JP2004333541A

JP2004333541A - Method for adjusting optical circuit

Info

Publication number: JP2004333541A
Application number: JP2003125138A
Authority: JP
Inventors: Takashi Chiba; 貴史千葉
Original assignee: Hitachi Cable Ltd
Current assignee: Hitachi Cable Ltd
Priority date: 2003-04-30
Filing date: 2003-04-30
Publication date: 2004-11-25
Anticipated expiration: 2023-04-30
Also published as: JP3933086B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for adjusting an optical circuit in which light power in adjustment can be made large and light loss after adjustment can be made small. <P>SOLUTION: In the method for adjusting an adjustment place in an optical circuit 20 by making light incident on an optical waveguide 23 in the optical circuit 20 and while referring to light taken out, a groove 2 which slants to an optical waveguide 1 is formed in the optical waveguide 1 and then the light incident on the optical waveguide 1 is reflected by the groove 2, and a reference optical waveguide 3 is formed in the direction of reflection to guide the light reflected by the groove 2 to the reference optical waveguide 3, and while referring to the light taken out of the reference optical waveguide 3, adjustment is made at an adjustment place closer to the incidence side than the groove 2. After the adjustment is completed, the groove 2 is filled with an antireflective material which prevents light reflection. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光導波路を有する光回路の調整方法に係り、特に、調整時の光パワーが大きくとれ、調整後の光損失を少なくできる光回路の調整方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光導波路中に光回路要素を構成した光回路は、同種類或いは異種類の光回路要素を多段に組み合わせることで、所望の機能を実現したり機能を高めたりすることができる。例えば、非特許文献１のように、ＭＺＩ光回路要素を多段に組み合わせることで、任意の波長損失特性を実現することができる。図４に示されるように、ある一定のチャネル波長間隔を有する信号４１をその２倍のチャネル波長間隔でそのチャネル波長間隔だけ波長がずれた２つの信号４２，４２に分波、またはその逆に合波する機能を持つインターリーブ光合分波器もＭＺＩ光回路要素を多段に組み合わせることで、高性能化を実現することができる。
【０００３】
また、光導波路中に光回路要素を構成した光回路は、各種光回路要素を１つの基板上に集積化することができ、例えば、アレイ導波路型合分波器とＭＺＩ型光スイッチとを集積化することで、これらの光回路要素を別々に作った場合に比べて両光回路要素間を接続する光ファイバの取り回しがなくなり、小型に作ることができる。
【０００４】
【非特許文献１】
Ｋ．ＪｉｎｇｕｊｉａｎｄＭ．Ｋａｗａｃｈｉ，“Ｓｙｎｔｈｅｓｉｓｏｆｃｏｈｅｒｅｎｔｔｗｏ−ｐｏｒｔｌａｔｔｉｃｅ−ｆｏｒｍｏｐｔｉｃａｌｄｅｌａｙ−ｌｉｎｅｃｉｒｃｕｉｔ，”Ｊ．ＬｉｇｈｔｗａｖｅＴｅｃｈｎｏｌ．，ｖｏｌ．１３，ｐｐ．７３−８２，Ｊａｎ．１９９５．
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、図５のように光回路要素５１を多段に接続した光回路５０は、入射端５２から出射端５３までの光回路全体の特性が個々の光回路要素５１の特性の重ね合わせとして現れる。光回路要素５１が多段に接続された光回路５０において個々の光回路要素５１の特性を確認することは難しく、これらの光回路要素５１が調整の必要な光回路要素である場合、調整が困難となる。接続段数が多くなると調整が不可能になる場合もある。また、光回路要素５１を多段に接続した光回路５０中のいずれかの光回路要素５１に欠陥があった場合に、その欠陥のある光回路要素を特定することは難しい。
【０００６】
従来は、光回路要素５１間を繋いでいる光導波路素子５４を切断して個々の光回路要素５１に分離することで、欠陥を調査したり、調整することができたが、分離した光回路５０を多段接続の光回路５０に再生することはほぼ不可能であった。また、図６のように光回路要素６１を多段に接続した光回路６０中に予め光を分岐する光回路要素（カプラ６２及びタップ６３）を作り込んでおき、このタップ６３から個々の光回路要素６１の特性をモニタする方法もあった。しかし、タップ６３に分岐する光は本来の光回路６０にとって損失分になるため、モニタする光のパワーが小さいことが要求される。その一方で、個々の光回路要素６１の特性をよく把握するためには、タップ６３に分岐する光に十分大きいパワーが要求される。タップ６３に分岐する光を多くしたい及び少なくしたいという相反する２つの要求を同時に満たすことは困難である。
