JP2004115137A5

JP2004115137A5 -

Info

Publication number: JP2004115137A5
Application number: JP2002276558A
Authority: JP
Filing date: 2002-09-24
Publication date: 2005-05-19
Anticipated expiration: 2022-09-24

Description

【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の薄板搬送装置は、フレームと、略均等な上下に貫通する空隙を形成する基板等の薄板支持部とからなるカセットに対して、薄板を１枚ずつ搬入出する薄板搬送装置において、カセット内に支持された薄板の下に挿入し、該薄板を持ち上げて横方向に移動可能に支持する複数の支持部材と、該支持部材により支持された薄板を横方向に移動させる横移動装置とを備えたことを特徴とする。 [0005]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, according to the thin plate transport apparatus of the present invention, a thin plate is carried in and out one sheet at a time to a cassette comprising a frame and a thin plate supporting portion such as a substrate forming a substantially evenly penetrating air gap. A plurality of support members which are inserted under the thin plate supported in the cassette and lift the thin plate so as to be movably supported in the lateral direction, and the thin plate supported by the support member in the lateral direction And a lateral movement device for moving.

この薄板搬送装置は、フレームと、略均等な上下に貫通する空隙を形成する基板等の薄板支持部とからなるカセットに対して、薄板を１枚ずつ搬入出する薄板搬送装置において、カセット内に支持された薄板の下に挿入し、該薄板を持ち上げて横方向に移動可能に支持する複数の支持部材と、該支持部材により支持された薄板を横方向に移動させる横移動装置とを備えることから、フレームと支持部材における薄板の支点を多数設けられるとともに、薄板を持ち上げることなく横方向に移動させながら移載することができ、これにより、極めて薄く大きく加工した基板のような薄板でも撓みを生じさせることなく容易に搬送すること可能となる。
また、この薄板搬送装置は、従来のようなフォーク状のフィンガーは使用しないことから、ロボットが不要となるとともに、出し入れの途中で生じる旋回動作もなくなり、設置面積を大幅に減少させて工場面積を大幅に低減させるなど、工場の建設費も大幅に低減することができる。
さらに、薄板の撓みをなくすことができるため、挿入ピッチを小さくして、カセットの高さを１／２〜１／３に低くすることができ、これにより、カセットのストッカ容量を飛躍的に増大させ、ストッカのコスト大幅な低減や設置面積の大幅な低減を図ることができる。 This thin plate transport device is a thin plate transport device for carrying in and out thin plates one by one to a cassette comprising a frame and a thin plate supporting portion such as a substrate forming a substantially evenly penetrating air gap. And a plurality of support members which are inserted under the supported thin plate and lift the thin plate so as to be movably supported in the lateral direction, and a transverse movement device for laterally moving the thin plate supported by the support member. Therefore, while providing a large number of thin film fulcrums in the frame and the support member, the thin film can be transferred while being moved in the lateral direction without raising the thin film. It can be easily transported without causing it.
In addition, since this thin-plate transfer device does not use a conventional fork-like finger, the robot is not necessary, and the turning operation occurring in the middle of taking in and out is also eliminated, the installation area is greatly reduced and the factory area is reduced. The construction cost of the factory can be reduced significantly, for example, by greatly reducing it.
Furthermore, since the deflection of the thin plate can be eliminated, the insertion pitch can be reduced and the height of the cassette can be reduced to 1/2 to 1/3, thereby dramatically increasing the stocker capacity of the cassette The cost of the stocker can be significantly reduced and the installation area can be significantly reduced.

Claims

フレームと、略均等な上下に貫通する空隙を形成する基板等の薄板支持部とからなるカセットに対して、薄板を１枚ずつ搬入出する薄板搬送装置において、カセット内に支持された薄板の下に挿入し、該薄板を持ち上げて横方向に移動可能に支持する複数の支持部材と、該支持部材により支持された薄板を横方向に移動させる横移動装置とを備えたことを特徴とする薄板搬送装置。 A thin plate transport apparatus for carrying in and out thin plates one by one to a cassette comprising a frame and a thin plate supporting portion such as a substrate forming a substantially uniform upper and lower penetrating space, the lower portion of the thin plate supported in the cassette A plurality of support members inserted into the housing to lift and support the thin plate movably in the lateral direction, and a transverse movement device for laterally moving the thin plate supported by the support member Transport device.

支持部材の上部に、薄板を横方向に移動可能に支持するローラを設けたことを特徴とする請求項１記載の薄板搬送装置。 2. The thin plate conveying apparatus according to claim 1, further comprising: a roller which supports the thin plate so as to be movable in the lateral direction on an upper portion of the support member.

横移動装置を、駆動する支持部材のローラにより構成したことを特徴とする請求項２記載の薄板搬送装置。 3. The thin plate conveyance device according to claim 2, wherein the lateral movement device is constituted by a roller of a driving support member.

支持部材の上部に、薄板を横方向に移動可能に支持するエア噴出口を設けたことを特徴とする請求項１記載の薄板搬送装置。 2. The thin plate conveying apparatus according to claim 1, wherein an air jet port for movably supporting the thin plate in the lateral direction is provided at an upper portion of the support member.

横移動装置を、薄板の端部等に当接して該薄板を移動させる送り装置により構成したことを特徴とする請求項４記載の薄板搬送装置。 5. The thin plate conveyance device according to claim 4, wherein the transverse movement device is constituted by a feeding device which moves the thin plate by abutting on an end portion or the like of the thin plate.

フレームの枠部に、薄板を横方向に移動可能に支持するエア噴出口を設けたことを特徴とする請求項１、２、３、４又は５記載の薄板搬送装置。 The thin plate conveying apparatus according to any one of claims 1, 2, 3, 4 and 5, wherein the frame portion of the frame is provided with an air spout for supporting the thin plate so as to be movable in the lateral direction.

フレームを微小に傾斜して設け、エア噴出口のエアにより浮上した薄板を、自重により位置決め端部まで移動させるようにしたことを特徴とする請求項６記載の薄板搬送装置。 7. The thin plate conveying apparatus according to claim 6, wherein the frame is provided with a slight inclination, and the thin plate floated by the air of the air jet port is moved to the positioning end by its own weight.