JP2004109859A - ミラー固定方法および光学装置 - Google Patents
ミラー固定方法および光学装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004109859A JP2004109859A JP2002275470A JP2002275470A JP2004109859A JP 2004109859 A JP2004109859 A JP 2004109859A JP 2002275470 A JP2002275470 A JP 2002275470A JP 2002275470 A JP2002275470 A JP 2002275470A JP 2004109859 A JP2004109859 A JP 2004109859A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- boss
- fixing
- optical device
- fixing jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
- G02B6/29346—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by wave or beam interference
- G02B6/29358—Multiple beam interferometer external to a light guide, e.g. Fabry-Pérot, etalon, VIPA plate, OTDL plate, continuous interferometer, parallel plate resonator
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
- G02B6/29379—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means characterised by the function or use of the complete device
- G02B6/29389—Bandpass filtering, e.g. 1x1 device rejecting or passing certain wavelengths
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/1822—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis
- G02B7/1824—Manual alignment
- G02B7/1825—Manual alignment made by screws, e.g. for laser mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明のミラー固定方法は、一方の面にミラー1Bを形成した基板1Aを有するミラー部1に対し、基板1Aのミラー形成面に対向する他方の面にボス1Cを設け、そのボス1Cを除いたミラー部1が第1固定治具2等の他の部材と非接触になるように、ボス1Cのみを第1固定治具2によって固定することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学系を構成するために用いられるミラーを固定するための実装技術に関し、特に、固定に起因するミラー表面の応力歪みを防止するためのミラー固定方法およびその方法を適用した光学装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
通常、光学系を構成するためには、光源やレンズ、ミラーなどの部材を用いて光路を変えたり、集光させたりする。例えば、図8に示すように光源から出射される光の伝搬方向を90°変えるためにミラー部100を用いることがある。このミラー部100は、例えば図9に示すように、ガラスやプラスティックなどの基板材料の表面に金属等を蒸着して鏡面を形成したミラー101を、治具102に固定して使用するのが一般的である。この治具102へのミラー101の固定方法としては、従来、ミラー101の裏面に接着剤を塗布して治具102の所要の位置に貼り付ける方法が知られている。また、例えば図10に示すように、治具102に対してネジ式の固定リング103によりミラー101を挟み込む(機械的に押さえる)方法なども適用される。
【0003】
上記のようにして治具102に固定されたミラー101は、例えば、本願出願人の先願である特許文献1、2に開示したようなVIPA(Virtually Imaged Phased Arrayの頭文字による略語で、複数の波長の合成である光信号を波長毎に分岐するものを指す)を用いた可変波長分散補償器(以下、VIPA−VDCと略記する)などの光学系の一部として利用される。図11は、上記VIPA−VDCの外観を示す斜視図である。このVIPA−VDCは、例えば、L字治具111に固定された非球面ミラー112を移動ステージ113に取り付けたミラーアセンブリ110と、光ファイバ121、コリメートレンズ122,123、VIPA124およびコリメートレンズ125を順に配置したVIPAアセンブリ120とを組み合わせた構成である。上記のVIPA−VDCでは、光ファイバ121から出射された光がコリメートレンズ122,123を介してVIPA124に入射され、VIPA124では入射光が多重反射して異なる波長ごとに分岐されて出射され、その出射光がコリメートレンズ125を介してミラーアセンブリ110に送られる。ミラーアセンブリ110では、VIPAアセンブリ120で波長ごとに分岐された光が非球面ミラー112で反射されてVIPAアセンブリ120に再入射され、VIPAアセンブリ120内を上記とは逆方向に伝搬した光が光ファイバ121に集光される。このような構成のVIPA−VDCでは、分散値に応じて非球面ミラー112を移動させることにより波長分散の補償量を変化させることができるという特長があり、非球面ミラー112の反射面は所望の補償量が得られるように高精度に作られている。
【0004】
【特許文献1】
特表2000−511655号公報
【特許文献2】
特表2002−514323号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述した従来の技術のように治具102に対するミラー101の固定を接着剤や機械的な固定によって行うと、それに起因してミラー表面に応力歪みが発生してしまうという問題点がある。
具体的には、例えば図12に示すように、ミラー101を接着剤104で治具102に固定したときに、温度変化が発生した場合を考えると、治具102に用いられる部材とミラー101の材料(例えばプラスティック)とでは、熱膨張係数が異なるため、図12の右側に例示したように、ミラー表面の形状が凹や凸に変形することがある。また、温度変化だけでなく、接着剤の収縮応力によってミラー101の表面形状が変形することもある。ミラー101の表面に歪みが発生すると、設計値とは異なる曲面形状となるため、前述の図11に例示したようなVIPA−VDCなどにおいては所望の補償量が得られないことになる。さらに、接着剤を用いた固定方法の欠点として、接着剤が劣化してミラー101が治具102から剥がれてしまう可能性もある。特に、VIPA−VDCなどのような光通信システムに用いられる各種デバイスに対しては、例えば25年間の製品寿命という長期信頼性が要求されることから、接着剤を用いない安定した固定方法の実現が求められている。
【0006】
また、機械的な固定方法を適用した場合では、例えば図13に示すように、治具の一部である部材102Aに対してミラー101を押さえ付ける部材102Bとミラー101とが接触している部分bには押圧力が作用するが、接触していない部分aは押圧力が作用しないため(図13下段のA−A断面図参照)、温度が上昇すると、ミラー101の部分aが膨張し、部分bは比較的膨張しないことになる。よって、ミラー101の表面は凸状に歪むことになる。
【0007】
本発明は上記の点に着目してなされたもので、光学系を構成するミラーの表面形状を殆ど変形させないようにしてミラー表面の応力歪みを低減可能にするミラー固定方法およびその方法を適用した光学装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため本発明のミラー固定方法は、光学系を構成するミラーを一方の面に形成した基板を有するミラー部に対し、前記基板のミラー形成面に対向する他方の面にボスを設け、該ボスを除いた前記ミラー部が他の部材と非接触になるように、前記ボスのみを固定することを特徴とする。
【0009】
また、本発明の光学装置は、ミラーを用いて構成される光学系を有する光学装置において、一方の面に前記ミラーを形成した基板および該基板のミラー形成面に対向する他方の面に設けたボスを有するミラー部と、前記ボスを除いた前記ミラー部が他の部材と非接触になるように、前記ボスのみを固定する第1固定治具と、を備えて構成されるものである。
【0010】
上記のようなミラー固定方法および光学装置によれば、固定時の応力がミラーに対して作用することが殆どなくなり、また、ミラーの形成された基板の温度変化等による熱膨張が他の部材によって妨げられることも回避されるため、固定に起因して発生するミラー表面の応力歪みを低減することが可能になる。
さらに、上記の光学装置の具体的な態様として、前記第1固定治具は、前記ボスを差し込み可能な開口部を形成すると共に、該開口部の側壁に対して垂直方向にネジ穴を設けた受板を有し、該受板の開口部に差し込まれる前記ボスを前記ネジ穴を利用して側方からネジで固定するのが好ましい。これにより、ミラー部は第1固定治具によって受板にネジ固定されるようになり、その固定時の応力はボスの側方からのみ作用するようになる。
【0011】
加えて、上記の光学装置については、移動ステージと、該移動ステージに取り付け可能な第2固定治具とを備え、該第2固定治具および前記第1固定治具を結合してミラーモジュールを構成し、該ミラーモジュールは、前記第2固定治具を介して前記移動ステージに取り付けられるようにしてもよい。これにより、ミラー部、第1固定治具および第2固定治具からなるミラーモジュールが移動ステージ上に取り付けられ、光学系を構成するミラーが移動可能な状態で固定されるようになる。
【0012】
また、上述した光学装置について、前記ミラー部は、可変波長分散補償器に用いる非球面ミラーが前記基板の一方の面に形成されるようにしてもよい。これにより、可変波長分散補償器の光学系を構成する非球面ミラーの表面形状が固定時の応力によって変化する可能性が著しく低減されるようになるため、波長分散補償を高い精度で安定して行うことができるようになる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本発明に係るミラー固定方法を適用した光学装置の一実施形態について、各構成要素を分解して示した斜視図である。また、図2は、図1の各構成要素を組み付けた状態の外観を示す斜視図である。
【0014】
図1および図2に示すように本光学装置は、例えば、ミラー部1、第1固定治具2および第2固定治具3を備えて構成される。
ミラー部1は、例えば、ガラスやプラスティックなどの材料を用いた基板1Aと、基板1Aの一方の面(図1では上面)に金属等を蒸着して形成したミラー1Bと、ミラー1Bの形成面に対向する基板1Aの他方の面(図1では下面)に形成した突起状のボス1Cと、を有する。ミラー1Bは、その表面が所望の形状(例えば、平面や球面、非球面など)となるように高い精度で作製されている。ボス1Cは、ここでは基板1Aに一体成型された円柱形状の突起とする。ただし、ボス1Cの形状は円柱に限られるものではなく、後述するように第1固定治具2によって固定可能な任意の形状とすることができる。また、基板1Aとボス1Cとは一体成型ではなく個別の部材を固着させたものであってもよい。
