JP2004205427A - Analysis apparatus and analysis condition setting method - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、試料の観察や分析を行う分析装置、および分析条件設定方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
医用分析装置、理化学分析装置、電子顕微鏡などによる試料の観察や分析を行う装置では、観察や分析を適切に行うために、分析条件を前もって設定する必要がある。
【0003】
分析条件には、装置の各種設定パラメータがあり、例えば、走査形電子顕微鏡における観察条件を、試料の特性に応じて分析装置が自動的に決定するのではなく、ユーザすなわち操作者の意思で決められる条件と組合わせて、決定する技術が知られている(例えば、特開2001−338603号公報参照)。一方、分析装置を使用するユーザはそれぞれの目的を持っており、その目的によって装置に設定すべき条件は異なってくる。
【0004】
分析装置は高価なため、複数の人が共用して使用することが普通に行われている。そうすると、複数人の複数の目的に対応した条件が登録され、その中から自分の分析にあった条件を選び出すことは非常に困難になってくる。上記技術では、ユーザに応じて分析装置を最適化するという点が配慮されておらず、ユーザにお仕着せの分析条件での測定を強いるという問題点があった。
【0005】
【特許文献1】
特開2001−338603号公報(第3頁、図2)
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、分析装置を使用する際に、ユーザ毎の目的にあった分析条件を選択し設定する作業を容易にすることにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、分析条件の登録はユーザ毎に行う。従来ユーザの正当性を確認するために用いられているユーザ認証作業の結果得られるユーザを特定する情報を使用して、登録された分析条件メニューを表示する際、前記ユーザが予め登録した分析条件メニューのみを表示してその中から当該分析に必要な分析条件を選ばせ、直ちに選んだ条件を分析装置に設定するようにしたものである。
【0008】
更に、前記分析条件はそれを登録した当該ユーザにより自由に変更でき、新たな分析条件として登録することを可能にしたものである。
【0009】
更にまた、ユーザを一般ユーザとシステム管理者に区分して、システム管理者は全てのユーザについて全ての登録内容を保守(登録・修正・削除)する事を可能にしたものである。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を、図面を用いて説明する。
【0011】
図1は、本発明の実施対象の一例である走査形電子顕微鏡の装置構成図である。中央演算処理装置すなわちCPU1は、走査形電子顕微鏡の各種制御回路をコントロールする。電子線23を発生する場合は、CPU1からの制御信号がDA変換器2a,2b,2cを介して高圧発生回路3、フィラメント回路4、バイアス回路5を制御することにより、フィラメント15、ウェーネルト16、アノード17からなる電子銃より電子線23を発生させる。高圧発生回路3にはエミッション電流検出器6が接続され、その情報がCPU1へ帰還されて制御に使用される。
【0012】
上述の電子銃で発生した電子線23は、必ずしも電子レンズ系の中心を通過するとは限らないので、電子レンズで補正を行う。CPU1からの補正情報がDA変換器2dを介してガンアライメントコイル制御回路7へ送られ、ガンアライメントコイル18及びガンアライメントコイル19を制御する。
【0013】
次に電子線23は収束レンズ20,21で細く絞られる。CPU1からの補正情報がDA変換器2eを介して収束レンズ制御回路8によって制御される。
【0014】
収束された電子線23は、対物可動絞り9を通過してその電子線スポットの大きさが決められ、偏向コイル22の作用によってステージ25上の試料24が走査される。CPU1からの走査信号がDA変換器2fを介して走査速度等を制御する走査発振回路10、電子線を偏向する偏向制御回路11へ送られ、偏向コイル22を制御する。
【0015】
試料24上を電子線23が走査することによって、試料24から二次電子や反射電子等の試料24の情報信号が発生する。本実施例では二次電子26の場合を説明するが、反射電子の場合も情報信号の内容が異なるだけで、二次電子の場合と類似の構成でよい。
【0016】
試料24の情報信号は、二次電子検出器14により検出され、表示回路13での増幅等の信号処理を経てCRT12に表示される。CRT12にはCPU1から表示回路13へ送られる分析条件などの走査形電子顕微鏡のオペレーション情報も表示される。CRT12には分析条件指示などの入力機能も備えている。
【0017】
CPU1にはパーソナルコンピュータすなわちPC28が接続され、走査形電子顕微鏡の操作部および取得したデータの記憶部としての機能を有する。
【0018】
以上は、走査形電子顕微鏡の一般的な構成であるが、本実施例ではさらに、ユーザ認証部27がCPU1に接続されている。ユーザ認証部27は、指紋、USBトークン、ICカード等によって走査形電子顕微鏡を使用するユーザの妥当性を認証する装置である。なお、ユーザ認証部27はPC28の一部あるいはソフトウェアとして構成されることもある。この場合はユーザ認証のときの指示入力あるいは画面表示はCRT12ではなく、PC28で行うことができる。
【0019】
走査形電子顕微鏡における分析条件の一例である加速電圧の場合は、高圧発生回路3、フィラメント回路4、バイアス回路5、エミッション電流検出器6等を調整することで試料に合った妥当な値が決定される。
【0020】
図2はユーザ認証部27で実行されるユーザ認証機能を示す機能ブロック図である。図1に示したユーザ認証部27では、入力されたユーザID等のユーザ認証情報とユーザ情報記憶部105に登録された情報とが照合部101で照合され、両情報が一致することによってユーザの使用が許諾される。
【0021】
ユーザが入力するユーザ認証情報としては、1)ユーザIDとパスワード、2)手指・指紋認証、3)瞳虹彩認証、4)USBトークン、5)ICカードやその組み合わせなど、種々の方法があり、任意に選択可能である。
【0022】
ユーザ毎に異なる分析条件が分析条件記録部104に記録されている。分析条件読出設定部102で認証が有効と判定されたユーザに対応した分析条件メニューを分析条件記録部104から取出し、分析条件表示処理部103によりその分析条件メニューをCRT12に表示させる。
【0023】
ユーザは表示された分析条件メニューを見て、ユーザがこれから実施する分析に合致する分析条件を選択し、分析条件設定部106で設定する。設定された分析条件がセットされ、CRT12にその分析条件が表示され、ユーザは直ちに分析業務に移ることが出来る。以上の手順を以下に詳しく説明する。
【0024】
図3はユーザ認証処理手順を表したフローチャートである。図1に示したユーザ認証部27の電源を入れて装置を立ち上げ、ユーザ認証処理手順を開始させ(ステップ301)、ユーザIDが図2に示した照合部101で有効か無効かを判定する(ステップ302)。無効の判定の場合はCRT12にその旨の表示や警報を出力し(ステップ303)、手順が終了する。
【0025】
ユーザIDが有効の場合は、図2に示した分析条件記録部104から当該IDの分析条件メニューを呼び出す(ステップ304)。呼び出した分析条件が複数個かどうかを判定し(ステップ305)、複数個の場合はその分析条件メニューをCRT12に表示させる(ステップ306)。
【0026】
ユーザはCRT12に表示された分析条件メニューの中からこれからの分析に合致する分析条件に対応した概要メニューを選択し(ステップ307)、その分析条件の項目に変更が必要かどうかを判断する(ステップ308)。分析条件変更が必要な場合は表示される変更内容設定画面で分析条件を変更する(ステップ309)。この変更された分析条件を新しい分析条件として登録するか、登録しないかをユーザは判断し(ステップ310)、登録する場合は新しい名称が付けられて登録される(ステップ311)。一方、当該分析条件をユーザは今回の分析条件として設定し(ステップ312)、分析作業が開始され(ステップ313)、ユーザ認証処理手順が終了する(ステップ314)。
【0027】
上述のステップ305で分析条件が1個の場合は、ステップ306からステップ311の間が省略され、ステップ312でその分析条件を設定する。これにより直ちに分析作業が開始できる。
