JP2004295289A - Production control system - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種製品を各工程に沿って配置された処理装置に投入して所定の処理を行う生産制御システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、半導体デバイスの製造や品質保証のために各種の処理を行う処理装置、たとえば、マルチマガジン方式の検査装置やソータなどにおいては、ハンドリングや搬送等の便宜上、図12に示すように、製品の組単位となる1つのロットを複数のキャリア(マガジン)Yに振り分けた上で、各キャリアY単位でもって処理装置に順次供給、排出することが行われる。
【0003】
すなわち、上のような処理装置においては、各種設備上の制約から、ロットを構成する全てのキャリアYを装置内に一時に投入して一括処理できないため、一つのキャリアYの処理が完了するたびに、装置内に新たに一つのキャリアYを投入することが行われる。
【0004】
ところで、製品の種類によっては、処理装置の温度ドリフト等の変動要因の影響を除いたり、品質保証を確保する等の観点から、一つの処理装置を占有して1ロット分の全てのキャリアを連続的に処理することが必要になる場合がある。以下、ある一つの処理装置を占有して1ロット分の全てのキャリアを連続的に処理することをバッチ処理と称し、また、このようなバッチ処理が必要なロットをバッチ処理必要ロットと称する。
【0005】
このバッチ処理必要ロットについても、上述したように装置の制約上、一つの装置内に1ロットに属する全てのキャリアを一括投入して処理することができないので、キャリア単位で順次装置内に投入されることになるが、その場合、次のような投入の仕方がなされると上述したバッチ処理の要件を満たさなくなる。
【0006】
(1) すなわち、いま、図13(a)に示すように、投入予定のキャリアY1はバッチ処理必要ロットに属しているが、処理装置Z1に仕掛中のキャリアY2は、この投入予定のキャリアY1のバッチ処理必要ロットに属さない場合、投入予定のキャリアY1を実際に装置X1に投入すると、装置Z1内に異なるロットが共存することになるため、バッチ処理の要件を満たさなくなる。
【0007】
(2) 図13(b)に示すように、ある処理装置Z2で処理中のキャリアY1と投入予定のキャリアY1とが同じバッチ処理必要ロットに属し、また、2つの処理装置Z1,Z2が同じ工程の処理を行うものであっても、キャリアY1を処理中の装置Z2と、キャリアY1の投入対象となっている装置Z1とが別の場合、バッチ処理必要ロットに属するキャリアY1が2つの装置Z1,Z2に分割して投入処理されることになるのでバッチ処理の要件を満たさなくなる。
【0008】
(3) 図13(c)に示すように、処理装置Z1で処理中のキャリアY1がバッチ処理必要ロットである場合に、新たに投入予定のキャリアY2がこの装置Z1で処理中のバッチ処理必要ロットに属さないときには、この投入予定のキャリアY2を装置X1に投入すると装置X1内に異なるロットが共存するようになるため、バッチ処理の要件を満たさなくなる。
【0009】
そこで、従来は、作業者が各キャリアに添付された検移票などに記述されている内容を読み取って、処理装置で処理中のキャリアおよび投入予定のキャリアについて、それぞれバッチ処理必要ロットに属するか否かを判断することで、キャリアが上記(1)〜(3)のような投入状態にならないように注意を払いながら作業を行っている。
【0010】
なお、従来技術として、特定の製品ロットを複数に分割し、分割された各製品組に対して、各工程毎に作業号機を指定するデータを付加可能な生産制御システムや(たとえば、特許文献1参照)、製造設備に限定すべき作業条件と作業者が製造設備に予め設定した作業条件とを比較して、双方が一致した場合には作業指示を送出し、不一致の場合には警告を発するようにした製造管理システム(たとえば、特許文献2)などが提案されている。
【0011】
しかしながら、これらの特許文献1,2に記載されている従来技術は、ロットがいずれの装置であれば処理可能かを判断して単に指示を出しているだけであって、バッチ処理必要ロットの有無を考慮して、投入予定のキャリアと仕掛中のキャリアとの関係において投入の適否を判断するものではない。
【0012】
【特許文献1】
特開平9−260231号公報(第4,5頁、図1)
【特許文献2】
特開2001−325019号公報(第2,4頁、図1)
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように、従来は、作業者が処理装置に仕掛中のキャリア、および投入予定のキャリアについてそれぞれバッチ処理必要ロットに属するか否かを判断して、キャリアが上記(1)〜(3)のような投入状態にならないように注意を払いながら作業を行っているが、全て人手に頼っているために投入ミスを起こし易い。
【0014】
そして、不意に上記(1)〜(3)のような投入状態になってしまうと、1ロット分について再度処理が必要となったり、1ロット分の製品を破棄せざるを得なくなるなどの不具合を生じている。また、作業者にとっては、投入ミスを起こさないように常に注意を払う必要があるため、作業時の負担が大きくなっている。
【0015】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたもので、キャリアを順次供給排出する各処理装置に対してキャリアを投入する場合において、過大な労力を要することなく、バッチ処理の要件を常に確実に満たすことができる生産制御システムを提供することを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る生産制御システムは、上記の目的を達成するために、各々のロットが複数のキャリアに振り分けられた状態で各工程に沿って配置された各処理装置に順次投入されて処理される構成を前提としている。
【0017】
そして、本発明では、一つの処理装置を占有して1ロット分の全てのキャリアを連続的に処理することが必要となるバッチ処理必要ロットが他のロットに属するキャリアを処理中の装置に投入されたり、バッチ処理必要ロットに属するキャリアを処理中の装置に他のロットに属するキャリアが投入されたり、バッチ処理必要ロットに属するキャリアが複数の装置に分割して投入されたりしないようにそれぞれ検証し、そのような事態になるときには装置投入不可とする投入判定手段を設けたことを特徴としている。
【0018】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
図1は本発明の実施の形態1に係る生産制御システムの全体構成を示すブロック図である。
【0019】
この実施の形態1の生産制御システムは、システム全体の制御を司るシステム制御装置X、製品に対して各種の処理を行う複数の処理装置Z、製品pを保持した状態で各処理装置Zに投入されるキャリアYを備えている。
【0020】
図12に示したように、各キャリアYは一つのロットに属しており、各キャリアYには、メモリカードなどのキャリア管理カード11が設けられている。そして、キャリア管理カード11には、図2に示すように、当該キャリアYがいずれのロットに属するかを識別するキャリアID、キャリアYの処理工程を特定するための工程ID、および図3に示すような工程順を示す工程番号と工程IDとが対応付けられた工程フロー情報が登録されている。
【0021】
この場合のキャリアIDは、図4に示すように、ロットIDに各キャリア毎の連番が付された構造をしており、したがって、キャリアIDからロットIDを簡単に特定できるようになっている。なお、当然のことながら、キャリアIDは、各工程に沿った全ての処理が終了するまでは不変であるが、工程IDは各工程の処理が終了するたびに書き換えられる。
【0022】
各処理装置Zには、キャリア管理カード11に対して情報の読み書きするID読書部21、システム制御装置Xとの間でデータ通信を行うデータ通信部22、処理装置Zの全般的な動作を制御する処理制御部23、およびシステム制御装置Xやキャリア管理カード11との間のアクセスデータを保持するとともに、動作制御プログラムなどが格納されたハードディスクなどからなるデータ保持部24を備えている。さらに、このデータ保持部24には、各処理装置Zを識別するための装置IDが予め登録されている。なお、上記のID読書部21が特許請求の範囲における読取手段に対応している。
【0023】
システム制御装置Xは、各処理装置Zとの間でデータ通信を行うデータ通信部31、処理装置ZへのキャリアYの投入の適否を判定する投入判定部32、および外部記憶装置で構成されるデータベース33を備えている。そして、このデータベース33は、ロット情報ファイル33a、製造基準情報ファイル33b、および装置仕掛情報ファイル33cをそれぞれ備えている。
【0024】
なお、このシステム制御装置Xが、特許請求の範囲における投入判定手段に対応し、また、上記のシステム制御装置Xの投入判定部32が特許請求の範囲のバッチ処理必要ロット判別手段に対応し、さらに、システム制御装置Xの投入判定部32および処理装置Zの処理制御部23が特許請求の範囲におけるキャリア選別手段に対応している。
【0025】
上記のロット情報ファイル33aには、図5に示すように、各ロットが属する製品型名を特定するために、ロットIDと型名とが対応付けられてロット情報として予め登録されている。製造基準情報ファイル33bには、図6に示すように、1ロット分の全てのキャリアYについてバッチ処理が必要であるか否かを示すバッチ処理情報が、ロットの属する型名および工程IDに対応させて製造基準情報として予め登録されている。装置仕掛情報ファイル33cは、図7に示すように、各処理装置Zにおいて処理中のキャリアYを特定するための仕掛キャリアIDが装置IDおよび工程IDに対応付けて装置仕掛情報として記憶されている。したがって、この装置仕掛情報は、一つのキャリアYの処理が終了するたびにその内容が書き換えられる。
【0026】
次に、上記構成の生産制御システムの動作、特に、処理装置Zに対するキャリアYの投入の適否を判定する場合の動作を主体に、図8に示すフローチャートを参照して説明する。
【0027】
まず、キャリアYが処理装置Zに実際に投入されるのに先立って、処理装置ZのID読書部21によって、キャリア管理カード11に登録されているキャリアIDと工程IDが読み取られてデータ保持部24に登録される。さらに、読み取られたキャリアIDと工程ID、ならびにデータ保持部24に予め登録されている装置IDは、共にデータ通信部22を介してシステム制御装置Xに送信され、そのデータ通信部31から投入判定部32に取り込まれる(ステップ1)。
【0028】
ここでは、一例として、キャリアYが投入予定の一つの処理装置Zに着目したとき、このキャリアYに設けられているキャリア管理カード11からキャリアIDとして“LOT001−01”が、工程IDとして“A20”が読み取られたものとする。また、この処理装置Zのデータ保持部24に保持されている装置IDは“MAC01”であるとする。
【0029】
投入判定部32は、キャリアIDからロットIDを取得し、このロットIDをキーにしてロット情報ファイル33aを検索してそのロットの属する製品の型名を取得する(ステップ2)。たとえば、ロット情報が図5に示す内容であった場合、上記のようにキャリアIDが“LOT001−01”のとき、ロットIDは“LOT001”であるから、型名は“ABC12345”となる。
【0030】
引き続いて、投入判定部32は、受信した工程IDと上記のようにして取得した型名をキーとして、製造基準情報ファイル33bを検索して、投入予定のキャリアYがバッチ処理必要ロットに属するか否かを判断する(ステップ3,4)。たとえば、製造基準情報が図6に示す内容であった場合、上記の例ではキャリア管理カード11から読み取った工程IDが“A20”で、ロット情報を検索して取得した型名が“ABC12345”であるので、その場合には投入予定のキャリアYはバッチ処理必要ロットに属すると判断される。
【0031】
投入予定のキャリアYがバッチ処理必要ロットの場合、投入判定部32は、キャリアYの投入対象となっている処理装置Zについての装置IDと上記の工程IDとをキーにして装置仕掛情報ファイル33cを検索して、仕掛キャリアIDを取得する(ステップ5)。たとえば、装置仕掛情報が図7に示す内容の場合、装置IDが“MAC01”、工程IDが“A20”の場合、仕掛キャリアIDは“LOT001−03”となる。
【0032】
なお、キャリアYの投入対象となっている処理装置Zには仕掛中のキャリアが存在しない場合もあるので、その場合には仕掛キャリアIDも存在しない。そのときには、仕掛キャリアIDは“取得なし”となる。この点については後で詳述する。
【0033】
ここで、仕掛キャリアIDが取得された場合には、その仕掛キャリアIDと投入予定のキャリアYのキャリアIDとが比較される(ステップ6)。このとき、両IDが一致する場合には、両キャリアYは共に同じバッチ処理必要ロットに属するので、投入判定部32は、投入予定のキャリアYは投入可と判断する(ステップ9)。たとえば、上記のように、仕掛キャリアIDが“LOT001−03”で、投入予定のキャリアYのキャリアIDが“LOT001−01”であれば、両者は共に同じバッチ処理必要ロットに属するため投入可となる。
【0034】
この投入判定部32の判定結果は、データ通信部31から処理装置Zのデータ通信部22を介して処理制御部23に送られるので、処理制御部23は投入予定のキャリアYの投入制御を行い、当該キャリアYが処理装置Z内に投入されて所定の処理が開始される。
【0035】
これに対して、ステップ6において、装置仕掛情報ファイル33cを検索して取得した仕掛キャリアIDが投入予定のキャリアのキャリアIDと不一致の場合には、図13(a)に示した状態になる。つまり、投入予定のキャリアをY1、処理装置Z1で処理中のキャリアをY2とすると、投入予定のキャリアY1はバッチ処理必要ロットに属しているが、処理装置Z1で処理中のキャリアY2は、この投入予定のキャリアY1のバッチ処理必要ロットには属さないためバッチ処理の要件を満たさず、したがって、投入判定部32は、投入予定のキャリアY1の投入を不可と判断する(ステップ15)。
【0036】
たとえば、装置仕掛情報が図9に示す内容の場合、装置ID(“MAC01”)と工程ID(“A20”)をキーにして装置仕掛情報ファイル33cを検索したときには仕掛キャリアIDが“LOT002−01”となるが、これに対して投入予定のキャリアY1のキャリアIDは“LOT001−01”であるので、両キャリアY1,Y2のロットIDが互いに異なる。このためキャリアY1の投入不可となる。
【0037】
この投入判定部32の判定結果は、データ通信部31から処理装置Zのデータ通信部22を介して処理制御部23に送られるので、処理制御部23は投入予定のキャリアYの投入動作禁止するため、当該キャリアYは処理装置Z内に投入されず、したがって処理は開始されない。これにより、バッチ処理必要ロットに属するキャリアが、他のロットに属するキャリアを処理中の装置に不意に投入されるといったミス発生を確実に防止することができる。
【0038】
ところで、前述のように、ステップ5で装置IDと工程IDをキーにして装置仕掛情報ファイル33cを検索しても、キャリアYの投入対象となっている処理装置Z内に仕掛中のキャリアが全く存在しない場合には、仕掛キャリアIDを取得できないので、そのときには、ステップ6で仕掛キャリアIDは“取得なし”となる。このときには、投入予定のキャリアYのロットIDをキーにして装置仕掛情報ファイル33cを検索し、装置IDを取得する(ステップ7)。
【0039】
たとえば、装置仕掛情報が図10に示す内容の場合、装置IDが“MAC01”、工程IDが“A20”の場合、仕掛キャリアIDは“取得なし”となるので、投入予定のキャリアYに対応するロットID“LOT001”をキーとしてこの装置仕掛情報から装置IDを検索すると“MAC02”となる。
【0040】
そして、装置仕掛情報ファイル33cを検索して取得した装置IDと、キャリアYの投入対象となっている装置IDとを比較する(ステップ8)。このとき、両IDが異なる場合には、図13(b)に示した状態になる。つまり、現在処理中のキャリアY1と投入予定のキャリアY1とが同じバッチ処理必要ロット(ここでは“LOT001”)に属し、また、2つの処理装置Z1,Z2が同じ工程(ここでは“A20”)の場合であっても、バッチ処理必要ロットに属するキャリアY1が2つの装置Z1,Z2に分割して処理されることになってバッチ処理の要件を満たさなくなる。そのため、投入判定部32は、投入予定のキャリアY1は投入不可と判断する(ステップ15)。その結果、バッチ処理必要ロットを複数の装置Z1,Z2で処理してしまうといったミス発生を確実に防ぐことができる。
【0041】
なお、ステップ8において、装置仕掛情報ファイル33cを検索して取得した装置IDと投入予定のキャリアYについての装置IDとが一致する場合には、同じ処理装置Zに同じバッチ処理必要ロットに属する各キャリアYが投入されることになるため、投入判定部32は投入可と判定する(ステップ9)。
【0042】
次に、投入予定のキャリアYが属するロットがバッチ処理必要ロットに該当しない場合の投入制御について説明する。なお、ここでは、投入予定のキャリアYのキャリアIDは“LOT001−01”、このキャリアYの投入対象となっている処理装置Zの装置IDは“MAC01”とする。また、この場合の処理装置Zは、前述の場合と異なり図3の工程番号1の処理(工程ID“A10”)を行うものとする。
【0043】
その場合、図5に示したロット情報および図6に示した製造基準情報から、新たに投入予定のキャリアYはバッチ処理必要ロットに属さないことが分かる。このときには、ステップ4においてバッチ処理不要と判断される
【0044】
そこで、次に、キャリアYの投入対象となっている装置IDと工程IDとをキーにして装置仕掛情報ファイル33cを検索して、仕掛キャリアIDを取得する(ステップ10)。たとえば、上記のように装置IDが“MAC01”で、工程IDが“A10”のときに装置仕掛情報が図11に示す内容であったとすれば、仕掛キャリアIDは“LOT002−01”となる。
【0045】
このようにして仕掛キャリアIDが取得された場合には、その仕掛キャリアIDが投入予定のキャリアYのキャリアIDと比較される(ステップ11)。その際、仕掛キャリアIDが投入予定のキャリアYのキャリアIDと一致しない場合には、仕掛キャリアIDからそのロットIDを特定し、このロットIDをキーにしてロット情報ファイル33a(図5参照)を検索してそのロットの属する型名を取得する(ステップ12)。そして、この取得した型名および工程IDをキーにして、製造基準情報ファイル33b(図6参照)から、処理装置Z1に仕掛中のキャリアがバッチ処理必要ロットに属するか否かを判断する(ステップ13,14)。
【0046】
たとえば、上記の例で、仕掛キャリアIDは“LOT002−01”で、投入予定のキャリアYのキャリアIDが“LOT001−01”であれば両者は一致しないので、仕掛キャリアIDから特定されるロットID“LOT002”をキーにして図5に示すロット情報を検索すると、型名は“BCD12345”である。このとき図11の装置仕掛情報で得られる仕掛中の工程IDは“A10”なので、図6の製造基準情報から、処理装置Zで処理中のキャリア(ロットに対応する型名“BCD12345”)はバッチ処理必要ロットであると判定される。
【0047】
