JP2004319866A - Flat panel supply device and flat panel tilting device - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、面積が大きく、薄い板状の部材(以下、フラットパネルと称す)を供給する供給装置、及びフラットパネルを傾倒させる傾倒装置、並びに搬送ライン内でフラットパネルを収蔵もしくは供給するバッファ機能に関する。より詳細には、工場内でフラットパネルを直立姿勢で搬送する搬送ラインに接して設けられ、フラットパネルを搬入および搬出するための供給装置に関する。また、直立姿勢のフラットパネルを傾倒させて水平姿勢にできる傾倒装置に関する。
【0002】
なお、本明細書のフラットパネルには、LCD(液晶ディスプレイ)、PDP(プラズマディスプレイ)、EL(電界発光ディスプレイ)、FED(電界放射ディスプレイ)等に用いられるガラス基板、また装飾用金属薄板、金属箔に高分子フィルムをラミネートした積層材などが含まれる。
【0003】
【従来の技術】
フラットパネルは、工場内で搬送ラインを介して搬送され、複数の場所(処理ステーション)で種々の処理を受ける。また、処理が完了した製品或いは半製品となったフラットパネルは、搬送ラインを介して所定位置に集合されて搬出される。近年、製品の歩留まり向上(コスト低減)等を図るために、このフラットパネルが大型化しているという状況にある。このようなフラットパネルの一例としては、LCD用ガラス基板がある。一般的なLCD用ガラス基板は、面積750mm×950mm、厚さ0.7mm程度である。このようにLCD用ガラス基板は、現状においても面積の大きさと比較して厚みがかなり薄い。そのため壊れ易く、撓みやすいので、取扱いには注意を要している。ところが、近い将来において、LCD用ガラス基板は面積がさらに大きく、例えば1300mm×1500mm、或いは1500mm×1800mmにまで大型化すると予想されている。
【0004】
上記のように大型化するフラットパネルも、各種の処理を施すために工場内の各所に搬送する必要がある。よって、工場内にコンベアを配備してフラットパネルを順次に搬送(枚葉搬送)したり、フラットパネルを一度に複数収納できるカセットを使用してAGV、RGV等による搬送(バッチ搬送)が行われる。ところが、フラットパネルが大型化してくると搬搬送中での撓みが顕著化し、また搬送設備の大型化が問題となる。
【0005】
LCD用ガラス基板などでは、その表面に傷が発生しないように、幅方向の端部を支持しながら搬送を行うことが必要であるので、大型化するに従って中央部が垂れ下がり撓みの発生が特に顕著となる。カセット内に収納したLCD用ガラス基板についても、同様に問題となる。さらに、フラットパネルが大型化することに伴って、カセットも大型のものに変更する必要がある。よって、設備およびコスト上の問題も発生する。
【0006】
上記のような問題に対しては、従来において、流体をフラットパネルの平面部に吹付けて浮上させ、非接触状態としフラットパネルを搬送する技術の提案が複数なされている。例えば特許文献1では、フラットパネルを直立姿勢にして搬送するシステムを開示している。特許文献1では、搬送面に多孔質体を臨ませ、この多孔質体から気体を縦姿のフラットパネルに吹付け、これら多孔質体とフラットパネルとの間に気体膜を形成して板面に対しては非接触を維持しつつ、下端部を搬送ローラで搬送する技術を提案している。この技術によると、フラットパネルを直立姿とするので、前述した撓みの発生を抑制できる。また、フラットパネルを寝かせた場合よりも、装置の占有面積を小さくすることもがきるので大型化したフラットパネルに対応したシステムとなっている。
【0007】
【特許文献1】
特開2002−308422号 公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献1に開示するシステムでは、多数の多孔質体が配置される。この多孔質体を形成するセラミック板は非常に高価であり、このシステムは、製造コストが増大するという問題がある。また、LCD用ガラス基板等はゴミやチリを所定値以下に抑えたクリーンルーム内で処理されており、クリーンルーム内の空気流は下方の一定方向に制御されている。ところが、特許文献1に開示するシステムでは、複数の多孔質体から圧力の高い多量の流体が噴出するので、クリーンルーム内の気流に乱れが生じて、クリーン度が維持できなくなるという問題を発生させてしまう。また、この方式ではフラットパネルの浮上量が微小であり、円滑な搬送の為にはセラミック板に高い平面度が要求されるので加工コストがさらに嵩むことになる。
【0009】
したがって、本発明の主な目的は、撓みの発生を抑制しつつ大型のフラットパネルを搬入出でき、また、クリーンルーム内の気流を乱すこともない、フラットパネル供給装置を提供することであり、また、他の目的はこのフラットパネル供給装置の自由度を高めることができる傾倒装置を合わせて提供することである。さらに他の目的はこれらを組み合わせたシステムを提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的は請求項1に記載するように、フラットパネルを鉛直状態よりも一方側に僅かに傾いた直立姿勢にして搬送する搬送ラインに接して配置されるフラットパネル供給装置であって、
複数の前記フラットパネルを、前記直立姿勢の状態で並列に保持可能としたカセット部と、
前記フラットパネルを搬入及び搬出する搬入出ライン上に設けられ、フラットパネルの下端に接し少なくともカセット収納位置まで搬送する搬送手段と、前記カセット収納位置にある前記フラットパネルの面に対向するように配置した板状部材と、前記フラットパネルと前記板状部材との間に下向きに流れる気体膜を生成させる気体膜生成手段と、前記カセット収納位置にある前記フラットパネルを前記カセット部に移載する移載機構とを備えた装置本体部とを、含むフラットパネル供給装置により達成できる。
【0011】
本発明によると、搬送手段によりカセット収納位置まで搬送された直立姿勢のフラットパネルは板状部材に対向するが、気体膜生成手段により形成される気体膜によって非接触状態とすることができる。この非接触状態で移載機構によりフラットパネルのカセット部への移載が行われるので、直立姿勢のフラットパネルに傷かつ接触による汚染や発塵が生じることなくカセット部内に収納できる。また、気体膜生成手段からは気体が下向きに少量だけ供給されているので、周囲の気流に乱れを生じさせない。よって、クリーンルーム等で用いても障害とならない。また、直立姿勢のフラットパネルを非接触に保持する程度の気流が気体膜生成手段から供給さればよいので、水平姿勢のフラットパネルを浮上させる場合よりも気体の供給量を抑制することができる。
【0012】
前記移載機構は、前記カセット部を前記搬送ラインの搬送方向と直交する方向に往復移動させるカセット移動手段と、前記搬送手段を上下動させる上下駆動手段とにより構成できる。上下駆動手段を駆動して搬送手段を退避させた状態で、カセット部を移動することでフラットパネルをカセット部内に円滑に移載できる。また、特に本発明の場合は、従来方式に比べて、フラットパネルの浮上量(板状部材から離す距離)を大きく、例えば対向させた板状部材から約3〜5mmも確保できる。よって、本発明で用いる板状部材は、加工により高い平面度とする必要がないのでコスト低減を図ることもできる。
【0013】
また、前記板状部材の上端は前記フラットパネルの上端よりも低く設定され、さらに前記気体膜生成手段は該気体膜生成手段から噴出した気体が上方に突出しているフラットパネルの上端部分に当たり下向きに導かれるように配置されていることが望ましい。
【0014】
また、前記カセット部は、少なくとも前記フラットパネルの下端を位置決めして保持する下端位置決め部材と、前記フラットパネルの上端位置を規定する上端位置規定部材とを含み、前記下端位置決め部材及び前記上端位置規定部材の少なくとも一方がフラットパネルの並列方向において移動可能に設定されていることが望ましい。このように構成すると、カセット部内のフラットパネルの傾斜状態を容易に調整できる。
【0015】
また、前記カセット部には、少なくともフラットパネルの両側端部を支持する支持棒を含み、前記フラットパネルは前記支持棒を介して直立姿勢状態に保持する構造を採用できる。このように、支持棒を用いてフラットパネル両端を保持すると、フラットパネルに係る負荷が軽減するので撓みの発生を抑制しつつ直立姿勢を維持できる。さらにフラットパネルの中央にもこの支持棒で保持すれば、より好ましい状態でこの直立姿勢を維持できる。
【0016】
なお、前記搬送手段はフラットパネルの下端に接する搬送コンベア、前記上下駆動手段は前記搬送コンベアを上下動させるアクチュエータとすることができる。
【0017】
本発明の他の目的は、請求項7に記載する、フラットパネルを鉛直状態よりも一方側に僅かに傾いた直立姿勢にして搬送する搬送ラインに接して配置されるフラットパネル傾倒装置であって、
前記フラットパネルの下端に接し前記搬送ラインから傾倒位置まで搬送する搬送手段と、前記傾倒位置にある前記フラットパネルの面に対向するように設けたパネル支持板と、前記パネル支持板を背面側に傾倒させる傾倒手段と、前記パネル支持板の上部に配置され、前記フラットパネルと前記パネル支持板との間に流れる気体膜を生成させる気体膜生成手段とを備えたフラットパネル傾倒装置によって達成される。
【0018】
本発明によると、搬送手段により傾倒位置まで搬送されたフラットパネルはパネル支持板に対向するが、気体膜生成手段により形成される気体膜によって非接触状態とすることができる。この非接触状態で傾倒手段によりフラットパネルが直立姿勢から水平姿勢に変換されるので、フラットパネルに傷かつ接触による汚染や発塵を生じることなく倒すことができる。また、傾倒前は気体膜生成手段からは下向きに供給されているので周囲の気流に乱れを生じさせないので、クリーンルーム等で用いても障害とならない。
【0019】
また、前記パネル支持板が複数の気体流通口を備えると共に、該パネル支持板の背面側に気体噴出手段をさらに備えて前記気体流通口から気体を噴出させる構造であることがより望ましい。そして、パネル支持板を傾倒させるときにおいて前記流体膜生成手段から前記気体噴出手段に切替え、前記気体流通口からの気体により気体膜を形成し、前記フラットパネルと該パネル支持板との非接触状態を保持するようにすれば、より安定してフラットパネルを直立姿勢から水平姿勢とすることができる。
【0020】
また、前記パネル支持板が、前記気体膜の流れ方向とは略直角な方向で間隔を持って複数に分割され、前記間隔に外部からのフラットパネル移載用部材を受入れ可能とした構造を採用することが望ましい。さらに、前記傾倒手段により、所定位置まで傾倒された前記フラットパネルの側端に接触して前記フラットパネルの幅方向での位置を修正する位置修正手段をさらに備えた構造とすることがさらに好ましい。
【0021】
さらに他の目的は、請求項11に記載する、複数のフラットパネルを、鉛直状態よりも一方側に僅かに傾いた直立姿勢の状態で並列に保持可能としたカセット部と、前記フラットパネルを搬入及び搬出する搬入出ライン上に設けられ、フラットパネルの下端に接し少なくともカセット収納位置まで搬送する第1搬送手段と、前記カセット収納位置にある前記フラットパネルの面に対向するように配置した板状部材と、前記フラットパネルと前記板状部材との間に下向きに流れる気体膜を生成させる第1気体膜生成手段と、前記カセット収納位置にある前記フラットパネルを前記カセット部に移載する移載機構とを含んで構成される装置本体部とを、備えたフラットパネル供給装置と、
前記フラットパネル供給装置の第1搬送手段から前記フラットパネルを受ける位置に配置され、前記フラットパネルの下端に接して傾倒位置まで搬送する第2搬送手段と、前記傾倒位置にある前記フラットパネルの面に対向するように設けたパネル支持板と、前記パネル支持板を背面側に傾倒させる傾倒手段と、前記パネル支持板の上部に配置され、前記フラットパネルと前記パネル支持板との間に流れる気体膜を生成させる第2気体膜生成手段とを備えたフラットパネル傾倒装置とを備えたフラットパネル供給システムによって達成できる。
【0022】
本発明によると、直立姿勢でフラットパネルを搬入及び搬出することができるフラットパネル供給装置に接して、フラットパネル傾倒装置が設けられているので、直立姿勢のフラットパネルを水平姿勢に容易に変換できる。よって、フラットパネルを水平姿勢で処理することが必要な場所で適用できるフラットパネル供給システムとして提供できる。
【0023】
なお、前記パネル支持板が複数の気体流通口を備えると共に、該パネル支持板の背面側に前記気体流通口から気体を噴出させる気体噴出手段をさらに備えた構成であることが望ましい。
【0024】
また、前記フラットパネル供給装置を、前記フラットパネルを直立姿勢にて搬送する搬送ラインに接して配置することができる。この場合に、前記フラットパネル供給装置及び搬送ラインを制御する制御部を設け、前記制御部は前記搬送ラインにより搬送される前記フラットパネルが過剰となるときには前記フラットパネル供給装置を駆動して前記カセット部内にフラットパネルを搬入し、搬送ラインにより搬送される前記フラットパネルが不足するときには前記フラットパネル供給装置を駆動して前記カセット部内のフラットパネルを搬出する制御を実行させることができる。
【0025】
また、前記フラットパネル傾倒装置を、水平姿勢となった前記フラットパネルを移載する移載装置に接して配置することができる。この場合に、前記フラットパネル供給装置及びフラットパネル傾倒装置を制御する制御部を設け、前記制御部は前記移載装置に向けて前記フラットパネルを供給するときに、前記フラットパネル供給装置を駆動して前記カセット部内のフラットパネルの搬出を行うと共に、前記フラットパネル傾倒装置を駆動してフラットパネルの傾倒を行う制御を実行させることができる。
【0026】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態に係るフラットパネル供給システムの実施例を説明する。本フラットパネル供給システムには、フラットパネル供給装置及びフラットパネル傾倒装置が含まれる。これらの詳細な構成を説明する前に、先ず本フラットパネル供給システム1の大略を図1を参照して説明する。図1は、本システム1とこれらに接して配置される周辺装置まで含んだレイアウト例を示した図である。
【0027】
フラットパネル供給装置2は、フラットパネルFPを直立姿勢で搬送する搬送ライン100に接して配置されている。なお、本発明とは直接関係がないので、この搬送ライン100の構成についての詳細な説明を省略するが、少なくともフラットパネルFPを直立姿勢にてFD方向に搬送し、本フラットパネル供給装置2に搬入できる構成を備えたものである。
【0028】
フラットパネル供給装置2は、搬送ライン100により搬送されるフラットパネルFPの搬送方向FDに対して直角な方向RDに移動するカセット3を備えている。カセット3はフラットパネルFPを直立姿勢状態にして並列に保持できる特別な構成を備えており、搬送ライン100から供給されるフラットパネルFPを順次、格納できる。このフラットパネル供給装置2の詳細な構成については後述する。なお、図1ではフラットパネル供給装置2は簡略化して示している。
【0029】
上記フラットパネル供給装置2に接して、フラットパネル傾倒装置4が配置されている。この傾倒装置4は前記フラットパネルFPの面に対向するように設けたパネル支持板5を備えている。このパネル支持板5は所定軸回りに回動可能に構成されており、直立姿勢と水平姿勢(ほぼ水平な姿勢)の状態が取れるように構成されている。この傾倒装置4は、上流側に位置する供給装置2からフラットパネルFPを受けて、フラットパネルFPを直立姿勢から水平姿勢に変換する。工場内では、フラットパネルFPを水平姿勢とすることが必要な場合が多々ある。よって、前述した供給装置2に接して、このような傾倒装置4を設けることで、供給装置2を適用する範囲を広げることができる。このフラットパネル傾倒装置4の詳細な構成についても後述する。
【0030】
図1では、上記傾倒装置4に接してフラットパネル移載装置6を配置したレイアウト例を示している。この移載装置6は水平姿勢となったパネル支持板5上からフラットパネルFPを一枚ずつ受取り他の場所に移載する。この移載装置6は、フラットパネルFPの授受するための移載ハンド7(フラットパネル移載用部材)を備えている。この移載ハンド7は、待機状態では積層状態であるがフラットパネルFPの授受するとき伸びて移載装置6から他の場所に移動させる。
【0031】
上記移載装置6の下流側には、さらに例示的に処理装置8が示されている。図1では、移載装置6の移載ハンド7が傾倒装置4のパネル支持板5上からフラットパネルFPを受け取った後で、移載ハンド7を伸ばして処理装置8内にフラットパネルFPを挿入した状態を示している。なお、処理装置8にて処理を受けたフラットパネルFPは、前述した説明とは逆方向に移動させて、供給装置2のカセット部3に格納するようにしてもよいし、また、図示しない設備を介して、処理装置8から更に他の場所に搬送するようにしてもよい。
【0032】
この図1に示した供給装置2及び傾倒装置4等は、CPUを含む制御装置9により全体的にコントロールされている。制御装置9は、図1に示すレイアウト構成を利用して種々の動作を実行する。上記で説明したフラットパネルFPの移載するときの制御としては、例えば供給装置2を駆動してカセット3内のフラットパネルFPの搬出を行うと共に、傾倒装置4を駆動してフラットパネルFPを傾倒させる制御を実行する。
【0033】
また、制御装置9は他の装置を駆動させず、フラットパネル供給装置2のみを駆動させる制御を実行することもでききる。例えば前記搬送ライン100により搬送されるフラットパネルFPが過剰となったときにフラットパネル供給装置2を駆動してカセット部3内にフラットパネルFPを搬入させる。その逆に、搬送ライン100で搬送しているフラットパネルFPが不足するときには供給装置2からフラットパネルFPを搬出する制御を実行する。制御装置9によりこのような制御が行われたときには、供給装置2はフラットパネルFPの供給量を調整する一種のバッファ装置として機能する。さらに、以下においてフラットパネル供給装置2及びフラットパネル傾倒装置4の詳細な構成を順に説明する。
【0034】
(フラットパネル供給装置)
図2から図4は、フラットパネル供給装置2について示した図である。図2は、フラットパネル供給装置2の全体構成を示した斜視図である。本供給装置2は基台21とその上にフレーム22を組んで形成した装置本体(装置本体部)20と、この装置本体20内に配置したカセット(カセット部)3とを含んでいる。基台21上には、カセット3を案内するための一対のレール23、23がフラットパネルFPの搬送方向FDとは直角な方向RDに向いて配置されている。このレール23の上には、カセット載置台26がレール23に対してスライド可能にセットされている。このカセット載置台26の底部には、ボールネジ25に係合するナット(図示せず)が固定されている。ボールネジ25は軸受を介して、両方向に回転するモータ24に接続されている。よって、モータ24の両方向への回転力がボールネジ25に伝達するので、カセット載置台26上のカセット3は方向RDに往復動可能となる。
【0035】
装置本体20の中央に位置するフレーム22CTの下部には、外部の搬送ライン100から搬入されるフラットパネルFPの面に対向するように一対の背面板(板状部材)27が固定配置されている。背面板27がこのように左右に分割された構成となっている理由はこの後の説明で明らかとなる。これら背面板27の下方には、その下端に接してフラットパネルFPを搬送する搬送コンベア28が配置されている。この搬送コンベア28は上下動するアクチュエータ29上に固定されている。このように搬送コンベア28を上下動させる構成としているのは、カセット3にフラットパネルFPを並列に格納するためである。この点については、この後に示す図3を参照して詳細に説明する。
【0036】
なお、本供給装置2にフラットパネルFPが搬入されるパネル搬入出位置PEPは、上流からフラットパネルFPを送出す搬送ライン100の排出位置と一致するように配置されている(図1参照)。また、搬送ライン100の搬送方向FDと、本供給装置2の搬入出ラインEOLとは一致する。上述した搬送コンベア28は、この搬入出ラインEOL上でフラットパネルFPの下端に接触する位置に配設されている。
【0037】
上記カセット3は略立方体を成すフレーム31を備えている。このカセット側のフレーム31と装置本体側のフレーム22とは、互いに干渉する事が無いように工夫されている。すなわち、カセット3が載置台26に載りレール23上を移動する際に、装置本体側のフレーム22と衝突することが無いように設計されている。この図2では、カセット3が最も前方に位置した状態を示している。カセット3のフレーム22上の参照符号PEは、カセット3が後退したときには参照符号PPの位置まで移動する。このカセット3は最も後退した位置から、フラットパネルFPを一枚ずつ格納して、前進する。よって、図2で示している位置は、カセット3にフラットパネルFPが並列に満載され、最も前進している状態である。
【0038】
図3は、図2におけるカセット3の内部構成が確認し易いように拡大して示した図である。この図3および先の図2を参照して、本フラットパネル供給装置2の細部に係る構成を説明する。装置本体20側のフレーム22CTの中央部から垂下する一対のフレーム22DWは、カセット3の空間内に配置されている。また、同様にフレーム22CTの両端から垂下するフレーム22DR、22DLもカセット3の空間内に配置されている。
【0039】
そして、前述した左右一対の背面板27は、それぞれ上記フレーム22DW、22DRおよびフレーム22DW、22LRに固定されている。この2つの背面板27の左右両端およびその間には、所定の空間が確保されている。この空間内には後述するカセット2内に設けられるパネル支持棒37A〜37Cが配置されている。このように設計することで、装置本体20側のフレーム22に対して、カセット3を干渉させることなく移動できるようにしている。
【0040】
つぎに、本供給装置2でカセット3内にフラットパネルFPを順次、並列に移載するための構成について説明する。カセット3の底部側では、底部フレーム31D上にフラットパネルFPの下端を位置決めする位置決め横棒(下端位置決め部材)32が固定されている。この位置決め横棒32は、フラットパネルFPの下端を位置決めし且つ安定に保持するため、両端および中央に3本(32A〜32C)が配置されている。この位置決め横棒32には、フラットパネルFPの下端を収納して保持する凹部33が長手方向に複数、形成されている。また、図2、図3ではカセット3は取外しできない構造を例示しているが、背面板27等の配置を変更することで、容易に着脱可能な構造とすることができる。この場合にはAGV等で他の装置へ移動させることもできるようになる。
【0041】
上記凹部33の各々の近傍からは、パネル支持棒37A〜37Cが立ち上がっている。ただし、この図3では、最後端に位置する3本だけを示している。各パネル支持棒37はヒンジ部を有して回動可能に固定されている。この部分の構成はこの後の図4で明らかにする。
【0042】
また、上部フレーム31Tには、パネル支持棒37A〜37Cの上端に当接する当接部材(上端位置規定部材)35が配置されている。この当接部材35は、パネル支持棒37A〜37Cの上端に当接して規制し、これらを鉛直状態より僅かに傾いた状態となるように保持する。よって、これら3本のパネル支持棒37A〜37Cにより、1枚のフラットパネルFPを直立姿勢にして支持できる。
【0043】
次に、外部から搬入されるフラットパネルFPを、位置決め横棒32上に乗せ、上記のようにパネル支持棒37A〜37Cで背面から保持した状態に移行させるための移載機構を説明する。フラットパネルFPは搬送ライン100から本供給装置2に向けて搬送される。この状態のフラットパネルFPを参照符号FP−1で示している。このフラットパネルFPは、搬入搬出ライン上にある搬送コンベア28によりカセット収納位置まで搬送される。ここで、カセット収納位置とは、フラットパネルFPがちょうど2つの背面板27に対向するように配置された位置である。この状態のフラットパネルFPを参照符号FP−2で示している。
【0044】
そして、本供給装置2はカセット収納位置にあるフラットパネルFPと背面板27とが接触しないように、即ち、非接触でフラットパネルFPを保持するための特徴的な構成を備えている。背面板27の各々の上部には、エア発生器39に接続されたエアパイプ38が配設されている。このエアパイプ38からは、斜め下向きにクリーンエアが噴出されている。これにより、背面板27とフラットパネルFPとの間には、これらを非接触に保つような下向きの気体膜が形成される。
【0045】
よって、フラットパネルFPが外部から搬入される状態となったときには、エアパイプ38から下向きのクリーンエアが噴出しており、フラットパネルFPがカセット収納位置に来たときには背面板27との非接触状態を形成できるように準備されている。なお、上記エア発生器39については、塵埃等のパーティクルを捕捉できるフィルタを内蔵すると共に、静電気の発生等を予防するイオン化されたエアを供給できるものを採用することが望ましい。
【0046】
上記のように気体膜で背面を保持された状態のフラットパネルFPは、その下端は搬送コンベア28により支持されている。このコンベア28はアクチュエータ29により上下動できるようになっている。よって、搬送コンベア28を上方に移動させた状態にして、カセット3を移動し位置決め横棒32の凹部33が搬入出ライン上に来るようにしてから、搬送コンベア28を下げると凹部33にフラットパネルFPの下端を収納できる。このような移載操作を繰り返すことにより、フラットパネルFPをカセット3内に並列に収納できる。
【0047】
図4(A)〜(D)は、カセット収納位置にあるフラットパネルFPを、カセット3の位置決め棒32上に移載させる様子を模式的に示した図である。なお、図4の各部符号は、図3で示したものと対応している。(A)は、アクチュエータ29により搬送コンベア28の位置が上昇され、フラットパネルFPの下端位置が位置決め横棒32よりも上方に位置した状態が示されている。なお、エアパイプ38は背面板27の上方から左下方に向け、クリーンエアを吹付けるようになっている。特に、背面板27はフラットパネルFPの上部側が幾分か突出するように設計されている。よって、エアパイプ38からの下向きエアは当初、フラットパネルFPの上端部に沿って下降してから、背面板27との間に入り確実に気体膜を形成する。
【0048】
(A)の状態からカセット3が左に移動されると、位置決め横棒32および上部フレーム31と共に当接部材35も左へ移動して、パネル支持棒37A〜37CがフラットパネルFPに接近する。(B)は、位置決め横棒32の凹部33が、フラットパネルFPの下端を受入れる位置に来た状態を示している。次の(C)は、アクチュエータ29を駆動して、搬送コンベア28を下降させてフラットパネルFPの下端を凹部33に収納した状態を示している。この(C)までの移載工程では、エアパイプ38から噴出する下向きのクリーンエアによりフラットパネルFPと背面板27との間に気体膜が形成され非接触状態が維持される。
【0049】
(D)では、カセット2がさらに左へ移動することで、このフラットパネルFPはカセット収納位置から前方にずれる。このとき、フラットパネルFPは気体膜により非接触で支持されている状態から、両端および中央のパネル支持棒37A〜37Cにより接触支持される状態に変わる。これらのパネル支持棒は、フラットパネルFPに僅かに接触するだけであるから、カセットに格納中にその表面に傷や接触による汚染が発生することは殆どない。図4ではパネル支持棒37A〜37Cの複数の小突起37bを設けた例を示している。このように構成すれば、フラットパネルFP表面との接触面積を抑制できる。
【0050】
この(D)状態から、搬送コンベア28は外部からフラットパネルFPを受ける初期位置に復帰される。上記(A)から(D)の工程を繰り返すことにより、カセット2内にフラットパネルFPが並列に移載される。上記工程では、フラットパネルFPがパネル支持棒37A〜37Cによる支持に切替えられるまで、エアパイプ38から噴出す下向きのクリーンエアによりフラットパネルFPと背面板27との間に気体膜が形成され非接触状態が維持される。よって、フラットパネルFPの表面がカセットへの移載作業で傷付いたり汚染されることが抑制できる。
【0051】
さらに、フラットパネルFPと背面板27との間に気体膜を形成させるためのエアパイプ38からの噴出しエアは下向きである。一般に工場内のクリーンルームでは、下向きの気流を生成させて塵埃等のパーティクルが舞い上がることがないように制御している。よって、本供給装置2を工場内に設置した場合、周辺の気流を乱すことが抑制できる。また、直立姿勢としたフラットパネルFPと背面板の間にエアを吹き込んで非接触状態を形成しているので、水平状態のフラットパネルFPを浮上させて非接触とする従来の装置よりもエア消費量を大幅に抑制できる。即ち、前記エア発生器39は従来のものよりも小型化することができる。また、図4(A)にのみで例示したが、例えば搬送コンベア28の周部に気体吸引装置36をさらに配置すると、パーティクルの発生をより確実に抑制できる。
【0052】
さらに、図4(A)を参照し、上述したフラットパネル供給装置2に関する好ましい構成例を説明する。図4(A)の左側で円内に示したのは、矢印X方向から見た上部フレーム31Tと当接部材35との断面図である。上部フレーム31Tの断面はチャンネル状の中空に形成され、当接部材35の一部がこの中空部分に嵌り込んでいる。これにより、当接部材35は上部フレーム31Tの長手方向に摺動自在である。また、当接部材35は固定ピン35aを差し込むことにより所定位置に固定できる。よって、当接部材35を上部フレーム31Tに沿って移動させ、所定位置に固定できる。その一方、パネル支持棒37A〜37Cは、その下端が位置決め横棒32に対してヒンジ32aにより回動自在に固定されている。このような構成とすることにより、位置決め横棒32の傾斜角を可変とすることができるので、必要に応じてフラットパネルFPの直立姿勢を調整できる。
【0053】
上記位置決め横棒32の構成に関連して、前述した背面板27の傾きを調整できるように構成しておけば、搬送ライン100から搬送されるフラットパネルFPの傾斜角に対応して、フラットパネルFPを受入れることができる好ましい供給装置2となる。
【0054】
なお、上記図4(A)では、カセット3の移動時にアクチュエータ29を駆動させて、搬送コンベア28を上昇させる例を説明した。しかし、搬送ライン100からフラットパネルFPを搬入する位置をカセット3の移動に障害とならない高めの位置に当初から設定しておけば、図4(A)の上昇工程を省略でき(C)で示す工程で搬送コンベア28を下降させるだけでよい。
【0055】
上記では、フラットパネルFPをカセット3に搬入する工程を説明したが、搬出する際にはこの工程を逆とすればよい。フラットパネルFPを搬送コンベア28上に配置した後は、図2に示すように必要に応じて、搬送ライン100方向又は傾倒装置4方向に搬出することができる。
【0056】
(フラットパネル傾倒装置)
さらに図5及び図6を参照して、フラットパネル傾倒装置4について説明する。図5は、フラットパネル傾倒装置4の全体構成を示した斜視図である。フレーム41内にパネル支持板5とこのパネル支持板5を傾倒させる傾倒機構を含んでいる。なお、参照符号90で示すのは、上流のフラットパネル供給装置2から搬送されるフラットパネルFPを傾倒位置まで送り込む、接続部である。この接続部90にも搬送コンベア92と支持板91が設けられている。
【0057】
本傾倒装置4は、台座51に固定されたパネル支持板5を備えている。台座51は回動軸52回りに回動可能とされ、上記フレーム41に固定されている。回動軸52は両方向に回転可能なモータ53に無端ベルト54を介して接続されている。よって、パネル支持板5は実線で示すように直立姿勢の状態と、傾倒した点線で示す水平姿勢とを取ることができるように構成されている。
【0058】
パネル支持板5は、前述した供給装置装2内の背面板27に類似した構成を備えている。すなわち、パネル支持板5の上部には下向きのクリーンエアを噴出すエアパイプ58が配設され、パネル支持板5は搬送されてきたフラットパネルFPの面に対向するように設定されている。なお、このエアパイプ58も、図3で示したエアパイプ38の場合と同様にエア発生器に接続されているが、図示を省略している。また、パネル支持板5の下方には、搬送コンベア59が配置されている。この搬送コンベア59がフラットパネルFPをパネル支持板5と対向する状態となる傾倒位置まで搬送する。
【0059】
ところで、本装置4のパネル支持板5は、5A〜5Dの4つに分割されている。これらの各パネル支持板5A〜5Dは間隔を持って配置されている。このように間隔を取った構成とすることにより、水平姿勢となったときのフラットパネルFPの外部への移載操作を容易化している。すなわち、図示するように移載装置6(図1参照)の移載ハンド7をこの間隔内で受入れるようにすることで、フラットパネルFPを移載ハンド7上に容易に移載できるようにしている。
【0060】
また、各パネル支持板5A〜5Dには、複数の気体流通口56が形成されている。各パネル支持板5A〜5Dの背部には、クリーンなエアを噴出すエア噴出装置57A〜57Dが固定されている。このエア噴出装置57A〜57Dで生成された所定圧のエアは、パネル支持板5A〜5Dが水平姿勢となったときにフラットパネルFPを浮上させるように、気体流通口56から均一に噴出すようになっている。なお、この気体流通口56からのエアの噴出しは、パネル支持板5の上部に設けたエアパイプ58からのエアの噴出しと関連付けて調整されている。この点については、後に示す図6に基づいて詳細に説明する。
【0061】
さらに、本傾倒装置4は好ましい構成として、パネル支持板5A〜5Dが水平姿勢となったときにフラットパネルFPの位置を修正する位置修正装置42が付加されている。この位置修正装置42は、図5に示すように、水平姿勢となったフラットパネルFPの両端に接触できる位置に一対配置されている。この位置修正装置42は、水平方向に所定長さ出没する接触片42aを備えており、フラットパネルFPが水平状態となったときに端部に接触して位置決めする。このような構成を備えることで、水平姿勢となったフラットパネルFPを定位置に正確に位置決めできるので、後の処理が円滑化できる。
【0062】
図6は、直立姿勢のフラットパネルFPが水平姿勢に傾倒される様子を模式的に示した図である。図6の各部符号は、図5で示したものと対応している。なお、この図でよく確認できるように、パネル支持板5A〜5Dの上部は外側に傾斜され、この上端部には各エアパイプ58A〜58Dが固定されている。このように構成することで、フラットパネルFPに下向きのクリーンエアを吹付け、パネル支持板5A〜5DとフラットパネルFPとの間に気体膜を形成することができる。
【0063】
フラットパネルFPが傾倒位置に来たときには、エアパイプ58A〜58Dから下向きのエアが噴出されており、非接触状態でパネル支持板5A〜5DがフラットパネルFPを支持する状態が形成されている。この状態から、パネル支持板5A〜5Dが回動軸52回り回転され傾倒状態に入る。このとき、傾倒状態に応じてエア噴出装置57A〜57Dが駆動されるようになっている。
【0064】
前述したところから明らかなように、エアパイプ58A〜58Dからのエアの噴出しは、直立姿勢のフラットパネルFPとパネル支持板5A〜5Dとが非接触状態を維持できる程度の気流でよい。しかし、フラットパネルFPが傾倒したときには、フラットパネルFPの重量に打ち勝って、フラットパネルFPを浮上させることができる気流が必要となる。よって、本装置4においては、パネル支持板5A〜5Dの傾倒状態に応じて、エアパイプ58A〜58Dのエアによる支持から、エア噴出装置57A〜57Dに基づく気体流通口56からのエア支持に切替えるようにしている。このように構成することで、直立姿勢のフラットパネルFPを円滑に水平姿勢とすることができる。
【0065】
図6ではフラットパネルFPの下端を支持する搬送コンベア59は定位置固定であり一緒に回転しない場合を例示している。ここでの図示は省略しているが、フラットパネルFPの下端を支持する部材によりパネル支持板5A〜5Dが傾倒する時に支持されるようになっている。なお、このような構成を採用せずに、パネル支持板5A〜5Dが傾倒する時にフラットパネルFPの下端を支持しながら搬送コンベア59が一緒に回転する構造としてもよい。
【0066】
上記傾倒工程では、フラットパネルFPがエア噴出装置57A〜57Dによる支持に切替えられるまで、エアパイプ58A〜58Dから噴出す下向きのクリーンエアにより気体膜が形成され非接触状態が維持される。よって、フラットパネルFPの表面が傷付くことが抑制できる。さらに、フラットパネルFPとパネル支持板5A〜5Dとの間に気体膜を形成させるためのエアパイプ58A〜58Dからの噴出しエアは下向きである。本傾倒装置4も前記本供給装置2の場合と同様に工場内に設置した場合に、周辺の気流を乱すことを抑制できる。また、エア噴出装置57A〜57Dが駆動されるのは、フラットパネルFPを水平姿勢とした場合であり、そのエアはフラットパネルFP下面に吹付けられているので、周辺の気流を乱すことは殆どない。
【0067】
図5及び図6で示した、フラットパネル傾倒装置は好ましい構成としてエア噴出装置57を設けている。そして、フラットパネルの傾倒時にエアの噴出しをエアパイプ58から、このエア噴出装置57に基づく気体流通口56に切替えている。しかし、エア噴出装置57を設けずに、エアパイプ58から噴出させるエアの出力を増加させてフラットパネルFPの傾倒を行う構成を採用してもよい。この場合には、パネル支持板5A〜5Dに気体流通口56を設ける必要はない。
【0068】
また、先に図1に示したレイアウトは単なる一例であって、本発明はこれにより限定されるものではない。すなわち、前述したようにフラットパネル供給装置2とフラットパネル傾倒装置4とを、隣接配置することにより好ましい効果を得ることができる。しかし、これらは単独で使用しても各々が独自の効果を奏する。フラットパネル供給装置を工場内の搬送ラインの途中に設けた場合、必要に応じてフラットパネルを保管し、又供給できるストック装置として機能する。この場合、フラットパネルの搬入側から搬出したり、搬入側とは反対側から搬出することもできる。よって、搬送ラインの自由度を増すことができる。
【0069】
また、上記フラットパネル供給装置は複数、隣接配置してもよい。このように構成すると、フラットパネルの保管能力を向上させることができる。この場合、中間に位置するフラットパネル供給装置は隣接する上流のフラットパネル供給装置の搬送コンベア(搬送手段)からフラットパネルを受ける。すなわち、下流に位置するフラットパネル供給装置から見ると、搬送ラインは上流に位置する供給装置の搬送コンベアとなる。すなわち、本明細書で言う、搬送ラインは工場内に長く設定されたラインばかりでなく、隣接する装置の搬送コンベア等が含まれる広い概念である。また、フラットパネル傾倒装置4を単独で図1に示す搬送ライン100に接続するように構成してもよい。
【0070】
以上本発明の好ましい一実施形態について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更・組合せが可能である。
【0071】
【発明の効果】
以上詳述したところから明らかなように、本発明によれば、フラットパネルが直立姿勢とされるので撓みの発生を抑制できる。また、フラットパネルの姿勢を保持する板状の部材との間は、気流膜が形成され非接触が維持されているのでフラットパネルが傷付くことや接触による汚染を防止できる。
【0072】
さらに、気体膜を生成させる気体膜生成手段からは、下向きに気体が供給されているので、周囲の気流に乱れを生じさせない。よって、クリーンルーム等で用いても障害とならない。また、直立姿勢のフラットパネルを非接触に保持する程度の気流が気体膜生成手段から供給さればよいので、水平姿勢のフラットパネルを浮上させる場合よりも気体の供給量を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例のフラットパネル供給システムの大略を説明するため、このシステムを含むレイアウト例を示した図である。
【図2】フラットパネル供給装置の全体構成を示した斜視図である。
【図3】図2におけるカセットの内部構成が確認し易いように拡大して示した図である。
【図4】カセット収納位置にあるフラットパネルを、カセットの位置決め棒上に移載させる様子を模式的に示した図である。
【図5】フラットパネル傾倒装置の全体構成を示した斜視図である。
【図6】直立姿勢のフラットパネルが水平姿勢に傾倒される様子を模式的に示した図である。
【符号の説明】
1 フラットパネル供給システム
2 フラットパネル供給装置
3 カセット(カセット部)
4 フラットパネル傾倒装置
5 パネル支持板
6 移載装置
7 移載ハンド(フラットパネル移載用部材)
8 処理装置
9 制御装置(制御部)
20 装置本体(装置本体部)
27 背面板(板状部材)
28、59 搬送コンベア(搬送手段)
29 アクチュエータ(移載機構、上下駆動手段)
32 位置決め横棒(下端位置決め部材)
35 当接部材(上端位置規定部材)
37 パネル支持棒(支持棒)
38、58 エアパイプ(気体膜生成手段)
39 エア発生器(気体膜生成手段)
42 位置修正装置
56 気体流通口
57 エア噴出装置(気体噴出手段)
100 搬送ライン
FP フラットパネル
EOL 搬入出ライン[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a supply device for supplying a thin plate-shaped member (hereinafter, referred to as a flat panel) having a large area, a tilting device for tilting the flat panel, and a buffer function for storing or supplying the flat panel in a transport line. About. More specifically, the present invention relates to a supply device that is provided in contact with a transport line that transports a flat panel in an upright posture in a factory, and that is used for loading and unloading the flat panel. Further, the present invention relates to a tilting device that can tilt a flat panel in an upright posture to a horizontal posture.
[0002]
Note that the flat panel in this specification includes a glass substrate used for LCD (liquid crystal display), PDP (plasma display), EL (electroluminescent display), FED (field emission display), etc. Laminated materials obtained by laminating a polymer film on a foil are included.
[0003]
[Prior art]
The flat panel is transported through a transport line in a factory, and undergoes various processes at a plurality of locations (processing stations). Further, the processed or semi-finished flat panel is assembled at a predetermined position via a transport line and is carried out. In recent years, in order to improve the yield of products (reduce costs) and the like, the size of this flat panel has been increasing. One example of such a flat panel is a glass substrate for LCD. A general LCD glass substrate has an area of about 750 mm × 950 mm and a thickness of about 0.7 mm. As described above, the glass substrate for LCD is still considerably thinner at present than the size of the area. Therefore, it is fragile and easy to bend, so that care must be taken in handling. However, in the near future, the LCD glass substrate is expected to have a larger area, for example, up to 1300 mm × 1500 mm or 1500 mm × 1800 mm.
[0004]
It is necessary to transport the flat panel which has been increased in size as described above to various places in the factory in order to perform various processes. Therefore, a conveyor is arranged in the factory to sequentially transport flat panels (sheet-by-sheet transport), or transport by AGV, RGV, etc. (batch transport) using a cassette capable of storing a plurality of flat panels at once. . However, when the size of the flat panel is increased, the bending during the conveyance becomes conspicuous, and an increase in the size of the conveyance equipment becomes a problem.
[0005]
In the case of LCD glass substrates and the like, it is necessary to convey while supporting the edges in the width direction so as not to cause scratches on the surface. It becomes. LCD glass substrates housed in a cassette also pose a similar problem. Further, as the flat panel becomes larger, the cassette needs to be changed to a larger one. Therefore, problems in equipment and cost also occur.
[0006]
In order to solve the above-mentioned problems, conventionally, there have been proposed a plurality of techniques for spraying a fluid onto a flat portion of a flat panel to float the flat panel so as to bring the flat panel into a non-contact state and transport the flat panel. For example,
[0007]
[Patent Document 1]
JP 2002-308422 A
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the system disclosed in
[0009]
Therefore, a main object of the present invention is to provide a flat panel supply device that can carry in and out a large flat panel while suppressing the occurrence of bending, and that does not disturb the airflow in a clean room. Another object of the present invention is to provide a tilting device that can increase the degree of freedom of the flat panel supply device. Still another object is to provide a system combining these.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
The object is a flat panel supply device disposed in contact with a transport line that transports a flat panel in an upright posture slightly inclined to one side from a vertical state, as described in
A cassette unit capable of holding the plurality of flat panels in parallel in the upright posture,
A transport unit provided on a loading / unloading line for loading and unloading the flat panel and in contact with a lower end of the flat panel and transporting the flat panel to at least a cassette storage position; and disposed so as to face the flat panel surface at the cassette storage position. A plate member, a gas film generating means for generating a gas film flowing downward between the flat panel and the plate member, and a transfer for transferring the flat panel at the cassette storage position to the cassette portion. And a device main body provided with a mounting mechanism.
[0011]
According to the present invention, the flat panel in the upright posture transported to the cassette storage position by the transporting unit faces the plate-shaped member, but can be brought into a non-contact state by the gas film formed by the gas film generating unit. In this non-contact state, the flat panel is transferred to the cassette section by the transfer mechanism, so that the flat panel in the upright posture can be stored in the cassette section without causing scratches, contamination or dust due to contact. In addition, since a small amount of gas is supplied downward from the gas film generation means, the surrounding airflow is not disturbed. Therefore, even if it is used in a clean room or the like, it does not become an obstacle. In addition, since the gas film generation means only needs to supply an airflow that keeps the flat panel in the upright position in a non-contact manner, the amount of gas supply can be suppressed as compared with the case where the flat panel in the horizontal position is levitated.
[0012]
The transfer mechanism may include a cassette moving unit that reciprocates the cassette unit in a direction perpendicular to the transfer direction of the transfer line, and a vertical drive unit that moves the transfer unit up and down. The flat panel can be smoothly transferred into the cassette unit by moving the cassette unit while the transport unit is retracted by driving the vertical driving unit. In particular, in the case of the present invention, the floating amount of the flat panel (the distance from the plate member) is larger than that of the conventional method, and for example, about 3 to 5 mm can be secured from the opposed plate member. Therefore, the plate-shaped member used in the present invention does not need to be processed to have a high flatness, so that the cost can be reduced.
[0013]
In addition, the upper end of the plate-shaped member is set lower than the upper end of the flat panel, and the gas film generation unit hits the upper end portion of the flat panel where the gas ejected from the gas film generation unit projects upward and faces downward. It is desirable that they are arranged so as to be guided.
[0014]
Further, the cassette portion includes at least a lower end positioning member that positions and holds a lower end of the flat panel, and an upper end position defining member that defines an upper end position of the flat panel, and the lower end positioning member and the upper end position defining member. It is desirable that at least one of the members is set to be movable in the parallel direction of the flat panel. According to this structure, the inclined state of the flat panel in the cassette unit can be easily adjusted.
[0015]
Further, the cassette section may include a support rod for supporting at least both side ends of the flat panel, and the flat panel may be configured to be held in an upright posture state via the support rod. In this manner, when the flat panel is held at both ends using the support rods, the load on the flat panel is reduced, so that the upright posture can be maintained while suppressing the occurrence of bending. Further, if the flat panel is held at the center by the support rod, the upright posture can be maintained in a more preferable state.
[0016]
The transporting means may be a transporting conveyor in contact with the lower end of the flat panel, and the up / down driving means may be an actuator for vertically moving the transporting conveyor.
[0017]
Another object of the present invention is a flat panel tilting device according to
A transport unit that is in contact with the lower end of the flat panel and transports from the transport line to the tilt position, a panel support plate provided to face the flat panel surface at the tilt position, and the panel support plate on the back side. This is achieved by a flat panel tilting device including tilting means for tilting and gas film generating means disposed on the panel support plate and generating a gas film flowing between the flat panel and the panel support plate. .
[0018]
According to the present invention, the flat panel transported to the inclined position by the transport unit faces the panel support plate, but can be brought into a non-contact state by the gas film formed by the gas film generation unit. In this non-contact state, the flat panel is changed from the upright posture to the horizontal posture by the tilting means, so that the flat panel can be knocked down without being scratched and causing contamination or dust due to contact. Also, before tilting, the gas is supplied downward from the gas film generating means, so that the surrounding airflow is not disturbed, so that it does not become an obstacle even when used in a clean room or the like.
[0019]
It is more preferable that the panel support plate has a plurality of gas flow ports, and further has a gas blowing means on the back side of the panel support plate so as to blow out gas from the gas flow ports. When the panel support plate is tilted, the fluid film generation unit is switched to the gas ejection unit, a gas film is formed by the gas from the gas flow port, and the non-contact state between the flat panel and the panel support plate. Is maintained, the flat panel can be more stably changed from the upright posture to the horizontal posture.
[0020]
Further, the panel supporting plate is divided into a plurality of parts at intervals in a direction substantially perpendicular to the flow direction of the gas film, and a structure is adopted in which the flat panel transfer member from the outside can be received at the interval. It is desirable to do. Further, it is further preferable that the tilting means further includes a position correcting means for correcting a position in the width direction of the flat panel by contacting a side end of the flat panel tilted to a predetermined position.
[0021]
Still another object of the present invention is to load the flat panel into a cassette unit according to claim 11, wherein the cassette unit is capable of holding a plurality of flat panels in parallel in an upright posture slightly inclined to one side from a vertical state. A first transporting means provided on a carry-in / out line for carrying out, carrying in contact with a lower end of the flat panel and transporting at least to a cassette storage position, and a plate-shaped member arranged to face a surface of the flat panel at the cassette storage position A member, first gas film generation means for generating a gas film flowing downward between the flat panel and the plate-shaped member, and transfer for transferring the flat panel at the cassette storage position to the cassette section A flat panel supply device, comprising: a device body configured to include a mechanism;
A second transporting means disposed at a position for receiving the flat panel from the first transporting means of the flat panel supply device and transporting the flat panel to a tilted position in contact with a lower end of the flat panel; and a surface of the flat panel at the tilted position A panel support plate provided so as to face the panel, tilting means for tilting the panel support plate to the rear side, and gas flowing between the flat panel and the panel support plate, which is disposed above the panel support plate. This can be achieved by a flat panel supply system that includes a flat panel tilting device that includes a second gas film generation unit that generates a film.
[0022]
According to the present invention, since the flat panel tilting device is provided in contact with the flat panel supply device capable of loading and unloading the flat panel in the upright position, the flat panel in the upright position can be easily converted to the horizontal position. . Therefore, it can be provided as a flat panel supply system applicable to a place where it is necessary to process the flat panel in a horizontal posture.
[0023]
It is preferable that the panel support plate has a plurality of gas circulation ports, and further includes gas ejection means for ejecting gas from the gas circulation ports on the back side of the panel support plate.
[0024]
Further, the flat panel supply device can be disposed in contact with a transport line that transports the flat panel in an upright posture. In this case, a control unit for controlling the flat panel supply device and the transport line is provided, and the control unit drives the flat panel supply device when the flat panel transported by the transport line becomes excessive, thereby controlling the cassette. When the flat panel conveyed by the conveyance line runs short, the control of driving the flat panel supply device to carry out the flat panel in the cassette unit can be executed.
[0025]
Further, the flat panel tilting device can be arranged in contact with a transfer device that transfers the flat panel in a horizontal posture. In this case, a control unit that controls the flat panel supply device and the flat panel tilting device is provided, and the control unit drives the flat panel supply device when supplying the flat panel toward the transfer device. Thus, the flat panel in the cassette section can be carried out, and the flat panel can be tilted by driving the flat panel tilting device.
[0026]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, an example of a flat panel supply system according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The present flat panel supply system includes a flat panel supply device and a flat panel tilting device. Before describing these detailed configurations, first, an outline of the present flat
[0027]
The flat
[0028]
The flat
[0029]
A flat
[0030]
FIG. 1 shows a layout example in which a flat panel transfer device 6 is arranged in contact with the
[0031]
Downstream of the transfer device 6, a
[0032]
The
[0033]
Further, the control device 9 can execute control for driving only the flat
[0034]
(Flat panel feeder)
2 to 4 are views showing the flat
[0035]
A pair of back plates (plate-like members) 27 are fixedly arranged below the frame 22CT located at the center of the apparatus
[0036]
Note that the panel loading / unloading position PEP where the flat panel FP is loaded into the
[0037]
The cassette 3 has a substantially
[0038]
FIG. 3 is an enlarged view showing the internal configuration of the cassette 3 in FIG. With reference to FIG. 3 and FIG. 2 described above, a detailed configuration of the flat
[0039]
The left and right
[0040]
Next, a configuration for sequentially transferring the flat panels FP in the cassette 3 in the
[0041]
From the vicinity of each of the
[0042]
In addition, a contact member (upper end position defining member) 35 that contacts the upper ends of the panel support bars 37A to 37C is disposed on the
[0043]
Next, a description will be given of a transfer mechanism for placing the flat panel FP carried in from the outside on the positioning
[0044]
The
[0045]
Therefore, when the flat panel FP is brought in from the outside, downward clean air is jetted from the
[0046]
The lower end of the flat panel FP whose back surface is held by the gas film as described above is supported by the
[0047]
FIGS. 4A to 4D are diagrams schematically showing a state in which the flat panel FP at the cassette storage position is transferred onto the
[0048]
When the cassette 3 is moved to the left from the state of (A), the
[0049]
In (D), when the
[0050]
From this state (D), the
[0051]
Further, the air jetted from the
[0052]
Further, with reference to FIG. 4A, a preferred configuration example regarding the above-described flat
[0053]
If the inclination of the
[0054]
4A described above, the example in which the
[0055]
In the above, the process of loading the flat panel FP into the cassette 3 has been described. However, when the flat panel FP is transported, the process may be reversed. After arranging the flat panel FP on the
[0056]
(Flat panel tilting device)
Further, the flat
[0057]
The
[0058]
The
[0059]
By the way, the
[0060]
Further, a plurality of
[0061]
Further, as a preferred configuration of the
[0062]
FIG. 6 is a diagram schematically illustrating a state in which the flat panel FP in the upright posture is tilted to the horizontal posture. 6 correspond to those shown in FIG. As can be clearly seen in this figure, the upper portions of the
[0063]
When the flat panel FP comes to the inclined position, downward air is blown from the
[0064]
As is clear from the above description, the jet of air from the
[0065]
FIG. 6 illustrates a case where the
[0066]
In the tilting step, the gas film is formed by the downward clean air ejected from the
[0067]
The flat panel tilting device shown in FIGS. 5 and 6 has an air ejection device 57 as a preferable configuration. When the flat panel is tilted, the ejection of air is switched from the
[0068]
Further, the layout shown in FIG. 1 is merely an example, and the present invention is not limited thereto. That is, as described above, a favorable effect can be obtained by arranging the flat
[0069]
Further, a plurality of the flat panel supply devices may be arranged adjacent to each other. With this configuration, the storage capacity of the flat panel can be improved. In this case, the flat panel supply device located in the middle receives the flat panel from the transport conveyor (transportation means) of the adjacent upstream flat panel supply device. That is, when viewed from the flat panel supply device located downstream, the transport line is a transport conveyor of the supply device located upstream. That is, the transport line referred to in this specification is a broad concept that includes not only a line set long in a factory, but also a transport conveyor of an adjacent device. Further, the flat
[0070]
Although the preferred embodiment of the present invention has been described in detail above, the present invention is not limited to the specific embodiment, and various modifications may be made within the scope of the present invention described in the appended claims.・ Changes and combinations are possible.
[0071]
【The invention's effect】
As is apparent from the details described above, according to the present invention, the flat panel is in the upright posture, so that the occurrence of bending can be suppressed. Further, an airflow film is formed between the flat panel and a plate-like member that holds the attitude of the flat panel, and non-contact is maintained, so that damage to the flat panel and contamination due to contact can be prevented.
[0072]
Further, since the gas is supplied downward from the gas film generating means for generating the gas film, the surrounding air flow is not disturbed. Therefore, even if it is used in a clean room or the like, it does not become an obstacle. In addition, since the gas film generation means only needs to supply an airflow that keeps the flat panel in the upright position in a non-contact manner, the amount of gas supply can be suppressed as compared with the case where the flat panel in the horizontal position is levitated.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing an example of a layout including a flat panel supply system according to an embodiment, for explaining the outline of the system.
FIG. 2 is a perspective view showing an overall configuration of a flat panel supply device.
FIG. 3 is an enlarged view showing the internal configuration of the cassette in FIG. 2 so that it can be easily confirmed.
FIG. 4 is a diagram schematically showing a state in which a flat panel at a cassette storage position is transferred onto a positioning rod of the cassette.
FIG. 5 is a perspective view showing the entire configuration of the flat panel tilting device.
FIG. 6 is a diagram schematically illustrating a state in which a flat panel in an upright posture is tilted to a horizontal posture.
[Explanation of symbols]
1 Flat panel supply system
2 Flat panel feeder
3 cassette (cassette part)
4 Flat panel tilting device
5 Panel support plate
6 Transfer equipment
7 Transfer hand (Flat panel transfer member)
8 Processing equipment
9 control unit (control unit)
20 Main unit (main unit)
27 Back plate (plate member)
28, 59 Transport conveyor (transport means)
29 Actuator (transfer mechanism, vertical drive means)
32 Positioning bar (lower end positioning member)
35 Contact member (upper end position defining member)
37 Panel support rod (support rod)
38, 58 Air pipe (gas film generating means)
39 air generator (gas film generation means)
42 Position correction device
56 Gas flow port
57 Air ejection device (gas ejection means)
100 transfer line
FP flat panel
EOL loading / unloading line
Claims (16)
複数の前記フラットパネルを、前記直立姿勢の状態で並列に保持可能としたカセット部と、
前記フラットパネルを搬入及び搬出する搬入出ライン上に設けられ、フラットパネルの下端に接し少なくともカセット収納位置まで搬送する搬送手段と、前記カセット収納位置にある前記フラットパネルの面に対向するように配置した板状部材と、前記フラットパネルと前記板状部材との間に下向きに流れる気体膜を生成させる気体膜生成手段と、前記カセット収納位置にある前記フラットパネルを前記カセット部に移載する移載機構とを備えた装置本体部とを含む、ことを特徴とするフラットパネル供給装置。A flat panel supply device disposed in contact with a transport line that transports the flat panel in an upright posture slightly inclined to one side from a vertical state,
A cassette unit capable of holding the plurality of flat panels in parallel in the upright posture,
A transport unit provided on a loading / unloading line for loading and unloading the flat panel and in contact with a lower end of the flat panel and transporting the flat panel to at least a cassette storage position; and disposed so as to face a surface of the flat panel at the cassette storage position. A plate member, a gas film generating means for generating a gas film flowing downward between the flat panel and the plate member, and a transfer for transferring the flat panel at the cassette storage position to the cassette portion. A flat panel supply device, comprising: a device main body having a mounting mechanism.
前記フラットパネルの下端に接し前記搬送ラインから傾倒位置まで搬送する搬送手段と、前記傾倒位置にある前記フラットパネルの面に対向するように設けたパネル支持板と、前記パネル支持板を背面側に傾倒させる傾倒手段と、前記パネル支持板の上部に配置され、前記フラットパネルと前記パネル支持板との間に流れる気体膜を生成させる気体膜生成手段とを備えた、ことを特徴とするフラットパネル傾倒装置。A flat panel tilting device that is disposed in contact with a transport line that transports the flat panel in an upright posture slightly inclined to one side from a vertical state,
A transport unit that is in contact with the lower end of the flat panel and transports from the transport line to the tilt position, a panel support plate provided to face the flat panel surface at the tilt position, and the panel support plate on the back side. A flat panel, comprising: tilting means for tilting; and gas film generating means disposed on the panel support plate and generating a gas film flowing between the flat panel and the panel support plate. Tilt device.
前記フラットパネル供給装置の第1搬送手段から前記フラットパネルを受ける位置に配置され、前記フラットパネルの下端に接して傾倒位置まで搬送する第2搬送手段と、前記傾倒位置にある前記フラットパネルの面に対向するように設けたパネル支持板と、前記パネル支持板を背面側に傾倒させる傾倒手段と、前記パネル支持板の上部に配置され、前記フラットパネルと前記パネル支持板との間に流れる気体膜を生成させる第2気体膜生成手段とを備えたフラットパネル傾倒装置とを備えた、ことを特徴とするフラットパネル供給システム。A cassette section capable of holding a plurality of flat panels in parallel in an upright posture slightly inclined to one side from the vertical state, and a loading / unloading line for loading and unloading the flat panels; A first conveying unit that contacts the lower end of the flat panel and conveys at least to the cassette storage position; a plate-shaped member disposed so as to face the flat panel surface at the cassette storage position; and a flat panel and the plate-shaped member. An apparatus body configured to include a first gas film generation unit configured to generate a gas film flowing downward between the cassette unit and a transfer mechanism configured to transfer the flat panel at the cassette storage position to the cassette unit; , Equipped with a flat panel supply device,
A second transporting means disposed at a position for receiving the flat panel from the first transporting means of the flat panel supply device and transporting the flat panel to a tilted position in contact with a lower end of the flat panel; and a surface of the flat panel at the tilted position A panel support plate provided so as to face the panel, tilting means for tilting the panel support plate to the rear side, and gas flowing between the flat panel and the panel support plate, which is disposed above the panel support plate. A flat panel tilting device having a second gas film generating means for generating a film.
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- 2003-04-18 JP JP2003113764A patent/JP2004319866A/en active Pending
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