JP2004205376A

JP2004205376A - Thermal mass flow sensor and gas combustion device

Info

Publication number: JP2004205376A
Application number: JP2002375519A
Authority: JP
Inventors: Shusuke Hata; 秀典畑; Akira Ota; 明太田
Original assignee: Noritz Corp
Current assignee: Noritz Corp
Priority date: 2002-12-25
Filing date: 2002-12-25
Publication date: 2004-07-22
Anticipated expiration: 2022-12-25
Also published as: JP3778169B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thermal mass flow sensor capable of self-diagnosis of existence of foreign matter adhesion. <P>SOLUTION: This device comprises a sensor body 6 having a heater 2 and temperature sensors 3, 4 provided on both the upstream and downstream sides of the heater 2, for detecting temperature rise of a fluid by the heater 2, and a control part 7. When the fluid which is a measuring object is in the static state, the control part 7 allows the heater to heat, compares output values of both temperature sensors 3, 4 on the upstream side and the downstream side, determines that a foreign matter does not adhere to the sensor body 6 when the values are same from a comparison result, and determines that the foreign matter adheres thereto when the values have a difference exceeding a prescribed range. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は熱式質量流量センサおよび燃焼装置に関し、より詳細には、ガス燃焼装置において、燃料ガスの流量を正確に検出することによりガス燃焼装置を正確に制御するための技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
【特許文献１】特開平８−４２８４７号公報
近時、ガス燃焼装置においては、燃料ガスの供給路に燃料ガスの流量を検出する流量センサを設け、この流量センサの測定結果に基づいて、バーナへの燃料ガスの供給量を調節する構成を備えた燃焼装置が提案されている（たとえば特許文献１参照）。
【０００３】
ところで、この種のガス燃焼装置では、バーナでの燃焼量の制御が、上記流量センサの測定結果に依存するため、流量センサにゴミや水滴などの異物が付着してその出力値が狂うと、燃焼装置の制御が正常に機能しなくなる。
【０００４】
そのため、この種の燃焼装置においては、フィルタを設けたり、ダストトラップ構造を採用するなどして、燃料供給路への異物の侵入を防いでいる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このようなフィルタやダストトラップ構造の採用によっても、燃料供給路への異物の侵入を完全に防止することは困難であり、まれに流量センサに異物が付着し、その結果、センサ出力値が狂うことがあり、燃焼装置の正常な動作の妨げとなることがあった。
【０００６】
本発明はこのような従来の問題点に鑑みてなされたものであって、異物付着の有無を自己診断可能な熱式質量流量センサを提供し、もってセンサへの異物付着による誤動作を防止し得るガス燃焼装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の請求項１に記載の熱式質量流量センサは、流体の流量を測定するためのセンサであって、ヒータと、このヒータの上流および下流の両脇に設けられて前記ヒータによる流体の温度上昇を検出する温度センサとを有するセンサ本体と、このセンサ本体の制御部とからなる熱式質量流量センサにおいて、被測定対象である流体が静止状態にあるときに、前記制御部が、前記ヒータを加熱させ、前記上流側と下流側の両温度センサの出力値を比較して、その比較結果から前記センサ本体への異物の付着の有無を判定する制御構成を備えることを特徴とする。
【０００８】
本発明の請求項２に記載の熱式質量流量センサは、流体の流量を測定するためのセンサであって、ヒータと、このヒータの上流および下流の両脇に設けられて前記ヒータによる流体の温度上昇を検出する温度センサとを有するセンサ本体と、このセンサ本体の制御部とからなる熱式質量流量センサにおいて、被測定対象である流体が静止状態にあるときに、前記制御部が、前記ヒータを加熱させ、この状態で前記上流側と下流側の各温度センサの少なくとも一方または双方の出力値の変化を一定時間測定し、この測定結果と制御部に備えられた所定の出力特性データとを比較して、その比較結果から前記センサ本体への異物の付着の有無を判定する制御構成を備えることを特徴とする。
【０００９】
本発明の請求項３に記載の熱式質量流量センサは、流体の流量を測定するためのセンサであって、ヒータと、このヒータの上流および下流の両脇に設けられて前記ヒータによる流体の温度上昇を検出する温度センサとを有するセンサ本体と、このセンサ本体の制御部とからなる熱式質量流量センサにおいて、被測定対象である流体が静止状態にあるときに、前記制御部が、前記ヒータを加熱させ、この状態で所定時間が経過した時における前記上流側と下流側の各温度センサの少なくとも一方または双方の出力値を測定し、この測定結果と制御部に備えられた所定の出力値とを比較して、その比較結果から前記センサ本体への異物の付着の有無を判定する制御構成を備えることを特徴とする。
【００１０】
本発明の請求項４に記載の熱式質量流量センサは、流体の流量を測定するためのセンサであって、ヒータと、このヒータの上流および下流の両脇に設けられて前記ヒータによる流体の温度上昇を検出する温度センサと、前記上流側の温度センサの更に上流側に設けられて雰囲気温度を検出する温度センサとを有するセンサ本体と、このセンサ本体の制御部とからなる熱式質量流量センサにおいて、被測定対象である流体が静止状態にあるときに、前記制御部が、前記雰囲気温度を検出する温度センサの出力値と、前記ヒータの上流または下流にある温度センサの少なくもいずれか一方の出力値とを比較し、その比較結果から前記センサ本体への異物の付着の有無を判定する制御構成を備えることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明のガス燃焼装置は、燃料ガスの供給路に請求項１から４のいずれかに一つに記載の熱式質量センサを備えたガス燃焼装置であって、ガス燃焼装置の制御手段が、前記熱式質量流量センサの制御部と連係され、前記ガス供給路へのガス供給を遮断している際に、前記制御部にセンサ本体への異物の付着の有無を判定させる制御構成を備えたことを特徴とする。
【００１２】
そして、その好適な実施態様として、所定の警報出力手段を備えてなり、前記制御手段は、前記制御部からセンサ本体への異物付着があるとの判定結果を得た場合に、前記警報出力手段を通じてセンサ本体への異物付着を報知する制御構成を備えたことを特徴とする。また、前記燃料ガスの供給路に異物除去手段を備えてなり、前記制御手段は、前記制御部からセンサ本体への異物付着があるとの判定結果を得た場合に、前記異物除去手段を動作させてセンサ本体に付着した異物を除去させる制御構成を備えたことを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１４】
