JP2004205427A

JP2004205427A - Analysis apparatus and analysis condition setting method

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Publication number: JP2004205427A
Application number: JP2002377114A
Authority: JP
Inventors: Masahiro Ishida; 正浩石田; Naotake Saito; 尚武齊藤; Yukihiro Watabiki; 幸弘綿引; Naomi Kawarai; 直美河原井; Susumu Inayoshi; 進稲吉; Mitsugi Kitazawa; 貢北沢
Original assignee: Hitachi Science Systems Ltd
Current assignee: Hitachi Science Systems Ltd
Priority date: 2002-12-26
Filing date: 2002-12-26
Publication date: 2004-07-22

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To facilitate work for selecting and setting an analysis condition suitable for a purpose of each user when an analysis apparatus is used. <P>SOLUTION: A plurality of the recorded analysis conditions corresponding to a plurality of user information are collated with the user information identified based on inputted user authentication information. The analysis condition corresponding to the identified user information is extracted from the plurality of the analysis conditions. The extracted analysis condition is displayed on a monitor. The analysis condition is set based on the displayed analysis condition. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、試料の観察や分析を行う分析装置、および分析条件設定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
医用分析装置、理化学分析装置、電子顕微鏡などによる試料の観察や分析を行う装置では、観察や分析を適切に行うために、分析条件を前もって設定する必要がある。
【０００３】
分析条件には、装置の各種設定パラメータがあり、例えば、走査形電子顕微鏡における観察条件を、試料の特性に応じて分析装置が自動的に決定するのではなく、ユーザすなわち操作者の意思で決められる条件と組合わせて、決定する技術が知られている（例えば、特開２００１−３３８６０３号公報参照）。一方、分析装置を使用するユーザはそれぞれの目的を持っており、その目的によって装置に設定すべき条件は異なってくる。
【０００４】
分析装置は高価なため、複数の人が共用して使用することが普通に行われている。そうすると、複数人の複数の目的に対応した条件が登録され、その中から自分の分析にあった条件を選び出すことは非常に困難になってくる。上記技術では、ユーザに応じて分析装置を最適化するという点が配慮されておらず、ユーザにお仕着せの分析条件での測定を強いるという問題点があった。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００１−３３８６０３号公報（第３頁、図２）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、分析装置を使用する際に、ユーザ毎の目的にあった分析条件を選択し設定する作業を容易にすることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、分析条件の登録はユーザ毎に行う。従来ユーザの正当性を確認するために用いられているユーザ認証作業の結果得られるユーザを特定する情報を使用して、登録された分析条件メニューを表示する際、前記ユーザが予め登録した分析条件メニューのみを表示してその中から当該分析に必要な分析条件を選ばせ、直ちに選んだ条件を分析装置に設定するようにしたものである。
【０００８】
