JP2004150855A - 測定機の光量補正方法及び光量補正装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】照明光源の経年変化や機差による照明光量の変化やばらつきに容易に対応することができる測定機の光量補正方法及び光量補正装置を提供する。
【解決手段】基準となる画像測定機を用いて照明光量の基準値を取得し、その基準値を基準となる画像測定機以外の画像測定機に保存して、基準となる画像測定機以外の画像測定機を使用するときに基準値を用いて照明光量の補正を行なう。
【選択図】 図1
【解決手段】基準となる画像測定機を用いて照明光量の基準値を取得し、その基準値を基準となる画像測定機以外の画像測定機に保存して、基準となる画像測定機以外の画像測定機を使用するときに基準値を用いて照明光量の補正を行なう。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は測定機の光量補正方法及び光量補正装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
【0003】
【特許文献】
特開平9−189522号公報
【0004】
従来、画像測定機では光学系によって形成された像の光量に応じて出力されるカメラからの画像信号に基いて光量調節部をコンピュータを用いて制御することによって照明光量を調節していた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、画像測定機を長期間に亘って使用した場合、ランプの劣化等によって光量が次第に低下し、コンピュータに記憶されている測定プログラム(光量、位置等の測定手順)を実行したときに所望の照明光量が得られなくなり、測定精度が悪くなったり測定できなくなったりするという問題が生じる。
【0006】
また、たとえ同じ規格のランプであっても必ずしも同じ照明光量を得られるとは限らず、測定機間にばらつきがあるため、画像測定機を長期間に亘って使用した場合と同様の問題が生じる。
【0007】
上記の場合、測定プログラムを修正(照明光量情報の変更)する必要があり、煩雑な作業が強いられる。
【0008】
この発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題は照明光源の経年変化や機差による照明光量の変化やばらつきに容易に対応することができる測定機の光量補正方法及び光量補正装置を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため請求項1記載の発明は、基準となる測定機を用いて照明光量の基準値を取得し、その基準値を前記基準となる測定機以外の測定機に保存して、前記基準となる測定機以外の測定機を使用するときに前記基準値を用いて照明光量の補正を行なうことを特徴とする。
【0010】
請求項2記載の発明は、基準となる測定機を用いて算出された、照明光量の基準値を保存する保存手段と、照明光量を検出する検出手段と、前記検出手段によって検出された照明光量の値と前記保存手段に保存されている前記基準値とに基いて補正値を算出する補正値算出手段と、前記補正値に基いて照明光量を補正する光量補正手段とを備えていることを特徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【0012】
図1はこの発明の一実施形態に係る画像測定機の光量補正装置のブロック図である。
【0013】
この画像測定機(測定機)は、ステージ3と、ランプ4と、光量補正部(光量補正手段)5と、光学系6と、CCDカメラ7と、基台8と、コンピュータ10とを備えている。光量補正部5とコンピュータ10とで光量補正装置が構成される。
【0014】
ランプ4、測定対象物2、光学系6及びCCDカメラ7は同一光軸上に配置される。
【0015】
ステージ3には例えば半導体やコネクタピン等の測定対象物2が載置される。
【0016】
ステージ3は光学系6の光軸に直角な面内で測定対象物2を移動させるためのものであり、基台8に対してX、Y方向へ移動することができる。
【0017】
ステージ3の移動は制御部11からの移動命令信号11fに基いて行われる。
【0018】
ランプ4はステージ3の下方の基台8内に設けられ、測定対象物2を照明する。ランプ4の照明光量は光量補正部5から供給される電力の変化に応じて変わる。ランプ4としては、例えばハロゲン電球が用いられる。
【0019】
光量補正部5は制御部11からの光量制御信号11aに基いてランプ4の光量を制御する。
【0020】
光学系6は、ステージ3の上方に設けられ、ランプ4によって照明された測定対象物2の拡大像を形成するものであって、ズーム機能を備える。
【0021】
CCDカメラ7は光学系6の上方に設けられ、光学系6により形成された像を取り込み、その像の光量に応じた画像信号7aを出力する。
【0022】
コンピュータ10はCCDカメラ7の画像信号7aを取り込み、所定の処理を行なって光量調節部5を制御する。
【0023】
コンピュータ10は制御部(補正値算出手段)11と受光量算出部(検出手段)12と比較部13とを備えている。
【0024】
制御部11は測定プログラムや後述する基準値等を記憶するメモリ(保存手段)14を有する。
【0025】
制御部11は照明光量の値とメモリ14に保存されている基準値とに基いて補正値を算出する。
【0026】
制御部11は予め設定された測定手順(プログラム)にしたがって受光量算出部12、比較部13を制御し、補正値等の光量制御信号11aを出力する。
【0027】
受光量算出部12は、制御部11からの受光量の算出命令11bを受けたとき、CCDカメラ7からの画像信号7aに基いて、例えばデータ変換テーブルを参照して照明光量の算出を行い、算出結果を比較部13へ出力する。
【0028】
比較部13は、制御部11から比較命令11cを受けたとき、メモリ14にあらかじめ記憶されている基準値と算出結果とを比較し、比較結果を示す信号13aを出力する。
【0029】
図2は光量補正の基準値を取得する手順を説明するフローチャートであり、S1〜S7は処理の各ステップを示す。
【0030】
この基準値の取得は基準となる特定の画像測定機(図示せず)を用いて行われる。
【0031】
まず、キャリブレーションプレートやステージのガラス面等の光量を検出する基準となる測定対象物を所定の位置に置くためにステージを移動させる(S1)。
【0032】
次に、基準となる測定対象物に対して焦点が合うように光学系を調節する(S2)。
【0033】
その後、照明方式(落射照明又は透過照明)を選択する(S3)。
【0034】
次に、照明光量を所定の光量値に設定する(S4)。
【0035】
この処理は特定の画像測定機の有するボリューム(図示せず)によって光量補正部からランプへ供給される電力を変化させることによって行われる。
【0036】
その後、CCDカメラからグレイレベルの画像信号を取得し、この画像信号に基いて算出された照明光量の値を基準値とする(S5)。
【0037】
次に,基準値を指定のファイル(例えばフレキシブル・ディスク)に保存する(S6)。
【0038】
最後に、前記特定の画像測定機以外の画像測定機(他機)のメモリ14に上記ステップ1〜6で得られた基準値を保存する(S7)。
【0039】
図3は光量補正値を取得する手順を説明するフローチャートであり、S11〜S17は処理の各ステップを示す。
【0040】
この光量補正値(補正値)の取得は基準となる前記特定の画像測定機以外の画像測定機を用いて行われるが、ここでは図1に示す画像測定機を用いた補正値の取得手順を説明する。
【0041】
まず、キャリブレーションプレートやステージのガラス面等の基準となる測定対象物2を所定の位置に置くためにステージ3を移動させる(S11)。
【0042】
次に、基準となる測定対象物2に対して焦点が合うように光学系6を調節する(S12)。
【0043】
その後、照明方式(図1の場合は透過照明)を選択する(S13)。
【0044】
次に、照明光量を所定の光量値とする(S14)。
【0045】
この処理はこの画像測定機の有するボリューム(図示せず)によって光量補正部5からランプ4へ供給される電力を変化させることによって行われる。
【0046】
その後、CCDカメラ7からグレイレベルの画像信号を取得し、この画像信号に基いて照明光量を算出する(S15)。
【0047】
次に、照明光量の値とメモリ14に保存されている基準値とに基いて補正値を算出する(S16)。
【0048】
最後に,補正値をメモリ14に保存する(S17)。
【0049】
以上の処理を実行した後測定プログラムを実行するとき、照明光量は上記の補正値に基いて補正され、全ての測定機において同等の照明光量が得られる。
【0050】
この実施形態によれば、測定プログラムを修正することなく、照明光源の経年変化や機差による照明光量の変化やばらつきに容易に対応することができる。
【0051】
なお、上記実施形態では機差を補正する場合について説明したが、経年変化による照明光量の低下に対しても対応することができる。
【0052】
【発明の効果】
以上説明したようにこの発明によれば、測定作業が行われるとき、照明光量は補正値を用いて補正されるため、照明光源の経年変化や機差による照明光量の変化やばらつきに容易に対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1はこの発明の一実施形態に係る測定機の光量補正装置のブロック図である。
【図2】図2は光量補正の基準値を取得する手順を説明するフローチャートである。
【図3】図3は光量補正値を取得する手順を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
5 光量補正部(光量補正手段)
7 CCDカメラ
12 受光量算出部(検出手段)
11 制御部(補正値算出手段)
14 メモリ(保存手段)
【発明の属する技術分野】
この発明は測定機の光量補正方法及び光量補正装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
【0003】
【特許文献】
特開平9−189522号公報
【0004】
従来、画像測定機では光学系によって形成された像の光量に応じて出力されるカメラからの画像信号に基いて光量調節部をコンピュータを用いて制御することによって照明光量を調節していた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、画像測定機を長期間に亘って使用した場合、ランプの劣化等によって光量が次第に低下し、コンピュータに記憶されている測定プログラム(光量、位置等の測定手順)を実行したときに所望の照明光量が得られなくなり、測定精度が悪くなったり測定できなくなったりするという問題が生じる。
【0006】
また、たとえ同じ規格のランプであっても必ずしも同じ照明光量を得られるとは限らず、測定機間にばらつきがあるため、画像測定機を長期間に亘って使用した場合と同様の問題が生じる。
【0007】
上記の場合、測定プログラムを修正(照明光量情報の変更)する必要があり、煩雑な作業が強いられる。
【0008】
この発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題は照明光源の経年変化や機差による照明光量の変化やばらつきに容易に対応することができる測定機の光量補正方法及び光量補正装置を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため請求項1記載の発明は、基準となる測定機を用いて照明光量の基準値を取得し、その基準値を前記基準となる測定機以外の測定機に保存して、前記基準となる測定機以外の測定機を使用するときに前記基準値を用いて照明光量の補正を行なうことを特徴とする。
【0010】
請求項2記載の発明は、基準となる測定機を用いて算出された、照明光量の基準値を保存する保存手段と、照明光量を検出する検出手段と、前記検出手段によって検出された照明光量の値と前記保存手段に保存されている前記基準値とに基いて補正値を算出する補正値算出手段と、前記補正値に基いて照明光量を補正する光量補正手段とを備えていることを特徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【0012】
図1はこの発明の一実施形態に係る画像測定機の光量補正装置のブロック図である。
【0013】
この画像測定機(測定機)は、ステージ3と、ランプ4と、光量補正部(光量補正手段)5と、光学系6と、CCDカメラ7と、基台8と、コンピュータ10とを備えている。光量補正部5とコンピュータ10とで光量補正装置が構成される。
【0014】
ランプ4、測定対象物2、光学系6及びCCDカメラ7は同一光軸上に配置される。
【0015】
ステージ3には例えば半導体やコネクタピン等の測定対象物2が載置される。
【0016】
ステージ3は光学系6の光軸に直角な面内で測定対象物2を移動させるためのものであり、基台8に対してX、Y方向へ移動することができる。
【0017】
ステージ3の移動は制御部11からの移動命令信号11fに基いて行われる。
【0018】
ランプ4はステージ3の下方の基台8内に設けられ、測定対象物2を照明する。ランプ4の照明光量は光量補正部5から供給される電力の変化に応じて変わる。ランプ4としては、例えばハロゲン電球が用いられる。
【0019】
光量補正部5は制御部11からの光量制御信号11aに基いてランプ4の光量を制御する。
【0020】
光学系6は、ステージ3の上方に設けられ、ランプ4によって照明された測定対象物2の拡大像を形成するものであって、ズーム機能を備える。
【0021】
CCDカメラ7は光学系6の上方に設けられ、光学系6により形成された像を取り込み、その像の光量に応じた画像信号7aを出力する。
【0022】
コンピュータ10はCCDカメラ7の画像信号7aを取り込み、所定の処理を行なって光量調節部5を制御する。
【0023】
コンピュータ10は制御部(補正値算出手段)11と受光量算出部(検出手段)12と比較部13とを備えている。
【0024】
制御部11は測定プログラムや後述する基準値等を記憶するメモリ(保存手段)14を有する。
【0025】
制御部11は照明光量の値とメモリ14に保存されている基準値とに基いて補正値を算出する。
【0026】
制御部11は予め設定された測定手順(プログラム)にしたがって受光量算出部12、比較部13を制御し、補正値等の光量制御信号11aを出力する。
【0027】
受光量算出部12は、制御部11からの受光量の算出命令11bを受けたとき、CCDカメラ7からの画像信号7aに基いて、例えばデータ変換テーブルを参照して照明光量の算出を行い、算出結果を比較部13へ出力する。
【0028】
比較部13は、制御部11から比較命令11cを受けたとき、メモリ14にあらかじめ記憶されている基準値と算出結果とを比較し、比較結果を示す信号13aを出力する。
【0029】
図2は光量補正の基準値を取得する手順を説明するフローチャートであり、S1〜S7は処理の各ステップを示す。
【0030】
この基準値の取得は基準となる特定の画像測定機(図示せず)を用いて行われる。
【0031】
まず、キャリブレーションプレートやステージのガラス面等の光量を検出する基準となる測定対象物を所定の位置に置くためにステージを移動させる(S1)。
【0032】
次に、基準となる測定対象物に対して焦点が合うように光学系を調節する(S2)。
【0033】
その後、照明方式(落射照明又は透過照明)を選択する(S3)。
【0034】
次に、照明光量を所定の光量値に設定する(S4)。
【0035】
この処理は特定の画像測定機の有するボリューム(図示せず)によって光量補正部からランプへ供給される電力を変化させることによって行われる。
【0036】
その後、CCDカメラからグレイレベルの画像信号を取得し、この画像信号に基いて算出された照明光量の値を基準値とする(S5)。
【0037】
次に,基準値を指定のファイル(例えばフレキシブル・ディスク)に保存する(S6)。
【0038】
最後に、前記特定の画像測定機以外の画像測定機(他機)のメモリ14に上記ステップ1〜6で得られた基準値を保存する(S7)。
【0039】
図3は光量補正値を取得する手順を説明するフローチャートであり、S11〜S17は処理の各ステップを示す。
【0040】
この光量補正値(補正値)の取得は基準となる前記特定の画像測定機以外の画像測定機を用いて行われるが、ここでは図1に示す画像測定機を用いた補正値の取得手順を説明する。
【0041】
まず、キャリブレーションプレートやステージのガラス面等の基準となる測定対象物2を所定の位置に置くためにステージ3を移動させる(S11)。
【0042】
次に、基準となる測定対象物2に対して焦点が合うように光学系6を調節する(S12)。
【0043】
その後、照明方式(図1の場合は透過照明)を選択する(S13)。
【0044】
次に、照明光量を所定の光量値とする(S14)。
【0045】
この処理はこの画像測定機の有するボリューム(図示せず)によって光量補正部5からランプ4へ供給される電力を変化させることによって行われる。
【0046】
その後、CCDカメラ7からグレイレベルの画像信号を取得し、この画像信号に基いて照明光量を算出する(S15)。
【0047】
次に、照明光量の値とメモリ14に保存されている基準値とに基いて補正値を算出する(S16)。
【0048】
最後に,補正値をメモリ14に保存する(S17)。
【0049】
以上の処理を実行した後測定プログラムを実行するとき、照明光量は上記の補正値に基いて補正され、全ての測定機において同等の照明光量が得られる。
【0050】
この実施形態によれば、測定プログラムを修正することなく、照明光源の経年変化や機差による照明光量の変化やばらつきに容易に対応することができる。
【0051】
なお、上記実施形態では機差を補正する場合について説明したが、経年変化による照明光量の低下に対しても対応することができる。
【0052】
【発明の効果】
以上説明したようにこの発明によれば、測定作業が行われるとき、照明光量は補正値を用いて補正されるため、照明光源の経年変化や機差による照明光量の変化やばらつきに容易に対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1はこの発明の一実施形態に係る測定機の光量補正装置のブロック図である。
【図2】図2は光量補正の基準値を取得する手順を説明するフローチャートである。
【図3】図3は光量補正値を取得する手順を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
5 光量補正部(光量補正手段)
7 CCDカメラ
12 受光量算出部(検出手段)
11 制御部(補正値算出手段)
14 メモリ(保存手段)
Claims (2)
- 基準となる測定機を用いて照明光量の基準値を取得し、その基準値を前記基準となる測定機以外の測定機に保存して、前記基準となる測定機以外の測定機を使用するときに前記基準値を用いて照明光量の補正を行なうことを特徴とする測定機の光量補正方法。
- 基準となる測定機を用いて算出された、照明光量の基準値を保存する保存手段と、
照明光量を検出する検出手段と、
前記検出手段によって検出された照明光量の値と前記保存手段に保存されている前記基準値とに基いて補正値を算出する補正値算出手段と、
前記補正値に基いて照明光量を補正する光量補正手段と
を備えていることを特徴とする測定機の光量補正装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002314007A JP2004150855A (ja) | 2002-10-29 | 2002-10-29 | 測定機の光量補正方法及び光量補正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002314007A JP2004150855A (ja) | 2002-10-29 | 2002-10-29 | 測定機の光量補正方法及び光量補正装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004150855A true JP2004150855A (ja) | 2004-05-27 |
Family
ID=32458445
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002314007A Withdrawn JP2004150855A (ja) | 2002-10-29 | 2002-10-29 | 測定機の光量補正方法及び光量補正装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004150855A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006126200A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-05-18 | Mitsutoyo Corp | 画像システムにおいてビデオツールを自動的にリカバリーするシステムおよび方法 |
KR101412160B1 (ko) | 2008-10-31 | 2014-06-26 | 삼성테크윈 주식회사 | 비전인식장치의 조명부 광량 교정방법 |
KR101442346B1 (ko) | 2011-12-31 | 2014-09-17 | 시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤 | 검사 장치 및 검사 방법 |
CN104075670A (zh) * | 2014-07-10 | 2014-10-01 | 苏州金螳螂建筑装饰股份有限公司 | 红外线半径测量仪及其半径测量和圆弧定位方法 |
KR20200040604A (ko) * | 2018-10-10 | 2020-04-20 | 김호배 | 머신 비전 시스템의 조명을 자동으로 제어하는 방법 및 그 장치 |
-
2002
- 2002-10-29 JP JP2002314007A patent/JP2004150855A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006126200A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-05-18 | Mitsutoyo Corp | 画像システムにおいてビデオツールを自動的にリカバリーするシステムおよび方法 |
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KR101442346B1 (ko) | 2011-12-31 | 2014-09-17 | 시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤 | 검사 장치 및 검사 방법 |
CN104075670A (zh) * | 2014-07-10 | 2014-10-01 | 苏州金螳螂建筑装饰股份有限公司 | 红外线半径测量仪及其半径测量和圆弧定位方法 |
CN104075670B (zh) * | 2014-07-10 | 2017-02-15 | 苏州金螳螂建筑装饰股份有限公司 | 红外线半径测量仪及其半径测量和圆弧定位方法 |
KR20200040604A (ko) * | 2018-10-10 | 2020-04-20 | 김호배 | 머신 비전 시스템의 조명을 자동으로 제어하는 방법 및 그 장치 |
KR102167781B1 (ko) | 2018-10-10 | 2020-10-19 | 김호배 | 머신 비전 시스템의 조명을 자동으로 제어하는 방법 및 그 장치 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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