【0028】
上述のステップ308で選択した分析条件の変更が不要の場合は、ステップ309からステップ311の間が省略され、ステップ312でその分析条件を設定する。上述のステップ310で分析条件を変更したが新しく登録しない場合は、ステップ311が省略され、ステップ312でその分析条件を設定する。
【0029】
一致する分析条件が無い場合には、ステップ307で最も近い分析条件を選択し、ステップ308,309で必要な修正を行い、ステップ310,311で新たな分析条件として名前を付けて登録しておくことにより、次回の分析時に同じ分析を行う場合には、この新たな分析条件が分析条件記録部104に記録されているので、分析条件の選択のみですむことになり簡便である。
【0030】
図4は、分析条件記録部104に記録された分析条件のデータ構成を示す構成図である。ユーザメニュー401の中の予め登録されたユーザ毎に分析条件メニュー402を持ち、例えば、図ではユーザ1について分析条件メニューは分析条件1から分析条件mまで持つことを示している。
【0031】
また、分析条件1について、パラメータメニュー403は、パラメータ1からパラメータnまでの設定値を持つことを示している。図ではユーザ1、分析条件1についてのみ記載されているが、ユーザ2からユーザkや、分析条件2から分析条件mについても同様の構成である。
【0032】
従来の分析条件の設定方法では、時系列的に順番に設定登録していくため、複数のユーザが次々に設定を繰り返すことによって、あるユーザが必要とする分析条件を直ちに選択することが困難であったが、上述のようにユーザ毎に分析条件を分けることにより、容易に最適な分析条件を選択することが可能となる。
【0033】
さらに、ユーザは他のユーザの分析条件を読み出すことができないので、他人に改ざんされることなく、機密保持が保たれるという効果がある。したがって、ひとつの分析装置、例えば高価な走査形電子顕微鏡を複数の企業で使用することも可能になり、装置の使用頻度が高くなり、使用効率の向上が図られるとともに分析費用のコストダウンが図られるという効果もある。
【0034】
図5から図7は、CRTに表示される画面例を示す図である。図5はユーザ認証画面501の例であり、画面501にはユーザID入力ウィンドウ502、パスワード入力ウィンドウ503、ログインボタン504が表示される。
【0035】
CRTに備わったキーボード等からユーザIDとパスワードを入力し、ログインのボタンをクリックする等して、図2に示したユーザ情報記憶部105に予め登録してあるユーザ情報との照合が行われ、一致すればユーザ認証が成功し、当該ユーザは分析装置を使用することが出来る。また、その結果、分析装置はユーザを特定することが出来る。
【0036】
図6は、図4に示した分析条件メニューの表示画面例である。画面601に表示された分析条件メニュー602は、ユーザの目的に合わせて「大分類」「中分類」「小分類」というように階層的に表示される。これらの分類の名称はユーザが任意に設定することができる。
【0037】
また、他のユーザの分析条件メニューは表示されないので、前述したように当該ユーザのみが登録した分析条件だけが表示され、ユーザは容易に必要な分析条件を探し出すことが出来る。
【0038】
図7は、図4に示したパラメータメニューとその設定値の一覧の表示画面例である。画面701に表示されたパラメータメニュー702の上方には、分析条件名称表示部703に分析条件の名称が表示される。ユーザはこの画面で分析条件のパラメータ設定値の妥当性を確認する。
【0039】
妥当であると判断した場合、設定ボタン705をクリック等することにより、表示されたパラメータ設定値の分析条件が設定される。パラメータを変更する場合は、例えば、パラメータメニュー702の該当欄をクリック等してから変更後の値を入力し、設定ボタン705をクリック等する。
【0040】
なお、この変更後の分析条件を、名称を変更せずに上書きして再登録する場合は、設定ボタン705をクリック等する。また、この分析条件を別な分析条件として新たに登録する場合は、分析条件名称を変更後、登録ボタン704をクリック等する。あるいは、登録ボタン704を削除し、登録ボタン704の機能を設定ボタン705に統合させてもよい。
【0041】
図8はシステム管理者による分析条件管理の処理手順のフローチャートである。また、図9はシステム管理者がログインしたときの分析条件管理メニューの表示画面例である。システム管理者は全てのユーザの分析メニューを保守、すなわち、登録、修正、削除することができる。
【0042】
図8において、図3と同様に、図1に示したユーザ認証部27の電源を入れて装置を立ち上げ、管理者メニューを開始させ(ステップ801)、ユーザIDが図2に示した照合部101で有効か無効かを判定する(ステップ802)。ユーザIDが無効の場合はその表示または警報を出力し(ステップ803)、終了する。
【0043】
ユーザIDが有効の場合、システム管理者がログインしたかどうかを判定し(ステップ804)、システム管理者の場合は分析条件管理手順が開始され、全てのユーザの分析条件管理画面をCRT12へ表示する(ステップ805)。システム管理者はその権限で分析条件メニューの前記保守作業を行い(ステップ806)、終了する(ステップ807)。
【0044】
ステップ804でログインしたユーザがシステム管理者でない場合は、図3に示したフローチャートのステップ304へ手順を進行させる(ステップ808)。
【0045】
図9は、図8のステップ805で表示される管理者用の分析条件管理画面901の例を示す図である。管理者用の分析条件管理画面901には、ユーザ1aからkまでのユーザの分析条件メニューが表示され、任意のユーザをクリック等で指示することによって、図4に示した各メニューを表示させることができ、また、登録、修正、削除等の保守作業を行うことができる。
【0046】
以上の実施例は走査形電子顕微鏡を例に説明したが、分析装置としてこれに限定されるものではない。
【0047】
本実施例によれば、分析装置を使用する際に、ユーザ毎に登録した分析条件メニューから目的にあった分析条件のメニューを選択できるので、目的にあった分析条件を選択し設定する作業が容易にできるという効果がある。
【0048】
複数のユーザで装置を共有する場合は各人が登録する分析条件が増えてくると似ているが少しだけ違う条件などが増えてきて、目的にあった分析条件メニューを選択する作業が次第に煩雑になってくる。これに対して本発明ではユーザ毎に分析条件メニューを管理できるため、統一的に整理した形で分析条件メニューを充実させ、ユーザの目的に最適な分析装置を実現することが可能となる効果がある。
【0049】
すなわち高価な分析装置で複数のユーザで共用せざるを得ないにもかかわらず、ユーザにとってはあたかも自分専用機であるかのような使い勝手を実現する効果がある。
【0050】
また、ユーザは自分の分析条件メニューを他のユーザには見せたくないという場合も多いが、本発明によれば特定のユーザに対して当該ユーザが予め登録した分析条件メニューしか表示されないので、ユーザ間で機密保持が図られるという効果がある。
【0051】
【発明の効果】
本発明によれば、分析装置を使用する際に、ユーザ毎に登録した分析条件メニューから目的にあった分析条件のメニューを選択できるので、目的にあった分析条件を選択し設定する作業が容易にできるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】走査形電子顕微鏡の装置構成図。
【図2】ユーザ認証部27で実行されるユーザ認証機能を示す機能ブロック図。
【図3】ユーザ認証処理手順を表したフローチャート。
【図4】分析条件記録部104に記録された分析条件のデータ構成を示す構成図。
【図5】CRTに表示されるユーザ認証画面例を示す図。
【図6】CRTに表示される分析条件メニューの画面例を示す図。
【図7】CRTに表示される図4のパラメータメニューとその設定値の画面例を示す図。
【図8】システム管理者による分析条件管理の処理手順のフローチャート。
【図9】管理者用の分析条件管理画面901の例を示す図。
【符号の説明】
1…CPU、12…CRT、27…ユーザ認証部、28…PC、101…照合部、102…分析条件読出設定部、103…分析条件表示処理部、104…分析条件記録部、105…ユーザ情報記憶部、106…分析条件設定部。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an analyzer for observing and analyzing a sample, and a method for setting analysis conditions.
[0002]
[Prior art]
In a device for observing or analyzing a sample using a medical analyzer, a physicochemical analyzer, an electron microscope, or the like, it is necessary to set analysis conditions in advance in order to perform observation and analysis appropriately.
[0003]
The analysis conditions include various setting parameters of the apparatus.For example, the observation conditions in the scanning electron microscope are not automatically determined by the analyzer according to the characteristics of the sample, but are determined by the user, that is, the operator's intention. There is known a technique for determining a combination with the conditions to be determined (for example, see Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-338603). On the other hand, the user who uses the analyzer has different purposes, and the conditions to be set in the device differ depending on the purpose.
[0004]
Since the analyzer is expensive, it is common practice that a plurality of persons use the analyzer in common. Then, conditions corresponding to a plurality of purposes of a plurality of persons are registered, and it becomes very difficult to select a condition suitable for one's analysis from the registered conditions. The above technique does not consider optimizing the analyzer according to the user, and has a problem in that the user is forced to make measurements under the analysis conditions that he / she wears.
[0005]
[Patent Document 1]
JP 2001-338603 A (
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
An object of the present invention is to facilitate the operation of selecting and setting analysis conditions suitable for each user when using an analyzer.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, analysis conditions are registered for each user. Conventionally, when displaying a registered analysis condition menu using information for specifying a user obtained as a result of a user authentication operation used for confirming the validity of a user, the analysis condition registered by the user in advance Only menus are displayed, analysis conditions necessary for the analysis are selected from the menu, and the selected conditions are immediately set in the analyzer.
[0008]
Further, the analysis condition can be freely changed by the user who has registered the analysis condition, and can be registered as a new analysis condition.
[0009]
Furthermore, users are classified into general users and system administrators, and the system administrator can maintain (register, correct, and delete) all registered contents for all users.
[0010]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0011]
FIG. 1 is an apparatus configuration diagram of a scanning electron microscope which is an example of an embodiment of the present invention. The central processing unit, that is, the
[0012]
Since the
[0013]
Next, the
[0014]
The
[0015]
By scanning the
[0016]
The information signal of the
[0017]
A personal computer, that is, a
[0018]
The above is the general configuration of the scanning electron microscope. In this embodiment, the
[0019]
In the case of the acceleration voltage, which is an example of the analysis conditions in the scanning electron microscope, an appropriate value suitable for the sample is determined by adjusting the high
[0020]
FIG. 2 is a functional block diagram showing a user authentication function executed by the
[0021]
As the user authentication information input by the user, there are various methods such as 1) user ID and password, 2) finger / fingerprint authentication, 3) iris authentication, 4) USB token, 5) IC card and a combination thereof. It can be arbitrarily selected.
[0022]
Different analysis conditions for each user are recorded in the analysis
[0023]
The user looks at the displayed analysis condition menu, selects an analysis condition that matches the analysis to be performed by the user, and sets the analysis condition in the analysis
[0024]
FIG. 3 is a flowchart showing a user authentication processing procedure. The power of the
[0025]
If the user ID is valid, the analysis condition menu of the ID is called from the analysis
[0026]
The user selects, from the analysis condition menu displayed on the
[0027]
If the number of analysis conditions is one in
[0028]
If it is not necessary to change the analysis condition selected in
[0029]
If there is no matching analysis condition, the closest analysis condition is selected in
[0030]
FIG. 4 is a configuration diagram showing a data configuration of the analysis condition recorded in the analysis
[0031]
For the
[0032]
In the conventional analysis condition setting method, since the setting is registered sequentially in time series, it is difficult for a plurality of users to repeat the setting one after another, so that it is difficult to immediately select an analysis condition required by a certain user. However, by dividing the analysis conditions for each user as described above, it is possible to easily select the optimum analysis conditions.
[0033]
Further, since the user cannot read the analysis conditions of another user, there is an effect that confidentiality is maintained without being falsified by another person. Therefore, a single analyzer, for example, an expensive scanning electron microscope can be used by a plurality of companies, and the frequency of use of the device is increased, the use efficiency is improved, and the analysis cost is reduced. There is also the effect that it can be done.
[0034]
FIG. 5 to FIG. 7 are views showing examples of screens displayed on the CRT. FIG. 5 shows an example of the
[0035]
By inputting a user ID and a password from a keyboard or the like provided on the CRT and clicking a log-in button or the like, the user information is collated with user information registered in advance in the user
[0036]
FIG. 6 is an example of a display screen of the analysis condition menu shown in FIG. The
[0037]
Further, since the analysis condition menu of another user is not displayed, only the analysis conditions registered only by the user are displayed as described above, and the user can easily search for necessary analysis conditions.
[0038]
FIG. 7 is a display screen example of a list of parameter menus and their set values shown in FIG. Above the
[0039]
If it is determined to be appropriate, the analysis condition of the displayed parameter setting value is set by clicking the
[0040]
To re-register the changed analysis conditions by overwriting without changing the name, the user clicks a
[0041]
FIG. 8 is a flowchart of the processing procedure of the analysis condition management by the system administrator. FIG. 9 is an example of a display screen of the analysis condition management menu when the system administrator logs in. The system administrator can maintain, that is, register, modify, and delete the analysis menu for all users.
[0042]
8, as in FIG. 3, the
[0043]
If the user ID is valid, it is determined whether or not the system administrator has logged in (step 804). If the user is the system administrator, the analysis condition management procedure is started, and the analysis condition management screen for all users is displayed on the
[0044]
If the user who has logged in in
[0045]
FIG. 9 is a diagram showing an example of the analysis
[0046]
In the above embodiment, the scanning electron microscope has been described as an example, but the analyzer is not limited to this.
[0047]
According to this embodiment, when using the analyzer, the user can select a menu of analysis conditions suitable for the purpose from the analysis condition menu registered for each user. There is an effect that it can be easily performed.
[0048]
When multiple users share the device, the number of analysis conditions registered by each user increases, but similar but slightly different conditions increase, and the task of selecting the analysis condition menu that suits the purpose becomes increasingly complicated. It becomes. On the other hand, in the present invention, since the analysis condition menu can be managed for each user, the analysis condition menu can be enriched in a unified manner, and an effect that it is possible to realize an analyzer that is optimal for the purpose of the user can be realized. is there.
[0049]
In other words, despite the fact that the expensive analyzer must be shared by a plurality of users, the user has the effect of realizing usability as if it were his / her own device.
[0050]
In many cases, the user does not want to show his / her analysis condition menu to other users. However, according to the present invention, only the analysis condition menu registered by the user in advance is displayed for a specific user. This has the effect of maintaining confidentiality between the devices.
[0051]
【The invention's effect】
According to the present invention, when using an analyzer, a menu of analysis conditions suitable for the purpose can be selected from the analysis condition menu registered for each user, so that the task of selecting and setting the analysis conditions suitable for the purpose is easy. There is an effect that can be.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a device configuration diagram of a scanning electron microscope.
FIG. 2 is a functional block diagram showing a user authentication function executed by a
FIG. 3 is a flowchart illustrating a user authentication processing procedure.
FIG. 4 is a configuration diagram showing a data configuration of analysis conditions recorded in an analysis condition recording unit.
FIG. 5 is a view showing an example of a user authentication screen displayed on a CRT.
FIG. 6 is a view showing an example of a screen of an analysis condition menu displayed on a CRT.
FIG. 7 is a view showing a screen example of a parameter menu of FIG. 4 displayed on a CRT and its setting values.
FIG. 8 is a flowchart of a processing procedure of analysis condition management by a system administrator.
FIG. 9 is a diagram showing an example of an analysis
[Explanation of symbols]
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