JP2004207225A - Burning furnace of plasma display panel, and manufacturing method of plasma display panel - Google Patents

Burning furnace of plasma display panel, and manufacturing method of plasma display panel Download PDF

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浩史 小島
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a burning furnace of a plasma display panel, capable of uniformly supplying a gas from a plurality of opening parts arranged along the longitudinal direction of an air supply pipe, and a plasma display panel manufacturing method using this furnace. <P>SOLUTION: In this burning furnace of the plasma display panel, the cross section shapes of an air supply pipe 8 and an exhaust pipe 9 are circularly made, and their diameters are uniform in their longitudinal directions. A plurality of opening parts 15 are formed on the side of the air supply pipe 8, and the opening parts 15 are gradually made larger as they go toward the center part of the air supply pipe from its both end parts. In addition, a plurality of elliptical opening parts 17 are formed on the side of the exhaust pipe 9, and the opening parts 17 are gradually made larger as they go toward the center part of the exhaust pipe 9 from its both end parts. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

本発明は、ペースト層中のバインダーを燃焼させるプラズマディスプレイパネルの焼成炉及びこの焼成炉を使用したプラズマディスプレイパネルの製造方法に関し、特に、焼成炉内における酸素を含む気体の供給の均一化を図ったプラズマディスプレイパネルの焼成炉及びこの焼成炉を使用したプラズマディスプレイパネルの製造方法に関する。   The present invention relates to a baking furnace for a plasma display panel that burns a binder in a paste layer and a method for manufacturing a plasma display panel using the baking furnace, and more particularly, to uniform supply of a gas containing oxygen in the baking furnace. To a plasma display panel firing furnace and a method for manufacturing a plasma display panel using the firing furnace.

プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰという）の製造に際しては、基板上に走査電極及び共通電極を形成し、この走査電極及び共通電極を覆うように誘電体層及びＭｇＯからなる保護層を形成して前面基板を作製し、他の基板上にデータ電極を形成し、このデータ電極上に誘電体層、隔壁及び蛍光体層を形成して背面基板を作製し、この前面基板と背面基板とを張り合わせている。そして、前述の走査電極及び共通電極、誘電体層、隔壁並びに蛍光体層を形成する各工程においては、基板上にペースト層を形成した後、このペースト層を加熱して焼成している（例えば、特許文献１参照。）。   In manufacturing a plasma display panel (hereinafter referred to as PDP), a scan electrode and a common electrode are formed on a substrate, and a dielectric layer and a protective layer made of MgO are formed so as to cover the scan electrode and the common electrode. A substrate is formed, a data electrode is formed on another substrate, a dielectric layer, a partition, and a phosphor layer are formed on the data electrode to form a rear substrate, and the front substrate and the rear substrate are laminated. I have. In the above-described steps of forming the scan electrode and the common electrode, the dielectric layer, the partition, and the phosphor layer, after forming a paste layer on the substrate, the paste layer is heated and baked (for example, And Patent Document 1.).

図１３は、従来の連続式の焼成炉を示す模式図、及び横軸にこの焼成炉における位置をとり縦軸に基板温度をとって炉温の分布を示すチャート図であり、図１４は、この従来の焼成炉を示す部分断面図であり、図１５（ａ）はこの従来の焼成炉における給気配管を示す正面図であり、（ｂ）は排気配管を示す正面図である。   FIG. 13 is a schematic diagram showing a conventional continuous firing furnace, and a chart showing the distribution of the furnace temperature by taking the position in the firing furnace on the horizontal axis and taking the substrate temperature on the vertical axis, and FIG. FIG. 15A is a partial cross-sectional view showing the conventional firing furnace, FIG. 15A is a front view showing an air supply pipe in the conventional firing furnace, and FIG. 15B is a front view showing an exhaust pipe.

図１３に示すように、従来の連続式の焼成炉１０１は、昇温部１０２、保持部１０３及び冷却部１０４から構成されており、各部は複数の炉室１０５から構成されている。焼成炉１０１内においては、ＰＤＰの基板１１１が方向１１２に移動し、昇温部１０２、保持部１０３及び冷却部１０４をこの順に通過する。昇温部１０２は基板１１１を室温から焼成温度Ｔまで昇温させる部分であり、保持部１０３は基板１１１を焼成温度Ｔに保持する部分であり、冷却部１０４は基板１１１を焼成温度Ｔから冷却する部分である。焼成温度Ｔは通常５００乃至６００℃程度である。相互に隣接する炉室１０５は、通路１１０（図１４参照）により相互に連結されている。通路１１０は基板１１１が通過する部分である。昇温部１０２においては、基板１１１の移動方向１１２における下流側に配置された炉室１０５ほど、高温になっている。但し、連続する複数の炉室１０５が相互に同じ温度に設定されている場合もある。なお、複数の炉室１０５のうち、基板１１１の移動方向１１２における最も上流側に配置された炉室１０５ａは焼成炉１０１の入口を構成しており、クリーンルーム（図示せず）に面している。一方、冷却部１０４においては、基板１１１の移動方向下流側に配置された炉室１０５ほど、低温になっている。   As shown in FIG. 13, a conventional continuous firing furnace 101 includes a heating section 102, a holding section 103, and a cooling section 104, and each section includes a plurality of furnace chambers 105. In the firing furnace 101, the substrate 111 of the PDP moves in the direction 112, and passes through the temperature raising unit 102, the holding unit 103, and the cooling unit 104 in this order. The temperature raising section 102 is a section for raising the temperature of the substrate 111 from room temperature to the firing temperature T, the holding section 103 is a section for holding the substrate 111 at the firing temperature T, and the cooling section 104 cools the substrate 111 from the firing temperature T. This is the part to do. The firing temperature T is usually about 500 to 600 ° C. The furnace chambers 105 adjacent to each other are interconnected by a passage 110 (see FIG. 14). The passage 110 is a portion through which the substrate 111 passes. In the temperature raising section 102, the temperature of the furnace chamber 105 located on the downstream side in the moving direction 112 of the substrate 111 is higher. However, a plurality of continuous furnace chambers 105 may be set to the same temperature. Of the plurality of furnace chambers 105, the furnace chamber 105a located at the most upstream side in the moving direction 112 of the substrate 111 constitutes an entrance of the firing furnace 101, and faces a clean room (not shown). . On the other hand, in the cooling unit 104, the temperature of the furnace chamber 105 located on the downstream side in the moving direction of the substrate 111 is lower.

図１４に示すように、各炉室１０５においては、基板搬送手段１０６が設けられている。そして、基板１１１はセッタ１０７に搭載されて、基板搬送手段１０６により、セッタ１０７ごと方向１１２に搬送される。また、昇温部１０２の各炉室１０５においては、給気配管１０８及び排気配管１０９が設けられている。昇温部１０２の各炉室１０５において、給気配管１０８は基板１１１の移動方向１１２の下流側に配置されており、排気配管１０９は上流側に設けられている。そして、給気配管１０８からは加熱されたドライエア１１３が供給され、基板１１１の表面に設けられたペースト層（図示せず）を加熱し、その大部分は排気配管１０９により排気される。即ち、ドライエア１１３の移動方向は、全体として方向１１２に対して逆方向であり、基板１１１の移動方向に対してアゲインストとなる。ドライエア１１３の供給速度（給気流速）は数十ｍ／秒程度であり、例えば２０ｍ／秒程度である。更に、各炉室１０５には、基板１１１を加熱する加熱装置（図示せず）が設けられている。   As shown in FIG. 14, in each furnace chamber 105, a substrate transfer means 106 is provided. Then, the substrate 111 is mounted on the setter 107 and is transported by the substrate transporting means 106 in the direction 112 together with the setter 107. In each furnace chamber 105 of the temperature raising section 102, an air supply pipe 108 and an exhaust pipe 109 are provided. In each furnace chamber 105 of the temperature raising section 102, the air supply pipe 108 is disposed on the downstream side in the moving direction 112 of the substrate 111, and the exhaust pipe 109 is provided on the upstream side. Heated dry air 113 is supplied from an air supply pipe 108 to heat a paste layer (not shown) provided on the surface of the substrate 111, and most of the paste layer is exhausted by an exhaust pipe 109. That is, the moving direction of the dry air 113 is generally opposite to the direction 112, and becomes an opposite to the moving direction of the substrate 111. The supply speed (air supply flow rate) of the dry air 113 is about several tens m / sec, for example, about 20 m / sec. Further, each furnace chamber 105 is provided with a heating device (not shown) for heating the substrate 111.

基板１１１においては、ガラス基板上にペースト層が形成されている。ペースト層はガラス粉末及びビークルからなり、ビークルは樹脂バインダー及び溶剤からなっている。バインダーは、例えば、ニトロセルロース、エチルセルロース又はアクリル等の樹脂バインダーであり、溶剤は、例えばターピネオール又は酢酸エステル等である。   In the substrate 111, a paste layer is formed on a glass substrate. The paste layer is made of glass powder and a vehicle, and the vehicle is made of a resin binder and a solvent. The binder is, for example, a resin binder such as nitrocellulose, ethylcellulose, or acrylic, and the solvent is, for example, terpineol or acetate.

また、図１５（ａ）に示すように、給気配管１０８には、その長手方向に沿って複数の開口部１１４が等間隔に形成されている。開口部１１４の形状は円形であり、その大きさは相互に等しくなっている。更に、図１５（ｂ）に示すように、排気配管１０９には、その長手方向に沿って複数の開口部１１５が等間隔に形成されている。開口部１１５の形状は円形であり、その大きさは相互に等しくなっている。給気配管１０８は、その両端部からドライエア１１３が供給され、開口部１１４を介して炉室１０５にドライエア１１３を供給するものであり、排気配管１０９は開口部１１５を介して炉室１０５内から気体を吸い込み、その両端部からこの気体が排出されるものである。   Further, as shown in FIG. 15A, a plurality of openings 114 are formed at regular intervals in the air supply pipe 108 along the longitudinal direction. The shape of the opening 114 is circular, and the sizes thereof are equal to each other. Further, as shown in FIG. 15B, a plurality of openings 115 are formed at regular intervals in the exhaust pipe 109 along its longitudinal direction. The shape of the openings 115 is circular, and their sizes are equal to each other. Dry air 113 is supplied from both ends of the air supply pipe 108 to supply the dry air 113 to the furnace chamber 105 through the opening 114, and the exhaust pipe 109 is supplied from the inside of the furnace chamber 105 through the opening 115. Gas is sucked in, and this gas is discharged from both ends.

クリーンルームから搬送された基板１１１は、先ず、最上流側に位置する炉室１０５ａを通過する。その後、各炉室１０５を順次通過することにより、昇温部１０２、保持部１１３及び冷却部１０４をこの順に通過する。昇温部１０２の各炉室１０５において、基板１１１は加熱装置により加熱されると共に、給気管１０８から供給されるドライエア１１３に曝される。   The substrate 111 transported from the clean room first passes through the furnace chamber 105a located on the most upstream side. Thereafter, by sequentially passing through each furnace chamber 105, it passes through the temperature raising section 102, the holding section 113, and the cooling section 104 in this order. In each furnace chamber 105 of the temperature raising section 102, the substrate 111 is heated by a heating device and is exposed to dry air 113 supplied from an air supply pipe.

昇温部１０２においては、基板１１１が加熱されることにより、ペースト層中のバインダーの一部が燃焼して水及び二酸化炭素となり、ドライエア１１３に持ち去られる。また、ペースト層中のバインダーの残部及び溶剤は燃焼しないまま揮発してドライエア１１３により持ち去られる。これにより、ペースト層からバインダー及び溶剤（ビークル）が消失すると共に、ドライエア１１３は、水、二酸化炭素、バインダー成分及び溶剤成分を含有するエア（以下、汚染エアという）となる。そして、保持部１０３が基板１１１を焼成温度Ｔに保持し、ペースト層を焼成する。次いで、冷却部１０４が基板１１１を焼成温度から室温付近まで冷却する。   In the temperature raising section 102, when the substrate 111 is heated, a part of the binder in the paste layer burns to become water and carbon dioxide, and is taken away by the dry air 113. In addition, the remaining binder and the solvent in the paste layer are volatilized without burning and are taken away by the dry air 113. As a result, the binder and the solvent (vehicle) disappear from the paste layer, and the dry air 113 becomes air containing water, carbon dioxide, a binder component and a solvent component (hereinafter referred to as “contaminated air”). Then, the holding unit 103 holds the substrate 111 at the firing temperature T, and fires the paste layer. Next, the cooling unit 104 cools the substrate 111 from the firing temperature to around room temperature.

特開平１１−０２５８５４号公報JP-A-11-025854

しかしながら、上述の従来の技術には、以下に示すような問題点がある。近時、ＰＤＰが大型化することにより、ＰＤＰの基板も大型化しつつある。このため、焼成炉の幅が広くなり、焼成炉内において張架されている給気配管の長さが長くなっている。これにより、給気配管全長に亘って開口部から均一にドライエアを噴出させることが困難になっている。この結果、ＰＤＰの基板上に形成されたペースト層の焼成にムラが生じるという問題が発生する。   However, the above-described conventional technology has the following problems. Recently, PDP substrates have been increasing in size as PDPs have increased in size. For this reason, the width of the firing furnace has been increased, and the length of the air supply pipe stretched in the firing furnace has been increased. This makes it difficult to uniformly insulate dry air from the opening over the entire length of the air supply pipe. As a result, there arises a problem that the firing of the paste layer formed on the PDP substrate becomes uneven.

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、給気配管の長手方向に沿って配列された複数の開口部から、気体を均一に供給することができるプラズマディスプレイパネルの焼成炉及びこの焼成炉を使用したプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such a problem, and a firing furnace for a plasma display panel capable of uniformly supplying gas from a plurality of openings arranged along the longitudinal direction of an air supply pipe, and An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a plasma display panel using the firing furnace.

請求項１に記載の発明に係るプラズマディスプレイパネルの焼成炉は、プラズマディスプレイパネルの基板を焼成するプラズマディスプレイパネルの焼成炉において、前記焼成炉内において一方向に張架されこの張架方向に沿って配列された複数の開口部を備えその両端部から酸素を含む気体が供給され前記開口部を介して前記焼成炉内に前記気体を供給する給気配管と、前記焼成炉内から気体を排出する排気配管と、を有し、前記給気配管の両端部から中央部に向かうにつれて前記開口部の大きさが大きくなっているか、又は前記給気配管はその両端部から中央部に向かうにつれて細くなっていることを特徴とする。   A baking furnace for a plasma display panel according to the first aspect of the present invention is a baking furnace for a plasma display panel for baking a substrate of a plasma display panel, the baking furnace being stretched in one direction in the baking furnace, and extending along the stretching direction. A plurality of openings arranged in a row, a gas containing oxygen is supplied from both ends thereof, an air supply pipe for supplying the gas into the firing furnace through the openings, and discharging a gas from the firing furnace. The size of the opening increases from both ends of the air supply pipe toward the center, or the air supply pipe becomes narrower from both ends thereof toward the center. It is characterized by having become.

給気配管の両端から気体を供給した場合、この気体と管内壁との間の摩擦等により気体の流通が阻害され、また、開口部から気体が流出することにより圧力が低下し、管の両端部から中央部に向かうにつれて、管内の圧力が低下し、流速が遅くなる。この結果、管の長手方向に沿って、等間隔に相互に同じ大きさの開口部が形成されていると、管の長手方向中央部に配置された開口部ほど、この開口部からの気体の吹出量が低減してしまう。   When gas is supplied from both ends of the air supply pipe, the flow of the gas is hindered by friction between the gas and the inner wall of the pipe, and the pressure is reduced by the gas flowing out from the opening, and the both ends of the pipe are reduced. From the section toward the center, the pressure in the pipe decreases and the flow velocity decreases. As a result, if openings of the same size are formed at regular intervals along the longitudinal direction of the tube, the opening located at the center in the longitudinal direction of the tube has a larger gas flow from the opening. The blowout amount is reduced.

