッシャを介して前記半導体パッケージを加熱する加熱手段と、前記樹脂製プッシャに埋め込まれ、前記加熱手段で発生させられた熱を先端に伝導させる金属部材とを備えることを特徴とする。
【0013】
これにより、半導体チップの高温測定を行う際に、樹脂製プッシャを用いて半導体パッケージをソケットに接触させることが可能となり、半導体チップが半導体パッケージから露出している場合においても、半導体チップに及ぶダメージを抑制することが可能となるとともに、金属部材を介して半導体パッケージに熱を伝えることが可能となる。このため、半導体チップに及ぶダメージを抑制するために、樹脂製プッシャを用いた場合においても、半導体チップへの熱伝導を向上させることが可能となり、半導体チップの高温測定を効率よく行うことが可能となる。
【0014】
また、本発明の一態様に係る半導体装置の特性検査装置によれば、半導体チップの電気的特性を測定するLSIテスタと、前記半導体チップと前記LSIテスタと電気的に接続するソケットと、前記半導体チップが搭載された半導体パッケージを前記ソケットに押圧する金属製プッシャと、前記金属製プッシャを介して前記半導体パッケージを加熱する加熱手段と、前記金属製プッシャの先端に設けられた樹脂層とを備えることを特徴とする。
【0015】
これにより、半導体チップの高温測定を行う際に、樹脂層を介して金属製プッシャを半導体チップに接触させることが可能となる。このため、半導体チップが半導体パッケージから露出している場合においても、半導体チップへの熱伝導の劣化を抑制しつつ、半導体チップに及ぶダメージを抑制することが可能となり、半導体チップの高温測定を効率よく行うことが可能となる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態に係る半導体装置の特性検査装置について図面を参照しながら説明する。
図1は、本発明の第1実施形態に係る半導体装置の特性検査装置の概略構成を示す断面図である。
【0017】
図1において、プッシャ1には、熱風を先端に送る空洞2が設けられるとともに、プッシャ1を加熱するヒートブロック4が設けられている。また、プッシャ1の先端には、網目状部材3が設けられている。ここで、プッシャ1および網目状部材3は樹脂で構成することができる。
一方、半導体パッケージPK1にはキャリア基板5が設けられ、キャリア基板5上には、半導体チップ6aがフェースダウン実装されるとともに、キャリア基板5の裏面には突出電極6bが設けられている。
【0018】
また、プッシャ1の下方には、半導体パッケージPK1を着脱可能なソケット7が設けられている。そして、ソケット7には、突出電極6bに接触可能な接続端子8が設けられるとともに、接続端子8は、半導体チップ6aの電気的な特性を検査するLSIテスタ9に接続されている。
そして、半導体チップ6aの高温測定を行う場合、半導体チップ6aが搭載された半導体パッケージPK1をソケット7上に搬送する。そして、半導体パッケージPK1がソケット7上に搬送されると、半導体パッケージPK1をプッシャ1で押圧することにより、突出電極6bを接続端子8に接触させる。そして、プッシャ1を介してヒートブロック4の熱を半導体チップ6aに伝達し、半導体チップ6aを加熱しながら、LSIテスタ9により半導体チップ6aに信号の入出力を行う。
【0019】
ここで、プッシャ1を樹脂で構成することにより、半導体チップ6aが半導体パッケージPK1から露出している場合においても、半導体チップ6aに及ぶダメージを抑制しつつ、半導体チップ6aをプッシャ1で押圧することが可能となる。また、プッシャ1に空洞部2を設けることにより、空洞部2を介して半導体パッケージPK1に熱風を送ることが可能となり、プッシャ1を樹脂で構成した場合においても、半導体チップ6aへの熱伝導を向上させることが可能として、半導体チップ6aの高温測定を効率よく行うことが可能となる。
【0020】
なお、キャリア基板5としては、例えば、フィルム基板の他、プリント基板、多層配線基板、ビルドアップ基板、テープ基板、ガラス基板などを用いるようにしてもよい。また、突出電極6bとしては、例えば、Auバンプ、Au/Niバンプ、半田材などで被覆されたCuバンプやNiバンプ、あるいは半田ボールなどを用いることができる。