更に、前記分析条件はそれを登録した当該ユーザにより自由に変更でき、新たな分析条件として登録することを可能にしたものである。
【０００９】
更にまた、ユーザを一般ユーザとシステム管理者に区分して、システム管理者は全てのユーザについて全ての登録内容を保守（登録・修正・削除）する事を可能にしたものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を、図面を用いて説明する。
【００１１】
図１は、本発明の実施対象の一例である走査形電子顕微鏡の装置構成図である。中央演算処理装置すなわちＣＰＵ１は、走査形電子顕微鏡の各種制御回路をコントロールする。電子線２３を発生する場合は、ＣＰＵ１からの制御信号がＤＡ変換器２ａ，２ｂ，２ｃを介して高圧発生回路３、フィラメント回路４、バイアス回路５を制御することにより、フィラメント１５、ウェーネルト１６、アノード１７からなる電子銃より電子線２３を発生させる。高圧発生回路３にはエミッション電流検出器６が接続され、その情報がＣＰＵ１へ帰還されて制御に使用される。
【００１２】
上述の電子銃で発生した電子線２３は、必ずしも電子レンズ系の中心を通過するとは限らないので、電子レンズで補正を行う。ＣＰＵ１からの補正情報がＤＡ変換器２ｄを介してガンアライメントコイル制御回路７へ送られ、ガンアライメントコイル１８及びガンアライメントコイル１９を制御する。
【００１３】
次に電子線２３は収束レンズ２０，２１で細く絞られる。ＣＰＵ１からの補正情報がＤＡ変換器２ｅを介して収束レンズ制御回路８によって制御される。
【００１４】
収束された電子線２３は、対物可動絞り９を通過してその電子線スポットの大きさが決められ、偏向コイル２２の作用によってステージ２５上の試料２４が走査される。ＣＰＵ１からの走査信号がＤＡ変換器２ｆを介して走査速度等を制御する走査発振回路１０、電子線を偏向する偏向制御回路１１へ送られ、偏向コイル２２を制御する。
【００１５】
試料２４上を電子線２３が走査することによって、試料２４から二次電子や反射電子等の試料２４の情報信号が発生する。本実施例では二次電子２６の場合を説明するが、反射電子の場合も情報信号の内容が異なるだけで、二次電子の場合と類似の構成でよい。
【００１６】
試料２４の情報信号は、二次電子検出器１４により検出され、表示回路１３での増幅等の信号処理を経てＣＲＴ１２に表示される。ＣＲＴ１２にはＣＰＵ１から表示回路１３へ送られる分析条件などの走査形電子顕微鏡のオペレーション情報も表示される。ＣＲＴ１２には分析条件指示などの入力機能も備えている。
【００１７】
ＣＰＵ１にはパーソナルコンピュータすなわちＰＣ２８が接続され、走査形電子顕微鏡の操作部および取得したデータの記憶部としての機能を有する。
【００１８】
以上は、走査形電子顕微鏡の一般的な構成であるが、本実施例ではさらに、ユーザ認証部２７がＣＰＵ１に接続されている。ユーザ認証部２７は、指紋、ＵＳＢトークン、ＩＣカード等によって走査形電子顕微鏡を使用するユーザの妥当性を認証する装置である。なお、ユーザ認証部２７はＰＣ２８の一部あるいはソフトウェアとして構成されることもある。この場合はユーザ認証のときの指示入力あるいは画面表示はＣＲＴ１２ではなく、ＰＣ２８で行うことができる。
【００１９】
走査形電子顕微鏡における分析条件の一例である加速電圧の場合は、高圧発生回路３、フィラメント回路４、バイアス回路５、エミッション電流検出器６等を調整することで試料に合った妥当な値が決定される。
【００２０】
図２はユーザ認証部２７で実行されるユーザ認証機能を示す機能ブロック図である。図１に示したユーザ認証部２７では、入力されたユーザＩＤ等のユーザ認証情報とユーザ情報記憶部１０５に登録された情報とが照合部１０１で照合され、両情報が一致することによってユーザの使用が許諾される。
【００２１】
ユーザが入力するユーザ認証情報としては、１）ユーザＩＤとパスワード、２）手指・指紋認証、３）瞳虹彩認証、４）ＵＳＢトークン、５）ＩＣカードやその組み合わせなど、種々の方法があり、任意に選択可能である。
【００２２】
ユーザ毎に異なる分析条件が分析条件記録部１０４に記録されている。分析条件読出設定部１０２で認証が有効と判定されたユーザに対応した分析条件メニューを分析条件記録部１０４から取出し、分析条件表示処理部１０３によりその分析条件メニューをＣＲＴ１２に表示させる。
【００２３】
ユーザは表示された分析条件メニューを見て、ユーザがこれから実施する分析に合致する分析条件を選択し、分析条件設定部１０６で設定する。設定された分析条件がセットされ、ＣＲＴ１２にその分析条件が表示され、ユーザは直ちに分析業務に移ることが出来る。以上の手順を以下に詳しく説明する。
【００２４】
図３はユーザ認証処理手順を表したフローチャートである。図１に示したユーザ認証部２７の電源を入れて装置を立ち上げ、ユーザ認証処理手順を開始させ（ステップ３０１）、ユーザＩＤが図２に示した照合部１０１で有効か無効かを判定する（ステップ３０２）。無効の判定の場合はＣＲＴ１２にその旨の表示や警報を出力し（ステップ３０３）、手順が終了する。
【００２５】
ユーザＩＤが有効の場合は、図２に示した分析条件記録部１０４から当該ＩＤの分析条件メニューを呼び出す（ステップ３０４）。呼び出した分析条件が複数個かどうかを判定し（ステップ３０５）、複数個の場合はその分析条件メニューをＣＲＴ１２に表示させる（ステップ３０６）。
【００２６】
ユーザはＣＲＴ１２に表示された分析条件メニューの中からこれからの分析に合致する分析条件に対応した概要メニューを選択し（ステップ３０７）、その分析条件の項目に変更が必要かどうかを判断する（ステップ３０８）。分析条件変更が必要な場合は表示される変更内容設定画面で分析条件を変更する（ステップ３０９）。この変更された分析条件を新しい分析条件として登録するか、登録しないかをユーザは判断し（ステップ３１０）、登録する場合は新しい名称が付けられて登録される（ステップ３１１）。一方、当該分析条件をユーザは今回の分析条件として設定し（ステップ３１２）、分析作業が開始され（ステップ３１３）、ユーザ認証処理手順が終了する（ステップ３１４）。
【００２７】
上述のステップ３０５で分析条件が１個の場合は、ステップ３０６からステップ３１１の間が省略され、ステップ３１２でその分析条件を設定する。これにより直ちに分析作業が開始できる。
【００２８】
上述のステップ３０８で選択した分析条件の変更が不要の場合は、ステップ３０９からステップ３１１の間が省略され、ステップ３１２でその分析条件を設定する。上述のステップ３１０で分析条件を変更したが新しく登録しない場合は、ステップ３１１が省略され、ステップ３１２でその分析条件を設定する。
【００２９】
一致する分析条件が無い場合には、ステップ３０７で最も近い分析条件を選択し、ステップ３０８，３０９で必要な修正を行い、ステップ３１０，３１１で新たな分析条件として名前を付けて登録しておくことにより、次回の分析時に同じ分析を行う場合には、この新たな分析条件が分析条件記録部１０４に記録されているので、分析条件の選択のみですむことになり簡便である。
【００３０】
図４は、分析条件記録部１０４に記録された分析条件のデータ構成を示す構成図である。ユーザメニュー４０１の中の予め登録されたユーザ毎に分析条件メニュー４０２を持ち、例えば、図ではユーザ１について分析条件メニューは分析条件１から分析条件ｍまで持つことを示している。
【００３１】
また、分析条件１について、パラメータメニュー４０３は、パラメータ１からパラメータｎまでの設定値を持つことを示している。図ではユーザ１、分析条件１についてのみ記載されているが、ユーザ２からユーザｋや、分析条件２から分析条件ｍについても同様の構成である。
【００３２】
従来の分析条件の設定方法では、時系列的に順番に設定登録していくため、複数のユーザが次々に設定を繰り返すことによって、あるユーザが必要とする分析条件を直ちに選択することが困難であったが、上述のようにユーザ毎に分析条件を分けることにより、容易に最適な分析条件を選択することが可能となる。
【００３３】
さらに、ユーザは他のユーザの分析条件を読み出すことができないので、他人に改ざんされることなく、機密保持が保たれるという効果がある。したがって、ひとつの分析装置、例えば高価な走査形電子顕微鏡を複数の企業で使用することも可能になり、装置の使用頻度が高くなり、使用効率の向上が図られるとともに分析費用のコストダウンが図られるという効果もある。
【００３４】
図５から図７は、ＣＲＴに表示される画面例を示す図である。図５はユーザ認証画面５０１の例であり、画面５０１にはユーザＩＤ入力ウィンドウ５０２、パスワード入力ウィンドウ５０３、ログインボタン５０４が表示される。
【００３５】
ＣＲＴに備わったキーボード等からユーザＩＤとパスワードを入力し、ログインのボタンをクリックする等して、図２に示したユーザ情報記憶部１０５に予め登録してあるユーザ情報との照合が行われ、一致すればユーザ認証が成功し、当該ユーザは分析装置を使用することが出来る。また、その結果、分析装置はユーザを特定することが出来る。
【００３６】
図６は、図４に示した分析条件メニューの表示画面例である。画面６０１に表示された分析条件メニュー６０２は、ユーザの目的に合わせて「大分類」「中分類」「小分類」というように階層的に表示される。これらの分類の名称はユーザが任意に設定することができる。
【００３７】
また、他のユーザの分析条件メニューは表示されないので、前述したように当該ユーザのみが登録した分析条件だけが表示され、ユーザは容易に必要な分析条件を探し出すことが出来る。
【００３８】
図７は、図４に示したパラメータメニューとその設定値の一覧の表示画面例である。画面７０１に表示されたパラメータメニュー７０２の上方には、分析条件名称表示部７０３に分析条件の名称が表示される。ユーザはこの画面で分析条件のパラメータ設定値の妥当性を確認する。
【００３９】
妥当であると判断した場合、設定ボタン７０５をクリック等することにより、表示されたパラメータ設定値の分析条件が設定される。パラメータを変更する場合は、例えば、パラメータメニュー７０２の該当欄をクリック等してから変更後の値を入力し、設定ボタン７０５をクリック等する。
【００４０】
なお、この変更後の分析条件を、名称を変更せずに上書きして再登録する場合は、設定ボタン７０５をクリック等する。また、この分析条件を別な分析条件として新たに登録する場合は、分析条件名称を変更後、登録ボタン７０４をクリック等する。あるいは、登録ボタン７０４を削除し、登録ボタン７０４の機能を設定ボタン７０５に統合させてもよい。
【００４１】
図８はシステム管理者による分析条件管理の処理手順のフローチャートである。また、図９はシステム管理者がログインしたときの分析条件管理メニューの表示画面例である。システム管理者は全てのユーザの分析メニューを保守、すなわち、登録、修正、削除することができる。
【００４２】
図８において、図３と同様に、図１に示したユーザ認証部２７の電源を入れて装置を立ち上げ、管理者メニューを開始させ（ステップ８０１）、ユーザＩＤが図２に示した照合部１０１で有効か無効かを判定する（ステップ８０２）。ユーザＩＤが無効の場合はその表示または警報を出力し（ステップ８０３）、終了する。
【００４３】
ユーザＩＤが有効の場合、システム管理者がログインしたかどうかを判定し（ステップ８０４）、システム管理者の場合は分析条件管理手順が開始され、全てのユーザの分析条件管理画面をＣＲＴ１２へ表示する（ステップ８０５）。システム管理者はその権限で分析条件メニューの前記保守作業を行い（ステップ８０６）、終了する（ステップ８０７）。
【００４４】
ステップ８０４でログインしたユーザがシステム管理者でない場合は、図３に示したフローチャートのステップ３０４へ手順を進行させる（ステップ８０８）。
【００４５】
図９は、図８のステップ８０５で表示される管理者用の分析条件管理画面９０１の例を示す図である。管理者用の分析条件管理画面９０１には、ユーザ１ａからｋまでのユーザの分析条件メニューが表示され、任意のユーザをクリック等で指示することによって、図４に示した各メニューを表示させることができ、また、登録、修正、削除等の保守作業を行うことができる。
【００４６】
以上の実施例は走査形電子顕微鏡を例に説明したが、分析装置としてこれに限定されるものではない。
【００４７】
本実施例によれば、分析装置を使用する際に、ユーザ毎に登録した分析条件メニューから目的にあった分析条件のメニューを選択できるので、目的にあった分析条件を選択し設定する作業が容易にできるという効果がある。
【００４８】
複数のユーザで装置を共有する場合は各人が登録する分析条件が増えてくると似ているが少しだけ違う条件などが増えてきて、目的にあった分析条件メニューを選択する作業が次第に煩雑になってくる。これに対して本発明ではユーザ毎に分析条件メニューを管理できるため、統一的に整理した形で分析条件メニューを充実させ、ユーザの目的に最適な分析装置を実現することが可能となる効果がある。
【００４９】
すなわち高価な分析装置で複数のユーザで共用せざるを得ないにもかかわらず、ユーザにとってはあたかも自分専用機であるかのような使い勝手を実現する効果がある。
【００５０】
また、ユーザは自分の分析条件メニューを他のユーザには見せたくないという場合も多いが、本発明によれば特定のユーザに対して当該ユーザが予め登録した分析条件メニューしか表示されないので、ユーザ間で機密保持が図られるという効果がある。
【００５１】
【発明の効果】
本発明によれば、分析装置を使用する際に、ユーザ毎に登録した分析条件メニューから目的にあった分析条件のメニューを選択できるので、目的にあった分析条件を選択し設定する作業が容易にできるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】走査形電子顕微鏡の装置構成図。
【図２】ユーザ認証部２７で実行されるユーザ認証機能を示す機能ブロック図。
【図３】ユーザ認証処理手順を表したフローチャート。
【図４】分析条件記録部１０４に記録された分析条件のデータ構成を示す構成図。
【図５】ＣＲＴに表示されるユーザ認証画面例を示す図。
【図６】ＣＲＴに表示される分析条件メニューの画面例を示す図。
【図７】ＣＲＴに表示される図４のパラメータメニューとその設定値の画面例を示す図。
【図８】システム管理者による分析条件管理の処理手順のフローチャート。
【図９】管理者用の分析条件管理画面９０１の例を示す図。
【符号の説明】
１…ＣＰＵ、１２…ＣＲＴ、２７…ユーザ認証部、２８…ＰＣ、１０１…照合部、１０２…分析条件読出設定部、１０３…分析条件表示処理部、１０４…分析条件記録部、１０５…ユーザ情報記憶部、１０６…分析条件設定部。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an analyzer for observing and analyzing a sample, and a method for setting analysis conditions.
[0002]
[Prior art]
In a device for observing or analyzing a sample using a medical analyzer, a physicochemical analyzer, an electron microscope, or the like, it is necessary to set analysis conditions in advance in order to perform observation and analysis appropriately.
[0003]
The analysis conditions include various setting parameters of the apparatus.For example, the observation conditions in the scanning electron microscope are not automatically determined by the analyzer according to the characteristics of the sample, but are determined by the user, that is, the operator's intention. There is known a technique for determining a combination with the conditions to be determined (for example, see Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-338603). On the other hand, the user who uses the analyzer has different purposes, and the conditions to be set in the device differ depending on the purpose.
[0004]
Since the analyzer is expensive, it is common practice that a plurality of persons use the analyzer in common. Then, conditions corresponding to a plurality of purposes of a plurality of persons are registered, and it becomes very difficult to select a condition suitable for one's analysis from the registered conditions. The above technique does not consider optimizing the analyzer according to the user, and has a problem in that the user is forced to make measurements under the analysis conditions that he / she wears.
[0005]
[Patent Document 1]
JP 2001-338603 A (page 3, FIG. 2)
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
An object of the present invention is to facilitate the operation of selecting and setting analysis conditions suitable for each user when using an analyzer.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, analysis conditions are registered for each user. Conventionally, when displaying a registered analysis condition menu using information for specifying a user obtained as a result of a user authentication operation used for confirming the validity of a user, the analysis condition registered by the user in advance Only menus are displayed, analysis conditions necessary for the analysis are selected from the menu, and the selected conditions are immediately set in the analyzer.
[0008]
Further, the analysis condition can be freely changed by the user who has registered the analysis condition, and can be registered as a new analysis condition.
[0009]
Furthermore, users are classified into general users and system administrators, and the system administrator can maintain (register, correct, and delete) all registered contents for all users.
[0010]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0011]
FIG. 1 is an apparatus configuration diagram of a scanning electron microscope which is an example of an embodiment of the present invention. The central processing unit, that is, the CPU 1 controls various control circuits of the scanning electron microscope. When the electron beam 23 is generated, the control signal from the CPU 1 controls the high voltage generation circuit 3, the filament circuit 4, and the bias circuit 5 via the DA converters 2a, 2b, 2c, so that the filament 15, the Wehnelt 16, An electron beam 23 is generated from an electron gun including the anode 17. An emission current detector 6 is connected to the high voltage generation circuit 3, and the information is fed back to the CPU 1 and used for control.
[0012]
Since the electron beam 23 generated by the above-mentioned electron gun does not always pass through the center of the electron lens system, correction is performed by the electron lens. The correction information from the CPU 1 is sent to the gun alignment coil control circuit 7 via the DA converter 2d, and controls the gun alignment coil 18 and the gun alignment coil 19.
[0013]
Next, the electron beam 23 is narrowed down by the converging lenses 20 and 21. Correction information from the CPU 1 is controlled by the convergent lens control circuit 8 via the DA converter 2e.
[0014]
The converged electron beam 23 passes through the objective movable diaphragm 9, the size of the electron beam spot is determined, and the sample 24 on the stage 25 is scanned by the action of the deflection coil 22. A scanning signal from the CPU 1 is sent to a scanning oscillation circuit 10 for controlling a scanning speed and the like and a deflection control circuit 11 for deflecting an electron beam via a DA converter 2f to control a deflection coil 22.
[0015]
By scanning the sample 24 with the electron beam 23, information signals of the sample 24 such as secondary electrons and reflected electrons are generated from the sample 24. In this embodiment, the case of the secondary electrons 26 will be described. However, the configuration of the reflected electrons may be similar to that of the secondary electrons except for the content of the information signal.
[0016]
The information signal of the sample 24 is detected by the secondary electron detector 14 and displayed on the CRT 12 through signal processing such as amplification in the display circuit 13. The CRT 12 also displays operation information of the scanning electron microscope such as analysis conditions sent from the CPU 1 to the display circuit 13. The CRT 12 also has an input function such as an analysis condition instruction.
[0017]
A personal computer, that is, a PC 28 is connected to the CPU 1 and has a function as an operation unit of the scanning electron microscope and a storage unit for acquired data.
[0018]
The above is the general configuration of the scanning electron microscope. In this embodiment, the user authentication unit 27 is further connected to the CPU 1. The user authentication unit 27 is a device that authenticates the validity of a user who uses the scanning electron microscope using a fingerprint, a USB token, an IC card, or the like. The user authentication unit 27 may be configured as a part of the PC 28 or as software. In this case, input of an instruction or screen display at the time of user authentication can be performed by the PC 28 instead of the CRT 12.
[0019]
In the case of the acceleration voltage, which is an example of the analysis conditions in the scanning electron microscope, an appropriate value suitable for the sample is determined by adjusting the high voltage generation circuit 3, the filament circuit 4, the bias circuit 5, the emission current detector 6, and the like. Is done.
[0020]
FIG. 2 is a functional block diagram showing a user authentication function executed by the user authentication unit 27. In the user authentication unit 27 shown in FIG. 1, the user authentication information such as the input user ID and the information registered in the user information storage unit 105 are collated by the collation unit 101. Use is licensed.
[0021]
As the user authentication information input by the user, there are various methods such as 1) user ID and password, 2) finger / fingerprint authentication, 3) iris authentication, 4) USB token, 5) IC card and a combination thereof. It can be arbitrarily selected.
[0022]
Different analysis conditions for each user are recorded in the analysis condition recording unit 104. The analysis condition menu corresponding to the user whose authentication is determined to be valid by the analysis condition read setting unit 102 is extracted from the analysis condition recording unit 104, and the analysis condition display processing unit 103 displays the analysis condition menu on the CRT 12.
[0023]
The user looks at the displayed analysis condition menu, selects an analysis condition that matches the analysis to be performed by the user, and sets the analysis condition in the analysis condition setting unit 106. The set analysis conditions are set, the analysis conditions are displayed on the CRT 12, and the user can immediately proceed to the analysis work. The above procedure will be described in detail below.
[0024]
FIG. 3 is a flowchart showing a user authentication processing procedure. The power of the user authentication unit 27 shown in FIG. 1 is turned on, the apparatus is started up, the user authentication processing procedure is started (step 301), and it is determined whether the user ID is valid or invalid in the collation unit 101 shown in FIG. (Step 302). If the determination is invalid, a display or an alarm is output to the CRT 12 (step 303), and the procedure ends.
[0025]
If the user ID is valid, the analysis condition menu of the ID is called from the analysis condition recording unit 104 shown in FIG. 2 (step 304). It is determined whether there are a plurality of called analysis conditions (step 305). If there are a plurality, the analysis condition menu is displayed on the CRT 12 (step 306).
[0026]
The user selects, from the analysis condition menu displayed on the CRT 12, an overview menu corresponding to the analysis condition matching the analysis to be performed (step 307), and determines whether or not the analysis condition item needs to be changed (step 307). 308). If the analysis conditions need to be changed, the analysis conditions are changed on the displayed change content setting screen (step 309). The user determines whether or not to register the changed analysis condition as a new analysis condition or not (step 310). When registering, the user is registered with a new name (step 311). On the other hand, the user sets the analysis conditions as the current analysis conditions (step 312), the analysis work is started (step 313), and the user authentication processing procedure ends (step 314).
[0027]
If the number of analysis conditions is one in step 305 described above, steps from step 306 to step 311 are omitted, and the analysis conditions are set in step 312. This allows the analysis work to start immediately.
[0028]
If it is not necessary to change the analysis condition selected in step 308 described above, steps from step 309 to step 311 are omitted, and the analysis condition is set in step 312. If the analysis conditions have been changed in the above-mentioned step 310 but are not newly registered, step 311 is omitted, and the analysis conditions are set in step 312.
[0029]
If there is no matching analysis condition, the closest analysis condition is selected in step 307, necessary correction is made in steps 308 and 309, and a new analysis condition is named and registered in steps 310 and 311. Thus, when the same analysis is performed in the next analysis, the new analysis conditions are recorded in the analysis condition recording unit 104, so that only the analysis conditions need to be selected, which is convenient.
[0030]
FIG. 4 is a configuration diagram showing a data configuration of the analysis condition recorded in the analysis condition recording unit 104. An analysis condition menu 402 is provided for each user registered in advance in the user menu 401. For example, in the figure, the analysis condition menu for the user 1 indicates that the analysis condition menu has analysis conditions 1 to m.
[0031]
For the analysis condition 1, the parameter menu 403 indicates that the parameter menu 403 has set values from parameter 1 to parameter n. In the figure, only the user 1 and the analysis condition 1 are described, but the same configuration applies to the user 2 to the user k and the analysis condition 2 to the analysis condition m.
[0032]
In the conventional analysis condition setting method, since the setting is registered sequentially in time series, it is difficult for a plurality of users to repeat the setting one after another, so that it is difficult to immediately select an analysis condition required by a certain user. However, by dividing the analysis conditions for each user as described above, it is possible to easily select the optimum analysis conditions.
[0033]
Further, since the user cannot read the analysis conditions of another user, there is an effect that confidentiality is maintained without being falsified by another person. Therefore, a single analyzer, for example, an expensive scanning electron microscope can be used by a plurality of companies, and the frequency of use of the device is increased, the use efficiency is improved, and the analysis cost is reduced. There is also the effect that it can be done.
[0034]
FIG. 5 to FIG. 7 are views showing examples of screens displayed on the CRT. FIG. 5 shows an example of the user authentication screen 501. The screen 501 displays a user ID input window 502, a password input window 503, and a login button 504.
[0035]
By inputting a user ID and a password from a keyboard or the like provided on the CRT and clicking a log-in button or the like, the user information is collated with user information registered in advance in the user information storage unit 105 shown in FIG. If they match, the user authentication is successful, and the user can use the analyzer. As a result, the analyzer can specify the user.
[0036]
FIG. 6 is an example of a display screen of the analysis condition menu shown in FIG. The analysis condition menu 602 displayed on the screen 601 is hierarchically displayed as “large classification”, “middle classification”, “small classification” according to the purpose of the user. The names of these categories can be arbitrarily set by the user.
[0037]
Further, since the analysis condition menu of another user is not displayed, only the analysis conditions registered only by the user are displayed as described above, and the user can easily search for necessary analysis conditions.
[0038]
FIG. 7 is a display screen example of a list of parameter menus and their set values shown in FIG. Above the parameter menu 702 displayed on the screen 701, the name of the analysis condition is displayed on the analysis condition name display section 703. The user confirms the validity of the parameter setting value of the analysis condition on this screen.
[0039]
If it is determined to be appropriate, the analysis condition of the displayed parameter setting value is set by clicking the setting button 705 or the like. To change a parameter, for example, the user clicks on a corresponding field of the parameter menu 702, inputs a value after the change, and clicks on a setting button 705, for example.
[0040]
To re-register the changed analysis conditions by overwriting without changing the name, the user clicks a setting button 705 or the like. When newly registering the analysis condition as another analysis condition, after changing the analysis condition name, the registration button 704 is clicked. Alternatively, the registration button 704 may be deleted, and the function of the registration button 704 may be integrated with the setting button 705.
[0041]
FIG. 8 is a flowchart of the processing procedure of the analysis condition management by the system administrator. FIG. 9 is an example of a display screen of the analysis condition management menu when the system administrator logs in. The system administrator can maintain, that is, register, modify, and delete the analysis menu for all users.
[0042]
8, as in FIG. 3, the user authentication unit 27 shown in FIG. 1 is turned on and the apparatus is started up to start an administrator menu (step 801), and the user ID is changed to the collation unit shown in FIG. At 101, it is determined whether it is valid or invalid (step 802). If the user ID is invalid, the display or warning is output (step 803), and the process ends.
[0043]
If the user ID is valid, it is determined whether or not the system administrator has logged in (step 804). If the user is the system administrator, the analysis condition management procedure is started, and the analysis condition management screen for all users is displayed on the CRT 12. (Step 805). The system administrator performs the maintenance work of the analysis condition menu with the authority (step 806), and ends (step 807).
[0044]
If the user who has logged in in step 804 is not the system administrator, the procedure proceeds to step 304 in the flowchart shown in FIG. 3 (step 808).
[0045]
FIG. 9 is a diagram showing an example of the analysis condition management screen 901 for the administrator displayed in step 805 of FIG. The analysis condition management screen 901 for the administrator displays the analysis condition menus of the users 1a to 1k, and displays any of the menus shown in FIG. And maintenance work such as registration, correction, and deletion can be performed.
[0046]
In the above embodiment, the scanning electron microscope has been described as an example, but the analyzer is not limited to this.
[0047]
According to this embodiment, when using the analyzer, the user can select a menu of analysis conditions suitable for the purpose from the analysis condition menu registered for each user. There is an effect that it can be easily performed.
[0048]
When multiple users share the device, the number of analysis conditions registered by each user increases, but similar but slightly different conditions increase, and the task of selecting the analysis condition menu that suits the purpose becomes increasingly complicated. It becomes. On the other hand, in the present invention, since the analysis condition menu can be managed for each user, the analysis condition menu can be enriched in a unified manner, and an effect that it is possible to realize an analyzer that is optimal for the purpose of the user can be realized. is there.
[0049]
In other words, despite the fact that the expensive analyzer must be shared by a plurality of users, the user has the effect of realizing usability as if it were his / her own device.
[0050]
In many cases, the user does not want to show his / her analysis condition menu to other users. However, according to the present invention, only the analysis condition menu registered by the user in advance is displayed for a specific user. This has the effect of maintaining confidentiality between the devices.
[0051]
【The invention's effect】
According to the present invention, when using an analyzer, a menu of analysis conditions suitable for the purpose can be selected from the analysis condition menu registered for each user, so that the task of selecting and setting the analysis conditions suitable for the purpose is easy. There is an effect that can be.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a device configuration diagram of a scanning electron microscope.
FIG. 2 is a functional block diagram showing a user authentication function executed by a user authentication unit 27;
FIG. 3 is a flowchart illustrating a user authentication processing procedure.
FIG. 4 is a configuration diagram showing a data configuration of analysis conditions recorded in an analysis condition recording unit.
FIG. 5 is a view showing an example of a user authentication screen displayed on a CRT.
FIG. 6 is a view showing an example of a screen of an analysis condition menu displayed on a CRT.
FIG. 7 is a view showing a screen example of a parameter menu of FIG. 4 displayed on a CRT and its setting values.
FIG. 8 is a flowchart of a processing procedure of analysis condition management by a system administrator.
FIG. 9 is a diagram showing an example of an analysis condition management screen 901 for an administrator.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... CPU, 12 ... CRT, 27 ... User authentication part, 28 ... PC, 101 ... Collation part, 102 ... Analysis condition read setting part, 103 ... Analysis condition display processing part, 104 ... Analysis condition recording part, 105 ... User information Storage unit, 106: Analysis condition setting unit.

Claims

複数のユーザ情報に対応させて複数の分析条件を記録する分析条件記録部と、入力されたユーザ認証情報に基づいてユーザ情報を特定する照合部と、特定されたユーザ情報に対応する分析条件を前記分析条件記録部から抽出する分析条件読出設定部と、抽出された分析条件を表示するモニタと、表示された分析条件に基づいて分析条件が設定される分析条件設定部とを備えたことを特徴とする分析装置。An analysis condition recording unit that records a plurality of analysis conditions corresponding to a plurality of user information; a matching unit that specifies user information based on the input user authentication information; and an analysis condition corresponding to the identified user information. An analysis condition reading setting unit that extracts from the analysis condition recording unit, a monitor that displays the extracted analysis conditions, and an analysis condition setting unit that sets the analysis conditions based on the displayed analysis conditions. Characteristic analyzer.

請求項１記載の分析装置において、前記分析条件記録部は、前記表示された分析条件の一部に変更があった場合に、指示入力に基づいて当該分析条件が変更されて記録されることを特徴とする分析装置。2. The analysis device according to claim 1, wherein the analysis condition recording unit is configured to change and record the analysis condition based on an instruction input when a part of the displayed analysis condition is changed. Characteristic analyzer.

請求項１記載の分析装置において、前記入力されたユーザ情報がシステム管理者を表す場合、前記分析条件記録部に記録された全ての分析条件が前記モニタに表示可能であることを特徴とする分析装置。2. The analysis device according to claim 1, wherein when the input user information indicates a system administrator, all analysis conditions recorded in the analysis condition recording unit can be displayed on the monitor. apparatus.

複数のユーザ情報に対応させて記録された複数の分析条件と、入力されたユーザ認証情報に基づいて特定されたユーザ情報とを照合し、特定されたユーザ情報に対応する分析条件を前記複数の分析条件から抽出し、抽出された分析条件をモニタに表示し、表示された分析条件に基づいて分析条件が設定されることを特徴とする分析条件設定方法。A plurality of analysis conditions recorded in correspondence with a plurality of user information are collated with user information specified based on the input user authentication information, and the analysis conditions corresponding to the specified user information are compared with the plurality of analysis conditions. An analysis condition setting method, characterized in that the analysis conditions are extracted from the analysis conditions, the extracted analysis conditions are displayed on a monitor, and the analysis conditions are set based on the displayed analysis conditions.

請求項４記載の方法において、前記表示された分析条件の一部に変更があった場合に、指示入力に基づいて当該分析条件が変更されて記録されることを特徴とする分析条件設定方法。5. The method according to claim 4, wherein when a part of the displayed analysis condition is changed, the analysis condition is changed and recorded based on an instruction input.

請求項４記載の方法において、前記入力されたユーザ情報がシステム管理者を表す場合、前記記録された全ての分析条件が前記モニタに表示可能であることを特徴とする分析条件設定方法。5. The method according to claim 4, wherein when the input user information indicates a system administrator, all the recorded analysis conditions can be displayed on the monitor.