JP2004342987A - ステージ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】微動ステージの自重補償の調整を容易にする。自重補償手段に、磁気浮上方式を採用した場合、敏感度が高く微調整が困難、▲２▼３個の自重補償磁石の相互差調整が困難、▲３▼ユニット組立後の再調整が困難、▲４▼経年変化が生じた場合装置内で再調整する事が困難、といった問題点があった。
【解決手段】微動ステージ可動部（微動天板）に、重量調整手段を設ける。粗調整として自重補償手段の調整を行い、その補正残差を、微動ステージ可動部の重量調整手段を微調整する。重量調整手段として、微動天板に設けたバランサーウェイトを用いる。
【選択図】 図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体露光装置においてウエハ基板などを微小位置決めするための微動ステージ等に用いられる支持装置を備えたステージ装置、特にリニアモータで６軸が直接位置決め制御される微動ステージの支持装置を備えたステージ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体露光装置におけるウェハなどの基板の精密位置決め機構として、微小直進機能と微小回転機能を有する微動ステージと、ｘｙ方向の大ストローク移動機能を有する粗動ステージとから構成されるステージ装置が一般的によく知られている。この様なステージ装置は、粗動ステージに構成される粗動アクチュエータによってｘｙ方向の大ストロークの移動を行いつつ、微動ステージに構成される微動アクチュエータによって、搭載する基板の精密位置決め動作を行う。また、一般的に粗動アクチュエータや微動アクチュエータは、高速かつ高精度の移動を行えるよう、非接触で駆動するため、ローレンツ力を用いたリニアモータが多用されている。
【０００３】
しかし、この様なステージ装置における微動ステージには、次のような問題がある。すなわち、基板サイズの大型化から微動ステージの重量も増加し、これをリニアモータの推力で支持する為には、アクチュエータに常時電流を通電しなくてはならず、これが熱源となり微動ステージを熱変形させたり、計測によく用いられるレーザー干渉計や光学エンコーダ等の測定誤差を生じてしまい、ひいては最終的な位置決め精度を劣化させてしまう。このような問題を解決するため、特開２００１−３５８０５８号公報に示される様に、ばねまたは磁石によって微動ステージの重量を支持する方法、すなわち自重補償の方法が知られている。図８は、この従来例に示される微動ステージの自重補償の構成を模式的に示したものである。図中、１０１は微動ステージ、１０２は粗動ステージ、１０３ａ〜１０３ｃは自重補償手段としてのコイルばね、１０４ａ〜１０４ｃは微動アクチュエータである。微動ステージ１０１は、粗動ステージ１０２に対して、微動アクチュエータ１０４ａ〜１０４ｃの発生する推力によってその高さと傾きが所定座標になるよう位置決めされる。ところが、所定の高さと傾きを維持するように、微動ステージ１０１の重量を微動アクチュエータ１０４ａ〜１０４ｃの推力のみを用いて支えると、微動アクチュエータ１０４ａ〜１０４ｃには常時電流が通電されるため、常に一定の発熱が生じる。この熱はステージの精度に悪影響を与えるため、極力小さくする必要がある。そこで、この微動ステージ１０１を一定高さに浮上させるため、自重補償手段であるコイルばね１０３ａ〜１０３ｃが構成されている。すなわち、定常的な重量支持についてはコイルばね１０３ａ〜１０３ｃが行い、微小位置決めの為の駆動や、粗動アクチュエータ動作による加減速時の姿勢変動の修正動作などについては微動アクチュエータ１０４ａ〜１０４ｃが行う。これにより微動アクチュエータ１０４が発する熱量を最小にできる。ただし、コイルばね１０３ａ〜１０３ｃによる浮上力が、微動ステージ重量に対して大きくても小さくても、その差分は微動アクチュエータ１０４ａ〜１０４ｃの発熱につながるので、浮上力は正確に調整する事が必要である。
【０００４】
