【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体基板や液晶表示基板などの基板を収納したカセットと検査装置の測定ステージとの間で搬送する基板搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、基板搬送装置はロボット（特許文献１）や搬送アーム（特許文献２，３）によりカセットから取り出した未検査の基板を検査装置の測定ステージに搬送し、検査装置による検査が完了すると、測定ステージから検査済みの基板を前記ロボットや搬送アームにより元のカセット又は他のカセットに収納するものが知られている。
特許文献２に記載された搬送アームは、基板をカセットと基板受け渡し位置とにわたって搬送する第１の基板搬送アームと、基板受け渡し位置と検査装置とにわたって基板を搬送する第２の基板搬送アームとから成り、第１の基板搬送アームによりカセットから取り出した基板を基板受け渡し位置で第２の基板搬送アームに受け渡し、その基板を第２の基板搬送アームが検査装置の測定ステージに搬送するようになっている。
特許文献３に記載された搬送アームは、門型をした回動アームに一対の搬送アームを組み付けたものであって、回動アームを前後左右に移動することでカセットから取り出した基板を検査装置の測定ステージに搬送するようになっている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平９−２１８１３１号公報
【特許文献２】
特開平７−７８８５９号公報
【特許文献３】
特開２００２−２６１１４４号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来では、検査済みの基板をロボット等によって測定ステージからカセットに収納しないと、次に検査する基板をその測定ステージに搬送させることができない。そのために、検査装置の能率が向上しても基板一枚当たりの検査工程にかかる時間が長くなる。そこで、本発明の課題は、カセットと測定ステージの間で効率良く基板を搬送する簡易な構成の基板搬送装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題解決のため、本願では、複数の基板を収納可能なカセットと検査装置の測定ステージとの間で基板を搬送する基板搬送装置において、測定ステージの準備位置に対して、一方側に第１の基板搬送アームによってカセットから取り出した基板を受け渡す受渡し位置を、他方側に測定ステージから取り出した基板を第２の基板搬送アームが受け取る受取り位置を、夫々等距離に設け、受渡し位置と受取り位置を結ぶ方向へ往復移動可能でかつ昇降可能な移動体に、受渡し位置から準備位置に往復移動される受渡し部材と準備位置から受取り位置に往復移動される受取り部材を夫々設け、移動体の移動により第１の基板搬送アームに保持された基板を測定ステージに搬送するとともに、測定ステージに保持された基板を受取り位置に搬送するようにし、測定ステージを準備位置において昇降する受渡し部材と受取り部材に干渉しないように形成した。
【０００６】
具体的には、カセットを受渡し位置の前側と受取り位置の前側に夫々載置し、受渡し位置と供給側カセットを結ぶ方向へ往復移動可能でかつ昇降可能な移動体に受渡し部材に基板を受け渡す第１の基板搬送アームを設け、受取り位置と収納側カセットを結ぶ方向へ往復移動可能でかつ昇降可能な移動体に受取り部材から基板を受け取る第２の基板搬送アームを設け、両基板搬送アームを受渡し位置と受取り位置において昇降する受渡し部材と受取り部材に干渉しないようにした。
【０００７】
【発明の実施の形態】
実施の形態について図面を参照して説明する。図１〜３に示す基板搬送装置１は、複数の基板Ｗを収納可能なカセット２ａ，２ｂと検査装置３の測定ステージ４との間で基板Ｗを搬送するものである。検査装置３にはフォーサ５ａが前後左右に移動する平面サーボモータ５が配設され、フォーサ５ａの前端部に前方へ張出す測定ステージ４が設けられている。その測定ステージ４には、基板Ｗを保持するように複数の位置決め部材６が設けられている。本実施形態の検査装置３は、基板Ｗを準備位置Ａから測定位置Ａ１に移動させた後、測定ステージ４の上方に設置されたカメラ７によって基板Ｗの画像を取り込み、画像処理装置（図示しない）によって基板Ｗの検査を行うものである。測定ステージ４の準備位置Ａに対して、一方側に供給側カセット２ａから取り出した基板Ｗを受け渡す受渡し位置Ｂを、他方側に測定ステージ４から取り出した基板Ｗを受け取る受取り位置Ｃを、夫々等距離に設けてある。受渡し位置Ｂの前側と受取り位置Ｃの前側には夫々カセット置場８が設けてある。カセット置場８には複数の基板Ｗを収納可能な供給側カセット２ａ，収納側カセット２ｂが夫々載置されている。