【0021】
また、半導体チップ6aをキャリア基板5上にフェースダウン実装する場合、例えば、半田接合や合金接合などの金属接合を用いるようにしてもよく、ACF(Anisotropic Conductive Film)接合、NCF(Nonconductive Film)接合、ACP(Anisotropic Conductive Paste)接合、NCP(Nonconductive Paste)接合などの圧接接合を用いるようにしてもよい。
【0022】
また、半導体パッケージPK1としては、BGA(ボール・グリッド・アレイ)の他、CSP(チップ・サイズ・パッケージ)、COF(チップ・オン・フィルム)、TCP(テープ・キャリア、パッケージ)、COG(チップ・オン・グラス)、TCM(テープキャリアモジュール)などのフェースダウン実装が行われる全ての半導体パッケージに適用するようにしてもよい。
【0023】
図2は、本発明の第2実施形態に係る半導体装置の特性検査装置の概略構成を示す断面図である。
図2において、樹脂で構成されたプッシャ11には、プッシャ11を加熱するヒートブロック14が設けられるとともに、ヒートブロック14で発生した熱を先端に伝達する金属部材12が埋め込まれている。
【0024】
一方、半導体パッケージPK2にはキャリア基板15が設けられ、キャリア基板15上には、半導体チップ16aがフェースダウン実装されるとともに、キャリア基板15の裏面には突出電極16bが設けられている。
また、プッシャ11の下方には、半導体パッケージPK2を着脱可能なソケット17が設けられている。そして、ソケット17には、突出電極16bに接触可能な接続端子18が設けられるとともに、接続端子18は、半導体チップ16aの電気的な特性を検査するLSIテスタ19に接続されている。
【0025】
そして、半導体チップ16aの高温測定を行う場合、半導体チップ16aが搭載された半導体パッケージPK2をソケット17上に搬送する。そして、半導体パッケージPK2がソケット17上に搬送されると、半導体パッケージPK2をプッシャ11で押圧することにより、突出電極16bを接続端子18に接触させる。そして、プッシャ11を介してヒートブロック14の熱を半導体チップ16aに伝達し、半導体チップ16aを加熱しながら、LSIテスタ19により半導体チップ16aに信号の入出力を行う。
【0026】
ここで、プッシャ11を樹脂で構成することにより、半導体チップ16aが半導体パッケージPK2から露出している場合においても、半導体チップ16aに及ぶダメージを抑制しつつ、半導体チップ16aをプッシャ11で押圧することが可能となる。また、プッシャ11に金属部材12を埋め込むことにより、金属部材12を介して半導体パッケージPK2に熱を効率よく伝えることが可能となり、プッシャ11を樹脂で構成した場合においても、半導体チップ16aへの熱伝導を向上させることが可能として、半導体チップ16aの高温測定を効率よく行うことが可能となる。
【0027】
図3は、本発明の第3実施形態に係る半導体装置の特性検査装置の概略構成を示す断面図である。
図3において、金属で構成されたプッシャ21には、プッシャ21を加熱するヒートブロック24が設けられるとともに、プッシャ21の先端には樹脂層22が設けられている。なお、プッシャ21の先端には樹脂層22を設ける場合、プッシャ21の先端に樹脂をコーティングしてもよいし、プッシャ21の先端に樹脂部材を貼り付けるようにしてもよい。
【0028】
一方、半導体パッケージPK3にはキャリア基板25が設けられ、キャリア基板25上には、半導体チップ26aがフェースダウン実装されるとともに、キャリア基板25の裏面には突出電極26bが設けられている。
また、プッシャ21の下方には、半導体パッケージPK3を着脱可能なソケット27が設けられている。そして、ソケット27には、突出電極26bに接触可能な接続端子28が設けられるとともに、接続端子28は、半導体チップ26aの電気的な特性を検査するLSIテスタ29に接続されている。
【0029】
