JP2004131232A

JP2004131232A - Roller conveyor

Info

Publication number: JP2004131232A
Application number: JP2002296396A
Authority: JP
Inventors: Kenichi Morinaga; 森永　健一; Takayuki Kitajima; 北島　隆之
Original assignee: Tateyama Machine Co Ltd
Current assignee: Tateyama Machine Co Ltd
Priority date: 2002-10-09
Filing date: 2002-10-09
Publication date: 2004-04-30

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a roller conveyor with a simple constitution that can be actuated while restricting generation of dust at a drive mechanism, and maintaining cleanness even in use for a long period. <P>SOLUTION: This roller conveyor comprises a drive motor 14, and a drive pulley 18 and a plurality of driven pulleys 26 around which a flat belt 28 is stretched. It also comprises a base 12 on which a roller shaft 24 fixing the driven pulleys 26 and carrying rollers 34 is journalled. The drive pulley 18 and the driven pulley 26 are formed like a drum that is thicker at a center part. The flat belt 28 is formed of a single kind of material such as polyester. The base 12 is formed of a hollow extruded member, and the roller shaft 24 is provided through a hollow part 36a. The hollow part 36a in the base 12 is brought into a sealed state, and a suction means to form negative pressure in the hollow part 36a is connectable to it. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体やその他電子装置の製造工場等におけるクリーンルーム内で、基板等の部品を搬送するためのローラーコンベアに関する。
【０００２】
【従来の技術】
【特許文献１】実用新案登録第３０３２７３８号公報
従来、半導体やその他電子装置、光学機器等の精密機械、製薬及びバイオ産業等のクリーンな環境を必要とする分野での研究や作業は、空気中の埃をほとんど除去したクリーンルーム内で行われている。従って、クリーンルーム内で用いられる搬送装置にもクリーンルームを汚染しないように、低発塵性の機構が要求されている。
【０００３】
このクリーンルーム内での低発塵性の搬送装置として、特許文献１に開示されているようなローラーコンベアがあった。このローラーコンベアは、ローラー軸の一端部にプーリーを固定し、各ローラー軸に設けられたプーリーに平ベルトを掛け渡した駆動機構としたものである。そして、駆動系をカバーで覆って発塵を抑えたものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の技術のローラーコンベアの場合、駆動用の平ベルトの材質がウレタン系の樹脂であり内部に心材を備えた多層構造であることから、ベルト側面等からの発塵性が高く、しかも耐薬品性が低く、劣化しやすいものであった。しかも、駆動系をカバーで覆っても、カバーの隙間やローラー軸の軸受け部からの発塵が抑えきれず、クリーンルーム内のクリーン度を落とす原因となっていた。
【０００５】
この発明は上記従来の問題点に鑑みてなされたものであり、簡単な構成で、駆動機構での発塵を抑え、長期間の使用にもクリーン度を維持しつつ動作可能なローラーコンベアを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明は、駆動用のモータと、このモータに接続された駆動プーリーと、この駆動プーリーに掛け渡された平ベルトと、この平ベルトが掛け渡された複数の従動プーリーと、この従動プーリーが同軸に固定されたローラー軸と、このローラー軸を保持した基台と、上記ローラー軸に固定された搬送用ローラーとを備えたローラーコンベアであって、上記駆動プーリー及び従動プーリーは中央部が太い太鼓状に形成され、上記平ベルトはポリエステル等の単一素材により形成されたものである。
【０００７】
また、上記基台は中空の押出形材により形成され、この中空部を貫通して上記ローラー軸が設けられ、この中空部に面して上記ローラー軸の軸受けが上記基台に設けられ、上記基台の中空部を密閉状態にするとともに上記中空部内を負圧にする吸引手段を接続可能としたものである。
