JP2004349284A - Light receiver - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a light receiver for transducing the intensity of light into an electric signal in which polarization dependency is controlled with high accuracy. <P>SOLUTION: The light receiver is provided with a light receiving element 5 receiving an incident light on a specified light receiving face, a first rotary holder 2 disposed in front of the light receiving face 5a and having a first through hole 2a for passing the incident light provided with a counterbore part 2b where the direction of central axis is inclining by a first angle against the optical axis of the incident light, a second rotary holder 3 being fixed to the first rotary holder 2 when it is fitted rotatably to the counterbore part 2b and having a second through hole 3b for passing the incident light where the opening end face 3c on the incident side is inclining by a second angle at the second through hole 3b, and a light transmitting plate 3 provided at the opening end face 3c on the incident side. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光の強度を電気信号に変換する受光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
入射光の光強度を電気信号（検出信号）に変換する受光装置には、入射光の偏光状態に依らず光強度を正確に検出することが要求される。特に、光関連測定器のように、入射光の光強度を高精度に検出する必要がある装置に組み込む受光装置の場合には、偏光依存性の低いことが強く要求される。
【０００３】
例えば、特開平０７−３１８７６６号公報には、このような偏光依存性を抑えた受光技術が開示されている。この従来の受光技術では、受光素子の受光面に対向配置される光透過板の傾斜方向を受光面の傾斜方向に対して９０°ねじれた関係に設定すると共に、受光面の偏光依存性と光透過板の偏光依存性とが相殺するように入射光の光軸に対する光透過板の傾斜角を設定する手段を採用している。
【０００４】
しかし、このような従来技術では、光透過板の傾斜方向と受光面の傾斜方向とは固定的に設定されており、また光透過板の傾斜角の調整範囲が大きいために、受光面の偏光依存性と光透過板の偏光依存性とを高精度に相殺するように微調整することが困難であると共に、一旦高精度に調整した後、この高精度の調整状態を長期間に亘って維持することが困難であった。すなわち、光透過板の傾斜角の調整範囲が大きいために、何らかの原因で光透過板の傾斜角が僅かだけずれても、受光面の偏光依存性と光透過板の偏光依存性との相殺状態に比較的大きな狂いが生じてしまう。
【０００５】
【特許文献１】
特開平０７−３１８７６６号公報
【０００６】
本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、偏光依存性を高精度に抑制すると共にその抑制状態を長期間に亘って維持することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明では、第１の手段として、入射光を所定の受光面で受光する受光素子と、受光面の前方に設けられ、入射光が通過する第１貫通孔が形成されると共に、中心軸方向が入射光の光軸に対して第１の角度だけ傾斜した座グリ部が第１貫通孔に形成された第１ホルダと、上記座グリ部に嵌合させることによって第１ホルダに装着される部材であって、入射光が通過する第２貫通孔が形成されると共に当該第２貫通孔において入射光の入射側開口端面が第２の角度だけ傾斜している第２ホルダと、入射側開口端面に設けられた光透過板とを具備する構成を採用する。