【０００７】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、調整時の光パワーが大きくとれ、調整後の光損失を少なくできる光回路の調整方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明は、光回路の光導波路に光を入射させ、取り出された光を参照しつつ該光回路内の調整箇所を調整する方法であって、上記光導波路中にこの光導波路に対して傾斜する溝を形成することにより、この光導波路へ入射してきた光を上記溝で反射させ、この反射の方向に参照用光導波路を形成することにより、上記溝で反射した光をこの参照用光導波路に導き、この参照用光導波路から取り出された光を参照しつつ上記溝より入射側の調整箇所で調整を行い、調整の終了後に上記溝に光反射を防止する反射防止材を充填するものである。
【０００９】
上記反射防止材の充填後、上記光導波路から出射された光を参照しつつ上記溝より出射側の調整箇所で調整を行ってもよい。
【００１０】
光の伝搬経路に沿って存在する複数の調整箇所を調整するときに、各調整箇所間に上記溝及び参照用光導波路をそれぞれ形成し、光の伝搬順に調整箇所の調整と溝への反射防止材の充填とを交互に行ってもよい。
【００１１】
上記溝の傾斜角度を光が全反射する角度としてもよい。
【００１２】
上記反射防止材として上記光導波路と屈折率が同等な材料を用いてもよい。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を添付図面に基づいて詳述する。
【００１４】
図１に示されるように、本発明に係る光回路の調整方法では、光導波路１中に溝２と参照用光導波路３とを形成する。溝２を形成したことにより、光導波路１は入射側光導波路４と出射側光導波路５に分離される。なお、この光回路は、基板６上に設けたクラッド７内にクラッド７とは屈折率の異なるコア８を設けることで実現されている。光導波路１はチャネル型導波路である。溝２には何も充填しない。光を吸収しない空気等の気体を充填すると考えてもよい。
【００１５】
溝２は光導波路１に対して傾斜させて設ける。その傾斜角度は光ができるだけ多く反射する、例えば、全反射する角度とする。参照用光導波路３は、溝２における反射の方向に設けて反射光に結合できるようにする。溝２には、屈折率が光導波路１（コア８）に近く溝２での光反射を防止することのできる屈折率整合剤、樹脂、低融点ガラス等の反射防止材を充填できるようにしておく。
【００１６】
光回路において図１の構成とした部分をモニタ回路部９と呼ぶことにする。
【００１７】
モニタ回路部９において、溝２に何も充填されていないときは、入射側光導波路４へ入射してきた光は溝２で全反射され、参照用光導波路３に導かれる。溝２に反射防止材を充填した後は、入射側光導波路４へ入射してきた光は反射されることなく出射側光導波路５に導かれる。
【００１８】
このモニタ回路部９を調整用ヒータ付き多段ＭＺＩ光回路に導入した実施形態を図２に示す。
【００１９】
この光回路２０は、ＭＺＩ光回路要素２１（２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ）を多段に接続したものである。ＭＺＩ光回路要素２１は、光路長の異なる２本の光導波路２２，２３のいずれか一方又は両方に調整用ヒータ２４を設け、これら光導波路２２，２３の両端をそれぞれ光合分波器２５でまとめたものである。各ＭＺＩ光回路要素２１は、隣接する光合分波器２５を共有して次々と接続されている。
【００２０】
入射端２６から入射した光は、ＭＺＩ光回路要素２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄを順に通過して出射端２７から出射される。各ＭＺＩ光回路要素２１の調整用ヒータ２４は、この光回路２０の中の調整箇所に相当する。従って、この光回路２０では、入射端２６から出射端２７までの光の伝搬経路に沿って複数の調整箇所が存在することになる。
【００２１】
この実施形態は、調整用ヒータ２４を設けた光導波路２３の調整用ヒータ２４より出射側に図１のようなモニタ回路部９を形成したものである。
【００２２】
図示のように、調整箇所である各調整用ヒータ２４間に溝２及び参照用光導波路３がそれぞれ形成されている。参照用光導波路３は光回路２０の適宜な端部まで延出されているので、参照用光導波路３に導かれた光を光回路２０の外部のモニタ装置に取り出すことは容易である。
【００２３】
なお、一段目のＭＺＩ光回路要素２１ａには、後述する手順から明らかなように、特にモニタ回路部９を形成しなくてもよい。
【００２４】
以下、光回路の調整手順を図２と図３により説明する。
【００２５】
まず、ステップＳ１において、全ての溝２に何も充填しない状態で入射端２６へ光を入射させると、この光はＭＺＩ光回路要素２１ａを経て二段目のＭＺＩ光回路要素２１ｂに入射される。この光はＭＺＩ光回路要素２１ｂの溝２で全反射されて参照用光導波路３に導かれる。そこで、このＭＺＩ光回路要素２１ｂの参照用光導波路３に外部のモニタ装置を光結合させておく。
【００２６】
ステップＳ２において、モニタ装置によりＭＺＩ光回路要素２１ａの特性をモニタすることができる。即ち、ＭＺＩ光回路要素２１ａからＭＺＩ光回路要素２１ｂに入射した光は、ＭＺＩ光回路要素２１ｂの中では入射側光導波路４へ入射し、溝２で全反射され、参照用光導波路３に導かれる。ＭＺＩ光回路要素２１ｂの調整用ヒータ２４は作用させない状態にしておくと、ステップＳ３において、一段目のＭＺＩ光回路要素２１ａの調整用ヒータ２４での調整のみによる特性変化をモニタしつつ、この一段目の調整をすることができる。
【００２７】
このようにして一段目のＭＺＩ光回路要素２１ａの調整を終えた後、ステップＳ４において、ＭＺＩ光回路要素２１ｂの溝２に反射防止材を充填する。この充填により、ＭＺＩ光回路要素２１ｂの入射側光導波路４へ入射した光は、溝２で反射されず出射側光導波路５に導かれる。この光は、三段目のＭＺＩ光回路要素２１ｃへ入射される。この光は、ＭＺＩ光回路要素２１ｃの中では入射側光導波路４へ入射し、溝２で全反射され、参照用光導波路３に導かれる。そこで、外部のモニタ装置をＭＺＩ光回路要素２１ｃの参照用光導波路３に光結合させる。
【００２８】
ステップＳ５において、モニタ装置でモニタされる光は一段目のＭＺＩ光回路要素２１ａを通った光であるから、ＭＺＩ光回路要素２１ａの特性にも影響されているが、ＭＺＩ光回路要素２１ａは既に調整済みであることから、この光をモニタしつつＭＺＩ光回路要素２１ｂを調整することは容易である。即ち、ＭＺＩ光回路要素２１ｃの調整用ヒータ２４は作用させない状態にしておき、ステップＳ６において、ＭＺＩ光回路要素２１ｂの調整用ヒータ２４での調整のみによる特性変化をモニタしつつ、この二段目の調整をすることができる。
【００２９】
このようにして二段目のＭＺＩ光回路要素２１ｂの調整を終えた後、ステップＳ７において、ＭＺＩ光回路要素２１ｃの溝２に反射防止材を充填する。この充填により、ＭＺＩ光回路要素２１ｃの入射側光導波路４へ入射した光は、溝２で反射されず出射側光導波路５に導かれる。
【００３０】
以下同様に、光の伝搬順に調整箇所である調整用ヒータ２４の調整と溝２への反射防止材の充填とを交互に行う。四段目のＭＺＩ光回路要素２１ｄに配置した参照用光導波路３からの光をモニタして三段目のＭＺＩ光回路要素２１ｃを調整した後は、溝２に反射防止材を充填すると出射端２７に光が導かれるようになるので、出射端２７にモニタ装置を光結合させるとよい。
【００３１】
以上の手順により伝搬順に調整箇所の調整と溝２への反射防止材の充填とを交互に行うことで、個々のＭＺＩ光回路要素２１の特性を容易に調整することができ、かつ全体の光回路２０も所望した特性に調整することができる。一般に、ＭＺＩ光回路要素２１が多段接続された光回路で所望の特性（例えば、波長損失特性）を得るためには、個々のＭＺＩ光回路要素２１の位相をそれぞれ独立に調整する必要がある。モニタ回路部９のない図５の従来技術では、全てのＭＺＩ光回路要素２１を通った光しかモニタできないので、個々のＭＺＩ光回路要素２１を調整することは不可能であったが、本発明では上記のように容易に調整することができる。
【００３２】
また、光を分岐する図６の従来技術では、モニタする光パワーの獲得と光回路にとっての光損失の抑制とが矛盾し合う問題があった。本発明では、調整時には入射光が全反射してモニタ装置に取り出されるのでモニタする光パワーは十分に大きくとれ、調整後には入射光が無反射で出射されるので光損失は少なくなる。
【００３３】
上記の実施形態では光回路要素をＭＺＩ光回路要素２１としたが他の種類の光回路要素であっても本発明は適用できる。
【００３４】
図１の光回路２０では、光導波路２３中の調整用ヒータ２４より出射側にモニタ回路部９を形成したが調整用ヒータ２４より入射側にモニタ回路部９を形成してもよい。
【００３５】
【発明の効果】
本発明は次の如き優れた効果を発揮する。
【００３６】
（１）調整時には光パワーが大きくとれ、しかも、調整後には光損失を少なくできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態を示す光回路のモニタ回路部の拡大透視図である。
【図２】本発明の一実施形態を示す調整用ヒータ付き多段ＭＺＩ光回路の平面視構成図である。
【図３】本発明の一実施形態を示す調整手順図である。
【図４】従来のインターリーブ光合分波器の平面視構成図である。
【図５】従来の光回路要素を多段に接続した光回路の平面視構成図である。
【図６】従来のカプラ及びタップを付けた光回路の平面視構成図である。
【符号の説明】
１光導波路
２溝
３参照用光導波路
９モニタ回路部
２１，２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄＭＺＩ光回路要素
２２，２３光導波路
２４調整用ヒータ[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an adjustment method of an optical circuit having an optical waveguide, and more particularly to an adjustment method of an optical circuit capable of obtaining a large optical power at the time of adjustment and reducing optical loss after the adjustment.
[0002]
[Prior art]
An optical circuit in which an optical circuit element is formed in an optical waveguide can realize a desired function or enhance the function by combining optical circuit elements of the same type or different types in multiple stages. For example, as described in Non-Patent Document 1, arbitrary wavelength loss characteristics can be realized by combining MZI optical circuit elements in multiple stages. As shown in FIG. 4, a signal 41 having a certain channel wavelength interval is demultiplexed into two signals 42, 42 whose wavelengths are shifted by the channel wavelength interval at twice the channel wavelength interval, or vice versa. An interleaved optical multiplexer / demultiplexer having a multiplexing function can also achieve high performance by combining MZI optical circuit elements in multiple stages.
[0003]
In an optical circuit having an optical circuit element formed in an optical waveguide, various optical circuit elements can be integrated on a single substrate. For example, an array waveguide type multiplexer / demultiplexer and an MZI type optical switch can be used. By integrating, compared to the case where these optical circuit elements are separately manufactured, the routing of the optical fiber connecting between the two optical circuit elements is eliminated, and the optical circuit element can be made compact.
[0004]
[Non-patent document 1]
K. Jinguji and M.J. Kawachi, "Synthesis of coherent two-port lattice-form optical delay-line circuit," LightwaveTechnol. , Vol. 13, pp. 73-82, Jan. 1995.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the optical circuit 50 in which the optical circuit elements 51 are connected in multiple stages as shown in FIG. 5, the characteristics of the entire optical circuit from the input end 52 to the output end 53 appear as a superposition of the characteristics of the individual optical circuit elements 51. It is difficult to confirm the characteristics of the individual optical circuit elements 51 in the optical circuit 50 in which the optical circuit elements 51 are connected in multiple stages. If these optical circuit elements 51 are optical circuit elements that need to be adjusted, adjustment is difficult. It becomes. Adjustment may not be possible if the number of connection stages increases. In addition, when any one of the optical circuit elements 51 in the optical circuit 50 in which the optical circuit elements 51 are connected in multiple stages has a defect, it is difficult to identify the defective optical circuit element.
[0006]
Conventionally, a defect can be investigated or adjusted by cutting the optical waveguide element 54 connecting the optical circuit elements 51 and separating the individual optical circuit elements 51, but the separated optical circuit It was almost impossible to reproduce the optical circuit 50 into the multistage connected optical circuit 50. Also, as shown in FIG. 6, an optical circuit element (coupler 62 and tap 63) for splitting light is previously formed in an optical circuit 60 in which optical circuit elements 61 are connected in multiple stages. There was also a method of monitoring the characteristics of the element 61. However, since the light branched to the tap 63 is a loss for the original optical circuit 60, the power of the monitored light is required to be small. On the other hand, in order to grasp the characteristics of each optical circuit element 61 well, a sufficiently large power is required for the light branched to the tap 63. It is difficult to simultaneously satisfy two contradictory requirements for increasing and decreasing the light branched to the tap 63.
[0007]
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the above-described problems and to provide an optical circuit adjustment method that can obtain a large optical power at the time of adjustment and can reduce optical loss after adjustment.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention is a method of adjusting light in an optical waveguide of an optical circuit, and adjusting an adjustment portion in the optical circuit while referring to the extracted light. By forming a groove inclined with respect to the optical waveguide, light incident on the optical waveguide is reflected by the groove, and by forming a reference optical waveguide in the direction of the reflection, the light is reflected by the groove. The light is guided to the reference optical waveguide, and adjustment is performed at an adjustment point on the incident side from the groove while referring to the light extracted from the reference optical waveguide, and a reflection for preventing light reflection to the groove after the adjustment is completed. It is to be filled with an inhibitor.
[0009]
After the antireflection material is filled, adjustment may be performed at an adjustment point on the emission side from the groove with reference to light emitted from the optical waveguide.
[0010]
When adjusting a plurality of adjustment points existing along the light propagation path, the groove and the reference optical waveguide are formed between the adjustment points, respectively, and the adjustment points are adjusted in the light propagation order and the reflection to the grooves is prevented. The filling of the material may be performed alternately.
[0011]
The inclination angle of the groove may be an angle at which light is totally reflected.
[0012]
A material having a refractive index equivalent to that of the optical waveguide may be used as the antireflection material.
[0013]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
[0014]
As shown in FIG. 1, in the method for adjusting an optical circuit according to the present invention, a groove 2 and a reference optical waveguide 3 are formed in an optical waveguide 1. By forming the groove 2, the optical waveguide 1 is separated into the incident-side optical waveguide 4 and the emission-side optical waveguide 5. Note that this optical circuit is realized by providing a core 8 having a different refractive index from the clad 7 in a clad 7 provided on the substrate 6. The optical waveguide 1 is a channel type waveguide. The groove 2 is not filled with anything. It may be considered to be filled with a gas such as air that does not absorb light.
[0015]
The groove 2 is provided to be inclined with respect to the optical waveguide 1. The inclination angle is an angle at which light is reflected as much as possible, for example, total reflection. The reference optical waveguide 3 is provided in the direction of reflection in the groove 2 so that it can be coupled to reflected light. The groove 2 can be filled with an antireflection material such as a refractive index matching agent, a resin, and a low-melting glass, which has a refractive index close to that of the optical waveguide 1 (core 8) and can prevent light reflection in the groove 2. deep.
[0016]
The portion of the optical circuit having the configuration shown in FIG. 1 is referred to as a monitor circuit section 9.
[0017]
In the monitor circuit section 9, when nothing is filled in the groove 2, the light incident on the incident-side optical waveguide 4 is totally reflected by the groove 2 and guided to the reference optical waveguide 3. After the groove 2 is filled with the anti-reflection material, the light incident on the incident side optical waveguide 4 is guided to the emission side optical waveguide 5 without being reflected.
[0018]
FIG. 2 shows an embodiment in which the monitor circuit section 9 is introduced into a multi-stage MZI optical circuit with an adjustment heater.
[0019]
This optical circuit 20 has MZI optical circuit elements 21 (21a, 21b, 21c, 21d) connected in multiple stages. In the MZI optical circuit element 21, an adjusting heater 24 is provided in one or both of two optical waveguides 22 and 23 having different optical path lengths, and both ends of the optical waveguides 22 and 23 are combined by an optical multiplexer / demultiplexer 25. It is a thing. Each of the MZI optical circuit elements 21 is connected one after another while sharing an adjacent optical multiplexer / demultiplexer 25.
[0020]
Light incident from the incident end 26 passes through the MZI optical circuit elements 21a, 21b, 21c, and 21d in order, and is emitted from the emission end 27. The adjustment heater 24 of each MZI optical circuit element 21 corresponds to an adjustment location in the optical circuit 20. Therefore, in this optical circuit 20, a plurality of adjustment points exist along the light propagation path from the incident end 26 to the emission end 27.
[0021]
In this embodiment, the monitor circuit section 9 as shown in FIG. 1 is formed on the light emitting side of the optical waveguide 23 provided with the adjustment heater 24 from the adjustment heater 24.
[0022]
As shown in the drawing, the groove 2 and the reference optical waveguide 3 are formed between the respective adjustment heaters 24 which are the adjustment locations. Since the reference optical waveguide 3 extends to an appropriate end of the optical circuit 20, it is easy to extract the light guided to the reference optical waveguide 3 to a monitor device outside the optical circuit 20.
[0023]
It should be noted that the monitor circuit section 9 need not be formed in the first-stage MZI optical circuit element 21a, as is apparent from the procedure described later.
[0024]
Hereinafter, the adjustment procedure of the optical circuit will be described with reference to FIGS.
[0025]
First, in step S1, when light is incident on the incident end 26 without filling all the grooves 2, the light is incident on the second-stage MZI optical circuit element 21b via the MZI optical circuit element 21a. . This light is totally reflected by the groove 2 of the MZI optical circuit element 21 b and guided to the reference optical waveguide 3. Therefore, an external monitor device is optically coupled to the reference optical waveguide 3 of the MZI optical circuit element 21b.
[0026]
In step S2, the characteristics of the MZI optical circuit element 21a can be monitored by the monitor device. That is, light that has entered the MZI optical circuit element 21b from the MZI optical circuit element 21a enters the incident side optical waveguide 4 in the MZI optical circuit element 21b, is totally reflected by the groove 2, and is guided to the reference optical waveguide 3. I will When the adjustment heater 24 of the MZI optical circuit element 21b is not operated, in step S3, the characteristic change caused only by the adjustment by the adjustment heater 24 of the first MZI optical circuit element 21a is monitored. You can make eye adjustments.
[0027]
After the adjustment of the first-stage MZI optical circuit element 21a is completed in this way, in step S4, the groove 2 of the MZI optical circuit element 21b is filled with an anti-reflection material. By this filling, the light incident on the incident side optical waveguide 4 of the MZI optical circuit element 21b is guided to the emission side optical waveguide 5 without being reflected by the groove 2. This light is incident on the third-stage MZI optical circuit element 21c. This light enters the incident side optical waveguide 4 in the MZI optical circuit element 21 c, is totally reflected by the groove 2, and is guided to the reference optical waveguide 3. Therefore, an external monitor device is optically coupled to the reference optical waveguide 3 of the MZI optical circuit element 21c.
[0028]
In step S5, the light monitored by the monitor device is light that has passed through the first-stage MZI optical circuit element 21a, and is thus affected by the characteristics of the MZI optical circuit element 21a. Since the adjustment has been completed, it is easy to adjust the MZI optical circuit element 21b while monitoring this light. That is, the adjustment heater 24 of the MZI optical circuit element 21c is not operated, and in step S6, the characteristic change caused only by the adjustment by the adjustment heater 24 of the MZI optical circuit element 21b is monitored. Can be adjusted.
[0029]
After the adjustment of the second-stage MZI optical circuit element 21b is completed in this way, in step S7, the groove 2 of the MZI optical circuit element 21c is filled with an antireflection material. Due to this filling, the light incident on the incident side optical waveguide 4 of the MZI optical circuit element 21c is guided to the emission side optical waveguide 5 without being reflected by the groove 2.
[0030]
Similarly, adjustment of the adjustment heater 24, which is an adjustment point, and filling of the groove 2 with the antireflection material are alternately performed in the order of light propagation. After monitoring the light from the reference optical waveguide 3 disposed in the fourth stage MZI optical circuit element 21d and adjusting the third stage MZI optical circuit element 21c, when the groove 2 is filled with an anti-reflection material, the emission end Since the light is guided to the light emitting device 27, it is preferable to optically couple the monitor device to the light emitting end 27.
[0031]
By performing the adjustment of the adjustment portion and the filling of the groove 2 with the antireflection material alternately in the order of propagation according to the above procedure, the characteristics of the individual MZI optical circuit elements 21 can be easily adjusted, and the entire light The circuit 20 can also be adjusted to desired characteristics. Generally, in order to obtain desired characteristics (for example, wavelength loss characteristics) in an optical circuit in which the MZI optical circuit elements 21 are connected in multiple stages, it is necessary to adjust the phases of the individual MZI optical circuit elements 21 independently. In the prior art shown in FIG. 5 without the monitor circuit section 9, only the light passing through all the MZI optical circuit elements 21 can be monitored. Therefore, it is impossible to adjust each of the MZI optical circuit elements 21. Then, it can be easily adjusted as described above.
[0032]
Further, in the prior art shown in FIG. 6 for splitting light, there is a problem in which acquisition of optical power to be monitored and suppression of optical loss for an optical circuit are inconsistent. According to the present invention, during adjustment, the incident light is totally reflected and taken out to the monitor device, so that the monitoring optical power can be sufficiently large. After adjustment, the incident light is emitted without reflection, so that the optical loss is reduced.
[0033]
In the above embodiment, the optical circuit element is the MZI optical circuit element 21, but the present invention is applicable to other types of optical circuit elements.
[0034]
In the optical circuit 20 of FIG. 1, the monitor circuit section 9 is formed on the emission side of the adjustment heater 24 in the optical waveguide 23, but the monitor circuit section 9 may be formed on the incidence side of the adjustment heater 24.
[0035]
【The invention's effect】
The present invention exhibits the following excellent effects.
[0036]
(1) The optical power can be increased during the adjustment, and the optical loss can be reduced after the adjustment.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an enlarged perspective view of a monitor circuit section of an optical circuit according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view configuration diagram of a multi-stage MZI optical circuit with an adjustment heater according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is an adjustment procedure diagram showing an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a plan view of a conventional interleaved optical multiplexer / demultiplexer.
FIG. 5 is a plan view of an optical circuit in which conventional optical circuit elements are connected in multiple stages.
FIG. 6 is a plan view of an optical circuit with a conventional coupler and taps.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical waveguide 2 Groove 3 Reference optical waveguide 9 Monitor circuit sections 21, 21a, 21b, 21c, 21d MZI optical circuit elements 22, 23 Optical waveguide 24 Adjustment heater

Claims

光回路の光導波路に光を入射させ、取り出された光を参照しつつ該光回路内の調整箇所を調整する方法であって、上記光導波路中にこの光導波路に対して傾斜する溝を形成することにより、この光導波路へ入射してきた光を上記溝で反射させ、この反射の方向に参照用光導波路を形成することにより、上記溝で反射した光をこの参照用光導波路に導き、この参照用光導波路から取り出された光を参照しつつ上記溝より入射側の調整箇所で調整を行い、調整の終了後に上記溝に光反射を防止する反射防止材を充填することを特徴とする光回路の調整方法。A method in which light is made incident on an optical waveguide of an optical circuit, and an adjusting portion in the optical circuit is adjusted while referring to the extracted light, wherein a groove inclined with respect to the optical waveguide is formed in the optical waveguide. By doing so, the light that has entered the optical waveguide is reflected by the groove, and a reference optical waveguide is formed in the direction of the reflection, so that the light reflected by the groove is guided to the reference optical waveguide. Light is characterized in that adjustment is performed at an adjustment point on the incident side from the groove while referring to light extracted from the reference optical waveguide, and after the adjustment is completed, the groove is filled with an antireflection material for preventing light reflection. How to adjust the circuit.

上記反射防止材の充填後、上記光導波路から出射された光を参照しつつ上記溝より出射側の調整箇所で調整を行うことを特徴とする請求項１記載の光回路の調整方法。2. The method of adjusting an optical circuit according to claim 1, wherein after the antireflection material is filled, adjustment is performed at an adjustment point on the emission side from the groove with reference to light emitted from the optical waveguide.

光の伝搬経路に沿って存在する複数の調整箇所を調整するときに、各調整箇所間に上記溝及び参照用光導波路をそれぞれ形成し、光の伝搬順に調整箇所の調整と溝への反射防止材の充填とを交互に行うことを特徴とする請求項１又は２記載の光回路の調整方法。When adjusting a plurality of adjustment points existing along the light propagation path, the groove and the reference optical waveguide are formed between the adjustment points, respectively, and the adjustment points are adjusted in the light propagation order and the reflection to the grooves is prevented. 3. The method for adjusting an optical circuit according to claim 1, wherein the filling of the material is performed alternately.

上記溝の傾斜角度を光が全反射する角度とすることを特徴とする請求項１〜３いずれか記載の光回路の調整方法。4. The method for adjusting an optical circuit according to claim 1, wherein the inclination angle of the groove is an angle at which light is totally reflected.

上記反射防止材として上記光導波路と屈折率が同等な材料を用いることを特徴とする請求項１〜４いずれか記載の光回路の調整方法。The method for adjusting an optical circuit according to any one of claims 1 to 4, wherein a material having a refractive index equivalent to that of the optical waveguide is used as the antireflection material.