JP2004134682A

JP2004134682A - 気体シリンダ、ステージ装置及び露光装置

Info

Publication number: JP2004134682A
Application number: JP2002299833A
Authority: JP
Inventors: Keiichi Tanaka; 田中　慶一
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2002-10-15
Filing date: 2002-10-15
Publication date: 2004-04-30

Abstract

【課題】磁場変動の問題を回避しつつ、ステージ駆動による反力をキャンセルし、振動を低減することのできるステージ装置等を提供する。
【解決手段】気体シリンダ１の固定ガイド軸１１の外面には、移動子２１が嵌合している。移動子２１内の圧力室２２には、カウンタマス１５がスライド可能に収容されている。カウンタマス１５には、舌片状の受圧板１６、１７が取り付けられている。両受圧板１６、１７は、圧力室２２内を２室Ｐ１、Ｐ２に区分し、気体シリンダ１のピストンの役割を果たす。気体シリンダ１においては、受圧板１６、１７により区分された圧力室Ｐ１、Ｐ２内の気体圧を制御することにより、移動子２１をガイド軸１１に沿って駆動するとともに、その駆動反力を、カウンタマス１５が移動子２１と反対方向に動いてキャンセルする。
【選択図】　　　図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、気体シリンダ、気体シリンダを含む駆動機構を備えるステージ装置、及び、そのステージ装置を備える露光装置に関する。特には、磁場変動の問題を回避しつつ、ステージ駆動による反力をキャンセルし、振動を低減することのできるステージ装置等に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイス等の微細パターンを形成するためのいわゆるリソグラフィー技術の分野におけるステージ装置を例に採って、従来の技術を説明する。
リソグラフィー技術において現在主流である光露光装置では、ステージ駆動源として、高分解能位置決め線形制御が可能で高推力のリニアモータ等の電磁アクチュエータが広く用いられている。また、ステージの位置測定には、高分解能のレーザ干渉計が広く用いられている。さらに、ステージのＸＹガイド方式としては、ステージの位置決めが容易になるよう、高剛性の非接触エアベアリングが用いられている。そして、これらにより、ステージの数ｎｍオーダの位置決めが可能となりつつある。
【０００３】
しかし、荷電粒子線である電子線を使用する露光装置においては、電磁アクチュエータが動作する際の磁場変動によって電子線の予期せぬ偏向や収差が生じ、露光精度が低下するおそれがあるので、ステージ駆動に光露光と同様の電磁アクチュエータを採用するのには問題がある。なお、電子線露光装置では、電子光学系における電子線の高速偏向が可能である。そのため、ステージの位置誤差を光学系側で補正することができるので、ステージの位置精度は光露光ほどの精度は要求されず、数μｍオーダで充分とされている。
【０００４】
ところで、ステージ移動時には、ステージ移動反力が露光装置の構造体に伝わり、同構造体が振動する。この振動は、光学系にも伝わり、転写パターン像の位置ずれやコントラストの低下を引き起こすおそれがある。これに対し、現状の光露光装置では、ローパスフィルタとして作用するショックアブソーバを経由して、露光装置の振動を床に逃している。あるいは、運動量保存則に基づく除振機構も実用化されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、磁場変動の問題を回避しつつ、ステージ駆動による反力をキャンセルし、振動を低減することのできるステージ装置等を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記の課題を解決するため、本発明の気体シリンダは、中空の固定ガイド軸と、　該ガイド軸の外面に嵌合して案内される、内部に圧力室の形成された移動子と、　該移動子内に嵌合して移動可能な、前記圧力室内を区分する受圧板と、　該受圧板が連結されるとともに、前記ガイド軸の内面に嵌合して案内されるカウンタマスと、を具備し、　前記受圧板により区分された圧力室内の気体圧を制御することにより前記移動子を前記ガイド軸に沿って駆動するとともに、その駆動反力を、前記カウンタマスが前記移動子と反対方向に動いてキャンセルすることを特徴とする。
【０００７】
本発明の気体シリンダでは、前記移動子が通常のエアシリンダのシリンダチューブに相当し、前記ガイド軸がピストンロッドに相当し、前記受圧板がピストンに相当する。但し、通常のエアシリンダとは逆に、ピストンロッドであるガイド軸は固定されており、シリンダチューブである移動子の方が動く。そして、ピストンである受圧板にはカウンタマスが連結されており、このカウンタマスが、移動子をガイド軸に沿って駆動する際の駆動反力をキャンセルする。そのため、移動子の駆動反力が外部に伝達されず、振動を防止することができる。なお、移動子をガイドするガイド軸そのものは固定されているので、移動子の直進性・姿勢の安定性は確保できる。
【０００８】
本発明のステージ装置は、駆動用気体シリンダを含む駆動機構を備え、ステージを移動・位置決めするステージ装置であって、　前記駆動用気体シリンダが、ステージ装置のベースに支持された中空の固定ガイド軸と、　該ガイド軸の外面に嵌合して案内される、内部に圧力室の形成されたステージと、　該ステージ内に嵌合して移動可能な、前記圧力室内を区分する受圧板と、　該受圧板が連結されるとともに、前記ガイド軸の内面に嵌合して案内されるカウンタマスと、を具備し、　前記受圧板により区分された圧力室内の気体圧を制御することにより前記ステージを前記ガイド軸に沿って駆動するとともに、その駆動反力を、前記カウンタマスが前記ステージと反対方向に動いてキャンセルすることを特徴とする。
【０００９】
このステージ装置は、駆動源に気体シリンダを用いるため、磁場変動の問題が生じない。さらに、前述の反力キャンセル機構を有するため、振動が少なく、ステージの直進性・姿勢の安定性がよい。
【００１０】
本発明においては、前記移動子若しくはステージと前記固定ガイド軸間、及び、前記カウンタマスと前記固定ガイド軸間に、静圧案内軸受及び真空排気機構を設けることができる。
静圧案内軸受は接触抵抗が少ないので、固定ガイド軸に対する移動子・カウンタマスの動きをスムーズにでき、ステージの制御性が向上する。さらに、真空排気機構により気体リークを軽減できるので、真空雰囲気中や特殊雰囲気中でも本発明のステージ装置を使用することができる。
【００１１】
本発明においては、前記固定ガイド軸内に、前記カウンタマスをストローク原点に戻すトリム圧力を導入するトリムシリンダが形成されているものとすることができる。
反力キャンセルの際のカウンタマスの動き（ストローク）が累積して大きくなると、シリンダの作動が不能となるおそれがある。そこで、前記トリムシリンダでカウンタマスを原点に戻すようにする。トリムシリンダを作動させるタイミングとしては、例えば本ステージ装置を露光装置に適用する場合、露光装置への振動外乱が比較的許容される非露光時等が考えられる。
【００１２】
本発明においては、前記固定ガイド軸内に、前記カウンタマスをストローク原点に戻す電磁モータを有することができる。
この場合、前記トリムシリンダの代わりに、リニアモータ等の電磁モータを用いる。電磁モータを用いると外乱磁場が発生するが、この外乱磁場が発生しても問題のないタイミングで作動させればよい。
【００１３】
本発明の露光装置は、感応基板上にエネルギ線を選択的に照射してパターン形成する露光装置であって、　前記感応基板を載置するステージ、及び／又は、パターン原版を載置するステージとして、前記請求項２〜４いずれか１項記載のステージ装置を備えることを特徴とする。
本露光装置は、前述のステージ装置を備えることで、ステージ駆動に伴う露光装置の振動を低減でき、露光性能を向上できる。
【００１４】
本発明の露光装置においては、パターンを転写するエネルギ線は特に限定されず、光、紫外線、Ｘ線（軟Ｘ線、ＥＵＶ等）、荷電粒子線（電子線、イオンビーム）等であってよい。また、露光方式も限定されず、縮小投影露光、近接等倍転写、直描式等に広く適用できる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ説明する。
まず、図５を参照しつつ、本発明の一実施の形態に係る露光装置について説明する。
図５は、本発明の一実施の形態に係る露光装置の全体構成を示す図である。
図５に示す露光装置１００のベース１０５の上には、防振台１０７を介して支持構造体１０９が設置されている。防振台１０７は、防振機能を備えたダンパである。露光装置１００の支持構造体１０９上にはレチクルチャンバ１１１が固定されており、構造物１０９の下方にはウェハチャンバ１０３が接続されている。ウェハチャンバ１０３の下部は、ベース１０５上に支持部材１０８を介して支持されている。レチクルチャンバ１１１の内部には真空室１１１Ａが構成され、ウェハチャンバ１０３の内部には真空室１０３Ａが構成される。
【００１６】
レチクルチャンバ１１１内において、支持構造体１０９の上面にはレチクル定盤（ステージベース）１１５が搭載されている。このレチクル定盤１１５の上には、レチクルステージ装置１３０が搭載されている。このレチクルステージ１３０上にレチクルＲが載置される。一方、ウェハチャンバ１０３内部の底面上には、ウェハ定盤１３８を介してウェハステージ装置１４０が移動可能に搭載されている。このウェハステージ装置１４０上にウェハＷが載置される。
【００１７】
レチクルチャンバ１１１の上部には、照明光学系鏡筒（電子線照明鏡筒）１１３が配置されている。この照明光学系鏡筒１１３は、レチクルチャンバ１１１上面を貫通するように配置されている。同鏡筒１１３内には、電子銃やコンデンサレンズ、偏向器等（図示されず）が配置されている。
【００１８】
レチクルチャンバ１１１の側部（図の左側）には、内部の真空室１１１Ａを真空に引くための真空系統１１４（ターボ分子ポンプＰを含む）が連結されている。さらに、レチクルチャンバ１１１の側部（図の右側）には、レチクルＲを真空室１１１Ａ内外に搬送するためのローダチャンバ１１６（ゲートバルブ、マニュピレータを含む）が連結されている。
【００１９】
レチクルチャンバ１１１内のレチクル定盤１１５とウェハチャンバ１０３間において、支持構造体１０９の中央には投影光学系鏡筒（電子投影鏡筒）１２３が設けられている。この投影光学系鏡筒１２３は、支持構造体１０９内を上下に貫通するように配置されている。同鏡筒１２３内には、複数段の投影レンズ（コンデンサレンズ）や偏向器、収差補正用のレンズやコイル等（図示されず）が配置されている。
【００２０】
ウェハチャンバ１０３の底部（図の下側）には、内部の真空室１０３Ａを真空に引くための真空系統１０４（ターボ分子ポンプを含む）が連結されている。さらに、ウェハチャンバ１０３の側部（図の右側）には、ウェハＷを真空室１０３Ａ内外に搬送するためのローダチャンバ１０６（ゲートバルブ、マニュピレータを含む）が連結されている。
【００２１】
次に、図６を参照しつつ、本発明の一実施の形態に係るステージ装置の全体構成について説明する。
図６は、本発明の一実施の形態に係るステージ装置を示す平面図である。
図６には、ウェハチャンバ底部のウェハ定盤上に載置されたウェハステージ１４０（駆動装置内蔵）の例が示されている。なお、本形態では、ステージ装置を図５の線露光装置のウェハステージ１４０に適用するものとして説明するが、これに限らず様々な用途・形態で使用できる。
【００２２】
図６に示すように、ウェハステージ（ステージ装置）１４０の中央部には、ステージ部２１０が設けられている。ステージ部２１０は、下ステージ２１１と上ステージ２１７等で構成されている。下ステージ２１１と上ステージ２１７は、例えば、板バネ等で連結されている。上ステージ２１７上には、図示はしていないが、微動テーブルや静電チャック等のウェハ保持装置があり、ウェハＷを固定する。
【００２３】
下ステージ２１１には、図示せぬ気体軸受を介して、Ｘ軸方向に延びるＸ軸移動子２０５が嵌合されている。Ｘ軸移動子２０５の両端には、Ｙ方向にスライド可能なＹ軸スライダ（移動子）２０７が設けられている。各Ｙ軸スライダ２０７には、図示せぬ気体軸受を介して、Ｙ軸方向に延びるＹ軸固定ガイド（固定子）２０８が嵌合されている。詳しくは図１を参照しつつ後述するが、このＹ軸スライダ２０７及び固定ガイド２０８がスライダ駆動機構としての気体シリンダを構成している。
【００２４】
各固定ガイド２０８の両端部付近には、ガイド固定部２０９、２１２が設けられている。各固定ガイド２０８は、ベース２０２（前述のウェハチャンバ底部上のウェハ定盤に相当）に固定されている。
【００２５】
上ステージ２１７には、図示せぬ気体軸受を介して、Ｙ軸方向に延びるＹ軸移動子２０５′が嵌合されている。Ｙ軸移動子２０５′の両端には、Ｘ方向にスライド可能なＸ軸スライダ（移動子）２０７′が設けられている。各Ｘ軸スライダ２０７′には、図示せぬ気体軸受を介して、Ｘ軸方向に延びるＸ軸固定ガイド（固定子）２０８′が嵌合されている。詳しくは図１を参照しつつ後述するが、このＸ軸スライダ２０７′及び固定ガイド２０８′がスライダ駆動機構としての気体シリンダを構成している。
【００２６】
各固定ガイド２０８′の両端部付近には、ガイド固定部２０９′、２１２′が設けられている。各固定ガイド２０８′は、ベース２０２（前述のウェハチャンバ底部上のウェハ定盤に相当）に固定されている。
【００２７】
次に、図１及び図２を参照しつつ、本発明の一実施の形態に係る気体シリンダ（図６のスライダ２０７とガイド２０８に相当）の構成について説明する。
図１は、本発明の一実施の形態に係る気体シリンダ（ステージ装置）を示す図である。（Ａ）は側面断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ線の沿う断面図である。
図１に示すステージ駆動用の気体シリンダ１は、中空部１２を有する四角の長い箱状をした固定ガイド軸１１を備えている。このガイド軸１１は、前述の固定ガイド２０８（図６参照）に相当する部材である。ガイド軸１１の両端は、ステージ装置のベース２０２（図６参照）に立ち上げられた支持脚１０（図６のガイド固定部２０９や２１２等に相当）上に固定されている。
【００２８】
ガイド軸１１の外面には、移動子２１が嵌合している。この移動子２１は、前述のＹ軸スライダ２０７（図６参照）に相当する部材である。移動子２１は、ガイド軸１１に案内され、図１（Ａ）中左右方向にスライドする。移動子２１の内部には、圧力室２２が掘り込まれるように形成されている。
【００２９】
ガイド軸１１の中空部１２には、四角い棒状のカウンタマス１５が収容されている。このカウンタマス１５は、ガイド軸１１の内面に嵌合して案内され、図１（Ａ）中左右方向にスライドする。カウンタマス１５の長手方向の長さは、ガイド軸１１の軸方向の長さよりも短い。そのため、ガイド軸１１内にカウンタマス１５が収容された状態において、ガイド軸１１内の両端側（カウンタマス１５の両端面外方）には、それぞれ右室ＰＰ１及び左室ＰＰ２が形成される。これら室ＰＰ１、ＰＰ２は、後述するトリム圧力のためのシリンダ室を構成する。
【００３０】
カウンタマス１５の中央部上下面には、それぞれ舌片状の受圧板１６（上側）、１７（下側）が立ち上がるように取り付けられている。各受圧板１６、１７は、図１（Ｂ）にわかり易く示すように、ガイド軸１１の上下面に開けられたスリット１１ａ、１１ｂ（図１（Ａ）の符号Ｌの長さ）をそれぞれ貫通し、移動子２１内面まで延びている。両受圧板１６、１７は、カウンタマス１５・移動子２１のスライド方向（図１（Ａ）中左右方向）と直交する面に拡がっており、気体シリンダ１のピストンの役割を果たす。これら受圧板１６、１７は、カウンタマス１５と一体に移動し、移動子２１内に嵌合してスライドする。これら両受圧板１６、１７により、移動子２１内の圧力室２２内は、右圧力室Ｐ１と左圧力室Ｐ２とに区分けされる。なお、両室Ｐ１、Ｐ２は、それぞれ個別の給排気系統（図示されず）に繋がっている。
【００３１】
移動子２１のガイド軸１１外面との摺動面、及び、カウンタマス１５のガイド軸１１内面との摺動面には、それぞれ複数の静圧案内軸受（エアパッド）２６が設けられている。各エアパッド２６は、多孔オリフィス性材料から形成されている。図１（Ａ）に示すように、移動子２１において、エアパッド２６の外側には、低真空排気を行う低真空溝２８、高真空排気を行う高真空溝２９が順に形成されている。移動子２１の内部には、各エアパッド２６や排気溝２８、２９にエアの供給・回収・排気を行う通路（図示されず）が形成されている。
【００３２】
各エアパッド２６から噴出されるエアにより、ガイド軸１１に対して移動子２１・カウンタマス１５が非接触支持される。移動子２１側のエアパッド２６から噴出されたエアは、大気開放溝（図示されず）を介して大気に開放される。この大気開放溝から洩れたエアは、低真空溝２８や高真空溝２９を介して排気される。このようにして、エアパッドから噴出されたエアが、高真空に保たれているウェハチャンバ１０３内（図５参照）にあまり洩れ出さないようになっている。
【００３３】
図１（Ａ）に示すように、ガイド軸１１の右室ＰＰ１内端面には、レーザー干渉計１９ａが設けられている。一方、カウンタマス１５の右端面には、このレーザー干渉計１９ａと対向する位置にレーザー干渉計１９ｂが設けられている。これら干渉計１９ａ、１９ｂは、図示せぬモニタ等に接続されている。両干渉計１９ａ、１９ｂにより、ガイド軸１１に対するカウンタマス１５の位置、つまりカウンタマス１５の移動量が検出される。両干渉計１９ａ、１９ｂは、勿論左室ＰＰ２側に設けてもよい。
【００３４】
なお、この実施例では、カウンタマス１５の移動量検出手段としてレーザー干渉計１９ａ、１９ｂを用いているが、これ以外に、例えばリニアスケール等を用いることもできる。この場合は、ガイド軸１１内の室下面にリニアスケールを配置し、カウンタマス端面に検出器を取り付ける。そして、この検出器でリニアスケールの目盛りを読み取り、カウンタマスの移動量を検出する。
【００３５】
この例では、カウンタマスのトリム機構に電磁モータを用いることもできる。図２は、他の実施の形態に係る気体シリンダに付設されるトリム用電磁モータを示す図である。
図２に示すように、カウンタマス１５の端面には、シャフト３１を介して電磁モータ３３が接続されている。シャフト３１は、ガイド軸１１の端面１１Ｘの孔１１ｘ内を貫通して外部に延び出ており、その端部に電磁モータ（リニアモータ）３３が取り付けられている。孔１１ｘ内周面には、前述と同様のエアパッド３６が設けられている。電磁モータ３３は、磁気シールドケース３８内に収容されている。電磁モータ３３の駆動に伴い、カウンタマス１５はシャフト３１を介して押し引きされ、ガイド軸１１内をスライドする。
【００３６】
次に、図３及び図４を参照しつつ、前述の構成を有する気体シリンダの駆動時の様子について説明する。
図３は、図１の気体シリンダの駆動時（移動子の右方向移動時）の様子を示す図である。
図４は、図１の気体シリンダの駆動時（移動子の左方向移動時）の様子を示す図である。
【００３７】
図３に示すように、移動子２１（ステージスライダ）をガイド軸１１上に沿って図中右側（Ｘ方向）に移動させる場合は、移動子２１内の右圧力室Ｐ１に給気するとともに、左圧力室Ｐ２から排気する。すると、右圧力室Ｐ１の内圧が左圧力室Ｐ２の内圧よりも高くなり、移動子２１の右側壁２２Ｒが右に押されて、移動子２１はガイド軸１１に沿ってＸ方向にスライド移動する。この際、移動子２１をガイドするガイド軸１１そのものは支持脚１０に固定されているので、移動子２１の直進性・姿勢の安定性は確保できる。
【００３８】
このとき、移動子２１内部の受圧板１６、１７には、移動子２１のスライド移動方向（Ｘ方向）とは逆方向（Ｘ´方向）に気体圧力がかかる。この気体圧力は、移動子２１の移動反力（ステージ移動反力）とも考えることができる。すると、この圧力を受けて、受圧板１６、１７が移動子２１内部に嵌合して左方向（Ｘ´方向）にスライドする。そして、この受圧板１６、１７と一緒に、ガイド軸１１内のカウンタマス１５が、ステージ反力の作用方向と同方向（Ｘ´方向）に向けてガイド軸１１の内面に嵌合して案内されつつスライドする。このカウンタマス１５のスライドにより、ステージ反力をキャンセルすることができる。そのため、振動が少なく、移動子２１の直進性・姿勢の安定性がよい。
【００３９】
一方、図４に示すように、移動子２１（ステージスライダ）をガイド軸１１上に沿って図中左側（Ｘ´方向）に移動させる場合は、前述とは逆に、移動子２１内の右圧力室Ｐ１から排気するとともに、左圧力室Ｐ２に給気する。すると、右圧力室Ｐ１の内圧が左圧力室Ｐ２の内圧よりも低くなり、移動子２１の左側壁２２Ｌが左に押されて、移動子２１はガイド軸１１に沿ってＸ´方向にスライドする。この場合、前述とは逆に、移動子２１内部の受圧板１６、１７にはＸ方向の気体圧力がかかり、ガイド軸１１内のカウンタマス１５はＸ方向にスライドする。そして、前述と同様に、ステージ反力がキャンセルされるので、振動が少なく、移動子２１の直進性・姿勢の安定性がよい。
【００４０】
ここで、反力キャンセルの際のカウンタマス１５の動き（ストローク）が累積して大きくなると、移動子２１の作動が不能となるおそれがある。そこで、図１のトリムシリンダＰＰ１、ＰＰ２、あるいは、図２の電磁モータ３３でカウンタマス１５を原点に戻すようにする。
【００４１】
露光装置は、パターン形成時には、ステップ移動→スキャン（露光）→ステップ移動を繰り返し、チップ間を移動する。ここで、ステップ時（非露光時）には、露光装置への振動外乱が比較的許容されるため、カウンタマス１５をトリムしてストローク原点に戻しておく。この際、前述のレーザー干渉計１９ａ、１９ｂの検出値に基づき、カウンタマス１５の位置を確認しつつストローク原点まで戻す。このようにして、露光時の反力キャンセルの際の正常なステージ動作を確保できる。
【００４２】
このように、気体シリンダを用いてステージ駆動を行う露光装置では、電磁アクチュエータを用いる場合等のように磁場変動の問題が生じないので、荷電粒子線露光装置の場合には露光性能をより向上できる。また、本実施の形態では、トリム圧力を調整する際の電磁モータ３３は磁気シールドケース３８内に収容されているので、この電磁モータ３３の駆動による磁場変動の問題も回避できる。
【００４３】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ステージ駆動による反力をキャンセルし、振動を低減することのできるステージ装置等を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係る気体シリンダ（ステージ装置）を示す図である。（Ａ）は側面断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ線の沿う断面図である。
【図２】他の実施の形態に係る気体シリンダに付設されるトリム用電磁モータを示す図である。
【図３】図１の気体シリンダの駆動時（移動子の右方向移動時）の様子を示す図である。
【図４】図１の気体シリンダの駆動時（移動子の左方向移動時）の様子を示す図である。
【図５】本発明の一実施の形態に係る露光装置の全体構成を示す図である。
【図６】本発明の一実施の形態に係るステージ装置を示す平面図である。
【符号の説明】
１　気体シリンダ
１０　支持脚　　　　　　　　　　　　　　１１　固定ガイド軸
１２　中空部　　　　　　　　　　　　　　１５　カウンタマス
１６、１７　受圧板　　　　　　　　　　　１９ａ、１９ｂ　レーザー干渉計
２１　移動子　　　　　　　　　　　　　　２２　圧力室
２６、３６　静圧案内軸受（エアパッド）　２８　低真空溝
２９　高真空溝　　　　　　　　　　　　　３１　シャフト
３３　電磁モータ（リニアモータ）　　　　３８　磁気シールドケース
１００　露光装置　　　　　　　　　　　　１４０　ウェハステージ

Claims

中空の固定ガイド軸と、
該ガイド軸の外面に嵌合して案内される、内部に圧力室の形成された移動子と、
該移動子内に嵌合して移動可能な、前記圧力室内を区分する受圧板と、
該受圧板が連結されるとともに、前記ガイド軸の内面に嵌合して案内されるカウンタマスと、を具備し、
前記受圧板により区分された圧力室内の気体圧を制御することにより前記移動子を前記ガイド軸に沿って駆動するとともに、その駆動反力を、前記カウンタマスが前記移動子と反対方向に動いてキャンセルすることを特徴とする気体シリンダ。
駆動用気体シリンダを含む駆動機構を備え、ステージを移動・位置決めするステージ装置であって、
前記駆動用気体シリンダが、
ステージ装置のベースに支持された中空の固定ガイド軸と、
該ガイド軸の外面に嵌合して案内される、内部に圧力室の形成されたステージと、
該ステージ内に嵌合して移動可能な、前記圧力室内を区分する受圧板と、
該受圧板が連結されるとともに、前記ガイド軸の内面に嵌合して案内されるカウンタマスと、を具備し、
前記受圧板により区分された圧力室内の気体圧を制御することにより前記ステージを前記ガイド軸に沿って駆動するとともに、その駆動反力を、前記カウンタマスが前記ステージと反対方向に動いてキャンセルすることを特徴とするステージ装置。
前記移動子若しくはステージと前記固定ガイド軸間、及び、前記カウンタマスと前記固定ガイド軸間に、静圧案内軸受及び真空排気機構が設けられていることを特徴とする請求項１記載の気体シリンダ又は請求項２記載のステージ装置。
前記固定ガイド軸内に、前記カウンタマスをストローク原点に戻すトリム圧力を導入するトリムシリンダが形成されていることを特徴とする請求項１〜３いずれか１項記載の気体シリンダ又はステージ装置。
前記固定ガイド軸内に、前記カウンタマスをストローク原点に戻す電磁モータを有することを特徴とする請求項１〜３いずれか１項記載の気体シリンダ又はステージ装置。
感応基板上にエネルギ線を選択的に照射してパターン形成する露光装置であって、
前記感応基板を載置するステージ、及び／又は、パターン原版を載置するステージとして、前記請求項２〜５いずれか１項記載のステージ装置を備えることを特徴とする露光装置。