【０００８】
また、第２の手段として、上記第１の手段において、第１の角度と第２の角度とが同一角に設定されるという構成を採用する。
【０００９】
第３の手段として、上記第１または第２の手段において、第１ホルダを光軸と直交する面内で回転自在に支持する固定ホルダを備えるという構成を採用する。
【００１０】
第４の手段として、上記第１〜第３いずれかの手段において、光透過板には片面に反射防止膜が設けられているという構成を採用する。
【００１１】
第５の手段として、上記第１から第２いずれかの手段において、光透過板はウェッジ板であるという構成を採用する。
【００１２】
第６の手段として、上記第５の手段において、ウェッジ板の片面には反射防止膜が設けられているという構成を採用する。
【００１３】
第７の手段として、上記第１〜第６いずれかの手段において、第１ホルダと受光面との間に入射光を集光させる集光レンズをさらに備えるという構成を採用する。
【００１４】
第８の手段として、上記第１〜第７いずれかの手段において、光透過板の前方に入射光を平行光化するコリメータレンズをさらに備えるという構成を採用する。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明に係わる受光装置の一実施形態について説明する。
【００１６】
図１及び図２は、本実施形態の構成を示す横断面図である。これら図１，２において、符号１は固定ホルダ、２は第１回転ホルダ、３は第２回転ホルダ、４は光透過板、５は受光素子である。なお、図２は、図１に記載された受光装置において第２回転ホルダ３の姿勢設定を変更した状態を示している。
【００１７】
固定ホルダ１は、筐体の一部として構成された中空円筒状部材であり、内側に形成された円形貫通孔１ａ（固定貫通孔）の前方側（入射光の入射側）近傍には、第１回転ホルダ２に嵌合する支持穴１ｂが形成されている。
【００１８】
第１回転ホルダ２は、上記固定ホルダ１の支持穴１ａに回動自在に嵌合する円形周面２ａを有する中空円筒状部材であり、内側には円形貫通孔２ａ（第１貫通孔）が形成されている。この第１回転ホルダ２は、第１貫通孔２ａの中心軸（第１回転ホルダ中心軸）が受光素子４の受光面５ａの中心、つまり本受光装置に受光対象として入射される入射光の光軸と一致するよう状態で、受光素子５（つまり受光面５ａ）の前方に設けられている。また、第１回転ホルダ２には、上記第１貫通孔２ａの前方側（入射光の入射側）近傍に第２回転ホルダ３に嵌合する座グリ部２ｂが形成されている、この座グリ部２ｂは、中心軸が前記光軸に対して第１の角度だけ傾斜するように形成されている。
【００１９】
第２回転ホルダ３は、上記第１回転ホルダ２の座グリ部２ｂに回動自在に嵌合する円形周面３ａを有する中空円筒状部材であり、内側に円形貫通孔３ｂ（第２貫通孔）が形成された中空円筒状部材であり、外周面には上記第１回転ホルダ２の座グリ部２ｂに回転自在に嵌合する円形周面３ｂを有する。この第２回転ホルダ３は、円形周面３ａを第１回転ホルダ２の座グリ部２ｂに嵌合させることによって第１回転ホルダ２に回動自在に装着されるものであり、したがってその中心軸（第２回転ホルダ中心軸）は座グリ部２ｂの中心軸に一致している。また、この第２回転ホルダ３の入射側開口端面３ｃは、第２回転ホルダ中心軸に対して第２の角度だけ傾斜した平面として形成されている。なお、本受光装置では、上記第１の角度と第２の角度とは同一角（傾斜角θ）に設定されている。
【００２０】
光透過板４は、片面を上記入射側開口端面３ｃに当接させた状態で当該入射側開口端面３ｃ上に配置されており、光透過性のガラス４ａの裏面（入射光の出射側面）に反射防止膜４ｂが設けられたものである。受光素子５は、平坦な受光面５ａを有するフォトダイオードであり、受光面５ａが光軸に多少傾斜する姿勢で設けられている。なお、この受光面５ａの傾斜は、受光面５ａからの反射戻り光を抑制するためである。
【００２１】
なお、これら図１，２では、構成の特徴を強調にするために、コリメータレンズと集光レンズとを割愛している。コリメータレンズは、光透過板４の前方に設けられ、入射光を平行光化して光透過板４に入射させるためのものであり、集光レンズは、第１回転ホルダ２と受光面５ａとの間あるいは光透過板４の前方に介挿され、光透過板４を通過した入射光（平行光）を受光面５ａ上に収束させるためのものである。これらコリメータレンズ及び集光レンズは、一般的に備えられるものであるが、入射光の状態によっては必ずしも必要ではない。例えば、入射光が小スポット径の平行光である場合には削除することができる。
【００２２】
