JP2004191145A

JP2004191145A - Ultrasonic displacement measuring instrument, and ultrasonic displacement measuring method

Info

Publication number: JP2004191145A
Application number: JP2002358525A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiko Konno; 和彦今野; Morimasa Nishihira; 守正西平
Original assignee: Japan Science and Technology Agency
Current assignee: Japan Science and Technology Agency
Priority date: 2002-12-10
Filing date: 2002-12-10
Publication date: 2004-07-08
Anticipated expiration: 2022-12-10
Also published as: JP3662009B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To precisely measure a displacement varied over a range wider than a wavelength, with sufficiently fine resolution, compared with the wavelength. <P>SOLUTION: This instrument/method comprises a transmission element 31 for inputting signals output from oscillation means 11, 12 to transmit ultrasonic waves, a receiving element 41 for receiving the ultrasonic wave to output signals, a phase shifting means 61 for generating signals shifted by levels different each other based on the signals output from the oscillation means, a phase difference computing means 81 for computing phase differences between the signals output from the oscillation means and the signals output from the receiving element, based on the phase differences between the plurality of phase-shifted signals and the output signals from the receiving element, and a displacement computing means 101 for computing the displacement of an object, based on the phase differences between the signals output from the oscillation means and the signals output from the receiving element as to the respective first and second signals, based on respective frequencies of the first and second signals, and based on a sonic velocity between the transmission element and the receiving element. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高密度に実装された精密機器内において変位制御に使用される超音波変位計測装置及び超音波変位計測方法に関する。例えば、本発明は、高密度磁気記録評価装置の制御系に使用される。
【０００２】
【従来の技術】
超音波を利用して、基準点からある距離だけ離れた位置にある空気中の測定対象物の変位を測定する技術がある。この技術では、対象物に超音波を照射し、その送波時刻と対象物における受波時刻との差に基づいて対象物の変位を測定しており、多くの超音波変位測定装置が考案されている（例えば、特許文献１参照）。
このような変位測定装置では、超音波の受波を検出するための電圧閾値の決定方法が変位測定精度において重要であり、種々の電圧閾値方法が考案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平９−１８４８８３号公報
【特許文献２】
特開２００１−１６５７５３号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このような原理に基づく変位測定装置では、完全な矩形波と見なせる超音波を送波できたとしても、対象物の変位を高精度に測定することは難しい。超音波の空気中における減衰や分散の影響によって、対象物に到達するまでの経路においてその波形が変化し、その波形変化が受波時刻の決定において障害となるからである。この障害を解決する方法として、超音波の受波時刻を検出するために超音波の受波電圧閾値を利用せず、周波数掃引波の超音波を用いる変位測定装置が考案されている。しかし、上記の各変位測定装置では波長よりも小さな変位の検出が困難であるという問題点がある。
【０００５】
これらの問題点を解決する方法として、送波信号と受波信号との位相差に基づく変位測定法が提案されている。しかし、この方法では受波時刻を決定する必要がなく、超音波の波長よりも小さな変位を検出可能となる利点があるものの、測定可能な変位の範囲が超音波の一波長以内に限られるという問題点がある。
【０００６】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、超音波を利用した変位計測において、波長より広い範囲にわたって変化する変位を、波長より十分微小な分解能をもって高精度で計測することができる超音波変位測定装置及び超音波変位測定方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の超音波変位測定装置は、送波用素子から超音波を送波して、対象物に接続している受波用素子で該超音波を受波することにより、該対象物の変位を測定する超音波変位測定装置において、異なる周波数の第１信号及び第２信号のいずれかを発振して出力する発振手段と、前記発振手段から出力された前記信号を入力して超音波を送波する送波用素子と、送波された前記超音波を受波して信号を出力する受波用素子と、前記発振手段から出力された前記信号の位相を互いに異なる大きさだけシフトした信号を生成する位相シフト手段と、位相がシフトされた複数の前記信号と前記受波用素子からの出力信号の位相差に基づいて、前記発振手段から出力された前記信号と前記受波用素子から出力された信号との位相差を演算する位相差演算手段と、前記第１信号と前記第２信号のそれぞれに関する、前記発振手段から出力された前記信号と前記受波用素子から出力された信号との前記位相差、前記第１信号と前記第２信号のそれぞれの周波数、及び前記送波用素子と前記受波用素子間での音速に基づいて、前記対象物の変位を演算する変位演算手段とを備えている。
【０００８】
また、本発明の超音波変位測定方法は、送波用素子から超音波を送波して、対象物に接続している受波用素子で該超音波を受波することにより、該対象物の変位を測定する超音波変位測定方法において、異なる周波数の第１信号及び第２信号のいずれかを発振して出力し、発振して出力された前記信号を入力して超音波を送波し、送波された前記超音波を受波して信号を出力し、発振して出力された前記信号の位相を互いに異なる大きさだけシフトした信号を生成し、位相がシフトされた複数の前記信号と受波して出力された前記信号の位相差に基づいて、発振して出力された前記信号と受波して出力された前記信号との位相差を演算し、前記第１信号と前記第２信号のそれぞれに関する、発振して出力された前記信号と受波して出力された前記信号との前記位相差、前記第１信号と前記第２信号のそれぞれの周波数、及び前記超音波の音速に基づいて、前記対象物の変位を演算する。
【０００９】
以上の構成によれば、異なる周波数で得られた位相量の差により変位を計算すると送波信号と受波信号との位相差が２πを越えた場合でも区別することができる。また、対象物の変位量が超音波の１波長を越えた広範な測定可能範囲で対象物の変位量を測定することができる。
【００１０】
さらに、送波信号と受波信号から変位を算出する際に時間差ではなく位相差を用いていることにより、電圧閾値に依存せず、波長以下の分解能で対象物の変位を算出することが可能になる。超音波変位測定装置は、定常状態の信号において、送波信号と受波信号の変位を測定するため、検出精度のよい測定が可能になる。
【００１１】
また、高精度に実装された精密機器内における制御対象の変位を超音波によって測定可能となり、変位測定装置の小型化、低価格化を実現することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態に係る超音波変位測定装置及び超音波変位測定方法を説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る超音波変位測定装置のブロック図である。発振器１１及び発振器１２は、それぞれ周波数ｆ_１及び周波数ｆ_２の連続正弦波を出力する。例えば、発振器１１及び発振器１２は、図２に示したようにそれぞれ周波数ｆ_１＝４０ｋＨｚ、及び周波数ｆ_２＝３９ｋＨｚの連続正弦波を出力する。スイッチ１２１は発振器１１及び１２からのいずれかの連続正弦波を送波信号として選択する。スイッチ１２１は図示しない制御部からの命令に基づいて切り替えられる。
増幅器２１は、選択された送波信号を入力し、増幅後の送波信号が超音波送波用素子３１を駆動することができる電圧まで、選択された発振器からの連続正弦波を増幅する。超音波送波用素子３１は、増幅された送波信号を入力し、増幅された電気信号である送波信号を超音波に変換し、変換された超音波を送波する。超音波受波用素子４１は、この送波された超音波を受波して、電気信号である受波信号に変換する。対象物１は、変位を測定する対象であり、超音波受波用素子４１が取り付けられている。増幅器５１は、後段の機器で信号処理可能な程度まで、受波信号を増幅する。
【００１３】
超音波送波用素子３１と超音波受波用素子４１は共振現象を利用して電気信号を超音波に変換する。効率よく超音波を送受波するためには、素子の共振周波数の正弦波を使用するのが最適であると考えられるので、本実施形態では、正弦波が使用される。
【００１４】
位相シフタ６１は、選択された送波信号を入力し、その送波信号の位相を４通りにシフトさせ、送波信号に対して異なる既知の位相差を持つ４種類の信号を出力する。本実施形態では、位相の異なる４種類の信号は、送波信号の位相を０、π／２、π、３π／２だけ進めた信号である。位相の進める度合いは、ここに示した大きさに限定されず、他の位相量も想定される。位相の進める度合いをより一般化した場合の例は後述の位相差演算器８１１の説明で示される。
【００１５】
位相検波器７１、７２、７３、及び７４は、送波信号に対して異なる既知の位相差を持つ４種類の信号それぞれと、増幅された受波信号を分配して入力する。位相検波器７１、７２、７３、及び７４は、それぞれ０、π／２、π、及び３π／２だけ位相を進めた信号と分配入力された受波信号との位相検波を独立に行う。より詳しくは、位相検波器７１、７２、７３、及び７４は、送波信号に対してそれぞれ０、π／２、π、及び３π／２だけ位相を進めた４種類の信号と、受波信号を乗算して、その後にその乗算された信号をローパスフィルタに通過させる。
【００１６】
位相差演算器８１は、位相検波器７１、７２、７３、及び７４から出力された信号に基づいて、送波信号と受波信号の位相差を０から２πの範囲で演算する。より詳しくは、位相差演算器８１は、最小二乗法を使用して、位相検波器７１、７２、７３、及び７４から出力された信号の測定値の誤差が最小となるような、位相検波器７１、７２、７３、及び７４からの出力信号を求める。この出力信号に基づいて、位相差演算器８１は、送波信号と受波信号の位相差を０から２πの範囲で演算する。位相差演算器８１は、最小二乗法により、送波信号及び受波信号の波長より十分微小な分解能で高精度に送波信号と受波信号の位相差を演算することを可能にする。
【００１７】
スイッチ１２２は、スイッチ１２１と連動しており、発振器１１が選択されている場合はメモリ９１を選択し、発振器１２が選択されている場合はメモリ９２を選択する。
メモリ９１及びメモリ９２のうちのスイッチ１２２に選択されたメモリは、位相差演算器８１が演算した送波信号と受波信号の位相差を入力し格納する。この結果、メモリ９１は送波信号の周波数がｆ_１である場合の送波信号と受波信号の位相差を格納し、メモリ９２は送波信号の周波数がｆ_２である場合の送波信号と受波信号の位相差を格納する。
【００１８】
メモリ９１及びメモリ９２はそれぞれ値を一つだけ格納する。メモリ９１及びメモリ９２に格納されている値は位相差（０°から３６０°（０ラジアンから２πラジアン）の間の値）になる。例えば、メモリ９１には３０°、メモリ９２には１１０°、というような値が格納される。これらの値は、超音波送波用素子３１と超音波受波用素子４１との間の距離と超音波伝搬速度、発振器１１の周波数ｆ_１、発振器１２の周波数ｆ_２の各設定に依存する。
【００１９】
変位量演算器１０１は、メモリ９１に格納されている送波信号の周波数がｆ_１である場合の送波信号と受波信号の位相差と、メモリ９２に格納されている送波信号の周波数がｆ_２である場合の送波信号と受波信号の位相差と、温度計１１１によって取得された気温に基づいて、対象物１の変位量を演算によって求める。温度計１１１は、超音波が伝搬する付近の気温を計測し、変位量演算器１０１にその気温を伝達する。変位量演算器１０１は、超音波が伝搬する付近の気温に基づいて超音波の伝搬速度を計算する。
【００２０】
図３は、図１の超音波送波用素子３１から出力される送波信号と、図１の超音波受波用素子４１で受信される受波信号と、対象物が変位した後の受波信号の説明図である。
