JP2004343874A

JP2004343874A - Linear motor type uniaxial robot

Info

Publication number: JP2004343874A
Application number: JP2003136335A
Authority: JP
Inventors: Takashi Kaieda; 隆海江田; Motoki Nagamori; 基樹長森; Makoto Kamogawa; 良加茂川
Original assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Current assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Priority date: 2003-05-14
Filing date: 2003-05-14
Publication date: 2004-12-02

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent erroneous detection when a magnetic head is affected by magnetism from a coil or the like while the magnetic head for detecting position is assembled compact, in a linear motor type uniaxial robot. <P>SOLUTION: The linear motor type uniaxial robot is provided with a robot body 1 and a moving member 2 capable of moving linearly in a constant direction relative to the robot body 1. The robot body 1 is provided with a shaft-like stator part 10 in which a permanent magnets 10a are arrayed in axial direction, with a magnetic scale 14 also provided. The moving member 2 is attached with a coil 18 that encloses the stator part 10, and is provided with a magnetic head 21 that faces the magnetic scale 14. A magnetic shield 22 is disposed between the magnetic head 21 and the coil 18. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リニアモータを用いた単軸ロボットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えば特許文献１に示されるように、永久磁石を軸方向に配列したシャフト状のステータ部と、このステータ部を囲繞するコイルが設けられた可動部材とを備え、上記コイルに対する通電が制御されることにより可動部材がステータ部の軸に沿った方向に直線的に移動するようになっているリニアモータは一般に知られている。このようなリニアモータは各種分野において物品の搬送などに用いられ、単軸ロボットにも適用可能である。
【０００３】
この種のリニアモータでは、移動位置や移動速度の制御のため、ステータ部が設けられている本体に取付けられたスケールと、可動部材に装備されて上記スケールを読取るヘッドとで構成される位置検出手段が設けられ、例えば磁気スケールとこれを読取る磁気ヘッドとで位置検出手段が構成されている。
【０００４】
【特許文献１】
特公平５−３４９０２号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記磁気スケール及び磁気ヘッドを配備する場合に、磁気ヘッドがステータ部の永久磁石やコイルからの磁気の影響を受けると誤検出を生じるおそれがあり、従来ではこのような事態を避けるため、可動部材の側方に突出させたブラケットに磁気ヘッドを取付ける等、コイルから充分に遠い位置に磁気ヘッドを配置するようにしていたが、このようにすると磁気ヘッド配置部分が余分な場所を取り、コンパクトに磁気ヘッドを組み込むことができない。
【０００６】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、磁気ヘッドをコンパクトに可動部材に組み込み得るようにしつつ、磁気ヘッドがコイル等からの磁気の影響を受けることを避け、誤検出を防止することができるリニアモータ式単軸ロボットを提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、永久磁石を軸方向に配列したシャフト状のステータ部を有するロボット本体と、上記ステータ部を囲繞するコイルを有して、上記ロボット本体に対して一定方向に直線的に移動可能となった可動部材とを備え、位置検出のための磁気スケールが上記ロボット本体に設けられるとともに、この磁気スケールを読取る磁気ヘッドが可動部材に設けられているリニアモータ式単軸ロボットにおいて、上記可動部材における磁気ヘッドとコイルとの間の位置に磁気シールドが配置されているものである。
【０００８】
この発明によると、動作中に上記磁気ヘッドで磁気スケールが読取られることにより位置の検出が行われ、この検出に基づいて可動部材の位置や移動速度の制御が行われる。
【０００９】
この場合、上記磁気シールドにより、ステータ部の永久磁石やコイルからの磁気の影響が磁気ヘッドに及ぶことが抑制され、磁気ヘッドの誤検出が防止される。
【００１０】
本発明において、上記ロボット本体に上記可動部材を摺動可能に支持するリニアガイドが設けられ、このリニアガイドの側方に上記磁気スケールが配置され、一方、上記可動部材の側方下端部に、上記磁気スケールに対向するように磁気ヘッドが配置されるとともに、この磁気ヘッドの上方に磁気シールドが配置されていればよい。
【００１１】
あるいは、上記ロボット本体のステータ部の下方に、上記可動部材を摺動可能に支持するリニアガイドが設けられ、このリニアガイドの上面部に非磁性体層を介して磁気スケールが設けられる一方、上記可動部材のコイルの下方に、磁気ヘッド及び磁気シールドが配置されているものであってもよい。このようにすると、可動ブロックの傾きが生じても、磁気スケールと磁気ヘッドとの相対位置のずれが極力小さく抑えられて、検出精度が高められる。
【００１２】
また、上記磁気シールドは、磁性層と非磁性層とを交互に積層してなるものであることが好ましい。このようにすると、磁気シールド効果が高められる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００１４】
図１は本発明の一実施形態による単軸ロボットの縦断正面図、図２は同ロボットの横断面図、図３は要部の縦断平面図である。これらの図において、単軸ロボットは、ロボット本体１と、このロボット本体１に対して一定方向に直線的に移動可能な可動部材２とを備えている。
【００１５】
上記ロボット本体１は、ベース部３と一対のカバー部材４とからなり、一軸方向に延びる横長枠状に形成されている。上記一対のカバー部材４は、ロボット本体１の両側壁部分を構成するもので、全長にわたって互いに平行に対向し、ベース部３の両側部から上方に突出した状態で、下端部がベース部３にボルトで固着されている。上記両カバー部材４の上端には内方に突出する縁部４ａが形成され、この両カバー部材４の上端縁部４ａの間に一定幅の開口部６が形成されている。
【００１６】
上記ロボット本体１内には、一定幅のガイドレール８がベース部３上に設けられるとともに、その上方にステータ部１０が配置されている。このステータ部１０は、Ｎ，Ｓの磁極が交互に逆向きに位置するように軸方向に配列された多数個の環状の永久磁石１０ａを有し、これらの永久磁石１０ａが中心軸１０ｂ上に保持され、非磁性体からなるスリーブ１０ｃ内に収容されている。そして、ステータ部１０全体が円形断面のシャフト状に形成されており、このステータ部１０の両端が、ロボット本体１内の両端部においてベース部３上に立設された支持部材１１に、取付け部材１２を介して支持されている。ロボット本体１の両端部は端部カバー１３で覆われている。
【００１７】
上記ガイドレール８の一側方において上記ベース部３の上面には、細長のプレート状の磁気スケール１４がベース部３の略全長にわたって設けられている。この磁気スケール１４は、後述のＭＲヘッド２１により読取可能なように磁気的に目盛りを記録したものである。
【００１８】
また、可動部材２は、上記ステータ部１０を挿通させる中空の可動ブロック１５を有し、この可動ブロック１５の下端に、上記ガイドレール８に係合する被ガイド部１６が設けられることにより、上記可動ブロック１５がガイドレール８に摺動自在に支持されている。
【００１９】
上記可動ブロック１５の中空部内周には、電機子を構成するコイル１８が固定されている。そして、可動部材２がロボット本体１に組み付けられた状態で、コイル１８がステータ部１０を囲繞するようになっている。また、上記コイル１８の軸方向両側において上記可動ブロック１５の内周には、環状の滑り軸受２０が設けられ、その内周面がステータ部１０に摺接している。
【００２０】
上記可動ブロックの一側部下端には、磁気ヘッドとしてのＭＲヘッド２１が設けられている。このＭＲヘッド２１は、上記磁気スケール１４に対向し、可動部材２の移動中に上記磁気スケール１４を読み取ることにより可動部材２の位置を検出するものである。このＭＲヘッド２１の上方には磁気シールド２２が設けられている。この磁気シールド２２は、ＭＲヘッド２１とコイル１２との間に位置して、上記ステータ部１０及びコイル１２からの磁気的影響がＭＲヘッド２１に及ぶことを防止するものである。
【００２１】
上記磁気シールド２２の具体的構造の一例を図４に示す。この図のように、磁気シールド２２は、磁性層２２ａと非磁性層２２ｂとを交互に積層させた多層構造となっている。
【００２２】
図１及び図２に戻って、可動部材２の上部には作業部材支持用のテーブル２４が設けられ、このテーブル２４に、用途に応じた各種の作業部材が取付けられるようになっている。上記テーブル２４の上面複数箇所には、作業部材をボルト止め等で取付けるための取付け座２５が設けられ、この取付け座２５を除く部分でテーブル２４が上部カバー２６により覆われている。
【００２３】
このテーブル２４は、断熱板２７を介して上記可動ブロック１５上に載置された状態で、複数箇所においてボルト２８により断熱板２７と一緒に可動ブロック１５に固定されている。上記各ボルト２８の頭部とテーブル２４との間には断熱ワッシャー２９が介装されている。上記断熱板２７及び断熱ワッシャー２９は、断熱性の高い材料で形成され、コイル１８から可動ブロック１５に伝わる熱がテーブル２４にまで伝達されることを抑制するようになっている。
【００２４】
なお、上記可動部材２におけるテーブル２４の一側面部にはコネクタ３２が設けられ、このコネクタ３２に上記コイル１８及びＭＲヘッド２１が電線３３を介して接続されている。また、ロボット本体１の外部にはケーブル（図示せず）を収容する可撓性ダクト３４が配備され、そのケーブルの先端に設けられたコネクタ３５が上記コネクタ３２に接続されることにより、ケーブルを介して図外の電源及び制御回路に上記コイル１８及びＭＲヘッド２１が電気的に接続されるようになっている。３６，３７は上記可撓性ダクト３４を支持するステーである。
【００２５】
以上のような当実施形態の単軸ロボットによると、上記可動部材２のコイル１８に流れる電流が制御されることにより、その電流とステータ部１０の永久磁石１０ａによる磁界との相互作用によって生じる推力により、可動部材２が軸方向に移動する。
【００２６】
また、このような動作中に上記ＭＲヘッド２１で磁気スケール１４が読取られることにより位置の検出が行われ、この検出に基づいて可動部材２の位置や移動速度の制御が行われる。
【００２７】
この場合、ＭＲヘッド２１の上方には磁気シールド２２が設けられていることにより、ステータ部１０の永久磁石１０ａやコイル１８からの磁気の影響がＭＲヘッド２１に及ぶことが抑制され、ＭＲヘッド２１の誤検出が防止される。
【００２８】
とくに、磁気シールド２２が磁性層２２ａと非磁性層２２ｂとを交互に積層させた多層構造（図４参照）となっていると、各層で多重に磁気シールド作用が得られるため、全体として磁気シールド効果が大幅に高められる。従って、ＭＲヘッド２１による検出とそれに基づく制御の精度が高められる。
【００２９】
そして、このように磁気シールド２２を備えることにより、磁気的影響がＭＲヘッド２１に及ぶことを避けつつ、ＭＲヘッド２１をコイル１８に対して比較的近い位置に設け、可動部材２にＭＲヘッド２１をコンパクトに組み込むことができる。
【００３０】
なお、本発明のリニアモータ式単軸ロボットの具体的構造は上記実施形態に限定されず、種々変更可能である。
【００３１】
例えば、図５に示すように、ステータ部１０の略直下の位置に磁気スケール４２及びＭＲヘッド４３を配置するようにしてもよい。
【００３２】
すなわち、この図に示す例では、ステータ部１０の略直下の位置においてリニアガイド８に非磁性層４１が設けられ、この非磁性層４１上に磁気スケール４２が設けられる一方、可動部材２における可動ブロック１５の下端部の略中央部に、上記磁気スケール４２に対向するようにＭＲヘッド４３が取付けられている。また、この実施形態でも、磁気シールド４４が、コイル１８とＭＲヘッド４３との間に位置するように、ＭＲヘッド４３の上方に設けられている。
【００３３】
このようにすると、微視的に見てリニアガイド８の弾性変形により可動ブロック１５の傾きが生じても、磁気スケール４２とＭＲヘッド４３との相対位置のずれが極力小さく抑えられて、検出精度が高められる。そしてこの場合も、磁気シールド４４が設けられることにより、ＭＲヘッド４３に磁気的な影響が及ぶことが防止される。
【００３４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、位置検出のための磁気スケールがロボット本体に設けられるとともに、この磁気スケールを読取る磁気ヘッドが可動部材に設けられているリニアモータ式単軸ロボットにおいて、上記可動部材における磁気ヘッドとコイルとの間の位置に磁気シールドが配置されているため、磁気ヘッドに磁気的影響が及ぶことを抑制して磁気ヘッドの誤検出を防止することができる。しかも、磁気ヘッドをコイルから遠く離す必要がなく、可動部材に磁気ヘッドをコンパクトに組み込むことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態による単軸ロボットの縦断正面図である。
【図２】上記単軸ロボットの横断側面図である。
【図３】上記単軸ロボットの概略縦断平面図である。
【図４】要部の拡大断面図である。
【図５】別の実施形態を示す単軸ロボットの横断側面図である。
【符号の説明】
１ロボット本体
２可動部
８リニアガイド
１０ステータ部
１０ａ永久磁石
１４，４２磁気スケール
１５可動ブロック
１８コイル
２１，４３ＭＲヘッド（磁気ヘッド）
２２，４４磁気シールド[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a single-axis robot using a linear motor.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, as shown in Patent Document 1, for example, a shaft-shaped stator portion in which permanent magnets are arranged in an axial direction, and a movable member provided with a coil surrounding the stator portion are provided, and energization of the coil is controlled. There is generally known a linear motor in which the movable member moves linearly in a direction along the axis of the stator section. Such a linear motor is used for transporting articles in various fields and can be applied to a single-axis robot.
