JP2004138467A

JP2004138467A - 紫外線吸収式測定装置および測定試料の処理方法

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Publication number: JP2004138467A
Application number: JP2002302606A
Authority: JP
Inventors: Masaru Miyai; 宮井　優; Hitoshi Hirai; 平井　仁史
Original assignee: Horiba Ltd
Current assignee: Horiba Ltd
Priority date: 2002-10-17
Filing date: 2002-10-17
Publication date: 2004-05-13

Abstract

【課題】別途検出器や処理部材を設置することなく、同一元素からなる異なった化合物の測定を容易にし、簡易な手段で共存成分の影響を受けない測定が可能な紫外線吸収式測定装置および測定試料の処理方法を提供することを目的とする。
【解決手段】１の光源部、１または２以上の試料セル部、１または２以上の検出部からなる紫外線吸収式測定装置に関する発明であって、光源部からの光を試料に対し照射することによって、試料中の特定成分を異なった物質に変化させる処理を行うことを特徴とする。特に、ＮＯをＮＯ_２　に変換してＮＯｘをＮＤＵＶ法で測定する場合などに非常に有効である。また、干渉影響の大きいＮＯをＮＯ_２　に変換してＳＯ_２　をＮＤＵＶ法で測定する場合のように共存ＮＯの影響を排除する手段としても適用可能である。
【選択図】　　　　図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、紫外線吸収式測定装置に関するもので、特に、同一元素からなる異なった化合物を測定する場合や測定試料中の共存成分の干渉影響が無視できない場合の測定装置および測定試料の処理方法として有用である。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、同一元素からなる異なった化合物の測定、例えば、自動車等移動排出源からの排気ガスや煙道等固定排出源からの排ガス中のＮＯｘ測定技術は、「ＪＩＳ法（Ｂ７９８２など）」により概略が示され、一般には排出ガス（試料）中の窒素酸化物（以下「ＮＯｘ」という。）のように、一酸化窒素（以下「ＮＯ」という。）と二酸化窒素（以下「ＮＯ_２　」という。）との混成物の場合には、共存するＮＯ_２　をＮＯに変換してトータルＮＯｘとして、非分散紫外線吸収法（以下「ＮＤＵＶ法」という。）や化学発光法（以下「ＣＬＤ法」という。）、非分散赤外線吸収法（以下「ＮＤＩＲ法」という。）で測定する方法が利用される。
【０００３】
図８に固定排出源からの排ガス中のＮＯｘ計測器の構成例を示す（例えば非特許文献１参照）。煙道入口や脱硝装置前後のダクト内の排ガス流に挿入された採取管５１から吸引採取された試料ガスは、１次フィルタ５２でダストをほぼ取り除き、導管５３（加熱配管）、試料導入口５４を経由して計測装置５５に導入される。吸引採取は、一般には計測装置内に設けられた吸引ポンプ５６によって行われる。計測装置内では、校正ガスとの切換を行う切換弁５７を介して試料ガスを常温に戻し、配管等で発生したドレンをセパレータ（図示せず）で気液分離し、除湿器５８にて一定温度まで露点を下げた状態で、２次フィルタ５９で清浄にした後試料中のＮＯ_２　をＮＯに変換するコンバータ６０を経て、絞り弁６１によって所定流量に制御して分析計６３に導入する。制御された流量は流量計によって、確認することができる。分析計６３に導入されない試料ガスはバイパスへ流出され、分析計６３を通過した後必要な処理、例えばＣＬＤ法の場合は残留オゾンを分解処理する、等を行ったガスとともに排気ダクトなどに排出される。分析計６３の出力は記録指示計６４によって明示される。
【０００４】
逆に、ＮＯをＮＯ_２　に変換してトータルＮＯｘとして、ＮＤＵＶ法やＮＤＩＲ法で測定する方法が利用されることもある。例えば、ＮＯを含む試料を、オゾン発生器を介して測定セルに導入するラインを設け、オゾンによりＮＯ_２　に変換した試料の吸光度と変換しない試料の吸光度の差から、試料中のＮＯ濃度を測定する方法が提案されている（例えば特許文献１等）。
【０００５】
むろん、ＮＤＵＶ法やＮＤＩＲ法については、複数の波長域を用いて場合、ＮＯとＮＯ_２　を別個に測定する方法も採用されている。例えば、図９に示すように、光源部１から照射された紫外線が、試料セル２を通過して検出器３に到達し、試料セル２を導入された試料中に測定成分が存在する場合には、その吸収量分だけ検出器３に到達する紫外線が低下し、その差を検出することで測定成分の濃度を測定することができる。ここで、ＮＯの吸収波長である２２６ｎｍおよびＮＯ_２　の吸収波長である３８０ｎｍをそれぞれ中心とする上記波長域を選択的透過するバンドパスフィルタ（以下「ＢＰＦ」という。）と呼ばれる光学フィルタ４、４’を機械的に切換えて、各波長域での吸光度から、試料セルに導入された試料中のＮＯおよびＮＯ_２　の濃度を測定するＮＤＵＶ法が挙げられる。
【０００６】
また、ＮＤＵＶ法やＮＤＩＲ法による各種試料中の特定成分の測定においては、試料中に共存する他の成分による干渉影響が無視できない場合が多く、通常、測定部において複数の検出器によって各成分を測定して相互に補正しあう方法や、何らかのスクラバーなどによって除去処理を行ってから測定部に試料に導入する方法などが用いられる。
【０００７】
前者の代表例としては、上記の図に示すような構成で、一方の波長域を干渉成分の吸収波長を含む光学フィルタを用いる方法が採られ、このときの出力を測定成分の吸収波長用光学フィルタでの出力から減算することで、干渉影響の少ない測定ができることとなる。
【０００８】
後者の代表例としては、試料中の水分について、上記のように電子冷却器を使用して約２〜１０℃飽和で一定濃度にして実質的に影響がない条件を作る方法や、半透膜除湿器を用いて約−２０〜３０℃飽和まで除去する方法も多く利用されている。また、温暖化ガスの１つといわれる酸化亜窒素（以下「Ｎ_２　Ｏ」という。）の大気中の濃度測定において、干渉影響が大きく、かつ、濃度変動も大きい一酸化炭素（以下「ＣＯ」という。）や二酸化炭素（以下「ＣＯ_２　」という。）については、補正が難しいことから、ＣＯは鉄−マンガン系化合物、ＣＯ_２　はアルカリ酸化物やアルカリ水酸化物を用いて除去する方法などが知られている。
【０００９】
【非特許文献１】
日本工業規格「ＪＩＳ　Ｂ７９８２−１９９５」
【特許文献１】
特開昭５２−１１９９８８号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記試料処理方法では、以下のような課題が生じることがある。
【００１１】
例えば、同一元素からなる異なった化合物の測定例としてＮＯ_２　をＮＯに変換して測定する場合、ＮＯ_２　−ＮＯコンバータが不可欠であり、変換効率の維持や温度管理（一般に高温条件で使用する。）など、試料の性状によっては保守等に負荷がかかる場合もある。また、図１０に代表的なＮＯｘ測定法であるＣＬＤ法の測定器の一例を示すが、試料中の共存成分による測定誤差要因としては、上記の共存成分による干渉影響以外にクェンチングつまり励起分子が他の分子に衝突することによってエネルギーを失う減光現象による影響とがあることが知られている。具体的には、共存する二酸化炭素（以下「ＣＯ_２　」という。）による影響であり、上記のような試料の処理ではこれを除去することはできず、大きな誤差要因となりうる。さらに、オゾン発生器６５やオゾン分解器６６、或いは検出部での流量影響を防止するために精度の高い流量制御部６７、６７’　や圧力調整器６８，６８’　が必要となる点においても簡便性に欠ける場合がある。
【００１２】
また、ＮＯをＮＯ_２に変換して測定する場合にあっても、従来は、試料を別途オゾン発生器や酸化器を通過させて変換処理を行った後、測定部であるＮＤＵＶ法やＮＤＩＲ法に導入して測定する方法が採られることから、かかる処理部の設置に伴うコストアップや保守等煩雑な作業が必要となる。
【００１３】
さらに、こうした前処理をせずに、複数の波長域を利用するＮＤＵＶ法やＮＤＩＲ法の場合にあっては、例えば光学フィルタの切換えのための機構が必要となり、測定器の光学系が複雑なものとなり高度な調整を必要とする場合が多い。また、コストアップの要因となる。
【００１４】
一方、試料中に共存する他の成分による干渉影響を複数の検出器によって補正しあうＮＤＵＶ法やＮＤＩＲ法の場合にあっては、検出器の数が増えれば増えるだけ光学系の複雑化を招くことになる。また、ＮＤＵＶ法やＮＤＩＲ法のように吸光度を測定する方法では、濃度が大きく異なる共存成分が存在する場合には、検出器の各成分に対する直線性の相違により補正精度が非常に悪くなることがある。
【００１５】
また、スクラバーなどによって妨害成分を除去処理した後、ＮＤＵＶ法やＮＤＩＲ法によって測定する場合にあっては、別途こうした処理部を必要とするとともに、設置に伴うコストアップや保守等煩雑な作業が必要となる。
【００１６】
そこで、本発明は、上記問題点を解決し、別途検出器や処理部材を設置することなく、同一元素からなる異なった化合物の測定を容易にし、簡易な手段で共存成分の影響を受けない測定が可能な紫外線吸収式測定装置および測定試料の処理方法を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記課題を解決するために、鋭意研究を重ねた結果、以下に示す試料処理方法および試料処理ユニットにより上記目的を達成できることを見出し、本発明を完成するに到った。
【００１８】
本発明は、１の光源部、１または２以上の試料セル部、１または２以上の検出部からなる紫外線吸収式測定装置に関する発明であって、光源部からの光を試料に対し照射することによって、試料中の特定成分を異なった物質に変化させる処理を行うことを特徴とし、特に、上記特定成分の変化後の物質の紫外線吸収量から、試料中の測定成分濃度を検出する場合に有効である。こうした測定装置または試料の処理方法によって、ＮＤＵＶ法における光源部からの紫外線を利用して試料中の特定成分を変化させ、別途検出器や処理部材を設置することなく、同一元素からなる異なった化合物の測定を容易にし、簡易な手段で共存成分の影響を受けない測定を可能とすることができる。例えば、ＮＯをＮＯ_２　に変換してＮＯｘをＮＤＵＶ法で測定する場合のように、光源部からの紫外線を利用して試料中の特定成分を変化させ、変化後の物質を測定することによって、別途検出器や処理部材を設置することなく、同一元素からなる異なった化合物の測定を容易に行うことができるとともに、高い測定精度も確保することができる。
【００１９】
また、本発明は、上記特定成分が、測定成分に対して妨害成分となる場合にも適用が可能である。例えば、干渉影響の大きいＮＯをＮＯ_２　に変換してＳＯ_２　をＮＤＵＶ法で測定する場合のように、光源部からの紫外線を利用して試料中の妨害成分を変化させ、変化後の物質を測定することによって、別途検出器や処理部材を設置することなく、共存成分の影響を受けずに、測定器としての所定の精度を確保することができる。
【００２０】
本発明は、上記試料セル部または検出部に対する光源部からの光量を、独立的に調整可能とすることを特徴とする。こうした測定装置によって、試料中の共存成分の変動に対応した妨害成分の除去を可能とするとともに、妨害成分の除去に必要最小限の量の光の照射を行うことで、試料の組成変動や不要な物質の発生などを極力少なくすることができる。
【００２１】
本発明は、上記試料セルに導入する前段で、試料中の特定成分を変化させるために必要な物質を添加することを特徴とする。例えば、ＮＯをＮＯ_２　に変換させるためには、光源部からの紫外線に加え酸素（以下「Ｏ_２　」という。）が不可欠であるが、試料中に存在しない場合や濃度変動の激しい場合には、所定量添加することで、非常に安定な反応が形成され、上記変換を安定した効率で行い高い測定精度を確保することができる。
【００２２】
【発明の実施の態様】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
【００２３】
本発明は、１の光源部、１または２以上の試料セル部、１または２以上の検出部からなる紫外線吸収式測定装置に関する発明であって、光源部からの光を試料に対し照射することによって、試料中の特定成分を異なった物質に変化させる処理を行うことを特徴とする。特に、本発明は、上記測定対象成分がＮＯｘであり上記特定成分がＮＯの場合や、上記測定対象成分がＳＯ_２であり上記特定成分が妨害成分の１つであるＮＯである場合に好適である。
【００２４】
以下、具体的な実施態様の１つとして、測定対象成分がＮＯｘであり、測定成分の１つであるＮＯをＮＯ_２　に変換し、試料中に元来存在するＮＯ_２　とともに、ＮＯｘをＮＯ_２　としてＮＤＵＶ法で測定する場合について説明する。
【００２５】
図１に、本発明が適用されるＮＤＵＶ法に係る測定装置の一例を示す。
（１）試料を処理部６に導入する
（２）光源部１の一の面から紫外線を照射する
（３）試料中のＯ_２　の一部をＯ_３　に変換する
Ｏ_２　　＋　ｈν　→　Ｏ_２　　＋　［Ｏ］
（４）変換したＯ_３　がＮＯと反応して、試料中のＮＯがＮＯ_２　に変換する
ＮＯ　＋　［Ｏ］　　→　ＮＯ_２
（５）この状態で、試料を試料セル２に導入する
（６）試料に、光源部１の他の面からの紫外線を照射する
（７）試料セル２中のＮＯ_２　によって紫外線の一部が吸収される
（８）試料セル２からの紫外線を検出器３で検出する
ことで、別途検出器や処理部材を設置することなく、ＮＯとＮＯ_２　が混在した試料中のＮＯｘ測定を容易にし、簡易な手段で共存成分の影響を受けない測定を可能とすることができる。また、このとき、検出器３は同時に反応のための照射紫外線量を監視することができるため、別個モニター用検出器を設ける必要がなく、測定精度の保持・管理にとっても非常に有効である。
【００２６】
ここで、試料は、自動車排気ガス測定や固定排出源排ガス測定においては、約０．１〜３ｌ／ｍｉｎを導入するのが一般的であるが、本願では、紫外線による反応を考慮すると約１００〜５００ｍｌ／ｍｉｎが好適である。ただし、これに限定されるものではなく、試料セルの温度低下による影響のない範囲であれば、さらに大量に導入することも多い。
【００２７】
また、（２）において照射する紫外線は、波長１８５ｎｍ近傍を含むものが好適で、試料中のＯ_２　を有効にＯ_３　に変換することができる。また、紫外線光源としては、一般に、重水素ランプ、キセノンランプ、水銀ランプ等が使用されるが、変調可能な光源として測定装置に用いられる場合には、印加電流の調整が容易で応答の速い重水素ランプやキセノンランプが好適である。また、光源部１と処理部６との境界には、通常石英やサファイアまたはフッ化カルシウムのような光学結晶５が設けられて光源部１を保護している。
【００２８】
試料セル２は、通常、加工性および強度面を考慮して石英やガラス或いはステンレス鋼やアルミニウムといった金属管を使用することが多い。形状は、測定成分の濃度に合わせてセル長が決定され、１〜５００ｍｍ程度の円筒形が一般的であるが、内面にミラーを設けて多重反射を利用した実質長光路セルなども多く利用されている。セル径も同様で、多種多様な工夫が可能である。
【００２９】
図２は、ＮＯ、ＮＯ_２　、ＳＯ_２　という代表的な成分についての紫外線吸収スペクトルを示すもので、（６）において照射される紫外線は、通常、他の共存成分の吸収が殆どなく、ＮＯ_２　の吸収の大きな３５０〜４００ｎｍの波長域を利用する。従って、本発明に用いる光源部１は、（２）におけるＯ_３　への変換に必要な波長域である１８５ｎｍ近傍および３５０〜４００ｎｍを照射できる素子でなければならないが、上記重水素ランプ等で十分対応可能である。多くの紫外線ランプは連続的に両者を含む紫外線を発光することが可能であるが、むろん非連続であっても使用上問題とはならない。通常、試料セル２と検出器３の境界に、光学結晶５とともに上記波長域を選択的透過するバンドパスフィルタ（以下「ＢＰＦ」という。）と呼ばれる光学フィルタ４が設けられ、試料から検出器３を保護する役割をも果たしている。
【００３０】
また、紫外線検出用の検出器３としては、光電子倍増管やシリコンフォトセル或いはシリコンフォトダイオードが使用可能であるが、光電子増倍管は一般に高感度であるが高価であり、昨今はフォトセルやフォトダイオードが多く用いられている。
【００３１】
ただし、図１のような試料セル２が１本の検出部を用いて非常に低濃度の成分を測定する場合には、通常の光源部１の安定性では、測定精度を確保することが難しいため、図３のような２つの波長域を検出するタイプを用いることがある。つまり、光学フィルタ４をＮＯ_２　の吸収がある３５０〜４００ｎｍの波長域ＢＰＦ、光学フィルタ４’　をＮＯ_２　や他の共存成分の紫外線吸収が殆どない２５０ｎｍを中心とする波長域ＢＰＦとして使用し、検出器３からの測定信号を、検出器３’　からの基準信号によって補正を行うことで、光源部１等の不安定要因に基づく出力誤差を低減している。
【００３２】
表１に、ＢＰＦとして３８０〜４００ｎｍのフィルタを用いたときの各種成分による検出感度を示す。
【００３３】
【表１】

【００３４】
さらに、光源部１を一定周期でＯＮ−ＯＦＦを繰り返す、いわゆる「変調」手段が採られることがある。つまり、光源部１からのすべての紫外線の内、実際に試料セル２で吸収され、測定に関与する割合は非常に少なく、検出器３が受光する絶対光量の微小変化が指示に影響する。しかし、光源ＯＦＦ状態とＯＮ状態を繰り返すと、ＯＦＦ状態を基準に両者の差を常に絶対光量として捉えることができ、検出器３のゼロ点変化や試料セル部２の汚れ或いは光源部１の光量変化などの影響を含めた、検出器３’　からの信号を使って検出器３の信号を補正することが可能である。つまり、図４（Ａ）および（Ｂ）のように、試料セル部２の汚れ或いは光源部１の光量変化などによって、ＯＦＦ状態での検出器出力が変化しても、ｃ＝（ｂ−ａ）／ｂなる式に、基準信号ｂ、ｂ’　、ｂ”　および測定信号ａ、ａ’　ａ”　を挿入し、測定成分の紫外線吸収に関係する出力ｃ、ｃ’　、ｃ”　を得ることができる。
【００３５】
本願では、さらに、図５のように、光源部１を試料セル２内に設け、試料セル２の一端に測定用検出器３基準用検出器３’　を設ける構成を採ることで、光源部１の一面側の試料セル２の入口に近い空間２’　での約１８５ｎｍの紫外線による反応を確保しつつ、反応後の試料ガスを光源部１の他面側のセル空間２”　に導入し、試料の吸収量を測定することができる。
【００３６】
図６は、いわゆる流体変調とよばれる測定方法を示し、基準ガス（測定成分ゼロ）と試料ガスを一定周期で交互に試料セル２に導入し、その変調周期の交流信号を取り出すことで、直接試料ガス中の成分濃度をえることができる。基準となる検出器３’　や光学フィルタ４’　が不要となるとともに、測定器のゼロ点が、試料ガス中の測定成分がゼロの状態の測定値であることから、理論的にゼロ点の変動がない点非常に優れた特性を有している。
【００３７】
以上と同様の構成は、試料中の塩素（以下「Ｃｌ_２　」という。）の測定にも適用が可能である。つまり、Ｃｌ_２　は水素（以下「Ｈ_２　」という。）の存在の下で以下の反応により塩化水素（以下「ＨＣｌ」という。）に変換する。従って、ＨＣｌとＣｌ_２　が共存する場合に塩化物として測定する場合に有効である。ただし、本反応は、Ｃｌ成分についての等モル反応ではないため塩化物のモル濃度の変化分を別途補正する必要がある。
【００３８】
Ｃｌ_２　　＋　Ｈ_２　　→　２ＨＣｌ
【００３９】
次に、他の実施態様の１つとして、測定対象成分がＳＯ_２　であり、妨害成分の１つであるＮＯをＮＯ_２　に変換し、干渉影響の少ない条件下で、ＳＯ_２　をＮＤＵＶ法で測定する場合について説明する。
【００４０】
試料中のＮＯをＮＯ_２　に変換する方法は上記と同様であるが、大気中のＳＯ_２　測定装置のような極低濃度（例えば１０ｐｐｂ程度）の測定については、紫外線吸収の波長域をＳＯ_２　の選択性の高い２６０〜３２０ｎｍだけでなく２４０ｎｍ以下の吸収も利用する必要があり、空気中のＮＯ（約１００ｐｐｂ）の干渉が無視できなくなる場合がある。また、２４０ｎｍ以下の吸収波長域ではＮＯに比べＮＯ_２　の方が干渉影響が少ないことから、ＮＯをＮＯ_２　に変換して、２６０〜３２０ｎｍおよび２４０ｎｍ以下の吸収波長域を利用することで、測定精度を高めることができる。
【００４１】
また、燃焼炉の排ガス中のＳＯ_２　測定装置として、測定部にＮＤＵＶ法を用いた場合、図２に示すように、Ｃｌ_２　とＳＯ_２　と吸収スペクトルの重複が見られ、干渉影響を受ける。このとき、Ｃｌ_２　と水分またはＨ_２　が共存する試料に紫外線を照射すると、下式４のような反応が起こり、干渉影響の大きいＣｌ_２　が影響の少ないＨＣｌに変換され、干渉影響の少ない計測が可能となる。特に、ごみ焼却炉などでは、Ｃｌ_２　が大量に共存する場合があり、本発明の適用は非常に有効である。
【００４２】
本発明は、上記試料セル部または検出部に対する光源部からの光量を、独立的に調整可能とすることを特徴とする。ＮＤＵＶ法のような汎用型分析法に関しては、非常に幅広い測定成分や測定濃度に対応する必要があるとともに、干渉成分の濃度も大きく異なる場合がある。こうしたときに、一般には試料セルの長さを変更するが、ある範囲内であれば妨害成分の除去に必要最小限の量の光の照射を行うことで、試料の組成変動や不要な物質の発生などを極力少なくすることができる。光量の変更は、印加電力の変更のみならず、図５のような構成の場合には、光源部１の配置を試料セル内の最適位置に変更することも、試料流量によって変化する反応空間を調節するのに好適である。
【００４３】
本発明は、上記試料セルに導入する前段で、試料中の特定成分を変化させるために必要な物質を添加することを特徴とする。例えば、ＮＯをＮＯ_２　に変換させるために必要なＯ_２　が試料中に存在しない場合やＯ_２　濃度の変動が激しい場合には、安定した反応が確保できず測定精度が維持できない場合がある。このとき、図７のように、切換弁７を介して試料ガスに所定量のＯ_２　を添加することで、非常に安定な反応が形成され、上記変換を安定した効率で行い高い測定精度を確保することができる。Ｏ_２　が不要な場合には、切換弁７を切換えて代わりに窒素（以下「Ｎ_２　」という。）を添加することで同じ希釈率を確保して測定精度に影響を与えないようにしている。
【００４４】
また、本発明は、上記のような気体の測定だけでなく、液体等の成分測定や、また、各種測定原理にも適用の可能性があり、上記に限定されるものでないことはいうまでもない。
【００４５】
【発明の効果】
本発明は、光源部からの光を試料に対し照射することによって、試料中の特定成分を異なった物質に変化させる処理を行うため、別途検出器や処理部材を設置することなく、同一元素からなる異なった化合物の測定を容易にし、簡易な手段で共存成分の影響を受けない測定を可能とすることができる。
【００４６】
特に、例えば、ＮＯをＮＯ_２　に変換してＮＯｘをＮＤＵＶ法で測定する場合のように、光源部からの紫外線を利用して試料中の特定成分を変化させ、変化後の物質を測定することによって、別途検出器や処理部材を設置することなく、同一元素からなる異なった化合物の測定を容易に行うことができるとともに、高い測定精度も確保することができる。
【００４７】
また、例えば、干渉影響の大きいＮＯをＮＯ_２　に変換してＳＯ_２　をＮＤＵＶ法で測定する場合のように、光源部からの紫外線を利用して試料中の妨害成分を変化させ、変化後の物質を測定することによって、別途検出器や処理部材を設置することなく、共存成分の影響を受けずに、測定器としての所定の精度を確保することができる。
【００４８】
本発明は、上記試料セル部または検出部に対する光源部からの光量を、独立的に調整可能とすることによって、試料中の共存成分の変動に対応した妨害成分の除去を可能とするとともに、妨害成分の除去に必要最小限の量の光の照射を行うことで、試料の組成変動や不要な物質の発生などを極力少なくすることができる。
【００４９】
また、例えば、ＮＯをＮＯ_２　に変換させるためには、Ｏ_２　が不可欠であるが、試料中に存在しない場合や濃度変動の激しい場合には、所定量添加することで、非常に安定な反応が形成され、上記変換を安定した効率で行い高い測定精度を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施態様の一例であるＮＤＵＶ式測定装置の構成例を示す説明図
【図２】紫外線吸収スペクトル例を示す説明図
【図３】本発明の実施態様の一例であるＮＤＵＶ式測定装置の他の構成例を示す説明図
【図４】本発明の実施態様の一例であるＮＤＵＶ法における検出器出力を示す説明図
【図５】本発明の実施態様の一例であるＮＤＵＶ式測定装置の他の構成例を示す説明図
【図６】本発明の実施態様の一例であるＮＤＵＶ式測定装置の他の構成例を示す説明図
【図７】本発明の実施態様の一例であるＮＤＵＶ式測定装置の他の構成例を示す説明図
【図８】従来技術の実施例である排気ガス測定装置の構成例を示す説明図
【図９】従来技術の実施例であるＮＤＵＶ式測定装置の構成例を示す説明図
【図１０】従来技術の実施例であるＣＬＤ式測定装置の構成例を示す説明図
【符号の説明】
１　　光源部
２　　試料セル
３、３’　　検出部
４　　光学フィルタ
５　　光学結晶
６　　処理部

Claims

１の光源部、１または２以上の試料セル部、１または２以上の検出部からなる紫外線吸収式測定装置であって、前記光源部からの光を試料に対し照射することによって、試料中の特定成分を異なった物質に変化させる処理を行った後、前記特定成分の変化後の物質の紫外線吸収量から、前記試料中の測定成分濃度を検出することを特徴とする紫外線吸収式測定装置。
前記試料セル部または前記検出部に対する前記光源部からの光量を、独立的に調整可能とすることを特徴とする請求項１に記載の紫外線吸収式測定装置。
前記試料セルに導入する前段で、試料中の前記特定成分を変化させるために必要な物質を添加することを特徴とする請求項１または２に記載の紫外線吸収式測定装置。
１の光源部、１または２以上の試料セル部、１または２以上の検出部からなる紫外線吸収式測定装置に導入される試料に対し、前記光源部からの光を照射することによって、試料中の特定成分を異なった物質に変化させることを特徴とする測定試料の処理方法。
前記試料セルに導入する前段で、試料中の前記特定成分を変化させるために必要な物質を添加することを特徴とする請求項４に記載の測定試料の処理方法。