JP2004273887A - 結晶薄膜半導体装置及び太陽電池素子 - Google Patents
結晶薄膜半導体装置及び太陽電池素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004273887A JP2004273887A JP2003064571A JP2003064571A JP2004273887A JP 2004273887 A JP2004273887 A JP 2004273887A JP 2003064571 A JP2003064571 A JP 2003064571A JP 2003064571 A JP2003064571 A JP 2003064571A JP 2004273887 A JP2004273887 A JP 2004273887A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon layer
- layer
- semiconductor device
- thin film
- film semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/545—Microcrystalline silicon PV cells
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
- Recrystallisation Techniques (AREA)
Abstract
【解決手段】基板01上の一部もしくは全部に導電性をもつ電極層20が形成され、その上部に第一のシリコン層04a、該第一のシリコン層の上部に第二のシリコン層05aが形成されている半導体装置において、上記第一のシリコン層04a及び第二のシリコン層05aがレーザー光06によってアニールを施されることにより成り、且つ第一のシリコン層04aが、第二のシリコン層05aよりも上記アニールを行なうレーザー光の光の波長域において吸収係数が小さい状態で形成された後、上記レーザー光06によるアニールを施されることによって成る、構成とする。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子基板、半導体素子等の結晶薄膜半導体装置及び太陽電池素子に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、非導電性の異種基板上、例えばガラス基板上等にシリコン結晶薄膜を形成する研究が盛んに行なわれている。このガラス基板上に形成したシリコン結晶薄膜の用途は広く、液晶デバイス用TFT、薄膜光電変換素子などに用いることができる。
【0003】
薄膜太陽光発電素子は、安価な基板上に低温プロセスで良好な結晶性をもつ結晶シリコン薄膜を形成し、これを光電変換装置に用いて、低コスト化と高性能化を図るものである。この結晶シリコン薄膜を光電変換素子に用いることによって、非晶質シリコン光電変換素子で問題となっている光劣化が観測されず、さらに非晶質光電変換素子では感度のない、長波長光をも電気的エネルギーに変換することができる。この技術は光電変換素子のみではなく、光センサ等の光電変換装置への応用も可能であると期待されている。
【0004】
このシリコン結晶光電変換素子は、一般的にプラズマCVDによって直接結晶シリコン薄膜を堆積させる手法が用いられている。この手法によって、基板上に低温で結晶シリコンが形成され得ることが知られており、低コスト化に有効であるとされている。
【0005】
この手法においては、プラズマCVD形成条件としては、水素でシラン系原料ガスを15倍程度以上に希釈し、プラズマ反応室内圧力を10mTorr〜10Torr、基板温度を150℃〜550℃、望ましくは400℃以下の範囲内に制御して成膜する。これによって結晶性のシリコン薄膜が基板上に形成される。しかし、この方法では結晶粒径の大きなポリシリコンを形成することは困難であった。また、発電機能の根幹を担うi層は、素子構造最適化のためにドーピングを行なうと品質が急激に低下する。これらのことから、低コスト化に有利なシングルセルで10%を大きく上回る光電変換効率を達成することは困難であった。
【0006】
一方、レーザーの走査によって結晶化する試みも種々検討されており、連続波を用いる方法も既に公報に開示されている(例えば、特許文献1参照。)。この方法は異種基板上に非晶質シリコンを形成し、帯状の連続光源を走査することで多結晶シリコン層に熔融・結晶化するもので、走査方向に長い結晶粒を成長させることを可能としている。
【0007】
【特許文献1】
特開平2001−351863号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、高効率な太陽電池を形成しようとした場合、上記した連続波レーザーの走査によって結晶化する方法には、次のような課題がある。
【0009】
すなわち、上記特許文献1の方法は、TFT(Thin Film Transistor)を目的に考案されているものである。つまり、横方向デバイスであり、結晶シリコン膜の上下に電極を形成する必要がない。一方、太陽電池等の縦方向デバイスは上下に電極を形成する必要がある。
【0010】
しかるに、非晶質シリコンを電極上に直接形成し、その後結晶化を行なうと、Al等の電極材は瞬時にシリコン中に拡散し、デバイスの特性を著しく低下させる。また、高融点材料を用いた場合においても、その融解熱による拡散は逃れられず、特性に悪影響を及ぼす。これは10%を超える太陽電池を作製するにあたり、致命的であった。
【0011】
上記の理由より、高効率な太陽電池を形成するにはこれまでの技術では不充分であった。
【0012】