【0015】
第1固定治具2は、ミラー部1を所定の位置に固定する受板2Aを有し、この受板2Aには、開口部としてのボス受V溝部2Bおよびネジ穴2C,2D,2Eがそれぞれ形成されている。ボス受V溝部2Bは、受板2Aの略中央部分に上面から下面まで貫通する穴を形成したものであって、この穴にミラー部1のボス1Cが差し込まれて把持される。また、ボス受V溝部2Bは、ここでは、ミラー部1の位置決め精度を増すために、上記穴の側壁の一部をV溝構造としている。ただし、ボス1Cを受ける穴(開口部)は上記のようなV溝構造に限定されるものではなく、ボス1Cの形状に対応した円筒形などとしてもよい。ネジ穴2C,2Dは、受板2Aの長手方向の両端部分に形成され、受板2Aの下面に第2固定治具3を受板固定ネジ5A,5Bにより固定するための部位である。ネジ穴2Eは、ボス受V溝部2BのV溝に対向する側壁に対して垂直方向に形成され、後述するようにボス1CをV溝の所定位置に固定するためのボス固定ネジ4が取り付けられる部位である。
【0016】
第2固定治具3は、ミラー部1を固定した第1固定治具2をさらに例えば移動ステージ等に取り付けるための受板3Aを有し、この受板3Aには、角度調整用ボス3Bおよび座ぐり穴3C,3Dがそれぞれ形成されている。角度調整用ボス3Bは、第1固定治具2との接続面に対向する受板3Aの表面(図では下面)に円柱形状の突起を形成したものである。この角度調整用ボス3Bによって、後述するように移動ステージ等に対してミラー部1が角度調整可能な状態で取り付けられるようになる。座ぐり穴3C,3Dは、受板3Aの長手方向の両端部分に形成され、第1固定治具2のネジ穴2C,2Dに取り付けられる受板固定ネジ5A,5Bが挿入される部位である。
【0017】
ここで、本発明に係るミラー固定方法の主な特徴となる、第1固定治具2に対するミラー部1の固定方法を図3の断面図を参照しながら詳しく説明する。なお、図3の断面図は、図2に示す光学装置について、ボス1Cの中心を含むY−Z平面で切断したときの断面を表すものである。ただし、ここでは図2の左上に示したようなX−Y−Zの3次元座標、すなわち、ミラー1Bが形成される基板1Aの上面をX−Y平面とし、そのX−Y平面に直交する方向をZ軸とする座標系を設定している。
【0018】
図3に示すように、ミラー部1は、ボス1Cが第1固定治具2のボス受V溝部2Bに差し込まれ、そのボス1Cがボス固定ネジ4によって側方からネジ止め固定されることで、第1固定治具2に対して所定の位置に固定される。このような固定方法では、ミラー部1は、ボス固定ネジ4からY軸方向の力を受けることになるが、Z軸方向の力は受けない。このため、基板1Aの上面(X−Y平面)に形成されたミラー1Bの表面形状が、上記固定時の力の影響を受けて変化する可能性が極めて低くなる。また、従来の接着剤を用いた固定方法のように接着剤の収縮応力の影響を受けることもないので、ミラー1Bの表面形状は安定である。これにより、ミラー1Bの表面に歪みを殆ど生じさせることなくミラー部1を所望の位置に固定することが可能になる。
【0019】
また、ボス1Cを除いたミラー部1が第1固定治具2の受板2Aに対して非接触となるように、すなわち、ミラー部1の基板1A下面と第1固定治具2の受板2A上面との間に所要の隙間Gが確保された状態で、ミラー部1が固定される構成としている。上記の隙間Gは、ミラー部1の熱膨張を妨げることがないような間隔に予め設定されている。このような隙間Gを設けることで、温度変化によってミラー1Bの表面形状が変化する可能性を著しく低減することができる。
【0020】
なお、上記のようなボス1Cのネジ止め固定の際には、図3の中央部分に示したように、ボス1Cの側面とボス固定ネジ4の先端部分との間に緩衝部材としてのボス板6を介装するのがよい。このようにボス板6を設けることで、例えば、ボス固定ネジ4の先端部分にバリなどがあってもそれがボス1Cに食い込むようなことが回避されるため、第1固定治具2に対してミラー部1をより安定に固定することが可能になる。
【0021】
このように本実施形態では、ミラー1Bの表面を殆ど歪ませることなくミラー部1が第1固定治具2の所定位置に安定して固定されるようになる。さらに、ここではミラー部1が固定された第1固定治具2を、例えば上述の図11に示したVIPA−VDCのミラーアセンブリを構成する光学系として用いるために、第2固定治具3が受板固定ネジ5A,5Bによって第1固定治具2にネジ止め固定されて、移動ステージの所要の位置に取り付けられる。
【0022】
ここで、ミラー部1、第1固定治具2および第2固定治具3を組み付けた構成(以下、ミラーモジュールと呼ぶことにする)を移動ステージに搭載する具体的な方法について説明する。
図4は、VIPA−VDCに用いられる移動ステージを拡大して表したものであって、その移動ステージへのミラーモジュールの搭載方法を例示した図である。
【0023】
図4において、移動ステージ7にはL字治具8が取り付けられる。このL字治具8には、移動ステージ7への取り付け面に対して垂直な面上に、第2固定治具3の角度調整用ボス3Bに対応した形状を有する開口部としての穴8Aが形成してあり、この穴8Aに角度調整用ボス3Bを差し込むことで、ミラーモジュールが移動ステージ7に取り付けられる。
【0024】
なお、図4に示した移動ステージ7およびL字治具8は、上述の図11に示した移動ステージ113およびL字治具111に対応するものである。
移動ステージ7に取り付けられたミラーモジュールは、図5の上方(Z軸方向)から見た平面図に示すように、角度調整用ボス3Bを中心としてX−Y平面内を回転可能な状態となる。このようにミラーモジュールをX−Y平面内で回転可能な状態とすることにより、移動ステージ7の走行軸7A(図4参照)に対してミラー1Bを最適な角度で配置するための調整を容易に行うことができるようになる。すなわち、VIPA−VDCの光学系に用いられるミラーは、上述の図11にも示したように、表面形状が非球面の構造となっており、その非球面ミラー上には設計基準となる中心軸が存在する。VIPA−VDCでは、その特性上、非球面ミラーの中心軸と移動ステージの走行軸とを平行に配置する必要がある。このため、上記のようにミラーモジュールをX−Y平面内で回転可能にしておくことで、移動ステージ7の走行軸7Aに対してミラー1Bの中心軸を容易に平行に調整することができるようになる。
【0025】
なお、VIPA−VDCにおける非球面ミラーの中心軸の調整方法に関して、本出願人は、非球面ミラーおよび移動ステージに対してZ軸方向から平行光を照射して得られる反射光に基づいて、非球面ミラーの中心軸および移動ステージの走行軸の調整を行う具体的な技術を提案しており(例えば、特願2002−000449号参照)、この先願に開示した技術等を適用して本実施形態におけるミラー中心軸の平行調整を行うことが可能である。
【0026】
また、本実施形態におけるミラーモジュールについては、ミラー部1のボス1Cの中心と、第2固定治具3の角度調整用ボス3Bの中心とが、非球面ミラーの中心軸上に配置される構造としている。このような構造を採用することによってX軸周りの回転ずれの影響を受け難くなるため、走行軸7Aに対するミラー中心軸の平行調整をより容易に行うことを可能にしている。
【0027】
上述したようなミラー1Bの中心軸の調整が完了すると、ミラーモジュールはL字治具8に溶接等によって固定される。この溶接固定は、例えば、受板3Aの長手方向の両端に位置する外周部に対して行うことが可能である。この場合には、図6の上方(Z軸方向)から見た平面図に例示するように、受板3A(および受板2A)の長手方向の両端部が、ボス1Cを中心として半径Rの円周上に位置するような形状とするのが好ましい。このような形状とすることによって、ミラーモジュールをX−Y平面内で回転調整しても、受板3Aの外周部の位置は上記半径Rの円周上からずれないため、受板3AとL字治具8の溶接位置を同一円周上に決めることができる。これにより、L字治具8に対するミラーモジュールの溶接固定作業を効率的に行うことが可能になる。
【0028】
上記のようにしてL字治具8に溶接固定されたミラーモジュールは、移動ステージ7の走行軸7Aに沿った所望の位置に移動可能な状態で固定されるようになって、上述の図11に示したVIPA−VDCのミラーアセンブリ110が構成される。そして、このミラーアセンブリ110が、従来の場合と同様にしてVIPAアセンブリ120に取り付けられることで、ミラーモジュールの位置に応じて波長分散の補償量が変化するVIPA−VDCが構成される。なお、このようにして構成されたVIPA−VDCにおける波長分散の補償動作は、従来の場合と同様であるためここでの説明を省略する。
【0029】
上記のようにして本発明のミラー固定方法を適用したVIPA−VDCによれば、温度変化等によってミラーの表面形状が変化する可能性が極めて低いため、波長分散補償を高い精度で安定して行うことが可能である。
なお、上述した実施形態では、本発明のミラー固定方法が公知のVIPA−VDCのミラーアセンブリに適用される一例について説明したが、本発明の適用範囲は上記の一例に限定されるものではなく、ミラーを用いた周知の光学系に広く適用することが可能である。
【0030】
例えば、図7に示すような表面形状計測器の干渉光学系を構成するミラー部について本発明を適用することも有効である。具体的に、図7の干渉光学系では、検知対象10の表面形状を計測するために、入力光路11から出射される光がレンズ12を介してビームスプリッタ13で2分岐されて、検知対象10と本発明を適用して固定されたミラー1Bとにそれぞれ照射される。そして、検知対象10からの反射光とミラー1Bからの反射光とがビームスプリッタ13を通って合成されてレンズ14を介してCCDカメラ15に送られ、各反射光の干渉によって生じる干渉縞がCCDカメラ15で検知されて、その縞の分布から検知対象10の表面形状が計測される。この場合、ミラー1Bは計測の基準となるので、その表面形状は可能な限りうねり等の無い平坦なものが好ましい。本発明による光学装置のミラー1Bは、上述したように温度変化による熱膨張の影響を殆ど受けないため、ミラー1Bの表面形状を平坦に保つことができ、計測精度の劣化を防止することが可能になる。
【0031】
以上、本明細書で開示した主な発明について以下にまとめる。
【0032】
(付記1) 光学系を構成するミラーの固定に起因して発生する当該ミラー表面の応力歪みを低減可能にするミラー固定方法であって、
一方の面に前記ミラーを形成した基板を有するミラー部に対し、前記基板のミラー形成面に対向する他方の面にボスを設け、
該ボスを除いた前記ミラー部が他の部材と非接触になるように、前記ボスのみを固定することを特徴とするミラー固定方法。
【0033】
(付記2) 付記1に記載のミラー固定方法であって、
前記ボスを差し込み可能な開口部を形成すると共に、該開口部の側壁に対して垂直方向にネジ穴を設けた受板を有する第1固定治具を用い、
前記受板の開口部に差し込んだ前記ボスを前記ネジ穴を利用して側方からネジで固定することを特徴とするミラー固定方法。
【0034】
(付記3) 付記2に記載のミラー固定方法であって、
前記ボスを円柱形状とし、前記受板のネジ穴に対向する前記開口部の側壁部分をV溝構造として、該V溝に前記ボスの側面を当接させて前記ネジで固定することを特徴とするミラー固定方法。
【0035】
(付記4) 付記3に記載のミラー固定方法であって、
前記ボスと前記ネジの先端部分との間に緩衝部材を介装して固定することを特徴とするミラー固定方法。
【0036】
(付記5) 付記1に記載のミラー固定方法であって、
移動ステージに取り付け可能な第2固定治具に前記第1固定治具を結合してミラーモジュールを構成し、
該ミラーモジュールを前記第2固定治具を介して前記移動ステージに取り付けることを特徴とするミラー固定方法。