図１６は横軸に管の長手方向の位置をとり、縦軸に管からの単位時間当りの気体供給量をとって、従来の焼成炉における給気配管の長手方向の位置と気体給気量との関係を模式的に示す図である。なお、図１６に示す給気配管においては、気体は管の両側から管内に給気され、長手方向中央部に仕切板が設けられている。図１６に示すように、気体の圧力が高い場合には管の中央部において僅かに圧力が上昇して給気量が増加する場合があるものの、全体的には管の長手方向中央部ほど気体給気量が低下している。このため、管に対する気体の給気量を調整しても、管からの給気量を管長手方向において均一化することは困難である。   In FIG. 16, the horizontal axis indicates the position in the longitudinal direction of the tube, and the vertical axis indicates the gas supply amount per unit time from the tube. It is a figure which shows the relationship typically with. In the air supply pipe shown in FIG. 16, gas is supplied into the pipe from both sides of the pipe, and a partition plate is provided at the center in the longitudinal direction. As shown in FIG. 16, when the gas pressure is high, the pressure may slightly increase at the center of the pipe and the supply amount may increase. The air supply is decreasing. For this reason, even if the gas supply amount to the tube is adjusted, it is difficult to make the gas supply amount from the tube uniform in the tube longitudinal direction.

これに対して、本発明においては、給気配管の両端部から中央部に向かうにつれて開口部の大きさを大きくすることにより、管中央部における圧力及び流速の低下を補い、各開口部における気体の吹出量を相互に等しくすることができる。又は、給気配管の両端部から中央部に向かうにつれてその太さを細くすることにより、管中央部における圧力の低下を補い、管内の圧力を長手方向で一定として、各開口部における気体の流出速度及び吹出量を相互に等しくすることができる。この結果、焼成炉内における気体の供給量が給気配管の長手方向において均一になり、ＰＤＰの基板上に形成されたペースト層の焼成にムラが生じることを防止できる。   On the other hand, in the present invention, by increasing the size of the opening from both ends of the air supply pipe toward the center, the decrease in pressure and flow velocity at the center of the pipe is compensated, and the gas in each opening is compensated. Can be made equal to each other. Alternatively, by reducing the thickness of the air supply pipe from both ends toward the center, the decrease in pressure at the center of the pipe is compensated for, the pressure in the pipe is kept constant in the longitudinal direction, and the gas flows out of each opening. The speed and the blowing rate can be made equal to each other. As a result, the gas supply amount in the firing furnace becomes uniform in the longitudinal direction of the air supply pipe, and it is possible to prevent unevenness in firing of the paste layer formed on the PDP substrate.

請求項２に記載の発明に係るプラズマディスプレイパネルの焼成炉は、プラズマディスプレイパネルの基板を焼成するプラズマディスプレイパネルの焼成炉において、前記焼成炉内において一方向に張架されこの張架方向に沿って配列された複数の開口部を備えその両端部から酸素を含む気体が供給され前記開口部を介して前記焼成炉内に前記気体を供給する給気配管と、前記焼成炉内から気体を排出する排気配管と、を有し、前記給気配管の両端部と中央部の間の部分に形成された前記開口部が前記両端部及び中央部に形成された前記開口部よりも大きいか、又は前記給気配管はその両端部と中央部の間の部分が前記両端部及び中央部よりも細いことを特徴とする。   A baking furnace for a plasma display panel according to the invention according to claim 2 is a baking furnace for a plasma display panel for baking a substrate of a plasma display panel, wherein the baking furnace is stretched in one direction in the baking furnace and extends along the stretching direction. A plurality of openings arranged in a row, a gas containing oxygen is supplied from both ends thereof, an air supply pipe for supplying the gas into the firing furnace through the openings, and discharging a gas from the firing furnace. Exhaust pipe, and the opening formed in the portion between both ends and the center of the air supply pipe is larger than the openings formed in the both ends and the center, or The air supply pipe is characterized in that a portion between both ends and a center portion is thinner than the both ends and the center portion.

図１６に示すように、給気配管の両端部に供給される気体の流量が多い場合、又は流速が速い場合は、給気配管の両端部から管内に流入した流れが中央部でぶつかり、給気配管の中央部において圧力が高くなり、中央部に形成された開口部から流出する気体の流量及び流速が大きくなることがある。この場合、給気配管の中央部と両端部との間の部分に設けられた開口部からの気体の吹出量及び流速が、中央部及び両端部に設けられた開口部からの気体の吹出量及び流速よりも小さくなる。   As shown in FIG. 16, when the flow rate of the gas supplied to both ends of the air supply pipe is large or the flow velocity is high, the flow flowing into the pipe from both ends of the air supply pipe collides at the center, and The pressure increases in the center of the air pipe, and the flow rate and the flow velocity of the gas flowing out of the opening formed in the center may increase. In this case, the gas blowing amount and the gas flow rate from the openings provided at the portion between the center and both ends of the air supply pipe are the gas blowing amounts from the openings provided at the center and both ends. And smaller than the flow velocity.

本発明においては、給気配管の両端部と中央部との間の部分に形成された開口部を、給気配管の両端部及び中央部に形成された開口部よりも大きくすることにより、管中央部と両端部との間の部分における圧力及び流速の低下を開口部の大きさで補い、各開口部における気体の吹出量を相互に等しくすることができる。又は、給気配管の両端部と中央部の間の部分を両端部及び中央部よりも細くすることにより、管中央部と両端部との間の部分における圧力及び流速の低下を補い、管内の圧力を長手方向で一定として、各開口部における気体の流出速度及び吹出量を相互に等しくすることができる。この結果、焼成炉内における気体の供給量が給気配管の長手方向において均一になる。   In the present invention, the pipe formed by making the opening formed at the portion between both ends and the center of the air supply pipe larger than the openings formed at both ends and the center of the air supply pipe. The reduction in pressure and flow velocity in the portion between the center and both ends can be compensated for by the size of the openings, and the amount of gas blown out from each opening can be made equal to each other. Or, by making the part between both ends and the center part of the air supply pipe thinner than both ends and the center part, it compensates for the decrease in pressure and flow velocity at the part between the pipe center part and both ends, and the inside of the pipe By keeping the pressure constant in the longitudinal direction, the outflow velocity and the amount of gas blown out from each opening can be made equal to each other. As a result, the gas supply amount in the firing furnace becomes uniform in the longitudinal direction of the air supply pipe.

請求項３に記載の発明に係るプラズマディスプレイパネルの焼成炉は、プラズマディスプレイパネルの基板を焼成するプラズマディスプレイパネルの焼成炉において、前記焼成炉内において一方向に張架されこの張架方向に沿って配列された複数の開口部を備えその一端部から酸素を含む気体が供給され前記開口部を介して前記焼成炉内に前記気体を供給する給気配管と、前記焼成炉内から気体を排出する排気配管と、を有し、前記給気配管の両端部からこの両端部間の一部分に向かうにつれて前記開口部の大きさが大きくなっているか、又は前記給気配管はその両端部からこの両端部間の一部分に向かうにつれて細くなっていることを特徴とする。   A baking furnace for a plasma display panel according to a third aspect of the present invention is a baking furnace for a plasma display panel for baking a substrate of a plasma display panel, wherein the baking furnace is stretched in one direction in the baking furnace and extends along the stretching direction. A plurality of openings arranged in a line, a gas containing oxygen is supplied from one end thereof, and an air supply pipe for supplying the gas into the firing furnace through the openings, and discharging the gas from the firing furnace And the size of the opening increases from both ends of the air supply pipe toward a part between the both ends, or the air supply pipe has both ends from its both ends. It is characterized in that it becomes thinner toward a part between the parts.

請求項５に記載の発明に係るプラズマディスプレイパネルの焼成炉は、プラズマディスプレイパネルの基板を焼成するプラズマディスプレイパネルの焼成炉において、前記焼成炉内に酸素を含む気体を供給する給気配管と、前記焼成炉内において一方向に張架されこの張架方向に沿って配列された複数の開口部を備えその両端部から気体が排出されることにより前記開口部を介して前記焼成炉内から気体を排出する排気配管と、を有し、前記排気配管の両端部から中央部に向かうにつれて前記開口部の大きさが大きくなっているか、又は前記排気配管はその両端部から中央部に向かうにつれて細くなっていることを特徴とする。   A baking furnace for a plasma display panel according to claim 5, wherein a baking furnace for a plasma display panel for baking a substrate of the plasma display panel, an air supply pipe for supplying a gas containing oxygen into the baking furnace, A plurality of openings that are stretched in one direction in the firing furnace and are arranged along the stretching direction are provided, and gas is discharged from the firing furnace through the openings by discharging gas from both ends thereof. An exhaust pipe that discharges the exhaust pipe, and the size of the opening increases from both ends of the exhaust pipe toward the center, or the exhaust pipe becomes thinner from both ends thereof toward the center. It is characterized by having become.

排気配管の両端から気体を排出する場合、開口部から管内に気体が流入することにより、管の両端部から中央部に向かうにつれて、排気配管内と管外との圧力差が低減し、両端部から中央部に向かうほど開口部を通過する気体の流速が遅くなる。この結果、管の長手方向に沿って、等間隔に相互に同じ大きさの開口部が形成されていると、管の長手方向中央部に配置された開口部ほど、気体の通過量が低減してしまう。この結果、排気配管の長手方向において、焼成炉からの排気が不均一になり、ＰＤＰの焼成にムラが生じてしまう。   When gas is exhausted from both ends of the exhaust pipe, the gas flows into the pipe from the opening, so that the pressure difference between the inside of the exhaust pipe and the outside of the pipe decreases from the both ends of the pipe toward the center, and both ends The flow velocity of the gas passing through the opening becomes slower toward the central part from. As a result, if openings of the same size are formed at regular intervals along the longitudinal direction of the tube, the gas passage amount decreases as the opening is arranged at the central portion in the longitudinal direction of the tube. Would. As a result, the exhaust from the firing furnace becomes uneven in the longitudinal direction of the exhaust pipe, and unevenness occurs in the firing of the PDP.

本発明においては、排気配管の両端部から中央部に向かうにつれて開口部の大きさを大きくすることにより、管中央部における圧力差及び流速の低下を補い、各開口部における気体の排出量を相互に等しくしている。又は、排気配管をその両端部から中央部に向かうにつれて細くすることにより、管中央部における圧力差及び流速の低下を補い、各開口部における気体の排出量を相互に等しくしている。この結果、焼成炉内における気体の排出量が排気配管の長手方向において均一になり、ＰＤＰの基板上に形成されたペースト層の焼成にムラが生じることを防止できる。   In the present invention, by increasing the size of the opening from both ends of the exhaust pipe toward the center, the pressure difference and the decrease in flow velocity at the center of the pipe are compensated for, and the amount of gas discharged from each opening is reduced. Is equal to. Alternatively, the exhaust pipe is made thinner from both ends to the center, thereby compensating for the pressure difference and the decrease in the flow velocity at the center of the pipe, and making the amount of gas discharged at each opening equal to each other. As a result, the amount of gas discharged in the firing furnace becomes uniform in the longitudinal direction of the exhaust pipe, and it is possible to prevent unevenness in firing of the paste layer formed on the PDP substrate.

請求項６に記載の発明に係るプラズマディスプレイパネルの焼成炉は、プラズマディスプレイパネルの基板を焼成するプラズマディスプレイパネルの焼成炉において、前記焼成炉内に酸素を含む気体を供給する給気配管と、前記焼成炉内において一方向に張架されこの張架方向に沿って配列された複数の開口部を備えその両端部から気体が排出されることにより前記開口部を介して前記焼成炉内から気体を排出する排気配管と、を有し、前記排気配管の両端部と中央部の間の部分に形成された前記開口部が前記両端部及び中央部に形成された前記開口部よりも大きいか、又は前記排気配管はその両端部と中央部の間の部分が前記両端部及び中央部よりも細いことを特徴とする。   The baking furnace for a plasma display panel according to the invention according to claim 6, wherein a baking furnace for a plasma display panel for baking a substrate of the plasma display panel, wherein an air supply pipe for supplying a gas containing oxygen into the baking furnace; A plurality of openings that are stretched in one direction in the firing furnace and are arranged along the stretching direction are provided, and gas is discharged from the firing furnace through the openings by discharging gas from both ends thereof. Exhaust pipe, which discharges, the opening formed in the portion between both ends and the center of the exhaust pipe is larger than the openings formed in the both ends and the center, Alternatively, the exhaust pipe is characterized in that a portion between both ends and a center is thinner than the ends and the center.

請求項７に記載の発明に係るプラズマディスプレイパネルの焼成炉は、プラズマディスプレイパネルの基板を焼成するプラズマディスプレイパネルの焼成炉において、前記焼成炉内に酸素を含む気体を供給する給気配管と、前記焼成炉内において一方向に張架されこの張架方向に沿って配列された複数の開口部を備えその両端部から気体が排出されることにより前記開口部を介して前記焼成炉内から気体を排出する排気配管と、を有し、前記排気配管の両端部からこの両端部間の一部分に向かうにつれて前記開口部の大きさが大きくなっているか、又は前記排気配管はその両端部からこの両端部間の一部分に向かうにつれて細くなっていることを特徴とする。   A baking furnace for a plasma display panel according to the invention according to claim 7, wherein a baking furnace for a plasma display panel for baking a substrate of the plasma display panel, an air supply pipe for supplying a gas containing oxygen into the baking furnace, A plurality of openings that are stretched in one direction in the firing furnace and are arranged along the stretching direction are provided, and gas is discharged from the firing furnace through the openings by discharging gas from both ends thereof. An exhaust pipe that discharges the exhaust pipe, and the size of the opening increases from both ends of the exhaust pipe toward a part between the both ends, or the exhaust pipe extends from both ends thereof to both ends thereof. It is characterized in that it becomes thinner toward a part between the parts.

請求項９に記載の発明に係るプラズマディスプレイパネルの焼成炉は、プラズマディスプレイパネルの基板を焼成するプラズマディスプレイパネルの焼成炉において、前記焼成炉内において一方向に張架されこの張架方向に沿って配列された複数の開口部を備えその一端部から酸素を含む気体が供給され前記開口部を介して前記焼成炉内に前記気体を供給する給気配管と、前記焼成炉内から気体を排出する排気配管と、を有し、前記給気配管の両端部からこの両端部間の一部分に向かうにつれて前記開口部の大きさが大きくなっているか、又は前記給気配管はその両端部からこの両端部間の一部分に向かうにつれて細くなっていることを特徴とする。   A baking furnace for a plasma display panel according to the invention according to claim 9 is a baking furnace for a plasma display panel for baking a substrate of a plasma display panel, wherein the baking furnace is stretched in one direction in the baking furnace and extends along the stretching direction. A plurality of openings arranged in a line, a gas containing oxygen is supplied from one end thereof, and an air supply pipe for supplying the gas into the firing furnace through the openings, and discharging the gas from the firing furnace And the size of the opening increases from both ends of the air supply pipe toward a part between the both ends, or the air supply pipe has both ends from its both ends. It is characterized in that it becomes thinner toward a part between the parts.

従来、給気配管に気体を供給する給気配管系は、焼成炉の両側に配置されていた。このため、焼成炉をメンテナンスする際には、この給気配管系を外さなくてはならず、手間がかかっていた。また、焼成炉の両側に給気配管系を設けることにより、焼成炉の大きさが大きくなり、焼成炉の設備コストも増大していた。   Conventionally, air supply piping systems for supplying gas to the air supply piping have been arranged on both sides of the firing furnace. For this reason, when performing maintenance of the firing furnace, the air supply piping system must be removed, which is troublesome. Further, by providing the air supply piping system on both sides of the firing furnace, the size of the firing furnace is increased, and the equipment cost of the firing furnace is also increased.

本発明においては、給気配管の一端部から気体を管内に供給している。これにより、従来焼成炉の両側に配設していた給気配管系を、焼成炉の片側のみに配設すればよくなる。この結果、焼成炉のメンテナンスが容易になると共に、焼成炉が小型化され、設備コストが低減することができる。   In the present invention, gas is supplied into the pipe from one end of the air supply pipe. Thus, the air supply piping system conventionally provided on both sides of the firing furnace may be provided on only one side of the firing furnace. As a result, the maintenance of the firing furnace is facilitated, and the firing furnace is reduced in size and the equipment cost can be reduced.

また、給気配管の一端部からのみ気体を供給する場合、気体が供給される端部から他端部に向かうにつれて、途中の開口部から気体が流出することによる圧力損失が発生する。一方、他端部においては、供給された気体が管端にぶつかるために、管内の圧力が高くなる傾向がある。この結果、給気管内の圧力は、気体が供給される一端部から他端部に向かうにつれて一旦低下し、給気配管の両端部間の一部分において最小となり、この一部分から他端部に向かうにつれて増加する。本発明においては、給気配管の両端部からこの両端部間の一部分に向かうにつれて開口部を大きくすることにより、両端部間の１部分における圧力の低下を補うことができ、各開口部における気体の吹出量を相互に等しくすることができる。又は、給気配管をその両端部からこの両端部間の一部分に向かうにつれて細くすることにより、前述の両端部間の一部分における圧力の低下を補うことができ、各開口部における気体の吹出量を相互に等しくすることができる。この結果、焼成炉内における気体の供給量が給気配管の長手方向において均一になる。   Further, when gas is supplied only from one end of the air supply pipe, pressure loss occurs due to the gas flowing out of the opening on the way from the end to which the gas is supplied to the other end. On the other hand, at the other end, the pressure in the pipe tends to increase because the supplied gas hits the pipe end. As a result, the pressure in the air supply pipe temporarily decreases from one end to which the gas is supplied toward the other end, becomes a minimum at a part between both ends of the air supply pipe, and increases from this part toward the other end. To increase. In the present invention, by increasing the opening from both ends of the air supply pipe toward a part between the both ends, it is possible to compensate for a decrease in pressure in one part between both ends, and to reduce the gas in each opening. Can be made equal to each other. Alternatively, it is possible to compensate for the decrease in pressure at a portion between the both ends by reducing the width of the air supply pipe from the two ends to a portion between the two ends, thereby reducing the gas blowing amount at each opening. Can be equal to each other. As a result, the gas supply amount in the firing furnace becomes uniform in the longitudinal direction of the air supply pipe.

請求項１０に記載の発明に係るプラズマディスプレイパネルの焼成炉は、プラズマディスプレイパネルの基板を焼成するプラズマディスプレイパネルの焼成炉において、前記焼成炉内に酸素を含む気体を供給する給気配管と、前記焼成炉内において一方向に張架されこの張架方向に沿って配列された複数の開口部を備えその一端部から気体が排出されることにより前記開口部を介して前記焼成炉内から気体を排出する排気配管と、を有し、前記排気配管の前記気体が排気される一端部から他端部に向かうにつれて前記開口部の大きさが大きくなっているか、又は前記排気配管は前記気体が排気される一端部から他端部に向かうにつれて細くなっていることを特徴とする。   The baking furnace for a plasma display panel according to the invention according to claim 10, wherein a baking furnace for a plasma display panel for baking a substrate of the plasma display panel, an air supply pipe for supplying a gas containing oxygen into the baking furnace, A plurality of openings that are stretched in one direction in the firing furnace and are arranged along the stretching direction are provided, and gas is discharged from the firing furnace through the openings by discharging gas from one end thereof. An exhaust pipe that discharges the gas, and the size of the opening increases from one end to the other end where the gas in the exhaust pipe is exhausted, or the exhaust pipe has It is characterized in that it becomes thinner from one end to the other end.

従来、排気配管から気体を排出する排気配管系は、焼成炉の両側に配置されていた。このため、焼成炉をメンテナンスする際には、この排気配管系を外さなくてはならず、手間がかかっていた。また、焼成炉の両側に排気配管系を設けることにより、焼成炉の大きさが大きくなり、焼成炉の設備コストも増大していた。   Conventionally, exhaust piping systems for discharging gas from exhaust piping have been arranged on both sides of a firing furnace. For this reason, when maintaining the firing furnace, the exhaust piping system must be removed, which is troublesome. Further, by providing exhaust piping systems on both sides of the firing furnace, the size of the firing furnace is increased, and the equipment cost of the firing furnace is also increased.

本発明においては、排気配管の一端部から気体を排出している。これにより、従来焼成炉の両側に配設していた排気配管系を、焼成炉の片側のみに配設すればよくなる。この結果、焼成炉のメンテナンスが容易になると共に、焼成炉が小型化され、設備コストが低下する。   In the present invention, gas is discharged from one end of the exhaust pipe. Thus, the exhaust piping system conventionally provided on both sides of the firing furnace may be provided on only one side of the firing furnace. As a result, maintenance of the firing furnace is facilitated, the firing furnace is downsized, and the equipment cost is reduced.

また、排気配管の一端部からのみ気体を排出する場合、各開口部から管内に気体が流入するために、排気配管の他端部に向かうにつれて、管内と管外との圧力差が小さくなる。本発明においては、排気配管における気体が排気される一端部から他端部に向かうにつれて前記開口部の大きさが大きくなっているため、他端部における圧力差の低下により、開口部から流入する気体の排気量が低減することを、開口部を大きくすることにより補うことができ、各開口部における気体の排出量を相互に等しくすることができる。又は、排気配管を気体が排気される一端部から他端部に向かうにつれて細くすることにより、他端部における圧力差の低下を補うことができ、各開口部における気体の排出量を相互に等しくすることができる。この結果、焼成炉内における気体の排出量が排気配管の長手方向において均一になる。   Further, when the gas is discharged only from one end of the exhaust pipe, the gas flows into the pipe from each opening, so that the pressure difference between the inside of the pipe and the outside of the pipe decreases toward the other end of the exhaust pipe. In the present invention, since the size of the opening increases from one end where the gas in the exhaust pipe is exhausted to the other end, the gas flows in from the opening due to a decrease in the pressure difference at the other end. The reduction in the gas discharge amount can be compensated for by increasing the openings, and the gas discharge amounts in the respective openings can be made equal to each other. Alternatively, by reducing the exhaust pipe from one end to which the gas is exhausted toward the other end, it is possible to compensate for the decrease in the pressure difference at the other end, and to make the exhaust amount of gas at each opening equal to each other. can do. As a result, the amount of gas discharged in the firing furnace becomes uniform in the longitudinal direction of the exhaust pipe.

請求項１３に記載の発明に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法は、第１の基板上に透明導電材料からなるペースト層を形成し、このペースト層を焼成して透明電極を形成する工程と、この透明電極を覆うように透明誘電体材料からなるペースト層を形成し、このペースト層を焼成して透明誘電体層を形成する工程と、第２の基板上に電極を形成する工程と、この電極を覆うように誘電体材料からなるペースト層を形成し、このペースト層を焼成して誘電体層を形成する工程と、この誘電体層上に隔壁材料からなるペースト層を形成し、このペースト層を焼成して隔壁を形成する工程と、前記誘電体層上及び前期隔壁の側面のうちの少なくとも一方に蛍光体材料からなるペースト層を形成し、このペースト層を焼成して蛍光体層を形成する工程と、を有し、前記透明電極を形成する工程、前記透明誘電体層を形成する工程、前記誘電体層を形成する工程、前記隔壁を形成する工程、及び前記蛍光体層を形成する工程のうち、少なくとも一の工程において、前記ペースト層の焼成を前述の本発明に係る焼成炉のうちいずれかの焼成炉内において行うことを特徴とする。   A method of manufacturing a plasma display panel according to the invention according to claim 13, wherein a paste layer made of a transparent conductive material is formed on a first substrate, and the paste layer is fired to form a transparent electrode; Forming a paste layer made of a transparent dielectric material so as to cover the transparent electrode, baking the paste layer to form a transparent dielectric layer; forming an electrode on a second substrate; Forming a paste layer made of a dielectric material so as to cover the paste layer, baking the paste layer to form a dielectric layer, forming a paste layer made of a partition material on the dielectric layer, Forming a paste layer made of a phosphor material on the dielectric layer and on at least one of the side surfaces of the partition wall, and sintering the paste layer to form a phosphor layer Forming the transparent electrode, forming the transparent dielectric layer, forming the dielectric layer, forming the partition wall, and forming the phosphor layer. In at least one of the steps, the paste layer is fired in one of the above-described firing furnaces according to the present invention.

本発明によれば、プラズマディスプレイパネルの焼成炉において、給気配管の両端部から中央部に向かうにつれて開口部の大きさを大きくすることにより、給気配管の長手方向に沿って配列された複数の開口部から、気体を均一に供給することができる。この結果、焼成炉内における気体の供給量が給気配管の長手方向において均一になり、ＰＤＰの基板上に形成されたペースト層の焼成にムラが生じることを防止できる。   According to the present invention, in the firing furnace of the plasma display panel, by increasing the size of the opening from both ends of the air supply pipe toward the center thereof, a plurality of openings arranged along the longitudinal direction of the air supply pipe. The gas can be supplied uniformly from the opening. As a result, the gas supply amount in the firing furnace becomes uniform in the longitudinal direction of the air supply pipe, and it is possible to prevent unevenness in firing of the paste layer formed on the PDP substrate.

以下、本発明の実施形態について添付の図面を参照して具体的に説明する。先ず、本発明の第１の実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係る連続式の焼成炉を示す模式図、及び横軸にこの焼成炉における位置をとり縦軸に基板温度をとって基板温度の変化を示すチャート図であり、図２は、この焼成炉における各炉室を示す模式的断面図であり、図３（ａ）は給気配管を示す正面図であり、（ｂ）は排気配管を示す正面図である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be specifically described with reference to the accompanying drawings. First, a first embodiment of the present invention will be described. FIG. 1 is a schematic diagram showing a continuous firing furnace according to the present embodiment, and a chart showing a change in substrate temperature by taking a position in the firing furnace on the horizontal axis and a substrate temperature on the vertical axis. 2 is a schematic sectional view showing each furnace chamber in the firing furnace, FIG. 3A is a front view showing an air supply pipe, and FIG. 3B is a front view showing an exhaust pipe.

本実施形態に係る焼成炉１は、ＰＤＰの製造工程における各焼成工程に使用する連続式の焼成炉である。図１に示すように、この焼成炉１は、昇温部２、保持部３及び冷却部４から構成されており、各部は複数の炉室５から構成されている。昇温部２は例えば５個の炉室５が一列に配列されている。焼成炉１内においては、ＰＤＰの前面基板又は背面基板（以下、総称して基板１１という）が方向１２に沿って移動し、昇温部２、保持部３及び冷却部４をこの順に通過する。昇温部２は基板１１を室温から焼成温度Ｔまで昇温させる部分であり、保持部３は基板１１を焼成温度Ｔに保持する部分であり、冷却部４は基板１１を焼成温度Ｔから冷却する部分である。焼成温度Ｔは例えば５００乃至６００℃程度である。   The firing furnace 1 according to the present embodiment is a continuous firing furnace used for each firing step in a PDP manufacturing process. As shown in FIG. 1, the firing furnace 1 includes a heating unit 2, a holding unit 3, and a cooling unit 4, and each unit includes a plurality of furnace chambers 5. The heating section 2 has, for example, five furnace chambers 5 arranged in a line. In the firing furnace 1, a front substrate or a rear substrate (hereinafter, collectively referred to as a substrate 11) of the PDP moves along a direction 12, and passes through the temperature raising unit 2, the holding unit 3, and the cooling unit 4 in this order. . The temperature raising section 2 is a section for raising the temperature of the substrate 11 from room temperature to the firing temperature T, the holding section 3 is a section for holding the substrate 11 at the firing temperature T, and the cooling section 4 cools the substrate 11 from the firing temperature T. This is the part to do. The firing temperature T is, for example, about 500 to 600 ° C.

相互に隣接する炉室５は、通路１０（図２参照）により相互に連結されている。通路１０は基板１１を通過させるために設けられている。昇温部２においては、基板１１の移動方向１２の下流側に配置された炉室５ほど、高温になっており、保持部３の炉室５の温度は焼成温度Ｔとなっている。但し、連続する複数の炉室５が相互に同じ温度に設定されている場合もある。なお、昇温部２の最上流側の炉室５は焼成炉１の入口を構成しており、クリーンルーム（図示せず）に面している。一方、冷却部４においては、基板１１の移動方向１２の下流側に配置された炉室５ほど、低温になっている。   The furnace chambers 5 adjacent to each other are interconnected by a passage 10 (see FIG. 2). The passage 10 is provided for passing the substrate 11. In the temperature raising unit 2, the temperature of the furnace chamber 5 arranged on the downstream side in the moving direction 12 of the substrate 11 is higher, and the temperature of the furnace chamber 5 of the holding unit 3 is the firing temperature T. However, a plurality of continuous furnace chambers 5 may be set to the same temperature. The furnace chamber 5 on the most upstream side of the temperature raising section 2 constitutes an inlet of the firing furnace 1 and faces a clean room (not shown). On the other hand, in the cooling unit 4, the temperature of the furnace chamber 5 arranged on the downstream side in the moving direction 12 of the substrate 11 is lower.

図２に示すように、各炉室５においては、基板搬送手段６が設けられている。そして、基板１１はセッタ７に搭載されて、基板搬送手段６により、セッタ７ごと各炉室５を順次通過するように方向１２に搬送される。また、各炉室５においては、基板１１の通過域の上方に相当する位置に、基板１１を加熱する加熱装置１４が設けられている。なお、加熱装置１４は基板１１の通過域の下方に設けられていてもよく、基板１１の通過域の上方及び下方の双方に設けられていてもよい。   As shown in FIG. 2, in each furnace chamber 5, a substrate transfer means 6 is provided. Then, the substrate 11 is mounted on the setter 7, and is transported by the substrate transporting means 6 in the direction 12 so that the setter 7 sequentially passes through each furnace chamber 5. In each furnace chamber 5, a heating device 14 for heating the substrate 11 is provided at a position corresponding to a position above the passage area of the substrate 11. The heating device 14 may be provided below the pass area of the substrate 11 or may be provided both above and below the pass area of the substrate 11.

更に、昇温部２における各炉室５においては、給気配管８及び排気配管９が、方向１２に直交する方向（以下、幅方向という）に延びるように、各１本設けられている。なお、各炉室５において、給気配管が２本以上設けられていてもよく、排気配管が２本以上設けられていてもよい。各炉室５において、例えば、給気配管８は基板１１の移動方向１２における上流側に配置されており、排気配管９は給気配管８よりも下流側に設けられている。但し、給気配管８と排気配管９との位置関係は、この逆であってもよい。給気配管８の両端部は、夫々焼成炉１の両側に設けられた給気配管系（図示せず）を介してドライエア供給装置（図示せず）に連結されており、排気配管９の両端部は、夫々焼成炉１の両側に設けられた排気配管系（図示せず）を介して排気ポンプ（図示せず）に連結されている。   Further, in each of the furnace chambers 5 in the temperature raising section 2, one supply pipe 8 and one exhaust pipe 9 are provided so as to extend in a direction orthogonal to the direction 12 (hereinafter, referred to as a width direction). In each furnace chamber 5, two or more air supply pipes may be provided, or two or more exhaust pipes may be provided. In each furnace chamber 5, for example, the air supply pipe 8 is arranged on the upstream side in the moving direction 12 of the substrate 11, and the exhaust pipe 9 is provided on the downstream side of the air supply pipe 8. However, the positional relationship between the supply pipe 8 and the exhaust pipe 9 may be reversed. Both ends of the air supply pipe 8 are connected to a dry air supply device (not shown) through air supply pipe systems (not shown) provided on both sides of the firing furnace 1, respectively. The units are connected to an exhaust pump (not shown) via exhaust piping systems (not shown) provided on both sides of the firing furnace 1 respectively.

