JP2004279037A - Display panel defect inspection system and method - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a display panel defect inspection system which keeps a throughput of an inspection process even if the number of inspectors is reduced, and improving the throughput of the inspection process by dispersing a visual inspection work to the plurality of inspectors. <P>SOLUTION: This display panel defect inspection system is constituted by including: a plurality of automatic inspection devices 12 including respectively a means for transmitting image data of an inspection object and a means for receiving determination data which is a quality determination result of the inspection object; a plurality of terminal devices 14 including respectively a means for receiving image data transmitted from the plurality of automatic inspection devices 12 and a means for transmitting the determination data; and a network device 16 for connecting the plurality of automatic inspection devices 12 to the plurality of terminal devices 14. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ディスプレイパネルの表示欠陥検査に用いる欠陥検査システム及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
フラットパネルディスプレイの代表格である液晶ディスプレイ（以下、ＬＣＤ：Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙと略す）は、ＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ−Ｒａｙ Ｔｕｂｅ）と比較して、消費電力が少ないことや省スペースであるという特徴を有する。これにより近年、ＬＣＤパネルはパーソナルコンピュータの表示装置や家庭用テレビ受像装置として積極的に用いられている。このＬＣＤパネルは、その製造工程において自動検査装置を用いた欠陥検査が行われる。
【０００３】
この自動検査装置は、ＬＣＤパネルを実際に点灯させ、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）カメラ等により画像を撮影し、画像処理などの手法を用いてＬＣＤパネルの特性を自動的に検査するものである。この自動検査装置においては、明らかな良品及び不良品を検出することは容易である。しかし、良品とも不良品とも選別することが出来ない判別不能品も存在する。この判別不能品は別工程において人による目視検査が行われる。
【０００４】
通常、目視検査においては、ＬＣＤパネルを目視用検査装置に移動させ、検査プローブを端子に正確に接触させる作業等が必要になる。このため、ＬＣＤパネルの歩留りが悪く判別不能品が多い場合には、目視検査に時間がかかってしまい、検査工程のスループットを低下させてしまう原因となっていた。
【０００５】
そこで、従来においては、ＣＣＤカメラ等で撮影した画像に、欠陥と判定されるであろう範囲を囲む等の画像処理を施し、その欠陥範囲を含む画像による目視検査を行うことで、目視検査の時間を短縮する発明が提案されている（特許文献１参照）。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００１−２８９７３３号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の発明における技術思想では、１台の自動検査装置に１人の検査員が常駐して検査を行わなければならず、検査員の数を減らしたならば検査工程のスループットを維持することができない。また、複数の自動検査装置を用いて同時に検査をする際に、例えば、一つの自動検査装置に判別不能品が集中した場合には、１人の検査員に作業が集中してしまい、検査工程のスループットは低下してしまう。
【０００８】
そこで本発明の目的は、検査員の数を減らしたとしても、検査工程のスループットを維持することができ、更に、目視検査の作業を複数の検査員に分散させることで、検査工程のスループットを向上させることが可能なディスプレイパネル欠陥検査システムを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るディスプレイパネルの欠陥検査システムは、検査対象物であるディスプレイパネルに信号を印加し、表示状態を撮影して画像データとして記録し、該画像データを用いて自動で良否判定を行う自動検査装置を含むディスプレイパネルの欠陥検査システムであって、前記検査対象物の画像データを送信する手段と、前記検査対象物の良否判定結果である判定データを受信する手段を含む複数の自動検査装置と、前記複数の自動検査装置で送信された画像データを受信する手段と、判定データを送信する手段を含む端末装置と、前記複数の自動検査装置と前記端末装置とを接続するネットワーク装置とを含んで構成される。
【００１０】
上述の構成を採用することにより、複数の自動検査装置で撮影された画像を、端末装置を用いて検査員が目視検査することができる。よって、検査員の数を減らしたとしても、検査工程のスループットを維持することが可能になる。
【００１１】
また、本発明に係るディスプレイパネルの欠陥検査システムは、上述の構成に加えて、前記端末装置を複数設けたことを特徴とする。
【００１２】
上述の構成を採用することにより、複数の自動検査装置を複数の検査員が目視検査することができる。よって、目視検査作業を複数の検査員に分散させることで、検査工程のスループットを向上させることが可能となる。
【００１３】
また、本発明に係るディスプレイパネルの欠陥検査システムは、上述の構成に加えて、前記自動検査装置が、前記良否判定で良否を判定できない一の検査対象物を一時退避させる一時保管手段と、前記端末装置からの判定データにより、一時保管手段に退避した一の検査対象物を良否に分別する指示分別手段とを含むことを特徴とする。
【００１４】
上述の構成を採用することにより、自動検査装置で良否が判定できない判定不能品を一時退避させることができる。よって、自動検査の作業が滞らないので、自動検査装置のスループットを維持することができる。また、一時退避させた判別不能品を端末装置からの指示により、良品又は不良品に分別することができる。よって、検査工程のスループットを向上させることができる。
【００１５】
更に、本発明に係るディスプレイパネルの欠陥検査システムは、上述の構成に加えて、前記ネットワーク装置が、前記複数の自動検査装置で撮影された検査対象物の画像データを一時保存する画像記録手段と、前記複数の端末装置に該検査対象物の画像データを振り分ける画像配信手段とを含むことを特徴とする。
【００１６】
上述の構成を採用することにより、ネットワーク装置に含まれる画像記録手段に画像データが一時保存され、その保存された画像データを、画像配信手段を用いて適切な検査員に振り分けることができる。よって、目視検査作業を複数の検査員に分散させることができるので、検査工程のスループットを向上させることが可能となる。
【００１７】
また、本発明に係るディスプレイパネルの欠陥検査方法は、検査対象物であるディスプレイパネルに信号を印加し、表示状態を撮影して画像データとして記録し、該画像データを用いて自動で良否判定を行う自動検査装置を複数個用いたディスプレイパネルの欠陥検査方法であって、前記自動検査装置において判別不能品であると判定されたディスプレイパネルの画像データを、該自動検査装置に記録し、ネットワーク装置を介して端末装置に通知するステップと、前記端末装置が、前記通知した自動検査装置にアクセスし、該自動検査装置に記録された判別不能品の画像データを受信するステップと、前記端末装置で、表示された前記画像データを用いて良否判定を行い、その判定データを前記自動判別装置に送信するステップを含むことを特徴とする。検査されるディスプレイパネルはＬＣＤパネルである。
【００１８】
これにより、検査員が端末装置を用いて、複数の自動検査装置の何れかにアクセスして判別不能品の画像データを受信し、その画像データで目視検査を行い、判定データを自動検査装置に送信することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
本発明に係るディスプレイの欠陥検査システム１０を、第１、及び第２の実施形態を用いて説明する。第１の実施形態におけるディスプレイパネルの欠陥検査システムは、検査対象物であるディスプレイパネルに信号を印加し、表示状態を撮影して画像データとして記録し、該画像データを用いて自動で良否判定を行う自動検査装置を含むディスプレイパネルの欠陥検査システムであって、図１に示すように、検査対象物の画像データを送信する手段と、検査対象物の良否判定結果である判定データを受信する手段を含む複数の自動検査装置１２と、複数の自動検査装置１２で送信された画像データを受信する手段と、判定データを送信する手段を含む複数の端末装置１４と、複数の自動検査装置１２と複数の端末装置１４とを接続するネットワーク装置１６とを含んで構成される。ここで、端末装置１４の数は、少なくとも自動検査装置１２の数より少ない数で構成されている。
【００２０】
自動検査装置１２について説明する。本実施形態における自動検査装置１２は、ディスプレイパネルを固定し、ディスプレイパネルの端子に接続して検査用の信号を流すプローバ２２と、検査用の信号により点灯したディスプレイパネルを上面から撮影するＣＣＤカメラ２０と、プローバ２２と、ＣＣＤカメラ２０を制御し、良否判定の演算を行う検査用コンピュータ１８を含んで構成される。
【００２１】
検査用コンピュータ１８は、プローバ２２がディスプレイパネルに供給する検査用の信号を制御する。また、検査用コンピュータ１８は、ＣＣＤカメラ２０で撮影されたディスプレイパネルの画像に、画像処理を施して検査員に見易い画像に変換する作業を行う。また、検査用コンピュータ１８は、後述する端末装置１４に画像処理された画像データを送信する手段、及び端末装置１４から検査対象物の良否判定結果である判定データを受信する手段を実現している。
【００２２】
検査用コンピュータ１８は、ＣＣＤカメラ２０で撮影された画像を用いて、検査対象物であるディスプレイパネルに対して、良品、不良品、判別不能品の何れかの良否判断を自動で行う。例えば、予め決められた欠陥検出アルゴリズムに従って、撮影された画像データに演算処理が施される。演算処理の結果、欠陥の種類やサイズ、位置等を考慮してディスプレイパネルの良否判定を行っている。検査用コンピュータ１８が欠陥を発見し、そのディスプレイパネルが判別不能品である判断をしたならば、そのディスプレイパネルの画像に対して画像処理が施される。この画像処理とは、観測画面に対して検査員にとって視覚的に見やすくしたり、画像の有用性を高めたりする処理のことをいう。また、ここでいう欠陥とは、ディスプレイパネルにおける、キズ、クロストーク、しみ、ピンホール、フリッカ、むら等のことを示す。判別不能品と判断されたならば、自動検査装置１２は、後述する端末装置１４を操作する検査員に良否の判定を仰ぎ、検査員が画像データを用いて目視により良否判定を行う。
【００２３】
詳しくは、自動検査装置１２の検査用コンピュータが、後述するネットワーク装置１６を介して端末装置１４に信号を送り、検査員の判別が必要なディスプレイパネルが検出されたことを伝える。検査員は、この信号が端末装置１４に伝達されると、端末装置１４を用いて自動検査装置にアクセスして判別不能品の画像データを受信する。これにより、自動検査装置１２において判別不能品と判断されたディスプレイパネルは、端末装置１４で画像データを用いて、検査員により良否判定されることになる。
【００２４】
検査用コンピュータ１８が行う画像処理は、▲１▼欠陥箇所を拡大又は縮小すること▲２▼欠陥箇所をコントラストで強調したり、色を付けることで強調したりすること▲３▼自動検査装置１２が検出した欠陥箇所をマーキングすること▲４▼欠陥の種類や特徴を表示すること▲５▼欠陥箇所を立体的に表示すること等である。
【００２５】
検査用コンピュータ１８には記録媒体が組み込まれている。検査用コンピュータ１８は、画像処理後の画像データに識別番号を付して、検査用コンピュータ１８の記録媒体に記録する。検査用コンピュータ１８は、後述する複数の端末装置１４からのアクセスにより、記録媒体に記録された画像データを端末装置１４に送信している。
【００２６】
また、自動検査装置１２は、検査対象物の良否判定を自動で行い、該良否判定で判別できない一の検査対象物を一時退避させる一時保管手段と、端末装置１４からの指示により、一時保管手段に退避した一の検査対象物を良否に分別する指示分別手段とを含んで構成される。
【００２７】
一時保管手段は、検査用コンピュータ１８が判定不能品であると判断した場合に、その判断されたディスプレイパネルを自動検査装置１２に設けられた一時保管場所に退避させる手段を示す。具体的には、判定不能品であると判断されたディスプレイパネルを、ハンドリング装置を用いてプローバ２２から取り外し、ディスプレイパネルをストックしておく一時保管場所に移動させる手段である。自動検査装置１２は、判定不能品であるディスプレイパネルを一時保管場所に移動させた後、次の検査対象物のディスプレイパネルをプローバ２２に固定する作業を行う。
【００２８】
指示分別手段は、一時保管場所に退避させたディスプレイパネルを、後述する端末装置１４からの判断データで、良品或いは不良品のどちらかに分別する手段を示す。具体的には、端末装置１４で検査員により入力された判断データ（良品又は不良品）を基に、一時保管場所に退避されたディスプレイパネルを、ハンドリング装置を用いて良品をストックする場所、又は不良品をストックする場所に移動させることである。
【００２９】
端末装置１４について説明する。端末装置１４は、端末用コンピュータ２４により実現している。端末用コンピュータ２４は、画像を表示するためのディスプレイと、検査員の指示を入力するためのキーボード等により構成されている。この端末用コンピュータ２４は、複数の自動検査装置１２で送信された画像データを受信する手段と、キーボード等により入力された検査員の判定データを自動検査装置１２に送信する手段を実現している。
【００３０】
端末装置１４では、検査員が表示されたディスプレイパネルの画像データを目視することで、良否判定を行っている。検査員は、自動検査装置１２から発信された信号に応じて、その信号が発信された自動検査装置１２にアクセスし、画像データを受信する。その受信した画像データを端末装置１４のディスプレイに表示させ、検査員がその画像データを目視することにより、良品であるか不良品であるかの判定を行う。検査員は、その判定した結果をキーボード等で端末装置１４に入力する。端末装置１４は、その入力された結果を判定データとして自動検査装置１２に送信する。端末装置１４は、検査員が目視検査を行った画像データに対応するディスプレイパネルが保管されている自動検査装置１２に判定データを送信する。
【００３１】
ネットワーク装置１６について説明する。ネットワーク装置１６は、複数の自動検査装置１２と、複数の端末装置１４とを接続するネットワーク回線網により構成されている。このネットワーク回線網は、ＬＡＮ（ｌｏｃａｌ ａｒｅａ ｎｅｔｗｏｒｋ）により構成されている。また、インターネット回線網を含むＷＡＮ（ｗｉｄｅ ａｒｅａ ｎｅｔｗｏｒｋ）により構成することも可能である。
【００３２】
次に、具体的にディスプレイパネルの欠陥検査の手順を、図２を用いて説明する。▲１▼検査対象物であるディスプレイパネルをプローバ２２に固定する。▲２▼ディスプレイパネルに検査用信号を印加する。▲３▼ＣＣＤカメラ２０がディスプレイパネルの上面から、表示状態を撮影する。▲４▼自動検査装置１２が撮影された画像データを用いて自動で良否判定を行い、判定不能品と判断した場合に、検査用コンピュータ１８が、その画像データに画像処理を施す。▲５▼画像処理後の画像データにディスプレイパネル固有の識別番号を付して自動検査装置１２の記録媒体に記録し、端末装置１４を操作する検査員に、判定不能品についての判定を仰ぐ。自動検査装置１２は、その判定不能品であるディスプレイパネルをプローバ２２から取り外して一時保管場所に移動させ、プローバ２２には次の検査対象のディスプレイパネルを固定する。▲６▼検査員が端末装置１４を用いて自動検査装置１２にアクセスし、検査すべき画像データを受信する。▲７▼検査員は端末装置１４のディスプレイに表示された画像を目視して検査を行い、判定結果を端末装置１４に入力する。▲８▼端末装置１４は、その画像データに対応するディスプレイのある自動検査装置１２に、検査員の判定データを送信する。▲９▼自動検査装置１２は受信した判定データを用いて、ディスプレイパネルを所定の場所（良品をストックする場所、又は不良品をストックする場所）に移動させる。
【００３３】
第１の実施形態におけるディスプレイパネルの欠陥検査システム１０では、複数の自動検査装置１２と複数の端末装置１４（端末装置１４の数は、少なくとも自動検査装置１２の数より少ない）とをネットワーク装置１６を介して接続している。よって、１つの自動検査装置１２に１人の検査員を常駐させなくても、検査工程のスループットを維持することができる。また、特定の自動検査装置１２に判定不良品が集中したとしても、その自動検査装置１２から複数の端末装置１４に画像データが送信されるので、検査工程が滞らない。
【００３４】
また第１の実施形態におけるディスプレイパネルの欠陥検査システム１０では、自動検査装置１２が検査員の判定結果を待つことなく、次の製品の検査を行うことができる。また、検査員が端末装置１４のディスプレイを用いて画像データによる目視検査を行っているので、従来の目視検査に必要であった、目視検査用プローバ、及びプローブを必要としない。
【００３５】
次に第２の実施形態に係るディスプレイパネルの欠陥検査システム１０を、図３を用いて説明する。第２の実施形態では、ネットワーク装置１６に、ネットワーク回線網を制御するネットワークサーバー２６を含んで構成することに特徴を有する。このネットワークサーバー２６では、複数の自動検査装置１２で撮影された検査対象物の画像を一時保存する画像記録手段と、複数の端末装置１４に該検査対象物の画像を振り分ける画像配信手段を実現している。
【００３６】
画像記録手段は、ネットワークサーバー２６のソフトウエア、及び記録媒体にて実現している。詳しくは、自動検査装置１２において撮影された画像データを、ネットワーク回線網を介して受信し、サーバー内の記録媒体に一時記憶している。
【００３７】
画像配信手段は、ネットワークサーバー２６のソフトウエアにて実現している。画像配信手段は、ネットワークサーバー２６の記録媒体に一時記憶された画像データを、ネットワーク回線網を介して、複数の端末装置１４の何れかに送信している。この際、ネットワークサーバー２６のソフトウエアにて、どの端末装置１４に送信すれば効率よく目視検査の作業が進むのかを判断している。効率良く目視検査を行うためには、複数の端末装置１４の中で最も作業が手薄な端末装置１４に画像データを配信することが望ましい。よって、この判断には、端末装置１４における作業の進み具合の情報が用いられる。また、この判断には、端末装置１４を担当する検査員の能力、癖などのデータを基に判断し、欠陥の種類に応じて、どの検査員に送信すれば最適であるかの判断も含む。
【００３８】
このように、第２の実施形態におけるディスプレイパネルの欠陥検査システム１０では、ネットワークサーバー２６に、検査対象物の画像データを一時保管し、ネットワークサーバー２６が、複数の端末装置１４の中で、最も適切な端末装置１４を選択し、その端末装置１４に画像データを送信している。よって、特定の自動検査装置１２に判別不能品が集中したとしても、複数の端末装置１４に検査対象物の画像データが送信されるので、検査工程のスループットを低下させることが無い。
【００３９】
尚、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で当業者の知識に基づき種々なる改良、修正、変形を加えた態様で実施できるものである。例えば、画像データの送信は、自動検査装置１２から端末装置１４に送られることに限定されず、複数の端末装置１４の間で画像データの送受信を行うことも本発明の技術的範囲に含まれる。これにより、一の検査員が、良否の判定を迷った場合に他の検査員にその画像データを送信し、他の検査員に判定の指示を仰ぐことが可能となる。また、１つの画像データを複数の端末装置１４に送信することも、本発明の技術的範囲に含まれる。これにより、判定が難しい画像データを複数の検査員が判定することで、より効果的な判定を下すことが可能となる。
【００４０】
また、複数の端末装置１４から、特定の自動検査装置１２に送信される判定データを用いて、自動検査装置１２の判定の閾値（良品と判別不能品との閾値、判別不能品と不良品との閾値）を自動で調節することも、本発明の技術的範囲に含まれる。例えば、自動検査装置１２を制御する検査用コンピュータ１８のソフトウエアで、複数の端末装置１４から送信される判定データを参照し、以後の自動検査装置１２における判定の閾値を自動で調節することである。つまり、最初に設定した判定の閾値を、実際に検査員が目視することで下した判定を参照することにより、調節することである。これにより、良品、又は不良品と判定してもよい品であるのに関わらず、判別不能品であると判断された場合に、閾値の調節を端末装置１４から指示することで、検査工程のスループットを向上させることが可能となる。
【００４１】
【発明の効果】
本発明に係るディスプレイパネルの欠陥検査システムによれば、複数の自動検査装置と複数の端末装置とをネットワーク装置を介して接続している。よって、１人の検査員が複数台の自動検査装置からの画像を受信することができるので、検査員の数を減らしたとしても、検査工程のスループットを維持することができる。これにより、検査工程における人的コストを低下させることができる。また、特定の自動検査装置に判定不良品が集中したとしても、その自動検査装置から複数の端末装置に画像データが送信されるので、検査工程が滞らない。よって検査工程のスループットを向上させることが可能である。
【００４２】
また本発明に係るディスプレイパネルの欠陥検査システムによれば、ディスプレイパネルの歩留りの変動による、目視検査の作業量の変動にも柔軟に対応できる。つまり、従来は、１つの自動検査装置に１人の検査員が常駐しているので、目視検査の作業量が減ったとしても、その検査員は自動検査装置から離れることができなかった。しかし本発明により、作業量が増えたら検査員の数を増やし、作業量が減ったら検査員の数を減らすという柔軟な対応が可能となる。
【００４３】
また本発明に係るディスプレイパネルの欠陥検査システムによれば、自動検査装置が検査員の判定結果を待つことなく、次の製品の検査を行うことができる。よって、ＴＡＣＴ制限（工程の時間的制限）のあるインライン装置等の場合において検査の時間的制限が無くなる。また、検査員が端末装置のディスプレイを用いて画像データによる目視検査を行っているので、従来の目視検査に必要であった、目視検査用プローバ、及びプローブを必要としない。よって、設備に対するコストを抑えることができる。また、検査員の作業エリアを自動検査装置の周辺に限定されず任意に配置できるので、工場内のスペースの有効利用が可能となる。
【００４４】
更に、本発明に係るディスプレイパネルの欠陥検査システムによれば、ネットワークサーバーに、検査対象物の画像データを一時保管し、ネットワークサーバーが、複数の端末装置の中で、最も適切な端末装置を選択し、その端末装置に画像データを送信している。よって、特定の自動検査装置に判別不能品が集中したとしても、複数の端末装置に検査対象物の画像データが送信されるので、検査工程のスループットを低下させることが無い。また、複数の端末装置の作業状況に応じて、ネットワークサーバーから画像データが送信されるので、より効率良く検査工程を進めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る欠陥検査システムの第１実施形態の構成図である。
【図２】本発明に係る欠陥検査システムの第１実施形態の流れ図である。
【図３】本発明に係る欠陥検査システムの第２実施形態の構成図である。
【符号の説明】
１０：欠陥検査システム
１２：自動検査装置
１４：端末装置
１６：ネットワーク装置
１８：検査用コンピュータ
２０：ＣＣＤカメラ
２２：プローバ
２４：端末用コンピュータ
２６：ネットワークサーバー[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a defect inspection system and method used for display defect inspection of a display panel.
[0002]
[Prior art]
A liquid crystal display (hereinafter, abbreviated as LCD: Liquid Crystal Display), which is a typical example of a flat panel display, has features of lower power consumption and space saving compared to a CRT (Cathode-Ray Tube). As a result, in recent years, LCD panels have been actively used as display devices for personal computers and home television receivers. This LCD panel is subjected to a defect inspection using an automatic inspection device in a manufacturing process.
[0003]
This automatic inspection apparatus is designed to actually turn on an LCD panel, take an image with a charge coupled device (CCD) camera or the like, and automatically inspect the characteristics of the LCD panel using a technique such as image processing. In this automatic inspection device, it is easy to detect a clear non-defective product and a defective product. However, there is an indistinguishable product that cannot be distinguished from a good product or a defective product. This indistinguishable product is subjected to a visual inspection by a human in a separate process.
[0004]
Usually, in the visual inspection, it is necessary to move the LCD panel to a visual inspection device and to make the inspection probe accurately contact the terminal. For this reason, when the LCD panel yield is low and there are many indistinguishable products, the visual inspection takes a long time, which causes a reduction in the throughput of the inspection process.
[0005]
Therefore, conventionally, an image captured by a CCD camera or the like is subjected to image processing such as enclosing a range that will be determined to be a defect, and a visual inspection is performed using an image including the defect range, thereby performing a visual inspection. An invention for shortening the time has been proposed (see Patent Document 1).
[0006]
[Patent Document 1]
JP 2001-289733 A
[Problems to be solved by the invention]
However, in the technical idea of the invention described above, one inspector must be stationed in one automatic inspection apparatus to perform the inspection, and if the number of inspectors is reduced, the throughput of the inspection process is maintained. I can't. In addition, when inspection is performed simultaneously using a plurality of automatic inspection devices, for example, when unidentifiable products are concentrated on one automatic inspection device, the work is concentrated on one inspector, and the inspection process is performed. Throughput will decrease.
[0008]
Therefore, an object of the present invention is to maintain the throughput of the inspection process even if the number of inspectors is reduced, and to further reduce the throughput of the inspection process by distributing the visual inspection work to a plurality of inspectors. It is an object of the present invention to provide a display panel defect inspection system that can be improved.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
A defect inspection system for a display panel according to the present invention applies a signal to a display panel to be inspected, captures a display state, records the captured image as image data, and automatically performs pass / fail judgment using the image data. A defect inspection system for a display panel including an inspection device, wherein a plurality of automatic inspection devices include a unit that transmits image data of the inspection object and a unit that receives determination data that is a result of pass / fail determination of the inspection object. A means for receiving image data transmitted by the plurality of automatic inspection devices, a terminal device including means for transmitting determination data, and a network device for connecting the plurality of automatic inspection devices and the terminal device. It is comprised including.
[0010]
By employing the above-described configuration, an inspector can visually inspect an image captured by a plurality of automatic inspection devices using a terminal device. Therefore, even if the number of inspectors is reduced, it is possible to maintain the throughput of the inspection process.
[0011]
Further, a defect inspection system for a display panel according to the present invention is characterized in that a plurality of the terminal devices are provided in addition to the above configuration.
[0012]
By employing the above configuration, a plurality of inspectors can visually inspect a plurality of automatic inspection devices. Therefore, by distributing the visual inspection work to a plurality of inspectors, it is possible to improve the throughput of the inspection process.
[0013]
The defect inspection system for a display panel according to the present invention, in addition to the above-described configuration, wherein the automatic inspection device temporarily saves one inspection object whose pass / fail judgment cannot be made in the pass / fail judgment, An instruction separating unit for separating one inspection object evacuated to the temporary storage unit into pass / fail according to the determination data from the terminal device.
[0014]
By employing the above configuration, it is possible to temporarily evacuate an undeterminable product whose quality cannot be determined by the automatic inspection device. Therefore, the operation of the automatic inspection is not delayed, so that the throughput of the automatic inspection device can be maintained. In addition, the temporarily evacuated indistinguishable product can be classified into a non-defective product or a defective product according to an instruction from the terminal device. Therefore, the throughput of the inspection process can be improved.
[0015]
Furthermore, in the display panel defect inspection system according to the present invention, in addition to the above-described configuration, the network device may further include an image recording unit that temporarily stores image data of the inspection target captured by the plurality of automatic inspection devices. Image distribution means for distributing image data of the inspection object to the plurality of terminal devices.
[0016]
By employing the above configuration, the image data is temporarily stored in the image recording unit included in the network device, and the stored image data can be distributed to an appropriate inspector using the image distribution unit. Therefore, the visual inspection work can be distributed to a plurality of inspectors, and the throughput of the inspection process can be improved.
[0017]
Further, in the display panel defect inspection method according to the present invention, a signal is applied to the display panel to be inspected, the display state is photographed and recorded as image data, and the pass / fail judgment is automatically performed using the image data. A defect inspection method for a display panel using a plurality of automatic inspection devices, wherein image data of the display panel determined to be indistinguishable by the automatic inspection device is recorded in the automatic inspection device; Notifying the terminal device via the terminal device, the terminal device accesses the notified automatic inspection device, and receives the image data of the indistinguishable item recorded in the automatic inspection device; and Making a pass / fail judgment using the displayed image data, and transmitting the judgment data to the automatic discriminating apparatus. And it features. The display panel tested is an LCD panel.
[0018]
This allows the inspector to access any of the plurality of automatic inspection devices using the terminal device, receive the image data of the indistinguishable product, perform a visual inspection using the image data, and transfer the determination data to the automatic inspection device. Can be sent.
[0019]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
A display defect inspection system 10 according to the present invention will be described using first and second embodiments. The display panel defect inspection system according to the first embodiment applies a signal to a display panel to be inspected, captures a display state, records the captured image as image data, and uses the image data to automatically determine pass / fail. A defect inspection system for a display panel including an automatic inspection device for performing, as shown in FIG. 1, means for transmitting image data of an inspection object, and means for receiving determination data as a result of the quality determination of the inspection object. , A plurality of terminal devices 14 including a unit for receiving image data transmitted by the plurality of automatic inspection devices 12, a unit for transmitting determination data, and a plurality of automatic inspection devices 12 And a network device 16 that connects the plurality of terminal devices 14. Here, the number of the terminal devices 14 is at least smaller than the number of the automatic inspection devices 12.
[0020]
The automatic inspection device 12 will be described. The automatic inspection device 12 according to the present embodiment includes a prober 22 for fixing a display panel, connecting to a terminal of the display panel and flowing a signal for inspection, and a CCD camera for photographing the display panel lit by the signal for inspection from above. 20, a prober 22, and an inspection computer 18 that controls the CCD camera 20 and performs a pass / fail judgment calculation.
[0021]
The inspection computer 18 controls an inspection signal supplied from the prober 22 to the display panel. Further, the inspection computer 18 performs an operation of performing image processing on the image of the display panel captured by the CCD camera 20 and converting the image into an image that is easy for the inspector to see. In addition, the inspection computer 18 implements a unit that transmits image-processed image data to the terminal device 14 to be described later, and a unit that receives, from the terminal device 14, determination data that is a result of quality determination of the inspection object. .
[0022]
The inspection computer 18 uses the image captured by the CCD camera 20 to automatically determine whether the display panel to be inspected is a non-defective product, a defective product, or an indistinguishable product. For example, arithmetic processing is performed on captured image data in accordance with a predetermined defect detection algorithm. As a result of the arithmetic processing, the quality of the display panel is determined in consideration of the type, size, and position of the defect. If the inspection computer 18 finds a defect and determines that the display panel is an indistinguishable product, the image on the display panel is subjected to image processing. This image processing refers to a process of making the observation screen visually easy for an inspector or enhancing the usefulness of the image. In addition, the defect referred to here indicates a flaw, a crosstalk, a stain, a pinhole, a flicker, an unevenness, and the like on the display panel. If it is determined that the product is indistinguishable, the automatic inspection device 12 asks an inspector who operates a terminal device 14 described later to determine the acceptability, and the inspector visually judges the acceptability using the image data.
[0023]
Specifically, the inspection computer of the automatic inspection device 12 sends a signal to the terminal device 14 via the network device 16 to be described later to notify that a display panel that needs to be identified by the inspector has been detected. When this signal is transmitted to the terminal device 14, the inspector accesses the automatic inspection device using the terminal device 14 and receives the image data of the indistinguishable product. As a result, the display panel determined to be indistinguishable by the automatic inspection device 12 is judged by the inspector using the terminal device 14 using the image data.
[0024]
The image processing performed by the inspection computer 18 includes: (1) enlarging or reducing a defective portion; (2) enhancing a defective portion with contrast or adding a color; and (3) enhancing the automatic inspection device. (4) displaying the type and characteristics of the defect, (5) displaying the defect location three-dimensionally, and the like.
[0025]
The inspection computer 18 incorporates a recording medium. The inspection computer 18 attaches an identification number to the image data after the image processing, and records the image data on the recording medium of the inspection computer 18. The inspection computer 18 transmits image data recorded on a recording medium to the terminal device 14 by accessing from a plurality of terminal devices 14 described below.
[0026]
The automatic inspection device 12 also automatically determines the quality of the inspection object, temporarily stores one inspection object that cannot be determined by the quality determination, and temporarily stores the inspection object according to an instruction from the terminal device 14. Instruction separating means for separating one inspection object evacuated to a pass / fail state.
[0027]
The temporary storage means indicates a means for, when the inspection computer 18 determines that the display panel cannot be determined, retracts the determined display panel to a temporary storage place provided in the automatic inspection apparatus 12. Specifically, this is a means for removing the display panel determined to be an undeterminable item from the prober 22 using a handling device and moving the display panel to a temporary storage place where the display panel is stocked. After moving the display panel, which cannot be determined, to the temporary storage location, the automatic inspection device 12 performs an operation of fixing the display panel of the next inspection object to the prober 22.
[0028]
The instructed sorting means is means for sorting the display panel evacuated to the temporary storage place into either a non-defective product or a defective product based on determination data from the terminal device 14 described later. Specifically, based on the judgment data (non-defective or defective) input by the inspector at the terminal device 14, the display panel evacuated to the temporary storage location is used as a place for stocking non-defective products using the handling device, or This is to move defective products to a stocking location.
[0029]
The terminal device 14 will be described. The terminal device 14 is realized by a terminal computer 24. The terminal computer 24 includes a display for displaying an image, a keyboard for inputting an instruction of an inspector, and the like. The terminal computer 24 implements means for receiving the image data transmitted by the plurality of automatic inspection devices 12 and means for transmitting the inspector's judgment data input by a keyboard or the like to the automatic inspection device 12. .
[0030]
In the terminal device 14, the inspector visually judges the displayed image data on the display panel to determine the acceptability. In response to the signal transmitted from the automatic inspection device 12, the inspector accesses the automatic inspection device 12 from which the signal has been transmitted and receives the image data. The received image data is displayed on the display of the terminal device 14, and the inspector visually checks the image data, thereby determining whether the image data is non-defective or defective. The inspector inputs the determined result to the terminal device 14 using a keyboard or the like. The terminal device 14 transmits the input result to the automatic inspection device 12 as determination data. The terminal device 14 transmits the determination data to the automatic inspection device 12 in which the display panel corresponding to the image data subjected to the visual inspection by the inspector is stored.
[0031]
The network device 16 will be described. The network device 16 is configured by a network circuit connecting the plurality of automatic inspection devices 12 and the plurality of terminal devices 14. This network line network is configured by a LAN (local area network). It is also possible to configure with a WAN (wide area network) including an Internet circuit network.
[0032]
Next, the procedure of the defect inspection of the display panel will be specifically described with reference to FIG. (1) The display panel to be inspected is fixed to the prober 22. (2) Apply a test signal to the display panel. (3) The CCD camera 20 photographs the display state from the upper surface of the display panel. {Circle around (4)} The automatic inspection apparatus 12 automatically determines the acceptability using the image data obtained by the photographing, and when the automatic inspection apparatus 12 determines that the product cannot be determined, the inspection computer 18 performs image processing on the image data. {Circle around (5)} The image data after the image processing is attached with an identification number unique to the display panel and recorded on the recording medium of the automatic inspection device 12, and an inspector operating the terminal device 14 is asked to judge an undeterminable product. The automatic inspection device 12 removes the display panel, which cannot be determined, from the prober 22 and moves it to a temporary storage place, and fixes the next display panel to be inspected to the prober 22. (6) The inspector accesses the automatic inspection device 12 using the terminal device 14 and receives the image data to be inspected. {Circle around (7)} The inspector visually inspects the image displayed on the display of the terminal device 14 to perform the inspection, and inputs the determination result to the terminal device 14. {Circle around (8)} The terminal device 14 transmits the judgment data of the inspector to the automatic inspection device 12 having a display corresponding to the image data. (9) The automatic inspection device 12 uses the received judgment data to move the display panel to a predetermined place (a place where a good product is stocked or a place where a defective product is stocked).
[0033]
In the display panel defect inspection system 10 according to the first embodiment, the plurality of automatic inspection devices 12 and the plurality of terminal devices 14 (the number of the terminal devices 14 is at least less than the number of the automatic inspection devices 12) are connected to the network device 16. Connected through. Therefore, the throughput of the inspection process can be maintained without having one inspector resident in one automatic inspection device 12. Further, even if defective products are concentrated on a specific automatic inspection device 12, the image data is transmitted from the automatic inspection device 12 to the plurality of terminal devices 14, so that the inspection process is not delayed.
[0034]
Further, in the display panel defect inspection system 10 according to the first embodiment, the automatic inspection device 12 can inspect the next product without waiting for the judgment result of the inspector. Further, since the inspector performs the visual inspection using the image data using the display of the terminal device 14, the visual inspection prober and the probe, which are necessary for the conventional visual inspection, are not required.
[0035]
Next, a display panel defect inspection system 10 according to a second embodiment will be described with reference to FIG. The second embodiment is characterized in that the network device 16 includes a network server 26 that controls a network circuit network. The network server 26 implements an image recording unit for temporarily storing images of the inspection object photographed by the plurality of automatic inspection devices 12 and an image distribution unit for distributing the image of the inspection object to the plurality of terminal devices 14. ing.
[0036]
The image recording means is realized by software of the network server 26 and a recording medium. Specifically, image data captured by the automatic inspection device 12 is received via a network and temporarily stored in a recording medium in a server.
[0037]
The image distribution means is realized by software of the network server 26. The image distribution means transmits the image data temporarily stored in the recording medium of the network server 26 to any of the plurality of terminal devices 14 via the network. At this time, the software of the network server 26 determines to which terminal device 14 to transmit the visual inspection work efficiently. In order to perform the visual inspection efficiently, it is desirable to distribute the image data to the terminal device 14 with the least work among the plurality of terminal devices 14. Therefore, the information on the progress of the work in the terminal device 14 is used for this determination. This determination also includes a determination based on data such as the ability and habit of the inspector in charge of the terminal device 14 and a determination as to which inspector to transmit to is optimal according to the type of defect. .
[0038]
As described above, in the display panel defect inspection system 10 according to the second embodiment, the image data of the inspection object is temporarily stored in the network server 26, and the network server 26 An appropriate terminal device 14 is selected, and image data is transmitted to the terminal device 14. Therefore, even if unidentifiable products concentrate on a specific automatic inspection device 12, the image data of the inspection object is transmitted to the plurality of terminal devices 14, so that the throughput of the inspection process does not decrease.
[0039]
The present invention can be practiced in various modified, modified, and modified forms based on the knowledge of those skilled in the art without departing from the spirit of the present invention. For example, the transmission of the image data is not limited to the transmission from the automatic inspection device 12 to the terminal device 14. The transmission and reception of the image data between the plurality of terminal devices 14 is also included in the technical scope of the present invention. . Thus, when one inspector is uncertain about the quality, it is possible to transmit the image data to the other inspector and ask the other inspector for a determination instruction. Transmission of one image data to a plurality of terminal devices 14 is also included in the technical scope of the present invention. Thus, a more effective determination can be made by a plurality of inspectors determining image data that is difficult to determine.
[0040]
In addition, using the determination data transmitted from the plurality of terminal devices 14 to the specific automatic inspection device 12, the determination threshold of the automatic inspection device 12 (threshold value of non-defective product and indistinguishable product; Automatically adjusting the threshold value) is also included in the technical scope of the present invention. For example, the software of the inspection computer 18 that controls the automatic inspection device 12 refers to the determination data transmitted from the plurality of terminal devices 14, and automatically adjusts the threshold value for determination in the subsequent automatic inspection device 12. is there. In other words, the threshold value of the initially set determination is adjusted by referring to the determination actually made by the inspector visually. Thereby, regardless of whether it is a good product or a defective product, if it is determined that the product is indistinguishable, the terminal device 14 instructs the adjustment of the threshold value from the terminal device 14 so that the inspection process can be performed. Throughput can be improved.
[0041]
【The invention's effect】
According to the display panel defect inspection system of the present invention, a plurality of automatic inspection devices and a plurality of terminal devices are connected via a network device. Therefore, since one inspector can receive images from a plurality of automatic inspection devices, the throughput of the inspection process can be maintained even if the number of inspectors is reduced. Thereby, the human cost in the inspection process can be reduced. Further, even if defective products concentrate on a specific automatic inspection device, the image data is transmitted from the automatic inspection device to a plurality of terminal devices, so that the inspection process is not delayed. Therefore, it is possible to improve the throughput of the inspection process.
[0042]
Further, according to the display panel defect inspection system according to the present invention, it is possible to flexibly cope with a change in the visual inspection work amount due to a change in the display panel yield. That is, conventionally, since one inspector is resident in one automatic inspection device, even if the amount of work of the visual inspection is reduced, the inspector cannot leave the automatic inspection device. However, according to the present invention, it is possible to flexibly cope with an increase in the number of inspectors when the amount of work increases and a decrease in the number of inspectors when the amount of work decreases.
[0043]
Further, according to the display panel defect inspection system of the present invention, the automatic inspection apparatus can inspect the next product without waiting for the judgment result of the inspector. Therefore, in the case of an in-line device or the like having a TACT limitation (time limitation of a process), there is no time limitation of the inspection. In addition, since the inspector performs the visual inspection using the image data using the display of the terminal device, a visual inspection prober and a probe, which are necessary for the conventional visual inspection, are not required. Therefore, the cost for equipment can be suppressed. Further, the work area of the inspector can be arbitrarily arranged without being limited to the vicinity of the automatic inspection apparatus, so that the space in the factory can be effectively used.
[0044]
Further, according to the display panel defect inspection system according to the present invention, the network server temporarily stores the image data of the inspection object, and the network server selects the most appropriate terminal device among the plurality of terminal devices. Then, the image data is transmitted to the terminal device. Therefore, even if indistinguishable products are concentrated on a specific automatic inspection apparatus, the image data of the inspection object is transmitted to a plurality of terminal devices, so that the throughput of the inspection process does not decrease. In addition, since the image data is transmitted from the network server according to the work status of the plurality of terminal devices, the inspection process can be performed more efficiently.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram of a first embodiment of a defect inspection system according to the present invention.
FIG. 2 is a flowchart of a first embodiment of a defect inspection system according to the present invention.
FIG. 3 is a configuration diagram of a second embodiment of the defect inspection system according to the present invention.
[Explanation of symbols]
10: Defect inspection system 12: Automatic inspection device 14: Terminal device 16: Network device 18: Inspection computer 20: CCD camera 22: Prober 24: Terminal computer 26: Network server

Claims (5)

検査対象物であるディスプレイパネルに信号を印加し、表示状態を撮影して画像データとして記録し、該画像データを用いて自動で良否判定を行う自動検査装置を含むディスプレイパネルの欠陥検査システムであって、
前記検査対象物の画像データを送信する手段と、前記検査対象物の良否判定結果である判定データを受信する手段を含む複数の自動検査装置と、
前記複数の自動検査装置で送信された画像データを受信する手段と、判定データを送信する手段を含む端末装置と、
前記複数の自動検査装置と前記端末装置とを接続するネットワーク装置と、
を含む、ディスプレイパネルの欠陥検査システム。A defect inspection system for a display panel including an automatic inspection device that applies a signal to a display panel to be inspected, captures a display state, records the captured image as image data, and automatically determines pass / fail using the image data. hand,
Means for transmitting image data of the inspection object, and a plurality of automatic inspection devices including means for receiving determination data that is a result of the quality determination of the inspection object,
Means for receiving the image data transmitted by the plurality of automatic inspection devices, and a terminal device including means for transmitting the determination data,
A network device that connects the plurality of automatic inspection devices and the terminal device,
And a display panel defect inspection system. 前記端末装置を複数設けたことを含む、請求項１に記載のディスプレイパネルの欠陥検査システム。2. The defect inspection system for a display panel according to claim 1, comprising a plurality of said terminal devices. 前記自動検査装置が、
前記良否判定で良否を判定できない一の検査対象物を一時退避させる一時保管手段と、
前記端末装置からの判定データにより、一時保管手段に退避した一の検査対象物を良否に分別する指示分別手段と、
を含むことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のディスプレイパネルの欠陥検査システム。The automatic inspection device,
Temporary storage means for temporarily retracting one inspection object that cannot be determined in the pass / fail judgment,
By the determination data from the terminal device, an instruction separation unit that separates one inspection object evacuated to the temporary storage unit into pass / fail,
The defect inspection system for a display panel according to claim 1 or 2, further comprising: 前記ネットワーク装置が、
前記複数の自動検査装置で撮影された検査対象物の画像データを一時保存する画像記録手段と、
前記複数の端末装置に該検査対象物の画像データを振り分ける画像配信手段と、
を含むことを特徴とする請求項２乃至請求項３に記載のディスプレイパネルの欠陥検査システム。The network device,
Image recording means for temporarily storing image data of the inspection object photographed by the plurality of automatic inspection devices,
Image distribution means for distributing the image data of the inspection object to the plurality of terminal devices,
The defect inspection system for a display panel according to claim 2, further comprising: 検査対象物であるディスプレイパネルに信号を印加し、表示状態を撮影して画像データとして記録し、該画像データを用いて自動で良否判定を行う自動検査装置を複数個用いたディスプレイパネルの欠陥検査方法であって、
前記自動検査装置において判別不能品であると判定されたディスプレイパネルの画像データを、該自動検査装置に記録し、ネットワーク装置を介して端末装置に通知するステップと、
前記端末装置が、前記通知した自動検査装置にアクセスし、該自動検査装置に記録された判別不能品の画像データを受信するステップと、
前記端末装置で、表示された前記画像データを用いて良否判定を行い、その判定データを前記自動判別装置に送信するステップと、
を含むディスプレイパネルの欠陥検査方法。A signal is applied to a display panel to be inspected, a display state is photographed, recorded as image data, and a defect inspection of the display panel is performed using a plurality of automatic inspection devices that automatically perform quality judgment using the image data. The method,
The image data of the display panel determined to be indistinguishable in the automatic inspection device is recorded in the automatic inspection device, and notified to the terminal device via a network device,
The terminal device accesses the notified automatic inspection device, and receives image data of an unidentifiable product recorded in the automatic inspection device;
In the terminal device, a pass / fail determination is performed using the displayed image data, and the determination data is transmitted to the automatic determination device.
And a display panel defect inspection method.
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