【０００８】
上記平ベルトが掛け渡された側の上記基台側面を密閉状態で覆うカバーを備え、上記ローラー軸の軸受けを介して、上記基台の中空部の負圧が上記カバー内に及ぶようにしたものである。
【０００９】
この発明のローラーコンベアは、発塵性の低い平ベルトを用いて、駆動機構からの発塵を抑えたものであり、さらに、基台の中空部を利用して軸受けや平ベルト、プーリー等から生じる埃を吸引可能とし、簡素な構造としたものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施形態について図面に基づいて説明する。図１〜図４はこの発明の一実施形態を示すもので、この実施形態のローラーコンベア１０は、例えば液晶ディスプレイの基板２をクリーンルーム内で搬送するためのものである。このローラーコンベア１０は、矩形状の基台１２の内側下方に取り付けられた駆動用のモータ１４と、このモータ１４の駆動軸１６に同軸に固定された駆動プーリー１８とを備えている。駆動プーリー１８は、周面の中央部が太い太鼓状に形成され、中央部には溝２０が全周に形成されて、この溝２０にＯリング２２が嵌合している。
【００１１】
基台１２には、駆動軸１６と平行に複数のローラー軸２４が所定間隔で軸支されている。ローラー軸２４の一端部の基台１２の外側面には、従動プーリー２６が固定され、ローラー軸２４とともに回転自在に設けられている。従動プーリー２６も、周面の中央部が太い太鼓状に形成されている。駆動プーリー１８と従動プーリー２６には、平ベルト２８が掛け渡されている。基台１２の平ベルト２８が設けられた一側面には、回転自在のアイドラー３０が従動プーリー２６に対応して配置され、さらに、平ベルト２８の張力を調整するテンションローラー３２が、基台１２の長手方向に位置調整可能に設けられている。平ベルト２８は、駆動プーリー１８、従動プーリー２６、アイドラー３０、及びテンションローラー３２に掛け渡され、各従動プーリー２６を等速で駆動可能に設けられている。この平ベルト２８は、柔軟なポリエステル等の単一素材により形成されたもので、例えばクリーンルーム用のベルトコンベアのベルトに利用されているものを、所定幅に切断して利用し得る。
【００１２】
従動プーリー２６が同軸に固定されたローラー軸２４には、基台１２の内側の開口位置に、ローラー軸２４に固定された複数の搬送用ローラー３４が所定間隔で設けられている。搬送用ローラー３４は、その周面の頂点位置が全て同一面上に位置し、基板２等の搬送物を滑らかに搬送する。
【００１３】
基台１２は、図３，図４に示すように、中空の押出形材により矩形に形成され、平ベルト２８が掛け渡された側の中空形材３６の中空部３６ａを貫通して、駆動軸１６やローラー軸２４が軸支されている。そして、中空形材３６には、中空部３６ａに面して、駆動軸１６の軸受け３８や、ローラー軸２４の軸受け４０が設けられている。
【００１４】
基台１２の平ベルト２８が掛け渡された側とは反対側の中空形材４２の中空部４２ａにも、ローラー軸２４が軸支されている。中空形材４２には、ローラー軸２４が貫通せずに、基台１２の枠の内側面で空部４２ａに面して、ローラー軸２４の軸受け４０が設けられている。
【００１５】
基台１２の中空形材３６，４２は、両端部を塞いで中空部３６ａ，４２ａが密閉状態に形成され、中空部３６ａ，４２ａ内を負圧にするための図示しない吸引ポンプ等の吸引手段を接続可能に設けられている。従って、中空形材３６，４２には、中空部３６ａ，４２ａ内の空気を吸引する吸引手段のパイプが接続される吸引口４４が各々取り付けられている。
【００１６】
基台１２の平ベルト２８が掛け渡された側の中空形材３６の外側面には、平ベルト２８等の駆動系を密閉状態で覆う透明なカバー４６が着脱可能に設けられている。この中空形材３６とカバー４６に囲まれる密閉空間は、駆動軸１６やローラー軸２４が貫通した軸受け部分の隙間を介して中空部３６ａ内に連通し、負圧状態にされる。また、基台１２の上面には、搬送用ローラー３４の搬送面を覆うように、図示しない箱状のカバー部材を取り付けることができる。
【００１７】
この実施形態のローラーコンベア１０は、平ベルト２８をポリエステル等の単一素材により形成されたものを用いて、発塵性の低い構成としている。さらに、基台１２の中空形材３６，４２を利用して吸引を行っているので、軸受け部等の駆動機構からの発塵も効果的に抑えることができる。さらに、基台の中空部を利用して軸受けや平ベルト、プーリー等から生じる埃を吸引しているので、吸引のための構成を必要とせず、装置の小型化にも寄与する。また、透明なカバー４６で駆動機構部分を覆ったので、平ベルト２８等の様子を外部から容易に確認することができる。
【００１８】
なお、この発明のローラーコンベアは、上記実施形態に限定されるものではなく、平ベルトの材質は、単一素材で適宜変更可能なものである。また吸引機構も、基台の構造を利用したものであれば良く、中空形材の形状は適宜設定可能であり、また、カバーを利用して吸引経路を形成しても良い。
【００１９】
【実施例】
次にこの発明のローラーコンベアの実施例による実験結果について説明する。対比のために、従来の平ベルトを用いて、駆動部における吸引のない場合と、この発明の平ベルトを用いたローラーコンベアで基台１２の中空形材を用いた吸引のない場合とある場合で、埃の大きさ別に埃の数をカウントしたものを以下の表１，表２，表３にまとめた。
【００２０】
ここで、各ローラーコンベアとも機長が２０００ｍｍで、８８０ｍｍの基板を往復動作させる駆動を行なう実験をした。駆動速度は０ｍ／ｍｉｎから１０ｍ／ｍｉｎで加速、減速を繰り返す往復運動をさせた。コンベア上部では気流はほとんど０の状態である。
【００２１】
【表１】

【００２２】
【表２】

【００２３】
【表３】

【００２４】
以上より、吸引のない場合でも従来の平ベルトを用いたものと比較して、本願の平ベルトを用いたものの方が、表１，表２の対比からわかるように、埃の発生が極めて少ないものであった。さらに、基台の中空形材を利用した吸引を行うことにより、表３に示すように、コンベア上における発塵をほとんど無くすことができるものであった。
【００２５】
【発明の効果】
この発明のローラーコンベアは、粉塵をクリーンルーム内に発生させず、確実にクリーンルームの清浄な空気雰囲気を維持することができる。特に、ローラーコンベアの駆動機構の平ベルトを単一素材にすることにより、極めて発塵性の低い構成としている。
【００２６】
また、基台の中空部を利用して吸引を行うことにより、軸受け部等の駆動機構からの発塵を効果的に抑えることができ、しかも装置の小型化にも寄与する。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施形態のローラーコンベアの部分斜視図である。
【図２】この実施形態のローラーコンベアの側面図である。
【図３】この実施形態のローラーコンベアの基台の平ベルトを掛け渡した側の縦断面図である。
【図４】この実施形態のローラーコンベアの基台の他の部分の縦断面図である。
【符号の説明】
１０　ローラーコンベア
１２　基台
１４　モータ
１６　駆動軸
１８　駆動プーリー
２４　ローラー軸
２６　従動プーリー
２８　平ベルト
３４　搬送用ローラー
３６，４２　中空形材
３６ａ，４２ａ　中空部
４４　　吸引口[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a roller conveyor for transporting components such as substrates in a clean room in a semiconductor or other electronic device manufacturing factory or the like.
[0002]
[Prior art]
[Patent Document 1] Japanese Utility Model Registration No. 3032738 Conventionally, research and work in fields requiring clean environments, such as semiconductors and other precision devices such as electronic devices and optical instruments, and pharmaceutical and bio industries, have been conducted in the air. It is performed in a clean room where most dust is removed. Therefore, a transport device used in the clean room is also required to have a low dust generation mechanism so as not to contaminate the clean room.
[0003]
A roller conveyor disclosed in Patent Document 1 has been known as a low-dust-generating transfer device in this clean room. This roller conveyor has a drive mechanism in which a pulley is fixed to one end of a roller shaft and a flat belt is stretched over pulleys provided on each roller shaft. The drive system is covered with a cover to suppress dust generation.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
In the case of the above-mentioned conventional roller conveyor, since the material of the driving flat belt is a urethane resin and has a multilayer structure having a core material inside, high dust generation properties from the belt side surface and the like are obtained, and the resistance is high. It had low chemical properties and easily deteriorated. In addition, even if the drive system is covered with the cover, dust generation from the gap of the cover and the bearing portion of the roller shaft cannot be suppressed, causing a decrease in cleanliness in the clean room.
[0005]
The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and provides a roller conveyor which has a simple structure, suppresses dust generation in a drive mechanism, and can operate while maintaining a cleanness even for long-term use. The purpose is to do.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The present invention provides a driving motor, a driving pulley connected to the motor, a flat belt stretched over the driving pulley, a plurality of driven pulleys stretched over the flat belt, and a driven pulley. A roller conveyor having a roller shaft fixed coaxially, a base holding the roller shaft, and a transport roller fixed to the roller shaft, wherein the driving pulley and the driven pulley have a thick central portion. The flat belt is formed in a drum shape, and the flat belt is formed of a single material such as polyester.
[0007]
Further, the base is formed of a hollow extruded shape, the roller shaft is provided through the hollow portion, and a bearing of the roller shaft is provided on the base facing the hollow portion, A suction means for closing the hollow portion of the base and making the inside of the hollow portion a negative pressure is connectable.
[0008]
A cover for covering the side surface of the base on the side where the flat belt is hung in a closed state is provided, and the negative pressure of the hollow portion of the base extends to the inside of the cover via the bearing of the roller shaft. Things.
[0009]
The roller conveyor of the present invention uses a flat belt with low dust generation to suppress dust generation from the drive mechanism, and further uses a hollow portion of the base to remove bearings, flat belts, pulleys, and the like. The generated dust can be sucked and the structure is simple.
[0010]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIGS. 1 to 4 show an embodiment of the present invention. A roller conveyor 10 of this embodiment is for transporting, for example, a substrate 2 of a liquid crystal display in a clean room. The roller conveyor 10 includes a driving motor 14 attached to a lower portion inside a rectangular base 12, and a driving pulley 18 coaxially fixed to a driving shaft 16 of the motor 14. The drive pulley 18 is formed in a thick drum shape at the center of the peripheral surface, and a groove 20 is formed in the center at the entire circumference, and an O-ring 22 is fitted into the groove 20.
[0011]
A plurality of roller shafts 24 are supported on the base 12 at predetermined intervals in parallel with the drive shaft 16. A driven pulley 26 is fixed to an outer surface of the base 12 at one end of the roller shaft 24, and is rotatably provided together with the roller shaft 24. The driven pulley 26 is also formed in a thick drum shape at the center of the peripheral surface. A flat belt 28 is stretched between the driving pulley 18 and the driven pulley 26. On one side of the base 12 where the flat belt 28 is provided, a rotatable idler 30 is arranged corresponding to the driven pulley 26, and a tension roller 32 for adjusting the tension of the flat belt 28 is attached to the base 12. Is provided so as to be adjustable in the longitudinal direction. The flat belt 28 is stretched over the driving pulley 18, the driven pulley 26, the idler 30, and the tension roller 32, and is provided so as to be able to drive each driven pulley 26 at a constant speed. The flat belt 28 is formed of a single material such as flexible polyester, and can be used by cutting, for example, a belt used for a belt conveyor for a clean room into a predetermined width.
[0012]
On the roller shaft 24 to which the driven pulley 26 is coaxially fixed, a plurality of transport rollers 34 fixed to the roller shaft 24 are provided at predetermined intervals at an opening position inside the base 12. The transfer roller 34 has its apexes on its peripheral surface all located on the same plane, and smoothly transfers a transfer object such as the substrate 2.
[0013]
As shown in FIGS. 3 and 4, the base 12 is formed in a rectangular shape by a hollow extruded shape, and penetrates a hollow portion 36a of the hollow shape 36 on the side where the flat belt 28 is stretched, and is driven. The shaft 16 and the roller shaft 24 are supported. The hollow section 36 is provided with a bearing 38 of the drive shaft 16 and a bearing 40 of the roller shaft 24 facing the hollow portion 36a.
[0014]
The roller shaft 24 is also supported on the hollow portion 42a of the hollow profile 42 on the side opposite to the side on which the flat belt 28 of the base 12 is stretched. A bearing 40 for the roller shaft 24 is provided in the hollow member 42 so that the roller shaft 24 does not penetrate therethrough and faces the hollow portion 42 a on the inner side surface of the frame of the base 12.
[0015]
The

hollow members

36 and 42 of the base 12 are closed at both ends so that the

hollow portions

36a and 42a are formed in a closed state, and suction means such as a suction pump (not shown) for creating a negative pressure in the

hollow portions

36a and 42a. Is provided so as to be connectable. Accordingly, the

hollow sections

36, 42 are provided with suction ports 44 to which pipes of suction means for sucking air in the

hollow sections

36a, 42a are connected.
[0016]
A transparent cover 46 that covers the drive system of the flat belt 28 and the like in a closed state is detachably provided on the outer surface of the hollow profile 36 on the side of the base 12 where the flat belt 28 is stretched. The closed space surrounded by the hollow member 36 and the cover 46 communicates with the inside of the hollow portion 36a through a gap between bearing portions through which the drive shaft 16 and the roller shaft 24 penetrate, and is brought into a negative pressure state. A box-shaped cover member (not shown) can be attached to the upper surface of the base 12 so as to cover the transport surface of the transport roller 34.
[0017]
The roller conveyor 10 of this embodiment uses a flat belt 28 made of a single material such as polyester, and has a low dusting configuration. Further, since suction is performed using the

hollow members

36 and 42 of the base 12, dust generation from a drive mechanism such as a bearing can be effectively suppressed. Further, since the dust generated from the bearing, the flat belt, the pulley, and the like is suctioned by using the hollow portion of the base, a configuration for suction is not required, which contributes to downsizing of the device. Further, since the drive mechanism portion is covered with the transparent cover 46, the state of the flat belt 28 and the like can be easily checked from the outside.
[0018]
In addition, the roller conveyor of this invention is not limited to the said embodiment, The material of a flat belt can be suitably changed by a single material. Also, the suction mechanism may be any one that utilizes the structure of the base, and the shape of the hollow member may be appropriately set, and the suction path may be formed using a cover.
[0019]
【Example】
Next, an experimental result by the embodiment of the roller conveyor of the present invention will be described. For comparison, there is a case where there is no suction in the driving unit using the conventional flat belt and a case where there is no suction using the hollow profile of the base 12 on the roller conveyor using the flat belt of the present invention. Tables 1, 2 and 3 below show the results of counting the number of dusts according to the size of the dusts.
[0020]
Here, an experiment was conducted in which each roller conveyor had a machine length of 2000 mm and was driven to reciprocate an 880 mm substrate. Driving speed was 0 m / min to 10 m / min, and reciprocating motion was repeated between acceleration and deceleration. The airflow is almost zero at the upper part of the conveyor.
[0021]
[Table 1]

[0022]
[Table 2]

[0023]
[Table 3]

[0024]
As described above, even when there is no suction, the use of the flat belt of the present application has much less dust as compared with the conventional flat belt, as can be seen from the comparison of Tables 1 and 2. Was something. Further, by performing suction using the hollow shape member of the base, as shown in Table 3, dust generation on the conveyor could be almost eliminated.
[0025]
【The invention's effect】
ADVANTAGE OF THE INVENTION The roller conveyor of this invention does not generate | occur | produce dust in a clean room, but can maintain the clean air atmosphere of a clean room reliably. Particularly, the flat belt of the drive mechanism of the roller conveyor is made of a single material, so that the configuration is extremely low in dust generation.
[0026]
Further, by performing suction using the hollow portion of the base, dust generation from a driving mechanism such as a bearing portion can be effectively suppressed, and also contributes to downsizing of the apparatus.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a partial perspective view of a roller conveyor according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a side view of the roller conveyor of this embodiment.
FIG. 3 is a vertical cross-sectional view of a side of the base of the roller conveyor of this embodiment on which a flat belt is stretched.
FIG. 4 is a longitudinal sectional view of another portion of the base of the roller conveyor of this embodiment.
[Explanation of symbols]
Reference Signs List 10 roller conveyor 12 base 14 motor 16 drive shaft 18 drive pulley 24 roller shaft 26 driven pulley 28 flat belt 34

transport rollers

36, 42

hollow profiles

36a, 42a hollow section 44 suction port

Claims

駆動用のモータと、このモータに接続された駆動プーリーと、この駆動プーリーに掛け渡された平ベルトと、この平ベルトが掛け渡された複数の従動プーリーと、この従動プーリーが同軸に固定されたローラー軸と、このローラー軸を保持した基台と、上記ローラー軸に固定された搬送用ローラーとを備えたローラーコンベアにおいて、上記駆動プーリー及び従動プーリーは中央部が太い太鼓状に形成され、上記平ベルトは柔軟な単一素材により形成されたものであることを特徴とするローラーコンベア。A driving motor, a driving pulley connected to the motor, a flat belt stretched over the driving pulley, a plurality of driven pulleys stretched over the flat belt, and the driven pulley are coaxially fixed. Roller shaft, a base holding the roller shaft, and a roller conveyor having a transport roller fixed to the roller shaft, the drive pulley and the driven pulley are formed in a drum shape with a thick central portion, A roller conveyor, wherein the flat belt is formed of a flexible single material.

駆動用のモータと、このモータに接続された駆動プーリーと、この駆動プーリーに掛け渡された平ベルトと、この平ベルトが掛け渡された複数の従動プーリーと、この従動プーリーが同軸に固定されたローラー軸と、このローラー軸を保持した基台と、上記ローラー軸に固定された搬送用ローラーとを備えたローラーコンベアにおいて、上記基台は中空の押出形材により形成され、この中空部を貫通して上記ローラー軸が設けられ、この中空部に面して上記ローラー軸の軸受けが上記基台に設けられ、上記基台の中空部を密閉状態にするとともに、上記中空部内を負圧にする吸引手段を接続可能としたことを特徴とするローラーコンベア。A driving motor, a driving pulley connected to the motor, a flat belt stretched over the driving pulley, a plurality of driven pulleys stretched over the flat belt, and the driven pulley are coaxially fixed. Roller shaft, a base holding the roller shaft, and a roller conveyor having a transport roller fixed to the roller shaft, the base is formed of a hollow extruded material, and the hollow portion is The roller shaft is provided therethrough, and the bearing of the roller shaft is provided on the base so as to face the hollow portion, and the hollow portion of the base is sealed, and the inside of the hollow portion is subjected to a negative pressure. A roller conveyor characterized in that a suction means for performing the operation can be connected.

上記平ベルトが掛け渡された側の上記基台側面を密閉状態で覆うカバーを備え、上記ローラー軸の軸受けを介して、上記基台の中空部の負圧が上記カバー内に及ぶようにしたことを特徴とする請求項２記載のローラーコンベア。A cover for covering the side surface of the base on the side where the flat belt is hung in a closed state is provided, and the negative pressure of the hollow portion of the base extends into the cover via the bearing of the roller shaft. The roller conveyor according to claim 2, wherein:

上記平ベルトは、ポリエステルの単一素材により形成されたことを特徴とする請求項２または３記載のローラーコンベア。4. The roller conveyor according to claim 2, wherein the flat belt is formed of a single polyester material.