JP2004186310A - 気体レーザのコロナ予備電離方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】コロナ放電による紫外光損失を減少させて紫外光を有効活用し、ガス励起量を向上する。
【解決手段】紫外光反射板40、42により、予備電離電極10から発生させたコロナ放電による紫外光18を主放電空間24に向けて反射する。
【選択図】 図3
【解決手段】紫外光反射板40、42により、予備電離電極10から発生させたコロナ放電による紫外光18を主放電空間24に向けて反射する。
【選択図】 図3
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、気体レーザのコロナ予備電離方法及び装置に係り、特に、XeClエキシマレーザ等の稀ガスを用いた気体レーザに用いるのに好適な、主電極の近傍に配設した予備電離電極により発生させたコロナ放電による紫外光を用いて、前置的ガス励起を起こすようにした気体レーザのコロナ予備電離方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
気体レーザにおける予備電離方法の1つに、直流あるいは交流高電圧間に比較的薄い誘電体物質を挿入することにより、誘電体表面に電荷が発生し、高電圧下に局所的な放電(コロナ放電)が起こることを利用した、コロナ放電予備電離方法がある。コロナ放電が発生すると、ガスは電離されるので、高温になり紫外線領域の光を放出する。気体レーザでは、このコロナ放電による紫外光を用いて、前置的ガス励起を起こしている。
【0003】
従来は、特許文献1や特許文献2に記載されているように、図1に示すような、例えば鋼線やニッケル線からなる電極線12の周りに空間14を介して中空の誘電体パイプ16を被せた予備電離電極(コロナバーとも称する)10を、図2に示す如く、高電圧側主電極20及びグランド側主電極22の近傍にそれぞれ配置して、主電極20、22と予備電離電極10の間でコロナ放電を発生させ、紫外光18を発生させていた。図において、矢印Aはレーザ媒質のガス流、24は、主放電が起こる位置(主放電空間と称する)、26、28は、主電極20、22の固定部品である。ここで、高電圧側主電極20近傍の予備電離電極はグランド電位、グランド側主電極22近傍の予備電離電極は高電位とされる。
【0004】
【特許文献1】
特開平11−204863号公報
【特許文献2】
特開2001−44542号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、コロナ放電による紫外光18は、主電極20、22の近傍で発生させるが、全方向に放射するので、主放電空間24のガス励起に関係する光量は少なく、紫外光のロスを生じるという問題点を有していた。
【0006】
本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたもので、コロナ放電による紫外光のロスを減少して、ガス励起量を向上することを課題とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、主電極の近傍に配設した予備電離電極により発生させたコロナ放電による紫外光を用いて、前置的ガス励起を起こすようにした気体レーザのコロナ予備電離方法において、紫外光反射ミラーにより、前記紫外光を主放電空間に向けて反射するようにして、前記課題を解決したものである。
【0008】
本発明は、又、主電極の近傍に配設した予備電離電極により発生させたコロナ放電による紫外光を用いて、前置的ガス励起を起こすようにした気体レーザのコロナ予備電離装置において、前記紫外光を主放電空間に向けて反射するための紫外光反射ミラーを設けることにより、同じく前記課題を解決したものである。
【0009】
又、前記紫外光反射ミラーが、放物面状の反射面を有するようにして、紫外光反射ミラーで反射された紫外光が効率良く主放電空間に集まるようにしたものである。
【0010】
又、前記紫外光反射ミラーの先端を外側に曲げたり、あるいは、紫外光反射ミラーのレーザ媒質ガス流入側先端を内側に曲げることにより、該紫外光反射ミラーがレーザのガス媒質流れを妨げないようにしたものである。
【0011】
又、前記紫外光反射ミラーを導体製として、該紫外光反射ミラーと前記予備電離電極の間でコロナ放電が発生するようにしたものである。
【0012】
あるいは、前記紫外光反射ミラーを絶縁体製として、前記予備電離電極との間でコロナ放電を発生させるため電極線を別に設けたものである。
【0013】
更に、前記絶縁体製紫外光反射ミラーの電極線近傍を金属でめっきして、反射効率を高めたものである。
【0014】
又、前記予備電離電極を複数設けて、紫外光光量を増やしたものである。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。
【0016】
本発明の第1実施形態は、図2に示した従来例と同様の1組の主電極20、22の両側に、図3に示す如く、それぞれ同型のコロナバー10を2組ずつ設置し、主電極20、22とその固定部品26、28の間に、表面が曲面ミラー状に精度よく削られた、主電極20、22に対して放物面状の導体製紫外光反射板40を挟み込み、コロナバー10の表面で発生する紫外光18を主放電極空間24に集光させるようにしたものである。
【0017】
前記紫外光反射板40の先端部40Aは、図示しないブロワによって送り込まれてくるレーザ媒質ガスの流れを妨げないように、外側に曲げられている。
【0018】
この紫外光反射板40の反射面によって、従来コロナ予備電離時にガス励起に寄与しなかった紫外光を効率よく主放電空間24に集光でき、予備電離効率を高めることが可能になる。
【0019】
ここで、コロナバー10は、主電極20、22と高電圧差を持たせないとコロナ放電が発生しないので、主電極がグランド側である場合には高電圧を印加し、逆に主電極が高電圧側である場合にはグランド電位として、常に高電位差が生じるようにする。
【0020】
該コロナバー10に使用する誘電体パイプ16の材料は、SiO2等のような絶縁耐圧が高く、且つ、誘電率の高いものが効果的である。
【0021】
従来、コロナ放電はコロナバー10と主電極20又は22間で発生させるものが多いが、本実施形態の場合、紫外光反射板40が導体製とされ、該紫外光反射板40と主電極20又は22が同電位であるため、該紫外光反射板40とコロナバー10間でコロナ放電を発生させることも可能である。従って、従来のように必ずしも主電極20又は22の近くにコロナバー10を固定する必要がなく、空間的自由度が従来よりも向上するため、本実施形態のように、一部のコロナバーを主電極から離し、複数本のコロナバーを取付けて紫外光の発生量を更に増やすことが可能となる。なお、コロナバーの数は片側2本に限定されず、1本又は3本以上であっても良い。
【0022】
前記紫外光反射板40の反射面の形状は、できるだけ主放電空間24に紫外光を集光できるよう、放物面状とするのが好適であるが、断面を直線状又は折れ線状として、加工を容易とすることも可能である。
【0023】
次に、紫外光反射ミラーを絶縁体で構成した本発明の第2実施形態について詳細に説明する。
【0024】
本実施形態は、図4に示す如く、紫外光反射ミラーをセラミックやガラス(SiO2)等の絶縁体製の紫外光反射板(絶縁反射板とも称する)42とし、該紫外光反射板42のコロナバー10近傍に、電位差を生じさせるための、放電によって融解しない金属製の電極線44を配設すると共に、該絶縁反射板42のコロナ放電が起こる領域を金属膜46でコーティングして反射効率を高めたものである。
【0025】
前記絶縁反射板42は、紫外光18を主放電空間24に効率良く集光させる役割と、レーザ媒質ガスを円滑に主放電電極間の主放電空間24に誘導させるガイドの役割を果たす。これによって、電極周辺で起こる恐れがあるレーザ媒質ガスの乱流をある程度抑制し、主放電をより安定にする効果をもたらす。
【0026】
第1実施形態のように紫外光反射ミラーを導電体製とした場合には、ミラー間や他のレーザ機内部品との間でアーク放電を起こさないような寸法と構造にする必要があるが、本実施形態によれば、他のレーザ機内部品等の配置が容易である。
【0027】
第2実施形態における全体配置の一例を図5に示す。図において、50はレーザ媒質ガスを主電極20、22間に送り込むためのブロワ、52は、そのケーシングである。
【0028】
本実施形態においては、第1実施形態と同様に紫外光反射板42の先端を外側に曲げているので、レーザ媒質ガスの圧力損失を少なくすることができる。
【0029】
なお、図6に示す変形例のように、紫外光反射板42のレーザ媒質ガス流入側先端42Bを内側に曲げたり、あるいは、図7に示す他の変形例のように、ブロワのケーシング52に完全に合わせた形状としてもよい。
【0030】
又、絶縁反射板のみで必要な反射光量が得られる場合には、金属膜46によるコーティングを省略することもできる。
【0031】
なお、本発明は、レーザアニール等の高出力エキシマ光源に用いるのに好適であるが、本発明の適用対象はこれに限定されない。紫外光反射ミラーの形状も板状に限定されず、例えばブロックの一面を反射面としたものでも良い。
【0032】
【発明の効果】
本発明によれば、紫外光を有効活用して、前置的ガス励起率を効率的に向上させ、レーザ出力やその安定性を向上することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】一般的な予備電離電極(コロナバー)の構成を示す断面図
【図2】従来のコロナ放電予備電離構造の一例を示す断面図
【図3】本発明の第1実施形態の構成を示す断面図
【図4】本発明の第2実施形態におけるコロナバー近傍の構成を示す断面図
【図5】第2実施形態の全体構成を示す断面図
【図6】第2実施形態の変形例の全体構成を示す断面図
【図7】第2実施形態の他の変形例の全体構成を示す断面図
【符号の説明】
10…予備電離電極(コロナバー)
18…紫外光
20、22…主電極
24…主放電空間
30…ガス流
40…紫外光反射板
42…紫外光絶縁反射板
44…電極線
46…金属膜
50…ブロワ
52…ケーシング
【発明の属する技術分野】
本発明は、気体レーザのコロナ予備電離方法及び装置に係り、特に、XeClエキシマレーザ等の稀ガスを用いた気体レーザに用いるのに好適な、主電極の近傍に配設した予備電離電極により発生させたコロナ放電による紫外光を用いて、前置的ガス励起を起こすようにした気体レーザのコロナ予備電離方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
気体レーザにおける予備電離方法の1つに、直流あるいは交流高電圧間に比較的薄い誘電体物質を挿入することにより、誘電体表面に電荷が発生し、高電圧下に局所的な放電(コロナ放電)が起こることを利用した、コロナ放電予備電離方法がある。コロナ放電が発生すると、ガスは電離されるので、高温になり紫外線領域の光を放出する。気体レーザでは、このコロナ放電による紫外光を用いて、前置的ガス励起を起こしている。
【0003】
従来は、特許文献1や特許文献2に記載されているように、図1に示すような、例えば鋼線やニッケル線からなる電極線12の周りに空間14を介して中空の誘電体パイプ16を被せた予備電離電極(コロナバーとも称する)10を、図2に示す如く、高電圧側主電極20及びグランド側主電極22の近傍にそれぞれ配置して、主電極20、22と予備電離電極10の間でコロナ放電を発生させ、紫外光18を発生させていた。図において、矢印Aはレーザ媒質のガス流、24は、主放電が起こる位置(主放電空間と称する)、26、28は、主電極20、22の固定部品である。ここで、高電圧側主電極20近傍の予備電離電極はグランド電位、グランド側主電極22近傍の予備電離電極は高電位とされる。
【0004】
【特許文献1】
特開平11−204863号公報
【特許文献2】
特開2001−44542号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、コロナ放電による紫外光18は、主電極20、22の近傍で発生させるが、全方向に放射するので、主放電空間24のガス励起に関係する光量は少なく、紫外光のロスを生じるという問題点を有していた。
【0006】
本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたもので、コロナ放電による紫外光のロスを減少して、ガス励起量を向上することを課題とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、主電極の近傍に配設した予備電離電極により発生させたコロナ放電による紫外光を用いて、前置的ガス励起を起こすようにした気体レーザのコロナ予備電離方法において、紫外光反射ミラーにより、前記紫外光を主放電空間に向けて反射するようにして、前記課題を解決したものである。
【0008】
本発明は、又、主電極の近傍に配設した予備電離電極により発生させたコロナ放電による紫外光を用いて、前置的ガス励起を起こすようにした気体レーザのコロナ予備電離装置において、前記紫外光を主放電空間に向けて反射するための紫外光反射ミラーを設けることにより、同じく前記課題を解決したものである。
【0009】
又、前記紫外光反射ミラーが、放物面状の反射面を有するようにして、紫外光反射ミラーで反射された紫外光が効率良く主放電空間に集まるようにしたものである。
【0010】
又、前記紫外光反射ミラーの先端を外側に曲げたり、あるいは、紫外光反射ミラーのレーザ媒質ガス流入側先端を内側に曲げることにより、該紫外光反射ミラーがレーザのガス媒質流れを妨げないようにしたものである。
【0011】
又、前記紫外光反射ミラーを導体製として、該紫外光反射ミラーと前記予備電離電極の間でコロナ放電が発生するようにしたものである。
【0012】
あるいは、前記紫外光反射ミラーを絶縁体製として、前記予備電離電極との間でコロナ放電を発生させるため電極線を別に設けたものである。
【0013】
更に、前記絶縁体製紫外光反射ミラーの電極線近傍を金属でめっきして、反射効率を高めたものである。
【0014】
又、前記予備電離電極を複数設けて、紫外光光量を増やしたものである。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。
【0016】
本発明の第1実施形態は、図2に示した従来例と同様の1組の主電極20、22の両側に、図3に示す如く、それぞれ同型のコロナバー10を2組ずつ設置し、主電極20、22とその固定部品26、28の間に、表面が曲面ミラー状に精度よく削られた、主電極20、22に対して放物面状の導体製紫外光反射板40を挟み込み、コロナバー10の表面で発生する紫外光18を主放電極空間24に集光させるようにしたものである。
【0017】
前記紫外光反射板40の先端部40Aは、図示しないブロワによって送り込まれてくるレーザ媒質ガスの流れを妨げないように、外側に曲げられている。
【0018】
この紫外光反射板40の反射面によって、従来コロナ予備電離時にガス励起に寄与しなかった紫外光を効率よく主放電空間24に集光でき、予備電離効率を高めることが可能になる。
【0019】
ここで、コロナバー10は、主電極20、22と高電圧差を持たせないとコロナ放電が発生しないので、主電極がグランド側である場合には高電圧を印加し、逆に主電極が高電圧側である場合にはグランド電位として、常に高電位差が生じるようにする。
【0020】
該コロナバー10に使用する誘電体パイプ16の材料は、SiO2等のような絶縁耐圧が高く、且つ、誘電率の高いものが効果的である。
【0021】
従来、コロナ放電はコロナバー10と主電極20又は22間で発生させるものが多いが、本実施形態の場合、紫外光反射板40が導体製とされ、該紫外光反射板40と主電極20又は22が同電位であるため、該紫外光反射板40とコロナバー10間でコロナ放電を発生させることも可能である。従って、従来のように必ずしも主電極20又は22の近くにコロナバー10を固定する必要がなく、空間的自由度が従来よりも向上するため、本実施形態のように、一部のコロナバーを主電極から離し、複数本のコロナバーを取付けて紫外光の発生量を更に増やすことが可能となる。なお、コロナバーの数は片側2本に限定されず、1本又は3本以上であっても良い。
【0022】
前記紫外光反射板40の反射面の形状は、できるだけ主放電空間24に紫外光を集光できるよう、放物面状とするのが好適であるが、断面を直線状又は折れ線状として、加工を容易とすることも可能である。
【0023】
次に、紫外光反射ミラーを絶縁体で構成した本発明の第2実施形態について詳細に説明する。
【0024】
本実施形態は、図4に示す如く、紫外光反射ミラーをセラミックやガラス(SiO2)等の絶縁体製の紫外光反射板(絶縁反射板とも称する)42とし、該紫外光反射板42のコロナバー10近傍に、電位差を生じさせるための、放電によって融解しない金属製の電極線44を配設すると共に、該絶縁反射板42のコロナ放電が起こる領域を金属膜46でコーティングして反射効率を高めたものである。
【0025】
前記絶縁反射板42は、紫外光18を主放電空間24に効率良く集光させる役割と、レーザ媒質ガスを円滑に主放電電極間の主放電空間24に誘導させるガイドの役割を果たす。これによって、電極周辺で起こる恐れがあるレーザ媒質ガスの乱流をある程度抑制し、主放電をより安定にする効果をもたらす。
【0026】
第1実施形態のように紫外光反射ミラーを導電体製とした場合には、ミラー間や他のレーザ機内部品との間でアーク放電を起こさないような寸法と構造にする必要があるが、本実施形態によれば、他のレーザ機内部品等の配置が容易である。
【0027】
第2実施形態における全体配置の一例を図5に示す。図において、50はレーザ媒質ガスを主電極20、22間に送り込むためのブロワ、52は、そのケーシングである。
【0028】
本実施形態においては、第1実施形態と同様に紫外光反射板42の先端を外側に曲げているので、レーザ媒質ガスの圧力損失を少なくすることができる。
【0029】
なお、図6に示す変形例のように、紫外光反射板42のレーザ媒質ガス流入側先端42Bを内側に曲げたり、あるいは、図7に示す他の変形例のように、ブロワのケーシング52に完全に合わせた形状としてもよい。
【0030】
又、絶縁反射板のみで必要な反射光量が得られる場合には、金属膜46によるコーティングを省略することもできる。
【0031】
なお、本発明は、レーザアニール等の高出力エキシマ光源に用いるのに好適であるが、本発明の適用対象はこれに限定されない。紫外光反射ミラーの形状も板状に限定されず、例えばブロックの一面を反射面としたものでも良い。
【0032】
【発明の効果】
本発明によれば、紫外光を有効活用して、前置的ガス励起率を効率的に向上させ、レーザ出力やその安定性を向上することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】一般的な予備電離電極(コロナバー)の構成を示す断面図
【図2】従来のコロナ放電予備電離構造の一例を示す断面図
【図3】本発明の第1実施形態の構成を示す断面図
【図4】本発明の第2実施形態におけるコロナバー近傍の構成を示す断面図
【図5】第2実施形態の全体構成を示す断面図
【図6】第2実施形態の変形例の全体構成を示す断面図
【図7】第2実施形態の他の変形例の全体構成を示す断面図
【符号の説明】
10…予備電離電極(コロナバー)
18…紫外光
20、22…主電極
24…主放電空間
30…ガス流
40…紫外光反射板
42…紫外光絶縁反射板
44…電極線
46…金属膜
50…ブロワ
52…ケーシング
Claims (10)
- 主電極の近傍に配設した予備電離電極により発生させたコロナ放電による紫外光を用いて、前置的ガス励起を起こすようにした気体レーザのコロナ予備電離方法において、
紫外光反射ミラーにより、前記紫外光を主放電空間に向けて反射することを特徴とする気体レーザのコロナ予備電離方法。 - 主電極の近傍に配設した予備電離電極により発生させたコロナ放電による紫外光を用いて、前置的ガス励起を起こすようにした気体レーザのコロナ予備電離装置において、
前記紫外光を主放電空間に向けて反射するための紫外光反射ミラーを設けたことを特徴とする気体レーザのコロナ予備電離装置。 - 前記紫外光反射ミラーが、放物面状の反射面を有することを特徴とする請求項2に記載の気体レーザのコロナ予備電離装置。
- 前記紫外光反射ミラーが、レーザ媒質ガスの流れを妨げないようにされていることを特徴とする請求項2又は3に記載の気体レーザのコロナ予備電離装置。
- 前記紫外光反射ミラーの先端が、外側に曲げられていることを特徴とする請求項4に記載の気体レーザのコロナ予備電離装置。
- 前記紫外光反射ミラーのレーザ媒質ガス流入側先端が、内側に曲げられていることを特徴とする請求項4に記載の気体レーザのコロナ予備電離装置。
- 前記紫外光反射ミラーが導体製とされ、該紫外光反射ミラーと前記予備電離電極の間でコロナ放電が発生するようにされていることを特徴とする請求項2乃至6のいずれかに記載の気体レーザのコロナ予備電離装置。
- 前記紫外光反射ミラーが絶縁体製とされ、前記予備電離電極との間でコロナ放電を発生させるため電極線が別に設けられていることを特徴とする請求項2乃至6のいずれかに記載の気体レーザのコロナ予備電離装置。
- 前記絶縁体製紫外光反射ミラーの電極線近傍が金属でめっきされていることを特徴とする請求項8に記載の気体レーザのコロナ予備電離装置。
- 前記予備電離電極が複数設けられていることを特徴とする請求項2乃至9のいずれかに記載の気体レーザのコロナ予備電離装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002349911A JP2004186310A (ja) | 2002-12-02 | 2002-12-02 | 気体レーザのコロナ予備電離方法及び装置 |
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JP2002349911A JP2004186310A (ja) | 2002-12-02 | 2002-12-02 | 気体レーザのコロナ予備電離方法及び装置 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004186310A true JP2004186310A (ja) | 2004-07-02 |
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ID=32752309
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JP2002349911A Pending JP2004186310A (ja) | 2002-12-02 | 2002-12-02 | 気体レーザのコロナ予備電離方法及び装置 |
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JP (1) | JP2004186310A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008111872A1 (ru) * | 2007-03-13 | 2008-09-18 | Optosystems Ltd. | Газоразрядный лазер |
US20140299759A1 (en) * | 2011-11-16 | 2014-10-09 | Owlstone Limited | Corona ionization device and method |
US20170053789A1 (en) * | 2011-11-16 | 2017-02-23 | Owlstone Limited | Corona ionization apparatus and method |
-
2002
- 2002-12-02 JP JP2002349911A patent/JP2004186310A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2008111872A1 (ru) * | 2007-03-13 | 2008-09-18 | Optosystems Ltd. | Газоразрядный лазер |
DE112008000610T5 (de) | 2007-03-13 | 2010-02-18 | Optosystems Ltd. | Gasentladungslaser |
DE202008018117U1 (de) | 2007-03-13 | 2011-08-18 | Optosystems Ltd. | Gasentladungslaser |
US8005126B2 (en) | 2007-03-13 | 2011-08-23 | Optosystems Ltd. | Gas-discharge laser |
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US20170053789A1 (en) * | 2011-11-16 | 2017-02-23 | Owlstone Limited | Corona ionization apparatus and method |
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