[0003]
In this type of linear motor, for controlling the moving position and the moving speed, a position detection comprising a scale mounted on a main body provided with a stator portion and a head mounted on a movable member and reading the scale. Means are provided, for example, a magnetic scale and a magnetic head for reading the magnetic scale constitute a position detecting means.
[0004]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Publication No. 5-34902
[Problems to be solved by the invention]
By the way, when the above-described magnetic scale and magnetic head are provided, erroneous detection may occur if the magnetic head is affected by magnetism from the permanent magnets and coils of the stator unit. The magnetic head was placed at a position far enough from the coil, such as mounting the magnetic head on a bracket that protruded to the side of the movable member, but in this case the magnetic head arrangement part took extra space, The magnetic head cannot be built compactly.
[0006]
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem, and it has been made possible to prevent the magnetic head from being affected by magnetism from a coil or the like while allowing the magnetic head to be incorporated in a movable member in a compact manner. It is an object of the present invention to provide a linear motor type single axis robot capable of preventing detection.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The present invention has a robot body having a shaft-shaped stator portion in which permanent magnets are arranged in an axial direction, and a coil surrounding the stator portion, and is capable of linearly moving in a fixed direction with respect to the robot body. And a magnetic scale for position detection is provided on the robot body, and a magnetic head for reading the magnetic scale is provided on the movable member. , A magnetic shield is arranged at a position between the magnetic head and the coil.
[0008]
According to the present invention, the position is detected by reading the magnetic scale with the magnetic head during operation, and the position and the moving speed of the movable member are controlled based on the detection.
[0009]
In this case, the magnetic shield suppresses the influence of the magnetism from the permanent magnets and coils of the stator section on the magnetic head, thereby preventing erroneous detection of the magnetic head.
[0010]
In the present invention, a linear guide that slidably supports the movable member is provided on the robot main body, and the magnetic scale is disposed on a side of the linear guide, while a movable lower member has a side lower end portion. It suffices that the magnetic head is disposed so as to face the magnetic scale, and the magnetic shield is disposed above the magnetic head.
[0011]
Alternatively, a linear guide that slidably supports the movable member is provided below a stator portion of the robot main body, and a magnetic scale is provided on a top surface of the linear guide via a non-magnetic material layer. The magnetic head and the magnetic shield may be arranged below the coil of the movable member. With this configuration, even if the movable block is tilted, the deviation of the relative position between the magnetic scale and the magnetic head is suppressed as small as possible, and the detection accuracy is improved.
[0012]
Further, the magnetic shield is preferably formed by alternately stacking magnetic layers and non-magnetic layers. By doing so, the magnetic shielding effect is enhanced.
[0013]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0014]
FIG. 1 is a longitudinal sectional front view of a single-axis robot according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a transverse sectional view of the robot, and FIG. 3 is a longitudinal sectional plan view of main parts. In these drawings, the single-axis robot includes a robot body 1 and a movable member 2 that can move linearly in a certain direction with respect to the robot body 1.
[0015]
The robot main body 1 includes a base portion 3 and a pair of cover members 4 and is formed in a horizontally long frame shape extending in one axial direction. The pair of cover members 4 constitute both side wall portions of the robot body 1, and are opposed to each other in parallel over the entire length, and protrude upward from both side portions of the base portion 3. It is fixed with bolts. An inwardly protruding edge 4a is formed at the upper end of both cover members 4, and an opening 6 having a constant width is formed between the upper end edges 4a of both cover members 4.
[0016]
In the robot main body 1, a guide rail 8 having a fixed width is provided on the base portion 3, and a stator portion 10 is disposed above the guide rail 8. The stator section 10 has a large number of annular permanent magnets 10a arranged in the axial direction such that N and S magnetic poles are alternately located in opposite directions, and these permanent magnets 10a are arranged on a central axis 10b. It is held and accommodated in a sleeve 10c made of a non-magnetic material. The entire stator section 10 is formed in the shape of a shaft having a circular cross section, and both ends of the stator section 10 are attached to a support member 11 erected on the base section 3 at both ends in the robot body 1. 12 is supported. Both ends of the robot body 1 are covered with end covers 13.
[0017]
On one side of the guide rail 8, an elongated plate-shaped magnetic scale 14 is provided on the upper surface of the base 3 over substantially the entire length of the base 3. The magnetic scale 14 has magnetic scales recorded thereon so as to be readable by an MR head 21 described later.
[0018]
In addition, the movable member 2 has a hollow movable block 15 through which the stator section 10 is inserted, and a guided section 16 that engages with the guide rail 8 is provided at a lower end of the movable block 15 so that The movable block 15 is slidably supported by the guide rail 8.
[0019]
A coil 18 constituting an armature is fixed to the inner periphery of the hollow portion of the movable block 15. Then, the coil 18 surrounds the stator unit 10 in a state where the movable member 2 is assembled to the robot main body 1. An annular sliding bearing 20 is provided on the inner periphery of the movable block 15 on both axial sides of the coil 18, and the inner peripheral surface thereof is in sliding contact with the stator portion 10.
[0020]
An MR head 21 as a magnetic head is provided at a lower end of one side of the movable block. The MR head 21 faces the magnetic scale 14 and detects the position of the movable member 2 by reading the magnetic scale 14 while the movable member 2 is moving. A magnetic shield 22 is provided above the MR head 21. The magnetic shield 22 is located between the MR head 21 and the coil 12 to prevent the magnetic effect from the stator unit 10 and the coil 12 from affecting the MR head 21.
[0021]
An example of a specific structure of the magnetic shield 22 is shown in FIG. As shown in this figure, the magnetic shield 22 has a multilayer structure in which magnetic layers 22a and nonmagnetic layers 22b are alternately stacked.
[0022]
Returning to FIGS. 1 and 2, a work member support table 24 is provided above the movable member 2, and various work members according to the intended use are attached to the table 24. At a plurality of locations on the upper surface of the table 24, mounting seats 25 for mounting work members by bolting or the like are provided, and the table 24 is covered with an upper cover 26 at portions other than the mounting seats 25.
[0023]
The table 24 is fixed to the movable block 15 together with the heat insulating plate 27 by bolts 28 at a plurality of positions while being placed on the movable block 15 via the heat insulating plate 27. An insulating washer 29 is interposed between the head of each bolt 28 and the table 24. The heat insulating plate 27 and the heat insulating washer 29 are formed of a material having a high heat insulating property, so that heat transmitted from the coil 18 to the movable block 15 is prevented from being transmitted to the table 24.
[0024]
A connector 32 is provided on one side surface of the table 24 of the movable member 2, and the coil 18 and the MR head 21 are connected to the connector 32 via electric wires 33. A flexible duct 34 for accommodating a cable (not shown) is provided outside the robot body 1, and a connector 35 provided at the end of the cable is connected to the connector 32, so that the cable is connected. The coil 18 and the MR head 21 are electrically connected to a power supply and a control circuit (not shown) via the power supply. The stays 36 and 37 support the flexible duct 34.
[0025]
According to the single-axis robot of the present embodiment as described above, by controlling the current flowing through the coil 18 of the movable member 2, the thrust generated by the interaction between the current and the magnetic field generated by the permanent magnet 10 a of the stator unit 10. Thereby, the movable member 2 moves in the axial direction.
[0026]
Further, the position is detected by reading the magnetic scale 14 by the MR head 21 during such an operation, and the position and the moving speed of the movable member 2 are controlled based on the detection.
[0027]
In this case, since the magnetic shield 22 is provided above the MR head 21, the influence of the magnetism from the permanent magnet 10 a of the stator unit 10 and the coil 18 is suppressed from affecting the MR head 21. Is prevented from being erroneously detected.
[0028]
In particular, if the magnetic shield 22 has a multilayer structure in which magnetic layers 22a and non-magnetic layers 22b are alternately laminated (see FIG. 4), a magnetic shield effect can be obtained in multiple layers in each layer. The effect is greatly enhanced. Therefore, the accuracy of the detection by the MR head 21 and the control based on the detection is improved.
[0029]
By providing the magnetic shield 22 as described above, the MR head 21 is provided at a position relatively close to the coil 18 while preventing the magnetic effect from affecting the MR head 21, and the MR head 21 is attached to the movable member 2. Can be incorporated compactly.
[0030]
The specific structure of the linear motor type single-axis robot of the present invention is not limited to the above embodiment, but can be variously modified.
[0031]
For example, as shown in FIG. 5, the magnetic scale 42 and the MR head 43 may be arranged at a position substantially immediately below the stator unit 10.
[0032]
That is, in the example shown in this figure, the non-magnetic layer 41 is provided on the linear guide 8 at a position substantially directly below the stator portion 10, and the magnetic scale 42 is provided on the non-magnetic layer 41, while the movable member 2 An MR head 43 is mounted substantially at the center of the lower end of the block 15 so as to face the magnetic scale 42. Also in this embodiment, the magnetic shield 44 is provided above the MR head 43 so as to be located between the coil 18 and the MR head 43.
[0033]
In this way, even if the movable block 15 is tilted due to the elastic deformation of the linear guide 8 when viewed microscopically, the displacement of the relative position between the magnetic scale 42 and the MR head 43 is minimized, and the detection accuracy is reduced. Is enhanced. Also in this case, the provision of the magnetic shield 44 prevents the MR head 43 from being magnetically affected.
[0034]
【The invention's effect】
As described above, the present invention relates to a linear motor type single-axis robot in which a magnetic scale for position detection is provided on a robot body and a magnetic head for reading the magnetic scale is provided on a movable member. Since the magnetic shield is arranged at a position between the magnetic head and the coil in the member, it is possible to suppress the magnetic influence on the magnetic head and prevent erroneous detection of the magnetic head. In addition, there is no need to separate the magnetic head from the coil, and the magnetic head can be compactly incorporated into the movable member.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a vertical sectional front view of a single-axis robot according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional side view of the single-axis robot.
FIG. 3 is a schematic vertical sectional plan view of the single-axis robot.
FIG. 4 is an enlarged sectional view of a main part.
FIG. 5 is a cross-sectional side view of a single-axis robot showing another embodiment.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Robot main body 2 Movable part 8 Linear guide 10 Stator part 10a Permanent magnet 14, 42 Magnetic scale 15 Movable block 18 Coil 21, 43 MR head (magnetic head)
22,44 Magnetic shield

Claims

永久磁石を軸方向に配列したシャフト状のステータ部を有するロボット本体と、上記ステータ部を囲繞するコイルを有して、上記ロボット本体に対して一定方向に直線的に移動可能となった可動部材とを備え、
位置検出のための磁気スケールが上記ロボット本体に設けられるとともに、この磁気スケールを読取る磁気ヘッドが可動部材に設けられているリニアモータ式単軸ロボットにおいて、
上記可動部材における磁気ヘッドとコイルとの間の位置に磁気シールドが配置されていることを特徴とするリニアモータ式単軸ロボット。A movable body having a shaft-shaped stator portion in which permanent magnets are arranged in the axial direction, and a coil surrounding the stator portion and capable of linearly moving in a fixed direction with respect to the robot body. With
A magnetic scale for position detection is provided on the robot body, and a magnetic head for reading the magnetic scale is provided on a movable member.
A linear motor-type single-axis robot, wherein a magnetic shield is disposed at a position between the magnetic head and the coil in the movable member.

上記ロボット本体に上記可動部材を摺動可能に支持するリニアガイドが設けられ、このリニアガイドの側方に上記磁気スケールが配置され、一方、上記可動部材の側方下端部に、上記磁気スケールに対向するように磁気ヘッドが配置されるとともに、この磁気ヘッドの上方に磁気シールドが配置されていることを特徴とする請求項１記載のリニアモータ式単軸ロボット。A linear guide for slidably supporting the movable member is provided on the robot body, and the magnetic scale is disposed on a side of the linear guide. 2. The single-axis linear motor type robot according to claim 1, wherein a magnetic head is disposed so as to face the magnetic head, and a magnetic shield is disposed above the magnetic head.

上記ロボット本体のステータ部の下方に、上記可動部材を摺動可能に支持するリニアガイドが設けられ、このリニアガイドの上面部に非磁性体層を介して磁気スケールが設けられる一方、上記可動部材のコイルの下方に、磁気ヘッド及び磁気シールドが配置されていることを特徴とする請求項１記載のリニアモータ式単軸ロボット。A linear guide that slidably supports the movable member is provided below a stator portion of the robot main body, and a magnetic scale is provided on an upper surface portion of the linear guide via a nonmagnetic layer, while the movable member is provided. The linear motor type single axis robot according to claim 1, wherein a magnetic head and a magnetic shield are arranged below the coil.

上記磁気シールドは、磁性層と非磁性層とを交互に積層してなることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のリニアモータ式単軸ロボット。The single-axis robot according to any one of claims 1 to 3, wherein the magnetic shield is formed by alternately stacking magnetic layers and nonmagnetic layers.