そして、処理装置で処理中のキャリアがバッチ処理必要ロットに属していると判断された場合には、図13(c)に示したような状態になる。つまり、処理装置Z1で処理中のキャリアをY1、装置Z1に投入予定のキャリアをY2とすると、処理装置Z1で処理中のキャリアY1(ロットID“LOT002”)はバッチ処理必要ロットに属しているのに対して、投入予定のキャリアY2はバッチ処理必要ロットに属さないので、このキャリアY2を新たに処理装置Z1に投入すると装置X1内で異なるロットが共存するようになってバッチ処理の要件を満たさなくなる。したがって、投入判定部32は、キャリアY2の投入は不可と判断する(ステップ15)。
【0048】
これにより、バッチ処理必要ロットに属するキャリアを処理中の装置に対して、他のロットに属するキャリアが不意に投入されるといったミス発生を確実に防止することができる。
【0049】
一方、ステップ14の判断で、処理装置Zで処理中のキャリアがバッチ処理必要ロットに属さないとき、ステップ4の判断により、投入予定のキャリアYもバッチ処理必要ロットに属さないので、投入判定部32は処理装置Zへの新たなキャリアの投入を許可する(ステップ9)。
【0050】
なお、ステップ11で仕掛キャリアIDが投入予定のキャリアYのキャリアIDと一致する場合には、両キャリアは共に同じロットに属するので、投入判定部32は、投入予定のキャリアYは投入可と判断する(ステップ9)。また、ステップ11でキャリアYの投入対象となっている処理装置Zにおいて現在処理中のキャリアが全く存在しないときには、仕掛キャリアIDは“取得なし”となるが、このときにも、ステップ4の判断により、投入予定のキャリアYが属するロットはバッチ処理必要ロットでないので、投入判定部32は、処理装置Zへの新たなキャリアYの投入を許可する(ステップ9)。
【0051】
投入判定部32の判定結果により、処理装置Zへの新たなキャリアYが投入可となった場合、前述のようにキャリアYを処理装置Z内に投入して処理を開始することになるが、その際、投入判定部32は、図7の装置仕掛情報ファイルに対して装置ID、工程ID、仕掛キャリアIDを登録する。
【0052】
そして、キャリアYに対する処理が完了すると、処理装置Zの処理制御部23は、データ保持部24から読み出したキャリアIDと共に処理完了の旨をシステム制御装置Xに送信する。そして、送信後は、データ保持部24に登録されていたキャリアIDと工程IDとを削除する。また、ID読書部21は、キャリア管理カード11から工程フロー情報を読み取って工程番号を一つ進めた工程IDを取得し、この取得した工程IDをキャリア管理カード11に記録する。一方、システム制御装置Xは、送信されてきたキャリアIDをキーに装置仕掛情報ファイル33c(図7参照)から処理完了のキャリアに対応した仕掛キャリアIDを削除する。これにより、キャリア管理カード11に記録される工程IDの正当性、および装置仕掛情報ファイル33cの正当性を保つことができる。
【0053】
上記の実施の形態1では、キャリアYに設けたキャリア管理カード11には、キャリアID、工程ID、および図3に示した工程フロー情報を登録するようにしているが、キャリアIDのみをたとえばバーコードなどの標記によって登録するようにしてもよい。その場合には、システム制御装置Xにデータベースとして図3の工程フロー情報を登録するとともに、ロット情報ファイル33a(図5参照)において、ロットIDに対応付けて処理予定の工程IDを登録し、投入判定結果が投入可となってその旨を処理装置に送信する際に、この工程IDを更新する。
【0054】
【発明の効果】
本発明に係る生産制御システムによれば、キャリアを順次供給排出する各処理装置に対してキャリアを投入する場合に、バッチ処理の要件を常に確実に満たすことができる。このため、バッチ処理必要ロットを再度処理することが必要になったり、ロットを破棄せざるを得なくなるなどの不具合発生を無くすことができる。また、各キャリアについてバッチ処理の適否が自動的に判断されるため、作業者の負担を大幅に削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1に係る生産制御システムの全体構成を示すブロック図である。
【図2】キャリア管理カードに登録されているキャリアIDと工程IDの一例を示す説明図である。
【図3】キャリア管理カードに登録されている工程フロー情報の一例を示す説明図である。
【図4】キャリアIDとロットIDとの関係を示す説明図である。
【図5】システム制御装置のデータベースを構成するロット情報の一例を示す説明図である。
【図6】システム制御装置のデータベースを構成する製造基準情報の一例を示す説明図である。
【図7】システム制御装置のデータベースを構成する装置仕掛情報の一例を示す説明図である。
【図8】本発明に係る生産制御システムにおいて、処理装置に対するキャリアの投入の適否を判定する場合の処理動作を説明するために供するフローチャートである。
【図9】バッチ処理の要件を満たさなくなる場合の装置仕掛情報の一例を示す説明図である。
【図10】バッチ処理の要件を満たさなくなる場合の装置仕掛情報の他の一例を示す説明図である。
【図11】バッチ処理の要件を満たさなくなる場合の装置仕掛情報のさらに他の一例を示す説明図である。
【図12】ロットとキャリアとの関係を示す説明図である。
【図13】キャリアを処理装置に投入する際に、バッチ処理の要件を満たさなくなる場合を示す説明図である。
【符号の説明】
X システム制御装置(投入判定手段)、Y キャリア、Z 処理装置、11キャリア管理カード、21 ID読取部、22 データ通信部、23 処理制御部、24 データ保持部、31 データ通信部、32 投入判定部、33 データベース、33a ロット情報ファイル、33b 製造基準情報ファイル、33c 装置仕掛情報ファイル。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a production control system for performing various processes by supplying various products to processing devices arranged along each process.
[0002]
[Prior art]
Generally, in a processing apparatus for performing various processes for manufacturing and quality assurance of a semiconductor device, for example, a multi-magazine type inspection apparatus and a sorter, for convenience of handling and transportation, as shown in FIG. After one lot serving as a set unit is distributed to a plurality of carriers (magazines) Y, supply and discharge are sequentially performed to the processing apparatus in units of each carrier Y.
