JP2004295289A

JP2004295289A - Production control system

Info

Publication number: JP2004295289A
Application number: JP2003084324A
Authority: JP
Inventors: Shinji Ogawa; 真司小川
Original assignee: Renesas Technology Corp
Current assignee: Renesas Technology Corp
Priority date: 2003-03-26
Filing date: 2003-03-26
Publication date: 2004-10-21

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a production control system for always surely fulfilling the requirements of batch processing to continuously process all carriers per lot by occupying a certain processor when the batch processing is necessary. <P>SOLUTION: This system is provided with an input deciding means X for, when one lot is distributed to a plurality of carriers Y, and successively inputted to processors Z, verifying that the carriers Y belonging to the batch processing requiring lots are neither inputted to the processors Z which are processing the carriers belonging to the other lots, nor divided/inputted to the plurality of devices Z, and for invalidating the input of those carriers to the devices when such situations are generated. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種製品を各工程に沿って配置された処理装置に投入して所定の処理を行う生産制御システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体デバイスの製造や品質保証のために各種の処理を行う処理装置、たとえば、マルチマガジン方式の検査装置やソータなどにおいては、ハンドリングや搬送等の便宜上、図１２に示すように、製品の組単位となる１つのロットを複数のキャリア（マガジン）Ｙに振り分けた上で、各キャリアＹ単位でもって処理装置に順次供給、排出することが行われる。
【０００３】
すなわち、上のような処理装置においては、各種設備上の制約から、ロットを構成する全てのキャリアＹを装置内に一時に投入して一括処理できないため、一つのキャリアＹの処理が完了するたびに、装置内に新たに一つのキャリアＹを投入することが行われる。
【０００４】
ところで、製品の種類によっては、処理装置の温度ドリフト等の変動要因の影響を除いたり、品質保証を確保する等の観点から、一つの処理装置を占有して１ロット分の全てのキャリアを連続的に処理することが必要になる場合がある。以下、ある一つの処理装置を占有して１ロット分の全てのキャリアを連続的に処理することをバッチ処理と称し、また、このようなバッチ処理が必要なロットをバッチ処理必要ロットと称する。
【０００５】
このバッチ処理必要ロットについても、上述したように装置の制約上、一つの装置内に１ロットに属する全てのキャリアを一括投入して処理することができないので、キャリア単位で順次装置内に投入されることになるが、その場合、次のような投入の仕方がなされると上述したバッチ処理の要件を満たさなくなる。
【０００６】
（１）すなわち、いま、図１３（ａ）に示すように、投入予定のキャリアＹ１はバッチ処理必要ロットに属しているが、処理装置Ｚ１に仕掛中のキャリアＹ２は、この投入予定のキャリアＹ１のバッチ処理必要ロットに属さない場合、投入予定のキャリアＹ１を実際に装置Ｘ１に投入すると、装置Ｚ１内に異なるロットが共存することになるため、バッチ処理の要件を満たさなくなる。
【０００７】
（２）図１３（ｂ）に示すように、ある処理装置Ｚ２で処理中のキャリアＹ１と投入予定のキャリアＹ１とが同じバッチ処理必要ロットに属し、また、２つの処理装置Ｚ１，Ｚ２が同じ工程の処理を行うものであっても、キャリアＹ１を処理中の装置Ｚ２と、キャリアＹ１の投入対象となっている装置Ｚ１とが別の場合、バッチ処理必要ロットに属するキャリアＹ１が２つの装置Ｚ１，Ｚ２に分割して投入処理されることになるのでバッチ処理の要件を満たさなくなる。
【０００８】
（３）図１３（ｃ）に示すように、処理装置Ｚ１で処理中のキャリアＹ１がバッチ処理必要ロットである場合に、新たに投入予定のキャリアＹ２がこの装置Ｚ１で処理中のバッチ処理必要ロットに属さないときには、この投入予定のキャリアＹ２を装置Ｘ１に投入すると装置Ｘ１内に異なるロットが共存するようになるため、バッチ処理の要件を満たさなくなる。
【０００９】
そこで、従来は、作業者が各キャリアに添付された検移票などに記述されている内容を読み取って、処理装置で処理中のキャリアおよび投入予定のキャリアについて、それぞれバッチ処理必要ロットに属するか否かを判断することで、キャリアが上記（１）〜（３）のような投入状態にならないように注意を払いながら作業を行っている。
【００１０】
なお、従来技術として、特定の製品ロットを複数に分割し、分割された各製品組に対して、各工程毎に作業号機を指定するデータを付加可能な生産制御システムや（たとえば、特許文献１参照）、製造設備に限定すべき作業条件と作業者が製造設備に予め設定した作業条件とを比較して、双方が一致した場合には作業指示を送出し、不一致の場合には警告を発するようにした製造管理システム（たとえば、特許文献２）などが提案されている。
【００１１】
しかしながら、これらの特許文献１，２に記載されている従来技術は、ロットがいずれの装置であれば処理可能かを判断して単に指示を出しているだけであって、バッチ処理必要ロットの有無を考慮して、投入予定のキャリアと仕掛中のキャリアとの関係において投入の適否を判断するものではない。
【００１２】
【特許文献１】
特開平９−２６０２３１号公報（第４，５頁、図１）
【特許文献２】
特開２００１−３２５０１９号公報（第２，４頁、図１）
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように、従来は、作業者が処理装置に仕掛中のキャリア、および投入予定のキャリアについてそれぞれバッチ処理必要ロットに属するか否かを判断して、キャリアが上記（１）〜（３）のような投入状態にならないように注意を払いながら作業を行っているが、全て人手に頼っているために投入ミスを起こし易い。
【００１４】