給気配管８及び排気配管９の断面形状は円形であり、その直径は長手方向において同一である。即ち、給気配管８及び排気配管９はストレート管である。図３（ａ）に示すように、給気配管８の側面には複数の開口部１５が設けられている。開口部１５の形状は円形であり、給気配管８の長手方向に沿って略等間隔に１列に配列されている。開口部１５は例えば下流側、即ち、排気配管９に対向する面に形成されている。開口部１５は給気配管８の両端部から中央部に向けて段階的に大きくなっており、給気配管８の両端部に形成された開口部１５ａよりも、中央部に形成された開口部１５ｂの方が大きくなっている。   The cross-sectional shape of the supply pipe 8 and the exhaust pipe 9 is circular, and their diameters are the same in the longitudinal direction. That is, the supply pipe 8 and the exhaust pipe 9 are straight pipes. As shown in FIG. 3A, a plurality of openings 15 are provided on a side surface of the air supply pipe 8. The openings 15 have a circular shape, and are arranged in a row at substantially equal intervals along the longitudinal direction of the air supply pipe 8. The opening 15 is formed, for example, on the downstream side, that is, on the surface facing the exhaust pipe 9. The opening 15 is gradually increased from both ends of the air supply pipe 8 toward the center, and is formed at the center rather than the openings 15 a formed at both ends of the air supply pipe 8. 15b is larger.

また、図３（ｂ）に示すように、排気配管９には中央部には仕切板１６が設けられている。仕切板１６は排気配管９の内部を２つの部分に分割するものであるが、仕切板１６と排気配管９の内壁との間には、隙間（図示せず）が形成されている。なお、この隙間はなくてもよい。また、排気配管９の側面には、上流側、即ち給気配管８に対向する面に複数の開口部１７が形成されている。開口部１７は排気配管９の両端部から中央部に向けて段階的に大きくなっている。即ち、排気配管９の両端部に位置する開口部１７ａよりも、排気配管９の中央部に位置する開口部１７ｂの方が大きくなっている。開口部１７の形状は例えば楕円形である。   Further, as shown in FIG. 3B, a partition plate 16 is provided at the center of the exhaust pipe 9. The partition plate 16 divides the inside of the exhaust pipe 9 into two parts, and a gap (not shown) is formed between the partition plate 16 and the inner wall of the exhaust pipe 9. This gap may not be provided. In addition, a plurality of openings 17 are formed on the side surface of the exhaust pipe 9 on the upstream side, that is, on the surface facing the air supply pipe 8. The opening 17 gradually increases from both ends of the exhaust pipe 9 toward the center. That is, the opening 17b located at the center of the exhaust pipe 9 is larger than the openings 17a located at both ends of the exhaust pipe 9. The shape of the opening 17 is, for example, elliptical.

以下、焼成炉１における各部の寸法の具体例を示す。なお、以下に示す数値は１例であり、本発明はこれに限定されない。焼成炉１の全体の長さは例えば２９．７ｍであり、焼成炉１の幅は例えば２０００ｍｍである。炉室５の数は例えば２２個であり、そのうち５個の炉室が昇温部２を構成し、９個の炉室が保持部３を構成し、８個の炉室が冷却部４を構成している。基板移動方向１２における各炉室５の長さは例えば１３５０ｍｍである。給気配管８及び排気配管９の直径は例えば３５ｍｍであり、長さは例えば１９００ｍｍである。給気配管８の開口部１５の直径は１０乃至２０ｍｍである。即ち、開口部１５ａの直径が例えば１０ｍｍであり、開口部１５ｂの直径が例えば２０ｍｍであり、開口部１５は例えば５０ｍｍピッチで等間隔に配列されている。排気配管９の開口部１７ａの短径は例えば例えば１０乃至２０ｍｍである。即ち、開口部１７ａの短径が例えば１０ｍｍであり、開口部１７ｂの短径が例えば２０ｍｍである。開口部１７の長径は例えば短径の１０倍である。開口部１７は例えば５０ｍｍピッチで等間隔に配列されている。また、基板搬送手段６によるセッタ７及び基板１１の搬送速度は例えば４５０ｍｍ／分であり、セッタ７の幅は例えば１６００ｍｍ、長さは例えば１２００ｍｍ、厚さは例えば５ｍｍであり、基板１１の幅は例えば１５００ｍｍ、長さは例えば１０００ｍｍ、厚さは例えば３ｍｍである。   Hereinafter, specific examples of the dimensions of each part in the firing furnace 1 will be described. In addition, the numerical values shown below are examples, and the present invention is not limited thereto. The entire length of the firing furnace 1 is, for example, 29.7 m, and the width of the firing furnace 1 is, for example, 2000 mm. The number of the furnace chambers 5 is, for example, 22, of which five furnace chambers constitute the heating section 2, nine furnace chambers constitute the holding section 3, and eight furnace chambers constitute the cooling section 4. Make up. The length of each furnace chamber 5 in the substrate moving direction 12 is, for example, 1350 mm. The diameter of the supply pipe 8 and the exhaust pipe 9 is, for example, 35 mm, and the length is, for example, 1900 mm. The diameter of the opening 15 of the air supply pipe 8 is 10 to 20 mm. That is, the diameter of the openings 15a is, for example, 10 mm, the diameter of the openings 15b is, for example, 20 mm, and the openings 15 are arranged at equal intervals, for example, at a pitch of 50 mm. The minor diameter of the opening 17a of the exhaust pipe 9 is, for example, 10 to 20 mm. That is, the short diameter of the opening 17a is, for example, 10 mm, and the short diameter of the opening 17b is, for example, 20 mm. The major axis of the opening 17 is, for example, ten times the minor axis. The openings 17 are arranged at equal intervals, for example, at a pitch of 50 mm. The transfer speed of the setter 7 and the substrate 11 by the substrate transfer means 6 is, for example, 450 mm / min, the width of the setter 7 is, for example, 1600 mm, the length is, for example, 1200 mm, the thickness is, for example, 5 mm, and the width of the substrate 11 is, for example. For example, the length is 1500 mm, the length is 1000 mm, and the thickness is 3 mm, for example.

次に、上述の如く構成された本実施形態に係る焼成炉の使用方法、即ち、ＰＤＰの基板の焼成方法を含むＰＤＰの製造方法について説明する。先ず、ガラス基板上に交互に且つ相互に並行に走査電極及び共通電極を形成する。この走査電極及び共通電極の形成においては、先ず透明導電材料からなるペースト層を形成し、このペースト層を焼成して透明電極を形成する。この焼成方法については後述する。そして、バス電極を形成して走査電極及び共通電極を形成する。次に、この走査電極及び共通電極を覆うように透明誘電体材料からなるペースト層を形成し、このペースト層を焼成し、透明誘電体層を形成する。その上にＭｇＯからなる保護膜を成膜する。これにより、前面基板が作製される。   Next, a method of using the firing furnace according to the present embodiment configured as described above, that is, a method of manufacturing a PDP including a method of firing a PDP substrate will be described. First, a scanning electrode and a common electrode are formed alternately and in parallel with each other on a glass substrate. In forming the scanning electrode and the common electrode, first, a paste layer made of a transparent conductive material is formed, and the paste layer is fired to form a transparent electrode. This firing method will be described later. Then, a bus electrode is formed to form a scan electrode and a common electrode. Next, a paste layer made of a transparent dielectric material is formed so as to cover the scan electrode and the common electrode, and the paste layer is baked to form a transparent dielectric layer. A protective film made of MgO is formed thereon. Thus, a front substrate is manufactured.

一方、他のガラス基板上にデータ電極を形成し、このデータ電極を覆うように誘電体からなるペースト層を形成し、このペースト層を焼成することにより誘電体層を形成する。次に、隔壁ペースト層を形成し、乾燥させた後焼成し、隔壁を形成する。次に、各色の蛍光体材料からなるペースト層を塗布し、焼成して、蛍光体層を形成する。   On the other hand, a data electrode is formed on another glass substrate, a paste layer made of a dielectric is formed so as to cover the data electrode, and the paste layer is fired to form a dielectric layer. Next, a partition wall paste layer is formed, dried, and fired to form a partition wall. Next, a paste layer made of a phosphor material of each color is applied and baked to form a phosphor layer.

次に、上記各工程における焼成方法、即ち、前面基板における透明電極及び透明誘電体層、並びに背面基板における誘電体層、隔壁及び蛍光体層の形成における焼成方法について説明する。図１に示すように、クリーンルーム（図示せず）から焼成炉１に基板１１が挿入される。基板１１はガラス基板上にペースト層が形成されたものである。ペースト層はガラス粉末及びビークルからなっており、ビークルは樹脂バインダー及び溶剤からなっており、樹脂バインダーは例えば、ニトロセルロース、エチルセルロース又はアクリル等であり、溶剤は例えばターピネオール又は酢酸エステル等である。   Next, the firing method in each of the above steps, that is, the firing method in forming the transparent electrode and the transparent dielectric layer on the front substrate, and the dielectric layer, partition, and phosphor layer on the rear substrate will be described. As shown in FIG. 1, a substrate 11 is inserted into a firing furnace 1 from a clean room (not shown). The substrate 11 has a paste layer formed on a glass substrate. The paste layer is made of a glass powder and a vehicle. The vehicle is made of a resin binder and a solvent. The resin binder is, for example, nitrocellulose, ethylcellulose, or acrylic, and the solvent is, for example, terpineol or acetate.

焼成炉１においては、基板搬送手段６が基板１１を方向１２の方向に一定速度で搬送する。基板１１は、先ず、焼成炉１の最上流側に位置する炉室５を通過する。その後、通路１０を介して各炉室５間を移動することにより、昇温部２、保持部３及び冷却部４をこの順に通過する。昇温部２の各炉室５において、基板１１は加熱装置１４により室温から焼成温度Ｔ付近まで加熱される。   In the baking furnace 1, the substrate transfer means 6 transfers the substrate 11 in the direction 12 at a constant speed. The substrate 11 first passes through the furnace chamber 5 located on the most upstream side of the firing furnace 1. Thereafter, by moving between the furnace chambers 5 through the passages 10, it passes through the heating section 2, the holding section 3, and the cooling section 4 in this order. In each furnace chamber 5 of the temperature raising section 2, the substrate 11 is heated by the heating device 14 from room temperature to around the firing temperature T.

このとき、昇温部２の各炉室５においては、給気配管８にはその両端部からドライエア１３が供給される。ドライエア１３の供給量は例えば常温常圧状態（温度が２０℃、圧力が１気圧の状態）で、４００Ｎリットル／分である。給気配管８内に供給されたドライエア１３は、開口部１５から炉室５内に供給される。このとき、各開口部１５からの吹出量は相互にほぼ等しくなっている。ドライエア１３の供給速度（給気流速）は例えば０．５乃至１０ｍ／秒であり、例えば２ｍ／秒である。基板１１のペースト層は、炉室５内においてこのドライエア１３に曝される。   At this time, in each furnace chamber 5 of the temperature raising section 2, dry air 13 is supplied to the air supply pipe 8 from both ends thereof. The supply amount of the dry air 13 is, for example, 400 Nl / min in a normal temperature and normal pressure state (temperature is 20 ° C., pressure is 1 atm). The dry air 13 supplied into the air supply pipe 8 is supplied from the opening 15 into the furnace chamber 5. At this time, the blowing amounts from the openings 15 are substantially equal to each other. The supply speed (air supply flow rate) of the dry air 13 is, for example, 0.5 to 10 m / sec, for example, 2 m / sec. The paste layer of the substrate 11 is exposed to the dry air 13 in the furnace chamber 5.

これにより、基板１１のペースト層中のバインダーの一部が燃焼して水及び二酸化炭素となり、ドライエア１３に持ち去られる。また、バインダーの残部及び溶剤は燃焼しないまま揮発してドライエア１３により持ち去られる。これにより、ペースト層からバインダー及び溶剤が消失すると共に、ドライエア１３は、水、二酸化炭素、バインダー成分及び溶剤成分を含有するエア（汚染エア）となる。この現象は、主として３００乃至４５０℃の温度域において起こる。そして、汚染エアは炉室５内から、排気配管９の開口部１７を介して排気配管９内に流入し、排気配管９の両端部から排出される。これにより、汚染エアは炉室５内から排出される。このとき、１本の排気配管９においては、各開口部１７からの排気量は相互にほぼ等しくなっている。排気配管９による排気量は、例えば、常温常圧状態で５００乃至６００Ｎリットル／分である。   As a result, a part of the binder in the paste layer of the substrate 11 is burned into water and carbon dioxide, and is carried away by the dry air 13. Further, the remaining portion of the binder and the solvent are volatilized without burning and are carried away by the dry air 13. As a result, the binder and the solvent disappear from the paste layer, and the dry air 13 becomes air (contaminated air) containing water, carbon dioxide, a binder component and a solvent component. This phenomenon mainly occurs in a temperature range of 300 to 450 ° C. Then, the contaminated air flows into the exhaust pipe 9 from the furnace chamber 5 through the opening 17 of the exhaust pipe 9 and is discharged from both ends of the exhaust pipe 9. Thus, the contaminated air is discharged from the furnace chamber 5. At this time, the amount of exhaust from each opening 17 in one exhaust pipe 9 is substantially equal to each other. The amount of exhaust gas from the exhaust pipe 9 is, for example, 500 to 600 Nl / min at normal temperature and normal pressure.

次に、保持部３が基板１１を焼成温度Ｔに保持し、ペースト層中のガラス粉末を軟化させ、ペースト層を焼成する。焼成温度Ｔは例えば５００乃至６００℃である。次に、冷却部４が基板１１を焼成温度Ｔから冷却する。   Next, the holding unit 3 holds the substrate 11 at the firing temperature T, softens the glass powder in the paste layer, and fires the paste layer. The firing temperature T is, for example, 500 to 600 ° C. Next, the cooling unit 4 cools the substrate 11 from the firing temperature T.

このような焼成工程を経て作製した前面基板と背面基板とを、相互に対向するように重ね合わせる。次に、加熱することにより前面基板と背面基板とを封着し、前面基板と背面基板との間に形成される放電空間内を排気し、この放電空間内に放電ガスを封入する。これにより、ＰＤＰが製造される。   The front substrate and the rear substrate manufactured through such a firing step are overlapped so as to face each other. Next, the front substrate and the rear substrate are sealed by heating, the discharge space formed between the front substrate and the rear substrate is exhausted, and a discharge gas is sealed in the discharge space. Thereby, a PDP is manufactured.

本実施形態においては、給気配管８において、その両端部から中央部に向かうにつれて開口部１５を大きくしている。また、排気配管９において、その両端部から中央部に向かうにつれて開口部１７を大きくしている。給気配管８の両端からドライエア１３を供給した場合、ドライエア１３と管内壁との間の摩擦等により気体の流通が阻害される。また、開口部１５からドライエア１３が流出することにより、給気配管８の両端部から中央部に向かうにつれて管内の圧力及び流速が低下する。しかしながら、給気配管８の両端部から中央部に向かうにつれて開口部１５の大きさを大きくすることにより、管中央部における圧力及び流速の低下を開口部１５の大きさで補い、各開口部１５におけるドライエア１３の吹出量を相互に等しくすることができる。この結果、焼成炉１内におけるドライエア１３の供給量が給気配管８の長手方向、即ち焼成炉１の幅方向において均一になり、ＰＤＰの基板１１上に形成されたペースト層の焼成にムラが生じることを防止できる。   In the present embodiment, in the air supply pipe 8, the opening 15 is increased from both ends to the center. In the exhaust pipe 9, the opening 17 is made larger from both ends to the center. When the dry air 13 is supplied from both ends of the air supply pipe 8, the flow of gas is obstructed by friction between the dry air 13 and the inner wall of the pipe. Further, as the dry air 13 flows out of the opening 15, the pressure and the flow velocity in the supply air pipe 8 decrease from both ends to the center of the air supply pipe 8. However, by increasing the size of the opening 15 from both ends of the air supply pipe 8 toward the center, the decrease in pressure and flow velocity at the center of the pipe is compensated for by the size of the opening 15, and each opening 15 Can be made equal to each other. As a result, the supply amount of the dry air 13 in the firing furnace 1 becomes uniform in the longitudinal direction of the air supply pipe 8, that is, in the width direction of the firing furnace 1, and unevenness occurs in firing of the paste layer formed on the substrate 11 of the PDP. Can be prevented.

また、排気配管９の両端からエア（汚染エア）を排出する場合、開口部１７から管内にエアが流入することにより、管の両端部から中央部に向かうにつれて、排気配管９の管内と管外との圧力差が低減し、両端部から中央部に向かうほど開口部１７を通過する汚染エアの流速が遅くなる。この結果、管の長手方向に沿って、等間隔に相互に同じ大きさの開口部１７が形成されていると、管の長手方向中央部に配置された開口部１７ほど、エアの通過量が低減してしまう。この結果、排気配管９の長手方向において、焼成炉からの排気が不均一になり、ＰＤＰの焼成にムラが生じてしまう。   When air (contaminated air) is discharged from both ends of the exhaust pipe 9, the air flows into the pipe from the opening 17, so that the inside and outside of the exhaust pipe 9 go from both ends of the pipe toward the center. And the flow rate of the contaminated air passing through the opening 17 decreases from the both ends toward the center. As a result, if openings 17 having the same size are formed at regular intervals along the longitudinal direction of the pipe, the opening 17 located at the central portion in the longitudinal direction of the pipe has a smaller air passage amount. Will be reduced. As a result, the exhaust from the firing furnace becomes uneven in the longitudinal direction of the exhaust pipe 9, and the PDP firing becomes uneven.

しかしながら、本実施形態においては、排気配管９の両端部から中央部に向かうにつれて開口部１７を大きくすることにより、開口部１７の大きさにより管中央部における圧力差及び流速の低下を補い、各開口部１７におけるエアの排出量を相互に等しくしている。この結果、焼成炉１内におけるエアの排出量が排気配管９の長手方向、即ち、焼成炉１の幅方向において均一になり、ＰＤＰの基板上に形成されたペースト層の焼成にムラが生じることを防止できる。   However, in the present embodiment, by increasing the opening 17 from both ends of the exhaust pipe 9 toward the center thereof, the size of the opening 17 compensates for a pressure difference and a decrease in flow velocity at the center of the pipe. The amount of air discharged from the opening 17 is made equal to each other. As a result, the amount of discharged air in the firing furnace 1 becomes uniform in the longitudinal direction of the exhaust pipe 9, that is, in the width direction of the firing furnace 1, and unevenness occurs in firing of the paste layer formed on the PDP substrate. Can be prevented.

また、排気配管９の中央部に仕切板１６が設けられていることにより、排気配管９における各開口部１７の排気量を、焼成炉１の幅方向において均一にすることができる。   Further, since the partition plate 16 is provided at the center of the exhaust pipe 9, the exhaust amount of each opening 17 in the exhaust pipe 9 can be made uniform in the width direction of the firing furnace 1.

次に、本発明の第２の実施形態について説明する。図４（ａ）は本実施形態に係る焼成炉の給気配管を示す正面図であり、（ｂ）は排気配管を示す正面図である。本実施形態に係る焼成炉は、前述の第１の実施形態に対して、給気配管及び排気配管の形状が異なっている。本実施形態の焼成炉における上記以外の構成は、前述の第１の実施形態と同じである。   Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 4A is a front view showing an air supply pipe of the firing furnace according to the present embodiment, and FIG. 4B is a front view showing an exhaust pipe. The firing furnace according to this embodiment is different from the above-described first embodiment in the shapes of the supply pipe and the exhaust pipe. The other configuration of the firing furnace of the present embodiment is the same as that of the above-described first embodiment.

図４（ａ）及び（ｂ）に示すように、本実施形態に係る焼成炉においては、前述の第１の実施形態に係る焼成炉における給気配管８及び排気配管９（図３（ａ）及び（ｂ）参照）の替わりに、給気配管１８及び排気配管１９が設けられている。給気配管１８及び排気配管１９の断面形状は円形である。給気配管１８はその部分によって太さが異なり、給気配管１８の両端部１８ａから中央部１８ｂに向かってその直径が連続的に小さくなっている。即ち、給気配管１８の中央部１８ｂは、両端部１８ａよりも細くなっている。給気配管１８の両端部１８ａの直径は例えば５０ｍｍであり、中央部１８ｂの直径は例えば２５ｍｍである。また、給気配管１８には複数の開口部２５が給気配管１８の長手方向に沿って１列に等間隔に形成されている。開口部２５の形状は円形であり、開口部２５の直径は相互に等しく、例えば１０乃至２０ｍｍである。   As shown in FIGS. 4A and 4B, in the firing furnace according to the present embodiment, the air supply pipe 8 and the exhaust pipe 9 (FIG. 3A) in the firing furnace according to the above-described first embodiment. And (b)), an air supply pipe 18 and an exhaust pipe 19 are provided. The cross-sectional shape of the air supply pipe 18 and the exhaust pipe 19 is circular. The diameter of the air supply pipe 18 varies depending on the portion, and the diameter of the air supply pipe 18 continuously decreases from both end portions 18a toward the central portion 18b. That is, the central portion 18b of the air supply pipe 18 is thinner than both end portions 18a. The diameter of both end portions 18a of the air supply pipe 18 is, for example, 50 mm, and the diameter of the central portion 18b is, for example, 25 mm. A plurality of openings 25 are formed in the air supply pipe 18 at equal intervals in a line along the longitudinal direction of the air supply pipe 18. The shape of the openings 25 is circular, and the diameters of the openings 25 are equal to each other, for example, 10 to 20 mm.

同様に、排気配管１９も両端部１９ａから中央部１９ｂに向かってその直径が連続的に小さくなっている。排気配管１９の両端部１９ａの直径は例えば５０ｍｍであり、中央部１９ｂの直径は例えば３０ｍｍである。また、排気配管１９には複数の開口部２７が排気配管１９の長手方向に沿って１列に等間隔に形成されている。開口部２７の形状は楕円形であり、開口部２７の大きさは相互に等しく、例えば短径は５乃至１５ｍｍであり、長径は５０乃至１５０ｍｍである。また、排気配管１９の中央部１９ｂには仕切板１６が設けられている。   Similarly, the diameter of the exhaust pipe 19 is continuously reduced from both ends 19a toward the center 19b. The diameter of both end portions 19a of the exhaust pipe 19 is, for example, 50 mm, and the diameter of the central portion 19b is, for example, 30 mm. A plurality of openings 27 are formed in the exhaust pipe 19 at regular intervals in a line along the longitudinal direction of the exhaust pipe 19. The shape of the opening 27 is elliptical, and the size of the opening 27 is equal to each other. For example, the minor axis is 5 to 15 mm and the major axis is 50 to 150 mm. Further, a partition plate 16 is provided at a central portion 19 b of the exhaust pipe 19.

本実施形態においては、給気配管１８を、その両端部１８ａから中央部１８ｂに向かうにつれて、その直径を小さくしている。これにより、給気配管１８においては、開口部を有するストレート管に両端部からドライエアを供給する場合に発生する中央部における圧力及び流速の低下を、管を細くすることによって補い、管内の圧力及び流速を長手方向で一定とすることができる。このため、各開口部２５におけるドライエアの流出速度及び吹出量を相互に等しくすることができる。また、排気配管１９の直径を、両端部１９ａから中央部１９ｂに向かうにつれて小さくすることにより、中央部における管内外の圧力差及び流速の低下を補い、各開口部２７における汚染エアの通過量を相互に等しくすることができる。この結果、焼成炉内におけるドライエアの流速及び供給量が焼成炉の幅方向において均一になり、ＰＤＰの基板上に形成されたペースト層の焼成にムラが生じることを防止できる。   In the present embodiment, the diameter of the air supply pipe 18 is reduced from both ends 18a toward the center 18b. Thereby, in the air supply pipe 18, the decrease in the pressure and the flow velocity in the central part, which occurs when dry air is supplied from both ends to the straight pipe having the opening, is compensated for by making the pipe thinner, and the pressure and the pressure in the pipe are reduced. The flow rate can be constant in the longitudinal direction. For this reason, the outflow speed and the blowing amount of the dry air in each opening 25 can be made equal to each other. In addition, by reducing the diameter of the exhaust pipe 19 from the both end portions 19a toward the central portion 19b, the pressure difference between the inside and outside of the pipe and the decrease in the flow rate at the central portion are compensated, and the amount of contaminated air passing through each opening 27 is reduced. Can be equal to each other. As a result, the flow rate and the supply amount of the dry air in the firing furnace become uniform in the width direction of the firing furnace, thereby preventing the paste layer formed on the substrate of the PDP from being unevenly fired.

次に、前述の第２の実施形態の変形例について説明する。図５は本変形例における給気配管２８を示す正面図である。図５に示すように、本変形例における給気配管２８は、給気配管２８の両端部２８ａから中央部２８ｃに向かってその直径が段階的に小さくなっている。即ち、給気配管２８は、端部２８ａ、中間部２８ｂ、中央部２８ｃ、中間部２８ｂ及び端部２８ａがこの順に連結されて形成されており、中間部２８ｂの直径は端部２８ａの直径よりも小さく、中央部２８ｃの直径は中間部２８ｂの直径よりも小さくなっている。本変形例においては、排気配管（図示せず）も給気配管２８と同様に、その両端部から中央部に向かって段階的に細くなっている。なお、給気配管２８の内部は両端部間において連通している。本変形例における上記以外の構成は、前述の第２の実施形態と同様である。   Next, a modified example of the above-described second embodiment will be described. FIG. 5 is a front view showing the air supply pipe 28 in the present modification. As shown in FIG. 5, the diameter of the air supply pipe 28 in this modified example gradually decreases from both ends 28 a of the air supply pipe 28 toward the central part 28 c. That is, the air supply pipe 28 is formed by connecting the end 28a, the middle 28b, the center 28c, the middle 28b, and the end 28a in this order, and the diameter of the middle 28b is larger than the diameter of the end 28a. The diameter of the central portion 28c is smaller than the diameter of the intermediate portion 28b. In the present modification, the exhaust pipe (not shown) is gradually narrowed from both ends to the center similarly to the air supply pipe 28. The inside of the air supply pipe 28 communicates between both ends. The configuration other than the above in this modification is the same as that of the above-described second embodiment.

本変形例においては、給気配管及び排気配管をその両端部から中央部に向かって段階的に細くなる形状とすることにより、前述の第２の実施形態と比較して、給気配管及び排気配管の作製が容易になる。即ち、相互に直径が異なる複数のストレート管を連結することにより、給気配管２８を容易に作製することができる。なお、給気配管及び排気配管のいずれか一方を図５に示すような両端部から中央部に向かって段階的に細くなる形状とし、他方を図４（ａ）又は（ｂ）に示すような連続的に細くなる形状としてもよい。   In the present modified example, the supply pipe and the exhaust pipe are formed in such a manner that the supply pipe and the exhaust pipe are gradually narrowed from both ends toward the center, so that the supply pipe and the exhaust pipe can be compared with the second embodiment. Piping is easy to manufacture. That is, the air supply pipe 28 can be easily manufactured by connecting a plurality of straight pipes having different diameters from each other. One of the air supply pipe and the exhaust pipe has a shape that is gradually reduced from both ends to the center as shown in FIG. 5, and the other is as shown in FIG. 4 (a) or (b). The shape may be continuously narrowed.

次に、本発明の第３の実施形態について説明する。図６は本実施形態に係る焼成炉の給気配管を示す正面図である。本実施形態に係る焼成炉は、前述の第１の実施形態に対して、給気配管の形状が異なっている。図６に示すように、本実施形態に係る焼成炉においては、前述の第１の実施形態に係る焼成炉における給気配管８（図３（ａ）参照）の替わりに、給気配管３８が設けられている。給気配管３８の断面形状は円形であり、その直径は管の長手方向において同一である。また、給気配管３８には複数の開口部３５が設けられている。開口部３５は円形であり、給気配管３８の長手方向に沿って略等間隔に１列に配列されている。給気配管３８は、端部３８ａ、中間部３８ｂ、中央部３８ｃ、中間部３８ｂ及び端部３８ａがこの順に配列されて形成されている。開口部３５は給気配管３８の両側の端部３８ａから中間部３８ｂに向かうにつれて大きくなっており、中間部３８ｂから中央部３８ｃに向かうにつれて小さくなっている。即ち、給気配管３８の中間部３８ｂに形成された開口部３５ｂは、両端部３８ａ及び中央部３８ｃに形成された開口部３５ａ及び３５ｃよりも大きくなっている。本実施形態の焼成炉における上記以外の構成は、前述の第１の実施形態と同じである。   Next, a third embodiment of the present invention will be described. FIG. 6 is a front view showing an air supply pipe of the firing furnace according to the present embodiment. The firing furnace according to the present embodiment is different from the first embodiment in the shape of the air supply pipe. As shown in FIG. 6, in the firing furnace according to the present embodiment, an air supply pipe 38 is provided instead of the air supply pipe 8 (see FIG. 3A) in the firing furnace according to the above-described first embodiment. Is provided. The cross-sectional shape of the air supply pipe 38 is circular, and its diameter is the same in the longitudinal direction of the pipe. Further, the air supply pipe 38 is provided with a plurality of openings 35. The openings 35 are circular, and are arranged in a line at substantially equal intervals along the longitudinal direction of the air supply pipe 38. The air supply pipe 38 is formed by arranging an end portion 38a, an intermediate portion 38b, a central portion 38c, an intermediate portion 38b, and an end portion 38a in this order. The opening 35 increases from the ends 38a on both sides of the air supply pipe 38 toward the intermediate portion 38b, and decreases from the intermediate portion 38b toward the central portion 38c. That is, the opening 35b formed in the intermediate portion 38b of the air supply pipe 38 is larger than the openings 35a and 35c formed in the both ends 38a and the center 38c. The other configuration of the firing furnace of the present embodiment is the same as that of the above-described first embodiment.

次に、上述の如く構成された本実施形態に係る焼成炉の動作、即ち、ＰＤＰの製造方法について説明する。本実施形態においては、給気配管３８に供給するドライエアの流量及び流速を、前述の第１及び第２の実施形態よりも大きくする。本実施形態においては、各炉室に供給するドライエアの給気量を、例えば、常温常圧状態で８００乃至１５００Ｎリットル／分とし、流速を例えば１５乃至３０ｍ／分とする。   Next, the operation of the firing furnace according to the present embodiment configured as described above, that is, a method of manufacturing a PDP will be described. In the present embodiment, the flow rate and the flow rate of the dry air supplied to the air supply pipe 38 are set to be larger than those in the first and second embodiments. In the present embodiment, the supply amount of dry air supplied to each furnace chamber is, for example, 800 to 1500 Nl / min at normal temperature and normal pressure, and the flow rate is, for example, 15 to 30 m / min.

給気配管３８に供給されるドライエアの流量が多い場合、又は流速が速い場合は、給気配管３８の両端部３８ａから管内に流入したドライエアの流れが中央部３８ｃにおいてぶつかり、この中央部３８ｃにおいて圧力が高くなる。仮に、開口部の大きさが給気配管３８の長手方向で同一であると、中央部３８ｃに形成された開口部から流出するドライエアの流量及び流速が、中間部３８ｂに形成された開口部から流出するドライエアの流量及び流速よりも大きくなる。この結果、給気配管３８の中間部３８ｂに設けられた開口部からのドライエアの吹出量及び流速が、中央部３８ｃ及び両端部３８ａに設けられた開口部からのドライエアの吹出量及び流速よりも小さくなる。   When the flow rate of the dry air supplied to the air supply pipe 38 is large, or when the flow rate is high, the flow of the dry air flowing into the pipe from both ends 38a of the air supply pipe 38 collides at the central portion 38c, and at this central portion 38c. Pressure increases. If the size of the opening is the same in the longitudinal direction of the air supply pipe 38, the flow rate and the flow rate of the dry air flowing out of the opening formed in the central portion 38c are reduced from the opening formed in the intermediate portion 38b. It becomes larger than the flow rate and flow velocity of the outflowing dry air. As a result, the amount and flow rate of the dry air blown out from the opening provided in the intermediate portion 38b of the air supply pipe 38 are larger than the amount and flow rate of the dry air blown out from the openings provided in the central portion 38c and both ends 38a. Become smaller.

そこで、本実施形態においては、給気配管３８の中間部３８ｂに形成する開口部３５ｂを、給気配管３８の両端部３８ａ及び中央部３８ｃに形成する開口部３５ａ及び３５ｃよりも大きくすることにより、中間部３８ｂにおける圧力及び流速の低下を開口部の大きさで補い、各開口部３８におけるドライエアの吹出量を相互に等しくすることができる。この結果、焼成炉内におけるドライエアの供給量が、焼成炉の幅方向において均一になる。   Therefore, in the present embodiment, the opening 35b formed in the middle part 38b of the air supply pipe 38 is made larger than the openings 35a and 35c formed in the both ends 38a and the center part 38c of the air supply pipe 38. The decrease in pressure and flow velocity in the intermediate portion 38b can be compensated for by the size of the opening, and the amount of dry air blown out from each opening 38 can be made equal to each other. As a result, the supply amount of dry air in the firing furnace becomes uniform in the width direction of the firing furnace.

次に、本発明の第４の実施形態について説明する。図７は本実施形態に係る焼成炉の給気配管を示す正面図である。本実施形態に係る焼成炉は、前述の第３の実施形態に対して、給気配管の形状が異なっている。   Next, a fourth embodiment of the present invention will be described. FIG. 7 is a front view showing an air supply pipe of the firing furnace according to the present embodiment. The firing furnace according to the present embodiment is different from the third embodiment in the shape of the air supply pipe.

図７に示すように、本実施形態に係る焼成炉においては、前述の第３の実施形態に係る焼成炉における給気配管３８（図６参照）の替わりに、給気配管４８が設けられている。給気配管４８の断面形状は円形である。給気配管４８はその部分によって太さが異なる。即ち、給気配管４８は、端部４８ａ、中間部４８ｂ、中央部４８ｃ、中間部４８ｂ及び端部４８ａからなり、前記各部分はこの順に配置されており、給気配管４８の端部４８ａから中間部４８ｂに向かって管の直径が連続的に小さくなり、この中間部４８ｂから中央部４８ｃに向かって管の直径が連続的に大きくなり、この中央部４８ｃから中間部４８ｂに向かって管の直径は連続的に小さくなり、この中間部４８ｂから端部４８ａに向かって管の直径は連続的に大きくなっている。このため、給気配管４８の中間部４８ｂは、両端部４８ａ及び中央部４８ｃよりも細くなっている。給気配管４８の両端部４８ａ及び中央部４８ｃの直径は例えば５０ｍｍであり、中間部４８ｂの直径は例えば３０ｍｍである。なお、給気配管４８の内部は両端部間において連通している。また、給気配管４８には複数の開口部４５が給気配管４８の長手方向に沿って１列に等間隔に形成されている。開口部４５の形状は円形であり、その直径は相互に等しく、例えば１０乃至２０ｍｍである。本実施形態の焼成炉における上記以外の構成は、前述の第１の実施形態と同じである。   As shown in FIG. 7, in the firing furnace according to the present embodiment, an air supply pipe 48 is provided instead of the air supply pipe 38 (see FIG. 6) in the above-described firing furnace according to the third embodiment. I have. The cross-sectional shape of the air supply pipe 48 is circular. The thickness of the air supply pipe 48 varies depending on the portion. That is, the air supply pipe 48 includes an end portion 48a, an intermediate portion 48b, a central portion 48c, an intermediate portion 48b, and an end portion 48a, and the above-described portions are arranged in this order. The diameter of the tube continuously decreases toward the intermediate portion 48b, the diameter of the tube continuously increases from the intermediate portion 48b toward the central portion 48c, and the diameter of the tube increases from the central portion 48c toward the intermediate portion 48b. The diameter continuously decreases, and the diameter of the tube continuously increases from the intermediate portion 48b toward the end portion 48a. For this reason, the middle part 48b of the air supply pipe 48 is thinner than the both ends 48a and the center part 48c. The diameter of both ends 48a and the center part 48c of the air supply pipe 48 is, for example, 50 mm, and the diameter of the middle part 48b is, for example, 30 mm. Note that the inside of the air supply pipe 48 communicates between both ends. A plurality of openings 45 are formed in the air supply pipe 48 at regular intervals in a line along the longitudinal direction of the air supply pipe 48. The shape of the opening 45 is circular, and the diameter thereof is equal to each other, for example, 10 to 20 mm. The other configuration of the firing furnace of the present embodiment is the same as that of the above-described first embodiment.

本実施形態においては、給気配管４８において、その中間部４８ｂにおける管の直径を、両端部４８ａ及び中央部４８ｃにおける管の直径よりも小さくしている。これにより、管の直径が一定である場合に発生する中間部における圧力の低下を補い、給気配管４８の内部で圧力を均一にすることができる。このため、各開口部４５におけるドライエアの流出速度及び吹出量を相互に等しくすることができる。この結果、焼成炉内におけるドライエアの流速及び供給量が幅方向において均一になり、ＰＤＰの基板上に形成されたペースト層の焼成にムラが生じることを防止できる。   In the present embodiment, in the air supply pipe 48, the diameter of the pipe at the intermediate part 48b is smaller than the diameter of the pipe at the both ends 48a and the central part 48c. This makes it possible to compensate for a decrease in pressure at the intermediate portion, which occurs when the diameter of the pipe is constant, and to make the pressure uniform inside the air supply pipe 48. For this reason, the outflow speed and blowout amount of the dry air at each opening 45 can be made equal to each other. As a result, the flow rate and the supply amount of the dry air in the firing furnace become uniform in the width direction, and it is possible to prevent unevenness in firing of the paste layer formed on the PDP substrate.

次に、前述の第４の実施形態の変形例について説明する。図８は本変形例における給気配管５８を示す正面図である。図８に示すように、本変形例における給気配管５８は、その両端部５８ａ及び中央部５８ｃと比較して、中間部５８ｂにおける管の直径が小さくなっている。なお、給気配管５８の内部は両端部間において連通している。本変形例における上記以外の構成は、前述の第４の実施形態と同様である。   Next, a modification of the fourth embodiment will be described. FIG. 8 is a front view showing an air supply pipe 58 in the present modification. As shown in FIG. 8, the air supply pipe 58 in the present modified example has a smaller diameter of the pipe in the intermediate portion 58b than in the both ends 58a and the central portion 58c. Note that the inside of the air supply pipe 58 communicates between both ends. The configuration other than the above in this modification is the same as that of the above-described fourth embodiment.

本変形例においては、給気配管５８の構成を上述の構成とすることにより、前述の第４の実施形態と同様な効果を得ることができると共に、給気配管の作製が容易になる。即ち、直径が相互に異なる複数のストレート管を連結することにより、給気配管５８を容易に作製することができる。   In the present modified example, by employing the above-described configuration of the air supply pipe 58, the same effect as that of the above-described fourth embodiment can be obtained, and the manufacture of the air supply pipe becomes easy. That is, the air supply pipe 58 can be easily manufactured by connecting a plurality of straight pipes having different diameters.

次に、本発明の第５の実施形態について説明する。図９は本実施形態に係る焼成炉の給気配管を示す正面図である。本実施形態に係る焼成炉は、前述の第１乃至第４の各実施形態とは異なり、ドライエアを給気配管の片側の端部から供給している。   Next, a fifth embodiment of the present invention will be described. FIG. 9 is a front view showing an air supply pipe of the firing furnace according to the present embodiment. Unlike the first to fourth embodiments described above, the firing furnace according to the present embodiment supplies dry air from one end of the air supply pipe.

図９に示すように、本実施形態に係る焼成炉においては、前述の第１の実施形態に係る焼成炉における給気配管８（図３（ａ）参照）の替わりに、給気配管６８が設けられている。給気配管６８の断面形状は円形であり、その直径は長手方向で均一である。給気配管６８の一方の端部６８ａは開口されており、この端部６８ａから給気配管６８内にドライエアが供給される。また、給気配管６８の他方の端部６８ｂは閉じている。   As shown in FIG. 9, in the firing furnace according to the present embodiment, instead of the air supply pipe 8 (see FIG. 3A) in the firing furnace according to the first embodiment, an air supply pipe 68 is provided. Is provided. The cross-sectional shape of the air supply pipe 68 is circular, and its diameter is uniform in the longitudinal direction. One end 68a of the air supply pipe 68 is open, and dry air is supplied into the air supply pipe 68 from this end 68a. The other end 68b of the air supply pipe 68 is closed.

そして、給気配管６８の側面には複数の開口部６５が形成されている。開口部６５は給気配管６８の長手方向に沿って１列に略等間隔に配列されている。開口部６５は円形であり、その大きさは給気配管６８の位置によって異なっている。即ち、開口部６５の直径は、端部６８ａから端部６８ａと端部６８ｂとの間の部分６８ｃに向かうにつれて大きくなり、部分６８ｃから端部６８ｂに向かうにつれて小さくなっている。従って、部分６８ｃに形成されている開口部６５ｃは、端部６８ａ及び６８ｂに夫々形成されている開口部６５ａ及び６５ｂよりも大きい。なお、部分６８ｃは給気配管６８の長手方向中央部とは限らず、部分６８ｃの位置はドライエアの供給量等の条件によって異なる。本実施形態の焼成炉における上記以外の構成は、前述の第１の実施形態と同じである。   A plurality of openings 65 are formed on the side surface of the air supply pipe 68. The openings 65 are arranged in a row at substantially equal intervals along the longitudinal direction of the air supply pipe 68. The opening 65 has a circular shape, and its size differs depending on the position of the air supply pipe 68. That is, the diameter of the opening 65 increases from the end 68a toward the portion 68c between the end 68a and the end 68b, and decreases from the portion 68c toward the end 68b. Therefore, the opening 65c formed in the portion 68c is larger than the openings 65a and 65b formed in the ends 68a and 68b, respectively. The portion 68c is not limited to the central portion in the longitudinal direction of the air supply pipe 68, and the position of the portion 68c varies depending on conditions such as a supply amount of dry air. The other configuration of the firing furnace of the present embodiment is the same as that of the above-described first embodiment.

本実施形態においては、給気配管６８の片側の端部６８ａから、給気配管６８内にドライエアを供給している。これにより、給気配管６８にドライエアを供給する給気配管系（図示せず）を焼成炉の両側に設ける必要がなく、焼成炉の片側、即ち、給気配管６８の端部６８ａ側にのみ設ければよい。この結果、焼成炉を小型化し、焼成炉の設備コストを低減することができると共に、焼成炉のメンテナンスを給気配管系が設けられていない側から行うことができるため、焼成炉のメンテナンスが容易になる。   In the present embodiment, dry air is supplied into the air supply pipe 68 from one end 68 a of the air supply pipe 68. Thus, it is not necessary to provide an air supply pipe system (not shown) for supplying dry air to the air supply pipe 68 on both sides of the firing furnace, and only on one side of the firing furnace, that is, on the end 68a side of the air supply pipe 68. It may be provided. As a result, the size of the baking furnace can be reduced, the cost of the baking furnace can be reduced, and the maintenance of the baking furnace can be performed from the side where the air supply piping system is not provided. become.

また、給気配管６８の一端部６８ａからのみドライエアを供給する場合、端部６８ａから端部６８ｂに向かうにつれて、途中に設けられた開口部６５からドライエアが流出するため、圧力損失が発生する。一方、端部６８ｂにおいては、供給されたドライエアが端部６８ｂにぶつかるために、管内の圧力が高くなる。この結果、給気配管６８内の圧力は、端部６８ａから端部６８ｂに向かうにつれて一旦低下し、端部６８ａと６８ｂとの間の部分６８ｃにおいて最小となり、この部分６８ｃから端部６８ｂに向かうにつれて増加する。本実施形態においては、給気配管の両端部６８ａ及び６８ｂから部分６８ｃに向かうにつれて開口部６５を大きくすることにより、部分６８ｃにおける管内圧力の低下を補うことができ、各開口部６５におけるドライエアの吹出量を相互に等しくすることができる。   Further, when dry air is supplied only from one end 68a of the air supply pipe 68, the dry air flows out of the opening 65 provided on the way from the end 68a to the end 68b, so that a pressure loss occurs. On the other hand, at the end 68b, the supplied dry air collides with the end 68b, so that the pressure in the pipe increases. As a result, the pressure in the air supply pipe 68 temporarily decreases from the end 68a toward the end 68b, becomes minimum at a portion 68c between the ends 68a and 68b, and goes from the portion 68c toward the end 68b. Increase with time. In the present embodiment, by increasing the opening 65 from the ends 68a and 68b of the air supply pipe toward the portion 68c, it is possible to compensate for a decrease in pipe pressure in the portion 68c, and to reduce the dry air in each opening 65. The blowing amount can be made equal to each other.

次に、前述の第５の実施形態の変形例について説明する。本変形例においては、前述の第５の実施形態のように給気配管６８の部分６８ｃにおいて開口部を大きくする代わりに、この部分において給気配管の直径を小さくする。なお、開口部の大きさは相互に等しくする。これにより、部分６８ｃにおける吹出量の低下を抑制し、各開口部におけるドライエアの吹出量を相互に等しくすることができる。   Next, a modification of the fifth embodiment will be described. In this modification, instead of increasing the opening at the portion 68c of the air supply pipe 68 as in the fifth embodiment described above, the diameter of the air supply pipe is reduced at this portion. The sizes of the openings are made equal to each other. Thus, it is possible to suppress a decrease in the blowout amount at the portion 68c and make the blowout amount of the dry air at each opening equal to each other.

次に、前述の第５の実施形態及びその変形例の効果を説明するための比較例について説明する。図１０は本比較例に係る焼成炉の給気配管を示す正面図、及び横軸にこの給気配管における位置をとり、縦軸にこの位置に形成された開口部からのドライエアの吹出量をとって、ドライエアの給気配管における位置と噴出量との関係を示すグラフ図である。図１０に示すように、本比較例の配管７８は、その一方の端部７８ａが開口されており、この端部７８ａから給気配管７８内にドライエアが供給される。また、給気配管７８の他方の端部７８ｂは閉じている。給気配管７８の断面は円形であり、その直径は給気配管７８の長手方向において均一である。更に、給気配管７８の側面には、複数の開口部７５が形成されている。開口部７５は円形であり、その直径は相互に等しく、給気配管７８の長手方向に沿って１列に等間隔に配列されている。   Next, a description will be given of a comparative example for explaining the effects of the fifth embodiment and its modification. FIG. 10 is a front view showing an air supply pipe of the firing furnace according to this comparative example, and a horizontal axis shows a position in the air supply pipe, and a vertical axis shows an amount of dry air blown out from an opening formed at this position. FIG. 4 is a graph showing the relationship between the position of dry air in a supply pipe and the amount of ejection. As shown in FIG. 10, the pipe 78 of this comparative example has one end 78a opened, and dry air is supplied into the air supply pipe 78 from this end 78a. The other end 78b of the air supply pipe 78 is closed. The cross section of the air supply pipe 78 is circular, and its diameter is uniform in the longitudinal direction of the air supply pipe 78. Further, a plurality of openings 75 are formed on a side surface of the air supply pipe 78. The openings 75 are circular, have the same diameter, and are arranged at equal intervals in a row along the longitudinal direction of the air supply pipe 78.

各開口部７５からのドライエアの噴出量は、図１０の実線２１に示すように、端部７８ａ及び７８ｂにおいて多く、端部７８ａと７８ｂとの間に位置する部分７８ｃにおいて最小となっている。これは、前述の如く、端部７８ａから部分７８ｃに向かうにつれて、開口部からのドライエアの流出により管内の圧力が低下すると共に、部分７８ｃから端部７８ｂに向かうにつれて、供給されたドライエアが端部７８ｂにぶつかることにより、管内圧力が増加することに起因している。このような給気配管７８においては、各開口部７５からドライエアを均一に吹出させることができず、炉室内に幅方向に均一にドライエアを供給することができない。なお、給気配管７８に供給するドライエアの流量等の条件が変わると、図１０の破線２２に示すように、開口部７５からのドライエアの噴出量の分布が変わり、部分７８ｃとは異なる位置にある部分７８ｄにおいて吹出量が最小となる。   As shown by the solid line 21 in FIG. 10, the amount of dry air ejected from each opening 75 is large at the ends 78a and 78b and is minimum at the portion 78c located between the ends 78a and 78b. This is because, as described above, the pressure in the pipe decreases due to the outflow of the dry air from the opening from the end portion 78a to the portion 78c, and the supplied dry air decreases from the end portion 78c to the end portion 78b. This is due to the fact that the pressure in the pipe is increased by the collision with 78b. In such an air supply pipe 78, dry air cannot be blown out uniformly from each opening 75, and dry air cannot be uniformly supplied in the width direction into the furnace chamber. When the condition such as the flow rate of the dry air supplied to the air supply pipe 78 changes, the distribution of the amount of dry air ejected from the opening 75 changes as shown by the broken line 22 in FIG. In a certain portion 78d, the blowout amount becomes minimum.

次に、本発明の第６の実施形態について説明する。図１１は本実施形態に係る焼成炉の排気配管を示す正面図である。本実施形態に係る焼成炉は、前述の第５の実施形態に加えて、排気配管からの排気を片側の端部から行っている。   Next, a sixth embodiment of the present invention will be described. FIG. 11 is a front view showing an exhaust pipe of the firing furnace according to the present embodiment. The firing furnace according to the present embodiment performs the exhaust from the exhaust pipe from one end in addition to the fifth embodiment.

図１１に示すように、本実施形態に係る焼成炉においては、前述の第５の実施形態に係る焼成炉における排気配管の替わりに、排気配管８９が設けられている。排気配管８９の断面形状は円形であり、その直径は長手方向で均一である。排気配管８９の一方の端部８９ａは開口されており、この端部８９ａを介して排気配管８９内からエア（汚染エア）が排気される。排気配管８９の他方の端部８９ｂは閉じている。   As shown in FIG. 11, in the firing furnace according to the present embodiment, an exhaust pipe 89 is provided instead of the exhaust pipe in the firing furnace according to the fifth embodiment described above. The cross-sectional shape of the exhaust pipe 89 is circular, and its diameter is uniform in the longitudinal direction. One end 89a of the exhaust pipe 89 is open, and air (contaminated air) is exhausted from inside the exhaust pipe 89 through the end 89a. The other end 89b of the exhaust pipe 89 is closed.

そして、排気配管８９の側面には複数の開口部８７が形成されている。開口部８７は排気配管８９の長手方向に沿って１列に配列されている。開口部８７は楕円形であり、その大きさは排気配管８９の位置によって異なっている。即ち、開口部８７の大きさは、端部８９ａから端部８９ｂに向かうにつれて大きくなっており、端部８９ｂに形成されている開口部８７ｂは、端部８９ａに形成されている開口部８７ａよりも大きくなっている。本実施形態の焼成炉における上記以外の構成は、前述の第５の実施形態と同じである。   A plurality of openings 87 are formed on the side surface of the exhaust pipe 89. The openings 87 are arranged in one row along the longitudinal direction of the exhaust pipe 89. The opening 87 has an elliptical shape, and its size varies depending on the position of the exhaust pipe 89. That is, the size of the opening 87 increases from the end 89a toward the end 89b, and the opening 87b formed in the end 89b is larger than the opening 87a formed in the end 89a. Is also growing. The other configuration of the firing furnace of the present embodiment is the same as that of the fifth embodiment described above.

本実施形態においては、排気配管８９の片側の端部８９ａから、排気配管８９内の排気を実施している。これにより、排気配管系を焼成炉の両側に設ける必要がなく、片側にのみ設ければよい。即ち、本実施形態においては、給気配管系及び排気配管系の双方を焼成炉の片側のみに設ければよい。この結果、前述の第５の実施形態と比較して、焼成炉をより一層小型化し、焼成炉の設備コストをより低減することができると共に、メンテナンス性がより一層向上する。   In the present embodiment, the exhaust inside the exhaust pipe 89 is performed from one end 89 a of the exhaust pipe 89. Thus, it is not necessary to provide the exhaust piping system on both sides of the firing furnace, and it is sufficient to provide the exhaust piping system only on one side. That is, in the present embodiment, both the supply pipe system and the exhaust pipe system may be provided only on one side of the firing furnace. As a result, as compared with the above-described fifth embodiment, the size of the firing furnace can be further reduced, the equipment cost of the firing furnace can be further reduced, and the maintainability is further improved.

前述の第１の実施形態と同様の原理により、排気配管８９の端部からエアを排出する場合、開口部８７から管内にエアが流入することにより、管の端部８９ａから端部８９ｂに向かうにつれて、排気配管８９の管内と管外との圧力差が低減し、端部８９ａから端部８９ｂに向かうにつれて開口部８７を通過するエアの流速が遅くなる。そこで、本実施形態においては、排気配管８９の端部８９ａから端部８９ｂに向かうにつれて開口部８７の大きさを大きくしている。これにより、端部８９ｂの近傍における圧力差及び流速の低下を補い、各開口部８７におけるエアの排出量を相互に等しくすることができる。この結果、焼成炉内における汚染エアの排出量が焼成炉の幅方向において均一になり、ＰＤＰの基板上に形成されたペースト層の焼成にムラが生じることを防止できる。   When air is discharged from the end of the exhaust pipe 89 according to the same principle as that of the first embodiment described above, the air flows from the opening 87 into the pipe, so that the air flows from the pipe end 89a to the end 89b. As a result, the pressure difference between the inside and outside of the exhaust pipe 89 decreases, and the flow velocity of the air passing through the opening 87 decreases from the end 89a toward the end 89b. Therefore, in the present embodiment, the size of the opening 87 is increased from the end 89a of the exhaust pipe 89 toward the end 89b. This makes it possible to compensate for the pressure difference and the decrease in the flow velocity in the vicinity of the end 89b, and to make the amount of air discharged from each opening 87 equal to each other. As a result, the discharge amount of the contaminated air in the firing furnace becomes uniform in the width direction of the firing furnace, and it is possible to prevent unevenness in firing of the paste layer formed on the PDP substrate.

次に、本発明の第７の実施形態について説明する。図１２は第７の実施形態に係る焼成炉の各炉室を示す模式的断面図である。なお、図１２において、図２に示す構成要素と同じ構成要素には同じ符号を付し、その詳細な説明を省略する。前述の第１の実施形態に係る焼成炉（図２参照）においては、給気配管８及び排気配管９の長手方向が基板の搬送方向１２と直交するように、給気配管８及び排気配管９が配設されているが、本実施形態に係る焼成炉においては、図１２に示すように、給気配管９８及び排気配管９９が、それらの長手方向が基板の搬送方向１２に延びるように配設されている。即ち、本実施形態に係る焼成炉においては、給気配管９８は各炉室５内における一方の側部に、その長手方向が方向１２と平行になるように１本設けられており、排気配管９９は各炉室５内における他方の側部に、その長手方向が方向１２と平行になるように１本設けられている。そして、給気配管９８の両端部は、焼成炉１の一方の側に設けられた給気配管系（図示せず）を介してドライエア供給装置（図示せず）に連結されており、排気配管９９の両端部は、焼成炉１の他方の側に設けられた排気配管系（図示せず）を介して排気ポンプ（図示せず）に連結されている。給気配管８９及び排気配管９９の構成は、例えば、図３（ａ）及び（ｂ）に示すものと同一である。本実施形態における上記以外の構成及び動作は、前述の第１の実施形態と同様である。   Next, a seventh embodiment of the present invention will be described. FIG. 12 is a schematic cross-sectional view showing each furnace chamber of the firing furnace according to the seventh embodiment. In FIG. 12, the same components as those shown in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. In the firing furnace according to the first embodiment (see FIG. 2), the supply pipe 8 and the exhaust pipe 9 are arranged such that the longitudinal direction of the supply pipe 8 and the exhaust pipe 9 is orthogonal to the substrate transfer direction 12. In the firing furnace according to the present embodiment, as shown in FIG. 12, the supply pipe 98 and the exhaust pipe 99 are disposed such that their longitudinal directions extend in the substrate transfer direction 12. Is established. That is, in the firing furnace according to the present embodiment, one air supply pipe 98 is provided on one side of each furnace chamber 5 so that its longitudinal direction is parallel to the direction 12. 99 is provided on the other side in each furnace chamber 5 so that its longitudinal direction is parallel to the direction 12. Both ends of the air supply pipe 98 are connected to a dry air supply device (not shown) via an air supply pipe system (not shown) provided on one side of the baking furnace 1, and an exhaust pipe is provided. Both ends of 99 are connected to an exhaust pump (not shown) via an exhaust piping system (not shown) provided on the other side of the firing furnace 1. The configurations of the air supply pipe 89 and the exhaust pipe 99 are the same as those shown in FIGS. 3A and 3B, for example. Other configurations and operations of the present embodiment are the same as those of the above-described first embodiment.

本実施形態においては、給気配管９８及び排気配管９９が炉室５の両側部に配置されていることにより、給気配管系及び排気配管系を焼成炉１の一方の側と他方の側とに分けて配置することができ、焼成炉１の両側に給気配管系及び排気配管系の双方を配置する必要がなくなるため、配管系の配置スペースを小さくすることができる。本実施形態における上記以外の効果は、前述の第１の実施形態と同様である。   In the present embodiment, the supply pipe 98 and the exhaust pipe 99 are arranged on both sides of the furnace chamber 5 so that the supply pipe system and the exhaust pipe system are connected to one side and the other side of the firing furnace 1. Since it is not necessary to arrange both the air supply piping system and the exhaust piping system on both sides of the firing furnace 1, the arrangement space of the piping system can be reduced. The other effects of the present embodiment are the same as those of the above-described first embodiment.

なお、本実施形態において、給気配管９８及び排気配管９９の形状並びに各配管に形成される開口部の配置及び形状を、前述の第２乃至第４の実施形態のいずれかと同じとしてもよい。また、前述の第５又は第６の実施形態と同様に、片側給気及び／又は片側排気としてもよい。その場合の給気配管及び排気配管の形状並びに開口部の配置及び形状は、前述の第５又は第６の実施形態と同じとする。   In this embodiment, the shapes of the air supply pipe 98 and the exhaust pipe 99 and the arrangement and shape of the openings formed in each pipe may be the same as those in any of the above-described second to fourth embodiments. Further, similarly to the above-described fifth or sixth embodiment, one-side air supply and / or one-side exhaust may be used. In this case, the shapes of the supply pipe and the exhaust pipe and the arrangement and the shape of the opening are the same as those in the fifth or sixth embodiment.

なお、前述の各実施形態において、給気配管及び排気配管の形状、各管に形成される開口部の形状及び大きさについての基本的な考え方を示したが、詳細な形状及び寸法は、ドライエアの流量、流速、炉室内からの排気量及び排気流速等の条件によって異なり、各条件に応じて最適に設計する必要がある。また、前述の各実施形態においては、管の断面形状が円形である例を示したが、本発明はこれに限定されず、例えば楕円形又は矩形等の形状であってもよい。更に、開口部の形状も円形及び楕円形に限定されず、矩形等の形状であってもよい。更にまた、前述の各実施形態においては、開口部の大きさ又は管の太さを調整することにより、各開口部を通過する気体の流量を均一化する技術を示したが、開口部の大きさ及び管の太さを一定として、開口部間の間隔を調整してもよい。即ち、管内の圧力が高くなる部分は開口部を疎に形成し、圧力が低くなる部分は密に形成して、各開口部における気体の通過量を均一化してもよい。   In each of the above embodiments, the basic concept of the shape of the supply pipe and the exhaust pipe, and the shape and size of the opening formed in each pipe has been described. It depends on the conditions such as the flow rate, the flow rate, the exhaust volume from the furnace chamber, the exhaust flow rate, and the like, and it is necessary to optimally design according to each condition. Further, in each of the above-described embodiments, an example in which the cross-sectional shape of the tube is circular has been described, but the present invention is not limited to this, and may be, for example, an elliptical shape or a rectangular shape. Further, the shape of the opening is not limited to a circle or an ellipse, but may be a rectangle or the like. Furthermore, in each of the above-described embodiments, a technique has been described in which the flow rate of gas passing through each opening is made uniform by adjusting the size of the opening or the thickness of the pipe. The distance between the openings may be adjusted while keeping the thickness and the thickness of the tube constant. That is, the portion where the pressure in the pipe becomes high may be formed sparsely in the opening, and the portion where the pressure becomes low may be formed densely so as to equalize the gas passage amount in each opening.

本発明の第１の実施形態に係る連続式の焼成炉を示す模式図、及び横軸にこの焼成炉における位置をとり縦軸に基板温度をとって基板温度の変化を示すチャート図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic diagram showing a continuous firing furnace according to a first embodiment of the present invention, and a chart showing a change in substrate temperature by taking a position in the firing furnace on a horizontal axis and taking a substrate temperature on a vertical axis. この焼成炉における各炉室を示す模式的断面図である。It is a typical sectional view showing each furnace room in this baking furnace. （ａ）は給気配管を示す正面図であり、（ｂ）は排気配管を示す正面図である。(A) is a front view showing an air supply pipe, and (b) is a front view showing an exhaust pipe. （ａ）は本発明の第２の実施形態に係る焼成炉の給気配管を示す正面図であり、（ｂ）は排気配管を示す正面図である。(A) is a front view showing an air supply pipe of a firing furnace according to a second embodiment of the present invention, and (b) is a front view showing an exhaust pipe. 本実施形態の変形例における給気配管を示す正面図である。It is a front view which shows the air supply piping in the modification of this embodiment. 本発明の第３の実施形態に係る焼成炉の給気配管を示す正面図である。It is a front view showing the air supply piping of the baking furnace concerning a 3rd embodiment of the present invention. 本発明の第４の実施形態に係る焼成炉の給気配管を示す正面図である。It is a front view showing the air supply piping of the baking furnace concerning a 4th embodiment of the present invention. 本実施形態の変形例における給気配管を示す正面図である。It is a front view which shows the air supply piping in the modification of this embodiment. 本発明の第５の実施形態に係る焼成炉の給気配管を示す正面図である。It is a front view showing the air supply piping of the baking furnace concerning a 5th embodiment of the present invention. 本実施形態の比較例に係る焼成炉の給気配管を示す正面図、及び横軸にこの給気配管の位置をとり、縦軸にこの位置に形成された開口部からのドライエアの吹出量をとって、ドライエアの給気配管における位置と噴出量との関係を示すグラフ図である。The front view showing the air supply pipe of the firing furnace according to the comparative example of the present embodiment, and the horizontal axis shows the position of this air supply pipe, and the vertical axis shows the amount of dry air blown from the opening formed at this position. FIG. 4 is a graph showing the relationship between the position of dry air in a supply pipe and the amount of ejection. 本発明の第６の実施形態に係る焼成炉の排気配管を示す正面図である。It is a front view showing an exhaust pipe of a baking furnace concerning a sixth embodiment of the present invention. 本発明の第７の実施形態に係る焼成炉の各炉室を示す模式的断面図である。It is a typical sectional view showing each furnace room of a baking furnace concerning a 7th embodiment of the present invention. 従来の連続式の焼成炉を示す模式図、及び横軸にこの焼成炉における位置をとり縦軸に基板温度をとって炉温の分布を示すチャート図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing a conventional continuous firing furnace, and a chart showing a furnace temperature distribution with the horizontal axis indicating the position in the firing furnace and the vertical axis indicating the substrate temperature. この従来の焼成炉を示す部分断面図である。It is a partial sectional view showing this conventional firing furnace. （ａ）はこの従来の焼成炉における給気配管を示す正面図であり、（ｂ）は排気配管を示す正面図である。(A) is a front view showing an air supply pipe in the conventional firing furnace, and (b) is a front view showing an exhaust pipe. 横軸に管の長手方向の位置をとり、縦軸に管からの単位時間当りの気体供給量をとって、従来の焼成炉における給気配管の長手方向の位置と気体給気量との関係を模式的に示す図である。The horizontal axis indicates the position in the longitudinal direction of the pipe, and the vertical axis indicates the gas supply amount per unit time from the pipe, and the relationship between the longitudinal position of the gas supply pipe in the conventional firing furnace and the gas supply amount. It is a figure which shows typically.

符号の説明Explanation of reference numerals

１；焼成炉
２；昇温部
３；保持部
４；冷却部
５；炉室
６；基板搬送手段
７；セッタ
８、１８、２８、３８、４８、５８、６８、７８、９８；給気配管
９、１９、８９、９９；排気配管
１０；通路
１１；基板
１２；方向
１３；ドライエア
１４；加熱装置
１５、１５ａ、１５ｂ、１７、１７ａ、１７ｂ、２５、２７、３５、３５ａ、３５ｂ、３５ｃ、４５、６５、６５ａ、６５ｂ、６５ｃ、７５、８７；開口部
１６；仕切板
１８ａ、１９ａ、２８ａ、３８ａ、４８ａ、５８ａ、６８ａ、６８ｂ、７８ａ、７８ｂ、８９ａ、８９ｂ；端部
１８ｂ、１９ｂ、２８ｃ、３８ｃ、４８ｃ、５８ｃ；中央部
２１；実線
２２；破線
２８ｂ、３８ｂ、４８ｂ、５８ｂ；中間部
６８ｃ、７８ｃ、７８ｄ；部分
１０１；焼成炉
１０２；昇温部
１０３；保持部
１０４；冷却部
１０５、１０５ａ；炉室
１０６；基板搬送手段
１０７；セッタ
１０８；給気管
１０９；排気管
１１０；通路
１１１；基板
１１２；基板１１１の移動方向
１１３；ドライエア
Ｔ；焼成温度 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1; Firing furnace 2: Heating part 3: Holding part 4: Cooling part 5: Furnace chamber 6; Substrate conveying means 7; Setters 8, 18, 28, 38, 48, 58, 68, 78, 98; 9, 19, 89, 99; exhaust pipe 10; passage 11; substrate 12; direction 13; dry air 14; heating device 15, 15a, 15b, 17, 17a, 17b, 25, 27, 35, 35a, 35b, 35c; 45, 65, 65a, 65b, 65c, 75, 87; Opening 16; Partition plate 18a, 19a, 28a, 38a, 48a, 58a, 68a, 68b, 78a, 78b, 89a, 89b; 28c, 38c, 48c, 58c; central portion 21; solid line 22; dashed lines 28b, 38b, 48b, 58b; intermediate portions 68c, 78c, 78d; portion 101; firing furnace 102; Holding unit 104; cooling section 105 and 105a; furnace chamber 106; substrate transfer means 107; setter 108; supply pipe 109; exhaust pipe 110; passageway 111; moving direction 113 of the substrate 111; the substrate 112 dry air T; firing temperature

Claims (13)

プラズマディスプレイパネルの基板を焼成するプラズマディスプレイパネルの焼成炉において、前記焼成炉内において一方向に張架されこの張架方向に沿って配列された複数の開口部を備えその両端部から酸素を含む気体が供給され前記開口部を介して前記焼成炉内に前記気体を供給する給気配管と、前記焼成炉内から気体を排出する排気配管と、を有し、前記給気配管の両端部から中央部に向かうにつれて前記開口部の大きさが大きくなっているか、又は前記給気配管はその両端部から中央部に向かうにつれて細くなっていることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの焼成炉。 In a firing furnace for a plasma display panel for firing a substrate of a plasma display panel, the firing furnace includes a plurality of openings that are stretched in one direction in the firing furnace and are arranged along the stretching direction, and include oxygen from both ends thereof. A gas supply pipe that supplies the gas into the firing furnace through the opening, and an exhaust pipe that discharges the gas from the firing furnace; and A firing furnace for a plasma display panel, wherein the size of the opening increases toward the center, or the air supply pipe narrows from both ends to the center. プラズマディスプレイパネルの基板を焼成するプラズマディスプレイパネルの焼成炉において、前記焼成炉内において一方向に張架されこの張架方向に沿って配列された複数の開口部を備えその両端部から酸素を含む気体が供給され前記開口部を介して前記焼成炉内に前記気体を供給する給気配管と、前記焼成炉内から気体を排出する排気配管と、を有し、前記給気配管の両端部と中央部の間の部分に形成された前記開口部が前記両端部及び中央部に形成された前記開口部よりも大きいか、又は前記給気配管はその両端部と中央部の間の部分が前記両端部及び中央部よりも細いことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの焼成炉。 In a firing furnace for a plasma display panel for firing a substrate of a plasma display panel, the firing furnace includes a plurality of openings that are stretched in one direction in the firing furnace and are arranged along the stretching direction, and include oxygen from both ends thereof. A gas supply pipe that supplies the gas into the baking furnace through the opening, and an exhaust pipe that discharges the gas from the baking furnace, and both ends of the gas supply pipe The opening formed at the portion between the center portions is larger than the opening portions formed at the both end portions and the center portion, or the portion between the both end portions and the center portion of the air supply pipe is the A firing furnace for a plasma display panel, which is thinner than both end portions and a center portion. プラズマディスプレイパネルの基板を焼成するプラズマディスプレイパネルの焼成炉において、前記焼成炉内において一方向に張架されこの張架方向に沿って配列された複数の開口部を備えその一端部から酸素を含む気体が供給され前記開口部を介して前記焼成炉内に前記気体を供給する給気配管と、前記焼成炉内から気体を排出する排気配管と、を有し、前記給気配管の両端部からこの両端部間の一部分に向かうにつれて前記開口部の大きさが大きくなっているか、又は前記給気配管はその両端部からこの両端部間の一部分に向かうにつれて細くなっていることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの焼成炉。 In a firing furnace for a plasma display panel for firing a substrate of a plasma display panel, the firing furnace includes a plurality of openings that are stretched in one direction in the firing furnace and are arranged along the stretching direction, and include oxygen from one end thereof. A gas supply pipe that supplies the gas into the firing furnace through the opening, and an exhaust pipe that discharges the gas from the firing furnace; and The plasma is characterized in that the size of the opening increases toward a part between the two ends, or the air supply pipe becomes narrower from the two ends toward a part between the two ends. Display panel firing furnace. 前記給気配管がその中央部に仕切板を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネルの焼成炉。 The firing furnace for a plasma display panel according to any one of claims 1 to 3, wherein the air supply pipe has a partition plate at a center thereof. プラズマディスプレイパネルの基板を焼成するプラズマディスプレイパネルの焼成炉において、前記焼成炉内に酸素を含む気体を供給する給気配管と、前記焼成炉内において一方向に張架されこの張架方向に沿って配列された複数の開口部を備えその両端部から気体が排出されることにより前記開口部を介して前記焼成炉内から気体を排出する排気配管と、を有し、前記排気配管の両端部から中央部に向かうにつれて前記開口部の大きさが大きくなっているか、又は前記排気配管はその両端部から中央部に向かうにつれて細くなっていることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの焼成炉。 In a firing furnace for a plasma display panel for firing a substrate of a plasma display panel, an air supply pipe for supplying a gas containing oxygen into the firing furnace; Exhaust pipes having a plurality of openings arranged in a row and discharging gas from the inside of the baking furnace through the openings by discharging gas from both ends thereof, and both ends of the exhaust pipe. Characterized in that the size of the opening increases from the center to the center, or the exhaust pipe becomes narrower from both ends to the center. プラズマディスプレイパネルの基板を焼成するプラズマディスプレイパネルの焼成炉において、前記焼成炉内に酸素を含む気体を供給する給気配管と、前記焼成炉内において一方向に張架されこの張架方向に沿って配列された複数の開口部を備えその両端部から気体が排出されることにより前記開口部を介して前記焼成炉内から気体を排出する排気配管と、を有し、前記排気配管の両端部と中央部の間の部分に形成された前記開口部が前記両端部及び中央部に形成された前記開口部よりも大きいか、又は前記排気配管はその両端部と中央部の間の部分が前記両端部及び中央部よりも細いことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの焼成炉。 In a firing furnace for a plasma display panel for firing a substrate of a plasma display panel, an air supply pipe for supplying a gas containing oxygen into the firing furnace; Exhaust pipes having a plurality of openings arranged in a row and discharging gas from the inside of the baking furnace through the openings by discharging gas from both ends thereof, and both ends of the exhaust pipe. The opening formed at the portion between the central portion and the opening is larger than the opening formed at both ends and the central portion, or the exhaust pipe is the portion between the both ends and the central portion is the A firing furnace for a plasma display panel, which is thinner than both end portions and a center portion. プラズマディスプレイパネルの基板を焼成するプラズマディスプレイパネルの焼成炉において、前記焼成炉内に酸素を含む気体を供給する給気配管と、前記焼成炉内において一方向に張架されこの張架方向に沿って配列された複数の開口部を備えその両端部から気体が排出されることにより前記開口部を介して前記焼成炉内から気体を排出する排気配管と、を有し、前記排気配管の両端部からこの両端部間の一部分に向かうにつれて前記開口部の大きさが大きくなっているか、又は前記排気配管はその両端部からこの両端部間の一部分に向かうにつれて細くなっていることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの焼成炉。 In a firing furnace for a plasma display panel for firing a substrate of a plasma display panel, an air supply pipe for supplying a gas containing oxygen into the firing furnace; Exhaust pipes having a plurality of openings arranged in a row and discharging gas from the inside of the baking furnace through the openings by discharging gas from both ends thereof, and both ends of the exhaust pipe. Or the size of the opening increases toward a portion between the two ends, or the exhaust pipe becomes narrower from the two ends toward a portion between the two ends. Display panel firing furnace. 前記排気配管がその中央部に仕切板を有することを特徴とする請求項５乃至７のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネルの焼成炉。 The firing furnace for a plasma display panel according to any one of claims 5 to 7, wherein the exhaust pipe has a partition plate at a center thereof. プラズマディスプレイパネルの基板を焼成するプラズマディスプレイパネルの焼成炉において、前記焼成炉内において一方向に張架されこの張架方向に沿って配列された複数の開口部を備えその一端部から酸素を含む気体が供給され前記開口部を介して前記焼成炉内に前記気体を供給する給気配管と、前記焼成炉内から気体を排出する排気配管と、を有し、前記給気配管の両端部からこの両端部間の一部分に向かうにつれて前記開口部の大きさが大きくなっているか、又は前記給気配管はその両端部からこの両端部間の一部分に向かうにつれて細くなっていることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの焼成炉。 In a firing furnace for a plasma display panel for firing a substrate of a plasma display panel, the firing furnace includes a plurality of openings that are stretched in one direction in the firing furnace and are arranged along the stretching direction, and include oxygen from one end thereof. A gas supply pipe that supplies the gas into the firing furnace through the opening, and an exhaust pipe that discharges the gas from the firing furnace; and The plasma is characterized in that the size of the opening increases toward a part between the two ends, or the air supply pipe becomes narrower from the two ends toward a part between the two ends. Display panel firing furnace. プラズマディスプレイパネルの基板を焼成するプラズマディスプレイパネルの焼成炉において、前記焼成炉内に酸素を含む気体を供給する給気配管と、前記焼成炉内において一方向に張架されこの張架方向に沿って配列された複数の開口部を備えその一端部から気体が排出されることにより前記開口部を介して前記焼成炉内から気体を排出する排気配管と、を有し、前記排気配管の前記気体が排気される一端部から他端部に向かうにつれて前記開口部の大きさが大きくなっているか、又は前記排気配管は前記気体が排気される一端部から他端部に向かうにつれて細くなっていることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの焼成炉。 In a firing furnace for a plasma display panel for firing a substrate of a plasma display panel, an air supply pipe for supplying a gas containing oxygen into the firing furnace; An exhaust pipe that has a plurality of openings arranged in a row and discharges gas from the inside of the firing furnace through the opening by discharging gas from one end of the exhaust pipe. The size of the opening increases from one end where the gas is exhausted to the other end, or the exhaust pipe becomes narrower from the one end where the gas is exhausted to the other end. A firing furnace for a plasma display panel, comprising: 前記開口部が円形、楕円形又は矩形であることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネルの焼成炉。 The firing furnace for a plasma display panel according to claim 1, wherein the opening is circular, elliptical, or rectangular. 前記基板を搬送する搬送手段と、前記基板の移動方向に沿って配置されその内部を前記基板が順次通過する複数の炉室と、前記基板を加熱する加熱手段と、を有し、前記給気配管及び前記排気配管は前記炉室内において前記基板の移動方向に直交する方向又は前記基板の移動方向と同じ方向に張架されていることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネルの焼成炉。 Transport means for transporting the substrate, a plurality of furnace chambers arranged along the moving direction of the substrate and through which the substrate sequentially passes, and heating means for heating the substrate, 12. The method according to claim 1, wherein the pipe and the exhaust pipe are stretched in the furnace chamber in a direction orthogonal to a moving direction of the substrate or in a same direction as the moving direction of the substrate. 13. A firing furnace for the plasma display panel described in the above. 第１の基板上に透明導電材料からなるペースト層を形成し、このペースト層を焼成して透明電極を形成する工程と、この透明電極を覆うように透明誘電体材料からなるペースト層を形成し、このペースト層を焼成して透明誘電体層を形成する工程と、第２の基板上に電極を形成する工程と、この電極を覆うように誘電体材料からなるペースト層を形成し、このペースト層を焼成して誘電体層を形成する工程と、この誘電体層上に隔壁材料からなるペースト層を形成し、このペースト層を焼成して隔壁を形成する工程と、前記誘電体層上及び前期隔壁の側面のうちの少なくとも一方に蛍光体材料からなるペースト層を形成し、このペースト層を焼成して蛍光体層を形成する工程と、を有し、前記透明電極を形成する工程、前記透明誘電体層を形成する工程、前記誘電体層を形成する工程、前記隔壁を形成する工程、及び前記蛍光体層を形成する工程のうち、少なくとも一の工程において、前記ペースト層の焼成を請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の焼成炉内において行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。 Forming a paste layer made of a transparent conductive material on the first substrate, baking the paste layer to form a transparent electrode, and forming a paste layer made of a transparent dielectric material so as to cover the transparent electrode. Baking the paste layer to form a transparent dielectric layer; forming an electrode on the second substrate; forming a paste layer made of a dielectric material so as to cover the electrode; Baking the layer to form a dielectric layer, forming a paste layer made of a partition material on the dielectric layer, and baking the paste layer to form a partition, Forming a paste layer made of a phosphor material on at least one of the side surfaces of the partition wall, and firing the paste layer to form a phosphor layer, the step of forming the transparent electrode, Form transparent dielectric layer And baking the paste layer in at least one of the step of forming, the step of forming the dielectric layer, the step of forming the barrier ribs, and the step of forming the phosphor layer. A method for manufacturing a plasma display panel, wherein the method is performed in the firing furnace according to claim 1.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008311250A (en) * 2007-06-12 2008-12-25 Tokyo Electron Ltd Reflow system and reflow method
JP2011066318A (en) * 2009-09-18 2011-03-31 Tokyo Electron Ltd Heat processing apparatus
JP2015506412A (en) * 2011-12-21 2015-03-02 ティッセンクルップ スチール ヨーロッパ アクチェンゲゼルシャフトＴｈｙｓｓｅｎＫｒｕｐｐ Ｓｔｅｅｌ Ｅｕｒｏｐｅ ＡＧ Nozzle device for furnace for heat treatment of steel plate material and furnace equipped with such nozzle device

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008311250A (en) * 2007-06-12 2008-12-25 Tokyo Electron Ltd Reflow system and reflow method
JP2011066318A (en) * 2009-09-18 2011-03-31 Tokyo Electron Ltd Heat processing apparatus
CN102024678A (en) * 2009-09-18 2011-04-20 东京毅力科创株式会社 Heat Treatment Apparatus
JP2015506412A (en) * 2011-12-21 2015-03-02 ティッセンクルップ スチール ヨーロッパ アクチェンゲゼルシャフトＴｈｙｓｓｅｎＫｒｕｐｐ Ｓｔｅｅｌ Ｅｕｒｏｐｅ ＡＧ Nozzle device for furnace for heat treatment of steel plate material and furnace equipped with such nozzle device

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