【０００８】
測定ステージ４の前側にはアクチュエータ９がブラケット１０を介して設置され、アクチュエータ９の第１可動体９ａが受渡し位置Ｂと受取り位置Ｃを結ぶ方向へ移動するようになっている。第１可動体９ａにはロッド部１１ａが昇降可能なシリンダ１１が取り付けてあり、ロッド部１１ａには移動体１２が取り付けられている。移動体１２の両端側には、受渡し部材１３と受取り部材１４が前記準備位置Ａと受渡し位置Ｂ（受取り位置Ｃ）と等しい距離となるように夫々取り付けてある。このことから、第１可動体９ａが受渡し位置Ｂと受取り位置Ｃの間を往復移動することで、受渡し部材１３は受渡し位置Ｂと準備位置Ａとの間を往復移動し、受取り部材１４は準備位置Ａと受取り位置Ｃとの間を往復移動するようになっている。前記ロッド部１１ａは、図４（ａ）に示すように移動体１２を降下させた時には、受渡し部材１３と受取り部材１４が測定ステージ４より下側に位置し、図４（ｂ）に示すように移動体１２を上昇させた時には、受渡し部材１３と受取り部材１４が測定ステージ４より上側に位置するように設定されている。また、受渡し部材１３と受取り部材１４は、準備位置Ａで昇降させた時に測定ステージ４と干渉しないように、例えば互いに異なるフォーク状に形成されている。受渡し部材１３と受取り部材１４には基板Ｗを保持するように複数の位置決め部材１５が設けられている。
【０００９】
測定ステージ４の両側にはアクチュエータ１６，１７がブラケット１８を介して設置され、アクチュエータ１６，１７の第２可動体１６ａ，１７ａがカセット２の上端位置と下端位置とを結ぶ方向へ移動するようになっている。その第２可動体１６ａ，１７ａには支持部材１９を介してアクチュエータ２０，２１が取り付けられ、アクチュエータ２０，２１の第３可動体２０ａ，２１ａが前記第２可動体１６ａ，１７ａに対して垂直方向に移動するようになっている。第３可動体２０ａ，２１ａには移動体２２が取り付けてあり、その移動体２２には第１，２の基板搬送アーム２３，２４が取り付けられている。第１の基板搬送アーム２３は、受渡し部材１３を受渡し位置Ｂで昇降させた時に受渡し部材１３と干渉しないように、例えば互いに異なるフォーク状に形成されている。また、第２の基板搬送アーム２４は、受取り部材１４を受取り位置Ｃで昇降させた時に受取り部材１４と干渉しないように、例えば互いに異なるフォーク状に形成されている。第１，２の基板搬送アーム２３，２４には基板Ｗを保持するように複数の位置決め部材２５が設けられている。
【００１０】
前記第２可動体１６ａ，１７ａは、図５（ａ）に示すように、カセット２の最上段の基板Ｗを取り出し可能な高さ位置から順次基板Ｗを取り出し可能なように移動され、図２，３に示すように下端側に移動した時には、第１，２の基板搬送アーム２３，２４が受渡し位置Ｂ、受取り位置Ｃにおいて測定ステージ４と同一高さとなるように設定されている。また、第３可動体２０ａ，２１ａは、図３，図５（ａ）に示すように第３可動体２０ａ，２１ａが後端側に移動した時には、第１，２の基板搬送アーム２３，２４が受渡し位置Ｂ、受取り位置Ｃ或いは、受渡し位置Ｂ、受取り位置Ｃの上方空間に位置し、図５（ｂ）に示すように前端側に移動した時には、第１，２の基板搬送アーム２３，２４が受渡し位置Ｂ、受取り位置Ｃの前側にある供給側カセット２ａ，収納側カセット２ｂ内に挿入されるように設定されている。
【００１１】
次に、上記のように構成した基板搬送装置１による基板Ｗの搬送動作について説明する。検査装置３によって基板Ｗの検査が行われている時には、図１〜３に示すようにロッド部１１ａを降下して受渡し部材１３と受取り部材１４を測定ステージ４より下方に位置させてある。そして、第１可動体９ａを移動して受渡し部材１３を受渡し位置Ｂ、受取り部材１４を準備位置Ｃに移動させてある。また、第２可動体１７ａを下端側に移動して第２の基板搬送アーム２４を測定ステージ４と同一高さに移動させてある。この状態において、第２，３可動体１６ａ，２０ａによって第１の基板搬送アーム２３を所定の高さまで上昇させた後、供給側カセット２ａ内に挿入させる。第１の基板搬送アーム２３が未検査の基板Ｗ１の下側に移動した後、第２可動体１６ａによって第１の基板搬送アーム２３を僅かに上昇させると、第１の基板搬送アーム２３に設けた位置決め部材２５により未検査の基板Ｗ１が保持される。その状態で、第３可動体２０ａを後端側に移動して供給側カセット２ａから未検査の基板Ｗ１を取り出し、第２可動体１６ａを下端側に移動して第１の基板搬送アーム２３を測定ステージ４と同一高さに移動させ、受渡し位置Ｂに位置させる。