また、自重補償手段として、コイルばねではなく、磁石の反発力を用いたり、空気シリンダーの駆動力を用いたりする場合であっても、構成と機能はまったく同じである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、一般に自重補償手段としては、補償する微動ステージの重量は当然ながら浮上位置に依存せず一定であるため、自重補償手段の浮上力も浮上位置の依存性を極力小さくして、微動ステージの高さに因らずほぼ一定とする事が望ましい。また、粗動ステージ側の振動をできるだけ微動ステージに伝え難くするため、すなわち振動遮断特性を向上させるためには、粗動ステージと微動ステージの相対変位に関わらず常に一定の浮上力が生じる事が望ましい。これは、自重補償手段としてばね等の弾性体を用いる場合、そのばね定数は極力小さくあらねばならない事になる。これを逆に言えば、わずかな浮上力の変化で微動ステージの浮上位置が大きく変化してしまう事を意味する。そのため上記従来例では、その調整は敏感度が高くて困難なものであった。また、自重補償手段単体では何らかの治工具を用いて容易に調整できるよう工夫をしたとしても、微動ステージの重量や重心位置のばらつきを吸収するために、最終的には微動ステージに組み込んだ状態で実施する必要があり、やはり調整は困難であった。さらに、自重補償手段を３個以上の複数で構成した場合、それぞれの浮上力を調整した後に、それらの相互差も調整する必要があり、困難な調整を少なくとも二回実施する必要があった。また、わずかな経年変化が生じてもその浮上位置が大きく変化してしまうため、装置運用時において定期的に調整を実施する必要があるが、装置内は十分なメンテナンス空間がないため調整作業はさらに困難であった。場合によっては、この調整を行うためには装置を解体し、ステージを装置外部に取り出す必要があった。
【０００６】
特に、リニアモータで６軸が直接位置決め制御される微動ステージの場合においては、上述した振動遮断特性を向上させる目的から、非接触に自重補償を行う事が望ましい。そのため、多くの場合、磁気反発力を利用した自重補償手段が用いられている。しかし、永久磁石の磁気特性はばらつきが大きく、経年変化も無視できない。さらに、浮上力の調整方法としては、着磁強度調整、磁石寸法調整、ギャップ寸法調整程度しかなく、いずれも簡便な調整は困難であるため、上述の問題は深刻であった。
【０００７】
また、例えば自重補償手段としてばねなどの弾性体や永久磁石等の磁力を用いた場合でも、同様に上記の問題点は避けられないものであった。
【０００８】
さらに、自重補償手段として、空気圧シリンダーを用いた場合、装置外部から圧力調整を行う事で、上述した調整の困難さの一部は解決できるが、本質的に調整の敏感度が高い問題は避けられず、調整に用いるレギュレータの精度が、必要とされる調整の敏感度を満足しない事が多かった。また、空気圧シリンダーでは、これを介して粗動ステージの振動が微動ステージに伝わりやすいため、上述したリニアモータで６軸が直接位置決め制御される微動ステージの場合には適さないものだった。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するため、本発明のステージ装置は、保持面を有する微動ステージと、前記微動ステージの自重および姿勢またはそのうちの一方を補償する１個又は少なくとも３個の自重補償手段と、前記微動ステージを鉛直方向に駆動する少なくとも３個のアクチュエータと、前記微動ステージの重量及び重心またはそのうちの一方を調整する少なくとも３個所に配置された重量調整手段とを有し、前記自重補償手段の浮上力を前記微動ステージの自重及び姿勢またはそのうちの一方を補償する為に必要な浮上力におおむね一致させ、次に前記微動ステージの重量及び重心またはそのうちの一方を、前記自重補償手段の調整された浮上力に一致させるよう前記重量調整手段を調整するようにしたものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
（実施例）
図１から図４は、本発明の第一の実施例を示す図である。
【００１１】
図１は、半導体露光装置において、リニアモータで６軸（６自由度）が直接位置決め制御される微動ステージを搭載したステージ装置の詳細を示す。
【００１２】