そこで、本発明は、上記課題を解決し、10%を超える光電変換効率を達成できる太陽電池等の大面積の結晶薄膜半導体装置の作製手段を提供するものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明は、次のように構成したものである。
【0014】
請求項1の発明に係る結晶薄膜半導体装置は、基板上の一部もしくは全部に導電性をもつ電極層が形成され、その上部に第一のシリコン層、該第一のシリコン層の上部に第二のシリコン層が形成されている半導体装置において、前記第一のシリコン層及び第二のシリコン層はレーザー光によってアニールを施されることにより成り、且つ第一のシリコン層は、第二のシリコン層よりも前記アニールを行なうレーザー光の光の波長域において吸収係数が小さい状態で形成された後、前記レーザーによるアニールを施されることによって成ることを特徴とする。
【0015】
請求項2の発明は、請求項1に記載の結晶薄膜半導体装置において、前記第一のシリコン層は、結晶成分を含む、もしくはすべてが結晶成分であるシリコン層として形成されレーザーアニールを施されることにより成り、また前記第二のシリコン層は、非晶質シリコンとして形成されレーザーアニールを施されることにより成ることを特徴とする。
【0016】
請求項3の発明は、請求項1又は2に記載の結晶薄膜半導体装置において、前記電極層が、基板側から金属電極、その上部に透明導電膜の順に設けた複数の電極層によって構成されており、前記透明導電膜が酸化亜鉛、酸化錫、ITO(Indium Tin Oxide)のいずれかから成ることを特徴とする。
【0017】
請求項4の発明は、請求項1〜3のいずれかに記載の結晶薄膜半導体装置において、前記第一のシリコン層及び第二のシリコン層は半導体に導電性を付与する働きを持つ不純物を有しており、その第一のシリコン層の不純物濃度は第二のシリコン層の不純物濃度よりも高濃度であることを特徴とする。
【0018】
請求項5の発明は、請求項1〜4のいずれかに記載の結晶薄膜半導体装置において、前記第二のシリコン層の上部の一部もしくは全面に、非単結晶の第三のシリコン層が形成されており、該第三のシリコン層は第一のシリコン層とは逆の導電型を付与する働きを持つ不純物を有していることを特徴とする。
【0019】
請求項6の発明は、請求項5に記載の結晶薄膜半導体装置において、前記第三のシリコン層上の一部もしくは全面に、導電性を有する透明導電膜として酸化亜鉛、酸化錫、ITOのいずれかから成る反射防止膜を有しており、この透明導電膜上の一部に取り出し用金属電極が形成されていることを特徴とする。
【0020】
請求項7の発明は、請求項1〜6のいずれかに記載の結晶薄膜半導体装置において、前記レーザーは波長900nm以下の光を連続的に発振することを特徴とする。
【0021】
請求項8の発明に係る太陽電池素子は、請求項1〜7のいずれかに記載の結晶薄膜半導体装置の一部もしくは全部を用いて構成したことを特徴とする。
【0022】
<発明の要点>
本発明の結晶薄膜半導体装置は、まず、電極層(裏面電極層)が形成された基板上に、微結晶シリコン層もしくはポリシリコン層等から成る結晶性のシリコン層(レーザーアニールする前の第一のシリコン層)を形成する。その上部に非晶質シリコン層(レーザーアニールにより結晶化する前の第二のシリコン層)を形成し、レーザー光によってエネルギーを与え、非晶質シリコンを融解し冷却されることによって結晶化させ、結晶シリコン層(第一のシリコン層及び第二のシリコン層)とする。本発明においては、この結晶化の際、結晶性のシリコン層の吸収係数よりも非晶質シリコン層の吸収係数の方が大きいため、非晶質シリコン層によりレーザー光の殆どが吸収され、非晶質シリコン層は融解するが結晶性のシリコン層は融解しない。
【0023】
このことから、融解した非晶質シリコン層が冷却され第二のシリコン層となった際、基板上の金属層を構成する元素が第二の結晶シリコン層中に多量に拡散された状態になることを防ぐことができる。従って、第二の結晶シリコン層の品質を低下させることなく裏面側に電極を形成することが可能となる。この技術によってレーザー光によってエネルギーを与え、結晶化した膜を縦型デバイス、特に太陽電池に適用させ、高品質なデバイスを作製することが可能となる。
【0024】
【発明の実施の形態】
本発明による結晶薄膜半導体装置は、以下の基本的な構成(図1(a)〜図2(d)に製造工程として示す)からなる。なお、レーザー光によって結晶化(アニール)される前の第一のシリコン層及び第二のシリコン層を、SiX−1層、SiX−2層と記す。
【0025】
まず、電極層(裏面電極層)20が形成された基板01上に、微結晶シリコン層もしくはポリシリコン層等から成る、結晶性のSiX−1層(アニール前の第一のシリコン層04)を形成する。
【0026】
その上部にSiX−2層(アニール前の第二のシリコン層05)として非晶質シリコン層を形成し、図1(b)の如くレーザー光06によってエネルギーを与え、非晶質シリコンを融解し冷却されることによって結晶化させ、結晶シリコン層(第一のシリコン層04a)及び結晶シリコン層(第二のシリコン層05a)とする。
【0027】
この結晶化の際、SiX−1層(結晶性のシリコン層)の吸収係数よりもSiX−2層(非晶質シリコン層)の吸収係数の方が大きい場合、SiX−2層(非晶質シリコン層)によりレーザー光の殆どが吸収され、SiX−2層(非晶質シリコン層)は融解するがSiX−1層(結晶性のシリコン層)は融解しない。
【0028】
このことから、融解したSiX−2層(非晶質シリコン層)が冷却され第二のシリコン層05aとなった際、基板上の金属層を構成する元素が第二の結晶シリコン層中に多量に拡散された状態になることを防ぐことができる。従って、第二の結晶シリコン層の品質を低下させることなく裏面側に電極を形成することが可能となる。この技術によってレーザー光によってエネルギーを与え、結晶化した膜を縦型デバイス、特に太陽電池に適用させ、高品質なデバイスを作製することが可能となった。
