JP2004205144A

JP2004205144A - Substrate drying apparatus for plasma display panel

Info

Publication number: JP2004205144A
Application number: JP2002376427A
Authority: JP
Inventors: Keiji Kawazoe; 啓司川添; Naoko Matsuda; 直子松田; Hiroyuki Naka; 裕之中
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2002-12-26
Filing date: 2002-12-26
Publication date: 2004-07-22

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate drying apparatus for a plasma display panel allowing the easy maintenance of a substrate heating heater or an air supply/exhaust tube installed in a drying chamber. <P>SOLUTION: A first air supply/exhaust tube support member 514, a second air supply/exhaust tube support member 515, an air supply tube 112, an air exhaust tube 113, and the heater 111 are formed integrally with each other. Rollers 116 are installed on the air supply/exhaust tube support member 514 and the air supply/exhaust tube support member 515. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレィ用基板（以下ＰＤＰ用基板）の製造において、ガラス基板上に形成された電極、透明誘電体層、リブ、又は、蛍光体層等の膜を乾燥させるために使用するＰＤＰ用基板乾燥装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種のＰＤＰ用基板乾燥装置は、ＰＤＰ用の前面基板上に形成された電極の膜を乾燥し、上記前面基板上に形成された透明誘電体層等の膜を乾燥させるようにしている。また、ＰＤＰ用基板乾燥装置は、ＰＤＰ用の背面基板上に形成されたリブの膜を乾燥し、上記背面基板上に形成された蛍光体層等の膜を乾燥させるようにしている。上記各乾燥工程のために、長尺な横置き型乾燥炉が、それぞれ配置されている。
【０００３】
しかしながら、上記構造のものでは、平面的に複数の乾燥炉を横置きに並べているため、工場内における乾燥装置の占有面積がかなり大きくなるとともに、乾燥装置全体の表面積も、大きくなっている。その結果、乾燥装置から放散される熱量も全消費熱量のうち４０〜５０％を占める。
【０００４】
そこで、工場内における乾燥装置の占有面積及び乾燥装置全体の表面積を減少させる目的で、横置き型乾燥炉の乾燥装置に代わり、各乾燥炉を上方向に何段にも積み重ねた、縦型の多段の乾燥室より構成される多段乾燥装置が提案されている（例えば、特許文献１及び特許文献２参照。）。
【０００５】
また、その何段にも積み重ねられた各乾燥室内において、搬入される基板と、該基板の上方に設けられた給排気管及びヒ−タとの距離を従来より限りなく小さくし、各乾燥室の高さを従来の横置き型乾燥炉高さより大幅に縮小することによって、多段乾燥装置全体の高さを抑えることができる。
このような多段乾燥装置によって、省スペ−ス化、省エネルギ−化を実現することができる。
【０００６】
【特許文献１】
特開平５−２０３３６４号公報
【特許文献２】
特開平５−２０３３６５号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記のように、各乾燥室の高さを大幅に縮小した結果、各乾燥室内において、搬入された基板と、該基板の上方に設けられた給排気管及びヒ−タとの距離が、手が入らないほど小さくなっているため、各乾燥室内に設置されている基板加熱用ヒータまたは給排気管をメンテナンスすることは、非常に困難であるといった問題があった。
【０００８】
従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、乾燥室内に設置されている基板加熱用ヒータ又は給排気管を容易にメンテナンスすることができるＰＤＰ用基板乾燥装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
【００１０】
本発明の第１態様によれば、搬出搬入口より、ＰＤＰ用基板を乾燥室内に搬入し、上記基板に対して上記基板上方の給気管及び排気管から加熱ガスを給排気して上記基板を乾燥させるＰＤＰ用基板乾燥装置において、
上記乾燥室に上記搬出搬入口とは異なるメンテナンス用開口部に開閉可能に設けられる開閉ドアと、
上記給気管及び上記排気管を支持し、上記乾燥部内の上方で、案内機構により案内されて上記乾燥部内に対して上記メンテナンス用開口部を通り、上記給気管及び上記排気管と伴に出し入れ可能な給排気管支持部材と、
上記乾燥室内の上方で上記給気管及び上記排気管上に相対移動不可に載置された板状上側基板加熱用ヒ−タと、
上記開閉ドアに設けられ、上記給気管へ上記加熱ガスを供給する外部給気管に一端が連通して接続され、他端が上記給気管に連通して分離可能に上記給気管の給気管接続部に接続され、上記開閉ドアの上記乾燥室の外側からの外力で上記接続を解除可能で、かつ解除した後に上記給気管接続部を上記開閉ドアから分離可能な外部給気管側接続部と、
上記開閉ドアに設けられ、上記排気管から上記加熱ガスを回収する外部排気管に一端が連通して接続され、他端が上記排気管に連通して分離可能に上記排気管の排気管接続部に接続され、上記開閉ドアの上記乾燥室の外側からの外力で上記接続を解除可能で、かつ解除した後に上記排気管接続部を上記開閉ドアから分離可能な外部排気管側接続部と、
電源部と接続され、かつ上記開閉ドアに設けられ、上記開閉ドアの閉じ位置で、上記板状上側基板加熱ヒータの上側ヒータ側接続端子に上記閉じ位置で当接して接続され、上記開閉ドアの開き動作により、上記上側ヒータ側接続端子から離れて接続が解除される上側電源側接続端子とを備えるようにして、
上記開閉ドアの上記乾燥室の外側からの外力により、上記外部給気管側接続部と上記給気管接続部との接続を解除して、さらに上記開閉ドアの上記乾燥室の外側からの外力により、上記外部排気管側接続部と上記排気管接続部との接続を解除した後、上記開閉ドアの開き動作により、上記外部給気管側接続部から上記給気管接続部が抜けるとともに、上記外部排気管側接続部から上記排気管接続部が抜ける一方、上記上側電源側接続端子が上記ヒータ側接続端子から離れることで、上記案内機構により案内されて上記乾燥室内から上記給気管及び上記排気管を上記基板加熱用ヒータ及び給排気支持部材と一体的に搬出可能とするようにしたことを特徴とするＰＤＰ用基板乾燥装置を提供する。
【００１１】
本発明の第２態様によれば、上記案内機構は、
上記乾燥室の両側面の上方で、上記メンテナンス用開口部に向かって延びた１対の上側レールと、
上記１対の上側レール上を走行可能で、上記給排気支持部材に設けられた複数の上側ローラとを備えた第１態様に記載のＰＤＰ用基板乾燥装置を提供する。
【００１２】
本発明の第３態様によれば、上記外部給気管側接続部は、
上記外部給気管に連通する外部給気管側通路を有する筒状の部材であって、上記給気管接続部が上記外部給気管側通路内に抜き差し可能に挿入されて、上記給気管内の通路が上記外部給気管側通路に連通する外部給気管側接続部材と、
給気管係合位置で上記給気管接続部に係合するように上記外部給気管側接続部材に設けられ、上記開閉ドアの外側からの外力が作用したしたとき、係合位置から、上記給気管接続部との上記係合を解除する給気管係合解除位置へ移動可能な外部給気管側係合部材とを備え、
上記外部排気管側接続部は、
上記外部排気管に連通する外部排気管側通路を有する筒状の部材であって、上記排気管接続部が上記外部排気管側通路内に抜き差し可能に挿入されて、上記排気管内の通路が上記外部排気管側通路に連通する外部排気管側接続部材と、
排気管係合位置で上記排気管接続部に係合するように上記外部排気管側接続部材に設けられ、上記開閉ドアの外側からの外力が作用したしたとき、上記係合位置から、上記排気管接続部との係合を解除する排気管係合解除位置へ移動可能な外部排気管側係合部材とを備え、
上記開閉ドアの外側からの外力により、上記外部給気管側係合部材及び上記外部排気管側係合部材を係合解除位置にそれぞれ移動させて、上記開閉ドアを開き動作により、上記外部給気管側通路内から上記給気管接続部が抜けるとともに上記外部排気管側通路内から上記排気管接続部が抜ける第１または第２態様に記載のＰＤＰ用基板乾燥装置を提供する。
【００１３】
第４態様によれば、上記上側電源側接続端子は、
上記開閉ドアに設けられ、圧縮バネにより、常時、乾燥室内に向けて突出するように付勢され、上記開閉ドアが閉じた状態で上記上側電源側接続端子の先端が上記上側ヒータ側接続端子に接触する第１〜３の態様のいずれか１つに記載のＰＤＰ用基板乾燥装置を提供する。
【００１４】
第５態様によれば、上記乾燥室の下方で、上記乾燥室内を加熱する基板加熱部をさらに備えており、
上記基板加熱部は、
上記乾燥室内の両側面の下方で上記メンテナンス用開口部に向かって延びた一対の下側レールと、
上記乾燥室内の下方で上記一対の上記下側レール上を複数の下側ローラで走行可能かつ上記乾燥部内に対して上記メンテナンス用開口部を通り、出し入れ可能なヒータ支持枠と、
上記乾燥室内の下方で上記ヒータ支持枠に相対移動不可に載置された板状下側基板加熱用ヒ−タと、
上記開閉ドアに設けられ、上記圧縮バネにより、常時、乾燥室内に向けて突出するように付勢され、上記開閉ドアが閉じた状態で下側ヒータ側接続端子に接触する下側電源側接続端子とを備えるようにして、
上記開閉ドアの開き動作により、上記下側ヒータ側接続端子と上記下側電源側接続端子との接触を断ち、上記一対の下側レール上を上記ヒータ支持枠の上記下側ローラで走行させて上記乾燥室内から上記ヒータ支持枠と伴に上記基板下側加熱用ヒータを搬出可能とする第１〜４の態様のいずれか１つに記載のＰＤＰ用基板乾燥装置を提供する。
【００１５】
第６態様によれば、上記板状下側基板加熱用ヒ−タの下面で、上記板状下側基板加熱ヒータの長手方向沿いに複数のリブを備える第５態様に記載のＰＤＰ用基板乾燥装置を提供する。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１７】
本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置５００は、図１に示すように、直方体形状の乾燥室５０２の下面全体に配置された基台５０１上において、図１の左半分に直方体形状の上下移載空間５０６内に配置された上下移載部３００と、図１の右半分の下部に配置された排気部４００と、その排気部４００の上に配置された冷却部２００と、その冷却部２００の上に４段に積み重ねられた乾燥部１００と、乾燥部１００を動作制御している制御部６００と、４段に積み重ねられた乾燥部１００及び冷却部２００にガスを供給している給気部４２０とを備えている。
【００１８】
乾燥室５０２の外側で図１の左側下部に炉外排気口５０３と、その炉外排気口５０３の上方に配置された搬入・搬出口５０５と、図１の右側に上下に沿ってそれぞれ配置された排出管４０４及び乾燥部ガス給気管４２３及び冷却部用ガス給気管４２４と、上下移載空間５０６の天井に配置されたフィルターユニット５０４とを備えている。ここで、乾燥部ガス給気管４２３は、外部給気管の一例であり、排出管４０４は、外部排気管の一例である。
【００１９】
搬入・搬出口５０５は、ＰＤＰ用基板乾燥装置５００外においてガラス基板１０上に被乾燥物の一例として電極又は透明誘電体層又はリブ又は蛍光体層等の膜が形成されたＰＤＰ用基板１０を上記乾燥室５０２内に搬入する搬入口であり、かつ、ＰＤＰ用基板乾燥装置５００内で乾燥後のＰＤＰ用基板１０をＰＤＰ用基板乾燥装置５００外に搬出する搬出口である。
【００２０】
上下移載部３００は、ＰＤＰ用基板１０を出し入れする基板移載部３１０と、基板移載部３１０を昇降させる上下駆動部３２０を備えている。
【００２１】
基板移載部３１０は、四角筒の形状しており、搬入・搬出口５０５と、４段の各乾燥部１００と、冷却部２００とに対してＰＤＰ用基板１０を出し入れするように駆動する。
【００２２】
上下駆動部３２０は、基板移載部３１０を、乾燥部１００の４段それぞれに対向する４つの位置と、冷却部２００かつ搬入・搬出口５０５に対向する位置とに適宜上昇下降して、位置決めして停止する。尚、冷却部２００かつ搬入・搬出口５０５に対向する基板移載部３１０の位置を基準位置２０とする。
【００２３】
上下駆動部３２０は、上下方向に平行に配設された上下駆動軸３２１ａと３２１ｂと、制御部６００に接続されかつ上下駆動軸３２１ａと３２１ｂとを同期して上下に移動させるように駆動する上下駆動モータ３２２ａと３２２ｂとを備えている。よって、上下駆動モータ３２２ａと３２２ｂとを駆動することにより基準位置２０を含む上記５つの位置に位置決めして停止することができる。上下駆動軸３２１ａと３２１ｂの各上端に基板移載部３１０の底面が取り付けられ、各下端はフリーとなっていて、上下駆動軸３２１ａと３２１ｂとの上下軸の途中に上下駆動モータ３２２ａと３２２ｂが乾燥室５０２に固定されている。２つの上下駆動モータ３２２ａと３２２ｂとを、制御部６００の制御の下に正逆同期回転させて上下駆動軸３２１ａと３２１ｂとを昇降させることにより、基板移載部３１０を上記所定位置に位置決め停止可能としている。
【００２４】
以下、図１において左側を正面側とし、右側を背面側とする。
基板移載部３１０は、筐体３１５と、搬入・搬出口側受け渡し口３１２と、乾燥部側受け渡し口３１３と、ローラ３１１と、ヒータ３１４とを備えている。
【００２５】
筐体３１５は、四角筒の形状でありかつ正面側と背面側に開口があり、正面側開口部に搬入・搬出口側受け渡し口３１２と、背面側開口部に乾燥部側受け渡し口３１３とを備えている。
【００２６】
ローラ３１１は、筐体３１５内部において上記両側の受け渡し口３１２、３１３間の下方に等間隔で横方向に平行にかつＰＤＰ用基板１０が入ってくる方向に直交して複数本、例えば４本設けられ、ＰＤＰ用基板１０を両側の上記受け渡し口３１２、３１３へそれぞれ移動させるように制御部６００の制御の下で例えば、図示しないモータにより正逆同期回転可能となっている。尚、ローラ３１１の一方の端部に設けた図示しない歯車に図示しないチェーンベルトを渡し掛け、チェーンベルトに図示しないモータから動力を伝達することによって、一斉に駆動されて回転するようになっている。
【００２７】
ヒータ３１４は、筐体３１５内部を一定温度に加熱して保持するために、筐体３１５内側上面のほぼ全体に設けられている。
【００２８】
一方、上下移載空間５０６の天井にはフィルターユニット５０４が設けられ、フィルターユニット５０４を通った清浄なエアーが、上下移載空間５０６を通って、乾燥室５０２の下部に設けられた排気口５０３より排気されることで、乾燥室５０２内を清浄に保つようにしている。
【００２９】
上記乾燥部１００は、上下移載部３００から送られてくるＰＤＰ用基板１０上の電極又は透明誘電体層又はリブ又は蛍光体層等を、乾燥させるためにそれぞれ適した温度を維持するようにそれぞれ異なる温度、例えば大略１２０℃前後、大略１６０℃前後、大略１００℃前後にそれぞれ温度管理された室であり、独立した各室は、断熱材１０８を介して重ねて配置されている。
【００３０】
各乾燥部１００は、筐体１０１と、正面扉１０２と、背面メンテナンス用扉１０３と、揺動ローラ１０４と、正面ヒータ１０５と、背面ヒータ１０６と、側面ヒータ１０７と、上部ヒータユニット１１０と、下部ヒータユニット１２０と、給配気管連結部１８０と、ヒータ電源連結部１９０とを備えている。ここで、背面メンテナンス用扉１０３は、開閉ドアの一例である。
【００３１】
筐体１０１は、四角筒の形状でありかつ正面側と背面側にそれぞれ正面側開口１０１ａと背面側開口１０１ｂとを備えており、正面側開口１０１ａに配置された正面扉１０２と、背面側開口１０１ｂに配置された背面メンテナンス用扉１０３とを備えている。ここで、正面側開口１０１ａは搬出搬入口の一例である。
【００３２】
正面扉１０２は基板移載部３１０よりＰＤＰ用基板１０を出し入れするために、正面側開口１０１ａの下端縁部に配置されたヒンジ１６１により開閉可能かつ密閉可能に正面側開口１０１ａに配置されている。ＰＤＰ用基板１０を出し入れするときのみ正面扉１０２が開閉することで、乾燥部１００内の熱量が逃げることを最小限に抑えることが可能となっている。
【００３３】
正面ヒータ１０５は、正面扉１０２の内側に溶剤の結露が生じないように正面扉１０２の内側を一定温度、例えば、大略８０℃前後に保持するために、正面扉１０２の内側のほぼ全体に設けられている。
【００３４】
背面メンテナンス用扉１０３は、乾燥部１００のメンテナンスを行うために、背面側開口１０１ｂに開閉可能かつ密閉可能に背面側開口１０１ｂに配置されている。ここで、背面側開口１０１ｂは、メンテナンス用開口部の一例である。
【００３５】
背面ヒータ１０６は、背面扉１０３の内側に溶剤の結露が生じないように背面扉１０３の内側を一定温度例えば、大略８０℃前後に保持するために、背面扉１０３の内側のほぼ全体に設けられている。
【００３６】
側面ヒータ１０７も、筐体１０１内部の相対する両側面側に溶剤の結露が生じないように筐体１０１内部の両側面を一定温度に保持するために、筐体１０１内部の両側面のほぼ全体にそれぞれ設けらている。
【００３７】
揺動ローラ１０４は、筐体１０１の内部において、上記両側の扉１０２、１０３の間の下方に等間隔で横方向に平行にかつＰＤＰ用基板１０が入ってくる方向に直交して複数本、例えば４本設けられ、上下移載部３００に対してＰＤＰ用基板１０を出し入れしかつ筐体内で図１の左右に揺動させるように制御部６００の制御の下で例えば図示しないモータにより正逆同期回転可能となっている。尚、ローラ３１１の一方の端部に設けた図示しない歯車に図示しないチェーンベルトを渡し掛け、チェーンベルトに図示しないモータから動力を伝達することによって、一斉に駆動されて回転するようになっている。また、ＰＤＰ用基板１０を左右に揺動するストロークは、ローラ１０４が停止した位置から例えば左に１／２ピッチと、右に１／２ピッチとの間の範囲とすることができる。ここで、ピッチとは、等間隔に配置された揺動ローラ１０４の配置ピッチを表す。
【００３８】
上部ヒータユニット１１０は、膜乾燥用として筐体１０１内部を加熱して一定温度に保持するために、筐体１０１内側上面のほぼ全体に設けられており、給排気管連結部１８０を介して乾燥部用ガス給気管４２３及び排出管４０４に接続されている。ここで、給排気管連結部１８０は、外部給気管側接続部または外部排気管側接続部の一例である。
【００３９】
下部ヒータユニット１２０は、膜乾燥用として筐体１０１内部を加熱して一定温度に保持するために、上部ヒータユニット１１０に相対するように揺動ローラ１０４の下方に設けられている。なお、上部ヒータユニット１１０及び下部ヒータユニット１２０の詳細は後述する。
【００４０】
このような乾燥部１００の構成は、４段における他の段の乾燥部１００の構成と同一である。
【００４１】
４段の乾燥部１００の最下部に配置されている乾燥部１００のさらに下方に断熱材１０８を介して配置された冷却部２００は、筐体２０１と、正面扉２０２と、背面メンテナンス用扉２０３と、揺動ローラ２０４と、正面ヒ−タ２０５と、背面ヒータ２３６と、側面ヒータ２０７と、下部冷却プレート２０６と、上部ヒータ２１１とを備えている。
【００４２】
筐体２０１は、四角筒の形状でありかつ正面側と背面側にそれぞれ正面側開口２０１ａと背面側開口２０１ｂとを備えており、正面側開口２０１ａに配置された正面扉２０２と、背面側開口２０１ｂに配置された背面メンテナンス用扉２０３とを備えている。
【００４３】
正面扉２０２は基板移載部３１０よりＰＤＰ用基板１０を出し入れするために、正面側開口２０１ａの下端縁部に配置されたヒンジ２６１により開閉可能かつ密閉可能に正面側開口に配置されている。ＰＤＰ用基板１０を出し入れするときのみ正面扉２０２が開閉することで、冷却部２００内の熱量が逃げることを最小限に抑えることが可能となる。正面ヒータ２０５は、正面扉２０２内側に溶剤の結露が生じないように正面扉２０２内側を一定温度、例えば、大略８０℃前後に保持するために、正面扉２０２内側のほぼ全体に設けられている。
【００４４】
背面メンテナンス用扉２０３は、冷却部２００のメンテナンスを行うために、背面側開口２０１ｂの上端縁部に配置されたヒンジ２６２により開閉可能かつ密閉可能に背面側開口２０１ｂに配置される。背面ヒータ２０６は、背面扉２０３の内側に溶剤の結露が生じないように背面扉２０３の内側を一定温度例えば、大略８０℃前後に保持するために、背面扉２０３の内側のほぼ全体に設けられている。
【００４５】
揺動ローラ２０４は、筐体２０１の内部において、上記両側の扉２０２、２０３の間の下方に等間隔で横方向に平行にかつＰＤＰ用基板１０が入ってくる方向に直交して複数本、例えば４本設けられ、上下移載部３００に対してＰＤＰ用基板１０を出し入れしかつ筐体２０１内で図１の左右に揺動させるように制御部６００の制御の下で例えば図示しないモータにより正逆同期回転可能となっている。尚、ローラ３１１の一方の端部に設けた図示しない歯車に図示しないチェーンベルトを渡し掛け、チェーンベルトに図示しないモータから動力を伝達することによって、一斉に駆動されて回転するようになっている。また、ＰＤＰ用基板１０を左右に揺動するストロークは、ローラ２０４が停止した位置から例えば左に１／２ピッチと、右に１／２ピッチとの間の範囲とすることができる。ここで、ピッチとは、等間隔に配置された揺動ローラ２０４の配置ピッチを表す。
【００４６】
上部ヒータ２１１は、筐体２０１内部の上面に溶剤の結露が生じないように筐体２０１内部の上面を一定温度、例えば、大略８０℃前後に保持するために、筐体２０１内部の上面のほぼ全体に設けられて、上部ヒータ２１１に相対するように揺動ローラ２０４の下方に板状の下部冷却プレート２０６が複数、例えば３個、ＰＤＰ用基板１０を冷却するために設けられている。
【００４７】
側面ヒータ２０７も、筐体２０１内部の相対する両側面側に溶剤の結露が生じないように筐体２０１内部の両側面を一定温度に保持するために、筐体２０１内部の両側面のほぼ全体にそれぞれ設けらている。ここで、冷却工程とは、ＰＤＰ基板１０を冷却部２００内で冷却している間をいう。
【００４８】
冷却プレート２０６には、冷却部２００内にガスを給気するための給気穴２４１が複数個形成され、給気穴２４１に連通するように冷却部用ガス給気管４２４接続されている。また、冷却部２００内のガスを外部へ排気する排気管２１３が、冷却部２００の下部に設けられ、排出管４０４に連通して接続されている。
【００４９】
給気穴２４１と冷却部用ガス給気管４２４とが連通することにより、冷却部用ガス給気管４２４から下部冷却プレート２０６の各給気穴２４１を通じてガスを冷却部２００内に供給可能となり、また排気管２１３と排出管４０４とが連通することにより、冷却部内のガスを各排気穴２４２から排気管２１３を経て排出管４０４へ排気可能となっている。
【００５０】
給気部４２０は、ＰＤＰ用基板乾燥装置５００の装置外に配設されるガスを送り出す装置、例えば、ボンプであるガス供給源４２１と、そのガスを加熱する予熱ヒータ４３８とを備えている。
【００５１】
ガス供給源４２１は、各乾燥部１００内の各上部ヒータユニット１１０と給排気管連結部１８０を介して連通している４本の乾燥部用ガス給気管４２３が合流して１本となった乾燥部用ガス給気管４２３の端部に連通して接続される。合流前の各ガス給気管４２３には図示しない開閉弁がそれぞれ設けられている。
【００５２】
予熱ヒータ４３８は、４本の乾燥部用ガス給気管４２３が合流して一本となった乾燥部用ガス給気管４２３に配置される。このように配置されたガス供給源４２１は、例えば、乾燥部１００内の設定温度が１００℃のときは、予熱ヒータ４３８によって熱せられた大略８０℃〜１００℃前後のガスを各乾燥部１００内に、各上部ユニット１１０を通じて供給することが可能となっている。
【００５３】
一方、冷却部２００内の下部冷却プレート２０６の各給気穴２４１と連通している冷却部用ガス給気管４２４は、乾燥部用ガス給気管４２３に配置されている予熱ヒータ４３８とガス供給源４２１との間で分岐した管である。よって、ガス供給源４２１は、熱せられていないガス、例えば常温のガスを冷却部用ガス給気管４２４と下部冷却プレート２０６の各給気穴２４１を通じて供給することが可能となっている。
【００５４】
乾燥部１００及び冷却部２００に供給されるガスの一例としては空気を用いることができ、被乾燥物に応じてＯ_２の多く含まれた空気や、Ｎ_２の多く含まれた不活性ガス等を用いる。
【００５５】
上記被乾燥物とは、背面基板用のＰＤＰ用基板上１０に形成された電極、透明誘電体層、リブ、又は、蛍光体層等の膜のことをいい、また前面基板用のＰＤＰ用基板上１０に形成された電極または透明誘電体層の膜のことをいう。
【００５６】
排気部４００は、溶剤ガス結露用熱交換器４０１と、結露収集容器４０２と、熱排気ファン４０３と、接続排気管４０５とを備えている。
【００５７】
排気部４００の背面側に配置された溶剤ガス結露用熱交換器４０１の一端が排出管４０４と接続し、他端が接続排気管４０５を介して熱排気ファン４０３の一端と接続し、熱排気ファン４０３の他端は外部排気管４０６と接続している。
【００５８】
溶剤ガス結露用熱交換器４０１と一端にて接続している熱排気ファン４０３は、各乾燥部１００内部と冷却部２００内部より上部ヒータユニット１１０及び排気管２１３と排出管４０４と溶剤ガス結露用熱交換器４０１とを通じて熱排気ファン４０３内にガスを吸い込むようにしている。そのガスが溶剤ガス結露用熱交換器４０１を通過するときに、ガスに含まれている溶剤が、溶剤ガス結露用熱交換器４０１により冷却されて液化し、溶剤ガス結露用熱交換器４０１の下方に配置された結露収集容器４０２に溜められるようにしている。よって、熱排気ファン４０３の他端に連通している外部排気管４０６より、溶剤の含まれてないガスが排気されるようになっている。なお、各乾燥部１００の排気管１１３に連結されている排出管４０４には、図示しない開閉弁をそれぞれ設けても良い。
【００５９】
一方、上部ヒータユニット１１０は、詳細には以下のように構成されている。図２〜図５において、上記上部ヒータユニット１１０は、上ヒータ１１１と、第１給排気管支持部材５１４と、第２給排気支持部材５１５と、給気管１１２と、排気管１１３と、給気管接続部の一例としての集中給気管１５５と、集中排気管１５６と、上ヒータ支持部材１１５と、ローラ１１６と、ピン１１７と、レール１３１及び１３２と、案内ブロック１３０ａ及び１３０ｂとを備えている。ここで、ローラ１１６、レール１３１、及びレール１３２とより構成する機構は、案内機構の一例でである。上ヒータ１１１は、板状上側基板加熱用ヒータの一例である。第１給排気管支持部材５１４と第２給排気管支持部材５１５とより構成される支持枠は、給排気管支持枠の一例である。
【００６０】
レール１３１と１３２は、縦断面がＬ型の部材で、横方向沿いのローラ走行面１３１ａと１３２ａとがお互い近接されるように、互いに平行にかつＰＤＰ用基板１０の上方で、ＰＤＰ用基板１０の搬送方向沿いに筐体１０１の内面の側面へ固定して設けられている。
【００６１】
第１給排気管支持部材５１４と第２給排気管支持部材５１５は、縦断面が四角枠の部材で、互いに平行にかつレール１３１、１３２の内側で、ＰＤＰ用基板１０の搬送方向沿いに配置されている。第１給排気管支持部材５１４と第２給排気管支持部材５１５の正面側の一端は閉じられており、内部には第１通路５１４ａ及び第２通路５１５ａが形成されている。
【００６２】
第１給排気管支持部材５１４の背面側の他端には、集中給気管１５５が固定して設けられている。集中給気管１５５は、第１通路５１４ａに連通し、かつ給排気管連結部１８０を介して乾燥部用ガス給気管４２３に連通して接続されている。また、第２給排気管支持部材５１５の背面側の他端には、集中排気管１５６が固定して設けられている。集中排気管１５６は、第２通路５１５ａに連通し、かつ給排気管連結部１８０を介して排出管４０４に連通して接続されている。集中給気管１５５及び集中排気管１５６の接続部の先端形状については、後に給排気管連結部１８０を説明する際に説明する。
【００６３】
ガスを乾燥部１００内に給気する給気管１１２及び溶剤を含んだガスを乾燥部１００内から排気する排気管１１３は、ＰＤＰ用基板１０の搬送方向に直交するように計５本設けられており、各々が等間隔にかつ平行となるように配置されている。給気管１１２の一端は、第１給排気管支持部材５１４に固定して設けられ、他端は第２給排気管支持部材５１５に固定して設けられている。同様に、排気管１１３の一端は、第１給排気管支持部材５１４に固定して設けられ、他端は第２給排気管支持部材５１５に固定して設けられている。各給気管１１２及び各排気管１１３は、各給気管１１２及び各排気管１１３の上面が、第１給排気管支持部材５１４及び第２給排気管支持部材５１５の上面５１４ｂ及び上面５１５ｂより下方となるように、接続されている。なお、正面扉１０２側から排気管１１３、給気管１１２、給気管１１２、給気管１１２、排気管１１３の順で配置されている。また、３本の給気管１１２は、第１通路５１４ａに連通するが、第２通路５１５ａには連通せず、２本の排気管１１３は、第２通路５１５ａに連通するが、第１通路５１４ａには連通していない。従って、ガス給気源４２１より乾燥用ガス給気管４２３内に供給されるガスは、予熱ヒータ４３８を通って乾燥用ガス給気管４２３内で加熱され、加熱されたガスは、給排気管連結部１８０、集中給気管１５５、及び第１通路５１４ａを通って、各給気管１１２に形成された複数の給気穴１４１より乾燥部１００内に給気されるようになっている。また、乾燥部１００内の溶剤が含まれたガスは、各排気管１１３に形成された各排気穴１４２より第２通路５１５ａに入り、集中排気管１５６と給排気管連結部１８０を通って排出管４０４から排気可能となっている。
【００６４】
各給気管１１２の各給気穴１４１は、図５に示すように、各給気管１１２の円周上で上下の軸１７０から傾いた、例えば時計回りに４５度の位置と、反時計回りに４５度の位置に、給気管１１２の長手方向に沿って等間隔で、千鳥状に複数個の給気穴１４１が形成される。
【００６５】
また、各排気管１１３の各排気穴１４２は、上記給気管１１２の隣り合わせに配置された排気管１１３において、排気管１１３の円周上で上下の軸１７１から傾いた、例えば時計回りに４５度の位置と、反時計回りに４５度の位置に、長手方向に沿って等間隔で、千鳥状に複数個形成される。なお、排気管１１３は排気穴１４２を設ける代わりに、ステンレス粒子からなる多孔質の燒結パイプを用いても、ＰＤＰ用基板１０上で必要な風速と風量が得られる。
【００６６】
このような給気管１１２と排気管１１３とが隣り合わせに配置された場合において、上下の軸１７０から反時計回りに４５度の位置に形成された給気穴１４１と、上下の軸１７１から時計回りに４５度の位置に形成された排気穴１４２とはパイプ長手方向に沿って位相が異なる関係になっている。その結果、給気穴１４１から供給されたガスが隣に配置された排気管１１３の排気穴１４２に直接吸い込まれず、一旦、乾燥部１００内に流出した後、排気穴１４２に吸い込まれるようになっている。
【００６７】
第１給排気管支持部材５１４及び第２給排気管支持部材５１５の外側面側の基板搬送方向沿いの両端部には、それぞれ、ピン１１７を介して回転自在にローラ１１６が取り付けられている。すなわち、ローラ１１６は、第１給排気管支持部材５１４及び第２給排気管支持部材５１５のそれぞれの背面側の外側面及び正面側の外側面に各々１個ずつ計４個設けられ、レール１３１及び１３２の走行面１３１ａ及び１３２ａ上で第１給排気管支持部材５１４及び第２給排気管支持部材５１５を伴って、ＰＤＰ用基板１０の搬送方向に沿って自在に走行可能となっている。また、ローラ１１６が走行面１３１ａ及び１３２ａより脱落しないように、案内ブロック１３０ａ及び１３０ｂが、レール１３１及び１３２の走行面１３１ａ、１３２ａの側面側に、走行面１３１ａ、１３２ａ上に沿ってレール１３１及び１３２と平行に配置されている。
【００６８】
第１給排気管支持部材５１４及び第２給排気管支持部材５１５の内側面には、角材のヒータ支持部材１１５が取り付けられている。ヒータ支持部材１１５は、第１給排気管支持部材５１４及び第２給排気管支持部材５１５の内側面の正面側及び背面側に各々１個ずつ計４個配置されている。そして、大略長方形の板状の上ヒータ１１１が、ＰＤＰ用基板１０の搬送方向両側で２個ずつのヒータ支持部材１１５に少し隙間を設けて挟まれるように、かつ第１給排気管支持部材５１４及び第２給排気管支持部材５１５の内側面に少し隙間を設けて挟まれるように、給気管１１２と排気管１１３との上に自重で載置されている。よって、上ヒータ１１１は、ヒータ支持部材１１５、第１給排気管支持部材５１４、及び第２給排気管支持部材５１５によりＰＤＰ用基板１０の搬送方向及び該搬送方向と直交する方向に移動が規制されている。
【００６９】
即ち、各給気穴１４１より給気されたガスは、給気管１１２の上に載置された上ヒータ１１１に当たって加熱される。その加熱されたガスは、ＰＤＰ用基板１０上の膜に接触してこの膜を乾燥させる。そして、その乾燥により蒸発した溶剤を含むガスは、各排気穴１４２から排気管１１３内に吸引される。上ヒータ１１１は、ヒータ支持部材１１５、第１給排気管支持部材５１４及び第２給排気管支持部材５１５の間に隙間を有し、給気管１１２と排気管１１３との上に自重で載置されているだけであるので、たとえ上ヒータ１１１が熱で膨張したとしても、上ヒータ１１１と、給気管１１２と排気管１１３とヒータ部材１１５と第１給排気管支持部材５１４と第２給排気管支持部材５１５との相対移動が可能となり、これらの部材に対して上ヒータ１１１の熱膨張による歪みを生じさせない。
【００７０】
なお、ＰＤＰ用基板乾燥装置５００の稼動中に上ヒータ１１１が故障した場合には、信号が制御部６００に送られ、どの乾燥部１００内の上ヒータ１１１が故障したかが操作盤に表示されるようになっている。
【００７１】
第１給排気管支持部材５１４または第２給排気管支持部材５１５を乾燥部１００内から引き出すと、４個のローラ１１６がレール１３１及び１３２上を円滑に回転して、第１給排気管支持部材５１４と第２給排気管支持部材５１５と給気管１１２と排気管１１３と上ヒータ１１１とを一体的かつ同時にかつ円滑に取り出すことができるようになっている。
【００７２】
一方、上部ヒータユニット１１０の集中給気管１５５と、乾燥部ガス供給管４２３とを接続し、又は、集中排気管１５６と排出管４０４とを接続している給排気管連結部１８０について説明する。なお、給排気管連結部１８０は、給気管側と排気管側とで同一構造のものである。
【００７３】
給排気管連結部１８０は、集中給気管１５５または集中排気管１５６の一端が挿入されて連結される筒状のソケット１８１と、第１圧縮バネ１８２と、スリーブ１８３と、鋼球１８４と、Ｏリング１８５とを備えている。ここで、給排気管連結部１８０は、外部給気管側接続部又は外部排気管側接続部の一例であり、ソケット１８１は、外部給気管側接続部材又は外部排気管側接続部材の一例である。ここで、図６及び図７において、図６及び図７の左側はＰＤＰ用基板装置５００の正面側（乾燥部正面側）、図６及び図７の右側は背面側（乾燥部背面側）とし、集中給気管１５５、集中排気管１５６及びソケット１８１の軸方向はＰＤＰ用基板１０の搬送方向沿いに配置されている。また、図６〜図８において、背面側メンテナンス用扉１０３に対して左側は乾燥部１００の内側を示し、右側は乾燥部１００の外側を示す。
【００７４】
ソケット１８１は、段付きの円筒部材であって、乾燥部正面側から乾燥部背面側に向かう基板搬送方向沿いに、小径部１８１ａと、小径部１８１ａに隣接して配置されかつ外径が小径部１８１ａより大きい中径部１８１ｂと、中径部１８１ｂに隣接して配置されかつ外径が中径部１８１ｂより大きい大径部１８１ｃとが一体的に連結されて構成されている。小径部１８１ａの乾燥部正面側の一端部は、背面側メンテナンス用扉１０３に形成された穴１０３ａに嵌合固定される一方、大径部１８１ｃは乾燥部用ガス給気管４２３に固定的に連結されている。
【００７５】
上記ソケット１８１の小径部１８１ａは、集中給気管１５５の接続端部１５５ａ又は集中排気管１５６の接続端部１５６ａが抜き出し可能に挿入される接続端部挿入用大径穴１８１ｈをその内部に貫通して有する。上記ソケット１８１の中径部側の端部には、大径穴１８１ｈより若干小さい内径でかつ集中給気管１５５の接続端部先端部１５５ｂ又は集中排気管１５６の接続端部先端部１５６ｂが抜き出し可能に挿入される先端部挿入用小径穴１８１ｋを有しており、大径穴１８１ｈと小径穴１８１ｋとの境界に係止段部１８１ｆが形成されて、集中給気管１５５の接続端部１５５ａと接続端部先端部１５５ｂとの境界に形成された係合段部１５５ｃ又は集中排気管１５６の接続端部１５６ａと接続端部先端部１５６ｂとの境界に形成された係止段部１５６ｃが係止段部１８１ｆに係止されることにより、鋼球保持溝１５５ｅと後述する鋼球保持穴１８１ｇとが対向して位置決めされて、鋼球１８４による係合が確実に行なえるようにしている。ここで、接続端部挿入用大径穴１８１ｈ及び先端部挿入用小径穴１８１ｋは、外部給気管側通路の一例である。
【００７６】
一方、ソケット１８１の小径部１８１ａの外面には、円筒状のスリーブ１８３が摺動可能に嵌合されている。
【００７７】
上記中径部１８１ｂの外面には、スリーブ１８３の中径部側の端部が摺動可能に移動可能となっている。中径部１８１ｂの内部には、小径穴１８１ｋ及び乾燥部用ガス給気管４２３に連通する、連通通路１８１ｍが形成されている。
【００７８】
上記大径部１８１ｃは、スリーブ１８３の大径部側の端部１８３ｅが当て止められるスリーブ当接用段部１８１ｅを有する。大径部１８１ｃの内部には、小径穴１８１ｋ及び乾燥部用ガス給気管４２３に連通する、連通通路１８１ｍが形成されている。
【００７９】
鋼球１８４は、ソケット１８１の小径部１８１ａの中間部に、ソケット１８１の軸に対して対称に複数配置された鋼球保持穴部１８１ｇ内に嵌合されている。穴部１８１ｇは、内側に向かうに従い内径が小さくなるような、すり鉢状に形成されることにより、鋼球１８４が内側に脱落しない一方、穴部１８１ｇの底部の開口より鋼球１８４の一部が突出することにより、ソケット１８１の小径部１８１ａの大径穴１８１ｈ内に挿入された接続端部１５５ａ又は１５６ａの外面に圧接して、大径穴１８１ｈ内から接続端部１５５ａ又は１５６ａが抜き出し不自在となるように係合可能となっている。
【００８０】
スリーブ１８３は、ソケット１８１の外面に対して係合位置（図６のスリーブ１８３の正面側端面１８３ｆが実線の位置４０にある位置）と係合解除位置（図６のスリーブ１８３の正面側端面１８３ｆが２点鎖線の位置４１にある位置）との間で摺動可能に嵌合配置される円筒の部材である。スリーブ１８３の内側には、ソケット１８１の小径部１８１ａの外面が嵌合可能でかつ貫通した小径穴１８３ａと、ソケット１８１の小径穴１８３ａに連続して形成されかつソケット１８１の中径部１８１ｂの外面が嵌合可能でかつ貫通した中径穴１８３ｂとを有している。中径穴１８３ｂとソケット１８１の小径部１８１ａの外面との間でかつ中径穴１８３ｂの端面１８３ｃとソケット１８１の中径部１８１ｂのバネ係止用段部１８１ｄとの間には、第１圧縮バネ１８２が配置されて、ソケット１８１の中径部１８１ｂの段部１８１ｄに対して、スリーブ１８３を、常時、乾燥部正面側に向けて第１圧縮バネ１８２の付勢力で付勢することにより、スリーブ１８３が係合位置４０に位置するようにしている。スリーブ１８３の係合位置４０では、スリーブ１８３の乾燥部正面側の端部で鋼球１８４を鋼球保持穴１８１ｇ内に嵌り込むように押圧し続けて、鋼球１８４が、ソケット１８１の小径部１８１ａの大径穴１８１ｈ内に挿入された接続端部１５５ａの外面の鋼球保持溝１５５ｅに係合するようにしている。
【００８１】
スリーブ１８３の小径穴１８３ａの乾燥部正面側の端縁には、鋼球１８４に係合可能な穴部１８３ｄが形成されており、背面側メンテナンス用扉１０３の外側からの外力により、スリーブ１８３が、第１圧縮バネ１８２の付勢力に抗して、ソケット１８１の大径部１８１ｃ側に押しやられて係合解除位置に位置させられるとき、穴部１８３ｄが鋼球保持穴１８１ｇに連結されるように位置して、鋼球保持穴１８１ｇ内の鋼球１８４が鋼球保持穴１８１ｇの外側向きに穴部１８３ｄ内まで移動可能として、ソケット１８１の小径部１８１ａの大径穴１８１ｈ内に挿入された接続端部１５５ａ又は１５６ａの外面に対する鋼球１８４の係合を解除し、かつ、鋼球保持穴１８１ｇの外側に鋼球１８４が脱落しようとするのを、スリーブ１８３の穴部１８３ｄにより係合して阻止するようにしている。
【００８２】
また、ソケット１８１の小径部１８１ａの小径穴１８１ｋの内周面には、Ｏリング１８５を配置する溝１８１ｎが形成されており、該溝１８１ｎにＯリング１８５が配置されて、先端部挿入用小径穴１８１ｋ内に嵌合された接続端部先端部１５５ｂ又は１５６ｂの外周面と小径穴１８１ｋの内周面との間を密閉するようにしている。
【００８３】
従って、上記構成によれば、第１圧縮バネ１８２の付勢力により、スリーブ１８３は常時、係合位置４０に位置し、ソケット１８１と、ソケット１８１内に挿入されている接続端部１５５ａまたは１５６ａとが鋼球１８４により係合されて、接続端部１５５ａまたは１５６ａは、ソケット１８１内に抜け止め保持される。一方、背面側メンテナンス用扉１０３の外側からの外力（例えば、指）でスリーブ１８３を第１圧縮バネ１８２の付勢力に抗してソケット１８１の大径部１８１ｃ側に移動させることで、鋼球１８４と接続端部１５５ａまたは１５６ａとの係合が解除され、ソケット１８１内から接続端部１５５ａまたは１５６ａを抜き出せるようになっている。
【００８４】
次に、上部ヒータユニット１１０に備えられている上ヒータ１１１と制御部６００との電気的接続を行うヒータ電源連結部１９０について説明する。
【００８５】
ヒータ電源連結部１９０は、上記背面側メンテナンス用扉１０３と一体的に分離可能な可動側電極保持部材１９５と、導電性第２圧縮バネ１９２と、連結用固定ネジ１９１と、絶縁部材１９６と、可動側電極１９３と、乾燥部１００内の上ヒータ１１１に固定して設けられる固定側電極１９４と、固定電極保持部材１９７とを備えている。ここで、可動側電極１９３は、上側電源側接続端子及び下側電源側接続端子の一例であり、固定側電極１９４は、上側ヒータ側接続端子及び下側ヒータ側接続端子の一例であり、導電性第２圧縮バネは圧縮バネの一例である。
【００８６】
可動側電極保持部材１９５は、軸心が基板搬送方向に沿った大略筒形状の導電体より構成されており、一端部が背面メンテナンス用扉１０３の貫通穴１０３ｂ内に絶縁部材１９６を介して固定され、他端部は乾燥部１００の外に露出している。可動側電極保持部材１９５の内部には、その他端から中央部にかけてバネ収納貫通穴１９５ｂを軸心に沿って有しており、バネ収納貫通穴１９５ｂの底部から可動側電極保持部材１９５の一端に向けて、バネ収納貫通穴１９５ｂより小さな内径の可動側電極収納貫通穴１９５ｃを軸心に沿って有している。なお、バネ収納貫通穴１９５ｂの内周面の他端部側にはメネジ部１９５ａが形成されている。
【００８７】
可動側電極１９３は、バネ収納貫通穴１９５ｂ内に移動可能に嵌合された導電性円板部１９３ａと、円板部１９３ａに固定されかつ円板部１９３ａより小径でバネ収納貫通穴１９５ｂから可動側電極収納貫通穴１９５ｃを貫通して背面側メンテナンス用扉１０３の乾燥部内部側に露出可能となっている導電性円柱部１９３ｂとより構成されている。
【００８８】
導電性第２圧縮バネ１９２は、バネ収納貫通穴１９５ｂ内に収納され、導電性固定ネジ１９１がバネ収納貫通穴１９５ｂの他端のメネジ部１９５ａにねじ込まれることにより、固定ネジ１９１と可動側電極１９３の円板部１９３ａとの間に第２圧縮バネ１９２が挟み込まれた状態となり、固定ネジ１９１に対して第２圧縮バネ１９２の付勢力が可動側電極１９３の円板部１９３ａに基板搬送方向の乾燥部正面側に向けて作用して、可動側電極１９３の円柱部１９３ｂを基板搬送方向の乾燥部正面側に向けて突出させるように働く。また、固定ネジ１９１は電源部６１０と接続されており、電流が固定ネジ１９１から第２圧縮バネ１９２を通って可動電極１９３に流れるようになっている。
【００８９】
固定側電極１９４は、可動側電極保持部材１９７の軸心と大略一致するように基板搬送方向沿いに乾燥部側に固定された大略筒形状の導電体より構成されている。固定側電極１９４は、その一端がケーブルを介して上ヒータ１１１及び下ヒータ１２１に接続され、他端の固定側電極接触面１９４ａは、第２圧縮バネ１９２で付勢された可動側電極１９３の端面である可動側電極接触面１９３ｄに当接可能となっている。すなわち、背面側メンテナンス用扉１０３が閉じ位置に位置したとき、第２圧縮バネ１９２の付勢力により、可動側電極１９３の円柱部１９３ｂの可動側電極接触面１９３ｄが固定側電極１９４の固定側電極接触面１９４ａに圧接して、電気的な導通を確保しつつ接触するようにしている。この結果、可動側電極接触面１９３ｄと固定側電極接触面１９４ａとが接触することで、電源６１０から、可動側電極保持部材１９５、可動電極１９３、固定電極１９４を通って、上ヒータ１１１及び下ヒータ１２１に電流が流れるようになっている。一方、背面側メンテナンス用扉１０３が閉じ位置から離れる開き動作を開始した直後には、固定側電極１９４の固定側電極接触面１９４ａから可動側電極１９３の円柱部１９３ｂの可動側電極接触面１９３ｄが離れて、両者の物理的接触が解除されると同時的に電気的導通が断たれるようになっている。なお、固定側電極接触面１９４ａは、細かい凹凸が形成されており、より確実に、可動側電極接触面１９３ｄと接触できるようになっている。なお、上部ヒータユニット１１０及び下部ヒータユニット１１０が乾燥部１００の外側に引き出せるように、背面側開口１０１ｂの開口を確保すべく背面メンテナンス用扉１０３を開き位置まで開くようになっている。
【００９０】
なお、背面側メンテナンス用扉１０３に給排気管連結部１８０とヒータ電源連結部１９０とを別々に設けたが、図８、図９に示すように、集中給気管１５５の接続端部１５５ａまたは集中排気管１５６の接続端部１５６ａが挿入されるソケット１８１に上ヒータ１１１または下ヒータ１２１の電気のケーブル１９８を内蔵する構造としたケーブル内蔵ソケット１８６としても良い。
【００９１】
次に、下部ヒータユニット１２０について、図１０〜図１２を基に説明する。
【００９２】
下部ヒータユニット１２０は、下ヒータ１２１と、ヒータ支持枠１２４と、ヒータ枠１２５と、第２ローラ１２６と、第２ピン１２７と、第２レール１５１、１５２と、第２案内ブロック１５０ａ、１５０ｂとを備えている。ここで、第２ローラ１２６は下側ローラの一例であり、第２レール１５１、１５２は、下側レールの一例であり、下ヒータ１２１は板状下側基板加熱用ヒータの一例である。
【００９３】
各第２レール１５１と１５２は、縦断面がＬ型の部材で、横方向沿いのローラ走行面１５１ａと１５２ａとがお互い近接されるように、互いに平行にかつＰＤＰ用基板１０の下方で、ＰＤＰ用基板１０の搬送方向沿いに筐体１０１の内面の側面へ固定して設けられている。
【００９４】
ヒータ支持枠１２４は、板材により大略長方形の枠になるように形成され、ヒータ支持枠１２４におけるＰＤＰ用基板１０の搬送方向沿いの両側縁部の外側の２ヶ所に第２ローラ１２６が第２ピン１２７で回転自在に取り付けられている。第２ローラ１２６は、各第２レール１５１、１５２の走行面１５１ａ、１５２ａ上でヒータ支持枠１２４を伴って、ＰＤＰ用基板搬送方向に沿って自在に走行可能となっている。また、第２ローラ１２６が走行面１５１ａ、１５２ａより脱落しないように、第２案内ブロック１５０ａ、１５０ｂが、レール１５１及び１５２の走行面１５１ａ、１５２ａの側面側に、走行面１５１ａ、１５２ａ上に沿ってレール１５１及びレール１５２と平行に配置されている。棒状の角材により形成された大略長方形のヒータ枠１２５は、ヒータ支持枠１２４の上に固定して設けられて、大略長方形の板状の下ヒータ１２１が、ヒータ枠１２５内に少し隙間を設けてヒータ支持枠１２４の上に自重で載置されて、下ヒータ１２１は、ヒータ枠１２５によりＰＤＰ用基板１０の搬送方向及び該搬送方向と直交する方向に移動が規制されている。
【００９５】
また、下ヒータ１２１は、ヒータ枠１２５との間に隙間を介してヒータ支持枠１２４の上に載置されているだけであるため、たとえ下ヒータ１２１が熱で膨張したとしても、下ヒータ１２１とヒータ支持枠１２４とヒータ枠１２５との相対移動は可能となり、それらの部材に対して熱膨張による歪みを生じさせない。
【００９６】
ヒータ支持枠１２４を乾燥部１００内から引き出すことで、ヒータ支持枠１２４に取り付けられた４個の第２ローラ１２６が一対の第２レール１５１、１５２上を円滑に回転して、ヒータ支持枠１２４の上に載置された下ヒータ１２１とを一体的かつ同時かつ円滑に取り出すことができるようになっている。
【００９７】
また、下部ヒータユニット１２０の下ヒータ１２１は、上述した上部ヒータユニット１１０と同様にヒータ電源連結部１９０によって制御部６００と接続されている。つまり、背面側メンテナンス用扉１０３の開き動作を開始した直後には、固定側電極１９４の固定側電極接触面１９４ａから可動側電極１９３の円柱部１９３ｂの可動側電極接触面１９３ｄが離れて、両者の物理的接触が解除されると同時的に電気的導通が断たれるようになっている。このように、各乾燥部１００におけるそれぞれの背面側メンテナス用扉１０３において、給気用と排気用の２個の給排気管連結部１８０と、上ヒータ１１１用と下ヒータ１２１用の２個のヒータ電源連結部１９０とを備えている。
【００９８】
また、図１６に示すように、下ヒータ１２１は、ヒータ本体１８８と、ヒータ本体とは異なる材質の部材１８９とが貼り合わされていて、ヒータ本体１８８の熱膨張係数と部材１８９の熱膨張係数とが異なるため、下ヒータ１２１は加熱されると反ってしまう。下ヒータ１２１の反りによって、ＰＤＰ用基板１０下面の熱分布は均一でなくなる。その結果ＰＤＰ用基板１０は均一に乾燥しなくなり、ＰＤＰ用基板１０の品質に悪影響を及ぼす。
【００９９】
そこで、図１１、図１２に示すように、下ヒータ１２１が長手方向に沿って反るとした場合、長手方向沿いで下ヒータ１２１にリブ１３５を設けて、さらに長手方向に直交する方向に等間隔でリブ１３５を下ヒータ１２１に設けることで、下ヒータ１２１の長手方向沿いの反りは軽減される。また、溶接によって下ヒータにリブ１３５を設ける際、長手方向に等間隔に溶接を行うのが好ましい。なお、図１０において、リブ１３５の図示を省略している。
【０１００】
また、ＰＤＰ用基板乾燥装置５００の稼動中、下ヒータ１２１が故障した場合、信号が制御部６００に送られ、どの乾燥部１００内の下ヒータ１２１が故障したかが操作盤に表示されるようになっている。
【０１０１】
また、冷却部２００内の背面側メンテナンス用扉２０３に給排気管連結部１８０を設けて、冷却プレート２０６に通じる管（図２の集中給気管１５５に相当する管）と、冷却部用ガス給気管４２４とを給排気管連結部１８０により接続し、排気管２１３と排出管４０４とを給排気管連結部１８０により接続しても良い。
【０１０２】
次に、筐体１０１から背面側メンテナンス用扉１０３を取り外した後、上部ヒータユニット１１０を乾燥部１００外に取り出す場合または、下部ヒータユニット１２０を乾燥部１００外に取り出す場合、上部ヒータユニット１１０または下部ヒータユニット１２０を受ける台車８００について、図１３をもとに説明する。
【０１０３】
台車８００は、台車フレーム８０１と、台車フレーム８０１の底に取り付けられた回転自在の４個の車輪８０２と、台車フレーム８０１に対して図示しないモータの回転駆動により昇降可能な昇降部８０３とを備えている。
【０１０４】
昇降部８０３は、例えば、図示しないモータの回転駆動により台車フレーム８０１に対して昇降し適宜位置決め可能となっており、ローラ受けレール８０４及び８０５を備えている。
【０１０５】
ローラ受けレール８０４と８０５は、互いに平行な縦断面がＬ型の部材で、横方向沿いのローラ受け面８０４ａ、８０５ａがお互い近接されるように、かつ上部ヒータユニット１１０及び下部ヒータユニット１２０のローラ１１６及びローラ１２６がローラ受け面８０４ａ、８０５ａ上を自在に走行可能となるように配置されている。よって、図示しないモータの駆動、昇降部８０３を台車フレーム８０１に対して昇降させ、ローラ受け面８０４ａ、８０５ａの位置を、上部ヒータユニット１１０または下部ヒータユニット１２０を取り出す予定の乾燥部１００に設けられている上部ヒータユニット１１０のローラ走行面１３１ａ及び１３２ａの位置に適宜位置決めし、上部ヒータユニット１１０をローラ受け面８０４ａ、８０５ａ上に移載可能となっている。また、図示しないモータの回転駆動により、昇降部８０３を台車フレーム８０１に対して昇降させ、ローラ受け面８０４ａ、８０５ａの位置を各乾燥部１００に設けられている下部ヒータユニット１２０のローラ走行面１５１ａ及び１５２ａの位置に適宜位置決めし、下部ヒータユニット１２０をローラ受け面８０４ａ、８０５ａ上に移載可能となっている。
【０１０６】
図示しないモータの回転駆動により、昇降部８０３を昇降させることで、ローラ受けレール８０４、８０５上に載置された上部ヒータユニット１１０または下部ヒータユニット１２０をメンテナンスし易い位置に昇降できるようになっている。
【０１０７】
また、上部ヒータユニット１１０または下部ヒータユニット１２０をローラ受けレール８０４、８０５上に載置したまま、作業者がメンテナンスを行う別の場所に台車８００ごと車輪８０２の回転を伴って移動し、該場所にて図示しないモータの回転駆動により、昇降部８０３を昇降させることで、ローラ受けレール８０４、８０５上に載置された上部ヒータユニット１１０または下部ヒータユニット１２０をメンテナンスし易い位置に昇降できるようになっている。
【０１０８】
以上のように構成されたＰＤＰ用基板乾燥装置５００の各乾燥部１００、冷却部２００、上下移載部３００、排気部４００、給気部４２０のそれぞれの動作は、制御部６００に格納されている動作制御プログラムによって動作制御されている。
【０１０９】
なお、上記のように構成された、上記ＰＤＰ用基板乾燥装置５００は、以下の如く動作する。
【０１１０】
まず、乾燥対象のＰＤＰ用基板１０が、搬入・搬出口５０５を通って、基板移載部３１０のローラ３１１の回転により基板移載部３１０に搬入される。ＰＤＰ用基板１０が搬入された基板移載部３１０、上下駆動モータ３２２ａ、３２２ｂの同期回転により、昇降し、所定の温度設定された乾燥部１００に対向する位置で位置決め停止される。位置決め停止が完了すると、基板移載部３１０のローラ３１１及び、乾燥部１００のローラ１０４の回転によって、ＰＤＰ用基板１０は乾燥部１００内に搬入される。上記乾燥部１００の正面扉１０２が閉じられた後、乾燥部１００内の温度があらかじめ定められた温度になるように、各乾燥部１００に設けられた上ヒータ１１１と下ヒータ１２１とを制御部６００によって温度制御する。
【０１１１】
また、上記乾燥部１００内の温度を維持している間、ガスが各給気管１１２に形成された各給気穴１４１より上ヒータ１１１に向かって供給されることで、ＰＤＰ用基板１０上の膜にガスが直接当たることなく、また、乾燥部１００内の溶剤濃度を大略均一に保ちながら乾燥部１００内を流れ、ガスがＰＤＰ用基板１０の膜より蒸発した溶剤を同伴して各排気穴１４２を通って各排気管１１３へ吸い込まれ、排出管４０４を通って、乾燥部１００内より排気される。乾燥部１００内に搬入されたＰＤＰ用基板１０は、所定時間で乾燥が終了し、再び基板移載部３１０に移載され、冷却部２００に同様に搬入される。冷却部２００内で冷却されたＰＤＰ用基板１０は、基板移載部３１０を通って、基板搬入・搬出口５０５から搬出される。
【０１１２】
上述のように動作するＰＤＰ用基板乾燥装置５００の乾燥部１００において、上部ヒータユニット１１０及び、下部ヒータユニット１２０に取り付けられている上ヒータ１１１及び下ヒータ１２１は、故障によりまたは定期的にメンテナンスを行う必要がある。
【０１１３】
そこで、上ヒータ１１１または下ヒータ１２１をメンテナンスする際、各乾燥部１００の高さは低いため、乾燥部１００内に手を入れてメンテナスを行うのは困難であるため、上ヒータ１１１の備えられている上部ヒータユニット１１０または下ヒータ１２１の備えられている下部ヒータユニット１２０を乾燥部１００内から外へ引き出して、乾燥部１００外でメンテナンスを行う動作について以下に説明する。
【０１１４】
まず、ＰＤＰ用基板乾燥装置５００の稼動中に上ヒータ１１１が故障した場合について述べる。上ヒータ１１１が故障した場合、信号が制御部６００に送られ、どの乾燥部１００内の上ヒータ１１１が故障したかが操作盤に表示される。
【０１１５】
故障した上ヒータ１１１が備えられている乾燥部１００に通じる乾燥用ガス給気管４２３に備えられた図示しない開閉弁を閉じて、乾燥用ガス給気管４２３からの給気を止めるとともに、排出管４０４に図示しない開閉弁を備えた場合、これを閉じて、排出管４０４からの排気を止める。
【０１１６】
故障した上ヒータ１１１が備えられている乾燥部１００における背面メンテナンス用扉１０３を乾燥部１００に対して閉じ位置にある状態で、給気管１１２側の給排気管連結部１８０と排気管１１３側の給排気管連結部１８０のそれぞれにおいて、ソケット１８１に対してスリーブ１８３を係合位置４０から係合解除位置４１に位置させる。これらの係合解除位置４１で作業者が位置保持したまま、若しくは、何らかの係合機構でもって係合解除位置４１にそれぞれ位置保持したまま、背面側メンテナンス用扉１０３を開く動作を開始する。この背面側メンテナンス用扉１０３は、最初のうちは、並行移動させることにより、給気管１１２側及び排気管１１３側のソケット１８１内にそれぞれ挿入されていた集中給気管１５５及び集中排気管１５６を抜き出させる。このとき、同時的に、可動側電極１９３の円柱部１９３ｂの可動側電極接触面１９３ｄと固定側電極１９４の固定側電極接触面１９４ａとの接触を離す。これにより、給気管側ではガス供給源４２１と乾燥部用ガス給気管４２３との接続を解除するとともに、排気部４００と排出管４０４との接続を解除し、さらに、固定側電極１９４言い換えれば上ヒータ１１１及び下ヒータ１２１と、電源部６１０との電気的接続を解除する。よって、可動電極１９３と固定電極１９４との接触が断たれて、上ヒータ１１１は電源と接続されなくなり、上ヒータ１１１の温度が次第に降下する。
【０１１７】
その後、上部ヒータユニット１１０及び下部ヒータユニット１２０が乾燥部１００の外側に引き出せるように、背面側開口１０１ｂの開口を確保すべく背面メンテナンス用扉１０３を開き位置まで開く。
【０１１８】
以上の準備が終了すると、作業者が、ＰＤＰ用基板乾燥装置５００の背面側に台車８００を待機させ、昇降部８０３を台車フレーム８０１に対して昇降させて、ローラ受け面８０４ａ、８０５ａの位置を当該乾燥部１００に設けられている上部ヒータユニット１１０のローラ走行面１３１ａ及び１３２ａの位置に合わす。
【０１１９】
次いで、第１給排気管支持部材５１４または第２給排気管支持部材５１５を乾燥部１００内から引き出すと、第１給排気管支持部材５１４及び第２給排気管支持部材５１５に取り付けられたローラ１１６が一対の乾燥部１００に設けられたレール１３１、１３２上及びローラ受け８０４、８０５上を回転して、第１給排気管支持部材５１４と第２給排気管支持部材５１５と給気管１１２と排気管１１３と上ヒータ１１１とを一体的かつ同時にかつ円滑に乾燥部１００内から台車のローラ受け８０４、８０５に移載させることができる。
【０１２０】
上部ヒータユニット１１０をローラ受けレール８０４、８０５上に載置したまま、作業者が、メンテナンスを行う場所に台車８００ごと車輪８０２の回転を伴って移動し、該場所にてメンテナンスを行う。
【０１２１】
また、下部ヒータユニット１２０を乾燥部１００から取り出す場合も、上部ヒータユニット１１０を取り出す場合と同様に、ヒータ支持枠１２４を乾燥部１００から引き出すことで、ヒータ支持枠１２４に取り付けられたローラ１２６が一対のレール１５１、１５２上及びローラ受け８０４、８０５上を回転して、ヒータ支持枠１２４の上に載置された下ヒータとを一体的かつ同時かつ円滑に乾燥部１００内から台車のローラ受け８０４、８０５に移載させることができる。
【０１２２】
従って、乾燥部１００内から上部ヒータユニット１１０を取り出すことで、上ヒータ１１１と給気管１１２と排気管１１３とを同時に取り出すことができ、メンテナスの行い易い場所で、上ヒータ１１１または給気管１１２または排気管１１３のメンテナンスを容易に行うことができるようになる。
【０１２３】
また、乾燥部１００内から下部ヒータユニット１２０を取り出すことで、メンテナスの行い易い場所で、下ヒータ１２１のメンテナンスを容易に行うことができるようになる。
【０１２４】
また、各々の乾燥部１００のメンテナンス用背面扉１０３が独立して開閉しすることができ、背面メンテナンス用扉１０３を開けると同時に上ヒータ１１１及び下ヒータ１２１の電源が切れるようになっているため、メンテナンスを行っている乾燥部１００以外の他の乾燥部１００を稼動し続けることが可能となり、ＰＤＰ用基板乾燥装置５００の稼動率低下を軽減でき、かつ安全にメンテナンスを行うことが可能である。
【０１２５】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。例えば、図１４、図１５に示すように、ＰＤＰ用基板乾燥装置５００における乾燥部１００の側面に側面開口７０１ｃを形成し、側面側メンテナンス用扉７４０を設けて、背面側からでなく側面側から取り出せる上部ヒータユニット７００を構成することもできる。ここで、側面開口７０１ｃは、メンテナンス用開口部の一例であり、側面側メンテナンス用扉７４０は、開閉ドアの一例である。また、側面側メンテナンス用扉７４０が設けられる側の側面側（図１４の右側）を第１側面側５０とし、反対側の側面側（図１４の左側）を第２側面側５１とする。
【０１２６】
上部ヒータユニット７００は、上ヒータ７４１と、第３給排気管支持部材７１０と、第４給排気管支持部材７１１と、第５給排気管支持部材７１２と、第６給排気管支持部材７１３と、給気管接続部の一例としての集中給気管７５１と、集中排気管７５２と、第３ローラ７１６と、第３ピン７１７と、第３レール７３１、７３２と、第３案内ブロック７３０ａ、７３０ｂとを備えている。ここで、第３ローラ７１６、第３レール７３１及び第３レール７３２は、案内機構の一例であり、第３ローラ７１６は上側ローラの一例であり、第３レール７３１、７３２は、上側レールの一例である。また、第３給排気管支持部材７１０、第４給排気管支持部材７１１、第５給排気管支持部材７１２及び第６給排気管支持部材７１３は、給排気管支持部材の一例であり、上ヒータ７４１は、板状上側基板加熱用ヒ−タの一例である。
【０１２７】
第３レール７３１と７３２は、縦断面がＬ型の部材で、横方向沿いのローラ走行面１３１ａ、１３２ａがお互い近接されるように、互いに平行にかつＰＤＰ用基板１０の上方で、ＰＤＰ用基板１０の搬送方向に直交する方向沿いに筐体１０１の内側面に固定して設けられている。
【０１２８】
第３給排気管支持部材７１０、第４給排気管支持部材７１１、第５給排気管支持部材７１２及び第６給排気管支持部材７１３は、断面が四角枠の部材で、第３給排気管支持部材７１０及び第４給排気管支持部材７１１にて対辺をなし、第５給排気管支持部材７１２及び第６給排気管支持部材７１３にて対辺をなす大略長方形の第２給排気管支持枠７５０になるように乾燥部１００内に配置されている。第３給排気管支持部材７１０及び第４給排気管支持部材７１１は、第３レール７３１、７３２の内側で、ＰＤＰ用基板１０の搬送方向に直交する方向に延在して配置されている。第５給排気管支持部材７１２及び第６給排気管支持部材７１３は、ＰＤＰ用基板１０の搬送方向に沿って延在して配置されている。第３給排気管支持部材７１０及び第４給排気管支持部材７１１の第２側面側５１の一端は閉じられており、内部には第３通路７１０ａ及び第４通路７１０ａが形成されている。第３給排気管支持部材７１０及び第４給排気管支持部材７１１の第１側面側５０の他端には、集中排気管７５２がそれぞれ固定して設けられている。第３給排気管支持部材７１０に接続された集中排気管７５２は、第３通路７１０ａに連通し、かつ給排気管連結部１８０を介して排出管４０４に連通して接続されている。第４給排気管支持部材７１１に接続された集中排気管７５２は、第４通路７１１ａに連通し、かつ給排気管連結部１８０を介して排出管４０４に連通して接続されている。
【０１２９】
一方、第５給排気管支持部材７１２は、両端を閉じられて、内部には第５通路７１２ａが形成されている。第６給排気管支持部材７１２の内部には、第６通路７１３ａが第３通路７１０ａと第４通路７１１ａとに連通して形成されている。つまり、第３通路７１０ａと第４通路７１１ａと第６通路７１３ａとが連通し、第５通路７１２ａは他の通路に連通していないようになっている。
【０１３０】
集中給気管７５１は、第５給排気管支持部材７１２の第１側面側５０の面に２箇所、第５通路７１２ａに連通して設けられている。
【０１３１】
給気管１１２及び排気管１１３は、ＰＤＰ用基板１０の搬送方向に直交するように計５本設けられており、各々が等間隔にかつ平行となるように配置されている。各給気管１１２の一端は、第５給排気管支持部材７１２に固定して設けられ、他端は第６給排気管支持部材７１３に固定して設けられている。同様に、各排気管１１３の一端は、第５給排気管支持部材７１２に固定して設けられ、他端は第６給排気管支持部材７１３に固定して設けられている。第３給排気管支持部材７１０、第４給排気管支持部材７１１、第５給排気管支持部材７１２及び第６給排気管支持部材７１３は、各給気管１１２及び各排気管１１３の上面が、第３給排気管支持部材７１０、第４給排気管支持部材７１１、第５給排気管支持部材７１２及び第６給排気管支持部材７１３の上面７１０ｂ、上面７１１ｂ、上面７１２ｂ及び上面７１３ｂより下方となるように、接続されている。なお、正面扉１０２側から排気管１１３、給気管１１２、給気管１１２、給気管１１２、排気管１１３の順で配置されている。また、各給気管７２２及び各排気管７２３にはＰＤＰ用基板１０の搬送方向に直交してそれぞれ第２給気通路７２２ａ及び第２排気通路７２３ａが形成されており、各第２給気通路７２２ａは第５通路７１２ａに連通するが、第６通路７１３ａには連通せず、各排気通路７２３ａは、第６通路７１３ａに連通するが、第５通路７１２ａには連通していない。従って、集中給気管７５１に給排気管連結部１８０を介して乾燥部用ガス給気管４２３を連通して接続することで、ガス給気源４２１より供給されるガスは、予熱ヒータ４３８を通って乾燥用ガス給気管４２３内で加熱され、加熱されたガスは、給排気管接続部１８０、集中給気管７５１及び第５通路７１２ａを通って、各給気管７２２に形成された複数の給気穴１４１より乾燥部１００内に給気されるようになっている。また、乾燥部１００内の溶剤が含まれたガスは、各排気管７２３に形成された各排気穴１４２より第６通路７１３ａに入り、第４通路７１１ａ、第６通路７１３ａ、集中排気管７５２及び給排気管連結部１８０を通って排出管４０４から排気可能となっている。
【０１３２】
第３給排気管支持部材７１０の第２側面側５１及び第４給排気管支持部材７１１の第１側面側５０には、ピン７１７を介して回転自在にローラ７１６が取り付けられている。ローラ７１６は、第３給排気管支持部材７１０及び第４給排気管支持部材７１１の背面側及び正面側に各々１個ずつ計４個設けられ、レール７３１及び７３２の走行面７３１ａ、７３２ａ上で第２給排気管支持枠７５０を伴って搬送方向に沿って自在に走行可能となっている。また、ローラ７１６が走行面７３１ａ及び７３２ａより脱落しないように、案内ブロック７３０ａ及び７３０ｂがレール７３１及び７３２の走行面７３１ａ、７３２ａ上に沿って平行に配置されている。
【０１３３】
大略長方形の板状の上ヒータ７４１が、第２給排気管支持枠７５０内に少し隙間を設けて各給気管７２２、各排気管７２３の上に自重で載置されて、第２給排気管支持枠７５０で移動が規制されている。
【０１３４】
第２給排気管支持枠７５０を乾燥部１００内から引き出すと、４個のローラ７１６がレール７３１及び７３２上を円滑に回転して、第２給排気管支持枠７５０と給気管７２２と排気管７２３と上ヒータ７４１とを一体的かつ同時にかつ円滑にＰＤＰ用基板乾燥装置５００の側面側から取り出すことができるようになっている。
【０１３５】
また、上部ヒータユニット７００は側面メンテナンス用扉７４０側より取り出すと記載したが、背面メンテナンス用扉１０３側より取り出しても良い。
【０１３６】
なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。
【０１３７】
【発明の効果】
本発明の上記第１態様によれば、給排気管支持部材、給気管、排気管及び板状上側基板加熱用ヒ−タを一体的に構成し、案内機構により案内可能とする一方、開閉ドアを開くとき、給気管の給気管接続部を加熱ガスを供給する外部給気管に接続された上記開閉ドアの外部給気管側接続部から分離可能とし、排気管の排気管接続部を加熱ガスを回収する外部排気管に接続された上記開閉ドアの外部排気管側接続部から分離可能とし、さらに、上記板状上側基板加熱ヒータの上側ヒータ側接続端子を電源に接続された上記開閉ドアの上側電源側接続端子から分離可能に構成している。その結果、上記開閉ドアの上記乾燥室の外側からの外力により、上記外部給気管側接続部と上記給気管接続部との接続を解除して、さらに上記開閉ドアの上記乾燥室の外側からの外力により、上記外部排気管側接続部と上記排気管接続部との接続を解除した後、上記開閉ドアの開き動作により、上記外部給気管側接続部から上記給気管接続部が抜けるとともに、上記外部排気管側接続部から上記排気管接続部が抜ける一方、上記上側電源側接続端子が上記ヒータ側接続端子から離れることで、上記案内機構により案内されて上記乾燥室内から上記給気管及び上記排気管を上記基板加熱用ヒータ及び給排気支持部材と一体的に搬出できる。従って、乾燥室内に設置されている基板加熱用ヒータ又は給排気管を容易にメンテナンスすることができる。また、上記開閉ドアの開き動作により、上記外部給気管側接続部から上記給気管接続部が抜けるとともに、上記外部排気管側接続部から上記排気管接続部が抜けると同時的に上記上側電源側接続端子が上記ヒータ側接続端子から離れることで、上記基板加熱用ヒータに電気が通じなくなり、上記基板加熱用ヒータの温度が下がっていくことで、より安全にメンテナンスを行うことができる。
【０１３８】
本発明の上記第２態様によれば、上記案内機構は、上記乾燥室の両側面の上方で、上記メンテナンス用開口部に向かって延びた１対の上側レールと、上記１対の上側レール上を走行可能で、上記給排気支持部材に設けられた複数の上側ローラとを備えることで、上記上側レール上を上記上側ローラの回転を伴って上記乾燥室内から上記給気管及び上記排気管を上記基板加熱用ヒータ及び給排気支持部材とを一体的に取り出すことで、取り出し時の摩擦を少なくでき、その結果、安定して、かつ円滑に取り出すことができる。
【０１３９】
本発明の上記第３態様によれば、上記外部給気管側接続部は、上記外部給気管に連通する外部給気管側通路を有する筒状の部材であって、上記給気管接続部が上記外部給気管側通路内に抜き差し可能に挿入されて、上記給気管内の通路が上記外部給気管側通路に連通する外部給気管側接続部材と、給気管係合位置で上記給気管接続部に係合するように上記外部給気管側接続部材に設けられ、上記開閉ドアの外側からの外力が作用したしたとき、係合位置から、上記給気管接続部との上記係合を解除する給気管係合解除位置へ移動可能な外部給気管側係合部材とを備えることで、上記開閉ドアの外側からの外力により、上記外部給気管側係合部材を係合解除位置にそれぞれ移動させて、上記開閉ドアを開き動作により、上記外部給気管側通路内から上記給気管接続部が抜けるようになる。また、上記外部排気管側接続部は、上記外部排気管に連通する外部排気管側通路を有する筒状の部材であって、上記排気管接続部が上記外部排気管側通路内に抜き差し可能に挿入されて、上記排気管内の通路が上記外部排気管側通路に連通する外部排気管側接続部材と、排気管係合位置で上記排気管接続部に係合するように上記外部排気管側接続部材に設けられ、上記開閉ドアの外側からの外力が作用したしたとき、係合位置から、上記排気管接続部との上記係合を解除する排気管係合解除位置へ移動可能な外部排気管側係合部材とを備えることで、上記開閉ドアの外側からの外力により、上記外部排気管側係合部材を係合解除位置にそれぞれ移動させて、上記開閉ドアを開き動作により、上記外部排気管側通路内から上記排気管接続部が抜けるようになる。従って、上記外部給気管通路内に上記給気管接続部を挿入して接続し、また上記外部排気管通路内に上記排気管接続部を挿入して接続することで、より確実に接続することができるようになる。また、係合位置及び係合解除位置があることで、より確実な給気管と外部給気管との接続及び接続解除することができ、また排気管と外部排気管との接続及び接続解除することができる。
【０１４０】
本発明の上記第４態様によれば、上記上側電源側接続端子は、上記開閉ドアに設けられ、圧縮バネにより、常時、乾燥室内に向けて突出するように付勢され、上記開閉ドアが閉じた状態で上記上側電源側接続端子の先端が上記上側ヒータ側接続端子に接触するように構成している。その結果、上記開閉ドアの閉じ動作により、上記圧縮バネにより付勢された上記上側電源側接続端子が上記上側ヒータ側接続端子に確実に接触することで、装置の信頼性の向上が図れる。
【０１４１】
本発明の上記第５態様によれば、板状下側基板加熱用ヒータ及びヒータ支持枠を一体的に構成し、上記乾燥室内の下側レールと上記下側レール上を複数の下側ローラで走行可能かつ上記乾燥部内に対して出し入れ可能なヒータ支持枠とする一方、上記開閉ドアを開くとき、上記板状下側基板加熱ヒータの下側ヒータ側接続端子を電源に接続された上記開閉ドアの下側電源側接続端子から分離可能にし、さらに、上記下側電源側接続端子は圧縮バネにより、常時、乾燥室内に向けて突出するように付勢され、上記開閉ドアが閉じた状態で上記下側ヒータ側接続端子に接触する構成としている。その結果、上記開閉ドアの開き動作により、上記下側電源側接続端子が上記下側ヒータ側接続端子から離れることで、上記の下側レール上を上記ヒータ支持枠の上記下側ローラで走行させて上記乾燥室内から上記ヒータ支持枠と伴に上記基板下側加熱用ヒータを搬出できる。従って、乾燥室内に設置されている板状下側基板加熱ヒータを容易にメンテナンスすることができる。
【０１４２】
本発明の上記第６態様によれば、上記板状下側基板加熱用ヒ−タの下面で、上記板状下側基板加熱ヒータの長手方向沿いに複数のリブを備えることで、上記板状下側基板加熱用ヒータの熱による長手方向沿いの反りは軽減される。この結果、ＰＤＰ用基板の下面の熱分布は大略均一となり、ＰＤＰ用基板の乾燥後の品質を向上することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置の構成を示す一部断面を有する右側面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置の上部ヒータユニットの構成を示す一部断面平面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置の上部ヒータユニットの構成を示す図２における一部断面のＡ−Ａ矢視図である。
【図４】本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置の上部ヒータユニットの構成を示す図３における左側部分Ｂの一部断面の部分拡大図である。
【図５】本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置の上部ヒータユニットにおける給気管及び排気管を表す断面図である。
【図６】本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置の給排気管連結部において、ソケットとプラグが鋼球によって係合された状態を表す一部断面側面図である。
【図７】本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置の給排気管連結部において、プラグの溝から鋼球が外れ、ソケットとプラグの鋼球を介しての係合が外れた状態を表す一部断面側面図である。
【図８】本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置の給排気連結部における、給排気の配管と上ヒータの電気のケーブルとを一緒にまとめたケーブル内蔵配管の構成を表すケーブル内蔵配管の軸方向に沿った断面図である。
【図９】本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置の給排気連結部における、図８のケーブル内蔵配管の縦断面図である。
【図１０】本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置の下部ヒータユニットの構成を示す一部断面正面図である。
【図１１】本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置の下部ヒータユニットにおける下ヒータ底面にリブを設けた構成を示す正面図である。
【図１２】本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置の下部ヒータユニットにおけるリブを設けた下ヒータを表す図１１のＣ矢視図である。
【図１３】本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置における上部ヒータユニット及び下部ヒータユニットを乾燥部から取り出す際に用いる台車の構成を表す斜視図である。
【図１４】本発明の第１の実施形態の第１の変形例におけるＰＤＰ用基板乾燥装置の側面側より取り出せる上部ヒータユニットの構成を示す一部断面平面図である。
【図１５】本発明の第１の実施形態の第１の変形例における図１４に示す上部ヒータユニットの一部断面のＤ−Ｄ矢視図である。
【図１６】従来のＰＤＰ用基板乾燥装置の下部ヒータユニットにおける下ヒータ加熱時の下ヒータの反りを表す一部断面正面図である。
【符号の説明】
１０…ＰＤＰ用基板、４０…係合位置、４１…係合解除位置、１００…乾燥部、１０１ａ…正面開口、１０１ｂ…背面開口、１０３…背面側メンテナンス用扉、１１０…上部ヒータユニット、１１１…上ヒータ、１１２…給気管、１１３…排気管、１１６…ローラ、１２０…下部ヒータユニット、１２１…下ヒータ、１２４…ヒータ支持枠、１２６…第２ローラ、１３１…レール、１３２…レール、１５１…第２レール、１５２…第２レール、１５５…集中給気管、１５６…集中排気管、１８０…給排気管連結部、１８１…ソケット、１８１ｈ…接続端部挿入用大径穴、１８１ｋ…先端部挿入用小径穴、１８４…鋼球、１９０…ヒータ電源連結部、１９２…導電性第２圧縮バネ、１９３…可動側電極、１９４…固定側電極、４０４…排出管、４２３…乾燥部用ガス給気管、５１４…第１給排気管支持部材、５１５…第２給排気管支持部材、６１０…電源部、７０１ｃ…側面開口、７１６…第３ローラ、７２２…給気管、７２３…排気管、７３１…第３レール、７３２…第３レール、７４０…側面側メンテナンス用扉、７４１…上ヒータ、７５０…第２給排気管支持枠、７５１…集中給気管、７５２…集中排気管。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a PDP used for drying a film such as an electrode, a transparent dielectric layer, a rib, or a phosphor layer formed on a glass substrate in the manufacture of a plasma display substrate (hereinafter, a PDP substrate). The present invention relates to an apparatus for drying substrates.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, this type of PDP substrate drying apparatus dries an electrode film formed on a PDP front substrate and dries a film such as a transparent dielectric layer formed on the front substrate. I have. Further, the PDP substrate drying apparatus dries a rib film formed on the back substrate for PDP, and dries a film such as a phosphor layer formed on the back substrate. For each of the drying steps, a long horizontal drying oven is provided.
[0003]
However, in the above-described structure, since a plurality of drying furnaces are horizontally arranged in a plane, the area occupied by the drying apparatus in the factory becomes considerably large, and the surface area of the entire drying apparatus becomes large. As a result, the amount of heat dissipated from the drying device also accounts for 40 to 50% of the total consumed heat.
[0004]
Therefore, in order to reduce the occupied area of the drying device in the factory and the surface area of the entire drying device, instead of the drying device of the horizontal drying furnace, each drying furnace is stacked in multiple stages in the vertical direction, and the vertical type is used. A multi-stage drying apparatus including a multi-stage drying chamber has been proposed (for example, see Patent Documents 1 and 2).
[0005]
Further, in each of the drying chambers stacked in multiple stages, the distance between a substrate to be carried in and a supply / exhaust pipe and a heater provided above the substrate is reduced as much as possible, and each drying chamber is reduced. Is significantly reduced from the height of the conventional horizontal drying oven, so that the height of the entire multistage drying apparatus can be suppressed.
With such a multi-stage drying apparatus, space saving and energy saving can be realized.
[0006]
[Patent Document 1]
JP-A-5-203364
[Patent Document 2]
JP-A-5-203365
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
However, as described above, as a result of significantly reducing the height of each drying chamber, the distance between the loaded substrate and the supply / exhaust pipe and heater provided above the substrate in each drying chamber is reduced. However, since it is so small that it cannot be accessed, it is very difficult to maintain the substrate heating heater or the supply / exhaust pipe installed in each drying chamber.
[0008]
Therefore, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and to provide a PDP substrate drying apparatus capable of easily maintaining a substrate heating heater or a supply / exhaust pipe installed in a drying chamber. It is in.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention is configured as follows.
[0010]
According to the first aspect of the present invention, the PDP substrate is carried into the drying chamber from the carry-in / out entrance, and heated gas is supplied to and exhausted from the air supply pipe and the exhaust pipe above the substrate with respect to the substrate. In a PDP substrate drying device for drying,
An opening / closing door that is provided in the drying chamber so as to be openable and closable at a maintenance opening different from the carry-in / carry-in entrance;
It supports the air supply pipe and the exhaust pipe, and is guided by a guide mechanism above the drying section, passes through the maintenance opening to the drying section, and can be taken in and out together with the air supply pipe and the exhaust pipe. A supply and exhaust pipe support member,
A plate-shaped upper substrate heating heater mounted on the air supply pipe and the exhaust pipe above the drying chamber so as to be relatively immovable;
One end of the air supply pipe is provided at the opening / closing door and connected to an external air supply pipe for supplying the heating gas to the air supply pipe, and the other end thereof is connected to the air supply pipe so as to be detachable. An external air supply pipe-side connection part that is connected to the opening / closing door and that can release the connection with an external force from the outside of the drying chamber and that can release the air supply pipe connection part from the opening / closing door after the release.
An exhaust pipe connection portion of the exhaust pipe is provided at the opening / closing door and connected to an external exhaust pipe for recovering the heated gas from the exhaust pipe at one end in communication with the other end and communicating with the exhaust pipe so as to be separable. An external exhaust pipe side connection portion that is connected to the external door and is capable of releasing the connection with an external force from the outside of the drying chamber of the open / close door, and capable of separating the exhaust pipe connection portion from the open / close door after release.
A power supply unit, and provided on the opening and closing door, at the closed position of the opening and closing door, abuttingly connected to the upper heater side connection terminal of the plate-shaped upper substrate heating heater at the closed position, and connected to the opening and closing door. With the opening operation, the upper power supply side connection terminal that is separated from the upper heater side connection terminal to be disconnected from the upper side heater connection terminal,
By the external force from the outside of the drying chamber of the opening / closing door, the connection between the external air supply pipe side connection part and the air supply pipe connection part is released, and further, by the external force from the outside of the drying chamber of the opening / closing door, After releasing the connection between the external exhaust pipe side connection part and the exhaust pipe connection part, the opening operation of the opening / closing door causes the air supply pipe connection part to come off from the external air supply pipe side connection part, and the external exhaust pipe While the exhaust pipe connection part is removed from the side connection part, the upper power supply side connection terminal is separated from the heater side connection terminal, so that the air supply pipe and the exhaust pipe are guided by the guide mechanism from the drying chamber. Provided is a substrate drying apparatus for a PDP, characterized in that the substrate drying heater and the supply / exhaust support member can be integrally carried out.
[0011]
According to a second aspect of the present invention, the guide mechanism comprises:
A pair of upper rails extending toward the maintenance opening above both sides of the drying chamber;
The PDP substrate drying apparatus according to the first aspect, further comprising a plurality of upper rollers operable on the pair of upper rails and provided on the air supply / exhaust support member.
[0012]
According to a third aspect of the present invention, the external air supply pipe side connection portion includes:
A cylindrical member having an external air supply pipe side passage communicating with the external air supply pipe, wherein the air supply pipe connection portion is removably inserted into the external air supply pipe side passage, and a passage in the air supply pipe is provided. An external air supply tube side connecting member communicating with the external air supply tube side passage,
The external air supply pipe side connection member is provided so as to engage with the air supply pipe connection portion at the air supply pipe engagement position, and when an external force from outside the opening / closing door acts, the air supply pipe is moved from the engagement position to the air supply pipe connection position. An external air supply tube side engagement member movable to an air supply tube engagement release position for releasing the engagement with the connection portion,
The external exhaust pipe side connection portion,
A cylindrical member having an external exhaust pipe side passage communicating with the external exhaust pipe, wherein the exhaust pipe connection portion is removably inserted into the external exhaust pipe side passage, and the passage in the exhaust pipe is An external exhaust pipe side connecting member communicating with the external exhaust pipe side passage;
The external exhaust pipe side connection member is provided so as to engage with the exhaust pipe connection portion at the exhaust pipe engagement position, and when an external force from outside the opening / closing door is applied, the external exhaust pipe is removed from the engagement position. An external exhaust pipe side engagement member movable to an exhaust pipe engagement release position for releasing engagement with the pipe connection portion,
The external air supply pipe side engaging member and the external exhaust pipe side engaging member are respectively moved to the disengaged position by an external force from the outside of the opening / closing door, and the opening / closing door is opened, whereby the external air supply pipe is opened. The PDP substrate drying apparatus according to the first or second aspect, wherein the air supply pipe connection portion is removed from the inside of the side passage and the exhaust pipe connection portion is removed from the outside exhaust pipe side passage.
[0013]
According to the fourth aspect, the upper power supply side connection terminal includes:
The upper power supply side connection terminal is provided on the opening / closing door, and is always urged by a compression spring so as to protrude toward the drying chamber. When the opening / closing door is closed, the tip of the upper power supply side connection terminal is connected to the upper heater side connection terminal. A substrate drying apparatus for a PDP according to any one of the first to third aspects is provided.
[0014]
According to the fifth aspect, a substrate heating unit that heats the drying chamber below the drying chamber is further provided,
The substrate heating section,
A pair of lower rails extending toward the maintenance opening below both side surfaces in the drying chamber,
A heater support frame that can run on the pair of lower rails on the pair of lower rails below the drying chamber and that passes through the maintenance opening with respect to the inside of the drying unit,
A plate-like lower substrate heating heater placed on the heater support frame so as to be relatively immovable below the drying chamber;
A lower power supply side connection terminal provided on the opening / closing door and constantly biased by the compression spring so as to protrude toward the drying chamber, and in contact with the lower heater side connection terminal in a state where the opening / closing door is closed. So that
By opening the opening and closing door, the contact between the lower heater side connection terminal and the lower power supply side connection terminal is cut off, and the pair of lower rails of the heater support frame is run on the pair of lower rails. A PDP substrate drying apparatus according to any one of the first to fourth aspects, wherein the substrate lower-side heater can be carried out of the drying chamber together with the heater support frame.
[0015]
According to the sixth aspect, the PDP substrate drying apparatus according to the fifth aspect, wherein a plurality of ribs are provided on a lower surface of the plate-like lower substrate heating heater along a longitudinal direction of the plate-like lower substrate heater. Provide equipment.
[0016]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0017]
As shown in FIG. 1, the PDP substrate drying apparatus 500 according to the first embodiment of the present invention has a left half of FIG. 1 on a base 501 arranged on the entire lower surface of a rectangular parallelepiped drying chamber 502. An upper and lower transfer unit 300 disposed in a rectangular parallelepiped upper and lower transfer space 506, an exhaust unit 400 disposed at the lower right half of FIG. 1, and a cooling unit 200 disposed on the exhaust unit 400. The gas is supplied to the drying unit 100 stacked on the cooling unit 200 in four stages, the control unit 600 for controlling the operation of the drying unit 100, and the drying unit 100 and the cooling unit 200 stacked in four stages. And an air supply section 420.
[0018]
Outside the drying chamber 502, an exhaust port 503 outside the furnace, a loading / unloading port 505 disposed above the exhaust port 503 outside the furnace, and a vertical outlet on the right side of FIG. And a gas supply pipe 423 for the drying section and a gas supply pipe 424 for the cooling section, and a filter unit 504 arranged on the ceiling of the vertical transfer space 506. Here, the drying section gas supply pipe 423 is an example of an external supply pipe, and the discharge pipe 404 is an example of an external exhaust pipe.
[0019]
The loading / unloading port 505 is a PDP substrate 10 on which a film such as an electrode or a transparent dielectric layer or a rib or a phosphor layer is formed as an example of an object to be dried on the glass substrate 10 outside the PDP substrate drying apparatus 500. It is a carry-in port for carrying in the drying chamber 502 and a carry-out port for carrying out the PDP substrate 10 dried in the PDP substrate drying apparatus 500 to the outside of the PDP substrate drying apparatus 500.
[0020]
The vertical transfer unit 300 includes a substrate transfer unit 310 for taking the PDP substrate 10 in and out, and a vertical drive unit 320 for moving the substrate transfer unit 310 up and down.
[0021]
The substrate transfer unit 310 is shaped like a square tube, and is driven to move the PDP substrate 10 in and out of the carry-in / out port 505, each of the four drying units 100, and the cooling unit 200.
[0022]
The vertical drive unit 320 raises and lowers the substrate transfer unit 310 appropriately to four positions facing the four stages of the drying unit 100 and a position facing the cooling unit 200 and the carry-in / out port 505, and positions the substrate transfer unit 310. And stop. The position of the substrate transfer unit 310 facing the cooling unit 200 and the loading / unloading port 505 is defined as a reference position 20.
[0023]
The vertical drive unit 320 is connected to the control unit 600 and drives the vertical drive shafts 321a and 321b to move up and down in synchronization with the vertical drive shafts 321a and 321b arranged in parallel in the vertical direction. Drive motors 322a and 322b are provided. Therefore, by driving the vertical drive motors 322a and 322b, it is possible to position and stop at the above five positions including the reference position 20. The bottom surface of the substrate transfer section 310 is attached to each upper end of the upper and lower drive shafts 321a and 321b, and each lower end is free, and the upper and lower drive motors 322a and 322b are provided in the middle of the upper and lower drive shafts 321a and 321b. It is fixed to the drying chamber 502. The two vertical drive motors 322a and 322b are rotated forward and reverse under the control of the control unit 600 to raise and lower the vertical drive shafts 321a and 321b, thereby stopping the positioning of the substrate transfer unit 310 at the predetermined position. It is possible.
[0024]
Hereinafter, in FIG. 1, the left side is the front side, and the right side is the back side.
The substrate transfer section 310 includes a housing 315, a transfer port 312, a transfer port 313, a transfer section 313, a roller 311 and a heater 314.
[0025]
The housing 315 has a rectangular tube shape and has openings on the front side and the back side. A loading / unloading side delivery port 312 is provided on the front side opening, and a drying section side delivery port 313 is provided on the back side opening. Have.
[0026]
A plurality of rollers, for example, four rollers 311 are provided inside the housing 315 at equal intervals below the transfer ports 312 and 313 on both sides, parallel to the horizontal direction, and orthogonal to the direction in which the PDP substrate 10 enters. Under the control of the control unit 600, the PDP substrate 10 can be rotated forward and backward synchronously by a motor (not shown), for example, so as to move the PDP substrate 10 to the transfer ports 312 and 313 on both sides. In addition, a chain belt (not shown) is passed over a gear (not shown) provided at one end of the roller 311, and power is transmitted from a motor (not shown) to the chain belt, so that the chain belt is driven and rotated at the same time. .
[0027]
The heater 314 is provided on almost the entire upper surface inside the housing 315 in order to heat and maintain the inside of the housing 315 at a constant temperature.
[0028]
On the other hand, a filter unit 504 is provided on the ceiling of the vertical transfer space 506, and clean air passing through the filter unit 504 passes through the vertical transfer space 506, and an exhaust port 503 provided at the lower part of the drying chamber 502. By exhausting more air, the inside of the drying chamber 502 is kept clean.
[0029]
The drying unit 100 maintains the temperature suitable for drying the electrode, the transparent dielectric layer, the rib, or the phosphor layer on the PDP substrate 10 sent from the vertical transfer unit 300, respectively. The chambers are temperature-controlled at different temperatures, for example, about 120 ° C., about 160 ° C., and about 100 ° C., respectively, and the independent chambers are placed one on top of another with the heat insulating material 108 interposed therebetween.
[0030]
Each drying unit 100 includes a casing 101, a front door 102, a rear maintenance door 103, a swing roller 104, a front heater 105, a rear heater 106, a side heater 107, an upper heater unit 110, A lower heater unit 120, a supply / distribution pipe connection section 180, and a heater power supply connection section 190 are provided. Here, the back maintenance door 103 is an example of an opening / closing door.
[0031]
The housing 101 has a rectangular tube shape, and has a front side opening 101a and a back side opening 101b on the front side and the back side, respectively. A front door 102 disposed in the front side opening 101a, and a back side opening And a rear maintenance door 103 arranged at 101b. Here, the front opening 101a is an example of a carry-in / carry-in entrance.
[0032]
The front door 102 is disposed in the front opening 101a so that it can be opened and closed and can be hermetically closed by a hinge 161 disposed at the lower edge of the front opening 101a in order to put the PDP substrate 10 in and out of the substrate transfer unit 310. . By opening and closing the front door 102 only when the PDP substrate 10 is taken in and out, it is possible to minimize the escape of heat in the drying unit 100.
[0033]
The front heater 105 is provided on substantially the entire inside of the front door 102 in order to maintain the inside of the front door 102 at a constant temperature, for example, about 80 ° C. so that dew condensation of the solvent does not occur inside the front door 102. Have been.
[0034]
The rear maintenance door 103 is disposed in the rear opening 101b so as to be openable and closable in the rear opening 101b and to be capable of sealing in order to perform maintenance of the drying unit 100. Here, the back side opening 101b is an example of a maintenance opening.
[0035]
The rear heater 106 is provided on substantially the entire inside of the rear door 103 in order to maintain the inside of the rear door 103 at a constant temperature, for example, about 80 ° C. so as to prevent dew condensation of the solvent inside the rear door 103. ing.
[0036]
The side heaters 107 are also provided on substantially both sides of the inside of the housing 101 in order to maintain both sides of the inside of the housing 101 at a constant temperature so as to prevent dew condensation of the solvent on the opposite sides of the housing 101. Each is provided.
[0037]
A plurality of oscillating rollers 104 are provided inside the housing 101 at equal intervals below the doors 102 and 103 on both sides in the horizontal direction and at right angles to the direction in which the PDP substrate 10 enters. For example, four motors (not shown) are provided under the control of the control unit 600 so that the PDP substrate 10 is put in and out of the vertical transfer unit 300 and swings right and left in FIG. Synchronous rotation is possible. In addition, a chain belt (not shown) is passed over a gear (not shown) provided at one end of the roller 311, and power is transmitted from a motor (not shown) to the chain belt, so that the chain belt is driven and rotated at the same time. . Further, the stroke for swinging the PDP substrate 10 right and left can be, for example, a range between a half pitch to the left and a half pitch to the right from the position where the roller 104 stops. Here, the pitch represents an arrangement pitch of the oscillating rollers 104 arranged at equal intervals.
[0038]
The upper heater unit 110 is provided on substantially the entire inner upper surface of the housing 101 to heat the inside of the housing 101 and maintain a constant temperature for film drying. It is connected to a part gas supply pipe 423 and a discharge pipe 404. Here, the supply / exhaust pipe connection section 180 is an example of an external supply pipe side connection section or an external exhaust pipe side connection section.
[0039]
The lower heater unit 120 is provided below the swing roller 104 so as to be opposed to the upper heater unit 110 in order to heat the inside of the housing 101 and keep the temperature at a constant temperature for film drying. The details of the upper heater unit 110 and the lower heater unit 120 will be described later.
[0040]
The configuration of such a drying unit 100 is the same as the configuration of the drying units 100 in the other four stages.
[0041]
The cooling unit 200 disposed below the drying unit 100 disposed at the bottom of the four-stage drying unit 100 via a heat insulating material 108 includes a housing 201, a front door 202, and a rear maintenance door 203. , A swing roller 204, a front heater 205, a back heater 236, a side heater 207, a lower cooling plate 206, and an upper heater 211.
[0042]
The housing 201 has a square tube shape and includes a front opening 201a and a rear opening 201b on the front side and the rear side, respectively. A front door 202 disposed in the front opening 201a, and a rear opening And a rear maintenance door 203 disposed on the front side 201b.
[0043]
The front door 202 is disposed at the front opening so that it can be opened and closed and can be hermetically closed by a hinge 261 arranged at the lower edge of the front opening 201a in order to put the PDP substrate 10 in and out of the substrate transfer unit 310. By opening and closing the front door 202 only when the PDP substrate 10 is taken in and out, it is possible to minimize the escape of heat in the cooling unit 200. The front heater 205 is provided almost entirely inside the front door 202 in order to maintain the inside of the front door 202 at a constant temperature, for example, about 80 ° C. so that dew condensation of the solvent does not occur inside the front door 202. .
[0044]
The rear maintenance door 203 is disposed in the rear opening 201b so as to be openable and closable by a hinge 262 disposed at an upper edge of the rear opening 201b in order to perform maintenance of the cooling unit 200. The rear heater 206 is provided almost entirely inside the rear door 203 in order to maintain the inside of the rear door 203 at a constant temperature, for example, about 80 ° C. so that dew condensation of the solvent does not occur inside the rear door 203. ing.
[0045]
A plurality of oscillating rollers 204 are provided inside the housing 201, at equal intervals below the doors 202 and 203 on both sides, parallel to the horizontal direction, and orthogonal to the direction in which the PDP substrate 10 enters. For example, four motors (not shown) are provided under the control of the controller 600 so that the PDP substrate 10 is inserted into and removed from the upper and lower transfer unit 300 and is swung right and left in FIG. Forward and reverse synchronous rotation is possible. In addition, a chain belt (not shown) is passed over a gear (not shown) provided at one end of the roller 311, and power is transmitted from a motor (not shown) to the chain belt, so that the chain belt is driven and rotated at the same time. . Further, the stroke for swinging the PDP substrate 10 right and left can be, for example, a range between a half pitch to the left and a half pitch to the right from the position where the roller 204 stops. Here, the pitch represents an arrangement pitch of the oscillating rollers 204 arranged at equal intervals.
[0046]
The upper heater 211 keeps the upper surface of the inside of the housing 201 at a constant temperature, for example, about 80 ° C. so as to prevent condensation of the solvent on the upper surface of the inside of the housing 201. A plurality of, for example, three plate-shaped lower cooling plates 206 are provided below the swing roller 204 so as to be opposed to the upper heater 211 so as to cool the PDP substrate 10.
[0047]
The side heater 207 is also provided to substantially maintain both sides of the inside of the housing 201 at a constant temperature in order to maintain both sides of the inside of the housing 201 at a constant temperature so that dew condensation of the solvent does not occur on the opposite sides of the housing 201. Each is provided. Here, the cooling step refers to a period during which the PDP substrate 10 is cooled in the cooling unit 200.
[0048]
The cooling plate 206 has a plurality of gas supply holes 241 for supplying gas into the cooling unit 200, and is connected to the gas supply pipe 424 for the cooling unit so as to communicate with the gas supply holes 241. Further, an exhaust pipe 213 for exhausting gas in the cooling unit 200 to the outside is provided at a lower part of the cooling unit 200 and is connected to and connected to the exhaust pipe 404.
[0049]
The communication between the gas supply hole 241 and the gas supply pipe 424 for the cooling unit allows the gas to be supplied from the gas supply pipe 424 for the cooling unit to the cooling unit 200 through the respective gas supply holes 241 of the lower cooling plate 206. The communication between the exhaust pipe 213 and the exhaust pipe 404 allows the gas in the cooling unit to be exhausted from each exhaust hole 242 to the exhaust pipe 404 via the exhaust pipe 213.
[0050]
The air supply unit 420 includes a device that sends out a gas disposed outside the PDP substrate drying device 500, for example, a gas supply source 421 that is a pump, and a preheater 438 that heats the gas.
[0051]
In the gas supply source 421, four drying unit gas supply pipes 423 communicating with the respective upper heater units 110 in the respective drying units 100 via the supply / exhaust pipe connection unit 180 merge into one. The end portion of the drying section gas supply pipe 423 is communicated and connected. Each of the gas supply pipes 423 before the merging is provided with an on-off valve (not shown).
[0052]
The preheating heater 438 is disposed in the drying section gas supply pipe 423 where the four drying section gas supply pipes 423 merge. For example, when the set temperature in the drying unit 100 is 100 ° C., the gas supply source 421 arranged in this manner supplies the gas heated at approximately 80 ° C. to 100 ° C. heated by the preheating heater 438 into each drying unit 100. Can be supplied through each upper unit 110.
[0053]
On the other hand, the gas supply pipe 424 for the cooling unit, which communicates with the respective air supply holes 241 of the lower cooling plate 206 in the cooling unit 200, is connected to the preheater 438 and the gas supply source arranged in the gas supply pipe 423 for the drying unit. 421 is a pipe branched from the pipe. Therefore, the gas supply source 421 can supply an unheated gas, for example, a normal-temperature gas, through the gas supply pipe 424 for the cooling unit and the respective gas supply holes 241 of the lower cooling plate 206.
[0054]
As an example of the gas supplied to the drying unit 100 and the cooling unit 200, air can be used. ₂ Air and N ₂ Use an inert gas or the like that contains a large amount of.
[0055]
The object to be dried refers to a film such as an electrode, a transparent dielectric layer, a rib, or a phosphor layer formed on the PDP substrate 10 for the rear substrate, and a PDP substrate for the front substrate. Refers to the electrode or transparent dielectric layer film formed on the upper part 10.
[0056]
The exhaust unit 400 includes a heat exchanger 401 for solvent gas dew condensation, a dew collection container 402, a heat exhaust fan 403, and a connection exhaust pipe 405.
[0057]
One end of the solvent gas condensation heat exchanger 401 disposed on the back side of the exhaust unit 400 is connected to the exhaust pipe 404, and the other end is connected to one end of the thermal exhaust fan 403 via the connection exhaust pipe 405. The other end of the fan 403 is connected to an external exhaust pipe 406.
[0058]
A heat exhaust fan 403 connected at one end to the solvent gas dew condensation heat exchanger 401 includes an upper heater unit 110, an exhaust pipe 213, an exhaust pipe 404, and a solvent gas dew condensation part from inside each of the drying unit 100 and the cooling unit 200. Gas is sucked into the heat exhaust fan 403 through the heat exchanger 401. When the gas passes through the solvent gas condensation heat exchanger 401, the solvent contained in the gas is cooled and liquefied by the solvent gas condensation heat exchanger 401, and the solvent contained in the gas is cooled. It is stored in the condensation collecting container 402 arranged below. Therefore, gas containing no solvent is exhausted from the external exhaust pipe 406 communicating with the other end of the heat exhaust fan 403. The exhaust pipe 404 connected to the exhaust pipe 113 of each drying section 100 may be provided with an on-off valve (not shown).
[0059]
On the other hand, the upper heater unit 110 is configured in detail as follows. 2 to 5, the upper heater unit 110 includes an upper heater 111, a first supply / exhaust pipe support member 514, a second supply / exhaust support member 515, an air supply pipe 112, an exhaust pipe 113, and an air supply pipe. It includes a centralized air supply pipe 155 as an example of a connecting portion, a centralized exhaust pipe 156, an upper heater support member 115, a roller 116, a pin 117, rails 131 and 132, and guide blocks 130a and 130b. Here, the mechanism configured by the roller 116, the rail 131, and the rail 132 is an example of a guide mechanism. The upper heater 111 is an example of a plate-like upper substrate heating heater. The support frame including the first supply / exhaust pipe support member 514 and the second supply / exhaust pipe support member 515 is an example of the supply / exhaust pipe support frame.
[0060]
The rails 131 and 132 are members having an L-shaped vertical section, and are parallel to each other and above the PDP substrate 10 so that the roller running surfaces 131a and 132a along the horizontal direction are close to each other. And is fixed to the side surface of the inner surface of the housing 101 along the carrying direction of the housing 101.
[0061]
The first supply / exhaust pipe support member 514 and the second supply / exhaust pipe support member 515 are members having a rectangular cross section in a vertical section, and are arranged parallel to each other and inside the rails 131 and 132 along the transport direction of the PDP substrate 10. Have been. One end on the front side of the first supply / exhaust pipe support member 514 and the second supply / exhaust pipe support member 515 is closed, and a first passage 514a and a second passage 515a are formed therein.
[0062]
At the other end on the back side of the first supply / exhaust pipe support member 514, a centralized supply pipe 155 is fixedly provided. The centralized air supply pipe 155 communicates with the first passage 514 a and communicates with and is connected to the drying section gas supply pipe 423 via the supply / exhaust pipe connection section 180. A centralized exhaust pipe 156 is fixedly provided at the other end on the back side of the second supply / exhaust pipe support member 515. The centralized exhaust pipe 156 communicates with the second passage 515 a and communicates with and is connected to the exhaust pipe 404 via the supply / exhaust pipe connecting portion 180. The shape of the distal end of the connection portion between the centralized air supply pipe 155 and the centralized exhaust pipe 156 will be described later when the air supply / exhaust pipe connecting section 180 is described.
[0063]
A total of five air supply pipes 112 for supplying gas into the drying section 100 and five exhaust pipes 113 for exhausting gas containing solvent from the drying section 100 are provided so as to be orthogonal to the transport direction of the PDP substrate 10. And they are arranged at equal intervals and in parallel. One end of the air supply pipe 112 is fixed to the first supply / exhaust pipe support member 514, and the other end is fixed to the second supply / exhaust pipe support member 515. Similarly, one end of the exhaust pipe 113 is fixed to the first supply / exhaust pipe support member 514, and the other end is fixed to the second supply / exhaust pipe support member 515. As for each air supply pipe 112 and each exhaust pipe 113, the upper surface of each air supply pipe 112 and each exhaust pipe 113 is lower than the upper surface 514b and the upper surface 515b of the first air supply / exhaust tube support member 514 and the second air supply / exhaust tube support member 515. So that they are connected. In addition, the exhaust pipe 113, the air supply pipe 112, the air supply pipe 112, the air supply pipe 112, and the exhaust pipe 113 are arranged in this order from the front door 102 side. Further, the three air supply pipes 112 communicate with the first passage 514a, but do not communicate with the second passage 515a. The two exhaust pipes 113 communicate with the second passage 515a, but the first passage 514a. Not in communication with Accordingly, the gas supplied from the gas supply source 421 into the drying gas supply pipe 423 is heated in the drying gas supply pipe 423 through the preheater 438, and the heated gas is supplied to the supply / exhaust pipe connection section. The air is supplied into the drying section 100 through a plurality of air supply holes 141 formed in each of the air supply pipes 112 through the air supply pipe 180, the centralized air supply pipe 155, and the first passage 514 a. In addition, the gas containing the solvent in the drying unit 100 enters the second passage 515 a through each exhaust hole 142 formed in each exhaust pipe 113, and is discharged through the centralized exhaust pipe 156 and the supply / exhaust pipe connection unit 180. Evacuation is possible from the pipe 404.
[0064]
As shown in FIG. 5, each air supply hole 141 of each air supply tube 112 is inclined from the upper and lower shafts 170 on the circumference of each air supply tube 112, for example, at a position of 45 degrees clockwise and counterclockwise. At a position of 45 degrees, a plurality of air supply holes 141 are formed in a staggered manner at equal intervals along the longitudinal direction of the air supply pipe 112.
[0065]
Further, each exhaust hole 142 of each exhaust pipe 113 is inclined from the upper and lower shafts 171 on the circumference of the exhaust pipe 113 in the exhaust pipe 113 arranged adjacent to the air supply pipe 112, for example, 45 degrees clockwise. And at a position 45 degrees counterclockwise at equal intervals along the longitudinal direction. In addition, even if the exhaust pipe 113 uses a porous sintered pipe made of stainless steel particles instead of providing the exhaust hole 142, the required wind speed and air volume can be obtained on the PDP substrate 10.
[0066]
When such an air supply pipe 112 and an exhaust pipe 113 are arranged adjacent to each other, an air supply hole 141 formed at a position 45 degrees counterclockwise from the upper and lower shafts 170, and a clockwise rotation from the upper and lower shafts 171. The exhaust hole 142 formed at a position of 45 degrees has a different phase along the pipe longitudinal direction. As a result, the gas supplied from the air supply hole 141 is not directly sucked into the exhaust hole 142 of the exhaust pipe 113 disposed next to the gas, but once flows out into the drying unit 100 and is then sucked into the exhaust hole 142. ing.
[0067]
Rollers 116 are rotatably attached via pins 117 to both ends of the first supply / exhaust pipe support member 514 and the second supply / exhaust pipe support member 515 on the outer surface side along the substrate transport direction. That is, a total of four rollers 116 are provided, one each on the outer surface on the back side and the outer surface on the front side of each of the first supply / exhaust pipe support member 514 and the second supply / exhaust pipe support member 515, and the rail 131 And 132, the first supply / exhaust pipe support member 514 and the second supply / exhaust pipe support member 515 can be freely moved along the transport direction of the PDP substrate 10 with the first supply / exhaust pipe support member 515. Further, the guide blocks 130a and 130b are provided on the side surfaces of the running surfaces 131a and 132a of the rails 131 and 132, and along the running surfaces 131a and 132a so that the rollers 116 do not fall off the running surfaces 131a and 132a. 132 are arranged in parallel.
[0068]
On the inner surfaces of the first supply / exhaust pipe support member 514 and the second supply / exhaust pipe support member 515, a rectangular heater support member 115 is attached. Four heater support members 115 are arranged, one each on the front side and the back side of the inner surface of the first supply / exhaust pipe support member 514 and the second supply / exhaust pipe support member 515. The upper heater 111 having a substantially rectangular plate shape is sandwiched between two heater support members 115 on both sides in the transport direction of the PDP substrate 10 with a slight gap therebetween, and the first supply / exhaust pipe support member 514 is provided. In addition, the second supply / exhaust pipe support member 515 is placed under its own weight on the supply pipe 112 and the exhaust pipe 113 so as to be sandwiched with a slight gap provided between the inner surfaces of the second supply / exhaust pipe support member 515. Therefore, the movement of the upper heater 111 is restricted by the heater support member 115, the first supply / exhaust pipe support member 514, and the second supply / exhaust pipe support member 515 in the transport direction of the PDP substrate 10 and in a direction perpendicular to the transport direction. Have been.
[0069]
That is, the gas supplied from each supply hole 141 hits the upper heater 111 placed on the supply pipe 112 and is heated. The heated gas contacts the film on the PDP substrate 10 to dry the film. Then, the gas containing the solvent evaporated by the drying is sucked into the exhaust pipe 113 from each exhaust hole 142. The upper heater 111 has a gap between the heater support member 115, the first supply / exhaust pipe support member 514, and the second supply / exhaust pipe support member 515, and is placed under its own weight on the air supply pipe 112 and the exhaust pipe 113. Therefore, even if the upper heater 111 expands due to heat, the upper heater 111, the air supply pipe 112, the exhaust pipe 113, the heater member 115, the first air supply / exhaust pipe support member 514, and the second air supply / exhaust. Relative movement with respect to the tube support member 515 becomes possible, and distortion due to thermal expansion of the upper heater 111 is not caused to these members.
[0070]
If the upper heater 111 fails during the operation of the PDP substrate drying apparatus 500, a signal is sent to the control unit 600, and the operation panel indicates which of the drying units 100 the upper heater 111 has failed. It has become so.
[0071]
When the first supply / exhaust pipe support member 514 or the second supply / exhaust pipe support member 515 is pulled out from the drying unit 100, the four rollers 116 smoothly rotate on the rails 131 and 132 to support the first supply / exhaust pipe support. The member 514, the second supply / exhaust pipe support member 515, the air supply pipe 112, the exhaust pipe 113, and the upper heater 111 can be taken out integrally, simultaneously, and smoothly.
[0072]
On the other hand, the supply / exhaust pipe connecting portion 180 connecting the centralized air supply pipe 155 of the upper heater unit 110 and the drying section gas supply pipe 423 or connecting the centralized exhaust pipe 156 and the discharge pipe 404 will be described. In addition, the supply / exhaust pipe connecting portion 180 has the same structure on the supply pipe side and the exhaust pipe side.
[0073]
The supply / exhaust pipe connecting portion 180 includes a cylindrical socket 181 to which one end of the centralized air supply pipe 155 or the centralized exhaust pipe 156 is inserted and connected, a first compression spring 182, a sleeve 183, a steel ball 184, and O And a ring 185. Here, the supply / exhaust pipe connection section 180 is an example of an external supply pipe side connection section or an external exhaust pipe side connection section, and the socket 181 is an example of an external supply pipe side connection member or an external exhaust pipe side connection member. . 6 and 7, the left side of FIGS. 6 and 7 is the front side (front side of the drying unit) of the PDP substrate device 500, and the right side of FIGS. 6 and 7 is the rear side (back side of the drying unit). The central air supply pipe 155, the central exhaust pipe 156, and the socket 181 are arranged in the axial direction along the transport direction of the PDP substrate 10. 6 to 8, the left side with respect to the back side maintenance door 103 shows the inside of the drying unit 100, and the right side shows the outside of the drying unit 100.
[0074]
The socket 181 is a stepped cylindrical member, and is disposed adjacent to the small-diameter portion 181a and the small-diameter portion 181a along the substrate transport direction from the front of the drying unit to the rear of the drying unit, and has an outer diameter of the small-diameter portion. A middle diameter portion 181b larger than 181a and a large diameter portion 181c arranged adjacent to the middle diameter portion 181b and having an outer diameter larger than the middle diameter portion 181b are integrally connected. One end of the small diameter portion 181a on the front side of the drying section is fitted and fixed in a hole 103a formed in the rear side maintenance door 103, while the large diameter section 181c is fixedly connected to the gas supply pipe 423 for the drying section. Have been.
[0075]
The small-diameter portion 181a of the socket 181 penetrates through a large-diameter hole 181h for inserting a connection end into which the connection end 155a of the centralized air supply pipe 155 or the connection end 156a of the centralized exhaust pipe 156 is removably inserted. Have At the end on the middle diameter side of the socket 181, the connection end tip 155 b of the centralized supply pipe 155 or the connection end tip 156 b of the centralized exhaust pipe 156 can be pulled out with an inner diameter slightly smaller than the large diameter hole 181 h. Has a small-diameter hole 181k for insertion at the tip end thereof, and a locking step 181f is formed at the boundary between the large-diameter hole 181h and the small-diameter hole 181k, and is connected to the connection end 155a of the centralized air supply pipe 155. The engagement step 155c formed at the boundary with the end tip 155b or the engagement step 156c formed at the boundary between the connection end 156a of the centralized exhaust pipe 156 and the connection end 156b is engaged with the engagement step. By being locked to the portion 181f, the steel ball holding groove 155e and a steel ball holding hole 181g described later are positioned so as to face each other, so that the engagement with the steel ball 184 can be reliably performed. Here, the large-diameter hole 181h for inserting the connection end portion and the small-diameter hole 181k for inserting the distal end portion are examples of an external air supply pipe side passage.
[0076]
On the other hand, a cylindrical sleeve 183 is slidably fitted on the outer surface of the small diameter portion 181a of the socket 181.
[0077]
On the outer surface of the middle diameter portion 181b, the middle diameter side end of the sleeve 183 is slidably movable. Inside the middle diameter portion 181b, a communication passage 181m communicating with the small diameter hole 181k and the gas supply pipe 423 for the drying section is formed.
[0078]
The large-diameter portion 181c has a sleeve contact step 181e to which the large-diameter-side end 183e of the sleeve 183 is abutted. Inside the large diameter portion 181c, a communication passage 181m communicating with the small diameter hole 181k and the gas supply pipe 423 for the drying section is formed.
[0079]
The steel balls 184 are fitted in the steel ball holding holes 181g, which are arranged symmetrically with respect to the axis of the socket 181 in the middle of the small diameter portion 181a of the socket 181. The hole 181g is formed in a mortar shape such that the inner diameter decreases toward the inside, so that the steel ball 184 does not fall inward, while a part of the steel ball 184 is opened from the opening at the bottom of the hole 181g. By protruding, the connection end 155a or 156a inserted into the large-diameter hole 181h of the small-diameter portion 181a of the socket 181 is pressed against the outer surface of the connection end 155a or 156a, so that the connection end 155a or 156a cannot be extracted from the large-diameter hole 181h. It is possible to engage so that
[0080]
The sleeve 183 is engaged with the outer surface of the socket 181 at a position where the front side end surface 183f of the sleeve 183 in FIG. 6 is at the position 40 indicated by a solid line and at a disengaged position (where the front side end surface 183f of the sleeve 183 in FIG. 6 is used). Is a cylindrical member that is slidably fitted to the position indicated by a two-dot chain line at position 41). Inside the sleeve 183, the outer surface of the small-diameter portion 181a of the socket 181 can be fitted and penetrated, and the small-diameter hole 183a of the socket 181 is formed continuously with the small-diameter hole 183a and the outer surface of the middle-diameter portion 181b of the socket 181. Has a medium diameter hole 183b that can be fitted and penetrates. The first compression is provided between the middle diameter hole 183b and the outer surface of the small diameter portion 181a of the socket 181 and between the end face 183c of the middle diameter hole 183b and the spring locking step 181d of the middle diameter portion 181b of the socket 181. The spring 182 is disposed, and the sleeve 183 is constantly biased toward the drying unit front side by the biasing force of the first compression spring 182 against the step 181d of the middle diameter portion 181b of the socket 181. The sleeve 183 is located at the engagement position 40. At the engagement position 40 of the sleeve 183, the steel ball 184 is continuously pressed at the end of the sleeve 183 on the front side of the drying section so as to fit into the steel ball holding hole 181g. The steel ball holding groove 155e on the outer surface of the connection end 155a inserted into the large-diameter hole 181h of the 181a is engaged.
[0081]
A hole 183d that can be engaged with the steel ball 184 is formed at the edge of the small-diameter hole 183a of the sleeve 183 on the front side of the drying section, and the sleeve 183 is formed by an external force from the outside of the rear side maintenance door 103. When the socket 181 is pushed to the large-diameter portion 181c side and positioned at the disengaged position against the urging force of the first compression spring 182, the hole 183d is connected to the steel ball holding hole 181g. , The steel ball 184 in the steel ball holding hole 181g is inserted into the large diameter hole 181h of the small diameter portion 181a of the socket 181 so that the steel ball 184 in the steel ball holding hole 181g can move outwardly into the hole 183d. The engagement of the steel ball 184 with the outer surface of the connection end 155a or 156a is released, and the steel ball 184 attempts to fall out of the steel ball holding hole 181g. And so as to prevent engagement with the 83d.
[0082]
On the inner peripheral surface of the small-diameter hole 181k of the small-diameter portion 181a of the socket 181 is formed a groove 181n in which an O-ring 185 is arranged. The space between the outer peripheral surface of the connection end tip portion 155b or 156b fitted into the hole 181k and the inner peripheral surface of the small-diameter hole 181k is sealed.
[0083]
Therefore, according to the above configuration, the sleeve 183 is always positioned at the engagement position 40 by the urging force of the first compression spring 182, and the socket 181 and the connection end 155a or 156a inserted into the socket 181 are connected to the sleeve 183. Is engaged by the steel ball 184, and the connection end 155 a or 156 a is retained in the socket 181. On the other hand, by moving the sleeve 183 toward the large-diameter portion 181c of the socket 181 against the urging force of the first compression spring 182 by an external force (for example, a finger) from the outside of the rear side maintenance door 103, The engagement between the connection end 155 and the connection end 155a or 156a is released, and the connection end 155a or 156a can be pulled out of the socket 181.
[0084]
Next, the heater power supply connection unit 190 for electrically connecting the upper heater 111 provided in the upper heater unit 110 and the control unit 600 will be described.
[0085]
The heater power supply connection portion 190 includes a movable electrode holding member 195 that can be integrally separated from the rear side maintenance door 103, a conductive second compression spring 192, a connection fixing screw 191, an insulating member 196, It includes a movable electrode 193, a fixed electrode 194 fixed to the upper heater 111 in the drying unit 100, and a fixed electrode holding member 197. Here, the movable side electrode 193 is an example of an upper power supply side connection terminal and a lower power supply side connection terminal, and the fixed side electrode 194 is an example of an upper heater side connection terminal and a lower heater side connection terminal. The second compression spring is an example of a compression spring.
[0086]
The movable-side electrode holding member 195 is formed of a substantially cylindrical conductor whose axis is along the substrate transfer direction, and has one end fixed in the through hole 103 b of the rear maintenance door 103 via an insulating member 196. The other end is exposed outside the drying unit 100. Inside the movable-side electrode holding member 195, a spring storage through-hole 195b is provided along the axis from the other end to the central portion, and from the bottom of the spring storage through-hole 195b to one end of the movable-side electrode holding member 195. Along the axis, a movable-side electrode storage through-hole 195c having an inner diameter smaller than that of the spring storage through-hole 195b is provided. A female thread 195a is formed on the other end of the inner peripheral surface of the spring storage through hole 195b.
[0087]
The movable side electrode 193 is movably fitted into the spring storage through hole 195b, and is fixed to the disk portion 193a and has a smaller diameter than the disk portion 193a and is movable from the spring storage through hole 195b. A conductive column portion 193b that can penetrate through the side electrode housing through hole 195c and be exposed to the inside of the drying section of the back side maintenance door 103 is formed.
[0088]
The conductive second compression spring 192 is housed in the spring housing through hole 195b, and the conductive fixing screw 191 is screwed into the female screw portion 195a at the other end of the spring housing through hole 195b, so that the fixing screw 191 and the movable electrode The second compression spring 192 is sandwiched between the second compression spring 192 and the disc portion 193 a of the movable side electrode 193, and the urging force of the second compression spring 192 is applied to the fixed screw 191 by the disc portion 193 a of the movable electrode 193 in the substrate transport direction. Of the movable-side electrode 193 so as to protrude toward the front side of the drying unit in the substrate transport direction. Further, the fixing screw 191 is connected to the power supply unit 610, and a current flows from the fixing screw 191 to the movable electrode 193 through the second compression spring 192.
[0089]
The fixed-side electrode 194 is formed of a substantially cylindrical conductor fixed to the drying unit side along the substrate transport direction so as to substantially coincide with the axis of the movable-side electrode holding member 197. One end of the fixed side electrode 194 is connected to the upper heater 111 and the lower heater 121 via a cable, and the other end of the fixed side electrode contact surface 194 a is connected to the movable side electrode 193 biased by the second compression spring 192. The movable electrode contact surface 193d, which is an end surface, can be brought into contact with the movable electrode contact surface 193d. That is, when the rear-side maintenance door 103 is located at the closed position, the movable-side electrode contact surface 193 d of the cylindrical portion 193 b of the movable-side electrode 193 is fixed to the fixed-side electrode 194 by the urging force of the second compression spring 192. The contact surface 194a is brought into pressure contact with the contact surface 194a while ensuring electrical conduction. As a result, the contact between the movable electrode contact surface 193d and the fixed electrode contact surface 194a causes the power supply 610 to pass through the movable electrode holding member 195, the movable electrode 193, and the fixed electrode 194, and the upper heater 111 and the lower heater A current flows through the heater 121. On the other hand, immediately after the back side maintenance door 103 starts the opening operation of moving away from the closed position, the movable-side electrode contact surface 193d of the cylindrical portion 193b of the movable-side electrode 193 extends from the fixed-side electrode contact surface 194a of the fixed-side electrode 194. Separately, when the physical contact between them is released, the electrical continuity is cut off at the same time. The fixed-side electrode contact surface 194a is formed with fine irregularities so that it can more reliably contact the movable-side electrode contact surface 193d. The rear maintenance door 103 is opened to an open position so as to secure the opening of the rear opening 101b so that the upper heater unit 110 and the lower heater unit 110 can be pulled out of the drying unit 100.
[0090]
Although the supply / exhaust pipe connecting portion 180 and the heater power supply connecting portion 190 are separately provided on the rear side maintenance door 103, as shown in FIGS. 8 and 9, the connecting end portion 155a of the A cable built-in socket 186 having a structure in which the electric cable 198 of the upper heater 111 or the lower heater 121 is built in the socket 181 into which the connection end 156a of the exhaust pipe 156 is inserted.
[0091]
Next, the lower heater unit 120 will be described with reference to FIGS.
[0092]
The lower heater unit 120 includes a lower heater 121, a heater support frame 124, a heater frame 125, a second roller 126, a second pin 127, second rails 151 and 152, and second guide blocks 150a and 150b. It has. Here, the second roller 126 is an example of a lower roller, the second rails 151 and 152 are examples of a lower rail, and the lower heater 121 is an example of a plate-like lower substrate heating heater.
[0093]
Each of the second rails 151 and 152 is a member having an L-shaped vertical section, and is parallel to each other and below the PDP substrate 10 so that the roller running surfaces 151a and 152a along the horizontal direction are close to each other. It is fixed to the side surface of the inner surface of the housing 101 along the transport direction of the substrate 10.
[0094]
The heater support frame 124 is formed of a plate material so as to form a substantially rectangular frame, and the second roller 126 is provided with a second pin 126 at two locations outside the both side edges of the heater support frame 124 along the transport direction of the PDP substrate 10. At 127 it is rotatably mounted. The second roller 126 can travel freely along the PDP substrate transport direction along with the heater support frame 124 on the traveling surfaces 151a, 152a of the second rails 151, 152. Also, the second guide blocks 150a and 150b are provided along the side surfaces of the running surfaces 151a and 152a of the rails 151 and 152 and along the running surfaces 151a and 152a so that the second roller 126 does not fall off the running surfaces 151a and 152a. Are arranged in parallel with the rails 151 and 152. A substantially rectangular heater frame 125 formed of a bar-shaped square member is fixedly provided on a heater support frame 124, and a substantially rectangular plate-like lower heater 121 is provided with a small gap in the heater frame 125. The lower heater 121 is placed under its own weight on the heater support frame 124, and the movement of the lower heater 121 is regulated by the heater frame 125 in the transport direction of the PDP substrate 10 and in a direction orthogonal to the transport direction.
[0095]
Further, since the lower heater 121 is merely placed on the heater support frame 124 with a gap between the lower heater 121 and the heater frame 125, even if the lower heater 121 expands due to heat, the lower heater 121 And the heater support frame 124 and the heater frame 125 can be moved relative to each other, and the members are not distorted by thermal expansion.
[0096]
By pulling out the heater support frame 124 from the drying unit 100, the four second rollers 126 attached to the heater support frame 124 smoothly rotate on the pair of second rails 151 and 152, and the heater support frame 124 And the lower heater 121 placed on it can be taken out integrally, simultaneously and smoothly.
[0097]
Further, the lower heater 121 of the lower heater unit 120 is connected to the control unit 600 by the heater power supply connection unit 190 in the same manner as the above-described upper heater unit 110. That is, immediately after the opening operation of the back side maintenance door 103 is started, the movable side electrode contact surface 193d of the cylindrical portion 193b of the movable side electrode 193 is separated from the fixed side electrode contact surface 194a of the fixed side electrode 194. When the physical contact is released, the electrical continuity is cut off at the same time. As described above, in each of the rear side maintenance doors 103 in each of the drying units 100, two air supply / exhaust pipe connecting portions 180 for air supply and exhaust, and two air supply / exhaust pipe connection portions 180 for the upper heater 111 and the lower heater 121 are provided. And a heater power supply connection unit 190.
[0098]
As shown in FIG. 16, the lower heater 121 includes a heater body 188 and a member 189 made of a material different from that of the heater body, and has a thermal expansion coefficient of the heater body 188 and a thermal expansion coefficient of the member 189. Therefore, the lower heater 121 warps when heated. Due to the warpage of the lower heater 121, the heat distribution on the lower surface of the PDP substrate 10 is not uniform. As a result, the PDP substrate 10 does not dry uniformly, which adversely affects the quality of the PDP substrate 10.
[0099]
Therefore, as shown in FIGS. 11 and 12, when the lower heater 121 warps along the longitudinal direction, a rib 135 is provided on the lower heater 121 along the longitudinal direction, and the ribs 135 are further provided in a direction orthogonal to the longitudinal direction. By providing the lower heater 121 with the ribs 135 at intervals, the warpage of the lower heater 121 along the longitudinal direction is reduced. When the ribs 135 are provided on the lower heater by welding, it is preferable to perform welding at equal intervals in the longitudinal direction. In FIG. 10, the illustration of the rib 135 is omitted.
[0100]
Further, when the lower heater 121 fails during the operation of the PDP substrate drying apparatus 500, a signal is sent to the control unit 600, and the operation panel indicates which of the drying units 100 the lower heater 121 has failed. It has become.
[0101]
Further, a supply / exhaust pipe connecting section 180 is provided on the rear side maintenance door 203 in the cooling section 200 to provide a pipe (a pipe corresponding to the centralized air supply pipe 155 in FIG. 2) leading to the cooling plate 206 and a gas supply for the cooling section. The trachea 424 may be connected by the supply / exhaust pipe connection 180, and the exhaust pipe 213 and the exhaust pipe 404 may be connected by the supply / exhaust pipe connection 180.
[0102]
Next, when removing the back side maintenance door 103 from the housing 101 and then taking out the upper heater unit 110 out of the drying unit 100 or taking out the lower heater unit 120 out of the drying unit 100, the upper heater unit 110 or A cart 800 for receiving the lower heater unit 120 will be described with reference to FIG.
[0103]
The bogie 800 includes a bogie frame 801, four rotatable wheels 802 attached to the bottom of the bogie frame 801, and an elevating unit 803 that can move up and down by rotating a motor (not shown) with respect to the bogie frame 801. ing.
[0104]
The elevating unit 803 can be moved up and down with respect to the bogie frame 801 by, for example, rotation of a motor (not shown), and can be appropriately positioned.
[0105]
The roller receiving rails 804 and 805 are L-shaped members having a vertical cross section parallel to each other, and the rollers of the upper heater unit 110 and the lower heater unit 120 are arranged so that the roller receiving surfaces 804a and 805a along the horizontal direction are close to each other. The roller 116 and the roller 126 are arranged so as to be able to travel freely on the roller receiving surfaces 804a and 805a. Therefore, the motor driving and lifting unit 803 (not shown) is moved up and down with respect to the bogie frame 801, and the positions of the roller receiving surfaces 804 a and 805 a are provided in the drying unit 100 from which the upper heater unit 110 or the lower heater unit 120 is to be taken out. The upper heater unit 110 can be positioned on the roller running surfaces 131a and 132a of the upper heater unit 110, and can be transferred onto the roller receiving surfaces 804a and 805a. In addition, the lifting unit 803 is moved up and down with respect to the bogie frame 801 by the rotation drive of a motor (not shown), and the positions of the roller receiving surfaces 804a and 805a are set to the roller running surfaces 151a of the lower heater unit 120 provided in each drying unit 100. , 152a, and the lower heater unit 120 can be transferred onto the roller receiving surfaces 804a, 805a.
[0106]
By raising and lowering the lifting unit 803 by rotation of a motor (not shown), the upper heater unit 110 or the lower heater unit 120 mounted on the roller receiving rails 804 and 805 can be raised and lowered to a position where maintenance is easy. I have.
[0107]
Further, while the upper heater unit 110 or the lower heater unit 120 is placed on the roller receiving rails 804 and 805, the operator moves the truck 800 together with the cart 800 to another location where maintenance is performed, and The upper and lower heater units 110 or 120 mounted on the roller receiving rails 804 and 805 can be raised and lowered to a position where maintenance can be easily performed by raising and lowering the lifting unit 803 by rotation of a motor (not shown). Has become.
[0108]
The respective operations of the drying unit 100, the cooling unit 200, the vertical transfer unit 300, the exhaust unit 400, and the air supply unit 420 of the PDP substrate drying apparatus 500 configured as described above are stored in the control unit 600. Operation is controlled by an operation control program.
[0109]
The PDP substrate drying apparatus 500 configured as described above operates as follows.
[0110]
First, the PDP substrate 10 to be dried is carried into the substrate transfer unit 310 by rotating the rollers 311 of the substrate transfer unit 310 through the carry-in / out port 505. By the synchronous rotation of the substrate transfer unit 310 into which the PDP substrate 10 is carried in and the vertical drive motors 322a and 322b, the substrate is moved up and down, and the positioning is stopped at a position facing the drying unit 100 at a predetermined temperature. When the positioning stop is completed, the PDP substrate 10 is carried into the drying unit 100 by the rotation of the roller 311 of the substrate transfer unit 310 and the roller 104 of the drying unit 100. After the front door 102 of the drying unit 100 is closed, the upper heater 111 and the lower heater 121 provided in each drying unit 100 are controlled by the control unit so that the temperature inside the drying unit 100 becomes a predetermined temperature. The temperature is controlled by 600.
[0111]
In addition, while the temperature in the drying unit 100 is maintained, the gas is supplied from the air supply holes 141 formed in the air supply pipes 112 toward the upper heater 111, so that the gas on the PDP substrate 10 is removed. The gas does not directly hit the film, and flows through the drying unit 100 while keeping the solvent concentration in the drying unit 100 substantially uniform. The air is sucked into each exhaust pipe 113 through 142 and exhausted from the drying unit 100 through the exhaust pipe 404. The PDP substrate 10 carried into the drying unit 100 finishes drying in a predetermined time, is transferred to the substrate transfer unit 310 again, and is similarly transferred to the cooling unit 200. The PDP substrate 10 cooled in the cooling unit 200 passes through the substrate transfer unit 310 and is unloaded from the substrate loading / unloading port 505.
[0112]
In the drying unit 100 of the PDP substrate drying apparatus 500 that operates as described above, the upper heater 111 and the lower heater 121 attached to the upper heater unit 110 and the lower heater unit 120 perform maintenance due to failure or periodically. There is a need to do.
[0113]
Therefore, when performing maintenance on the upper heater 111 or the lower heater 121, since the height of each drying unit 100 is low, it is difficult to perform maintenance by putting a hand in the drying unit 100. An operation of pulling out the upper heater unit 110 or the lower heater unit 120 provided with the lower heater 121 from the inside of the drying unit 100 and performing maintenance outside the drying unit 100 will be described below.
[0114]
First, a case where the upper heater 111 has failed while the PDP substrate drying apparatus 500 is operating will be described. When the upper heater 111 has failed, a signal is sent to the control unit 600, and the operation panel indicates which of the drying units 100 the upper heater 111 has failed.
[0115]
The on-off valve (not shown) provided in the drying gas supply pipe 423 leading to the drying unit 100 provided with the failed upper heater 111 is closed to stop the supply of air from the drying gas supply pipe 423 and to discharge the exhaust pipe 404. When an on-off valve (not shown) is provided, the exhaust valve 404 is closed and the exhaust from the discharge pipe 404 is stopped.
[0116]
With the rear maintenance door 103 in the drying unit 100 provided with the failed upper heater 111 in the closed position with respect to the drying unit 100, the supply / exhaust pipe connection unit 180 on the air supply tube 112 side and the exhaust / gas exhaust tube 113 side In each of the supply / exhaust pipe connection portions 180, the sleeve 183 is positioned from the engagement position 40 to the engagement release position 41 with respect to the socket 181. The operation of opening the rear side maintenance door 103 is started while the worker holds the position at these disengagement positions 41 or holds the position at the disengagement position 41 by any engagement mechanism. At first, the rear side maintenance door 103 is moved in parallel to pull out the centralized air supply pipe 155 and the centralized exhaust pipe 156 inserted into the sockets 181 on the air supply pipe 112 side and the exhaust pipe 113 side, respectively. Let out. At this time, the contact between the movable electrode contact surface 193d of the cylindrical portion 193b of the movable electrode 193 and the fixed electrode contact surface 194a of the fixed electrode 194 is simultaneously released. As a result, the connection between the gas supply source 421 and the gas supply pipe 423 for the drying section is released on the supply pipe side, the connection between the exhaust section 400 and the discharge pipe 404 is released, and the fixed electrode 194 in other words, The electrical connection between the heater 111 and the lower heater 121 and the power supply unit 610 is released. Therefore, the contact between the movable electrode 193 and the fixed electrode 194 is cut off, the upper heater 111 is not connected to the power source, and the temperature of the upper heater 111 gradually decreases.
[0117]
Then, the rear maintenance door 103 is opened to the open position so as to secure the opening of the rear opening 101b so that the upper heater unit 110 and the lower heater unit 120 can be pulled out of the drying unit 100.
[0118]
When the above preparations are completed, the operator causes the cart 800 to stand by on the back side of the PDP substrate drying apparatus 500, raises and lowers the elevating unit 803 with respect to the cart frame 801, and moves the positions of the roller receiving surfaces 804a and 805a. It matches the position of the roller running surfaces 131a and 132a of the upper heater unit 110 provided in the drying section 100.
[0119]
Next, when the first supply / exhaust pipe support member 514 or the second supply / exhaust pipe support member 515 is pulled out of the drying unit 100, the rollers attached to the first supply / exhaust pipe support member 514 and the second supply / exhaust pipe support member 515 are removed. 116 rotates on rails 131 and 132 and roller receivers 804 and 805 provided in the pair of drying units 100, so that the first supply / exhaust pipe support member 514, the second supply / exhaust pipe support member 515, the air supply pipe 112, The exhaust pipe 113 and the upper heater 111 can be integrally, simultaneously, and smoothly transferred from the drying unit 100 to the roller receivers 804 and 805 of the truck.
[0120]
While the upper heater unit 110 is mounted on the roller receiving rails 804 and 805, the operator moves the truck 800 and the wheel 802 together with the bogie 800 to a location where maintenance is performed, and performs maintenance at the location.
[0121]
Also, when removing the lower heater unit 120 from the drying unit 100, similarly to when removing the upper heater unit 110, the roller 126 attached to the heater support frame 124 is pulled out by pulling out the heater support frame 124 from the drying unit 100. Rollers on the pair of rails 151 and 152 and on the roller receivers 804 and 805 are integrally and simultaneously and smoothly moved with the lower heater placed on the heater support frame 124 from the inside of the drying unit 100. 804 and 805.
[0122]
Therefore, by taking out the upper heater unit 110 from the inside of the drying unit 100, the upper heater 111, the air supply pipe 112, and the exhaust pipe 113 can be taken out at the same time, and in a place where maintenance is easy, the upper heater 111 or the air supply pipe 112 or Maintenance of the exhaust pipe 113 can be easily performed.
[0123]
Further, by taking out the lower heater unit 120 from the inside of the drying unit 100, the maintenance of the lower heater 121 can be easily performed in a place where maintenance is easily performed.
[0124]
In addition, the maintenance rear door 103 of each drying unit 100 can be opened and closed independently, and the upper heater 111 and the lower heater 121 are turned off at the same time as the rear maintenance door 103 is opened. In addition, it is possible to continue to operate the drying unit 100 other than the drying unit 100 that is performing the maintenance, it is possible to reduce a decrease in the operation rate of the PDP substrate drying apparatus 500, and it is possible to perform the maintenance safely. .
[0125]
Note that the present invention is not limited to the above embodiment, and can be implemented in other various modes. For example, as shown in FIGS. 14 and 15, a side opening 701c is formed on the side of the drying unit 100 in the PDP substrate drying apparatus 500, and a side maintenance door 740 is provided, so that the side is used from the side instead of the back. The upper heater unit 700 that can be taken out can also be configured. Here, the side opening 701c is an example of a maintenance opening, and the side maintenance door 740 is an example of an opening / closing door. The side surface on the side where the side surface maintenance door 740 is provided (the right side in FIG. 14) is referred to as a first side surface 50, and the opposite side surface (the left side in FIG. 14) is referred to as a second side surface 51.
[0126]
The upper heater unit 700 includes an upper heater 741, a third supply / exhaust pipe support member 710, a fourth supply / exhaust pipe support member 711, a fifth supply / exhaust pipe support member 712, and a sixth supply / exhaust pipe support member 713. A centralized air supply pipe 751 as an example of an air supply pipe connection, a centralized exhaust pipe 752, a third roller 716, a third pin 717, third rails 731 and 732, and third guide blocks 730a and 730b. Have. Here, the third roller 716, the third rail 731 and the third rail 732 are examples of a guide mechanism, the third roller 716 is an example of an upper roller, and the third rails 731 and 732 are examples of an upper rail. It is. The third supply / exhaust pipe support member 710, the fourth supply / exhaust pipe support member 711, the fifth supply / exhaust pipe support member 712, and the sixth supply / exhaust pipe support member 713 are examples of supply / exhaust pipe support members. The heater 741 is an example of a plate-like upper substrate heating heater.
[0127]
The third rails 731 and 732 are members having an L-shaped vertical section, and are parallel to each other and above the PDP substrate 10 so that the roller running surfaces 131a and 132a along the horizontal direction are close to each other. It is fixed to the inner surface of the housing 101 along a direction orthogonal to the transport direction of the housing 10.
[0128]
The third supply / exhaust pipe support member 710, the fourth supply / exhaust pipe support member 711, the fifth supply / exhaust pipe support member 712, and the sixth supply / exhaust pipe support member 713 are members having a square frame in cross section, and the third supply / exhaust pipe is provided. A substantially rectangular second air supply / exhaust pipe support frame that forms an opposite side by the support member 710 and the fourth air supply / exhaust pipe support member 711 and an opposite side by the fifth air supply / exhaust pipe support member 712 and the sixth air supply / exhaust pipe support member 713. 750 is provided in the drying unit 100. The third supply / exhaust pipe support member 710 and the fourth supply / exhaust pipe support member 711 are arranged inside the third rails 731 and 732 so as to extend in a direction perpendicular to the transport direction of the PDP substrate 10. The fifth supply / exhaust pipe support member 712 and the sixth supply / exhaust pipe support member 713 are arranged to extend along the transport direction of the PDP substrate 10. One end of the second side surface 51 of the third supply / exhaust pipe support member 710 and the fourth supply / exhaust pipe support member 711 is closed, and a third passage 710a and a fourth passage 710a are formed therein. At the other end of the first side surface 50 of the third supply / exhaust pipe support member 710 and the fourth supply / exhaust pipe support member 711, a centralized exhaust pipe 752 is fixedly provided. The centralized exhaust pipe 752 connected to the third supply / exhaust pipe support member 710 communicates with the third passage 710 a and communicates with the exhaust pipe 404 via the supply / exhaust pipe connecting portion 180 to be connected. The centralized exhaust pipe 752 connected to the fourth supply / exhaust pipe support member 711 communicates with the fourth passage 711 a and communicates with the exhaust pipe 404 via the supply / exhaust pipe connecting portion 180 to be connected.
[0129]
On the other hand, both ends of the fifth supply / exhaust pipe support member 712 are closed, and a fifth passage 712a is formed inside. A sixth passage 713a is formed inside the sixth supply / exhaust pipe support member 712 so as to communicate with the third passage 710a and the fourth passage 711a. That is, the third passage 710a, the fourth passage 711a, and the sixth passage 713a communicate with each other, and the fifth passage 712a does not communicate with another passage.
[0130]
The centralized air supply pipe 751 is provided at two locations on the first side surface 50 of the fifth supply / exhaust pipe support member 712 so as to communicate with the fifth passage 712a.
[0131]
A total of five air supply pipes 112 and five exhaust pipes 113 are provided so as to be orthogonal to the direction in which the PDP substrate 10 is conveyed, and they are arranged at equal intervals and in parallel. One end of each air supply pipe 112 is fixedly provided on the fifth supply / exhaust pipe support member 712, and the other end is fixedly provided on the sixth supply / exhaust pipe support member 713. Similarly, one end of each exhaust pipe 113 is fixedly provided on the fifth supply / exhaust pipe support member 712, and the other end is fixedly provided on the sixth supply / exhaust pipe support member 713. The third supply / exhaust pipe support member 710, the fourth supply / exhaust pipe support member 711, the fifth supply / exhaust pipe support member 712, and the sixth supply / exhaust pipe support member 713 are configured such that the upper surfaces of the respective supply pipes 112 and exhaust pipes 113 The upper and lower surfaces 710b, 711b, 712b, and 713b of the third supply / exhaust tube support member 710, the fourth supply / exhaust tube support member 711, the fifth supply / exhaust tube support member 712, and the sixth supply / exhaust tube support member 713. So that they are connected. In addition, the exhaust pipe 113, the air supply pipe 112, the air supply pipe 112, the air supply pipe 112, and the exhaust pipe 113 are arranged in this order from the front door 102 side. Further, a second air supply passage 722a and a second air exhaust passage 723a are formed in each of the air supply pipes 722 and each of the exhaust pipes 723 at right angles to the transport direction of the PDP substrate 10, and each of the second air supply passages 722a is formed. Communicates with the fifth passage 712a, but does not communicate with the sixth passage 713a. Each exhaust passage 723a communicates with the sixth passage 713a, but does not communicate with the fifth passage 712a. Therefore, the gas supplied from the gas supply source 421 passes through the preheater 438 by connecting and connecting the gas supply pipe 423 for the drying unit to the centralized supply pipe 751 via the supply / exhaust pipe connection part 180. The heated gas heated in the drying gas supply pipe 423 passes through the supply / exhaust pipe connection portion 180, the centralized supply pipe 751, and the fifth passage 712a, and passes through a plurality of supply holes formed in each supply pipe 722. Air is supplied into the drying unit 100 from the 141. In addition, the gas containing the solvent in the drying unit 100 enters the sixth passage 713a through each exhaust hole 142 formed in each exhaust pipe 723, and enters the fourth passage 711a, the sixth passage 713a, the centralized exhaust pipe 752, The air can be exhausted from the exhaust pipe 404 through the supply / exhaust pipe connecting portion 180.
[0132]
Rollers 716 are rotatably mounted on the second side surface 51 of the third supply / exhaust pipe support member 710 and the first side surface 50 of the fourth supply / exhaust pipe support member 711 via pins 717. A total of four rollers 716 are provided, one each on the back side and the front side of the third supply / exhaust pipe support member 710 and the fourth supply / exhaust pipe support member 711, and on the running surfaces 731a, 732a of the rails 731 and 732. It can travel freely along the transport direction with the second supply / exhaust pipe support frame 750. The guide blocks 730a and 730b are arranged in parallel along the running surfaces 731a and 732a of the rails 731 and 732 so that the rollers 716 do not fall off the running surfaces 731a and 732a.
[0133]
A generally rectangular plate-shaped upper heater 741 is placed under its own weight on each of the air supply pipes 722 and each of the exhaust pipes 723 with a slight gap provided in the second air supply and exhaust pipe support frame 750, and the second air supply and exhaust pipes are provided. The movement is restricted by the support frame 750.
[0134]
When the second supply / exhaust pipe support frame 750 is pulled out of the drying unit 100, the four rollers 716 rotate smoothly on the rails 731 and 732, and the second supply / exhaust pipe support frame 750, the air supply pipe 722, and the exhaust pipe are provided. 723 and the upper heater 741 can be integrally, simultaneously, and smoothly taken out from the side surface of the PDP substrate drying apparatus 500.
[0135]
Also, the upper heater unit 700 is described as being taken out from the side maintenance door 740 side, but may be taken out from the back maintenance door 103 side.
[0136]
Note that by appropriately combining any of the various embodiments described above, the effects of the respective embodiments can be achieved.
[0137]
【The invention's effect】
According to the first aspect of the present invention, the supply / exhaust pipe support member, the air supply pipe, the exhaust pipe, and the plate-shaped upper substrate heating heater are integrally formed, and can be guided by the guide mechanism. When opening, the air supply pipe connection of the air supply pipe can be separated from the external air supply pipe side connection of the opening / closing door connected to the external air supply pipe supplying the heating gas, and the exhaust gas connection of the exhaust pipe is connected to the heating gas. The upper opening of the opening / closing door connected to a power supply is connected to a power supply by connecting the upper heater side connection terminal of the plate-shaped upper substrate heater to a power supply. It is configured to be separable from the power supply side connection terminal. As a result, by the external force of the opening / closing door from outside the drying chamber, the connection between the external air supply pipe side connection section and the air supply pipe connection section is released, and further the opening / closing door from the outside of the drying chamber. After the connection between the external exhaust pipe side connection part and the exhaust pipe connection part is released by an external force, the opening operation of the opening / closing door causes the air supply pipe connection part to come off from the external air supply pipe side connection part, While the exhaust pipe connection portion is pulled out from the external exhaust pipe connection portion, the upper power supply connection terminal is separated from the heater connection terminal, so that the air supply pipe and the exhaust gas are guided by the guide mechanism from the drying chamber. The tube can be carried out integrally with the substrate heating heater and the supply / exhaust support member. Therefore, it is possible to easily maintain the substrate heating heater or the supply / exhaust pipe installed in the drying chamber. In addition, by the opening operation of the opening / closing door, the air supply pipe connection section comes off from the external air supply pipe side connection section, and the exhaust pipe connection section comes off from the external exhaust pipe side connection section at the same time as the upper power supply side. When the connection terminal is separated from the heater-side connection terminal, electricity is not conducted to the substrate heating heater, and maintenance can be performed more safely by lowering the temperature of the substrate heating heater.
[0138]
According to the second aspect of the present invention, the guide mechanism includes a pair of upper rails extending toward the maintenance opening above both side surfaces of the drying chamber, and a pair of upper rails. It is possible to travel, and by including a plurality of upper rollers provided on the supply / exhaust support member, the air supply pipe and the exhaust pipe are placed on the upper rail from the drying chamber with the rotation of the upper roller. By taking out the substrate heating heater and the supply / exhaust support member integrally, the friction at the time of taking out can be reduced, and as a result, it is possible to take out stably and smoothly.
[0139]
According to the third aspect of the present invention, the external air supply pipe side connection part is a cylindrical member having an external air supply pipe side passage communicating with the external air supply pipe, wherein the air supply pipe connection part is the external air supply pipe connection part. An external air supply pipe side connection member that is removably inserted into the air supply pipe side passage so that the air supply pipe passage communicates with the external air supply pipe side passage; and An air supply pipe member that is provided on the external air supply pipe side connection member so that the engagement with the air supply pipe connection portion is released from an engagement position when an external force is applied from the outside of the opening / closing door. The external air supply tube side engaging member movable to the engagement release position, and the external air supply tube side engagement member is moved to the engagement release position by an external force from the outside of the opening / closing door. Opening the opening / closing door opens the passage inside the external air supply pipe. Luo so the supply pipe connection portion comes off. Further, the external exhaust pipe side connection portion is a cylindrical member having an external exhaust pipe side passage communicating with the external exhaust pipe, and the exhaust pipe connection portion can be inserted into and removed from the external exhaust pipe side passage. An external exhaust pipe-side connecting member inserted into the exhaust pipe so that the passage in the exhaust pipe communicates with the external exhaust pipe-side passage; and the external exhaust pipe-side connection so as to engage with the exhaust pipe connection at the exhaust pipe engaging position. An external exhaust pipe provided on a member and movable from an engagement position to an exhaust pipe engagement release position for releasing the engagement with the exhaust pipe connection portion when an external force from the outside of the opening / closing door is applied. Side engaging member, the external exhaust pipe side engaging member is moved to the disengaged position by an external force from the outside of the opening / closing door, and the opening / closing door is opened, whereby the external exhaust port is opened. The exhaust pipe connection is pulled out from the pipe side passage. It becomes so that. Therefore, the air supply pipe connection is inserted and connected in the external air supply pipe passage, and the exhaust pipe connection is inserted and connected in the external exhaust pipe passage. become able to. In addition, the presence of the engagement position and the disengagement position enables more reliable connection and disconnection between the air supply pipe and the external air supply pipe, and connection and disconnection between the exhaust pipe and the external exhaust pipe. Can be.
[0140]
According to the fourth aspect of the present invention, the upper power supply side connection terminal is provided on the opening / closing door, and is always urged by a compression spring so as to protrude toward the drying chamber, and the opening / closing door is closed. In this state, the tip of the upper power supply side connection terminal contacts the upper heater side connection terminal. As a result, by the closing operation of the opening / closing door, the upper power-supply-side connection terminal urged by the compression spring surely contacts the upper heater-side connection terminal, thereby improving the reliability of the apparatus.
[0141]
According to the fifth aspect of the present invention, the plate-like lower substrate heating heater and the heater support frame are integrally formed, and the lower rail of the drying chamber and the lower rail are formed by a plurality of lower rollers. A heater supporting frame that is movable and can be taken in and out of the drying section; and, when the openable door is opened, the lower heater-side connection terminal of the plate-shaped lower substrate heater is connected to a power supply. The lower power supply side connection terminal can be separated from the lower power supply side connection terminal, and the lower power supply side connection terminal is always urged by a compression spring so as to protrude toward the drying chamber, and the above open / close door is closed. It is configured to contact the lower heater side connection terminal. As a result, the lower power supply side connection terminal is separated from the lower heater side connection terminal by the opening operation of the opening / closing door, and the lower power supply side connection terminal is caused to travel on the lower rail by the lower roller of the heater support frame. Thus, the heater for heating the lower side of the substrate can be carried out from the drying chamber together with the heater support frame. Therefore, the plate-like lower substrate heater installed in the drying chamber can be easily maintained.
[0142]
According to the sixth aspect of the present invention, the lower surface of the plate-shaped lower substrate heater includes a plurality of ribs along the longitudinal direction of the lower plate-shaped substrate heater, thereby providing the lower surface of the plate-shaped lower substrate heater. Warpage along the longitudinal direction due to heat of the lower substrate heating heater is reduced. As a result, the heat distribution on the lower surface of the PDP substrate becomes substantially uniform, and the quality of the PDP substrate after drying can be improved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a right side view having a partial cross section showing a configuration of a PDP substrate drying apparatus according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a partial cross-sectional plan view showing a configuration of an upper heater unit of the PDP substrate drying apparatus according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a partial cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 2 showing a configuration of an upper heater unit of the PDP substrate drying apparatus according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a partially enlarged view of a partial cross section of a left portion B in FIG. 3 showing a configuration of an upper heater unit of the PDP substrate drying apparatus according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a sectional view illustrating an air supply pipe and an exhaust pipe in an upper heater unit of the PDP substrate drying apparatus according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a partial cross-sectional side view showing a state in which a socket and a plug are engaged by steel balls in a supply / exhaust pipe connection portion of the substrate drying apparatus for a PDP according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a view showing a state in which a steel ball is disengaged from a groove of a plug and a socket and a plug are disengaged via a steel ball in a supply / exhaust pipe connecting portion of a PDP substrate drying apparatus according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a partial cross-sectional side view showing a state in which the cover is folded.
FIG. 8 shows a configuration of a cable built-in pipe in which a supply / exhaust pipe and an upper heater electric cable are combined together in a supply / exhaust connection part of the PDP substrate drying apparatus according to the first embodiment of the present invention. It is sectional drawing along the axial direction of the cable built-in piping.
FIG. 9 is a vertical sectional view of the pipe with a built-in cable of FIG. 8 in a supply / exhaust connection part of the PDP substrate drying apparatus according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 10 is a partial cross-sectional front view showing a configuration of a lower heater unit of the PDP substrate drying apparatus according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 11 is a front view showing a configuration in which a rib is provided on the bottom surface of the lower heater in the lower heater unit of the PDP substrate drying apparatus according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 12 is a view taken in the direction of arrow C in FIG. 11 showing a lower heater provided with a rib in the lower heater unit of the PDP substrate drying apparatus according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 13 is a perspective view illustrating a configuration of a truck used when removing the upper heater unit and the lower heater unit from the drying unit in the PDP substrate drying apparatus according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 14 is a partial cross-sectional plan view showing a configuration of an upper heater unit which can be taken out from a side surface of a PDP substrate drying apparatus according to a first modification of the first embodiment of the present invention.
FIG. 15 is a partial cross-sectional view of the upper heater unit shown in FIG. 14 taken along the line D-D in a first modification of the first embodiment of the present invention.
FIG. 16 is a partial cross-sectional front view showing warpage of the lower heater when heating the lower heater in the lower heater unit of the conventional PDP substrate drying apparatus.
[Explanation of symbols]
Reference Signs List 10: PDP substrate, 40: engagement position, 41: disengagement position, 100: drying unit, 101a: front opening, 101b: rear opening, 103: rear side maintenance door, 110: upper heater unit, 111 ... Upper heater, 112 ... Air supply pipe, 113 ... Exhaust pipe, 116 ... Roller, 120 ... Lower heater unit, 121 ... Lower heater, 124 ... Heater support frame, 126 ... Second roller, 131 ... Rail, 132 ... Rail, 151 ... 2nd rail, 152 ... 2nd rail, 155 ... centralized air supply pipe, 156 ... centralized exhaust pipe, 180 ... supply / exhaust pipe connection part, 181 ... socket, 181h ... large-diameter hole for connection end insertion, 181k ... tip end insertion 184: steel ball, 190: heater power supply connection part, 192: conductive second compression spring, 193: movable electrode, 194: fixed electrode, 404: discharge tube, 23: gas supply pipe for drying section, 514: first supply / exhaust pipe support member, 515: second supply / exhaust pipe support member, 610: power supply section, 701c: side opening, 716: third roller, 722: supply pipe, 723: exhaust pipe, 731: third rail, 732: third rail, 740: side door for maintenance, 741: upper heater, 750: second supply / exhaust pipe support frame, 751: centralized air supply pipe, 752: centralized exhaust tube.

Claims

搬出搬入口より、ＰＤＰ用基板を乾燥室内に搬入し、上記基板に対して上記基板上方の給気管及び排気管から加熱ガスを給排気して上記基板を乾燥させるＰＤＰ用基板乾燥装置において、
上記乾燥室に上記搬出搬入口とは異なるメンテナンス用開口部に開閉可能に設けられる開閉ドアと、
上記給気管及び上記排気管を支持し、上記乾燥室内の上方で、案内機構により案内されて上記乾燥室内に対して上記メンテナンス用開口部を通り、上記給気管及び上記排気管と伴に出し入れ可能な給排気管支持部材と、
上記乾燥室内の上方で上記給気管及び上記排気管上に相対移動不可に載置された板状上側基板加熱用ヒ−タと、
上記開閉ドアに設けられ、上記給気管へ上記加熱ガスを供給する外部給気管に一端が連通して接続され、他端が上記給気管に連通して分離可能に上記給気管の給気管接続部に接続され、上記開閉ドアの上記乾燥室の外側からの外力で上記接続を解除可能で、かつ解除した後に上記給気管接続部を上記開閉ドアから分離可能な外部給気管側接続部と、
上記開閉ドアに設けられ、上記排気管から上記加熱ガスを回収する外部排気管に一端が連通して接続され、他端が上記排気管に連通して分離可能に上記排気管の排気管接続部に接続され、上記開閉ドアの上記乾燥室の外側からの外力で上記接続を解除可能で、かつ解除した後に上記排気管接続部を上記開閉ドアから分離可能な外部排気管側接続部と、
電源部と接続され、かつ上記開閉ドアに設けられ、上記開閉ドアの閉じ位置で、上記板状上側基板加熱ヒータの上側ヒータ側接続端子に上記閉じ位置で当接して接続され、上記開閉ドアの開き動作により、上記上側ヒータ側接続端子から離れて接続が解除される上側電源側接続端子とを備えるようにして、
上記開閉ドアの上記乾燥室の外側からの外力により、上記外部給気管側接続部と上記給気管接続部との接続を解除して、さらに上記開閉ドアの上記乾燥室の外側からの外力により、上記外部排気管側接続部と上記排気管接続部との接続を解除した後、上記開閉ドアの開き動作により、上記外部給気管側接続部から上記給気管接続部が抜けるとともに、上記外部排気管側接続部から上記排気管接続部が抜ける一方、上記上側電源側接続端子が上記ヒータ側接続端子から離れることで、上記案内機構により案内されて上記乾燥室内から上記給気管及び上記排気管を上記基板加熱用ヒータ及び給排気支持部材と一体的に搬出可能とするようにしたことを特徴とするＰＤＰ用基板乾燥装置。A PDP substrate drying apparatus for carrying a PDP substrate into a drying chamber from a carry-in / out entrance and drying the substrate by supplying / exhausting heating gas to / from the substrate through an air supply pipe and an exhaust pipe above the substrate.
An opening / closing door that is provided in the drying chamber so as to be openable and closable at a maintenance opening different from the carry-in / carry-in entrance;
It supports the air supply pipe and the exhaust pipe, and is guided by a guide mechanism above the drying chamber, passes through the maintenance opening to the drying chamber, and can be taken in and out together with the air supply pipe and the exhaust pipe. A supply and exhaust pipe support member,
A plate-shaped upper substrate heating heater mounted on the air supply pipe and the exhaust pipe above the drying chamber so as to be relatively immovable;
One end of the air supply pipe is provided at the opening / closing door and connected to an external air supply pipe for supplying the heating gas to the air supply pipe, and the other end thereof is connected to the air supply pipe so as to be detachable. An external air supply pipe-side connection part that is connected to the opening / closing door and that can release the connection with an external force from the outside of the drying chamber and that can release the air supply pipe connection part from the opening / closing door after the release.
An exhaust pipe connection portion of the exhaust pipe is provided at the opening / closing door and connected to an external exhaust pipe for recovering the heated gas from the exhaust pipe at one end in communication with the other end and communicating with the exhaust pipe so as to be separable. An external exhaust pipe side connection portion that is connected to the external door and is capable of releasing the connection with an external force from the outside of the drying chamber of the open / close door, and capable of separating the exhaust pipe connection portion from the open / close door after release.
A power supply unit, and provided on the opening and closing door, at the closed position of the opening and closing door, abuttingly connected to the upper heater side connection terminal of the plate-shaped upper substrate heating heater at the closed position, and connected to the opening and closing door. With the opening operation, the upper power supply side connection terminal that is separated from the upper heater side connection terminal to be disconnected from the upper side heater connection terminal,
By the external force from the outside of the drying chamber of the opening / closing door, the connection between the external air supply pipe side connection portion and the air supply tube connection portion is released, and further, by the external force of the opening / closing door from outside the drying chamber, After releasing the connection between the external exhaust pipe side connection part and the exhaust pipe connection part, the opening operation of the opening / closing door causes the air supply pipe connection part to come off from the external air supply pipe side connection part, and the external exhaust pipe While the exhaust pipe connection part is removed from the side connection part, the upper power supply side connection terminal is separated from the heater side connection terminal, so that the air supply pipe and the exhaust pipe are guided by the guide mechanism from the drying chamber. A substrate drying apparatus for a PDP, wherein a substrate heating heater and a supply / exhaust support member can be integrally carried out.

上記案内機構は、
上記乾燥室の両側面の上方で、上記メンテナンス用開口部に向かって延びた１対の上側レールと、
上記１対の上側レール上を走行可能で、上記給排気支持部材に設けられた複数の上側ローラとを備えた請求項１に記載のＰＤＰ用基板乾燥装置。The above guide mechanism,
A pair of upper rails extending toward the maintenance opening above both sides of the drying chamber;
2. The PDP substrate drying apparatus according to claim 1, further comprising a plurality of upper rollers operable on the pair of upper rails and provided on the supply / exhaust support member. 3.

上記外部給気管側接続部は、
上記外部給気管に連通する外部給気管側通路を有する筒状の部材であって、上記給気管接続部が上記外部給気管側通路内に抜き差し可能に挿入されて、上記給気管内の通路が上記外部給気管側通路に連通する外部給気管側接続部材と、
給気管係合位置で上記給気管接続部に係合するように上記外部給気管側接続部材に設けられ、上記開閉ドアの外側からの外力が作用したしたとき、係合位置から、上記給気管接続部との上記係合を解除する給気管係合解除位置へ移動可能な外部給気管側係合部材とを備え、
上記外部排気管側接続部は、
上記外部排気管に連通する外部排気管側通路を有する筒状の部材であって、上記排気管接続部が上記外部排気管側通路内に抜き差し可能に挿入されて、上記排気管内の通路が上記外部排気管側通路に連通する外部排気管側接続部材と、
排気管係合位置で上記排気管接続部に係合するように上記外部排気管側接続部材に設けられ、上記開閉ドアの外側からの外力が作用したしたとき、上記係合位置から、上記排気管接続部との係合を解除する排気管係合解除位置へ移動可能な外部排気管側係合部材とを備え、
上記開閉ドアの外側からの外力により、上記外部給気管側係合部材及び上記外部排気管側係合部材を係合解除位置にそれぞれ移動させて、上記開閉ドアを開き動作により、上記外部給気管側通路内から上記給気管接続部が抜けるとともに上記外部排気管側通路内から上記排気管接続部が抜ける請求項１または２に記載のＰＤＰ用基板乾燥装置。The external air supply pipe side connection portion,
A cylindrical member having an external air supply pipe side passage communicating with the external air supply pipe, wherein the air supply pipe connection portion is removably inserted into the external air supply pipe side passage, and a passage in the air supply pipe is provided. An external air supply tube side connecting member communicating with the external air supply tube side passage,
The external air supply pipe side connection member is provided so as to engage with the air supply pipe connection portion at the air supply pipe engagement position, and when an external force from outside the opening / closing door acts, the air supply pipe is moved from the engagement position to the air supply pipe connection position. An external air supply tube side engagement member movable to an air supply tube engagement release position for releasing the engagement with the connection portion,
The external exhaust pipe side connection portion,
A cylindrical member having an external exhaust pipe side passage communicating with the external exhaust pipe, wherein the exhaust pipe connection portion is removably inserted into the external exhaust pipe side passage, and the passage in the exhaust pipe is An external exhaust pipe side connecting member communicating with the external exhaust pipe side passage;
The external exhaust pipe side connection member is provided so as to engage with the exhaust pipe connection portion at the exhaust pipe engagement position, and when an external force from outside the opening / closing door is applied, the external exhaust pipe is removed from the engagement position. An external exhaust pipe side engagement member movable to an exhaust pipe engagement release position for releasing engagement with the pipe connection portion,
The external air supply pipe side engaging member and the external exhaust pipe side engaging member are respectively moved to the disengaged position by an external force from the outside of the open / close door, and the external air supply pipe is opened by opening the open / close door. 3. The PDP substrate drying apparatus according to claim 1, wherein the air supply pipe connection portion is removed from a side passage and the exhaust pipe connection portion is removed from the external exhaust pipe side passage. 4.

上記上側電源側接続端子は、
上記開閉ドアに設けられ、圧縮バネにより、常時、乾燥室内に向けて突出するように付勢され、上記開閉ドアが閉じた状態で上記上側電源側接続端子の先端が上記上側ヒータ側接続端子に接触する請求項１〜３のいずれか１つに記載のＰＤＰ用基板乾燥装置。The upper power supply connection terminal is
The upper power supply side connection terminal is provided on the opening / closing door and is always urged by a compression spring so as to protrude toward the drying chamber. The PDP substrate drying device according to any one of claims 1 to 3, which is in contact with the PDP substrate drying device.

上記乾燥室の下方で、上記乾燥室内を加熱する基板加熱部をさらに備えており、
上記基板加熱部は、
上記乾燥室内の両側面の下方で上記メンテナンス用開口部に向かって延びた一対の下側レールと、
上記乾燥室内の下方で上記一対の上記下側レール上を複数の下側ローラで走行可能かつ上記乾燥部内に対して上記メンテナンス用開口部を通り、出し入れ可能なヒータ支持枠と、
上記乾燥室内の下方で上記ヒータ支持枠に相対移動不可に載置された板状下側基板加熱用ヒ−タと、
上記開閉ドアに設けられ、上記圧縮バネにより、常時、乾燥室内に向けて突出するように付勢され、上記開閉ドアが閉じた状態で下側ヒータ側接続端子に接触する下側電源側接続端子とを備えるようにして、
上記開閉ドアの開き動作により、上記下側ヒータ側接続端子と上記下側電源側接続端子との接触を断ち、上記一対の下側レール上を上記ヒータ支持枠の上記下側ローラで走行させて上記乾燥室内から上記ヒータ支持枠と伴に上記基板下側加熱用ヒータを搬出可能とする請求項１〜４のいずれか１つに記載のＰＤＰ用基板乾燥装置。Below the drying chamber, further comprising a substrate heating unit for heating the drying chamber,
The substrate heating section,
A pair of lower rails extending toward the maintenance opening below both side surfaces in the drying chamber,
A heater support frame that can run on the pair of lower rails on the pair of lower rails below the drying chamber and that passes through the maintenance opening with respect to the inside of the drying unit,
A plate-like lower substrate heating heater placed on the heater support frame so as to be relatively immovable below the drying chamber;
A lower power supply side connection terminal provided on the opening / closing door and constantly biased by the compression spring so as to protrude toward the drying chamber, and in contact with the lower heater side connection terminal in a state where the opening / closing door is closed. So that
By opening the opening / closing door, the contact between the lower heater-side connection terminal and the lower power supply-side connection terminal is cut off, and the pair of lower rails of the heater support frame travel on the pair of lower rails. The PDP substrate drying apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the substrate lower-side heater can be carried out of the drying chamber together with the heater support frame.

上記板状下側基板加熱用ヒ−タの下面で、上記板状下側基板加熱ヒータの長手方向沿いに複数のリブを備える請求項５に記載のＰＤＰ用基板乾燥装置。6. The PDP substrate drying apparatus according to claim 5, wherein a plurality of ribs are provided on a lower surface of the plate-shaped lower substrate heating heater along a longitudinal direction of the plate-shaped lower substrate heater.