このステージ装置は、ベース定盤１上にＹヨーガイド２が固定され、Ｙヨーガイド２の側面とベース定盤１の上面でガイドされるＹステージ３が、ベース定盤１の上にＹ方向に不図示のエアスライドにより、滑動自在に支持されている。Ｙステージ３は、主に２本のＸヨーガイド４ａ４ｂと、その前端部材５及び奥端部材６の四つの部材から構成され、奥端部材６は、その側面及び下面に設けた不図示のエアパッドを介してＹヨーガイド２の側面及びベース定盤１の上面と対面し、前端部材５は、その側面に設けた不図示のエアパッドを介してベース定盤１の上面と対面している。この結果、Ｙステージ３全体としては、前述のように、Ｙヨーガイド２の側面とベース定盤１の上面でＹ方向に滑動自在に支持されることになる。
【００１３】
一方、Ｙステージ３の構成部品である２本のＸヨーガイド４の側面とベース定盤１の上面とでガイドされるＸステージ７は、Ｘ軸まわりにＹステージ３の部分を囲むように設けられ、不図示のエアスライドにより、Ｘ方向に滑動自在に支持されている。Ｘステージ７は、主に２枚のＸステージ側板８と、上板９及び下板１０の四つの部材から構成され、下板１０は、その下面に設けた不図示のエアパッドを介してベース定盤１の上面と対面し、２枚のＸステージ側板８は、その側面に設けた不図示のエアパッドを介してＹステージ３の構成部材である２本のＸヨーガイド４ａ４ｂの側面と対面している。上板９の下面とＸヨーガイド４ａ４ｂの上面、及び下板１０の上面とＸヨーガイド４ａ４ｂの下面は、非接触になっている。この結果、Ｘステージ７全体としては、前述のように、２本のＸヨーガイド４の側面とベース定盤１の上面でＸ方向に滑動自在に支持されることになる。
【００１４】
駆動機構は、Ｘ駆動用として１本、Ｙ駆動用として２本の多相コイル切り替え方式のリニアモータが用いられている。
【００１５】
ＹリニアモータＹ１とＹ２は、それぞれＹリニアモータ可動子Ｙ１ａ、Ｙ２ａとＹリニアモータ固定子Ｙ１ｂ、Ｙ２ｂから構成され、Ｙリニアモータ可動子Ｙ１ａ、Ｙ２ａには可動子磁石が配置され、同じくＹリニアモータ固定子Ｙ１ｂおよびＹ２ｂには複数個のコイルが配置されている。そしてこのＹリニアモータ可動子Ｙ１ａ、Ｙ２ａの位置に応じて、Ｙリニアモータ固定子Ｙ１ｂ、Ｙ２ｂの複数のコイルのうちの所定のコイルに選択的に電流を流す事によって、推力が発生する。また１３は前側取り付け板、１４は奥側取り付け板であり、それぞれ前端部材５及び奥端部材６に締結され、ＹリニアモータＹ１、Ｙ２が発生させた推力をＹステージ３に伝達する。ＸリニアモータＸ１は、図示しないＸリニアモータ可動子Ｘ１ａとＸリニアモータ固定子Ｘ１ｂとからなる。図示しないＸリニアモータ可動子Ｘ１ａは、Ｘステージ７の上板９及び下板１０に固定され、固定子磁石を設けている。Ｘリニアモータ可動子Ｘ１ｂは２本のＸヨーガイド４ａ４ｂに固定され、複数個のコイルが配置されている。そしてこのＸリニアモータ可動子Ｘ１ａの位置、すなわちＸステージ７の位置に応じて、Ｘリニアモータ固定子Ｘ１ｂの複数のコイルのうちの所定のコイルに選択的に電流を流す事によって、推力が発生する。
【００１６】
図２は微動ステージの詳細を示す分解斜視図である。
【００１７】
微動ステージは、Ｘステージ７の上板９の上にある中間板１２の上に構成され、位置決めの対象物であるウエハをＸＹθ方向及びＺチルト方向に位置決めするものである。中間板１２は、微動ステージを単体で交換する場合に容易にするために設けられているが、中間板１２を設けず直接上板９の上に微動ステージを構成してもかまわない。
【００１８】
微動ステージは、三つのＺ微動リニアモータＺＬＭ（ＺＬＭａが可動子、ＺＬＭｂが固定子）と、二つずつ設けられたＸ微動リニアモータＸＬＭ（ＸＬＭａが可動子、ＸＬＭｂが固定子）及びＹ微動リニアモータＹＬＭ（ＹＬＭａが可動子、ＹＬＭｂが固定子）で天板１１をＸＹθ方向及びＺチルト方向に駆動して位置決めするようになっている。
【００１９】
ウエハ天板１１の上面にはＸバーミラー１５ａ及びＹバーミラー１５ｂが設けられ、ウエハ天板１１の６軸方向の位置を非図示のレーザ干渉計で精密に計測できるようになっている。
【００２０】
第一の実施例における自重補償手段は、反発可動子１６と反発固定子１７とから構成される。
【００２１】
図３は第一の実施例における自重補償手段の詳細を示す斜視図である。
【００２２】
反発可動子１６は反発可動磁石１６ａと反発可動磁石ホルダ１６ｂとからなる。反発可動磁石１６ａは、板状の単極永久磁石であって、板厚方向に着磁されている。
【００２３】