【0037】
(付記6) 付記5に記載のミラー固定方法であって、
前記第2固定治具は、角度調整用ボスを形成した受板を有し、
該受板の角度調整用ボスを差し込み可能な開口部を形成した部材を前記移動ステージに設け、
前記受板の前記角度調整用ボスを前記部材の開口部に差し込むことで前記ミラーモジュールを前記移動ステージに取り付けることを特徴とするミラー固定方法。
【0038】
(付記7) 付記6に記載のミラー固定方法であって、
前記移動ステージに対して前記角度調整用ボスを中心に回転可能な状態で前記ミラーモジュールを取り付け、前記移動ステージの走行軸に対する前記ミラーモジュールの配置を回転調整した後に、前記第2固定治具の受板を前記移動ステージに対して固定することを特徴とするミラー固定方法。
【0039】
(付記8) 付記7に記載のミラー固定方法であって、
前記第2固定治具の受板の外周部を、前記角度調整用ボスを中心とした円周上に位置するような形状に加工し、前記ミラーモジュールの回転調整を行ったときに、前記受板の外周部を同一の円周上に位置させることを特徴とするミラー固定方法。
【0040】
(付記9) 付記1に記載のミラー固定方法であって、
前記ミラー部の基板の一方の面に、可変波長分散補償器に用いる非球面ミラーを形成することを特徴とするミラー固定方法。
【0041】
(付記10) 付記9に記載のミラー固定方法であって、
前記ミラー部の基板の他方の面にボスを設けるとき、当該ボスの中心を前記非球面ミラーの中心軸上に配置することを特徴とするミラー固定方法。
【0042】
(付記11) ミラーを用いて構成される光学系を有する光学装置において、一方の面に前記ミラーを形成した基板および該基板のミラー形成面に対向する他方の面に設けたボスを有するミラー部と、
前記ボスを除いた前記ミラー部が他の部材と非接触になるように、前記ボスのみを固定する第1固定治具と、
を備えて構成されたことを特徴とする光学装置。
【0043】
(付記12) 付記11に記載の光学装置であって、
前記第1固定治具は、前記ボスを差し込み可能な開口部を形成すると共に、該開口部の側壁に対して垂直方向にネジ穴を設けた受板を有し、該受板の開口部に差し込まれる前記ボスを前記ネジ穴を利用して側方からネジで固定することを特徴とする光学装置。
【0044】
(付記13) 付記12に記載の光学装置であって、
前記ミラー部は、前記ボスが円柱形状であり、
前記第1固定治具は、前記受板のネジ穴に対向する前記開口部の側壁部分にV溝構造を有し、該V溝に前記ボスの側面を当接させて前記ネジで固定することを特徴とする光学装置。
【0045】
(付記14) 付記13に記載の光学装置であって、
前記ボスと前記ネジの先端部分との間に介装される緩衝部材を備えることを特徴とする光学装置。
【0046】
(付記15) 付記11に記載の光学装置であって、
移動ステージと、該移動ステージに取り付け可能な第2固定治具とを備え、該第2固定治具および前記第1固定治具を結合してミラーモジュールを構成し、
該ミラーモジュールは、前記第2固定治具を介して前記移動ステージに取り付けられることを特徴とする光学装置。
【0047】
(付記16) 付記15に記載の光学装置であって、
前記第2固定治具は、角度調整用ボスを形成した受板を有し、
前記移動ステージは、前記受板の角度調整用ボスを差し込み可能な開口部を形成した部材を有し、
前記ミラーモジュールは、前記受板の前記角度調整用ボスを前記部材の開口部に差し込むことで前記移動ステージに取り付けられることを特徴とする光学装置。
【0048】
(付記17) 付記16に記載の光学装置であって、
前記ミラーモジュールは、前記移動ステージに対して前記角度調整用ボスを中心に回転可能な状態で取り付けられ、前記移動ステージの走行軸に対する配置が回転調整された後に、前記第2固定治具の受板が前記移動ステージに対して固定されることを特徴とする光学装置。
【0049】
(付記18) 付記17に記載の光学装置であって、
前記第2固定治具は、前記受板が前記角度調整用ボスを中心とした円周上に位置するの外周部を持ち、前記ミラーモジュールの回転調整を行ったときに、前記受板の外周部が同一の円周上に位置することを特徴とする光学装置。
【0050】
(付記19) 付記11に記載の光学装置であって、
前記ミラー部は、可変波長分散補償器に用いる非球面ミラーが前記基板の一方の面に形成されることを特徴とする光学装置。
【0051】
(付記20) 付記19に記載の光学装置であって、
前記ミラー部は、前記ボスの中心が前記非球面ミラーの中心軸上に配置されることを特徴とする光学装置。
【0052】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のミラー固定方法および光学装置によれば、固定時の応力がミラーに対して作用することが殆どなくなり、また、ミラーの形成された基板の温度変化等による熱膨張が他の部材によって妨げられることも回避されるため、固定に起因して発生するミラー表面の応力歪みを低減することができる。これにより、ミラーを用いて構成される光学系の長期信頼性を向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光学装置の一実施形態について、各構成要素を分解して示した斜視図である。
【図2】図1の各構成要素を組み付けた状態の外観を示す斜視図である。
【図3】上記実施形態について第1固定治具に対するミラー部の固定方法を説明するための断面図である。
【図4】上記実施形態について移動ステージへのミラーモジュールの搭載方法の一例を示した図である。
【図5】図4の移動ステージに搭載されたミラーモジュールを上方から見た平面図である。
【図6】上記実施形態について第2固定治具の受板の好ましい形状を例示した平面図である。
【図7】上記実施形態に関連して、表面形状計測器の干渉光学系に本発明を適用した場合の一例を示した構成図である。