【００１２】
その後、検査装置３によって基板Ｗの検査が完了して測定ステージ４が測定位置Ａ１から準備位置Ａに移動すると、シリンダ１０により移動体１２を上昇させ、第１の基板搬送アーム２３から受渡し部材１３に未検査の基板Ｗ１が受け渡されるとともに、測定ステージ４から受取り部材１４に検査済みの基板Ｗ２が受け渡される。また、図６（ａ）の状態で、第１可動体９ａを受取り位置Ｃに向けて移動させる。図６（ｂ）に示すように受渡し部材１３が準備位置Ａの上方、受取り部材１４が受取り位置Ｃの上方に移動すると、シリンダ１０により移動体１２を降下させ、受渡し部材１３から測定ステージ４に未検査の基板Ｗ１が受け渡されるとともに、受取り部材１４から第２の基板搬送アーム２４に検査済みの基板Ｗ２が受け渡される。その後、第１可動体９ａを受渡し位置Ｂに向かって移動させる。測定ステージ４に保持された未検査の基板Ｗ１は準備位置Ａから測定位置Ａ１に移動した後、検査装置３によって検査される。また、第２の基板搬送アーム２４に保持された検査済みの基板Ｗ２は、前記検査が行われている間に第２，３可動体１７ａ，２１ａによって収納側カセット２ｂの所定位置に収納されるようになっている。そして、供給側カセット２ａに収納された未検査の基板Ｗ１がすべて収納側カセット２ｂに収納されるまで繰り返される。
【００１３】
このように、受渡し位置Ｂと受取り位置Ｃを結ぶ方向へ往復移動可能でかつ昇降可能な移動体１２に、受渡し位置Ｂと準備位置Ａとの間で往復移動する受渡し部材１３と準備位置Ａと受取り位置Ｃとの間で往復移動する受取り部材１４とを設けたことで、検査装置３によって基板Ｗの検査が完了すると、直ちに測定ステージ４から検査済みの基板Ｗ２を受取り位置Ｃへ搬出するとともに、次に検査する基板Ｗ１を受渡し位置Ｂから測定ステージ４に搬入することができる。また、カセット２ａ，２ｂと受渡し位置Ｂ、受取り位置Ｃとの間で基板Ｗを搬送させる第１，２の基板搬送アーム２３，２４を備えているので、検査装置３の検査時間を利用して、カセット２ａから未検査の基板Ｗ１を受渡し位置Ｂに搬送することができるとともに、受取り位置Ｃから検査済みの基板Ｗ２をカセット２ｂに収納することができる。よって、未検査の基板Ｗ１と検査済みの基板Ｗ２をほぼ同時に交換させることで、検査装置３の停止時間を短くでき基板Ｗ一枚当たりの検査工程にかかる時間を短くできる。
【００１４】
【発明の効果】
以上のように本願では、基準位置の測定ステージの一方側に受渡し位置を、他方側に受取り位置を、夫々等距離に設け、受渡し位置と受取り位置を結ぶ方向へ往復移動可能でかつ昇降可能な移動体に受渡し部材と受取り部材を夫々設け、測定ステージと受渡し部材と受取り部材を、基準位置において受渡し部材と受取り部材が測定ステージに対して干渉しないようにしたので、移動体によって受渡し部材と受取り部材を昇降、移動させるのみで、測定ステージ上から検査済みの基板を取出すと共に未検査の基板を搬送でき、基板の着脱を瞬時に行うことができて装置の稼働率を向上できる。また、測定ステージ上への基板の着脱を移動体の昇降及び移動によって行えるので、装置の構成を簡易にでき、製造コストを低くできる。
【００１５】
更に、カセットを受渡し位置の前側と受取り位置の前側に夫々載置し、受渡し位置と供給側カセットを結ぶ方向へ往復移動可能でかつ昇降可能な移動体に受渡し部材に基板を受け渡す第１の基板搬送アームを設け、受取り位置と収納側カセットを結ぶ方向へ往復移動可能でかつ昇降可能な移動体に受取り部材から基板を受け取る第２の基板搬送アームを設け、両基板搬送アームを受渡し位置と受取り位置において昇降する受渡し部材と受取り部材に干渉しないようにしたので、検査作業中に、簡易な機構によりカセットから取り出した基板を受渡し部材に載置できると共に、簡易な機構により受取り部材上の基板をカセットに収納でき、基板の搬送を安価な装置で省力化できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のカセットと測定ステージとの間で基板を搬送する基板搬送装置の平面図である。
