【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は固定ベース上に設けた移動テーブルを、固定ベースに対して左右方向移動，前後方向移動，並びに水平回動可能に設けた移動テーブル装置に係るものである。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
固定ベース上に設けた移動テーブルを固定ベースに対して左右方向に移動せしめたり前後方向に移動せしめたりする移動テーブル装置が多用されているが、この移動テーブルに回動作動を付加するため、移動テーブルに回動軸を立設し、この回動軸に回動テーブルを回動可能に被嵌止着し、移動テーブル・回動テーブル間に設けた回動機構により回動テーブルを回動せしめる装置も使用されているが、この構成は固定ベース・移動テーブル・回動テーブルの三層構成となるため高さスペースに制約のある場合には対応できない欠点があるばかりでなく回動テーブルを回動せしめる回動機構が必要であった。
【０００３】
本発明は、上記欠点を解決するため固定ベースと移動テーブル間に移動機構を設け、移動テーブルを固定ベースに対して左右方向移動・前後方向移動・水平回動可能な移動テーブルを提供することを技術的課題とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。
【０００５】
固定ベース１上に、下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ'1を左右方向に、下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ'1を前後方向に横設し、この下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ'1に、Ｘ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ'2の基部を左右スライド可能に被嵌し、このＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ'2の上部に下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ'1に直交する上部Ｙ軸ガイドレールＸY ，Ｘ'Yを前後スライド可能に嵌入し、前記下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ'1にＹ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ'2の基部を前後スライド可能に被嵌し、このＹ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ'2の上部に下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ'1に直交する上部Ｘ軸ガイドレールＹX ，Ｙ'Xを左右スライド可能に嵌入し、前記Ｘ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ'2及びＹ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ'2は、転動体を内蔵しこの転動体の受ける荷重を担いながら転動体が転がり運動で転動する転送軌道を下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ'1及び下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ'1との被嵌面に凹設形成して、スライド移動するに際して転動体が転がり運動で転動することで直進精度と直交精度が得られるとともに高負荷に耐え摩擦抵抗が小さいスライド被嵌構造となるように構成し、このＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ'2を下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ'1に所望の距離でスライド移動せしめるＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ'3と、Ｙ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ'2を下部Ｙ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ'1に所望の距離でスライド移動せしめるＹ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ'3を固定ベース１に設け、前記上部Ｙ軸ガイドレールＸY ，Ｘ'Yと上部Ｘ軸ガイドレールＹX ，Ｙ'Xとの上面に、同心円上の等間隔四ヵ所で軸受６を介して移動テーブル４を軸着して、この移動テーブル４を固定ベース１の上方に平行状態に設け、前記Ｘ軸用移動機構Ｘ3，Ｘ'3、Ｙ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ'3により移動テーブル４を固定ベース１に対して左右方向移動，前後方向移動，水平回動可能に設けたことを特徴とする移動テーブル装置に係るものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を作用効果を示して実施の一例である図面に基づいて説明する。
【０００７】
移動テーブル４を固定ベース１に対して左右方向に移動せしめる実施の形態について説明する。
【０００８】
例えば、左右のＹ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ'3の作動を固定し、前後のＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ'3を同時に正・逆同じ移動量だけ作動して前後のＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ'2を前後の下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ'1をガイドとして同時に同じ距離だけ右方にスライド移動せしめて移動テーブル４を固定ベース１に対して右方向にスライド移動せしめる。
【０００９】
このとき固定ベース１上の左右の下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ'1に被嵌した左右のＹ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ'2の基部は左右方向の動きが拘束されているので固定ベース１上のそのままの位置で保持され、左右のＹ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ'2の上部は移動テーブル４と共に移動する上部Ｘ軸ガイドレールＹX ，Ｙ'Xを右方にガイドスライド移動せしめる。
【００１０】
移動テーブル４を左方にスライド移動せしめる場合は、前記と同様手段によりＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ'2を例えばＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ'3により左方向に移動せしめる。
【００１１】
次に、移動テーブル４を固定ベース１に対して前後方向に移動せしめる実施の形態について説明する。
【００１２】
例えば、前後のＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ'3の作動を固定し、左右のＹ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ'3を同時に正・逆同じ移動量だけ作動して左右のＹ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ'2を左右の下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ'1をガイドとして同時に同じ距離だけ前方にスライド移動せしめて移動テーブル４を固定ベース１に対して前方向にスライド移動せしめる。
【００１３】
このとき、前記と同様に、固定ベース１上の前後の下部Ｘ軸ガイドレールＸ1，Ｘ'1に被嵌した前後のＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ'2の基部は前後方向の動きが拘束されているので固定ベース１上のそのままの位置で保持され、前後のＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ'2の上部は移動テーブル４と共に移動する上部Ｙ軸ガイドレールＸY ，Ｘ'Yを前方にガイドスライド移動せしめる。
【００１４】
移動テーブル４を後方にスライド移動せしめるときは、前記と同様手段によりＹ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ'2を例えばＹ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ'3により後方に移動せしめる。
【００１５】
続いて、移動テーブル４を固定ベース１に対して水平回動せしめる実施の形態について説明する。
【００１６】
例えば、前後のＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ'3 ，左右のＹ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ'3を同時に正の方向に同じ所望の移動量Ｓだけ作動せしめると、前後のＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ'3により前側のＸ軸ハウジングＸ2の基部が下部Ｘ軸ガイドレールＸ1上を右方向に、後側のＸ軸ハウジングＸ'2の基部が下部Ｘ軸ガイドレールＸ'1上を左方向に、左右のＹ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ'3により左側のＹ軸ハウジングＹ2の基部が下部Ｙ軸ガイドレールＹ1上を前側方向に、右側のＹ軸ハウジングＹ'2の基部が下部Ｙ軸ガイドレールＹ'1上を下側方向に移動する。
【００１７】
この移動により移動テーブル４に例えば同心円上に等間隔で配設した四個の固定孔５に垂設した回動支柱３が、前後のＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ'2及び左右のＹ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ'2の移動距離に対応した偏差距離Ｄで上部Ｙ軸ガイドレールＸY ，Ｘ'Y及び上部Ｘ軸ガイドレールＹX ，Ｙ'Xを内側に押圧して上部Ｙ軸ガイドレールＸY ，Ｘ'YをＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ'2の上部内にスライド移動し、上部Ｘ軸ガイドレールＹX ，Ｙ'XをＹ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ'2の上部内にスライド移動せしめるので、移動テーブル４を移動テーブル４の同心円の中心を回動中心として時計方向にα°水平回動せしめる。
【００１８】
また、前後のＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ'3 ，左右のＹ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ'3を同時に逆の方向に同じ所望の量だけ作動せしめると、前記と同じ理により移動テーブル４が同心円の中心を回動中心として反時計方向に水平回動する。
【００１９】
【実施例】
添付図面により本発明の実施例について説明する。
【００２０】
固定ベース１上に、固定ベース１の基点２より前後・左右対向状態に等しい長さの距離Ｌを置いて所定長さの下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ'1を左右方向に下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ'1を前後方向に横設し、この前後の下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ'1に、夫々Ｘ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ'2の基部を左右スライド可能に被嵌し、このＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ'2の上部に下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ'1に直交する所定長さの上部Ｙ軸ガイドレールＸY ，Ｘ'Yを前後スライド可能に嵌入し、前記左右の下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ'1に夫々Ｙ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ'2の基部を前後スライド可能に被嵌し、このＹ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ'2の上部に下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ'1に直交する所定長さの上部Ｘ軸ガイドレールＹX ，Ｙ'Xを左右スライド可能に嵌入し、この前後のＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ'2を夫々の下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ'1に所望の距離でスライド移動せしめるＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ'3と、左右のＹ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ'2を夫々の下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ'1に所望の距離でスライド移動せしめるＹ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ'3を固定ベース１に設け、前記前後の上部Ｙ軸ガイドレールＸY ，Ｘ'Yと左右の上部Ｘ軸ガイドレールＹX ，Ｙ'Xの中央上面に夫々回動支柱３を立設し、移動テーブル４の下面に前記前後・左右の下部Ｘ・Ｙ軸ガイドレール間の距離２Ｌと等しい直径長さの同心円上に等間隔に四個の固定孔５を穿孔し、この固定孔５を前記回動支柱３の上部に軸受６を介して被嵌止着して移動テーブル４を固定ベース１の上方に平行状態に設け、前記前後のＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ'3、左右のＹ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ'3により移動テーブル４を固定ベース１に対して左右方向移動，前後方向移動，水平回動可能に設ける。
【００２１】
図示した下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，上部Ｙ軸ガイドレールＸY ，Ｘ軸ハウジングＸ2の構成について図６により簡単に説明する。（後側の下部Ｘ軸ガイドレールＸ'1 ，上部Ｙ軸ガイドレールＸ'Y ，Ｘ軸ハウジングＸ'2及び左右の下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ'1 、上部Ｘ軸ガイドレールＹX ，Ｘ'X 、Ｙ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ'2も同様である。）。
【００２２】
左右対向状態に環状の玉型転動体を内蔵し、左右側面に玉型転動体の受ける荷重を担いながら玉型転動体が転がり運動で転動する転送軌道を刻設したブロックをクロス型に背面合わせに直交させて形成してＸ軸ハウジングＸ2を構成し、前記Ｘ軸ハウジングＸ2内の環状の玉型転動体をガイドとして転がり運動で直線状にスムースにガイド移動するよう左右両側面に対向状態に転送軌道を形成した下部Ｘ軸ガイドレールＸ1を前記Ｘ軸ハウジングＸ2の基部にスライド可能に嵌入し、このＸ軸ハウジングＸ2の上部にＸ軸ガイドレールＸ1と同形の上部Ｙ軸ガイドレールＸYをスライド可能に嵌入してＸ軸ガイドレールＸ1と直交する上部Ｙ軸ガイドレールを形成する。
【００２３】
本実施例のハウジング及び上下のガイドレールを上記のように構成したので、組み立て全高さが従来品に比して著しく低くなるうえに極めて高い直進精度と直交精度が得られるとともに高負荷に耐え摩擦抵抗が小さいクロスタイプの上下のガイドレールとハウジングが構成される。
【００２４】
次に、固定ベース１の前左部に設けたＸ軸ハウジングＸ2を前側下部Ｘ軸ガイドレールＸ1に所望の距離でスライド移動せしめるＸ軸用移動機構Ｘ3について説明する。（固定ベース１の後右部に設けた後側のＸ軸用移動機構Ｘ'3 、固定ベース１の左後部及び右前部に設けた左・右のＹ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ'3についても同様である。）。
【００２５】
Ｘ軸ハウジングＸ2の左側端部に下方に開口部を有するチャンネル形状の連結体９の基部のフランジ面を止着し他部のフランジ面の内側に内径にボール螺子の雌螺子を螺設したボール雌螺子体10を止着する。固定ベース１の前左部にアングル状のモータベース11を止着し、このモータベース11の縦板の左側にステッピングモータ12若しくはサーボモータを止着する。
【００２６】
前記連結体９・モータベース11間の固定ベース１上に軸受部13を立設し、ボール雌螺子体10のボール螺子の雌螺子部にボール雄螺子を螺設したボール雄螺子杆14を螺合してその基端部を左方に延設しこの延長設端部を軸受部13内に設けたベアリングケース13'を介して二列のベアリング15で支承してナット16で止着し、このボール雄螺子杆14の延設端と前記ステッピングモーター12の出力軸端部とをカップリング17で連結してＸ軸用移動機構Ｘ3を構成する。
【００２７】
本実施例のＸ軸用移動機構Ｘ3を上記のように構成したので、ステッピングモーター12を正回転せしめるとボール雄螺子杆14が回転し、このボール雄螺子杆14に螺合しているボール雄螺子体10のボール螺子機構によりＸ軸ハウジングＸ2が前部の下部Ｘ軸ガイドレールＸ1をガイドとして右方にスライド移動する。
【００２８】
本実施例は上記のように移動機構のアクチェータとしてステッピングモーター12を採用し、このステッピングモーター12の回転をボール螺子機構によりＸ軸ハウジングの直進運動に転換するよう構成したので、ステッピングモーター12の回転を高精度で数値制御できるうえに、この制御回転をバックラッシュがなく高精度のボール螺子機構によりＸ軸ハウジングＸ2を下部Ｘ軸ガイドＸ1上に直進移動せしめるため、Ｘ軸ハウジングＸ2の直進移動を極めて高い精度で規制でき、且つ、繰り返し位置決め精度が保証される秀れた精度の移動機構となる。
【００２９】
移動テーブル４を固定ベース１の上方に平行状態に設ける構成について説明する。
【００３０】
前後の上部Ｙ軸ガイドレールＸY ，Ｘ'Yと左右の上部Ｘ軸ガイドレールＹX ，Ｙ'Xの夫々の中央に回動支柱３の基部を止めボルト（図示省略）で止着して回動支柱３を上部のＹ・Ｘ軸ガイドレールに立設する。
【００３１】
移動テーブル４の下面に、前後・左右の下部Ｘ・Ｙガイドレールの軸線間の距離２Ｌに等しい直径長さの同心円上に等間隔で四個の固定孔５を穿孔する。この同心円の中心を２'とする。上部にフランジ部を有するハブ型形状のベアリングハウジング18の上部フランジ面より下方に開口孔を有するカウンターボア部を穿孔し、このカウンターボア部内に軸受６として二個の玉軸受を嵌入し、回動支柱３に段部を介して軸部を上方に突設し、この回動支柱３に前記ベアリングハウジング18を被嵌して軸部に玉軸受を圧入し、回動支柱３の軸部端部に設けた雄螺子部に固定ナット20を螺着して前記段部と固定ナット20で軸受６を締め付ける。このベアリングハウジング18のフランジ部に前記固定孔５に嵌入する突設円筒鍔部を設け、この夫々の突設円筒鍔部に夫々の固定孔５を被嵌してベアリングハウジング18のフランジ部を止着ボルト21で移動テーブル４に固定する。
【００３２】
夫々の固定孔３の上部寄りに固定孔より径大の嵌入孔を穿孔し、この嵌入孔に上部が嵌入孔に係合し下部円筒部が固定孔５に係合する盲フランジボス形状のカバー22を嵌入し、このカバー22のボス部に前記固定ナット20の外径と干渉しないよう逃げ孔を穿孔し、このカバー22のフランジ部を止めボルト23で移動テーブル４に止着して移動テーブル４を固定ベース１上に玉軸受を介して平行状態に設ける。
【００３３】
本発明の実施例を上記のように構成したので、左右のＹ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ'3の作動を停止し、例えば前後のＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ'3のステッピングモーター12を同時に所望の正・逆回転で作動せしめると夫々のボール雄螺子杆14が回転し、ボール雄螺子杆14・ボール雌螺子体10のボール螺子機構により前後のＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ'2が前後の下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ'1上を同時に同じ移動距離で正確に右方に移動するので、移動テーブル４が固定ベース１上に所望の移動距離で正確に右方向に移動する。（このとき後側のＸ軸用移動機構Ｘ'3のボール雄螺子杆14・ボール雌螺子体10のボール螺子の螺子部を前側のボール螺子と逆螺子形状に形成すれば、ステッピングモーター12の回転は同じで良い。）。
【００３４】
同様に前後のＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ'3の作動を停止し、例えば左右のＹ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ'3のステッピングモーター12を同時に所望の正・逆回転で作動せしめると前記と同じ作動により移動テーブル４が固定ベース１上に所望の移動距離で正確に前方向にスライド移動する。
【００３５】
また、例えば前後のＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ'3及び左右のＹ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ'3の夫々のステッピングモーターを同時に所望の正回転で作動せしめると、夫々のボール雄螺子杆14により前後のＸ軸ハウジングＸ3 ，Ｘ'3の基部が及び左右のＹ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ'2の基部が前後の下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ'1，左右の下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ'1上を同時に同じ移動距離で正確に前進移動し、この動きに連動して移動テーブル４に同心円上に等間隔で配設した四個の固定孔５に軸受を介して垂設した回動支柱３が前後のＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ'2及び左右のＹ軸ハウジングＹ1 ，Ｙ'1の移動距離を応じた偏差距離Ｄで上部Ｙ軸ガイドレールＸY ，Ｘ'Y及び上部Ｘ軸ガイドレールＹX ，Ｙ'Xを夫々内側に押圧して上部Ｙ軸ガイドレールＸY ，Ｘ'YをＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ'2の上部内に、及び上部Ｘ軸ガイドレールＹX ，Ｙ'XをＹ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ'2の上部内にスライド移動せしめるので、移動テーブル４が移動テーブル４の同心円の中心２'を回動中心として時計方向に水平回動せしめる。
【００３６】
尚、ステッピングモータ12の回転数はＮＣ制御することが望ましい。
【００３７】
また、図５は本発明の考え方を取り入れた他の実施例を示した図面で、固定ベース１上に固定ベース１に設けた基点２を図心とし対辺間距離が夫々２Ｌの長さの正四角形を想定し、この正四角形の前左頂角点及び後右頂角点となる固定ベース１上の前左隅部と後右隅部に、所定長さの下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ'1を左右方向に横設し、前記想定正四角形の左後頂角点及び右前頂角点となる固定ベース１上の左後隅部と右前隅部に、所定長さの下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ'1を前後方向に横設し、この前後の下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ'1に、夫々Ｘ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ'2の基部を左右スライド可能に被嵌し、このＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ'2の上部に下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ'1に直交する所定長さの上部Ｙ軸ガイドレールＸY ，Ｘ'Yを前後スライド可能に嵌入し、前記左右の下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ'1に夫々Ｙ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ'2の基部を前後スライド可能に被嵌し、このＹ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ'2の上部に下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ'1に直交する所定長さの上部Ｘ軸ガイドレールＹX ，Ｙ'Xを左右スライド可能に嵌入し、前後のＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ'2を夫々の下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ'1に所望の距離でスライド移動せしめるＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ'3と、左右のＹ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ'2を夫々の下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ'1に所望の距離でスライド移動せしめるＹ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ'3を固定ベース１に設け、前記前後の上部Ｙ軸ガイドレールＸY ，Ｘ'Yと左右の上部Ｘ軸ガイドレールＹX ，Ｙ'Xの中央上面に夫々回動支柱３を立設し、移動テーブル４の下面に、前記想定正四角形の各頂点を通る直径長さの同心円上に等間隔に四個の固定孔５を穿孔し、この固定孔５を前記回動支柱３の上部に軸受６を介して被嵌止着して移動テーブル４を固定ベース１の上方に平行状態に設けた場合を図示している。
【００３８】
この場合も前記と同様に前後のＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ'3 、左右のＹ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ'3により移動テーブル４を固定ベース１に対して左右方向移動，前後方向移動，水平回動可能に移動できる。
【００３９】
【発明の効果】
本発明を上記のように構成したので、移動テーブルを固定ベースに対して所望の移動量で左右方向移動，前後方向移動が可能となるのみならず、所望の角度で移動テーブルを水平回動できる実用上秀れた効果を発揮する移動テーブルとなる。
【００４０】
また、固定ベース上に下部ガイドレールを設け、この下部ガイドレールにハウジングを介して移動テーブルに止着した上部ガイドレールを直交状態に配設する構成と、前後・左右に設けた夫々のＸ，Ｙ軸用移動機構を同時に同じ移動量だけ作動することにより移動テーブルが所望の角度で水平回動する構成を採用したので、移動テーブル上に回動テーブルを設けた従来型の移動テーブルに比較して構造が著しくコンパクトで簡単になるのみならず、装置の高さを著しく低く構成できる。
【００４１】
また、移動テーブルの左右方向移動又は前後方向移動を二個の移動機構で作動せしめる構成のため、従来型の移動機構が夫々一個の移動機構で作動せしめる構成に比し一個当たりの移動機構の負荷が半減するのみならず、水平回動を四個の移動機構で作動せしめる構成のため、夫々の移動機構の受ける負荷が等分に案分されそれだけ負荷が軽くなるので移動機構の剛性が維持されるうえに、従来の回動機構が中心部に設けた回動軸を軸心として回動する構成に比し、対向状態に設けた下部がガイドレールの延長線上で移動機構を駆動して移動テーブルを回動せしめるため誤差が拡大しない極めて正確な回動が得られる移動テーブル装置となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施例の構成を示す一部を切欠いた説明用平面図である。
【図２】本実施例の構成を示す一部を切欠いた説明用側面図である。
【図３】本実施例の使用状態の移動テーブルを固定ベースに対して水平回動せしめる作動を示す一部を省略した説明用平面図である。
【図４】本実施例の移動テーブルを固定ベースに対して右方向にｔ距離，前方向にμ距離移動せしめたあとβ°水平回動せしめた一部を省略した説明用平面図である。
【図５】本発明の考え方を取り入れた他の実施例の一部を切欠いた説明用平面図である。
【図６】本実施例の上下のガイドレールとハウジングの構成を示す説明用斜視図である。
【符号の説明】
Ｘ1 ，Ｘ'1 下部Ｘ軸ガイドレール
Ｘ2 ，Ｘ'2 Ｘ軸ハウジング
Ｘ3 ，Ｘ'3 Ｘ軸用移動機構
ＸY ，Ｘ'Y 上部Ｙ軸ガイドレール
Ｙ1 ，Ｙ'1 下部Ｙ軸ガイドレール
Ｙ2 ，Ｙ'2 Ｘ軸ハウジング
Ｙ3 ，Ｙ'3 Ｙ軸用移動機構
ＹX ，Ｙ'X 上部Ｘ軸ガイドレール
１ 固定ベース
４ 移動テーブル
６ 軸受[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a moving table device provided with a moving table provided on a fixed base so as to be able to move in the left-right direction, the front-rear direction, and the horizontal rotation with respect to the fixed base.
[0002]
Problems to be solved by the prior art and the invention
A moving table device that moves a moving table provided on a fixed base in the left-right direction or the front-back direction with respect to the fixed base is often used. A turning shaft is erected on the table, and the turning table is rotatably fitted to the turning shaft, and the turning table is turned by a turning mechanism provided between the moving table and the turning table. Although a device is also used, this structure has a three-layer structure consisting of a fixed base, a moving table, and a rotating table. A pivoting mechanism to move it was needed.
[0003]
The present invention provides a moving table which is provided with a moving mechanism between a fixed base and a moving table to solve the above-mentioned drawbacks, and which can move the moving table relative to the fixed base in the left-right direction, the front-rear direction, and the horizontal rotation. It is a technical issue.
[0004]
[Means for Solving the Problems]
The gist of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
[0005]
On the fixed base 1, the lower X-axis guide rail X 1, X '1 in the lateral direction, the lower Y-axis guide rails Y 1, Y' and laterally disposed one in the longitudinal direction, the lower X-axis guide rail X 1, X 'to 1, the X-axis housing X 2, X' 2 of the base lateral slidably fitted over, the 'lower X-axis guide rail X 1, X at the top of the 2' 1 this X-axis housing X 2, X The upper Y-axis guide rails X Y and X ′ Y orthogonal to each other are fitted so as to be slidable back and forth, and the bases of the Y-axis housings Y 2 and Y ′ 2 can be slid back and forth into the lower Y-axis guide rails Y 1 and Y ′ 1. The upper X-axis guide rails Y X , Y ′ X orthogonal to the lower Y-axis guide rails Y 1 , Y ′ 1 are slidably fitted into the upper parts of the Y-axis housings Y 2 , Y ′ 2 , the X-axis housing X 2, X '2 and Y-axis housing Y 2, Y' 2 incorporates a rolling element load experienced by the rolling elements The transfer orbit rolling at a rolling motion rolling elements recessed formed in the fitting surface of the lower X-axis guide rail X 1, X '1 and lower Y-axis guide rails Y 1, Y' 1 with play, the slide The X-axis housings X 2 , X are configured so that the rolling element rolls in a rolling motion when moving, so that a straight fitting accuracy and an orthogonal accuracy can be obtained, and a slide fitting structure that withstands a high load and has a small frictional resistance is provided. The X-axis moving mechanisms X 3 and X ′ 3 for sliding the X ′ 2 to the lower X-axis guide rails X 1 and X ′ 1 at a desired distance, and the Y-axis housings Y 2 and Y ′ 2 are connected to the lower Y-axis guide rail. The Y-axis moving mechanisms Y 3 and Y ′ 3 for sliding the X 1 and X ′ 1 at a desired distance are provided on the fixed base 1, and the upper Y-axis guide rails XY and X ′ Y and the upper X-axis guide rail are provided. Y X, the upper surface of the Y 'X, the bearing 6 at equal intervals four Kasho of concentric And pivotally moving table 4, the moving table 4 above the stationary base 1 provided parallel state, the X-axis moving mechanism X 3, X '3, Y-axis moving mechanism Y 3, Y' 3. The moving table device according to claim 3 , wherein the moving table 4 is provided so as to be movable left and right with respect to the fixed base 1, forward and backward, and horizontally rotatable.
[0006]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings, which are examples of the embodiments, showing operational effects.
[0007]
An embodiment in which the moving table 4 is moved in the left-right direction with respect to the fixed base 1 will be described.
[0008]
For example, the operation of the left and right Y-axis moving mechanisms Y 3 , Y ′ 3 is fixed, and the front and rear X-axis moving mechanisms X 3 , X ′ 3 are simultaneously operated by the same amount of forward / reverse movement to move the front and rear X-axis. The housing X 2 , X ′ 2 is simultaneously slid to the right by the same distance using the front and rear lower X-axis guide rails X 1 , X ′ 1 as a guide, and the moving table 4 is slid to the right with respect to the fixed base 1. Let me know.
[0009]
A fixed base at the bottom Y-axis guide rails Y 1, Y 'right and left Y-axis housing Y 2 which is fitted to 1, Y' 2 of the base of the right and left on the stationary base 1 this time moves in the lateral direction is restricted held in situ on the 1, right and left Y-axis housing Y 2, Y '2 the top upper X-axis guide rail Y X which moves together with the moving table 4, Y' allowed to guide sliding movement of the X to the right.
[0010]
When the moving table 4 is slid to the left, the X-axis housings X 2 , X ′ 2 are moved to the left by, for example, the X-axis moving mechanisms X 3 , X ′ 3 by the same means as described above.
[0011]
Next, an embodiment in which the moving table 4 is moved in the front-rear direction with respect to the fixed base 1 will be described.
[0012]
For example, the operation of the front and rear X-axis moving mechanisms X 3 , X ′ 3 is fixed, and the left and right Y-axis moving mechanisms Y 3 , Y ′ 3 are simultaneously operated by the same amount of forward / reverse movement so that the left and right Y axis The housings Y 2 and Y ′ 2 are simultaneously slid forward by the same distance using the left and right lower Y-axis guide rails Y 1 and Y ′ 1 as guides, and the movable table 4 is slid forward with respect to the fixed base 1. .
[0013]
At this time, similarly to the above, 'X-axis housing X 2, X before and after fitted into 1' 2 of the base lower X-axis guide rail X 1, X before and after on the fixed base 1 is the front-rear direction of motion constraint The upper part of the front and rear X-axis housings X 2 , X ′ 2 is held at the same position on the fixed base 1, and the upper Y-axis guide rails XY , X ′ Y moving together with the moving table 4 move forward. Move the guide slide.
[0014]
When the moving table 4 is slid backward, the Y-axis housings Y 2 and Y ′ 2 are moved rearward by, for example, the Y-axis moving mechanisms Y 3 and Y ′ 3 by the same means as described above.
[0015]
Next, an embodiment in which the movable table 4 is horizontally rotated with respect to the fixed base 1 will be described.
[0016]
For example, when the front and rear X-axis moving mechanisms X 3 and X ′ 3 and the left and right Y-axis moving mechanisms Y 3 and Y ′ 3 are simultaneously operated in the positive direction by the same desired movement amount S, the front and rear X-axis The moving mechanism X 3 , X ′ 3 moves the base of the front X-axis housing X 2 rightward on the lower X-axis guide rail X 1 , and moves the base of the rear X-axis housing X ′ 2 to the lower X-axis guide rail. X 'on the left 1, left and right moving mechanism Y 3 Y-axis, Y' Y-axis housing Y 2 of the base of the left lower Y-axis guide rails Y 1 on the front direction by 3, right Y axis housing Y '2 of the base is lower Y-axis guide rails Y' moves on 1 downwards.
[0017]
By this movement, for example, the four pivot holes 3 vertically suspended in the four fixed holes 5 arranged on the moving table 4 at equal intervals on a concentric circle, the front and rear X-axis housings X 2 , X ′ 2 and the left and right Y-axis housings. Y 2, Y '2 moving distance deviation distance corresponding to D in the upper Y-axis guide rails X Y, X' Y and the upper X-axis guide rail Y X, the upper to press the Y 'X inside Y-axis guide rails X Y, X 'and Y X-axis housing X 2, X' and slid 2 in the upper, the upper X-axis guide rail Y X, slide 'the X Y-axis housing Y 2, Y' Y in the 2 upper Since the moving table 4 is moved, the moving table 4 is horizontally rotated clockwise by α ° around the center of the concentric circle of the moving table 4.
[0018]
When the front and rear X-axis moving mechanisms X 3 and X ′ 3 and the left and right Y-axis moving mechanisms Y 3 and Y ′ 3 are simultaneously actuated in the opposite directions by the same desired amount, they move in the same manner as described above. The table 4 horizontally rotates counterclockwise about the center of the concentric circle.
[0019]
【Example】
An embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
[0020]
A predetermined length of lower X-axis guide rails X 1 , X ′ 1 is placed on the fixed base 1 from the base point 2 of the fixed base 1 at a distance L of the same length in the front-rear and left-right facing states, and the lower Y-axis is moved in the left-right direction. The guide rails Y 1 , Y ′ 1 are laid horizontally in the front-rear direction, and the bases of the X-axis housings X 2 , X ′ 2 are slidably mounted on the front and rear lower X-axis guide rails X 1 , X ′ 1 respectively. The upper Y-axis guide rails X Y , X ′ Y having a predetermined length orthogonal to the lower X-axis guide rails X 1 , X ′ 1 can be slid back and forth on the X-axis housings X 2 , X ′ 2. fitted to the left and right lower Y-axis guide rails Y 1, Y '1 respectively Y-axis housing Y 2, Y' 2 of the base slidably fitted front and rear, of the Y-axis housing Y 2, Y '2 lower Y-axis guide rails Y 1, Y 'top X-axis of a predetermined length perpendicular to the first guide rail Y X, Y' and X lateral to the upper Ride capable fitted, this before and after the X-axis housing X 2, X '2 respectively lower X-axis guide rail X 1 of, X' movement X-axis allowed to slide movement in a desired distance 1 mechanism X 3, X ' 3 and Y-axis moving mechanisms Y 3 and Y ′ 3 for sliding the left and right Y-axis housings Y 2 and Y ′ 2 to respective lower Y-axis guide rails Y 1 and Y ′ 1 at a desired distance. provided 1, the front and rear of the upper Y-axis guide rails X Y, X 'Y and the left and right upper X-axis guide rail Y X, Y' respectively rotating column 3 erected on the central upper surface of the X, the moving table 4 On the lower surface, four fixing holes 5 are formed at regular intervals on a concentric circle having a diameter equal to the distance 2L between the front and rear and left and right lower X and Y axis guide rails. The moving table 4 is provided in a parallel state above the fixed base 1 by being fitted to the upper portion of the fixed base 1 through a bearing 6. Serial front and rear X-axis moving mechanism X 3, X '3, left and right moving mechanism for the Y-axis Y 3, Y' movement in the lateral direction of the moving table 4 with respect to the fixed base 1 by 3, the front-rear direction movement, horizontal rotation Provide as possible.
[0021]
Lower X-axis guide rail X 1 shown briefly described by an upper Y-axis guide rails X Y, 6 the configuration of the X-axis housing X 2. (Lower X-axis guide rail X '1, the upper Y-axis guide rails X' of the rear side Y, 'lower Y-axis guide rails Y 1 of 2 and the left and right, Y' X-axis housing X 1, the top X-axis guide rail Y X , X ′ X , and Y-axis housings Y 2 , Y ′ 2 .
[0022]
A ring-shaped rolling element is built in the left and right facing state, and a cross-shaped block is engraved with a transfer track on the left and right side where the rolling element rolls by rolling motion while carrying the load received by the lens rolling element. formed by orthogonally to the mating constitute X-axis housing X 2, the left and right side surfaces to smoothly guide moving linearly in rolling motion the annular lens shape rolling elements in the X-axis housing X 2 as a guide the lower X-axis guide rail X 1 forming a transfer orbit to the opposite state slidably fitted into the base of the X-axis housing X 2, X-axis guide rail X 1 and the upper portion of the same shape on the top of the X-axis housing X 2 the Y-axis guide rails X Y slidably fitted to form an upper Y-axis guide rails perpendicular to the X-axis guide rail X 1.
[0023]
Since the housing and the upper and lower guide rails of this embodiment are configured as described above, the overall height of the assembly is significantly lower than that of the conventional product, and extremely high linearity and orthogonality can be obtained. A cross-type upper and lower guide rail and a housing having low resistance are configured.
[0024]
Next, a description will be given X-axis housing X 2 the lower front X-axis guide rail X 1 to X-axis movement mechanism X 3 which allowed to slide movement in a desired distance provided in the front left portion of the fixed base 1. (The rear-side X-axis moving mechanism X ' 3 provided at the rear right portion of the fixed base 1, and the left and right Y-axis moving mechanisms Y 3 , Y' 3 provided at the left rear and right front of the fixed base 1. The same applies to.).
[0025]
Was screwed a fastening to a female screw of the ball screw inside the inner diameter of the flange surface of the other portion of the flange surface of the base portion of the coupling body 9 of the channel-shaped having an opening downward at the left end of the X-axis housing X 2 The ball female screw body 10 is fixed. An angle-shaped motor base 11 is fixed to the front left portion of the fixed base 1, and a stepping motor 12 or a servo motor is fixed to the left side of the vertical plate of the motor base 11.
[0026]
A bearing 13 is erected on the fixed base 1 between the connecting body 9 and the motor base 11, and a ball male screw rod 14 in which a ball male screw is screwed into a female screw part of a ball screw of the ball female screw body 10 is screwed. The base end is extended to the left, the extended end is supported by two rows of bearings 15 via a bearing case 13 ′ provided in the bearing portion 13 and fastened with a nut 16, and an output shaft end portion of the extension end and the stepping motor 12 of the ball male screw rod 14 and connected by a coupling 17 constituting the X-axis moving mechanism X 3.
[0027]
Since the X-axis moving mechanism X 3 of the present embodiment constructed as described above, the ball when allowed to forward rotation of the stepping motor 12 ball male screw rod 14 is rotated and screwed to the ball male screw rod 14 X-axis housing X 2 by the male screw member 10 of the ball screw mechanism is slid to the right the lower X-axis guide rail X 1 of the front as a guide.
[0028]
In this embodiment, the stepping motor 12 is employed as the actuator of the moving mechanism as described above, and the rotation of the stepping motor 12 is converted into the linear motion of the X-axis housing by the ball screw mechanism. the on top that can be numerically controlled with high precision by the control rotation without backlash high precision ball screw mechanism for allowed to move linearly in the X-axis housing X 2 on the lower X-axis guide X 1, X-axis housing X 2 An extremely accurate moving mechanism that can regulate the rectilinear movement with extremely high accuracy and guarantees repeated positioning accuracy.
[0029]
A configuration in which the moving table 4 is provided in a parallel state above the fixed base 1 will be described.
[0030]
Front and rear upper Y-axis guide rails X Y, X 'Y and the left and right upper X-axis guide rail Y X, Y' and fastened by X in each central stop base of pivoting strut 3 volts (not shown) The rotating support 3 is erected on the upper Y / X axis guide rail.
[0031]
On the lower surface of the moving table 4, four fixing holes 5 are formed at regular intervals on a concentric circle having a diameter equal to the distance 2L between the axes of the front and rear and left and right lower X and Y guide rails. The center of this concentric circle is 2 '. A counter bore having an opening is formed below the upper flange surface of a hub-shaped bearing housing 18 having a flange at the top, and two ball bearings are fitted as bearings 6 in the counter bore and rotated. A shaft portion is protruded upward from the support column 3 via a step portion, the bearing housing 18 is fitted to the rotation support column 3, and a ball bearing is pressed into the shaft portion, and the end of the shaft portion of the rotation support column 3. The fixing nut 20 is screwed into the male screw portion provided in the above, and the bearing 6 is tightened by the step portion and the fixing nut 20. The flange portion of the bearing housing 18 is provided with a protruding cylindrical flange portion that fits into the fixing hole 5, and the fixing hole 5 is fitted on each of the protruding cylindrical flange portions to stop the flange portion of the bearing housing 18. It is fixed to the moving table 4 with the attachment bolt 21.
[0032]
A blind flange boss-shaped cover in which a fitting hole having a diameter larger than the fixing hole is formed near the upper part of each fixing hole 3, and the upper part of the fitting hole is engaged with the fitting hole and the lower cylindrical part is engaged with the fixing hole 5. Then, a relief hole is formed in the boss portion of the cover 22 so as not to interfere with the outer diameter of the fixing nut 20, and the flange portion of the cover 22 is fastened to the moving table 4 with a fixing bolt 23 to move the moving table. 4 is provided on the fixed base 1 in a parallel state via a ball bearing.
[0033]
Since the embodiment of the present invention is configured as described above, the operation of the left and right Y-axis moving mechanisms Y 3 and Y ′ 3 is stopped, for example, the stepping motors of the front and rear X-axis moving mechanisms X 3 and X ′ 3 . When the balls 12 are simultaneously operated in the desired forward and reverse rotations, the respective ball male screw rods 14 rotate, and the ball screw mechanism of the ball male screw rod 14 and the ball female screw body 10 causes the front and rear X-axis housings X 2 , X ′. 2 moves on the front and rear lower X-axis guide rails X 1 , X ′ 1 simultaneously to the right with the same moving distance, so that the moving table 4 moves on the fixed base 1 exactly to the right with the desired moving distance. Moving. (By forming the screw portion of the ball screw of the ball male screw rod 14 ball female screw member 10 of the X-axis moving mechanism X '3 after the time side opposite screw shape and the front of the ball screw, a stepping motor 12 The rotation may be the same.).
[0034]
Similarly, the operation of the front and rear X-axis moving mechanisms X 3 and X ′ 3 is stopped, and, for example, the stepping motors 12 of the left and right Y-axis moving mechanisms Y 3 and Y ′ 3 are simultaneously operated with desired forward and reverse rotations. By the same operation as described above, the moving table 4 slides forward on the fixed base 1 exactly at a desired moving distance.
[0035]
Further, for example, when the respective stepping motors of the front and rear X-axis moving mechanisms X 3 and X ′ 3 and the left and right Y-axis moving mechanisms Y 3 and Y ′ 3 are simultaneously operated at a desired forward rotation, the respective ball males are moved. The bases of the front and rear X-axis housings X 3 and X ′ 3 and the bases of the left and right Y-axis housings Y 2 and Y ′ 2 are front and rear lower X-axis guide rails X 1 , X ′ 1 and left and right lower parts by the screw rod 14. The Y-axis guide rails Y 1 , Y ′ 1 are simultaneously moved forward with the same movement distance and accurately, and in conjunction with this movement, bearings are provided in four fixed holes 5 arranged concentrically at equal intervals on the moving table 4. The pivot column 3 vertically suspended through the upper Y-axis guide rail X has a deviation distance D corresponding to the moving distance of the front and rear X-axis housings X 2 , X ′ 2 and the left and right Y-axis housings Y 1 , Y ′ 1. Y, X 'Y and the upper X-axis guide rail Y X, Y' upper to press the X respectively inside Y-axis guide Lumpur X Y, X 'Y and X-axis housing X 2, X' in the second top, and the upper X-axis guide rail Y X, slide 'the X Y-axis housing Y 2, Y' Y in the 2 upper Since the moving table 4 is moved, the moving table 4 is horizontally rotated clockwise about the center 2 ′ of the concentric circle of the moving table 4.
[0036]
It is desirable that the number of revolutions of the stepping motor 12 be controlled by NC.
[0037]
FIG. 5 is a view showing another embodiment in which the concept of the present invention is adopted. The base point 2 provided on the fixed base 1 on the fixed base 1 is the center of gravity, and the distance between the opposite sides is the length of 2L. Assuming a quadrangle, lower left X-axis guide rails X 1 , X of a predetermined length are provided at the front left corner and the rear right corner on the fixed base 1 which are the front left vertex point and the rear right vertex point of the square. 1 is horizontally laid, and a lower Y-axis guide having a predetermined length is provided at the left rear corner and the right front corner on the fixed base 1 which becomes the left rear apex point and the right front apex point of the assumed square. The rails Y 1 , Y ′ 1 are provided horizontally in the front-rear direction, and the bases of the X-axis housings X 2 , X ′ 2 are slidably fitted to the front and rear lower X-axis guide rails X 1 , X ′ 1 respectively. and, the X-axis housing X 2, X a predetermined length perpendicular to the 1 'lower X-axis guide rail X 1, X 2 of the upper' upper Y-axis guide rails X Y X 'and Y fitted possible longitudinal sliding, the lower Y-axis guide rails Y 1, Y of the left and right' the base of the respective Y-axis housing Y 2, Y '2 slidably fitted back and forth 1, the Y-axis Upper X-axis guide rails Y X , Y ′ X having a predetermined length orthogonal to the lower Y-axis guide rails Y 1 , Y ′ 1 are slidably fitted in the upper portions of the housings Y 2 , Y ′ 2 so as to be slidable left and right. X-axis moving mechanisms X 3 , X ′ 3 for sliding the shaft housings X 2 , X ′ 2 to respective lower X-axis guide rails X 1 , X ′ 1 at a desired distance, and left and right Y-axis housings Y 2 , Y 'lower Y-axis guide rails Y 1 2 respectively, Y' 1 to provide a moving mechanism for the Y-axis allowed to slide movement Y 3, Y '3 on the fixed base 1 at a desired distance, the front and rear upper Y-axis guide rail X Y, X 'Y and the left and right upper X-axis guide rail Y X, Y' respectively pivot post 3 in the middle upper surface of the X On the lower surface of the moving table 4, four fixing holes 5 are drilled at equal intervals on a concentric circle having a diameter length passing through each vertex of the assumed square, and the fixing holes 5 are The figure shows a case where the movable table 4 is provided in a parallel state above the fixed base 1 by being fitted and fixed to the upper part via a bearing 6.
[0038]
In this case as well, the moving table 4 is moved in the left-right direction with respect to the fixed base 1 by the front and rear X-axis moving mechanisms X 3 and X ′ 3 and the left and right Y-axis moving mechanisms Y 3 and Y ′ 3. It can move directionally and horizontally.
[0039]
【The invention's effect】
Since the present invention is configured as described above, the movable table can be moved left and right and back and forth with a desired amount of movement with respect to the fixed base, and the movable table can be horizontally rotated at a desired angle. It becomes a moving table that demonstrates excellent effects in practical use.
[0040]
Further, a lower guide rail is provided on the fixed base, and an upper guide rail fixed to the moving table via the housing is disposed on the lower guide rail in an orthogonal state. Since the moving table is horizontally rotated at a desired angle by simultaneously operating the moving mechanism for the Y-axis by the same amount, the moving table is compared with a conventional moving table provided with a rotating table on the moving table. Not only is the structure extremely compact and simple, but also the height of the device can be made very low.
[0041]
Further, since the moving table is operated by two moving mechanisms in the left-right direction or the front-rear direction, the load of the moving mechanism per one unit is smaller than that of the conventional moving mechanism operated by one moving mechanism. Not only halving, but also the horizontal rotation is operated by four moving mechanisms, the load received by each moving mechanism is equally divided and the load is lightened, so the rigidity of the moving mechanism is maintained. In addition, the lower part provided in the opposed state moves by moving the moving mechanism on the extension of the guide rail, as compared with the structure in which the conventional rotating mechanism rotates about the rotating shaft provided in the center part as the axis. Since the table is rotated, an extremely accurate rotation without increasing the error can be obtained.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory plan view with a part cut away showing the configuration of the present embodiment.
FIG. 2 is an explanatory side view of the configuration of the present embodiment, with a portion cut away.
FIG. 3 is an explanatory plan view in which a part of an operation for horizontally rotating a movable table in a used state of the present embodiment with respect to a fixed base is omitted.
FIG. 4 is an explanatory plan view in which a part of the movable table of this embodiment, which is moved rightward by t distances and forward μ distances with respect to a fixed base and then horizontally rotated by β °, is omitted.
FIG. 5 is an explanatory plan view partially cut away of another embodiment incorporating the concept of the present invention.
FIG. 6 is an explanatory perspective view showing the configuration of upper and lower guide rails and a housing according to the embodiment.
[Explanation of symbols]
X 1 , X ′ 1 Lower X-axis guide rail X 2 , X ′ 2 X-axis housing X 3 , X ′ 3 X-axis moving mechanism XY , X ′ Y Upper Y-axis guide rail Y 1 , Y ′ 1 Lower Y Axis guide rails Y 2 , Y ′ 2 X-axis housing Y 3 , Y ′ 3 Y-axis moving mechanism Y X , Y ′ X Upper X-axis guide rail 1 Fixed base 4 Moving table 6 Bearing