【図8】一般的なミラーを用いて構成した光学系の一例を示す図である。
【図9】従来の接着剤を用いたミラー固定方法を説明するための図である。
【図10】従来の機械的な固定によるミラー固定方法を説明するための図である。
【図11】公知のVIPA−VDCの外観を示す斜視図である。
【図12】従来の接着剤を用いたミラー固定方法の問題点を説明するための図である。
【図13】従来の機械的な固定によるミラー固定方法の問題点を説明するための図である。
【符号の説明】
1 ミラー部
1A 基板
1B ミラー
1C ボス
2 第1固定治具
2A,3A 受板
2B ボス受V溝部
2C,2D,2E ネジ穴
3 第2固定治具
3B 角度調整用ボス
3C,3D 座ぐり穴
4 ボス固定ネジ
5A,5B 受板固定ネジ
6 ボス板
7 移動ステージ
7A 走行軸
8 L字治具
Claims (5)
- 光学系を構成するミラーの固定に起因して発生する当該ミラー表面の応力歪みを低減可能にするミラー固定方法であって、
一方の面に前記ミラーを形成した基板を有するミラー部に対し、前記基板のミラー形成面に対向する他方の面にボスを設け、
該ボスを除いた前記ミラー部が他の部材と非接触になるように、前記ボスのみを固定することを特徴とするミラー固定方法。 - ミラーを用いて構成される光学系を有する光学装置において、
一方の面に前記ミラーを形成した基板および該基板のミラー形成面に対向する他方の面に設けたボスを有するミラー部と、
前記ボスを除いた前記ミラー部が他の部材と非接触になるように、前記ボスのみを固定する第1固定治具と、
を備えて構成されたことを特徴とする光学装置。 - 請求項2に記載の光学装置であって、
前記第1固定治具は、前記ボスを差し込み可能な開口部を形成すると共に、該開口部の側壁に対して垂直方向にネジ穴を設けた受板を有し、該受板の開口部に差し込まれる前記ボスを前記ネジ穴を利用して側方からネジで固定することを特徴とする光学装置。 - 請求項2に記載の光学装置であって、
移動ステージと、該移動ステージに取り付け可能な第2固定治具とを備え、該第2固定治具および前記第1固定治具を結合してミラーモジュールを構成し、
該ミラーモジュールは、前記第2固定治具を介して前記移動ステージに取り付けられることを特徴とする光学装置。 - 請求項2に記載の光学装置であって、
前記ミラー部は、可変波長分散補償器に用いる非球面ミラーが前記基板の一方の面に形成されることを特徴とする光学装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002275470A JP4216028B2 (ja) | 2002-09-20 | 2002-09-20 | ミラー固定方法および光学装置 |
US10/662,484 US7073915B2 (en) | 2002-09-20 | 2003-09-16 | Mirror fixing method and optical apparatus |
GB0322007A GB2395290B (en) | 2002-09-20 | 2003-09-19 | Mirror fixing method and optical apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002275470A JP4216028B2 (ja) | 2002-09-20 | 2002-09-20 | ミラー固定方法および光学装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004109859A true JP2004109859A (ja) | 2004-04-08 |
JP4216028B2 JP4216028B2 (ja) | 2009-01-28 |
Family
ID=29267862
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002275470A Expired - Fee Related JP4216028B2 (ja) | 2002-09-20 | 2002-09-20 | ミラー固定方法および光学装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7073915B2 (ja) |
JP (1) | JP4216028B2 (ja) |
GB (1) | GB2395290B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009152857A (ja) * | 2007-12-20 | 2009-07-09 | Fujitsu Ltd | 可変分散補償制御方法及び可変分散補償制御装置 |
JP2017530408A (ja) * | 2014-09-25 | 2017-10-12 | ライカ マイクロシステムズ シーエムエス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングLeica Microsystems CMS GmbH | ミラーデバイス |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011029467A1 (en) | 2009-09-08 | 2011-03-17 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optical element with low surface figure deformation |
CN110231673A (zh) * | 2018-12-17 | 2019-09-13 | 天津同阳科技发展有限公司 | 反射式滤光装置 |
WO2022061130A1 (en) * | 2020-09-18 | 2022-03-24 | Edmund Optics, Inc. | Stemmed optical mirrors for low mounting induced distortion due to mechanical stress |
CN113820823B (zh) * | 2021-10-26 | 2024-02-20 | 长光卫星技术股份有限公司 | 一种光学反射镜连接结构以及应用该结构的光学载荷批量化集成与检测***和方法 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH450627A (de) | 1965-10-01 | 1968-01-31 | Zdarsky Eduard | Mundspiegel |
US3488123A (en) * | 1966-03-28 | 1970-01-06 | Nasa | Apparatus for controlling the velocity of an electromechanical drive for interferometers and the like |
GB1513240A (en) | 1974-10-02 | 1978-06-07 | Combined Optical Ind Ltd | Vehicle rear-view mirror |
US4618223A (en) * | 1983-09-29 | 1986-10-21 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Thermoelectric actuator for mirror adjustment |
GB2160994A (en) * | 1984-06-26 | 1986-01-02 | Philips Electronic Associated | Shaft-mounted mirror in a bearing fixed by adhesive |
US4705369A (en) * | 1986-03-21 | 1987-11-10 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Mirror mount |
US4991815A (en) * | 1988-09-16 | 1991-02-12 | Susan E. Lauter, Inc. | Mirror assembly |
US5969865A (en) * | 1995-07-26 | 1999-10-19 | Fujitsu Limited | Optical apparatus which uses a virtually imaged phased array to produce chromatic dispersion |
JP3464081B2 (ja) * | 1995-07-26 | 2003-11-05 | 富士通株式会社 | 波長分波器 |
US5973838A (en) * | 1995-07-26 | 1999-10-26 | Fujitsu Limited | Apparatus which includes a virtually imaged phased array (VIPA) in combination with a wavelength splitter to demultiplex wavelength division multiplexed (WDM) light |
US5930045A (en) * | 1995-07-26 | 1999-07-27 | Fujitsu, Ltd. | Optical apparatus which uses a virtually imaged phased array to produce chromatic dispersion |
JP3294986B2 (ja) * | 1996-03-22 | 2002-06-24 | 富士通株式会社 | 温度依存性のない光素子 |
JP3274058B2 (ja) * | 1996-03-22 | 2002-04-15 | 富士通株式会社 | 光ディバイス |
US5867512A (en) * | 1997-02-10 | 1999-02-02 | Sacher; Joachim | Tuning arrangement for a semiconductor diode laser with an external resonator |
JPH10170847A (ja) | 1996-12-09 | 1998-06-26 | Ricoh Co Ltd | 光ビーム走査装置 |
JPH1164764A (ja) | 1997-08-19 | 1999-03-05 | Toshiba Corp | 部材の姿勢制御装置 |
JP3342363B2 (ja) | 1997-09-12 | 2002-11-05 | 三菱重工業株式会社 | レーザ切断装置 |
US5949593A (en) * | 1998-03-16 | 1999-09-07 | Eastman Kodak Company | Off-loaded strut joint mirror support system |
-
2002
- 2002-09-20 JP JP2002275470A patent/JP4216028B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-09-16 US US10/662,484 patent/US7073915B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-09-19 GB GB0322007A patent/GB2395290B/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009152857A (ja) * | 2007-12-20 | 2009-07-09 | Fujitsu Ltd | 可変分散補償制御方法及び可変分散補償制御装置 |
