JP2004171711A

JP2004171711A - Contamination checking method, contamination checking medium and manufacturing method therefor

Info

Publication number: JP2004171711A
Application number: JP2002338953A
Authority: JP
Inventors: Takanobu Higuchi; 隆信樋口; Tetsuya Imai; 哲也今井; Makoto Okano; 誠岡野
Original assignee: Pioneer Electronic Corp
Current assignee: Pioneer Corp
Priority date: 2002-11-22
Filing date: 2002-11-22
Publication date: 2004-06-17

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a contamination checking method to detect contaminants on a recording medium. <P>SOLUTION: This contamination check method is for checking the contaminants on a recording medium, by having the surface of the recording medium irradiated with light and making photoelectric conversion on the returning light to obtain the signals, by adhering a light transmissive pattern on the surface of the recording medium, and it evaluates the signals obtained from the light returning from the surface of this pattern. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ディスク、光カードなどの記録媒体の汚れを検査する汚れ検査方法並びに汚れ検査媒体及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、ＣＤ（ＣｏｍｐａｃｔＤｉｓｃ）やＤＶＤ（ＤｉｇｉｔａｌＶｅｒｓａｔｉｌｅＤｉｓｃ）などの光ディスクの再生装置では、ディスク面に付着した指紋、ほこりや、黒点、キズなどの欠陥があると情報再生を失敗する場合がある。光ディスクの記録再生装置でもディスク面に欠陥があると記録を失敗することがある。これらディスク装置では、記録又は再生のためのピックアップを所望の位置に制御するトラッキングサーボ、フォーカスサーボ、チルトサーボなどのサーボ制御を用いている。欠陥はこれらサーボ制御を安定に動作させる障害となる。
【０００３】
例えばＤＶＤでは、光ディスク表面に付着した指紋汚れなどに対するシステム安定性の評価を行うために、一定の間隔で並んだドットを、インクを用いて光ディスク基板表面に印刷した後、あるいは、金属薄膜をスパッタリングや蒸着などの方法で光ディスク基板表面上に形成した後にエッチングによって形成する、などの方法によって作製し、指紋や欠陥の代替としていた（特許文献１及び２参照）。
【０００４】
従来のインクや金属薄膜を用いた指紋や欠陥の代替のドットでは、記録再生レーザ光が完全遮断されるため、システム信号（例えばフォーカスサム信号やフォーカスエラー信号）が通常レベルからＧＮＤレベルへＯＮ−ＯＦＦされる繰り返し信号が得られる。この波形は、基板表面に付着した光を透過しない汚れ（例えば、泥汚れ、インクの落書きなど）に近い特性が得られる。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１０−２４１２０８号公報
【０００６】
【特許文献２】
特開平１０−２４１２１０号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年では、大容量高記録密度の光情報媒体を実現するために、光源波長を短くし、かつ、対物レンズの開口数をさらに大きくした次世代光ディスクが提案されている。光源波長４０５ｎｍの半導体レーザと開口数０．８５の対物レンズを用いた光ディスク記録再生システムによって、直径１２０ｍｍの相変化型光ディスクに対して２３〜２７ＧＢの記録容量が実現可能である。次世代光ディスクではレーザ光が照射される側の光が透過する透明樹脂層（以下、カバー層と呼ぶ）の厚さを、従来の光ディスクよりも薄く０．１ｍｍとすることにより、ディスクチルトによって発生する信号劣化を抑制ことができる。
【０００８】
しかしながら、次世代光ディスクではカバー層表面に付着した光を透過しない汚れよりも、光学的に透明又は半透明の指紋などの汚れがシステム安定性に影響する。光学的に透明又は半透明の汚れがカバー層表面に付着した場合は、システム信号がＧＮＤレベルまで落ちきらずにサーボ範囲で変動することになるため、フォーカスサーボやトラッキングサーボが、より不安定になる傾向があった。
【０００９】
ところで、次世代光ディスクのように、対物レンズの開口数が例えば０．８５と大きなディスクシステムでは、透明又は半透明の汚れによって生じる球面収差の増大がフォーカスサーボやトラッキングサーボに与える影響が大きくなっており、光学透過性をもつ指紋汚れがサーボ破綻を生じる大きな原因になってきている。
【００１０】
本発明の解決しようとする課題には、実際の指紋汚れを模した光透過性を有する紋様を形成して、光記録媒体の汚れを検査する汚れ検査方法並びに汚れ検査媒体及びその製造方法を提供することが挙げられる。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の汚れ検査方法は、記録媒体の表面に光照射して前記記録媒体から戻る光を光電変換して信号を生成する、前記記録媒体の汚れを検査する汚れ検査方法であって、
光が透過する光透過性パターンを記録媒体の表面に付着せしめ、前記光透過性パターンが付着した前記表面から戻る光から生成される信号を評価することを特徴とする。
【００１２】
請求項１８記載の記録媒体汚れ検査油脂組成物は、脂肪酸、ワックスエステル、スクアレン、トリグリセリドを含む光透過性混合物からなることを特徴とする。
請求項２２記載の汚れ検査媒体は、記録層と、前記記録層上の光照射される側に形成された光透過層と、前記光透過層に固着されかつ光が透過する光透過性パターンと、からなることを特徴とする。
【００１３】
請求項３０記載の汚れ検査媒体の製造方法は、記録層と、前記記録層上の光照射される側に形成された光透過層と、前記光透過層に固着されかつ光が透過する光透過性パターンと、からなる汚れ検査媒体の製造方法であって、
輻射により硬化性又は可現像性を得る光透過性機能性樹脂の薄膜を前記光透過層上に形成し、形成すべき光透過性パターンの潜像を輻射により前記薄膜上に形成し、前記薄膜を現像処理して光透過性パターンを形成する工程を有することを特徴とする。
【００１４】
請求項３２記載の汚れ検査媒体の製造方法は、記録層と、前記記録層上の光照射される側に形成された光透過層と、前記光透過層に固着されかつ光が透過する光透過性パターンと、からなる汚れ検査媒体の製造方法であって、
輻射により硬化する光透過性機能性樹脂の薄膜を前記光透過層上に形成し、形成すべき光透過性パターンを有する金型を前記薄膜上に押圧し、光透過性パターンを形成する工程を有することを特徴とする。
【００１５】
請求項３４記載の汚れ検査媒体の製造方法は、記録層と、前記記録層上の光照射される側に形成された光透過層と、前記光透過層に固着されかつ光が透過する光透過性パターンと、からなる汚れ検査媒体の製造方法であって、
形成すべき光透過性パターンを有するスクリーン印刷原版又スタンプ原版を用意し、前記光透過層を溶解又は化合しない溶剤を含む光透過性樹脂塗料又は輻射により硬化する光透過性機能性樹脂を前記スクリーン印刷原版又スタンプ原版の該光透過性パターン上に付与し、前記スクリーン印刷原版又スタンプ原版を前記光透過層上に押圧して前記光透過性樹脂塗料又は光透過性機能性樹脂を付着させ光透過性パターンを形成する工程を有することを特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明による実施形態を図面を参照しつつ説明する。
実施形態の汚れ検査方法は、図１に示すように、光ディスク１などの光記録媒体のカバー層などの表面に光照射して記録媒体から戻る光を光電変換して信号を生成する。ここでは、光ディスク１に光が透過する光透過性パターンＦＰを記録媒体の表面に付着せしめ、光透過性パターンを除去した表面から戻る光から生成される信号を評価する。
【００１７】
汚れ耐性に関して欠陥を有する光ディスクを選別するためには、実際に光ディスクが使用される環境を擬似的に再現して、すなわち指紋などの汚れに模した光透過性パターン（以下、擬似指紋と呼ぶ）を光ディスク基板又はカバー層表面に付着させ、その「汚れ付着性」と「汚れ除去性」を測定する必要がある。指紋成分に似た成分を有する油脂組成物からなる擬似指紋を光ディスク基板表面に付着させ、その後、ある種の布などで擬似指紋を拭取る作業を行い、油脂組成物を付着させた後のシステム信号の評価と、拭取った後のシステム信号の相違の有無の評価を行えばよい。
【００１８】
また、指紋汚れに対するシステム安定性を確保するための記録再生装置設計ツールとしての汚れ検査用光ディスクが提供される。この汚れ検査用光ディスクは、指紋などの汚れに似せた保存安定性に優れた除去不可能な恒久パターン（以下、固定擬似指紋と呼ぶ）を光ディスク基板上に形成したものである。この汚れ検査用光ディスクの固定擬似指紋を記録再生システムで走査することによって得られるシステム信号におけるドロップアウト検出信号などでエラー発生の評価を行う。記録再生装置の設計を確実に行うためには、固定擬似指紋の高さ又は深さ、幅、ピッチ及び透過率などは、フォーカスサーボやトラッキングサーボの破綻を引き起こす限界点近傍を主として変更した数種類が用意できることが望ましい。すなわち、固定擬似指紋の高さ又は深さ、幅、ピッチ及び透過率などを安定に制御し、かつ作製の再現性を確保する必要がある。
【００１９】
［記録再生装置及び判定部］
図２は、光ディスクなどの記録媒体の汚れを検査する汚れ検査媒体を用いる光学式情報記録再生装置の一例の構成を概略的に示すブロック図である。光学式情報記録再生装置は、スピンドルモータで回転される記録媒体である光ディスク１にレーザビームを照射しその反射光を受光するピックアップ３を備えている。ピックアップ３は、後に詳述する光ディスク１に光を照射する照射部と、記録媒体からの反射光を受光し光電変換して光電変換信号を生成する信号検出部の一部である光検出器と、を備えている。光学式情報記録再生装置はピックアップの光検出器に接続された信号生成部ＳｇＤを有する。この信号処理部ＳｇＤは、システム信号（例えば、フォーカスサム信号、フォーカスエラー信号及びトラッキングエラー信号）などの光電変換信号を生成する生成回路（フォーカスサム生成回路、フォーカスエラー生成回路及びトラッキングエラー生成回路）（図示せず）を有する。システム信号は、対応するサーボ回路内のドライバへ供給され、例えばピックアップ３の対応する各種サーボ制御に供される。制御部２０はマイクロコンピュータなどの複数の回路で構成され、タイマ、サーボ制御量、トラッキングエラー値、フォーカスエラー値、汚れ判定の所定値などの種々のデータを保持するメモリ、及びイコライザの係数などを算出するための演算回路を含む。
【００２０】
光学式情報記録再生装置には、システム信号などの光電変換信号に基づいて記録媒体の異常部の存在を示す信号を出力する判定部５２が接続されている。判定部５２では、信号処理部ＳｇＤからのシステム信号及び再生信号などの光電変換信号のいずれか１以上を用い、その信号のバラツキいわゆる暴れを判定する信号を制御部２０へ供給する。
【００２１】
ピックアップ３は、図３に示すように、レーザ光源３１、ビームスプリッタ３３、対物レンズ３４、フォーカシングアクチュエータ３５、トラッキングアクチュエータ３６、集光レンズ系３７、光検出器３８を備えている。
対物レンズ３４は、レーザ光源３１からビームスプリッタ３３を介して供給されたレーザビームを集光して光ディスク１の記録面に照射する。光ディスク１の記録面からの反射光は、対物レンズ３４、ビームスプリッタ３３、及び集光レンズ系３７を介して光検出器３８の受光部に照射される。
【００２２】
対物レンズ３４を保持するホルダに設けられたフォーカシングアクチュエータ３５は、サーボ回路内のフォーカシングドライバから供給されたフォーカス駆動信号に応じて対物レンズ３４を光ディスク１の垂直方向、いわゆる対物レンズ３４の光軸に平行なフォーカス調整軌道上において移動せしめる。トラッキングアクチュエータ３６は、サーボ回路内のトラッキングドライバから供給されたトラッキング駆動信号に応じて対物レンズ３４の光軸を光ディスク１のディスク半径方向に移動せしめる。
【００２３】
非点収差法を例にすると、光検出器３８は、光ディスク１の記録面に形成されている記録トラック方向及び該記録トラック方向に垂直な方向に、それぞれ分離配置された４つの独立した受光部（いわゆる４分割光検出器）を備え、さらに、集光レンズ系３７には非点収差発生機能を付与してある。光検出器３８の受光部は、集光レンズ系３７から供給された反射光をそれぞれ受光してその光強度を光電変換し光電変換信号としてそれぞれ出力する。光検出器３８は、かかる光電変換信号を信号生成部ＳｇＤに供給する。なお、非点収差法だけでなく、例えば、位相差法によってシステム信号を生成することができる。
【００２４】
信号生成部ＳｇＤ内のフォーカスサム生成回路は、光電変換信号をすべて加算して、フォーカスサム信号として出力し、このフォーカスサム信号を制御部２０に供給する。また、その出力を読取信号ＲＦとして情報データ復調回路（図示せず）にも供給する。
信号生成部ＳｇＤ内のフォーカスエラー生成回路は、光検出器３８の互いに対角に配置されている受光部同士の出力和をそれぞれ求め、両者の差分を焦点ズレの量を示すフォーカスエラー信号として出力し、このこのフォーカスエラー信号をサーボ回路内のフォーカシングドライバに供給する。
【００２５】
サーボ回路内のフォーカシングドライバはフォーカスエラー信号に基づいてフォーカス駆動信号を生成する。この際、フォーカシングドライバは、制御部２０から供給される制御信号に応じたオン又はオフ状態となる。オン状態のフォーカシングドライバにより、ピックアップ３、フォーカスエラー生成回路及びフォーカシングドライバからなる系により、いわゆるフォーカスサーボループを形成する。オン状態とする制御信号が制御部２０からフォーカシングドライバに供給されたとき、かかるフォーカスサーボループの動作により、対物レンズ３４は、かかる光ディスク１の記録層にレーザビームの焦点を合わせるように駆動される。
【００２６】
信号生成部ＳｇＤ内のトラッキングエラー生成回路は、光検出器３８の互いに記録トラック方向に垂直な方向に配置されている受光部同士の出力差を求め、これをトラッキングエラー信号としてトラッキングドライバに供給する。
トラッキングドライバはトラッキングエラー信号に基づいてトラッキング駆動信号を生成する。トラッキングドライバは、制御部２０から供給された制御信号に応じたオン又はオフ状態となる。オン状態のトラッキングドライバにより、ピックアップ３、トラッキングエラー生成回路及びトラッキングドライバからなる系により、いわゆるトラッキングサーボループを形成する。トラッキングアクチュエータ３６により、対物レンズ３４からのレーザビームは光ディスク１の記録トラック上を追従するように駆動制御される。
【００２７】
判定部５２は例えば、フォーカスサム信号などのシステム信号のピーク検波回路とローパスフィルタ（ＬＰＦ）の組み合わせで、ＲＦエンベロープ検波信号を再生する。ＲＦエンベロープ検波信号は、比較器（図示せず）により、エンベロープレベルと所定の基準レベルとのレベル比較を行い、エンベロープレベルが基準レベルよりも小なるとき、所定の電圧レベルを有するドロップアウト検出信号を、一方、大なるとき、異なる電圧レベルを有する非ドロップアウト検出信号を生成して、汚れなどのドロップアウト検出に用いることができる。判定部５２は、記録媒体異常があることを示すドロップアウト検出信号を制御部２０に供給することもできる。
【００２８】
制御部２０又は判定部５２は、ディスクの異常判定をした場合、表示装置（図示せず）に汚れ付着量が多くシステムが破綻するなど警告を発したり、保護回路（図示せず）を動作させることもできる。
［欠陥をもつ光ディスクの判別方法］
光透過性パターンすなわち擬似指紋によって、光ディスク基板表面の「汚れ付着性」と「汚れ除去性」を評価し、汚れ耐性に関して欠陥を有する光ディスクを選別する方法すなわち汚れ検査方法の例を以下に説明する。
【００２９】
まず、擬似指紋を構成する光透過性の油脂組成物を脂肪酸、ワックスエステル及びスクアレン（ｓｑｕａｌｅｎｅ）の３種類の油脂（室温で液状の油脂）と、トリグリセリド（室温で固形の油脂）の混合物を調整する。ホホバ油は脂肪酸とワックスエステルの混合物として好ましく用いられる。例えば、油脂組成物は下記表１に示した配合比率で調整し用意する。
【００３０】
【表１】

油脂組成物には、さらに、その固形分を増加させるために、粘土粉末（クレイパウダー）を添加することができる。また、油脂組成物にはその光透過性を制御するために、染料や顔料を含むことができる。光透過性パターンの光透過性（汚れの程度）の調整は、トリグリセリドの配合比率、粘土粉末の添加量、染料又は顔料の添加量の変化によって行なう。
【００３１】
次に、擬似指紋の原型を作る。例えば、２００メッシュのナイロン製メッシュスクリーン上に線幅を０．３〜０．５ｍｍの範囲で変動させたピッチ０．７ｍｍの略平行線２０本からなる２０ｍｍ角擬似指紋を焼き付けて、スクリーン印刷用原版を用意する。なお、メッシュは２５．４ｍｍ×２５．４ｍｍ角の縦線及び横線の間に存在する目数の単位である。この原版は焼き付けた線部分のみ網目開口があるよう構成されている。スクリーン印刷用原版は市販の簡易的なスクリーン印刷原版作製機を用いて作製することができる。このように、少なくとも２００メッシュ以上のメッシュサイズを持つスクリーン上に作製した擬似指紋作製用のスクリーン印刷原版を通してスクリーン印刷の手法によって、上記の油脂組成物を光ディスク基板表面上に付着させる。
【００３２】
さらに、当然ながら、擬似指紋は角パターンに限定されずに、人間の手の指の指球（ｆｉｎｇｅｒ−ｐａｄ）における皮膚小稜（ｓｋｉｎ−ｒｉｄｇｅ）で、皮脂が形成するであろう弓状紋（ａｒｃｈ）、蹄状紋（ｌｏｏｐ）、渦状紋（ｗｈｏｒｌ）などの所定パターンを創作して、スクリーン印刷用原版を制作することもできる。すなわち、擬似指紋の光透過性パターンは指紋状の形状にする。指紋状の形状において、それを構成する線又は点の幅、高さ、ピッチ及び間隙は任意に存在、すなわちランダムにすることが好ましい。擬似指紋を構成する線の幅は０．０５ｍｍ〜０．５ｍｍ、高さは１μｍ〜５０μｍ、線ピッチは０．１ｍｍ〜１．０ｍｍの間で任意の数値をもって混在する。指紋状の形状は線と間隙からなり、略平行の線の集合、渦巻き、略同心円、略楕円、及びスタジアム型の少なくとも１つを含むようにできる。これにより、実際の指紋汚れのように光透過性を有する擬似指紋を形成することが可能になる。
【００３３】
次に、上記スクリーン印刷用原版上を用いて上記油脂組成物を、光ディスク基板表面に塗布する。
こうして得た擬似指紋付き光ディスク基板を記録再生装置（レーザ光源波長４０５ｎｍ、対物レンズ開口数０．８５）に装着して、ピックアップで走査し、フォーカスサム信号、フォーカスエラー信号、トラッキングエラー信号などのシステム信号を測定することによって、擬似指紋の付着量、すなわち、汚れ付着性を評価することができる。市販された光ディスクに対して擬似指紋パターンをその表面に付着させシステム信号を評価することによって、サーボ破綻を発生させる光ディスクを選別することが可能になる。
【００３４】
本実施形態の記録媒体汚れ検査用の油脂組成物を例えば、下記表２に示した配合比率で調整し、その適量を上記手順で光ディスクに擬似指紋を付着させた。
【００３５】
【表２】

一例として組成４の油脂組成物成分を用いて形成した擬似指紋の光学顕微鏡像を図４に示す。擬似指紋付着光ディスクを走査して得たシステム信号（フォーカスサム信号ＳＵＭ、フォーカスエラー信号Ｆ．Ｅ．、トラッキングエラー信号Ｔ．Ｅ．）を図５に示す。上記油脂組成物の配合比率は、人間の皮脂成分を構成する主要な物質とその比率を再現しているので、指紋汚れの評価に適している。
【００３６】
続いて、直径０．２ｍｍのポリエステルクマイクロファイバーからなる織布を用いて、光ディスク基板から付着している擬似指紋を除去する。汚れ除去性の評価は、直径０．２ｍｍ以下のポリエステルなどからなるマイクロファイバー製の織布又は不織布を用いて拭い去ることが好ましい。かかる拭き取り後の状態を評価することによって、指紋汚れ除去ができない光ディスクを選別することが可能となる。
【００３７】
除去した後に、再び記録再生装置を用いて、光ディスクに記録された信号のエラー発生率を測定することによって、汚れ除去性を評価することができる。このとき、擬似指紋を除去することができなければ、エラーが発生するからである。例えば、光ディスク基板表面と上記油脂組成物が化学的又は物理的に強固に結合しておれば、擬似指紋を除去することはできなくなる。
【００３８】
［汚れ検査用光ディスクとその作製方法］
汚れ検査用光ディスクは、記録層と、記録層上の光照射される側に形成された光透過層いわゆるカバー層と、該光透過層に固着されかつ光が透過する光透過性パターンいわゆる固定擬似指紋と、からなる。
固定擬似指紋は、例えば、液状フォトレジスト、感光性ドライフィルムレジストなど輻射により硬化性又は可現像性を得てパターン形成可能な機能性樹脂を光ディスク基板上に塗布、形成して、つぎに、光ディスク基板上の機能性樹脂膜に対して、擬似指紋の像をクロムなどからなるマスクを介して機能性樹脂膜に潜像として形成し、その後に現像処理を行ういわゆるフォトリソグラフィ法によって、作製できる。現像処理の後に加熱処理や紫外線照射などを行うことによって固定擬似指紋の強度を向上させることができる。
【００３９】
光ディスク基板上に形成した光硬化性樹脂に対して、擬似指紋を形成した金型を押し付けることによって作製する。金型剥離後に加熱処理や紫外線照射などによって、パターンの強度を向上させることができ、なお好ましい。金型押し付けによって形成される固定擬似指紋の高さは、カバー層表面を基準面として、凹形状（窪み）と凸形状（突起）のいずれであっても、また、凹凸が混在しても良い。
【００４０】
固定擬似指紋作製用のスタンプ原版をシリコーンなどのゴム製を用いて作製し、スタンプ原版を介して、液状紫外線硬化樹脂や樹脂塗料などを、光ディスク基板表面上に付着させることによって作製する。樹脂塗料は光ディスク基板を溶解又は化合しないいわゆる侵さない溶剤を使用した溶剤希釈系、又は、水系塗料を使用する。このように、擬似指紋作製用のスタンプ原版を介して、凸版印刷の手法によって、上記油脂組成物を光ディスク基板表面上に転写して付着させるが、スクリーン印刷原版を介して、スクリーン版印刷の手法によって、上記油脂組成物を光ディスク基板表面上に転写して付着させることもできる。また、光ディスク基板からのスクリーン印刷原版又はスタンプ原版の剥離後に光透過性パターンの加熱処理又は紫外線照射処理を行うことによって固定擬似指紋の強度を向上できる。
【００４１】
光透過性を制御するために、固定擬似指紋を形成する樹脂に染料や顔料を添加してもよい。かかる添加によって、指紋汚れの程度を定量的に再現することが可能になる。
固定擬似指紋の形状は、光透過性を有すること、パターンの幅、高さ又は深さ、ピッチ及び間隔などがランダムであり、そのマクロ形状は線又は点と間隙からなり、略平行の線の集合、渦巻き、略同心円、略楕円、スタジアム型を有している。また、パターンの幅は、０．０５ｍｍ〜０．５ｍｍ、高さ又は深さは１μｍ〜５０μｍ、パターンピッチは０．１ｍｍ〜１．０ｍｍの間で任意の数値をもって混在する。固定擬似指紋は経時変化が少なく保存安定性に優れるため、長期にわたって指紋汚れに対するシステム安定性を確保できる。
【００４２】
指紋汚れに対するシステム安定性を確保するための記録再生装置設計ツールとしての汚れ検査用光ディスクとその作製方法の一例を以下に詳細に説明する。
まず、よく研磨されたＳｉウエハー上にポジ型電子線用レジストＺＥＰ−５２０（日本ゼオン製）を厚さ１５０ｎｍになるよう塗布した。ホットプレート上でベークを施した後に、自社開発した電子線原盤マスタリング装置の真空チャンバー内に設置されたターンテーブル上に電子線レジスト付Ｓｉウエハーを取りつけ、スピンドルモータで電子線レジスト付Ｓｉウエハーを所定の回転数で回転させながら、微小なスポット径に集束された電子ビームを電子線レジスト上に断続的に照射した。電子ビームの照射パターンは記録信号に対応したＯＮ−ＯＦＦを繰り返し、電子線レジスト付Ｓｉウエハー上を移動することによって、記録信号に対応するスパイラル状の潜像が電子線レジスト中に形成される。このとき、記録信号は（１，７）変調により変調されたランダム信号を用い、最短ピットの長さは１４９ｎｍ、トラックピッチは３２０ｎｍになるよう設定した。この後、真空チャンバーから電子線レジスト付Ｓｉウエハーを取りだし、所定の現像液によって現像処理を施すと、レジスト上に記録信号に対応した窪み、すなわち、位相ピットが形成される。こうして得たＳｉ基板をレジスト原盤と呼ぶ。
【００４３】
電子線レジストをマスクとして、例えばＣＦ_４を反応性ガスに用いたリアクティブイオンエッチングによってＳｉを電気信号強度やドライブ制御信号が最適になる深さ、例えば６０ｎｍにエッチングし、位相ビットの形状をＳｉウエハー上に転写した。リアクティブイオンエッチング後にＳｉウエハー上に残った電子線レジストの残滓は、レジスト剥離液又はオゾンアッシングなどによって除去した。
【００４４】
Ｓｉウエハー上の位相ピットが形成された表面に、ニッケル（Ｎｉ）からなる導電膜をスパッタリング法などを用いて形成し、Ｎｉ薄膜を電極として液相ＮｉメッキによってＮｉスタンパー（マスタースタンパー）を作製した。スタンパー作製工程は従来の光ディスク作製工程と同様の工程を用いた。
マスタースタンパーを元に射出成形法を用いて、直径１２０ｎｍ厚さ１．１ｍｍの位相ビットが転写された樹脂基板を作製した。マスタースタンパー以外に常法によってマスタースタンパーから作製したレプリカであるベビースタンパーを用いてもよい。また、基板を形成する樹脂材料には、ＣＤやＤＶＤと同じくポリカーボネート（帝人化成製ＡＤ．５５０３）を使用した。ポリカーボネート以外にもアクリル樹脂、ポリオレフィン樹脂、などを用いてもよい。
【００４５】
樹脂基板の位相ピットが形成された表面に、ＡｌＴｉ（重量組成比Ａｌ：Ｔｉ＝９９：１）からなる反射膜を厚さ１５ｎｍになるようにスパッタリング法を用いて形成した。このとき用いるスパッタ装置は、後述するように反射膜物質の位相ピットの側壁に付着する量を低減し、樹脂基板に形成された位相ピット形状と光ビームによって読み取られる位相ピット形状の差を最小に押さえるように構成されている。続いて、厚さ９５μｍのポリカーボネート製フィルムを、紫外線硬化型接着剤（協立化学製ＷｏｒｌｄＲｏｃｋ８１１）を用いて、反射膜に接着した。このとき接着層の厚さは５μｍとし、反射膜上に形成するカバー層の厚さは合計で１００μｍになるように調整した。
【００４６】
以上で、固定擬似指紋を形成する土台となる光ディスクが完成する。
次に、線幅を０．３〜０．５ｍｍの範囲で変動させたピッチ０．７ｍｍの略平行線２０本からなる２０ｍｍ角の固定擬似指紋をシリコーンゴム板上に突起として形成し、スタンプ原版を作製した。このスタンプ原版は市販の一般的なスタンプ作製機で作製することができる。
【００４７】
次に、上記シリコーンゴム製スタンプを用いて液状紫外線硬化樹脂（協立化学製ＷｏｒｌｄＲｏｃｋ８１１）を上記用意した光ディスクのカバー層表面に固定擬似指紋として付着させる。本例では、染料や顔料は添加していない。その後、窒素ガス置換雰囲気下において紫外光を照射して当該樹脂を硬化させ、固定擬似指紋が付着した光ディスクが得られる。紫外光の光源は高圧水銀灯を使用した。
【００４８】
以上の工程を経て汚れ検査用光ディスクが完成する。
こうして得た固定擬似指紋を上記同様の記録再生装置を用いて走査したときのシステム信号（フォーカスサム信号ＳＵＭ、フォーカスエラー信号Ｆ．Ｅ．、トラッキングエラー信号Ｔ．Ｅ．）を図６に示す。同時に比較のために実際の指紋を採取し、上記同様に記録再生装置にて得たシステム信号（フォーカスサム信号ＳＵＭ、フォーカスエラー信号Ｆ．Ｅ．、トラッキングエラー信号Ｔ．Ｅ．）を図７に示す。両者はよく似ており、本実施形態の方法により作製した擬似指紋は、実際の指紋を再現しているといえる。また、固定擬似指紋の光学顕微鏡像を図８に示す。
【００４９】
［実験例］
複数の光ディスクに指紋を付着させたサンプルを用いて、光学式情報記録再生装置に装着して得られる出力に基づいて、そのフォーカシングサーボ及びトラッキングサーボの可否のサンプル数を、フォーカシングサーボの不可ＦＣＳＮＧ、トラッキングサーボの不可ＴＫＳＮＧ及び両者とも可ＯＫを基準に計数して、指紋を構成する線の幅及びピッチ並びにそのデューティ比を評価した。
【００５０】
図９、図１０及び図１１にその結果のヒストグラムを示し、縦軸に実指紋のサンプル数の頻度を示し、横軸にピッチ（μｍ）、幅（μｍ）及び幅／ピッチ（デューティ比％）をそれぞれ示す。
サンプルとして、２０才〜６０才台の日本人成人男女に関して、一般的なオフィス環境においてポリカーボネート樹脂に対して付着させた指紋汚れの形状を観察した。なお、指紋線の高さは指紋汚れの付着する表面状態によって異なるので無視した。指紋線の高さは付着物の表面性を考慮すると概ね幅の１／１０以下の高さと考えてよい。ピッチは小児や欧米人では上記範囲を超えるものと予想されるので広めに設定することが望ましい。
【００５１】
以上の結果より、擬似指紋の寸法のより好ましい範囲は、上記グラフのフォーカシングサーボ及びトラッキングサーボのＯＫとＮＧが混在する部分を網羅することが必要なので、擬似指紋のピッチ：４００〜６００μｍ、幅：２５０〜４００μｍ、幅／ピッチ（デューティ比）：７０〜８０％の範囲が適当である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による実施形態にかかる光ディスクを示す概略斜視図。
【図２】汚れ検査用光ディスクを用いる光学式情報記録再生装置を概略的に示すブロック図。
【図３】図２の光学式情報記録再生装置のピックアップを概略的に示す図。
【図４】本発明の実施形態の光ディスクに付着させた擬似指紋を撮影した光学顕微鏡写真。
【図５】本発明の実施形態の擬似指紋付着光ディスクを記録再生装置で走査して得たシステム信号を示すグラフ。
【図６】本発明の他の実施形態の擬似指紋付着光ディスクを記録再生装置で走査して得たシステム信号を示すグラフ。
【図７】実際の指紋を光ディスクを付着させ記録再生装置で走査して得たシステム信号を示すグラフ。
【図８】本発明の実施形態の光ディスクに付着させた固定擬似指紋を撮影した光学顕微鏡写真。
【図９】光学式情報記録再生装置に指紋付着光ディスクを装着して得られるフォーカシングサーボ及びトラッキングサーボの可否のサンプル数と、指紋を構成する線のピッチとの関係を示すグラフ。
【図１０】光学式情報記録再生装置に指紋付着光ディスクを装着して得られるフォーカシングサーボ及びトラッキングサーボの可否のサンプル数と、指紋を構成する線の幅との関係を示すグラフ。
【図１１】光学式情報記録再生装置に指紋付着光ディスクを装着して得られるフォーカシングサーボ及びトラッキングサーボの可否のサンプル数と、指紋を構成する線の幅／ピッチ（デューティ比）との関係を示すグラフ。
【符号の説明】
１光ディスク
３ピックアップ
５２判定部
ＳｇＤ信号生成部[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a dirt inspection method for inspecting dirt on a recording medium such as an optical disk and an optical card, a dirt inspection medium, and a method for manufacturing the same.
[0002]
[Prior art]
In general, in a reproducing apparatus for an optical disk such as a CD (Compact Disc) or a DVD (Digital Versatile Disc), if there are defects such as fingerprints, dust, black spots and scratches attached to the disk surface, information reproduction may fail. Even in a recording / reproducing apparatus for an optical disk, if the disk surface has a defect, recording may fail. These disk devices use servo control such as tracking servo, focus servo, and tilt servo for controlling a pickup for recording or reproduction to a desired position. Defects are obstacles to stable operation of these servo controls.
[0003]
For example, in the case of DVD, in order to evaluate system stability against fingerprint stains attached to the optical disk surface, dots arranged at regular intervals are printed on the optical disk substrate surface using ink, or a metal thin film is sputtered. It is formed by a method such as forming on the surface of an optical disk substrate by etching after forming it on the surface of an optical disk by vapor deposition or the like, and substitutes for fingerprints and defects (see Patent Documents 1 and 2).
[0004]
In the case of conventional dots using fingerprints or defects using ink or metal thin films, the recording / reproducing laser beam is completely shut off, so that the system signal (for example, focus sum signal or focus error signal) is turned on from the normal level to the GND level. A repetitive signal that is turned off is obtained. This waveform has characteristics close to stains that do not transmit light adhering to the substrate surface (for example, mud stains, ink graffiti, etc.).
[0005]
[Patent Document 1]
JP-A-10-241208
[0006]
[Patent Document 2]
JP-A-10-241210
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, in order to realize an optical information medium having a large capacity and a high recording density, a next-generation optical disk has recently been proposed in which the wavelength of the light source is shortened and the numerical aperture of the objective lens is further increased. An optical disk recording / reproducing system using a semiconductor laser having a light source wavelength of 405 nm and an objective lens having a numerical aperture of 0.85 can achieve a recording capacity of 23 to 27 GB for a phase change optical disk having a diameter of 120 mm. In the next-generation optical disk, the thickness of the transparent resin layer (hereinafter referred to as the cover layer) through which the light irradiated by the laser beam is transmitted is set to 0.1 mm, which is smaller than that of the conventional optical disk. Signal degradation can be suppressed.
[0008]
However, in the next-generation optical disc, stains such as optically transparent or translucent fingerprints affect system stability more than stains that do not transmit light adhering to the cover layer surface. If optically transparent or translucent dirt adheres to the surface of the cover layer, the system signal fluctuates in the servo range without falling to the GND level, so that the focus servo and the tracking servo become more unstable. There was a tendency.
[0009]
By the way, in a disk system in which the numerical aperture of the objective lens is as large as 0.85, for example, as in the next-generation optical disk, an increase in spherical aberration caused by transparent or translucent stain has a great influence on focus servo and tracking servo. Accordingly, fingerprint stains having optical transparency are a major cause of servo failure.
[0010]
The problem to be solved by the present invention is to provide a dirt inspection method for forming dirt on an optical recording medium by forming a pattern having light transmittance simulating actual fingerprint dirt, a dirt inspection medium, and a method of manufacturing the same. It is mentioned.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
The stain inspection method according to claim 1, wherein the surface of the recording medium is irradiated with light and photoelectrically converts light returning from the recording medium to generate a signal.
A light-transmitting pattern through which light is transmitted is attached to the surface of the recording medium, and a signal generated from light returning from the surface to which the light-transmitting pattern is attached is evaluated.
[0012]
The recording medium stain inspection oil composition according to claim 18 is characterized by comprising a light-transmitting mixture containing a fatty acid, a wax ester, squalene, and triglyceride.
23. The stain inspection medium according to claim 22, wherein the recording layer, a light transmitting layer formed on a side of the recording layer to be irradiated with light, and a light transmitting pattern fixed to the light transmitting layer and transmitting light. , Consisting of
[0013]
31. The method for manufacturing a stain inspection medium according to claim 30, wherein the recording layer, a light transmitting layer formed on the light irradiation side of the recording layer, and a light transmitting layer fixed to the light transmitting layer and transmitting light. And a method for producing a dirt inspection medium comprising:
Forming a thin film of a light-transmitting functional resin that obtains curability or developability by radiation on the light-transmitting layer; forming a latent image of a light-transmitting pattern to be formed on the thin film by radiation; To form a light-transmitting pattern by developing.
[0014]
33. The method for manufacturing a stain inspection medium according to claim 32, wherein the recording layer, a light transmitting layer formed on the light irradiation side of the recording layer, and a light transmitting layer fixed to the light transmitting layer and transmitting light. And a method for producing a dirt inspection medium comprising:
Forming a thin film of a light-transmitting functional resin cured by radiation on the light-transmitting layer, pressing a mold having a light-transmitting pattern to be formed on the thin film, and forming a light-transmitting pattern. It is characterized by having.
[0015]
35. The method for manufacturing a stain inspection medium according to claim 34, wherein the recording layer, a light transmitting layer formed on the light irradiation side of the recording layer, and a light transmitting layer fixed to the light transmitting layer and transmitting light. And a method for producing a dirt inspection medium comprising:
A screen printing original plate or a stamp original plate having a light transmitting pattern to be formed is prepared, and a light transmitting resin paint containing a solvent which does not dissolve or combine the light transmitting layer or a light transmitting functional resin which is cured by radiation is used for the screen. Applying the screen printing original plate or stamp original plate onto the light transmitting layer to apply the light transmitting resin paint or the light transmitting functional resin, A step of forming a transmissive pattern.
[0016]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
An embodiment according to the present invention will be described with reference to the drawings.
In the stain inspection method according to the embodiment, as shown in FIG. 1, a signal is generated by irradiating light onto a surface such as a cover layer of an optical recording medium such as an optical disc 1 and photoelectrically converting light returning from the recording medium. Here, a light transmissive pattern FP through which light passes through the optical disc 1 is attached to the surface of the recording medium, and a signal generated from light returning from the surface from which the light transmissive pattern has been removed is evaluated.
[0017]
In order to select an optical disk having a defect with respect to stain resistance, an environment in which the optical disk is actually used is reproduced in a pseudo manner, that is, a light transmissive pattern imitating a stain such as a fingerprint (hereinafter, referred to as a pseudo fingerprint). Must be adhered to the surface of an optical disk substrate or a cover layer, and its “dirt adhesion” and “dirt removal” must be measured. A system after attaching a pseudo-fingerprint made of an oil-and-fat composition having a component similar to a fingerprint component to the surface of an optical disc substrate, and then wiping the pseudo-fingerprint with a certain cloth or the like to attach the oil-and-fat composition The evaluation of the signal and the evaluation of the presence / absence of the difference of the system signal after wiping may be performed.
[0018]
Further, an optical disk for dirt inspection is provided as a recording / reproducing apparatus design tool for ensuring system stability against fingerprint dirt. This optical disk for dirt inspection has an unremovable permanent pattern (hereinafter, referred to as a fixed pseudo fingerprint) having excellent storage stability and imitating dirt such as a fingerprint formed on an optical disk substrate. The occurrence of an error is evaluated based on a dropout detection signal or the like in a system signal obtained by scanning the fixed pseudo fingerprint of the dirt inspection optical disk with a recording / reproducing system. In order to reliably design the recording / reproducing device, the height or depth, width, pitch, transmittance, etc. of the fixed pseudo-fingerprint are changed mainly in the vicinity of the limit point that causes the breakdown of the focus servo or tracking servo. It is desirable to be able to prepare. That is, it is necessary to stably control the height or depth, width, pitch, transmittance, and the like of the fixed pseudo fingerprint, and to ensure reproducibility of production.
[0019]
[Recording / reproducing device and determination unit]
FIG. 2 is a block diagram schematically showing a configuration of an example of an optical information recording / reproducing apparatus using a dirt inspection medium for inspecting dirt on a recording medium such as an optical disk. The optical information recording / reproducing apparatus includes a pickup 3 which irradiates a laser beam to an optical disc 1 which is a recording medium rotated by a spindle motor and receives reflected light thereof. The pickup 3 includes an irradiating unit that irradiates the optical disk 1 with light, which will be described in detail later, and a photodetector that is a part of a signal detecting unit that receives reflected light from a recording medium and performs photoelectric conversion to generate a photoelectric conversion signal. , Is provided. The optical information recording / reproducing apparatus has a signal generation unit SgD connected to a photodetector of the pickup. The signal processing unit SgD includes a generation circuit (a focus sum generation circuit, a focus error generation circuit, and a tracking error generation circuit) that generates a photoelectric conversion signal such as a system signal (for example, a focus sum signal, a focus error signal, and a tracking error signal). (Not shown). The system signal is supplied to a driver in a corresponding servo circuit, and is used for various servo controls of the pickup 3, for example. The control unit 20 is composed of a plurality of circuits such as a microcomputer, and includes a timer, a servo control amount, a memory for holding various data such as a tracking error value, a focus error value, and a predetermined value for dirt determination, and a coefficient of an equalizer. An arithmetic circuit for calculation is included.
[0020]
The optical information recording / reproducing apparatus is connected to a determination unit 52 that outputs a signal indicating the presence of an abnormal portion of the recording medium based on a photoelectric conversion signal such as a system signal. The determination unit 52 uses one or more of the system signal and the photoelectric conversion signal such as the reproduction signal from the signal processing unit SgD, and supplies a signal for determining a variation in the signal, that is, a ramp, to the control unit 20.
[0021]
As shown in FIG. 3, the pickup 3 includes a laser light source 31, a beam splitter 33, an objective lens 34, a focusing actuator 35, a tracking actuator 36, a condenser lens system 37, and a photodetector 38.
The objective lens 34 condenses the laser beam supplied from the laser light source 31 via the beam splitter 33 and irradiates the recording surface of the optical disc 1 with the laser beam. Light reflected from the recording surface of the optical disc 1 is applied to a light receiving section of a photodetector 38 via an objective lens 34, a beam splitter 33, and a condenser lens system 37.
[0022]
A focusing actuator 35 provided on a holder holding the objective lens 34 moves the objective lens 34 in the vertical direction of the optical disc 1, that is, the optical axis of the objective lens 34 in accordance with a focus drive signal supplied from a focusing driver in a servo circuit. Move on parallel focus adjustment trajectories. The tracking actuator 36 moves the optical axis of the objective lens 34 in the radial direction of the optical disk 1 according to a tracking drive signal supplied from a tracking driver in the servo circuit.
[0023]
Taking the astigmatism method as an example, the photodetector 38 is provided with four independent light receiving sections separately arranged in a recording track direction formed on the recording surface of the optical disc 1 and in a direction perpendicular to the recording track direction. (A so-called quadrant photodetector), and the condenser lens system 37 is provided with an astigmatism generation function. The light receiving sections of the photodetector 38 receive the respective reflected lights supplied from the condenser lens system 37, photoelectrically convert the light intensities thereof, and output the signals as photoelectric conversion signals. The photodetector 38 supplies the photoelectric conversion signal to the signal generation unit SgD. Note that a system signal can be generated not only by the astigmatism method but also by, for example, a phase difference method.
[0024]
The focus sum generation circuit in the signal generation unit SgD adds all the photoelectric conversion signals, outputs the sum as a focus sum signal, and supplies the focus sum signal to the control unit 20. The output is also supplied as a read signal RF to an information data demodulation circuit (not shown).
The focus error generation circuit in the signal generation unit SgD calculates the output sum of the light receiving units arranged diagonally to each other of the photodetector 38, and outputs the difference between them as a focus error signal indicating the amount of defocus. Then, this focus error signal is supplied to a focusing driver in the servo circuit.
[0025]
A focusing driver in the servo circuit generates a focus drive signal based on the focus error signal. At this time, the focusing driver is turned on or off according to the control signal supplied from the control unit 20. A focusing servo loop is formed by a system including the pickup 3, the focus error generation circuit, and the focusing driver by the focusing driver in the ON state. When a control signal for turning on is supplied from the control unit 20 to the focusing driver, the operation of the focus servo loop drives the objective lens 34 to focus the laser beam on the recording layer of the optical disc 1. .
[0026]
The tracking error generation circuit in the signal generation unit SgD obtains the output difference between the light receiving units of the photodetector 38 arranged in the direction perpendicular to the recording track direction, and supplies this as a tracking error signal to the tracking driver. .
The tracking driver generates a tracking drive signal based on the tracking error signal. The tracking driver is turned on or off according to the control signal supplied from the control unit 20. The tracking driver in the ON state forms a so-called tracking servo loop by a system including the pickup 3, the tracking error generation circuit, and the tracking driver. The drive of the laser beam from the objective lens 34 is controlled by the tracking actuator 36 so as to follow the recording track of the optical disc 1.
[0027]
The determination unit 52 reproduces the RF envelope detection signal using a combination of a peak detection circuit for a system signal such as a focus sum signal and a low-pass filter (LPF). The RF envelope detection signal is compared by a comparator (not shown) with an envelope level and a predetermined reference level, and when the envelope level is lower than the reference level, a dropout detection signal having a predetermined voltage level On the other hand, when it is greater, a non-dropout detection signal having a different voltage level can be generated and used for dropout detection such as dirt. The determination unit 52 can also supply the control unit 20 with a dropout detection signal indicating that there is a recording medium abnormality.
[0028]
When the control unit 20 or the determination unit 52 determines that the disk is abnormal, the control unit 20 or the determination unit 52 issues a warning such as a large amount of dirt adhered to a display device (not shown) or the system breaks down, or operates a protection circuit (not shown). You can also.
[Determination method of optical disk having defect]
An example of a method of evaluating the “dirt adhesion” and “dirt removal” of the optical disk substrate surface by using a light transmitting pattern, that is, a pseudo fingerprint, and selecting an optical disk having a defect regarding dirt resistance, that is, a dirt inspection method will be described below. .
[0029]
First, a mixture of three types of fats and oils (fatty oils that are liquid at room temperature) and triglycerides (fats and oils that are solid at room temperature) of a light-transmitting fat and oil composition that constitutes a pseudo fingerprint is prepared. I do. Jojoba oil is preferably used as a mixture of fatty acids and wax esters. For example, the oil and fat composition is prepared by adjusting the mixing ratio shown in Table 1 below.
[0030]
[Table 1]

A clay powder (clay powder) can be further added to the fat or oil composition in order to increase the solid content. Further, the fat or oil composition may contain a dye or a pigment in order to control its light transmittance. The light transmittance (the degree of dirt) of the light-transmitting pattern is adjusted by changing the compounding ratio of triglyceride, the added amount of clay powder, and the added amount of dye or pigment.
[0031]
Next, a prototype of the pseudo fingerprint is created. For example, a 20 mm square pseudo fingerprint composed of 20 substantially parallel lines having a pitch of 0.7 mm and having a line width varied in the range of 0.3 to 0.5 mm is printed on a 200-mesh nylon mesh screen for screen printing. Prepare the original. The mesh is a unit of the number of stitches existing between a vertical line and a horizontal line of 25.4 mm × 25.4 mm square. This original is configured so that only the printed line portions have mesh openings. The screen printing original plate can be produced using a commercially available simple screen printing plate production machine. As described above, the above-described fat and oil composition is adhered onto the surface of the optical disk substrate by a screen printing method through a screen printing original plate for producing a pseudo fingerprint prepared on a screen having a mesh size of at least 200 mesh or more.
[0032]
Furthermore, it should be understood that pseudo-fingerprints are not limited to a corner pattern, but rather a bow-like pattern that sebum will form at the skin-ridge of the finger-pad of a human hand. An original for screen printing can also be produced by creating a predetermined pattern such as (arch), hoof print (loop), and spiral print (whol). That is, the light-transmitting pattern of the pseudo fingerprint has a fingerprint shape. In the fingerprint-like shape, it is preferable that the width, height, pitch and gap of the lines or points constituting the fingerprint are arbitrarily present, that is, random. Lines constituting the pseudo fingerprint have a width of 0.05 mm to 0.5 mm, a height of 1 μm to 50 μm, and a line pitch of 0.1 mm to 1.0 mm. The fingerprint-like shape comprises lines and gaps and may include at least one of a set of substantially parallel lines, a spiral, a substantially concentric circle, a substantially ellipse, and a stadium type. This makes it possible to form a pseudo fingerprint having light transmittance like actual fingerprint stains.
[0033]
Next, the oil composition is applied to the surface of the optical disk substrate using the screen printing master.
The obtained optical disk substrate with a pseudo fingerprint is mounted on a recording / reproducing apparatus (laser light source wavelength: 405 nm, numerical aperture of an objective lens: 0.85), scanned by a pickup, and used for a system such as a focus sum signal, a focus error signal, and a tracking error signal. By measuring the signal, it is possible to evaluate the attached amount of the pseudo fingerprint, that is, the stain adhesion. By evaluating a system signal by attaching a pseudo fingerprint pattern to a surface of a commercially available optical disk, it is possible to select an optical disk that causes a servo failure.
[0034]
For example, the oil / fat composition for recording medium stain inspection of the present embodiment was adjusted at the compounding ratio shown in Table 2 below, and an appropriate amount of the oil / fat composition was allowed to adhere a pseudo fingerprint to an optical disk by the above procedure.
[0035]
[Table 2]

As an example, FIG. 4 shows an optical microscope image of a pseudo fingerprint formed using the oil / fat composition component of Composition 4. FIG. 5 shows system signals (focus sum signal SUM, focus error signal FE, tracking error signal TE) obtained by scanning the pseudo fingerprint-attached optical disk. The compounding ratio of the oil and fat composition reproduces the main substances constituting the human sebum component and the ratio thereof, and is therefore suitable for evaluation of fingerprint stains.
[0036]
Subsequently, using a woven cloth made of polyester microfiber having a diameter of 0.2 mm, the pseudo fingerprints attached to the optical disk substrate are removed. For the evaluation of the stain removal property, it is preferable to wipe off using a woven or non-woven fabric made of microfiber made of polyester or the like having a diameter of 0.2 mm or less. By evaluating the state after such wiping, it is possible to select an optical disk from which fingerprint stains cannot be removed.
[0037]
After the removal, the dirt removability can be evaluated by measuring the error occurrence rate of the signal recorded on the optical disk again using the recording / reproducing apparatus. At this time, if the pseudo fingerprint cannot be removed, an error occurs. For example, if the surface of the optical disk substrate and the oil composition are chemically or physically strongly bonded, the pseudo fingerprint cannot be removed.
[0038]
[Optical Disk for Soil Inspection and Manufacturing Method]
The optical disk for dirt inspection includes a recording layer, a light transmitting layer, a so-called cover layer, formed on the light-irradiated side of the recording layer, and a light transmitting pattern, which is fixed to the light transmitting layer and transmits light, a so-called fixed pseudo pattern. Consists of a fingerprint.
The fixed pseudo fingerprint is, for example, a liquid photoresist, a photosensitive dry film resist, or the like, which is curable or developable by radiation and is coated with a functional resin capable of forming a pattern on an optical disk substrate, and then formed. The pseudo-fingerprint image can be formed on the functional resin film on the substrate by a so-called photolithography method in which a latent image is formed on the functional resin film via a mask made of chromium or the like as a latent image, followed by development processing. The strength of the fixed pseudo-fingerprint can be improved by performing a heat treatment, ultraviolet irradiation, or the like after the development treatment.
[0039]
It is manufactured by pressing a mold on which a pseudo fingerprint is formed against a photocurable resin formed on an optical disk substrate. The strength of the pattern can be improved by heat treatment or irradiation with ultraviolet light after the mold is released, which is more preferable. The height of the fixed pseudo-fingerprint formed by pressing the mold may be any of a concave shape (dent) or a convex shape (projection) with the cover layer surface as a reference surface, or a mixture of unevenness. .
[0040]
A stamp original for producing a fixed pseudo fingerprint is produced using a rubber material such as silicone, and a liquid ultraviolet curable resin or a resin paint is adhered onto the surface of the optical disc substrate via the stamp original. As the resin coating, a solvent dilution system using a so-called non-invasive solvent that does not dissolve or combine the optical disk substrate, or an aqueous coating is used. As described above, the oil composition is transferred and adhered to the surface of the optical disk substrate by the letterpress printing method via the stamp original for producing a pseudo fingerprint, but the screen printing method is applied via the screen printing original plate. Thereby, the oil composition can be transferred and adhered onto the surface of the optical disk substrate. In addition, the strength of the fixed pseudo-fingerprint can be improved by performing heat treatment or ultraviolet irradiation treatment on the light-transmitting pattern after peeling the screen printing original or stamp original from the optical disk substrate.
[0041]
In order to control the light transmittance, a dye or pigment may be added to the resin forming the fixed pseudo fingerprint. Such addition makes it possible to quantitatively reproduce the degree of fingerprint contamination.
The shape of the fixed pseudo-fingerprint has light transmittance, the pattern width, height or depth, pitch and interval are random, and its macro shape is composed of lines or points and gaps, It has a set, a spiral, a substantially concentric circle, a substantially ellipse, and a stadium type. The pattern width is 0.05 mm to 0.5 mm, the height or depth is 1 μm to 50 μm, and the pattern pitch is 0.1 to 1.0 mm. Since the fixed pseudo fingerprint has little change over time and excellent storage stability, the system stability against fingerprint contamination can be ensured for a long time.
[0042]
An example of an optical disk for dirt inspection as a recording / reproducing device design tool for ensuring system stability against fingerprint dirt and an example of a method of manufacturing the optical disk will be described in detail.
First, a positive-type electron beam resist ZEP-520 (manufactured by Zeon Corporation) was applied on a well-polished Si wafer to a thickness of 150 nm. After baking on a hot plate, mount the Si wafer with electron beam resist on the turntable installed in the vacuum chamber of the electron beam mastering device developed in-house, and use the spindle motor to specify the Si wafer with electron beam resist. The electron beam focused to a minute spot diameter was intermittently irradiated onto the electron beam resist while rotating at a rotation speed of. The irradiation pattern of the electron beam repeats ON-OFF corresponding to the recording signal, and moves on the Si wafer with the electron beam resist, whereby a spiral latent image corresponding to the recording signal is formed in the electron beam resist. At this time, a random signal modulated by (1,7) modulation was used as a recording signal, and the length of the shortest pit was set to 149 nm and the track pitch was set to 320 nm. Thereafter, when the Si wafer with the electron beam resist is taken out of the vacuum chamber and subjected to a developing process with a predetermined developing solution, a depression corresponding to the recording signal, that is, a phase pit is formed on the resist. The Si substrate thus obtained is called a resist master.
[0043]
Using an electron beam resist as a mask, for example, CF ₄ Was etched to a depth at which the electric signal strength and the drive control signal were optimal, for example, 60 nm by reactive ion etching using as a reactive gas, and the shape of the phase bit was transferred onto the Si wafer. The residue of the electron beam resist remaining on the Si wafer after the reactive ion etching was removed by a resist stripper or ozone ashing.
[0044]
A conductive film made of nickel (Ni) was formed on the surface of the Si wafer where the phase pits were formed, using a sputtering method or the like, and a Ni stamper (master stamper) was fabricated by liquid-phase Ni plating using the Ni thin film as an electrode. . The stamper manufacturing process used was the same as the conventional optical disk manufacturing process.
A resin substrate to which a phase bit having a diameter of 120 nm and a thickness of 1.1 mm was transferred was prepared using an injection molding method based on a master stamper. In addition to the master stamper, a baby stamper which is a replica produced from the master stamper by a conventional method may be used. As the resin material for forming the substrate, polycarbonate (AD.5503 manufactured by Teijin Chemicals) was used as in the case of CD and DVD. An acrylic resin, a polyolefin resin, or the like may be used in addition to polycarbonate.
[0045]
On the surface of the resin substrate on which the phase pits were formed, a reflective film made of AlTi (weight composition ratio: Al: Ti = 99: 1) was formed by a sputtering method so as to have a thickness of 15 nm. The sputtering device used at this time reduces the amount of the reflective film material attached to the side walls of the phase pits as described later, and minimizes the difference between the phase pit shape formed on the resin substrate and the phase pit shape read by the light beam. It is configured to hold down. Subsequently, a polycarbonate film having a thickness of 95 μm was bonded to the reflection film using an ultraviolet-curable adhesive (WorldRock811 manufactured by Kyoritsu Chemical). At this time, the thickness of the adhesive layer was adjusted to 5 μm, and the thickness of the cover layer formed on the reflective film was adjusted to 100 μm in total.
[0046]
Thus, an optical disc serving as a base for forming a fixed pseudo fingerprint is completed.
Next, a fixed pseudo-fingerprint of 20 mm square composed of 20 substantially parallel lines having a pitch of 0.7 mm and having a line width varied in the range of 0.3 to 0.5 mm is formed as a projection on the silicone rubber plate, Was prepared. This stamp master can be produced by a commercially available general stamp producing machine.
[0047]
Next, a liquid ultraviolet curing resin (World Rock 811 manufactured by Kyoritsu Chemical Co., Ltd.) is adhered to the surface of the cover layer of the prepared optical disk as a fixed pseudo fingerprint using the silicone rubber stamp. In this example, no dye or pigment was added. Thereafter, the resin is cured by irradiating the resin with ultraviolet light in a nitrogen gas replacement atmosphere, and an optical disk having a fixed pseudo fingerprint attached is obtained. A high-pressure mercury lamp was used as an ultraviolet light source.
[0048]
Through the above steps, a dirt inspection optical disk is completed.
FIG. 6 shows system signals (focus sum signal SUM, focus error signal FE, tracking error signal TE) when the fixed pseudo fingerprint thus obtained is scanned using the same recording / reproducing apparatus as described above. At the same time, actual fingerprints were collected for comparison, and system signals (focus sum signal SUM, focus error signal FE, tracking error signal TE) obtained by the recording / reproducing apparatus in the same manner as described above are shown in FIG. Show. Both are very similar, and it can be said that the pseudo fingerprint produced by the method of the present embodiment reproduces an actual fingerprint. FIG. 8 shows an optical microscope image of the fixed pseudo fingerprint.
[0049]
[Example of experiment]
Using samples obtained by attaching fingerprints to a plurality of optical discs, based on the output obtained by mounting the optical information recording / reproducing apparatus, the number of samples of whether or not the focusing servo and tracking servo can be performed is determined by using the following information. The tracking servo was not possible TKSNG and both were counted based on OK, and the width and pitch of the lines constituting the fingerprint and the duty ratio thereof were evaluated.
[0050]
9, 10 and 11 show the resulting histograms, the vertical axis shows the frequency of the number of actual fingerprint samples, and the horizontal axis shows pitch (μm), width (μm) and width / pitch (duty ratio%). Are respectively shown.
As a sample, the shape of fingerprint stains attached to a polycarbonate resin in a general office environment was observed for Japanese men and women aged 20 to 60 years. Since the height of the fingerprint line differs depending on the state of the surface to which the fingerprint stain adheres, it was ignored. The height of the fingerprint line may be considered to be approximately 1/10 or less of the width in consideration of the surface property of the attached matter. Since the pitch is expected to exceed the above range for children and Westerners, it is desirable to set the pitch wider.
[0051]
From the above results, it is necessary to cover a part where OK and NG of the focusing servo and the tracking servo are mixed in the above graph, so that a more preferable range of the size of the pseudo fingerprint is: An appropriate range is 250 to 400 μm and a width / pitch (duty ratio): 70 to 80%.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic perspective view showing an optical disc according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a block diagram schematically showing an optical information recording / reproducing apparatus using an optical disk for dirt inspection.
FIG. 3 is a diagram schematically showing a pickup of the optical information recording / reproducing apparatus of FIG. 2;
FIG. 4 is an optical microscope photograph of a pseudo fingerprint attached to the optical disc of the embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a graph showing system signals obtained by scanning the pseudo-fingerprint-attached optical disk of the embodiment of the present invention with a recording / reproducing apparatus.
FIG. 6 is a graph showing a system signal obtained by scanning a pseudo-fingerprint-attached optical disc according to another embodiment of the present invention with a recording / reproducing apparatus.
FIG. 7 is a graph showing a system signal obtained by scanning an actual fingerprint attached to an optical disk with a recording / reproducing apparatus.
FIG. 8 is an optical microscope photograph of a fixed pseudo fingerprint attached to the optical disc of the embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a graph showing the relationship between the number of samples of whether or not focusing servo and tracking servo can be performed by mounting a fingerprint-attached optical disk on an optical information recording / reproducing apparatus, and the pitch of a line forming a fingerprint.
FIG. 10 is a graph showing the relationship between the number of samples for enabling / disabling focusing servo and tracking servo obtained by mounting a fingerprint-attached optical disk to an optical information recording / reproducing apparatus, and the width of a line forming a fingerprint.
FIG. 11 shows the relationship between the number of samples for enabling / disabling focusing servo and tracking servo obtained by mounting a fingerprint-attached optical disk on an optical information recording / reproducing apparatus, and the width / pitch (duty ratio) of a line constituting a fingerprint. Graph.
[Explanation of symbols]
1 optical disk
3 Pickup
52 Judgment unit
SgD signal generator

Claims

記録媒体の表面に光照射して前記記録媒体から戻る光を光電変換して信号を生成する、前記記録媒体の汚れを検査する汚れ検査方法であって、
光が透過する光透過性パターンを記録媒体の表面に付着せしめ、前記光透過性パターンが付着した前記表面から戻る光から生成される信号を評価することを特徴とする汚れ検査方法。A dirt inspection method for inspecting dirt on the recording medium, which irradiates the surface of the recording medium with light and generates a signal by photoelectrically converting light returning from the recording medium,
A dirt inspection method, comprising: attaching a light transmitting pattern through which light transmits to a surface of a recording medium, and evaluating a signal generated from light returning from the surface to which the light transmitting pattern adheres.

前記光透過性パターンが付着した前記表面から前記光透過性パターンを除去し、前記光透過性パターンを除去した前記表面から戻る光から生成される信号を評価する工程を含むことを特徴とする請求項１に記載の汚れ検査方法。Removing the light transmissive pattern from the surface to which the light transmissive pattern is attached and evaluating a signal generated from light returning from the surface from which the light transmissive pattern has been removed. Item 1. The stain inspection method according to Item 1.

前記光透過性パターンは油脂組成物からなり、前記油脂組成物は脂肪酸、ワックスエステル、スクアレン、トリグリセリドを含むことを特徴とする請求項１又は２記載の汚れ検査方法。The stain inspection method according to claim 1, wherein the light-transmitting pattern is made of a fat and oil composition, and the fat and oil composition contains a fatty acid, a wax ester, squalene, and triglyceride.

前記油脂組成物は粘土粉末を含むことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の汚れ検査方法。The soil inspection method according to any one of claims 1 to 3, wherein the fat or oil composition contains clay powder.

前記油脂組成物は染料又は顔料の少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の汚れ検査方法。The stain inspection method according to any one of claims 1 to 4, wherein the oil / fat composition contains at least one of a dye and a pigment.

前記光透過性パターンの光透過性を、トリグリセリドの配合比率、粘土粉末の添加量、染料又は顔料の添加量の変化によって、調整することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の汚れ検査方法。The light transmissivity of the light transmissive pattern is adjusted by changing the blending ratio of triglyceride, the amount of clay powder added, or the amount of dye or pigment added. Dirt inspection method.

前記光透過性パターンは指紋状の形状を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の汚れ検査方法。The stain inspection method according to claim 1, wherein the light transmitting pattern has a fingerprint shape.

前記指紋状の形状は不規則に配置された線又は点と間隙からなり、それを構成する線の幅は０．０５ｍｍ〜０．５ｍｍ、線又は点の高さは１μｍ〜５０μｍ、線ピッチは０．１ｍｍ〜１．０ｍｍのそれぞれの範囲内でランダムな数値をもって混在することを特徴とする請求項７に記載の汚れ検査方法。The fingerprint-like shape is composed of irregularly arranged lines or points and gaps, the width of the lines constituting the lines is 0.05 mm to 0.5 mm, the height of the lines or points is 1 μm to 50 μm, and the line pitch is The contamination inspection method according to claim 7, wherein the contamination is mixed with a random numerical value in each range of 0.1 mm to 1.0 mm.

前記指紋状の形状は、略平行の線の集合、渦巻き、略同心円、略楕円、及びスタジアム型の少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項７又は８に記載の汚れ検査方法。The stain inspection method according to claim 7, wherein the fingerprint-like shape includes at least one of a set of substantially parallel lines, a spiral, a substantially concentric circle, a substantially ellipse, and a stadium type.

前記指紋状の形状は、少なくとも２００メッシュ以上のメッシュサイズを有するスクリーン印刷原版上に作製され、前記スクリーン印刷原版を通してスクリーン印刷の手法によって、前記油脂組成物を前記記録媒体の表面上に転写して付着させることを特徴とする請求項７〜９のいずれかに記載の汚れ検査方法。The fingerprint-like shape is produced on a screen printing original plate having a mesh size of at least 200 mesh or more, and by means of screen printing through the screen printing original plate, the oil composition is transferred onto the surface of the recording medium. The stain inspection method according to any one of claims 7 to 9, wherein the method is applied.

前記指紋状の形状は、ゴム状弾性を有するスタンプ原版上に作製され、前記スタンプ原版を通して凸版印刷の手法によって、前記油脂組成物を前記記録媒体の表面上に転写して付着させることを特徴とする請求項７〜９のいずれかに記載の汚れ検査方法。The fingerprint-like shape is produced on a stamp original having rubber-like elasticity, and the fat and oil composition is transferred onto and adhered to the surface of the recording medium by a letterpress printing method through the stamp original. The stain inspection method according to claim 7.

前記光透過性パターンを除去した前記表面から戻る光から生成される信号を評価する工程は、前記記録媒体から戻る光を光電変換して信号を生成する記録再生装置によって、前記記録媒体の前記表面を走査して得られる除去後信号を監視する工程を含むことを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載の汚れ検査方法。The step of evaluating a signal generated from light returning from the surface from which the light transmitting pattern has been removed includes: a recording / reproducing apparatus that photoelectrically converts light returning from the recording medium to generate a signal; The method according to claim 1, further comprising a step of monitoring a post-removal signal obtained by scanning the image.

前記光透過性パターンが付着した前記記録媒体の前記表面から戻る光から生成される信号を評価する工程は、前記記録媒体から戻る光を光電変換して信号を生成する記録再生装置によって、前記記録媒体に付着させた前記光透過性パターンを走査して得られる付着信号を監視する工程を含むことを特徴とする請求項１２に記載の汚れ検査方法。The step of evaluating a signal generated from light returning from the surface of the recording medium to which the light transmissive pattern is attached includes: a recording / reproducing apparatus that photoelectrically converts light returning from the recording medium to generate a signal. 13. The contamination inspection method according to claim 12, further comprising a step of monitoring an adhesion signal obtained by scanning the light transmissive pattern adhered to a medium.

前記除去後信号及び前記付着信号を比較する工程を含むことを特徴とする請求項１３に記載の汚れ検査方法。The method according to claim 13, further comprising comparing the post-removal signal and the adhesion signal.

前記光透過性パターンを除去した前記表面は、織布又は不織布を用いて拭い去って得られることを特徴とする請求項１〜１４のいずれかに記載の汚れ検査方法。The stain inspection method according to any one of claims 1 to 14, wherein the surface from which the light transmitting pattern is removed is obtained by wiping off the surface using a woven or nonwoven fabric.

前記織布又は不織布は直径０．２ｍｍ以下のマイクロファイバーからなることを特徴とする請求項１５に記載の汚れ検査方法。The stain inspection method according to claim 15, wherein the woven or nonwoven fabric is made of a microfiber having a diameter of 0.2 mm or less.

前記マイクロファイバーはポリエステルからなることを特徴とする請求項１６に記載の汚れ検査方法。The stain inspection method according to claim 16, wherein the microfiber is made of polyester.

脂肪酸、ワックスエステル、スクアレン、トリグリセリドを含む光透過性混合物からなることを特徴とする記録媒体汚れ検査油脂組成物。An oil and fat composition for recording medium stain inspection, comprising a light-transmitting mixture containing a fatty acid, a wax ester, squalene, and triglyceride.

粘土粉末を含むことを特徴とする請求項１８に記載の記録媒体汚れ検査油脂組成物。19. The oil composition according to claim 18, further comprising a clay powder.

染料又は顔料の少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項１８又は１９に記載の記録媒体汚れ検査油脂組成物。20. The composition according to claim 18, wherein the composition contains at least one of a dye and a pigment.

トリグリセリドの配合比率、粘土粉末の添加量、染料又は顔料の添加量の変化によって、光透過性が調整されたことを特徴とする請求項１８〜２０のいずれかに記載の記録媒体汚れ検査油脂組成物。21. The recording medium stain inspection oil / fat composition according to claim 18, wherein the light transmittance is adjusted by changing the blending ratio of triglyceride, the amount of clay powder added, or the amount of dye or pigment added. object.

記録層と、前記記録層上の光照射される側に形成された光透過層と、前記光透過層に固着されかつ光が透過する光透過性パターンと、からなることを特徴とする汚れ検査媒体。A dirt inspection comprising: a recording layer; a light transmitting layer formed on the light irradiated side of the recording layer; and a light transmitting pattern fixed to the light transmitting layer and transmitting light. Medium.

前記光透過性パターンは指紋状の形状を有することを特徴とする請求項２２に記載の汚れ検査媒体。23. The dirt inspection medium according to claim 22, wherein the light transmitting pattern has a fingerprint shape.

前記指紋状の形状は不規則に配置された線又は点と間隙からなり、それを構成する線の幅は０．０５ｍｍ〜０．５ｍｍ、線又は点の高さ又は深さは１μｍ〜５０μｍ、線ピッチは０．１ｍｍ〜１．０ｍｍのそれぞれの範囲内でランダムな数値をもって混在することを特徴とする請求項２３に記載の汚れ検査媒体。The fingerprint-like shape is composed of irregularly arranged lines or points and gaps, the width of the lines constituting it is 0.05 mm to 0.5 mm, and the height or depth of the lines or points is 1 μm to 50 μm, 24. The dirt inspection medium according to claim 23, wherein the line pitch is mixed with a random numerical value within a range of 0.1 mm to 1.0 mm.

前記指紋状の形状は、略平行の線の集合、渦巻き、略同心円、略楕円、及びスタジアム型の少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項２３又は２４に記載の汚れ検査媒体。25. The dirt inspection medium according to claim 23, wherein the fingerprint-like shape includes at least one of a set of substantially parallel lines, a spiral, a substantially concentric circle, a substantially ellipse, and a stadium type.

前記光透過性パターンは、輻射により硬化性又は可現像性を得る光透過性機能性樹脂からなることを特徴とする請求項２２〜２５のいずれかに記載の汚れ検査媒体。The dirt inspection medium according to any one of claims 22 to 25, wherein the light transmissive pattern is made of a light transmissive functional resin that obtains curability or developability by radiation.

前記光透過性パターンは、前記光透過層を溶解又は化合しない溶剤を含む光透過性樹脂塗料からなることを特徴とする請求項２２〜２５のいずれかに記載の汚れ検査媒体。26. The dirt inspection medium according to claim 22, wherein the light transmitting pattern is made of a light transmitting resin paint containing a solvent that does not dissolve or combine the light transmitting layer.

前記光透過性パターンは、粘土粉末を含むことを特徴とする請求項２２〜２７のいずれかに記載の汚れ検査媒体。The stain inspection medium according to any one of claims 22 to 27, wherein the light transmitting pattern includes a clay powder.

前記光透過性パターンは、染料又は顔料の少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項２２〜２８のいずれかに記載の汚れ検査媒体。The stain inspection medium according to any one of claims 22 to 28, wherein the light transmitting pattern includes at least one of a dye and a pigment.

記録層と、前記記録層上の光照射される側に形成された光透過層と、前記光透過層に固着されかつ光が透過する光透過性パターンと、からなる汚れ検査媒体の製造方法であって、
輻射により硬化性又は可現像性を得る光透過性機能性樹脂の薄膜を前記光透過層上に形成し、形成すべき光透過性パターンの潜像を輻射により前記薄膜上に形成し、前記薄膜を現像処理して光透過性パターンを形成する工程を有することを特徴とする汚れ検査媒体の製造方法。A method for manufacturing a dirt inspection medium, comprising: a recording layer; a light transmitting layer formed on a side of the recording layer to be irradiated with light; and a light transmitting pattern fixed to the light transmitting layer and transmitting light. So,
Forming a thin film of a light-transmitting functional resin that obtains curability or developability by radiation on the light-transmitting layer, forming a latent image of a light-transmitting pattern to be formed on the thin film by radiation, the thin film A process for developing a light-transmitting pattern by subjecting the sample to a developing process.

前記現像処理の後に前記薄膜に対して加熱処理又は紫外線照射処理を行う工程を有することを特徴とする請求項３０に記載の汚れ検査媒体の製造方法。31. The method according to claim 30, further comprising a step of performing a heat treatment or an ultraviolet irradiation treatment on the thin film after the development treatment.

記録層と、前記記録層上の光照射される側に形成された光透過層と、前記光透過層に固着されかつ光が透過する光透過性パターンと、からなる汚れ検査媒体の製造方法であって、
輻射により硬化する光透過性機能性樹脂の薄膜を前記光透過層上に形成し、形成すべき光透過性パターンを有する金型を前記薄膜上に押圧し、光透過性パターンを形成する工程を有することを特徴とする汚れ検査媒体の製造方法。A method for manufacturing a dirt inspection medium, comprising: a recording layer; a light transmitting layer formed on a side of the recording layer to be irradiated with light; and a light transmitting pattern fixed to the light transmitting layer and transmitting light. So,
Forming a thin film of a light-transmitting functional resin that is cured by radiation on the light-transmitting layer, pressing a mold having a light-transmitting pattern to be formed on the thin film, and forming a light-transmitting pattern. A method for producing a dirt inspection medium, comprising:

前記金型の押圧中又は剥離後に前記薄膜に対して加熱処理又は紫外線照射処理を行う工程を有することを特徴とする請求項３２に記載の汚れ検査媒体の製造方法。33. The method according to claim 32, further comprising a step of performing a heat treatment or an ultraviolet irradiation treatment on the thin film during or after the mold is pressed.

記録層と、前記記録層上の光照射される側に形成された光透過層と、前記光透過層に固着されかつ光が透過する光透過性パターンと、からなる汚れ検査媒体の製造方法であって、
形成すべき光透過性パターンを有するスクリーン印刷原版又スタンプ原版を用意し、前記光透過層を溶解又は化合しない溶剤を含む光透過性樹脂塗料又は輻射により硬化する光透過性機能性樹脂を前記スクリーン印刷原版又スタンプ原版の該光透過性パターン上に付与し、前記スクリーン印刷原版又スタンプ原版を前記光透過層上に押圧して前記光透過性樹脂塗料又は光透過性機能性樹脂を付着させ光透過性パターンを形成する工程を有することを特徴とする汚れ検査媒体の製造方法。A method for manufacturing a dirt inspection medium, comprising: a recording layer; a light transmitting layer formed on a side of the recording layer to be irradiated with light; and a light transmitting pattern fixed to the light transmitting layer and transmitting light. So,
A screen printing original or stamp original having a light transmitting pattern to be formed is prepared, and a light transmitting resin paint containing a solvent which does not dissolve or combine the light transmitting layer or a light transmitting functional resin which is cured by radiation is used for the screen. Applying the screen printing original plate or stamp original plate onto the light transmitting layer by applying the light onto the light transmitting pattern of the printing original plate or stamp original plate, adhering the light transmitting resin paint or the light transmitting functional resin, A method for producing a stain inspection medium, comprising a step of forming a transparent pattern.

前記スクリーン印刷原版又スタンプ原版の剥離後に光透過性パターンの加熱処理又は紫外線照射処理を行う工程を有することを特徴とする請求項３４に記載の汚れ検査媒体の製造方法。35. The method according to claim 34, further comprising a step of performing a heat treatment or a UV irradiation treatment on the light-transmitting pattern after the screen printing original or the stamp original is peeled off.