反発固定子１７は、前側ヨーク１７ａ、後側ヨーク１７ｂ、２個の横ヨーク１７ｃ、２枚の反発固定磁石１７ｄ、及び２個のギャップ調整スペーサー１７ｅからなる。
【００２４】
前側ヨーク１７ａと後側ヨーク１７ｂには、ギャップ調整スペーサー１７ｅを介して、１枚ずつ反発固定磁石１７ｄが接着されている。これらの反発固定磁石１７ｄも板状の単極永久磁石であって、板厚方向、即ちこの図では、Ｙ軸に平行な小矢印で示す方向に着磁されている。ただし、２枚とも極の方向は反発可動磁石１６ａと逆になっている。前側ヨーク１７ａ、後側ヨーク１７ｂ、及び横ヨーク１７ｃは、反発固定磁石１７ｄの磁束を循環させるためのものであって、鉄等の軟磁性体が用いられる。上記ギャップ調整スペーサーも同様に軟磁性材料が用いられる。図中、前側ヨーク１７ａ側の反発固定磁石１７ｄの奥側から出た磁束は、後側ヨーク１７ｂの表面についている反発固定磁石１７ｄの手前側に入り、その反発固定磁石１７ｃの奥側から出た磁束は、後側ヨーク１７ｂに入り、左右（この場合Ｘ軸のプラス方向とマイナス方向）に分かれて２枚の横ヨーク１７ｃに入り、２枚の横ヨーク１７ｃ中をＹ軸のプラス方向に流れて前側ヨーク１７ａに入り、前側ヨーク１７ａ中でヨーク中央に向かうように流れて前側ヨーク１７ａ側の反発固定磁石１７ｄに達する。つまり、この自重補償手段は、自重補償方向を法線とする面内で循環するような磁路を形成している。このような磁路を形成して反発固定子１７ｄ単体で存在するときの磁束を増やすようにすることで、ヨーク部材を非磁性で構成した場合に比べて反発可動磁石１６ａが対面したときの反発力を増やすことが出来る。
【００２５】
２枚の反発固定磁石１７ｄ間の距離は反発可動磁石１６ａの板厚より大きく設定されていて、反発可動磁石１６ａが２枚の反発固定磁石１７ｄの間に、非接触で挿入可能になっている。また、反発可動磁石１６ａは、２枚の反発固定磁石１７ｄの丁度中央の位置に挿入されるように設定されている。この構成において、反発可動子１６が反発固定子１７に挿入されると、両者は同じ極同士が対面するので、反発固定磁石１７と反発可動磁石１６の間に、Ｚ上向きの反発力が働く。
【００２６】
図３は、第一の実施例で用いられる自重補償要手段の単体調整方法を示す図である。図中、図２と同一の構成要素は同一の番号としており、説明は省略する。
【００２７】
一対の直動ガイド２２は、一対のガイド軸２１とそれぞれ勘合し、反発可動子１６の移動をｚ軸のみに規制する。工具ベース１９は、全体を保持するベースであり、可動プレート２０は直動ガイド２２と締結されｚ軸方向のみに移動可能であり、この可動プレート２０に反発可動子ホルダー１６ｂが固定されている。ダミーウェイト２３は可動プレート２０の上に搭載され自重補償要素の発生する浮上力と等しい荷重を与える。ギャップ調整スペーサ１７ｅは、自重補償手段の浮上力を調整するものであり、すなわち反発固定磁石間のギャップを調整し、狭ければ大きな浮上力を、広ければ小さな浮上力を得る事ができる。この構成により、非図示の高さ測定手段によって高さを測りつつ、所定の荷重を加えた状態での浮上力を調整できる。ただし、この調整方法では、微動ステージの重量ばらつきや、重心位置のばらつきによる姿勢ばらつきは調整できない。また、スペーサの厚さ研磨という工程となるので、ひとたび調整を終えて微動ステージに組み込んだ後は、再調整は困難になる。よって、この調整は粗調整として位置づけられるべき物である。
【００２８】
そこで、図２に示されるバランサーウェイト１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ（１８ｄのみ図示せず）が必要になる。バランサーウェイトは複数厚さの板材からなり、厚さの種類及び枚数を選択する事で、重量を調整する事ができる。すなわち、図４で示す粗調整が完了した反発固定子１７および反発可動子１６を微動ステージに組み込み、微動ステージの高さ及び姿勢を非図示のレーザー干渉計で測定しつつ、バランサーウェイト１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄの重量をそれぞれ調整する。これは最終形態の調整になり、かつステージ装置が露光装置内に搭載された後でも調整手切る事から、微調整として位置づけられるべき物である。またこの時、ステージ装置をサーボＯＮ状態にし、所定の位置及び姿勢に微動ステージを静止させ、その時にｚ微動リニアモータＺＬＭａ，ＺＬＭｂに必要な電流を測定することができ、この電流がほぼゼロになるようにバランサーウェイトの重量をそれぞれ調整する事もできる。