超音波は、波形の歪が大きく、しかもその歪みは時間的に変化する。受波信号検出のための電圧閾値の決め方で誤差を生じやすく、波長以下の分解能で変位を検出することは難しい。
本実施形態の超音波変位測定装置は、送波信号と受波信号から変位を算出する際に時間差ではなく位相差を用いていることにより、電圧閾値に依存せず、波長以下の分解能で送波信号と受波信号の変位を算出することが可能になる。さらに、本実施形態の超音波変位測定装置は、定常状態の信号において、送波信号と受波信号の変位を測定するため、検出精度のよい測定が可能になる。
【００２１】
図４は、図１の位相シフタ６１及び図１の位相検波器７１、７２、７３、及び７４の動作を示す図である。
本実施形態の超音波変位測定装置は、単に送波信号と受波信号とから位相差を測定するのではなく、位相検波器７１、７２、７３、及び７４において、位相がシフトされた送波信号を参照信号として使用して、最小二乗法により送波信号と受波信号との位相差を測定する。最小二乗法を使用することにより、位相差の測定精度を向上させることができる。
【００２２】
位相検波器７１、７２、７３、及び７４からのそれぞれの出力信号Ｏ_１、Ｏ_２、Ｏ_３、及びＯ_４は、図５に示されているように直流の電圧値として出力される。位相差演算器８１は、これら出力信号Ｏ_１、Ｏ_２、Ｏ_３、及びＯ_４を基に演算して送波信号と受波信号との位相差を計算する。
【００２３】
図６は、図１の位相差演算器８１で最小二乗法によって位相差を算出する方法の概念図である。ここで図６をはじめとするすべての図面では、例えばφ（Ｌ）をφと省略して記載してある。他の変数もすべて（Ｌ）は省略されている。
本実施形態の例のように位相検波器７１、７２、７３、及び７４によって４種類の出力信号の場合は、後述するように最小二乗法を使用すると、送波信号と受波信号との位相差Φ（Ｌ）は、Φ（Ｌ）＝ｔａｎ^−１（（Ｏ_２−Ｏ_４）／（Ｏ_１−Ｏ_３））＋ｎπ（ｎ＝０、１、２、・・・）となる。位相差演算器８１は、この式に基づいて、送波信号と受波信号との位相差を算出する。
【００２４】
位相差演算器８１の特徴として、送波信号に対して位相を進ませた四種類の信号と受波信号との位相検波の結果から、最小二乗法により送波信号と受波信号との位相差を演算しているため、高分解能かつ高精度に送波信号と受波信号との位相差を決定することができる。
【００２５】
図７は、図１の位相差演算器８１の動作を示すフロー図である。
位相検波器７１、７２、７３、及び７４からの出力信号がそれぞれＯ_１、Ｏ_２、Ｏ_３、及びＯ_４として格納される（ステップＳ１）。格納されたＯ_１、Ｏ_２、Ｏ_３、及びＯ_４が計算式φ（Ｌ）＝ｔａｎ^−１（（Ｏ_２−Ｏ_４）／（Ｏ_１−Ｏ_３））に代入され、送波信号と受波信号との位相差を算出する位相差が求められる（ステップＳ２）。
ｔａｎ^−１の値域は−π／２からπ／２までであるので、測定可能な変位量は超音波の波長の半波長になる。本実施形態では、測定可能な変位量を増加させるため以下のステップＳ３以降を実行する。
【００２６】
Ｏ_１とＯ_２のそれぞれの値の正負を検出する（ステップＳ３）。ステップＳ３で検出されたＯ_１とＯ_２の正負によってφ（Ｌ）に代わる以下に述べる新たな変数φ’（Ｌ）を導入する。Ｏ_１、Ｏ_２＞０の場合φ’（Ｌ）＝φ（Ｌ）とする（ステップＳ４）。Ｏ_１≦０の場合φ’（Ｌ）＝φ（Ｌ）＋πとする（ステップＳ５）。Ｏ_１＞０、Ｏ_２≦０の場合φ’（Ｌ）＝φ（Ｌ）＋２πとする（ステップＳ６）。計算されたφ’（Ｌ）をスイッチ１２２に出力して、スイッチ１２２が選択しているメモリ９１又はメモリ９２に出力される（ステップＳ７）。
【００２７】
このような演算を行えば、Φ（Ｌ）＝φ’（Ｌ）＋２ｎπ （ｎ＝０、１、２、・・・）となる。この場合、φ’（Ｌ）は０から２πまで変位量の関数として直線的に変化するので、測定可能な変位量は超音波の１波長になる。すなわち、ステップＳ２の計算式で変位量を演算するよりもステップＳ４、Ｓ５、Ｓ６の計算式で変位量を演算する方が、測定可能な変位量が２倍になるので、広範な測定可能範囲で対象物の変位量を測定することができる。
【００２８】
図８は、図１の変位量演算器１０１の動作を示す図である。
変位量演算器１０１は、メモリ９１に格納されている位相量φ_１’（Ｌ）とメモリ９２に格納されている位相量φ_２’（Ｌ）を入力し、それらの差Δφ’（Ｌ）＝φ_１’（Ｌ）−φ_２’（Ｌ）を計算する。変位量演算器１０１は、この位相量の差と、メモリ９１及びメモリ９２に格納されている位相量にそれぞれ対応する周波数ｆ_１及びｆ_２、超音波の伝搬速度により対象物の変位量を求める。
【００２９】
各位相量φ_１’（Ｌ）、φ_２’（Ｌ）それぞれからでは、送波信号と受波信号との位相差が２πまでしか区別することができないが、異なる周波数で得られた位相量φ_１’（Ｌ）、φ_２’（Ｌ）の差により変位を計算すると送波信号と受波信号との位相差が２πを越えた場合でも区別することができ、対象物の変位量が超音波の１波長を越えた範囲まで測定することが可能になる。
【００３０】
図９は、図１の変位量演算器１０１の動作を示すフロー図である。
温度計１１１が検出した値が取り込まれる。温度計１１１は超音波が伝搬する付近の気温を検出する。文献値を参照して気温から音速ｖを求める（ステップＳ１１）。メモリ９１及びメモリ９２にそれぞれ格納されている位相量φ_１’（Ｌ）、φ_２’（Ｌ）を読み取り（ステップＳ１２）、それらの差Δφ’（Ｌ）＝φ_１’（Ｌ）−φ_２’（Ｌ）を計算する（ステップＳ１３）。Δφ’（Ｌ）の正負を調べ（ステップＳ１４）、正負によってΔφ’（Ｌ）の値を変化させ、測定可能な変位量ΔＬの範囲を拡大させる。ｆ_１＞ｆ_２の場合、Δφ’（Ｌ）≧０のとき、ψ（Ｌ）＝Δφ’（Ｌ）（ステップＳ１５）、Δφ’（Ｌ）＜０のときψ（Ｌ）＝Δφ’（Ｌ）＋２π（ステップＳ１６）と設定しておけばよい。後述の図１４に関連してψ（Ｌ）の設定理由は説明される。
【００３１】
ステップＳ１１及びステップＳ１２において計測された音速ｖ及び位相差演算器８１の出力φ_１’（Ｌ）及びφ_２’（Ｌ）が、対象物１が変位していない（すなわち、原点位置での計測）とした場合での数値か否かが判定される（ステップＳ１７）。すなわち、対象物１が変位していないとする対象物１の位置を設定する。換言すれば、ステップＳ１７では、零位調整がされているか否かが判定される。この対象物１が変位していないとした場合でのψ_０（Ｌ）を位相差演算器８１内のメモリ（不図示）に格納して、このψ_０（Ｌ）に基づいて変位量を測定する。原点位置での計測であると判定された場合はステップＳ１８に進み、一方、原点位置での計測ではないと判定された場合はステップＳ２１に進む。しかし、ステップＳ２１に進む場合は、同一の測定過程で既に原点位置での測定（零位調整）が済んでいる場合である。
【００３２】
原点位置での計測である場合は、ステップＳ１５又はステップＳ１６で計測されたψ（Ｌ）をψ_０（Ｌ）として設定し、位相差演算器８１内のメモリに格納する（ステップＳ１８）。このときの変位量ΔＬを零に設定する（ΔＬ＝０）（ステップＳ１９）。
【００３３】
一方、原点位置以外での計測である場合は、ステップＳ１８の零位調整で設定されたψ_０（Ｌ）を読み込む（ステップＳ２１）。ステップＳ１５又はステップＳ１６で計測されたψ（Ｌ）とステップＳ２１で読み込まれたψ_０（Ｌ）を変位量ΔＬを算出する式
ΔＬ＝（ψ（Ｌ）−ψ_０（Ｌ））ｖ／（２π（ｆ_１−ｆ_２））
に代入しΔＬを算出する（この変位量を算出する式は後の図１４の説明の際に導き出される）（ステップＳ２２）。
【００３４】
ステップＳ１９又はステップＳ２２で算出された変位量ΔＬは、出力される（ステップＳ２０）。出力されたΔＬは図示しない記憶媒体等に格納されたり、プリントアウトされたりする。
【００３５】
以上のようにして、超音波を利用した変位計測において、波長より広い範囲にわたって変化する変位を、波長より十分微小な分解能をもって高精度で計測することが可能となる。例えば、図２に示したｆ_１＝４０ｋＨｚ、ｆ_２＝３９ｋＨｚ、という周波数を使用した場合、空中での超音波の波長は、空気中の音速を３４０ｍ／ｓとすると約８．７ｍｍとなる。送波信号と受波信号との位相差を１ｄｅｇの分解能で検出できたとすれば、８．７／３６０＝約２５μｍの分解能で変位を検出でき、（２π−０）×３４０／（２π×１０００）＝３４０ｍｍの範囲にわたって変化する変位を計測できることになる。
【００３６】
図１０は、図１の変位量演算器の図９とは異なる動作を示すフロー図である。図９のステップと同一なステップは同一符号を付し、説明は省略する。
図９に示したフローでは、ステップＳ１３でΔφ’（Ｌ）（＝ψ（Ｌ））を計算する際に生じる誤差を少なくするために図１０のステップＳ３１以下が設定される。
【００３７】
ステップＳ１５又はステップＳ１６で設定されたψ（Ｌ）を決定した後、周波数ｆ_１及びｆ_２で伝搬する超音波の波長をそれぞれ演算する（ステップＳ３１）。すなわち、λ_１＝ｖ／ｆ_１及びλ_２＝ｖ／ｆ_２の演算をする。
【００３８】
変位量ΔＬを算出する式を変形する。超音波送波用素子３１と超音波受波用素子４１との距離をＬとすると、
Ｌ＝（Ｎ＋φ_１’（Ｌ）／２π）λ_１
ここで、Ｎ＝［ψ（Ｌ）ｖ／λ_１（２π（ｆ_１−ｆ_２））］
＝［ψ（Ｌ）λ_２／（２π（λ_２−λ_１））］
となり、本実施形態では、波長の差λ_２−λ_１の方がφ_１’（Ｌ）−φ_２’（Ｌ）よりも誤差が少なくなる。波長の差λ_２−λ_１の誤差は、周波数の差ｆ_１−ｆ_２の設定精度と等しく、発振器１１及び１２の周波数設定精度は、位相差演算器８１による位相差演算精度より十分に高くすることが容易に可能となるからである。したがって、上式Ｌ＝（Ｎ＋φ_１’（Ｌ）／２π）λ_１を使用する方が図９に示した計算式を使用するよりも誤差が少なくなる。ここで［Ｘ］は、Ｘの整数部を示す。ステップＳ３２では、Ｎを計算する。
【００３９】
つぎは、図９のステップＳ１７と同様であり、零位調整がされているか否かが判定される（ステップＳ１７）。原点位置での計測であると判定された場合はステップＳ３３に進み、一方、原点位置での計測ではないと判定された場合はステップＳ３４に進む。しかし、ステップＳ３４に進む場合は、同一の測定過程で既に原点位置での測定（零位調整）が済んでいる場合である。
【００４０】
原点位置での計測である場合は、ステップＳ１２で読み出されたφ_１’（Ｌ）をφ_０（Ｌ）、ステップＳ３２で計算されたＮをＮ_０として設定し、位相差演算器８１内のメモリに格納する（ステップＳ３３）。このときの変位量ΔＬを零に設定する（ΔＬ＝０）（ステップＳ１９）。
【００４１】
一方、原点位置以外での計測である場合は、ステップＳ３３の零位調整で設定されたφ_０（Ｌ）及びＮ_０を読み込む（ステップＳ３４）。ステップＳ１２で読みだされたφ_１’（Ｌ）と、ステップＳ３２で計算されたＮを基にして
ΔＮ＝Ｎ−Ｎ_０、Δφ＝φ_１’（Ｌ）−φ_０（Ｌ）
を算出し（ステップＳ３５）、変位量を算出する式
ΔＬ＝（ΔＮ＋Δφ／２π）λ_１
に代入して変位量ΔＬを求める（ステップＳ３６）。
以下のステップは、図９のフローと同様である。
【００４２】
図１１は、図１の超音波変位測定装置を一般化した場合のブロック図である。図１の超音波変位測定装置の装置部分と同一なものは同一符号を付し、説明は省略する。
位相差演算器８１１の構成のみが図１の超音波変位測定装置と異なる。位相差演算器８１１は、２πをＮ（Ｎは２以上の自然数）で等分割した値に１、２、３・・・等を積算した値だけ送波信号の位相をシフトして、それら位相がシフトされた送波信号と増幅器５１で増幅された受波信号とを乗算して、その後にその乗算された信号をローパスフィルタに通過させる。さらに、位相差演算器８１１は、最小二乗法を使用して、位相差演算器８１１に含まれる位相検波器から出力された信号の測定値の誤差が最小となるような、位相検波器からの出力信号を求める。
【００４３】
図１２は、図１１の超音波送波用素子３１から出力される送波信号と、図１１の超音波受波用素子４１で受信される受波信号に関する説明図である。
周波数ｆの連続正弦波である送波信号が超音波送波用素子３１に印加される。送波信号ｓ（ｔ）は、ｓ（ｔ）＝Ａｓｓｉｎ（２πｆｔ−θｓ）と表示される。図ではサッフィクスにｋが付いているが、ｋは１及び２の数値を取り、それぞれ発振器１１及び発振器１２の各周波数ｆ_１及びｆ_２に対応する。ｋは、明細書中には特に記載しないが、周波数に依存する変数にはすべてｋがサフィックスとして変数に付いている。
【００４４】
ここで、Ａｓは送波信号の振幅、θｓは固定位相、ｔは時間である。この送波信号により超音波送波用素子３１から伝搬媒質中に放射された超音波は、超音波受波用素子４１で受波されるまで距離Ｌだけ伝搬する。このとき、伝搬時間τは超音波の媒質中の伝搬速度をｖとして、τ＝Ｌ／ｖとなる。したがって、超音波受波用素子４１での受波信号は、ｒ（ｔ）＝Ａｒｓｉｎ（２πｆ（ｔ−τ）−θｓ）＝Ａｒｓｉｎ（２πｆｔ−Φ−θｓ）となる。ここで、Ａｒは受波信号の振幅であり、Φは送波信号と受波信号との位相差であり、Φ＝２πｆＬ／ｖと表わされる。
【００４５】
Φを求めるために、本実施形態では、送波信号ｓ（ｔ）との位相差θｉ（０≦θｉ＜２π、ｉ＝０，１，２，…，Ｎ−１）を０から２πの間で等間隔にＮ分割して設定したＮ個の参照信号ｕｉ（ｔ）を用いる。これら参照信号ｕｉ（ｔ）と受波信号ｒ（ｔ）との位相差をそれぞれ求め、最小二乗法を用いて送波信号ｓ（ｔ）と受波信号ｒ（ｔ）の位相差Φを求める。
【００４６】
参照信号ｕｉ（ｔ）は、ｕｉ（ｔ）＝Ａｕｓｉｎ（２πｆｔ−θｕｉ）とする。ここで、Ａｕは参照信号の振幅、θｕｉは固定位相でありθｕｉ＝θｓ＋θｉである。位相差演算器８１１に含まれている位相検波器は、受波信号ｒ（ｔ）とＮ個の参照記号ｕｉ（ｔ）との乗算をする。すなわち、乗算された信号は、ｒ（ｔ）×ｕｉ（ｔ）＝Ａｒ×Ａｕ｛ｃｏｓ（θｕｉ−θｓ−Φ）−ｃｏｓ（２π（２ｆ）ｔ−θｕｉ−θｓ−Φ）｝／２となる。
【００４７】
さらに位相差演算器８１１内の位相検波器はこの乗算された信号をローパスフィルタを通過させ、周波数２ｆ付近の成分を除去する。すると、ローパスフィルタ通過後の信号Ｏｒ（θｉ）は、Ｏｒ（θｉ）＝Ａｏｒｃｏｓ（θｉ−Φ）となる。このように、Ｏｒ（θｉ）は、時間に依存しない直流信号となる。ここでＡｏｒ＝Ａｒ×Ａｕ／２である。Ｏｒ（θｉ）を変形すると、０ｒ（θｉ）＝ａ１ｃｏｓθｉ＋ａ２ｓｉｎθｉ、ａ１＝ＡｏｒｃｏｓΦ、ａ２＝ＡｏｒｓｉｎΦである。
【００４８】
位相差演算器８１１が上式中のＯｒ（θｉ）を測定値Ｏ’ｒ（θｉ）として測定するとする。測定値Ｏ’ｒ（θｉ）は、誤差を含んでいるため、Ｏｒ（θｉ）とＯ’ｒ（θｉ）の差が最小になるように、最小二乗法を使用してａ１及びａ２を決定する。
【００４９】
まず、Ｏｒ（θｉ）とＯ’ｒ（θｉ）の分散Ｅは、
【数１】

となる。Ｅをａ１及びａ２で偏微分したそれぞれの式が０に等しいとして、ａ１及びａ２を決定する。すなわち、（ａ１、ａ２）^Ｔ＝Ｃ^−１Ｏと決定される。ここで、
【数２】

【数３】

である。
【００５０】
本実施形態では、参照信号は送波信号ｓ（ｔ）との位相差θｉ（０≦θｉ＜２π、ｉ＝０，１，２，…，Ｎ−１）を０から２πの間で等間隔にＮ分割して設定したものであるから、θｉ＝２πｉ／Ｎである。このとき、Ｃは、
【数４】

となるので、ａ１及びａ２は、それぞれ
【数５】

となる。したがって、位相差Φ（Ｌ）は、Φ（Ｌ）＝ｔａｎ^−１（ａ２／ａ１）＋πｎ（ｎ＝０，１，２，・・・）となる。ｔａｎ^−１は値域うち連続的に変化する範囲を考慮すると、−π／２からπ／２までの範囲で位相差Φ（Ｌ）を求めることができる。その結果、変位量ΔＬの計測範囲は１／２波長以内になる。
【００５１】
ここで、具体例として、図１の位相検波器７１、７２、７３、及び７４からそれぞれ出力される出力信号Ｏ_１、Ｏ_２、Ｏ_３、及びＯ_４に基づいて位相差Φ（Ｌ）の計算式を導出する。この場合、Ｎ＝４で参照信号は４種類であり、それぞれの参照信号と送波信号の位相差はθ０＝０、θ１＝π／２、θ２＝π、θ３＝３π／２となる。これらを式５に代入すると、ａ１＝（Ｏ_１−Ｏ_３）／２、ａ２＝（Ｏ_２−Ｏ_４）／２となり、その結果Φ（Ｌ）＝ｔａｎ^−１（（Ｏ_２−Ｏ_４）／（Ｏ_１−Ｏ_３））＋πｎとなる。
【００５２】
図１３は、図１１の位相差演算器８１１の演算処理によって計測可能な変位範囲を示す図である。
本実施形態の超音波変位測定装置及び超音波変位測定方法では、ｔａｎ^−１（ａ２／ａ１）が多価関数であることを利用して、変位量ΔＬの計測範囲は１／２波長よりも大きくする。ｔａｎ^−１αは、α＝（２ｎ＋１）π／２（ｎ＝０、１、２、・・・）で非連続な関数となり、連続関数である各区間では−π／２からπ／２まで増加する単調増加関数である。したがって、α＝（２ｎ＋１）π／２のうちのいくつかを何らかの方法で識別することができれば、異なるαで挟まれた連続関数である区間を識別することができ、ｔａｎ^−１αが同一の値であってもそれがどの区間におけるものかによって、異なる値に対応付けることが可能になる。その結果、識別可能なα＝（２ｎ＋１）π／２に挟まれた区間分だけｔａｎ^−１αが見かけ上、連続関数であるかのように扱うことが可能になる。したがって、計測可能な変位量ΔＬを１／２波長よりも大きくすることが可能になる。
【００５３】
位相差Φ（Ｌ）が０からπ／２までの区間、π／２から３π／２までの区間、３π／２から２πまでの区間を識別するために、例えば図１３の上段に示したＯｒ（０）＝ＡｏｒｃｏｓΦ及びＯｒ（π／２）＝ＡｏｒｓｉｎΦを参照する。これら信号の代わりにＯｒ（０）とＯｒ（３π／２）、又は、Ｏｒ（π／２）とＯｒ（π）等を参照してもよい。これらの組合せは無数に存在する。
【００５４】
位相差Φ（Ｌ）の違いによる信号Ｏｒ（０）及びＯｒ（π／２）の変化は図１３の上段に示したようになる。したがって、Ｏｒ（０）＞０かつＯｒ（π／２）＞０の場合、Ｏｒ（０）≦０の場合、Ｏｒ（０）＞０かつＯｒ（π／２）≦０の場合に場合分けすることで、位相差Φ（Ｌ）が０からπ／２までの区間、π／２から３π／２までの区間、３π／２から２πまでの区間を識別することができる。それぞれの区間では、φ’（Ｌ）＝ｔａｎ^−１（ａ２／ａ１）、φ’（Ｌ）＝ｔａｎ^−１（ａ２／ａ１）＋π、φ’（Ｌ）＝ｔａｎ^−１（ａ２／ａ１）＋２πが対応する。
【００５５】
また、ｔａｎ^−１（ａ２／ａ１）の送波用素子と受波用素子との間の距離Ｌに対する値のグラフは、図１３の中段のようになる。ｔａｎ^−１（ａ２／ａ１）は１／２波長の間で連続関数になる。位相差演算器８１１に入力される信号Ｏｒ（０）及びＯｒ（π／２）の符号の正負の組合せに依存してｔａｎ^−１（ａ２／ａ１）を定義し直して、計測可能な変位量ΔＬの範囲を拡大する。すなわち、
φ’（Ｌ）＝ｔａｎ^−１（ａ２／ａ１）
（Ｏｒ（０）＞０、Ｏｒ（π／２）＞０）
φ’（Ｌ）＝ｔａｎ^−１（ａ２／ａ１）＋π
（Ｏｒ（０）≦０）
φ’（Ｌ）＝ｔａｎ^−１（ａ２／ａ１）＋２π
（Ｏｒ（０）＞０、Ｏｒ（π／２）≦０）
というφ’（Ｌ）を導入する。位相変化φ’（Ｌ）は０から２πまで表現可能になる。このφ’（Ｌ）を用いれば、送波信号と受波信号の位相差Φ（Ｌ）はΦ（Ｌ）＝φ’（Ｌ）＋２πｎ（ｎ＝０、１、２，・・・）となり、１波長まで変位計測範囲を拡大することができる。換言すれば、図１３の下段に示されるように、このφ’（Ｌ）は１波長の間で連続関数になるので、このφ’（Ｌ）によれば１波長の距離まで変位量ΔＬを計測することができる。
【００５６】
図１４は、図１１の変位量演算器１０１での演算処理によって計測可能な変位範囲を示す図である。図１４は、図１３に示した拡大された変位計測範囲よりもさらに変位計測範囲を拡大する方法を説明する。
図１４で説明したφ’（Ｌ）を近接する２つの周波数ｆ_１及びｆ_２（ｆ_１＞ｆ_２とする）に適用する。周波数ｆ_１及びｆ_２に対応するφ’（Ｌ）をそれぞれφ_１’（Ｌ）及びφ_２’（Ｌ）とする。これらφ_１’（Ｌ）及びφ_２’（Ｌ）はそれぞれ、図１４の上段に示したようなグラフを描く。これらφ_１’（Ｌ）とφ_２’（Ｌ）との差分Δφ’（Ｌ）を導入する。Δφ’（Ｌ）は図１４の中段に示したような非連続なグラフとなる。ここで、
ψ（Ｌ）＝Δφ’（Ｌ）（Δφ’（Ｌ）≧０）
ψ（Ｌ）＝Δφ’（Ｌ）＋２π （Δφ’（Ｌ）＜０）
となる変数ψ（Ｌ）を定義すると、このψ（Ｌ）は、図１４の下段に示されるように、０から２πまで連続的に直線的に変化する。このψ（Ｌ）を使用すれば、それぞれの周波数ｆ_１及びｆ_２における送波信号と受波信号の位相差Φ_１（Ｌ）及びΦ_２（Ｌ）の差分ΔΦ（Ｌ）＝Φ_１（Ｌ）−Φ_２（Ｌ）は、
ΔΦ（Ｌ）＝ψ（Ｌ）＋２πｍ（ｍ＝０、１、２、・・・）
となる。また、Φ（Ｌ）＝２πｆＬ／ｖであるので、ΔΦ（Ｌ）＝２π（ｆ_１−ｆ_２）Ｌ／ｖとなり、距離Ｌは、
Ｌ＝（ｍ＋ψ（Ｌ）／２π）ｖ／（ｆ_１−ｆ_２）
となる。超音波送波用素子３１と超音波受波用素子４１との距離がＬのときのψ（Ｌ）と、上式の整数ｍが変化しない範囲で超音波受波用素子４１がΔＬだけ変位し、距離がＬからＬ＋ΔＬに変化した場合のψ（Ｌ＋ΔＬ）を用いると、変位量ΔＬは、
ΔＬ＝（ψ（Ｌ＋ΔＬ）−ψ（Ｌ））ｖ／２π（ｆ_１−ｆ_２）
となる。上述したように、ψ（Ｌ）は０から２πまでの値を取るので、変位量ΔＬの計測可能な最大値ΔＬｍａｘはψ（Ｌ＋ΔＬ）−ψ（Ｌ）＝２πのときであるので、
ΔＬｍａｘ＝ｖ／（ｆ_１−ｆ_２）
となる。この式によれば２つの周波数ｆ_１とｆ_２の周波数間隔が狭いほどΔＬｍａｘが大きくなるので、上述のφ’（Ｌ）のみによる変位計測よりもより広範に変位量ΔＬを計測することが可能になる。すなわち、２つの周波数ｆ_１とｆ_２の周波数間隔を十分小さく設定すれば、１波長よりも長い変位計測範囲を確保することができる。
【００５７】
図１５は、図１１の位相差演算器８１１の動作を示すフロー図である。
発振器１１又は発振器１２で生成された所定の周波数の送波信号と、増幅器５１で増幅された受波信号を入力し、それぞれの信号をＡ／Ｄ変換（アナログ−ディジタル変換）して、変換後のディジタル信号波形をメモリ（不図示）に格納する（ステップＳ４１）。送波信号の位相をシフトする度合いを決定する、０から２πの間を分割するための分割数Ｎを読み込む（ステップＳ４２）。この分割数Ｎは、予め設定されていてもよいが、ユーザが任意に設定することができるようになっていてもよい。その際ユーザはキーボード（不図示）等の入力装置を使用して分割数Ｎを入力する。
【００５８】
ｉ＝０、θ＝２π／Ｎ、ａ１＝ａ２＝０と設定する（ステップＳ４３）。ｉが分割数Ｎ以上であるか否かが判定される（ステップＳ４４）。ｉが分割数Ｎ以上である場合はステップＳ５４に進み、一方、ｉが分割数Ｎ未満である場合はステップＳ４５に進む。
ｉが分割数Ｎ未満である場合は、ステップＳ４１でメモリに格納した送波信号の位相をｉ×θだけシフトさせる（ステップＳ４５）。ステップＳ４５で位相がシフトされた送波信号と、メモリに格納されている受波信号を積算する（ステップＳ４６）。ステップＳ４６で積算された信号から、発振器１１及び発振器１２の各周波数ｆ_１及びｆ_２の、それぞれ２倍の周波数２ｆ_１及び２ｆ_２を除去するために、例えば２つの発振器１１及び１２のうち周波数の小さい正弦波を発振する発振器１２が発振する周波数ｆ_２の１／２の周波数をカットオフ周波数とするローパスフィルタでフィルタリングされる（ステップＳ４７）。このローパスフィルタでは、発振器１１及び発振器１２の各周波数ｆ_１及びｆ_２の、それぞれ２倍の周波数２ｆ_１及び２ｆ_２が除去できればよいので、発振器１２が発振する周波数ｆ_２の１／２の周波数をカットオフ周波数とする代わりに、発振器１２が発振する周波数ｆ_２の１／４の周波数をカットオフ周波数としてもよい。カットオフ周波数は無数に存在する。
【００５９】
ステップＳ４７でフィルタリングされた直流信号の電圧値Ａを求め（ステップＳ４８）、ａ１＋Ａｃｏｓ（ｉ×θ）を計算し、この値をａ１とする（ステップＳ４９）。ｉが零であるか否か判定し（ステップＳ５０）、ｉが零である場合はステップＳ５１に進み、一方、ｉが零でない場合はステップＳ５２に進む。
【００６０】
ｉが零である場合はａ１をＯ_１に設定する（ステップＳ５１）。Ｏ_１は後のステップＳ３で使用する。ｉが零でない場合はａ２＋Ａｓｉｎ（ｉ×θ）を計算し、この値をａ２とする（ステップＳ５２）。
【００６１】
ｉの値に１を加算し、加算後の値を新たにｉとし（ステップＳ５３）、ステップＳ４４に戻る。ｉが分割数Ｎ以上である場合は、ステップＳ４１でメモリに格納した送波信号の位相をπ／２だけシフトさせる（ステップＳ５４）。ステップＳ５４で位相がπ／２だけシフトされた送波信号と、メモリに格納されている受波信号を積算する（ステップＳ５５）。ステップＳ５５で積算された信号から、発振器１１及び発振器１２の各周波数ｆ_１及びｆ_２の、それぞれ２倍の周波数２ｆ_１及び２ｆ_２を除去するために、例えば２つの発振器１１及び１２のうち周波数の小さい正弦波を発振する発振器１２が発振する周波数ｆ_２の１／２の周波数をカットオフ周波数とするローパスフィルタでフィルタリングされる（ステップＳ５６）。このローパスフィルタでは、発振器１１及び発振器１２の各周波数ｆ_１及びｆ_２の、それぞれ２倍の周波数２ｆ_１及び２ｆ_２が除去できればよいので、発振器１２が発振する周波数ｆ_２の１／２の周波数をカットオフ周波数とする代わりに、発振器１２が発振する周波数ｆ_２の１／４の周波数をカットオフ周波数としてもよい。カットオフ周波数は無数に存在する。
【００６２】
ステップＳ５６でフィルタリングされた直流信号の電圧値をＯ_２とする（ステップＳ５７）。ステップＳ４４からステップＳ５３までのループが完了してステップＳ４９及びステップＳ５２で最終的に得られた値ａ１及びａ２を入力し、φ＝ｔａｎ^−１（ａ２／ａ１）を計算する（ステップＳ５８）。
以下のステップは、図７のステップＳ３以下と同様である。
【００６３】
この発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、その技術的範囲において種々変形して実施することができる。
【００６４】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、送波信号と受波信号との位相差を近接した二つの周波数において検出し、両者の差を取ることで波長よりも長い変位を検出することができる。
送波信号に対してある特定の位相差を持つ異なる複数の参照信号と受波信号との位相差から最小二乗法により送波信号と受波信号との位相差を高分解能かつ高精度に検出することができる。
波長より広い範囲にわたって変化する変位を、波長より十分微小な分解能で高精度に計測することが可能となる。
【００６５】
高精度に実装された精密機器内における制御対象の変位を超音波によって測定可能となり、変位測定装置の小型化、低価格化を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る超音波変位測定装置のブロック図。
【図２】図１の２つの発振器からそれぞれ出力される信号の時間に対する振幅のグラフ。
【図３】図１の超音波送波用素子から出力される送波信号と、図１の超音波受波用素子で受信される受波信号と、対象物が変位した後の受波信号の説明図。
【図４】図１の位相シフタ及び図１の位相検波器の動作を示す図。
【図５】図１の位相検波器から出力される時間に対する位相検波出力のグラフ。
【図６】図１の位相差演算器で最小二乗法によって位相差を算出する方法の概念図。
【図７】図１の位相差演算器の動作を示すフロー図。
【図８】図１の変位量演算器の動作を示す図。
【図９】図１の変位量演算器の動作を示すフロー図。
【図１０】図１の変位量演算器の図９とは異なる動作を示すフロー図。
【図１１】図１の超音波変位測定装置を一般化した場合のブロック図。
【図１２】図１１の超音波送波用素子から出力される送波信号と、図１１の超音波受波用素子で受信される受波信号に関する説明図。
【図１３】図１１の位相差演算器の演算処理によって計測可能な変位範囲を示す図。
【図１４】図１１の変位量演算器の演算処理によって計測可能な変位範囲を示す図。
【図１５】図１１の位相差演算器の動作を示すフロー図。
【符号の説明】
１１発振器
１２発振器
２１増幅器
３１超音波送波用素子
４１超音波受波用素子
５１増幅器
６１位相シフタ
７１，７２，７３，７４位相検波器
８１位相差演算器
９１メモリ
９２メモリ
１０１変位量演算器
１１１温度計
１２１スイッチ
１２２スイッチ
８１１位相差演算器[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an ultrasonic displacement measuring device and an ultrasonic displacement measuring method used for displacement control in precision equipment mounted at high density. For example, the present invention is used for a control system of a high-density magnetic recording evaluation device.
[0002]
[Prior art]
There is a technique for measuring the displacement of a measurement target in air at a position away from a reference point by a certain distance using ultrasonic waves. In this technique, an object is irradiated with ultrasonic waves, and the displacement of the object is measured based on the difference between the transmission time and the reception time of the object, and many ultrasonic displacement measuring devices have been devised. (For example, see Patent Document 1).
In such a displacement measuring device, a method of determining a voltage threshold for detecting reception of an ultrasonic wave is important in displacement measurement accuracy, and various voltage threshold methods have been devised (for example, see Patent Document 2). .
[0003]
[Patent Document 1]
JP-A-9-184883
[Patent Document 2]
JP 2001-165753 A
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
With a displacement measuring device based on such a principle, it is difficult to measure displacement of an object with high accuracy even if an ultrasonic wave that can be regarded as a perfect rectangular wave can be transmitted. This is because the waveform of the ultrasonic wave changes in the path leading to the object due to the influence of attenuation or dispersion in the air, and the waveform change hinders the determination of the reception time. As a method for solving this obstacle, a displacement measuring apparatus using a frequency-swept wave ultrasonic wave without using the ultrasonic wave reception voltage threshold to detect the ultrasonic wave reception time has been devised. However, each of the above displacement measuring devices has a problem that it is difficult to detect a displacement smaller than the wavelength.
[0005]
As a method for solving these problems, a displacement measuring method based on a phase difference between a transmitted signal and a received signal has been proposed. However, in this method, it is not necessary to determine the reception time, and although there is an advantage that a displacement smaller than the wavelength of the ultrasonic wave can be detected, the range of the measurable displacement is limited to one wavelength of the ultrasonic wave. There is a problem.
[0006]
The present invention has been made in order to solve the above problems, and in displacement measurement using ultrasonic waves, it is possible to measure displacement that changes over a wider range than the wavelength with high precision with a resolution sufficiently smaller than the wavelength. It is an object of the present invention to provide an ultrasonic displacement measuring device and an ultrasonic displacement measuring method that can perform the measurement.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The ultrasonic displacement measuring apparatus of the present invention transmits an ultrasonic wave from a transmitting element, and receives the ultrasonic wave by a receiving element connected to the object, thereby displacing the object. In an ultrasonic displacement measuring apparatus for measuring the frequency, an oscillating means for oscillating and outputting one of a first signal and a second signal having different frequencies, and transmitting the ultrasonic wave by inputting the signal output from the oscillating means. A transmitting element for transmitting a wave, a receiving element for receiving the transmitted ultrasonic wave and outputting a signal, and a signal obtained by shifting the phase of the signal output from the oscillating means by different magnitudes from each other. Phase shift means for generating, based on the phase difference between the plurality of signals whose phase has been shifted and the output signal from the receiving element, the signal output from the oscillating means and the receiving element A phase difference function that calculates the phase difference with the output signal Means, the phase difference between the signal output from the oscillating means and the signal output from the wave receiving element for each of the first signal and the second signal, and the first signal and the second signal. Displacement calculating means for calculating the displacement of the object based on the respective frequencies of the signals and the speed of sound between the transmitting element and the receiving element.
[0008]
Also, the ultrasonic displacement measuring method of the present invention transmits an ultrasonic wave from a wave transmitting element, and receives the ultrasonic wave with a wave receiving element connected to the object. In the ultrasonic displacement measuring method for measuring the displacement of the ultrasonic wave, any one of a first signal and a second signal having a different frequency is oscillated and output, and the oscillated and output signal is input to transmit an ultrasonic wave. Receiving the transmitted ultrasonic wave, outputting a signal, generating a signal in which the phase of the oscillated and output signal is shifted by different magnitudes from each other, and generating a plurality of the signals whose phases are shifted. Based on the phase difference between the signal received and output, the phase difference between the signal output after oscillation and the signal output after reception is calculated, and the first signal and the second signal are output. The signal oscillated and output with respect to each of the two signals and received and output The phase difference between the serial signal, each frequency of the first signal and the second signal, and on the basis of the ultrasonic sound velocity, calculates the displacement of the object.
[0009]
According to the above configuration, when the displacement is calculated based on the difference between the phase amounts obtained at different frequencies, it is possible to distinguish even when the phase difference between the transmitted signal and the received signal exceeds 2π. Further, the displacement of the object can be measured in a wide measurable range in which the displacement of the object exceeds one wavelength of the ultrasonic wave.
[0010]
Furthermore, since the phase difference is used instead of the time difference when calculating the displacement from the transmitted signal and the received signal, it is possible to calculate the displacement of the object with a resolution equal to or less than the wavelength without depending on the voltage threshold. become. The ultrasonic displacement measuring device measures the displacement of the transmission signal and the reception signal in the signal in the steady state, so that measurement with high detection accuracy is possible.
[0011]
Further, the displacement of the control target in the precision device mounted with high precision can be measured by ultrasonic waves, and the size and cost of the displacement measuring device can be reduced.
[0012]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, an ultrasonic displacement measuring device and an ultrasonic displacement measuring method according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a block diagram of an ultrasonic displacement measuring device according to an embodiment of the present invention. The oscillator 11 and the oscillator 12 each have a frequency f₁And frequency f₂Output a continuous sine wave. For example, the

oscillators

11 and 12 each have a frequency f as shown in FIG.₁= 40 kHz and frequency f₂= 39 kHz continuous sine wave is output. The switch 121 selects any one of the continuous sine waves from the

oscillators

11 and 12 as a transmission signal. The switch 121 is switched based on a command from a control unit (not shown).
The amplifier 21 receives the selected transmission signal, and amplifies the continuous sine wave from the selected oscillator until the amplified transmission signal can drive the ultrasonic transmission element 31. The ultrasonic wave transmitting element 31 receives the amplified transmission signal, converts the amplified transmission signal, which is an electric signal, into an ultrasonic wave, and transmits the converted ultrasonic wave. The ultrasonic wave receiving element 41 receives the transmitted ultrasonic wave and converts it into a received signal that is an electric signal. The object 1 is an object whose displacement is to be measured, and has an ultrasonic wave receiving element 41 attached thereto. The amplifier 51 amplifies the received signal to such an extent that the subsequent device can process the signal.
[0013]
The ultrasonic wave transmitting element 31 and the ultrasonic wave receiving element 41 convert an electric signal into an ultrasonic wave using a resonance phenomenon. In order to transmit and receive ultrasonic waves efficiently, it is considered optimal to use a sine wave of the resonance frequency of the element. Therefore, in this embodiment, a sine wave is used.
[0014]
The phase shifter 61 receives the selected transmission signal, shifts the phase of the transmission signal in four ways, and outputs four types of signals having different known phase differences with respect to the transmission signal. In the present embodiment, the four types of signals having different phases are signals obtained by advancing the phase of the transmission signal by 0, π / 2, π, and 3π / 2. The degree of phase advance is not limited to the magnitude shown here, and other phase amounts are also assumed. An example in which the degree of phase advance is generalized will be described later in the description of the phase difference calculator 811.
[0015]
The

phase detectors

71, 72, 73, and 74 distribute and input the four types of signals having different known phase differences with respect to the transmitted signal and the amplified received signal. The

phase detectors

71, 72, 73, and 74 independently detect the phase of the signal whose phase has been advanced by 0, π / 2, π, and 3π / 2 and the received signal distributed and input. More specifically, the

phase detectors

71, 72, 73, and 74 respectively include four types of signals whose phases are advanced by 0, π / 2, π, and 3π / 2 with respect to the transmission signal, and the reception signal, respectively. , And then pass the multiplied signal through a low-pass filter.
[0016]
The phase difference calculator 81 calculates the phase difference between the transmitted signal and the received signal in the range of 0 to 2π based on the signals output from the

phase detectors

71, 72, 73, and 74. More specifically, the phase difference calculator 81 uses the least squares method to minimize the error in the measured values of the signals output from the

phase detectors

71, 72, 73, and 74. The output signals from 71, 72, 73 and 74 are determined. Based on this output signal, the phase difference calculator 81 calculates the phase difference between the transmitted signal and the received signal in the range of 0 to 2π. The phase difference calculator 81 can calculate the phase difference between the transmission signal and the reception signal with a resolution sufficiently smaller than the wavelengths of the transmission signal and the reception signal by the least square method.
[0017]
The switch 122 is linked with the switch 121, and selects the memory 91 when the oscillator 11 is selected, and selects the memory 92 when the oscillator 12 is selected.
The memory selected by the switch 122 of the

memories

91 and 92 inputs and stores the phase difference between the transmission signal and the reception signal calculated by the phase difference calculator 81. As a result, the memory 91 stores the frequency of the transmitted signal at f₁Is stored, the memory 92 stores the phase difference between the transmitted signal and the received signal when the frequency of the transmitted signal is f₂Is stored, the phase difference between the transmitted signal and the received signal is stored.
[0018]
Each of the

memories

91 and 92 stores only one value. The values stored in the

memories

91 and 92 are phase differences (values between 0 ° and 360 ° (0 radians to 2π radians)). For example, a value such as 30 ° is stored in the memory 91 and a value 110 ° is stored in the memory 92. These values are the distance between the ultrasonic wave transmitting element 31 and the ultrasonic wave receiving element 41, the ultrasonic wave propagation velocity, and the frequency f of the oscillator 11.₁, The frequency f of the oscillator 12₂Depends on each setting.
[0019]
The displacement calculator 101 determines that the frequency of the transmission signal stored in the memory 91 is f₁And the frequency difference between the transmitted signal and the received signal and the frequency of the transmitted signal stored in the memory 92 is f₂The displacement amount of the object 1 is obtained by calculation based on the phase difference between the transmitted signal and the received signal in the case of and the air temperature acquired by the thermometer 111. The thermometer 111 measures the temperature around the propagation of the ultrasonic wave, and transmits the temperature to the displacement calculator 101. The displacement calculator 101 calculates the propagation speed of the ultrasonic wave based on the temperature around the ultrasonic wave propagation.
[0020]
FIG. 3 shows a transmission signal output from the ultrasonic transmission element 31 of FIG. 1, a reception signal received by the ultrasonic reception element 41 of FIG. 1, and a reception signal after the object is displaced. It is explanatory drawing of a wave signal.
Ultrasonic waves have large waveform distortion, and the distortion changes with time. An error is likely to occur in the method of determining the voltage threshold for detecting the received signal, and it is difficult to detect displacement with a resolution equal to or less than the wavelength.
The ultrasonic displacement measuring apparatus according to the present embodiment uses a phase difference instead of a time difference when calculating a displacement from a transmitted signal and a received signal, so that the ultrasonic displacement measuring apparatus does not depend on a voltage threshold and transmits with a resolution equal to or less than a wavelength. It is possible to calculate the displacement between the wave signal and the received signal. Furthermore, since the ultrasonic displacement measuring device of the present embodiment measures the displacement of the transmitted signal and the received signal in the signal in the steady state, it is possible to perform measurement with high detection accuracy.
[0021]
FIG. 4 is a diagram illustrating the operation of the phase shifter 61 of FIG. 1 and the

phase detectors

71, 72, 73, and 74 of FIG.
The ultrasonic displacement measuring apparatus according to the present embodiment does not simply measure the phase difference between the transmitted signal and the received signal, but uses the

phase detectors

71, 72, 73, and 74 to transmit the phase-shifted signals. Using the signal as a reference signal, the phase difference between the transmitted signal and the received signal is measured by the least square method. By using the least squares method, the accuracy of measuring the phase difference can be improved.
[0022]
The respective output signals O from the

phase detectors

71, 72, 73 and 74₁, O₂, O₃, And O₄Is output as a DC voltage value as shown in FIG. The phase difference calculator 81 outputs these output signals O₁, O₂, O₃, And O₄, And calculates the phase difference between the transmitted signal and the received signal.
[0023]
FIG. 6 is a conceptual diagram of a method of calculating a phase difference by the least square method in the phase difference calculator 81 of FIG. Here, in all drawings including FIG. 6, for example, φ (L) is abbreviated as φ. (L) is omitted for all other variables.
In the case of four types of output signals by the

phase detectors

71, 72, 73, and 74 as in the example of the present embodiment, when the least square method is used as described later, the position of the transmitted signal and the received signal is reduced. The phase difference Φ (L) is Φ (L) = tan^-1((O₂-O₄) / (O₁-O₃)) + Nπ (n = 0, 1, 2,...). The phase difference calculator 81 calculates the phase difference between the transmitted signal and the received signal based on this equation.
[0024]
As a feature of the phase difference calculator 81, the position of the transmitted signal and the received signal is calculated by the least squares method based on the result of the phase detection between the four signals whose phases are advanced with respect to the transmitted signal and the received signal. Since the phase difference is calculated, the phase difference between the transmitted signal and the received signal can be determined with high resolution and high accuracy.
[0025]
FIG. 7 is a flowchart showing the operation of the phase difference calculator 81 of FIG.
The output signals from the

phase detectors

71, 72, 73 and 74 are O₁, O₂, O₃, And O₄(Step S1). O stored₁, O₂, O₃, And O₄Is the calculation formula φ (L) = tan^-1((O₂-O₄) / (O₁-O₃)), And a phase difference for calculating a phase difference between the transmission signal and the reception signal is obtained (step S2).
tan^-1Range from -π / 2 to π / 2, the measurable displacement amount is half the wavelength of the ultrasonic wave. In the present embodiment, the following step S3 and subsequent steps are executed to increase the measurable displacement amount.
[0026]
O₁And O₂The sign of each value is detected (step S3). O detected in step S3₁And O₂A new variable φ ′ (L) described below that replaces φ (L) depending on the sign of is introduced. O₁, O₂If> 0, φ ′ (L) = φ (L) (step S4). O₁If ≦ 0, φ ′ (L) = φ (L) + π (step S5). O₁> 0, O₂If ≦ 0, φ ′ (L) = φ (L) + 2π (step S6). The calculated? '(L) is output to the switch 122, and is output to the memory 91 or the memory 92 selected by the switch 122 (step S7).
[0027]
By performing such an operation, Φ (L) = φ ′ (L) + 2nπ (n = 0, 1, 2,...). In this case, since φ ′ (L) changes linearly from 0 to 2π as a function of the displacement, the measurable displacement is one wavelength of the ultrasonic wave. That is, the measurable displacement amount is doubled when the displacement amount is calculated using the calculation formulas of steps S4, S5, and S6, rather than the displacement amount is calculated using the calculation formula of step S2. , The displacement of the object can be measured.
[0028]
FIG. 8 is a diagram showing the operation of the displacement calculator 101 of FIG.
The displacement amount calculator 101 calculates the phase amount φ stored in the memory 91.₁'(L) and the phase amount φ stored in the memory 92.₂′ (L) and their difference Δφ ′ (L) = φ₁’(L) −φ₂'(L) is calculated. The displacement amount calculator 101 calculates the difference between the phase amounts and the frequency f corresponding to the phase amounts stored in the

memories

91 and 92, respectively.₁And f₂, The displacement of the object is determined from the propagation speed of the ultrasonic wave.
[0029]
Each phase amount φ₁’(L), φ₂'(L), the phase difference between the transmitted signal and the received signal can be distinguished only up to 2π, but the phase amount φ obtained at different frequencies₁’(L), φ₂'When the displacement is calculated from the difference of (L), it is possible to distinguish even if the phase difference between the transmitted signal and the received signal exceeds 2π, and the displacement of the object exceeds one wavelength of the ultrasonic wave. It is possible to measure up to.
[0030]
FIG. 9 is a flowchart showing the operation of the displacement calculator 101 of FIG.
The value detected by the thermometer 111 is taken in. The thermometer 111 detects the temperature around the propagation of the ultrasonic wave. The sound speed v is obtained from the temperature with reference to the document value (step S11). The phase amount φ stored in each of the memories 91 and 92₁’(L), φ₂'(L) is read (step S12), and their difference ??' (L) =?₁’(L) −φ₂'(L) is calculated (step S13). The sign of [Delta] [phi] '(L) is checked (step S14), and the value of [Delta] [phi]' (L) is changed according to the sign to expand the range of the measurable displacement [Delta] L. f₁> F₂In the case of Δφ ′ (L) ≧ 0, ψ (L) = Δφ ′ (L) (step S15), and when Δφ ′ (L) <0, ψ (L) = Δφ ′ (L) + 2π (step S16) may be set. The reason for setting ψ (L) will be described with reference to FIG. 14 described later.
[0031]
The sound velocity v measured in steps S11 and S12 and the output φ of the phase difference calculator 81₁’(L) and φ₂It is determined whether or not '(L) is a numerical value when the object 1 is not displaced (that is, measured at the origin position) (step S17). That is, the position of the object 1 is determined to be not displaced. In other words, in step S17, it is determined whether the zero adjustment has been performed. Ψ when this object 1 is not displaced₀(L) is stored in a memory (not shown) in the phase difference calculator 81, and₀The displacement is measured based on (L). When it is determined that the measurement is performed at the origin position, the process proceeds to step S18. On the other hand, when it is determined that the measurement is not performed at the origin position, the process proceeds to step S21. However, proceeding to step S21 is a case where measurement (zero adjustment) at the origin position has already been completed in the same measurement process.
[0032]
If the measurement is at the origin position, the {(L) measured in step S15 or step S16 is replaced by {}.₀(L) and stores it in the memory in the phase difference calculator 81 (step S18). The displacement ΔL at this time is set to zero (ΔL = 0) (step S19).
[0033]
On the other hand, when the measurement is performed at a position other than the origin position, ψ set in the zero adjustment in step S18.₀(L) is read (step S21). {(L) measured in step S15 or step S16 and {read in step S21}₀(L) is an equation for calculating the displacement amount ΔL.
ΔL = (ψ (L) −ψ₀(L)) v / (2π (f₁−f₂))
(The equation for calculating the displacement amount is derived in the later description of FIG. 14) (step S22).
[0034]
The displacement amount ΔL calculated in step S19 or step S22 is output (step S20). The outputted ΔL is stored in a storage medium (not shown) or printed out.
[0035]
As described above, in displacement measurement using ultrasonic waves, it is possible to measure displacement that changes over a wider range than the wavelength with a resolution sufficiently smaller than the wavelength and with high accuracy. For example, f shown in FIG.₁= 40kHz, f₂When a frequency of 39 kHz is used, the wavelength of the ultrasonic wave in the air is about 8.7 mm when the speed of sound in the air is 340 m / s. Assuming that the phase difference between the transmitted signal and the received signal can be detected with a resolution of 1 deg, the displacement can be detected with a resolution of 8.7 / 360 = about 25 μm, and (2π−0) × 340 / (2π × 1000) ) = 340 mm displacement can be measured.
[0036]
FIG. 10 is a flowchart showing an operation of the displacement calculator of FIG. 1 which is different from that of FIG. The same steps as those in FIG. 9 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.
In the flow shown in FIG. 9, steps S31 and subsequent steps in FIG. 10 are set in order to reduce an error generated when calculating Δφ ′ (L) (= ψ (L)) in step S13.
[0037]
After determining ψ (L) set in step S15 or step S16, the frequency f₁And f₂The respective wavelengths of the ultrasonic waves propagating in are calculated (step S31). That is, λ₁= V / f₁And λ₂= V / f₂Is calculated.
[0038]
The formula for calculating the displacement amount ΔL is modified. Assuming that the distance between the ultrasonic wave transmitting element 31 and the ultrasonic wave receiving element 41 is L,
L = (N + φ₁′ (L) / 2π) λ₁
Here, N = [ψ (L) v / λ₁(2π (f₁−f₂))]
= [Ψ (L) λ₂/ (2π (λ₂−λ₁))]
In this embodiment, the wavelength difference λ₂−λ₁Is φ₁’(L) −φ₂（(L). Wavelength difference λ₂−λ₁Is the frequency difference f₁−f₂This is because it is easily possible to make the frequency setting accuracy of the

oscillators

11 and 12 sufficiently higher than the phase difference calculation accuracy by the phase difference calculator 81. Therefore, the above equation L = (N + φ₁′ (L) / 2π) λ₁Is smaller than when the calculation formula shown in FIG. 9 is used. Here, [X] indicates an integer part of X. In step S32, N is calculated.
[0039]
Next, as in step S17 of FIG. 9, it is determined whether or not zero adjustment has been performed (step S17). When it is determined that the measurement is performed at the origin position, the process proceeds to step S33. On the other hand, when it is determined that the measurement is not performed at the origin position, the process proceeds to step S34. However, proceeding to step S34 is a case where the measurement (zero adjustment) at the origin position has already been completed in the same measurement process.
[0040]
If the measurement is at the origin position, the φ read at step S12₁’(L) is φ₀(L), N calculated in step S32 is N₀Is stored in the memory of the phase difference calculator 81 (step S33). The displacement ΔL at this time is set to zero (ΔL = 0) (step S19).
[0041]
On the other hand, when the measurement is performed at a position other than the origin position, the φ set in the zero adjustment in step S33.₀(L) and N₀Is read (step S34). Φ read in step S12₁′ (L) and N calculated in step S32
ΔN = N−N₀, Δφ = φ₁’(L) −φ₀(L)
Is calculated (step S35), and an equation for calculating the displacement amount is calculated.
ΔL = (ΔN + Δφ / 2π) λ₁
To obtain the displacement amount ΔL (step S36).
The following steps are the same as those in the flow of FIG.
[0042]
FIG. 11 is a block diagram when the ultrasonic displacement measuring device of FIG. 1 is generalized. The same components as those of the ultrasonic displacement measuring device in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.
Only the configuration of the phase difference calculator 811 is different from the ultrasonic displacement measuring device of FIG. The phase difference calculator 811 shifts the phase of the transmission signal by a value obtained by adding 1, 2, 3,... To a value obtained by equally dividing 2π by N (N is a natural number of 2 or more), and Is multiplied by the shifted transmission signal and the reception signal amplified by the amplifier 51, and then the multiplied signal is passed through a low-pass filter. Further, the phase difference calculator 811 uses the least squares method to reduce the error of the measured value of the signal output from the phase detector included in the phase difference calculator 811 so that the error from the phase detector is minimized. Find the output signal.
[0043]
FIG. 12 is an explanatory diagram relating to a transmission signal output from the ultrasonic wave transmitting element 31 of FIG. 11 and a received signal received by the ultrasonic wave receiving element 41 of FIG.
A transmission signal that is a continuous sine wave having a frequency f is applied to the ultrasonic transmission element 31. The transmission signal s (t) is displayed as s (t) = Assin (2πft−θs). In the figure, k is added to the suffix, where k takes a numerical value of 1 and 2, and each frequency f of the oscillator 11 and the oscillator 12 respectively.₁And f₂Corresponding to Although k is not particularly described in the specification, all variables dependent on frequency have k as a suffix.
[0044]
Here, As is the amplitude of the transmitted signal, θs is a fixed phase, and t is time. The ultrasonic wave radiated from the ultrasonic wave transmitting element 31 into the propagation medium by the transmitted wave signal propagates the distance L until the ultrasonic wave is received by the ultrasonic wave receiving element 41. At this time, the propagation time τ is τ = L / v, where v is the propagation speed of the ultrasonic wave in the medium. Therefore, the signal received by the ultrasonic wave receiving element 41 is r (t) = Arsin (2πf (t−τ) −θs) = Arsin (2πft−Φ−θs). Here, Ar is the amplitude of the received signal, Φ is the phase difference between the transmitted signal and the received signal, and is expressed as Φ = 2πfL / v.
[0045]
In order to obtain Φ, in the present embodiment, the phase difference θi (0 ≦ θi <2π, i = 0, 1, 2,..., N−1) from the transmission signal s (t) is set between 0 and 2π. And N reference signals ui (t) that are set by dividing into N at equal intervals are used. The phase difference between the reference signal ui (t) and the received signal r (t) is obtained, and the phase difference Φ between the transmitted signal s (t) and the received signal r (t) is obtained using the least squares method. .
[0046]
The reference signal ui (t) is ui (t) = Ausin (2πft−θui). Here, Au is the amplitude of the reference signal, θui is the fixed phase, and θui = θs + θi. The phase detector included in the phase difference calculator 811 multiplies the received signal r (t) by N reference symbols ui (t). That is, the multiplied signal is r (t) × ui (t) = Ar × Au {cos (θui−θs−Φ) −cos (2π (2f) t−θui−θs−Φ)} / 2. .
[0047]
Further, the phase detector in the phase difference calculator 811 passes the multiplied signal through a low-pass filter to remove a component near the frequency 2f. Then, the signal Or (θi) after passing through the low-pass filter becomes Or (θi) = Aorcos (θi−Φ). Thus, Or (θi) is a time-independent DC signal. Here, Aor = Ar × Au / 2. When Or (θi) is transformed, 0r (θi) = a1cosθi + a2sinθi, a1 = AorcosΦ, and a2 = AorsinΦ.
[0048]
It is assumed that the phase difference calculator 811 measures Or (θi) in the above equation as a measured value O′r (θi). Since the measured value O′r (θi) includes an error, a1 and a2 are determined using the least square method so that the difference between Or (θi) and O′r (θi) is minimized. .
[0049]
First, the variance E of Or (θi) and O′r (θi) is
(Equation 1)

Becomes Assuming that respective equations obtained by partially differentiating E with a1 and a2 are equal to 0, a1 and a2 are determined. That is, (a1, a2)^T= C^-1O is determined. here,
(Equation 2)

(Equation 3)

It is.
[0050]
In the present embodiment, the reference signal has a phase difference θi (0 ≦ θi <2π, i = 0, 1, 2,..., N−1) from the transmission signal s (t) at equal intervals between 0 and 2π. Θi = 2πi / N. At this time, C is
(Equation 4)

Therefore, a1 and a2 are respectively
(Equation 5)

Becomes Therefore, the phase difference Φ (L) is Φ (L) = tan^-1(A2 / a1) + πn (n = 0, 1, 2,...). tan^-1Considering the range of the value range that continuously changes, the phase difference Φ (L) can be obtained in the range from -π / 2 to π / 2. As a result, the measurement range of the displacement ΔL is within １／ wavelength.
[0051]
Here, as a specific example, the output signals O output from the

phase detectors

71, 72, 73 and 74 of FIG.₁, O₂, O₃, And O₄The formula for calculating the phase difference Φ (L) is derived based on In this case, N = 4 and there are four types of reference signals, and the phase difference between each reference signal and the transmission signal is θ0 = 0, θ1 = π / 2, θ2 = π, θ3 = 3π / 2. Substituting these into Equation 5, a1 = (O₁-O₃) / 2, a2 = (O₂-O₄) / 2, so that Φ (L) = tan^-1((O₂-O₄) / (O₁-O₃)) + Πn.
[0052]
FIG. 13 is a diagram showing a displacement range that can be measured by the arithmetic processing of the phase difference calculator 811 in FIG.
In the ultrasonic displacement measuring device and the ultrasonic displacement measuring method according to the present embodiment, tan^-1Utilizing that (a2 / a1) is a multivalent function, the measurement range of the displacement ΔL is made larger than より wavelength. tan^-1α is a discontinuous function when α = (2n + 1) π / 2 (n = 0, 1, 2,...), and monotonically increases from −π / 2 to π / 2 in each section that is a continuous function. It is an increasing function. Therefore, if some of α = (2n + 1) π / 2 can be identified by some method, a section that is a continuous function sandwiched by different α can be identified, and tan^-1Even if α is the same value, it can be associated with different values depending on in which section it is. As a result, tan for the section between α = (2n + 1) π / 2 that can be identified^-1α can be treated as if it were a continuous function. Therefore, the measurable displacement amount ΔL can be made larger than 波長 wavelength.
[0053]
In order to identify a section in which the phase difference Φ (L) is 0 to π / 2, a section from π / 2 to 3π / 2, and a section from 3π / 2 to 2π, for example, Or shown in the upper part of FIG. (0) = AorcosΦ and Or (π / 2) = AorsinΦ. Instead of these signals, Or (0) and Or (3π / 2) or Or (π / 2) and Or (π) may be referred to. There are countless combinations of these.
[0054]
The changes in the signals Or (0) and Or (π / 2) due to the difference in the phase difference Φ (L) are as shown in the upper part of FIG. Accordingly, cases are classified into cases where Or (0)> 0 and Or (π / 2)> 0, cases where Or (0) ≦ 0, cases where Or (0)> 0 and Or (π / 2) ≦ 0. This makes it possible to identify a section in which the phase difference Φ (L) is from 0 to π / 2, a section from π / 2 to 3π / 2, and a section from 3π / 2 to 2π. In each section, φ ′ (L) = tan^-1(A2 / a1), φ '(L) = tan^-1(A2 / a1) + π, φ ′ (L) = tan^-1(A2 / a1) + 2π corresponds.
[0055]
Also, tan^-1A graph of the value of (a2 / a1) with respect to the distance L between the transmitting element and the receiving element is as shown in the middle part of FIG. tan^-1(A2 / a1) is a continuous function between half wavelengths. The tan depends on the combination of the positive and negative signs of the signals Or (0) and Or (π / 2) input to the phase difference calculator 811.^-1By redefining (a2 / a1), the range of the measurable displacement amount ΔL is expanded. That is,
φ ′ (L) = tan^-1(A2 / a1)
(Or (0)> 0, Or (π / 2)> 0)
φ ′ (L) = tan^-1(A2 / a1) + π
(Or (0) ≦ 0)
φ ′ (L) = tan^-1(A2 / a1) + 2π
(Or (0)> 0, Or (π / 2) ≦ 0)
Φ (L) is introduced. The phase change φ ′ (L) can be expressed from 0 to 2π. Using this φ ′ (L), the phase difference Φ (L) between the transmitted signal and the received signal is Φ (L) = φ ′ (L) + 2πn (n = 0, 1, 2,...) The displacement measurement range can be expanded to one wavelength. In other words, as shown in the lower part of FIG. 13, since φ ′ (L) is a continuous function between one wavelength, the displacement amount ΔL can be calculated up to a distance of one wavelength according to φ ′ (L). Can be measured.
[0056]
FIG. 14 is a diagram illustrating a displacement range that can be measured by the calculation processing in the displacement amount calculator 101 in FIG. FIG. 14 illustrates a method of expanding the displacement measurement range further than the enlarged displacement measurement range shown in FIG.
Two frequencies f close to φ ′ (L) described in FIG.₁And f₂(F₁> F₂Shall apply). Frequency f₁And f₂Φ ′ (L) corresponding to φ₁’(L) and φ₂'(L). These φ₁’(L) and φ₂'(L) draws a graph as shown in the upper part of FIG. These φ₁’(L) and φ₂'(L) and the difference Δφ' (L). Δφ ′ (L) is a discontinuous graph as shown in the middle part of FIG. here,
ψ (L) = Δφ ′ (L) (Δφ ′ (L) ≧ 0)
ψ (L) = Δφ ′ (L) + 2π (Δφ ′ (L) <0)
When the variable ψ (L) is defined, ψ (L) continuously and linearly changes from 0 to 2π as shown in the lower part of FIG. Using this ψ (L), each frequency f₁And f₂Phase difference Φ between the transmitted signal and the received signal at₁(L) and Φ₂(L) difference ΔΦ (L) = Φ₁(L) -Φ₂(L)
ΔΦ (L) = ψ (L) + 2πm (m = 0, 1, 2,...)
Becomes Since Φ (L) = 2πfL / v, ΔΦ (L) = 2π (f₁−f₂) L / v, and the distance L is
L = (m + ψ (L) / 2π) v / (f₁−f₂)
Becomes Ψ (L) when the distance between the ultrasonic wave transmitting element 31 and the ultrasonic wave receiving element 41 is L, and the ultrasonic wave receiving element 41 is displaced by ΔL within a range where the integer m in the above equation does not change. Then, using ψ (L + ΔL) when the distance changes from L to L + ΔL, the displacement amount ΔL becomes
ΔL = (ψ (L + ΔL) −ψ (L)) v / 2π (f₁−f₂)
Becomes As described above, since ψ (L) takes a value from 0 to 2π, the maximum measurable value ΔLmax of the displacement amount ΔL is when ψ (L + ΔL) −ψ (L) = 2π.
ΔLmax = v / (f₁−f₂)
Becomes According to this equation, two frequencies f₁And f₂Since the smaller the frequency interval is, the larger the ΔLmax becomes, the displacement ΔL can be measured in a wider range than the displacement measurement using only the above-described φ ′ (L). That is, two frequencies f₁And f₂If the frequency interval is set to be sufficiently small, a displacement measurement range longer than one wavelength can be secured.
[0057]
FIG. 15 is a flowchart showing the operation of the phase difference calculator 811 in FIG.
A transmission signal of a predetermined frequency generated by the oscillator 11 or the oscillator 12 and a reception signal amplified by the amplifier 51 are input, and A / D conversion (analog-digital conversion) of each signal is performed. Is stored in a memory (not shown) (step S41). The number of divisions N for dividing between 0 and 2π, which determines the degree of shifting the phase of the transmission signal, is read (step S42). This division number N may be set in advance, but may be set arbitrarily by the user. At this time, the user inputs the number of divisions N using an input device such as a keyboard (not shown).
[0058]
i = 0, θ = 2π / N, and a1 = a2 = 0 are set (step S43). It is determined whether or not i is equal to or greater than the number of divisions N (step S44). If i is equal to or greater than the number of divisions N, the process proceeds to step S54, while if i is less than the number of divisions N, the process proceeds to step S45.
If i is less than the number of divisions N, the phase of the transmission signal stored in the memory in step S41 is shifted by i × θ (step S45). The transmission signal whose phase has been shifted in step S45 and the reception signal stored in the memory are integrated (step S46). From the signals integrated in step S46, the respective frequencies f of the

oscillators

11 and 12 are calculated.₁And f₂Of each frequency 2f₁And 2f₂In order to remove the frequency f, for example, the frequency f oscillated by the oscillator 12 which oscillates a sine wave having a small frequency among the two

oscillators

11 and 12₂Is filtered by a low-pass filter having a frequency of 1/2 as a cutoff frequency (step S47). In this low-pass filter, each frequency f of the oscillator 11 and the oscillator 12₁And f₂Of each frequency 2f₁And 2f₂Can be removed, so that the frequency f₂Of the frequency f at which the oscillator 12 oscillates,₂May be set as the cutoff frequency. There are countless cutoff frequencies.
[0059]
The voltage value A of the DC signal filtered in step S47 is obtained (step S48), and a1 + Acos (i × θ) is calculated, and this value is set to a1 (step S49). It is determined whether or not i is zero (step S50). If i is zero, the process proceeds to step S51, while if i is not zero, the process proceeds to step S52.
[0060]
If i is zero, a1 is O₁(Step S51). O₁Will be used in a later step S3. If i is not zero, a2 + Asin (i × θ) is calculated, and this value is set as a2 (step S52).
[0061]
One is added to the value of i, the value after the addition is newly set to i (step S53), and the process returns to step S44. If i is equal to or larger than the number of divisions N, the phase of the transmission signal stored in the memory in step S41 is shifted by π / 2 (step S54). The transmission signal whose phase is shifted by π / 2 in step S54 and the reception signal stored in the memory are integrated (step S55). From the signals integrated in step S55, the respective frequencies f of the

oscillators

11 and 12₂Is filtered by a low-pass filter having a frequency of 1/2 as a cutoff frequency (step S56). In this low-pass filter, each frequency f of the oscillator 11 and the oscillator 12₁And f₂Of each frequency 2f₁And 2f₂Can be removed, so that the frequency f₂Of the frequency f at which the oscillator 12 oscillates,₂May be set as the cutoff frequency. There are countless cutoff frequencies.
[0062]
The voltage value of the DC signal filtered in step S56 is set to O₂(Step S57). After the loop from step S44 to step S53 is completed, the values a1 and a2 finally obtained in steps S49 and S52 are input, and φ = tan^-1(A2 / a1) is calculated (step S58).
Subsequent steps are the same as step S3 and subsequent steps in FIG.
[0063]
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be variously modified and implemented within the technical scope.
[0064]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, a phase difference between a transmitted signal and a received signal is detected at two adjacent frequencies, and a displacement longer than the wavelength can be detected by taking the difference between the two. .
Detects the phase difference between the transmitted signal and the received signal with high resolution and high accuracy by the least squares method from the phase difference between the received signal and a plurality of different reference signals having a specific phase difference with respect to the transmitted signal can do.
Displacement that changes over a range wider than the wavelength can be measured with high resolution at a resolution sufficiently smaller than the wavelength.
[0065]
The displacement of a control target in a precision device mounted with high accuracy can be measured by ultrasonic waves, and the size and price of the displacement measuring device can be reduced.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram of an ultrasonic displacement measuring device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a graph showing amplitudes of signals output from two oscillators in FIG. 1 with respect to time;
3 is a transmission signal output from the ultrasonic wave transmitting element of FIG. 1, a received signal received by the ultrasonic wave receiving element of FIG. 1, and a received signal after the object is displaced. FIG.
FIG. 4 is a diagram showing the operation of the phase shifter of FIG. 1 and the phase detector of FIG. 1;
FIG. 5 is a graph of a phase detection output with respect to time output from the phase detector of FIG. 1;
FIG. 6 is a conceptual diagram of a method of calculating a phase difference by the least squares method in the phase difference calculator of FIG. 1;
FIG. 7 is a flowchart showing the operation of the phase difference calculator of FIG. 1;
FIG. 8 is a diagram showing the operation of the displacement calculator of FIG. 1;
FIG. 9 is a flowchart showing the operation of the displacement calculator of FIG. 1;
10 is a flowchart showing an operation of the displacement calculator of FIG. 1 which is different from that of FIG. 9;
FIG. 11 is a block diagram when the ultrasonic displacement measuring device of FIG. 1 is generalized.
12 is an explanatory diagram relating to a transmission signal output from the ultrasonic wave transmitting element of FIG. 11 and a received signal received by the ultrasonic wave receiving element of FIG. 11;
FIG. 13 is a diagram showing a displacement range that can be measured by the calculation processing of the phase difference calculator of FIG. 11;
FIG. 14 is a diagram showing a displacement range that can be measured by the calculation processing of the displacement amount calculator of FIG. 11;
FIG. 15 is a flowchart showing the operation of the phase difference calculator of FIG. 11;
[Explanation of symbols]
11 Oscillator
12 Oscillator
21 Amplifier
31 Ultrasonic wave transmitting element
41 Ultrasonic wave receiving element
51 amplifier
61 Phase shifter
71, 72, 73, 74 Phase detector
81 Phase difference calculator
91 memory
92 memory
101 Displacement calculator
111 thermometer
121 switch
122 switch
811 Phase difference calculator

Claims

送波用素子から超音波を送波して、対象物に接続している受波用素子で該超音波を受波することにより、該対象物の変位を測定する超音波変位測定装置において、
異なる周波数の第１信号及び第２信号のいずれかを発振して出力する発振手段と、
前記発振手段から出力された前記信号を入力して超音波を送波する送波用素子と、
送波された前記超音波を受波して信号を出力する受波用素子と、
前記発振手段から出力された前記信号の位相を互いに異なる大きさだけシフトした信号を生成する位相シフト手段と、
位相がシフトされた複数の前記信号と前記受波用素子からの出力信号の位相差に基づいて、前記発振手段から出力された前記信号と前記受波用素子から出力された信号との位相差を演算する位相差演算手段と、
前記第１信号と前記第２信号のそれぞれに関する、前記発振手段から出力された前記信号と前記受波用素子から出力された信号との前記位相差、前記第１信号と前記第２信号のそれぞれの周波数、及び前記送波用素子と前記受波用素子間での音速に基づいて、前記対象物の変位を演算する変位演算手段とを具備する超音波変位測定装置。By transmitting an ultrasonic wave from the wave transmitting element and receiving the ultrasonic wave with the wave receiving element connected to the object, the ultrasonic displacement measuring device for measuring the displacement of the object,
Oscillating means for oscillating and outputting any of the first signal and the second signal having different frequencies;
A transmitting element for transmitting the ultrasonic wave by inputting the signal output from the oscillating means,
A receiving element that receives the transmitted ultrasonic wave and outputs a signal;
Phase shift means for generating a signal obtained by shifting the phase of the signal output from the oscillation means by different magnitudes,
A phase difference between the signal output from the oscillating means and the signal output from the wave receiving element based on a phase difference between the plurality of signals whose phases have been shifted and an output signal from the wave receiving element. Phase difference calculating means for calculating
For each of the first signal and the second signal, the phase difference between the signal output from the oscillating means and the signal output from the receiving element, and the first signal and the second signal, respectively. An ultrasonic displacement measuring device comprising: a displacement calculating means for calculating a displacement of the object based on a frequency of the object and a sound speed between the transmitting element and the receiving element.

前記位相差演算手段は、
位相がシフトされた各前記信号と前記受波用素子からの出力信号との積を演算する積演算手段と、
積を演算された信号から、前記位相がシフトされた各信号の周波数の２倍の大きさの周波数を有する信号成分を除去する除去手段と、
前記信号成分を除去された信号に基づいて、前記発振手段から出力された前記信号と前記受波用素子からの出力信号との位相差を演算する演算手段とを具備する請求項１に記載の超音波変位測定装置。The phase difference calculation means,
Product calculating means for calculating a product of each of the phase-shifted signals and an output signal from the wave receiving element,
Removing means for removing, from the signal whose product has been calculated, a signal component having a frequency twice as large as the frequency of each phase-shifted signal;
The arithmetic unit according to claim 1, further comprising: a calculating unit configured to calculate a phase difference between the signal output from the oscillating unit and an output signal from the receiving element based on the signal from which the signal component has been removed. Ultrasonic displacement measuring device.

前記演算手段は、前記信号成分を除去された複数の信号のうちの、前記位相差を変数とした場合にπ／２ラジアン又は３π／２ラジアンだけ位相が相対的にずれている２つの信号の符号の組合せに基づいて、前記発振手段から出力された前記信号と前記受波用素子からの出力信号との前記位相差を演算する請求項２に記載の超音波変位測定装置。The arithmetic means is configured to calculate, of the plurality of signals from which the signal components have been removed, two signals whose phases are relatively shifted by π / 2 radians or 3π / 2 radians when the phase difference is used as a variable. The ultrasonic displacement measuring device according to claim 2, wherein the phase difference between the signal output from the oscillation unit and the output signal from the wave receiving element is calculated based on a combination of codes.

前記変位演算手段は、前記位相差計算手段から出力される、前記第１信号及び前記第２信号にそれぞれ対応する位相差間の差を演算する差演算手段と、
計算された位相差間の前記差の符号に基づいて、計算された位相差の前記差に特定の位相量をたしあわせた量を出力する和出力手段と、
該たしあわせた量、前記第１信号と前記第２信号のそれぞれの周波数、及び前記送波用素子と前記受波用素子間での音速に基づいて、前記対象物の変位を演算する演算手段とを具備する請求項１から請求項３のいずれかに記載の超音波変位測定装置。The displacement calculating means, which is output from the phase difference calculating means, calculates difference between phase differences respectively corresponding to the first signal and the second signal;
Sum output means for outputting an amount obtained by adding a specific phase amount to the difference between the calculated phase differences, based on the sign of the difference between the calculated phase differences,
Calculating means for calculating the displacement of the object based on the sum, the respective frequencies of the first signal and the second signal, and the speed of sound between the transmitting element and the receiving element; The ultrasonic displacement measuring device according to any one of claims 1 to 3, comprising:

前記和出力手段は、
計算された位相差間の前記差が０以上の場合は、計算された位相差の前記差を出力し、
計算された位相差間の前記差が０未満の場合は、計算された位相差の前記差に２πラジアンをたしあわせた量を出力する請求項４に記載の超音波変位測定装置。The sum output means,
If the difference between the calculated phase differences is greater than or equal to 0, output the difference between the calculated phase differences;
The ultrasonic displacement measuring device according to claim 4, wherein when the difference between the calculated phase differences is less than 0, an amount obtained by adding 2π radians to the calculated difference between the phase differences is output.

送波用素子から超音波を送波して、対象物に接続している受波用素子で該超音波を受波することにより、該対象物の変位を測定する超音波変位測定方法において、
異なる周波数の第１信号及び第２信号のいずれかを発振して出力し、
発振して出力された前記信号を入力して超音波を送波し、
送波された前記超音波を受波して信号を出力し、
発振して出力された前記信号の位相を互いに異なる大きさだけシフトした信号を生成し、
位相がシフトされた複数の前記信号と受波して出力された前記信号の位相差に基づいて、発振して出力された前記信号と受波して出力された前記信号との位相差を演算し、
前記第１信号と前記第２信号のそれぞれに関する、発振して出力された前記信号と受波して出力された前記信号との前記位相差、前記第１信号と前記第２信号のそれぞれの周波数、及び前記超音波の音速に基づいて、前記対象物の変位を演算する超音波変位測定方法。By transmitting an ultrasonic wave from the transmitting element and receiving the ultrasonic wave with the receiving element connected to the object, the ultrasonic displacement measuring method for measuring the displacement of the object,
Oscillates and outputs one of the first signal and the second signal having different frequencies,
The ultrasonic signal is transmitted by inputting the signal output by oscillation,
Receiving the transmitted ultrasonic wave and outputting a signal,
Generating a signal in which the phase of the oscillated and output signal is shifted by different magnitudes,
A phase difference between the oscillated and output signal and the received and output signal is calculated based on a phase difference between the plurality of phase-shifted signals and the received and output signal. And
The phase difference between the oscillated and output signal and the received and output signal with respect to each of the first signal and the second signal, and the respective frequencies of the first signal and the second signal And an ultrasonic displacement measuring method for calculating a displacement of the object based on a sound speed of the ultrasonic wave.