[0003]
That is, in the above-described processing apparatus, all carriers Y constituting a lot cannot be put into the apparatus at one time due to restrictions on various facilities, and cannot be processed collectively. Then, a new carrier Y is charged into the apparatus.
[0004]
By the way, depending on the type of product, one carrier is occupied by one processor and all carriers for one lot are continuously used from the viewpoint of eliminating the influence of fluctuation factors such as temperature drift of the processor and securing quality assurance. May need to be processed. Hereinafter, occupying one processing apparatus and continuously processing all carriers of one lot is referred to as batch processing, and a lot requiring such batch processing is referred to as a batch processing required lot.
[0005]
As for the batch processing required lot, as described above, all the carriers belonging to one lot cannot be batch-loaded into one device due to the limitations of the device and processed. However, in this case, if the following input method is performed, the requirements for the batch processing described above will not be satisfied.
[0006]
(1) That is, as shown in FIG. 13A, the carrier Y1 to be charged belongs to the batch processing required lot, but the carrier Y2 in process in the processing apparatus Z1 is the carrier Y1 to be charged. If the carrier Y1 to be loaded is actually loaded into the apparatus X1 when the batch Y does not belong to the batch processing required lot, different lots coexist in the apparatus Z1 and the batch processing requirement is not satisfied.
[0007]
(2) As shown in FIG. 13B, the carrier Y1 being processed in a certain processing apparatus Z2 and the carrier Y1 to be charged belong to the same batch processing required lot, and the two processing apparatuses Z1 and Z2 are the same. Even if the process is performed in a process, if the device Z2 that is processing the carrier Y1 and the device Z1 to which the carrier Y1 is to be charged are different, the two carriers Y1 belonging to the batch processing required lot Since the input processing is performed while being divided into Z1 and Z2, the requirements for batch processing are not satisfied.
[0008]
(3) As shown in FIG. 13 (c), when the carrier Y1 being processed by the processing apparatus Z1 is a lot requiring batch processing, the carrier Y2 to be newly charged requires batch processing being processed by this apparatus Z1. When it does not belong to a lot, if the carrier Y2 to be charged is loaded into the apparatus X1, different lots will coexist in the apparatus X1, and the requirements for batch processing will not be satisfied.
