JP2004241524A - 固体撮像素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】有効画素領域とOPB画素領域との段差を低減することにより、有効画素領域の周縁部における色および感度の均一性を改善する。
【解決手段】転送電極11上に第1の遮光膜12,13を形成し、さらに絶縁膜14、OPB画素領域22の第2の遮光膜15および平坦化膜16を順次形成するに際して、絶縁膜14の形成後、OPB画素領域22上の絶縁膜14を薄膜化し、この薄膜化した絶縁膜14上に第2の遮光膜15を形成する。これにより、有効画素領域21上の絶縁膜14の上面とOPB画素領域22上の第2の遮光膜15の上面との段差が低減された固体撮像素子が得られる。
【選択図】 図1
【解決手段】転送電極11上に第1の遮光膜12,13を形成し、さらに絶縁膜14、OPB画素領域22の第2の遮光膜15および平坦化膜16を順次形成するに際して、絶縁膜14の形成後、OPB画素領域22上の絶縁膜14を薄膜化し、この薄膜化した絶縁膜14上に第2の遮光膜15を形成する。これにより、有効画素領域21上の絶縁膜14の上面とOPB画素領域22上の第2の遮光膜15の上面との段差が低減された固体撮像素子が得られる。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、固体撮像素子およびその製造方法に関し、より詳しくは、有効画素領域と光学的黒(オプティカルブラック(以下、「OPB」と称す。))画素領域との段差を低減することにより、有効画素領域の周縁部における色および感度の均一性を改善した固体撮像素子に係るものである。
【0002】
【従来の技術】
図2はCCD(Charge Coupled Device:電荷結合素子)を用いた固体撮像素子の平面図である。図2に示すように固体撮像素子は、有効画素群が配列されている有効画素領域21の周辺を、OPB画素群が配列されているOPB画素領域22が取り囲んだ構造である。固体撮像素子は、このOPB画素領域22を基準として有効画素領域21のデータを出力することで、暗電流等のノイズ成分を除去する。
【0003】
図3は従来の固体撮像素子の有効画素領域21とOPB画素領域22との境界付近の断面図である。図3に示す固体撮像素子では、CCDの転送電極11上に第1の遮光膜12,13および絶縁膜14が設けられ、さらにOPB画素領域22の絶縁膜14上に第2の遮光膜15が設けられている。また、有効画素領域21上の絶縁膜14およびOPB画素領域上の第2の遮光膜15の上には平坦化膜16が設けられ、さらにこの上にカラーフィルタ17およびオンチップレンズ18が設けられている。このように、従来の固体撮像素子では、要求される遮光特性を実現するために、OPB画素領域22は第1の遮光膜13と絶縁膜14上の第2の遮光膜15との二つの遮光膜で覆われている。
【0004】
ところが、図3に示すようにOPB画素領域22に二重に遮光膜13,15を設けた場合、有効画素領域21とOPB画素領域22とで大きな段差を生じる。これにより、その後に形成される平坦化膜16が充分に平坦化されず、段差が残ってしまう。そのため、さらにその後の保護膜などを形成するためのレジスト塗布工程、特にカラーフィルタ17の塗布形成時に、この段差により有効画素領域21とOPB画素領域22との境界付近でカラーフィルタ17の膜厚が不均一となってしまう。そして、このカラーフィルタ17の膜厚の不均一性は、有効画素領域21周縁部における色および感度の不均一性を引き起こし、その程度によっては撮像不良を生じる。
【0005】
このように二重に遮光膜を設けた固体撮像素子における色・感度不均一性を抑えるため、有効画素領域21とOPB画素領域22との段差を低減する技術として、例えば特許文献1に記載のものが知られている。
【0006】
特許文献1には、有効画素とOPB画素との間にダミー画素を設けることによって、二重に設けた遮光膜によるセンサ表面形状の段差を従来よりもゆるやかなものとすることが記載されている。これにより、センサ表面上部にカラーフィルタを形成した場合、このカラーフィルタの膜厚の均一性を向上させることが可能となるというものである。
【0007】
【特許文献1】
特開平5−110045号公報(段落番号0012、図1,図2)
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献1に記載のように、有効画素とOPB画素との間にダミー画素を設け、このダミー画素によってセンサ表面形状の段差を吸収させるようにすると、ダミー画素の領域分だけ固体撮像素子全体が大きくなってしまう。
【0009】