【図２】図１の正面図であって、検査装置を省略した図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図であって、検査装置を省略した図である。
【図４】準備位置において受渡し部材をシリンダにより昇降させた状態を示す図である。
【図５】第１の基板搬送アームの移動状態を示す図である。
【図６】受渡し部材と受取り部材の移動状態を示す図である。
【符号の説明】
１ 基板搬送装置
２ａ 供給側カセット
２ａ 収納側カセット
３ 検査装置
４ 測定ステージ
１２ 移動体
１３ 受渡し部材
１４ 受取り部材
２２ 移動体
２３ 第１の基板搬送アーム
２４ 第２の基板搬送アーム
Ａ 準備位置
Ｂ 受渡し位置
Ｃ 受取り位置
Ｗ 基板[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a substrate transfer device that transfers a cassette, such as a semiconductor substrate or a liquid crystal display substrate, between a cassette and a measurement stage of an inspection apparatus.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, a substrate transfer apparatus transfers an uninspected substrate taken out from a cassette by a robot (Patent Document 1) or a transfer arm (Patent Documents 2 and 3) to a measurement stage of the inspection apparatus, and when the inspection by the inspection apparatus is completed, A substrate in which an inspected substrate from a stage is stored in an original cassette or another cassette by the robot or the transfer arm is known.
The transfer arm described in Patent Document 2 includes a first substrate transfer arm that transfers a substrate across a cassette and a substrate transfer position, and a second substrate transfer arm that transfers a substrate across the substrate transfer position and an inspection apparatus. Thus, the substrate taken out from the cassette by the first substrate transfer arm is transferred to the second substrate transfer arm at the substrate transfer position, and the second substrate transfer arm transfers the substrate to the measurement stage of the inspection apparatus. Yes.
The transfer arm described in Patent Document 3 is a gate-shaped turning arm assembled with a pair of transfer arms, and the inspection device is used to inspect the substrate taken out from the cassette by moving the turning arm back and forth and left and right. It is transported to the measurement stage.