[0009]
Therefore, conventionally, an operator reads the contents described in an inspection slip attached to each carrier, and determines whether the carrier being processed by the processing device and the carrier to be charged belong to the batch processing required lot, respectively. By judging whether or not the carrier is in operation, the operator pays attention so that the carrier does not enter the above-described state (1) to (3).
[0010]
As a conventional technique, a production control system that divides a specific product lot into a plurality of products and adds data designating a work machine for each process to each of the divided product sets (for example, see Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-163,087). ), The work conditions to be limited to the manufacturing equipment are compared with the work conditions preset in the manufacturing equipment by the operator, and if they match, a work instruction is sent; if they do not match, a warning is issued. A manufacturing management system as described above (for example, Patent Document 2) has been proposed.
[0011]
However, the prior arts described in these
[0012]
[Patent Document 1]
JP-A-9-260231 (
[Patent Document 2]
JP 2001-325019 A (
[0013]
[Problems to be solved by the invention]
As described above, conventionally, an operator determines whether a carrier being processed in a processing apparatus and a carrier to be charged belong to a batch processing required lot, and the carrier is determined as described in (1) to (3) above. Although the work is performed while paying attention so as not to be in the throwing state as described above, the throwing mistake is easily caused because all the work is performed manually.
[0014]
If the input state suddenly becomes as described in the above (1) to (3), there is a problem that the processing for one lot needs to be performed again or the product for one lot has to be discarded. Has occurred. Further, it is necessary for the worker to always pay attention so as not to cause an input mistake, so that the burden at the time of work is increased.
[0015]
The present invention has been made in order to solve the above-described problems, and when charging a carrier into each processing device that sequentially supplies and discharges the carrier, the requirement of batch processing is always required without excessive labor. It is an object of the present invention to provide a production control system that can reliably satisfy the requirements.
[0016]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the production control system according to the present invention is sequentially input to each processing apparatus arranged along each process in a state where each lot is distributed to a plurality of carriers and processed. The configuration is assumed.
[0017]
According to the present invention, a batch processing required lot, which needs to occupy one processing apparatus and continuously process all carriers of one lot, is loaded with a carrier belonging to another lot to a processing apparatus. Verification is performed so that carriers belonging to other lots are not put into the equipment that is processing the carriers belonging to batch processing lots, or carriers belonging to batch processing lots are split into multiple equipment and put into multiple devices. However, when such a situation arises, the apparatus is provided with an input judging means for making it impossible to input the apparatus.
[0018]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
FIG. 1 is a block diagram showing the overall configuration of the production control system according to
[0019]
In the production control system according to the first embodiment, a system control device X that controls the entire system, a plurality of processing devices Z that perform various processes on products, and a product p are input to each processing device Z while holding the products p. The carrier Y is provided.
[0020]
As shown in FIG. 12, each carrier Y belongs to one lot, and each carrier Y is provided with a carrier management card 11 such as a memory card. Then, as shown in FIG. 2, the carrier management card 11 includes a carrier ID for identifying which lot the carrier Y belongs to, a process ID for specifying a processing process of the carrier Y, and a process ID shown in FIG. The process flow information in which the process number indicating the process order and the process ID are associated with each other is registered.
[0021]
As shown in FIG. 4, the carrier ID in this case has a structure in which a serial number is assigned to each lot to the lot ID, so that the lot ID can be easily specified from the carrier ID. . Note that the carrier ID is, of course, unchanged until all processes along each process are completed, but the process ID is rewritten each time the process of each process is completed.
[0022]
Each processing device Z has an ID reading unit 21 for reading and writing information from and to the carrier management card 11, a
[0023]
The system control device X includes a
[0024]
It should be noted that the system control device X corresponds to the input determination means in the claims, and the
[0025]
As shown in FIG. 5, in order to specify the product type name to which each lot belongs, the
[0026]
Next, an operation of the production control system having the above-described configuration, particularly an operation for determining whether or not the loading of the carrier Y into the processing apparatus Z is appropriate will be mainly described with reference to a flowchart shown in FIG.
[0027]
First, before the carrier Y is actually loaded into the processing device Z, the carrier ID and the process ID registered in the carrier management card 11 are read by the ID reading unit 21 of the processing device Z, and the data holding unit is read. 24. Further, the read carrier ID and process ID, and the device ID registered in advance in the
[0028]
Here, as an example, when paying attention to one processing apparatus Z to which the carrier Y is to be loaded, “LOT001-01” is set as the carrier ID from the carrier management card 11 provided in the carrier Y, and “A20” is set as the process ID. "Has been read. Further, it is assumed that the device ID held in the
[0029]
The
[0030]
Subsequently, using the received process ID and the model name obtained as described above as a key, the
[0031]
If the carrier Y to be charged is a batch processing-required lot, the
[0032]
In some cases, the in-process carrier does not exist in the processing apparatus Z to which the carrier Y is to be charged. In this case, the in-process carrier ID does not exist. At that time, the in-process carrier ID is “no acquisition”. This will be described in detail later.
[0033]
Here, when the in-process carrier ID is obtained, the in-process carrier ID is compared with the carrier ID of the carrier Y to be inserted (step 6). At this time, if the two IDs match, both carriers Y belong to the same batch processing required lot, so the
[0034]
The determination result of the
[0035]
On the other hand, in
[0036]
For example, when the device in-process information has the contents shown in FIG. 9, when the device in-process information file 33c is searched using the device ID (“MAC01”) and the process ID (“A20”) as keys, the device in-process carrier ID is “LOT002-01”. However, since the carrier ID of the carrier Y1 to be put in is "LOT001-01", the lot IDs of the carriers Y1 and Y2 are different from each other. For this reason, the carrier Y1 cannot be charged.
[0037]
The determination result of the
[0038]
By the way, as described above, even if the apparatus in-process information file 33c is searched using the apparatus ID and the process ID as a key in
[0039]
For example, when the device in-process information has the contents shown in FIG. 10, if the device ID is “MAC01” and the process ID is “A20”, the in-process carrier ID is “No Acquisition”. When the device ID is searched from the device in-process information using the lot ID “LOT001” as a key, “MAC02” is obtained.
[0040]
Then, the device ID obtained by searching the device in-process information file 33c is compared with the device ID to which the carrier Y is to be loaded (step 8). At this time, if the two IDs are different, the state shown in FIG. That is, the carrier Y1 currently being processed and the carrier Y1 to be charged belong to the same batch processing required lot (here, “LOT001”), and the two processing apparatuses Z1 and Z2 are in the same process (here, “A20”). Even in the case of (1), the carrier Y1 belonging to the batch processing required lot is divided and processed by the two devices Z1 and Z2, so that the requirements of the batch processing are not satisfied. Therefore, the
[0041]
In
[0042]
Next, a description will be given of the loading control in the case where the lot to which the carrier Y to be loaded belongs does not correspond to the batch processing required lot. Here, the carrier ID of the carrier Y to be loaded is “LOT001-01”, and the device ID of the processing device Z to which the carrier Y is to be loaded is “MAC01”. Further, it is assumed that the processing apparatus Z in this case performs the process of the
[0043]
In this case, it can be seen from the lot information shown in FIG. 5 and the production reference information shown in FIG. 6 that the carrier Y to be newly added does not belong to the batch processing required lot. At this time, it is determined in
[0044]
Therefore, next, the device in-process information file 33c is searched by using the device ID and the process ID to which the carrier Y is to be input as a key, and the in-process carrier ID is obtained (step 10). For example, if the device in-process information is as shown in FIG. 11 when the device ID is “MAC01” and the process ID is “A10” as described above, the device-in-process carrier ID is “LOT002-01”.
[0045]
When the in-process carrier ID is obtained in this way, the in-process carrier ID is compared with the carrier ID of the carrier Y to be loaded (step 11). At this time, if the in-process carrier ID does not match the carrier ID of the carrier Y to be charged, the lot ID is specified from the in-process carrier ID, and the
[0046]
For example, in the above example, if the in-process carrier ID is "LOT002-01" and the carrier ID of the carrier Y to be put in is "LOT001-01", the two do not match, so the lot ID specified from the in-process carrier ID When the lot information shown in FIG. 5 is searched using “LOT002” as a key, the model name is “BCD12345”. At this time, the in-process step ID obtained from the device in-process information of FIG. 11 is “A10”, and therefore, the carrier (the model name “BCD12345” corresponding to the lot) being processed by the processing device Z is obtained from the manufacturing reference information of FIG. It is determined that the batch needs to be processed.
[0047]
When it is determined that the carrier being processed by the processing apparatus belongs to the batch processing required lot, the state is as shown in FIG. That is, assuming that the carrier being processed in the processing apparatus Z1 is Y1 and the carrier to be charged into the apparatus Z1 is Y2, the carrier Y1 (lot ID “LOT002”) being processed in the processing apparatus Z1 belongs to the batch processing required lot. On the other hand, the carrier Y2 to be charged does not belong to the batch processing required lot. Therefore, when the carrier Y2 is newly loaded into the processing apparatus Z1, different lots coexist in the apparatus X1, and the requirements for batch processing are reduced. No longer satisfied. Therefore, the
[0048]
As a result, it is possible to reliably prevent the occurrence of an error such that a carrier belonging to another lot is unexpectedly thrown into an apparatus which is processing a carrier belonging to a batch processing required lot.
[0049]
On the other hand, when the carrier being processed by the processing apparatus Z does not belong to the batch processing required lot in the determination in
[0050]
If the in-process carrier ID matches the carrier ID of the carrier Y to be charged in step 11, both carriers belong to the same lot, so the
[0051]
When a new carrier Y can be loaded into the processing apparatus Z according to the determination result of the
[0052]
Then, when the processing on the carrier Y is completed, the
[0053]
In the first embodiment, the carrier ID, the process ID, and the process flow information shown in FIG. 3 are registered in the carrier management card 11 provided in the carrier Y. The information may be registered by using a code or the like. In this case, the process flow information of FIG. 3 is registered as a database in the system control device X, and the process ID to be processed is registered in the
[0054]
【The invention's effect】
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to the production control system which concerns on this invention, when a carrier is thrown in to each processing apparatus which supplies and discharges a carrier sequentially, the requirement of a batch process can always be satisfied reliably. For this reason, it is possible to eliminate problems such as the necessity of re-processing the batch-required lot and the necessity of discarding the lot. In addition, the suitability of batch processing for each carrier is automatically determined, so that the burden on the operator can be significantly reduced.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram showing an overall configuration of a production control system according to
FIG. 2 is an explanatory diagram showing an example of a carrier ID and a process ID registered in a carrier management card.