そこで、本発明においては、有効画素とOPB画素との間にダミー画素を設けることなく、有効画素領域とOPB画素領域との段差を低減することにより、有効画素領域の周縁部における色および感度の均一性を改善することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明の固体撮像素子は、転送電極上に第1の遮光膜を形成し、さらに絶縁膜、光学的黒画素領域の第2の遮光膜および上層膜を順次形成した固体撮像素子において、光学的黒画素領域上の絶縁膜が薄膜化され、この薄膜化された絶縁膜上に第2の遮光膜が形成されていることを特徴とするものである。
【0011】
本発明の固体撮像素子では、光学的黒画素領域上に設けた第2の遮光膜が、薄膜化された絶縁膜上に形成されているため、有効画素領域上の絶縁膜の上面と光学的黒画素領域上の第2の遮光膜の上面との段差が低減される。
【0012】
本発明の固体撮像素子の製造方法は、転送電極上に第1の遮光膜を形成し、さらに絶縁膜、光学的黒画素領域の第2の遮光膜および上層膜を順次形成する固体撮像素子の製造方法において、絶縁膜の形成後、光学的黒画素領域上の絶縁膜を薄膜化し、この薄膜化した絶縁膜上に第2の遮光膜を形成することを特徴とする。
【0013】
本発明の固体撮像素子の製造方法によれば、光学的黒画素領域上の絶縁膜が薄膜化された後、この薄膜化された絶縁膜上に第2の遮光膜が形成されるため、有効画素領域上の絶縁膜の上面と光学的黒画素領域上の第2の遮光膜の上面との段差が低減された固体撮像素子が得られる。
【0014】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の実施の形態における固体撮像素子の有効画素領域とOPB画素領域との境界付近の断面図である。
【0015】
図1に示すように、本実施形態における固体撮像素子は、CCDの転送電極11上に第1の遮光膜12,13および絶縁膜14が設けられ、さらにOPB画素領域22の絶縁膜14上に第2の遮光膜15が設けられている。図3に示した従来例との相違点は、有効画素領域21上を除くOPB画素領域22上の絶縁膜14、すなわち第2の遮光膜15下が薄膜化されていることである。第2の遮光膜15は、この薄膜化された絶縁膜14上に形成されている。
【0016】
このOPB画素領域22上の絶縁膜14の薄膜化は、絶縁膜14形成後、有効画素領域21をフォトレジストでマスキングし、OPB画素領域22上の絶縁膜14をドライエッチングすることにより行う。但し、OPB画素領域22の第1の遮光膜13までエッチングされた場合、OPB画素領域22の遮光能力が低下してしまうため、第1の遮光膜13まで削られない程度の残膜マージンが確保されるエッチング量とする。
【0017】
このように有効画素領域21上を除いてOPB画素領域22上のみ絶縁膜14を薄膜化することによって、有効画素領域21上の絶縁膜14の上面とOPB画素領域22上の第2の遮光膜15の上面との段差をこの絶縁膜14の薄膜化量に相当する分だけ低減することができる。したがって、その後にこれらの有効画素領域21上の絶縁膜14およびOPB画素領域上の第2の遮光膜15の上に形成される上層膜としての平坦化膜16を充分に平坦化することができる。これにより、平坦化膜16の膜厚不均一による感度むらが低減される。
【0018】
また、この平坦化膜16の上に上層膜としての保護膜などを形成するためのレジスト塗布工程においても膜厚を均一にすることが可能となる。特に、上層膜としてカラーフィルタ17を形成した場合、このカラーフィルタ17の膜厚が均一となることによって、有効画素領域21周縁部における色および感度が均一となるため、カラーフィルタ17の膜厚不均一による色むらおよび感度むらが低減される。
【0019】
さらに、図1に示すように、カラーフィルタ17上にオンチップレンズ18を形成する場合においても、平坦化膜16が充分に平坦化されることから、カラーフィルタ17上に形成されるオンチップレンズ18の変形が防止される。これにより、オンチップレンズ18の変形による感度むらの発生が防止される。
【0020】
なお、本実施形態においては、絶縁膜14の薄膜化方法としてドライエッチングによる方法について説明したが、ウエットエッチング、研削や研磨などにより行うことも可能である。要するに、OPB画素領域22上の絶縁膜14を、OPB画素領域22の第1の遮光膜13まで削られない程度の残膜マージンを確保して薄膜化することができる方法であればよい。
【0021】
また、本実施形態においては、上層膜として平坦化膜16およびカラーフィルタ17を例にとって説明したが、有効画素領域21上の絶縁膜14およびOPB画素領域上の遮光膜15の上に形成する上層膜はこれらに限定されるものではない。
【0022】
【発明の効果】
本発明によれば、以下の効果を奏することができる。
【0023】
(1)光学的黒画素領域上の絶縁膜が薄膜化され、この薄膜化された絶縁膜上に第2の遮光膜が形成されていることから、有効画素とOPB画素との間にダミー画素を設けることなく、有効画素領域とOPB画素領域との段差を低減することができ、有効画素領域の周縁部における色および感度の均一性を改善することができる。
【0024】
(2)有効画素領域とOPB画素領域との段差が低減された上層膜上にカラーフィルタを備えた場合、カラーフィルタの膜厚が均一となるため、カラーフィルタの膜厚不均一による色むらおよび感度むらを低減することができる。
【0025】
(3)有効画素領域とOPB画素領域との段差が低減された上層膜上にオンチップレンズを備えた場合、オンチップレンズの変形が防止されるため、オンチップレンズの変形による感度むらの発生が防止される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態における固体撮像素子の有効画素領域とOPB画素領域との境界付近の断面図である。
【図2】CCDを用いた固体撮像素子の平面図である。
【図3】従来の固体撮像素子の有効画素領域とOPB画素領域との境界付近の断面図である。
【符号の説明】
11 転送電極
12,13 第1の遮光膜
14 絶縁膜
15 第2の遮光膜
16 平坦化膜
17 カラーフィルタ
18 オンチップレンズ
21 有効画素領域
22 OPB(光学的黒)画素領域
【発明の属する技術分野】
本発明は、固体撮像素子およびその製造方法に関し、より詳しくは、有効画素領域と光学的黒(オプティカルブラック(以下、「OPB」と称す。))画素領域との段差を低減することにより、有効画素領域の周縁部における色および感度の均一性を改善した固体撮像素子に係るものである。
【0002】
【従来の技術】
図2はCCD(Charge Coupled Device:電荷結合素子)を用いた固体撮像素子の平面図である。図2に示すように固体撮像素子は、有効画素群が配列されている有効画素領域21の周辺を、OPB画素群が配列されているOPB画素領域22が取り囲んだ構造である。固体撮像素子は、このOPB画素領域22を基準として有効画素領域21のデータを出力することで、暗電流等のノイズ成分を除去する。
【0003】
図3は従来の固体撮像素子の有効画素領域21とOPB画素領域22との境界付近の断面図である。図3に示す固体撮像素子では、CCDの転送電極11上に第1の遮光膜12,13および絶縁膜14が設けられ、さらにOPB画素領域22の絶縁膜14上に第2の遮光膜15が設けられている。また、有効画素領域21上の絶縁膜14およびOPB画素領域上の第2の遮光膜15の上には平坦化膜16が設けられ、さらにこの上にカラーフィルタ17およびオンチップレンズ18が設けられている。このように、従来の固体撮像素子では、要求される遮光特性を実現するために、OPB画素領域22は第1の遮光膜13と絶縁膜14上の第2の遮光膜15との二つの遮光膜で覆われている。
【0004】
ところが、図3に示すようにOPB画素領域22に二重に遮光膜13,15を設けた場合、有効画素領域21とOPB画素領域22とで大きな段差を生じる。これにより、その後に形成される平坦化膜16が充分に平坦化されず、段差が残ってしまう。そのため、さらにその後の保護膜などを形成するためのレジスト塗布工程、特にカラーフィルタ17の塗布形成時に、この段差により有効画素領域21とOPB画素領域22との境界付近でカラーフィルタ17の膜厚が不均一となってしまう。そして、このカラーフィルタ17の膜厚の不均一性は、有効画素領域21周縁部における色および感度の不均一性を引き起こし、その程度によっては撮像不良を生じる。
【0005】
このように二重に遮光膜を設けた固体撮像素子における色・感度不均一性を抑えるため、有効画素領域21とOPB画素領域22との段差を低減する技術として、例えば特許文献1に記載のものが知られている。
【0006】
特許文献1には、有効画素とOPB画素との間にダミー画素を設けることによって、二重に設けた遮光膜によるセンサ表面形状の段差を従来よりもゆるやかなものとすることが記載されている。これにより、センサ表面上部にカラーフィルタを形成した場合、このカラーフィルタの膜厚の均一性を向上させることが可能となるというものである。
【0007】
【特許文献1】
特開平5−110045号公報(段落番号0012、図1,図2)
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献1に記載のように、有効画素とOPB画素との間にダミー画素を設け、このダミー画素によってセンサ表面形状の段差を吸収させるようにすると、ダミー画素の領域分だけ固体撮像素子全体が大きくなってしまう。
【0009】