そして、半導体チップ26aの高温測定を行う場合、半導体チップ26aが搭載された半導体パッケージPK3をソケット27上に搬送する。そして、半導体パッケージPK3がソケット27上に搬送されると、半導体パッケージPK3をプッシャ21で押圧することにより、突出電極26bを接続端子28に接触させる。そして、プッシャ21を介してヒートブロック24の熱を半導体チップ26aに伝達し、半導体チップ26aを加熱しながら、LSIテスタ29により半導体チップ26aに信号の入出力を行う。
【0030】
ここで、プッシャ21の先端に樹脂層22を設けることにより、半導体チップ26aが半導体パッケージPK3から露出している場合においても、半導体チップ26aに及ぶダメージを抑制しつつ、半導体チップ26aをプッシャ21で押圧することが可能となるとともに、半導体チップ26aへの熱伝導の劣化を抑制することが可能となり、半導体チップ26aの高温測定を効率よく行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施形態の半導体装置の特性検査装置の構成を示す断面図。
【図2】第2実施形態の半導体装置の特性検査装置の構成を示す断面図。
【図3】第3実施形態の半導体装置の特性検査装置の構成を示す断面図。
【符号の説明】
PK1〜PK3 半導体パケージ、1、11、21 プッシャ、2 空洞、3網目状部材、4、14、24 ヒートブロック、5、15、25 キャリア基板、6a、16a、26a 半導体チップ、6b、16b、26b 突出電極、7、17、27 ソケット、8、18、28 接続端子、9、19、29 LSIテスタ、12 埋め込み金属、22 樹脂層
Claims (6)
- 先端が網目状に構成され、測定対象デバイスに押圧可能な樹脂製押圧部と、
前記樹脂製押圧部に設けられた空洞部と、
前記樹脂製押圧部を加熱するヒートブロックとを備えることを特徴とするプッシャ。 - 測定対象デバイスに押圧可能な樹脂製押圧部と、
前記樹脂製押圧部を加熱するヒートブロックと、
前記樹脂製押圧部に埋め込まれ、前記ヒートブロックで発生した熱を前記測定対象に伝達する金属部材とを備えることを特徴とするプッシャ。 - 測定対象デバイスに押圧可能な金属製押圧部と、
前記金属製押圧部を加熱するヒートブロックと、
前記金属製押圧部の先端に設けられた樹脂層とを備えることを特徴とするプッシャ。 - 半導体チップの電気的特性を測定するLSIテスタと、
前記半導体チップと前記LSIテスタと電気的に接続するソケットと、
前記半導体チップが搭載された半導体パッケージを前記ソケットに押圧する樹脂製プッシャと、
前記樹脂製プッシャを介して前記半導体パッケージを加熱する加熱手段と、
前記樹脂製プッシャに設けられ、熱風を先端に送り込む空洞部とを備えることを特徴とする半導体装置の特性検査装置。 - 半導体チップの電気的特性を測定するLSIテスタと、
前記半導体チップと前記LSIテスタと電気的に接続するソケットと、
前記半導体チップが搭載された半導体パッケージを前記ソケットに押圧する樹脂製プッシャと、
前記樹脂製プッシャを介して前記半導体パッケージを加熱する加熱手段と、
前記樹脂製プッシャに埋め込まれ、前記加熱手段で発生させられた熱を先端に伝導させる金属部材とを備えることを特徴とする半導体装置の特性検査装置。 - 半導体チップの電気的特性を測定するLSIテスタと、
前記半導体チップと前記LSIテスタと電気的に接続するソケットと、
前記半導体チップが搭載された半導体パッケージを前記ソケットに押圧する金属製プッシャと、
前記金属製プッシャを介して前記半導体パッケージを加熱する加熱手段と、
前記金属製プッシャの先端に設けられた樹脂層とを備えることを特徴とする半導体装置の特性検査装置。
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-
2003
- 2003-07-09 JP JP2003194404A patent/JP2005030829A/ja active Pending
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