JP2017530408A (ja) * | 2014-09-25 | 2017-10-12 | ライカ マイクロシステムズ シーエムエス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングLeica Microsystems CMS GmbH | ミラーデバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2395290A (en) | 2004-05-19 |
US7073915B2 (en) | 2006-07-11 |
GB0322007D0 (en) | 2003-10-22 |
JP4216028B2 (ja) | 2009-01-28 |
GB2395290B (en) | 2005-11-09 |
US20040057127A1 (en) | 2004-03-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9261362B2 (en) | Measuring device for distance measurement | |
JP4524431B2 (ja) | 光ファイバ光学系による干渉計、及びそのためのビーム結合ユニット及び操作器システム。 | |
US7782465B2 (en) | High intensity fabry-perot sensor | |
US7428110B2 (en) | Optical part holding unit | |
US8432552B2 (en) | High intensity Fabry-Perot sensor | |
EP0495865A1 (en) | Mounting optical components | |
US9797922B2 (en) | Scanning probe microscope head design | |
EP2133732A2 (en) | Delay interferometer | |
JP2000284141A (ja) | 光分波器及びその調心組立方法 | |
JP4216028B2 (ja) | ミラー固定方法および光学装置 | |
JPH11160569A (ja) | 光結合回路 | |
US20120050722A1 (en) | Multiple measuring point configuration for a chromatic point sensor | |
US4865452A (en) | Beam combiner assembly for ring laser gyroscope | |
JP2008185832A (ja) | 光学素子および光学ユニットの組立方法 | |
JP2004125638A (ja) | 変位センサ及び干渉計の固定方法 | |
US6836333B1 (en) | Fourier transform spectrometer using an optical block | |
US6710944B2 (en) | Pivoting optics mount | |
JP2002311287A (ja) | 光結合回路 | |
JP2585567B2 (ja) | 複合型リトロダイレクテイブミラ−及びその製造方法 | |
JP2555162B2 (ja) | 光部品の光軸固定方法 | |
JP2000088547A (ja) | 形状測定装置 | |
JP2004354616A (ja) | 6自由度位置決め固定器具、これを備えた装置、6自由度位置決め固定方法、この方法による光学装置の製造方法 | |
JPH07191239A (ja) | 光半導体素子モジュール | |
JP2005114607A (ja) | 変位センサー、その固定方法および干渉計 | |
JPH0933769A (ja) | 光モジュール及びその製法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050816 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080104 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080415 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080616 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080805 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080904 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20081010 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081104 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081105 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111114 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111114 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121114 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121114 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131114 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |