JP2004319866A

JP2004319866A - Flat panel supply device and flat panel tilting device

Info

Publication number: JP2004319866A
Application number: JP2003113764A
Authority: JP
Inventors: Hiroaki Kurihara; 弘明栗原; Yoshio Matsuda; 良雄松田; Nariyuki Nagura; 成之名倉; Sei Tochigi; 聖栩木
Original assignee: JT Engineering Inc; Nihon Sekkei Kogyo Co Ltd
Current assignee: JT Engineering Inc; Nihon Sekkei Kogyo Co Ltd
Priority date: 2003-04-18
Filing date: 2003-04-18
Publication date: 2004-11-11

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a flat panel supplying device for carrying in/out a large-sized flat panel in its erected attitude without disturbing the air current of the peripheral part. SOLUTION: This flat panel supplying device is provided with a cassette part 3 for holding a plurality of flat panels FP in parallel in their erected attitudes and a device body part 20 having a carrying means 28 arranged on a carriage in/out line EOL for carrying in/out the flat panel FP, and brought into contact with the lower edge of the flat panel FP for carrying the flat panel FP to at least a cassette storage position, a plate-shaped member 27 arranged so as to be faced to the face of the flat panel FP at the cassette storage position, a gas film generating means for generating a gas film running downward between the flat panel FP and the plate-shaped member 27 and a moving mechanism 29 for moving the flat panel FP at the cassette storage position to the cassette part 3. COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、面積が大きく、薄い板状の部材（以下、フラットパネルと称す）を供給する供給装置、及びフラットパネルを傾倒させる傾倒装置、並びに搬送ライン内でフラットパネルを収蔵もしくは供給するバッファ機能に関する。より詳細には、工場内でフラットパネルを直立姿勢で搬送する搬送ラインに接して設けられ、フラットパネルを搬入および搬出するための供給装置に関する。また、直立姿勢のフラットパネルを傾倒させて水平姿勢にできる傾倒装置に関する。
【０００２】
なお、本明細書のフラットパネルには、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）、ＰＤＰ（プラズマディスプレイ）、ＥＬ（電界発光ディスプレイ）、ＦＥＤ（電界放射ディスプレイ）等に用いられるガラス基板、また装飾用金属薄板、金属箔に高分子フィルムをラミネートした積層材などが含まれる。
【０００３】
【従来の技術】
フラットパネルは、工場内で搬送ラインを介して搬送され、複数の場所（処理ステーション）で種々の処理を受ける。また、処理が完了した製品或いは半製品となったフラットパネルは、搬送ラインを介して所定位置に集合されて搬出される。近年、製品の歩留まり向上（コスト低減）等を図るために、このフラットパネルが大型化しているという状況にある。このようなフラットパネルの一例としては、ＬＣＤ用ガラス基板がある。一般的なＬＣＤ用ガラス基板は、面積７５０ｍｍ×９５０ｍｍ、厚さ０．７ｍｍ程度である。このようにＬＣＤ用ガラス基板は、現状においても面積の大きさと比較して厚みがかなり薄い。そのため壊れ易く、撓みやすいので、取扱いには注意を要している。ところが、近い将来において、ＬＣＤ用ガラス基板は面積がさらに大きく、例えば１３００ｍｍ×１５００ｍｍ、或いは１５００ｍｍ×１８００ｍｍにまで大型化すると予想されている。
【０００４】
上記のように大型化するフラットパネルも、各種の処理を施すために工場内の各所に搬送する必要がある。よって、工場内にコンベアを配備してフラットパネルを順次に搬送（枚葉搬送）したり、フラットパネルを一度に複数収納できるカセットを使用してＡＧＶ、ＲＧＶ等による搬送（バッチ搬送）が行われる。ところが、フラットパネルが大型化してくると搬搬送中での撓みが顕著化し、また搬送設備の大型化が問題となる。
【０００５】
ＬＣＤ用ガラス基板などでは、その表面に傷が発生しないように、幅方向の端部を支持しながら搬送を行うことが必要であるので、大型化するに従って中央部が垂れ下がり撓みの発生が特に顕著となる。カセット内に収納したＬＣＤ用ガラス基板についても、同様に問題となる。さらに、フラットパネルが大型化することに伴って、カセットも大型のものに変更する必要がある。よって、設備およびコスト上の問題も発生する。
【０００６】
上記のような問題に対しては、従来において、流体をフラットパネルの平面部に吹付けて浮上させ、非接触状態としフラットパネルを搬送する技術の提案が複数なされている。例えば特許文献１では、フラットパネルを直立姿勢にして搬送するシステムを開示している。特許文献１では、搬送面に多孔質体を臨ませ、この多孔質体から気体を縦姿のフラットパネルに吹付け、これら多孔質体とフラットパネルとの間に気体膜を形成して板面に対しては非接触を維持しつつ、下端部を搬送ローラで搬送する技術を提案している。この技術によると、フラットパネルを直立姿とするので、前述した撓みの発生を抑制できる。また、フラットパネルを寝かせた場合よりも、装置の占有面積を小さくすることもがきるので大型化したフラットパネルに対応したシステムとなっている。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００２−３０８４２２号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１に開示するシステムでは、多数の多孔質体が配置される。この多孔質体を形成するセラミック板は非常に高価であり、このシステムは、製造コストが増大するという問題がある。また、ＬＣＤ用ガラス基板等はゴミやチリを所定値以下に抑えたクリーンルーム内で処理されており、クリーンルーム内の空気流は下方の一定方向に制御されている。ところが、特許文献１に開示するシステムでは、複数の多孔質体から圧力の高い多量の流体が噴出するので、クリーンルーム内の気流に乱れが生じて、クリーン度が維持できなくなるという問題を発生させてしまう。また、この方式ではフラットパネルの浮上量が微小であり、円滑な搬送の為にはセラミック板に高い平面度が要求されるので加工コストがさらに嵩むことになる。
【０００９】
したがって、本発明の主な目的は、撓みの発生を抑制しつつ大型のフラットパネルを搬入出でき、また、クリーンルーム内の気流を乱すこともない、フラットパネル供給装置を提供することであり、また、他の目的はこのフラットパネル供給装置の自由度を高めることができる傾倒装置を合わせて提供することである。さらに他の目的はこれらを組み合わせたシステムを提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的は請求項１に記載するように、フラットパネルを鉛直状態よりも一方側に僅かに傾いた直立姿勢にして搬送する搬送ラインに接して配置されるフラットパネル供給装置であって、
複数の前記フラットパネルを、前記直立姿勢の状態で並列に保持可能としたカセット部と、
前記フラットパネルを搬入及び搬出する搬入出ライン上に設けられ、フラットパネルの下端に接し少なくともカセット収納位置まで搬送する搬送手段と、前記カセット収納位置にある前記フラットパネルの面に対向するように配置した板状部材と、前記フラットパネルと前記板状部材との間に下向きに流れる気体膜を生成させる気体膜生成手段と、前記カセット収納位置にある前記フラットパネルを前記カセット部に移載する移載機構とを備えた装置本体部とを、含むフラットパネル供給装置により達成できる。
【００１１】
本発明によると、搬送手段によりカセット収納位置まで搬送された直立姿勢のフラットパネルは板状部材に対向するが、気体膜生成手段により形成される気体膜によって非接触状態とすることができる。この非接触状態で移載機構によりフラットパネルのカセット部への移載が行われるので、直立姿勢のフラットパネルに傷かつ接触による汚染や発塵が生じることなくカセット部内に収納できる。また、気体膜生成手段からは気体が下向きに少量だけ供給されているので、周囲の気流に乱れを生じさせない。よって、クリーンルーム等で用いても障害とならない。また、直立姿勢のフラットパネルを非接触に保持する程度の気流が気体膜生成手段から供給さればよいので、水平姿勢のフラットパネルを浮上させる場合よりも気体の供給量を抑制することができる。
【００１２】
前記移載機構は、前記カセット部を前記搬送ラインの搬送方向と直交する方向に往復移動させるカセット移動手段と、前記搬送手段を上下動させる上下駆動手段とにより構成できる。上下駆動手段を駆動して搬送手段を退避させた状態で、カセット部を移動することでフラットパネルをカセット部内に円滑に移載できる。また、特に本発明の場合は、従来方式に比べて、フラットパネルの浮上量（板状部材から離す距離）を大きく、例えば対向させた板状部材から約３〜５ｍｍも確保できる。よって、本発明で用いる板状部材は、加工により高い平面度とする必要がないのでコスト低減を図ることもできる。
【００１３】
また、前記板状部材の上端は前記フラットパネルの上端よりも低く設定され、さらに前記気体膜生成手段は該気体膜生成手段から噴出した気体が上方に突出しているフラットパネルの上端部分に当たり下向きに導かれるように配置されていることが望ましい。
【００１４】
また、前記カセット部は、少なくとも前記フラットパネルの下端を位置決めして保持する下端位置決め部材と、前記フラットパネルの上端位置を規定する上端位置規定部材とを含み、前記下端位置決め部材及び前記上端位置規定部材の少なくとも一方がフラットパネルの並列方向において移動可能に設定されていることが望ましい。このように構成すると、カセット部内のフラットパネルの傾斜状態を容易に調整できる。
【００１５】
また、前記カセット部には、少なくともフラットパネルの両側端部を支持する支持棒を含み、前記フラットパネルは前記支持棒を介して直立姿勢状態に保持する構造を採用できる。このように、支持棒を用いてフラットパネル両端を保持すると、フラットパネルに係る負荷が軽減するので撓みの発生を抑制しつつ直立姿勢を維持できる。さらにフラットパネルの中央にもこの支持棒で保持すれば、より好ましい状態でこの直立姿勢を維持できる。
【００１６】
なお、前記搬送手段はフラットパネルの下端に接する搬送コンベア、前記上下駆動手段は前記搬送コンベアを上下動させるアクチュエータとすることができる。
【００１７】
本発明の他の目的は、請求項７に記載する、フラットパネルを鉛直状態よりも一方側に僅かに傾いた直立姿勢にして搬送する搬送ラインに接して配置されるフラットパネル傾倒装置であって、
前記フラットパネルの下端に接し前記搬送ラインから傾倒位置まで搬送する搬送手段と、前記傾倒位置にある前記フラットパネルの面に対向するように設けたパネル支持板と、前記パネル支持板を背面側に傾倒させる傾倒手段と、前記パネル支持板の上部に配置され、前記フラットパネルと前記パネル支持板との間に流れる気体膜を生成させる気体膜生成手段とを備えたフラットパネル傾倒装置によって達成される。
【００１８】
本発明によると、搬送手段により傾倒位置まで搬送されたフラットパネルはパネル支持板に対向するが、気体膜生成手段により形成される気体膜によって非接触状態とすることができる。この非接触状態で傾倒手段によりフラットパネルが直立姿勢から水平姿勢に変換されるので、フラットパネルに傷かつ接触による汚染や発塵を生じることなく倒すことができる。また、傾倒前は気体膜生成手段からは下向きに供給されているので周囲の気流に乱れを生じさせないので、クリーンルーム等で用いても障害とならない。
【００１９】
また、前記パネル支持板が複数の気体流通口を備えると共に、該パネル支持板の背面側に気体噴出手段をさらに備えて前記気体流通口から気体を噴出させる構造であることがより望ましい。そして、パネル支持板を傾倒させるときにおいて前記流体膜生成手段から前記気体噴出手段に切替え、前記気体流通口からの気体により気体膜を形成し、前記フラットパネルと該パネル支持板との非接触状態を保持するようにすれば、より安定してフラットパネルを直立姿勢から水平姿勢とすることができる。
【００２０】
また、前記パネル支持板が、前記気体膜の流れ方向とは略直角な方向で間隔を持って複数に分割され、前記間隔に外部からのフラットパネル移載用部材を受入れ可能とした構造を採用することが望ましい。さらに、前記傾倒手段により、所定位置まで傾倒された前記フラットパネルの側端に接触して前記フラットパネルの幅方向での位置を修正する位置修正手段をさらに備えた構造とすることがさらに好ましい。
【００２１】
さらに他の目的は、請求項１１に記載する、複数のフラットパネルを、鉛直状態よりも一方側に僅かに傾いた直立姿勢の状態で並列に保持可能としたカセット部と、前記フラットパネルを搬入及び搬出する搬入出ライン上に設けられ、フラットパネルの下端に接し少なくともカセット収納位置まで搬送する第１搬送手段と、前記カセット収納位置にある前記フラットパネルの面に対向するように配置した板状部材と、前記フラットパネルと前記板状部材との間に下向きに流れる気体膜を生成させる第１気体膜生成手段と、前記カセット収納位置にある前記フラットパネルを前記カセット部に移載する移載機構とを含んで構成される装置本体部とを、備えたフラットパネル供給装置と、
前記フラットパネル供給装置の第１搬送手段から前記フラットパネルを受ける位置に配置され、前記フラットパネルの下端に接して傾倒位置まで搬送する第２搬送手段と、前記傾倒位置にある前記フラットパネルの面に対向するように設けたパネル支持板と、前記パネル支持板を背面側に傾倒させる傾倒手段と、前記パネル支持板の上部に配置され、前記フラットパネルと前記パネル支持板との間に流れる気体膜を生成させる第２気体膜生成手段とを備えたフラットパネル傾倒装置とを備えたフラットパネル供給システムによって達成できる。
【００２２】
本発明によると、直立姿勢でフラットパネルを搬入及び搬出することができるフラットパネル供給装置に接して、フラットパネル傾倒装置が設けられているので、直立姿勢のフラットパネルを水平姿勢に容易に変換できる。よって、フラットパネルを水平姿勢で処理することが必要な場所で適用できるフラットパネル供給システムとして提供できる。
【００２３】
なお、前記パネル支持板が複数の気体流通口を備えると共に、該パネル支持板の背面側に前記気体流通口から気体を噴出させる気体噴出手段をさらに備えた構成であることが望ましい。
【００２４】
また、前記フラットパネル供給装置を、前記フラットパネルを直立姿勢にて搬送する搬送ラインに接して配置することができる。この場合に、前記フラットパネル供給装置及び搬送ラインを制御する制御部を設け、前記制御部は前記搬送ラインにより搬送される前記フラットパネルが過剰となるときには前記フラットパネル供給装置を駆動して前記カセット部内にフラットパネルを搬入し、搬送ラインにより搬送される前記フラットパネルが不足するときには前記フラットパネル供給装置を駆動して前記カセット部内のフラットパネルを搬出する制御を実行させることができる。
【００２５】
また、前記フラットパネル傾倒装置を、水平姿勢となった前記フラットパネルを移載する移載装置に接して配置することができる。この場合に、前記フラットパネル供給装置及びフラットパネル傾倒装置を制御する制御部を設け、前記制御部は前記移載装置に向けて前記フラットパネルを供給するときに、前記フラットパネル供給装置を駆動して前記カセット部内のフラットパネルの搬出を行うと共に、前記フラットパネル傾倒装置を駆動してフラットパネルの傾倒を行う制御を実行させることができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態に係るフラットパネル供給システムの実施例を説明する。本フラットパネル供給システムには、フラットパネル供給装置及びフラットパネル傾倒装置が含まれる。これらの詳細な構成を説明する前に、先ず本フラットパネル供給システム１の大略を図１を参照して説明する。図１は、本システム１とこれらに接して配置される周辺装置まで含んだレイアウト例を示した図である。
【００２７】
フラットパネル供給装置２は、フラットパネルＦＰを直立姿勢で搬送する搬送ライン１００に接して配置されている。なお、本発明とは直接関係がないので、この搬送ライン１００の構成についての詳細な説明を省略するが、少なくともフラットパネルＦＰを直立姿勢にてＦＤ方向に搬送し、本フラットパネル供給装置２に搬入できる構成を備えたものである。
【００２８】
フラットパネル供給装置２は、搬送ライン１００により搬送されるフラットパネルＦＰの搬送方向ＦＤに対して直角な方向ＲＤに移動するカセット３を備えている。カセット３はフラットパネルＦＰを直立姿勢状態にして並列に保持できる特別な構成を備えており、搬送ライン１００から供給されるフラットパネルＦＰを順次、格納できる。このフラットパネル供給装置２の詳細な構成については後述する。なお、図１ではフラットパネル供給装置２は簡略化して示している。
【００２９】
上記フラットパネル供給装置２に接して、フラットパネル傾倒装置４が配置されている。この傾倒装置４は前記フラットパネルＦＰの面に対向するように設けたパネル支持板５を備えている。このパネル支持板５は所定軸回りに回動可能に構成されており、直立姿勢と水平姿勢（ほぼ水平な姿勢）の状態が取れるように構成されている。この傾倒装置４は、上流側に位置する供給装置２からフラットパネルＦＰを受けて、フラットパネルＦＰを直立姿勢から水平姿勢に変換する。工場内では、フラットパネルＦＰを水平姿勢とすることが必要な場合が多々ある。よって、前述した供給装置２に接して、このような傾倒装置４を設けることで、供給装置２を適用する範囲を広げることができる。このフラットパネル傾倒装置４の詳細な構成についても後述する。
【００３０】
図１では、上記傾倒装置４に接してフラットパネル移載装置６を配置したレイアウト例を示している。この移載装置６は水平姿勢となったパネル支持板５上からフラットパネルＦＰを一枚ずつ受取り他の場所に移載する。この移載装置６は、フラットパネルＦＰの授受するための移載ハンド７（フラットパネル移載用部材）を備えている。この移載ハンド７は、待機状態では積層状態であるがフラットパネルＦＰの授受するとき伸びて移載装置６から他の場所に移動させる。
【００３１】
上記移載装置６の下流側には、さらに例示的に処理装置８が示されている。図１では、移載装置６の移載ハンド７が傾倒装置４のパネル支持板５上からフラットパネルＦＰを受け取った後で、移載ハンド７を伸ばして処理装置８内にフラットパネルＦＰを挿入した状態を示している。なお、処理装置８にて処理を受けたフラットパネルＦＰは、前述した説明とは逆方向に移動させて、供給装置２のカセット部３に格納するようにしてもよいし、また、図示しない設備を介して、処理装置８から更に他の場所に搬送するようにしてもよい。
【００３２】
この図１に示した供給装置２及び傾倒装置４等は、ＣＰＵを含む制御装置９により全体的にコントロールされている。制御装置９は、図１に示すレイアウト構成を利用して種々の動作を実行する。上記で説明したフラットパネルＦＰの移載するときの制御としては、例えば供給装置２を駆動してカセット３内のフラットパネルＦＰの搬出を行うと共に、傾倒装置４を駆動してフラットパネルＦＰを傾倒させる制御を実行する。
【００３３】
また、制御装置９は他の装置を駆動させず、フラットパネル供給装置２のみを駆動させる制御を実行することもでききる。例えば前記搬送ライン１００により搬送されるフラットパネルＦＰが過剰となったときにフラットパネル供給装置２を駆動してカセット部３内にフラットパネルＦＰを搬入させる。その逆に、搬送ライン１００で搬送しているフラットパネルＦＰが不足するときには供給装置２からフラットパネルＦＰを搬出する制御を実行する。制御装置９によりこのような制御が行われたときには、供給装置２はフラットパネルＦＰの供給量を調整する一種のバッファ装置として機能する。さらに、以下においてフラットパネル供給装置２及びフラットパネル傾倒装置４の詳細な構成を順に説明する。
【００３４】
（フラットパネル供給装置）
図２から図４は、フラットパネル供給装置２について示した図である。図２は、フラットパネル供給装置２の全体構成を示した斜視図である。本供給装置２は基台２１とその上にフレーム２２を組んで形成した装置本体（装置本体部）２０と、この装置本体２０内に配置したカセット（カセット部）３とを含んでいる。基台２１上には、カセット３を案内するための一対のレール２３、２３がフラットパネルＦＰの搬送方向ＦＤとは直角な方向ＲＤに向いて配置されている。このレール２３の上には、カセット載置台２６がレール２３に対してスライド可能にセットされている。このカセット載置台２６の底部には、ボールネジ２５に係合するナット（図示せず）が固定されている。ボールネジ２５は軸受を介して、両方向に回転するモータ２４に接続されている。よって、モータ２４の両方向への回転力がボールネジ２５に伝達するので、カセット載置台２６上のカセット３は方向ＲＤに往復動可能となる。
【００３５】
装置本体２０の中央に位置するフレーム２２ＣＴの下部には、外部の搬送ライン１００から搬入されるフラットパネルＦＰの面に対向するように一対の背面板（板状部材）２７が固定配置されている。背面板２７がこのように左右に分割された構成となっている理由はこの後の説明で明らかとなる。これら背面板２７の下方には、その下端に接してフラットパネルＦＰを搬送する搬送コンベア２８が配置されている。この搬送コンベア２８は上下動するアクチュエータ２９上に固定されている。このように搬送コンベア２８を上下動させる構成としているのは、カセット３にフラットパネルＦＰを並列に格納するためである。この点については、この後に示す図３を参照して詳細に説明する。
【００３６】
なお、本供給装置２にフラットパネルＦＰが搬入されるパネル搬入出位置ＰＥＰは、上流からフラットパネルＦＰを送出す搬送ライン１００の排出位置と一致するように配置されている（図１参照）。また、搬送ライン１００の搬送方向ＦＤと、本供給装置２の搬入出ラインＥＯＬとは一致する。上述した搬送コンベア２８は、この搬入出ラインＥＯＬ上でフラットパネルＦＰの下端に接触する位置に配設されている。
【００３７】
上記カセット３は略立方体を成すフレーム３１を備えている。このカセット側のフレーム３１と装置本体側のフレーム２２とは、互いに干渉する事が無いように工夫されている。すなわち、カセット３が載置台２６に載りレール２３上を移動する際に、装置本体側のフレーム２２と衝突することが無いように設計されている。この図２では、カセット３が最も前方に位置した状態を示している。カセット３のフレーム２２上の参照符号ＰＥは、カセット３が後退したときには参照符号ＰＰの位置まで移動する。このカセット３は最も後退した位置から、フラットパネルＦＰを一枚ずつ格納して、前進する。よって、図２で示している位置は、カセット３にフラットパネルＦＰが並列に満載され、最も前進している状態である。
【００３８】
図３は、図２におけるカセット３の内部構成が確認し易いように拡大して示した図である。この図３および先の図２を参照して、本フラットパネル供給装置２の細部に係る構成を説明する。装置本体２０側のフレーム２２ＣＴの中央部から垂下する一対のフレーム２２ＤＷは、カセット３の空間内に配置されている。また、同様にフレーム２２ＣＴの両端から垂下するフレーム２２ＤＲ、２２ＤＬもカセット３の空間内に配置されている。
【００３９】
そして、前述した左右一対の背面板２７は、それぞれ上記フレーム２２ＤＷ、２２ＤＲおよびフレーム２２ＤＷ、２２ＬＲに固定されている。この２つの背面板２７の左右両端およびその間には、所定の空間が確保されている。この空間内には後述するカセット２内に設けられるパネル支持棒３７Ａ〜３７Ｃが配置されている。このように設計することで、装置本体２０側のフレーム２２に対して、カセット３を干渉させることなく移動できるようにしている。
【００４０】
つぎに、本供給装置２でカセット３内にフラットパネルＦＰを順次、並列に移載するための構成について説明する。カセット３の底部側では、底部フレーム３１Ｄ上にフラットパネルＦＰの下端を位置決めする位置決め横棒（下端位置決め部材）３２が固定されている。この位置決め横棒３２は、フラットパネルＦＰの下端を位置決めし且つ安定に保持するため、両端および中央に３本（３２Ａ〜３２Ｃ）が配置されている。この位置決め横棒３２には、フラットパネルＦＰの下端を収納して保持する凹部３３が長手方向に複数、形成されている。また、図２、図３ではカセット３は取外しできない構造を例示しているが、背面板２７等の配置を変更することで、容易に着脱可能な構造とすることができる。この場合にはＡＧＶ等で他の装置へ移動させることもできるようになる。
【００４１】
上記凹部３３の各々の近傍からは、パネル支持棒３７Ａ〜３７Ｃが立ち上がっている。ただし、この図３では、最後端に位置する３本だけを示している。各パネル支持棒３７はヒンジ部を有して回動可能に固定されている。この部分の構成はこの後の図４で明らかにする。
【００４２】
また、上部フレーム３１Ｔには、パネル支持棒３７Ａ〜３７Ｃの上端に当接する当接部材（上端位置規定部材）３５が配置されている。この当接部材３５は、パネル支持棒３７Ａ〜３７Ｃの上端に当接して規制し、これらを鉛直状態より僅かに傾いた状態となるように保持する。よって、これら３本のパネル支持棒３７Ａ〜３７Ｃにより、１枚のフラットパネルＦＰを直立姿勢にして支持できる。
【００４３】
次に、外部から搬入されるフラットパネルＦＰを、位置決め横棒３２上に乗せ、上記のようにパネル支持棒３７Ａ〜３７Ｃで背面から保持した状態に移行させるための移載機構を説明する。フラットパネルＦＰは搬送ライン１００から本供給装置２に向けて搬送される。この状態のフラットパネルＦＰを参照符号ＦＰ−１で示している。このフラットパネルＦＰは、搬入搬出ライン上にある搬送コンベア２８によりカセット収納位置まで搬送される。ここで、カセット収納位置とは、フラットパネルＦＰがちょうど２つの背面板２７に対向するように配置された位置である。この状態のフラットパネルＦＰを参照符号ＦＰ−２で示している。
【００４４】
そして、本供給装置２はカセット収納位置にあるフラットパネルＦＰと背面板２７とが接触しないように、即ち、非接触でフラットパネルＦＰを保持するための特徴的な構成を備えている。背面板２７の各々の上部には、エア発生器３９に接続されたエアパイプ３８が配設されている。このエアパイプ３８からは、斜め下向きにクリーンエアが噴出されている。これにより、背面板２７とフラットパネルＦＰとの間には、これらを非接触に保つような下向きの気体膜が形成される。
【００４５】
よって、フラットパネルＦＰが外部から搬入される状態となったときには、エアパイプ３８から下向きのクリーンエアが噴出しており、フラットパネルＦＰがカセット収納位置に来たときには背面板２７との非接触状態を形成できるように準備されている。なお、上記エア発生器３９については、塵埃等のパーティクルを捕捉できるフィルタを内蔵すると共に、静電気の発生等を予防するイオン化されたエアを供給できるものを採用することが望ましい。
【００４６】
上記のように気体膜で背面を保持された状態のフラットパネルＦＰは、その下端は搬送コンベア２８により支持されている。このコンベア２８はアクチュエータ２９により上下動できるようになっている。よって、搬送コンベア２８を上方に移動させた状態にして、カセット３を移動し位置決め横棒３２の凹部３３が搬入出ライン上に来るようにしてから、搬送コンベア２８を下げると凹部３３にフラットパネルＦＰの下端を収納できる。このような移載操作を繰り返すことにより、フラットパネルＦＰをカセット３内に並列に収納できる。
【００４７】
図４（Ａ）〜（Ｄ）は、カセット収納位置にあるフラットパネルＦＰを、カセット３の位置決め棒３２上に移載させる様子を模式的に示した図である。なお、図４の各部符号は、図３で示したものと対応している。（Ａ）は、アクチュエータ２９により搬送コンベア２８の位置が上昇され、フラットパネルＦＰの下端位置が位置決め横棒３２よりも上方に位置した状態が示されている。なお、エアパイプ３８は背面板２７の上方から左下方に向け、クリーンエアを吹付けるようになっている。特に、背面板２７はフラットパネルＦＰの上部側が幾分か突出するように設計されている。よって、エアパイプ３８からの下向きエアは当初、フラットパネルＦＰの上端部に沿って下降してから、背面板２７との間に入り確実に気体膜を形成する。
【００４８】
（Ａ）の状態からカセット３が左に移動されると、位置決め横棒３２および上部フレーム３１と共に当接部材３５も左へ移動して、パネル支持棒３７Ａ〜３７ＣがフラットパネルＦＰに接近する。（Ｂ）は、位置決め横棒３２の凹部３３が、フラットパネルＦＰの下端を受入れる位置に来た状態を示している。次の（Ｃ）は、アクチュエータ２９を駆動して、搬送コンベア２８を下降させてフラットパネルＦＰの下端を凹部３３に収納した状態を示している。この（Ｃ）までの移載工程では、エアパイプ３８から噴出する下向きのクリーンエアによりフラットパネルＦＰと背面板２７との間に気体膜が形成され非接触状態が維持される。
【００４９】
（Ｄ）では、カセット２がさらに左へ移動することで、このフラットパネルＦＰはカセット収納位置から前方にずれる。このとき、フラットパネルＦＰは気体膜により非接触で支持されている状態から、両端および中央のパネル支持棒３７Ａ〜３７Ｃにより接触支持される状態に変わる。これらのパネル支持棒は、フラットパネルＦＰに僅かに接触するだけであるから、カセットに格納中にその表面に傷や接触による汚染が発生することは殆どない。図４ではパネル支持棒３７Ａ〜３７Ｃの複数の小突起３７ｂを設けた例を示している。このように構成すれば、フラットパネルＦＰ表面との接触面積を抑制できる。
【００５０】
この（Ｄ）状態から、搬送コンベア２８は外部からフラットパネルＦＰを受ける初期位置に復帰される。上記（Ａ）から（Ｄ）の工程を繰り返すことにより、カセット２内にフラットパネルＦＰが並列に移載される。上記工程では、フラットパネルＦＰがパネル支持棒３７Ａ〜３７Ｃによる支持に切替えられるまで、エアパイプ３８から噴出す下向きのクリーンエアによりフラットパネルＦＰと背面板２７との間に気体膜が形成され非接触状態が維持される。よって、フラットパネルＦＰの表面がカセットへの移載作業で傷付いたり汚染されることが抑制できる。
【００５１】
さらに、フラットパネルＦＰと背面板２７との間に気体膜を形成させるためのエアパイプ３８からの噴出しエアは下向きである。一般に工場内のクリーンルームでは、下向きの気流を生成させて塵埃等のパーティクルが舞い上がることがないように制御している。よって、本供給装置２を工場内に設置した場合、周辺の気流を乱すことが抑制できる。また、直立姿勢としたフラットパネルＦＰと背面板の間にエアを吹き込んで非接触状態を形成しているので、水平状態のフラットパネルＦＰを浮上させて非接触とする従来の装置よりもエア消費量を大幅に抑制できる。即ち、前記エア発生器３９は従来のものよりも小型化することができる。また、図４（Ａ）にのみで例示したが、例えば搬送コンベア２８の周部に気体吸引装置３６をさらに配置すると、パーティクルの発生をより確実に抑制できる。
【００５２】
さらに、図４（Ａ）を参照し、上述したフラットパネル供給装置２に関する好ましい構成例を説明する。図４（Ａ）の左側で円内に示したのは、矢印Ｘ方向から見た上部フレーム３１Ｔと当接部材３５との断面図である。上部フレーム３１Ｔの断面はチャンネル状の中空に形成され、当接部材３５の一部がこの中空部分に嵌り込んでいる。これにより、当接部材３５は上部フレーム３１Ｔの長手方向に摺動自在である。また、当接部材３５は固定ピン３５ａを差し込むことにより所定位置に固定できる。よって、当接部材３５を上部フレーム３１Ｔに沿って移動させ、所定位置に固定できる。その一方、パネル支持棒３７Ａ〜３７Ｃは、その下端が位置決め横棒３２に対してヒンジ３２ａにより回動自在に固定されている。このような構成とすることにより、位置決め横棒３２の傾斜角を可変とすることができるので、必要に応じてフラットパネルＦＰの直立姿勢を調整できる。
【００５３】
上記位置決め横棒３２の構成に関連して、前述した背面板２７の傾きを調整できるように構成しておけば、搬送ライン１００から搬送されるフラットパネルＦＰの傾斜角に対応して、フラットパネルＦＰを受入れることができる好ましい供給装置２となる。
【００５４】
なお、上記図４（Ａ）では、カセット３の移動時にアクチュエータ２９を駆動させて、搬送コンベア２８を上昇させる例を説明した。しかし、搬送ライン１００からフラットパネルＦＰを搬入する位置をカセット３の移動に障害とならない高めの位置に当初から設定しておけば、図４（Ａ）の上昇工程を省略でき（Ｃ）で示す工程で搬送コンベア２８を下降させるだけでよい。
【００５５】
上記では、フラットパネルＦＰをカセット３に搬入する工程を説明したが、搬出する際にはこの工程を逆とすればよい。フラットパネルＦＰを搬送コンベア２８上に配置した後は、図２に示すように必要に応じて、搬送ライン１００方向又は傾倒装置４方向に搬出することができる。
【００５６】
（フラットパネル傾倒装置）
さらに図５及び図６を参照して、フラットパネル傾倒装置４について説明する。図５は、フラットパネル傾倒装置４の全体構成を示した斜視図である。フレーム４１内にパネル支持板５とこのパネル支持板５を傾倒させる傾倒機構を含んでいる。なお、参照符号９０で示すのは、上流のフラットパネル供給装置２から搬送されるフラットパネルＦＰを傾倒位置まで送り込む、接続部である。この接続部９０にも搬送コンベア９２と支持板９１が設けられている。
【００５７】
本傾倒装置４は、台座５１に固定されたパネル支持板５を備えている。台座５１は回動軸５２回りに回動可能とされ、上記フレーム４１に固定されている。回動軸５２は両方向に回転可能なモータ５３に無端ベルト５４を介して接続されている。よって、パネル支持板５は実線で示すように直立姿勢の状態と、傾倒した点線で示す水平姿勢とを取ることができるように構成されている。
【００５８】
パネル支持板５は、前述した供給装置装２内の背面板２７に類似した構成を備えている。すなわち、パネル支持板５の上部には下向きのクリーンエアを噴出すエアパイプ５８が配設され、パネル支持板５は搬送されてきたフラットパネルＦＰの面に対向するように設定されている。なお、このエアパイプ５８も、図３で示したエアパイプ３８の場合と同様にエア発生器に接続されているが、図示を省略している。また、パネル支持板５の下方には、搬送コンベア５９が配置されている。この搬送コンベア５９がフラットパネルＦＰをパネル支持板５と対向する状態となる傾倒位置まで搬送する。
【００５９】
ところで、本装置４のパネル支持板５は、５Ａ〜５Ｄの４つに分割されている。これらの各パネル支持板５Ａ〜５Ｄは間隔を持って配置されている。このように間隔を取った構成とすることにより、水平姿勢となったときのフラットパネルＦＰの外部への移載操作を容易化している。すなわち、図示するように移載装置６（図１参照）の移載ハンド７をこの間隔内で受入れるようにすることで、フラットパネルＦＰを移載ハンド７上に容易に移載できるようにしている。
【００６０】
また、各パネル支持板５Ａ〜５Ｄには、複数の気体流通口５６が形成されている。各パネル支持板５Ａ〜５Ｄの背部には、クリーンなエアを噴出すエア噴出装置５７Ａ〜５７Ｄが固定されている。このエア噴出装置５７Ａ〜５７Ｄで生成された所定圧のエアは、パネル支持板５Ａ〜５Ｄが水平姿勢となったときにフラットパネルＦＰを浮上させるように、気体流通口５６から均一に噴出すようになっている。なお、この気体流通口５６からのエアの噴出しは、パネル支持板５の上部に設けたエアパイプ５８からのエアの噴出しと関連付けて調整されている。この点については、後に示す図６に基づいて詳細に説明する。
【００６１】
さらに、本傾倒装置４は好ましい構成として、パネル支持板５Ａ〜５Ｄが水平姿勢となったときにフラットパネルＦＰの位置を修正する位置修正装置４２が付加されている。この位置修正装置４２は、図５に示すように、水平姿勢となったフラットパネルＦＰの両端に接触できる位置に一対配置されている。この位置修正装置４２は、水平方向に所定長さ出没する接触片４２ａを備えており、フラットパネルＦＰが水平状態となったときに端部に接触して位置決めする。このような構成を備えることで、水平姿勢となったフラットパネルＦＰを定位置に正確に位置決めできるので、後の処理が円滑化できる。
【００６２】
図６は、直立姿勢のフラットパネルＦＰが水平姿勢に傾倒される様子を模式的に示した図である。図６の各部符号は、図５で示したものと対応している。なお、この図でよく確認できるように、パネル支持板５Ａ〜５Ｄの上部は外側に傾斜され、この上端部には各エアパイプ５８Ａ〜５８Ｄが固定されている。このように構成することで、フラットパネルＦＰに下向きのクリーンエアを吹付け、パネル支持板５Ａ〜５ＤとフラットパネルＦＰとの間に気体膜を形成することができる。
【００６３】
フラットパネルＦＰが傾倒位置に来たときには、エアパイプ５８Ａ〜５８Ｄから下向きのエアが噴出されており、非接触状態でパネル支持板５Ａ〜５ＤがフラットパネルＦＰを支持する状態が形成されている。この状態から、パネル支持板５Ａ〜５Ｄが回動軸５２回り回転され傾倒状態に入る。このとき、傾倒状態に応じてエア噴出装置５７Ａ〜５７Ｄが駆動されるようになっている。
【００６４】
前述したところから明らかなように、エアパイプ５８Ａ〜５８Ｄからのエアの噴出しは、直立姿勢のフラットパネルＦＰとパネル支持板５Ａ〜５Ｄとが非接触状態を維持できる程度の気流でよい。しかし、フラットパネルＦＰが傾倒したときには、フラットパネルＦＰの重量に打ち勝って、フラットパネルＦＰを浮上させることができる気流が必要となる。よって、本装置４においては、パネル支持板５Ａ〜５Ｄの傾倒状態に応じて、エアパイプ５８Ａ〜５８Ｄのエアによる支持から、エア噴出装置５７Ａ〜５７Ｄに基づく気体流通口５６からのエア支持に切替えるようにしている。このように構成することで、直立姿勢のフラットパネルＦＰを円滑に水平姿勢とすることができる。
【００６５】
図６ではフラットパネルＦＰの下端を支持する搬送コンベア５９は定位置固定であり一緒に回転しない場合を例示している。ここでの図示は省略しているが、フラットパネルＦＰの下端を支持する部材によりパネル支持板５Ａ〜５Ｄが傾倒する時に支持されるようになっている。なお、このような構成を採用せずに、パネル支持板５Ａ〜５Ｄが傾倒する時にフラットパネルＦＰの下端を支持しながら搬送コンベア５９が一緒に回転する構造としてもよい。
【００６６】
上記傾倒工程では、フラットパネルＦＰがエア噴出装置５７Ａ〜５７Ｄによる支持に切替えられるまで、エアパイプ５８Ａ〜５８Ｄから噴出す下向きのクリーンエアにより気体膜が形成され非接触状態が維持される。よって、フラットパネルＦＰの表面が傷付くことが抑制できる。さらに、フラットパネルＦＰとパネル支持板５Ａ〜５Ｄとの間に気体膜を形成させるためのエアパイプ５８Ａ〜５８Ｄからの噴出しエアは下向きである。本傾倒装置４も前記本供給装置２の場合と同様に工場内に設置した場合に、周辺の気流を乱すことを抑制できる。また、エア噴出装置５７Ａ〜５７Ｄが駆動されるのは、フラットパネルＦＰを水平姿勢とした場合であり、そのエアはフラットパネルＦＰ下面に吹付けられているので、周辺の気流を乱すことは殆どない。
【００６７】
図５及び図６で示した、フラットパネル傾倒装置は好ましい構成としてエア噴出装置５７を設けている。そして、フラットパネルの傾倒時にエアの噴出しをエアパイプ５８から、このエア噴出装置５７に基づく気体流通口５６に切替えている。しかし、エア噴出装置５７を設けずに、エアパイプ５８から噴出させるエアの出力を増加させてフラットパネルＦＰの傾倒を行う構成を採用してもよい。この場合には、パネル支持板５Ａ〜５Ｄに気体流通口５６を設ける必要はない。
【００６８】
また、先に図１に示したレイアウトは単なる一例であって、本発明はこれにより限定されるものではない。すなわち、前述したようにフラットパネル供給装置２とフラットパネル傾倒装置４とを、隣接配置することにより好ましい効果を得ることができる。しかし、これらは単独で使用しても各々が独自の効果を奏する。フラットパネル供給装置を工場内の搬送ラインの途中に設けた場合、必要に応じてフラットパネルを保管し、又供給できるストック装置として機能する。この場合、フラットパネルの搬入側から搬出したり、搬入側とは反対側から搬出することもできる。よって、搬送ラインの自由度を増すことができる。
【００６９】
また、上記フラットパネル供給装置は複数、隣接配置してもよい。このように構成すると、フラットパネルの保管能力を向上させることができる。この場合、中間に位置するフラットパネル供給装置は隣接する上流のフラットパネル供給装置の搬送コンベア（搬送手段）からフラットパネルを受ける。すなわち、下流に位置するフラットパネル供給装置から見ると、搬送ラインは上流に位置する供給装置の搬送コンベアとなる。すなわち、本明細書で言う、搬送ラインは工場内に長く設定されたラインばかりでなく、隣接する装置の搬送コンベア等が含まれる広い概念である。また、フラットパネル傾倒装置４を単独で図１に示す搬送ライン１００に接続するように構成してもよい。
【００７０】
以上本発明の好ましい一実施形態について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更・組合せが可能である。
【００７１】
【発明の効果】
以上詳述したところから明らかなように、本発明によれば、フラットパネルが直立姿勢とされるので撓みの発生を抑制できる。また、フラットパネルの姿勢を保持する板状の部材との間は、気流膜が形成され非接触が維持されているのでフラットパネルが傷付くことや接触による汚染を防止できる。
【００７２】
さらに、気体膜を生成させる気体膜生成手段からは、下向きに気体が供給されているので、周囲の気流に乱れを生じさせない。よって、クリーンルーム等で用いても障害とならない。また、直立姿勢のフラットパネルを非接触に保持する程度の気流が気体膜生成手段から供給さればよいので、水平姿勢のフラットパネルを浮上させる場合よりも気体の供給量を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例のフラットパネル供給システムの大略を説明するため、このシステムを含むレイアウト例を示した図である。
【図２】フラットパネル供給装置の全体構成を示した斜視図である。
【図３】図２におけるカセットの内部構成が確認し易いように拡大して示した図である。
【図４】カセット収納位置にあるフラットパネルを、カセットの位置決め棒上に移載させる様子を模式的に示した図である。
【図５】フラットパネル傾倒装置の全体構成を示した斜視図である。
【図６】直立姿勢のフラットパネルが水平姿勢に傾倒される様子を模式的に示した図である。
【符号の説明】
１フラットパネル供給システム
２フラットパネル供給装置
３カセット（カセット部）
４フラットパネル傾倒装置
５パネル支持板
６移載装置
７移載ハンド（フラットパネル移載用部材）
８処理装置
９制御装置（制御部）
２０装置本体（装置本体部）
２７背面板（板状部材）
２８、５９搬送コンベア（搬送手段）
２９アクチュエータ（移載機構、上下駆動手段）
３２位置決め横棒（下端位置決め部材）
３５当接部材（上端位置規定部材）
３７パネル支持棒（支持棒）
３８、５８エアパイプ（気体膜生成手段）
３９エア発生器（気体膜生成手段）
４２位置修正装置
５６気体流通口
５７エア噴出装置（気体噴出手段）
１００搬送ライン
ＦＰフラットパネル
ＥＯＬ搬入出ライン[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a supply device for supplying a thin plate-shaped member (hereinafter, referred to as a flat panel) having a large area, a tilting device for tilting the flat panel, and a buffer function for storing or supplying the flat panel in a transport line. About. More specifically, the present invention relates to a supply device that is provided in contact with a transport line that transports a flat panel in an upright posture in a factory, and that is used for loading and unloading the flat panel. Further, the present invention relates to a tilting device that can tilt a flat panel in an upright posture to a horizontal posture.
[0002]
Note that the flat panel in this specification includes a glass substrate used for LCD (liquid crystal display), PDP (plasma display), EL (electroluminescent display), FED (field emission display), etc. Laminated materials obtained by laminating a polymer film on a foil are included.
[0003]
[Prior art]
The flat panel is transported through a transport line in a factory, and undergoes various processes at a plurality of locations (processing stations). Further, the processed or semi-finished flat panel is assembled at a predetermined position via a transport line and is carried out. In recent years, in order to improve the yield of products (reduce costs) and the like, the size of this flat panel has been increasing. One example of such a flat panel is a glass substrate for LCD. A general LCD glass substrate has an area of about 750 mm × 950 mm and a thickness of about 0.7 mm. As described above, the glass substrate for LCD is still considerably thinner at present than the size of the area. Therefore, it is fragile and easy to bend, so that care must be taken in handling. However, in the near future, the LCD glass substrate is expected to have a larger area, for example, up to 1300 mm × 1500 mm or 1500 mm × 1800 mm.
[0004]
It is necessary to transport the flat panel which has been increased in size as described above to various places in the factory in order to perform various processes. Therefore, a conveyor is arranged in the factory to sequentially transport flat panels (sheet-by-sheet transport), or transport by AGV, RGV, etc. (batch transport) using a cassette capable of storing a plurality of flat panels at once. . However, when the size of the flat panel is increased, the bending during the conveyance becomes conspicuous, and an increase in the size of the conveyance equipment becomes a problem.
[0005]
In the case of LCD glass substrates and the like, it is necessary to convey while supporting the edges in the width direction so as not to cause scratches on the surface. It becomes. LCD glass substrates housed in a cassette also pose a similar problem. Further, as the flat panel becomes larger, the cassette needs to be changed to a larger one. Therefore, problems in equipment and cost also occur.
[0006]
In order to solve the above-mentioned problems, conventionally, there have been proposed a plurality of techniques for spraying a fluid onto a flat portion of a flat panel to float the flat panel so as to bring the flat panel into a non-contact state and transport the flat panel. For example, Patent Document 1 discloses a system in which a flat panel is transported in an upright posture. In Patent Literature 1, a porous body faces a conveying surface, and gas is blown from the porous body to a vertical flat panel, and a gas film is formed between the porous body and the flat panel to form a plate surface. A technique is proposed in which the lower end is transported by a transport roller while maintaining non-contact. According to this technique, since the flat panel is in an upright state, the above-described bending can be suppressed. Further, since the area occupied by the device can be reduced as compared with the case where the flat panel is laid down, the system is compatible with a large flat panel.
[0007]
[Patent Document 1]
JP 2002-308422 A
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the system disclosed in Patent Document 1, a large number of porous bodies are arranged. The ceramic plate forming the porous body is very expensive, and this system has a problem that the manufacturing cost is increased. The glass substrate for LCDs and the like is processed in a clean room in which dust and dust are suppressed to a predetermined value or less, and the air flow in the clean room is controlled in a downward fixed direction. However, in the system disclosed in Patent Literature 1, a large amount of high-pressure fluid is ejected from a plurality of porous bodies, which causes a problem that airflow in a clean room is disturbed and the cleanliness cannot be maintained. I will. Further, in this method, the flying height of the flat panel is minute, and a high flatness is required for the ceramic plate for smooth conveyance, so that the processing cost is further increased.
[0009]
Therefore, a main object of the present invention is to provide a flat panel supply device that can carry in and out a large flat panel while suppressing the occurrence of bending, and that does not disturb the airflow in a clean room. Another object of the present invention is to provide a tilting device that can increase the degree of freedom of the flat panel supply device. Still another object is to provide a system combining these.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
The object is a flat panel supply device disposed in contact with a transport line that transports a flat panel in an upright posture slightly inclined to one side from a vertical state, as described in claim 1,
A cassette unit capable of holding the plurality of flat panels in parallel in the upright posture,
A transport unit provided on a loading / unloading line for loading and unloading the flat panel and in contact with a lower end of the flat panel and transporting the flat panel to at least a cassette storage position; and disposed so as to face the flat panel surface at the cassette storage position. A plate member, a gas film generating means for generating a gas film flowing downward between the flat panel and the plate member, and a transfer for transferring the flat panel at the cassette storage position to the cassette portion. And a device main body provided with a mounting mechanism.
[0011]
According to the present invention, the flat panel in the upright posture transported to the cassette storage position by the transporting unit faces the plate-shaped member, but can be brought into a non-contact state by the gas film formed by the gas film generating unit. In this non-contact state, the flat panel is transferred to the cassette section by the transfer mechanism, so that the flat panel in the upright posture can be stored in the cassette section without causing scratches, contamination or dust due to contact. In addition, since a small amount of gas is supplied downward from the gas film generation means, the surrounding airflow is not disturbed. Therefore, even if it is used in a clean room or the like, it does not become an obstacle. In addition, since the gas film generation means only needs to supply an airflow that keeps the flat panel in the upright position in a non-contact manner, the amount of gas supply can be suppressed as compared with the case where the flat panel in the horizontal position is levitated.
[0012]
The transfer mechanism may include a cassette moving unit that reciprocates the cassette unit in a direction perpendicular to the transfer direction of the transfer line, and a vertical drive unit that moves the transfer unit up and down. The flat panel can be smoothly transferred into the cassette unit by moving the cassette unit while the transport unit is retracted by driving the vertical driving unit. In particular, in the case of the present invention, the floating amount of the flat panel (the distance from the plate member) is larger than that of the conventional method, and for example, about 3 to 5 mm can be secured from the opposed plate member. Therefore, the plate-shaped member used in the present invention does not need to be processed to have a high flatness, so that the cost can be reduced.
[0013]
In addition, the upper end of the plate-shaped member is set lower than the upper end of the flat panel, and the gas film generation unit hits the upper end portion of the flat panel where the gas ejected from the gas film generation unit projects upward and faces downward. It is desirable that they are arranged so as to be guided.
[0014]
Further, the cassette portion includes at least a lower end positioning member that positions and holds a lower end of the flat panel, and an upper end position defining member that defines an upper end position of the flat panel, and the lower end positioning member and the upper end position defining member. It is desirable that at least one of the members is set to be movable in the parallel direction of the flat panel. According to this structure, the inclined state of the flat panel in the cassette unit can be easily adjusted.
[0015]
Further, the cassette section may include a support rod for supporting at least both side ends of the flat panel, and the flat panel may be configured to be held in an upright posture state via the support rod. In this manner, when the flat panel is held at both ends using the support rods, the load on the flat panel is reduced, so that the upright posture can be maintained while suppressing the occurrence of bending. Further, if the flat panel is held at the center by the support rod, the upright posture can be maintained in a more preferable state.
[0016]
The transporting means may be a transporting conveyor in contact with the lower end of the flat panel, and the up / down driving means may be an actuator for vertically moving the transporting conveyor.
[0017]
Another object of the present invention is a flat panel tilting device according to claim 7, which is disposed in contact with a transport line that transports the flat panel in an upright posture slightly inclined to one side from a vertical state. ,
A transport unit that is in contact with the lower end of the flat panel and transports from the transport line to the tilt position, a panel support plate provided to face the flat panel surface at the tilt position, and the panel support plate on the back side. This is achieved by a flat panel tilting device including tilting means for tilting and gas film generating means disposed on the panel support plate and generating a gas film flowing between the flat panel and the panel support plate. .
[0018]
According to the present invention, the flat panel transported to the inclined position by the transport unit faces the panel support plate, but can be brought into a non-contact state by the gas film formed by the gas film generation unit. In this non-contact state, the flat panel is changed from the upright posture to the horizontal posture by the tilting means, so that the flat panel can be knocked down without being scratched and causing contamination or dust due to contact. Also, before tilting, the gas is supplied downward from the gas film generating means, so that the surrounding airflow is not disturbed, so that it does not become an obstacle even when used in a clean room or the like.
[0019]
It is more preferable that the panel support plate has a plurality of gas flow ports, and further has a gas blowing means on the back side of the panel support plate so as to blow out gas from the gas flow ports. When the panel support plate is tilted, the fluid film generation unit is switched to the gas ejection unit, a gas film is formed by the gas from the gas flow port, and the non-contact state between the flat panel and the panel support plate. Is maintained, the flat panel can be more stably changed from the upright posture to the horizontal posture.
[0020]
Further, the panel supporting plate is divided into a plurality of parts at intervals in a direction substantially perpendicular to the flow direction of the gas film, and a structure is adopted in which the flat panel transfer member from the outside can be received at the interval. It is desirable to do. Further, it is further preferable that the tilting means further includes a position correcting means for correcting a position in the width direction of the flat panel by contacting a side end of the flat panel tilted to a predetermined position.
[0021]
Still another object of the present invention is to load the flat panel into a cassette unit according to claim 11, wherein the cassette unit is capable of holding a plurality of flat panels in parallel in an upright posture slightly inclined to one side from a vertical state. A first transporting means provided on a carry-in / out line for carrying out, carrying in contact with a lower end of the flat panel and transporting at least to a cassette storage position, and a plate-shaped member arranged to face a surface of the flat panel at the cassette storage position A member, first gas film generation means for generating a gas film flowing downward between the flat panel and the plate-shaped member, and transfer for transferring the flat panel at the cassette storage position to the cassette section A flat panel supply device, comprising: a device body configured to include a mechanism;
A second transporting means disposed at a position for receiving the flat panel from the first transporting means of the flat panel supply device and transporting the flat panel to a tilted position in contact with a lower end of the flat panel; and a surface of the flat panel at the tilted position A panel support plate provided so as to face the panel, tilting means for tilting the panel support plate to the rear side, and gas flowing between the flat panel and the panel support plate, which is disposed above the panel support plate. This can be achieved by a flat panel supply system that includes a flat panel tilting device that includes a second gas film generation unit that generates a film.
[0022]
According to the present invention, since the flat panel tilting device is provided in contact with the flat panel supply device capable of loading and unloading the flat panel in the upright position, the flat panel in the upright position can be easily converted to the horizontal position. . Therefore, it can be provided as a flat panel supply system applicable to a place where it is necessary to process the flat panel in a horizontal posture.
[0023]
It is preferable that the panel support plate has a plurality of gas circulation ports, and further includes gas ejection means for ejecting gas from the gas circulation ports on the back side of the panel support plate.
[0024]
Further, the flat panel supply device can be disposed in contact with a transport line that transports the flat panel in an upright posture. In this case, a control unit for controlling the flat panel supply device and the transport line is provided, and the control unit drives the flat panel supply device when the flat panel transported by the transport line becomes excessive, thereby controlling the cassette. When the flat panel conveyed by the conveyance line runs short, the control of driving the flat panel supply device to carry out the flat panel in the cassette unit can be executed.
[0025]
Further, the flat panel tilting device can be arranged in contact with a transfer device that transfers the flat panel in a horizontal posture. In this case, a control unit that controls the flat panel supply device and the flat panel tilting device is provided, and the control unit drives the flat panel supply device when supplying the flat panel toward the transfer device. Thus, the flat panel in the cassette section can be carried out, and the flat panel can be tilted by driving the flat panel tilting device.
[0026]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, an example of a flat panel supply system according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The present flat panel supply system includes a flat panel supply device and a flat panel tilting device. Before describing these detailed configurations, first, an outline of the present flat panel supply system 1 will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a diagram showing a layout example including the present system 1 and peripheral devices arranged in contact with these systems.
[0027]
The flat panel supply device 2 is disposed in contact with a transport line 100 that transports the flat panel FP in an upright posture. It is to be noted that, since there is no direct relationship with the present invention, a detailed description of the configuration of the transport line 100 is omitted, but at least the flat panel FP is transported in the FD direction in an upright posture, and It is provided with a structure that can be carried in.
[0028]
The flat panel supply device 2 includes a cassette 3 that moves in a direction RD perpendicular to the transport direction FD of the flat panel FP transported by the transport line 100. The cassette 3 has a special configuration in which the flat panels FP can be held in an upright posture and held in parallel, and the flat panels FP supplied from the transport line 100 can be sequentially stored. The detailed configuration of the flat panel supply device 2 will be described later. In FIG. 1, the flat panel supply device 2 is shown in a simplified manner.
[0029]
A flat panel tilting device 4 is disposed in contact with the flat panel supply device 2. The tilting device 4 includes a panel support plate 5 provided so as to face the flat panel FP. The panel support plate 5 is configured to be rotatable about a predetermined axis, and is configured to be in an upright posture and a horizontal posture (almost horizontal posture). The tilting device 4 receives the flat panel FP from the supply device 2 located on the upstream side, and converts the flat panel FP from an upright posture to a horizontal posture. In a factory, the flat panel FP often needs to be in a horizontal posture. Therefore, by providing such a tilting device 4 in contact with the supply device 2 described above, the range to which the supply device 2 can be applied can be expanded. The detailed configuration of the flat panel tilting device 4 will also be described later.
[0030]
FIG. 1 shows a layout example in which a flat panel transfer device 6 is arranged in contact with the tilting device 4. The transfer device 6 receives the flat panels FP one by one from the panel support plate 5 in the horizontal posture and transfers the flat panels FP to another place. The transfer device 6 includes a transfer hand 7 (a flat panel transfer member) for transferring the flat panel FP. The transfer hand 7 is in a stacked state in the standby state, but extends when the flat panel FP is transferred, and moves from the transfer device 6 to another place.
[0031]
Downstream of the transfer device 6, a processing device 8 is further exemplified. In FIG. 1, after the transfer hand 7 of the transfer device 6 receives the flat panel FP from above the panel support plate 5 of the tilting device 4, the transfer hand 7 is extended and the flat panel FP is inserted into the processing device 8. FIG. The flat panel FP that has been processed by the processing device 8 may be moved in the opposite direction to that described above and stored in the cassette unit 3 of the supply device 2, or may be a facility (not shown). May be further conveyed from the processing device 8 to another place.
[0032]
The supply device 2 and the tilting device 4 shown in FIG. 1 are entirely controlled by a control device 9 including a CPU. The control device 9 executes various operations using the layout configuration shown in FIG. The control for transferring the flat panel FP described above includes, for example, driving the supply device 2 to carry out the flat panel FP in the cassette 3 and driving the tilting device 4 to tilt the flat panel FP. Execute the control to make it.
[0033]
Further, the control device 9 can execute control for driving only the flat panel supply device 2 without driving other devices. For example, when the flat panel FP conveyed by the conveyance line 100 becomes excessive, the flat panel supply device 2 is driven to carry the flat panel FP into the cassette unit 3. Conversely, when the number of flat panels FP being transported on the transport line 100 is insufficient, control to carry out the flat panels FP from the supply device 2 is executed. When such control is performed by the control device 9, the supply device 2 functions as a kind of buffer device for adjusting the supply amount of the flat panel FP. Further, the detailed configurations of the flat panel supply device 2 and the flat panel tilting device 4 will be described below in order.
[0034]
(Flat panel feeder)
2 to 4 are views showing the flat panel supply device 2. FIG. FIG. 2 is a perspective view showing the overall configuration of the flat panel supply device 2. The supply device 2 includes an apparatus main body (apparatus main body) 20 formed by assembling a base 21 and a frame 22 thereon, and a cassette (cassette section) 3 arranged in the apparatus main body 20. A pair of rails 23 for guiding the cassette 3 are arranged on the base 21 in a direction RD perpendicular to the transport direction FD of the flat panel FP. On this rail 23, a cassette mounting table 26 is set slidably with respect to the rail 23. A nut (not shown) that engages with the ball screw 25 is fixed to the bottom of the cassette mounting table 26. The ball screw 25 is connected via a bearing to a motor 24 that rotates in both directions. Therefore, the rotational force of the motor 24 in both directions is transmitted to the ball screw 25, so that the cassette 3 on the cassette mounting table 26 can reciprocate in the direction RD.
[0035]
A pair of back plates (plate-like members) 27 are fixedly arranged below the frame 22CT located at the center of the apparatus main body 20 so as to face the surface of the flat panel FP carried in from the external transfer line 100. . The reason why the rear plate 27 is divided into left and right in this manner will be apparent in the following description. Below these back plates 27, a transport conveyor 28 that transports the flat panel FP in contact with its lower end is arranged. The conveyor 28 is fixed on an actuator 29 that moves up and down. The configuration in which the conveyor 28 is moved up and down in this way is for storing the flat panels FP in the cassette 3 in parallel. This will be described in detail with reference to FIG.
[0036]
Note that the panel loading / unloading position PEP where the flat panel FP is loaded into the supply device 2 is arranged so as to coincide with the discharge position of the transport line 100 that sends out the flat panel FP from the upstream (see FIG. 1). Further, the transport direction FD of the transport line 100 coincides with the carry-in / out line EOL of the supply device 2. The above-mentioned transport conveyor 28 is disposed at a position in contact with the lower end of the flat panel FP on the carry-in / out line EOL.
[0037]
The cassette 3 has a substantially cubic frame 31. The frame 31 on the cassette side and the frame 22 on the apparatus main body side are designed so as not to interfere with each other. That is, the cassette 3 is designed so as not to collide with the frame 22 on the apparatus body side when the cassette 3 moves on the mounting table 26 and on the rail 23. FIG. 2 shows a state where the cassette 3 is located at the forefront. The reference symbol PE on the frame 22 of the cassette 3 moves to the position of the reference symbol PP when the cassette 3 retreats. The cassette 3 moves forward from the most retracted position, storing the flat panels FP one by one. Therefore, the position shown in FIG. 2 is a state where the flat panels FP are fully loaded in parallel on the cassette 3 and are most advanced.
[0038]
FIG. 3 is an enlarged view showing the internal configuration of the cassette 3 in FIG. With reference to FIG. 3 and FIG. 2 described above, a detailed configuration of the flat panel supply device 2 will be described. A pair of frames 22 DW hanging from the center of the frame 22 CT on the apparatus main body 20 side are arranged in the space of the cassette 3. Similarly, frames 22DR and 22DL hanging from both ends of the frame 22CT are also arranged in the space of the cassette 3.
[0039]
The left and right rear plates 27 are fixed to the frames 22DW and 22DR and the frames 22DW and 22LR, respectively. A predetermined space is secured between the left and right ends of the two back plates 27 and between them. In this space, panel support rods 37A to 37C provided in the cassette 2 described later are arranged. With this design, the cassette 3 can be moved without interfering with the frame 22 on the apparatus main body 20 side.
[0040]
Next, a configuration for sequentially transferring the flat panels FP in the cassette 3 in the supply device 2 in parallel will be described. On the bottom side of the cassette 3, a positioning horizontal bar (lower end positioning member) 32 for positioning the lower end of the flat panel FP is fixed on the bottom frame 31D. In order to position the lower end of the flat panel FP and hold it stably, three positioning rods 32 (32A to 32C) are arranged at both ends and the center. The positioning horizontal bar 32 has a plurality of recesses 33 formed in the longitudinal direction for housing and holding the lower end of the flat panel FP. Although FIGS. 2 and 3 illustrate a structure in which the cassette 3 cannot be removed, a structure in which the cassette 3 can be easily detached can be achieved by changing the arrangement of the back plate 27 and the like. In this case, it can be moved to another device by an AGV or the like.
[0041]
From the vicinity of each of the concave portions 33, panel support rods 37A to 37C stand up. However, FIG. 3 shows only the three rearmost lines. Each panel support bar 37 has a hinge portion and is rotatably fixed. The configuration of this part will be clarified later in FIG.
[0042]
In addition, a contact member (upper end position defining member) 35 that contacts the upper ends of the panel support bars 37A to 37C is disposed on the upper frame 31T. The contact member 35 contacts and regulates the upper ends of the panel support rods 37A to 37C, and holds them so as to be slightly inclined from the vertical state. Therefore, one flat panel FP can be supported in an upright posture by these three panel support rods 37A to 37C.
[0043]
Next, a description will be given of a transfer mechanism for placing the flat panel FP carried in from the outside on the positioning horizontal bar 32 and shifting the flat panel FP from the rear side to the state held by the panel support bars 37A to 37C as described above. The flat panel FP is transported from the transport line 100 to the main supply device 2. The flat panel FP in this state is indicated by reference numeral FP-1. The flat panel FP is transported to the cassette storage position by the transport conveyor 28 on the loading / unloading line. Here, the cassette storage position is a position where the flat panel FP is disposed so as to oppose the two back plates 27. The flat panel FP in this state is indicated by reference numeral FP-2.
[0044]
The supply device 2 has a characteristic configuration for holding the flat panel FP so as not to contact the flat panel FP at the cassette storage position and the back plate 27, that is, to hold the flat panel FP in a non-contact manner. An air pipe 38 connected to an air generator 39 is provided above each of the back plates 27. From this air pipe 38, clean air is blown obliquely downward. Thereby, a downward gas film is formed between the back plate 27 and the flat panel FP so as to keep them out of contact.
[0045]
Therefore, when the flat panel FP is brought in from the outside, downward clean air is jetted from the air pipe 38, and when the flat panel FP comes to the cassette storage position, the non-contact state with the back plate 27 is established. Prepared to be formed. It is preferable that the air generator 39 has a built-in filter that can capture particles such as dust and can supply ionized air for preventing generation of static electricity.
[0046]
The lower end of the flat panel FP whose back surface is held by the gas film as described above is supported by the transport conveyor 28. The conveyor 28 can be moved up and down by an actuator 29. Therefore, with the transport conveyor 28 moved upward, the cassette 3 is moved so that the concave portion 33 of the positioning horizontal bar 32 comes on the carry-in / out line, and when the transport conveyor 28 is lowered, a flat panel is formed in the concave portion 33. The lower end of the FP can be stored. By repeating such a transfer operation, the flat panels FP can be stored in the cassette 3 in parallel.
[0047]
FIGS. 4A to 4D are diagrams schematically showing a state in which the flat panel FP at the cassette storage position is transferred onto the positioning rod 32 of the cassette 3. Note that the reference numerals in FIG. 4 correspond to those shown in FIG. 3A shows a state in which the position of the conveyor 28 is raised by the actuator 29, and the lower end position of the flat panel FP is located above the positioning horizontal bar 32. FIG. The air pipe 38 blows clean air from above the rear plate 27 to the lower left. In particular, the back plate 27 is designed such that the upper side of the flat panel FP projects somewhat. Therefore, the downward air from the air pipe 38 first descends along the upper end portion of the flat panel FP, and then enters the space between the air pipe 38 and the back plate 27 to reliably form a gas film.
[0048]
When the cassette 3 is moved to the left from the state of (A), the contact member 35 moves to the left along with the positioning horizontal bar 32 and the upper frame 31, and the panel support bars 37A to 37C approach the flat panel FP. (B) has shown the state where the recessed part 33 of the positioning horizontal bar 32 came to the position which receives the lower end of the flat panel FP. Next, (C) shows a state in which the actuator 29 is driven to lower the transport conveyor 28 so that the lower end of the flat panel FP is stored in the recess 33. In the transfer process up to (C), a gas film is formed between the flat panel FP and the back plate 27 by downward clean air ejected from the air pipe 38, and the non-contact state is maintained.
[0049]
In (D), when the cassette 2 moves further to the left, the flat panel FP shifts forward from the cassette storage position. At this time, the state where the flat panel FP is supported in a non-contact manner by the gas film changes to a state where the flat panel FP is in contact and supported by the panel support rods 37A to 37C at both ends and the center. Since these panel support rods only slightly contact the flat panel FP, there is almost no occurrence of scratches or contact contamination on the surface during storage in the cassette. FIG. 4 shows an example in which a plurality of small projections 37b of the panel support rods 37A to 37C are provided. With this configuration, the contact area with the flat panel FP surface can be suppressed.
[0050]
From this state (D), the conveyor 28 is returned to the initial position for receiving the flat panel FP from the outside. By repeating the steps (A) to (D), the flat panels FP are transferred in the cassette 2 in parallel. In the above process, a gas film is formed between the flat panel FP and the back plate 27 by the downward clean air spouted from the air pipe 38 until the flat panel FP is switched to the support by the panel support rods 37A to 37C, and the non-contact state is established. Is maintained. Therefore, it is possible to prevent the surface of the flat panel FP from being damaged or contaminated by the transfer operation to the cassette.
[0051]
Further, the air jetted from the air pipe 38 for forming a gas film between the flat panel FP and the back plate 27 is directed downward. Generally, in a clean room in a factory, a downward airflow is generated so as to prevent particles such as dust from rising. Therefore, when the supply device 2 is installed in a factory, it is possible to suppress disturbance of the surrounding airflow. Further, since air is blown between the flat panel FP in the upright posture and the back plate to form a non-contact state, the air consumption is lower than that of a conventional apparatus in which the flat panel FP in the horizontal state is floated to make a non-contact state. It can be greatly reduced. That is, the air generator 39 can be smaller than the conventional one. Although illustrated only in FIG. 4A, for example, if a gas suction device 36 is further disposed around the transport conveyor 28, generation of particles can be more reliably suppressed.
[0052]
Further, with reference to FIG. 4A, a preferred configuration example regarding the above-described flat panel supply device 2 will be described. 4A is a cross-sectional view of the upper frame 31T and the abutting member 35 viewed from the arrow X direction. The cross section of the upper frame 31T is formed in a channel-like hollow, and a part of the contact member 35 is fitted in this hollow portion. Thereby, the contact member 35 is slidable in the longitudinal direction of the upper frame 31T. The contact member 35 can be fixed at a predetermined position by inserting a fixing pin 35a. Therefore, the contact member 35 can be moved along the upper frame 31T and fixed at a predetermined position. On the other hand, the lower ends of the panel support bars 37A to 37C are rotatably fixed to the positioning horizontal bar 32 by hinges 32a. With such a configuration, the inclination angle of the positioning horizontal bar 32 can be made variable, so that the upright posture of the flat panel FP can be adjusted as necessary.
[0053]
If the inclination of the back plate 27 described above can be adjusted in relation to the configuration of the positioning horizontal bar 32, the flat panel can be adjusted according to the inclination angle of the flat panel FP conveyed from the conveyance line 100. It is a preferred supply device 2 that can accept FP.
[0054]
4A described above, the example in which the actuator 29 is driven when the cassette 3 is moved to raise the transport conveyor 28 is described. However, if the position where the flat panel FP is carried in from the transfer line 100 is set from the beginning to a higher position that does not hinder the movement of the cassette 3, the ascending step of FIG. 4A can be omitted, as shown in FIG. It is only necessary to lower the conveyor 28 in the process.
[0055]
In the above, the process of loading the flat panel FP into the cassette 3 has been described. However, when the flat panel FP is transported, the process may be reversed. After arranging the flat panel FP on the conveyor 28, the flat panel FP can be carried out toward the conveying line 100 or the tilting device 4 as needed, as shown in FIG.
[0056]
(Flat panel tilting device)
Further, the flat panel tilting device 4 will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a perspective view showing the entire configuration of the flat panel tilting device 4. The frame 41 includes a panel support plate 5 and a tilting mechanism for tilting the panel support plate 5. Reference numeral 90 denotes a connection portion that feeds the flat panel FP transported from the upstream flat panel supply device 2 to a tilt position. The connection section 90 is also provided with a transport conveyor 92 and a support plate 91.
[0057]
The tilting device 4 includes a panel support plate 5 fixed to a pedestal 51. The pedestal 51 is rotatable around a rotation shaft 52, and is fixed to the frame 41. The rotation shaft 52 is connected to a motor 53 rotatable in both directions via an endless belt 54. Therefore, the panel support plate 5 is configured to be able to take a state of an upright posture as shown by a solid line and a horizontal posture shown by an inclined dotted line.
[0058]
The panel support plate 5 has a configuration similar to the back plate 27 in the supply device device 2 described above. That is, an air pipe 58 for blowing downward clean air is disposed above the panel support plate 5, and the panel support plate 5 is set to face the surface of the flat panel FP that has been conveyed. The air pipe 58 is also connected to the air generator as in the case of the air pipe 38 shown in FIG. 3, but is not shown. A transport conveyor 59 is arranged below the panel support plate 5. The transport conveyor 59 transports the flat panel FP to a tilt position where the flat panel FP faces the panel support plate 5.
[0059]
By the way, the panel support plate 5 of the present apparatus 4 is divided into four, 5A to 5D. These panel support plates 5A to 5D are arranged at intervals. By adopting such a spaced configuration, the transfer operation of the flat panel FP to the outside when in the horizontal posture is facilitated. That is, as shown in the drawing, the transfer hand 7 of the transfer device 6 (see FIG. 1) is received within this interval so that the flat panel FP can be easily transferred onto the transfer hand 7. I have.
[0060]
Further, a plurality of gas flow ports 56 are formed in each of the panel support plates 5A to 5D. Air ejection devices 57A to 57D for ejecting clean air are fixed to the backs of the panel support plates 5A to 5D. The air of a predetermined pressure generated by the air ejection devices 57A to 57D is uniformly ejected from the gas flow ports 56 so as to float the flat panel FP when the panel support plates 5A to 5D are in the horizontal posture. It has become. The ejection of the air from the gas flow port 56 is adjusted in association with the ejection of the air from the air pipe 58 provided above the panel support plate 5. This will be described in detail with reference to FIG.
[0061]
Further, as a preferred configuration of the tilting device 4, a position correcting device 42 for correcting the position of the flat panel FP when the panel supporting plates 5A to 5D are in the horizontal posture is added. As shown in FIG. 5, a pair of the position correcting devices 42 are arranged at positions where they can contact both ends of the flat panel FP in the horizontal posture. The position correcting device 42 includes a contact piece 42a that protrudes and retracts by a predetermined length in the horizontal direction, and contacts the end when the flat panel FP is in a horizontal state to perform positioning. With such a configuration, the flat panel FP in the horizontal posture can be accurately positioned at a fixed position, so that subsequent processing can be facilitated.
[0062]
FIG. 6 is a diagram schematically illustrating a state in which the flat panel FP in the upright posture is tilted to the horizontal posture. 6 correspond to those shown in FIG. As can be clearly seen in this figure, the upper portions of the panel supporting plates 5A to 5D are inclined outward, and the air pipes 58A to 58D are fixed to the upper ends. With this configuration, it is possible to blow downward clean air onto the flat panel FP and form a gas film between the panel supporting plates 5A to 5D and the flat panel FP.
[0063]
When the flat panel FP comes to the inclined position, downward air is blown from the air pipes 58A to 58D, and a state is established in which the panel support plates 5A to 5D support the flat panel FP in a non-contact state. From this state, the panel support plates 5A to 5D are rotated around the rotation shaft 52 and enter a tilted state. At this time, the air ejection devices 57A to 57D are driven according to the tilting state.
[0064]
As is clear from the above description, the jet of air from the air pipes 58A to 58D may be an airflow that can keep the flat panel FP in the upright posture and the panel support plates 5A to 5D in a non-contact state. However, when the flat panel FP is tilted, an airflow that can overcome the weight of the flat panel FP and allow the flat panel FP to float is required. Therefore, in the present device 4, in accordance with the tilting state of the panel support plates 5A to 5D, the air pipes 58A to 58D are switched from the air support to the air support from the gas flow ports 56 based on the air ejection devices 57A to 57D. I have to. With this configuration, the flat panel FP in the upright posture can be smoothly placed in the horizontal posture.
[0065]
FIG. 6 illustrates a case where the transport conveyor 59 supporting the lower end of the flat panel FP is fixed at a fixed position and does not rotate together. Although illustration is omitted here, a member that supports the lower end of the flat panel FP is supported when the panel supporting plates 5A to 5D are tilted. Instead of employing such a configuration, a structure may be employed in which the transport conveyor 59 rotates together while supporting the lower end of the flat panel FP when the panel support plates 5A to 5D are tilted.
[0066]
In the tilting step, the gas film is formed by the downward clean air ejected from the air pipes 58A to 58D and the non-contact state is maintained until the flat panel FP is switched to the support by the air ejecting devices 57A to 57D. Therefore, it is possible to suppress the surface of the flat panel FP from being damaged. Furthermore, the jet air from the air pipes 58A to 58D for forming a gas film between the flat panel FP and the panel support plates 5A to 5D is directed downward. When the tilting device 4 is installed in a factory as in the case of the main supply device 2, it is possible to suppress disturbance of the surrounding airflow. Further, the air ejection devices 57A to 57D are driven when the flat panel FP is in a horizontal posture, and since the air is blown on the lower surface of the flat panel FP, the air flow in the vicinity is hardly disturbed. Absent.
[0067]
The flat panel tilting device shown in FIGS. 5 and 6 has an air ejection device 57 as a preferable configuration. When the flat panel is tilted, the ejection of air is switched from the air pipe 58 to the gas flow port 56 based on the air ejection device 57. However, a configuration may be adopted in which the flat panel FP is tilted by increasing the output of the air jetted from the air pipe 58 without providing the air jetting device 57. In this case, it is not necessary to provide the gas flow ports 56 in the panel support plates 5A to 5D.
[0068]
Further, the layout shown in FIG. 1 is merely an example, and the present invention is not limited thereto. That is, as described above, a favorable effect can be obtained by arranging the flat panel supply device 2 and the flat panel tilting device 4 adjacent to each other. However, each of them has its own effect even when used alone. When the flat panel supply device is provided in the middle of the transport line in the factory, it functions as a stock device that can store and supply the flat panel as needed. In this case, the flat panel can be unloaded from the loading side or can be unloaded from the side opposite to the loading side. Therefore, the degree of freedom of the transfer line can be increased.
[0069]
Further, a plurality of the flat panel supply devices may be arranged adjacent to each other. With this configuration, the storage capacity of the flat panel can be improved. In this case, the flat panel supply device located in the middle receives the flat panel from the transport conveyor (transportation means) of the adjacent upstream flat panel supply device. That is, when viewed from the flat panel supply device located downstream, the transport line is a transport conveyor of the supply device located upstream. That is, the transport line referred to in this specification is a broad concept that includes not only a line set long in a factory, but also a transport conveyor of an adjacent device. Further, the flat panel tilting device 4 may be configured to be connected to the transport line 100 shown in FIG. 1 alone.
[0070]
Although the preferred embodiment of the present invention has been described in detail above, the present invention is not limited to the specific embodiment, and various modifications may be made within the scope of the present invention described in the appended claims.・ Changes and combinations are possible.
[0071]
【The invention's effect】
As is apparent from the details described above, according to the present invention, the flat panel is in the upright posture, so that the occurrence of bending can be suppressed. Further, an airflow film is formed between the flat panel and a plate-like member that holds the attitude of the flat panel, and non-contact is maintained, so that damage to the flat panel and contamination due to contact can be prevented.
[0072]
Further, since the gas is supplied downward from the gas film generating means for generating the gas film, the surrounding air flow is not disturbed. Therefore, even if it is used in a clean room or the like, it does not become an obstacle. In addition, since the gas film generation means only needs to supply an airflow that keeps the flat panel in the upright position in a non-contact manner, the amount of gas supply can be suppressed as compared with the case where the flat panel in the horizontal position is levitated.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing an example of a layout including a flat panel supply system according to an embodiment, for explaining the outline of the system.
FIG. 2 is a perspective view showing an overall configuration of a flat panel supply device.
FIG. 3 is an enlarged view showing the internal configuration of the cassette in FIG. 2 so that it can be easily confirmed.
FIG. 4 is a diagram schematically showing a state in which a flat panel at a cassette storage position is transferred onto a positioning rod of the cassette.
FIG. 5 is a perspective view showing the entire configuration of the flat panel tilting device.
FIG. 6 is a diagram schematically illustrating a state in which a flat panel in an upright posture is tilted to a horizontal posture.
[Explanation of symbols]
1 Flat panel supply system
2 Flat panel feeder
3 cassette (cassette part)
4 Flat panel tilting device
5 Panel support plate
6 Transfer equipment
7 Transfer hand (Flat panel transfer member)
8 Processing equipment
9 control unit (control unit)
20 Main unit (main unit)
27 Back plate (plate member)
28, 59 Transport conveyor (transport means)
29 Actuator (transfer mechanism, vertical drive means)
32 Positioning bar (lower end positioning member)
35 Contact member (upper end position defining member)
37 Panel support rod (support rod)
38, 58 Air pipe (gas film generating means)
39 air generator (gas film generation means)
42 Position correction device
56 Gas flow port
57 Air ejection device (gas ejection means)
100 transfer line
FP flat panel
EOL loading / unloading line

Claims

フラットパネルを鉛直状態よりも一方側に僅かに傾いた直立姿勢にして搬送する搬送ラインに接して配置されるフラットパネル供給装置であって、
複数の前記フラットパネルを、前記直立姿勢の状態で並列に保持可能としたカセット部と、
前記フラットパネルを搬入及び搬出する搬入出ライン上に設けられ、フラットパネルの下端に接し少なくともカセット収納位置まで搬送する搬送手段と、前記カセット収納位置にある前記フラットパネルの面に対向するように配置した板状部材と、前記フラットパネルと前記板状部材との間に下向きに流れる気体膜を生成させる気体膜生成手段と、前記カセット収納位置にある前記フラットパネルを前記カセット部に移載する移載機構とを備えた装置本体部とを含む、ことを特徴とするフラットパネル供給装置。A flat panel supply device disposed in contact with a transport line that transports the flat panel in an upright posture slightly inclined to one side from a vertical state,
A cassette unit capable of holding the plurality of flat panels in parallel in the upright posture,
A transport unit provided on a loading / unloading line for loading and unloading the flat panel and in contact with a lower end of the flat panel and transporting the flat panel to at least a cassette storage position; and disposed so as to face a surface of the flat panel at the cassette storage position. A plate member, a gas film generating means for generating a gas film flowing downward between the flat panel and the plate member, and a transfer for transferring the flat panel at the cassette storage position to the cassette portion. A flat panel supply device, comprising: a device main body having a mounting mechanism.

前記移載機構は、前記カセット部を前記搬送ラインの搬送方向と直交する方向に往復移動させるカセット移動手段と、前記搬送手段を上下動させる上下駆動手段とを含んでいる、ことを特徴とする請求項１に記載のフラットパネル供給装置。The transfer mechanism includes a cassette moving unit that reciprocates the cassette unit in a direction orthogonal to a transfer direction of the transfer line, and a vertical drive unit that moves the transfer unit up and down. The flat panel supply device according to claim 1.

前記板状部材の上端は前記フラットパネルの上端よりも低く設定され、さらに前記気体膜生成手段は該気体膜生成手段から噴出した気体が上方に突出しているフラットパネルの上端部分に当たり下向きに導かれるように配置されている、ことを特徴とする請求項１又は２に記載のフラットパネル供給装置。The upper end of the plate-shaped member is set lower than the upper end of the flat panel, and the gas film generation means hits the upper end portion of the flat panel where the gas ejected from the gas film generation means projects upward and is guided downward. The flat panel supply device according to claim 1, wherein the flat panel supply device is arranged as follows.

前記カセット部は、少なくとも前記フラットパネルの下端を位置決めして保持する下端位置決め部材と、前記フラットパネルの上端位置を規定する上端位置規定部材とを含み、前記下端位置決め部材及び前記上端位置規定部材の少なくとも一方がフラットパネルの並列方向において移動可能に設定されている、ことを特徴とする請求項１又は２に記載のフラットパネル供給装置。The cassette unit includes at least a lower end positioning member that positions and holds the lower end of the flat panel, and an upper end position defining member that defines an upper end position of the flat panel. The flat panel supply device according to claim 1, wherein at least one of the flat panel supply devices is set to be movable in a parallel direction of the flat panel.

前記カセット部には、少なくともフラットパネルの両側端部を支持する支持棒を含み、前記フラットパネルは前記支持棒を介して直立姿勢状態に保持される、ことを特徴とする請求項１又は２に記載のフラットパネル供給装置。3. The cassette according to claim 1, wherein the cassette unit includes a support rod that supports at least both side ends of the flat panel, and the flat panel is held in an upright posture via the support rod. 4. The flat panel supply device as described in the above.

前記搬送手段がフラットパネルの下端に接する搬送コンベアであり、前記上下駆動手段は前記搬送コンベアを上下動させるアクチュエータである、ことを特徴とする請求項１又は２に記載のフラットパネル供給装置。The flat panel supply device according to claim 1, wherein the transport unit is a transport conveyor that contacts a lower end of the flat panel, and the vertical driving unit is an actuator that moves the transport conveyor up and down.

フラットパネルを鉛直状態よりも一方側に僅かに傾いた直立姿勢にして搬送する搬送ラインに接して配置されるフラットパネル傾倒装置であって、
前記フラットパネルの下端に接し前記搬送ラインから傾倒位置まで搬送する搬送手段と、前記傾倒位置にある前記フラットパネルの面に対向するように設けたパネル支持板と、前記パネル支持板を背面側に傾倒させる傾倒手段と、前記パネル支持板の上部に配置され、前記フラットパネルと前記パネル支持板との間に流れる気体膜を生成させる気体膜生成手段とを備えた、ことを特徴とするフラットパネル傾倒装置。A flat panel tilting device that is disposed in contact with a transport line that transports the flat panel in an upright posture slightly inclined to one side from a vertical state,
A transport unit that is in contact with the lower end of the flat panel and transports from the transport line to the tilt position, a panel support plate provided to face the flat panel surface at the tilt position, and the panel support plate on the back side. A flat panel, comprising: tilting means for tilting; and gas film generating means disposed on the panel support plate and generating a gas film flowing between the flat panel and the panel support plate. Tilt device.

前記パネル支持板が複数の気体流通口を備えると共に、該パネル支持板の背面側に気体噴出手段をさらに備えて前記気体流通口から気体を噴出させる構造とした、ことを特徴とする請求項７に記載のフラットパネル傾倒装置。8. The panel support plate according to claim 7, wherein the panel support plate includes a plurality of gas flow ports, and further includes gas blowing means on a back side of the panel support plate to blow gas from the gas flow ports. 4. The flat panel tilting device according to 1.

前記パネル支持板が、前記気体膜の流れ方向とは略直角な方向で間隔を持って複数に分割され、前記間隔に外部からのフラットパネル移載用部材を受入れ可能とした、ことを特徴とする請求項７又は８に記載のフラットパネル傾倒装置。The panel support plate is divided into a plurality of parts at intervals in a direction substantially perpendicular to the flow direction of the gas film, and the interval allows a flat panel transfer member from outside to be received. The flat panel tilting device according to claim 7 or 8, wherein

前記傾倒手段により、所定位置まで傾倒された前記フラットパネルの側端に接触して前記フラットパネルの幅方向での位置を修正する位置修正手段をさらに備えた、ことを特徴とする請求項７から９のいずれか一項に記載のフラットパネル傾倒装置。8. The apparatus according to claim 7, further comprising: a position correcting unit that corrects a position of the flat panel in a width direction by contacting a side end of the flat panel tilted to a predetermined position by the tilting unit. 9. The flat panel tilting apparatus according to any one of claims 9 to 10.

複数のフラットパネルを、鉛直状態よりも一方側に僅かに傾いた直立姿勢の状態で並列に保持可能としたカセット部と、前記フラットパネルを搬入及び搬出する搬入出ライン上に設けられ、フラットパネルの下端に接し少なくともカセット収納位置まで搬送する第１搬送手段と、前記カセット収納位置にある前記フラットパネルの面に対向するように配置した板状部材と、前記フラットパネルと前記板状部材との間に下向きに流れる気体膜を生成させる第１気体膜生成手段と、前記カセット収納位置にある前記フラットパネルを前記カセット部に移載する移載機構とを含んで構成される装置本体部とを、備えたフラットパネル供給装置と、
前記フラットパネル供給装置の第１搬送手段から前記フラットパネルを受ける位置に配置され、前記フラットパネルの下端に接して傾倒位置まで搬送する第２搬送手段と、前記傾倒位置にある前記フラットパネルの面に対向するように設けたパネル支持板と、前記パネル支持板を背面側に傾倒させる傾倒手段と、前記パネル支持板の上部に配置され、前記フラットパネルと前記パネル支持板との間に流れる気体膜を生成させる第２気体膜生成手段とを備えたフラットパネル傾倒装置とを備えた、ことを特徴とするフラットパネル供給システム。A cassette section capable of holding a plurality of flat panels in parallel in an upright posture slightly inclined to one side from the vertical state, and a loading / unloading line for loading and unloading the flat panels; A first conveying unit that contacts the lower end of the flat panel and conveys at least to the cassette storage position; a plate-shaped member disposed so as to face the flat panel surface at the cassette storage position; and a flat panel and the plate-shaped member. An apparatus body configured to include a first gas film generation unit configured to generate a gas film flowing downward between the cassette unit and a transfer mechanism configured to transfer the flat panel at the cassette storage position to the cassette unit; , Equipped with a flat panel supply device,
A second transporting means disposed at a position for receiving the flat panel from the first transporting means of the flat panel supply device and transporting the flat panel to a tilted position in contact with a lower end of the flat panel; and a surface of the flat panel at the tilted position A panel support plate provided so as to face the panel, tilting means for tilting the panel support plate to the rear side, and gas flowing between the flat panel and the panel support plate, which is disposed above the panel support plate. A flat panel tilting device having a second gas film generating means for generating a film.

前記パネル支持板が複数の気体流通口を備えると共に、該パネル支持板の背面側に前記気体流通口から気体を噴出させる気体噴出手段をさらに備えた、ことを特徴とする請求項１１に記載のフラットパネル供給システム。12. The panel support plate according to claim 11, wherein the panel support plate includes a plurality of gas circulation ports, and further includes gas ejecting means for ejecting gas from the gas circulation ports on the back side of the panel support plate. Flat panel supply system.

前記フラットパネル供給装置を、前記フラットパネルを直立姿勢にて搬送する搬送ラインに接して配置した、ことを特徴とする請求項１１又は１２に記載のフラットパネル供給システム。The flat panel supply system according to claim 11, wherein the flat panel supply device is disposed in contact with a transport line that transports the flat panel in an upright posture.

前記フラットパネル供給装置及び搬送ラインを制御する制御部を備え、前記制御部は前記搬送ラインにより搬送される前記フラットパネルが過剰となるときには前記フラットパネル供給装置を駆動して前記カセット部内にフラットパネルを搬入し、搬送ラインにより搬送される前記フラットパネルが不足するときには前記フラットパネル供給装置を駆動して前記カセット部内のフラットパネルを搬出する制御を実行する、ことを特徴とする請求項１３に記載のフラットパネル供給システム。A control unit for controlling the flat panel supply device and a transfer line, wherein the control unit drives the flat panel supply device when the flat panel conveyed by the transfer line becomes excessive to drive the flat panel into the cassette unit. 14. The control according to claim 13, wherein when the flat panel conveyed by the conveyance line runs short, a control for driving the flat panel supply device to carry out the flat panel in the cassette unit is executed. Flat panel supply system.

前記フラットパネル傾倒装置を、水平姿勢となった前記フラットパネルを移載する移載装置に接して配置した、ことを特徴とする請求項１１又は１２に記載のフラットパネル供給システム。13. The flat panel supply system according to claim 11, wherein the flat panel tilting device is disposed in contact with a transfer device that transfers the flat panel in a horizontal posture.

前記フラットパネル供給装置及びフラットパネル傾倒装置を制御する制御部を備え、前記制御部は前記移載装置に向けて前記フラットパネルを供給するときに、前記フラットパネル供給装置を駆動して前記カセット部内のフラットパネルの搬出を行うと共に、前記フラットパネル傾倒装置を駆動してフラットパネルの傾倒を行う、ことを特徴とする請求項１５に記載のフラットパネル供給システム。A control unit for controlling the flat panel supply device and the flat panel tilting device, wherein the control unit drives the flat panel supply device to supply the flat panel to the transfer device, and the control unit controls the flat panel supply device and the flat panel tilt device. 16. The flat panel supply system according to claim 15, wherein the flat panel is unloaded and the flat panel tilting device is driven to tilt the flat panel.