FIG. 3 is an explanatory diagram showing an example of process flow information registered in a carrier management card.
FIG. 4 is an explanatory diagram showing a relationship between a carrier ID and a lot ID.
FIG. 5 is an explanatory diagram showing an example of lot information constituting a database of a system control device.
FIG. 6 is an explanatory diagram showing an example of manufacturing reference information constituting a database of a system control device.
FIG. 7 is an explanatory diagram showing an example of device in-process information constituting a database of a system control device.
FIG. 8 is a flowchart provided to explain a processing operation in a case where it is determined whether or not to insert a carrier into a processing apparatus in the production control system according to the present invention.
FIG. 9 is an explanatory diagram illustrating an example of device in-process information when the requirements for batch processing are no longer satisfied.
FIG. 10 is an explanatory diagram showing another example of the device in-process information when the requirements for batch processing are no longer satisfied.
FIG. 11 is an explanatory diagram showing still another example of the device in-process information when the requirement for batch processing is not satisfied.
FIG. 12 is an explanatory diagram showing a relationship between a lot and a carrier.
FIG. 13 is an explanatory diagram showing a case where a requirement for batch processing is not satisfied when a carrier is charged into a processing apparatus.
[Explanation of symbols]
X system control device (input determination means), Y carrier, Z processing device, 11 carrier management card, 21 ID reading unit, 22 data communication unit, 23 processing control unit, 24 data holding unit, 31 data communication unit, 32 input determination Department, 33 database, 33a lot information file, 33b manufacturing standard information file, 33c device in-process information file.
Claims (5)
一つの処理装置を占有して1ロット分の全てのキャリアを連続的に処理することが必要となるバッチ処理必要ロットが他のロットに属するキャリアを処理中の装置に投入されたり、バッチ処理必要ロットに属するキャリアを処理中の装置に他のロットに属するキャリアが投入されたり、バッチ処理必要ロットに属するキャリアが複数の装置に分割して投入されたりしないようにそれぞれ検証して、そのような事態になるときには装置投入不可とする投入判定手段を備えることを特徴とする生産制御システム。In a case where each lot is distributed to a plurality of carriers and sequentially charged into each processing device arranged along each process and processed, a system for controlling the loading of carriers into each processing device. hand,
Batch processing required to occupy one processing unit and continuously process all carriers for one lot. A batch that needs batch processing is loaded into a device that is processing a carrier belonging to another lot, or batch processing is required. Verify that carriers belonging to other lots are not put into the equipment that is processing carriers belonging to the lot, or that carriers belonging to batch processing required lots are not split into multiple devices and put in. A production control system comprising an input determining means for determining that the device cannot be input when a situation occurs.
各キャリアには、当該キャリアがいずれのロットに属するかを識別するキャリアIDが登録されたキャリア管理カードが個別に設けられ、また、各処理装置には装置識別用の装置IDが登録されたデータ保持部、および上記キャリア管理カードのキャリアIDを読み取る読取手段が設けられる一方、
ある一つの処理装置を占有して1ロット分の全てのキャリアを連続的に投入するバッチ処理が必要であるか否かを示すバッチ処理情報が、ロットの属する型名および工程識別用の工程IDに対応させて製造基準情報として予め登録されている製造基準情報ファイルと、各工程ごとに使用される処理装置における現在のキャリアの仕掛状態を示す情報が装置IDおよび工程IDとともに装置仕掛情報として記憶されている装置仕掛情報ファイルとを備えるとともに、
上記読取手段で読み取ったキャリアIDならびに上記製造基準情報ファイルに登録されている製造基準情報に基づいて、処理装置に投入予定のキャリアがバッチ処理を必要とするバッチ処理必要ロットに属するか否かを判別するバッチ処理必要ロット判別手段と、このバッチ処理必要ロット判別手段の判別結果ならびに上記装置仕掛情報ファイルの装置仕掛情報に基づいて、処理装置で処理中のキャリアが属するロットと投入予定のキャリアが属するロットとが一致するか否かを判断してその判断結果に基づいて投入予定のキャリアを選別するキャリア選別手段と、を含むことを特徴とする生産制御システム。In a case where each lot is distributed to a plurality of carriers and sequentially charged into each processing device arranged along each process and processed, a system for controlling the loading of carriers into each processing device. hand,
Each carrier is individually provided with a carrier management card in which a carrier ID for identifying which lot the carrier belongs to is registered. Each processing device has a data in which a device ID for device identification is registered. While a holding unit and reading means for reading the carrier ID of the carrier management card are provided,
Batch processing information indicating whether batch processing for occupying a certain processing apparatus and continuously feeding all carriers for one lot is required is a model name to which the lot belongs and a process ID for process identification. A manufacturing reference information file registered in advance as manufacturing reference information in association with the information, and information indicating a current carrier in-process state in a processing apparatus used for each process are stored as device in-process information together with an apparatus ID and a process ID. Device information file that is
Based on the carrier ID read by the reading means and the manufacturing reference information registered in the manufacturing reference information file, it is determined whether or not the carrier to be put into the processing device belongs to a batch processing required lot requiring batch processing. The batch processing required lot determining means for determining, and the lot to which the carrier being processed in the processing apparatus belongs and the carrier to be charged are determined based on the determination result of the batch processing required lot determining means and the device processing information of the device processing information file. A carrier selecting means for judging whether or not the lot belongs to the carrier and for selecting a carrier to be put in based on the judgment result.
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