[0003]
[Patent Document 1]
JP-A-9-218131 [Patent Document 2]
Japanese Patent Laid-Open No. 7-78859 [Patent Document 3]
Japanese Patent Laid-Open No. 2002-261144
[Problems to be solved by the invention]
Conventionally, unless a substrate that has been inspected is stored in a cassette from a measurement stage by a robot or the like, the substrate to be inspected next cannot be transferred to the measurement stage. Therefore, even if the efficiency of the inspection apparatus is improved, the time required for the inspection process per substrate becomes longer. Accordingly, an object of the present invention is to provide a substrate transport apparatus having a simple configuration for efficiently transporting a substrate between a cassette and a measurement stage.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problems, in the present application, in the substrate transport apparatus that transports a substrate between a cassette that can store a plurality of substrates and the measurement stage of the inspection apparatus, the first side of the measurement stage preparation position is first. The delivery position for delivering the substrate taken out from the cassette by the substrate transport arm is provided at the same distance as the delivery position for receiving the substrate taken out from the measurement stage on the other side by the second substrate transport arm. A moving member that can reciprocate in the direction connecting the two and move up and down is provided with a delivery member that reciprocates from the delivery position to the preparation position and a receiving member that reciprocates from the preparation position to the reception position. The substrate held on the first substrate transfer arm is transferred to the measurement stage, and the substrate held on the measurement stage is transferred to the receiving position. And thus, it was formed so as not to interfere with the receiving member and the transfer member for lifting a measurement stage in the preparation position.
[0006]
Specifically, the cassette is placed on the front side of the delivery position and the front side of the delivery position, and the substrate is delivered to the delivery member to a movable body that can reciprocate in the direction connecting the delivery position and the supply side cassette and can be raised and lowered. A first substrate transfer arm is provided, a second substrate transfer arm that receives the substrate from the receiving member is provided on a movable body that can be reciprocated in a direction connecting the receiving position and the storage-side cassette and can be moved up and down, and both substrate transfer arms are It was made not to interfere with the delivery member and the delivery member which move up and down at the delivery position and the delivery position.
[0007]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments will be described with reference to the drawings. A substrate transport apparatus 1 shown in FIGS. 1 to 3 transports a substrate W between cassettes 2 a and 2 b that can store a plurality of substrates W and a measurement stage 4 of an inspection apparatus 3. The inspection apparatus 3 is provided with a planar servo motor 5 in which a forcer 5a moves back and forth and right and left, and a measurement stage 4 that projects forward at the front end of the forcer 5a. The measuring stage 4 is provided with a plurality of positioning members 6 so as to hold the substrate W. The inspection apparatus 3 of the present embodiment moves the substrate W from the preparation position A to the measurement position A1, and then captures an image of the substrate W by the camera 7 installed above the measurement stage 4, and an image processing apparatus (not shown) ) To inspect the substrate W. With respect to the preparation position A of the measurement stage 4, a delivery position B for delivering the substrate W taken out from the supply side cassette 2a on one side, and a receiving position C for receiving the substrate W taken out from the measurement stage 4 on the other side, respectively. They are equidistant. Cassette places 8 are provided on the front side of the delivery position B and on the front side of the delivery position C, respectively. In the cassette place 8, a supply-side cassette 2a and a storage-side cassette 2b capable of storing a plurality of substrates W are respectively placed.
[0008]
An actuator 9 is installed on the front side of the measurement stage 4 via a bracket 10 so that the first movable body 9a of the actuator 9 moves in a direction connecting the delivery position B and the reception position C. A cylinder 11 that can move the rod portion 11a up and down is attached to the first movable body 9a, and a moving body 12 is attached to the rod portion 11a. The delivery member 13 and the receiving member 14 are respectively attached to both ends of the moving body 12 so as to have the same distance as the preparation position A and the delivery position B (receiving position C). From this, the first movable body 9a reciprocates between the delivery position B and the reception position C, whereby the delivery member 13 reciprocates between the delivery position B and the preparation position A, and the reception member 14 prepares. A reciprocating movement is made between the position A and the receiving position C. When the movable body 12 is lowered as shown in FIG. 4 (a), the rod portion 11a has the delivery member 13 and the receiving member 14 located below the measurement stage 4, as shown in FIG. 4 (b). When the movable body 12 is raised, the delivery member 13 and the receiving member 14 are set so as to be positioned above the measurement stage 4. Moreover, the delivery member 13 and the receiving member 14 are formed in, for example, different forks so as not to interfere with the measurement stage 4 when being raised and lowered at the preparation position A. The delivery member 13 and the delivery member 14 are provided with a plurality of positioning members 15 so as to hold the substrate W.