実施形態１
本発明の熱式質量流量センサは、従来の熱式質量流量センサを改変して、センサ表面への異物の付着の有無を判定可能に構成したものであって、図１はその概略構成を示している。
【００１５】
図示のように、この熱式質量流量センサ１は、ヒータ２と、このヒータ２の上流および下流の両脇に設けられて上記ヒータ２による流体の温度上昇を検出する上流側および下流側の各温度センサ３，４と、上記上流側の温度センサ３の更に上流に設けられて雰囲気温度を検出する温度センサ５と、これらヒータ２や各温度センサ３〜５を備えたセンサ本体６と、このセンサ本体６の制御部７とを主要部として構成される。
【００１６】
なお、図において矢符で示すのは被測定対象である流体の流れの向きを示している。また、符号８は上記ヒータ２や各温度センサ３〜５と上記制御部７とを電気的に接続するハーネスを示している。
【００１７】
ここで、上記ヒータ２はシリコンウエハからなるセンサ本体６の表面にエッチングされた抵抗体であり、制御部７からの通電によって発熱する。また、各温度センサ３〜５は白金薄膜抵抗素子を主要部とする周知の温度センサであって、上記ヒータ２と同様にセンサ本体６の表面に設けられ、周囲の温度に応じたセンサ出力を制御部７に与える。そして、制御部７はマイクロコンピュータで構成され、上記ヒータ２を加熱させて、この時の温度センサ３，４のセンサ出力（出力値）から流体の質量流量を測定する。なお、これらの点は従来の熱式質量流量センサと同様であるので、その詳細な説明は省略する。
【００１８】
そこで、次に、本発明の特徴であるセンサ表面への異物付着の有無判定について説明する。
【００１９】
本発明では、この判定は、上記制御部７のソフトウェアの制御構成によって以下のように実現される。
【００２０】
すなわち、本実施形態に示す熱式質量流量センサ１では、センサ表面への異物付着の有無の判定にあたり、上記制御部７が、被測定対象である流体が静止状態にあるときに、上記ヒータ２を通電させ、その状態で、上記上流側の温度センサ３と下流側の温度センサ４のセンサ出力値（センサ出力電圧）を比較することによって、センサ表面への異物の付着の有無を判定する。
【００２１】
このような制御構成を採用する前提として、熱式質量流量センサ１では、流体が静止状態にある時にヒータ２を加熱すると、センサ表面に異物が付着していなければ、その熱は図２(a)の左図に示すように、ヒータ２を中心として概ね放射状に広がる。そのため、このように異物が付着していない状態では、ヒータ２の両脇に等間隔で配設された上流側および下流側の各温度センサ３，４のセンサ出力は、いずれも、時間の経過に伴って概ね図２(a)の右図に示すような曲線を描きながら上昇する。つまり、温度センサ３，４の出力値を比較すると、常にほぼ同じ値を示すことになる。
【００２２】
これに対し、センサ表面に異物が付着していると、その時のセンサ出力は上記図２(a)の右図とは異なる特性を示す。たとえば、図２(b)の左図は、センサ表面に熱伝導率の高い異物が温度センサ４側に偏って付着した場合の一例を示している。このような場合、異物が付着した側の温度センサ４のセンサ出力は、図２(b)の右図に示すように、通常の場合（上記図２(a)の場合）に比べ速く上昇する（なお、熱伝導率の低い異物が付着した場合は反対に遅くなる)。つまり、温度センサ３または４のいずれかに異物が付着していると、両温度センサ３，４の出力値は異なる値を示すこととなる。
【００２３】
本実施形態にかかる熱式質量流量センサ１は、このような、センサ表面への異物の付着の有無によるセンサ出力特性の相違に基づいて、センサ表面への異物付着の有無を制御部７に判定させるもので、被測定対象である流体が静止状態にあるときに、上記制御部７が、上記ヒータ２に通電してこれを加熱状態とし、この状態で上記上流側の温度センサ３と下流側の温度センサ４のセンサ出力値を制御部７で比較し、その結果、両温度センサ３，４の出力値がほぼ同じ値（所定の誤差の範囲内）であれば、上記制御部７は、センサ表面に異物は付着していないと判定する。反対に両センサ３，４の出力値が上記所定の誤差の範囲を超えて相違する（バラツキが出る）場合には、センサ表面に異物が付着している判定する。
【００２４】
実施形態２
次に、本発明の第二の実施形態について説明する。この実施形態は、上記実施形態１における制御部７の制御構成の改変例である。
【００２５】
すなわち、この第二の実施形態では、センサ表面への異物付着の有無の判定にあたり、上記制御部７が、被測定対象である流体が静止状態にあるときに、上記ヒータ２を通電させ、この状態で、上記上流側と下流側の各温度センサ３，４のうち少なくとも一方または双方の出力値の経時的変化（出力特性）を一定時間測定する。そして、このようにして得られた温度センサ３，４の測定結果と、制御部７に予め備えられた所定の出力特性データとを比較して、その比較結果からセンサ本体への異物の付着の有無を判定する。
【００２６】
ここで、上記制御部７に予め備えられる所定の出力データとしては、予めセンサ表面に異物が付着していない状態で、上記ヒータ２に通電し、その状態で上記温度センサ３，４の出力特性の少なくとも一方について、少なくとも上記一定時間測定したデータ（つまり、図２(a)の右図に示すような出力特性データ）が用いられる。そして、この出力特性データは、上記制御部７に備えられる所定の記憶領域（図示せず）に予め記憶させておく。そして、上述した異物付着の有無の判定の際に、この記憶領域から読み出され、温度センサ３，４で測定された出力特性と比較される。
【００２７】
そして、この比較の結果、測定された出力特性と上記記憶領域に記憶された出力特性データとがほぼ一致（所定の誤差の範囲内）すれば、上記制御部７はセンサ表面に異物は付着していないと判定する。反対に両出力特性が上記所定の誤差の範囲を超えて相違する（バラツキが出る）場合には、センサ表面に異物が付着している判定する。
【００２８】
なお、ここで上記記憶領域に記憶させる出力特性データとして、上記温度センサ３，４のうち少なくとも一方のデータを記憶させることとしているのは、センサ表面に異物が付着していなければ上記温度センサ３，４の出力特性はほぼ同じとなるので、双方について記憶させておかなくても判定可能であるからである。また、判定にあたり、上記上流側と下流側の各温度センサ３，４のうち少なくとも一方または双方について比較を行うのは、少なくとも一方について異物付着が検出されれば他方について比較を行わなくとも異物が付着していると判定できるからである。
【００２９】
このように、本発明の第二の実施形態では、ヒータ２の加熱を開始してから一定時間の出力特性を用いてセンサ表面への異物の付着の有無が判断されるので、異物付着の有無についての判定を正確に行うことができる。
【００３０】
実施形態３
次に、本発明の第三の実施形態について説明する。この第三の実施形態は、上記第二の実施形態の改変例であって、この場合、上記制御部７は、被測定対象である流体が静止状態にあるときに、上記ヒータに通電・加熱し、この状態で所定時間が経過した時における前記上流側と下流側の各温度センサの少なくとも一方または双方の出力値を測定する。そして、この測定結果と上記制御部７に備えられた所定の出力値とを比較して、その比較結果から上記センサ表面への異物の付着の有無を判定する。
【００３１】
すなわち、上述した第二の実施形態では、センサ表面への異物付着の判定にあたり、センサ出力の経時的な変化（出力特性）を比較したが、本実施形態では、ヒータ加熱から所定時間経過後の一時点におけるセンサ出力を比較する。
【００３２】
したがって、本実施形態では、上記制御部７に予め備えられる所定の出力値のデータは、出力値の比較を行う特定の時点についてのデータであればよく、上述した第二の実施形態のように経時的な変化のデータを記憶させておく必要はない。また、判定は、上記ヒータに通電後の所定時間経過後であれば、一回だけでなく時間を変えて複数回比較を行うように構成することも可能である。
【００３３】
そして、この比較の結果、測定された出力値と上記記憶領域に記憶された出力値データとがほぼ同じ値（所定の誤差の範囲内）であれば、上記制御部７はセンサ表面に異物は付着していないと判定する。反対に両出力特性が上記所定の誤差の範囲を超えて相違する（バラツキが出る）場合には、センサ表面に異物が付着している判定する。