【００２９】
以上述べたように、反発固定子１７を個別に調整する粗調整と、ステージ組み込み状態で行う微調整の二段階で行う本発明の調整方法によれば、微動ステージの重量ばらつきや傾きのばらつきを容易に調整できるばかりではなく、装置運用状態において経年変化が生じた場合でも、再調整が容易にかつ正確に行える。
【００３０】
また、本実施例では、自重補償手段として、同じ極を対面配置して、対面方向と直角方向の反発力を浮上力に用いた反発磁石を用いた例について述べたが、より一般的な、対面方向の反発力を浮上力に用いた反発磁石を用いても、その構成と効果は同一である。
【００３１】
（他の実施例１）
図５は本発明の第二の実施例を示す図である。
【００３２】
第一の実施例と異なる点は、反発可動子１６及び反発固定子１７を中央に一組だけ配置するのではなく、周辺三個所に三対の反発固定子２４ａ，２４ｂ，２４ｃ及び反発可動子２５ａ，２５ｂ，２５ｃを配置したものである。
【００３３】
これにより、第一の実施例では微動ステージの傾きの調整が、反発固定子の浮上力調整によっては出来なかったのに対し、本第二の実施例では可能となる点である。しかし、反面、自重補償手段を３個にしたため、これらの相互差を調整する必要も生じている。しかしながら、これも本発明によるバランサーウェイトによる微調整によって、容易にかつ正確に調整できるものである。
【００３４】
また、本実施例ではにおいても、自重補償手段として、同じ極を対面配置して、対面方向と直角方向の反発力を浮上力に用いた反発磁石を用いた例について述べたが、より一般的な、対面方向の反発力を浮上力に用いた反発磁石を用いても、その構成と効果は同一である。
【００３５】
（他の実施例２）
図６は本発明の第三の実施例を示す図である。
【００３６】
第三の実施例は、自重補償要素としてコイルばね２６ａ，２６ｂ，２６ｃを配置した物である。この場合も、調整の敏感度が高いため、正確な調整は困難であるとともに、再調整や、装置内における調整は困難であり、本発明のバランサーウェイト１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄによる微調整手段は不可欠である。
【００３７】
本実施例では、三個の自重補償要素として説明してきたが、第一の実施例と同様に中央に一個だけコイルバネを配置した場合も、同様の効果が得られる。
【００３８】
また、本実施例は自重補償要素としてコイルばねを用いた例について説明してきたが、弾性体として板ばねや他の弾性体を用いても、その構成と効果はまったく同一である。
【００３９】
（他の実施例３）
図７は本発明の第四の実施例を示す図である。
【００４０】
第四の実施例は、自重補償要素としてエアーシリンダー２７ａ，２７ｂ，２７ｃを用いた物である。エアーシリンダーを用いた場合、それによる浮上力は、ステージ装置外部からの供給圧力によって調整できる。すなわち、第一から第三の実施例で述べたような、ステージ装置組み込み状態や露光装置搭載状態であっても、比較的容易に調整できる。しかしながら、浮上力の調整は今まで述べてきたように敏感度が高い調整であるため、高精度のレギュレーターが必要であったり、経年変化の極めて小さいレギュレーターが必要だった。その点、本発明のバランサーウェイト１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄを設ける事で、空気圧力による浮上力調整は、さほど正確さは要求されないため、空気圧調整手段のコストダウンが実現できる。
【００４１】
【発明の効果】
本発明によれば、保持面を有する微動ステージと、前記微動ステージの自重および姿勢またはそのうちの一方を補償する１個又は少なくとも３個の自重補償手段と、前記微動ステージを鉛直方向に駆動する少なくとも３個のアクチュエータと、前記微動ステージの重量及び重心またはそのうちの一方を調整する少なくとも３個所に配置された重量調整手段とを有し、前記自重補償手段の浮上力を前記微動ステージの自重及び姿勢またはそのうちの一方を補償する為に必要な浮上力におおむね一致させ、次に前記微動ステージの重量及び重心またはそのうちの一方を、前記自重補償手段の調整された浮上力に一致させるよう前記重量調整手段を調整するようにしたため、調整が容易かつ正確に実施できるようになる。また、重量調整手段を装置内で容易にアクセスできる位置に配置する事により、装置搭載状態でも微調整が容易にできるようになる。同様に、自重補償手段に経年変化を生じた場合でも容易に何度でも再調整ができるようになる。また制御状態を維持しながら調整ができるので、正確な調整が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明における第一の実施例の全体像。
【図２】本発明における第一の実施例の詳細。
【図３】本発明の第一の実施例における自重補償機構。
【図４】本発明の第一の実施例における粗調整方法。
【図５】本発明の第二の実施例。
【図６】本発明の第三の実施例。
【図７】本発明の第四の実施例。
【図８】従来例。
【符号の説明】
１ ベース定盤
２ Ｙヨーガイド
３ Ｙステージ
４ａ４ｂ Ｘヨーガイド
５ 前端部材
６ 奥端部材
７ Ｘステージ
８ Ｘステージ側板
９ 上板
１０ 下板
１１ ウエハ天板
１２ 中間板
１３ 前側取り付け板
１４ 奥側取り付け板
１５ａ Ｘバーミラー
１５ｂ Ｙバーミラー
１６ 反発可動子
１７ 反発固定子
１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ バランサーウェイト

Claims (12)

1. 保持面を有する微動ステージと、前記微動ステージの自重および姿勢またはそのうちの一方を補償する浮上力を発生する自重補償手段と、前記微動ステージを鉛直方向に駆動するアクチュエータと、前記微動ステージの重量及び重心またはそのうちの一方を調整する重量調整手段とを有し、前記微動ステージの重量及び重心またはそのうちの一方を、前記自重補償手段の浮上力に一致させるよう前記重量調整手段を調整することを特徴とするステージ装置。
2. 前記自重補償手段の浮上力を前記微動ステージの自重及び姿勢またはそのうちの一方を補償する為に必要な浮上力におおむね一致させ、次に前記微動ステージの重量及び重心またはそのうちの一方を、前記自重補償手段の上述のように調整された浮上力に一致させるよう前記重量調整手段を調整することを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
3. 前記自重補償手段が、ひとつの浮上力発生手段から構成され、前記微動ステージの平面的な略重心位置に配置された事を特徴とする請求項１又は２に記載のステージ装置。
4. 前記自重補償手段が、少なくとも３個の浮上力発生手段から構成され、平面的に離れた少なくとも三個所の位置に配置された事を特徴とする請求項１又は２に記載のステージ装置。
5. 前記浮上力発生手段が、同じ極を対面配置した磁石を有し、対面方向の反発力を浮上力に用いた事を特徴とする、請求項３又は４に記載のステージ装置。
6. 前記浮上力発生手段が、同じ極を対面配置した磁石を有し、対面方向と直角方向の反発力を浮上力に用いた事を特徴とする、請求項３又は４に記載のステージ装置。
7. 前記浮上力発生手段が、コイルばねである事を特徴とする、請求項３又は４に記載のステージ装置。
8. 前記浮上力発生手段が、板ばねである事を特徴とする、請求項３又は４に記載のステージ装置。
9. 前記浮上力発生手段が、空気圧シリンダーである事を特徴とする、請求項３又は４に記載のステージ装置。
10. 前記アクチュエータが、少なくとも３個のリニアモータから構成され、前記微動ステージを非接触に駆動する事を特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載のステージ装置。
11. 前記重量調整手段が、微動ステージの少なくとも３個所に配置されたバランサーウェイトから構成される事を特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載のステージ装置。
12. 請求項１乃至１１のいずれか１項記載のステージ装置を有する事を特徴とする露光装置。

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