さて、このように構成された受光装置では、第２回転ホルダ３を第１回転ホルダ２に対して半回転させる度に入射光の光透過板４に対する入射角φが変化する。この入射角φは、光軸に対する第２回転ホルダ中心軸の傾斜角と第２回転ホルダ中心軸に対する入射側開口端面３ｃの傾斜角が共に同一の傾斜角θに設定されているので、第２回転ホルダ３を半回転（０°〜１８０°）させることによって、（９０−２θ）°〜９０°までの範囲で連続的に変化する。すなわち、この入射角φの可変範囲は、傾斜角θの設定値に依存して決定される。図１は、入射角φが９０°（すなわち最大値）に設定された状態を示し、図２は、入射角φが（９０−２θ）°（すなわち最小値）に設定された状態を示している。
【００２３】
また。当該傾斜角θを微小な角度に設定することにより、入射角φは、第２回転ホルダ３の回動角に対して高分解能に設定されると共に、振動等によって第２回転ホルダ３の回動角が多少変化しても殆ど変化しない。すなわち、入射角φは、高精度に設定されると共に、その設定値は高度な安定性を有する。
【００２４】
このような本受光装置の構造的性質は、以下のような光学的な性質を実現する。上記入射角φは、光透過板４の偏光依存性が受光面５ａの偏光依存性を相殺するように調整・設定される。より具体的には、入射角φは、第２回転ホルダ３の回動角を調節することにより、光透過板３のＰＤＬ（Ｐａｌａｒｉｚａｔｉｏｎ Ｄｅｐｅｎｄｅｎｔ Ｌｏｓｓ：偏光依存損失）が受光面５ａのＰＤＬを相殺するように設定される。
【００２５】
本受光装置では、上述したように第２回転ホルダ３の回動角の変化に対する入射角φの変化が小さいので、精度良く受光面５ａのＰＤＬを相殺することが可能である。また、第２回転ホルダ３の回動角の変化に対する入射角φの変化が小さいということは、意図しない第２回転ホルダ３の回動角の変化に対して光透過板４のＰＤＬが大幅に変化しないということなので、高精度の相殺状態を高安で維持することが可能である。
【００２６】
図３は、光透過板４のＰＤＬ特性（つまり入射角φに対するＰＤＬ値の変化特性）の具体例を示すグラフである。なお、この図では、ガラス４ａの片面に反射防止膜４ｂが設けられた光透過板４を用いた場合と、反射防止膜４ｂが設けられていない単純なガラス板を用いた場合とを、各々に「片面ＡＲコート」及び「ＡＲコート無し」として表している。また、この各ＰＤＬ特性は、屈折率ｎが１．５に設定された状態で求められたものである。
【００２７】
このＰＤＬ特性を見ると、光透過板４としてガラス４ａの片面に反射防止膜４ｂが設けられたものを用いた場合において、例えば受光面５ａのＰＤＬ値が最大で０．０２ｄＢｐｐであった場合には、受光面５ａの当該ＰＤＬ値を相殺するためには、入射角φを最大で１２ｄｅｇまで可変することができれば十分であることが読み取れる。このような場合に対しては、上記傾斜角θを６ｄｅｇ（１２ｄｅｇ／２）に設定することにより、受光面５ａのＰＤＬ値を確実に相殺することができる。
【００２８】
これに対して、光透過板４として単純なガラス板を用いた場合には、最大で０．０２ｄＢｐｐである受光面５ａのＰＤＬ値を相殺するためには、入射角φを最大で８ｄｅｇ強まで可変する必要がある。しかし、このガラス板を用いた場合には、入射角φ（つまり第２回転ホルダ３の回動角）に対するＰＤＬ値の変化率がガラス４ａの片面に反射防止膜４ｂが設けられた光透過板４を用いた場合よりも大きいので、高精度の相殺状態の設定とその高安定維持という面でガラス４ａの片面に反射防止膜４ｂが設けられた光透過板４よりも不利である。
【００２９】
ところで、入射光の傾斜入射や光学系の各種誤差等に起因して、上述したような第２回転ホルダ３を第１回転ホルダ２に対して回転させることによってＰＤＬを十分に打ち消すことができない場合がある。すなわち、受光面のＰＤＬの位相と光透過板４のＰＤＬの位相とが正確に１８０°ずれた位相関係になっていないために、第２回転ホルダ３を第１回転ホルダ２に対して何れの角度に回転させても、入射光のＰＤＬを完全に打ち消すことができない。
【００３０】
しかしながら、本実施形態では、第１回転ホルダ２が入射光の光軸と直交する面内で回転自在に固定ホルダ１に支持されているので、第１回転ホルダ２の固定ホルダ１に対する回転角度を調節することによって、受光面のＰＤＬの位相と光透過板４のＰＤＬの位相とを１８０°ずれた位相関係に調節することが可能であり、これによって第２回転ホルダ３を第１回転ホルダ２に対して回転させることによって打ち消すことができない残留ＰＤＬを最小に抑制することができる。
【００３１】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、例えば以下のような変形例が考えられる。
（１）上記実施形態では、光透過板４としてガラス４ａの片面に反射防止膜４ｂが設けられたものを用いたが、これに代えて、数ａｒｃ分〜１度程度の角度を有するウエッジ板を用いても良い。
（２）また、上記ウエッジ板は、片面に反射防止膜が設けられたものとしても良い。
（３）さらに、第１回転ホルダ２と受光面５ａとの間に入射光を集光させる集光レンズを追加しても良い。
（４）上記実施形態では、光軸に対する第２回転ホルダ中心軸の傾斜角と第２回転ホルダ中心軸に対する第２回転ホルダ３の入射側開口端面３ｃの傾斜角とを同一角度θに設定したが、これら両傾斜角は必ずしも同一である必要はない。
【００３２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、入射光を所定の受光面で受光する受光素子と、前記受光面の前方に設けられ、入射光が通過する第１貫通孔が形成されると共に、中心軸方向が入射光の光軸に対して第１の角度だけ傾斜した座グリ部が前記第１貫通孔に形成された第１ホルダと、座グリ部に嵌合させることによって前記第１ホルダに装着される部材であって、入射光が通過する第２貫通孔が形成されると共に当該第２貫通孔において入射光の入射側開口端面が第２の角度だけ傾斜している第２ホルダと、入射側開口端面に設けられた光透過板とを具備するので、第１ホルダの回動角を調整することにより受光素子の受光面で発生する偏光依存性を高精度に相殺することが可能であると共に、この相殺状態を高安定で維持することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態の構成を示す第１の断面図である。
【図２】本発明の一実施形態の構成を示す第２の断面図である。
【図３】本発明の一実施形態における光透過板３のＰＤＬ特性の具体例を示すグラフである。
【符号の説明】
１……固定ホルダ
１ａ……円形貫通孔
１ｂ……支持穴
２……第１回転ホルダ
２ａ……円形貫通孔
２ｂ……座グリ部
３……第２回転ホルダ
３ａ……円形周面
３ｂ……円形貫通孔
３ｃ……入射側開口端面
４……光透過板
４ａ……ガラス板
４ｂ……反射防止膜
５……受光素子
５ａ……受光面[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a light receiving device that converts light intensity into an electric signal.
[0002]
Problems to be solved by the prior art and the invention
A light receiving device that converts the light intensity of the incident light into an electric signal (detection signal) is required to accurately detect the light intensity regardless of the polarization state of the incident light. In particular, in the case of a light receiving device to be incorporated in a device that needs to detect the light intensity of incident light with high precision, such as a light-related measuring device, low polarization dependence is strongly required.
[0003]
For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 07-318766 discloses a light receiving technique in which such polarization dependency is suppressed. In this conventional light receiving technique, the inclination direction of a light transmitting plate disposed opposite to the light receiving surface of a light receiving element is set to be twisted by 90 ° with respect to the inclination direction of the light receiving surface, and the polarization dependence of the light receiving surface and the light Means for setting the inclination angle of the light transmitting plate with respect to the optical axis of the incident light so as to cancel the polarization dependence of the transmitting plate is adopted.