【００３４】
なお、ここで上記記憶領域に記憶させる出力値データとして、上記温度センサ３，４のうち少なくとも一方のデータを記憶させることとしているのは、センサ表面に異物が付着していなければ上記温度センサ３，４の出力値はほぼ同じとなるので、双方について記憶させておかなくても判定可能であるからである。また、判定にあたり、上記上流側と下流側の各温度センサ３，４のうち少なくとも一方または双方について比較を行うのは、少なくとも一方について異物付着が検出されれば他方について比較を行わなくとも異物が付着していると判定できるからである。
【００３５】
実施形態４
次に、本発明の第四の実施形態について説明する。この第四の実施形態は、上記温度センサ３，４と、上記雰囲気温度を測定する温度センサ５とを用いてセンサ表面への異物の付着を判定する。
【００３６】
すなわち、本実施形態では、センサ表面への異物付着の有無の判定にあたり、上記制御部７が、被測定対象である流体が静止状態にあるときに、前記雰囲気温度を検出する温度センサ５の出力値と、上記ヒータ２の上流または下流にある温度センサ３，４のうちの少なくともいずれか一方の出力値とを比較し、その比較結果からセンサ本体への異物の付着の有無を判定する制御構成を備える。
【００３７】
つまり、被測定対象である流体が静止状態にあり、かつヒータ２が加熱されていない状態において、センサ表面に異物が付着していなければ、温度センサ５と温度センサ３，４の周囲温度の温度はほぼ同じ値を示すことになる。その一方で、センサ表面に異物が付着していると、異物の影響によって温度センサ５の出力値と温度センサ３，４の出力値は異なる値を示すこととなる。
【００３８】
本実施形態はこの点に着目してセンサ表面への異物の付着の有無を判定するものであり、被測定対象である流体が静止状態にあるときに、上記制御部７が、温度センサ５の出力値と温度センサ３，４のうちの少なくともいずれか一方の出力値とを比較し、その比較結果がほぼ同じ値（所定の誤差の範囲内）であれば、上記制御部７はセンサ表面に異物は付着していないと判定する。反対に両出力値が上記所定の誤差の範囲を超えて相違する（バラツキが出る）場合には、センサ表面に異物が付着している判定する。
【００３９】
なお、ここで、判定にあたり、上記上流側と下流側の各温度センサ３，４のうち少なくとも一方または双方について比較を行うのは、少なくとも一方について異物付着が検出されれば他方について比較を行わなくともセンサ表面に異物が付着していると判定できるからである。
【００４０】
実施形態５
次に、本発明に係る熱式質量流量センサ１を用いたガス燃焼装置（たとえば、給湯装置）１０について、図３を用いて説明する。
【００４１】
図３は、燃料ガスの供給路に燃料ガスの流量を検出する流量センサを備え、この流量センサの測定結果に基づいて、バーナへの燃料ガスの供給量を調節する構成を備えた給湯装置の概略構成を示すブロック図である。
【００４２】
すなわち、この給湯装置１０は、従来の給湯装置と同様に、バーナに燃焼用の空気を供給するためのファンモータ１１と、バーナへの燃料供給量を調節するガス流量制御弁１２と、給湯装置への入水量などを測定する入水量等検出手段（水量センサ）１３と、入水温度や出湯温度を測定する入水温度等検出手段（温度センサ）１４と、バーナに供給される燃料ガスの流量を測定するガス流量検出手段１５と、給湯設定温度の設定操作等の各種操作を行うための操作手段１６と、制御手段１７を主要部として備える。
【００４３】
そして、本実施形態では、上記ガス流量検出手段１５として、上記実施形態１乃至４のいずれかに記載された熱式質量流量センサ１が用いられる。つまり、本実施形態では、ガス流量検出手段１５として、センサ表面への異物付着の有無を判定できる流量センサが用いられる。そして、この熱式質量流量センサ１の制御部７が、給湯装置１０の制御手段１７と連係するように設けられる。つまり、給湯装置１０の制御手段１７はマイクロコンピュータを主要部として構成されるため、本実施形態では上記制御部７はこの制御手段１７のソフトウェアによって実現される。
【００４４】
また、ガス流量検出手段１５に上記熱式質量流量センサ１を採用したことに伴い、本実施形態では、上記制御手段１７には警報出力手段１８と異物除去手段１９とが設けられる。
【００４５】
警報出力手段１８は、異常の発生を外部に報知するためのものであって、たとえば発光ダイオードなどのように異常の発生を視認可能に報知する表示灯や、ブザー音発生器のように異常の発生を聴取可能に報知する音声等の出力装置で構成される。
【００４６】
また、異物除去手段１９は、熱式質量流量センサ１の表面に付着した異物を除去するための装置であって、たとえばセンサ表面に流体を噴射して異物を除去する流体噴射装置や、あるいはセンサ表面の異物を直接拭き取る拭取装置などで構成される。
【００４７】
そして、このように構成されてなる給湯装置１０では、上記制御手段１７は、ガス流量制御弁１２を閉弁させているとき（つまり、ガス供給路へのガスの供給を遮断した状態にあるとき）に、上記熱式質量流量センサ１の制御部７に対して上述した異物付着の判定処理を行わせるように構成される。そして、この判定において、センサ表面への異物付着ありと判定されると、制御手段１７は、この判定結果に基づいて、上記警報出力手段１８を通じて外部にその旨を報知する。
【００４８】
また、同様に、熱式質量流量センサ１の制御部７において、センサ表面への異物付着ありと判定されると、制御手段１７は、この判定結果に基づいて、上記異物除去手段１９を動作させてセンサ本体に付着した異物を除去させる。
【００４９】
このように、本発明の給湯装置１０によれば、センサ表面に異物が付着すると、給湯装置１０が警報出力手段１８を通じてその旨を外部に放置する一方で、異物除去手段１９によって異物の除去を行うので、センサ表面への異物付着により給湯装置１０が誤動作するのを回避することができる。
【００５０】
なお、上述した実施形態はあくまでも本発明の好適な実施態様を示すものであって、本発明はこれらに限定されることなくその範囲内で種々の設計変更が可能である。
【００５１】
たとえば、上述した実施形態では、本発明の熱式質量流量センサ１を給湯装置１０に適用した場合を示したが、本発明の熱式質量流量センサ１は給湯装置以外の他の装置にも適用可能である。
【００５２】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明の熱式質量流量センサによれば、制御部が、熱式質量流量センサに備えられた温度センサの出力値に基づいてセンサ表面への異物の付着の有無を判定する制御構成を備えているので、異物付着を速やかに発見することができる。したがって、異物付着による流量の誤測定を回避することができ、誤った測定値に基づく機器の誤動作を防止することができる。
【００５３】
また、本発明のガス燃焼装置は、燃焼装置の制御手段が、熱式質量流量センサの制御部と連係されているので、ガス供給路へのガス供給が遮断されているとき（換言すれば燃焼装置が停止状態にあるとき）に、熱式質量流量センサにセンサ本体への異物の付着の有無を判定させることができる。
【００５４】
また、燃焼装置に警報出力手段を備えさせ、センサ本体への異物付着があるとの判定結果を得た場合に、警報出力手段を通じて異物の付着を報知することにより、センサ表面への異物付着を速やかに知ることができる。
【００５５】
また、燃焼装置に異物除去手段を備えさせ、センサ本体への異物付着があるとの判定結果を得た場合に、異物除去手段を動作させてセンサ表面に付着した異物を除去することにより、センサ出力の異常による燃焼装置の誤動作を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る熱式質量流量センサの概略構成を示す説明図である。
【図２】左図に熱式質量流量センサへの異物付着の状態を示し、右図に左図に対応した熱式質量流量センサの出力特性を示しており、図２(a)は流体が静止状態にあり、かつセンサ表面に異物が付着していない状態を、図２(b)は流体が静止状態にあり、かつセンサ表面に異物が付着している状態を示している。
【図３】本発明に係るガス燃焼装置の概略構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
１熱式質量流量センサ