[0009]
Actuators 16 and 17 are installed on both sides of the measurement stage 4 via brackets 18 so that the second movable bodies 16a and 17a of the actuators 16 and 17 move in a direction connecting the upper end position and the lower end position of the cassette 2. It has become. Actuators 20 and 21 are attached to the second movable bodies 16a and 17a via a support member 19, and the third movable bodies 20a and 21a of the actuators 20 and 21 are perpendicular to the second movable bodies 16a and 17a. To move to. A movable body 22 is attached to the third movable bodies 20 a and 21 a, and first and second substrate transport arms 23 and 24 are attached to the movable body 22. The first substrate transfer arm 23 is formed in, for example, different forks so as not to interfere with the delivery member 13 when the delivery member 13 is moved up and down at the delivery position B. The second substrate transport arm 24 is formed in, for example, different forks so as not to interfere with the receiving member 14 when the receiving member 14 is moved up and down at the receiving position C. The first and second substrate transfer arms 23 and 24 are provided with a plurality of positioning members 25 so as to hold the substrate W.
[0010]
As shown in FIG. 5A, the second movable bodies 16a and 17a are moved so that the substrates W can be taken out sequentially from the height position where the uppermost substrate W of the cassette 2 can be taken out. , 3, the first and second substrate transport arms 23, 24 are set to be at the same height as the measurement stage 4 at the delivery position B and the delivery position C when moved to the lower end side. Further, as shown in FIGS. 3 and 5A, the third movable bodies 20a and 21a are moved to the rear end side when the third movable bodies 20a and 21a are moved to the rear end side. Is located in the space above the delivery position B, the delivery position C, or the delivery position B, the delivery position C, and moved to the front end side as shown in FIG. 5B, the first and second substrate transfer arms 23, 24 is set to be inserted into the supply side cassette 2a and the storage side cassette 2b on the front side of the delivery position B and the reception position C.
[0011]
Next, the operation of transporting the substrate W by the substrate transport apparatus 1 configured as described above will be described. When the inspection apparatus 3 is inspecting the substrate W, as shown in FIGS. 1 to 3, the rod portion 11 a is lowered and the delivery member 13 and the reception member 14 are positioned below the measurement stage 4. Then, the first movable body 9a is moved to move the delivery member 13 to the delivery position B and the delivery member 14 to the preparation position C. Further, the second movable body 17 a is moved to the lower end side, and the second substrate transfer arm 24 is moved to the same height as the measurement stage 4. In this state, the first substrate transport arm 23 is raised to a predetermined height by the second and third movable bodies 16a and 20a, and then inserted into the supply side cassette 2a. When the first substrate transport arm 23 is slightly raised by the second movable body 16a after the first substrate transport arm 23 has moved to the lower side of the uninspected substrate W1, the first substrate transport arm 23 is provided with the first substrate transport arm 23. The uninspected substrate W1 is held by the positioning member 25. In this state, the third movable body 20a is moved to the rear end side, the uninspected substrate W1 is taken out from the supply side cassette 2a, the second movable body 16a is moved to the lower end side, and the first substrate transport arm 23 is moved. It is moved to the same height as the measurement stage 4 and is positioned at the delivery position B.
[0012]
Thereafter, when the inspection of the substrate W is completed by the inspection apparatus 3 and the measurement stage 4 is moved from the measurement position A1 to the preparation position A, the moving body 12 is raised by the cylinder 10 and is transferred from the first substrate transfer arm 23 to the delivery member 13. In addition, the uninspected substrate W1 is delivered, and the inspected substrate W2 is delivered from the measurement stage 4 to the receiving member 14. In addition, the first movable body 9a is moved toward the receiving position C in the state of FIG. As shown in FIG. 6B, when the delivery member 13 moves above the preparation position A and the reception member 14 moves above the reception position C, the moving body 12 is lowered by the cylinder 10, and the delivery member 13 moves to the measurement stage 4. The uninspected substrate W1 is delivered, and the inspected substrate W2 is delivered from the receiving member 14 to the second substrate transport arm 24. Thereafter, the first movable body 9a is moved toward the delivery position B. The uninspected substrate W1 held on the measurement stage 4 is inspected by the inspection apparatus 3 after moving from the preparation position A to the measurement position A1. The inspected substrate W2 held by the second substrate transport arm 24 is stored in a predetermined position of the storage-side cassette 2b by the second and third movable bodies 17a and 21a while the inspection is being performed. It is like that. The process is repeated until all the uninspected substrates W1 stored in the supply-side cassette 2a are stored in the storage-side cassette 2b.
