JP2004101861A

JP2004101861A - Wavelength tap circuit

Info

Publication number: JP2004101861A
Application number: JP2002263536A
Authority: JP
Inventors: Takashi Saida; 才田　隆志; Tsutomu Kito; 鬼頭　勤; Ryoichi Kasahara; 笠原　亮一
Original assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Current assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date: 2002-09-10
Filing date: 2002-09-10
Publication date: 2004-04-02
Anticipated expiration: 2022-09-10
Also published as: JP3832741B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a wavelength tap circuit small in size and excellent in reproducibility. <P>SOLUTION: This circuit is equipped with an optical waveguide 11 for input, a first slab optical waveguide 12 optically connected to the optical waveguide 11 for input, an array optical waveguide 13 optically connected to the first slab optical waveguide and each array element having the same optical path as others, a second slab optical waveguide 13 optically connected to the array optical waveguide 13, an optical waveguide 15 for the main output optically connected to the second slab optical waveguide 14, and optical waveguide groups 16a, 16b for demultiplexing output. The clad region 17 formed near the optical connection between the array optical waveguide 13 and the second slab optical waveguide 14 is periodically modulated in the width. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光信号の一部を取り出して波長により合分波する波長タップ回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インターネットの爆発的進展に伴い、波長多重光通信システムの導入が世界的に進んでいる。
このような波長多重光通信システムの保守・運営では、各波長での光信号をそれぞれモニタするデバイスが必須である。
従来の波長多重された光信号をモニタするための光導波路デバイスの構成を図３に示す。
【０００３】
基板１００上に、入力用光導波路１０１と、導波路型光カプラ１０２と、アレイ導波路格子フィルタ１０３と、主出力用光導波路１０４と、分波出力用光導波路１０５が設けられており、入力された光信号を導波路型光カプラ１０２で分岐して、大部分は主出力用光導波路１０４に導き、一部はアレイ光導波路格子フィルタ１０３で波長毎に分けて、その出力強度を分波出力用光導波路１０５でモニタする構成である。
この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては次のものがある。
【０００４】
【非特許文献１】
Ｈ．　Ｓｕｚｕｋｉ，　ａｎｄ　Ｎ．　Ｔａｋａｃｈｉｏ，　”Ｏｐｔｉｃａｌ　ｓｉｇｎａｌ　ｑｕａｌｉｔｙ　ｍｏｎｉｔｏｒ　ｂｕｉｌｔ　ｉｎｔｏＷＤＭ　ｌｉｎｅａｒ　ｒｅｐｅａｔｅｒｓ　ｕｓｉｎｇ　ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　ａｒｒａｙｅｄ　ｗａｖｅｇｕｉｄｅ　ｇｒａｔｉｎｇ　ｆｉｌｔｅｒ　ｍｏｎｏｌｉｔｈｉｃａｌｌｙ　ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ　ｗｉｔｈ　ｅｉｇｈｔ　ｐｈｏｔｏｄｉｏｄｅｓ，”　Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　Ｌｅｔｔｅｒｓ　，　Ｖｏｌｕｍｅ：　３５　Ｉｓｓｕｅ：　１０　，　１３　Ｍａｙ　１９９９，　Ｐａｇｅ（ｓ）：　８３６−８３７
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の波長多重された光信号のモニタでは、以下に示す問題があった。
第一に、導波路型光カプラの分岐比は例えば９９：１といった非対称な値にする必要があるが、このような導波路型光カプラでは、結合比が作製条件の僅かな変化などによってばらつき、また結合比の偏波依存性が大きくなる問題があった。
第二に、波長を分波するためのアレイ導波路格子フィルタで例えば１００を超える波長チャネルを分波しようとすると、光回路のサイズが大きくなり、また作製条件の僅かな変化に極めて敏感となる問題があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決する本発明の波長タップ回路は、基板上に、入力用光導波路と、前記入力用光導波路に光学的に接続された第一のスラブ光導波路と、前記第一のスラブ光導波路に光学的に接続された互いに光路の等しいアレイ光導波路と、前記アレイ光導波路に光学的に接続された第二のスラブ光導波路と、前記第二のスラブ光導波路に光学的に接続された主出力用光導波路と分波出力用光導波路群とを備えており、前記アレイ光導波路と前記第二のスラブ光導波路の光学的接続部近傍に設けたクラッド領域の幅が周期的に変調されていることを特徴としている。
このような構成とすることで、作製誤差に不感で小型な波長タップ回路を提供することができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。
ただし、説明の反復を避けるために、図中では同じ機能を有する光学回路には同じ番号を付与している。
また、以下の説明では、光導波路はシリコン基板上に形成された石英系光導波路である。
これは、安定で信頼性に優れた波長タップ回路を実現できるからである。
しかしながら、本発明はこの構成に限定されるものではなく、半導体光導波路や誘電体光導波路など、他の材料による光導波路を用いても勿論構わないし、石英基板上に形成された石英系光導波路を用いても勿論構わない。
【０００８】
本発明の実施形態に係る波長タップ回路の構成を図１に示す。
図１に示すように、基板１０上には、入力用光導波路１１、第一のスラブ光導波路１２、互いに長さの等しいアレイ光導波路１３、第二のスラブ光導波路１４、主出力用光導波路１５、分波出力用光導波路１６ａ及び１６ｂがこの順に接続されており、アレイ光導波路１３と第二のスラブ光導波路１４の光学的接続部では幅が周期的に変調されたクラッド領域１７が設けられている。
【０００９】
ここで、互いに長さの等しいアレイ光導波路１３は、Ｓ字型の導波路レイアウトで実現した（特願平０６−２７３３９号「光デバイス」参照）。
これは、この構成が互いに長さの等しいアレイ光導波路を小型に実現できるからである。
しかしながら、本発明はこの構成に限定されるものではなく、例えばＷ字型の導波路レイアウト（特願平９−２１１６９８号「アレイ導波路格子」参照）を用いても勿論構わない。
【００１０】
また、本実施形態に係る波長タップ回路では、分波出力用光導波路１６ａ，１６ｂを２群用いるとした。
しかしながら、これはどちらか一方だけ用いるとしても、勿論構わない。
また、本実施形態に係る波長タップ回路では、第一のスラブ光導波路１２と第二のスラブ光導波路１４が同じ長さであるとしたが、大きさが異なっていても、本発明の請求範囲を逸脱するものではない。
【００１１】
アレイ光導波路１３とスラブ導波路１４の接続部の拡大図を図４に示す。
図４に示すように、アレイ導波路１３の端部は、光が主出力用光導波路１５に集光するように傾けて配置されている。
本実施形態に係る波長タップ回路では、第二のスラブ光導波路１４の形状を変化させて、クラッド領域１７の幅を変調するとしたが、これは、アレイ光導波路１３の長さを変調して実現しても、もちろん構わない。
次に、式及び図を用いて図１に示す本実施形態に係る導波路型光フィルタの効果を説明する。
【００１２】
いま、入力用光導波路１１の最低次モードの空間分布をａ（ｘ，ｙ）とする。ここで、ｘは入力用光導波路１１の光伝播方向に直交し、基板に平行な軸であり、ｙは入力用光導波路１１の光伝播方向に直交し、基板に垂直な軸である。
このとき、第一のスラブ光導波路１２を伝播後の光電界の空間分布Ａ（ｗ，ｙ）は、位相項を無視して次式で表される。
【００１３】
【数１】

【００１４】
ここで、ｎはスラブ導波路の群屈折率、λは光波長、Ｌは第一及び第二のスラブ光導波路の長さ、ｗは第一のスラブ光導波路出射側端部において光伝播方向に直交し基板に平行な軸である。
第一のスラブ光導波路１２伝搬後の光電界Ａ（ｗ，ｙ）は、互いに長さの等しいアレイ導波路１３によって位相関係も含めて第二のスラブ光導波路１４端部へと導かれる。
アレイ導波路１３の端部は、光が主出力用光導波路１５に集光するように傾けて配置されている。
幅が空間的に変調されたクラッド領域１７により位相変調される。
このときの位相変調量を次式で表す。
【００１５】
【数２】

【００１６】
ここで、Ｐ_０は位相変調の振幅、Ｑは位相変調の空間周期である。
Ｐ_０が１より十分小さいとすれば、位相変調を受けた第二のスラブ光導波路のアレイ光導波路１３側でのフィールドＢ（ｗ，ｙ）は、位相項を無視して次式で表すことができる。
【００１７】
【数３】

【００１８】
ここに、Ｊ_ｋ（ｘ）はベッセル関数である。
従って、第二のスラブ光導波路１４を伝搬後の光電界ｂ（ｘ，ｙ）は、次式で与えられる。
【００１９】
【数４】

【００２０】
即ち、第二のスラブ光導波路１４の主出力用光導波路１５側では、入力用光導波路１１と同じ位置に元のフィールドａ（ｘ，ｙ）が得られ、そこから波長λに比例してシフトした位置±Ｌλ／ｎＱに、元のフィールドと同じ形状のフィールドが得られることがわかる。
【００２１】
従って、入力用光導波路１１と鏡像の位置に主出力用光導波路１５を配置し、±Ｌλ／ｎＱの位置に各光波長に応じた分波出力用光導波路１６ａ，１６ｂを備えるので、入力用光導波路１１に導かれた大部分の光は主出力用光導波路１５より出力し、一部が波長に応じて分波出力用光導波路１６ａ，１６ｂから波長に応じて出力することとなり、波長タップ回路が実現できる。
【００２２】
本実施形態に係る波長タップ回路は、シリコン基板上に形成した石英系光導波路により作製した。
スラブ長は３０ｍｍ、光周波数間隔は１００ＧＨｚ、クラッド領域の変調周期は１μｍとし、チャネル数は８０ｃｈとした。
作製した波長タップ回路の、クラッド領域の幅の最大値と、主出力と波長分波出力の出力光強度の関係を図２に示す。
図２より判るように、本発明の波長タップ回路ではクラッド領域１７の変調幅によってタップ率を変化できるので、安定にタップ係数を実現することができる。
また、クラッド領域１７の屈折率は偏波依存性が極めて小さいので、偏波依存性の小さなタップを実現できる。
【００２３】
このように説明したように、本発明は、平面基板上に作成された光導波同路（ＰＬＣ）で回折格子による光の分波を実現したものである。
アレイ導波路格子回路（Ａｒｒａｙｅｄ　Ｗａｖｅｇｕｉｄｅ　Ｇｒａｔｉｎｇ　：ＡＷＧ）では長さの異なる複数のアレイ導波路が回折格子の役目を果たしていまたが、本願発明では出力側スラブ導波路１４の端面に設けられた周期的な構造であるクラッド領域１７が回折格子の役割を果たすものである。
【００２４】
入力用光導波路１１を伝搬してきた光ａ（ｘ，ｙ）は、第一のスラブ導波路１２を経て式（１）で示されるＡ（ｗ，ｙ）に変換される。
ｗは第一のスラブ導波路１２の出力側端部における、基板１０と平行な方向の座標である。
Ａ（ｗ，ｙ）を回折格子であるクラッド領域１７に入射する際には、回折後の光の大部分が主出力用光導波路１５に集光するように光を入射させる。
これは、アレイ導波路１３から出射する光が主出力用光導波路１５に向かって進むように、アレイ導波路１３の出射端をそれぞれ傾けて配置することで実現される。
【００２５】
つまり、アレイ導波路１３は、光が主出力用光導波路１５に集光するように、回折格子にＡ（ｗ，ｙ）を入射させるために用いられる。
回折格子の働きによって、Ａ（ｗ，ｙ）の一部は主出力用光導波路１５と異なる位置にある分波出力用光導波路１６ａ，１６ｂに集光するので、波長タップ回路が実現される。
従って、本発明の波長タップ回路によれば、図２に示す通り、出力側スラブ導波路１４に設けた周期的構造であるクラッド領域１７の周期によってタップ率を変えることができるので、安定なタップ係数が実現される。
【００２６】
【発明の効果】
以上、図面を参照して詳細に説明したように、本発明の波長タップ回路を用いれば、小型で再現性の良好な波長タップ回路を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る波長タップ回路の構成を表す概略図である。
【図２】本発明の実施形態に係る波長タップ回路の、クラッド領域の変調幅と主出力と波長分波出力の関係を表すグラフである。
【図３】従来の波長多重された光信号をモニタするための光導波路デバイスの構成を表す図である。
【図４】アレイ光導波路とスラブ導波路の接続部の拡大図である。
【符号の説明】
１０　基板
１１　入力用光導波路
１２　第一のスラブ光導波路
１３　アレイ光導波路
１４　第二のスラブ光導波路
１５　主出力用光導波路
１６　分波出力用光導波路
１７　幅の変調されたクラッド領域
１００　基板
１０１　入力用光導波路
１０２　光カプラ
１０３　アレイ導波路格子フィルタ
ｌ０４　主出力用光導波路
１０５　分波出力用光導波路[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a wavelength tap circuit that extracts a part of an optical signal and multiplexes / demultiplexes the signal by wavelength.
[0002]
[Prior art]
With the explosion of the Internet, the introduction of WDM optical communication systems is progressing worldwide.
In maintenance and operation of such a wavelength division multiplexing optical communication system, a device for monitoring an optical signal at each wavelength is essential.
FIG. 3 shows a configuration of a conventional optical waveguide device for monitoring a wavelength-multiplexed optical signal.
[0003]
An input optical waveguide 101, a waveguide type optical coupler 102, an arrayed waveguide grating filter 103, a main output optical waveguide 104, and a demultiplexed output optical waveguide 105 are provided on a substrate 100. The divided optical signal is branched by the waveguide type optical coupler 102, most of the branched signal is guided to the main output optical waveguide 104, and a part is divided for each wavelength by the arrayed optical waveguide grating filter 103, and the output intensity is demultiplexed. This is a configuration for monitoring by the output optical waveguide 105.
Prior art document information related to the invention of this application includes the following.
[0004]
[Non-patent document 1]
H. Suzuki, and N.M. Takachio, "Optical signal quality monitor built intoWDM linear repeaters using semiconductor arrayed waveguide grating filter monolithically integrated with eight photodiodes," Electronics Letters, Volume: 35 Issue: 10, 13 May 1999, Page (s): 836-837
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, the above-described conventional monitor of wavelength-multiplexed optical signals has the following problems.
First, the branching ratio of the waveguide-type optical coupler needs to be an asymmetric value, for example, 99: 1. However, in such a waveguide-type optical coupler, the coupling ratio varies due to a slight change in manufacturing conditions or the like. In addition, there is a problem that the polarization dependence of the coupling ratio becomes large.
Second, the use of an arrayed waveguide grating filter for wavelength demultiplexing, for example, to demultiplex over 100 wavelength channels increases the size of the optical circuit and becomes extremely sensitive to slight changes in fabrication conditions. There was a problem.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
A wavelength tap circuit according to the present invention that solves the above-mentioned problems includes, on a substrate, an input optical waveguide, a first slab optical waveguide optically connected to the input optical waveguide, and the first slab optical waveguide. An array optical waveguide having optical paths equal to each other optically connected to the waveguide, a second slab optical waveguide optically connected to the array optical waveguide, and optically connected to the second slab optical waveguide; A main output optical waveguide and a branch output optical waveguide group are provided, and the width of the cladding region provided near the optical connection between the array optical waveguide and the second slab optical waveguide is periodically modulated. It is characterized by having.
With such a configuration, a small wavelength tap circuit which is insensitive to a manufacturing error can be provided.
[0007]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
However, to avoid repetition of description, the same numbers are given to optical circuits having the same functions in the drawings.
In the following description, the optical waveguide is a quartz optical waveguide formed on a silicon substrate.
This is because a stable and reliable wavelength tap circuit can be realized.
However, the present invention is not limited to this configuration, and it is a matter of course that an optical waveguide made of another material such as a semiconductor optical waveguide or a dielectric optical waveguide may be used, or a quartz optical waveguide formed on a quartz substrate. Of course, it does not matter even if it uses.
[0008]
FIG. 1 shows a configuration of a wavelength tap circuit according to an embodiment of the present invention.
As shown in FIG. 1, on a substrate 10, an input optical waveguide 11, a first slab optical waveguide 12, an array optical waveguide 13, equal in length to each other, a second slab optical waveguide 14, a main output optical waveguide. 15, the demultiplexing output optical waveguides 16a and 16b are connected in this order, and a clad region 17 whose width is periodically modulated is provided at an optical connection portion between the array optical waveguide 13 and the second slab optical waveguide 14. Have been.
[0009]
Here, the array optical waveguides 13 having the same length were realized by an S-shaped waveguide layout (see Japanese Patent Application No. 06-27339, “Optical Device”).
This is because this configuration makes it possible to miniaturize array optical waveguides having the same length.
However, the present invention is not limited to this configuration. For example, a W-shaped waveguide layout (refer to Japanese Patent Application No. 9-211698, “arrayed waveguide grating”) may be used.
[0010]
In the wavelength tap circuit according to the present embodiment, two groups of optical waveguides 16a and 16b for demultiplexing output are used.
However, it goes without saying that only one of them may be used.
Further, in the wavelength tap circuit according to the present embodiment, the first slab optical waveguide 12 and the second slab optical waveguide 14 have the same length. Does not deviate.
[0011]
FIG. 4 is an enlarged view of a connection portion between the array optical waveguide 13 and the slab waveguide 14.
As shown in FIG. 4, the end of the arrayed waveguide 13 is arranged so as to be inclined such that light is converged on the main output optical waveguide 15.
In the wavelength tap circuit according to the present embodiment, the width of the cladding region 17 is modulated by changing the shape of the second slab optical waveguide 14, but this is realized by modulating the length of the array optical waveguide 13. Of course, it doesn't matter.
Next, the effects of the waveguide type optical filter according to the present embodiment shown in FIG. 1 will be described using equations and drawings.
[0012]
Now, let the spatial distribution of the lowest mode of the input optical waveguide 11 be a (x, y). Here, x is an axis orthogonal to the light propagation direction of the input optical waveguide 11 and parallel to the substrate, and y is an axis orthogonal to the light propagation direction of the input optical waveguide 11 and perpendicular to the substrate.
At this time, the spatial distribution A (w, y) of the optical electric field after propagating through the first slab optical waveguide 12 is expressed by the following equation, ignoring the phase term.
[0013]
(Equation 1)

[0014]
Here, n is the group refractive index of the slab waveguide, λ is the light wavelength, L is the length of the first and second slab waveguides, w is the light propagation direction at the first slab waveguide exit end. The axis is orthogonal and parallel to the substrate.
The optical electric field A (w, y) after the propagation in the first slab optical waveguide 12 is guided to the end of the second slab optical waveguide 14 including the phase relationship by the array waveguides 13 having the same length.
The end of the arrayed waveguide 13 is arranged so as to be inclined so that light is focused on the main output optical waveguide 15.
The phase is modulated by the cladding region 17 whose width is spatially modulated.
The phase modulation amount at this time is represented by the following equation.
[0015]
(Equation 2)

[0016]
Here, P ₀ is the amplitude of the phase modulation, and Q is the spatial period of the phase modulation.
Assuming that P ₀ is sufficiently smaller than 1, the field B (w, y) of the phase-modulated second slab optical waveguide on the array optical waveguide 13 side can be expressed by the following equation, ignoring the phase term. Can be.
[0017]
[Equation 3]

[0018]
Here, J _k (x) is a Bessel function.
Therefore, the optical electric field b (x, y) after propagating through the second slab optical waveguide 14 is given by the following equation.
[0019]
(Equation 4)

[0020]
That is, on the side of the main output optical waveguide 15 of the second slab optical waveguide 14, the original field a (x, y) is obtained at the same position as the input optical waveguide 11, from which the shift is made in proportion to the wavelength λ. It can be seen that a field having the same shape as the original field is obtained at the position ± Lλ / nQ.
[0021]
Accordingly, the main output optical waveguide 15 is arranged at the position of the mirror image with the input optical waveguide 11, and the split output optical waveguides 16a and 16b corresponding to the respective optical wavelengths are provided at the positions of ± Lλ / nQ. Most of the light guided to the optical waveguide 11 is output from the main output optical waveguide 15, and part of the light is output from the demultiplexing output optical waveguides 16a and 16b according to the wavelength according to the wavelength. A circuit can be realized.
[0022]
The wavelength tap circuit according to the present embodiment was manufactured using a quartz optical waveguide formed on a silicon substrate.
The slab length was 30 mm, the optical frequency interval was 100 GHz, the modulation period of the cladding region was 1 μm, and the number of channels was 80 ch.
FIG. 2 shows the relationship between the maximum value of the width of the cladding region and the output light intensity of the main output and the wavelength division output of the manufactured wavelength tap circuit.
As can be seen from FIG. 2, the tap ratio can be changed by the modulation width of the cladding region 17 in the wavelength tap circuit of the present invention, so that the tap coefficient can be stably realized.
Further, since the polarization index of the refractive index of the cladding region 17 is extremely small, a tap having small polarization dependence can be realized.
[0023]
As described above, the present invention realizes the demultiplexing of light by a diffraction grating in an optical waveguide (PLC) formed on a flat substrate.
In the arrayed waveguide grating circuit (Arrayed Waveguide Grating: AWG), a plurality of arrayed waveguides having different lengths serve as diffraction gratings. In the present invention, the periodic waveguide provided on the end face of the output side slab waveguide 14 is used. The clad region 17 having a simple structure serves as a diffraction grating.
[0024]
The light a (x, y) propagating through the input optical waveguide 11 is converted into A (w, y) represented by Expression (1) via the first slab waveguide 12.
w is the coordinates of the output side end of the first slab waveguide 12 in the direction parallel to the substrate 10.
When A (w, y) is incident on the cladding region 17 which is a diffraction grating, light is incident so that most of the diffracted light is condensed on the main output optical waveguide 15.
This is realized by arranging the emission ends of the arrayed waveguides 13 so that the light emitted from the arrayed waveguides 13 travels toward the main output optical waveguide 15.
[0025]
That is, the arrayed waveguide 13 is used to make A (w, y) incident on the diffraction grating so that light is focused on the main output optical waveguide 15.
Due to the function of the diffraction grating, a part of A (w, y) is focused on the demultiplexing output optical waveguides 16a and 16b located at positions different from the main output optical waveguide 15, so that a wavelength tap circuit is realized.
Therefore, according to the wavelength tap circuit of the present invention, as shown in FIG. 2, the tap ratio can be changed by the period of the cladding region 17 which is a periodic structure provided in the output side slab waveguide 14, so that a stable tap can be obtained. The coefficients are realized.
[0026]
【The invention's effect】
As described above in detail with reference to the drawings, the use of the wavelength tap circuit of the present invention makes it possible to provide a small-sized wavelength tap circuit having good reproducibility.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a configuration of a wavelength tap circuit according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a graph showing a relationship between a modulation width of a cladding region, a main output, and a wavelength demultiplexed output of the wavelength tap circuit according to the embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration of a conventional optical waveguide device for monitoring a wavelength-multiplexed optical signal.
FIG. 4 is an enlarged view of a connection portion between an array optical waveguide and a slab waveguide.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Substrate 11 Input optical waveguide 12 First slab optical waveguide 13 Array optical waveguide 14 Second slab optical waveguide 15 Main output optical waveguide 16 Demultiplexed output optical waveguide 17 Width modulated cladding region 100 Substrate 101 Input Optical waveguide 102 optical coupler 103 arrayed waveguide grating filter 104 main output optical waveguide 105 demultiplexed output optical waveguide

Claims

基板上に、入力用光導波路と、前記入力用光導波路に光学的に接続された第一のスラブ光導波路と、前記第一のスラブ光導波路に光学的に接続された互いに光路の等しいアレイ光導波路と、前記アレイ光導波路に光学的に接続された第二のスラブ光導波路と、前記第二のスラブ光導波路に光学的に接続された主出力用光導波路と分波出力用光導波路群とを備えており、前記アレイ光導波路と前記第二のスラブ光導波路の光学的接続部近傍に設けたクラッド領域の幅が周期的に変調されていることを特徴とする波長タップ回路。On a substrate, an input optical waveguide, a first slab optical waveguide optically connected to the input optical waveguide, and an array optical waveguide optically connected to the first slab optical waveguide and having the same optical path as each other. A waveguide, a second slab optical waveguide optically connected to the array optical waveguide, a main output optical waveguide and a branch output optical waveguide group optically connected to the second slab optical waveguide, A wavelength tap circuit, wherein the width of a cladding region provided near an optical connection between the array optical waveguide and the second slab optical waveguide is periodically modulated.

請求項１に記載の波長タップ回路において、前記光導波路がシリコン基板乃至は石英基板上に形成された石英系光導波路であることを特徴とする波長タップ回路。2. The wavelength tap circuit according to claim 1, wherein the optical waveguide is a silica-based optical waveguide formed on a silicon substrate or a quartz substrate.