【0029】
まず初めに、導電性もしくは、非導電性の基板01を用意する。この基板上に裏面電極層20を形成する。一例として、電極材にはAl、Ag等の金属電極材料を主成分とした電極が適しているが、この他にも導電性を有する金属電極やZnO、SnO2、ITO等の酸化物透明導電膜、その他導電性を有する電極層であればなんでもよい。また、下地にAg等の金属電極、その上部にZnO等の透明導電膜を構成した多層電極層としても良い。
【0030】
この裏面電極層20上に結晶性のSiX−1層(アニール前の第一のシリコン層04)を形成する。このSiX−1層の形成方法としては、一例としてプラズマCVD法における結晶条件で形成する方法が挙げられる。その他、熱CVDやCVD、MBE等、結晶性のシリコン層が形成できる方法であればなんでもよい。
【0031】
そのSiX−1層の上部に、SiX−2層(アニール前の第二のシリコン層05)を形成する。このSiX−2層は非単結晶層として形成され、連続的な光線によって融解、結晶化を行なって形成する。
【0032】
この非単結晶層の形成方法としては、プラズマCVD法の他、スパッタリング、cat−CVD(触媒気相化学堆積法)、熱CVD、MBE(分子線エピタキシー)等、非単結晶層が形成できる方法であればなんでもよい。この非単結晶層はSiX−1層とは光学的に特性が異なっている必要がある。代表的にはSiX−2層を非晶質シリコン層、SiX−1層を結晶性のシリコン層として形成する。これにレーザー光06を照射することで、融解し結晶化させ、第一のシリコン層4a及び第二のシリコン層5aを形成する。
【0033】
このレーザー光06は、SiX−2層を非晶質シリコンで形成する場合は、波長800nm以下であることが望ましい。このようなレーザー光にはさまざまな種類のレーザーを用いることができる。その一例としてYAGレーザー(Nd:YAG)の第二高調波(波長:532nm)がある。YAGレーザーは、エキシマレーザー等の気体レーザーとは異なり扱いが容易である。また、連続発振が可能であることから、グレインサイズの大きなポリシリコンを形成することができる。
【0034】
この波長域の光線であると非晶質シリコン層(SiX−2層)と結晶性のシリコン層(SiX−1層)とでは、光の吸収係数が非晶質シリコン層(SiX−2層)の方が大幅に大きい。そのため、非晶質シリコン層(SiX−2層)が融解する光の強度であっても結晶性のシリコン層(SiX−1層)は融解しない。そのため、その下の電極層20を構成する物質が第二のシリコン層05aに不純物として拡散することを防ぐことができる。同時に第一のシリコン層04aと電極層20は、連続光照射によって熱エネルギーが与えられるために、接触抵抗が大幅に低減され、裏面電極としては理想的な状態として形成できる。また、電極層20を、Al、Agなどの金属層02と、その上に形成した、導電性を付与するドーピングを施したZnO、ITO、SnO2等の透明導電膜03とで構成することもでき、かかる構成とした場合、太陽電池として用いた場合、裏面内部反射率を大幅に向上させることができ、太陽電池発電効率を向上させることが可能となる。
【0035】
この様にして形成した第二のシリコン層05aを太陽電池の発電層として用いる場合、SiX−1層には導電性を付与する不純物を高濃度にドーピングし、SiX−2層にはSiX−1層よりも低濃度にドーピングしてあることが望ましい。導電性を付与する不純物としては代表的にはn型の場合、燐、アンチモン、p型の場合ボロン等が挙げられるが、これに限るものではなく、実質的に導電性を付与することができる物質であればなんでもよい。ドーピングを行なう方法は、プラズマCVDでこれら半導体層を形成する場合、ドーピングガスを用いてドーピングを行なうが、ノンドープで形成し、ドーピング材を熱による拡散で混入させる方法等もあり、実質的にドーピングが行なえる方法であればなんでもよい。この様にドーピングが施されたSiX−1層とSiX−2層にレーザー光を照射することで、所望の導電型及びドーピング濃度の第一のシリコン層、第二のシリコン層が形成できる。なお、この方法によるドーパントの活性化率は100%に近く、太陽電池を設計するにあたって非常に有利である。
【0036】
この結晶薄膜半導体装置を太陽電池に用いる場合は、図2(d)に示すように、第二のシリコン層05aの上部に第三のシリコン層08を形成する必要がある。この第三のシリコン層は第一のシリコン層4aの導電型の逆型である必要がある。具体的には、第一のシリコン層4aがn型であった場合は第三のシリコン層はp型、第一のシリコン層4aがp型の場合にはn型とする必要がある。第二のシリコン層05aの導電型は、前記にもあるように、第一のシリコン層4aの導電型と同じで且つ、第一のシリコン層4aの濃度と比べて低濃度であることが望ましい。しかしながら、第二のシリコン層05aはノンドープとすることでもpin型ダイオードとなり、太陽電池として作製することは可能である。
【0037】
この第三のシリコン層08の上部に、反射防止膜09を形成する。この反射防止膜09には、ITO、酸化錫、酸化亜鉛、酸化シリコン、窒化シリコン、酸化窒化シリコン等を用いることができる。この反射防止膜09を形成することによって半導体表面の表面内部反射率を向上させることができ、さらに太陽電池の発電効率を向上させることができる。また、この反射防止膜に導電性を付与するドーパントを混入させることで、透明導電膜とし、太陽電池における直列抵抗を低減することができる。反射防止膜09を透明導電膜とした場合は、その上部にAl等の金属取り出し電極10を形成することで、ダイオードにおけるエミッタ側の直列抵抗を下げることができ、太陽電池構造とすることができる。また、反射防止膜に導電性を付与しない場合は、反射防止膜の一部をエッチングによって除去し、その反射防止膜を除去した部分にエミッタ側金属取り出し電極10を形成する。
【0038】
この様にして形成した積層体において、図2(d)に示すように、半導体層及び反射防止膜の一部を裏面側の電極20が露出するまで除去し、裏面電極取り出し部11を形成する。この裏面側電極取り出し部11は、薄膜太陽電池としては、一般的にはライン状に形成することが多い。しかし、結晶シリコン基板を用いた太陽電池の電極構造として知られている、バスバー、フィンガータイプの形状としてもよい。この電極構造は、裏面側の直列抵抗が低くなる方法を用いることが望ましい。
【0039】
このように本発明によれば、連続的な光線によって融解、結晶化した高品質なシリコン薄膜を、縦方向デバイスである太陽電池に適用することができ、高効率、且つ低コストな太陽電池の作製が可能となる。当然のことであるが、本発明は太陽電池のみならず、バイポーラトランジスタ等、他の縦方向デバイスにも適用可能である。
【0040】
【実施例】
以下、本発明の実施例について説明する。なお、以下の実施例は本発明の一例を示すものであり、本発明はこれらに限定されるものではない。
【0041】
[実施例1]
本実施例ではプラズマCVDを用いてシリコン層を形成することを試みた。図1(a)において、まず始めに、石英基板01を用意し、その上部に金属電極02としてAg電極を200nm形成した。その上部にMgをドーピングしたZnO透明導電膜03を形成した。このようにして裏面電極20を形成した基板上に、プラズマCVDを用いて結晶性のSiX−1層(アニール前の第一のシリコン層04)を形成した。この形成条件は、SiH4:2ccm、H2:50ccm、PH4:4ccmの混合ガスを用い、基板温度250℃、プラズマ電源は13.56kHzのRF周波数を用いた。この条件では微結晶シリコンが形成される。この第一のシリコン層04の膜厚は100nmとした。
【0042】
この第一のシリコン層04の上部にSiX−2層(アニール前の第二のシリコン層05)を形成した。SiX−2層の形成にもプラズマCVDを用いた。この形成条件はSiH4:10ccm、PH4:0.01ccmの混合ガスを用い、基板温度500℃、プラズマ電源はRF周波数を用いた。この条件では、n型のドーパントを含んだ非晶質シリコンが形成される。
【0043】
この第二のシリコン層05に、図1(b)に示すように、連続的に発振するレーザー光06を照射して、非晶質シリコンを融解、結晶化させる。この連続的な光には、YAGレーザー(Nd:YAG)の第二高調波(波長:532nm)を用いた。07は融解した半導体層を示す。このYAGレーザー照射によってSiX−2層の非晶質シリコンは融解され、その後短時間で結晶化する。しかしながら、SiX−1層を構成する微結晶シリコンは、光の吸収係数が小さいことから、融解しないことが分かった。
【0044】
この様にしてSiX−1層(結晶性のシリコン層04)、SiX−2層(非晶質シリコン層05)を、図2(c)に示すように、それぞれ第一のシリコン層04a、第二のシリコン層05aに変化させる。
【0045】
このレーザー光の照射によって基板上全面を結晶化した後、この結晶化された第二のシリコン層05aの上部に、図2(d)に示すように、第三のシリコン層08をプラズマCVDの結晶条件で形成した。形成条件はSiH4:1ccm、H2:50ccm、B2H6:1ccmとした。この条件ではp型の微結晶シリコンが形成され、第二のシリコン層05aと第三のシリコン層08との間はPN接合となる。この第三のシリコン層08の上部に反射防止膜09としてITO透明導電膜を形成し、さらにその上部の一部にエミッタ側取り出し用電極10としてAl電極を形成し、さらに透明電極層03に達する裏面電極取り出し部11を形成して、太陽電池構造とした。
【0046】
この太陽電池を25℃、1sunの模擬太陽光下においてI−V測定を行った結果、単結晶シリコン基板太陽電池に匹敵する0.645Vの開放電圧を示した。また、25℃光照射なしにおけるI−V特性からは、直列抵抗の値が0.3Ω/cm2となり、裏面におけるコンタクト抵抗が十分に低いことが分かった。
【0047】
なお、比較の為に、第一のシリコン層を形成しなかった太陽電池も作成したが、25℃光照射なしのI−V特性では整流性を示さず、レーザーで結晶化した層がn型の半導体層として機能していないことが分かった。また、SIMS分析の結果、Agが膜中に4×1020atoms/cm3の濃度で存在することが分かった。
【0048】
以上の結果より、SiX−1層(アニール前の第一のシリコン層04)を結晶状態で形成することによって、裏面電極層20を構成する元素の拡散を防ぐこと確認できた。なお、裏面の透明導電膜03には、酸化亜鉛の他にも、酸化錫、ITO、酸化シリコンで同様の効果があった。また、基板01に安価なガラス基板を用いた場合にも同様の結果となった。
【0049】
また、波長840nmの半導体レーザーを用いて結晶化した場合についても、同様の結果となった。
【0050】
[実施例2]
本実施例では、実施例1と同様の構造を用い、SiX−1層、SiX−2層の形成方法を実施例1とは異なった方法を用いて、太陽電池の作製を試みた。
【0051】
まず、実施例1と同様の裏面電極20(金属層02及び透明電極層03)付きの石英基板01を用意し、その上部に熱CVDを用いてSiX−1層(アニール前の第一のシリコン層04)として高濃度にドーピングしたn型の多結晶シリコン層を形成した。その上部にSiX−2層(アニール前の第二のシリコン層05)として、スパッタリングを用いて、n型のドーパントが低濃度に混入された非晶質シリコンを形成した。
【0052】
これらSiX−1層、SiX−2層を実施例1と同様にYAGレーザーを用いて結晶化した。これによってSiX−1層とSiX−2層は、第一のシリコン層04a、第二のシリコン層05aに変化した。その後、この第二のシリコン層の上部に、第三のシリコン層08を実施例1と同様にプラズマCVDを用いてp型の微結晶シリコン層として形成し、さらに反射防止膜09、取り出し電極10、裏面電極取り出し部11を実施例1と同様の構造で作製し、太陽電池構造とした。
【0053】
この様にして形成した太陽電池を25℃1sunの光照射下におけるI−V特性では、開放電圧が0.62Vの電圧を示した。また、SiX−1層の形成方法としてスパッタリングによる形成で基板温度を上げて形成した場合にも同様の効果があった。SiX−1層、SiX−2層の形成方法として、この他にもcat−CVD、MBE等でも同様の効果があった。
【0054】
また、第三のシリコン層08の形成方法としては、熱CVDを用いて第二のシリコン層05aからエピタキシャル成長させた第二のシリコン層と逆導電型の半導体層で形成した太陽電池も作製した。この場合においても、25℃1sun下でのI−V特性において、開放電圧0.622Vを示し、高品質な太陽電池が作製できた。
【0055】
【発明の効果】
以上説明したように本発明に係る結晶薄膜半導体装置は、基板上の一部もしくは全部に導電性をもつ電極層を形成し、その上部に第一のシリコン層を、また該第一のシリコン層の上部に第二のシリコン層を形成した半導体装置であって、上記第一のシリコン層及び第二のシリコン層がレーザー光によってアニールを施されることにより成り、且つ第一のシリコン層が、第二のシリコン層よりも上記アニールを行なうレーザー光の光の波長域において吸収係数が小さい状態で形成された後、上記レーザーによるアニールを施されることによって成る、という構成のものである。具体的には、レーザーアニールを施される前の第一のシリコン層は、結晶成分を含むもしくはすべてが結晶成分であるシリコン層として形成され、またレーザーアニールを施される前の第二のシリコン層は非晶質シリコンとして形成される。
【0056】
本発明においては、このレーザーアニールによる結晶化の際、結晶性のシリコン層の吸収係数よりも非晶質シリコン層の吸収係数の方が大きいため、非晶質シリコン層によりレーザー光の殆どが吸収され、非晶質シリコン層は融解するが結晶性のシリコン層は融解しない。このことから、融解した非晶質シリコン層が冷却され第二のシリコン層となった際、基板上の金属層を構成する元素が第二の結晶シリコン層中に多量に拡散された状態になることを防ぐことができる。従って、第二の結晶シリコン層の品質を低下させることなく裏面側に電極を形成することが可能となる。
【0057】
よって、この技術によってレーザー光によってエネルギーを与え、結晶化した膜を縦型デバイス、特に太陽電池に適用させ、高品質なデバイスを作製することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の結晶シリコン半導体装置の作製過程の前半を示したもので、(a)はアニール前の第二のシリコン層までを形成した段階を示す模式図、(b)はレーザーアニールを施して結晶シリコンとする段階を示す図である。
【図2】本発明の結晶シリコン半導体装置の作製過程の後半を示したもので、(c)はレーザーアニールにより結晶シリコンとした段階を示す図、(d)は取り出し電極を設けた段階を示す図である。
【符号の説明】
01 基板
02 金属層
03 透明電極層
04 アニール前の第一のシリコン層(SiX−1層)
04a 第一のシリコン層
05 アニール前の第二のシリコン層(SiX−2層)
05a 第二のシリコン層
06 レーザー光
07 融解した半導体層
08 第三のシリコン層
09 反射防止膜
10 エミッタ側取り出し電極
11 裏面電極取り出し部
20 裏面電極層
Claims (8)
- 基板上の一部もしくは全部に導電性をもつ電極層が形成され、その上部に第一のシリコン層、該第一のシリコン層の上部に第二のシリコン層が形成されている半導体装置において、
前記第一のシリコン層及び第二のシリコン層はレーザー光によってアニールを施されることにより成り、且つ第一のシリコン層は、第二のシリコン層よりも前記アニールを行なうレーザー光の光の波長域において吸収係数が小さい状態で形成された後、前記レーザーによるアニールを施されることによって成ることを特徴とする結晶薄膜半導体装置。 - 請求項1に記載の結晶薄膜半導体装置において、
前記第一のシリコン層は、結晶成分を含む、もしくはすべてが結晶成分であるシリコン層として形成されレーザーアニールを施されることにより成り、また
前記第二のシリコン層は、非晶質シリコンとして形成されレーザーアニールを施されることにより成ること特徴とする結晶薄膜半導体装置。 - 請求項1又は2に記載の結晶薄膜半導体装置において、
前記電極層が、基板側から金属電極、その上部に透明導電膜の順に設けた複数の電極層によって構成されており、前記透明導電膜が酸化亜鉛、酸化錫、ITOのいずれかから成ることを特徴とする結晶薄膜半導体装置。 - 請求項1〜3のいずれかに記載の結晶薄膜半導体装置において、
前記第一のシリコン層及び第二のシリコン層は半導体に導電性を付与する働きを持つ不純物を有しており、その第一のシリコン層の不純物濃度は第二のシリコン層の不純物濃度よりも高濃度であることを特徴とする結晶薄膜半導体装置。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の結晶薄膜半導体装置において、
前記第二のシリコン層の上部の一部もしくは全面に、非単結晶の第三のシリコン層が形成されており、該第三のシリコン層は第一のシリコン層とは逆の導電型を付与する働きを持つ不純物を有していることを特徴とする結晶薄膜半導体装置。 - 請求項5に記載の結晶薄膜半導体装置において、
前記第三のシリコン層上の一部もしくは全面に、導電性を有する透明導電膜として酸化亜鉛、酸化錫、ITOのいずれかから成る反射防止膜を有しており、
この透明導電膜上の一部に取り出し用金属電極が形成されていることを特徴とする結晶薄膜半導体装置。 - 請求項1〜6のいずれかに記載の結晶薄膜半導体装置において、
前記レーザーは波長900nm以下の光を連続的に発振することを特徴とする結晶薄膜半導体装置。 - 請求項1〜7のいずれかに記載の結晶薄膜半導体装置の一部もしくは全部を用いて構成したことを特徴とする太陽電池素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003064571A JP2004273887A (ja) | 2003-03-11 | 2003-03-11 | 結晶薄膜半導体装置及び太陽電池素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003064571A JP2004273887A (ja) | 2003-03-11 | 2003-03-11 | 結晶薄膜半導体装置及び太陽電池素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004273887A true JP2004273887A (ja) | 2004-09-30 |
Family
ID=33125827
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003064571A Pending JP2004273887A (ja) | 2003-03-11 | 2003-03-11 | 結晶薄膜半導体装置及び太陽電池素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004273887A (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011022687A2 (en) * | 2009-08-20 | 2011-02-24 | Sionyx, Inc. | Laser processed heterojunction photovoltaic devices and associated methods |
US9496308B2 (en) | 2011-06-09 | 2016-11-15 | Sionyx, Llc | Process module for increasing the response of backside illuminated photosensitive imagers and associated methods |
US9673243B2 (en) | 2009-09-17 | 2017-06-06 | Sionyx, Llc | Photosensitive imaging devices and associated methods |
US9673250B2 (en) | 2013-06-29 | 2017-06-06 | Sionyx, Llc | Shallow trench textured regions and associated methods |
US9741761B2 (en) | 2010-04-21 | 2017-08-22 | Sionyx, Llc | Photosensitive imaging devices and associated methods |
US9761739B2 (en) | 2010-06-18 | 2017-09-12 | Sionyx, Llc | High speed photosensitive devices and associated methods |
US9905599B2 (en) | 2012-03-22 | 2018-02-27 | Sionyx, Llc | Pixel isolation elements, devices and associated methods |
US9911781B2 (en) | 2009-09-17 | 2018-03-06 | Sionyx, Llc | Photosensitive imaging devices and associated methods |
US9939251B2 (en) | 2013-03-15 | 2018-04-10 | Sionyx, Llc | Three dimensional imaging utilizing stacked imager devices and associated methods |
US10244188B2 (en) | 2011-07-13 | 2019-03-26 | Sionyx, Llc | Biometric imaging devices and associated methods |
US10361083B2 (en) | 2004-09-24 | 2019-07-23 | President And Fellows Of Harvard College | Femtosecond laser-induced formation of submicrometer spikes on a semiconductor substrate |
US10374109B2 (en) | 2001-05-25 | 2019-08-06 | President And Fellows Of Harvard College | Silicon-based visible and near-infrared optoelectric devices |
-
2003
- 2003-03-11 JP JP2003064571A patent/JP2004273887A/ja active Pending
Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10374109B2 (en) | 2001-05-25 | 2019-08-06 | President And Fellows Of Harvard College | Silicon-based visible and near-infrared optoelectric devices |
US10361083B2 (en) | 2004-09-24 | 2019-07-23 | President And Fellows Of Harvard College | Femtosecond laser-induced formation of submicrometer spikes on a semiconductor substrate |
US10741399B2 (en) | 2004-09-24 | 2020-08-11 | President And Fellows Of Harvard College | Femtosecond laser-induced formation of submicrometer spikes on a semiconductor substrate |
WO2011022687A3 (en) * | 2009-08-20 | 2011-07-21 | Sionyx, Inc. | Laser processed heterojunction photovoltaic devices and associated methods |
WO2011022687A2 (en) * | 2009-08-20 | 2011-02-24 | Sionyx, Inc. | Laser processed heterojunction photovoltaic devices and associated methods |
US9911781B2 (en) | 2009-09-17 | 2018-03-06 | Sionyx, Llc | Photosensitive imaging devices and associated methods |
US9673243B2 (en) | 2009-09-17 | 2017-06-06 | Sionyx, Llc | Photosensitive imaging devices and associated methods |
US10361232B2 (en) | 2009-09-17 | 2019-07-23 | Sionyx, Llc | Photosensitive imaging devices and associated methods |
US10229951B2 (en) | 2010-04-21 | 2019-03-12 | Sionyx, Llc | Photosensitive imaging devices and associated methods |
US9741761B2 (en) | 2010-04-21 | 2017-08-22 | Sionyx, Llc | Photosensitive imaging devices and associated methods |
US10505054B2 (en) | 2010-06-18 | 2019-12-10 | Sionyx, Llc | High speed photosensitive devices and associated methods |
US9761739B2 (en) | 2010-06-18 | 2017-09-12 | Sionyx, Llc | High speed photosensitive devices and associated methods |
US10269861B2 (en) | 2011-06-09 | 2019-04-23 | Sionyx, Llc | Process module for increasing the response of backside illuminated photosensitive imagers and associated methods |
US9666636B2 (en) | 2011-06-09 | 2017-05-30 | Sionyx, Llc | Process module for increasing the response of backside illuminated photosensitive imagers and associated methods |
US9496308B2 (en) | 2011-06-09 | 2016-11-15 | Sionyx, Llc | Process module for increasing the response of backside illuminated photosensitive imagers and associated methods |
US10244188B2 (en) | 2011-07-13 | 2019-03-26 | Sionyx, Llc | Biometric imaging devices and associated methods |
US9905599B2 (en) | 2012-03-22 | 2018-02-27 | Sionyx, Llc | Pixel isolation elements, devices and associated methods |
US10224359B2 (en) | 2012-03-22 | 2019-03-05 | Sionyx, Llc | Pixel isolation elements, devices and associated methods |
US9939251B2 (en) | 2013-03-15 | 2018-04-10 | Sionyx, Llc | Three dimensional imaging utilizing stacked imager devices and associated methods |
US9673250B2 (en) | 2013-06-29 | 2017-06-06 | Sionyx, Llc | Shallow trench textured regions and associated methods |
US10347682B2 (en) | 2013-06-29 | 2019-07-09 | Sionyx, Llc | Shallow trench textured regions and associated methods |
US11069737B2 (en) | 2013-06-29 | 2021-07-20 | Sionyx, Llc | Shallow trench textured regions and associated methods |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7199303B2 (en) | Optical energy conversion apparatus | |
US20120291859A1 (en) | Multi-Junction Semiconductor Photovoltaic Apparatus and Methods | |
EP0656664B1 (en) | Polycrystalline silicon photoelectric transducer and process for its production | |
US20120018733A1 (en) | Thin Film Solar Cells And Other Devices, Systems And Methods Of Fabricating Same, And Products Produced By Processes Thereof | |
JP2004273886A (ja) | 結晶薄膜半導体装置および光起電力装置 | |
JP2004273887A (ja) | 結晶薄膜半導体装置及び太陽電池素子 | |
JP4594601B2 (ja) | 結晶シリコン系薄膜太陽電池の製造方法及びそれを用いて形成した太陽電池 | |
JP2004087667A (ja) | 結晶シリコン系薄膜半導体装置の製造方法 | |
JP2001156026A (ja) | 半導体素子及びその製造方法 | |
JP2012517706A (ja) | 光起電材料表面をレーザエネルギーで照射する方法および装置 | |
JP2006093212A (ja) | 多結晶層の形成方法、半導体装置の製造方法、及び半導体装置 | |
JP2004327578A (ja) | 結晶薄膜半導体装置およびその製造方法 | |
JP2001168363A (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
WO2021119092A1 (en) | Thin-film crystalline silicon solar cell using a nanoimprinted photonic-plasmonic back-reflector structure | |
Andrä et al. | Multicrystalline silicon thin film solar cells based on a two-step liquid phase laser crystallization process | |
Aberle | Progress in evaporated crystalline silicon thin-film solar cells on glass | |
US20110083724A1 (en) | Monolithic Integration of Photovoltaic Cells | |
KR101490599B1 (ko) | 비정질 실리콘 태양전지의 제조방법 | |
JP2000114558A (ja) | 多結晶シリコン膜の形成方法 | |
JP2005064014A (ja) | 薄膜結晶太陽電池およびその製造方法 | |
JPH0794766A (ja) | 薄膜多結晶シリコン光電変換装置及びその製造方法 | |
JP2000357808A (ja) | シリコン系薄膜光電変換装置およびその製造方法 | |
JP4215694B2 (ja) | 光電変換装置およびその製造方法 | |
JP2004087558A (ja) | 結晶シリコン系薄膜太陽電池の製造方法及びそれを用いて形成した太陽電池 | |
Andra et al. | Varying the layer structure in multicrystalline LLC-silicon thin-film solar cells |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050520 |
|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20050520 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070706 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070717 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070907 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070907 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080212 |