そして、不意に上記（１）〜（３）のような投入状態になってしまうと、１ロット分について再度処理が必要となったり、１ロット分の製品を破棄せざるを得なくなるなどの不具合を生じている。また、作業者にとっては、投入ミスを起こさないように常に注意を払う必要があるため、作業時の負担が大きくなっている。
【００１５】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたもので、キャリアを順次供給排出する各処理装置に対してキャリアを投入する場合において、過大な労力を要することなく、バッチ処理の要件を常に確実に満たすことができる生産制御システムを提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る生産制御システムは、上記の目的を達成するために、各々のロットが複数のキャリアに振り分けられた状態で各工程に沿って配置された各処理装置に順次投入されて処理される構成を前提としている。
【００１７】
そして、本発明では、一つの処理装置を占有して１ロット分の全てのキャリアを連続的に処理することが必要となるバッチ処理必要ロットが他のロットに属するキャリアを処理中の装置に投入されたり、バッチ処理必要ロットに属するキャリアを処理中の装置に他のロットに属するキャリアが投入されたり、バッチ処理必要ロットに属するキャリアが複数の装置に分割して投入されたりしないようにそれぞれ検証し、そのような事態になるときには装置投入不可とする投入判定手段を設けたことを特徴としている。
【００１８】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１は本発明の実施の形態１に係る生産制御システムの全体構成を示すブロック図である。
【００１９】
この実施の形態１の生産制御システムは、システム全体の制御を司るシステム制御装置Ｘ、製品に対して各種の処理を行う複数の処理装置Ｚ、製品ｐを保持した状態で各処理装置Ｚに投入されるキャリアＹを備えている。
【００２０】
図１２に示したように、各キャリアＹは一つのロットに属しており、各キャリアＹには、メモリカードなどのキャリア管理カード１１が設けられている。そして、キャリア管理カード１１には、図２に示すように、当該キャリアＹがいずれのロットに属するかを識別するキャリアＩＤ、キャリアＹの処理工程を特定するための工程ＩＤ、および図３に示すような工程順を示す工程番号と工程ＩＤとが対応付けられた工程フロー情報が登録されている。
【００２１】
この場合のキャリアＩＤは、図４に示すように、ロットＩＤに各キャリア毎の連番が付された構造をしており、したがって、キャリアＩＤからロットＩＤを簡単に特定できるようになっている。なお、当然のことながら、キャリアＩＤは、各工程に沿った全ての処理が終了するまでは不変であるが、工程ＩＤは各工程の処理が終了するたびに書き換えられる。
【００２２】
各処理装置Ｚには、キャリア管理カード１１に対して情報の読み書きするＩＤ読書部２１、システム制御装置Ｘとの間でデータ通信を行うデータ通信部２２、処理装置Ｚの全般的な動作を制御する処理制御部２３、およびシステム制御装置Ｘやキャリア管理カード１１との間のアクセスデータを保持するとともに、動作制御プログラムなどが格納されたハードディスクなどからなるデータ保持部２４を備えている。さらに、このデータ保持部２４には、各処理装置Ｚを識別するための装置ＩＤが予め登録されている。なお、上記のＩＤ読書部２１が特許請求の範囲における読取手段に対応している。
【００２３】
システム制御装置Ｘは、各処理装置Ｚとの間でデータ通信を行うデータ通信部３１、処理装置ＺへのキャリアＹの投入の適否を判定する投入判定部３２、および外部記憶装置で構成されるデータベース３３を備えている。そして、このデータベース３３は、ロット情報ファイル３３ａ、製造基準情報ファイル３３ｂ、および装置仕掛情報ファイル３３ｃをそれぞれ備えている。
【００２４】
なお、このシステム制御装置Ｘが、特許請求の範囲における投入判定手段に対応し、また、上記のシステム制御装置Ｘの投入判定部３２が特許請求の範囲のバッチ処理必要ロット判別手段に対応し、さらに、システム制御装置Ｘの投入判定部３２および処理装置Ｚの処理制御部２３が特許請求の範囲におけるキャリア選別手段に対応している。
【００２５】
上記のロット情報ファイル３３ａには、図５に示すように、各ロットが属する製品型名を特定するために、ロットＩＤと型名とが対応付けられてロット情報として予め登録されている。製造基準情報ファイル３３ｂには、図６に示すように、１ロット分の全てのキャリアＹについてバッチ処理が必要であるか否かを示すバッチ処理情報が、ロットの属する型名および工程ＩＤに対応させて製造基準情報として予め登録されている。装置仕掛情報ファイル３３ｃは、図７に示すように、各処理装置Ｚにおいて処理中のキャリアＹを特定するための仕掛キャリアＩＤが装置ＩＤおよび工程ＩＤに対応付けて装置仕掛情報として記憶されている。したがって、この装置仕掛情報は、一つのキャリアＹの処理が終了するたびにその内容が書き換えられる。
【００２６】
次に、上記構成の生産制御システムの動作、特に、処理装置Ｚに対するキャリアＹの投入の適否を判定する場合の動作を主体に、図８に示すフローチャートを参照して説明する。
【００２７】
まず、キャリアＹが処理装置Ｚに実際に投入されるのに先立って、処理装置ＺのＩＤ読書部２１によって、キャリア管理カード１１に登録されているキャリアＩＤと工程ＩＤが読み取られてデータ保持部２４に登録される。さらに、読み取られたキャリアＩＤと工程ＩＤ、ならびにデータ保持部２４に予め登録されている装置ＩＤは、共にデータ通信部２２を介してシステム制御装置Ｘに送信され、そのデータ通信部３１から投入判定部３２に取り込まれる（ステップ１）。
【００２８】
ここでは、一例として、キャリアＹが投入予定の一つの処理装置Ｚに着目したとき、このキャリアＹに設けられているキャリア管理カード１１からキャリアＩＤとして“ＬＯＴ００１−０１”が、工程ＩＤとして“Ａ２０”が読み取られたものとする。また、この処理装置Ｚのデータ保持部２４に保持されている装置ＩＤは“ＭＡＣ０１”であるとする。
【００２９】
投入判定部３２は、キャリアＩＤからロットＩＤを取得し、このロットＩＤをキーにしてロット情報ファイル３３ａを検索してそのロットの属する製品の型名を取得する（ステップ２）。たとえば、ロット情報が図５に示す内容であった場合、上記のようにキャリアＩＤが“ＬＯＴ００１−０１”のとき、ロットＩＤは“ＬＯＴ００１”であるから、型名は“ＡＢＣ１２３４５”となる。
【００３０】
引き続いて、投入判定部３２は、受信した工程ＩＤと上記のようにして取得した型名をキーとして、製造基準情報ファイル３３ｂを検索して、投入予定のキャリアＹがバッチ処理必要ロットに属するか否かを判断する（ステップ３，４）。たとえば、製造基準情報が図６に示す内容であった場合、上記の例ではキャリア管理カード１１から読み取った工程ＩＤが“Ａ２０”で、ロット情報を検索して取得した型名が“ＡＢＣ１２３４５”であるので、その場合には投入予定のキャリアＹはバッチ処理必要ロットに属すると判断される。
【００３１】
投入予定のキャリアＹがバッチ処理必要ロットの場合、投入判定部３２は、キャリアＹの投入対象となっている処理装置Ｚについての装置ＩＤと上記の工程ＩＤとをキーにして装置仕掛情報ファイル３３ｃを検索して、仕掛キャリアＩＤを取得する（ステップ５）。たとえば、装置仕掛情報が図７に示す内容の場合、装置ＩＤが“ＭＡＣ０１”、工程ＩＤが“Ａ２０”の場合、仕掛キャリアＩＤは“ＬＯＴ００１−０３”となる。
【００３２】
なお、キャリアＹの投入対象となっている処理装置Ｚには仕掛中のキャリアが存在しない場合もあるので、その場合には仕掛キャリアＩＤも存在しない。そのときには、仕掛キャリアＩＤは“取得なし”となる。この点については後で詳述する。
【００３３】
ここで、仕掛キャリアＩＤが取得された場合には、その仕掛キャリアＩＤと投入予定のキャリアＹのキャリアＩＤとが比較される（ステップ６）。このとき、両ＩＤが一致する場合には、両キャリアＹは共に同じバッチ処理必要ロットに属するので、投入判定部３２は、投入予定のキャリアＹは投入可と判断する（ステップ９）。たとえば、上記のように、仕掛キャリアＩＤが“ＬＯＴ００１−０３”で、投入予定のキャリアＹのキャリアＩＤが“ＬＯＴ００１−０１”であれば、両者は共に同じバッチ処理必要ロットに属するため投入可となる。
【００３４】
この投入判定部３２の判定結果は、データ通信部３１から処理装置Ｚのデータ通信部２２を介して処理制御部２３に送られるので、処理制御部２３は投入予定のキャリアＹの投入制御を行い、当該キャリアＹが処理装置Ｚ内に投入されて所定の処理が開始される。
【００３５】
これに対して、ステップ６において、装置仕掛情報ファイル３３ｃを検索して取得した仕掛キャリアＩＤが投入予定のキャリアのキャリアＩＤと不一致の場合には、図１３（ａ）に示した状態になる。つまり、投入予定のキャリアをＹ１、処理装置Ｚ１で処理中のキャリアをＹ２とすると、投入予定のキャリアＹ１はバッチ処理必要ロットに属しているが、処理装置Ｚ１で処理中のキャリアＹ２は、この投入予定のキャリアＹ１のバッチ処理必要ロットには属さないためバッチ処理の要件を満たさず、したがって、投入判定部３２は、投入予定のキャリアＹ１の投入を不可と判断する（ステップ１５）。
【００３６】
たとえば、装置仕掛情報が図９に示す内容の場合、装置ＩＤ（“ＭＡＣ０１”）と工程ＩＤ（“Ａ２０”）をキーにして装置仕掛情報ファイル３３ｃを検索したときには仕掛キャリアＩＤが“ＬＯＴ００２−０１”となるが、これに対して投入予定のキャリアＹ１のキャリアＩＤは“ＬＯＴ００１−０１”であるので、両キャリアＹ１，Ｙ２のロットＩＤが互いに異なる。このためキャリアＹ１の投入不可となる。
【００３７】
この投入判定部３２の判定結果は、データ通信部３１から処理装置Ｚのデータ通信部２２を介して処理制御部２３に送られるので、処理制御部２３は投入予定のキャリアＹの投入動作禁止するため、当該キャリアＹは処理装置Ｚ内に投入されず、したがって処理は開始されない。これにより、バッチ処理必要ロットに属するキャリアが、他のロットに属するキャリアを処理中の装置に不意に投入されるといったミス発生を確実に防止することができる。
【００３８】
ところで、前述のように、ステップ５で装置ＩＤと工程ＩＤをキーにして装置仕掛情報ファイル３３ｃを検索しても、キャリアＹの投入対象となっている処理装置Ｚ内に仕掛中のキャリアが全く存在しない場合には、仕掛キャリアＩＤを取得できないので、そのときには、ステップ６で仕掛キャリアＩＤは“取得なし”となる。このときには、投入予定のキャリアＹのロットＩＤをキーにして装置仕掛情報ファイル３３ｃを検索し、装置ＩＤを取得する（ステップ７）。
【００３９】
たとえば、装置仕掛情報が図１０に示す内容の場合、装置ＩＤが“ＭＡＣ０１”、工程ＩＤが“Ａ２０”の場合、仕掛キャリアＩＤは“取得なし”となるので、投入予定のキャリアＹに対応するロットＩＤ“ＬＯＴ００１”をキーとしてこの装置仕掛情報から装置ＩＤを検索すると“ＭＡＣ０２”となる。
【００４０】
そして、装置仕掛情報ファイル３３ｃを検索して取得した装置ＩＤと、キャリアＹの投入対象となっている装置ＩＤとを比較する（ステップ８）。このとき、両ＩＤが異なる場合には、図１３（ｂ）に示した状態になる。つまり、現在処理中のキャリアＹ１と投入予定のキャリアＹ１とが同じバッチ処理必要ロット（ここでは“ＬＯＴ００１”）に属し、また、２つの処理装置Ｚ１，Ｚ２が同じ工程（ここでは“Ａ２０”）の場合であっても、バッチ処理必要ロットに属するキャリアＹ１が２つの装置Ｚ１，Ｚ２に分割して処理されることになってバッチ処理の要件を満たさなくなる。そのため、投入判定部３２は、投入予定のキャリアＹ１は投入不可と判断する（ステップ１５）。その結果、バッチ処理必要ロットを複数の装置Ｚ１，Ｚ２で処理してしまうといったミス発生を確実に防ぐことができる。
【００４１】
なお、ステップ８において、装置仕掛情報ファイル３３ｃを検索して取得した装置ＩＤと投入予定のキャリアＹについての装置ＩＤとが一致する場合には、同じ処理装置Ｚに同じバッチ処理必要ロットに属する各キャリアＹが投入されることになるため、投入判定部３２は投入可と判定する（ステップ９）。
【００４２】
次に、投入予定のキャリアＹが属するロットがバッチ処理必要ロットに該当しない場合の投入制御について説明する。なお、ここでは、投入予定のキャリアＹのキャリアＩＤは“ＬＯＴ００１−０１”、このキャリアＹの投入対象となっている処理装置Ｚの装置ＩＤは“ＭＡＣ０１”とする。また、この場合の処理装置Ｚは、前述の場合と異なり図３の工程番号１の処理（工程ＩＤ“Ａ１０”）を行うものとする。
【００４３】
その場合、図５に示したロット情報および図６に示した製造基準情報から、新たに投入予定のキャリアＹはバッチ処理必要ロットに属さないことが分かる。このときには、ステップ４においてバッチ処理不要と判断される
【００４４】
そこで、次に、キャリアＹの投入対象となっている装置ＩＤと工程ＩＤとをキーにして装置仕掛情報ファイル３３ｃを検索して、仕掛キャリアＩＤを取得する（ステップ１０）。たとえば、上記のように装置ＩＤが“ＭＡＣ０１”で、工程ＩＤが“Ａ１０”のときに装置仕掛情報が図１１に示す内容であったとすれば、仕掛キャリアＩＤは“ＬＯＴ００２−０１”となる。
【００４５】
このようにして仕掛キャリアＩＤが取得された場合には、その仕掛キャリアＩＤが投入予定のキャリアＹのキャリアＩＤと比較される（ステップ１１）。その際、仕掛キャリアＩＤが投入予定のキャリアＹのキャリアＩＤと一致しない場合には、仕掛キャリアＩＤからそのロットＩＤを特定し、このロットＩＤをキーにしてロット情報ファイル３３ａ（図５参照）を検索してそのロットの属する型名を取得する（ステップ１２）。そして、この取得した型名および工程ＩＤをキーにして、製造基準情報ファイル３３ｂ（図６参照）から、処理装置Ｚ１に仕掛中のキャリアがバッチ処理必要ロットに属するか否かを判断する（ステップ１３，１４）。
【００４６】
たとえば、上記の例で、仕掛キャリアＩＤは“ＬＯＴ００２−０１”で、投入予定のキャリアＹのキャリアＩＤが“ＬＯＴ００１−０１”であれば両者は一致しないので、仕掛キャリアＩＤから特定されるロットＩＤ“ＬＯＴ００２”をキーにして図５に示すロット情報を検索すると、型名は“ＢＣＤ１２３４５”である。このとき図１１の装置仕掛情報で得られる仕掛中の工程ＩＤは“Ａ１０”なので、図６の製造基準情報から、処理装置Ｚで処理中のキャリア（ロットに対応する型名“ＢＣＤ１２３４５”）はバッチ処理必要ロットであると判定される。
【００４７】
そして、処理装置で処理中のキャリアがバッチ処理必要ロットに属していると判断された場合には、図１３（ｃ）に示したような状態になる。つまり、処理装置Ｚ１で処理中のキャリアをＹ１、装置Ｚ１に投入予定のキャリアをＹ２とすると、処理装置Ｚ１で処理中のキャリアＹ１（ロットＩＤ“ＬＯＴ００２”）はバッチ処理必要ロットに属しているのに対して、投入予定のキャリアＹ２はバッチ処理必要ロットに属さないので、このキャリアＹ２を新たに処理装置Ｚ１に投入すると装置Ｘ１内で異なるロットが共存するようになってバッチ処理の要件を満たさなくなる。したがって、投入判定部３２は、キャリアＹ２の投入は不可と判断する（ステップ１５）。
【００４８】
これにより、バッチ処理必要ロットに属するキャリアを処理中の装置に対して、他のロットに属するキャリアが不意に投入されるといったミス発生を確実に防止することができる。
【００４９】
一方、ステップ１４の判断で、処理装置Ｚで処理中のキャリアがバッチ処理必要ロットに属さないとき、ステップ４の判断により、投入予定のキャリアＹもバッチ処理必要ロットに属さないので、投入判定部３２は処理装置Ｚへの新たなキャリアの投入を許可する（ステップ９）。
【００５０】
なお、ステップ１１で仕掛キャリアＩＤが投入予定のキャリアＹのキャリアＩＤと一致する場合には、両キャリアは共に同じロットに属するので、投入判定部３２は、投入予定のキャリアＹは投入可と判断する（ステップ９）。また、ステップ１１でキャリアＹの投入対象となっている処理装置Ｚにおいて現在処理中のキャリアが全く存在しないときには、仕掛キャリアＩＤは“取得なし”となるが、このときにも、ステップ４の判断により、投入予定のキャリアＹが属するロットはバッチ処理必要ロットでないので、投入判定部３２は、処理装置Ｚへの新たなキャリアＹの投入を許可する（ステップ９）。
【００５１】
投入判定部３２の判定結果により、処理装置Ｚへの新たなキャリアＹが投入可となった場合、前述のようにキャリアＹを処理装置Ｚ内に投入して処理を開始することになるが、その際、投入判定部３２は、図７の装置仕掛情報ファイルに対して装置ＩＤ、工程ＩＤ、仕掛キャリアＩＤを登録する。
【００５２】
そして、キャリアＹに対する処理が完了すると、処理装置Ｚの処理制御部２３は、データ保持部２４から読み出したキャリアＩＤと共に処理完了の旨をシステム制御装置Ｘに送信する。そして、送信後は、データ保持部２４に登録されていたキャリアＩＤと工程ＩＤとを削除する。また、ＩＤ読書部２１は、キャリア管理カード１１から工程フロー情報を読み取って工程番号を一つ進めた工程ＩＤを取得し、この取得した工程ＩＤをキャリア管理カード１１に記録する。一方、システム制御装置Ｘは、送信されてきたキャリアＩＤをキーに装置仕掛情報ファイル３３ｃ（図７参照）から処理完了のキャリアに対応した仕掛キャリアＩＤを削除する。これにより、キャリア管理カード１１に記録される工程ＩＤの正当性、および装置仕掛情報ファイル３３ｃの正当性を保つことができる。
【００５３】
上記の実施の形態１では、キャリアＹに設けたキャリア管理カード１１には、キャリアＩＤ、工程ＩＤ、および図３に示した工程フロー情報を登録するようにしているが、キャリアＩＤのみをたとえばバーコードなどの標記によって登録するようにしてもよい。その場合には、システム制御装置Ｘにデータベースとして図３の工程フロー情報を登録するとともに、ロット情報ファイル３３ａ（図５参照）において、ロットＩＤに対応付けて処理予定の工程ＩＤを登録し、投入判定結果が投入可となってその旨を処理装置に送信する際に、この工程ＩＤを更新する。
【００５４】
【発明の効果】
本発明に係る生産制御システムによれば、キャリアを順次供給排出する各処理装置に対してキャリアを投入する場合に、バッチ処理の要件を常に確実に満たすことができる。このため、バッチ処理必要ロットを再度処理することが必要になったり、ロットを破棄せざるを得なくなるなどの不具合発生を無くすことができる。また、各キャリアについてバッチ処理の適否が自動的に判断されるため、作業者の負担を大幅に削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１に係る生産制御システムの全体構成を示すブロック図である。
【図２】キャリア管理カードに登録されているキャリアＩＤと工程ＩＤの一例を示す説明図である。
【図３】キャリア管理カードに登録されている工程フロー情報の一例を示す説明図である。
【図４】キャリアＩＤとロットＩＤとの関係を示す説明図である。
【図５】システム制御装置のデータベースを構成するロット情報の一例を示す説明図である。
【図６】システム制御装置のデータベースを構成する製造基準情報の一例を示す説明図である。
【図７】システム制御装置のデータベースを構成する装置仕掛情報の一例を示す説明図である。
【図８】本発明に係る生産制御システムにおいて、処理装置に対するキャリアの投入の適否を判定する場合の処理動作を説明するために供するフローチャートである。
【図９】バッチ処理の要件を満たさなくなる場合の装置仕掛情報の一例を示す説明図である。
【図１０】バッチ処理の要件を満たさなくなる場合の装置仕掛情報の他の一例を示す説明図である。
【図１１】バッチ処理の要件を満たさなくなる場合の装置仕掛情報のさらに他の一例を示す説明図である。
【図１２】ロットとキャリアとの関係を示す説明図である。
【図１３】キャリアを処理装置に投入する際に、バッチ処理の要件を満たさなくなる場合を示す説明図である。
【符号の説明】
Ｘシステム制御装置（投入判定手段）、Ｙキャリア、Ｚ処理装置、１１キャリア管理カード、２１ＩＤ読取部、２２データ通信部、２３処理制御部、２４データ保持部、３１データ通信部、３２投入判定部、３３データベース、３３ａロット情報ファイル、３３ｂ製造基準情報ファイル、３３ｃ装置仕掛情報ファイル。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a production control system for performing various processes by supplying various products to processing devices arranged along each process.
[0002]
[Prior art]
Generally, in a processing apparatus for performing various processes for manufacturing and quality assurance of a semiconductor device, for example, a multi-magazine type inspection apparatus and a sorter, for convenience of handling and transportation, as shown in FIG. After one lot serving as a set unit is distributed to a plurality of carriers (magazines) Y, supply and discharge are sequentially performed to the processing apparatus in units of each carrier Y.
[0003]
That is, in the above-described processing apparatus, all carriers Y constituting a lot cannot be put into the apparatus at one time due to restrictions on various facilities, and cannot be processed collectively. Then, a new carrier Y is charged into the apparatus.
[0004]
By the way, depending on the type of product, one carrier is occupied by one processor and all carriers for one lot are continuously used from the viewpoint of eliminating the influence of fluctuation factors such as temperature drift of the processor and securing quality assurance. May need to be processed. Hereinafter, occupying one processing apparatus and continuously processing all carriers of one lot is referred to as batch processing, and a lot requiring such batch processing is referred to as a batch processing required lot.
[0005]
As for the batch processing required lot, as described above, all the carriers belonging to one lot cannot be batch-loaded into one device due to the limitations of the device and processed. However, in this case, if the following input method is performed, the requirements for the batch processing described above will not be satisfied.
[0006]
(1) That is, as shown in FIG. 13A, the carrier Y1 to be charged belongs to the batch processing required lot, but the carrier Y2 in process in the processing apparatus Z1 is the carrier Y1 to be charged. If the carrier Y1 to be loaded is actually loaded into the apparatus X1 when the batch Y does not belong to the batch processing required lot, different lots coexist in the apparatus Z1 and the batch processing requirement is not satisfied.
[0007]
(2) As shown in FIG. 13B, the carrier Y1 being processed in a certain processing apparatus Z2 and the carrier Y1 to be charged belong to the same batch processing required lot, and the two processing apparatuses Z1 and Z2 are the same. Even if the process is performed in a process, if the device Z2 that is processing the carrier Y1 and the device Z1 to which the carrier Y1 is to be charged are different, the two carriers Y1 belonging to the batch processing required lot Since the input processing is performed while being divided into Z1 and Z2, the requirements for batch processing are not satisfied.
[0008]
(3) As shown in FIG. 13 (c), when the carrier Y1 being processed by the processing apparatus Z1 is a lot requiring batch processing, the carrier Y2 to be newly charged requires batch processing being processed by this apparatus Z1. When it does not belong to a lot, if the carrier Y2 to be charged is loaded into the apparatus X1, different lots will coexist in the apparatus X1, and the requirements for batch processing will not be satisfied.
[0009]
Therefore, conventionally, an operator reads the contents described in an inspection slip attached to each carrier, and determines whether the carrier being processed by the processing device and the carrier to be charged belong to the batch processing required lot, respectively. By judging whether or not the carrier is in operation, the operator pays attention so that the carrier does not enter the above-described state (1) to (3).
[0010]
As a conventional technique, a production control system that divides a specific product lot into a plurality of products and adds data designating a work machine for each process to each of the divided product sets (for example, see Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-163,087). ), The work conditions to be limited to the manufacturing equipment are compared with the work conditions preset in the manufacturing equipment by the operator, and if they match, a work instruction is sent; if they do not match, a warning is issued. A manufacturing management system as described above (for example, Patent Document 2) has been proposed.
[0011]
However, the prior arts described in these Patent Documents 1 and 2 merely determine which device can process a lot and simply issue an instruction. In consideration of the above, it is not to judge the suitability of the introduction based on the relationship between the carrier to be introduced and the carrier in process.
[0012]
[Patent Document 1]
JP-A-9-260231 (pages 4, 5; FIG. 1)
[Patent Document 2]
JP 2001-325019 A (pages 2, 4; FIG. 1)
[0013]
[Problems to be solved by the invention]
As described above, conventionally, an operator determines whether a carrier being processed in a processing apparatus and a carrier to be charged belong to a batch processing required lot, and the carrier is determined as described in (1) to (3) above. Although the work is performed while paying attention so as not to be in the throwing state as described above, the throwing mistake is easily caused because all the work is performed manually.
[0014]
If the input state suddenly becomes as described in the above (1) to (3), there is a problem that the processing for one lot needs to be performed again or the product for one lot has to be discarded. Has occurred. Further, it is necessary for the worker to always pay attention so as not to cause an input mistake, so that the burden at the time of work is increased.
[0015]
The present invention has been made in order to solve the above-described problems, and when charging a carrier into each processing device that sequentially supplies and discharges the carrier, the requirement of batch processing is always required without excessive labor. It is an object of the present invention to provide a production control system that can reliably satisfy the requirements.
[0016]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the production control system according to the present invention is sequentially input to each processing apparatus arranged along each process in a state where each lot is distributed to a plurality of carriers and processed. The configuration is assumed.
[0017]
According to the present invention, a batch processing required lot, which needs to occupy one processing apparatus and continuously process all carriers of one lot, is loaded with a carrier belonging to another lot to a processing apparatus. Verification is performed so that carriers belonging to other lots are not put into the equipment that is processing the carriers belonging to batch processing lots, or carriers belonging to batch processing lots are split into multiple equipment and put into multiple devices. However, when such a situation arises, the apparatus is provided with an input judging means for making it impossible to input the apparatus.
[0018]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 is a block diagram showing the overall configuration of the production control system according to Embodiment 1 of the present invention.
[0019]
In the production control system according to the first embodiment, a system control device X that controls the entire system, a plurality of processing devices Z that perform various processes on products, and a product p are input to each processing device Z while holding the products p. The carrier Y is provided.
[0020]
As shown in FIG. 12, each carrier Y belongs to one lot, and each carrier Y is provided with a carrier management card 11 such as a memory card. Then, as shown in FIG. 2, the carrier management card 11 includes a carrier ID for identifying which lot the carrier Y belongs to, a process ID for specifying a processing process of the carrier Y, and a process ID shown in FIG. The process flow information in which the process number indicating the process order and the process ID are associated with each other is registered.
[0021]
As shown in FIG. 4, the carrier ID in this case has a structure in which a serial number is assigned to each lot to the lot ID, so that the lot ID can be easily specified from the carrier ID. . Note that the carrier ID is, of course, unchanged until all processes along each process are completed, but the process ID is rewritten each time the process of each process is completed.
[0022]
Each processing device Z has an ID reading unit 21 for reading and writing information from and to the carrier management card 11, a data communication unit 22 for performing data communication with the system control device X, and controls the overall operation of the processing device Z. A processing control unit 23 that holds access data between the system control device X and the carrier management card 11 and a data holding unit 24 that includes a hard disk in which an operation control program and the like are stored. Further, in the data holding unit 24, a device ID for identifying each processing device Z is registered in advance. The ID reading unit 21 corresponds to a reading unit in the claims.
[0023]
The system control device X includes a data communication unit 31 that performs data communication with each processing device Z, an input determination unit 32 that determines whether the carrier Y is input to the processing device Z, and an external storage device. A database 33 is provided. The database 33 includes a lot information file 33a, a production standard information file 33b, and a device in-process information file 33c.
[0024]
It should be noted that the system control device X corresponds to the input determination means in the claims, and the input determination section 32 of the system control device X corresponds to the batch processing required lot determination means in the claims. Further, the input determination unit 32 of the system control device X and the processing control unit 23 of the processing device Z correspond to a carrier selection unit in the claims.
[0025]
As shown in FIG. 5, in order to specify the product type name to which each lot belongs, the lot information file 33a previously registers lot IDs and type names in association with each other as lot information. As shown in FIG. 6, in the production standard information file 33b, batch processing information indicating whether or not batch processing is necessary for all carriers Y for one lot corresponds to the model name and the process ID to which the lot belongs. Then, it is registered in advance as manufacturing reference information. As shown in FIG. 7, the device-in-process information file 33c stores a device-in-process carrier ID for specifying the carrier Y being processed in each processing device Z as device-in-process information in association with the device ID and the process ID. . Therefore, the content of the device in-process information is rewritten each time the processing of one carrier Y is completed.
[0026]
Next, an operation of the production control system having the above-described configuration, particularly an operation for determining whether or not the loading of the carrier Y into the processing apparatus Z is appropriate will be mainly described with reference to a flowchart shown in FIG.
[0027]
First, before the carrier Y is actually loaded into the processing device Z, the carrier ID and the process ID registered in the carrier management card 11 are read by the ID reading unit 21 of the processing device Z, and the data holding unit is read. 24. Further, the read carrier ID and process ID, and the device ID registered in advance in the data holding unit 24 are both transmitted to the system control device X via the data communication unit 22, and the data communication unit 31 determines whether or not to input the data. It is taken into the unit 32 (step 1).
[0028]
Here, as an example, when paying attention to one processing apparatus Z to which the carrier Y is to be loaded, “LOT001-01” is set as the carrier ID from the carrier management card 11 provided in the carrier Y, and “A20” is set as the process ID. "Has been read. Further, it is assumed that the device ID held in the data holding unit 24 of the processing device Z is “MAC01”.
[0029]
The input determination unit 32 acquires the lot ID from the carrier ID, searches the lot information file 33a using the lot ID as a key, and acquires the model name of the product to which the lot belongs (step 2). For example, when the lot information has the content shown in FIG. 5, when the carrier ID is "LOT001-01" as described above, the lot ID is "LOT001", and thus the model name is "ABC12345".
[0030]
Subsequently, using the received process ID and the model name obtained as described above as a key, the loading determination unit 32 searches the manufacturing reference information file 33b to determine whether the carrier Y to be loaded belongs to the batch processing required lot. It is determined whether or not it is (steps 3 and 4). For example, when the manufacturing standard information has the contents shown in FIG. 6, in the above example, the process ID read from the carrier management card 11 is “A20”, and the model name obtained by searching the lot information is “ABC12345”. Therefore, in this case, it is determined that the carrier Y to be charged belongs to the batch processing required lot.
[0031]
If the carrier Y to be charged is a batch processing-required lot, the loading determination unit 32 uses the device ID of the processing device Z to which the carrier Y is to be loaded and the above-mentioned process ID as a key to generate a device in-process information file 33c. To obtain the in-process carrier ID (step 5). For example, when the device in-process information has the contents shown in FIG. 7, the device ID is “MAC01”, and when the process ID is “A20”, the device in-process carrier ID is “LOT001-03”.
[0032]
In some cases, the in-process carrier does not exist in the processing apparatus Z to which the carrier Y is to be charged. In this case, the in-process carrier ID does not exist. At that time, the in-process carrier ID is “no acquisition”. This will be described in detail later.
[0033]
Here, when the in-process carrier ID is obtained, the in-process carrier ID is compared with the carrier ID of the carrier Y to be inserted (step 6). At this time, if the two IDs match, both carriers Y belong to the same batch processing required lot, so the loading determining unit 32 determines that the carrier Y to be loaded is acceptable (step 9). For example, as described above, if the in-process carrier ID is “LOT001-03” and the carrier ID of the carrier Y to be charged is “LOT001-01”, it is determined that both can belong to the same batch processing required lot and can be charged. Become.
[0034]
The determination result of the insertion determination unit 32 is sent from the data communication unit 31 to the processing control unit 23 via the data communication unit 22 of the processing device Z, and the processing control unit 23 controls the input of the carrier Y to be inserted. Then, the carrier Y is put into the processing device Z, and a predetermined process is started.
[0035]
On the other hand, in step 6, if the in-process carrier ID obtained by searching the device in-process information file 33c does not match the carrier ID of the carrier to be inserted, the state shown in FIG. That is, assuming that the carrier to be charged is Y1 and the carrier being processed by the processing device Z1 is Y2, the carrier Y1 to be charged belongs to the batch processing required lot, but the carrier Y2 being processed by the processing device Z1 Since it does not belong to the batch processing required lot of the carrier Y1 to be charged, the batch processing requirement is not satisfied. Therefore, the loading determination unit 32 determines that the loading of the carrier Y1 to be loaded is impossible (step 15).
[0036]
For example, when the device in-process information has the contents shown in FIG. 9, when the device in-process information file 33c is searched using the device ID (“MAC01”) and the process ID (“A20”) as keys, the device in-process carrier ID is “LOT002-01”. However, since the carrier ID of the carrier Y1 to be put in is "LOT001-01", the lot IDs of the carriers Y1 and Y2 are different from each other. For this reason, the carrier Y1 cannot be charged.
[0037]
The determination result of the loading determination unit 32 is sent from the data communication unit 31 to the processing control unit 23 via the data communication unit 22 of the processing device Z, so that the processing control unit 23 prohibits the loading operation of the carrier Y to be loaded. Therefore, the carrier Y is not put into the processing apparatus Z, and therefore, the processing is not started. As a result, it is possible to surely prevent a carrier belonging to a batch processing-required lot from being accidentally charged into a processing apparatus with a carrier belonging to another lot.
[0038]
By the way, as described above, even if the apparatus in-process information file 33c is searched using the apparatus ID and the process ID as a key in step 5, no in-process carriers are present in the processing apparatus Z to which the carrier Y is to be input. If it does not exist, the in-process carrier ID cannot be acquired, and in that case, the in-process carrier ID is "not acquired" in step 6. At this time, the device in-process information file 33c is searched using the lot ID of the carrier Y to be charged as a key, and the device ID is obtained (step 7).
[0039]
For example, when the device in-process information has the contents shown in FIG. 10, if the device ID is “MAC01” and the process ID is “A20”, the in-process carrier ID is “No Acquisition”. When the device ID is searched from the device in-process information using the lot ID “LOT001” as a key, “MAC02” is obtained.
[0040]
Then, the device ID obtained by searching the device in-process information file 33c is compared with the device ID to which the carrier Y is to be loaded (step 8). At this time, if the two IDs are different, the state shown in FIG. That is, the carrier Y1 currently being processed and the carrier Y1 to be charged belong to the same batch processing required lot (here, “LOT001”), and the two processing apparatuses Z1 and Z2 are in the same process (here, “A20”). Even in the case of (1), the carrier Y1 belonging to the batch processing required lot is divided and processed by the two devices Z1 and Z2, so that the requirements of the batch processing are not satisfied. Therefore, the insertion determination unit 32 determines that the carrier Y1 to be inserted cannot be inserted (step 15). As a result, it is possible to reliably prevent the occurrence of an error such as processing a batch processing required lot by a plurality of apparatuses Z1 and Z2.
[0041]
In step 8, if the device ID obtained by searching the device-in-process information file 33c matches the device ID of the carrier Y to be loaded, each of the devices belonging to the same processing device Z belonging to the same batch processing lot is required. Since the carrier Y is to be inserted, the insertion determination unit 32 determines that insertion is possible (step 9).
[0042]
Next, a description will be given of the loading control in the case where the lot to which the carrier Y to be loaded belongs does not correspond to the batch processing required lot. Here, the carrier ID of the carrier Y to be loaded is “LOT001-01”, and the device ID of the processing device Z to which the carrier Y is to be loaded is “MAC01”. Further, it is assumed that the processing apparatus Z in this case performs the process of the process number 1 in FIG. 3 (process ID “A10”) unlike the above-described case.
[0043]
In this case, it can be seen from the lot information shown in FIG. 5 and the production reference information shown in FIG. 6 that the carrier Y to be newly added does not belong to the batch processing required lot. At this time, it is determined in step 4 that batch processing is unnecessary.
[0044]
Therefore, next, the device in-process information file 33c is searched by using the device ID and the process ID to which the carrier Y is to be input as a key, and the in-process carrier ID is obtained (step 10). For example, if the device in-process information is as shown in FIG. 11 when the device ID is “MAC01” and the process ID is “A10” as described above, the device-in-process carrier ID is “LOT002-01”.
[0045]
When the in-process carrier ID is obtained in this way, the in-process carrier ID is compared with the carrier ID of the carrier Y to be loaded (step 11). At this time, if the in-process carrier ID does not match the carrier ID of the carrier Y to be charged, the lot ID is specified from the in-process carrier ID, and the lot information file 33a (see FIG. 5) is used as a key with this lot ID as a key. A search is performed to obtain a model name to which the lot belongs (step 12). Then, using the obtained model name and process ID as keys, it is determined from the manufacturing standard information file 33b (see FIG. 6) whether the carrier in process in the processing apparatus Z1 belongs to the batch processing required lot (step 13, 14).
[0046]
For example, in the above example, if the in-process carrier ID is "LOT002-01" and the carrier ID of the carrier Y to be put in is "LOT001-01", the two do not match, so the lot ID specified from the in-process carrier ID When the lot information shown in FIG. 5 is searched using “LOT002” as a key, the model name is “BCD12345”. At this time, the in-process step ID obtained from the device in-process information of FIG. 11 is “A10”, and therefore, the carrier (the model name “BCD12345” corresponding to the lot) being processed by the processing device Z is obtained from the manufacturing reference information of FIG. It is determined that the batch needs to be processed.
[0047]
When it is determined that the carrier being processed by the processing apparatus belongs to the batch processing required lot, the state is as shown in FIG. That is, assuming that the carrier being processed in the processing apparatus Z1 is Y1 and the carrier to be charged into the apparatus Z1 is Y2, the carrier Y1 (lot ID “LOT002”) being processed in the processing apparatus Z1 belongs to the batch processing required lot. On the other hand, the carrier Y2 to be charged does not belong to the batch processing required lot. Therefore, when the carrier Y2 is newly loaded into the processing apparatus Z1, different lots coexist in the apparatus X1, and the requirements for batch processing are reduced. No longer satisfied. Therefore, the insertion determination unit 32 determines that the insertion of the carrier Y2 is not possible (step 15).
[0048]
As a result, it is possible to reliably prevent the occurrence of an error such that a carrier belonging to another lot is unexpectedly thrown into an apparatus which is processing a carrier belonging to a batch processing required lot.
[0049]
On the other hand, when the carrier being processed by the processing apparatus Z does not belong to the batch processing required lot in the determination in step 14, the carrier Y to be loaded does not belong to the batch processing required lot in the determination in step 4; 32 permits the introduction of a new carrier into the processing apparatus Z (step 9).
[0050]
If the in-process carrier ID matches the carrier ID of the carrier Y to be charged in step 11, both carriers belong to the same lot, so the loading determination unit 32 determines that the carrier Y to be loaded is acceptable. (Step 9). If there is no carrier currently being processed in the processing apparatus Z to which the carrier Y is to be input in step 11, the in-process carrier ID is "not obtained". Therefore, the lot to which the carrier Y to be put belongs does not need the batch processing, so the feed judging section 32 permits the loading of the new carrier Y into the processing apparatus Z (step 9).
[0051]
When a new carrier Y can be loaded into the processing apparatus Z according to the determination result of the loading determination unit 32, the processing is started by loading the carrier Y into the processing apparatus Z as described above. At that time, the input determination unit 32 registers the device ID, the process ID, and the device carrier ID in the device device information file of FIG.
[0052]
Then, when the processing on the carrier Y is completed, the processing control unit 23 of the processing device Z transmits the completion of the processing to the system control device X together with the carrier ID read from the data holding unit 24. After the transmission, the carrier ID and the process ID registered in the data holding unit 24 are deleted. The ID reading unit 21 reads the process flow information from the carrier management card 11 to obtain a process ID with the process number advanced by one, and records the obtained process ID on the carrier management card 11. On the other hand, the system control device X deletes the in-process carrier ID corresponding to the completed carrier from the device in-process information file 33c (see FIG. 7) using the transmitted carrier ID as a key. Thus, the validity of the process ID recorded on the carrier management card 11 and the validity of the device in-process information file 33c can be maintained.
[0053]
In the first embodiment, the carrier ID, the process ID, and the process flow information shown in FIG. 3 are registered in the carrier management card 11 provided in the carrier Y. The information may be registered by using a code or the like. In this case, the process flow information of FIG. 3 is registered as a database in the system control device X, and the process ID to be processed is registered in the lot information file 33a (see FIG. 5) in association with the lot ID. The process ID is updated when the determination result becomes possible and the fact is transmitted to the processing device.
[0054]
【The invention's effect】
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to the production control system which concerns on this invention, when a carrier is thrown in to each processing apparatus which supplies and discharges a carrier sequentially, the requirement of a batch process can always be satisfied reliably. For this reason, it is possible to eliminate problems such as the necessity of re-processing the batch-required lot and the necessity of discarding the lot. In addition, the suitability of batch processing for each carrier is automatically determined, so that the burden on the operator can be significantly reduced.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram showing an overall configuration of a production control system according to Embodiment 1 of the present invention.
FIG. 2 is an explanatory diagram showing an example of a carrier ID and a process ID registered in a carrier management card.
FIG. 3 is an explanatory diagram showing an example of process flow information registered in a carrier management card.
FIG. 4 is an explanatory diagram showing a relationship between a carrier ID and a lot ID.
FIG. 5 is an explanatory diagram showing an example of lot information constituting a database of a system control device.
FIG. 6 is an explanatory diagram showing an example of manufacturing reference information constituting a database of a system control device.
FIG. 7 is an explanatory diagram showing an example of device in-process information constituting a database of a system control device.
FIG. 8 is a flowchart provided to explain a processing operation in a case where it is determined whether or not to insert a carrier into a processing apparatus in the production control system according to the present invention.
FIG. 9 is an explanatory diagram illustrating an example of device in-process information when the requirements for batch processing are no longer satisfied.
FIG. 10 is an explanatory diagram showing another example of the device in-process information when the requirements for batch processing are no longer satisfied.
FIG. 11 is an explanatory diagram showing still another example of the device in-process information when the requirement for batch processing is not satisfied.
FIG. 12 is an explanatory diagram showing a relationship between a lot and a carrier.
FIG. 13 is an explanatory diagram showing a case where a requirement for batch processing is not satisfied when a carrier is charged into a processing apparatus.
[Explanation of symbols]
X system control device (input determination means), Y carrier, Z processing device, 11 carrier management card, 21 ID reading unit, 22 data communication unit, 23 processing control unit, 24 data holding unit, 31 data communication unit, 32 input determination Department, 33 database, 33a lot information file, 33b manufacturing standard information file, 33c device in-process information file.

Claims

各々のロットが複数のキャリアに振り分けられた状態で各工程に沿って配置された各処理装置に順次投入されて処理される場合において、各処理装置に対するキャリアの投入制御を行うためのシステムであって、
一つの処理装置を占有して１ロット分の全てのキャリアを連続的に処理することが必要となるバッチ処理必要ロットが他のロットに属するキャリアを処理中の装置に投入されたり、バッチ処理必要ロットに属するキャリアを処理中の装置に他のロットに属するキャリアが投入されたり、バッチ処理必要ロットに属するキャリアが複数の装置に分割して投入されたりしないようにそれぞれ検証して、そのような事態になるときには装置投入不可とする投入判定手段を備えることを特徴とする生産制御システム。In a case where each lot is distributed to a plurality of carriers and sequentially charged into each processing device arranged along each process and processed, a system for controlling the loading of carriers into each processing device. hand,
Batch processing required to occupy one processing unit and continuously process all carriers for one lot. A batch that needs batch processing is loaded into a device that is processing a carrier belonging to another lot, or batch processing is required. Verify that carriers belonging to other lots are not put into the equipment that is processing carriers belonging to the lot, or that carriers belonging to batch processing required lots are not split into multiple devices and put in. A production control system comprising an input determining means for determining that the device cannot be input when a situation occurs.

各々のロットが複数のキャリアに振り分けられた状態で各工程に沿って配置された各処理装置に順次投入されて処理される場合において、各処理装置に対するキャリアの投入制御を行うためのシステムであって、
各キャリアには、当該キャリアがいずれのロットに属するかを識別するキャリアＩＤが登録されたキャリア管理カードが個別に設けられ、また、各処理装置には装置識別用の装置ＩＤが登録されたデータ保持部、および上記キャリア管理カードのキャリアＩＤを読み取る読取手段が設けられる一方、
ある一つの処理装置を占有して１ロット分の全てのキャリアを連続的に投入するバッチ処理が必要であるか否かを示すバッチ処理情報が、ロットの属する型名および工程識別用の工程ＩＤに対応させて製造基準情報として予め登録されている製造基準情報ファイルと、各工程ごとに使用される処理装置における現在のキャリアの仕掛状態を示す情報が装置ＩＤおよび工程ＩＤとともに装置仕掛情報として記憶されている装置仕掛情報ファイルとを備えるとともに、
上記読取手段で読み取ったキャリアＩＤならびに上記製造基準情報ファイルに登録されている製造基準情報に基づいて、処理装置に投入予定のキャリアがバッチ処理を必要とするバッチ処理必要ロットに属するか否かを判別するバッチ処理必要ロット判別手段と、このバッチ処理必要ロット判別手段の判別結果ならびに上記装置仕掛情報ファイルの装置仕掛情報に基づいて、処理装置で処理中のキャリアが属するロットと投入予定のキャリアが属するロットとが一致するか否かを判断してその判断結果に基づいて投入予定のキャリアを選別するキャリア選別手段と、を含むことを特徴とする生産制御システム。In a case where each lot is distributed to a plurality of carriers and sequentially charged into each processing device arranged along each process and processed, a system for controlling the loading of carriers into each processing device. hand,
Each carrier is individually provided with a carrier management card in which a carrier ID for identifying which lot the carrier belongs to is registered. Each processing device has a data in which a device ID for device identification is registered. While a holding unit and reading means for reading the carrier ID of the carrier management card are provided,
Batch processing information indicating whether batch processing for occupying a certain processing apparatus and continuously feeding all carriers for one lot is required is a model name to which the lot belongs and a process ID for process identification. A manufacturing reference information file registered in advance as manufacturing reference information in association with the information, and information indicating a current carrier in-process state in a processing apparatus used for each process are stored as device in-process information together with an apparatus ID and a process ID. Device information file that is
Based on the carrier ID read by the reading means and the manufacturing reference information registered in the manufacturing reference information file, it is determined whether or not the carrier to be put into the processing device belongs to a batch processing required lot requiring batch processing. The batch processing required lot determining means for determining, and the lot to which the carrier being processed in the processing apparatus belongs and the carrier to be charged are determined based on the determination result of the batch processing required lot determining means and the device processing information of the device processing information file. A carrier selecting means for judging whether or not the lot belongs to the carrier and for selecting a carrier to be put in based on the judgment result.

上記キャリア選別手段は、投入予定のキャリアがバッチ処理必要ロットである場合において、この投入予定のキャリアが属するロットに対して、この投入予定の処理装置で処理中のキャリアが属するロットが一致しない場合には、装置投入不可とするものであることを特徴とする請求項２記載の生産制御システム。The carrier selection means may be arranged such that, when the carrier to be charged is a batch processing required lot, the lot to which the carrier to be loaded belongs does not match the lot to which the carrier to be loaded belongs. 3. The production control system according to claim 2, wherein the apparatus cannot be put into the apparatus.

上記キャリア選別手段は、投入予定のキャリアがバッチ処理必要ロットである場合において、当該キャリアが投入予定となっている処理装置に付された装置ＩＤと、投入予定のキャリアと同じバッチ処理必要ロットに属する他のキャリアを処理中の処理装置に付された装置ＩＤとを比較して、両者が不一致の場合には、投入予定のキャリアを装置投入不可とするものである請求項２または請求項３に記載の生産制御システム。In the case where the carrier to be charged is a batch processing required lot, the carrier selection means may set the device ID assigned to the processing device to which the carrier is to be loaded, and the batch ID required for the same batch processing as the carrier to be loaded. 4. The apparatus according to claim 2, wherein a comparison is made with a device ID assigned to a processing device which is processing another carrier to which the carrier belongs, and if the two do not match, the carrier to be loaded is not loaded into the device. Production control system.

上記選別制御手段は、処理装置で処理中のキャリアが属するロットがバッチ処理必要ロットの場合において、この処理装置に投入予定のキャリアが属するロットが、上記処理中のキャリアが属するロットと一致しない場合には装置投入不可とするものであることを特徴とする請求項２ないし請求項４のいずれか１項に記載の生産制御システム。In the case where the lot to which the carrier being processed by the processing apparatus belongs is a batch processing required lot, the sorting control means may be configured to determine whether the lot to which the carrier to be put into the processing apparatus belongs does not match the lot to which the carrier to be processed belongs. The production control system according to any one of claims 2 to 4, wherein the device cannot be put into the device.