[0013]
Thus, the transfer member 13 and the preparation position A that reciprocate between the delivery position B and the preparation position A are moved to the movable body 12 that can reciprocate in the direction connecting the delivery position B and the reception position C and can be moved up and down. By providing the receiving member 14 that reciprocates between the receiving position C and the inspection of the substrate W by the inspection apparatus 3, the inspected substrate W2 is immediately carried out from the measurement stage 4 to the receiving position C. Then, the substrate W1 to be inspected next can be carried into the measurement stage 4 from the delivery position B. Further, since the first and second substrate transport arms 23 and 24 for transporting the substrate W between the cassettes 2a and 2b and the delivery position B and the reception position C are provided, the inspection time of the inspection apparatus 3 is used. The uninspected substrate W1 can be transferred from the cassette 2a to the delivery position B, and the inspected substrate W2 from the reception position C can be stored in the cassette 2b. Therefore, by replacing the uninspected substrate W1 and the inspected substrate W2 almost simultaneously, the stop time of the inspection apparatus 3 can be shortened, and the time required for the inspection process per substrate W can be shortened.
[0014]
【The invention's effect】
As described above, in the present application, the delivery position is provided on one side of the measurement stage at the reference position, and the reception position is provided on the other side at equal distances, and can be moved back and forth in the direction connecting the delivery position and the reception position. The moving body is provided with a delivery member and a receiving member, respectively, and the measurement stage, the delivery member and the receiving member are prevented from interfering with the measurement stage at the reference position. By simply moving the member up and down, the inspected substrate can be taken out from the measurement stage and the uninspected substrate can be transported, and the substrate can be attached and detached instantaneously, improving the operating rate of the apparatus. In addition, since the substrate can be attached to and detached from the measurement stage by moving the moving body up and down, the configuration of the apparatus can be simplified and the manufacturing cost can be reduced.
[0015]
Furthermore, the cassette is placed on the front side of the delivery position and on the front side of the delivery position, respectively, and the substrate is transferred to the delivery member to a movable body that can reciprocate and move up and down in a direction connecting the delivery position and the supply side cassette. A substrate transfer arm is provided, a second substrate transfer arm that receives the substrate from the receiving member is provided on a movable body that can be reciprocated in a direction connecting the receiving position and the storage-side cassette, and can be moved up and down. Since the receiving member that moves up and down at the receiving position is prevented from interfering with the receiving member, the substrate taken out from the cassette by the simple mechanism can be placed on the delivering member during the inspection work, and the substrate on the receiving member by the simple mechanism. Can be stored in a cassette, and labor can be saved with an inexpensive device for transporting the substrate.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view of a substrate transfer apparatus for transferring a substrate between a cassette of the present invention and a measurement stage.
FIG. 2 is a front view of FIG. 1 with an inspection device omitted.
3 is a cross-sectional view taken along the line III-III of FIG. 1, with the inspection device omitted.
FIG. 4 is a view showing a state in which a delivery member is lifted and lowered by a cylinder at a preparation position.
FIG. 5 is a diagram illustrating a moving state of a first substrate transfer arm.
FIG. 6 is a diagram illustrating a moving state of a delivery member and a receiving member.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate conveyance apparatus 2a Supply side cassette 2a Storage side cassette 3 Inspection apparatus 4 Measurement stage 12 Moving body 13 Delivery member 14 Receiving member 22 Moving body 23 First substrate conveyance arm 24 Second substrate conveyance arm A Preparation position B Delivery position C Reception position W Substrate
