JP2004134778A - 半導体装置製造工程の搬送方法 - Google Patents

Abstract

【課題】半導体製造装置の稼働効率を向上させ、生産TATを短縮することができる半導体装置製造工程の搬送方法を提供する。
【解決手段】処理装置から管理コンピュ−タに対して、処理装置で処理されている半導体ウエハの処理終了を予め知らせる処理終了予告信号が通知され、処理終了予告信号が通知された後に、管理コンピュ−タによってストッカ内における処理装置では未処理の半導体ウエハの存在が検索され、処理装置では未処理の半導体ウエハがストッカ内に存在する場合は、搬送車をストッカを経由させて処理装置へ移動させる第１の移動指示を、ストッカ内に存在しない場合は、搬送車を前記ストッカを経由させずに処理装置へ移動させる第２の移動指示を管理コンピュータから搬送車コントローラに対して通知し、処理終了予告信号及び第１又は第２の移動指示に基づいて、搬送車コントロ−ラが搬送車を処理装置へ移動させる。
【選択図】 図３

Description

　本発明は、半導体装置の製造工程において、半導体前処理工程内の搬送システムの搬送制御方法に関するものであり、半導体ウエハの洗浄、乾燥、エッチング等の処理をする装置が、複数の半導体ウエハからなるロットに対する前記処理を終了することをロット搬送車に予告通知することにより、処理が終了したロットを処理装置からすぐに搬出し、半導体装置の製造工程におけるTAT（Turn Around Time）を短縮することができる搬送方法を提供するものである。

　従来、半導体装置の製造システムは、主に、複数の半導体ウエハからなるロットを一時的に保管するストッカ、ロットを搬送する自動搬送車、自動搬送車を制御する自動搬送車コントロ−ラ、ロットに対する洗浄、乾燥、エッチング等の処理を行う処理装置、製造システムを管理する仕掛かり管理コンピュ−タにより構成されていた。そして、仕掛かり管理コンピュ−タにより、自動搬送車がストッカから処理装置へ、あるいはある処理装置から別の処理装置へロットを搬送する。ここで、例えば、処理装置Ａから処理装置Ｂへロットを搬送する場合、ロットが処理装置Ａで処理された後に仕掛かり管理コンピュ−タによりそのロットに対して施されるべき処理をすることが可能な処理装置Ｂが検索され、その処理装置Ｂが処理装置Ａと同一の処理エリアにあるかどうかが判断される。仕掛かり管理コンピュ−タは、処理装置Ｂが処理装置Ａと同一の処理エリアにない場合はロットをストッカへ搬送する指示を自動搬送車コントロ−ラに与え、処理装置Ｂが処理装置Ａと同一の処理エリアにある場合は、さらに処理装置Ｂへロットを搬入することができるかどうかを判断する。仕掛かり管理コンピュ−タは、ロットを処理装置Ｂへ搬入することができない場合はロットをストッカへ搬送する指示を自動搬送車コントロ−ラに与え、ロットを処理装置Ｂへ搬入することができる場合はロットを処理装置Ｂへ搬送する指示を自動搬送車コントロ−ラに与える。以上のようにして、半導体装置製造工程内においてロットを搬送していた。
　なお、本件の親出願である特願平１０−３２９１１２号においては、拒絶理由通知の際に以下の１件の文献が挙げられている。
特開平１０−１３３７０６号公報

　しかしながら、従来の半導体装置製造工程の搬送方法においては、処理装置で処理されたロットを処理装置外へ搬出しようとしても、その処理が終了した後に、処理装置から仕掛かり管理コンピュ−タに対してロットの処理が終了したことを通知する。この通知に基づいて、仕掛かり管理コンピュ−タが自動搬送車コントロ−ラに対して、自動搬送車を処理装置へ移動させるように指示していた。自動搬送車が処理装置に到着するまでは数分以上かかるので、処理装置から処理済みのロットをすぐに搬出することができない。従って、ロットが処理され終わってから自動搬送車が処理装置に到着するまでの時間、つまり処理済みのロットの待ち時間が、半導体装置の生産TATの増加に影響していた。また、この待ち時間は、半導体後処理工程内における処理エリアにあるストッカへロットが到着するのが遅れることにも影響する。そして、特にロットが前処理工程から後処理工程に搬送されている途中の場合、この搬送途中のロットが実際には後処理工程における処理装置の処理対象になるロットであっても、その処理装置の仕掛かり対象ロットの検索リストから外れてしまうことがある。さらに、後処理工程の処理装置が処理すべき対象ロットとしてその搬送途中のロットしかない場合は、処理装置がロットの到着待ちのために停止してしまうこともあった。

　本発明は、上述した課題を解決するために、管理コンピュ−タを用いて、半導体ウエハを保管するストッカと、半導体ウエハを搬送する搬送車を制御する搬送車コントローラと、半導体ウエハを処理する処理装置とを管理する半導体装置製造工程の搬送方法において、処理装置から管理コンピュ−タに対して、処理装置で処理されている半導体ウエハの処理終了を予め知らせる処理終了予告信号が通知され、処理終了予告信号が通知された後に、管理コンピュ−タによってストッカ内における処理装置では未処理の半導体ウエハの存在が検索され、処理装置では未処理の半導体ウエハがストッカ内に存在する場合は、搬送車をストッカを経由させて処理装置へ移動させる第１の移動指示が管理コンピュータから搬送車コントローラに通知され、処理装置では未処理の半導体ウエハがストッカ内に存在しない場合は、搬送車を前記ストッカを経由させずに処理装置へ移動させる第２の移動指示が管理コンピュータから搬送車コントローラに対して通知され、処理終了予告信号及び第１又は第２の移動指示に基づいて、搬送車コントロ−ラが搬送車を処理装置へ移動させるものである。

　本発明の半導体装置製造工程の搬送方法によれば、半導体ウエハを処理している処理装置から、その処理装置を制御している管理コンピュ−タに対して、半導体ウエハの処理終了を予め通知し、その通知に基づいて搬送車をその処理装置へ移動させるようにしているので、処理が終了した半導体ウエハは搬送車の到着を待つ時間が減少する。すなわち、半導体製造装置の稼働効率が向上し、生産TATを短縮することができる。

　本発明の実施の形態を、以下図面を参照しながら説明する

　図１は、本発明の第１の実施の形態を示す半導体装置の製造工程における搬送制御システムの構成図である。本発明における半導体装置の製造システムは、主に、ロットを一時的に保管するストッカ、ロットを搬送する自動搬送車、自動搬送車を制御する自動搬送車コントロ−ラ、ロットに対する洗浄、乾燥、エッチング等の処理を行う処理装置、この製造システムを管理する仕掛かり管理コンピュ−タにより構成されている。ストッカ、自動搬送車コントロ−ラ、処理装置の各々は、タ−ミナルサ−バを介して通信ケ−ブルとLAN（Local Area Network）により仕掛かり管理コンピュ−タと接続されることにより仕掛かり管理コンピュ−タに制御されるようになっている。自動搬送車は、無線通信で次工程の処理装置等のデ−タを送受信することにより、自動搬送車コントロ−ラによって制御されるようになっている。

　図２は、本発明の第１の実施の形態を示す半導体装置の製造工程内における搬送システムのレイアウト図である。半導体装置製造工程内の処理エリア１には、ロットを一時的に保管するストッカ２、自動搬送車３を走行ライン４に沿って制御する自動搬送車コントロ−ラ５、処理装置６、処理装置７が図２に示すように配置されており、この搬送システムが仕掛かり管理コンピュ−タ８により制御されている。

　次に、本発明の第１の実施の形態における搬送制御方法について、図３及び図４を用いて説明する。
　図３は、本発明の第１の実施の形態を示す半導体装置の製造工程における搬送制御のフロ−チャ−トである。図４は、本発明の第１の実施の形態を示す半導体装置の製造工程における通信シ−ケンスである。

　複数の半導体ウエハからなるロットの処理を行っている処理装置６において、そのロット処理が間もなく終了する時刻になると、処理装置から仕掛かり管理コンピュ−タ８に対してロット処理がいつ終了するかということを表すロット処理終了予告信号が通知される（Ｓ１０１）。この時、すなわち、仕掛かり管理コンピュ−タ８が処理装置６からロット処理終了予告信号を受信した時、仕掛かり管理コンピュ−タ８は、処理装置６における処理終了予定ロットを次にどの処理装置で処理することができるかということを、各処理装置からの処理進捗状況に基づいて検索し（Ｓ１０２）、次の搬送先（処理終了予定ロットの次工程処理をすることができる装置）を決定する（Ｓ１０７）。処理終了予定ロットの次工程処理をすることができる装置がない場合は、ストッカ２を搬送先として決定する（Ｓ１０６）。処理終了予定ロットの次工程処理をすることができる装置がある場合は、その装置が処理装置６と同一エリアに存在するかどうかを調べる（Ｓ１０４）。同一エリアに存在しない場合は、ストッカ２を搬送先として決定し（Ｓ１０６）、同一エリアに存在する場合は、さらにその処理装置に処理すべきロットを搬入することが可能なバッファが存在するかどうかを調べる（Ｓ１０５）。ここで、搬入可能なバッファがない場合は、ストッカ２を搬送先として決定する（Ｓ１０６）。搬入可能なバッファがある場合は、その処理装置を搬送先として決定する（Ｓ１０７）。（ここでは例えば、この装置を処理装置７とする。）そして、仕掛かり管理コンピュ−タ８は、自動搬送車コントロ−ラ５に対して、シ−ケンス番号（搬送指示を代表する重複しない正の整数）、待機位置ＩＤ（処理終了したロットを搬出する処理装置のＩＤ）、ロットＩＤ１（処理終了予定のロットＩＤ）、搬送元位置１（処理終了したロットを搬出する処理装置のＩＤ＋処理終了したロットを搬出する処理装置におけるロット取出口のＩＤ（ポ−トＩＤ））、搬送先位置１（搬送先の処理装置のＩＤ＋搬送先の処理装置のロット搬入口ＩＤ（ポ−トＩＤ））を搬送指示内容として含んだ搬送指示デ−タを通知する（Ｓ１０８）。その搬送指示デ−タに基づいて、自動搬送車コントロ−ラ５は自動搬送車３を制御し、自動搬送車３は処理終了したロットを搬出する処理装置６（搬送元の処理装置６）までの移動を開始する。また、仕掛かり管理コンピュ−タ８は、処理装置６からロット処理終了予告信号を受信し、前述のロット搬送指示後、処理装置６においてロット処理終了予告信号が発信されてからロット処理が終了する時刻をセットした、処理装置６に設けられた監視タイマ−９を起動させる（Ｓ１０９）。

　その後、仕掛かり管理コンピュ−タ８は、自動搬送車３が処理装置６の待機位置に到着するのを待つ。自動搬送車３が処理装置６の待機位置に到着すると、自動搬送車コントロ−ラ５は仕掛かり管理コンピュ−タ８に対して、自動搬送車３が処理装置６の待機位置に到着したことを通知する（Ｓ１１０）。この時、仕掛かり管理コンピュ−タ８は処理装置６からロット処理の終了が通知されているかどうかを確認する（Ｓ１１１）。

　ここで、処理装置６からロット処理の終了が通知されている場合、仕掛かり管理コンピュ−タ８は、処理済みのロットを、処理装置６から処理装置６で処理終了したロットの次工程の処理をすることができる処理装置（例えば、処理装置７）へ搬送する指示を出し（Ｓ１１２）、自動搬送車３はロットを処理装置６から処理装置７へ搬送する。ここでは、ロットの処理終了が予め時かかり管理コンピュ−タ８に通知されているので、自動搬送車３はロットの処理終了とほぼ同時に処理装置６に到着することができ、その結果、自動搬送車３が処理装置６に到着した後すぐに処理済みのロットを搬出することができる。その後、再び仕掛かり管理コンピュ−タ８は処理装置におけるロットの処理終了を予告する信号の受信を待ち（Ｓ１１３）、その予告信号を受信したら、上述した動作を繰り返す（Ｓ１１４）。

　一方、処理装置６からロット処理の終了が通知されていない場合、仕掛かり管理コンピュ−タ８は、処理装置６からロット処理終了予告信号を受信した時に起動した監視タイマ−９が設定された時刻を過ぎているかどうか、つまり監視タイマ−９のタイムアウトが発生したかどうかを確認する（Ｓ１１５）。ここでさらに、監視タイマ−９のタイムアウトが発生していなければ、仕掛かり管理コンピュ−タ８は処理装置６においてロット処理が終了しているかどうかを再度確認する（Ｓ１１１）。そこで、ロットの処理が終了していれば、仕掛かり管理コンピュ−タ８は、前述したように処理済みのロットを処理装置６から処理装置７へ搬送する指示を出し（Ｓ１１２）、自動搬送車３がロットの搬送を開始する。

　しかし、処理装置６のトラブル等で処理装置６のロット処理終了時刻が処理終了予定時刻よりも遅れることによって監視タイマ−９のタイムアウトが発生している場合、仕掛かり管理コンピュ−タ８は処理装置６からロットを搬出するのを中止することを自動搬送車コントロ−ラ５に通知する（Ｓ１１６）。その後、処理装置６の前で待機していた自動搬送車３は、処理装置６からのロットの搬出がキャンセルされたことにより、処理装置６以外の処理装置から処理済みのロットを搬出すること、あるいはストッカ２から未処理のロットを搬出すること等のように任意に利用することができる。

　また、監視タイマ−９のタイムアウトが発生した後に、処理装置６からロットの処理終了が仕掛かり管理コンピュ−タ８に通知された場合（Ｓ１１７）には、仕掛かり管理コンピュ−タ８は、自動搬送車コントロ−ラ５に対して、別の自動搬送車３が処理装置６へ移動するように指示し（Ｓ１１８）、その自動搬送車３に処理装置６から処理済みのロットを搬出させる。その後、再び仕掛かり管理コンピュ−タ８は処理装置におけるロットの処理終了を予告する信号の受信を待ち、（Ｓ１１３）その予告信号を受信したら、上述した動作を繰り返す。（Ｓ１１４）

　以上説明したように、本発明の第１の実施の形態における半導体装置製造工程の搬送システムによれば、ロットを処理している処理装置６から仕掛かり管理コンピュ−タ８に対して、ロットが間もなく処理終了することを伝える信号が予め送信され、自動搬送車３は処理装置６がロットの処理を終了した後に速やかに処理済みロットを処理装置６外へ送出することができ、自動搬送車３により次工程の処理装置７へ搬送することができる。すなわち、処理装置６において処理されたロットの、自動搬送車３の到着を待つ時間が減少し、その結果、半導体製造装置の稼働率を向上させることができるので、半導体装置の製造工程におけるTAT（Turn Around Time）の短縮が可能となる。また、監視タイマ−９を設置して、自動搬送車３が処理装置６におけるロットの処理状況を把握できるようにしたので、自動搬送車３が処理装置６に到着するまでの間、自動搬送車３を時間的に有効に利用することができる。

　次に、本発明の第２の実施の形態を、以下図面を参照しながら説明する。
　第２の実施の形態では、半導体装置の製造工程内における搬送制御の構成及びレイアウトは、第１の実施の形態の場合と同様にそれぞれ図１及び図２のようになっている。
　図５は、本発明の第２の実施の形態を示す半導体装置の製造工程における搬送制御のフロ−チャ−トである。図６は、本発明の第２の実施の形態を示す半導体装置の製造工程における通信シ−ケンスである。

　複数の半導体ウエハからなるロットの処理を行っている処理装置６において、そのロット処理が間もなく終了する時刻になると、処理装置から仕掛かり管理コンピュ−タ８に対してロット処理がいつ終了するかということを表すロット処理終了予告信号が通知される（Ｓ２０１）。この時、すなわち、仕掛かり管理コンピュ−タ８が処理装置６からロット処理終了予告信号を受信した時、仕掛かり管理コンピュ−タ８は、処理装置６における処理終了予定ロットを次にどの処理装置で処理することができるかということを、各処理装置からの処理進捗状況に基づいて検索し（Ｓ２０２）、次の搬送先（処理終了予定ロットの次工程処理をすることができる装置）、例えば処理装置７を決定する（Ｓ２０７）。処理終了予定ロットの次工程処理をすることができる装置がない場合は、ストッカ２を搬送先として決定する（Ｓ２０６）。処理終了予定ロットの次工程処理をすることができる装置がある場合は、その装置が処理装置６と同一エリアに存在するかどうかを調べる（Ｓ２０４）。同一エリアに存在しない場合は、ストッカ２を搬送先として決定し（Ｓ２０６）、同一エリアに存在する場合は、さらにその処理装置に処理すべきロットを搬入することが可能なバッファが存在するかどうかを調べる（Ｓ２０５）。ここで、仕掛かり管理コンピュータ８は、搬入可能なバッファがない場合は、ストッカ２を搬送先として決定し（Ｓ２０６）、搬入可能なバッファがある場合は、その処理装置を搬送先として決定する（Ｓ２０７）。その後、仕掛かり管理コンピュータ８は、処理装置６で処理すべきロットがストッカ２内に存在するか否かということも確認する（Ｓ２０８）。

　ここでまず、ストッカ２内に処理すべきロットが存在する場合について説明する。この場合、仕掛かり管理コンピュ−タ８は、ストッカ２に対して、処理装置６で処理すべきロットをストッカ２から出庫するように指示する（Ｓ２０９）。仕掛かり管理コンピュ−タ８は、ストッカ２からそのロットが出庫されたことを認識した後、自動搬送車コントロ−ラ５に対して、その出庫されたロットを処理装置６まで搬送すること、及び処理装置６内の処理済みロットを処理装置６から取り出して、処理装置７へその処理済みロットを搬送することを指示する（Ｓ２１０）。この時の搬送指示デ−タは、シ−ケンス番号（搬送指示を代表する重複しない正の整数）、待機位置ＩＤ（処理終了したロットを搬出する処理装置のＩＤ）、ロットＩＤ１（ストッカ内にある処理装置６で処理すべきロットのＩＤ）、搬送元位置１（ストッカのＩＤ＋ストッカにおけるロット取出口のＩＤ（ポ−トＩＤ））、搬送先位置１（搬送先の処理装置のＩＤ＋搬送先の処理装置のロット搬入口ＩＤ（ポ−トＩＤ））、ロットＩＤ２（処理装置６内の処理終了予定のロットのＩＤ）、搬送元位置２（処理終了したロットを搬出する処理装置６のＩＤ＋処理終了したロットを搬出する処理装置６におけるロット取出口のＩＤ（ポ−トＩＤ））を含んでいる。その後、自動搬送車３はストッカ２まで移動し、そして、ストッカ２のロット取出口から出庫された、処理装置６で処理すべきロットを処理装置６へ搬送する。

　一方、ストッカ２内に処理すべきロットが存在しない場合について説明する。この場合、仕掛かり管理コンピュ−タ８は、自動搬送車コントロ−ラ５に対して、ストッカ２を経由せずに処理装置６に向かって移動し、処理装置６から処理終了済みロットを搬出することを指示する（Ｓ２１２）。また、ここでは、自動搬送車コントロ−ラ５に設けられた遅延タイマ−１０を起動する（Ｓ２１１）ことにより、自動搬送車３が現在地からストッカ２を経由して処理装置６へ到着するまでにかかる時間から、自動搬送車３が現在地からストッカ２を経由せずに処理装置６へ到着するまでにかかる時間を差し引いた時間だけ遅れて自動搬送車３は処理装置６までの移動を開始する。

　また、仕掛かり管理コンピュ−タ８は、ストッカ２内に処理装置６で処理すべきロットがあるないにかかわらず、自動搬送車コントロ−ラ５に対する自動搬送車の移動を指示する（自動搬送車移動指示信号を発信する）と共に、この自動搬送車移動指示信号が発信されてから処理装置６内のロット処理が終了する時刻をセットした、処理装置６に設けられた監視タイマ−９を起動させる（Ｓ２１３）。

　その後、仕掛かり管理コンピュ−タ８は、自動搬送車３が処理装置６の待機位置に到着するのを待つ。自動搬送車３が処理装置６の待機位置に到着すると、自動搬送車コントロ−ラ５は仕掛かり管理コンピュ−タ８に対して、自動搬送車３が処理装置６の待機位置に到着したことを通知する（Ｓ２１４）。この時、仕掛かり管理コンピュ−タ８は処理装置６からロット処理の終了が通知されているかどうかを確認する（Ｓ２１５）。

　ここで、処理装置６からロット処理の終了が通知されている場合、仕掛かり管理コンピュ−タ８は、処理済みのロットを、処理装置６から処理装置６で処理終了したロットの次工程の処理をすることができる処理装置（例えば、処理装置７）へ搬送する指示を出す（Ｓ２１６）。すると、自動搬送車３はストッカ２内から取り出した未処理のロットを処理装置６に搬入し、かつ処理済みのロットを処理装置６から取り出して処理装置７へ搬送する。その後、再び仕掛かり管理コンピュ−タ８は処理装置におけるロットの処理終了を予告する信号の受信を待ち（Ｓ２１７）、その予告信号を受信したら、上述した動作を繰り返す（Ｓ２１８）。

　一方、処理装置６からロット処理の終了が通知されていない場合、仕掛かり管理コンピュ−タ８は、前述の自動搬送車を移動させるための指示信号が発信された時に起動した監視タイマ−９において設定された時刻を過ぎているかどうか、つまり監視タイマ−９のタイムアウトが発生したかどうかを確認する（Ｓ２１９）。ここでさらに、監視タイマ−９のタイムアウトが発生していなければ、仕掛かり管理コンピュ−タ８は処理装置６においてロット処理が終了しているかどうかを再度確認する。再確認後、ロットの処理が終了していれば、仕掛かり管理コンピュ−タ８は、前述したように処理済みのロットを処理装置６から処理装置７へ搬送する指示を出し、自動搬送車３がロットの搬送を開始する。

　しかし、処理装置６のトラブル等で処理装置６のロット処理終了時刻が処理終了予定時刻よりも遅れることによって監視タイマ−９のタイムアウトが発生している場合、仕掛かり管理コンピュ−タ８は処理装置６からロットを搬送するのを中止することを自動搬送車コントロ−ラ５に通知する（Ｓ２２０）。その後、処理装置６の前で待機していた自動搬送車３は、処理装置６からのロットの搬出がキャンセルされたことにより、処理装置６以外の処理装置から処理済みのロットを搬出すること、あるいはストッカ２から未処理のロットを搬出すること等のように任意に利用することができる。

　また、監視タイマ−９のタイムアウトが発生した後に、処理装置６からロットの処理終了が仕掛かり管理コンピュ−タ８に通知された場合（Ｓ２２１）には、仕掛かり管理コンピュ−タ８は、自動搬送車コントロ−ラ５に対して、別の自動搬送車３が処理装置６へ移動するように指示し（Ｓ２２２）、その自動搬送車３に処理装置６から処理済みのロットを搬出させる。その後、再び仕掛かり管理コンピュ−タ８は処理装置におけるロットの処理終了を予告する信号の受信を待ち、（Ｓ２１７）その予告信号を受信したら、上述した動作を繰り返す（Ｓ２１８）。

　以上説明したように、本発明の第２の実施の形態における半導体装置製造工程の搬送システムによれば、次のような効果が現れる。つまり、仕掛かり管理コンピュ−タ８が、ロットを処理している処理装置６からロットが間もなく処理終了することを伝える信号を受信することにより、もしストッカ２内にその処理装置６内で次に処理することができるロットがあれば、自動搬送車３をストッカ経由で処理装置６に移動させ、処理装置６に到着した後、未処理のロットを処理装置６内に搬入し、かつ処理済みのロットを処理装置６から搬出するようにしたので、半導体装置製造工程における処理装置の稼働効率を向上させることができる。また、ストッカ２内に未処理のロットがない場合は、遅延タイマ−１０を用いることにより、自動搬送車３が現在地からストッカ２を経由して処理装置６へ到着するまでにかかる時間から、自動搬送車３が現在地からストッカ２を経由せずに処理装置６へ到着するまでにかかる時間を差し引いた時間だけ遅れて、自動搬送車３を処理装置６まで移動させるようにしたので、自動搬送車３を時間的に有効利用することができる。これらの結果、半導体装置の製造工程におけるTAT（Turn Around Time）の短縮が可能となる。

本発明の第１の実施の形態を示す半導体装置の製造工程における搬送制御の構成図である。 本発明の第１の実施の形態を示す半導体装置製造工程内における搬送システムのレイアウトである。 本発明の第１の実施の形態を示す半導体装置の製造工程における搬送制御のフロ−チャ−トである。 本発明の第１の実施の形態を示す半導体装置の製造工程における通信シ−ケンスである。 本発明の第２の実施の形態を示す半導体装置の製造工程における搬送制御のフロ−チャ−トである。 本発明の第１の実施の形態を示す半導体装置の製造工程における通信シ−ケンスである。

符号の説明

　１：半導体装置製造工程内の処理エリア
　２：ストッカ
　３：自動搬送車
　４：走行ライン
　５：自動搬送車コントロ−ラ
　６，７：処理装置
　８：仕掛かり管理コンピュ−タ
　９：監視タイマ−
　１０：遅延タイマ−

Claims (3)

1. 　管理コンピュ−タを用いて、半導体ウエハを保管するストッカと、前記半導体ウエハを搬送する搬送車を制御する搬送車コントローラと、前記半導体ウエハを処理する処理装置とを管理する半導体装置製造工程の搬送方法において、
   　前記処理装置から前記管理コンピュ−タに対して、前記処理装置で処理されている前記半導体ウエハの処理終了を予め知らせる処理終了予告信号が通知され、
   　前記処理終了予告信号が通知された後に、前記管理コンピュ−タによって、前記ストッカ内における前記処理装置では未処理の半導体ウエハの存在が検索され、
   　前記処理装置では未処理の半導体ウエハが前記ストッカ内に存在する場合は、前記搬送車を前記ストッカを経由させて前記処理装置へ移動させる第１の移動指示が、前記管理コンピュータから前記搬送車コントローラに通知され、
   　前記処理装置では未処理の半導体ウエハが前記ストッカ内に存在しない場合は、前記搬送車を前記ストッカを経由させずに前記処理装置へ移動させる第２の移動指示が、前記管理コンピュータから前記搬送車コントローラに対して通知され、
   　前記処理終了予告信号及び前記第１又は第２の移動指示に基づいて、前記搬送車コントロ−ラが前記搬送車を前記処理装置へ移動させることを特徴とする半導体装置製造工程の搬送方法。
2. 　請求項１に記載された半導体装置製造工程の搬送方法において、
   　前記処理装置では未処理の半導体ウエハが前記ストッカ内に存在しない場合に、遅延タイマ−を用いることにより、前記第１の移動指示に基づいて前記搬送車が前記処理装置へ移動するのにかかる時間から、前記第２の移動指示に基づいて前記搬送車が前記処理装置へ移動するのにかかる時間を差し引いた時間遅れて、前記搬送車の移動が開始することを特徴とする半導体装置製造工程の搬送方法。
3. 　請求項２に記載された半導体装置製造工程の搬送方法において、
   　前記搬送車が前記ストッカを経由して前記処理装置に到着した後に、
   　前記ストッカから出庫された未処理の半導体ウエハを前記処理装置へ搬入し、前記処理装置で処理された前記半導体ウエハを前記処理装置から取り出すことを特徴とする半導体装置製造工程の搬送方法。

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