そこで、本発明においては、有効画素とOPB画素との間にダミー画素を設けることなく、有効画素領域とOPB画素領域との段差を低減することにより、有効画素領域の周縁部における色および感度の均一性を改善することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明の固体撮像素子は、転送電極上に第1の遮光膜を形成し、さらに絶縁膜、光学的黒画素領域の第2の遮光膜および上層膜を順次形成した固体撮像素子において、光学的黒画素領域上の絶縁膜が薄膜化され、この薄膜化された絶縁膜上に第2の遮光膜が形成されていることを特徴とするものである。
【0011】
本発明の固体撮像素子では、光学的黒画素領域上に設けた第2の遮光膜が、薄膜化された絶縁膜上に形成されているため、有効画素領域上の絶縁膜の上面と光学的黒画素領域上の第2の遮光膜の上面との段差が低減される。
【0012】
本発明の固体撮像素子の製造方法は、転送電極上に第1の遮光膜を形成し、さらに絶縁膜、光学的黒画素領域の第2の遮光膜および上層膜を順次形成する固体撮像素子の製造方法において、絶縁膜の形成後、光学的黒画素領域上の絶縁膜を薄膜化し、この薄膜化した絶縁膜上に第2の遮光膜を形成することを特徴とする。
【0013】
本発明の固体撮像素子の製造方法によれば、光学的黒画素領域上の絶縁膜が薄膜化された後、この薄膜化された絶縁膜上に第2の遮光膜が形成されるため、有効画素領域上の絶縁膜の上面と光学的黒画素領域上の第2の遮光膜の上面との段差が低減された固体撮像素子が得られる。
【0014】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の実施の形態における固体撮像素子の有効画素領域とOPB画素領域との境界付近の断面図である。
【0015】
図1に示すように、本実施形態における固体撮像素子は、CCDの転送電極11上に第1の遮光膜12,13および絶縁膜14が設けられ、さらにOPB画素領域22の絶縁膜14上に第2の遮光膜15が設けられている。図3に示した従来例との相違点は、有効画素領域21上を除くOPB画素領域22上の絶縁膜14、すなわち第2の遮光膜15下が薄膜化されていることである。第2の遮光膜15は、この薄膜化された絶縁膜14上に形成されている。
【0016】
このOPB画素領域22上の絶縁膜14の薄膜化は、絶縁膜14形成後、有効画素領域21をフォトレジストでマスキングし、OPB画素領域22上の絶縁膜14をドライエッチングすることにより行う。但し、OPB画素領域22の第1の遮光膜13までエッチングされた場合、OPB画素領域22の遮光能力が低下してしまうため、第1の遮光膜13まで削られない程度の残膜マージンが確保されるエッチング量とする。
【0017】
このように有効画素領域21上を除いてOPB画素領域22上のみ絶縁膜14を薄膜化することによって、有効画素領域21上の絶縁膜14の上面とOPB画素領域22上の第2の遮光膜15の上面との段差をこの絶縁膜14の薄膜化量に相当する分だけ低減することができる。したがって、その後にこれらの有効画素領域21上の絶縁膜14およびOPB画素領域上の第2の遮光膜15の上に形成される上層膜としての平坦化膜16を充分に平坦化することができる。これにより、平坦化膜16の膜厚不均一による感度むらが低減される。
【0018】
また、この平坦化膜16の上に上層膜としての保護膜などを形成するためのレジスト塗布工程においても膜厚を均一にすることが可能となる。特に、上層膜としてカラーフィルタ17を形成した場合、このカラーフィルタ17の膜厚が均一となることによって、有効画素領域21周縁部における色および感度が均一となるため、カラーフィルタ17の膜厚不均一による色むらおよび感度むらが低減される。
【0019】
さらに、図1に示すように、カラーフィルタ17上にオンチップレンズ18を形成する場合においても、平坦化膜16が充分に平坦化されることから、カラーフィルタ17上に形成されるオンチップレンズ18の変形が防止される。これにより、オンチップレンズ18の変形による感度むらの発生が防止される。
【0020】
なお、本実施形態においては、絶縁膜14の薄膜化方法としてドライエッチングによる方法について説明したが、ウエットエッチング、研削や研磨などにより行うことも可能である。要するに、OPB画素領域22上の絶縁膜14を、OPB画素領域22の第1の遮光膜13まで削られない程度の残膜マージンを確保して薄膜化することができる方法であればよい。
【0021】
また、本実施形態においては、上層膜として平坦化膜16およびカラーフィルタ17を例にとって説明したが、有効画素領域21上の絶縁膜14およびOPB画素領域上の遮光膜15の上に形成する上層膜はこれらに限定されるものではない。
【0022】
【発明の効果】
本発明によれば、以下の効果を奏することができる。
【0023】
(1)光学的黒画素領域上の絶縁膜が薄膜化され、この薄膜化された絶縁膜上に第2の遮光膜が形成されていることから、有効画素とOPB画素との間にダミー画素を設けることなく、有効画素領域とOPB画素領域との段差を低減することができ、有効画素領域の周縁部における色および感度の均一性を改善することができる。
【0024】
(2)有効画素領域とOPB画素領域との段差が低減された上層膜上にカラーフィルタを備えた場合、カラーフィルタの膜厚が均一となるため、カラーフィルタの膜厚不均一による色むらおよび感度むらを低減することができる。
【0025】
(3)有効画素領域とOPB画素領域との段差が低減された上層膜上にオンチップレンズを備えた場合、オンチップレンズの変形が防止されるため、オンチップレンズの変形による感度むらの発生が防止される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態における固体撮像素子の有効画素領域とOPB画素領域との境界付近の断面図である。
【図2】CCDを用いた固体撮像素子の平面図である。
【図3】従来の固体撮像素子の有効画素領域とOPB画素領域との境界付近の断面図である。
【符号の説明】
11 転送電極
12,13 第1の遮光膜
14 絶縁膜
15 第2の遮光膜
16 平坦化膜
17 カラーフィルタ
18 オンチップレンズ
21 有効画素領域
22 OPB(光学的黒)画素領域
Claims (4)
- 転送電極上に第1の遮光膜を形成し、さらに絶縁膜、光学的黒画素領域の第2の遮光膜および上層膜を順次形成した固体撮像素子において、
前記光学的黒画素領域上の絶縁膜が薄膜化され、この薄膜化された絶縁膜上に前記第2の遮光膜が形成されていることを特徴とする固体撮像素子。 - 前記上層膜上にカラーフィルタを備えた請求項1記載の固体撮像素子。
- 前記上層膜上にオンチップレンズを備えた請求項1記載の固体撮像素子。
- 転送電極上に第1の遮光膜を形成し、さらに絶縁膜、光学的黒画素領域の第2の遮光膜および上層膜を順次形成する固体撮像素子の製造方法において、
前記絶縁膜の形成後、前記光学的黒画素領域上の絶縁膜を薄膜化し、
この薄膜化した絶縁膜上に前記第2の遮光膜を形成する
ことを特徴とする固体撮像素子の製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003027821A JP2004241524A (ja) | 2003-02-05 | 2003-02-05 | 固体撮像素子およびその製造方法 |
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JP2003027821A JP2004241524A (ja) | 2003-02-05 | 2003-02-05 | 固体撮像素子およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004241524A true JP2004241524A (ja) | 2004-08-26 |
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ID=32955440
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JP2003027821A Abandoned JP2004241524A (ja) | 2003-02-05 | 2003-02-05 | 固体撮像素子およびその製造方法 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2004241524A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006294991A (ja) * | 2005-04-13 | 2006-10-26 | Sony Corp | 固体撮像装置及びその製造方法 |
JP2008053713A (ja) * | 2006-08-21 | 2008-03-06 | Dongbu Hitek Co Ltd | イメージセンサ及びその製造方法 |
JP2010212637A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Canon Inc | 固体撮像装置及び固体撮像装置の製造方法 |
-
2003
- 2003-02-05 JP JP2003027821A patent/JP2004241524A/ja not_active Abandoned
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