JP2004206427A - 減圧機構および該減圧機構を有する流体圧力調整装置 - Google Patents

減圧機構および該減圧機構を有する流体圧力調整装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2004206427A
JP2004206427A JP2002374894A JP2002374894A JP2004206427A JP 2004206427 A JP2004206427 A JP 2004206427A JP 2002374894 A JP2002374894 A JP 2002374894A JP 2002374894 A JP2002374894 A JP 2002374894A JP 2004206427 A JP2004206427 A JP 2004206427A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
fluid
diaphragm
reducing mechanism
passage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2002374894A
Other languages
English (en)
Inventor
Toru Inohara
徹 猪原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SMC Corp
Original Assignee
SMC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SMC Corp filed Critical SMC Corp
Priority to JP2002374894A priority Critical patent/JP2004206427A/ja
Publication of JP2004206427A publication Critical patent/JP2004206427A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Control Of Fluid Pressure (AREA)

Abstract

【課題】圧力流体の調圧動作を安定して遂行することができるとともに、耐久性が高く、しかも、汎用性に優れる減圧機構および該減圧機構を有する流体圧力調整装置を提供することを目的とする。
【解決手段】減圧機構106は、第2ボディ部122の内部に収容されるとともにその一端側が係着されたばね部材146と、ばね部材146の他端側およびダイヤフラム150に係着された排気弁156と、第1ボディ部120とダイヤフラム150とによって形成されるとともに圧力流体が導入される室130と、第1ボディ部120に形成されて室130と外部とを連通する排気通路138とを有する。前記減圧機構106は、第1ボディ部120および第2ボディ部122の所定部位にねじ孔160が形成されて、ボルト等によってねじ孔160を介して第2ブロック体20bの側部に着脱自在に取り付けられる。
【選択図】図2

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧力流体を減圧する減圧機構および該減圧機構を有する流体圧力調整装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、流体圧作動機器の用途、種類に対応して高い流体圧力(正圧)が必要とされる場合があり、流体圧力供給源から供給された高い流体圧力(正圧)を所定の流体圧力に減圧して流体圧作動機器側に導出する流体圧力調整装置が提案されている。
【0003】
本出願人も、特許文献1に示すような流体圧力調整装置を既に提案している。この本出願人の提案に係る流体圧力調整装置は、供給ポートから供給された圧力流体の圧力を所定の圧力に減圧する減圧機構を本体内部に組み込んでいる。すなわち、この流体圧力調整装置によれば、供給ポートに高い圧力流体(正圧)が供給された場合であっても、前記減圧機構によって圧力流体の圧力が減圧されるため、パイロット圧を制御する給気用電磁弁および排気用電磁弁には、通常の圧力からなる圧力流体を導入することができる。従って、給気用電磁弁および排気用電磁弁として、高圧用の特別仕様の電磁弁を用いる必要がなく、通常の電磁弁を使用することができるという利点がある。
【0004】
【特許文献1】
特開2002−062938号公報([特許請求の範囲]、[図1])
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、特許文献1に関連してなされたものであり、圧力流体の調圧動作を安定して遂行することができるとともに、耐久性が高く、しかも、汎用性に優れる減圧機構および該減圧機構を有する流体圧力調整装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、ボディと、
前記ボディに形成される室の内部に装着されたダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムの一面側を押圧するばね部材と、
前記ばね部材の押圧力を調整する調圧部材と、
前記ダイヤフラムの他面側に設けられて該ダイヤフラムの変位作用下に排気通路を開閉する弁体と、
を有し、前記ダイヤフラムの他面側の室に連通して入力通路と出力通路とが形成され、前記入力通路への流体圧力が前記ばね部材の設定押圧力よりも大なるとき、前記ダイヤフラムにより前記弁体を変位させて前記排気通路を開成することを特徴とする(請求項1記載の発明)。
【0007】
本発明によれば、例えば、ピストン等の摺動部品が不要となるので、減圧機構の動作を安定させることができるとともに、その耐久性を向上させることができる。
【0008】
また、本発明は、流体圧力供給源に接続される供給ポートと、流体圧作動機器に接続される調圧ポートとを有するハウジングと、制御機構によって制御されたパイロット圧の作用下に、前記ハウジングの内部に変位自在に設けられ、着座部に着座することにより、前記供給ポートと前記調圧ポートとの連通を遮断する弁体とを有し、前記流体圧力供給源から供給された圧力流体を減圧調整して前記流体圧作動機器に供給する流体圧力調整装置において、
前記ハウジングに着脱自在に減圧機構を装着し、前記ハウジングは前記減圧機構に圧力流体を導入する入力通路と、該減圧機構により減圧された圧力流体を前記制御機構に導出する出力通路とを有し、
前記減圧機構は、ボディと、
前記ボディに形成される室の内部に装着されたダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムの一面側を押圧するばね部材と、
前記ばね部材の押圧力を調整する調圧部材と、
前記ダイヤフラムの他面側に設けられて該ダイヤフラムの変位作用下に排気通路を開閉する弁体と、
を有し、前記ダイヤフラムの他面側の室に連通して入力通路と出力通路とが形成され、前記入力通路への流体圧力が前記ばね部材の設定押圧力よりも大なるとき、前記ダイヤフラムにより前記弁体を変位させて前記排気通路を開成することを特徴とする(請求項2記載の発明)。
【0009】
本発明によれば、減圧機構をハウジングに対して別体に構成するので、前記減圧機構を前記ハウジングのサイズに影響されることなく任意のサイズに設定することができる。例えば、減圧機構を構成するダイヤフラムの面積を大きくした場合、供給圧力の変動の影響を受けにくい安定した圧力を制御機構に対して導出することができる。結果として、供給された高い流体圧力を所定の流体圧力に安定して減圧することが可能となる。
【0010】
また、本発明は、前記減圧機構を前記ハウジングに対して着脱自在に構成するので、例えば、前記減圧機構に代えて、前記制御機構の圧力に対応した圧力流体を導出する流体圧力供給源を前記制御機構に直接接続することも可能である。すなわち、流体圧力調整装置の構成を様々な形態に構築することができ、従って、流体圧力調整装置の汎用性を向上させることが可能となる。
【0011】
【発明の実施の形態】
本発明に係る減圧機構についてそれを組み込む流体圧力調整装置との関係で好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【0012】
図1において、参照数字10は、本発明の実施の形態に係る流体圧力調整装置を示す。
【0013】
この流体圧力調整装置10は、基本的には、略直方体形状を呈するボディ部12と、前記ボディ部12の上部に一体的に連結されるボンネット14とから構成される。前記ボンネット14の上部には、リード線16を介して、図示しない上位シーケンサ等の制御機器に接続されるコネクタ18が設けられる。前記上位シーケンサは、流体圧力調整装置10に対して動作用の電力を供給するとともに、開始信号、設定圧力等の制御信号を送信する。なお、前記ボディ部12およびボンネット14は、ハウジングとして機能するものである。
【0014】
ボディ部12は、例えば、アルミニウム等の金属製材料からなり、一体的に積層された第1ブロック体20aおよび第2ブロック体20bを有する。
【0015】
第1ブロック体20aの中央両端部には、流体圧力供給源22に接続されて一次側圧力が導入される供給ポート24と高い流体圧力を必要とする流体圧作動機器26に接続されて前記流体圧作動機器26に対して二次側圧力が導出される調圧ポート28とが所定間隔離間して同軸状に形成されている。供給ポート24と調圧ポート28との間には、該供給ポート24と調圧ポート28とを連通させる連通路30が形成される。
【0016】
前記第1ブロック体20aの底面部には、孔部40が形成され、該孔部40には該孔部40を閉塞する閉塞部材42が螺入される。前記閉塞部材42の中央上部には、供給用弁体44(弁体)を収容する凹部46が形成されている。該凹部46の内周面の略中央部には、前記供給用弁体44の摺動部位を気密に保持するOリング47が装着されるとともに、前記凹部46の底部には、圧縮コイルスプリングからなるばね部材48の一端部が着座する。
【0017】
前記供給用弁体44には、該凹部46を形成する内周面と摺設する摺設部50が形成される。摺設部50の内側には、前記ばね部材48の上端部を保持する保持溝52が形成される。また、供給用弁体44の中央部には、図1において上方向に突出するステム56が配設され、このステム56には細孔54が形成されている。
【0018】
供給用弁体44の上面側には、ゴム等の弾性材料からなり前記第1ブロック体20aに形成された着座部58に着座するシール部材60が装着されている。
【0019】
第1ブロック体20aの上部に形成された室70には、ピストン72が摺動自在に収容される。ピストン72は、図1から諒解されるように、上部側72aと、上部側72aよりも小さい直径を有する下部側72bとから構成される。すなわち、ピストン72は、圧力を受ける面積(受圧面積)が上部側72aと下部側72bとで異なる。前記ピストン72の下部中央部分には軸方向に指向して開口部74が形成される。前記開口部74の直径は、前記ステム56の直径よりも小さく設定され、且つ下端部は若干拡径してステム56の先端部が臨む。従って、ステム56が開口部74に臨入した場合、前記開口部74は、該ステム56の球状の先端部によって閉塞される。
【0020】
前記開口部74の奥端側は、略等間隔に配設された複数の連通路76に連通し、該連通路76は室70の図において上方に設けられた室78と連通している。さらに、前記室78は図示しない排気ポートと連通して大気開放されている。
【0021】
一方、ピストン72によって区分される室70の下部は、調圧ポート28に連通している。なお、図1中、参照符号80はピストン72の側周面に圧接してシールするOリングを示す。
【0022】
以上の構成から前記供給用弁体44は、ばね部材48のばね力の作用下に着座部58に着座して供給ポート24と調圧ポート28との連通が遮断された弁閉状態となるように、常時、付勢されていることが容易に諒解されよう。一方、ピストン72がばね部材48のばね力およびピストン72の下面に作用する二次側圧力による押圧力に抗して供給用弁体44を図において下方側に押圧することにより、シール部材60が着座部58から離間し、供給ポート24と調圧ポート28とが連通路30を介して連通する弁開状態となる。
【0023】
第1ブロック体20aと第2ブロック体20bとの間には、これらによって外周縁部が挟持されたダイヤフラム82が介装される。前記ダイヤフラム82の上方には、該ダイヤフラム82と第2ブロック体20bの下部に形成された凹部とによってパイロット室86が形成される。なお、前記ダイヤフラム82の中央部は、ディスク部材88とピストン72の上面によって挟持されている。
【0024】
従って、パイロット室86に供給される圧力流体の作用下に、ダイヤフラム82、ディスク部材88およびピストン72が上下方向に沿って一体的に変位する。
【0025】
第2ブロック体20bの前記パイロット室86の反対側には室84が形成され、この室84に配設された固定板90には圧力センサ94が配設される。前記圧力センサ94の入力側は、第1ブロック体20aおよび第2ブロック体20bに形成されたフィードバック通路92を介して調圧ポート28に連通する。前記圧力センサ94は、流体圧作動機器26側に供給される圧力流体の圧力信号を検出し、この圧力信号は、ボンネット14の内部に配設された制御部96に導出される。前記制御部96は、前記上位シーケンサから受信した設定圧力と、前記圧力センサ94によって検出された流体圧力とを比較し、その偏差0となるようにフィードバック制御を行う。なお、前記圧力センサ94として、高圧対応の半導体圧力センサ等を採用すると好適である。
【0026】
そこで、第2ブロック体20bには、第1ブロック体20aを介して供給ポート24に連通する第1連通路100と、後述する給気用電磁弁102に連通する第2連通路104とが設けられ、しかも、前記第2ブロック体20bには後述する減圧機構106が外付けされる。前記第1連通路100および第2連通路104は、前記減圧機構106の後述する入口側と出口側の通路とに連通接続される。
【0027】
ボンネット14の内部には、第2ブロック体20bに連結される樹脂製の連結プレート110を介して前記給気用電磁弁102と前記排気用電磁弁112とが所定間隔離間して配設されている。給気用電磁弁102は、パイロット室86に供給されるパイロット圧を制御する給気弁として機能し、一方、排気用電磁弁112は、前記給気用電磁弁102に供給された圧力流体を外部に排気する排気弁として機能する。なお、制御機構として機能する前記給気用電磁弁102および排気用電磁弁112は、図示しない電磁コイルに対して電流を供給・遮断してオン/オフ制御する。
【0028】
すなわち、前記制御部96から出力される制御信号によって給気用電磁弁102および排気用電磁弁112が付勢・滅勢されることにより、第3連通路114を介してパイロット室86に供給されるパイロット圧が制御される。
【0029】
ここで、減圧機構106の構成について説明する。減圧機構106は、図2に示すように、一体的に連結された第1ボディ部120と第2ボディ部122とを有する。第1ボディ部120には、図3に示すように、第1連通路100と接続される入力ポート124が形成される。入力ポート124の内周部には、前記第2ブロック体20bと第1ボディ部120との取付部位を気密に保持するOリング125が装着される。前記入力ポート124の下流側には、固定絞り部126、入力通路128が順々に形成され、入力通路128は第1ボディ部120に形成された室130に連通する。
【0030】
また、第1ボディ部120には、図3に示すように、第2連通路104と接続される出力ポート134が形成される。出力ポート134の内周部には、前記第2ブロック体20bと第1ボディ部120との取付部位を気密に保持するOリング135が装着される。前記出力ポート134は、出力通路136を介して前記室130に連通する。なお、前記第1ボディ部120には、前記室130と外部とを連通する排気通路138が形成され、この排気通路138の室130側の周縁部には、周囲よりわずかに盛り上がった着座部139が形成される。
【0031】
第2ボディ部122には、室140が該室130と同軸に設けられる。前記室140の図2において左方向端部はねじ孔142として加工され、該ねじ孔142には調圧ねじ144(調圧部材)が螺入する。調圧ねじ144の右端側には、ばね部材146の一端側を保持する第1段部148が形成される。
【0032】
第1ボディ部120と第2ボディ部122との間には、これらによって外周縁部が挟持されたダイヤフラム150が介装される。ダイヤフラム150の中央部は、一組の保持部材152a、152bによって挟持される。前記保持部材152aの周縁部には、前記第1段部148に対応してフランジ状の第2段部154が形成され、前記第2段部154は、前記ばね部材146の他端部を保持する。一方、前記保持部材152bの図2において右方向端部には、前記着座部139に着座する排気弁156(弁体)が固着される。
【0033】
前記第1ボディ部120および第2ボディ部122の所定部位には、ねじ孔160が形成される。すなわち、減圧機構106は、ボルト等によってねじ孔160を介して第2ブロック体20bの側部に着脱自在に取り付けられる。
【0034】
本発明の実施の形態に係る減圧機構106およびそれを組み込む流体圧力調整装置10は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【0035】
まず、チューブ等を介して供給ポート24に流体圧力供給源22を接続し、一方、調圧ポート28に、高い流体圧力が必要とされる流体圧作動機器26を接続する。さらに、図3に示すように、減圧機構106の入力ポート124と第1連通路100とを接続するとともに、減圧機構106の出力ポート134と第2連通路104とを接続する。また、調圧ねじ144を調整してばね部材146の押圧力を所定の値に設定する。
【0036】
ここで、図1に示すように、供給用弁体44が着座部58に着座して弁閉状態となっている状態を初期位置として、以下説明する。
【0037】
本実施の形態では、流体圧力供給源22から供給ポート24に、例えば、2.0〜3.0MPaの流体圧力を有するアシストガスが供給されるように設定されている。なお、アシストガスとしては、例えば、酸素、窒素ガス、エアー等が用いられる。
【0038】
図1に示されるような初期位置において、流体圧力供給源22の付勢作用下に高圧の圧力流体を供給ポート24に供給する。前記供給ポート24に供給された高圧流体は、第1連通路100を介して減圧機構106の入力ポート124に導入され、次いで、固定絞り部126、入力通路128を介して室130に流入する。前記室130の圧力は、ダイヤフラム150に作用し、ばね部材146のばね力と対抗する。室130の圧力が上昇しすぎると、ダイヤフラム150が図2において左方向に移動し、それに伴って排気弁156が着座部139から離間して弁開状態となり、排気通路138から外部に排気される。
【0039】
すなわち、第1連通路100を介して減圧機構106に導入された2.0〜3.0MPaの高圧流体は、ばね部材146のばね力と均衡するまで減圧される。前記ばね部材146のばね力と圧力流体の圧力とが均衡すると、排気弁156が弁閉状態となり、第1連通路100が閉塞され、最終的に、例えば、0.8MPaの圧力に減圧される。
【0040】
減圧された圧力流体は、出力通路136、出力ポート134、第2連通路104を介して給気用電磁弁102に導入され、前記制御部96から出力される制御信号(オン/オフ信号)によって給気用電磁弁102および/または排気用電磁弁112をそれぞれオン/オフ制御することにより、パイロット圧が所定の圧力に制御される。
【0041】
前記給気用電磁弁102および/または排気用電磁弁112によって制御されたパイロット圧は、第3連通路114を介してダイヤフラム82の上部側に設けられたパイロット室86に供給される。前記パイロット圧の作用下に、ダイヤフラム82、ディスク部材88およびピストン72が一体的に下降する。ピストン72の下降に伴ってステム56は、供給用弁体44を下方に押圧する。従って、供給用弁体44は、ばね部材48のばね力およびピストン72の下面に作用する二次側圧力による押圧力に抗して下方側に向かって変位し、結果として、シール部材60が着座部58から離間することにより弁開状態となる(図4参照)。
【0042】
従って、供給ポート24に供給された圧力流体は、供給用弁体44のシール部材60と着座部58との間に形成されたクリアランスを介して所定の圧力流体に減圧された後、調圧ポート28から流体圧作動機器26側に圧力流体が供給される。
【0043】
ところで、ピストン72の上部側72aと下部側72bとで受圧面積が異なるのは前述したとおりであるが、この場合、二次側圧力とピストン72の下部側72bの受圧面積とによって作用する力(二次側圧力による押圧力)が、パイロット室86の圧力とピストン72の上部側72aの受圧面積とによって作用する力(パイロット圧による押圧力)を上回った場合、二次側圧力による押圧力作用下にダイヤフラム82、ディスク部材88およびピストン72が一体的に上昇する。この場合、ステム56を含む供給用弁体44は、ピストン72とは別体で構成されているので、それらの上昇動作に追随しない。さらに、供給用弁体44は、ばね部材48によって軸方向に押圧され、シール部材60が着座部58と当接するため、供給用弁体44のそれ以上の軸方向への移動が規制される。すなわち、ステム56の球状の先端部とピストン72の開口部74との閉塞状態が解除され、従って、調圧ポート28側の圧力流体は、ピストン72によって区分される室70の下部、開口部74、連通路76および室78を介して、最終的には図示しない排気ポートから外部に排気される。
【0044】
このように、パイロット室86に供給される圧力流体の圧力によってダイヤフラム82およびピストン72を上下方向に沿って変位させることにより、供給用弁体44の開閉作用によって減圧効果が営まれる。
【0045】
すなわち、パイロット室86に導入されたパイロット圧の作用下に、ダイヤフラム82、ディスク部材88およびピストン72には一体的に下方側に向かって押圧する力が付与され、この力と、ばね部材48のばね力およびピストン72の下面に作用する二次側圧力による押圧力が平衡することにより、供給用弁体44が着座部58に着座して弁閉状態となり、予め設定された所望の流体圧力が調圧ポート28を介して流体圧作動機器26に供給される。
【0046】
以上説明したように、本実施の形態の減圧機構106はピストン等の摺動部材を含まないので、その動作が安定するとともに耐久性が向上する。
【0047】
さらに、前記減圧機構106をボディ部12に対して別体構成で取着しているので、減圧機構106のサイズをボディ部12のサイズに拘わらずに任意に設定することができる。例えば、減圧機構を構成するダイヤフラム150の面積を大きくした場合、供給圧力の変動の影響を受けない安定した導出圧力を給気用電磁弁102および排気用電磁弁112に対して導出することができる。
【0048】
もちろん、本実施の形態の減圧機構106を組み込んだ流体圧力調整装置10は、供給ポート24に高い圧力流体(正圧)が供給された場合であっても、減圧機構106によって圧力流体の圧力が減圧されるため、パイロット圧を制御する給気用電磁弁102および排気用電磁弁112には、通常の圧力からなる圧力流体を導入することができる。従って、給気用電磁弁102および排気用電磁弁112として、高圧用の特別仕様の電磁弁を用いる必要がなく、通常の電磁弁を使用することができ、しかも、大きな設計変更等を行うことなく既存の構造のものをそのまま利用することができるという利点がある。
【0049】
図5は、他の実施の形態に係る流体圧力調整装置10aの軸線方向に沿った縦断面図である。図1に示す流体圧力調整装置10が給気用電磁弁102および排気用電磁弁112に供給する圧力流体を、供給ポート24に供給された2.0〜3.0MPaの高圧流体を減圧機構106によって、例えば、0.8MPaに減圧された圧力流体としているのに対して、図5に示す流体圧力調整装置10aは、減圧機構106を用いずに、給気用電磁弁102および排気用電磁弁112に供給する圧力流体を供給ポート24に接続された流体圧力供給源22とは別異の流体圧力供給源から直接供給する点で異なる。なお、図1に示す流体圧力調整装置10と同一の構成要素には同一の参照符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【0050】
具体的には、図5に示すように、給気用電磁弁102に連通する第2連通路104には、管路170を介して流体圧力供給源172が接続される。この場合、前記流体圧力供給源172は、給気用電磁弁102および排気用電磁弁112の耐圧に対応した、例えば、0.8MPaの圧力流体を出力する。また、減圧機構106を取り外したことにより開放状態となっている第1連通路100の第2ブロック体20bにおける開口部分を閉塞部材174で閉塞する。
【0051】
なお、この流体圧力調整装置10aの動作は、前述したように、給気用電磁弁102および排気用電磁弁112に供給する圧力流体を減圧機構106を用いて減圧したものを用いるのではなく、流体圧力供給源172から直接供給する点で異なるのみであって、それ以外の動作は、前述した図1に示す流体圧力調整装置10と同様であるため、その説明は省略する。
【0052】
すなわち、本実施の形態の減圧機構106は、ボディ部12に対して着脱自在に装着されるので、装置の構成を様々な形態に構築することができ、従って、装置の汎用性を向上させることが可能となる。
【0053】
【発明の効果】
本発明に係る減圧機構および該減圧機構を有する流体圧力調整装置によれば、以下の効果が得られる。
【0054】
すなわち、前記減圧機構は、ピストン等の摺動部材を含まないので動作が安定するとともに耐久性も向上する。
【0055】
また、前記減圧機構をハウジングに対して着脱自在に構成するので、減圧機構のサイズをハウジングのサイズに拘わらずに任意に設定することができる。例えば、減圧機構を構成するダイヤフラムの面積を大きくした場合、供給圧力の変動の影響を受けない安定した導出圧力を制御機構に対して導出することができる。
【0056】
さらに、本発明は、前記減圧機構に代えて、前記制御機構に所定の圧力の圧力流体を導出する第2流体圧力供給源を備えることもできる等、流体圧力調整装置の構成を様々な形態に構築することができ、従って、流体圧力調整装置の汎用性を向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る減圧機構およびそれを組み込む流体圧力調整装置の軸線方向に沿った縦断面図である。
【図2】図1に示す減圧機構の拡大縦断面図である。
【図3】図2に示す減圧機構の正面図である。
【図4】供給用弁体が図1に示す弁閉状態から弁開状態に変化した動作説明図である。
【図5】本発明の他の実施の形態に係る流体圧力調整装置の軸線方向に沿った縦断面図である。
【符号の説明】
10、10a…流体圧力調整装置 12…ボディ部
14…ボンネット 20a…第1ブロック体
20b…第2ブロック体 22、172…流体圧力供給源
24…供給ポート 26…流体圧作動機器
28…調圧ポート 42、174…閉塞部材
44…供給用弁体 48、146…ばね部材
56…ステム 72…ピストン
82、150…ダイヤフラム 86…パイロット室
94…圧力センサ 100…第1連通路
102…給気用電磁弁 104…第2連通路
106…減圧機構 112…排気用電磁弁
120…第1ボディ部 122…第2ボディ部
124…入力ポート 134…出力ポート
138…排気通路 156…排気弁

Claims (2)

  1. ボディと、
    前記ボディに形成される室の内部に装着されたダイヤフラムと、
    前記ダイヤフラムの一面側を押圧するばね部材と、
    前記ばね部材の押圧力を調整する調圧部材と、
    前記ダイヤフラムの他面側に設けられて該ダイヤフラムの変位作用下に排気通路を開閉する弁体と、
    を有し、前記ダイヤフラムの他面側の室に連通して入力通路と出力通路とが形成され、前記入力通路への流体圧力が前記ばね部材の設定押圧力よりも大なるとき、前記ダイヤフラムにより前記弁体を変位させて前記排気通路を開成することを特徴とする減圧機構。
  2. 流体圧力供給源に接続される供給ポートと、流体圧作動機器に接続される調圧ポートとを有するハウジングと、制御機構によって制御されたパイロット圧の作用下に、前記ハウジングの内部に変位自在に設けられ、着座部に着座することにより、前記供給ポートと前記調圧ポートとの連通を遮断する弁体とを有し、前記流体圧力供給源から供給された圧力流体を減圧調整して前記流体圧作動機器に供給する流体圧力調整装置において、
    前記ハウジングに着脱自在に減圧機構を装着し、前記ハウジングは前記減圧機構に圧力流体を導入する入力通路と、該減圧機構により減圧された圧力流体を前記制御機構に導出する出力通路とを有し、
    前記減圧機構は、ボディと、
    前記ボディに形成される室の内部に装着されたダイヤフラムと、
    前記ダイヤフラムの一面側を押圧するばね部材と、
    前記ばね部材の押圧力を調整する調圧部材と、
    前記ダイヤフラムの他面側に設けられて該ダイヤフラムの変位作用下に排気通路を開閉する弁体と、
    を有し、前記ダイヤフラムの他面側の室に連通して入力通路と出力通路とが形成され、前記入力通路への流体圧力が前記ばね部材の設定押圧力よりも大なるとき、前記ダイヤフラムにより前記弁体を変位させて前記排気通路を開成することを特徴とする減圧機構を有する流体圧力調整装置。
JP2002374894A 2002-12-25 2002-12-25 減圧機構および該減圧機構を有する流体圧力調整装置 Pending JP2004206427A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002374894A JP2004206427A (ja) 2002-12-25 2002-12-25 減圧機構および該減圧機構を有する流体圧力調整装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002374894A JP2004206427A (ja) 2002-12-25 2002-12-25 減圧機構および該減圧機構を有する流体圧力調整装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2004206427A true JP2004206427A (ja) 2004-07-22

Family

ID=32812778

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002374894A Pending JP2004206427A (ja) 2002-12-25 2002-12-25 減圧機構および該減圧機構を有する流体圧力調整装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2004206427A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3634733B2 (ja) 流体圧力調整装置
US7090190B2 (en) Flow control valve
US6386509B1 (en) Back pressure control valve
US6371156B1 (en) No-bleed pilot for pressure regulating valve
KR101496350B1 (ko) 고압유체 제어장치
JPH10268943A (ja) 減圧弁
JP4102329B2 (ja) 正圧及び負圧を送り出す能力を備えた比例型圧力調整器
GB2464283A (en) Fluid pressure regulator
JP3561593B2 (ja) 切換弁用圧力調節弁
US8220774B2 (en) Proportional pilot acting valve
US8109270B2 (en) Dispensing valve for breathing gas
EP2616723B1 (en) Volume booster with variable asymmetry
KR102304548B1 (ko) 밸브장치 및 그 제어장치를 사용한 제어방법, 유체 제어장치 및 반도체 제조장치
JP2004206427A (ja) 減圧機構および該減圧機構を有する流体圧力調整装置
JP2002243059A (ja) 流体圧力調整装置
JP2659152B2 (ja) 圧力制御弁
US8622072B2 (en) Apparatus to control fluid flow
US7007713B2 (en) Pressure control apparatus
JP2005042819A (ja) 電磁比例圧力制御弁
CN216842513U (zh) 气动切换阀、阀装置和呼吸***
JP2002062938A (ja) 流体圧力調整装置
JPH1096404A (ja) 切換弁用圧力調節弁
JP2002364770A (ja) 流体制御弁
JP2003122437A (ja) 流体圧力調整装置
JP2710705B2 (ja) 圧力制御弁及びその圧力制御方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Effective date: 20040914

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070703

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070903

A02 Decision of refusal

Effective date: 20080226

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02