JP2004163358A

JP2004163358A - Relative inclined amount measuring method of roundness finder, measurement value correcting method, inspection tool,and manufacturing method thereof

Info

Publication number: JP2004163358A
Application number: JP2002331968A
Authority: JP
Inventors: Atsushi Tsuruta; 篤鶴田; Yoshiyuki Omori; 義幸大森
Original assignee: Mitutoyo Corp; Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Current assignee: Mitutoyo Corp; Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Priority date: 2002-11-15
Filing date: 2002-11-15
Publication date: 2004-06-10
Anticipated expiration: 2022-11-15
Also published as: JP4021745B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a relative inclined amount measuring method for a roundness measurement device, along with a measurement value correcting method, an inspection tool, and a manufacturing method thereof, capable of acquiring reliable measurement result without increasing laborious processes and at a low cost. <P>SOLUTION: Related to first and second gauge blocks 41 and 42, in which the dimension between first and second reference surfaces, facing each other, is worked to a specified value, an inspection tool 4 fixed on both end faces of a cylinder 40 with their first reference surfaces 411 and 421 almost parallel to an inspection tool axial line S3 of the cylinder 40 is placed on a core-levelling table 21. Based on the location measurements of the first reference surfaces 411 and 421, a first relative inclined amount between a detector guide direction axial line S2 and an inspection tool axial line S3 is acquired. After the core-levelling table 21 is rotated by 180°, a second relative inclination amount between the detector guide direction axial line S2 and the inspection tool axial line S3 is acquired, based on localizing of second reference surfaces 412 and 422. A column relative inclined amount Q, between a table rotating shaft S1 and the detector guide direction axial line S2, is acquired based on the first and second relative inclined amounts. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真円度測定機における回転テーブルの回転軸とコラムの検出器案内方向軸線との相対傾斜量を求める相対傾斜量測定方法、測定値補正方法、検査治具、および、検査治具の製造方法に関する。
【０００２】
【背景技術】
従来より、真円度測定機において、検出器をコラムに沿って上下方向へ移動させることにより回転テーブルに載置された検査治具の複数の位置を測定し、この測定結果を演算することにより回転テーブルの回転軸とコラムの検出器案内方向軸線との相対傾斜量を求める、真円度測定機の相対傾斜量測定方法が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載の真円度測定機の相対傾斜用測定方法では、検査治具として円筒スコヤもしくは鋼球が用いられている。
【０００３】
円筒スコヤを用いた真円度測定機の相対傾斜量測定方法は、円筒スコヤを回転テーブルに載置した後、回転テーブルの回転軸と円筒スコヤの軸とが略一致するように円筒スコヤの傾斜を調整する。検出器をコラムに沿って上下方向へ移動させながら回転テーブルに載置された円筒スコヤの所定位置を測定し、この測定結果を最小二乗法により処理することにより、回転テーブルの回転軸とコラムの検出器案内方向軸線との相対傾斜量を求めていた。
鋼球を用いた真円度測定機の相対傾斜量測定方法は、鋼球を鋼球載置台を介して回転テーブルに載置した後、検出器で鋼球の径を測定する。次にこの状態から鋼球載置台と回転テーブルとの間にスペーサを挿入した後検出器で鋼球の径を測定する。この測定された２つの径の差とスペーサの高さから、回転テーブルの回転軸とコラムの検出器案内方向軸線との相対傾斜量を求めていた。
【０００４】
【特許文献１】
特許第２７７４００７号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、この測定方法では、検査治具として円筒スコヤもしくは鋼球を用いているが、円筒スコヤおよび鋼球をそれぞれ理想的な円筒度および真球度に加工することは難しく、その結果、極めて高価な検査治具を必要としていた。
円筒スコヤの円筒度および鋼球の真球度は国家標準に対してトレーサブルではないので、それらの信頼性を明確にすることは単純な長さ測定に比べて極めて困難であった。
【０００６】
円筒スコヤを用いた測定方法では、予め円筒スコヤの軸心と直交する任意の２断面の径差の値付けをする工程が必要であったが、この工程が煩雑であるとともに値付けにより得られた径差の信頼性は低いものであった。
鋼球を用いた測定方法では、鋼球を鋼球載置台を介して回転テーブルに載置し検出器で鋼球の径を測定した後、回転テーブルと鋼球載置台との間にスペーサを載置する工程が必要であり、その作業が煩雑であった。
【０００７】
本発明の目的は、安価であるとともに、煩雑な工程を増やすことなく、信頼性が高い測定結果を得ることができる真円度測定機の相対傾斜量測定方法、測定値補正方法、検査治具およびその製造方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の真円度測定機の相対傾斜量測定方法は、被測定物を載置する回転テーブルと、前記被測定物の各断面の真円度を測定する検出器と、この検出器を上下方向に案内するコラムとを備えた真円度測定機において、前記回転テーブルの回転軸と前記コラムの検出器案内方向軸線との相対傾斜量を求める真円度測定機の相対傾斜量測定方法であって、柱状の中間体と、互いに平行な第１および第２基準面間の寸法が規定寸法に加工された直方体形状の第１および第２ゲージブロックとを有し、前記各ゲージブロックの第１および第２基準面が中間体の軸方向と略平行になるように各ゲージブロックが中間体の両端面に密着固定された検査治具を予め用意し、前記回転テーブルに前記検査治具の第１ゲージブロックが接するように検査治具を回転テーブル上に載置した後、前記検査治具の軸線と前記回転軸が略一致するように前記検査治具の姿勢を調整するとともに、前記各ゲージブロックの第１基準面が前記検出器に対向するように前記回転テーブルを回転させ、前記検出器をコラムに沿って移動させ、前記各ゲージブロックの第１基準面における所定位置を測定し、前記検査治具の軸線と前記コラムの検出器案内方向軸線との第１相対傾斜量を求め、前記回転テーブルを略１８０度回転させた後、前記検出器をコラムに沿って移動させ、前記各ゲージブロックの第２基準面における所定位置を測定し、前記検査治具の軸線と前記コラムの検出器案内方向軸線との第２相対傾斜量を求め、前記第１相対傾斜量および第２相対傾斜量から、前記回転テーブルの回転軸と前記コラムの検出器案内方向軸線との相対傾斜量を求めることを特徴とする。
【０００９】
この発明によれば、柱状の中間体と、互いに平行な第１および第２基準面間の寸法が規定寸法に加工された直方体形状の第１および第２ゲージブロックとを有し、各ゲージブロックの第１および第２基準面が中間体の軸方向と略平行になるように各ゲージブロックが中間体の両端面に密着固定された検査治具を予め用意する。
【００１０】
回転テーブルに検査治具の第１ゲージブロックが接するように検査治具を回転テーブル上に載置する。
検査治具の軸線（以下、検査治具軸線、と略す）と、回転テーブルの回転軸（以下、テーブル回転軸、と略す）が略一致するように検査治具の姿勢を調整するとともに、各ゲージブロックの第１基準面が検出器に対向するように回転テーブルを回転させる。
検出器をコラムに沿って所定距離だけ移動させることにより、各ゲージブロックの第１基準面における所定位置を測定し、検査治具軸線と、コラムの検出器案内方向軸線（以下、検出器案内方向軸線、と略す）との第１相対傾斜量を求める。
【００１１】
たとえば、第１ゲージブロックの第１基準面の所定位置を測定した値と、第２ゲージブロックの第１基準面の所定位置を測定した値との差を求め、その差と検出器の移動距離とから第１相対傾斜量を求める。
この第１相対傾斜量は、テーブル回転軸と検出器案内方向軸線との相対傾斜量（以下、コラム相対傾斜量、と略す）と、テーブル回転軸と検査治具軸線との相対傾斜量（以下、第１検査治具相対傾斜量、と略す）と、検査治具軸線と各ゲージブロックの第１基準面における所定位置を結合した線との相対傾斜量（以下、第１基準面相対傾斜量、と略す）の総和となる。
【００１２】
回転テーブルを略１８０度回転させた後、検出器をコラムに沿って所定距離だけ移動させることにより、各ゲージブロックの第２基準面における所定位置を測定し、検査治具軸線と検出器案内方向軸線との第２相対傾斜量を求める。
たとえば、第１ゲージブロックの第２基準面の所定位置を測定した値と、第２ゲージブロックの第２基準面の所定位置を測定した値との差を求め、その差と検出器の移動距離とから第２相対傾斜量を求める。
この第２相対傾斜量は、コラム相対傾斜量と、テーブル回転軸と検査治具軸線との相対傾斜量（以下、第２検査治具相対傾斜量、と略す）と、検査治具軸線と各ゲージブロックの第２基準面における所定位置を結合した線との相対傾斜量（以下、第２基準面相対傾斜量、と略す）の総和となる。
【００１３】
これら第１および第２相対傾斜量から、回転テーブルの回転軸とコラムの検出器案内方向軸線との相対対傾斜量を求める。
たとえば、第１および第２相対傾斜量の和を求めると、コラム相対傾斜量の２倍の量と、第１および第２検査治具相対傾斜量と、第１および第２基準面相対傾斜量の和（以下、基準面相対傾斜量、と略す、）との総和となる。
ここで、第１相対傾斜量を求め、回転テーブルを略１８０度回転させた後、第２相対傾斜量を求めるので、第１および第２検査治具相対傾斜量は、互いに正負が異なる等しい量となり、これらの和はゼロになる。
基準面相対傾斜量は、第１ゲージブロックの第１および第２基準面間の寸法と第２ゲージブロックのそれとの差（以下、基準面間寸法差、と略す）に比例した量となる。第１および第２ゲージブロックは、それぞれの第１および第２基準面間の寸法が規定寸法に加工されているので、それらの値から基準面間寸法差および基準面相対傾斜量を計算により容易に求める事ができる。
したがって、第１および第２相対傾斜量を前述した方法により測定した後、これらの量の和を求め、この和と基準面相対傾斜量との差を求めた後、この差を２で除することにより、コラム相対傾斜量、つまり、回転テーブルの回転軸とコラムの検査治具軸線との相対傾斜量を求めることができる。
【００１４】
この相対傾斜量の測定に用いられている検査治具は、円筒スコヤおよび鋼球と比べて安価で市販されている第１および第２ゲージブロックを有しており、これらのゲージブロックは、高精度に精密加工されており、その寸法精度は国家標準にトレーサブルである。
相対傾斜量を求めるときの誤差要因となりうる、円筒スコヤの軸心と直交する任意の２断面の径差に相当する基準面間寸法差は、第１ゲージブロックの第１および第２基準面間の寸法と第２ゲージブロックのそれとの差なので、中間体に対する第１および第２ゲージブロックの取り付け位置が変わってもその値は変化しない。
したがって、検査治具の製造を高精度に行う必要がないので、誰でも安価で信頼性が高い検査治具を得ることができ、しかも、この検査治具を用いて上述した方法により相対傾斜量を求めるようにしたので、回転テーブルの回転軸とコラムの検出器案内方向軸線との相対傾斜量を高精度に求めることができる。
【００１５】
検査治具を回転テーブルから移動させることなく相対傾斜量を求めることができるので、鋼球を用いた測定のときに行っていた、回転テーブルに対して鋼球の高さを調整する工程を設ける必要がない。
各ゲージブロックの第１および第２基準面における、それぞれ１点ずつの所定位置を測定するだけなので、少ないデータ数でコラム相対傾斜量を求めることができる。
したがって、煩雑な工程を増やすことなく、信頼性が高い相対傾斜量を求めることができる。
【００１６】
本発明の真円度測定機による測定値補正方法は、前述した真円度測定機の相対傾斜量測定方法を用いて前記回転テーブルの回転軸と前記コラムの検出器案内方向軸線との相対傾斜量を求めた後、前記被測定物を前記回転テーブルに載置し、前記被測定物の指定測定位置における径方向座標値を前記検出器により測定して測定値を得て、測定された前記測定値から、前記指定測定位置に対応する前記相対傾斜量を差し引くことにより平行度誤差を補正することを特徴とする。
【００１７】
この発明によれば、前述した測定方法により相対傾斜量を求めた後、被測定物を回転テーブルに載置し、被測定物の指定測定位置における径方向座標値を検出器により測定する。
この測定された測定値から、被測定物の指定測定位置に対応する相対傾斜量を差し引くことにより、平行度誤差が補正された被検査物の測定値を求めることができる。
したがって、信頼性が高い検査治具を用いて求められた相対傾斜量に基づいて、被検査物の測定結果が補正されるので、テーブル回転軸と検出器案内方向軸線との平行度誤差が補正された信頼性の高い測定値を得ることができる。
【００１８】
本発明の検査治具は、被測定物を載置する回転テーブルと、前記被測定物の各断面の真円度を測定する検出器と、この検出器を上下方向へ案内するコラムとを備えた真円度測定機において、前記回転テーブルの回転軸と前記コラムの検出器案内方向軸線との相対傾斜量を求めるために用いられる検査治具であって、柱状の中間体と、互いに平行な第１および第２基準面間の寸法が規定寸法に加工された直方体形状の第１および第２ゲージブロックとを有し、前記各ゲージブロックの第１および第２基準面が中間体の軸方向と略平行になるように各ゲージブロックが中間体の両端面に密着固定されたことを特徴とする。
【００１９】
この発明によれば、円筒スコヤおよび鋼球と比べて安価で市販されている第１および第２ゲージブロックと中間体とによって形成されているので、安価に構成できる。
しかも、第１および第２ゲージブロックは、高精度に精密加工されており、その寸法精度は国家標準にトレーサブルであるので、誰でも信頼性が高い検査治具を容易に製造することができる。
【００２０】
本発明の検査治具は、前記第１ゲージブロックと前記第２ゲージブロックとは、同一形状であることが望ましい。
この発明によれば、各ゲージブロックが同一形状なので、基準面間寸法差および基準面相対傾斜量がゼロとなり、各ゲージブロックの形状が異なる検査治具を用いる場合に比べて、相対傾斜量を容易に求めることができる。
【００２１】
本発明における、同一形状の第１および第２ゲージブロックを用いて構成された検査治具の製造方法であって、平らの作業面上にスペーサを介して前記中間体の軸線が作業面と平行となるように中間体を載置し、この中間体を挟んで第１および第２ゲージブロックを配置するとともに、各ゲージブロックの第１基準面を作業面上に載置し、この各ゲージブロックを作業面上でかつ中間体に向かってスライドさせながら中間体の両端面に密着固定することを特徴とする。
この発明によれば、中間体をその軸線が作業面と平行になるように作業面上に載置し、この中間体を挟んで各ゲージブロックの第１基準面を作業面上に配置した後、各ゲージブロックを中間体に向かって作業面上をスライドさせながら中間体の両端面に密着固定すると検査治具が得られる。
したがって、各ゲージブロックの第１および第２基準面が中間体の軸線と平行となるような検査治具を確実に製造することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
図１および図２には、本発明の一実施形態に係るコラム相対傾斜量の測定に用いられる真円度測定機１および検査治具４が示されている。
本真円度測定機１は、図１に示すように、本体１０と、この本体１０の上面一側寄りに配置され被測定物もしくは検査治具４を回転駆動させる被測定物回転機構２０と、本体１０の上面他側寄りに配置され被測定物もしくは検査治具４の外表面位置を検出する位置検出機構３０とを備えている。説明のために、本体１０の上面で互いに直交する二方向をＸ方向、Ｙ方向とし、本体１０の上面に垂直な方向をＺ方向とする。
【００２３】
被測定物回転機構２０は、本体１０に図示しない回転駆動機構を介してテーブル回転軸Ｓ１を中心に回転可能に設けられた回転体（図示せず）と、この回転体の上面に配置され被測定物もしくは検査治具４が載置される心水平出しテーブル２１とを備えている。
心水平出しテーブル２１には、この心水平出しテーブル２１をＸ方向およびＹ方向へ移動させるＸ方向心出し調整つまみ２１１およびＹ方向心出し調整つまみ２１２が設けられている。
また、心水平出しテーブル２１上面の水平出しを行うＸ方向傾斜調整つまみ２１３およびＹ方向傾斜調整つまみ（図示せず）が設けられており、被測定物もしくは検査治具４の軸心と回転体のテーブル回転軸Ｓ１を一致させることができるようになっている。
なお、回転体の回転角は、図示しないエンコーダによって検出されている。
【００２４】
位置検出機構３０は、本体１０に略垂直（Ｚ軸と略平行）に立設された直方体形状を有するコラム３１と、このコラム３１の検出器案内方向軸線Ｓ２に沿って昇降可能に設けられたスライダ３２と、このスライダ３２にＸ方向へ摺動可能に設けられた水平アーム３３と、この水平アーム３３の先端側に検出器ホルダ３４を介して取り付けられた検出器３５とを備えている。
コラム３１は、Ｘ方向と略直交するＸ方向基準面３１１と、Ｙ方向と略直交するＹ方向基準面３１２とを備えている。
このＸ方向基準面３１１およびＹ方向基準面３１２によって、スライダ３２が検出器案内方向軸線Ｓ２に沿って昇降されるようになっている。
なお、検出器案内方向軸線Ｓ２は、本体１０に備えられたコラム傾斜調整機構１１により、Ｘ方向およびＹ方向に対する傾斜角度を調整できるようになっている。
【００２５】
検査治具４は、図２に示すように、円筒形状を有する中間体としての円筒４０と、この円筒４０の両端に密着された直方体形状を有する第１ゲージブロック４１および第２ゲージブロック４２とを備えている。
各ゲージブロック４１，４２は、第１基準面４１１，４１２とこれに平行な第２基準面４２１，４２２との距離Ｌ１，Ｌ２が同一寸法Ｌとなるように同一形状に加工されている。
各ゲージブロック４１，４２は、第１基準面４１１，４２１が同一面となるとともに、各ゲージブロック４１，４２の中心と円筒４０の軸心である検査治具軸線Ｓ３とが一致するように、円筒４０の両端に密着されている。
【００２６】
この検査治具４を用いて、テーブル回転軸Ｓ１と検出器案内方向軸線Ｓ２とのコラム相対傾斜量Ｑを測定する方法について説明する。
図１に示すように、心水平出しテーブル２１上に、検査治具４の第１ゲージブロック４１を載置した後、テーブル回転軸Ｓ１と検査治具軸線Ｓ３とが略一致するようにＸ方向心出し調整つまみ２１１、Ｙ方向心出し調整つまみ２１２、Ｘ方向傾斜調整つまみ２１３およびＹ方向傾斜調整つまみにより調整を行う。
たとえば、円筒４０における任意の断面の真円度を測定し、その測定結果に基づきＸ方向心出し調整つまみ２１１、Ｙ方向心出し調整つまみ２１２、Ｘ方向傾斜調整つまみ２１３およびＹ方向傾斜調整つまみを操作し、心水平出しテーブル２１を移動あるいは傾斜させることによりテーブル回転軸Ｓ１と検査治具軸線Ｓ３とを略一致させる。
【００２７】
検査治具軸線Ｓ３とコラム３１のＸ方向基準面３１１およびＹ方向基準面３１２とが略平行となるように、コラム傾斜調整機構１１を用いてコラム３１の傾斜角度を調整する。
たとえば、検査治具４が回転しないように心水平出しテーブル２１を固定した後、スライダ３２を円筒４０上の上端近傍の任意の測定位置から下端近傍の任意の測定位置まで検出器案内方向軸線Ｓ２に沿って下降させながら測定子３５１の変位を測定する。この測定結果に基づきコラム傾斜調整機構１１を用いてコラム３１の傾斜角度を調整することにより、検査治具軸線Ｓ３とＸ方向基準面３１１およびＹ方向基準面３１２とを略平行にする。
【００２８】
各ゲージブロック４１，４２の第１基準面４１１，４２１とＸ方向基準面３１１とが略平行となるように心水平出しテーブル２１を調整する。
たとえば、検出器３５の測定子３５１を第１基準面４１１に当接させた状態で心水平出しテーブル２１を回転させ測定子３５１の変位を測定する。
この測定値が最小のときが第１基準面４１１とＸ方向基準面３１１とが略平行となるので、その位置で心水平出しテーブル２１を固定する。
このときの状態を回転角０度状態とする。
【００２９】
図３には、テーブル回転軸Ｓ１と検出器案内方向軸線Ｓ２とのＸ方向の相対変位量（以下、コラム相対変位量、と略す）Ｃの測定方法を示す概念図が示されている。
ここでは、テーブル回転軸Ｓ１に対して検出器案内方向軸線Ｓ２および検査治具軸線Ｓ３の両方がＸ方向に傾斜している場合について説明していく。
印Ｍは、検査治具４が１８０度回転したことを理解しやすくするために用いた目印である。
テーブル回転軸Ｓ１と平行な仮想軸線Ｓ１１は、コラム相対変位量Ｃを理解しやすくするために用いたものである。
したがって、印Ｍおよび仮想軸線Ｓ１１はいずれも実際には存在しないものである。
【００３０】
回転角０度状態で、測定子３５１を原点位置から第１ゲージブロック４１の第１基準面４１１上の所定の測定位置に当接させるように移動させ変位Ｋ１１を求める。このときの測定子３５１の位置をポイントＰ１とする。
測定子３５１を第１基準面４１１からそのまま上昇させ、第２ゲージブロック４２の第１基準面４２１上の所定の測定位置に当接させるように移動させ変位Ｋ１２を求める。このときの測定子３５１の位置をポイントＰ２とする。
以上の過程において、測定子３５１を、ポイントＰ１，Ｐ２間のＺ方向の距離が移動距離Ｈとなるように移動させる。
測定子３５１を第１基準面４２１から離した後下降させ原点位置に移動させる。
【００３１】
変位Ｋ１１，Ｋ１２、コラム相対変位量Ｃ、ポイントＰ１とポイントＰ２とのＸ方向の相対変位量Ｘ１を用いて、回転角０度状態での検査治具軸線Ｓ３と検出器案内方向軸線Ｓ２とのＸ方向の第１相対変位量Ｒ（０）を表すと、
Ｒ（０）＝Ｋ１２−Ｋ１１・・・（１）
Ｋ１２＝Ｘ１＋Ｋ１１＋Ｃ・・・（２）
が成り立つので、（１），（２）より、
Ｒ（０）＝Ｃ＋Ｘ１・・・（３）
となる。
【００３２】
心水平出しテーブル２１を１８０度回転させることにより、第１ゲージブロック４１の第２基準面４１２とＸ方向基準面３１１とを略平行にする。このときの状態を回転角１８０度状態とする。
測定子３５１を原点位置から第１ゲージブロック４１の第２基準面４１２上の所定の測定位置に当接させるように移動させ変位Ｋ１３を求める。このときの測定子３５１の位置をポイントＰ３とする。
測定子３５１を第２基準面４１２からそのまま上昇させ、第２ゲージブロック４２の第２基準面４２２上の所定の測定位置に当接させるように移動させ変位Ｋ１４を求める。このときの測定子３５１の位置をポイントＰ４とする。
以上の過程において、測定子３５１を、ポイントＰ３，Ｐ４間のＺ方向の距離が移動距離Ｈとなるように移動させる。
測定子３５１を第２基準面４２２から離した後下降させ原点位置に移動させる。
【００３３】
変位Ｋ１３，１４、コラム相対変位量Ｃ、ポイントＰ３とポイントＰ４とのＸ方向の相対変位量Ｘ２（ただし、Ｘ２＜０）を用いて、回転角１８０度状態での検査治具軸線Ｓ３と検出器案内方向軸線Ｓ２とのＸ方向の第２相対変位量Ｒ（１８０）を表すと、
Ｒ（１８０）＝Ｋ１４−Ｋ１３・・・（４）
Ｋ１４＝Ｋ１３＋Ｘ２＋Ｃ・・・（５）
が成り立つので、（４），（５）より、
Ｒ（１８０）＝Ｃ＋Ｘ２・・・（６）
となる。
【００３４】
各ゲージブロック４１，４２は、それぞれの第１基準面４１１，４２１と第２基準面４１２，４２２との距離Ｌ１，Ｌ２との間に、Ｌ１＝Ｌ２＝Ｌ、が成り立つように加工されているので、
Ｘ１＝−Ｘ２・・・（７）
が成り立つ。
したがって、第１相対変位量Ｒ（０）と第２相対変位量Ｒ（１８０）からコラム相対変位量Ｃを求めるために、Ｒ（０）＋Ｒ（１８０）を計算すると、（３），（６），（７）から
Ｒ（０）＋Ｒ（１８０）＝２Ｃ・・・（８）
となる。
したがって（８）から、コラム相対変位量Ｃは、
Ｃ＝（Ｒ（０）＋Ｒ（１８０））／２・・・（９）
となる。
このコラム相対変位量Ｃを測定子３５１の移動距離Ｈで除することにより、コラム相対傾斜量Ｑを算出し、このコラム相対傾斜量Ｑを図示しない記憶装置に記憶させる。
【００３５】
真円度測定機１を用いて被測定物の測定を行う場合には、検査治具４を用いて前述した手順により、テーブル回転軸Ｓ１と検出器案内方向軸線Ｓ２とのコラム相対傾斜量Ｑを求めた後、検査治具４を心水平出しテーブル２１から取り除く。被測定物を心水平出しテーブル２１に載置した後、検出器３５を指定測定位置に移動させ径方向座標値の測定を行う。
この測定により得られた測定値から、指定測定位置に対応するコラム相対傾斜量Ｑを差し引くことにより、テーブル回転軸Ｓ１と検出器案内方向軸線Ｓ２との平行度誤差が補正された被検査物の測定値を求めることができる。
【００３６】
前述したコラム相対傾斜量の測定に用いられる検査治具４は、各ゲージブロック４１，４２が同一形状を有するときには、それぞれのゲージブロックの第１基準面４１１，４２１が同一面もしくは平行である必要があり、この条件を満たさない検査治具を用いた場合、コラム相対傾斜量Ｑを正確に求めることができないことがある。
【００３７】
たとえば、図４には、第２ゲージブロック４２が第１ゲージブロック４１に対して傾き第１基準面４１１，４２１が平行でない検査治具４Ａの正面図が示されている。
ポイントＰ１１〜Ｐ１４は、テーブル回転軸Ｓ１と検査治具軸線Ｓ３とが平行なときの、回転角０度状態および回転角１８０度状態での測定時における測定子３５１の位置を表す。
検査治具４Ａを用いて前述した方法によりコラム相対傾斜量Ｑの測定を行うと、ポイントＰ１２，Ｐ１４間の距離Ｔ２がポイントＰ１１，Ｐ１３間の距離Ｔ１よりも長くなるのでコラム相対変位量Ｃおよびコラム相対傾斜量Ｑを正しく求めることができない。
【００３８】
図５（Ａ）〜（Ｄ）には、第２ゲージブロック４２がＺ方向に平行な軸で回転され第１基準面４１１，４２１が平行でない検査治具４Ｂの上面図が示されている。
図５（Ａ），（Ｂ）に示されたポイントＰ２１〜Ｐ２４は、テーブル回転軸Ｓ１と検査治具軸線Ｓ３とが平行なときの、回転角０度状態および回転角１８０度状態での測定時における測定子３５１の位置を表す。
図５（Ｃ），（Ｄ）に示されたポイントＰ３１〜Ｐ３４は、テーブル回転軸Ｓ１と検査治具軸線Ｓ３とが平行であるが、テーブル回転軸Ｓ１に対して検出器案内方向軸線Ｓ２がＹ方向へ傾斜量Ｙ１だけ傾斜しているときの、回転角０度状態および回転角１８０度状態での測定時における測定子３５１の位置を表す。
【００３９】
検査治具４Ｂを用いて前述した方法によりコラム相対傾斜量Ｑの測定を行うと、テーブル回転軸Ｓ１と検査治具軸線Ｓ３とが平行なときには、図５（Ａ），（Ｂ）に示すように、ポイントＰ２１とポイントＰ２３とのＸ方向の相対変位量Ｘ２１と、ポイントＰ２２とポイントＰ２４とのＸ方向の相対変位量Ｘ２２は等しくならない。
したがって、コラム相対変位量Ｃおよびコラム相対傾斜量Ｑを正しく求めることができない。
【００４０】
テーブル回転軸Ｓ１に対して検出器案内方向軸線Ｓ２がＹ方向に傾斜量Ｙ１だけ傾斜していると、図５（Ｃ），（Ｄ）に示すように、ポイントＰ３１とポイントＰ３３とのＸ方向の相対変位量Ｘ３１と、ポイントＰ３２とポイントＰ３４とのＸ方向の相対変位量Ｘ３２は等しくならない。
したがって、コラム相対変位量Ｃおよびコラム相対傾斜量Ｑを正しく求めることができない。
以上のことから、コラム相対傾斜量Ｑを正しく求めるためには、各ゲージブロック４１，４２の第１基準面４１１，４２１が同一面もしくは平行である検査治具を用いる必要がある。
【００４１】
各ゲージブロック４１，４２の第１基準面４１１，４２１が同一面となるような検査治具４の製造方法を図６を用いて説明する。
円筒４０を、この円筒４０の軸位置に備えられた検査治具軸線Ｓ３と、平面マスタ５０に備えられた作業面５０Ａとが平行となるように、支持スペーサ５１を介して平面マスタ５０に載置する。
円筒４０は、直径がＥとなるように加工されているとともに、両端面に検査治具軸線Ｓ３に垂直な密着面４０１，４０２を備えている。
支持スペーサ５１は、円筒４０を作業面５０Ａ上で支持したときに、円筒４０と作業面５０Ａとの距離Ｆが、Ｆ＝（Ｌ−Ｅ）／２となるように加工されている。なお、Ｌは第１ゲージブロック４１（第２ゲージブロック４２）の第１基準面４１１（４２１）と第２基準面４１２（４２２）との距離である。
【００４２】
円筒４０を挟んで、各ゲージブロック４１，４２を配置し、それぞれの第１基準面４１１，４２１を作業面５０Ａ上に載置する。
このとき、各ゲージブロック４１，４２に備えられた固定座４１３，４２３は、円筒４０の密着面４０１，４０２と対向するように配置されている。
第１ゲージブロック４１を第１基準面４１１と作業面５０Ａが離れないように密着面４０１に向かってスライドさせ、固定座４１３を密着面４０１に押し付け密着させることにより、第１ゲージブロック４１を円筒４０に固定する。
第２ゲージブロック４２を第１基準面４２１と作業面５０Ａが離れないように密着面４０２に向かってスライドさせ、固定座４２３を密着面４０２に押し付け密着させることにより、第２ゲージブロック４２を円筒４０に固定する。
【００４３】
前述のような実施形態によれば、次のような効果がある。
第１ゲージブロック４１の第１基準面４１１上のポイントＰ１を測定したときの変位Ｋ１１と、第２ゲージブロック４２の第１基準面４２１上のポイントＰ２を測定したときの変位Ｋ１２から第１相対変位量Ｒ（０）を求め、検査治具４を１８０度回転させた後、第１ゲージブロック４１の第２基準面４１２上のポイントＰ３を測定したときの変位Ｋ１３と、第２ゲージブロック４２の第２基準面４２２上のポイントＰ４を測定したときの変位Ｋ１４から第２相対変位量Ｒ（１８０）を求め、これら第１相対変位量Ｒ（０）および第２相対変位量Ｒ（１８０）からコラム相対傾斜量Ｑを求めるようにしたので、検査治具４を用いてテーブル回転軸Ｓ１と検出器案内方向軸線Ｓ２とのコラム相対傾斜量Ｑを容易に求めることができる。
【００４４】
検査治具４を、円筒４０と第１および第２ゲージブロック４１，４２とから構成したので、つまり、安価でかつ高精度加工された第１および第２ゲージブロック４１，４２を用いて構成したので安価に構成できる。
しかも、各ゲージブロック４１，４２の第１基準面４１１，４２１が平行ならば、円筒４０に対する各ゲージブロック４１，４２の取り付け位置はコラム相対傾斜量Ｑの測定誤差要因にはならないので、誰でも信頼性が高い検査治具４を容易、かつ、安価に製造することができる。
【００４５】
検査治具４を心水平出しテーブル２１から移動させることなくコラム相対傾斜量Ｑを求めることができるので、鋼球を用いた測定のときに行っていた、回転テーブルに対しての鋼球の高さを調整する工程を設ける必要がない。
ポイントＰ１〜Ｐ４の４点を測定するだけなので、少ないデータ数でコラム相対傾斜量Ｑを求めることができる。
各ゲージブロック４１，４２は、同一形状に加工されているので、各ゲージブロックの形状が異なる場合に比べて、コラム相対傾斜量Ｑを容易に求めることができる。
また、測定にあたっては、信頼性が高い検査治具４を用いて求められたコラム相対傾斜量Ｑに基づいて被検査物の測定結果を補正するようにしたので、平行度誤差が補正された信頼性の高い測定値を得ることができる。
【００４６】
検査治具４は、円筒４０を検査治具軸線Ｓ３が作業面５０Ａと平行となるように平面マスタ５０に載置し、この円筒４０を挟んで各ゲージブロック４１，４２の第１基準面４１１，４２１を作業面５０Ａ上に配置した後、各ゲージブロック４１，４２を作業面５０Ａ上をスライドさせながら円筒４０の密着面４０１，４０２にリンギングさせ固定することにより製造されるので、各ゲージブロック４１，４２の第１基準面４１１，４２１が、検査治具軸線Ｓ３と平行となるような検査治具４を確実に製造することができる。
【００４７】
なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良は本発明に含まれるものである。
たとえば、コラム相対傾斜量の測定に各ゲージブロック４１，４２の第１基準面４１１，４２１が同一面となるような検査治具４を用いたが、図７（Ａ）に示すように、同一形状のゲージブロック４１Ｃ，４２Ｃを用いて、第１基準面４１１Ｃ，４２１Ｃが同一面ではないが平行となるように製造された検査治具４Ｃを用いることもできる。
また、図７（Ｂ）に示すように、Ｌ１１≠Ｌ１２となるように形成されたゲージブロック４１Ｄ，４２Ｄを用いて、第１基準面４１１Ｄ，４２１Ｄが平行となるように製造された検査治具４Ｄを用いてもよい。
要は、第１基準面と第２基準面とが平行であるとともに、この両者間の距離が既知の値である２つのゲージブロックを用いて、各ゲージブロックの第１基準面が平行となるように製造された検査治具であればよい。
【００４８】
前記実施形態では、テーブル回転軸Ｓ１に対する検出器案内方向軸線Ｓ２のＸ方向の傾斜についてのコラム相対傾斜量Ｑを求めたが、同様の方法を用いてＹ方向のコラム相対傾斜量Ｑ１を求める構成としてもよい。
また、テーブル回転軸Ｓ１に対する検出器案内方向軸線Ｓ２のＸ方向およびＹ方向の傾斜についてのコラム相対傾斜量Ｑ，Ｑ１を求める構成としてもよい。
【００４９】
【発明の効果】
本発明によれば、安価であるとともに、煩雑な工程を増やすことなく、信頼性が高い測定結果を得ることができる真円度測定機の相対傾斜量測定方法、測定値補正方法、検査治具およびその製造方法を提供することができる、という効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る真円度測定機の正面図。
【図２】前記実施形態における検査治具の斜視図。
【図３】前記実施形態における傾斜量測定方法の概念図。
【図４】前記実施形態における検査治具の正面図。
【図５】前記実施形態における検査治具の上面図。
【図６】前記実施形態における検査治具製造方法の説明図。
【図７】検査治具の異なる例を示す正面図。
【符号の説明】
１真円度測定機
４検査治具
２１心水平出しテーブル（回転テーブル）
３０コラム
３５検出器
４０円筒（中間体）
４１第１ゲージブロック
４２第２ゲージブロック
５０Ａ作業面
５１支持スペーサ
４０１，４０２密着面（中間体の端面）
４１１，４２１第１基準面
４１２，４２２第２基準面
Ｑコラム相対傾斜量（相対傾斜量）
Ｓ１テーブル回転軸（回転軸）
Ｓ２検出器案内方向軸線
Ｓ３検査治具軸線（検査治具の軸線）[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a relative tilt amount measuring method, a measured value correcting method, an inspection jig, and an inspection jig for obtaining a relative tilt amount between a rotation axis of a rotary table and an axis of a detector guide direction of a column in a roundness measuring machine. And a method for producing the same.
[0002]
[Background Art]
Conventionally, in a roundness measuring machine, a plurality of positions of an inspection jig placed on a rotary table are measured by moving a detector up and down along a column, and the measurement result is calculated. 2. Description of the Related Art There is known a relative inclination measuring method of a roundness measuring device for obtaining an amount of relative inclination between a rotation axis of a rotary table and an axis of a detector guiding direction of a column (for example, see Patent Document 1).
In the measuring method for relative inclination of the roundness measuring device described in Patent Document 1, a cylindrical square or a steel ball is used as an inspection jig.
[0003]
The method of measuring the relative tilt amount of the circularity measuring machine using a cylindrical square is such that, after placing the cylindrical square on a rotary table, the tilt of the cylindrical square is substantially aligned with the axis of the rotary table and the axis of the cylindrical square. To adjust. By moving the detector up and down along the column, the predetermined position of the cylindrical square placed on the rotary table is measured, and this measurement result is processed by the least squares method. The relative amount of inclination with respect to the detector guide direction axis was determined.
In a method of measuring a relative inclination amount of a roundness measuring machine using a steel ball, a steel ball is mounted on a rotary table via a steel ball mounting table, and then a diameter of the steel ball is measured by a detector. Next, after inserting a spacer between the steel ball mounting table and the rotary table from this state, the diameter of the steel ball is measured by the detector. From the difference between the two measured diameters and the height of the spacer, the relative tilt amount between the rotating shaft of the rotary table and the axis of the column in the detector guiding direction was determined.
[0004]
[Patent Document 1]
Japanese Patent No. 2774007
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, in this measuring method, a cylindrical square or a steel ball is used as an inspection jig. However, it is difficult to process the cylindrical square and the steel ball to ideal cylindricity and sphericity, respectively. Required an appropriate inspection jig.
Since the cylindricity of cylindrical squares and the sphericity of steel balls are not traceable to national standards, it was extremely difficult to clarify their reliability compared to simple length measurements.
[0006]
In the measurement method using a cylindrical square, it was necessary to previously determine the value of the diameter difference between any two cross sections orthogonal to the axis of the cylindrical square, but this step is complicated and can be obtained by the pricing. The reliability of the diameter difference was low.
In the measurement method using a steel ball, the steel ball is placed on a rotary table via a steel ball mounting table, the diameter of the steel ball is measured with a detector, and a spacer is placed between the rotary table and the steel ball mounting table. A mounting step was required, and the operation was complicated.
[0007]
An object of the present invention is to provide a method for measuring a relative inclination amount, a method for correcting a measured value, and an inspection jig of a roundness measuring instrument which are inexpensive and can obtain a highly reliable measurement result without increasing complicated steps. And a method of manufacturing the same.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
The method for measuring the relative tilt amount of the circularity measuring device of the present invention includes a rotating table on which an object to be measured is placed, a detector for measuring the circularity of each cross section of the object to be measured, and a vertical movement of the detector. In a roundness measuring machine provided with a column for guiding in a direction, a relative inclination measuring method of the roundness measuring machine for obtaining a relative inclination between a rotation axis of the rotary table and a detector guiding direction axis of the column. And a first and second gauge blocks each having a rectangular parallelepiped shape in which a dimension between a first and a second reference plane parallel to each other is machined to a specified dimension. An inspection jig in which each gauge block is closely fixed to both end surfaces of the intermediate body so that the first and second reference surfaces are substantially parallel to the axial direction of the intermediate body is prepared in advance, and the inspection jig of the inspection jig is provided on the rotary table. Turn the inspection jig so that the 1st gauge block contacts. After being placed on the table, the posture of the inspection jig is adjusted so that the axis of the inspection jig substantially coincides with the rotation axis, and the first reference surface of each gauge block faces the detector. Rotating the rotary table so as to move the detectors along the columns, measuring predetermined positions of the respective gauge blocks on the first reference plane, and detecting the axis of the inspection jig and the detector guide of the columns. A first relative tilt amount with respect to a direction axis is obtained, and after rotating the rotary table by approximately 180 degrees, the detector is moved along a column to measure a predetermined position of each gauge block on a second reference plane. Obtaining a second relative tilt amount between the axis of the inspection jig and the axis of the detector guide direction of the column, and determining the rotation axis of the rotary table and the column from the first relative tilt amount and the second relative tilt amount. Inspection And obtaining the relative tilt of the vessel the guide axis.
[0009]
According to the present invention, each of the gauge blocks has a columnar intermediate body and rectangular parallelepiped first and second gauge blocks each having a dimension between the first and second reference surfaces parallel to each other machined to a predetermined dimension. An inspection jig in which each gauge block is closely fixed to both end surfaces of the intermediate body is prepared in advance so that the first and second reference planes are substantially parallel to the axial direction of the intermediate body.
[0010]
The inspection jig is placed on the rotary table so that the first gauge block of the inspection jig contacts the rotary table.
Adjust the posture of the inspection jig so that the axis of the inspection jig (hereinafter, abbreviated as the inspection jig axis) and the rotation axis of the rotary table (hereinafter, abbreviated as the table rotation axis) substantially coincide with each other. The rotary table is rotated so that the first reference surface of the gauge block faces the detector.
By moving the detector by a predetermined distance along the column, a predetermined position of each gauge block on the first reference plane is measured, and the inspection jig axis and the detector guide direction axis of the column (hereinafter, the detector guide direction) (Abbreviated as an axis).
[0011]
For example, a difference between a value obtained by measuring a predetermined position of the first reference surface of the first gauge block and a value obtained by measuring a predetermined position of the first reference surface of the second gauge block is obtained, and the difference is determined by the moving distance of the detector. Then, the first relative tilt amount is obtained.
The first relative tilt amount includes a relative tilt amount between the table rotation axis and the detector guide direction axis (hereinafter, abbreviated as a column relative tilt amount) and a relative tilt amount between the table rotation axis and the inspection jig axis line (hereinafter, referred to as a column). , A first inspection jig relative inclination amount) and a relative inclination amount (hereinafter referred to as a first reference surface relative inclination amount) between an inspection jig axis line and a line connecting a predetermined position on the first reference surface of each gauge block. , Abbreviated as).
[0012]
After rotating the rotary table by approximately 180 degrees, the detector is moved by a predetermined distance along the column to measure a predetermined position of each gauge block on the second reference plane, and the inspection jig axis and the detector guiding direction are measured. A second relative tilt amount with respect to the axis is determined.
For example, a difference between a value obtained by measuring a predetermined position on the second reference surface of the first gauge block and a value obtained by measuring a predetermined position on the second reference surface of the second gauge block is obtained, and the difference is determined by the moving distance of the detector. Then, the second relative tilt amount is obtained.
The second relative inclination amount includes a column relative inclination amount, a relative inclination amount between the table rotation axis and the inspection jig axis (hereinafter, abbreviated as a second inspection jig relative inclination amount), an inspection jig axis line, and the like. It is the total sum of relative inclination amounts (hereinafter, abbreviated as second reference surface relative inclination amounts) with respect to a line connecting predetermined positions on the second reference surface of the gauge block.
[0013]
From these first and second relative tilt amounts, a relative tilt amount between the rotation axis of the rotary table and the detector guide direction axis of the column is determined.
For example, when the sum of the first and second relative inclination amounts is obtained, the amount is twice the column relative inclination amount, the first and second inspection jig relative inclination amounts, and the first and second reference plane relative inclination amounts. (Hereinafter, abbreviated as a reference surface relative inclination amount).
Here, the first relative tilt amount is obtained, and after rotating the rotary table by approximately 180 degrees, the second relative tilt amount is obtained. Therefore, the first and second inspection jig relative tilt amounts are equal to each other with different signs. And their sum is zero.
The reference plane relative inclination amount is an amount proportional to a difference between the dimension between the first and second reference planes of the first gauge block and that of the second gauge block (hereinafter, abbreviated as a reference plane dimension difference). In the first and second gauge blocks, the dimension between the first and second reference planes is machined to a specified dimension, so that the dimensional difference between the reference planes and the reference plane relative inclination can be easily calculated from these values. Can be requested.
Therefore, after measuring the first and second relative inclination amounts by the above-described method, a sum of these amounts is obtained, a difference between the sum and the reference surface relative inclination amount is obtained, and this difference is divided by two. Thus, the column relative inclination amount, that is, the relative inclination amount between the rotation axis of the rotary table and the inspection jig axis of the column can be obtained.
[0014]
The inspection jig used for measuring the relative inclination amount has first and second gauge blocks which are commercially available at a lower cost than cylindrical square and steel balls, and these gauge blocks have a high height. It is precision machined to a precision and its dimensional accuracy is traceable to national standards.
The dimensional difference between the reference planes corresponding to the diameter difference between any two cross sections orthogonal to the axis of the cylindrical square, which can be an error factor when calculating the relative tilt amount, is the difference between the first and second reference planes of the first gauge block. Is different from that of the second gauge block, the value does not change even if the mounting position of the first and second gauge blocks with respect to the intermediate body changes.
Therefore, since it is not necessary to manufacture the inspection jig with high accuracy, anyone can obtain an inexpensive and highly reliable inspection jig. Is obtained, the relative tilt amount between the rotation axis of the rotary table and the axis of the column in the detector guiding direction can be obtained with high accuracy.
[0015]
Since the relative tilt amount can be obtained without moving the inspection jig from the rotary table, a step of adjusting the height of the steel ball with respect to the rotary table, which was performed at the time of measurement using the steel ball, is provided. No need.
Since only a predetermined position of each point on the first and second reference planes of each gauge block is measured, the column relative tilt amount can be obtained with a small number of data.
Therefore, a highly reliable relative tilt amount can be obtained without increasing complicated steps.
[0016]
The method of correcting a measured value by the roundness measuring machine of the present invention is a method of measuring the relative inclination between the rotation axis of the rotary table and the axis of the detector guide direction of the column by using the above-described relative inclination measuring method of the roundness measuring machine. After obtaining the amount, the object to be measured is placed on the rotary table, and the radial coordinate value at a designated measurement position of the object to be measured is measured by the detector to obtain a measured value, and the measured value is measured. The parallelism error is corrected by subtracting the relative tilt amount corresponding to the designated measurement position from the measurement value.
[0017]
According to the present invention, after the relative tilt amount is obtained by the above-described measuring method, the object to be measured is placed on the rotary table, and the radial coordinate value at the specified measurement position of the object to be measured is measured by the detector.
By subtracting the relative tilt amount corresponding to the designated measurement position of the measured object from the measured value, the measured value of the measured object in which the parallelism error has been corrected can be obtained.
Therefore, the measurement result of the inspection object is corrected based on the relative inclination amount obtained by using a highly reliable inspection jig, so that the parallelism error between the table rotation axis and the detector guiding direction axis is corrected. The obtained reliable measurement value can be obtained.
[0018]
The inspection jig of the present invention includes a rotary table on which an object to be measured is placed, a detector for measuring the roundness of each cross section of the object to be measured, and a column for guiding the detector in the vertical direction. In a roundness measuring machine, a test jig used to determine the amount of relative tilt between the rotation axis of the rotary table and the detector guide direction axis of the column, a columnar intermediate body, parallel to each other First and second gauge blocks each having a rectangular parallelepiped shape in which a dimension between the first and second reference planes is machined to a specified dimension, wherein the first and second reference planes of each of the gauge blocks are in the axial direction of the intermediate body. Each gauge block is closely fixed to both end surfaces of the intermediate body so as to be substantially parallel to the above.
[0019]
According to the present invention, since it is formed by the first and second gauge blocks and the intermediate which are commercially available at a lower price than the cylindrical square and the steel ball, the configuration can be made at a low cost.
Moreover, since the first and second gauge blocks are precision-machined with high precision and their dimensional accuracy is traceable to a national standard, anyone can easily manufacture a highly reliable inspection jig.
[0020]
In the inspection jig of the present invention, it is preferable that the first gauge block and the second gauge block have the same shape.
According to the present invention, since the gauge blocks have the same shape, the dimensional difference between the reference surfaces and the relative inclination amount of the reference surface become zero, and the relative inclination amount is reduced as compared with the case where the inspection jig having a different shape of each gauge block is used. It can be easily obtained.
[0021]
A method for manufacturing an inspection jig using the first and second gauge blocks having the same shape according to the present invention, wherein an axis of the intermediate body is parallel to a work surface via a spacer on a flat work surface. And the first and second gage blocks are arranged with the intermediate body interposed therebetween, and the first reference surface of each gage block is placed on a work surface, and each gage block is placed on the work surface. On the work surface and while sliding toward the intermediate body, and fixedly adhered to both end surfaces of the intermediate body.
According to the present invention, the intermediate body is placed on the work surface such that its axis is parallel to the work surface, and the first reference surface of each gauge block is arranged on the work surface with the intermediate body interposed therebetween. When each gauge block is closely fixed to both end faces of the intermediate body while sliding on the work surface toward the intermediate body, an inspection jig is obtained.
Therefore, it is possible to reliably manufacture an inspection jig in which the first and second reference surfaces of each gauge block are parallel to the axis of the intermediate body.
[0022]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
FIGS. 1 and 2 show a roundness measuring machine 1 and an inspection jig 4 used for measuring a column relative inclination amount according to an embodiment of the present invention.
As shown in FIG. 1, the roundness measuring device 1 includes a main body 10, and an object rotating mechanism 20 that is disposed near one side of the upper surface of the main body 10 and that rotationally drives the object or the inspection jig 4. And a position detecting mechanism 30 that is disposed near the other side of the upper surface of the main body 10 and detects the position of the object to be measured or the outer surface of the inspection jig 4. For the sake of explanation, two directions orthogonal to each other on the upper surface of the main body 10 are defined as an X direction and a Y direction, and a direction perpendicular to the upper surface of the main body 10 is defined as a Z direction.
[0023]
The object rotating mechanism 20 includes a rotating body (not shown) rotatably provided around the table rotation axis S1 via a rotation driving mechanism (not shown) on the main body 10, and a rotating body (not shown) disposed on the rotating body. A center leveling table 21 on which a measurement object or an inspection jig 4 is placed is provided.
The center leveling table 21 is provided with an X direction centering adjustment knob 211 and a Y direction centering adjustment knob 212 for moving the center leveling table 21 in the X direction and the Y direction.
Further, an X-direction tilt adjustment knob 213 and a Y-direction tilt adjustment knob (not shown) for leveling the upper surface of the center leveling table 21 are provided, and the axis of the workpiece or the inspection jig 4 and the rotating body are provided. Table rotation axis S1 can be matched.
The rotation angle of the rotating body is detected by an encoder (not shown).
[0024]
The position detection mechanism 30 is provided so as to be able to ascend and descend along a column 31 having a rectangular parallelepiped shape which is erected substantially perpendicularly to the main body 10 (substantially parallel to the Z axis), and along a detector guide direction axis S2 of the column 31. A slider 32, a horizontal arm 33 slidably provided in the slider 32 in the X direction, and a detector 35 attached to a distal end of the horizontal arm 33 via a detector holder 34 are provided.
The column 31 includes an X-direction reference surface 311 substantially perpendicular to the X direction and a Y-direction reference surface 312 substantially perpendicular to the Y direction.
The slider 32 is moved up and down along the detector guide direction axis S2 by the X-direction reference surface 311 and the Y-direction reference surface 312.
The tilt angle of the detector guide direction axis S2 with respect to the X direction and the Y direction can be adjusted by a column tilt adjusting mechanism 11 provided in the main body 10.
[0025]
As shown in FIG. 2, the inspection jig 4 includes a cylinder 40 serving as an intermediate having a cylindrical shape, and a first gauge block 41 and a second gauge block 42 having a rectangular parallelepiped shape closely attached to both ends of the cylinder 40. It has.
Each of the gauge blocks 41 and 42 is processed into the same shape so that the distances L1 and L2 between the first reference surfaces 411 and 412 and the second reference surfaces 421 and 422 parallel thereto have the same dimension L.
The first reference surfaces 411 and 421 of the gauge blocks 41 and 42 are the same, and the center of each of the gauge blocks 41 and 42 and the inspection jig axis S3 which is the axis of the cylinder 40 coincide with each other. It is in close contact with both ends of the cylinder 40.
[0026]
A method of measuring the column relative tilt amount Q between the table rotation axis S1 and the detector guide axis S2 using the inspection jig 4 will be described.
As shown in FIG. 1, after placing the first gauge block 41 of the inspection jig 4 on the center leveling table 21, the X direction is set so that the table rotation axis S1 substantially coincides with the inspection jig axis S3. The adjustment is performed by the centering adjustment knob 211, the Y-direction centering adjustment knob 212, the X-direction tilt adjustment knob 213, and the Y-direction tilt adjustment knob.
For example, the circularity of an arbitrary cross section of the cylinder 40 is measured, and based on the measurement result, the X-direction centering adjustment knob 211, the Y-direction centering adjustment knob 212, the X-direction inclination adjustment knob 213, and the Y-direction inclination adjustment knob are adjusted. By operating or tilting the center leveling table 21, the table rotation axis S1 and the inspection jig axis S3 are made to substantially match.
[0027]
The column inclination adjusting mechanism 11 is used to adjust the inclination angle of the column 31 so that the inspection jig axis S3 is substantially parallel to the X-direction reference surface 311 and the Y-direction reference surface 312 of the column 31.
For example, after fixing the center leveling table 21 so that the inspection jig 4 does not rotate, the slider 32 is moved from the arbitrary measurement position near the upper end on the cylinder 40 to the arbitrary measurement position near the lower end on the cylinder 40 in the detector guiding direction axis S2. The displacement of the tracing stylus 351 is measured while descending along. By adjusting the inclination angle of the column 31 using the column inclination adjustment mechanism 11 based on the measurement result, the inspection jig axis S3 is made substantially parallel to the X-direction reference plane 311 and the Y-direction reference plane 312.
[0028]
The center leveling table 21 is adjusted so that the first reference surfaces 411, 421 of the gauge blocks 41, 42 and the X-direction reference surface 311 are substantially parallel.
For example, with the tracing stylus 351 of the detector 35 in contact with the first reference plane 411, the center leveling table 21 is rotated to measure the displacement of the tracing stylus 351.
When the measured value is minimum, the first reference plane 411 and the X-direction reference plane 311 are substantially parallel to each other, so that the center leveling table 21 is fixed at that position.
The state at this time is referred to as a rotation angle 0 degree state.
[0029]
FIG. 3 is a conceptual diagram showing a method of measuring a relative displacement amount (hereinafter, abbreviated as a column relative displacement amount) C in the X direction between the table rotation axis S1 and the detector guide axis S2.
Here, a case will be described in which both the detector guide direction axis S2 and the inspection jig axis S3 are inclined in the X direction with respect to the table rotation axis S1.
The mark M is a mark used to make it easy to understand that the inspection jig 4 has been rotated by 180 degrees.
The virtual axis line S11 parallel to the table rotation axis S1 is used to make it easier to understand the column relative displacement amount C.
Therefore, neither the mark M nor the virtual axis S11 actually exists.
[0030]
In a state where the rotation angle is 0 °, the displacement K11 is obtained by moving the tracing stylus 351 from the origin position so as to abut on a predetermined measurement position on the first reference surface 411 of the first gauge block 41. The position of the tracing stylus 351 at this time is defined as a point P1.
The tracing stylus 351 is directly lifted from the first reference surface 411, and is moved so as to contact a predetermined measurement position on the first reference surface 421 of the second gauge block 42 to obtain the displacement K12. The position of the tracing stylus 351 at this time is defined as a point P2.
In the above process, the tracing stylus 351 is moved so that the distance in the Z direction between the points P1 and P2 becomes the moving distance H.
After the tracing stylus 351 is separated from the first reference plane 421, it is lowered and moved to the origin position.
[0031]
Using the displacements K11 and K12, the column relative displacement C, and the relative displacement X1 in the X direction between the point P1 and the point P2, the inspection jig axis S3 and the detector guide direction axis S2 at a rotation angle of 0 degree are used. Expressing the first relative displacement amount R (0) in the X direction,
R (0) = K12−K11 (1)
K12 = X1 + K11 + C (2)
Holds, from (1) and (2),
R (0) = C + X1 (3)
It becomes.
[0032]
By rotating the center leveling table 21 by 180 degrees, the second reference plane 412 of the first gauge block 41 and the X-direction reference plane 311 are made substantially parallel. The state at this time is a rotation angle state of 180 degrees.
The displacement element K13 is obtained by moving the tracing stylus 351 from the origin position so as to abut on a predetermined measurement position on the second reference surface 412 of the first gauge block 41. The position of the tracing stylus 351 at this time is defined as a point P3.
The tracing stylus 351 is directly lifted from the second reference surface 412 and is moved so as to contact a predetermined measurement position on the second reference surface 422 of the second gauge block 42 to obtain the displacement K14. The position of the tracing stylus 351 at this time is defined as a point P4.
In the above process, the tracing stylus 351 is moved so that the distance in the Z direction between the points P3 and P4 becomes the moving distance H.
After the tracing stylus 351 is separated from the second reference plane 422, it is lowered and moved to the origin position.
[0033]
Using the displacements K13, 14, the column relative displacement C, and the relative displacement X2 (where X2 <0) in the X direction between the points P3 and P4, the inspection jig axis S3 at a rotation angle of 180 degrees is detected. Expressing a second relative displacement R (180) in the X direction with respect to the container guiding direction axis S2,
R (180) = K14−K13 (4)
K14 = K13 + X2 + C (5)
Holds, so from (4) and (5),
R (180) = C + X2 (6)
It becomes.
[0034]
Each of the gauge blocks 41 and 42 is processed so that L1 = L2 = L is established between the distances L1 and L2 between the first reference surfaces 411 and 421 and the second reference surfaces 412 and 422. So
X1 = −X2 (7)
Holds.
Therefore, to calculate the column relative displacement C from the first relative displacement R (0) and the second relative displacement R (180), when R (0) + R (180) is calculated, (3), (6) ), From (7)
R (0) + R (180) = 2C (8)
It becomes.
Therefore, from (8), the column relative displacement C is
C = (R (0) + R (180)) / 2 (9)
It becomes.
By dividing the column relative displacement amount C by the moving distance H of the tracing stylus 351, a column relative tilt amount Q is calculated, and the column relative tilt amount Q is stored in a storage device (not shown).
[0035]
When the measurement of the object to be measured is performed using the roundness measuring device 1, the column relative inclination amount Q between the table rotation axis S1 and the detector guide direction axis S2 is determined by the procedure described above using the inspection jig 4. Is obtained, the inspection jig 4 is removed from the center leveling table 21. After the object to be measured is placed on the centering / leveling table 21, the detector 35 is moved to the designated measurement position to measure the radial coordinate values.
By subtracting the column relative inclination amount Q corresponding to the designated measurement position from the measured value obtained by this measurement, the inspection object whose parallelism error between the table rotation axis S1 and the detector guide direction axis S2 has been corrected. Measurements can be determined.
[0036]
In the inspection jig 4 used for measuring the column relative tilt amount described above, when the gauge blocks 41 and 42 have the same shape, the first reference surfaces 411 and 421 of the respective gauge blocks need to be the same or parallel. If an inspection jig that does not satisfy this condition is used, the column relative tilt amount Q may not be accurately obtained.
[0037]
For example, FIG. 4 shows a front view of an inspection jig 4A in which the second gauge block 42 is inclined with respect to the first gauge block 41 and the first reference surfaces 411 and 421 are not parallel.
Points P11 to P14 represent the positions of the tracing stylus 351 at the time of measurement at the rotation angle 0 degree state and the rotation angle 180 degree state when the table rotation axis S1 and the inspection jig axis S3 are parallel.
When the column relative tilt amount Q is measured by the above-described method using the inspection jig 4A, the distance T2 between the points P12 and P14 becomes longer than the distance T1 between the points P11 and P13. The column relative inclination amount Q cannot be obtained correctly.
[0038]
FIGS. 5A to 5D are top views of the inspection jig 4B in which the second gauge block 42 is rotated about an axis parallel to the Z direction and the first reference surfaces 411 and 421 are not parallel.
The points P21 to P24 shown in FIGS. 5 (A) and 5 (B) are measured when the table rotation axis S1 and the inspection jig axis S3 are parallel to each other in the 0 ° rotation angle state and the 180 ° rotation angle state. Represents the position of the tracing stylus 351 at the time.
At points P31 to P34 shown in FIGS. 5C and 5D, the table rotation axis S1 and the inspection jig axis S3 are parallel, but the detector guide direction axis S2 is parallel to the table rotation axis S1. This represents the position of the tracing stylus 351 at the time of measurement in the state of the rotation angle of 0 degree and the state of the rotation angle of 180 degrees when the measuring element 351 is inclined by the inclination amount Y1 in the Y direction.
[0039]
When the column relative tilt amount Q is measured using the inspection jig 4B by the method described above, when the table rotation axis S1 and the inspection jig axis S3 are parallel, as shown in FIGS. 5A and 5B. Meanwhile, the relative displacement X21 in the X direction between the points P21 and P23 is not equal to the relative displacement X22 in the X direction between the points P22 and P24.
Therefore, the column relative displacement amount C and the column relative tilt amount Q cannot be correctly obtained.
[0040]
If the detector guide direction axis S2 is tilted in the Y direction by the tilt amount Y1 with respect to the table rotation axis S1, as shown in FIGS. 5C and 5D, the X direction between the point P31 and the point P33 Is not equal to the relative displacement X32 in the X direction between the points P32 and P34.
Therefore, the column relative displacement amount C and the column relative tilt amount Q cannot be correctly obtained.
From the above, in order to correctly obtain the column relative inclination amount Q, it is necessary to use an inspection jig in which the first reference surfaces 411 and 421 of the gauge blocks 41 and 42 are the same or parallel.
[0041]
A method of manufacturing the inspection jig 4 in which the first reference surfaces 411 and 421 of the gauge blocks 41 and 42 are the same will be described with reference to FIG.
The cylinder 40 is placed on the flat master 50 via the support spacer 51 such that the inspection jig axis S3 provided at the axial position of the cylinder 40 and the work surface 50A provided on the flat master 50 are parallel to each other. Place.
The cylinder 40 is processed so as to have a diameter of E, and has contact surfaces 401 and 402 perpendicular to the inspection jig axis S3 on both end surfaces.
The support spacer 51 is processed such that when the cylinder 40 is supported on the work surface 50A, the distance F between the cylinder 40 and the work surface 50A is F = (LE) / 2. Here, L is the distance between the first reference surface 411 (421) and the second reference surface 412 (422) of the first gauge block 41 (second gauge block 42).
[0042]
The gauge blocks 41 and 42 are arranged with the cylinder 40 interposed therebetween, and the respective first reference surfaces 411 and 421 are placed on the work surface 50A.
At this time, the fixed seats 413 and 423 provided on the respective gauge blocks 41 and 42 are arranged so as to face the contact surfaces 401 and 402 of the cylinder 40.
The first gauge block 41 is slid toward the contact surface 401 so that the first reference surface 411 and the work surface 50A do not separate from each other, and the fixed seat 413 is pressed against the contact surface 401 so as to be in close contact with the cylindrical surface. Fix to 40.
The second gauge block 42 is slid toward the contact surface 402 so that the first reference surface 421 and the work surface 50A do not separate from each other, and the fixed seat 423 is pressed against the contact surface 402 so that the second gauge block 42 is cylindrical. Fix to 40.
[0043]
According to the above-described embodiment, the following effects can be obtained.
A first relative value is obtained from the displacement K11 when measuring the point P1 on the first reference surface 411 of the first gauge block 41 and the displacement K12 when measuring the point P2 on the first reference surface 421 of the second gauge block 42. After obtaining the displacement amount R (0) and rotating the inspection jig 4 by 180 degrees, the displacement K13 when the point P3 on the second reference surface 412 of the first gauge block 41 is measured, and the second gauge block 42 The second relative displacement R (180) is obtained from the displacement K14 when the point P4 on the second reference plane 422 is measured, and the first relative displacement R (0) and the second relative displacement R (180) are obtained. , The column relative tilt amount Q between the table rotation axis S1 and the detector guide direction axis S2 can be easily obtained using the inspection jig 4.
[0044]
Since the inspection jig 4 is composed of the cylinder 40 and the first and second gauge blocks 41 and 42, that is, the inspection jig 4 is configured by using the inexpensive and highly accurate first and second gauge blocks 41 and 42. Therefore, it can be configured at low cost.
Moreover, if the first reference surfaces 411, 421 of the gauge blocks 41, 42 are parallel, the mounting position of the gauge blocks 41, 42 with respect to the cylinder 40 does not become a measurement error factor of the column relative tilt amount Q. The highly reliable inspection jig 4 can be manufactured easily and at low cost.
[0045]
Since the column relative inclination amount Q can be obtained without moving the inspection jig 4 from the centering / leveling table 21, the height of the steel ball with respect to the rotary table, which has been measured at the time of measurement using the steel ball, can be obtained. There is no need to provide a process for adjusting the height.
Since only four points P1 to P4 are measured, the column relative inclination amount Q can be obtained with a small number of data.
Since the gauge blocks 41 and 42 are formed in the same shape, the column relative inclination amount Q can be easily obtained as compared with the case where the shape of each gauge block is different.
In the measurement, the measurement result of the inspection object is corrected based on the column relative inclination amount Q obtained by using the highly reliable inspection jig 4, so that the parallelism error is corrected. Highly measured values can be obtained.
[0046]
The inspection jig 4 mounts the cylinder 40 on the flat master 50 such that the inspection jig axis S3 is parallel to the work surface 50A, and sandwiches the cylinder 40 with the first reference surface 411 of each of the gauge blocks 41 and 42. , 421 are arranged on the work surface 50A, and then each gauge block 41, 42 is manufactured by ringing and fixing to the contact surfaces 401, 402 of the cylinder 40 while sliding on the work surface 50A. The inspection jig 4 in which the first reference surfaces 411 and 421 of the inspection jigs 41 and 42 are parallel to the inspection jig axis S3 can be reliably manufactured.
[0047]
It should be noted that the present invention is not limited to the above embodiment, and modifications and improvements as long as the object of the present invention can be achieved are included in the present invention.
For example, although the inspection jig 4 in which the first reference surfaces 411 and 421 of the gauge blocks 41 and 42 are the same is used for measuring the column relative inclination amount, as shown in FIG. Using the gauge blocks 41C and 42C having a shape, an inspection jig 4C manufactured so that the first reference surfaces 411C and 421C are not the same surface but are parallel can be used.
Further, as shown in FIG. 7B, an inspection jig manufactured using gauge blocks 41D and 42D formed so that L11 ≠ L12 so that the first reference surfaces 411D and 421D are parallel to each other. 4D may be used.
In short, the first reference plane and the second reference plane are parallel, and the first reference plane of each gauge block is parallel using two gauge blocks whose distance between them is a known value. Any inspection jig manufactured as described above may be used.
[0048]
In the above embodiment, the column relative tilt amount Q with respect to the tilt of the detector guide direction axis S2 with respect to the table rotation axis S1 in the X direction is obtained. However, the same method is used to obtain the column relative tilt amount Q1 in the Y direction. It may be.
Further, a configuration may be adopted in which the column relative tilt amounts Q and Q1 with respect to the tilt in the X direction and the Y direction of the detector guide direction axis S2 with respect to the table rotation axis S1 are obtained.
[0049]
【The invention's effect】
Advantageous Effects of Invention According to the present invention, a relative inclination measuring method, a measured value correcting method, and an inspection jig of a roundness measuring device that are inexpensive and can obtain a highly reliable measurement result without increasing complicated steps And a method of manufacturing the same.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a front view of a roundness measuring instrument according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view of an inspection jig in the embodiment.
FIG. 3 is a conceptual diagram of a tilt amount measuring method in the embodiment.
FIG. 4 is a front view of the inspection jig in the embodiment.
FIG. 5 is a top view of the inspection jig in the embodiment.
FIG. 6 is an explanatory diagram of the inspection jig manufacturing method in the embodiment.
FIG. 7 is a front view showing another example of the inspection jig.
[Explanation of symbols]
1 Roundness measuring machine
4 Inspection jig
21-center leveling table (rotary table)
30 columns
35 detector
40 cylinder (intermediate)
41 1st gauge block
42 2nd gauge block
50A working surface
51 Support spacer
401, 402 adhesion surface (end surface of intermediate)
411,421 First reference plane
412, 422 Second reference plane
Q Column relative inclination (relative inclination)
S1 Table rotation axis (rotation axis)
S2 Detector guide direction axis
S3 Inspection jig axis (axis of inspection jig)

Claims

被測定物を載置する回転テーブルと、前記被測定物の各断面の真円度を測定する検出器と、この検出器を上下方向に案内するコラムとを備えた真円度測定機において、前記回転テーブルの回転軸と前記コラムの検出器案内方向軸線との相対傾斜量を求める真円度測定機の相対傾斜量測定方法であって、柱状の中間体と、互いに平行な第１および第２基準面間の寸法が規定寸法に加工された直方体形状の第１および第２ゲージブロックとを有し、前記各ゲージブロックの第１および第２基準面が中間体の軸方向と略平行になるように各ゲージブロックが中間体の両端面に密着固定された検査治具を予め用意し、
前記回転テーブルに前記検査治具の第１ゲージブロックが接するように検査治具を回転テーブル上に載置した後、前記検査治具の軸線と前記回転軸が略一致するように前記検査治具の姿勢を調整するとともに、前記各ゲージブロックの第１基準面が前記検出器に対向するように前記回転テーブルを回転させ、
前記検出器をコラムに沿って移動させ、前記各ゲージブロックの第１基準面における所定位置を測定し、前記検査治具の軸線と前記コラムの検出器案内方向軸線との第１相対傾斜量を求め、
前記回転テーブルを略１８０度回転させた後、前記検出器をコラムに沿って移動させ、前記各ゲージブロックの第２基準面における所定位置を測定し、前記検査治具の軸線と前記コラムの検出器案内方向軸線との第２相対傾斜量を求め、
前記第１相対傾斜量および第２相対傾斜量から、前記回転テーブルの回転軸と前記コラムの検出器案内方向軸線との相対傾斜量を求める
ことを特徴とする真円度測定機の相対傾斜量測定方法。A rotary table on which the object to be measured is mounted, a detector for measuring the roundness of each cross section of the object to be measured, and a roundness measuring machine including a column for guiding the detector in the vertical direction, A method for measuring a relative tilt amount of a roundness measuring device for obtaining a relative tilt amount between a rotation axis of the rotary table and an axis of a detector guide direction of the column, comprising: a columnar intermediate body; First and second gauge blocks each having a rectangular parallelepiped shape in which a dimension between two reference planes is machined to a predetermined dimension, wherein the first and second reference planes of each of the gauge blocks are substantially parallel to the axial direction of the intermediate body. In advance, prepare an inspection jig in which each gauge block is tightly fixed to both end faces of the intermediate body,
After placing the inspection jig on the rotary table so that the first gauge block of the inspection jig contacts the rotary table, the inspection jig is so positioned that the axis of the inspection jig substantially coincides with the rotation axis. While adjusting the attitude of, rotating the rotary table so that the first reference surface of each gauge block faces the detector,
The detector is moved along a column, a predetermined position of each gauge block on a first reference plane is measured, and a first relative tilt amount between an axis of the inspection jig and an axis of a detector guide direction of the column is calculated. Asked,
After rotating the rotary table by approximately 180 degrees, the detector is moved along a column to measure a predetermined position of each gauge block on a second reference plane, and to detect the axis of the inspection jig and the column. The second relative inclination amount with respect to the container guiding direction axis is obtained,
A relative inclination amount of a roundness measuring device, wherein a relative inclination amount between a rotation axis of the rotary table and an axis of a detector guide direction of the column is obtained from the first relative inclination amount and the second relative inclination amount. Measuring method.

請求項１に記載の真円度測定機の相対傾斜量測定方法を用いて、前記回転テーブルの回転軸と前記コラムの検出器案内方向軸線との相対傾斜量を求めた後、
前記被測定物を前記回転テーブルに載置し、
前記被測定物の指定測定位置における径方向座標値を、前記検出器により測定して測定値を得て、
測定された前記測定値から、前記指定測定位置に対応する前記相対傾斜量を差し引くことにより平行度誤差を補正する、
ことを特徴とする真円度測定機による測定値補正方法。After obtaining the relative tilt amount between the rotation axis of the rotary table and the detector guide direction axis of the column using the relative tilt amount measuring method of the roundness measuring device according to claim 1,
Place the object to be measured on the rotary table,
The radial coordinate value at the designated measurement position of the object to be measured is measured by the detector to obtain a measured value,
From the measured value measured, to correct the parallelism error by subtracting the relative tilt amount corresponding to the specified measurement position,
A method for correcting a measured value by a roundness measuring machine.

被測定物を載置する回転テーブルと、前記被測定物の各断面の真円度を測定する検出器と、この検出器を上下方向へ案内するコラムとを備えた真円度測定機において、前記回転テーブルの回転軸と前記コラムの検出器案内方向軸線との相対傾斜量を求めるために用いられる検査治具であって、
柱状の中間体と、互いに平行な第１および第２基準面間の寸法が規定寸法に加工された直方体形状の第１および第２ゲージブロックとを有し、前記各ゲージブロックの第１および第２基準面が中間体の軸方向と略平行になるように各ゲージブロックが中間体の両端面に密着固定された、
ことを特徴とする検査治具。A rotary table on which the object to be measured is mounted, a detector for measuring the roundness of each section of the object to be measured, and a roundness measuring machine including a column for guiding the detector in the vertical direction, An inspection jig used to determine a relative tilt amount between a rotation axis of the rotary table and a detector guide direction axis of the column,
It has a columnar intermediate body, and first and second gauge blocks each having a rectangular parallelepiped shape in which a dimension between first and second reference planes parallel to each other is machined to a specified dimension. (2) Each gauge block was fixed to both end faces of the intermediate body so that the reference plane was substantially parallel to the axial direction of the intermediate body.
An inspection jig characterized in that:

請求項３に記載の検査治具において、
前記第１ゲージブロックと前記第２ゲージブロックとは、同一形状である、
ことを特徴とする検査治具。The inspection jig according to claim 3,
The first gauge block and the second gauge block have the same shape,
An inspection jig characterized in that:

請求項４に記載の検査治具の製造方法であって、
平らの作業面上にスペーサを介して前記中間体の軸線が作業面と略平行となるように中間体を載置し、
この中間体を挟んで第１および第２ゲージブロックを配置するとともに、各ゲージブロックの第１基準面を作業面上に載置し、
この各ゲージブロックを作業面上でかつ中間体に向かってスライドさせながら中間体の両端面に密着固定する、
ことを特徴とする検査治具の製造方法。It is a manufacturing method of the inspection jig of Claim 4, Comprising:
Placing the intermediate body on a flat work surface via a spacer so that the axis of the intermediate body is substantially parallel to the work surface,
While arranging the first and second gauge blocks with the intermediate body interposed therebetween, the first reference plane of each gauge block is placed on the work surface,
Each of the gauge blocks is closely fixed to both end faces of the intermediate body while sliding on the work surface and toward the intermediate body,
A method for manufacturing an inspection jig characterized by the above-mentioned.