２ヒータ
３，４，５温度センサ
６センサ本体
７制御部
１０給湯装置（ガス燃焼装置）
１７制御手段
１８警報出力手段
１９異物除去手段[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a thermal mass flow sensor and a combustion device, and more particularly, to a technique for accurately controlling a gas combustion device by accurately detecting a flow rate of a fuel gas in the gas combustion device.
[0002]
[Prior art]
[Patent Document 1] Recently, in a gas combustion apparatus, a flow rate sensor for detecting a flow rate of a fuel gas is provided in a fuel gas supply path, and a burner is provided based on a measurement result of the flow rate sensor. There has been proposed a combustion device provided with a configuration for adjusting a supply amount of fuel gas to a fuel cell (for example, see Patent Document 1).
[0003]
By the way, in this type of gas combustion device, since the control of the amount of combustion in the burner depends on the measurement result of the flow sensor, if a foreign matter such as dust or water drops adheres to the flow sensor and its output value goes wrong, The control of the combustion device will not function properly.
[0004]
Therefore, in this type of combustion apparatus, a filter is provided or a dust trap structure is employed to prevent foreign matter from entering the fuel supply path.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, even with the use of such a filter or dust trap structure, it is difficult to completely prevent foreign matter from entering the fuel supply path. In rare cases, foreign matter adheres to the flow sensor, and as a result, the sensor output value Could go crazy and interfere with the normal operation of the combustion device.
[0006]
The present invention has been made in view of such a conventional problem, and provides a thermal mass flow sensor capable of self-diagnosis of the presence or absence of foreign matter attachment, thereby preventing malfunction due to foreign matter attachment to the sensor. It is to provide a gas combustion device.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, a thermal mass flow sensor according to claim 1 of the present invention is a sensor for measuring a flow rate of a fluid, and is provided with a heater and both upstream and downstream sides of the heater. In a thermal mass flow sensor comprising a sensor body having a temperature sensor for detecting a temperature rise of a fluid by the heater and a control unit of the sensor body, when a fluid to be measured is in a stationary state, A control configuration in which the control unit heats the heater, compares the output values of the upstream and downstream temperature sensors, and determines whether foreign matter has adhered to the sensor body based on the comparison result. It is characterized by having.
[0008]
A thermal mass flow sensor according to claim 2 of the present invention is a sensor for measuring a flow rate of a fluid, and is provided with a heater, and a fluid provided by both the upstream and downstream sides of the heater. In a thermal mass flow sensor comprising a sensor main body having a temperature sensor for detecting a temperature rise, and a control section of the sensor main body, when the fluid to be measured is in a stationary state, the control section is The heater is heated, and in this state, a change in the output value of at least one or both of the upstream and downstream temperature sensors is measured for a certain period of time, and the measurement result and predetermined output characteristic data provided in the control unit are used. And a control structure for judging the presence or absence of foreign matter on the sensor body based on the comparison result.
[0009]
A thermal mass flow sensor according to claim 3 of the present invention is a sensor for measuring a flow rate of a fluid, and is provided with a heater, and a fluid provided by the heater, which is provided on both the upstream and downstream sides of the heater. In a thermal mass flow sensor comprising a sensor main body having a temperature sensor for detecting a temperature rise, and a control section of the sensor main body, when the fluid to be measured is in a stationary state, the control section is The heater is heated, and the output value of at least one or both of the upstream and downstream temperature sensors when a predetermined time has elapsed in this state is measured, and the measurement result and the predetermined output provided in the control unit are measured. And a control structure for comparing the values with the values and determining whether or not foreign matter has adhered to the sensor body based on the comparison result.
[0010]
The thermal mass flow sensor according to claim 4 of the present invention is a sensor for measuring the flow rate of a fluid, and is provided with a heater, and both upstream and downstream sides of the heater to detect the flow of the fluid by the heater. A thermal mass flow rate comprising: a sensor main body having a temperature sensor for detecting a temperature rise, a temperature sensor provided further upstream of the upstream temperature sensor for detecting an ambient temperature, and a controller for the sensor main body. In the sensor, when the fluid to be measured is in a stationary state, the control unit may detect an output value of the temperature sensor that detects the ambient temperature and at least one of the temperature sensors upstream or downstream of the heater. It is characterized by comprising a control structure for comparing the output value with one of the output values and for judging whether or not foreign matter has adhered to the sensor body based on the comparison result.
[0011]
Further, a gas combustion apparatus according to the present invention is a gas combustion apparatus provided with the thermal mass sensor according to any one of claims 1 to 4 in a fuel gas supply path, wherein control means of the gas combustion apparatus is provided. Is linked with a control unit of the thermal mass flow sensor, and when the gas supply to the gas supply path is shut off, the control unit causes the control unit to determine whether foreign matter adheres to the sensor body. It is characterized by having.
[0012]
As a preferred embodiment thereof, a predetermined alarm output unit is provided, and the control unit is configured to output the alarm output unit when the control unit obtains a determination result indicating that foreign matter is attached to the sensor main body. And a control structure for notifying foreign matter adhesion to the sensor main body through the control unit. The fuel gas supply path further includes foreign matter removing means, and the control means operates the foreign matter removing means when the control unit obtains a determination result indicating that foreign matter has adhered to the sensor body. And a control structure for removing foreign matter attached to the sensor body.
[0013]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0014]
Embodiment 1
The thermal mass flow sensor of the present invention is a modification of the conventional thermal mass flow sensor, and is configured to be able to determine the presence or absence of foreign matter on the sensor surface, and FIG. 1 shows a schematic configuration thereof. ing.
[0015]
As shown in the drawing, the thermal mass flow sensor 1 includes a heater 2 and upstream and downstream sides provided on both the upstream and downstream sides of the heater 2 for detecting a temperature rise of a fluid by the heater 2. Temperature sensors 3 and 4, a temperature sensor 5 provided further upstream of the upstream temperature sensor 3 for detecting the ambient temperature, a sensor body 6 having these heaters 2 and the temperature sensors 3 to 5, The control unit 7 of the sensor main body 6 is configured as a main part.
[0016]
In the drawings, the arrows indicate the direction of the flow of the fluid to be measured. Reference numeral 8 denotes a harness that electrically connects the heater 2 and the temperature sensors 3 to 5 to the control unit 7.
[0017]
Here, the heater 2 is a resistor etched on the surface of the sensor main body 6 made of a silicon wafer, and generates heat when energized by the control unit 7. Each of the temperature sensors 3 to 5 is a well-known temperature sensor having a platinum thin film resistance element as a main part, and is provided on the surface of the sensor body 6 similarly to the heater 2 and outputs a sensor output according to the ambient temperature. This is given to the control unit 7. The control unit 7 is configured by a microcomputer, heats the heater 2, and measures the mass flow rate of the fluid from the sensor outputs (output values) of the temperature sensors 3 and 4 at this time. Since these points are the same as those of the conventional thermal mass flow sensor, detailed description thereof will be omitted.
[0018]
Therefore, next, a description will be given of the determination of the presence / absence of foreign matter attached to the sensor surface, which is a feature of the present invention.
[0019]
In the present invention, this determination is realized by the control configuration of the software of the control unit 7 as follows.
[0020]
That is, in the thermal mass flow sensor 1 according to the present embodiment, when judging the presence / absence of foreign matter on the sensor surface, the control unit 7 sets the heater 2 when the fluid to be measured is in a stationary state. , And in this state, the presence or absence of foreign matter on the sensor surface is determined by comparing the sensor output value (sensor output voltage) of the upstream temperature sensor 3 and the downstream temperature sensor 4.
[0021]
As a premise of adopting such a control configuration, in the thermal mass flow sensor 1, when the heater 2 is heated while the fluid is at rest, if no foreign matter is attached to the sensor surface, the heat is generated as shown in FIG. As shown in the left figure of ()), it spreads substantially radially around the heater 2. Therefore, in the state in which the foreign matter is not attached, the sensor outputs of the upstream and downstream temperature sensors 3 and 4 disposed at equal intervals on both sides of the heater 2 indicate that the time elapses. As a result, it rises while drawing a curve substantially as shown in the right diagram of FIG. That is, when the output values of the temperature sensors 3 and 4 are compared, they always show almost the same value.
[0022]
On the other hand, when foreign matter is attached to the sensor surface, the sensor output at that time shows characteristics different from those shown in the right diagram of FIG. For example, the left diagram of FIG. 2B shows an example in which a foreign substance having a high thermal conductivity adheres to the temperature sensor 4 side on the sensor surface. In such a case, the sensor output of the temperature sensor 4 on the side to which the foreign matter has adhered rises faster than in the normal case (in the case of FIG. 2A) as shown in the right diagram of FIG. (If foreign substances with low thermal conductivity are attached, on the other hand, it will be delayed). That is, if foreign matter is attached to either of the temperature sensors 3 or 4, the output values of the two temperature sensors 3 and 4 will show different values.
[0023]
The thermal mass flow sensor 1 according to the present embodiment determines to the controller 7 whether or not foreign matter has adhered to the sensor surface based on the difference in sensor output characteristics due to whether or not foreign matter has adhered to the sensor surface. When the fluid to be measured is in a stationary state, the control unit 7 energizes the heater 2 to make it a heating state, and in this state, the upstream temperature sensor 3 and the downstream side The controller 7 compares the sensor output values of the temperature sensors 4 with each other, and as a result, if the output values of both the temperature sensors 3 and 4 are substantially the same value (within a predetermined error), the controller 7 It is determined that no foreign matter has adhered to the sensor surface. Conversely, when the output values of the two sensors 3 and 4 are different from each other (variation occurs) beyond the predetermined error range, it is determined that foreign matter is attached to the sensor surface.
[0024]
Embodiment 2
Next, a second embodiment of the present invention will be described. This embodiment is a modified example of the control configuration of the control unit 7 in the first embodiment.
[0025]
That is, in the second embodiment, when determining whether or not foreign matter has adhered to the sensor surface, the control unit 7 energizes the heater 2 when the fluid to be measured is in a stationary state. In this state, a temporal change (output characteristic) of the output value of at least one or both of the upstream and downstream temperature sensors 3 and 4 is measured for a certain period of time. Then, the measurement results of the temperature sensors 3 and 4 obtained as described above are compared with predetermined output characteristic data provided in the control unit 7, and based on the comparison result, the adhesion of foreign matter to the sensor body is determined. Determine the presence or absence.
[0026]
Here, as the predetermined output data provided in advance in the control unit 7, the heater 2 is energized in a state where no foreign matter is attached to the sensor surface in advance, and in this state, the output characteristics of the temperature sensors 3 and 4 are output. For at least one of the above, data measured at least for the above-mentioned fixed time (that is, output characteristic data as shown in the right diagram of FIG. 2A) is used. The output characteristic data is stored in a predetermined storage area (not shown) provided in the control unit 7 in advance. Then, at the time of determining the presence or absence of the adhesion of the foreign matter, the readout is performed from the storage area and compared with the output characteristics measured by the temperature sensors 3 and 4.
[0027]
As a result of the comparison, when the measured output characteristics substantially match the output characteristic data stored in the storage area (within a predetermined error range), the control unit 7 determines that the foreign substance has adhered to the sensor surface. It is determined that it has not been performed. Conversely, if the two output characteristics are different (variation occurs) beyond the above-mentioned predetermined error range, it is determined that foreign matter is attached to the sensor surface.
[0028]
Here, at least one of the temperature sensors 3 and 4 is stored as the output characteristic data to be stored in the storage area. , 4 have substantially the same output characteristics, so that the determination can be made without storing both. In making the determination, at least one or both of the upstream and downstream temperature sensors 3 and 4 are compared because if foreign matter is detected on at least one of them, foreign matter can be detected without comparing the other. This is because it can be determined that they are attached.
[0029]
As described above, in the second embodiment of the present invention, the presence / absence of foreign matter on the sensor surface is determined using the output characteristics for a certain period of time after the heating of the heater 2 is started. Can be accurately determined.
[0030]
Embodiment 3
Next, a third embodiment of the present invention will be described. The third embodiment is a modification of the second embodiment. In this case, when the fluid to be measured is in a stationary state, the control unit 7 supplies power to and heats the heater. Then, the output value of at least one or both of the upstream and downstream temperature sensors when a predetermined time has elapsed in this state is measured. Then, the result of the measurement is compared with a predetermined output value provided in the control section 7, and the presence or absence of foreign matter on the sensor surface is determined from the result of the comparison.
[0031]
That is, in the above-described second embodiment, a change with time of the sensor output (output characteristic) was compared when judging the adhesion of a foreign substance to the sensor surface. In the present embodiment, a predetermined time after the heating of the heater has elapsed. The sensor outputs at one time are compared.
[0032]
Therefore, in the present embodiment, the data of the predetermined output value provided in advance in the control unit 7 may be data at a specific point in time at which the output value is compared, and as in the second embodiment described above, There is no need to store data of changes over time. The determination may be made not only once but also a plurality of times while changing the time, if a predetermined time has elapsed after the heater has been energized.
[0033]
As a result of the comparison, if the measured output value and the output value data stored in the storage area are substantially the same value (within a predetermined error range), the control unit 7 determines that a foreign substance is present on the sensor surface. Is determined not to be attached. Conversely, if the two output characteristics are different (variation occurs) beyond the above-mentioned predetermined error range, it is determined that foreign matter is attached to the sensor surface.
[0034]
Here, at least one of the temperature sensors 3 and 4 is stored as the output value data to be stored in the storage area because the temperature sensor 3 is used if no foreign matter is attached to the sensor surface. , 4 are almost the same, and the determination can be made without storing both. In making the determination, at least one or both of the upstream and downstream temperature sensors 3 and 4 are compared because if foreign matter is detected on at least one of them, foreign matter can be detected without comparing the other. This is because it can be determined that they are attached.
[0035]
Embodiment 4
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described. In the fourth embodiment, the use of the temperature sensors 3 and 4 and the temperature sensor 5 for measuring the ambient temperature is used to determine the attachment of foreign matter to the sensor surface.
[0036]
That is, in the present embodiment, when judging the presence / absence of foreign matter on the sensor surface, the control unit 7 outputs the output of the temperature sensor 5 for detecting the ambient temperature when the fluid to be measured is in a stationary state. A control configuration that compares the output value of at least one of the temperature sensors 3 and 4 upstream or downstream of the heater 2 and determines whether foreign matter has adhered to the sensor body based on the comparison result. Is provided.
[0037]
In other words, when the fluid to be measured is in a stationary state and the heater 2 is not heated, and no foreign matter is attached to the sensor surface, the temperature of the ambient temperature of the temperature sensor 5 and the temperature sensors 3 and 4 Show almost the same value. On the other hand, if foreign matter adheres to the sensor surface, the output value of the temperature sensor 5 and the output values of the temperature sensors 3 and 4 show different values due to the influence of the foreign matter.
[0038]
The present embodiment focuses on this point to determine whether foreign matter has adhered to the sensor surface. When the fluid to be measured is in a stationary state, the control unit 7 The output value is compared with the output value of at least one of the temperature sensors 3 and 4, and if the comparison result is substantially the same value (within a predetermined error), the control unit 7 displays It is determined that no foreign matter is attached. Conversely, if the two output values are different (variation occurs) beyond the above-mentioned predetermined error range, it is determined that a foreign substance has adhered to the sensor surface.
[0039]
Here, in the determination, the comparison of at least one or both of the upstream and downstream temperature sensors 3 and 4 is performed when foreign matter adhesion is detected in at least one of the temperature sensors 3 and 4. In both cases, it can be determined that foreign matter is attached to the sensor surface.
[0040]
Embodiment 5
Next, a gas combustion device (for example, a hot water supply device) 10 using the thermal mass flow sensor 1 according to the present invention will be described with reference to FIG.
[0041]
FIG. 3 shows a hot water supply apparatus provided with a flow rate sensor for detecting a flow rate of fuel gas in a fuel gas supply path, and for adjusting a supply rate of fuel gas to a burner based on a measurement result of the flow rate sensor. It is a block diagram showing a schematic structure.
[0042]
That is, like the conventional hot water supply device, the hot water supply device 10 includes a fan motor 11 for supplying combustion air to the burner, a gas flow control valve 12 for adjusting a fuel supply amount to the burner, and a hot water supply device. And the like (water sensor) 13 for measuring the amount of incoming water and the like, a sensor (temperature sensor) 14 for measuring the incoming and outgoing water temperatures, and the flow rate of the fuel gas supplied to the burner. A main part includes a gas flow rate detecting means 15 to be measured, an operating means 16 for performing various operations such as a setting operation of a hot water supply set temperature, and a control means 17.
[0043]
In the present embodiment, the thermal mass flow sensor 1 described in any one of Embodiments 1 to 4 is used as the gas flow detection unit 15. In other words, in the present embodiment, a flow sensor capable of determining the presence or absence of foreign matter adhering to the sensor surface is used as the gas flow detecting means 15. The control unit 7 of the thermal mass flow sensor 1 is provided so as to be linked with the control unit 17 of the hot water supply device 10. That is, since the control unit 17 of the hot water supply device 10 is mainly configured by a microcomputer, the control unit 7 is realized by software of the control unit 17 in the present embodiment.
[0044]
Further, with the use of the thermal mass flow sensor 1 as the gas flow detecting means 15, in the present embodiment, the control means 17 is provided with an alarm output means 18 and a foreign matter removing means 19.
[0045]
The alarm output means 18 is for notifying the occurrence of an abnormality to the outside. For example, an indicator light for notifying the occurrence of the abnormality in a visible manner, such as a light emitting diode, or an abnormality, such as a buzzer sound generator. It is composed of an output device such as a sound for audibly informing of the occurrence.
[0046]
Further, the foreign matter removing means 19 is a device for removing foreign matter attached to the surface of the thermal mass flow sensor 1, for example, a fluid ejecting device for ejecting a fluid to the sensor surface to remove the foreign matter, or a sensor. It is composed of a wiping device that wipes foreign substances on the surface directly.
[0047]
In the hot water supply apparatus 10 configured as described above, the control unit 17 closes the gas flow control valve 12 (that is, when the gas supply to the gas supply path is shut off). ), The controller 7 of the thermal mass flow sensor 1 is configured to perform the above-described foreign matter adhesion determination processing. If it is determined in this determination that foreign matter has adhered to the sensor surface, the control means 17 notifies the outside through the alarm output means 18 based on the determination result.
[0048]
Similarly, when the control unit 7 of the thermal mass flow sensor 1 determines that foreign matter has adhered to the sensor surface, the control unit 17 operates the foreign matter removing unit 19 based on the determination result. To remove foreign matter adhering to the sensor body.
[0049]
As described above, according to the hot water supply apparatus 10 of the present invention, when foreign matter adheres to the sensor surface, the hot water supply apparatus 10 leaves the fact outside through the alarm output means 18, and removes the foreign matter by the foreign matter removal means 19. Therefore, it is possible to prevent the hot water supply device 10 from malfunctioning due to the attachment of foreign matter to the sensor surface.
[0050]
It should be noted that the above-described embodiments merely show preferred embodiments of the present invention, and the present invention is not limited to these embodiments, and various design changes can be made within the scope.
[0051]
For example, in the above-described embodiment, the case where the thermal mass flow sensor 1 of the present invention is applied to the hot water supply device 10 is shown, but the thermal mass flow sensor 1 of the present invention is also applied to other devices other than the hot water supply device. It is possible.
[0052]
【The invention's effect】
As described in detail above, according to the thermal mass flow sensor of the present invention, the control unit determines whether foreign matter has adhered to the sensor surface based on the output value of the temperature sensor provided in the thermal mass flow sensor. Since the control structure for determining is provided, it is possible to quickly detect foreign matter adhesion. Therefore, erroneous measurement of the flow rate due to the adhesion of foreign matter can be avoided, and malfunction of the device based on erroneous measured values can be prevented.
[0053]
Further, in the gas combustion device of the present invention, since the control means of the combustion device is linked to the control unit of the thermal mass flow sensor, when the gas supply to the gas supply path is shut off (in other words, when the combustion is stopped). (When the apparatus is in a stopped state), it is possible to make the thermal mass flow sensor determine whether or not foreign matter has adhered to the sensor body.
[0054]
Also, the combustion device is provided with an alarm output unit, and when a determination result indicating that there is a foreign object attached to the sensor body is obtained, the attachment of the foreign object is notified through the alarm output unit, so that the attachment of the foreign object to the sensor surface is suppressed. We can know immediately.
[0055]
In addition, by providing the combustion device with foreign matter removing means, and obtaining a result indicating that foreign matter has adhered to the sensor body, operating the foreign matter removing means to remove foreign matter attached to the sensor surface, thereby obtaining a sensor. Malfunction of the combustion device due to abnormal output can be prevented.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory diagram showing a schematic configuration of a thermal mass flow sensor according to the present invention.
FIG. 2 shows the state of foreign matter adhering to the thermal mass flow sensor on the left, and the output characteristics of the thermal mass flow sensor corresponding to the left on the right, and FIG. FIG. 2B shows a state in which the sensor is stationary and no foreign matter is attached to the sensor surface, and FIG. 2B shows a state in which the fluid is stationary and foreign matter is attached to the sensor surface.
FIG. 3 is a block diagram showing a schematic configuration of a gas combustion device according to the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Thermal mass flow sensor 2 Heaters 3, 4, 5 Temperature sensor 6 Sensor main body 7 Control unit 10 Hot water supply device (gas combustion device)
17 control means 18 alarm output means 19 foreign matter removing means

Claims

流体の流量を測定するためのセンサであって、ヒータと、このヒータの上流および下流の両脇に設けられて前記ヒータによる流体の温度上昇を検出する温度センサとを有するセンサ本体と、このセンサ本体の制御部とからなる熱式質量流量センサにおいて、
被測定対象である流体が静止状態にあるときに、前記制御部が、前記ヒータを加熱させ、前記上流側と下流側の両温度センサの出力値を比較して、その比較結果から前記センサ本体への異物の付着の有無を判定する制御構成を備える
ことを特徴とする熱式質量流量センサ。A sensor body for measuring a flow rate of a fluid, comprising: a heater; and a temperature sensor provided on both the upstream and downstream sides of the heater and configured to detect a temperature rise of the fluid by the heater. In the thermal mass flow sensor consisting of the control unit of the main body,
When the fluid to be measured is in a stationary state, the control unit heats the heater, compares the output values of both the upstream and downstream temperature sensors, and, based on the comparison result, determines the sensor body. A thermal mass flow sensor, comprising: a control structure for determining whether foreign matter has adhered to the mass flow sensor.

流体の流量を測定するためのセンサであって、ヒータと、このヒータの上流および下流の両脇に設けられて前記ヒータによる流体の温度上昇を検出する温度センサとを有するセンサ本体と、このセンサ本体の制御部とからなる熱式質量流量センサにおいて、
被測定対象である流体が静止状態にあるときに、前記制御部が、前記ヒータを加熱させ、この状態で前記上流側と下流側の各温度センサの少なくとも一方または双方の出力値の変化を一定時間測定し、この測定結果と制御部に備えられた所定の出力特性データとを比較して、その比較結果から前記センサ本体への異物の付着の有無を判定する制御構成を備える
ことを特徴とする熱式質量流量センサ。A sensor body for measuring a flow rate of a fluid, comprising: a heater; and a temperature sensor provided on both the upstream and downstream sides of the heater and configured to detect a temperature rise of the fluid by the heater. In the thermal mass flow sensor consisting of the control unit of the main body,
When the fluid to be measured is in a stationary state, the control unit heats the heater, and in this state, the change in the output value of at least one or both of the upstream and downstream temperature sensors is constant. It is characterized by comprising a control structure for measuring time, comparing this measurement result with predetermined output characteristic data provided in the control unit, and judging the presence or absence of foreign matter adherence to the sensor body from the comparison result. Thermal mass flow sensor.

流体の流量を測定するためのセンサであって、ヒータと、このヒータの上流および下流の両脇に設けられて前記ヒータによる流体の温度上昇を検出する温度センサとを有するセンサ本体と、このセンサ本体の制御部とからなる熱式質量流量センサにおいて、
被測定対象である流体が静止状態にあるときに、前記制御部が、前記ヒータを加熱させ、この状態で所定時間が経過した時における前記上流側と下流側の各温度センサの少なくとも一方または双方の出力値を測定し、この測定結果と制御部に備えられた所定の出力値とを比較して、その比較結果から前記センサ本体への異物の付着の有無を判定する制御構成を備える
ことを特徴とする熱式質量流量センサ。A sensor body for measuring a flow rate of a fluid, comprising: a heater; and a temperature sensor provided on both the upstream and downstream sides of the heater and configured to detect a temperature rise of the fluid by the heater. In the thermal mass flow sensor consisting of the control unit of the main body,
When the fluid to be measured is in a stationary state, the control unit heats the heater, and at least one or both of the upstream and downstream temperature sensors when a predetermined time has elapsed in this state. A control configuration for measuring the output value of the sensor unit, comparing the measurement result with a predetermined output value provided in the control unit, and determining whether or not foreign matter has adhered to the sensor body from the comparison result. Characteristic thermal mass flow sensor.

流体の流量を測定するためのセンサであって、ヒータと、このヒータの上流および下流の両脇に設けられて前記ヒータによる流体の温度上昇を検出する温度センサと、前記上流側の温度センサの更に上流側に設けられて雰囲気温度を検出する温度センサとを有するセンサ本体と、このセンサ本体の制御部とからなる熱式質量流量センサにおいて、
被測定対象である流体が静止状態にあるときに、前記制御部が、前記雰囲気温度を検出する温度センサの出力値と、前記ヒータの上流または下流にある温度センサの少なくもいずれか一方の出力値とを比較し、その比較結果から前記センサ本体への異物の付着の有無を判定する制御構成を備える
ことを特徴とする熱式質量流量センサ。A sensor for measuring the flow rate of the fluid, comprising: a heater; a temperature sensor provided on both the upstream and downstream sides of the heater to detect a temperature rise of the fluid by the heater; and a temperature sensor on the upstream side. In a thermal mass flow sensor comprising a sensor main body having a temperature sensor provided at the upstream side and detecting an ambient temperature, and a control unit of the sensor main body,
When the fluid to be measured is in a stationary state, the control unit outputs an output value of a temperature sensor that detects the ambient temperature, and an output value of at least one of a temperature sensor upstream or downstream of the heater. A thermal mass flow sensor, comprising: a control unit that compares the value with a value and determines whether foreign matter is attached to the sensor body based on the comparison result.

燃料ガスの供給路に請求項１から４のいずれかに一つに記載の熱式質量センサを備えたガス燃焼装置であって、
ガス燃焼装置の制御手段が、前記熱式質量流量センサの制御部と連係され、前記ガス供給路へのガス供給を遮断している際に、前記制御部にセンサ本体への異物の付着の有無を判定させる制御構成を備えた
ことを特徴とするガス燃焼装置。A gas combustion device provided with a thermal mass sensor according to any one of claims 1 to 4 in a fuel gas supply path,
The control unit of the gas combustion device is linked to the control unit of the thermal mass flow sensor, and when the gas supply to the gas supply path is shut off, whether or not foreign matter adheres to the sensor body is detected by the control unit. A gas combustion device comprising a control configuration for determining

所定の警報出力手段を備えてなり、
前記制御手段は、前記制御部からセンサ本体への異物付着があるとの判定結果を得た場合に、前記警報出力手段を通じてセンサ本体への異物付着を報知する制御構成を備えた
ことを特徴とする請求項５に記載のガス燃焼装置。Provided with predetermined alarm output means,
The control means is provided with a control structure for notifying the attachment of foreign matter to the sensor main body through the alarm output means when a result of the determination that foreign matter is attached to the sensor main body is obtained from the control unit. The gas combustion device according to claim 5, wherein

前記燃料ガスの供給路に異物除去手段を備えてなり、
前記制御手段は、前記制御部からセンサ本体への異物付着があるとの判定結果を得た場合に、前記異物除去手段を動作させてセンサ本体に付着した異物を除去させる制御構成を備えた
ことを特徴とする請求項５に記載のガス燃焼装置。The fuel gas supply path includes foreign matter removing means,
The control means is provided with a control structure for operating the foreign matter removing means to remove the foreign matter adhered to the sensor main body when obtaining a determination result from the control unit that foreign matter has adhered to the sensor main body. The gas combustion device according to claim 5, characterized in that: