JP2004198148A - 品質データのモニタリング方法及び装置 - Google Patents

Abstract

【課題】製造工程において収集した品質データの傾向監視，変化点履歴を容易に把握できるようにモニタ表示すること
【解決手段】装置から収集した計測値に基づいて品質データの履歴を作成するとともに、品質データ記憶部に格納する処理を行い、製造条件の変更を示す変化点の情報を取得するとともに、その変化点の履歴情報を変化点記憶部に格納する処理を行い、前記各記憶部に格納されたデータは、時刻情報を関連付けて格納しておく。品質データの履歴に基づく品質トレンドグラフと、変化点の履歴を表示装置に表示するに際し、時間軸を合わせて表示する。
【選択図】 図９

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、品質データのモニタリング方法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ＩＳＯ９０００Ｓ／ＱＳ９０００への取組みをする企業が増える中、統計的手法を用いた工程管理への注目が高まっている。これに伴い、製造現場における品質管理が重要な要素の一つとなる。そこで、製造された製品の品質管理・品質確認のために、ロギング装置などによりデータをロギングして蓄積し、その蓄積されたデータを使用してグラフ化（管理図）を行う。そして、そのグラフ化されたデータから品質確認をするようにしている。係る処理を行うためのモニタリング方法として、従来特許文献１に開示された発明がある。
【０００３】
この特許文献１に開示された発明は、射出成形機の品質データ，成形条件の設定変更履歴データ，異常発生履歴データ等の変化状況が一目でわかるようにモニタ表示することを目的とし、具体的には、ロギング装置で収集した上記データをディスプレイに表示するに際し、少なくとも生産達成率，異常発生の有無，成形条件変更の有無及び品質データトレンドグラフを、共通の時間軸にてマルチ画面により表示するようにしている。例えば、生産達成率と異常発生の有無とをマルチ画面の中の共通の１つの画面において共通の時間軸に沿って表示するようにし、生産達成率は折れ線グラフにて、異常発生の有無は異常があった場合にその時間幅を帯状かつ共通の時間軸に直角にそれぞれ表示するものである。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−２９３７６１
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来のモニタ方法でも、十分な品質管理が行えなかった。すなわち、従来の各種のロギング装置でロギングするデータは、検査データなどの製造装置の動作に伴い得られるもので、傾向管理を行うものであった。しかし、発明者らが知得したところによると、製造工程における品質変動の要因は、時間変動や製造条件の変更や変化点の発生（材料ロット，作業者，金型，バイト他）など様々である。そして、係る変化点情報は、品質確認とは別に作業日報として管理されるが、検査データとの関連付けが取り難く、不良発生時にその原因が変化点にある場合に、問題となる変化点を見つけ出し難いという問題がある。そのため、品質変動の原因を究明することが困難であったり、仮に究明できたとしても、時間がかかってしまい、究明できるまでの期間の生産性能が低下してしまう。
【０００６】
さらに、品質変動の原因が究明できた場合には、不良品発生に伴うロスを抑制するべく、原因除去のために迅速な対応を行い、製品の品質の向上を図る必要があるが、作業員の熟練度その他の要因から、必ずしも原因が究明できたとしても品質改善のための適切な対応策をとれるとは限らなかった。係る点でも十分な品質管理・品質改善ができているとは言いがたかった。
【０００７】
この発明は、製造工程において収集した品質データの傾向監視，製造条件の変更（変化点）履歴，異常発生及びその対策履歴などが、容易に把握できるようにモニタ表示する品質データのモニタリング方法及び装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この発明による品質データのモニタリング方法では、装置から収集した計測値に基づいて品質データの履歴を作成するとともに、品質データ記憶部に格納する処理を行い、製造条件の変更を示す変化点の情報を取得するとともに、その変化点の履歴情報を変化点記憶部に格納する処理を行い、前記各記憶部に格納されたデータは、時刻情報を関連付けて格納しておき、前記品質データの履歴に基づく品質トレンドグラフと、前記変化点の履歴を表示装置に表示するに際し、時間軸を合わせて表示するようにした。
【０００９】
ここで「品質データ」とは、製造物の品質に関係する情報であり、製造物の設計規格値または規格範囲（寸法Ｘ，重さＹなど）、設計上の機能スペックとしての数値または範囲（電流値Ｚなど）を含む物理量をいう。
【００１０】
「製造条件の変更を示す変化点」は、製品を製造する時などの製造装置に関わる内的または外的な条件変化に関係する情報である。例えば、実施の形態でいう設定値，製造装置の制御パラメータや制御に関する設定値も含むし、実施の形態でいう変化点，製造装置の環境的事象変化または作業条件の変更も含む。他にイベント情報とも呼んでいる。
【００１１】
「装置から収集した」とは、直接接続された装置から収集される場合はもちろんのこと、他の装置，ネットワーク等を経由して取得したものも含む。要は、計測値がある装置から出力されたものであれはよい。計測値は、たとえば品質を求めるために必要な検査データなどである。
【００１２】
「時刻情報を関連付けて」は、品質データそれぞれに時間情報を付け、また変化点情報それぞれに時間情報を付けるということである。これは、時間情報をもとにデータ同士の関連付けに行うための仕組みである。なお、時刻情報は基本的に日時などの時間情報を言うが、時間でなくともあとで特定したり関連付けたりできれば足りるので、いわゆる識別情報またはＩＤ情報であってもよい。識別情報として例えば通番を利用したものがある。このように、本明細書では、時刻情報と称するがその範囲は「時刻」に限られるものではない。
【００１３】
「時間軸を合わせて表示する」とは、一目で関係がわかるように時間軸が合っていればよく、表示位置は品質トレンドグラフに重ねて表示してもよいし（たとえば縦線）、品質トレンドグラフの表示領域とは別に前記変化点の履歴を表示するイベント情報表示領域を設け、そのイベント情報表示領域に前記変化点の内容を表示するようにしてもよい。
【００１４】
また、品質データのトレンドグラフは収集したデータをそのままプロットしたり、設定されたデータ数の平均値など適宜加工してえられたデータをプロットしてもよいなど、各種の方式をとれる。
【００１５】
そして、係る方法を実施するのに適したモニタリング装置としては、装置から収集した計測値に基づいて品質データの履歴を作成するとともに、作成した品質データの履歴を時刻情報とともに品質データ記憶部に格納する品質データ製作成手段と、取得した製造条件の変更を示す変化点の情報を時刻情報とともに記憶保持する変化点記憶部とを備え、前記品質データの履歴に基づく品質トレンドグラフと、前記変化点の履歴を表示装置に表示するに際し、時間軸を合わせて表示可能に構成することである。なお、本装置にあっては、時間軸を合わせて表示可能になっていればよく、実際に表示するのは本装置に限らない。つまり、本装置の表示装置に表示する（この場合は、表示機能も構成要件に含む）場合と、別の装置で表示する（この場合は、表示機能は、当該別の装置に持たせることがあり、構成要件に含まないこともある）場合などがある。
【００１６】
本発明では、少なくとも収集した品質データのトレンドグラフと、変化点の履歴が共通の時間軸で表示されるため、その因果関係（どの変化点が品質データに影響するかなど）が一目で理解することができる。
【００１７】
さらに、上記した方法の発明を前提として、前記変化点が発生した際に、その発生の事実のみをモニタ装置に入力することにより、前記変化点の発生時刻情報を記憶保持し、その後、記憶保持した発生時刻情報に関連付けて具体的な変化点の内容を登録するようにするとよい。すなわち、より正確な品質管理をするためには、単に変化点があったという事実のみではなく、具体的な内容まで登録するのが好ましい。したがって、製造工程中にリアルタイムですべての情報を登録するのは困難なことがあるが、本発明では、まず変化点があったこと登録し、その後、時間を見て具体的な内容を登録することにより、変化点が発生してから登録するまでの遅れや、登録ミスを発生することが可及的に抑制できる。
【００１８】
また、本発明に係る品質データのモニタリング方法の別の解決手段としては、装置から収集した計測値に基づいて品質データの履歴を作成するとともに、品質データ記憶部に格納する処理を行い、前記品質データ記憶部に格納された前記品質データの履歴に基づき異常の有無を監視し、異常を検出した場合にはその異常内容を含む異常情報を異常発生履歴記憶部に格納する処理を行い、前記各記憶部に格納されたデータは、時刻情報を関連付けて格納しておき、前記品質データの履歴に基づく品質トレンドグラフと、前記異常情報を表示装置に表示するに際し、時間軸を合わせて表示し、前記表示された異常情報を指定された際に、その異常情報と同種の異常内容について行った対策を対策履歴データベースを検索して取得するとともに、その取得した対策を表示することである。このとき、変化点を取得し、変化点の履歴情報も時間軸をあわせて表示するとよい。
【００１９】
そして、係る方法を実施するのに適した装置としては、装置から収集した計測値に基づいて品質データの履歴を作成するとともに、作成した品質データの履歴を時刻情報とともに品質データ記憶部に格納する品質データ製作成手段と、前記品質データ記憶部に格納された前記品質データの履歴に基づき異常の有無を監視し、異常を検出した場合にはその異常内容を含む異常情報を時刻情報とともに異常発生履歴記憶部に格納する異常監視手段とを備え、前記品質データの履歴に基づく品質トレンドグラフと、前記異常情報を表示装置に表示するに際し、時間軸を合わせて表示し、前記表示された異常情報を指定された際に、その異常情報と同種の異常内容について行った対策を対策履歴データベースを検索して取得するとともに、その取得した対策を表示可能とすることである。
【００２０】
なお、この構成は過去の対策履歴を表示検索し表示することができるようになっていればよく、実際に係る処理を行うのは本発明のモニタリング装置であってもよいし、別の装置でもよい。また、本発明は、実施の形態におけるデータ収集装置により実現することもできるし、サーバマシンにより実現することもできる。
【００２１】
「対策履歴データベース」は、データ収集装置を使う作業者が入力した過去の対策履歴を集めて記憶したものである。実施の形態では判断情報通知履歴として記録したものに相当する。他の構成としては、予め対策マニュアル情報を記憶させた対策履歴データベースであってもよい。
【００２２】
発生した異常に対し、過去の対策履歴が参照できるので、対応策を絞り込むことができ、今回発生した異常に適した対応策を決定することが迅速に行える。よって、正常復旧が迅速に行える。
【００２３】
さらにまた、本発明に係る品質データのモニタリング方法の別の解決手段としては、装置から収集した計測値に基づいて品質データの履歴を作成するとともに、品質データ記憶部に格納する処理を行い、前記品質データ記憶部に格納された前記品質データの履歴に基づき異常の有無を監視し、異常を検出した場合にはその異常内容を含む異常情報を異常発生履歴記憶部に格納する処理を行い、前記各記憶部に格納されたデータは、時刻情報を関連付けて格納しておき、前記品質データの履歴に基づく品質トレンドグラフと、前記異常情報を表示装置に表示するに際し、時間軸を合わせて表示し、前記表示された異常情報の中で指定された異常に対して行った対策を取得し、取得した対策をその異常情報に関連付けて対策履歴データベースに登録するようにした。
【００２４】
そして、係る方法を実施するのに適した装置としては、装置から収集した計測値に基づいて品質データの履歴を作成するとともに、作成した品質データの履歴を時刻情報とともに品質データ記憶部に格納する品質データ製作成手段と、前記品質データ記憶部に格納された前記品質データの履歴に基づき異常の有無を監視し、異常を検出した場合にはその異常内容を含む異常情報を時刻情報とともに異常発生履歴記憶部に格納する異常監視手段とを備え、前記品質データの履歴に基づく品質トレンドグラフと、前記異常情報を表示装置に表示するに際し、時間軸を合わせて表示し、前記表示された異常情報の中で指定された異常に対して行った対策を取得し、取得した対策をその異常情報に関連付けて対策履歴データベースに登録可能としたことである。
【００２５】
このように、異常情報とその対応策を関連付けて対策履歴データベースに登録することにより、その後に異常が発生した場合に、対策履歴データベースをアクセスすることにより過去の対策履歴を参照し、実際の対策を決定する際に役立つ。
【００２６】
さらにまた、本発明に係る品質データのモニタリング方法の別の解決手段としては、装置から収集した計測値に基づいて品質データの履歴を作成するとともに、品質データ記憶部に格納する処理を行い、製造条件の変更を示す変化点の情報を取得するとともに、その変化点の履歴情報を変化点記憶部に格納する処理を行い、前記各記憶部に格納されたデータは、時刻情報を関連付けて格納しておき、前記品質データの履歴と、前記変化点の履歴情報を時刻情報をキーに結合して品質サマリデータを作成するとともにデータベースに登録し、次いで、指定された変化点に基づき前記データベースをアクセスし、その変化点に関連する品質データを抽出し、出力するようにした。
【００２７】
そして、係る方法を実施するのに適した装置としては、装置から収集した計測値に基づいて作成された品質データの履歴を時刻情報とともに格納する品質データ記憶部と、取得した製造条件の変更を示す変化点の情報を時刻情報とともに記憶保持する変化点記憶部と、前記品質データの履歴と、前記変化点の履歴情報を時刻情報をキーに結合して品質サマリデータを作成するとともにデータベースに登録する手段とを備え、指定された変化点に基づき前記データベースをアクセスし、その変化点に関連する品質データを抽出し、出力できるようにした。この発明も、実施の形態におけるデータ収集装置並びにサーバマシンの何れによっても実現できる。
【００２８】
ロギングされた品質データを、変化点をキーとして検索、抽出し、グラフ化することにより、各変化点が品質データに与える影響を容易に判断することができる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の一実施の形態のシステム構成の全体を示している。図１に示すように、データ収集装置（モニタ装置）１０と、サーバマシン２０と、クライアント端末３０とがネットワーク３１に接続され、ネットワークシステムを構成している。データ収集装置１０，サーバマシン２０並びにクライアント端末３０は、何れもパソコンにより構成することができる。
【００３０】
データ収集装置１０は、図２に示すように、データインタフェース１１を備え、そのデータインタフェース１１に接続された図示省略する各種装置からデータを取得するようになっている。係る各種装置としては、製造現場に設置される製造装置を制御し、製造装置に取り付けられた入力機器や計測器などからデータ入力するプログラマブルコントローラ（ＰＬＣ）や、製造工程途中の製品の良否状態または製造完了の製品の良否を監査する検査装置や、製品が固有にもつ値を測定する各種センシング装置（視覚装置，変位センサ等）などがある。そしてこのような各種装置から出力されたデータを、データインタフェース１１を介してデータ収集装置１０が取得可能となっている。
【００３１】
この「品質データ」とは、製品の品質に関係するものであり、製品のカタログに書かれる規格値または規格値の範囲、スペックとしての数値または範囲で決められている物理量などをいう。例えば、製品の外観に関するデータや製品の性能に関するデータなど複数種ある。外観データとしては、変位センサで測定可能な製品寸法（外形寸法）や肉厚、視覚装置でセンシング可能な色、傷の有無などがある。性能データは、主に検査装置で測定するものを意図していて、電気機器なら動作速度や電流値などである。実際には、数値の場合もあるし、「ある数値±数値」または「ある数値以下」「ある数値以上」などと範囲を指す場合もある。
さらに、データ収集装置１０は、データインタフェース１１（通信インタフェース）を介して取得した収集データ（つまり品質データのこと。ＰＬＣや検査装置や各種センシング装置から出力された生データ。以下計測値ともいう）を計測値記憶部１３に格納する。計測値は、一定時間間隔ごとに収集される。時間間隔は調整可能で、製品一つ一つの複数の計測値をすべて収集するなら、製品一つあたりの製造スピードに合わせて設定するとよい。選択的にサンプリングした製品の計測値を収集するなら、複数製品が製造される間に一つの製品の計測値が取り込めるような時間間隔設定すればよい。
【００３２】
そして、計測値記憶部１３に格納されたデータは、データ加工部１４にて呼び出され、そこにおいて集計処理がなされて品質データが生成され、求められた品質データが品質データ記憶部１５に格納される。集計処理は、各種の演算処理にて品質データを求めることができるが、本実施の形態では、所定数の製品における計測値の平均値を求めるようにしている。平均値は、設定された個数単位で求める。従って、１０個単位とした場合には、１個目〜１０個目の製品の計測値で平均値（１プロット）を求め、１１個目〜２０個目でまた平均値（１プロット）を求める。１個目〜１０個目，５個目〜１５個目のようにデータを重複して算出に利用することはしない。なお、品質データは、複数製品の平均を取らずに、一つずつの製品の測定値としても差し支えない。そして品質データは、各種センシング機器や検査装置から取り込んだ複数種の計測値それぞれから求められる。
【００３３】
そして、品質データ記憶部１５に格納された品質データの履歴情報は、図３に示すように、時刻データと品質データを関連付けたテーブル構造となっている。本実施の形態では、１分ごとに品質データを算出し、記憶保持するようにしている。
【００３４】
また、この品質データ記憶部１５に格納された品質データの履歴情報は、品質トレンド情報となり、データ収集装置１０の表示装置１０ｂに時系列のグラフとして出力表示される。係る表示は、リアルタイム或いは非リアルタイムの何れでも可能である。表示形態の一例としては、例えば図４に示すように平均値をプロットした折れ線グラフを用いることができる。さらに、入力されたデータの規格値（ＣＬ）を実線で表示し、正常範囲を示す規格上限値，規格下限値をグラフ上に点線で表示する。
【００３５】
さらにまた、品質データ記憶部１５に格納する情報を適宜付加することにより、例えば、各プロットを構成するデータの最大値／最小値を表示したり（図４中▲１▼参照）、各プロットを構成するデータをグラフ上に表示したり（図４中▲２▼参照）することができる。もちろん表示するためのデータは、必ずしもすべてが品質データ記憶部１５に格納されている必要はなく、計測値記憶部１３と関連付けることにより、リアルタイム表示を停止させるとともに各プロットを構成するデータを係る計測値記憶部１３から呼び出して表示することもできる。
【００３６】
一方、異常監視部１６は、品質データ記憶部１５に格納された品質データ履歴情報から、異常の有無並びにその内容を判断し、検出した異常発生内容を異常発生履歴記憶部１７に書き込む。ここでいう「異常」とは、現象として異常に至ったことと、異常にはまだ至っていないが状態予測から異常になりそうな傾向であることの両方が含まれる。つまり、不良品はもちろんのこと、品質データは正常範囲内（規格範囲内）にあるが、その履歴から将来異常を発生するおそれがあるものを予測するものも含む。
【００３７】
具体的には、例えば、図５に示すように、規格値を基準に規格上限値（ＵＣＬ），／下限値（ＬＣＬ）までを３分割し、３つの領域ａ，Ｂ，Ｃを想定した場合に、
設定１：プロットした点１点が領域Ａを超えている
設定２：プロットする点を構成するデータの値が１つ以上領域Ａを超えている
設定３：連続する９点が中心線に対して同じ側にある
設定４：連続する６点が増加又は減少している
設定５：連続する１４の点が交互に増減している
設定６：連続する３点中、２点が領域Ａ又は領域Ａを超えた領域にある
設定７：連続する５点中、４点が領域Ｂ又は領域Ｂを超えた領域にある
設定８：連続する１５点が領域Ｃに存在する
設定９：連続する８点が領域Ｃを超えた領域に存在する
等に該当した場合に異常と判断することができる。
【００３８】
要するに、変化が異常な領域に入った場合と、異常領域には入っていないが連続的な変化傾向から異常予測できた（＝異常とみなす）場合とのいずれかであることを検知（判断）する。そして、異常発生履歴記憶部１７には、異常発生時刻に加え、その異常発生内容も関連付けたテーブルとして格納する（図６参照）異常発生記憶部異常の種別も併せて登録する。なお、図では「異常１」などとコード化しているが、上記設定内容に合わせて「基準値越え」や「連続６点増加」などの言葉でもよい。
【００３９】
さらに、データ収集装置１０は、キーボード，ポインティングデバイス等の入力装置１０ａを備えており、この入力装置１０ａを操作して設定値や変化点などのイベント入力を行うことができる（入力方法は後述する）。このイベント入力されたデータは、設定値・変化点記憶部１８に格納される。そして、設定値・変化点記憶部１８の内部データ構造は、例えば図７に示すように時刻情報と対応するデータを関連付けたテーブルとなる。
【００４０】
「設定値」とは、製品を製造する時などに用いられる設定値で、製造装置の内的要因に関係する数値である。例えば、製品製造装置に必要な制御パラメータや、製造装置の製造条件に関する設定値や、ＰＬＣの制御目標値のことである。
【００４１】
また「変化点」とは、製造装置にとっての外的な事象の変化である。さらに、製造装置にとっての環境的事象の変化も含み、作業条件の変更も含む。換言すると、製造装置に関係するもののうち数値以外の情報ということになる。例えば、製造装置に使用される金型を交換することや、製造装置に投与する製品材料（材料ロットを含む）を変更することや、作業者が交代することがある。製品ロット変更も、製造装置内の工具、加工器具の交換も含まれる。また、製造装置のメンテナンス情報も含む。具体的には製造装置における部品交換情報（つまりどんな種類の消耗品を交換したかであり、例えばフィルタ、ベアリングなど）、清掃の情報、洗浄に関する情報などがある。整理すると、設定値は製造の制御に関係する情報（数値が多い）であり、変化点は製造装置に関わる現象または行為に関する情報（言葉が多い）である。
【００４２】
そして、本実施の形態では、品質データ記憶部１５に格納されたデータ（トレンドグラフ：図４参照），異常発生履歴記憶部１７に格納されたデータ（異常発生の有無）並びに設定値・変化点記憶部１８に格納された製造条件の変更（変化点）履歴データに基づき、時刻情報をキーに共通の時間軸に表示する品質トレンドを生成し、データ収集装置１０の表示装置１０ｂに表示する。この品質トレンドは、例えば図８，図９に示すようになる。
【００４３】
図８は、図３，図６，図７のデータに基づいて表示されるものであり、図９はより具体的に示した図である。データ収集装置１０の表示装置１０ｂでは、図に示すように、設定値および変化点情報からなるイベント情報と、製品品質データとしてのトレンド情報（製品特性データ）とを共通の横軸で、つまり時間軸を等しくしているので、トレンド情報における傾向が、どのイベントに関与して変化しているかが一目でわかる。
【００４４】
なお、トレンド情報としては複数の測定値に基づく品質データを求めているので、その中から任意の品質データ（ここでは例えば製品外形寸法とする）を選んで表示する。図９をみると、金型を交換した時から製品外形寸法（平均値）は大きくなり、その後、徐々に大きくなり続け、所定時間（平均値３つぶんの収集時間）経過後に規定範囲を超えている。その時に材料を別のものに変更したことで、製品外形寸法が金型交換前の時点とほぼ同じ値に戻っていることがわかる。その間の設定値は図示されている数値になっていたこともわかる。つまり、金型交換によって、一旦規格外の不良品を発生してしまったが、材料を変更したことにより、品質データが規格値付近に安定してきたことがわかる。
【００４５】
実際のデータ収集装置１０の表示装置では、図１０に示すように、リアルタイムの監視画面（製品特性データ（品質トレンド），イベント情報表示）中に、「イベント」発生入力キーを右下位置に設けている。そして、その上にイベント履歴を表示している。
【００４６】
ここで前出の「イベント入力」について説明する。ここでは製造作業中に作業員が全ての情報を入力するのは煩雑で、入力の遅れや入力ミス（誤入力，入力忘れ）を発生する原因となるかも知れないので、比較的に簡単に入力できるようにしている。 製造作業中に各種のイベント（設定値の変更，変化点）が発生した場合には、作業者はすぐにデータ収集装置１０の入力装置１０ａ（マウスなど）を操作して、この入力キーである「イベント」を押下する。もちろん、表示部分をタッチパネルにし、ボタンが表示されている部分を指で触れることで押下操作しても良い。
【００４７】
このイベント入力キーの押下に伴い、設定値・変化点記憶部１８のテーブル中の時刻の欄に、押下された時刻が入力される。この時刻は、データ収集装置１０が持つ内部時計の時刻を書き込む。これにより、何かしらのイベントがあったことがイベント履歴情報として登録・保持される。さらに、図１０に示すように、登録された時刻情報は、右上位置のイベント履歴欄に表示される。図１０では６月２１日の１０時３５分、１１時０３分、１３時０６分、１４時１８分の４回にそれぞれイベント事象が発生したことを、４行にわたって表示している。
【００４８】
そして、図１１に示すように、適当なタイミング（イベント発生直後でもよいし、しばらく事件経過してからでもよい）で、イベント履歴表示エリアに表示された特定の事情（表示の列、または時刻情報部分）を図１１（ａ）のようにクリックすると、図１１（ｂ）に示すように、イベント内容のリストがポップアップする別画面などに表示される。表示される項目は、イベント事情の候補リストであり、予め入っている。
【００４９】
そこで、そのリスト表示された中から該当するイベントを選択する（該当箇所を反転させた状態でダブルクリック，エンターキーの押下など）と、次に図１１（ｃ）に示すようなコメント入力画面をポップアップ画面などに表示する。そこで作業者は、具体的な数値等を入力する。この後、図示しない入力完了操作をすることにより、イベント内容と具体的な値等が時刻情報に関連付けられ、その関連付けられた情報が設定値・変化点記憶部１８に格納される。これらの処理（対応する入力画面・リストの表示並びに取得したデータの格納）をイベント入力部１２が行う。それに伴い、図１０に示すイベント情報表示欄に具体的なデータが表示される。
【００５０】
つまり、イベント履歴として図１１（ｂ），（ｃ）のような手順で、回転速度とその数値５０と、金型交換とを入力・記憶することに対応して、図１０のリアルタイム監視画面の一番右の点線時刻において、イベント情報として回転速度「５０」に設定変更したこと、および金型交換したことがわかるように表示される。
【００５１】
また、イベント情報の具体的な他の入力方法としては、例えば図１２に示すような入力画面を表示装置１０ｂに表示する。この場合は、図１０におけるリアルタイム監視画面の右側の位置に（つまり「イベント履歴」およびイベントボタンを表示せずに、それに代えてその相当位置に）、図１２の内容を表示する。この例では、イベント情報の入力手法を初めから変化点と設定値変更とを別途独立させている。それは、図中の左側の「変化点変更発生」，「変化点データ入力」，「設定値変更発生」，「設定値データ入力」，「判断情報コメント入力」の各キーをポインティングデバイスなどを操作して選択（押下）することにより、対応する情報（イベント内容）の入力が可能となる。もちろん、表示部分をタッチパネルにし、ボタンが表示されている部分を指で触れることで押下操作しても良い。
【００５２】
また、履歴のほうは、「日付，時刻，イベント内容，グループ化情報」が「ｍｍ／ｄｄ ｈｈ：ｍｍ ＸＸＸＸＸ ＹＹＹＹＹ」のフォーマットで表示される。ここで、「ｍｍ／ｄｄ」は月日を示し、「ｈｈ：ｍｍ」は時刻（時分）を示す。但し、変化点履歴欄は、「変化点変更発生キー」押下時の月日と時刻を示し、設定値履歴欄は、「設定値変更発生キー」押下時の月日と時刻を示し、判断情報通知履歴欄は、判断情報通知機能により検知した月日と時刻を示す。「ＸＸＸＸＸ」はイベント内容であり、「ＹＹＹＹＹ」はグループ化情報である。
【００５３】
次に、イベント入力手順について説明する。なにかイベント的な変化があって、それが変化点に関することであれば、作業者は「変化点変更発生」のボタンを押下する。もしイベント的変化が設定値変更ならば、作業者は「設定値変更発生」のボタンを押下する。これらのボタンを押下したことにより、タイムスタンプの機能で日時が入った状態で履歴データ（図１２では履歴データが複数行に表示されているが、その１行ぶんの履歴欄）が作られ、表示される。なお、変更発生ボタンを押下した直後は履歴データのイベント内容は空白となっている。
【００５４】
次にイベント内容を入力する。変化点履歴を入力するには、変化点データ入力ボタンを操作する。すなわち、ボタン押下すると予め用意された項目（リスト）として「金型交換」「材料変更」「作業者変更」「ロット変更」などがポップアップ表示される。そこで、作業者はその中から選択（プルダウンメニュー方式，コード入力等）することにより変化点データの入力を行う。同様に、設定値履歴を入力するには、設定値データ入力ボタンを押下し、予め用意された項目リスト（温度、回転速度、送り量など）から選択する。
【００５５】
その時に、グループ化情報も合わせて入力しておくと良い。これは表示のグループ化の考えを取り入れておき、その入力した変化点情報をどの品質データのリアルタイム監視画面に反映表示させるかを選択するもので、変化点と品質データとの関係を特定するものである。ここでは、変化点履歴においてはグループ、設定値履歴においては計測項目としている。
【００５６】
つまり、変化点情報として例えば金型交換の場合は、その変化に影響がある品質データ、例えば寸法、肉厚、傷などのリアルタイム監視画面中に表示することで意義があり、金型交換に因果関係のない品質データ（動作速度、電流値など）のリアルタイム監視表示画面中には表示の必要がないことになる。このように、それぞれ特定の品質データの監視表示中にそれぞれ必要な変化点情報だけを表示させようとする場合に、このグループ登録をする。図１２中のグループＡには金型交換に関係する寸法，肉厚，傷などの品質データが属し、グループＣは材料変更に因果関係のある品質データが属する。
【００５７】
また、設定値情報のグループ化は、計測項目として入力する。この入力により、その設定値情報の表示を、ある特定（複数でもよい）の品質データ監視表示をするときだけされるようにし、関係が薄い品質データ監視表示時にはその設定値変更履歴の表示を省略するようにできる。なお図１２中の設定値履歴のうち、１０：３５と１１：３５の欄は、設定値データ入力作業がまだされていないので、イベント発生とだけ表示されている。なお、計測項目の選択画面を別の表示ウインドウとしてポップアップされるようにできる。
【００５８】
なおまた、これらのグループは、予め複数種に設定しておき、グループ化情報の入力時に選択するようにしても良い。また、過去の事象を分析するなどして、初めから変化点情報の項目毎にグループをそれぞれ自動的に対応付けするようにし、グループ化情報を自動入力できるようにしてもよい。
【００５９】
さらになお、この入力作業は、変更発生ボタン押下に続けて行っても良いし、あとで幾つかの履歴をまととめて行うようにしても良い。また、変化点のイベント内容を入力する場合に手動選択以外の方法として、予め変化点／設定値の履歴の項目（グループ化情報も含めても良い）それぞれをバーコード化し、ある変化が起これば、対応する履歴項目のバーコードを読み込むことでデータ収集装置１０に入力する方法もある。
【００６０】
図１２の下にあるのは判断情報の内容を表示するものである。判断情報通知履歴とは、異常監視部１６により検知された異常情報であり、日時と検知内容とコメントとが合わせて表示される。この異常情報はデータ収集装置自身で検知・判断するので、日時情報は自動的に履歴情報として記録することができる。コメントは、その異常情報に対する対処情報である。
【００６１】
図１２の判断情報コメント入力で表示されている「くせ」とは、グラフや管理図上にあらわれる傾向のことで、異常監視部１６の異常判断機能で検知されるもので、例えば「連続する６点が増加／減少している。」や「ある１点が基準値を超えている。」などの異常判断した結果である。「くせｎ」は、例えば前述した「設定１〜８」に対応する。
【００６２】
また、ＹＹＹＹＹ部分は、判断情報コメント入力ボタンを押下し、前述したようにその異常検知されたときにどんな対処をしたかをコメントとして残したものである。例えば、くせ４発生（連続６点減少）したときに、製造装置に投入する材料の種類を＊＊＊に変えるような対処をしたことで、クセ発生が無くなったとすると、対処コメントは「材料変更」となる。図中の対処コメント欄は小さいが、多くの文字数を表示できるように大きくするか、ＹＹＹＹをクリックすることで別画面表示すると、図中のコメントは「材料を＊＊＊に変える」「送り量の設定値をＡＡＡ（数値）だけ減らす」「温度設定値をクセ発生以前の値に戻す」などとできる。
【００６３】
この判断情報通知履歴は、異常対策履歴として記録される。この構成は、異常発生履歴記憶部１７の内容と入力装置１０ａから入力する対策コメントとの関連付けをする処理部（図２には図示せず）と、異常対策履歴記録部（同左）とからなるものである。これらを対策履歴データベースと捉えることができる。
【００６４】
この異常対策履歴の情報は、過去の品質データトレンドグラフ表示をしている場合に見ることができる。つまり、図１０の品質データのトレンドグラフ表示において、時間軸を現在リアルタイムでなく、過去の時刻にして過去の品質データトレンド情報中の「○○異常」が表示されているならば、その○○異常の表示部分をクリックすると、判断情報通知履歴として記憶した情報（日時、異常内容、対策コメント）がポップアップ表示するようにして、その時の異常対策内容が確認できる。また、ある異常と同様の状況またはそれに近い状況における過去の対策履歴情報を検索し照合できる機能を処理部に持たせることもできる。
【００６５】
これによると、品質データのトレンド表示（現時刻のリアルタイム表示）をしているとき、異常が起これば、その異常に基づいて過去の対策履歴を検索・照合し、その結果を表示することで、今発生した異常に対してどのような対策をすればよいかの参考情報を得ることができる。なお、検索と結果表示は、リアルタイム表示画面中の「○○異常」をクリックすることをきっかけに処理実行されるようにすることでもよい。
【００６６】
なお、上記した例では、「変化点変更発生」キーと「設定値変更発生」キーを別々に設けているが。これらの２つのキーをまとめて「変更発生」キーとし、キー押下後に設定値／変化点の選択を行うようにすることもできる。
【００６７】
なおまた、図示省略するが、データ収集装置１０には、ネットワーク３１と接続し、データの送受を行うための通信インタフェース等の処理部ももちろん備えている。
【００６８】
そして、上記のようにしてモニタリングにより収集した各種のデータ、つまり、計測値（生データ），品質データ，異常発生履歴データ並びに設定値・変化点データは、ネットワーク３１を介してサーバマシン２０に送られる。なお、品質データやそれに基づいて検出した異常履歴データは、必ずしもサーバマシン２０に送らなくても良い。つまり、データ加工部１４や異常監視部１６と同等のアルゴリズムを持つ機能部をサーバマシン２０に組み込むことにより、取得した計測値データに基づいて、サーバマシン２０側で再計算（再現）することが可能だからである。そして、このようにサーバマシン２０側に当該機能を組み込むことにより、過去のデータに対して異なる切り口でトレンド情報等を再現生成し、判断できる。一例としては、平均値を求める際の個数を変えることがある。
【００６９】
このようにすることにより、トレンド情報と変化点等を関連付けた情報に加え、係る情報を多面的にとらえることができるので、より迅速かつ正確に異常・故障原因を特定することができる。
【００７０】
また、製造装置は複雑な条件によって、さまざまな異常・故障につながるので、品質データのトレンド情報とイベントの変化情報とを表す画面を複数にすることで、原因特定しやすくなることがある。そうするためには、図１３のようにするとよい。
【００７１】
図１３では、画面１として４つの品質データのトレンド情報を表示し、一つずつの品質データトレンド情報に対応してそれぞれ設定値情報および変化点情報が双方同じ時間を横軸に表示している。これで４種類別々の品質データのトレンド情報とイベント情報との関係を一目で把握できる。そして、画面左側位置に別ウインドウでイベント入力画面を表示し、このイベント入力画面を利用して必要に応じてイベント入力操作を行う。ここではデータ削除ボタンを追加してある。また、画面は１７個準備しているので、このデータ収集装置が扱う品質データは４つ×１７画面＝６８種類ということになる。
【００７２】
また、クライアント端末３０は、ネットワーク３１を介してサーバマシン２０にアクセス可能となっており、ブラウザにより、サーバマシン２０内のデータを参照することができる。これにより、データ収集装置１０が収集し、サーバマシン２０に格納されたデータを遠隔地から参照し、各種の解析並びに指示をすることが可能となる。
【００７３】
図１４は、本発明の第２の実施の形態を示している。本実施の形態では、発生した異常に対し、過去の対策履歴を表示するためのものである。すなわち、異常監視部１６により検出された異常は、異常発生履歴記憶部１７に格納され、品質トレンドグラフとして表示装置１０ｂの表示画面に表示されることは既に述べたとおりである。例えば、図１０中の品質トレンドグラフに「○○異常」とあるのは、異常監視部１６が異常を検出した場合に、該当する箇所にその異常内容を重ねて自動的に表示された結果である。
【００７４】
係る異常が発生した場合に、異常を解消するために対策を行うことがあるが、本実施の形態では、対策内容入力部１２′を設け、異常発生履歴記憶部１７に対策内容を関連付けて登録できるようにしている。異常発生履歴記憶部１７のデータ構造は、図１５に示すようになる。なお、図示省略するが、本実施の形態におけるデータ収集装置１０は、第１の実施の形態と同様の処理機能部（データインタフェース１１，計測値記憶部１３，データ加工部１４，設定値・変化点記憶部１８）を備えている。
【００７５】
そして、具体的には、図１０の品質トレンドグラフの表示エリア上に重ねて表示された「○○異常」等の異常発生を表示する部分をクリックして選択すると、図１６（ａ）に示すようにコメント入力と対策履歴の選択画面を出力表示する。そして、対策履歴を選択した場合には、過去に発生した同様の異常に対する対策履歴を取得し、図１６（ｂ）に示すように、取得した過去の対策履歴（異常対策一覧表示）をリストアップする。このときの情報源としては、対策履歴データベースであって、図１２のところで前述した判断情報通知履歴として記録した情報を利用できる。他の構成として、予め対策マニュアル情報を対策履歴データベースとして別途記憶させておき、その記録情報を情報源とすることでもよい。もちろん、両方の記録情報を合わせても良い対策履歴の取得は、判断情報通知履歴または対策マニュアル情報などの記録内容を検索または照合する処理によりなされる。この時は、同じ品質データ種別でかつ同じ異常種別を条件とすることが望ましい。条件は、同じ品質データ、同じ異常判断アルゴリズムでもよい。これにより、作業員は、発生原因・対策した異常に対応する過去のなどを確認可能となり、今回行う対策を決定する際の参考にすることができる。
【００７６】
また、コメント入力を選択した場合には、図１６（ｃ）に示すように、テキスト入力画面を表示し、今回実際に行った対策を入力可能とする。そして、実際に係る画面にテキスト入力がされたら、そのテキストデータを今回行った対策内容として異常発生履歴記憶部１７の該当箇所に登録する。
【００７７】
なお、過去に行った対策履歴を検索・表示するためには、たとえば、品質データ，判断アルゴリズム，異常内容並びに対策データを関連付けたテーブルを用意し、そのテーブルを参照することにより適切な対策履歴を抽出し、表示することになるが、上記テーブルは、データ収集装置１０或いは対策内容入力部１２′内に保持させても良いし、サーバマシン２０側に持たせ、ネットワーク３１を介して取得するようにしてもよい。
【００７８】
また、このようにデータ収集装置１０側で行うのではなく、サーバマシン２０側で行うようにしても良い。つまり、サーバマシンは、計測値（生データ），異常発生履歴データ，設定値変化点などのデータを記憶保持している。そこで、図１６に示した処理を行う機能部をサーバマシン２０に組み込むことにより、図１０と同様な表示画面を生成し、出力することができる。なお、この表示画面は、サーバマシン２０の表示装置に表示されることもあれば、クライアント端末３０の表示装置に表示されることもある。
【００７９】
したがって、上記したのと同様の手順に従い、サーバマシン２０内の対策内容入力部相当の処理機能部が、指定された異常に対する対応履歴を抽出して表示することができる。なお、実際に行った対策は、データ収集装置を介して入力しても良いし、サーバマシン２０に直接（サーバマシン２０の入力装置或いはクライアント端末３０からの指示）入力するようにしても良い。
【００８０】
図１７は、本発明の第３の実施の形態を示している。第１の実施の形態でも説明した通り、計測値記憶部１３に格納された計測値（生データ）と設定値・変化点記憶部１８に格納された変化点情報は、データベース登録部１９を介してサーバマシン２０のデータベース（品質サマリデータ履歴）に格納される。もちろん、他の情報を格納するのはかまわない。
【００８１】
この実施の形態では、計測データを１分間隔で収集しているものとする。そして、計測値記憶部１３に格納される計測値履歴データは、図１８（ａ）のようになっており、設定値・変化点記憶部１８に格納された設定値履歴並びに変化点履歴はそれぞれ図１８（ｂ），（ｃ）になっているものとする。すると、計測値は、一定間隔で取得しているが、イベント入力される設定値や変化点の発生時刻は不定であるので必ずしも計測値の取得タイミングと合うとは限らない。
【００８２】
そこで、データベース登録部１９は、係るデータの発生時刻の相違を解消し、同一時刻に計測値，設定値並びに変化点が関連付けられたテーブル構造の品質サマリデータを作成し、それをサーバマシン２０の品質サマリデータ履歴記憶部２１に登録する機能を有する。具体的には、一定間隔で発生する計測値の時刻にあわせるようにし、当該時刻における設定値と変化点の内容を関連付けるようにした。つまり、設定値，変化点等は、変更されたときにイベント登録されるが、例えば設定値の場合には、そのイベント登録された後は次のイベント登録がされるまでは同一の設定値を維持している。変化点についても同様である。そこで、計測値を取得した時刻よりも前で直近の設定値や変化点をそれぞれ抽出し、その抽出した値を登録するようにした。
【００８３】
一例を示すと、時刻「００：０２：００」における設定値は、次のようにして決定される。まず、「００：０１：４５」のときの設定値が「２」で、次に登録されているのが「００：０５：００」の時の設定値が「３」に変わっている。従って、「００：０１：４５」以上「００：０５：００」未満の期間の設定値は「２」といえるので、時刻「００：０２：００」における設定値は、「２」とされる。同様に変化点についても、時刻「００：０１：００」における変化点は、次のようにして決定される。まず、「００：００：４０」のときの変化点が「ロットＡ」で、次に登録されているのが「００：０１：４５」の時の変化点が「ロットＢ」に変わっている。従って、「００：００：４０」以上「００：０１：４５」未満の期間の変化点は「ロットＡ」といえるので、時刻「００：０１：００」における変化点は、「ロットＡ」とされる（図１８（ｄ）参照）。
【００８４】
このようにして、品質サマリデータでは、同一時刻に３種類のデータが関連付けたデータとなるので、本実施の形態のように品質トレンドといった傾向管理により得られる傾向情報（計測値）に、変化点情報（設定値，変化点）を関連付けて登録することができ、これにより、収集した品質データを変化点及びまたは設定値により検索・抽出し、グラフに表示することができる。
【００８５】
具体的には、例えば図１９に示すような品質トレンドが得られている場合（例えば、クライアント端末３０の表示画面に表示されている）に、変化点履歴検索を行うには、「履歴検索」キーを押下することにより、図２０（ａ）に示すような変化点項目選択画面が出力されるので、参照したい変化点を入力し、「次へ」キーを押下する。すると、サーバマシン２０は図２０（ｂ）に示すように、入力された変化点項目についての変化点履歴が品質サマリデータ履歴記憶部２１から読み出され、表形式でクライアント端末３０へ出力表示される。
【００８６】
そこで、参照したい変化点ポイントを指定し、「グラフ表示」キーを押下すると、サーバマシン２０は、指定された変化点をキーに品質サマリデータ履歴記憶部２１をアクセスし、指定された変化点となっているデータを抽出し、時系列に並べたトレンドグラフを作成し、クライアント端末３０に出力表示する（図２１）。すると、指定変化点で「ばらつき」が発生していることがわかる。
【００８７】
同様に、設定値によるデータ並べ替え機能としては、例えば図２２に示すような品質トレンドが得られている場合に、「設定値ソート」キーを押下することにより、図２３（ａ）に示すようなソート項目選択画面が出力されるので、ソートしたい設定値を入力し、「次へ」キーを押下する。すると、サーバマシン２０は図２３（ｂ）に示すように、並び替え方法の選択画面を表示するので、並び替え方法（昇順／降順）を指定し、「グラフ表示」キーを押下すると、サーバマシン２０は、指定された設定値の項目をキーに品質サマリデータ履歴記憶部２１をアクセスし、指定された設定値となっているデータを抽出し、時系列に並べたトレンドグラフを作成し、クライアント端末３０に出力表示する（図２４参照）。すると、設定値の増加に伴い品質データが増加していることがわかる。
【００８８】
さらにまた、変化点情報によるデータ層別抽出機能としては、例えば、図２５（ａ）に示すような品質トレンドが得られている場合に、図２６に示すような変化点入力画面を用いて分析対象データの抽出条件として変化点とその値を指定すると、指定された変化点とその値となっているデータを抽出し、時系列に並べたトレンドグラフを作成し、クライアント端末３０に出力表示する（図２５（ｂ）参照）。すると、抽出データにて「ばらつき」が発生していることがわかる。
【００８９】
なお、上記した各実施の形態では、何れもデータを収集するデータ収集装置１０と、収集したデータを保管するサーバマシン２０と、サーバマシン３０に保管されたデータを表示するクライアント端末３０とが、それぞれ別々の装置で構成されるとともに、ネットワーク３１で接続されたシステム構成を前提として説明したが、本発明はこれに限ることは無く、任意の複数の装置の機能を１つの装置で構成してもよい。
【００９０】
【発明の効果】
以上のように、この発明では、製造工程において収集した品質データの傾向監視，製造条件の変更履歴，異常発生及びその対策履歴などが、容易に把握できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明が適用されるネットワーク構成の一例を示す図である。
【図２】データ収集装置の内部構造の一例を示す図である。
【図３】品質データ記憶部のデータ構造を示す図である。
【図４】品質トレンドの一例を示す図である。
【図５】異常監視ルールを説明するための領域を示す図である。
【図６】異常発生履歴記憶部のデータ構造を示す図である。
【図７】設定値・変化点記憶部のデータ構造を示す図である。
【図８】表示形態の一例を示す図である。
【図９】表示形態の一例を示す図である。
【図１０】表示形態の一例を示す図である。
【図１１】変化点の内容の登録機能を説明する図である。
【図１２】変化点の登録機能を説明する図である。
【図１３】表示形態の一例を示す図である。
【図１４】本発明の第２の実施の形態を示す図である。
【図１５】異常発生履歴記憶部のデータ構造を示す図である。
【図１６】異常情報の履歴表示並びに対策登録機能を説明する図である。
【図１７】本発明の第２の実施の形態を示す図である。
【図１８】各記憶部のデータ構造を示す図である。
【図１９】品質データの検索機能を説明する図である。
【図２０】品質データの検索機能を説明する図である。
【図２１】品質データの検索機能を説明する図である。
【図２２】品質データの検索機能を説明する図である。
【図２３】品質データの検索機能を説明する図である。
【図２４】品質データの検索機能を説明する図である。
【図２５】品質データの検索機能を説明する図である。
【図２６】品質データの検索機能を説明する図である。
【符号の説明】
１０ データ収集装置
１０ａ 入力装置
１０ｂ 表示装置
１１ データインタフェース
１２ イベント入力部
１２′ 対策内容入力部
１３ 計測値記憶部
１４ データ加工部
１５ 品質データ記憶部
１６ 異常監視部
１７ 異常発生履歴記憶部
１８ 設定値・変化点記憶部
１９ データベース登録部
２０ サーバマシン
２１ 品質サマリデータ履歴記憶部
３０ クライアント端末
３１ ネットワーク

Claims (10)

1. 装置から収集した計測値に基づいて品質データの履歴を作成するとともに、品質データ記憶部に格納する処理を行い、
   製造条件の変更を示す変化点の情報を取得するとともに、その変化点の履歴情報を変化点記憶部に格納する処理を行い、
   前記各記憶部に格納されたデータは、時刻情報を関連付けて格納しておき、
   前記品質データの履歴に基づく品質トレンドグラフと、前記変化点の履歴を表示装置に表示するに際し、時間軸を合わせて表示することを特徴とする品質データのモニタリング方法。
2. 前記品質トレンドグラフの表示領域とは別に前記変化点の履歴を表示するイベント情報表示領域を設け、
   そのイベント情報表示領域に前記変化点の内容を表示するようにし、
   その変化点の内容の表示位置は、前記品質トレンドグラフの時間軸に合わせたその変化点の発生位置とすることを特徴とする請求項１に記載の品質データのモニタリング方法。
3. 前記変化点が発生した際に、その発生の事実のみをモニタ装置に入力することにより、前記変化点の発生時刻情報を記憶保持し、
   その後、記憶保持した発生時刻情報に関連付けて具体的な変化点の内容を登録するようにしたことを特徴とする請求項１または２に記載の品質データのモニタリング方法。
4. 装置から収集した計測値に基づいて品質データの履歴を作成するとともに、品質データ記憶部に格納する処理を行い、
   前記品質データ記憶部に格納された前記品質データの履歴に基づき異常の有無を監視し、異常を検出した場合にはその異常内容を含む異常情報を異常発生履歴記憶部に格納する処理を行い、
   前記各記憶部に格納されたデータは、時刻情報を関連付けて格納しておき、
   前記品質データの履歴に基づく品質トレンドグラフと、前記異常情報を表示装置に表示するに際し、時間軸を合わせて表示し、
   前記表示された異常情報を指定された際に、その異常情報と同種の異常内容について行った対策を対策履歴データベースを検索して取得するとともに、その取得した対策を表示することを特徴とする品質データのモニタリング方法。
5. 装置から収集した計測値に基づいて品質データの履歴を作成するとともに、品質データ記憶部に格納する処理を行い、
   前記品質データ記憶部に格納された前記品質データの履歴に基づき異常の有無を監視し、異常を検出した場合にはその異常内容を含む異常情報を異常発生履歴記憶部に格納する処理を行い、
   前記各記憶部に格納されたデータは、時刻情報を関連付けて格納しておき、
   前記品質データの履歴に基づく品質トレンドグラフと、前記異常情報を表示装置に表示するに際し、時間軸を合わせて表示し、
   前記表示された異常情報の中で指定された異常に対して行った対策を取得し、取得した対策をその異常情報に関連付けて対策履歴データベースに登録するようにしたことを特徴とする品質データのモニタリング方法。
6. 装置から収集した計測値に基づいて品質データの履歴を作成するとともに、品質データ記憶部に格納する処理を行い、
   製造条件の変更を示す変化点の情報を取得するとともに、その変化点の履歴情報を変化点記憶部に格納する処理を行い、
   前記各記憶部に格納されたデータは、時刻情報を関連付けて格納しておき、
   前記品質データの履歴と、前記変化点の履歴情報を時刻情報をキーに結合して品質サマリデータを作成するとともにデータベースに登録し、
   次いで、指定された変化点に基づき前記データベースをアクセスし、その変化点に関連する品質データを抽出し、出力するようにしたことを特徴とする品質データのモニタリング方法。
7. 装置から収集した計測値に基づいて品質データの履歴を作成するとともに、作成した品質データの履歴を時刻情報とともに品質データ記憶部に格納する品質データ製作成手段と、
   取得した製造条件の変更を示す変化点の情報を時刻情報とともに記憶保持する変化点記憶部とを備え、
   前記品質データの履歴に基づく品質トレンドグラフと、前記変化点の履歴を表示装置に表示するに際し、時間軸を合わせて表示可能としたことを特徴とする品質データのモニタリング装置。
8. 装置から収集した計測値に基づいて品質データの履歴を作成するとともに、作成した品質データの履歴を時刻情報とともに品質データ記憶部に格納する品質データ製作成手段と、
   前記品質データ記憶部に格納された前記品質データの履歴に基づき異常の有無を監視し、異常を検出した場合にはその異常内容を含む異常情報を時刻情報とともに異常発生履歴記憶部に格納する異常監視手段とを備え、
   前記品質データの履歴に基づく品質トレンドグラフと、前記異常情報を表示装置に表示するに際し、時間軸を合わせて表示し、前記表示された異常情報を指定された際に、その異常情報と同種の異常内容について行った対策を対策履歴データベースを検索して取得するとともに、その取得した対策を表示可能としたことを特徴とする品質データのモニタリング装置。
9. 装置から収集した計測値に基づいて品質データの履歴を作成するとともに、作成した品質データの履歴を時刻情報とともに品質データ記憶部に格納する品質データ製作成手段と、
   前記品質データ記憶部に格納された前記品質データの履歴に基づき異常の有無を監視し、異常を検出した場合にはその異常内容を含む異常情報を時刻情報とともに異常発生履歴記憶部に格納する異常監視手段とを備え、
   前記品質データの履歴に基づく品質トレンドグラフと、前記異常情報を表示装置に表示するに際し、時間軸を合わせて表示し、前記表示された異常情報の中で指定された異常に対して行った対策を取得し、取得した対策をその異常情報に関連付けて対策履歴データベースに登録可能としたことを特徴とする品質データのモニタリング装置。
10. 装置から収集した計測値に基づいて作成された品質データの履歴を時刻情報とともに格納する品質データ記憶部と、
    取得した製造条件の変更を示す変化点の情報を時刻情報とともに記憶保持する変化点記憶部と、
    前記品質データの履歴と、前記変化点の履歴情報を時刻情報をキーに結合して品質サマリデータを作成するとともにデータベースに登録する手段とを備え、
    指定された変化点に基づき前記データベースをアクセスし、その変化点に関連する品質データを抽出し、出力できるようにしたことを特徴とする品質データのモニタリング装置。

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