JP2004212406A - Fluorescent x-ray analyzer and recording medium used therefor - Google Patents
Fluorescent x-ray analyzer and recording medium used therefor Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004212406A JP2004212406A JP2004057066A JP2004057066A JP2004212406A JP 2004212406 A JP2004212406 A JP 2004212406A JP 2004057066 A JP2004057066 A JP 2004057066A JP 2004057066 A JP2004057066 A JP 2004057066A JP 2004212406 A JP2004212406 A JP 2004212406A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- analysis
- data processing
- drift
- fluorescent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
Description
本発明は、分析試料にＸ線を照射して分析を行う蛍光Ｘ線分析装置に関し、その分析試料に対応した標準試料の検量線定数やファンダメンタルパラメータ感度定数等のデータ処理パラメータの作成に関する。 The present invention relates to an X-ray fluorescence analyzer for performing analysis by irradiating an analysis sample with X-rays, and relates to creation of data processing parameters such as a calibration curve constant and a fundamental parameter sensitivity constant of a standard sample corresponding to the analysis sample.
従来から、Ｘ線を照射した分析試料から発生する蛍光Ｘ線の強度を測定して試料の定量分析を行う蛍光Ｘ線分析装置が知られている。この装置は、試料にＸ線を照射するＸ線照射装置、Ｘ線を照射した試料から発生する蛍光Ｘ線を分光する分光器、分光された蛍光Ｘ線を検出する検出器、および装置全体を制御するコントローラ（コンピュータ）などを備えている。 2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known an X-ray fluorescence analyzer that measures the intensity of X-ray fluorescence generated from an analysis sample irradiated with X-rays and performs quantitative analysis of the sample. This apparatus includes an X-ray irradiator that irradiates a sample with X-rays, a spectroscope that disperses fluorescent X-rays generated from the sample irradiated with X-rays, a detector that detects the separated fluorescent X-rays, and the entire apparatus. A controller (computer) for controlling is provided.
試料の定量分析を行う方法には、検量線法とファンダメンタルパラメータ法がある。検量線法は、分析試料の分析成分および品種に見合う標準試料を用いて、図５に示す標準試料のＸ線強度と含有率との関係を示す検量線に基づき、分析試料の元素含有率を求めるものである。この場合、分析試料の測定を開始する前に、上記標準試料およびこれに対応するドリフト補正試料を用意し、検量線定数、マトリックス補正定数、重なり補正定数およびドリフト補正基準強度のデータ処理パラメータを作成しておく必要がある。この作成の際、標準試料の標準値（濃度、厚み、付着量など）、ドリフト補正条件、補正パラメータおよび蛍光Ｘ線分析装置の測定条件を含む試料分析条件のデータをコンピュータに入力する必要があるが、従来はオペレータが手動で入力していた。補正パラメータ（マトリックス補正定数，重なり補正定数など）は共存元素の吸収・励起およびスペクトルの重なりの影響を補正するものである。標準試料およびドリフト補正試料のデータ処理パラメータが作成されたのち、分析試料の測定が開始される。 Methods for performing quantitative analysis of a sample include a calibration curve method and a fundamental parameter method. The calibration curve method is based on the calibration curve showing the relationship between the X-ray intensity and the content of the standard sample shown in FIG. Is what you want. In this case, before starting the measurement of the analysis sample, prepare the above standard sample and the corresponding drift correction sample, and create data processing parameters for the calibration curve constant, the matrix correction constant, the overlap correction constant, and the drift correction reference intensity. It is necessary to keep. At the time of this preparation, it is necessary to input data of sample analysis conditions including standard values (concentration, thickness, adhesion amount, etc.) of the standard sample, drift correction conditions, correction parameters, and measurement conditions of the X-ray fluorescence analyzer. However, conventionally, the operator has manually input the information. Correction parameters (such as matrix correction constants and overlap correction constants) are used to correct the effects of absorption / excitation of coexisting elements and overlap of spectra. After the data processing parameters of the standard sample and the drift correction sample are created, measurement of the analysis sample is started.
また、ファンダメンタルパラメータ法は、適宜設定した元素含有率の初期値から、理論強度を用いた逐次近似収束計算で元素含有率を求めるものであり、この場合、分析試料の測定を開始する前に、装置感度を補正するために用いる標準試料の測定Ｘ線強度と理論Ｘ線強度との関係を示すファンダメンタルパラメータ感度定数、重なり補正定数およびドリフト補正基準強度のデータ処理パラメータを作成する必要がある。 Further, the fundamental parameter method is to determine the element content by successive approximation convergence calculation using the theoretical intensity from the initial value of the element content appropriately set, and in this case, before starting the measurement of the analysis sample, It is necessary to create fundamental parameter sensitivity constants, overlap correction constants, and data processing parameters for drift correction reference intensities indicating the relationship between the measured X-ray intensity and the theoretical X-ray intensity of the standard sample used for correcting the device sensitivity.
しかし、上記標準試料およびドリフト補正試料のデータ処理パラメータを作成する場合、上記試料分析条件のうち特に上記補正パラメータや蛍光Ｘ線分析装置の測定条件等の条件設定には高度の専門知識と経験が必要であり、上記データを入力するオペレータは蛍光Ｘ線分析についての専門知識を持った者に限られるという問題があった。また、入力が手作業で行われるため、煩雑であり、ケアレスミスも発生しやすい。 However, when preparing the data processing parameters of the standard sample and the drift correction sample, a high degree of expertise and experience is required for setting the correction parameters and the measurement conditions of the fluorescent X-ray analyzer, among the sample analysis conditions. This is necessary, and there is a problem in that the operator who inputs the data is limited to those who have expertise in X-ray fluorescence analysis. In addition, since the input is performed manually, it is complicated and careless mistakes are likely to occur.
本発明は、上記の問題点を解決して、分析試料の測定開始前に、標準試料およびドリフト補正試料のデータ処理パラメータの作成を容易に行うことができる蛍光Ｘ線分析装置およびこれに使用する記録媒体を提供することを目的としている。 The present invention solves the above-mentioned problems and provides an X-ray fluorescence analyzer that can easily create data processing parameters for a standard sample and a drift-corrected sample before the measurement of an analysis sample is started. It is intended to provide a recording medium.
上記目的を達成するために、請求項１の発明は、分析試料にＸ線を照射して分析を行う蛍光Ｘ線分析装置であって、分析試料に対応した標準試料の標準値、ドリフト補正条件、補正パラメータおよび蛍光Ｘ線分析装置の測定条件を含む試料分析条件のデータが記録された記録媒体から前記試料分析条件のデータを読取・記憶する手段、または外部コンピュータから送信された前記試料分析条件のデータを受信・記憶する手段と、前記記憶された試料分析条件に基づいて、前記標準試料および標準試料に対応したドリフト補正試料を測定して、検量線定数およびドリフト補正基準強度を含むデータ処理パラメータと、ファンダメンタルパラメータ感度定数およびドリフト補正基準強度を含むデータ処理パラメータとのいずれか一方を演算し、その結果を記憶するデータ処理パラメータ演算・記憶手段とを備えている。
ここで、記録媒体には、フロッピーディスク、ＭＯディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ハードディスク等が含まれる。外部コンピュータからの送信とは、例えばサーバなどの外部コンピュータに記憶されたデータをネットワーク等の回線を通じて送信する場合をいう。
In order to achieve the above object, an invention according to claim 1 is an X-ray fluorescence analyzer that irradiates an analysis sample with X-rays for analysis, wherein a standard value of a standard sample corresponding to the analysis sample and a drift correction condition are provided. Means for reading and storing the data of the sample analysis conditions from the recording medium on which the data of the sample analysis conditions including the correction parameters and the measurement conditions of the fluorescent X-ray analyzer are recorded, or the sample analysis conditions transmitted from an external computer Means for receiving and storing data, and measuring the standard sample and the drift-corrected sample corresponding to the standard sample based on the stored sample analysis conditions, and performing data processing including a calibration curve constant and a drift-corrected reference intensity. One of the parameters and one of the data processing parameters including the fundamental parameter sensitivity constant and the drift correction reference strength is calculated, and And a data processing parameter operation and storage means for storing the results.
Here, the recording medium includes a floppy disk, an MO disk, a CD-ROM, a hard disk, and the like. Transmission from an external computer refers to, for example, transmitting data stored in an external computer such as a server through a line such as a network.
請求項１の構成によれば、分析試料の測定開始前に、記録媒体のデータまたは送信されたデータからの標準試料およびドリフト補正試料の試料分析条件の下で標準試料およびドリフト補正試料を測定して、標準試料およびドリフト補正試料のデータ処理パラメータを自動的に作成するので、このデータ処理パラメータの作成を専門知識がなくとも、容易かつ正確に行うことができる。特に、試料分析条件のうち測定条件および補正パラメータについては、高度の専門知識と経験を必要とし、従来分析上のネックとなっていたが、その問題が解消される。 According to the configuration of claim 1, before the measurement of the analysis sample is started, the standard sample and the drift correction sample are measured under the sample analysis conditions of the standard sample and the drift correction sample from the data of the recording medium or the transmitted data. Thus, the data processing parameters of the standard sample and the drift correction sample are automatically created, so that the data processing parameters can be easily and accurately created without any special knowledge. In particular, among the sample analysis conditions, measurement conditions and correction parameters require a high degree of specialized knowledge and experience, and have conventionally been a bottleneck in analysis, but this problem is solved.
請求項２の発明は、分析試料を分析する蛍光Ｘ線分析装置の試料分析条件を記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、前記試料分析条件は、分析試料に対応した標準試料の標準値、ドリフト補正条件、補正パラメータおよび蛍光Ｘ線分析装置の測定条件を含み、設定された試料分析条件の下で、蛍光Ｘ線分析装置の各部を制御するコンピュータの制御プログラムに制御を行わせて、前記標準試料および標準試料に対応したドリフト補正試料を測定させ、検量線定数およびドリフト補正基準強度を含むデータ処理パラメータと、ファンダメンタルパラメータ感度定数およびドリフト補正基準強度を含むデータ処理パラメータとのいずれか一方を演算させて、その結果を記憶させるものであることを特徴とするものである。
The invention according to
以上のように、本発明によれば、分析試料の測定開始前に、記録媒体のデータまたは送信されたデータからの標準試料およびドリフト補正試料の試料分析条件の下で標準試料およびドリフト補正試料を測定して、標準試料およびドリフト補正試料のデータ処理パラメータを自動的に作成するので、このデータ処理パラメータの作成を専門知識がなくとも、容易かつ正確に行うことができる。また、本記録媒体に記録された分析アプリケーションを容易に多くの装置に組み込むことができる。 As described above, according to the present invention, before the measurement of the analysis sample is started, the standard sample and the drift correction sample are sampled under the sample analysis conditions of the standard sample and the drift correction sample from the data of the recording medium or the transmitted data. Since the measurement is performed and the data processing parameters of the standard sample and the drift correction sample are automatically created, it is possible to easily and accurately create the data processing parameters without any specialized knowledge. Further, the analysis application recorded on the recording medium can be easily incorporated into many devices.
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る蛍光Ｘ線分析装置の構成図を示す。本装置は、試料ＳにＸ線を照射し、試料Ｓから発生する蛍光Ｘ線の強度を測定して、試料Ｓを定量分析するものである。本装置は、分析試料の測定開始前に、分析試料に対応した標準試料およびドリフト補正試料のデータ処理パラメータを自動的に作成するものである。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 shows a configuration diagram of an X-ray fluorescence analyzer according to one embodiment of the present invention. This apparatus irradiates a sample S with X-rays, measures the intensity of fluorescent X-rays generated from the sample S, and quantitatively analyzes the sample S. This apparatus automatically creates data processing parameters of a standard sample and a drift correction sample corresponding to an analysis sample before the measurement of the analysis sample is started.
本装置は、試料Ｓが固定される試料台９、試料Ｓに１次Ｘ線Ｂ１を照射するＸ線照射装置１、１次Ｘ線Ｂ１をフィルタリングする１次フィルタ２、試料Ｓの特定の測定部位からの蛍光Ｘ線（二次Ｘ線）Ｂ２のみを後述する検出器８に取り込むように視野制限する視野制限絞り３、２次Ｘ線Ｂ２のＸ線強度を減衰させるアッテネータ４、視野制限された蛍光Ｘ線Ｂ２を平行化する一次ソーラスリット５、ブラッグの式を満足する波長の蛍光Ｘ線Ｂ２のみを入射角θと同一の回折角θで回折する分光器６、回折した蛍光Ｘ線Ｂ３を平行化する二次ソーラスリット７、蛍光Ｘ線Ｂ３の強度を検出する検出器８、および検出器８からの出力パルスを計数して、測定対象元素のピーク強度を測定する計数回路１０を備えている。分光器６と検出器８とは、図示しないゴニオメータにより、一定の角度関係を保って回動される。
This apparatus comprises a sample stage 9 on which a sample S is fixed, an X-ray irradiator 1 for irradiating the sample S with a primary X-ray B1, a
上記装置各部には、測定対象の試料Ｓに応じて、各部またはその所定の構成部分を光路上に移動させる移動機構が設けられている。すなわち、上記１次フィルタ２，アッテネータ４には、これらを光路上に進退させるフィルタ進退機構２２，アッテネータ進退機構２４が設けられている。視野制限絞り３は相異なる孔径の複数の絞り孔を周方向に配置しており、この視野制限絞り３には光路上に選択された絞り孔を交換配置する交換機構２３が設けられている。一次ソーラスリット５および二次ソーラスリット７はそれぞれ複数の互いに異なる開角からなるスリット部５Ａ〜５Ｃ，７Ａ〜７Ｃを有しており、一次ソーラスリット５および二次ソーラスリット７には各スリット部を光路上に進退させるスリット進退機構２５，２６が設けられている。前記各移動機構２２〜２６は、例えばラック・ピニオン式の機構である。分光器６は相異なる格子間隔をもつ複数の分光面を円周上に配置しており、この分光器６は、切換機構２７によって回転されることで、光路上に各分光面が切り換えて配置される。これらの機構２２〜２７は、後述するコントローラ２０内の測定制御手段３３により制御される。
Each part of the apparatus is provided with a moving mechanism for moving each part or a predetermined component thereof on the optical path according to the sample S to be measured. That is, the
さらに、本装置は、図２に示すように、装置全体を制御するコンピュータからなるコントローラ２０を備えている。コンピュータ２０は、そのＣＰＵ２１に、測定制御手段３３、データ処理パラメータ演算・記憶手段３４および記録媒体データ読取・記憶手段３５を内蔵し、制御プログラムを格納したＲＯＭ３６、データ処理パラメータの作成作業をスタートさせるスタートボタンのようなスタート指令手段３０、各動作内容と各データ内容を画面に表示する表示手段３７、および印刷手段３８を有する。
Further, as shown in FIG. 2, the present apparatus includes a
上記記録媒体データ読取・記憶手段３５は、標準試料の標準値、ドリフト補正条件、補正パラメータ等のデータ処理条件および蛍光Ｘ線分析装置の測定条件を含む試料分析条件のデータが記録されたフロッピーディスクのような記録媒体３９から上記試料分析条件のデータを読取・記憶する。
The recording medium data reading / storing means 35 is a floppy disk on which data of sample analysis conditions including standard values of standard samples, drift correction conditions, data processing conditions such as correction parameters, and measurement conditions of a fluorescent X-ray analyzer are recorded. The data of the sample analysis conditions is read and stored from the
上記測定制御手段３３は、記憶された試料分析条件のうちの測定条件の下で、ＲＯＭ３６に格納された制御プログラムにしたがい、上記蛍光Ｘ線分析装置各部を作動させて、標準試料および標準試料に対応したドリフト補正試料を測定させる。データ処理パラメータ演算・記憶手段３４は、記憶された試料分析条件のうちのデータ処理条件に基づいて、標準試料およびドリフト補正試料についての測定データから、検量線定数、マトリックス補正定数、重なり補正定数およびドリフト補正基準強度のデータ処理パラメータを演算し、その結果を記憶する。また、マトリックス補正定数もしくは重なり補正定数またはその両方を演算しない場合もある。例えば、マトリックス補正定数、重なり補正定数は演算させずに、蛍光Ｘ線分析方法の規格であるＪＩＳＧ１２５６の解説に記載されているマトリックス補正定数（総合補正係数）、重なり補正定数（重なり補正係数）をフロッピーディスク等に記憶させておき、この定数を装置に読取・記憶させ、記憶させたマトリックス補正定数、重なり補正定数を使用して、検量線定数を演算する場合である。なお、分析対象元素や共存元素の種類によっては、マトリックス補正定数もしくは重なり補正定数またはその両方を使用しない場合もある。
The measurement control means 33 operates the respective sections of the X-ray fluorescence analyzer according to the control program stored in the
上記記録媒体３９には、前記データ処理条件として、例えば、検量線定数、マトリックス補正定数、重なり補正定数およびドリフト補正基準強度を演算するのに必要な標準試料の標準値（濃度）、ドリフト補正条件、共存元素の吸収・励起およびスペクトルの重なりの影響を補正する補正パラメータ（マトリックス補正定数，重なり補正定数など）、出力設定（出力桁，表示の方法，分析値の表示方法など）等が書き込まれている。また、蛍光Ｘ線分析装置各部の測定条件として、例えば、視野制限絞り３、分光器６、１次，２次ソーラスリット５，７、１次フィルタ２およびアッテネータ４における各部またはその構成部分の選定のほか、Ｘ線照射装置２の電力値やＸ線照射時間、ピーク角度（波長）、分光角度２θ、バックグラウンド角度、計数回路１０を形成する波高分析器（ＰＨＡ）の窓の幅やパルスカウント時間（測定時間）等のＰＨＡ条件、分析試料の分析径、装置外部の雰囲気、および装置内部の真空設定（真空度，真空の引き方）等の設定が書き込まれている。
In the
上記構成の蛍光Ｘ線分析装置の動作を、図３，４のフローチャートに基づいて説明する。図３は、標準試料およびドリフト補正試料のデータ処理パラメータを作成する動作を示し、図４は、分析試料の分析を行う日常管理分析作業の動作を示す。 The operation of the X-ray fluorescence analyzer having the above configuration will be described with reference to the flowcharts of FIGS. FIG. 3 shows an operation of creating data processing parameters of the standard sample and the drift correction sample, and FIG. 4 shows an operation of a daily management analysis operation for analyzing an analysis sample.
〔データ処理パラメータの作成作業〕
図３において、まず、図２の記録媒体データ読取・記憶手段３５により記録媒体３９に記録された試料分析条件のデータが読み込まれて、コンピュータ２０にインストールされる（ステップＳ１）。予め、記録媒体３９とともに標準試料およびドリフト補正試料が装置に付属されていれば、これらの試料を準備する手間が省ける。つぎに、指定あるいは推奨する方法で、組成が既知の標準試料を調製する（ステップＳ２）。これは、操作マニュアルで具体的に調製方法が指示されるもので、例えば標準試料が鉄鋼の場合はその表面が研磨され、セメントの場合は加圧成形され、銅合金の場合は旋盤で切削される。その調製の手順は、図２のコンピュータ２０の表示手段３７の画面に表示してもよいし、この画面で操作マニュアルのどの箇所を見るべきかを指示してもよい。
[Data processing parameter creation work]
In FIG. 3, first, the data of the sample analysis condition recorded on the
上記調製された標準試料が試料台９に置かれた後、スタートボタン３０を押すと、上記読み込まれた試料分析条件のデータに基づいて制御プログラムが作動し、標準試料が測定されて、検量線が自動作成（更新）される（ステップＳ３）。検量線は複数の相異なる標準試料により作成される。制御プログラムの作動により、コンピュータ２０のデータ処理パラメータ演算・記憶手段３４に、分析試料に対応した標準試料の標準値、ドリフト補正条件、補正パラメータ等のデータ処理条件を与える一方で、測定制御手段３３に、蛍光Ｘ線分析装置の測定条件を与えて、その測定条件下で、標準試料を測定させる。そして、データ処理パラメータ演算・記憶手段３４に、標準試料の測定データに基づいて、検量線の検量線定数、マトリックス補正定数、重なり補正定数およびドリフト補正基準強度のデータ処理パラメータを演算させ、その結果を記憶させる。この結果は、表示手段３７により表示され、必要に応じて印刷手段３８によりプリントアウトされる。
When the
つぎに、標準試料に対応したドリフト補正用試料を測定する。この試料は長期にわたって変化がないことが要求される。このドリフト補正用試料が測定されて、ドリフト補正用試料の基準Ｘ線強度Ｉ0 が、データ処理パラメータ演算・記憶手段３４に自動登録される（ステップＳ４）。ここでは、検量線作成のために、標準試料を測定したときと、ドリフト補正用試料を測定したときとは、装置にドリフトがないと仮定している。 Next, a sample for drift correction corresponding to the standard sample is measured. This sample is required to remain unchanged for a long time. The sample for drift correction is measured, and the reference X-ray intensity I0 of the sample for drift correction is automatically registered in the data processing parameter calculation / storage means 34 (step S4). Here, it is assumed that there is no drift in the apparatus between the time when the standard sample is measured and the time when the drift correction sample is measured in order to create a calibration curve.
つぎに、後に測定される分析試料に近い組成を持ち、組成が既知のチェック試料を測定する。このチェック試料が測定されて、チェック試料の元素含有率（％）が、先に標準試料により作成した検量線を用いて求められ、これが既知の値に合致するか否かが確認される（ステップＳ５）。合致すれば、図４の日常管理分析作業に進む（ステップＳ６）。 Next, a check sample having a composition close to the analysis sample to be measured later and having a known composition is measured. This check sample is measured, and the element content (%) of the check sample is obtained using the calibration curve previously created from the standard sample, and it is confirmed whether or not this matches a known value (step). S5). If they match, the routine proceeds to the daily management analysis work of FIG. 4 (step S6).
こうして、本装置は、記録媒体からの試料分析条件のデータに基づき、ＲＯＭ３６に格納された制御プログラムが作動し、測定制御手段３３，データ処理パラメータ演算・記憶手段３４を制御して、標準試料およびドリフト補正試料の試料分析条件の下で標準試料およびドリフト補正試料を測定させると、データ処理パラメータが自動的に作成される。したがって、分析試料の測定開始前の上記データ処理パラメータの作成作業を容易に行うことができる。
In this way, in the present apparatus, the control program stored in the
〔日常管理分析作業〕
図４において、まず、指定あるいは推奨する方法で分析試料を調製する（ステップＴ１）。つぎに、上記チェック試料が測定され、このチェック試料の含有率（％）が先に作成してデータ処理パラメータ演算・記憶手段３４に記憶した検量線を用いて求められ、既知の値に合致するか確認される（ステップＴ２）。合致すれば、分析試料の測定を開始することができる（ステップＴ７）。合致しなければ、上述した感度ドリフト補正を行う（ステップＴ３）。つまり、ドリフト補正用試料を測定して、そのＸ線強度Ｉを求め、先に求めた基準Ｘ線強度Ｉ0 との比α＝Ｉ／Ｉ0 を用いて感度ドリフト補正を行う。つぎに、再度、チェック試料が測定され、前記感度ドリフト補正を行ったのちのチェック試料の含有率（％）が、既知の値に合致するか否かが確認される（ステップＴ４）。合致すれば、分析試料の測定が開始される（ステップＴ７）。合致しなければ、それが２回目以上であるか否かが確認される（ステップＴ５）。２回目以上でない、つまり１回目であれば、ステップＴ３に戻る。２回目以上であれば、標準試料の検量線が不正確であるとして、検量線を再作成する（ステップＴ６）。つまり、図３の動作を再び行う。なお、検量線の再作成については、長期間、装置を使用していなかった場合などに行ってもよい。
[Daily management analysis work]
In FIG. 4, first, an analysis sample is prepared by a designated or recommended method (step T1). Next, the above-mentioned check sample is measured, and the content rate (%) of the check sample is obtained using the calibration curve previously created and stored in the data processing parameter calculation / storage means 34, and matches the known value. Is confirmed (step T2). If they match, measurement of the analysis sample can be started (step T7). If they do not match, the above-described sensitivity drift correction is performed (step T3). That is, the sample for drift correction is measured, its X-ray intensity I is obtained, and sensitivity drift correction is performed using the ratio α = I / I0 to the previously obtained reference X-ray intensity I0. Next, the check sample is measured again, and it is confirmed whether or not the content rate (%) of the check sample after performing the sensitivity drift correction matches a known value (step T4). If they match, measurement of the analysis sample is started (step T7). If they do not match, it is checked whether it is the second time or more (step T5). If it is not the second time or more, that is, if it is the first time, the process returns to step T3. If it is the second time or more, it is determined that the calibration curve of the standard sample is incorrect, and the calibration curve is re-created (step T6). That is, the operation of FIG. 3 is performed again. Note that the calibration curve may be re-created when the apparatus has not been used for a long time.
ステップＴ７で分析試料の測定が開始された後、検量線法により、測定されたピーク強度から、データ処理パラメータ演算・記憶手段３４に記憶された検量線定数、マトリックス補正定数、重なり補正定数およびドリフト補正基準強度のデータ処理パラメータを使用して、分析試料Ｓの含有率が求められる。 After the measurement of the analysis sample is started in step T7, the calibration curve constant, the matrix correction constant, the overlap correction constant, and the drift stored in the data processing parameter calculation / storage means 34 are calculated from the measured peak intensities by the calibration curve method. The content rate of the analysis sample S is determined using the data processing parameter of the corrected reference intensity.
なお、この実施形態では、検量線法で用いるデータ処理パラメータを自動的に作成しているが、適宜設定した元素含有率の初期値から、理論強度を用いた逐次近似収束計算で元素含有率を求めるファンダメンタルパラメータ法の場合には、ファンダメンタルパラメータ感度定数、重なり補正定数およびドリフト補正基準強度のデータ処理パラメータを自動的に作成する。なお、重なり補正定数を求めないこともある。図４のステップＴ７で分析試料の測定が開始された後、ファンダメンタルパラメータ法により、データ処理パラメータ演算・記憶手段３４に記憶されたファンダメンタルパラメータ感度定数、重なり補正定数およびドリフト補正基準強度を使用して、分析試料の含有率が求められる。 In this embodiment, the data processing parameters used in the calibration curve method are automatically created, but the element content is calculated from the initial value of the element content appropriately set by successive approximation convergence calculation using theoretical intensity. In the case of the required fundamental parameter method, data processing parameters of the fundamental parameter sensitivity constant, the overlap correction constant, and the drift correction reference intensity are automatically created. In some cases, the overlap correction constant is not determined. After the measurement of the analysis sample is started in step T7 in FIG. 4, the fundamental parameter sensitivity constant, the overlap correction constant, and the drift correction reference intensity stored in the data processing parameter calculation / storage means 34 are used by the fundamental parameter method. , The content of the analysis sample is determined.
なお、この実施形態では、ドリフト補正は、各元素に対して１点で行う方法であるが、高強度および低強度の２点で行う手法でもよい。 In this embodiment, the drift correction is performed at one point for each element, but may be performed at two points of high intensity and low intensity.
なお、この実施形態では、一元素ずつゴニオメータを走査しながら測定する走査型の蛍光Ｘ線分析装置に適用しているが、各元素ごとに独立のゴニオメータを配し同時に多元素を分析する同時分析型に適用してもよい。また、上記記録媒体３９から試料分析条件を記憶させても従来の汎用分析は可能である。
In this embodiment, the present invention is applied to a scanning X-ray fluorescence spectrometer that performs measurement while scanning a goniometer one element at a time. However, simultaneous analysis in which independent goniometers are arranged for each element and multiple elements are analyzed simultaneously is performed. May be applied to molds. Even if the sample analysis conditions are stored from the
なお、この実施形態では、記録媒体３９からの試料分析条件のデータにより、データ処理パラメータを自動的に作成しているが、これとは異なり、サーバなどの外部コンピュータに記憶されて、ネットワーク等の回線を通じて送信された試料分析条件のデータを受信・記憶する手段を設け、この手段によって受信した試料分析条件により、データ処理パラメータを自動的に作成してもよい。
In this embodiment, the data processing parameters are automatically created based on the data of the sample analysis conditions from the
２０…コンピュータ、３３…測定制御手段、３４…データ処理パラメータ演算・記憶手段、３５…記録媒体データ読取・記憶手段、３９…記録媒体、Ｓ…試料。
20 ... computer, 33 ... measurement control means, 34 ... data processing parameter calculation / storage means, 35 ... recording medium data reading / storage means, 39 ... recording medium, S ... sample.
Claims (2)
分析試料に対応した標準試料の標準値、ドリフト補正条件、補正パラメータおよび蛍光Ｘ線分析装置の測定条件を含む試料分析条件のデータが記録された記録媒体から前記試料分析条件のデータを読取・記憶する手段、または外部コンピュータから送信された前記試料分析条件のデータを受信・記憶する手段と、
前記記憶された試料分析条件に基づいて、前記標準試料および標準試料に対応したドリフト補正試料を測定して、検量線定数およびドリフト補正基準強度を含むデータ処理パラメータと、ファンダメンタルパラメータ感度定数およびドリフト補正基準強度を含むデータ処理パラメータとのいずれか一方を演算し、その結果を記憶するデータ処理パラメータ演算・記憶手段とを備えた蛍光Ｘ線分析装置。 A fluorescent X-ray analyzer for performing analysis by irradiating an analysis sample with X-rays,
Reading and storing the data of the sample analysis conditions from a recording medium on which the data of the sample analysis conditions including the standard value of the standard sample corresponding to the analysis sample, drift correction conditions, correction parameters, and measurement conditions of the fluorescent X-ray analyzer are recorded. Means, or means for receiving and storing data of the sample analysis conditions transmitted from an external computer,
Based on the stored sample analysis conditions, the standard sample and a drift-corrected sample corresponding to the standard sample are measured, and a data processing parameter including a calibration curve constant and a drift-corrected reference intensity, a fundamental parameter sensitivity constant and a drift correction An X-ray fluorescence spectrometer comprising: a data processing parameter calculating / storing means for calculating one of data processing parameters including a reference intensity and storing the result.
前記試料分析条件は、分析試料に対応した標準試料の標準値、ドリフト補正条件、補正パラメータおよび蛍光Ｘ線分析装置の測定条件を含み、設定された試料分析条件の下で、蛍光Ｘ線分析装置の各部を制御するコンピュータの制御プログラムに制御を行わせて、前記標準試料および標準試料に対応したドリフト補正試料を測定させ、検量線定数およびドリフト補正基準強度を含むデータ処理パラメータと、ファンダメンタルパラメータ感度定数およびドリフト補正基準強度を含むデータ処理パラメータとのいずれか一方を演算させて、その結果を記憶させるものであることを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置の試料分析条件を記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。 A computer-readable recording medium that records sample analysis conditions of a fluorescent X-ray analyzer that analyzes an analysis sample,
The sample analysis conditions include a standard value of a standard sample corresponding to an analysis sample, a drift correction condition, a correction parameter, and a measurement condition of a fluorescent X-ray analyzer. The control program of the computer that controls each part controls the standard sample and the drift-corrected sample corresponding to the standard sample, and measures the data processing parameters including the calibration curve constant and the drift-corrected reference intensity, and the fundamental parameter sensitivity. Computer-readable recording of the sample analysis conditions of the X-ray fluorescence analyzer, wherein one of the constant and the data processing parameter including the drift correction reference intensity is calculated and the result is stored. recoding media.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004057066A JP2004212406A (en) | 1999-02-23 | 2004-03-02 | Fluorescent x-ray analyzer and recording medium used therefor |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4517399 | 1999-02-23 | ||
| JP2004057066A JP2004212406A (en) | 1999-02-23 | 2004-03-02 | Fluorescent x-ray analyzer and recording medium used therefor |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000037535A Division JP2000310602A (en) | 1999-02-23 | 2000-02-16 | Fluorescent x-ray analyzer and recording medium used therein |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004212406A true JP2004212406A (en) | 2004-07-29 |
Family
ID=32827153
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004057066A Pending JP2004212406A (en) | 1999-02-23 | 2004-03-02 | Fluorescent x-ray analyzer and recording medium used therefor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2004212406A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007017350A (en) * | 2005-07-08 | 2007-01-25 | Shimadzu Corp | X-ray analyzer |
| JPWO2017038701A1 (en) * | 2015-08-28 | 2017-10-12 | 株式会社リガク | X-ray fluorescence analyzer |
-
2004
- 2004-03-02 JP JP2004057066A patent/JP2004212406A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007017350A (en) * | 2005-07-08 | 2007-01-25 | Shimadzu Corp | X-ray analyzer |
| JP4715345B2 (en) * | 2005-07-08 | 2011-07-06 | 株式会社島津製作所 | X-ray analyzer |
| JPWO2017038701A1 (en) * | 2015-08-28 | 2017-10-12 | 株式会社リガク | X-ray fluorescence analyzer |
| US10082475B2 (en) | 2015-08-28 | 2018-09-25 | Rigaku Corporation | X-ray fluorescence spectrometer |
| US10161889B2 (en) | 2015-08-28 | 2018-12-25 | Rigaku Corporation | X-ray fluorescence spectrometer |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5320807B2 (en) | Wavelength dispersive X-ray spectrometer | |
| CN105937890A (en) | Quantitative x-ray analysis-matrix thickness correction | |
| JP3928656B2 (en) | Energy dispersive X-ray diffraction / spectrometer | |
| JP2007285786A (en) | X-ray analyzer using electron beam | |
| US10082475B2 (en) | X-ray fluorescence spectrometer | |
| US6310935B1 (en) | Fluorescent x-ray analyzer | |
| JP2008122267A (en) | Sample analyzing method and sample analyzing apparatus | |
| US7184517B2 (en) | Analytical method for determination of crystallographic phases of a sample | |
| JP2009168584A (en) | Analytical curve generating method and apparatus, x-ray quantitative analysis method and apparatus, quantitative analysis method and apparatus, and asbestos quantitative analysis method and apparatus | |
| JP2007178445A (en) | Quantitative analysis method in sample analyzer | |
| JP2004212406A (en) | Fluorescent x-ray analyzer and recording medium used therefor | |
| JP2000310602A (en) | Fluorescent x-ray analyzer and recording medium used therein | |
| JP2000283933A (en) | Fluorescent x-ray analyzer | |
| EP1521947B1 (en) | Scatter spectra method for x-ray fluorescent analysis with optical components | |
| JPH071311B2 (en) | Method for peak separation of fluorescent X-ray spectrum | |
| JP3950626B2 (en) | Quantitative analysis method in sample analyzer | |
| JP2002181740A (en) | Method and apparatus for semi quantitative analysis | |
| JP4486438B2 (en) | X-ray analyzer with wave height distribution display function | |
| JP2001183316A (en) | Spectrum display device for surface analyzing equipment | |
| JPH09178680A (en) | Spectrum display device for x-ray micro-analyzer, etc. | |
| JP3312001B2 (en) | X-ray fluorescence analyzer | |
| JP2645226B2 (en) | X-ray fluorescence analysis method | |
| JP2002365245A (en) | Wavelength dispersive x-ray fluorescence analyzer | |
| JP2001050917A (en) | X-ray fluorecsence analyzer | |
| JP3394936B2 (en) | Wavelength dispersive X-ray fluorescence analysis method and apparatus |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20060131 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20060302 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20060627 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |