JP2004188355A - エアフィルタ用濾材、その使用方法、エアフィルタユニットおよび通気性支持材 - Google Patents
エアフィルタ用濾材、その使用方法、エアフィルタユニットおよび通気性支持材 Download PDFInfo
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Abstract
【課題】目づまりが起こり難く、寿命の長いエアフィルタ用濾材、およびそれを用いたエアフィルタユニットを容易に提供する。
【解決手段】ＰＴＦＥ多孔質膜１と通気性支持材２とを含み、通気性支持材２が、合成繊維とガラス繊維とを含む不織布であることを特徴とするエアフィルタ用濾材、そのエアフィルタ用濾材を用いたエアフィルタユニット。また、ＰＴＦＥ多孔質膜１と積層され、エアフィルタ用濾材として使用される通気性支持材２であって、合成繊維とガラス繊維とを含む不織布であることを特徴とする通気性支持材。上記した不織布に含まれる合成繊維とガラス繊維の重量比が７：１〜１：１であることが好ましい。
【選択図】 図１
【解決手段】ＰＴＦＥ多孔質膜１と通気性支持材２とを含み、通気性支持材２が、合成繊維とガラス繊維とを含む不織布であることを特徴とするエアフィルタ用濾材、そのエアフィルタ用濾材を用いたエアフィルタユニット。また、ＰＴＦＥ多孔質膜１と積層され、エアフィルタ用濾材として使用される通気性支持材２であって、合成繊維とガラス繊維とを含む不織布であることを特徴とする通気性支持材。上記した不織布に含まれる合成繊維とガラス繊維の重量比が７：１〜１：１であることが好ましい。
【選択図】 図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ポリテトラフルオロエチレン(以下「ＰＴＦＥ」という)多孔質膜を用いたエアフィルタ用濾材、その使用方法、そのエアフィルタ用濾材を用いたエアフィルタユニット、およびＰＴＦＥ多孔質膜と積層され、エアフィルタ濾材として使用される通気性支持材に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、クリーンルームで使用されるエアフィルタ用濾材には、ガラス繊維にバインダーを加えて抄紙したもの（以下「ガラス繊維製濾材」という）が多く用いられてきた。しかしこのような濾材には、濾材中に付着した小繊維が存在したり、折り曲げ加工時に発塵するといった問題があった。さらにこの濾材には、フッ酸など、ある種の化学薬品と接触すると発塵するという問題もあった。
【０００３】
ＰＴＦＥはクリーンな材料であり、近年、ＰＴＦＥ多孔質膜を含む濾材が、半導体工業などのクリーンルームに用いられる高性能エアフィルタの濾材として使用され始めている。特開２０００−６１２８０号公報に記載されているエアフィルタ用濾材はその一例である。一般に、ＰＴＦＥ多孔質膜は、補強のための通気性支持材とラミネートされてエアフィルタ用濾材とされる。このエアフィルタ用濾材は、連続したＷ字状のひだ折り加工（以下「プリーツ加工」という）がなされ、さらに枠付けされてエアフィルタユニットとして用いられる。
【０００４】
【特許文献１】
特開平２０００−６１２８０号公報（第３−４頁、第２−５図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記したＰＴＦＥ多孔質膜は、同じ圧力損失のガラス繊維製濾材に比べ捕集効率が高い。これは、ＰＴＦＥ多孔質膜が、微細透孔が多数分散した構造をしていることに起因する。両者の厚みを比べると、ＰＴＦＥ多孔質膜の厚みは数μｍから数十μｍであり、ガラス繊維製濾材の厚みは数百μｍであり、ＰＴＦＥ多孔質膜はガラス繊維製濾材と比較すると極めて薄い。すなわち、ＰＴＦＥ多孔質膜の単位厚さあたりの捕集効率はガラス繊維製濾材のそれと比較すると極めて高い。その結果、ＰＴＦＥ多孔質膜を含むエアフィルタ用濾材は、ＰＴＦＥ多孔質膜の上流側近傍で多くの粉塵を保持するようになり、運転中の圧力損失の上昇がガラス繊維製濾材よりも短期間で生じるという問題があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明のエアフィルタ用濾材は、ＰＴＦＥ多孔質膜と通気性支持材とを含み、前記通気性支持材が、合成繊維とガラス繊維とを含む不織布であることを特徴とする。
【０００７】
本発明のエアフィルタユニットは、本発明のエアフィルタ用濾材を用いたことを特徴とする。
【０００８】
本発明のエアフィルタ用濾材の使用方法は、前記ＰＴＦＥ多孔質膜の気体の流れの上流側に、前記通気性支持材を配置することを特徴とする。
【０００９】
本発明の通気性支持材は、ＰＴＦＥ多孔質膜と積層され、エアフィルタ用濾材として使用される通気性支持材であって、合成繊維とガラス繊維とを含む不織布であることを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
ＰＴＦＥ多孔質膜を補強する通気性支持材には、通常、ＰＴＦＥ多孔質膜よりも通気性の高い不織布などが用いられる。本発明者らは、この通気性支持体にプレフィルタとしての機能を付加することを前提として、上記した問題の解決を試みた。
【００１１】
通気性支持材の捕集性能は、不織布を構成する繊維の径が小さいほど向上する。細い繊維の紡糸法としてメルトブロー法が知られているが、この方法により得られたポリプロピレン繊維からなる不織布では、厚み３５０μｍにおいて、多分散ジオクチルフタレート（以下「ＤＯＰ」と略す）（粒径０．３〜０．５μｍ）の捕集効率は４５％程度である。しかしながら、ＰＴＦＥ多孔質膜を含むエアフィルタ用濾材の圧力損失の上昇を、ガラス繊維製濾材の圧力損失の上昇と同程度とするか、それより抑制するためには、通気性支持材の捕集効率を５０％以上とすることが望ましい。通気性支持材の捕集効率を５０％以上とするには、上記したポリプロピレン製不織布の厚みを厚くすればよいが、捕集効率が５０％以上である不織布の厚みは極めて厚く、プリーツ加工に支障をきたしてしまう。
【００１２】
薄いガラス繊維製濾材を通気性支持材として使用することも考えられるが、薄いガラス繊維製濾材は強度が弱くプリーツ加工に耐えられない。また、ＰＴＦＥ多孔質膜との接着に際し、従来の通気性支持材とＰＴＦＥ多孔質膜とを接着する方法として容易な熱ラミネートによる方法を採用できない。
【００１３】
そこで、本発明者らは、主として強度を担う合成繊維と、主として高捕集能を担うガラス繊維とを含む不織布を通気性支持材として用いることとした。すなわち、本実施の形態のエアフィルタ用濾材は、ＰＴＦＥ多孔質膜と通気性支持材とを含み、通気性支持材が、合成繊維とガラス繊維とを含む不織布であることを特徴とする。本実施の形態のエアフィルタ用濾材によれば、通気性支持材がプレフィルタとして機能する。この通気性支持材の捕集機能によって、ＰＴＦＥ多孔質膜の目づまりが抑制されるので、エアフィルタ用濾材の圧力損失の上昇を抑制できる。また、通気性支持材が合成繊維とガラス繊維とを含む不織布であるので、プリーツ加工やＰＴＦＥ多孔質膜との接着も容易である。したがって、目づまりが起こり難く、寿命の長いエアフィルタ用濾材を容易に提供することができる。
【００１４】
以下に、本発明のエアフィルタ用濾材の一例を、図面を参照しながら説明する。
【００１５】
図１に示すように、本実施の形態のエアフィルタ用濾材は、ＰＴＦＥ多孔質膜１と通気性支持材２とを含んでいる。通気性支持材２は、合成繊維とガラス繊維とを含む不織布である。このエアフィルタ用濾材は、ＰＴＦＥ多孔質膜１の気体の流れの上流側に通気性支持材２を配置して使用されるため、通気性支持材２は、ＰＴＦＥ多孔質膜１を保護および補強するとともに、プレフィルタとしても機能する。
【００１６】
不織布を構成する合成繊維の材料、構造は特に限定されないが、一部または全部の繊維が芯鞘構造であり、芯繊維が鞘繊維より相対的に融点が高い複合繊維であることが好ましい。合成繊維の材料としては、特に限定されないが、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエステルあるいはこれらの複合材料などを用いることができる。
【００１７】
ガラス繊維としては、エアフィルタ用濾材として用いられるガラス繊維（平均繊維径０．２〜１μｍ、平均繊維長２００〜１５００μｍ）などを用いることができる。また、これらの繊維の組成についても、特に制限はなく、例えばホウ珪酸ガラス、シリカガラスなどを用いることができる。
【００１８】
不織布に含まれる合成繊維とガラス繊維の重量比は、例えば、ＤＯＰ（平均粒径０．３〜０．５μｍ）を用いて測定される捕集効率が５０％以上となるように決定することが好ましいが、上記した捕集効率を具備する不織布を作製するに際し、ガラス繊維が少なすぎると不織布の厚さが厚くなり、ＰＴＦＥ多孔質膜と積層した後に行われるプリーツ加工が困難となる。一方、ガラス繊維が多すぎると通気性支持材の圧力損失が適当な値より大きくなる。また、主として強度を保持する合成繊維が不足して、不織布の加工およびＰＴＦＥ多孔質膜との接着が困難となる。通気性支持材２は、５．３ｃｍ／ｓの流速で空気を透過させたときの圧力損失が１５０Ｐａ以下であることが好ましい。
【００１９】
以上のことから、不織布に含まれる合成繊維とガラス繊維の重量比は、７：１〜１：１であることが好ましい。さらには、６：１〜２：１であることが好ましい。圧力損失の上昇（ＤＨＣ値）が、ガラス繊維製濾材のそれより小さく、ガラス繊維製濾材に比べて長寿命のエアフィルタ用濾材を提供できるからである。また、圧力損失（初期値）についても、ガラス繊維製濾材のそれより小さいため、このようなエアフィルタ用濾材を用いた空気清浄装置において、消費電力を低く抑え、ランニングコストを低減できるからである。
【００２０】
合成繊維とガラス繊維とを含む不織布の作製方法は特に限定されないが、合成繊維とガラス繊維とを湿式または乾式でブレンドし、抄紙し、それを加熱して、各繊維を接着する方法が一般的である。芯鞘構造を有する合成繊維を用いる場合は、鞘成分を溶融させて合成繊維とガラス繊維とを接着してもよい。また、バインダー、例えばポリビニルアルコール水溶液などを用いて合成繊維とガラス繊維とを接着させることもできる。
【００２１】
エアフィルタ用濾材は、図１に示した形態の他に、図２に示すように、ＰＴＦＥ多孔質膜１の一方の面側に２層以上の通気性支持材２を含んでいてもよい。また、複数のＰＴＦＥ多孔質膜と複数の通気性支持材とが交互に積層されていてもよいし、ＰＴＦＥ多孔質膜および通気性支持材のいずれか一方もしくは両方が連続して積層されている部分があってもよいが、ガラス繊維を含む通気性支持材の下流側には少なくとも１層のＰＴＦＥ多孔質膜が配置されていることが好ましい。通気性支持材２に付着したガラス繊維などがあってもＰＴＦＥ多孔質膜によって捕集することができ、下流側にガラス繊維などが流れ出すことを防止できるからである。
【００２２】
また、エアフィルタ用濾材は、図１および図２に示した形態の他に、ＰＴＦＥ多孔質膜１および通気性支持材２とは別の通気性材料３（図３および図４参照）をさらに含んでいてもよい。この通気性材料３の圧力損失は、通常、５〜２５Ｐａである。
【００２３】
通気性材料３は、材質、形態などについて、特に限定されないが、ＰＴＦＥ多孔質膜１および通気性支持材２より通気性に優れた材料、例えば、不織布、織布、メッシュ（網目状シート）、その他の多孔質材料を用いることができる。ただし、強度、柔軟性、作業性の点からは不織布が好ましい。通気性材料３の材料としては、特に限定するものではないが、ポリオレフィン（ＰＥ、ＰＰなど）、ポリアミド、ポリエステル（ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）など）、芳香族ポリアミド、あるいはこれらの複合材などからなるものを用いることができる。一部または全部の繊維が芯鞘構造の複合繊維を用いることが一般的であり、芯繊維が鞘繊維より相対的に融点が高い合成繊維であることが好ましい。
【００２４】
通気性材料３の配置位置は、特に限定されることなく、例えば、図３に示すように、ＰＴＦＥ多孔質膜１と通気性支持材２の間に配置してもよいし、図４に示すように、ＰＴＦＥ多孔質膜１の通気性支持材２が配置された面側の反対面側に配置してもよい。ただし、図４に示した形態の場合は、通気性材料３は、上記した材料中にガラス繊維を含まないことが好ましい。ガラス繊維が、エアフィルタ濾材の下流側に流れ出すおそれがあるからである。
【００２５】
ＰＴＦＥ多孔質膜１は、使用用途に応じた捕集機能が発揮されるものであれば、孔径などについて特に限定されないが、通常、平均孔径０．０１〜５μｍ、厚み３〜５０μm、５．３ｃｍ／ｓの流速で空気を透過させたときの圧力損失が５０〜１０００Ｐａであることが好ましい。
【００２６】
上記したＰＴＦＥ多孔質膜は、従来から用いられてきた方法により作製することができるが、以下にその作製方法の一例を説明する。まず、ＰＴＦＥファインパウダーに液状潤滑剤を加えたペースト状の混和物を予備成形する。液状潤滑剤としては、ＰＴＦＥファインパウダーの表面を濡らすことができ、抽出や加熱することより除去することができるものであれば特に限定されず、例えば、ナフサ、ホワイトオイルなどの炭化水素を使用することができる。液状潤滑剤の添加量は、ＰＴＦＥファインパウダー１００重量部に対して５〜５０重量部程度が適当である。上記した予備成形は、液状潤滑剤が絞り出されない程度の圧力で行う。次に、予備成形体を押出し、圧延することによってシート状に成形し、このようにして得られたシート状の成形体を少なくとも一軸方向に延伸してＰＴＦＥ多孔質膜を得る。尚、延伸は、液状潤滑剤を除去してから行うとよい。延伸条件は、適宜設定できるが、通常、温度は３０〜３２０℃であり、延伸倍率は、縦方向、横方向ともに２〜３０倍である。また、延伸後にＰＴＦＥ多孔質膜をＰＴＦＥの融点以上に加熱して焼成すれば、強度を高めることができる。
【００２７】
このようにして得られたＰＴＦＥ多孔質膜１と、通気性支持材２および通気性材料３を積層する方法は、特に限定されず、例えば、接着剤ラミネート、熱ラミネートなどの方法を適用することができるが、熱により通気性支持材２や通気性材料３の一部を溶融し、隣接する層の対向する面に部分的に接着する熱ラミネートが好ましい。このように接着剤を用いずに接着すると、余分な重量増加がなく、通気性の低下も抑えることができ、接着後に行うプリーツ加工も行い易い。
【００２８】
このようにして得られたエアフィルタ用濾材は、通常、プリーツ加工され、ＰＴＦＥ多孔質膜１と通気性支持材２および／または通気性材料３とが対向する面において互いに接触しないように、ホットメルトなどでビードが形成され、さらに金属枠などで枠付けされてエアフィルタユニットとなる。
【００２９】
プリーツ加工は、例えば、外周にブレードを配置した一対の回転ドラムを回転させながら濾材をひだ折りしていくロータリー方式、濾材の移送方向に所定の間隔をおいて配置した一対のブレードを移動させながら濾材を両面から交互に折り畳んでいくレシプロ方式などにより行われる。
【００３０】
ＰＴＦＥ多孔質膜１、通気性支持材２および通気性材料３は、上記した積層工程およびエアフィルタユニットヘの加工工程において、摩擦により帯電しやすい。帯電して表面電位が高くなったＰＴＦＥ多孔質膜１、通気性支持材２および通気性材料３に導電体が近づいたり、人間が素手で触れたりすると、放電(スパーク)して、ＰＴＦＥ多孔質膜１に貫通孔が形成されることがある。ＰＴＦＥ多孔質膜１に上記した貫通孔が形成されると、ＰＴＦＥ多孔質膜１の孔径の短径よりも粒子径が小さい粒子について、捕集効率の粒子径依存性がなくなる、いわゆるリーク現象が発生する。このようなリークの発生を防止するためには、上記した積層工程およびエアフィルタユニットヘの加工工程において、摩擦が発生しやすい場所に帯電除去装置を配置して帯電除去を行うとよい。
【００３１】
また、帯電を抑制するために、帯電しにくいＰＴＦＥ多孔質膜、通気性支持材および通気性材料を用いてもよい。例えば、カーボン、金属粉などの導電性材料を練り込んだＰＴＦＥ多孔質膜、通気性支持材および通気性材料を用いたり、スパッタ処理、放電処理または界面活性剤のコーティング処理などを施して、親水化処理したＰＴＦＥ多孔質膜、通気性支持材および通気性材料を用いてもよい。
【００３２】
尚、上記した帯電を抑制する方法のうち、いずれを採用する場合においても、ＰＴＦＥ多孔質膜、通気性支持材および通気性材料の表面電位の絶対値が０．３ｋＶ以下となる程度にまで低下させればよい。表面電位は、市販の表面電位計を用いれば容易に測定できる。
【００３３】
エアフィルタ用濾材全体の厚みは、０．２〜０．８ｍｍが好ましく、特には、０．３〜０．６ｍｍが好ましい。厚すぎると圧力損失が大きくなり、プリーツ加工もしづらくなり、一方、薄すぎると剛性が低下するためにプリーツ加工がしづらくなるからである。
【００３４】
【実施例】
次に、本発明のエアフィルタ用濾材の一例について、具体的に説明する。
【００３５】
（実施例１）
ＰＴＦＥファインパウダー（旭・ＩＣＩフロロポリマーズ社製、フルオンＣＤ−１２３）１００重量部に対して液状潤滑剤（流動パラフィン）３０重量部を均一に混合し、この混合物を円筒状に予備成形し、次いでこれを丸棒状に押出成形した。この丸棒状の成形体を、液状潤滑剤を含んだままの状態で１対の金属圧延ロールの間に通し、厚み０．２ｍｍに圧延した。次に、液状潤滑剤をノルマルデカンにより抽出除去した後、温度３００℃で、長さ（縦）方向に１０倍、次いで温度１２０℃で、横方向に３０倍に延伸し、さらに温度４００℃で０．５秒間加熱して焼成した。このようにしてＰＴＦＥ多孔質膜(厚み１０μｍ、気孔率９３％、平均孔径１．０μm、圧力損失１６２Ｐａ、捕集効率９９．９９％)を作製した。
【００３６】
芯鞘構造のポリエステル繊維（芯成分は融点２６０℃の高融点ポリエステル繊維、鞘成分は融点２３０℃低融点ポリエステル繊維、平均繊維径２５μｍ、平均繊維長６０００μｍ）８５重量％とガラス繊維（平均繊維径０．５μｍ、平均繊維長１０００μｍ）１５重量％を含む混合物をポリエチレンオキシド水溶液（ポリエチレンオキシド濃度０．２重量％）中に分散させ、抄紙し、それを２３５℃で３分間加熱して、厚さ０．２５ｍｍの通気性支持材（不織布）を作製した。尚、繊維（芯鞘構造のポリエステル繊維とガラス繊維）とポリエチレンオキシド水溶液の重量比は４：６とした。次に、この通気性支持材と上記したＰＴＦＥ多孔質膜とを熱ラミネート方式（加熱ロール温度、２８５℃）でラミネートし、２層構造のエアフィルタ用濾材を得た。
【００３７】
（実施例２）
実施例１で用いた芯鞘構造のポリエステル繊維の割合を８０重量％、実施例１で用いたガラス繊維の割合を２０重量％としたこと以外は実施例１と同様である。通気性支持材の厚みは０．２５ｍｍである。
【００３８】
（実施例３）
実施例１で用いた芯鞘構造のポリエステル繊維の割合を７０重量％、実施例１で用いたガラス繊維の割合を３０重量％としたこと以外は実施例１と同様である。通気性支持材の厚みは０．２５ｍｍである。
【００３９】
（実施例４）
ＰＰ繊維（平均繊維径３０μｍ、平均繊維長７０００μｍ）８８重量％とガラス繊維（平均繊維径０．５μｍ、平均繊維長１０００μｍ）１２重量％を含む混合物をポリビニルアルコール水溶液（ポリビニルアルコール濃度３．５重量％）中に分散させ、抄紙し、それを１５０℃で３分間加熱して、厚さ０．２ｍｍの通気性支持材（不織布）を作製した。繊維（ＰＰ繊維とガラス繊維）とポリビニルアルコール水溶液の重量比は４：６とした。次に、この通気性支持材と実施例１で作製したＰＴＦＥ多孔質膜とを熱ラミネート方式（加熱ロール温度、１８０℃）でラミネートし、２層構造のエアフィルタ用濾材を得た。
【００４０】
（実施例５）
長さ（縦）方向の延伸倍率を１８倍としたこと以外は実施例１と同様にしてＰＴＦＥ多孔質膜を作製した（厚み５μｍ、気孔率９２％、平均孔径１．８μｍ、圧力損失７０Ｐａ、捕集効率９９．９９％）。次に、実施例１で用いた芯鞘構造のポリエステル繊維の割合を５０重量％、実施例１で用いたガラス繊維の割合を５０重量％とし、実施例１と同様にして、厚み０．２５ｍｍの通気性支持材を作製した。この通気性支持材と上記のＰＴＦＥ多孔質膜とを実施例１と同様の条件で熱ラミネートして、２層構造のエアフィルタ用濾材を得た。
【００４１】
（比較例１）
通気性支持材を、実施例１で用いた芯鞘構造のポリエステル繊維のみから作製したこと以外は実施例１と同様である。通気性支持材の厚みは０．２５ｍｍである。
【００４２】
（比較例２）
一般的なガラス繊維からなるエアフィルタ用濾材（北越製紙製、ＨＥＰＡ用濾材、Ｈ３８０−Ａ、厚み０．４ｍｍ）を用意した。
【００４３】
実施例１〜５、比較例１または２において作製されたＰＴＦＥ多孔質膜、通気性支持材およびエアフィルタ用濾材について、下記に示す方法により捕集効率、圧力損失、ＤＨＣ（Dust Holding Capacity：圧力損失の上昇性）を測定し、その結果を表１に示した。
【００４４】
［圧力損失］ サンプルを有効面積１００ｃｍ2の円形ホルダーにセットし、入り口側から空気を供給しつつ、入口側と出口側に圧力差を与え、このサンプルを通過する空気の流速を５．３ｃｍ／ｓに調整したときの圧力損失（初期値）を圧力計（マノメーター）で測定した。サンプルは、空気を供給する入口側に通気性支持材が配置されるように円形ホルダーにセットした。
【００４５】
［ＤＨＣ］ 圧力損失の測定方法と同様にして、サンプルに空気を流速１０．６ｃｍ／ｓで７日間透過させ、７日後の圧力損失を測定した。
【００４６】
［捕集効率］ 圧力損失の測定と同一の装置を用い、サンプルを通過する空気の流速を５．３ｃｍ／ｓに調整しながら、サンプルの上流側にＤＯＰ（粒径０．３〜０．５μｍ）を濃度が約１０7個／リットルとなるように供給し、上流側の粒子濃度とサンプルを透過してきた下流側の粒子濃度とをパーティクルカウンターで測定し、その測定値を下記の式に代入して捕集効率を求めた。
捕集効率（％）＝（１−（下流側濃度／上流側濃度））×１００
【００４７】
【表１】
【００４８】
表１に示すように、実施例１〜５のエアフィルタ用濾材は、通気性支持材が、合成繊維５０〜８８重量％、ガラス繊維１２〜５０重量％を含む材料から形成されているが、このように通気性支持材がガラス繊維を含むことによって、通気性支持材の捕集効率が著しく向上している。そのため、実施例１〜５のエアフィルタ用濾材は、圧力損失の上昇（ＤＨＣ値）について、ガラス繊維製濾材（比較例２）と同等か、あるいはガラス繊維製濾材より抑制されている。特に、合成樹脂５０〜８６重量％、ガラス繊維１４〜５０重量％（重量比６：１〜２：１）を含む材料から形成された不織布を通気性支持材として用いた場合、圧力損失の上昇（ＤＨＣ値）は、ガラス繊維製濾材（比較例２）のそれより小さい。したがって、ガラス繊維製濾材に比べて長寿命のエアフィルタ用濾材を提供することができる。また、圧力損失（初期値）についても、ガラス繊維製濾材（比較例２）のそれより小さいので、このようなエアフィルタ用濾材を用いた空気清浄装置において、消費電力を低く抑え、ランニングコストを低減できる。
【００４９】
【発明の効果】
以上説明したとおり、本発明によれば、目づまりが起こり難く、寿命の長いエアフィルタ用濾材を容易に提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のエアフィルタ用濾材の一形態を示す一部断面図
【図２】 本発明のエアフィルタ用濾材の別の一形態を示す一部断面図
【図３】 本発明のエアフィルタ用濾材の別の一形態を示す一部断面図
【図４】 本発明のエアフィルタ用濾材の別の一形態を示す一部断面図
【符号の説明】
１ ＰＴＦＥ多孔質膜
２ 通気性支持材
３ 通気性材料
【発明の属する技術分野】
本発明は、ポリテトラフルオロエチレン(以下「ＰＴＦＥ」という)多孔質膜を用いたエアフィルタ用濾材、その使用方法、そのエアフィルタ用濾材を用いたエアフィルタユニット、およびＰＴＦＥ多孔質膜と積層され、エアフィルタ濾材として使用される通気性支持材に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、クリーンルームで使用されるエアフィルタ用濾材には、ガラス繊維にバインダーを加えて抄紙したもの（以下「ガラス繊維製濾材」という）が多く用いられてきた。しかしこのような濾材には、濾材中に付着した小繊維が存在したり、折り曲げ加工時に発塵するといった問題があった。さらにこの濾材には、フッ酸など、ある種の化学薬品と接触すると発塵するという問題もあった。
【０００３】
ＰＴＦＥはクリーンな材料であり、近年、ＰＴＦＥ多孔質膜を含む濾材が、半導体工業などのクリーンルームに用いられる高性能エアフィルタの濾材として使用され始めている。特開２０００−６１２８０号公報に記載されているエアフィルタ用濾材はその一例である。一般に、ＰＴＦＥ多孔質膜は、補強のための通気性支持材とラミネートされてエアフィルタ用濾材とされる。このエアフィルタ用濾材は、連続したＷ字状のひだ折り加工（以下「プリーツ加工」という）がなされ、さらに枠付けされてエアフィルタユニットとして用いられる。
【０００４】
【特許文献１】
特開平２０００−６１２８０号公報（第３−４頁、第２−５図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記したＰＴＦＥ多孔質膜は、同じ圧力損失のガラス繊維製濾材に比べ捕集効率が高い。これは、ＰＴＦＥ多孔質膜が、微細透孔が多数分散した構造をしていることに起因する。両者の厚みを比べると、ＰＴＦＥ多孔質膜の厚みは数μｍから数十μｍであり、ガラス繊維製濾材の厚みは数百μｍであり、ＰＴＦＥ多孔質膜はガラス繊維製濾材と比較すると極めて薄い。すなわち、ＰＴＦＥ多孔質膜の単位厚さあたりの捕集効率はガラス繊維製濾材のそれと比較すると極めて高い。その結果、ＰＴＦＥ多孔質膜を含むエアフィルタ用濾材は、ＰＴＦＥ多孔質膜の上流側近傍で多くの粉塵を保持するようになり、運転中の圧力損失の上昇がガラス繊維製濾材よりも短期間で生じるという問題があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明のエアフィルタ用濾材は、ＰＴＦＥ多孔質膜と通気性支持材とを含み、前記通気性支持材が、合成繊維とガラス繊維とを含む不織布であることを特徴とする。
【０００７】
本発明のエアフィルタユニットは、本発明のエアフィルタ用濾材を用いたことを特徴とする。
【０００８】
本発明のエアフィルタ用濾材の使用方法は、前記ＰＴＦＥ多孔質膜の気体の流れの上流側に、前記通気性支持材を配置することを特徴とする。
【０００９】
本発明の通気性支持材は、ＰＴＦＥ多孔質膜と積層され、エアフィルタ用濾材として使用される通気性支持材であって、合成繊維とガラス繊維とを含む不織布であることを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
ＰＴＦＥ多孔質膜を補強する通気性支持材には、通常、ＰＴＦＥ多孔質膜よりも通気性の高い不織布などが用いられる。本発明者らは、この通気性支持体にプレフィルタとしての機能を付加することを前提として、上記した問題の解決を試みた。
【００１１】
通気性支持材の捕集性能は、不織布を構成する繊維の径が小さいほど向上する。細い繊維の紡糸法としてメルトブロー法が知られているが、この方法により得られたポリプロピレン繊維からなる不織布では、厚み３５０μｍにおいて、多分散ジオクチルフタレート（以下「ＤＯＰ」と略す）（粒径０．３〜０．５μｍ）の捕集効率は４５％程度である。しかしながら、ＰＴＦＥ多孔質膜を含むエアフィルタ用濾材の圧力損失の上昇を、ガラス繊維製濾材の圧力損失の上昇と同程度とするか、それより抑制するためには、通気性支持材の捕集効率を５０％以上とすることが望ましい。通気性支持材の捕集効率を５０％以上とするには、上記したポリプロピレン製不織布の厚みを厚くすればよいが、捕集効率が５０％以上である不織布の厚みは極めて厚く、プリーツ加工に支障をきたしてしまう。
【００１２】
薄いガラス繊維製濾材を通気性支持材として使用することも考えられるが、薄いガラス繊維製濾材は強度が弱くプリーツ加工に耐えられない。また、ＰＴＦＥ多孔質膜との接着に際し、従来の通気性支持材とＰＴＦＥ多孔質膜とを接着する方法として容易な熱ラミネートによる方法を採用できない。
【００１３】
そこで、本発明者らは、主として強度を担う合成繊維と、主として高捕集能を担うガラス繊維とを含む不織布を通気性支持材として用いることとした。すなわち、本実施の形態のエアフィルタ用濾材は、ＰＴＦＥ多孔質膜と通気性支持材とを含み、通気性支持材が、合成繊維とガラス繊維とを含む不織布であることを特徴とする。本実施の形態のエアフィルタ用濾材によれば、通気性支持材がプレフィルタとして機能する。この通気性支持材の捕集機能によって、ＰＴＦＥ多孔質膜の目づまりが抑制されるので、エアフィルタ用濾材の圧力損失の上昇を抑制できる。また、通気性支持材が合成繊維とガラス繊維とを含む不織布であるので、プリーツ加工やＰＴＦＥ多孔質膜との接着も容易である。したがって、目づまりが起こり難く、寿命の長いエアフィルタ用濾材を容易に提供することができる。
【００１４】
以下に、本発明のエアフィルタ用濾材の一例を、図面を参照しながら説明する。
【００１５】
図１に示すように、本実施の形態のエアフィルタ用濾材は、ＰＴＦＥ多孔質膜１と通気性支持材２とを含んでいる。通気性支持材２は、合成繊維とガラス繊維とを含む不織布である。このエアフィルタ用濾材は、ＰＴＦＥ多孔質膜１の気体の流れの上流側に通気性支持材２を配置して使用されるため、通気性支持材２は、ＰＴＦＥ多孔質膜１を保護および補強するとともに、プレフィルタとしても機能する。
【００１６】
不織布を構成する合成繊維の材料、構造は特に限定されないが、一部または全部の繊維が芯鞘構造であり、芯繊維が鞘繊維より相対的に融点が高い複合繊維であることが好ましい。合成繊維の材料としては、特に限定されないが、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエステルあるいはこれらの複合材料などを用いることができる。
【００１７】
ガラス繊維としては、エアフィルタ用濾材として用いられるガラス繊維（平均繊維径０．２〜１μｍ、平均繊維長２００〜１５００μｍ）などを用いることができる。また、これらの繊維の組成についても、特に制限はなく、例えばホウ珪酸ガラス、シリカガラスなどを用いることができる。
【００１８】
不織布に含まれる合成繊維とガラス繊維の重量比は、例えば、ＤＯＰ（平均粒径０．３〜０．５μｍ）を用いて測定される捕集効率が５０％以上となるように決定することが好ましいが、上記した捕集効率を具備する不織布を作製するに際し、ガラス繊維が少なすぎると不織布の厚さが厚くなり、ＰＴＦＥ多孔質膜と積層した後に行われるプリーツ加工が困難となる。一方、ガラス繊維が多すぎると通気性支持材の圧力損失が適当な値より大きくなる。また、主として強度を保持する合成繊維が不足して、不織布の加工およびＰＴＦＥ多孔質膜との接着が困難となる。通気性支持材２は、５．３ｃｍ／ｓの流速で空気を透過させたときの圧力損失が１５０Ｐａ以下であることが好ましい。
【００１９】
以上のことから、不織布に含まれる合成繊維とガラス繊維の重量比は、７：１〜１：１であることが好ましい。さらには、６：１〜２：１であることが好ましい。圧力損失の上昇（ＤＨＣ値）が、ガラス繊維製濾材のそれより小さく、ガラス繊維製濾材に比べて長寿命のエアフィルタ用濾材を提供できるからである。また、圧力損失（初期値）についても、ガラス繊維製濾材のそれより小さいため、このようなエアフィルタ用濾材を用いた空気清浄装置において、消費電力を低く抑え、ランニングコストを低減できるからである。
【００２０】
合成繊維とガラス繊維とを含む不織布の作製方法は特に限定されないが、合成繊維とガラス繊維とを湿式または乾式でブレンドし、抄紙し、それを加熱して、各繊維を接着する方法が一般的である。芯鞘構造を有する合成繊維を用いる場合は、鞘成分を溶融させて合成繊維とガラス繊維とを接着してもよい。また、バインダー、例えばポリビニルアルコール水溶液などを用いて合成繊維とガラス繊維とを接着させることもできる。
【００２１】
エアフィルタ用濾材は、図１に示した形態の他に、図２に示すように、ＰＴＦＥ多孔質膜１の一方の面側に２層以上の通気性支持材２を含んでいてもよい。また、複数のＰＴＦＥ多孔質膜と複数の通気性支持材とが交互に積層されていてもよいし、ＰＴＦＥ多孔質膜および通気性支持材のいずれか一方もしくは両方が連続して積層されている部分があってもよいが、ガラス繊維を含む通気性支持材の下流側には少なくとも１層のＰＴＦＥ多孔質膜が配置されていることが好ましい。通気性支持材２に付着したガラス繊維などがあってもＰＴＦＥ多孔質膜によって捕集することができ、下流側にガラス繊維などが流れ出すことを防止できるからである。
【００２２】
また、エアフィルタ用濾材は、図１および図２に示した形態の他に、ＰＴＦＥ多孔質膜１および通気性支持材２とは別の通気性材料３（図３および図４参照）をさらに含んでいてもよい。この通気性材料３の圧力損失は、通常、５〜２５Ｐａである。
【００２３】
通気性材料３は、材質、形態などについて、特に限定されないが、ＰＴＦＥ多孔質膜１および通気性支持材２より通気性に優れた材料、例えば、不織布、織布、メッシュ（網目状シート）、その他の多孔質材料を用いることができる。ただし、強度、柔軟性、作業性の点からは不織布が好ましい。通気性材料３の材料としては、特に限定するものではないが、ポリオレフィン（ＰＥ、ＰＰなど）、ポリアミド、ポリエステル（ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）など）、芳香族ポリアミド、あるいはこれらの複合材などからなるものを用いることができる。一部または全部の繊維が芯鞘構造の複合繊維を用いることが一般的であり、芯繊維が鞘繊維より相対的に融点が高い合成繊維であることが好ましい。
【００２４】
通気性材料３の配置位置は、特に限定されることなく、例えば、図３に示すように、ＰＴＦＥ多孔質膜１と通気性支持材２の間に配置してもよいし、図４に示すように、ＰＴＦＥ多孔質膜１の通気性支持材２が配置された面側の反対面側に配置してもよい。ただし、図４に示した形態の場合は、通気性材料３は、上記した材料中にガラス繊維を含まないことが好ましい。ガラス繊維が、エアフィルタ濾材の下流側に流れ出すおそれがあるからである。
【００２５】
ＰＴＦＥ多孔質膜１は、使用用途に応じた捕集機能が発揮されるものであれば、孔径などについて特に限定されないが、通常、平均孔径０．０１〜５μｍ、厚み３〜５０μm、５．３ｃｍ／ｓの流速で空気を透過させたときの圧力損失が５０〜１０００Ｐａであることが好ましい。
【００２６】
上記したＰＴＦＥ多孔質膜は、従来から用いられてきた方法により作製することができるが、以下にその作製方法の一例を説明する。まず、ＰＴＦＥファインパウダーに液状潤滑剤を加えたペースト状の混和物を予備成形する。液状潤滑剤としては、ＰＴＦＥファインパウダーの表面を濡らすことができ、抽出や加熱することより除去することができるものであれば特に限定されず、例えば、ナフサ、ホワイトオイルなどの炭化水素を使用することができる。液状潤滑剤の添加量は、ＰＴＦＥファインパウダー１００重量部に対して５〜５０重量部程度が適当である。上記した予備成形は、液状潤滑剤が絞り出されない程度の圧力で行う。次に、予備成形体を押出し、圧延することによってシート状に成形し、このようにして得られたシート状の成形体を少なくとも一軸方向に延伸してＰＴＦＥ多孔質膜を得る。尚、延伸は、液状潤滑剤を除去してから行うとよい。延伸条件は、適宜設定できるが、通常、温度は３０〜３２０℃であり、延伸倍率は、縦方向、横方向ともに２〜３０倍である。また、延伸後にＰＴＦＥ多孔質膜をＰＴＦＥの融点以上に加熱して焼成すれば、強度を高めることができる。
【００２７】
このようにして得られたＰＴＦＥ多孔質膜１と、通気性支持材２および通気性材料３を積層する方法は、特に限定されず、例えば、接着剤ラミネート、熱ラミネートなどの方法を適用することができるが、熱により通気性支持材２や通気性材料３の一部を溶融し、隣接する層の対向する面に部分的に接着する熱ラミネートが好ましい。このように接着剤を用いずに接着すると、余分な重量増加がなく、通気性の低下も抑えることができ、接着後に行うプリーツ加工も行い易い。
【００２８】
このようにして得られたエアフィルタ用濾材は、通常、プリーツ加工され、ＰＴＦＥ多孔質膜１と通気性支持材２および／または通気性材料３とが対向する面において互いに接触しないように、ホットメルトなどでビードが形成され、さらに金属枠などで枠付けされてエアフィルタユニットとなる。
【００２９】
プリーツ加工は、例えば、外周にブレードを配置した一対の回転ドラムを回転させながら濾材をひだ折りしていくロータリー方式、濾材の移送方向に所定の間隔をおいて配置した一対のブレードを移動させながら濾材を両面から交互に折り畳んでいくレシプロ方式などにより行われる。
【００３０】
ＰＴＦＥ多孔質膜１、通気性支持材２および通気性材料３は、上記した積層工程およびエアフィルタユニットヘの加工工程において、摩擦により帯電しやすい。帯電して表面電位が高くなったＰＴＦＥ多孔質膜１、通気性支持材２および通気性材料３に導電体が近づいたり、人間が素手で触れたりすると、放電(スパーク)して、ＰＴＦＥ多孔質膜１に貫通孔が形成されることがある。ＰＴＦＥ多孔質膜１に上記した貫通孔が形成されると、ＰＴＦＥ多孔質膜１の孔径の短径よりも粒子径が小さい粒子について、捕集効率の粒子径依存性がなくなる、いわゆるリーク現象が発生する。このようなリークの発生を防止するためには、上記した積層工程およびエアフィルタユニットヘの加工工程において、摩擦が発生しやすい場所に帯電除去装置を配置して帯電除去を行うとよい。
【００３１】
また、帯電を抑制するために、帯電しにくいＰＴＦＥ多孔質膜、通気性支持材および通気性材料を用いてもよい。例えば、カーボン、金属粉などの導電性材料を練り込んだＰＴＦＥ多孔質膜、通気性支持材および通気性材料を用いたり、スパッタ処理、放電処理または界面活性剤のコーティング処理などを施して、親水化処理したＰＴＦＥ多孔質膜、通気性支持材および通気性材料を用いてもよい。
【００３２】
尚、上記した帯電を抑制する方法のうち、いずれを採用する場合においても、ＰＴＦＥ多孔質膜、通気性支持材および通気性材料の表面電位の絶対値が０．３ｋＶ以下となる程度にまで低下させればよい。表面電位は、市販の表面電位計を用いれば容易に測定できる。
【００３３】
エアフィルタ用濾材全体の厚みは、０．２〜０．８ｍｍが好ましく、特には、０．３〜０．６ｍｍが好ましい。厚すぎると圧力損失が大きくなり、プリーツ加工もしづらくなり、一方、薄すぎると剛性が低下するためにプリーツ加工がしづらくなるからである。
【００３４】
【実施例】
次に、本発明のエアフィルタ用濾材の一例について、具体的に説明する。
【００３５】
（実施例１）
ＰＴＦＥファインパウダー（旭・ＩＣＩフロロポリマーズ社製、フルオンＣＤ−１２３）１００重量部に対して液状潤滑剤（流動パラフィン）３０重量部を均一に混合し、この混合物を円筒状に予備成形し、次いでこれを丸棒状に押出成形した。この丸棒状の成形体を、液状潤滑剤を含んだままの状態で１対の金属圧延ロールの間に通し、厚み０．２ｍｍに圧延した。次に、液状潤滑剤をノルマルデカンにより抽出除去した後、温度３００℃で、長さ（縦）方向に１０倍、次いで温度１２０℃で、横方向に３０倍に延伸し、さらに温度４００℃で０．５秒間加熱して焼成した。このようにしてＰＴＦＥ多孔質膜(厚み１０μｍ、気孔率９３％、平均孔径１．０μm、圧力損失１６２Ｐａ、捕集効率９９．９９％)を作製した。
【００３６】
芯鞘構造のポリエステル繊維（芯成分は融点２６０℃の高融点ポリエステル繊維、鞘成分は融点２３０℃低融点ポリエステル繊維、平均繊維径２５μｍ、平均繊維長６０００μｍ）８５重量％とガラス繊維（平均繊維径０．５μｍ、平均繊維長１０００μｍ）１５重量％を含む混合物をポリエチレンオキシド水溶液（ポリエチレンオキシド濃度０．２重量％）中に分散させ、抄紙し、それを２３５℃で３分間加熱して、厚さ０．２５ｍｍの通気性支持材（不織布）を作製した。尚、繊維（芯鞘構造のポリエステル繊維とガラス繊維）とポリエチレンオキシド水溶液の重量比は４：６とした。次に、この通気性支持材と上記したＰＴＦＥ多孔質膜とを熱ラミネート方式（加熱ロール温度、２８５℃）でラミネートし、２層構造のエアフィルタ用濾材を得た。
【００３７】
（実施例２）
実施例１で用いた芯鞘構造のポリエステル繊維の割合を８０重量％、実施例１で用いたガラス繊維の割合を２０重量％としたこと以外は実施例１と同様である。通気性支持材の厚みは０．２５ｍｍである。
【００３８】
（実施例３）
実施例１で用いた芯鞘構造のポリエステル繊維の割合を７０重量％、実施例１で用いたガラス繊維の割合を３０重量％としたこと以外は実施例１と同様である。通気性支持材の厚みは０．２５ｍｍである。
【００３９】
（実施例４）
ＰＰ繊維（平均繊維径３０μｍ、平均繊維長７０００μｍ）８８重量％とガラス繊維（平均繊維径０．５μｍ、平均繊維長１０００μｍ）１２重量％を含む混合物をポリビニルアルコール水溶液（ポリビニルアルコール濃度３．５重量％）中に分散させ、抄紙し、それを１５０℃で３分間加熱して、厚さ０．２ｍｍの通気性支持材（不織布）を作製した。繊維（ＰＰ繊維とガラス繊維）とポリビニルアルコール水溶液の重量比は４：６とした。次に、この通気性支持材と実施例１で作製したＰＴＦＥ多孔質膜とを熱ラミネート方式（加熱ロール温度、１８０℃）でラミネートし、２層構造のエアフィルタ用濾材を得た。
【００４０】
（実施例５）
長さ（縦）方向の延伸倍率を１８倍としたこと以外は実施例１と同様にしてＰＴＦＥ多孔質膜を作製した（厚み５μｍ、気孔率９２％、平均孔径１．８μｍ、圧力損失７０Ｐａ、捕集効率９９．９９％）。次に、実施例１で用いた芯鞘構造のポリエステル繊維の割合を５０重量％、実施例１で用いたガラス繊維の割合を５０重量％とし、実施例１と同様にして、厚み０．２５ｍｍの通気性支持材を作製した。この通気性支持材と上記のＰＴＦＥ多孔質膜とを実施例１と同様の条件で熱ラミネートして、２層構造のエアフィルタ用濾材を得た。
【００４１】
（比較例１）
通気性支持材を、実施例１で用いた芯鞘構造のポリエステル繊維のみから作製したこと以外は実施例１と同様である。通気性支持材の厚みは０．２５ｍｍである。
【００４２】
（比較例２）
一般的なガラス繊維からなるエアフィルタ用濾材（北越製紙製、ＨＥＰＡ用濾材、Ｈ３８０−Ａ、厚み０．４ｍｍ）を用意した。
【００４３】
実施例１〜５、比較例１または２において作製されたＰＴＦＥ多孔質膜、通気性支持材およびエアフィルタ用濾材について、下記に示す方法により捕集効率、圧力損失、ＤＨＣ（Dust Holding Capacity：圧力損失の上昇性）を測定し、その結果を表１に示した。
【００４４】
［圧力損失］ サンプルを有効面積１００ｃｍ2の円形ホルダーにセットし、入り口側から空気を供給しつつ、入口側と出口側に圧力差を与え、このサンプルを通過する空気の流速を５．３ｃｍ／ｓに調整したときの圧力損失（初期値）を圧力計（マノメーター）で測定した。サンプルは、空気を供給する入口側に通気性支持材が配置されるように円形ホルダーにセットした。
【００４５】
［ＤＨＣ］ 圧力損失の測定方法と同様にして、サンプルに空気を流速１０．６ｃｍ／ｓで７日間透過させ、７日後の圧力損失を測定した。
【００４６】
［捕集効率］ 圧力損失の測定と同一の装置を用い、サンプルを通過する空気の流速を５．３ｃｍ／ｓに調整しながら、サンプルの上流側にＤＯＰ（粒径０．３〜０．５μｍ）を濃度が約１０7個／リットルとなるように供給し、上流側の粒子濃度とサンプルを透過してきた下流側の粒子濃度とをパーティクルカウンターで測定し、その測定値を下記の式に代入して捕集効率を求めた。
捕集効率（％）＝（１−（下流側濃度／上流側濃度））×１００
【００４７】
【表１】
表１に示すように、実施例１〜５のエアフィルタ用濾材は、通気性支持材が、合成繊維５０〜８８重量％、ガラス繊維１２〜５０重量％を含む材料から形成されているが、このように通気性支持材がガラス繊維を含むことによって、通気性支持材の捕集効率が著しく向上している。そのため、実施例１〜５のエアフィルタ用濾材は、圧力損失の上昇（ＤＨＣ値）について、ガラス繊維製濾材（比較例２）と同等か、あるいはガラス繊維製濾材より抑制されている。特に、合成樹脂５０〜８６重量％、ガラス繊維１４〜５０重量％（重量比６：１〜２：１）を含む材料から形成された不織布を通気性支持材として用いた場合、圧力損失の上昇（ＤＨＣ値）は、ガラス繊維製濾材（比較例２）のそれより小さい。したがって、ガラス繊維製濾材に比べて長寿命のエアフィルタ用濾材を提供することができる。また、圧力損失（初期値）についても、ガラス繊維製濾材（比較例２）のそれより小さいので、このようなエアフィルタ用濾材を用いた空気清浄装置において、消費電力を低く抑え、ランニングコストを低減できる。
【００４９】
【発明の効果】
以上説明したとおり、本発明によれば、目づまりが起こり難く、寿命の長いエアフィルタ用濾材を容易に提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のエアフィルタ用濾材の一形態を示す一部断面図
【図２】 本発明のエアフィルタ用濾材の別の一形態を示す一部断面図
【図３】 本発明のエアフィルタ用濾材の別の一形態を示す一部断面図
【図４】 本発明のエアフィルタ用濾材の別の一形態を示す一部断面図
【符号の説明】
１ ＰＴＦＥ多孔質膜
２ 通気性支持材
３ 通気性材料
Claims (8)
- ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜と通気性支持材とを含み、前記通気性支持材が、合成繊維とガラス繊維とを含む不織布であることを特徴とするエアフィルタ用濾材。
- 前記合成繊維と前記ガラス繊維の重量比が７：１〜１：１である請求項１に記載のエアフィルタ用濾材。
- 前記通気性支持材は、５．３ｃｍ／ｓの流速で空気を透過させたときの圧力損失が１５０Ｐａ以下であり、粒径が０．３〜０．５μｍのジオクチルフタレートを用いて測定される捕集効率が５０％以上である請求項１に記載のエアフィルタ用濾材。
- 請求項１〜３のいずれかの項に記載のエアフィルタ用濾材を用いたことを特徴とするエアフィルタユニット。
- 請求項１〜３のいずれかの項に記載のエアフィルタ用濾材の使用方法であって、前記ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜の気体の流れの上流側に、前記通気性支持材を配置することを特徴とするエアフィルタ用濾材の使用方法。
- ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜と積層され、エアフィルタ用濾材として使用される通気性支持材であって、合成繊維とガラス繊維とを含む不織布であることを特徴とする通気性支持材。
- 前記合成繊維と前記ガラス繊維の重量比が７：１〜１：１である請求項６に記載の通気性支持材。
- 前記不織布は、５．３ｃｍ／ｓの流速で空気を透過させたときの圧力損失が１５０Ｐａ以下であり、粒径が０．３〜０．５μｍのジオクチルフタレートを用いて測定される捕集効率が５０％以上である請求項６に記載の通気性支持材。
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