JP2004125794A - スイッチを備えたアンテナを有するボロメータ検出器、及び、同ボロメータ検出器を備えたイメージ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ボロメータ検出器は、電磁波を集めるように設計された少なくとも一つのレシーバアンテナ(2)を備えている。アンテナ(2)は、電磁波の電力を発熱量に変換する抵抗型負荷(3)により拡張される。上記抵抗型負荷(3)は、発生した発熱量に関連する温度上昇を検出する温度測定素子(4)に接触している。アンテナ(2)と抵抗型負荷(3)との間に配設されたスイッチ(6)は、アンテナ(2)と抵抗型負荷との間の電流の流れを制御手段により変調することを可能にする。スイッチ(6)は、例えば、バイメタル効果熱アクチュエータを備えたマイクロ装置であってもよい。
【選択図】 図2
Description
2 アンテナ
2a 第1のアンテナ
2b 第2のアンテナ
3 抵抗型負荷
4 温度測定素子
5 電子処理回路
6 スイッチ
7 電極
8 中空中央部分
9 ダイオード
10 アーム
11 端子
12 シリコン基板
12a 第1の部分
12b 第2の部分
13 第1の層
14 第2の層
15 キャビティ
16 変形可能素子
17 導電スタッド
18a 第1の接続端子
18b 第2の接続端子
Claims (11)
- 電磁波を集めるように設計され、前記電磁波の電力を発熱量に変換する抵抗型負荷により拡張された少なくとも一つのレシーバアンテナを備えているボロメータ検出器であって、前記抵抗型負荷は、発生した発熱量に関連する温度上昇を検出する温度測定素子に接触しており、前記検出器は、変調手段も備えている検出器において、前記変調手段は、前記アンテナと前記抵抗型負荷との間に位置するスイッチを備え、制御手段が予め設定されたスイッチング周波数において前記スイッチを周期的に開閉させることを特徴とするボロメータ検出器。
- 前記制御手段は、静電気スイッチング手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載のボロメータ検出器。
- 前記制御手段は、熱スイッチング手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載のボロメータ検出器。
- 前記熱スイッチング手段は、バイメタル効果熱アクチュエータを備えていることを特徴とする請求項3に記載のボロメータ検出器。
- 前記制御手段は、電磁スイッチング手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載のボロメータ検出器。
- 基板上に実現された前記スイッチは、二つの端部を経由して前記基板に取り付けられて前記基板に対して自然に凸状である変形可能素子と、前記変形可能素子上に設けられ、前記スイッチが閉じているときに前記アンテナと前記抵抗型負荷との間に電気的に接触するように設計された導電スタッドとを備え、前記アンテナ及び前記抵抗型負荷は、前記基板上に実現されることを特徴とする請求項2乃至5のいずれかに記載のボロメータ検出器。
- 前記変形可能素子は磁性を有しており、前記スイッチング手段は、前記基板上に配設されたコイルを備えていることを特徴とする請求項5又は6に記載のボロメータ検出器。
- 前記スイッチング周波数は、前記検出器の熱カットオフ周波数よりも低いことを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載のボロメータ検出器。
- 前記温度測定素子は、ダイオードであることを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載のボロメータ検出器。
- 少なくとも一つのボロメータ検出器を備えているイメージ装置であって、前記ボロメータ検出器は、請求項1乃至9のいずれかに記載の検出器であることを特徴とするイメージ装置。
- ボロメータ検出器のマトリクスを備えていることを特徴とする請求項10に記載のイメージ装置。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2008044578A1 (fr) * | 2006-10-11 | 2008-04-17 | Panasonic Corporation | Dispositif électronique |
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