[0004]
However, in such a conventional technique, the tilt direction of the light transmitting plate and the tilt direction of the light receiving surface are fixedly set, and the adjustment range of the tilt angle of the light transmitting plate is large. It is difficult to make fine adjustments so as to cancel out the dependence on the polarization and the polarization dependence of the light transmission plate with high precision, and once high precision adjustment is performed, this high precision adjustment state is maintained for a long period of time. It was difficult to do. That is, even if the inclination angle of the light transmission plate is slightly shifted for some reason because the adjustment range of the inclination angle of the light transmission plate is large, the polarization dependence of the light receiving surface and the polarization dependence of the light transmission plate cancel each other. Will cause a relatively large deviation.
[0005]
[Patent Document 1]
JP-A-07-318766
The present invention has been made in view of the above-described problems, and has as its object to suppress polarization dependency with high accuracy and maintain the suppression state for a long period of time.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, in the present invention, as a first means, a light receiving element for receiving incident light on a predetermined light receiving surface and a first through hole provided in front of the light receiving surface and through which the incident light passes are provided. A counterbore portion, which is formed and whose central axis direction is inclined by a first angle with respect to the optical axis of the incident light, is fitted to the first holder formed in the first through hole and the counterbore portion. A second through-hole through which incident light passes is formed, and the incident-side opening end face of the incident light is inclined by a second angle in the second through-hole. A configuration including a second holder and a light transmitting plate provided on the incident side opening end face is adopted.
[0008]
Further, as the second means, a configuration is employed in which the first angle and the second angle are set to the same angle in the first means.
[0009]
As a third means, in the first or second means, a configuration is employed in which a fixed holder for rotatably supporting the first holder in a plane perpendicular to the optical axis is provided.
[0010]
As a fourth means, in any one of the above-mentioned first to third means, a configuration is adopted in which an antireflection film is provided on one surface of the light transmitting plate.
[0011]
As a fifth means, in any one of the first and second means, a configuration is adopted in which the light transmitting plate is a wedge plate.
[0012]
As a sixth means, in the fifth means, a configuration is employed in which an antireflection film is provided on one surface of the wedge plate.
[0013]
As a seventh means, in any one of the first to sixth means, a configuration is employed in which a condensing lens for condensing incident light is further provided between the first holder and the light receiving surface.
[0014]
As an eighth means, in any one of the first to seventh means, a configuration is employed in which a collimator lens for collimating incident light is provided in front of the light transmitting plate.
[0015]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of a light receiving device according to the present invention will be described with reference to the drawings.
[0016]
1 and 2 are cross-sectional views showing the configuration of the present embodiment. 1 and 2, reference numeral 1 denotes a fixed holder, 2 denotes a first rotary holder, 3 denotes a second rotary holder, 4 denotes a light transmitting plate, and 5 denotes a light receiving element. FIG. 2 shows a state in which the attitude setting of the second rotary holder 3 has been changed in the light receiving device shown in FIG.
[0017]
The fixed holder 1 is a hollow cylindrical member configured as a part of a housing, and is provided near a front side (incident light incident side) of a circular through hole 1a (fixed through hole) formed inside. A support hole 1b that fits into the one-turn holder 2 is formed.
[0018]
The first rotary holder 2 is a hollow cylindrical member having a circular peripheral surface 2a rotatably fitted into the support hole 1a of the fixed holder 1, and has a circular through hole 2a (first through hole) inside. Is formed. In the first rotary holder 2, the central axis of the first through hole 2a (the central axis of the first rotary holder) is the center of the light receiving surface 5a of the light receiving element 4, that is, the light of the incident light that enters the light receiving device as a light receiving target. It is provided in front of the light receiving element 5 (that is, the light receiving surface 5a) so as to coincide with the axis. Further, in the first rotary holder 2, a spot facing portion 2b to be fitted to the second rotary holder 3 is formed near the front side (the incident side of the incident light) of the first through hole 2a. The portion 2b is formed such that the central axis is inclined by a first angle with respect to the optical axis.
[0019]
The second rotary holder 3 is a hollow cylindrical member having a circular peripheral surface 3a rotatably fitted to the spot facing portion 2b of the first rotary holder 2, and has a circular through hole 3b (a second through hole) inside. ) Is a hollow cylindrical member having a circular peripheral surface 3b on the outer peripheral surface which is rotatably fitted to the spot facing portion 2b of the first rotary holder 2. The second rotary holder 3 is rotatably mounted on the first rotary holder 2 by fitting the circular peripheral surface 3a to the spot facing portion 2b of the first rotary holder 2, and therefore has its central axis. (The center axis of the second rotary holder) coincides with the center axis of the spot facing portion 2b. In addition, the incident side opening end face 3c of the second rotary holder 3 is formed as a plane inclined by a second angle with respect to the center axis of the second rotary holder. In the present light receiving device, the first angle and the second angle are set to the same angle (inclination angle θ).
[0020]
The light transmitting plate 4 is disposed on the incident side opening end surface 3c with one surface in contact with the incident side opening end surface 3c, and is disposed on the back surface (the side surface from which incident light is emitted) of the light transmitting glass 4a. An anti-reflection film 4b is provided. The light receiving element 5 is a photodiode having a flat light receiving surface 5a, and is provided in a posture in which the light receiving surface 5a is slightly inclined with respect to the optical axis. The inclination of the light receiving surface 5a is for suppressing the reflected return light from the light receiving surface 5a.
[0021]
In FIGS. 1 and 2, the collimator lens and the condenser lens are omitted to emphasize the features of the configuration. The collimator lens is provided in front of the light transmission plate 4 to collimate incident light into the light transmission plate 4 so as to be incident on the light transmission plate 4. The condenser lens is provided between the first rotating holder 2 and the light receiving surface 5 a. It is interposed between or in front of the light transmitting plate 4 to converge incident light (parallel light) passing through the light transmitting plate 4 on the light receiving surface 5a. These collimator lenses and condenser lenses are generally provided, but are not necessarily required depending on the state of incident light. For example, if the incident light is parallel light having a small spot diameter, it can be deleted.
[0022]
Now, in the light receiving device thus configured, the incident angle φ of the incident light with respect to the light transmitting plate 4 changes every time the second rotary holder 3 is rotated half a turn with respect to the first rotary holder 2. Since the angle of inclination of the second rotation holder central axis with respect to the optical axis and the angle of inclination of the entrance opening end face 3c with respect to the second rotation holder central axis are both set to the same inclination angle θ, By rotating the rotary holder 3 by half a rotation (0 ° to 180 °), it changes continuously in the range of (90−2θ) ° to 90 °. That is, the variable range of the incident angle φ is determined depending on the set value of the inclination angle θ. FIG. 1 shows a state in which the incident angle φ is set to 90 ° (that is, the maximum value), and FIG. 2 shows a state in which the incident angle φ is set to (90−2θ) ° (that is, the minimum value). I have.
[0023]
Also. By setting the inclination angle θ to a small angle, the incident angle φ is set to a high resolution with respect to the rotation angle of the second rotation holder 3 and the rotation of the second rotation holder 3 is caused by vibration or the like. Even if the angle slightly changes, it hardly changes. That is, the incident angle φ is set with high accuracy, and the set value has a high degree of stability.
[0024]
The structural properties of the present light receiving device realize the following optical properties. The incident angle φ is adjusted and set so that the polarization dependence of the light transmission plate 4 cancels the polarization dependence of the light receiving surface 5a. More specifically, the incident angle φ adjusts the rotation angle of the second rotating holder 3 so that the PDL (Parallelization Dependent Loss) of the light transmission plate 3 cancels the PDL of the light receiving surface 5a. It is set as follows.
[0025]
In the present light receiving device, since the change in the incident angle φ with respect to the change in the rotation angle of the second rotary holder 3 is small as described above, it is possible to accurately cancel the PDL on the light receiving surface 5a. Further, the fact that the change of the incident angle φ with respect to the change of the rotation angle of the second rotary holder 3 is small means that the PDL of the light transmitting plate 4 is greatly affected by the unintended change of the rotation angle of the second rotary holder 3. Since it does not change, it is possible to maintain a highly accurate offset state at a high price.
[0026]
FIG. 3 is a graph showing a specific example of the PDL characteristic of the light transmitting plate 4 (that is, the PDL value change characteristic with respect to the incident angle φ). In this figure, the case where the light transmitting plate 4 in which the antireflection film 4b is provided on one side of the glass 4a and the case where a simple glass plate in which the antireflection film 4b is not provided are used, respectively. "One-sided AR coating" and "no AR coating". Each of the PDL characteristics is obtained in a state where the refractive index n is set to 1.5.
[0027]
Looking at the PDL characteristics, when the light transmitting plate 4 is a glass having a reflection preventing film 4b provided on one surface of a glass 4a, for example, when the PDL value of the light receiving surface 5a is 0.02 dBpp at the maximum. It can be read that it is sufficient that the incident angle φ can be varied up to 12 deg in order to cancel the PDL value of the light receiving surface 5a. In such a case, the PDL value of the light receiving surface 5a can be surely canceled by setting the inclination angle θ to 6 deg (12 deg / 2).
[0028]
On the other hand, when a simple glass plate is used as the light transmitting plate 4, in order to cancel the PDL value of the light receiving surface 5a, which is 0.02 dBpp at the maximum, the incident angle φ is increased to a little over 8 deg. Need to be variable. However, when this glass plate is used, the rate of change of the PDL value with respect to the incident angle φ (that is, the rotation angle of the second rotary holder 3) is a light transmission plate in which the antireflection film 4b is provided on one surface of the glass 4a. 4 is larger than in the case of using the light-transmitting plate 4, which is disadvantageous in terms of setting a high-precision canceling state and maintaining high stability thereof as compared with the light transmitting plate 4 having the antireflection film 4 b provided on one surface of the glass 4 a.
[0029]
By the way, when the PDL cannot be sufficiently canceled by rotating the second rotating holder 3 with respect to the first rotating holder 2 as described above due to oblique incidence of incident light, various errors in the optical system, and the like. There is. That is, the phase of the PDL on the light receiving surface and the phase of the PDL of the light transmitting plate 4 are not exactly 180 ° out of phase with each other. Even if rotated by an angle, the PDL of incident light cannot be completely canceled.
[0030]
However, in the present embodiment, since the first rotary holder 2 is rotatably supported by the fixed holder 1 in a plane orthogonal to the optical axis of the incident light, the rotation angle of the first rotary holder 2 with respect to the fixed holder 1 is limited. By adjusting the phase, the phase of the PDL on the light receiving surface and the phase of the PDL on the light transmitting plate 4 can be adjusted to a phase relationship shifted by 180 °, whereby the second rotary holder 3 is changed to the first rotary holder 2. , It is possible to minimize the residual PDL that cannot be canceled out by rotating.
[0031]
Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and for example, the following modified examples can be considered.
(1) In the above-described embodiment, the light transmission plate 4 has a glass 4a provided with an anti-reflection film 4b on one surface, but instead, a wedge plate having an angle of several arcs to about 1 degree. May be used.
(2) The wedge plate may be provided with an antireflection film on one side.
(3) Further, a condenser lens for condensing incident light may be added between the first rotating holder 2 and the light receiving surface 5a.
(4) In the above embodiment, the inclination angle of the second rotation holder central axis with respect to the optical axis and the inclination angle of the incident side opening end face 3c of the second rotation holder 3 with respect to the second rotation holder central axis are set to the same angle θ. However, these two inclination angles need not always be the same.
[0032]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, a light-receiving element that receives incident light on a predetermined light-receiving surface, and a first through hole that is provided in front of the light-receiving surface and through which the incident light passes are formed, The first holder is formed by fitting a counterbore part whose central axis direction is inclined by a first angle with respect to the optical axis of the incident light to the first holder formed in the first through hole and the counterbore part. A second holder in which a second through-hole through which incident light passes is formed, and an incident-side opening end face of the incident light in the second through-hole is inclined by a second angle; And the light transmission plate provided on the incident side opening end surface, so that the polarization dependence generated on the light receiving surface of the light receiving element can be canceled with high accuracy by adjusting the rotation angle of the first holder. And it is possible to maintain this offset state with high stability A.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a first sectional view showing a configuration of an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a second sectional view showing the configuration of one embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a graph showing a specific example of PDL characteristics of the light transmitting plate 3 according to one embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
1. Fixed holder 1a Circular through hole 1b Support hole 2 First rotating holder 2a Circular through hole 2b Counterbore part 3 Second rotating holder 3a Circular peripheral surface 3b ... Circular through hole 3c... Incident side open end face 4... Light transmitting plate 4a... Glass plate 4b... Antireflection film 5... Light receiving element 5a.

Claims (8)

入射光を所定の受光面で受光する受光素子と、
前記受光面の前方に設けられ、入射光が通過する第１貫通孔が形成されると共に、中心軸方向が入射光の光軸に対して第１の角度だけ傾斜した座グリ部が前記第１貫通孔に形成された第１ホルダと、
前記座グリ部に嵌合させることによって前記第１ホルダに装着される部材であって、入射光が通過する第２貫通孔が形成されると共に当該第２貫通孔において入射光の入射側開口端面が第２の角度だけ傾斜している第２ホルダと、
前記入射側開口端面に設けられた光透過板と
を具備することを特徴とする受光装置。A light receiving element for receiving incident light on a predetermined light receiving surface,
A first through-hole, which is provided in front of the light receiving surface and through which incident light passes, is formed, and a counterbore portion whose central axis direction is inclined by a first angle with respect to the optical axis of the incident light is provided in the first through hole. A first holder formed in the through hole;
A member mounted to the first holder by being fitted to the spot facing portion, wherein a second through-hole through which incident light passes is formed, and an incident-side opening end face of the incident light in the second through-hole; A second holder is inclined by a second angle,
A light transmitting plate provided on an end surface of the incident side opening. 第１の角度と第２の角度とが同一角に設定されることを特徴とする請求項１記載の受光装置。The light receiving device according to claim 1, wherein the first angle and the second angle are set to the same angle. 第１ホルダを光軸と直交する面内で回転自在に支持する固定ホルダを備えることを特徴とする請求項１または２記載の受光装置。The light receiving device according to claim 1, further comprising a fixed holder that rotatably supports the first holder in a plane orthogonal to the optical axis. 前記光透過板には、片面に反射防止膜が設けられていることを特徴とする請求項１〜３いずれかに記載の受光装置。The light receiving device according to claim 1, wherein the light transmitting plate is provided with an antireflection film on one surface. 光透過板はウェッジ板であることを特徴とする請求項１〜３いずれかに記載の受光装置。The light receiving device according to claim 1, wherein the light transmitting plate is a wedge plate. ウェッジ板の片面には反射防止膜が設けられていることを特徴とする請求項５記載の受光装置。The light receiving device according to claim 5, wherein an anti-reflection film is provided on one surface of the wedge plate. 第１ホルダと受光面との間あるいは光透過板の前方に入射光を集光させる集光レンズをさらに備えることを特徴とする請求項１〜６いずれかに記載の受光装置。The light receiving device according to any one of claims 1 to 6, further comprising a condenser lens that collects incident light between the first holder and the light receiving surface or in front of the light transmitting plate. 光透過板の前方に入射光を平行光化するコリメータレンズをさらに備えることを特徴とする請求項１〜７いずれかに記載の受光装置。The light receiving device according to any one of claims 1 to 7, further comprising a collimator lens for converting incident light into parallel light in front of the light transmitting plate.

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