JP2004067435A

JP2004067435A - Coating composition for forming insulating thin film

Info

Publication number: JP2004067435A
Application number: JP2002228160A
Authority: JP
Inventors: Hironobu Shirataki; 白瀧　浩伸
Original assignee: Asahi Kasei Corp
Current assignee: Asahi Kasei Corp
Priority date: 2002-08-06
Filing date: 2002-08-06
Publication date: 2004-03-04
Anticipated expiration: 2022-08-06
Also published as: JP4424892B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an insulating thin film being porous silica which has low specific dielectric constant and mechanical strength sufficiently resistant to a CMP process in a copper wiring process of a semiconductor device. <P>SOLUTION: The coating composition for forming the insulating thin film contains a silica precursor containing silicon atom derived from alkoxysilane in a specific ratio and a trace quantity of an acetylene derivative having a specific structure. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、低い比誘電率と高い強度を有すると同時に、膜質の均一性が極めて高い半導体等の配線構造体に用いる絶縁性薄膜とその原料である塗布組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体集積回路をはじめとする半導体素子の多層配線構造体用の絶縁薄膜には、従来から緻密なシリカ膜が一般的に用いられてきた。しかし近年、半導体集積回路の配線密度は微細化の一途をたどっており、これに伴って基板上の隣接する配線間の距離が狭まっている。配線間の距離が狭まると従来の緻密なシリカ膜であっても静電容量が増大し、配線を通じて伝達される電気信号の遅延、いわゆる配線遅延が顕著となる問題が生じている。
このような問題を解決するため、配線材料に電気抵抗の低い銅を用いる方法も提案されているが配線遅延を充分解消してはいない。
【０００３】
そこで、従来緻密とされていたシリカ薄膜を多孔質にする方法が提案されている。例えば、特開平５−８５７６２号公報や国際公開（ＷＯ）第９９／０３９２６号パンフレットには一般的なアルコキシシランと有機ポリマーの混合系から、誘電率が極めて低く、均一細孔および細孔分布を持った多孔性のシリカを得ようとする方法が開示されている。また特開平４−２８５０８１号公報には、アルコキシシランのゾル−ゲル反応を特定の有機ポリマーを共存させて行い、均一な孔径を有する多孔性のシリカを得ようとする方法が開示されている。
【０００４】
さらに、特開２００１−４９１８４号公報には、２官能性、３官能性、４官能性のアルコキシシランの仕込み量を分子内に２個の珪素原子を有する４、５、６官能性のアルコキシシランの仕込み量より多くし、有機ポリマーにブロックコポリマーを用いることで、誘電率特性、吸水性に優れ、かつ空隙サイズが小さい低密度膜を形成する方法が開示されている。
しかしながら、上記の方法は、薄膜の製膜過程で用いられるスピンコート塗布の際にストリエーションと呼ばれる薄膜表面に不均質な模様が発生し、製品の品質を損ない易いなど、成膜時の安定性が必ずしも良くない為、比誘電率の低下とある程度の機械的強度を達成することは出来るが、薄膜表面の均一性を確保することが困難となる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
即ち本発明は、上記問題を解決し、高い機械強度と低い比誘電率そして表面の均一性を同時に達成する絶縁性薄膜を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の問題点を解決すべく、本発明者らは鋭意検討を重ねた結果、シリカ前駆体と一般式
Ｒ^８（ＣＨ_３）Ｃ（ＯＲ^９）−Ｃ≡Ｃ−Ｃ（ＯＲ^９’）（ＣＨ_３）Ｒ^８’
（式中、Ｒ^８とＲ^８’は同一でも異なっていてもよく、それぞれ水素または炭素数１〜１０のアルキル基、Ｒ^９とＲ^９’は同一でも異なっていてもよく、それぞれ水素、炭素数１〜１０のアルキル基、（ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ）_ｘＨ（ｘは２０以下の整数）で表される置換基のいずれかを示す。）
で表される有機化合物を、塗布液の全量に対し０．０１ｗｔ％以上２ｗｔ％以下含有する塗布組成物が上記課題を解決することを見出し、本発明を完成した。
即ち、本発明により得られる塗布組成物は塗布時の安定性（流延性，ストリエーションの発生がないこと）に優れ、さらにこのことによって、比誘電率が著しく低く、膜質の安定性の高い均質な構造の絶縁性薄膜が得られる。
【０００７】
本発明の上記およびその他の諸目的、諸特性ならびに諸利益は、以下に述べる詳細な説明および請求範囲の記載から明らかになる。
すなわち、本発明は、以下のとおりのものである。
１．少なくとも下記一般式（１）及び／又は一般式（２）で表される１〜６官能性のアルコキシシランおよびその加水分解物、重縮合物から選ばれる少なくとも１種以上の化合物を含有するシリカ前駆体であって、アルコキシシランおよびその加水分解物、重縮合物に由来する珪素原子の合計に対する１〜３官能性のアルコキシシランおよびその加水分解物、重縮合物に由来する珪素原子の合計の割合が５ｍｏｌ％〜８０ｍｏｌ％であるシリカ前駆体（Ａ）と、下記一般式（３）で表される有機化合物（Ｂ）と水（Ｃ）とを含有することを特徴とする絶縁性薄膜製造用塗布組成物。
【０００８】
Ｒ^１ _ｎ（Ｓｉ）（ＯＲ^２）_４−ｎ　　　　　　（１）
（式中、Ｒ^１、Ｒ^２は同一でも異なっていてもよく、それぞれ水素または１価の有機基を表し、ｎは０〜３の整数である）
Ｒ^３ _ｍ（Ｒ^４Ｏ）_３−ｍＳｉ−（Ｒ^７）_ｐ−Ｓｉ（ＯＲ^５）_３−ｑＲ^６ _ｑ　（２）
（式中、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５およびＲ^６は、同一でも異なっていてもよく、それぞれ水素または１価の有機基を示し、ｍおよびｑは、同一でも異なっていてもよく、０〜２の数を示し、Ｒ^７は酸素原子または（ＣＨ_２）_ｒで表される基を示し、ｒは１〜６を、ｐは０または１を示す。）
Ｒ^８（ＣＨ_３）Ｃ（ＯＲ^９）−Ｃ≡Ｃ−Ｃ（ＯＲ^９’）（ＣＨ_３）Ｒ^８’　　（３）
（式中、Ｒ^８とＲ^８’は同一でも異なっていてもよく、それぞれ水素または炭素数１〜１０のアルキル基、Ｒ^９とＲ^９’は同一でも異なっていてもよく、それぞれ水素、炭素数１〜１０のアルキル基、（ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ）_ｘＨ（ｘは２０以下の整数）で表される置換基のいずれかを示す。）
【０００９】
２．塗布組成物がシリカ前駆体（Ａ）を塗布組成物全重量に対し２ｗｔ％以上３０ｗｔ％以下、有機化合物（Ｂ）を塗布組成物の全量に対し０．０１ｗｔ％以上２ｗｔ％以下、水（Ｃ）を塗布組成物の全量に対し１０ｗｔ％以上７０ｗｔ％以下、さらに、有機ポリマー（Ｄ）をシリカ前駆体に対し０．０１ｗｔ％以上１０ｗｔ％以下含み、かつ、アルコール系、ケトン系溶媒、アミド系溶媒およびエステル系溶媒の群から選ばれた少なくとも１種を有機溶媒（Ｅ）として含有することを特徴とする１に記載の絶縁性薄膜製造用塗布組成物。
３．有機ポリマー（Ｄ）が直鎖状または分岐状の２元以上のポリエーテルブロックコポリマーを含み、かつ、その含有量が、塗布組成物中に含有する全有機ポリマーに対して１０重量％以上含まれることを特徴とする２に記載の絶縁性薄膜製造用塗布組成物。
４．１〜３のいずれかに記載の絶縁性薄膜製造用塗布組成物を基板上に塗布した後に、シリカ前駆体をゲル化することにより得られるシリカ／有機ポリマー複合薄膜から有機ポリマーを除去してなることを特徴とする多孔性のシリカからなる絶縁性薄膜。
５．４に記載の薄膜を絶縁物として用いることを特徴とする配線構造体。
６．５に記載の配線構造体を包含してなる半導体素子。
【００１０】
尚、本発明でいう多孔性のシリカとは下記の式（４）で表されたものを主成分とした多孔質のものであることを特徴としている。
Ｒ_ｘＨ_ｙＳｉＯ_ｚ　　　　　　　　（４）
（式中、Ｒは炭素数１〜８の直鎖状、分岐上および環状のアルキル基、アリール基を表し、０≦ｘ＜２、０≦ｙ＜２、０≦（ｘ＋ｙ）＜２、１＜ｚ≦２である）また、本発明において先記した一般式（１）で表されるアルコキシシランにおいて、Ｓｉ（ＯＲ^２）_４を４官能性のアルコキシシランと言い、一般式（１）でｎが１の場合、即ちＲ^１（Ｓｉ）（ＯＲ^２）_３を３官能性のアルコキシシラン、ｎが２の場合、即ちＲ^１ _２（Ｓｉ）（ＯＲ^２）_２を２官能性のアルコキシシラン、ｎが３の場合、即ちＲ^１ _３（Ｓｉ）（ＯＲ^２）を１官能性のアルコキシシランとする。
【００１１】
さらに、一般式（２）で表されるアルコキシシランにおいて、たとえばｍ＝ｑ＝１でＲ^３（Ｒ^４Ｏ）_２Ｓｉ−（Ｒ^７）_ｐ−Ｓｉ（ＯＲ^５）_２Ｒ^６の化合物を４官能性のアルコキシシラン、ｍ＝０、ｑ＝１またはｍ＝１、ｑ＝０で、（Ｒ^４Ｏ）_３Ｓｉ−（Ｒ^７）_ｐ−Ｓｉ（ＯＲ^５）_２Ｒ^６の化合物を５官能性のアルコキシシラン、ｍ＝ｑ＝０で（Ｒ^４Ｏ）_３Ｓｉ−（Ｒ^７）_ｐ−Ｓｉ（ＯＲ^５）_３の化合物を６官能性のアルコキシシランとし、一般式（２）でｍ＝ｑ＝２、すなわちＲ^３ _２（Ｒ^４Ｏ）Ｓｉ−（Ｒ^７）_ｐ−Ｓｉ（ＯＲ^５）Ｒ^６ _２を２　官能性のアルコキシシラン、ｍ＝２、ｑ＝１またはｍ＝１、ｑ＝２で、Ｒ^３ _２（Ｒ^４Ｏ）Ｓｉ−（Ｒ^７）_ｐ−Ｓｉ（ＯＲ^５）_２Ｒ^６の化合物を３官能性のアルコキシシランとする。
そしてアルコキシシランが加水分解、重縮合してその縮合率が９０％を越えるものを本発明ではシリカという。
【００１２】
以下に本発明に用いる絶縁性薄膜製造用の塗布組成物（以下、塗布組成物と称する）について説明する。
先ず本発明における必須成分の一つであるシリカ前駆体（Ａ）について説明する。
本発明において用いることができるシリカ前駆体に含まれる一般式（１）で表されるアルコキシシランおよびその加水分解物、重縮合物はその出発原料であるアルコキシシランが４、３、２および１官能性のものである。アルコキシシランおよびその加水分解物、重縮合物を以下、アルコキシシラン等と称する。
一般式（１）で表される４官能性のアルコキシシランの具体的な例として、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラ−ｎ−プロポキシシラン、テトラ−ｉ−プロポキシシラン、テトラ−ｎ−ブトキシシラン、テトラ−ｓｅｃ−ブトキシシラン、テトラ−ｉ−ブトキシシラン、テトラ−ｔｅｒｔ−ブトキシシランなどが挙げられる。
【００１３】
一般式（１）で表される３官能性のアルコキシシランの具体的な例として、トリメトキシシラン、トリエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、プロピルトリメトキシシラン、プロピルトリエトキシシラン、イソブチルトリエトキシシラン、シクロヘキシルトリメトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、アリールトリメトキシシラン、アリールトリエトキシシラン、メチルトリ−ｎ−プロポキシシラン、メチルトリ−ｉｓｏ−プロポキシシラン、メチルトリ−ｎ−ブトキシシラン、メチルトリ−ｉ−ブトキシシラン、メチルトリ−ｓｅｃ−ブトキシシラン、メチルトリ−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、
【００１４】
エチルトリ−ｎ−プロポキシシラン、エチルトリ−ｉｓｏ−プロポキシシラン、エチルトリ−ｎ−ブトキシシラン、エチルトリ−ｉ−ブトキシシラン、エチルトリ−ｓｅｃ−ブトキシシラン、エチルトリ−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、ｎ−プロピルトリ−ｎ−プロポキシシラン、ｎ−プロピルトリ−ｉｓｏ−プロポキシシラン、ｎ−プロピルトリ−ｎ−ブトキシシラン、ｎ−プロピルトリ−ｉ−ブトキシシラン、ｎ−プロピルトリ−ｓｅｃ−ブトキシシラン、ｎ−プロピルトリ−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、ｉ−プロピルトリメトキシシラン、ｉ−プロピルトリエトキシシラン、ｉ−プロピルトリ−ｎ−プロポキシシラン、ｉ−プロピルトリ−ｉｓｏ−プロポキシシラン、ｉ−プロピルトリ−ｎ−ブトキシシラン、ｉ−プロピルトリ−ｓｅｃ−ブトキシシラン、ｉ−プロピルトリ−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、ｎ−ブチルトリメトキシシラン、ｎ−ブチルトリエトキシシラン、ｎ−ブチルトリ−ｎ−プロポキシシラン、ｎ−ブチルトリ−ｉｓｏ−プロポキシシラン、ｎ−ブチルトリ−ｎ−ブトキシシラン、ｎ−ブチルトリ−ｓｅｃ−ブトキシシラン、ｎ−ブチルトリ−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、ｎ−ブチルトリフェノキシシラン、ｓｅｃ−ブチルトリメトキシシラン、ｓｅｃ−ブチル−トリ−ｎ−プロポキシシラン、ｓｅｃ−ブチル−トリ−ｉｓｏ−プロポキシシラン、
【００１５】
ｓｅｃ−ブチル−トリ−ｎ−ブトキシシラン、ｓｅｃ−ブチル−トリ−ｓｅｃ−ブトキシシラン、ｓｅｃ−ブチル−トリ−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、ｔ−ブチルトリメトキシシラン、ｔ−ブチルトリエトキシシラン、ｔ−ブチルトリ−ｎ−プロポキシシラン、ｔ−ブチルトリ−ｉｓｏ−プロポキシシラン、ｔ−ブチルトリ−ｎ−ブトキシシラン、ｔ−ブチルトリ−ｓｅｃ−ブトキシシラン、ｔ−ブチルトリ−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、フェニルトリ−ｎ−プロポキシシラン、フェニルトリ−ｉｓｏ−プロポキシシラン、フェニルトリ−ｎ−ブトキシシラン、フェニルトリ−ｓｅｃ−ブトキシシラン、フェニルトリ−ｔｅｒｔ−ブトキシシランなどが挙げられる。
【００１６】
アルコキシシラン類の部分加水分解物を原料としてもよい。
これら４官能性および３官能性のアルコキシシランの中でも特に好ましいのがテトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、トリメトキシシラン、トリエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、プロピルトリメトキシシラン、プロピルトリエトキシシラン、ブチルトリメトキシシラン、ブチルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシランである。
また、ケイ素原子上にビニル基が結合した３官能性のアルキルシランなども好適である。具体的には、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリ−ｎ−プロポキシシラン、ビニルトリ−ｉ−プロポキシシラン、ビニルトリ−ｎ−ブトキシシラン、ビニルトリ−ｓｅｃ−ブトキシシラン、ビニルトリ−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、などが挙げられる。
【００１７】
一般式（１）で表される２官能性のアルコキシシランの具体的な例として、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジメチルジ−ｎ−プロポキシシラン、ジメチルジ−ｉ−プロポキシシラン、ジメチルジ−ｎ−ブトキシシラン、ジメチルジ−ｓｅｃ−ブトキシシラン、ジメチルジ−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、ジエチルジメトキシシラン、ジエチルジエトキシシラン、ジエチルジ−ｎ−プロポキシシラン、ジエチルジ−ｉ−プロポキシシラン、ジエチルジ−ｎ−ブトキシシラン、ジエチルジ−ｓｅｃ−ブトキシシラン、ジエチルジ−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、ジフェニルジ−ｎ−プロポキシシラン、ジフェニルジ−ｉ−プロポキシシラン、ジフェニルジ−ｎ−ブトキシシラン、ジフェニルジ−ｓｅｃ−ブトキシシラン、ジフェニルジ−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、メチルエチルジメトキシシラン、メチルエチルジエトキシシラン、メチルエチルジ−ｎ−プロポキシシラン、メチルエチルジ−ｉ−プロポキシシラン、メチルエチルジ−ｎ−ブトキシシラン、
【００１８】
メチルエチルジ−ｓｅｃ−ブトキシシラン、メチルエチルジ−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、メチルプロピルジメトキシシラン、メチルプロピルジエトキシシラン、メチルプロピジ−ｎ−プロポキシシラン、メチルプロピルジ−ｉ−プロポキシシラン、メチルプロピルジ−ｎ−ブトキシシラン、メチルプロピルジ−ｓｅｃ−ブトキシシラン、メチルプロピルジ−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、メチルフェニルジメトキシシラン、メチルフェニルジエトキシシラン、メチルフェニルジ−ｎ−プロポキシシラン、メチルフェニルジ−ｉ−プロポキシシラン、メチルフェニルジ−ｎ−ブトキシシラン、メチルフェニルジ−ｓｅｃ−ブトキシシラン、メチルフェイルジ−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、エチルフェニルジメトキシシラン、エチルフェニルジエトキシシラン、エチルフェニルジ−ｎ−プロポキシシラン、エチルフェニルジ−ｉ−プロポキシシラン、エチルフェニルジ−ｎ−ブトキシシラン、エチルフェニルジ−ｓｅｃ−ブトキシシラン、エチルフェニルジ−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、などのケイ素原子上に２個のアルキル基またはアリール基が結合したアルキルシランなどが挙げられる。
【００１９】
また、メチルビニルジメトキシシラン、メチルビニルジエトキシシラン、メチルビニルジ−ｎ−プロポキシシラン、メチルビニルジ−ｉ−プロポキシシラン、メチルビニルジ−ｎ−ブトキシシラン、メチルビニルジ−ｓｅｃ−ブトキシシラン、メチルビニルジ−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、ジビニルジメトキシシラン、ジビニルジエトキシシラン、ジビニルジ−ｎ−プロポキシシラン、ジビニルジ−ｉ−プロポキシシラン、ジビニルジ−ｎ−ブトキシシラン、ジビニルジ−ｓｅｃ−ブトキシシラン、ジビニルジ−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、などケイ素原子上に１　ないし２個のビニル基が結合したアルキルシランなども好適である。
【００２０】
一般式（１）で表される１官能性のアルコキシシランの具体例として、トリメチルメトキシシラン、トリメチルエトキシシラン、トリメチル−ｎ−プロポキシシラン、トリメチル−ｉ−プロポキシシラン、トリメチル−ｎ−ブトキシシラン、トリメチル−ｓｅｃ−ブトキシシラン、トリメチル−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、トリエチルメトキシシラン、トリエチルエトキシシラン、トリエチル−ｎ−プロポキシシラン、トリエチル−ｉ−プロポキシシラン、トリエチル−ｎ−ブトキシシラン、トリエチル−ｓｅｃ−ブトキシシラン、トリエチル−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、トリプロピルメトキシシラン、トリプロピルエトキシシラン、トリプロピル−ｎ−プロポキシシラン、トリプロピル−ｉ−プロポキシシラン、トリプロピル−ｎ−ブトキシシラン、トリプロピル−ｓｅｃ−ブトキシシラン、トリプロピル−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、トリフェニルメトキシシラン、
【００２１】
トリフェニルエトキシシラン、トリフェニル−ｎ−プロポキシシラン、トリフェニル−ｉ−プロポキシシラン、トリフェニル−ｎ−ブトキシシラン、トリフェニル−ｓｅｃ−ブトキシシラン、トリフェニル−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、メチルジエチルメトキシシラン、メチルジエチルエトキシシラン、メチルジエチル−ｎ−プロポキシシラン、メチルジエチル−ｉ−プロポキシシラン、メチルジエチル−ｎ−ブトキシシラン、メチルジエチル−ｓｅｃ−ブトキシシラン、メチルジエチル−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、メチルジプロピルメトキシシラン、メチルジプロピルエトキシシラン、メチルジプロピル−ｎ−プロポキシシラン、メチルジプロピル−ｉ−プロポキシシラン、メチルジプロピル−ｎ−ブトキシシラン、メチルジプロピル−ｓｅｃ−ブトキシシラン、メチルジプロピル−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、メチルジフェニルメトキシシラン、メチルジフェニルエトキシシラン、メチルジフェニル−ｎ−プロポキシシラン、メチルジフェニル−ｉ−プロポキシシラン、メチルジフェニル−ｎ−ブトキシシラン、メチルジフェニル−ｓｅｃ−ブトキシシラン、メチルジフェニル−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、エチルジメチルメトキシシラン、エチルジメチルエトキシシラン、エチルジメチル−ｎ−プロポキシシラン、エチルジメチル−ｉ−プロポキシシラン、エチルジメチル−ｎ−ブトキシシラン、エチルジメチル−ｓｅｃ−ブトキシシラン、エチルジメチル−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、エチルジプロピルメトキシシラン、エチルジプロピルエトキシシラン、エチルジプロピル−ｎ−プロポキシシラン、エチルジプロピル−ｉ−プロポキシシラン、エチルジプロピル−ｎ−ブトキシシラン、
【００２２】
エチルジプロピル−ｓｅｃ−ブトキシシラン、エチルジプロピル−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、エチルジフェニルメトキシシラン、エチルジフェニルエトキシシラン、エチルジフェニル−ｎ−プロポキシシラン、エチルジフェニル−ｉ−プロポキシシラン、エチルジフェニル−ｎ−ブトキシシラン、エチルジフェニル−ｓｅｃ−ブトキシシラン、エチルジフェニル−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、プロピルジメチルメトキシシラン、プロピルジメチルエトキシシラン、プロピルジメチル−ｎ−プロポキシシラン、プロピルジメチル−ｉ−プロポキシシラン、プロピルジメチル−ｎ−ブトキシシラン、プロピルジメチル−ｓｅｃ−ブトキシシラン、プロピルジメチル−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、プロピルジエチルメトキシシラン、プロピルジエチルエトキシシラン、プロピルジエチル−ｎ−プロポキシシラン、プロピルジエチル−ｉ−プロポキシシラン、プロピルジエチル−ｎ−ブトキシシラン、プロピルジエチル−ｓｅｃ−ブトキシシラン、プロピルジエチル−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、プロピルジフェニルメトキシシラン、プロピルジフェニルエトキシシラン、プロピルジフェニル−ｎ−プロポキシシラン、
【００２３】
プロピルジフェニル−ｉ−プロポキシシラン、プロピルジフェニル−ｎ−ブトキシシラン、プロピルジフェニル−ｓｅｃ−ブトキシシラン、プロピルジフェニル−ｔｅｒｔ−ブトキシシランフェニルジメチルメトキシシラン、フェニルジメチルエトキシシラン、フェニルジメチル−ｎ−プロポキシシラン、フェニルジメチル−ｉ−プロポキシシラン、フェニルジメチル−ｎ−ブトキシシラン、フェニルジメチル−ｓｅｃ−ブトキシシラン、フェニルジメチル−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、フェニルジエチルメトキシシラン、フェニルジエチルエトキシシラン、フェニルジエチル−ｎ−プロポキシシラン、フェニルジエチル−ｉ−プロポキシシラン、フェニルジエチル−ｎ−ブトキシシラン、フェニルジエチル−ｓｅｃ−ブトキシシラン、フェニルジエチル−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、フェニルジプロピルメトキシシラン、フェニルジプロピルエトキシシラン、フェニルジプロピル−ｎ−プロポキシシラン、フェニルジプロピル−ｉ−プロポキシシラン、フェニルジプロピル−ｎ−ブトキシシラン、フェニルジプロピル−ｓｅｃ−ブトキシシラン、フェニルジプロピル−ｔｅｒｔ−ブトキシシランなどが挙げられる。
【００２４】
また、ケイ素原子上に１〜３個のビニル基が結合したアルキルシランなども好適である。具体的には、トリビニルメトキシシラン、トリビニルエトキシシラン、トリビニル−ｎ−プロポキシシラン、トリビニル−ｉ−プロポキシシラン、トリビニル−ｎ−ブトキシシラン、トリビニル−ｓｅｃ−ブトキシシラン、トリビニル−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、ビニルジメチルメトキシシラン、ビニルジメチルエトキシシラン、ビニルジメチル−ｎ−プロポキシシラン、ビニルジメチル−ｉ−プロポキシシラン、ビニルジメチル−ｎ−ブトキシシラン、ビニルジメチル−ｓｅｃ−ブトキシシラン、ビニルジメチル−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、ビニルジエチルメトキシシラン、ビニルジエチルエトキシシラン、ビニルジエチル−ｎ−プロポキシシラン、ビニルジエチル−ｉ−プロポキシシラン、ビニルジエチル−ｎ−ブトキシシラン、ビニルジエチル−ｓｅｃ−ブトキシシラン、ビニルジエチル−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、ビニルジプロピルメトキシシラン、ビニルジプロピルエトキシシラン、ビニルジプロピル−ｎ−プロポキシシラン、ビニルジプロピル−ｉ−プロポキシシラン、ビニルジプロピル−ｎ−ブトキシシラン、ビニルジプロピル−ｓｅｃ−ブトキシシラン、ビニルジプロピル−ｔｅｒｔ−ブトキシシランなどが挙げられる。
【００２５】
本発明の１官能性および２官能性のアルコキシシランとして、先述したようなアルコキシシランが用いられるが、その中でより好ましいのが、トリメチルメトキシシシラン、トリメチルエトキシシラン、トリエチルメトキシシラン、トリエチルエトキシシラン、トリプロピルメトキシシラン、トリプロピルメトキシシラン、トリプロピルエトキシシラン、トリフェニルメトキシシラン、トリフェニルエトキシシラン、フェニルジメチルメトキシシラン、フェニルジメチルエトキシシラン、ジフェニルメチルメトキシシラン、ジフェニルメチルエトキシシランなどのアルキルシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジエチルジエトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、メチルエチルジエトキシシラン、メチルフェニルジエトキシシラン、エチルフェニルジエトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジエチルジメトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、メチルエチルジメトキシシラン、メチルフェニルジメトキシシラン、エチルフェニルジメトキシシランなどのが挙げられる。
また、メチルジメトキシシラン、メチルジエトキシシラン、エチルジメトキシシラン、エチルジエトキシシラン、プロピルジメトキシシラン、プロピルジエトキシシラン、フェニルジメトキシシラン、フェニルジエトキシシランなどのケイ素原子に直接水素原子が結合したものも用いることもできる。
【００２６】
次に本発明において用いることができる一般式（２）で表されるアルコキシシラン等は、その出発原料であるアルコキシシランが６、５、４、３および２官能性のものである。
一般式（２）で表されるアルコキシシランのうち、Ｒ^７が−（ＣＨ_２）_ｎ−の化合物で６、５、４、３および２官能性のアルコキシシランの具体例として、まず６官能性のアルコキシランの例として、ビス（トリメトキシシリル）メタン、ビス（トリエトキシシリル）メタン、ビス（トリフェノキシシリル）メタン、ビス（トリメトキシシリル）エタン、ビス（トリエトキシシリル）エタン、ビス（トリフェノキシシリル）エタン、１，３−ビス（トリメトキシシリル）プロパン、１，３−ビス（トリエトキシシリル）プロパン、１，３−ビス（トリフェノキシシリル）プロパン、１，４−ビス（トリメトキシシリル）ベンゼン、１，４−ビス（トリエトキシシリル）ベンゼンなどが挙げられる。
【００２７】
５官能性のアルコキシシランとして、１−（ジメトキシメチルシリル）−１−（トリメトキシシリル）メタン、１−（ジエトキシメチルシリル）−１−（トリエトキシシリル）メタン、１−（ジ−ｎ−プロポキシメチルシリル）−１−（トリ−ｎ−プロポキシシリル）メタン、１−（ジ−ｉ−プロポキシメチルシリル）−１−（トリ−ｉ−プロポキシシリル）メタン、１−（ジ−ｎ−ブトキシメチルシリル）−１−（トリ−ｎ−ブトキシシリル）メタン、１−（ジ−ｓｅｃ−ブトキシメチルシリル）−１−（トリ−ｓｅｃ−ブトキシシリル）メタン、１−（ジ−ｔ−ブトキシメチルシリル）−１−（トリ−ｔ−ブトキシシリル）メタン、１−（ジメトキシメチルシリル）−２−（トリメトキシシリル）エタン、１−（ジエトキシメチルシリル）−２−（トリエトキシシリル）エタン、１−（ジ−ｎ−プロポキシメチルシリル）−２−（トリ−ｎ−プロポキシシリル）エタン、１−（ジ−ｉ−プロポキシメチルシリル）−２−（トリ−ｉ−プロポキシシリル）エタン、１−（ジ−ｎ−ブトキシメチルシリル）−２−（トリ−ｎ−ブトキシシリル）エタン、１−（ジ−ｓｅｃ−ブトキシメチルシリル）−２−（トリ−ｓｅｃ−ブトキシシリル）エタン、１−（ジ−ｔ−ブトキシメチルシリル）−２−（トリ−ｔ−ブトキシシリル）エタンなどが挙げられる。
【００２８】
４官能性のアルコキシシランの例として、ビス（ジメトキシメチルシリル）メタン、ビス（ジエトキシメチルシリル）メタン、ビス（ジメトキシフェニルシリル）メタン、ビス（ジエトキシフェニルシリル）メタン、ビス（ジメトキシメチルシリル）エタン、ビス（ジエトキシメチルシリル）エタン、ビス（ジメトキシフェニルシリル）エタン、ビス（ジエトキシフェニルシリル）エタン、１，３−ビス（ジメトキシメチルシリル）プロパン、１，３−ビス（ジエトキシメチルシリル）プロパン、１，３−ビス（ジメトキシフェニルシリル）プロパン、１，３−ビス（ジエトキシフェニルシリル）プロパンなどが挙げられる。
【００２９】
３官能性のアルコキシシランとして、１−（ジメトキシメチルシリル）−１−（メトキシジメチルシリル）メタン、１−（ジエトキシメチルシリル）−１−（エトキシジメチルシリル）メタン、１−（ジ−ｎ−プロポキシメチルシリル）−１−（ｎ−プロポキジメチルシリル）メタン、１−（ジ−ｉ−プロポキシメチルシリル）−１−（ｉ−プロポキシジメチルシリル）メタン、１−（ジ−ｎ−ブトキシメチルシリル）−１−（ｎ−ブトキシジメチルシリル）メタン、１−（ジ−ｓｅｃ−ブトキシメチルシリル）−１−（ｓｅｃ−ブトキシジメチルシリル）メタン、１−（ジ−ｔ−ブトキシメチルシリル）−１−（ｔ−ブトキシジメチルシリル）メタン、１−（ジメトキシメチルシリル）−２−（メトキシジメチルシリル）エタン、１−（ジエトキシメチルシリル）−２−（エトキシジメチルシリル）エタン、１−（ジ−ｎ−プロポキシメチルシリル）−２−（ｎ−プロポキシジメチルシリル）エタン、１−（ジ−ｉ−プロポキシメチルシリル）−２−（ｉ−プロポキシジメチルシリル）エタン、１−（ジ−ｎ−ブトキシメチルシリル）−２−（ｎ−ブトキシジメチルシリル）エタン、１−（ジ−ｓｅｃ−ブトキシメチルシリル）−２−（ｓｅｃ−ブトキシジメチルシリル）エタン、１−（ジ−ｔ−ブトキシメチルシリル）−２−（ｔ−ブトキシジメチルシリル）エタンなどが挙げられる。
【００３０】
２官能性のアルコキシシランの具体例として、ビス（メトキシジメチルシリル）メタン、ビス（エトキシジメチルシリル）メタン、ビス（メトキシジフェニルシリル）メタン、ビス（エトキシジフェニルシリル）メタン、ビス（メトキシジメチルシリル）エタン、ビス（エトキシジメチルシリル）エタン、ビス（メトキシジフェニルシリル）エタン、ビス（エトキシジフェニルシリル）エタン、１，３−ビス（メトキシジメチルシリル）プロパン、１，３−ビス（エトキシジメチルシリル）プロパン、１，３−ビス（メトキシジフェニルシリル）プロパン、１，３−ビス（エトキシジフェニルシリル）プロパンなどが挙げられる。
【００３１】
一般式（２）でＲ^７が酸素原子の化合物で６官能性のアルコキシシランとしては、ヘキサメトキシジシロキサン、ヘキサエトキシジシロキサン、ヘキサフェノキシジシロキサン、１，１，１，３，３−ペンタメトキシ−３−メチルジシロキサン、５官能性のアルコキシシランとして１，１，１，３，３−ペンタエトキシ−３−メチルジシロキサン、１，１，１，３，３−ペンタメトキシ−３−フェニルジシロキサン、１，１，１，３，３−ペンタエトキシ−３−フェニルジシロキサン、４官能性のアルコキシシランとして１，１，３，３−テトラメトキシ−１，３−ジメチルジシロキサン、１，１，３，３−テトラエトキシ−１，３−ジメチルジシロキサン、１，１，３，３−テトラメトキシ−１，３　−ジフェニルジシロキサン、１，１，３，３−テトラエトキシ−１，３−ジフェニルジシロキサン、３官能性のアルコキシシランとして１，１，３　−トリメトキシ−１，３，３−トリメチルジシロキサン、１，１，３−トリエトキシ−１，３，３−トリメチルジシロキサン、１，１，３−トリメトキシ−１，３，３−トリフェニルジシロキサン、１，１，３−トリエトキシ−１，３，３−トリフェニルジシロキサン、
【００３２】
２官能性のアルコキシシランとして１，３−ジメトキシ−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン、１，３−ジエトキシ−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン、１，３−ジメトキシ−１，１，３，３−テトラフェニルジシロキサン、１，３−ジエトキシ−１，１，３，３−テトラフェニルジシロキサン、３−ジメトキシ−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン、１，３−ジエトキシ−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン、１，３−ジメトキシ−１，１，３，３−テトラフェニルジシロキサン、１，３−ジエトキシ−１，１，３，３−テトラフェニルジシロキサンなどを挙げることができる。
【００３３】
一般式（２）で、ｐが０の化合物で６、５、４、３および２官能性のアルコキシシランの具体例として、６官能性のアルコキシシランの具体例としてヘキサメトキシジシラン、ヘキサエトキシジシラン、ヘキサフェニキシジシラン、５官能性のアルコキシシランの具体例として１，１，１，２，２−ペンタメトキシ−２−メチルジシラン、１，１，１，２，２−ペンタエトキシ−２−メチルジシラン、１，１，１，２，２−ペンタメトキシ−２−フェニルジシラン、１，１，１，２，２−ペンタエトキシ−２−フェニルジシラン、４官能性のアルコキシシランの具体例として１，１，２，２−テトラメトキシ−１，２−ジメチルジシラン、１，１，２，２−テトラエトキシ−１，２−ジメチルジシラン、１，１，２，２−テトラメトキシ−１，２−ジフェニルジシラン、１，１，２，２−テトラエトキシ−１，２−ジフェニルジシラン、３官能性のアルコキシシランの具体例として１，１，２−トリメトキシ−１，２，２　−トリメチルジシラン、１，１，２−トリエトキシ−　１，２，２−トリメチルジシラン、１，１，２−トリメトキシ−１，２，２−トリフェニルジシラン、１，１，２−トリエトキシ−１，２，２−トリフェニルジシラン、２官能性のアルコキシシランの具体例として１，２−ジメトキシ−１，１，２，２−テトラメチルジシラン、１，２−ジエトキシ−１，１，２，２−テトラメチルジシラン、１，２−ジメトキシ−１，１，２，２−テトラフェニルジシラン、１，２−ジエトキシ−１，１，２，２−テトラフェニルジシランなどを挙げることができる。
【００３４】
尚、本発明の１、２、３官能性のアルコキシシランとして、先述したようなアルコキシシランが用いられるが、その中でより好ましいのが、トリメチルエトキシシラン、トリエチルエトキシシラン、トリプロピルエトキシシラン、トリフェニルエトキシシラン、フェニルジメチルエトキシシラン、ジフェニルメチルエトキシシランなどのケイ素原子に直接３個のアルキル基またはアリール基が結合したアルキルシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジエチルジエトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、メチルエチルジエトキシシラン、メチルフェニルジエトキシシラン、エチルフェニルジエトキシシランなどのケイ素原子に直接２個のアルキル基またはアリール基が結合したアルキルシラン、さらに、前述したケイ素原子に直接１個のアルキル基またはアリール基が結合したアルコキシシランが挙げられる。
【００３５】
また、メチルジエトキシシラン、ジメチルビニルメトキシシラン、ジメチルビニルエトキシシランなどのケイ素原子に直接水素原子が結合したものも用いることもできる。
さらに、ビス（エトキシジメチルシリル）メタン、ビス（エトキシジフェニルシリル）メタン、ビス（エトキシジメチルシリル）エタン、ビス（エトキシジフェニルシリル）エタン、１，３−ビス（エトキシジメチルシリル）プロパン、１，３−ビス（エトキシジフェニルシリル）プロパン、３−ジエトキシ−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン、１，３−ジエトキシ　−１，１，３，３−テトラフェニルジシロキサン、１，２−ジエトキシ−１，１，２，２−テトラメチルジシラン、１，２−ジエトキシ−１，１，２，２−テトラフェニルジシランなどを好適に用いることができる。
【００３６】
これらの中で特に好ましいアルコキシシランとして、トリメチルエトキシシラン、トリエチルエトキシシラン、トリプロピルエトキシシラン、トリフェニルエトキシシラン、フェニルジメチルエトキシシラン、ジフェニルメチルエトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジエチルジエトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、メチルエチルジエトキシシラン、メチルフェニルジエトキシシラン、エチルフェニルジエトキシシランが挙げられる。
本発明のシリカ前駆体には上記のアルコキシシランおよびその加水分解、重縮合したもののうち少なくともいずれか１種以上含んでいる。
【００３７】
加水分解物には部分加水分解物も含まれる。例えば、シリカ前駆体（Ａ）に用いられる４官能性のアルコキシシランの場合、４つのアルコキシのすべてが加水分解されている必要はなく、例えば１個だけが加水分解されているもの、２個以上が加水分解されているもの、あるいはこれらの混合物が存在していてもかまわない。
また、本発明におけるシリカ前駆体（Ａ）に含有される重縮合物とは、シリカ前駆体（Ａ）の加水分解物のシラノール基が縮合してＳｉ−Ｏ−Ｓｉ結合を形成したものであるが、シラノール基がすべて縮合している必要はなく、一部のシラノール基が縮合したもの、縮合の程度が異なっているものの混合物などを表す。
【００３８】
本発明の塗布組成物に含まれるシリカ前駆体は上記一般式（１）、一般式（２）で表されるアルコキシシラン等のうち、１〜３官能性アルコキシシラン等に由来する珪素原子の合計は全体の１〜６官能性アルコキシシランに由来する珪素原子に対して５モル％〜８０モル％包含されることが特徴である。好ましくは１０モル％〜７０モル％、より好ましくは２０モル％〜６０モル％である。１〜３官能性アルコキシシランに由来する珪素原子が５モル％未満では薄膜の比誘電率が低下しないし、一方８０モル％を超えると薄膜の機械強度が低下してしまうので好ましくない。
本発明の塗布組成物中のシリカ前駆体（仕込みのアルコキシシランの全量が加水分解および縮合反応して得られるシロキサン）の含有量は全固形分濃度として表すことができる。全固形分濃度は目的とする絶縁性薄膜の膜厚にもよるが、２〜３０重量％が好ましく、保存安定性にも優れる。
【００３９】
次に本発明の塗布組成物には、次の一般式で表される有機化合物（Ｂ）が塗布組成物の全量に対し、０．０１ｗｔ％以上２ｗｔ％以下含まれている必要がある。
Ｒ^８（ＣＨ_３）Ｃ（ＯＲ^９）−Ｃ≡Ｃ−Ｃ（ＯＲ^９’）（ＣＨ_３）Ｒ^８’
式中、Ｒ^８とＲ^８’は同一でも異なっていてもよく、それぞれＨまたは炭素数１〜１０のアルキル基、Ｒ^９とＲ^９’は同一でも異なっていてもよく、それぞれＨまたは（ＯＣＨ_２ＣＨ_２）_ｘＨ（ｘは２０以下の整数）で表される置換基を示す。
【００４０】
該成分は、本発明の塗布組成物において組成物としての安定性を著しく向上させ、スピンコートなどの塗布時に、ストリエーションを起こさない、極めて均一性の高い塗膜の形成を可能にする。その理由は明確ではないが、該化合物の有するノニオン性の界面活性剤としての作用が関係しているものと推定される。当然、その他の成分の種類や組成にも依存するが、塗布組成物の全量に対する（Ｂ）成分の含有量は、好ましくは０．０２ｗｔ％以上１ｗｔ％以下、より好ましくは０．０３ｗｔ％以上０．１ｗｔ％以下の範囲にあると、塗布時の安定性がより高い、すなわち凝集物やストリエーションの発生がより抑えられた本発明の塗布組成物を得ることができる。特に（Ｂ）成分の含有量が０．０１ｗｔ％未満の場合には、本発明の効果が得られ難くなり、また２ｗｔ％を超えると塗布時の凝集物の発生等によって膜質が大幅に低下するため望ましくない。
【００４１】
次に、（Ｂ）成分の構造について詳細に記載する。
Ｒ^８とＲ^８’はそれぞれ水素または炭素数１〜１０のアルキル基であるが、アルキル基は、より具体的には、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉｓｏ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｉｓｏ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基等、炭素数が１から１０までで不飽和結合を含まないすべての炭化水素基を含む。Ｒ^８とＲ^８’は同一であっても異なっていてもよい。
また、Ｒ^９とＲ^９’はそれぞれ水素、炭素数１〜１０のアルキル基、（ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ）_ｘＯＨ（ｘは２０以下の整数）で表される置換基のいずれかを示す。炭素数１〜１０のアルキル基は、Ｒ^８、Ｒ^８’の場合と同様、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉｓｏ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｉｓｏ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基等、炭素数が１から１０までで不飽和結合を含まないすべての炭化水素基を含む。Ｒ^９とＲ^９’はさらに（ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ）_ｘＨ（ｘは２０以下の整数）で表されるオキシエチレン鎖であってもよい。Ｒ^９とＲ^９’は同一であっても異なっていてもよい。以上の条件を満たす化合物を（Ｂ）成分として使用すると、本発明における上述したいくつかの効果が発現する。
【００４２】
（Ｂ）成分の具体例として、２，４，７，９−テトラメチル−５−デシン−４，７−ジオール、３，６−ジメチル−４−オクチン−３，６−ジオール、３，５−ジメチル−１−ヘキシン−３−ジオール、２，５，８，１１−テトラメチル−６−ドデシン−５，８−ジオール、２，５−ジメチル−３−ヘキシン−２，５−ジオール、３−メチル−１−ブチン−３−ジオール、３−メチル−１−ペンチン−３−ジオール、及びこれらのエチレンオキサイド付加物が挙げられる。これらの内で特に好ましいものは、２，４，７，９−テトラメチル−５−デシン−４，７−ジオール、２，５，８，１１−テトラメチル−６−ドデシン−５，８−ジオール及びそれらのエチレンオキサイド付加物である。
【００４３】
本発明の塗布組成物においては、これら（Ａ）成分、（Ｂ）成分の他に水（Ｃ）含まれていることが必要である。本発明において水が必要な理由は、シリカ前駆体の生成反応がアルコキシシランの加水分解反応であるためである。通常、水（Ｃ）は、加水分解の反応剤としてだけでなく溶媒としても作用するので、塗布組成物中に含まれる水の量は塗布組成物全重量に対して１０ｗｔ％から７０ｗｔ％、好ましくは２０ｗｔ％から６０ｗｔ％であることが必要である。１０ｗｔ％より少ないと機械的強度が発現されず、７０ｗｔ％より多いと塗布組成物において、シリカ前駆体が析出しやすくなるので望ましくない。
本発明の塗布組成物は、以上のように、（Ａ）成分および（Ｂ）成分と水から成る塗布組成物であるが、これに有機ポリマー（Ｄ）と有機溶媒（Ｅ）を混合することによって、さらに好適な本発明の塗布組成物を得ることができる。
【００４４】
次に本発明において特に好ましい有機ポリマー（Ｄ）について説明する。
（Ｄ）成分である有機ポリマーは、（Ａ）成分が硬化する過程または硬化後に、熱により揮発もしくはガスを発生し、好ましくは系外に揮散することにより、絶縁薄膜中に空孔を形成し、該絶縁膜の比誘電率を低下させる作用をする成分である。該（Ｄ）成分が揮発もしくはガスを発生する温度は、大気圧下、０〜５００℃の範囲であり、好ましくは２５〜４００℃の範囲である。
さらに有機ポリマーは、本発明によって得られる塗布組成物において安定に溶解していることが必要であるが、上述した条件を満たすものとして、脂肪族ポリエーテル、脂肪族ポリエステル、脂肪族ポリカーボネート、脂肪族ポリアンハイドライドなどを主なる構成成分とするポリマーを用いることができる。これらの中でも脂肪族ポリエーテル鎖を骨格構造にもつものが特に好ましい。有機ポリマーは単独で用いても良いし、２種類以上を併用しても良いし、また有機ポリマーの主鎖は、本発明の効果を損なわない範囲で、上記以外の任意の繰り返し単位を有するポリマー鎖を含んでいてもよい。
【００４５】
具体的な脂肪族ポリエーテルの例を示すと、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリイソブチレングリコール、ポリトリメチレングリコール、ポリテトラメチレングリコール、ポリペンタメチレングリコール、ポリヘキサメチレングリコール、ポリジオキソラン、ポリジオキセパンが挙げられる。この他にも上述したポリエーテル鎖から成る直鎖状の２元ブロックコポリマー、直鎖状の３元ブロックコポリマー、さらには分岐状の２元以上のポリエーテルブロックコポリマーなどを挙げることができる。
本発明では、これらの中でも特に、直鎖状または分岐状の２元以上のポリエーテルブロックコポリマーを用いるとより好適な本発明の塗布組成物を得ることができる。
【００４６】
具体的な直鎖状２元ブロックコポリマーとしては、ポリエチレングリコールポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコールポリブチレングリコールを、直鎖状の３元ブロックコポリマーとしては、ポリエチレングリコールポリプロピレングリコールポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコールポリエチレングリコールポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコールポリブチレングリコールポリエチレングリコールなどが挙げることができるがこれらに限定されるものではない。
さらに、分岐状のブロックコポリマーとして、グリセロール、エリスリトール、ペンタエリスリトール、ペンチトール、ペントース、ヘキシトール、ヘキソース、ヘプトースなどに代表される糖鎖に含まれるヒドロキシル基のうちの少なくとも３つとポリマー鎖が結合した構造、及び／又はヒドロキシル酸に含まれるヒドロキシル基とカルボキシル基のうち少なくとも３つがブロックコポリマー鎖が結合した構造が挙げられる。
【００４７】
上記の分岐状のブロックコポリマーを得るために用いられる糖鎖以外でも例えば、ソルビトール、マンニトール、キシリトール、スレイトール、マルチトール、アラビトール、ラクチトール、アドニトール、セロビトール、グルコース、フルクトース、スクロース、ラクトース、マンノース、ガラクトース、エリスロース、キシルロース、アルロース、リボース、ソルボース、キシロース、アラビノース、イソマルトース、デキストロース、グルコヘプトースを分岐骨格として含む分岐状のブロックコポリマーを使用することもできる。また、分岐骨格としてのヒドロキシル酸の具体的な例としてはクエン酸、リンゴ酸、酒石酸、グルコン酸、グルクロン酸、グルコヘプトン酸、グルコオクタン酸、スレオニン酸、サッカリン酸、ガラクトン酸、ガラクタル酸、ガラクツロン酸、グリセリン酸、ヒドロキシコハク酸などが挙げられる。こうした分岐ポリマーの具体例としてグリセロールポリエチレングリコールポリプロピレングリコール、エリスリトールポリエチレングリコールポリプロピレングリコールポリエチレングリコールなどを挙げることができるがこれらに限定されるものではない。
【００４８】
次に本発明の塗布組成物に添加し得る脂肪族ポリエーテル以外のポリマーである、脂肪族ポリエステル、脂肪族ポリカーボネート、脂肪族ポリアンハイドライドやその他のポリマーについて具体的に例示する。
脂肪族ポリエステルとして挙げられるのは、ポリグリコリド、ポリカプロラクトン、ポリピバロラクトン等のヒドロキシカルボン酸の重縮合物やラクトンの開環重合物、およびポリエチレンオキサレート、ポリエチレンスクシネート、ポリエチレンアジペート、ポリエチレンセバケート、ポリプロピレンアジペート、ポリオキシジエチレンアジペート等のジカルボン酸とアルキレングリコールとの重縮合物、ならびにエポキシドと酸無水物との開環共重合物である。
【００４９】
脂肪族ポリカーボネートの例としては、主鎖部分としてポリエチレンカーボネート、ポリプロピレンカーボネート、ポリペンタメチレンカーボネート、ポリヘキサメチレンカーボネート等のポリカーボネートを挙げることができる。
脂肪族ポリアンハイドライドの例としては、主鎖部分としてポリマロニルオキシド、ポリアジポイルオキシド、ポリピメロイルオキシド、ポリスベロイルオキシド、ポリアゼラオイルオキシド、ポリセバコイルオキシド等のジカルボン酸の重縮合物を挙げることができる。
さらに本発明では、分子内に少なくとも一つの重合可能な官能基を有する有機ポリマーも用いることができる。このようなポリマーを用いると、理由は定かではないが、多孔性シリカ薄膜の強度が向上する。
【００５０】
重合可能な官能基としては、ビニル基、ビニリデン基、ビニレン基、グリシジル基、アリル基、アクリレート基、メタクリレート基、アクリルアミド基、メタクリルアミド基、カルボキシル基、ヒドロキシル基、イソシアネート基、アミノ基、イミノ基、ハロゲン基などが挙げられる。これらの官能基はポリマーの主鎖中にあっても末端にあっても側鎖にあってもよい。またポリマー鎖に直接結合していてもよいし、アルキレン基やエーテル基などのスペーサーを介して結合していてもよい。同一のポリマー分子が１種類の官能基を有していても、２種類以上の官能基を有していてもよい。上に挙げた官能基の中でも、ビニル基、ビニリデン基、ビニレン基、グリシジル基、アリル基、アクリレート基、メタクリレート基、アクリルアミド基、メタクリルアミド基が好適に用いられる。
重合可能な官能基を有するポリマーの基本骨格としては、前述したポリマーの例と同様、熱分解温度の低い脂肪族ポリエーテル、脂肪族ポリエステル、脂肪族ポリカーボネート、脂肪族ポリアンハイドライドを主なる構成要素とするものを用いるのが特に好ましい。
【００５１】
本発明で用いることができる重合性官能基を有する有機ポリマーの基本骨格を更に具体的に示す。
なお、以下アルキレンとはメチレン、エチレン、プロピレン、トリメチレン、テトラメチレン、ペンタメチレン、ヘキサメチレン、イソプロピリデン、１，２−ジメチルエチレン、２，２−ジメチルトリメチレンなどを指し、ここでのアルキルとは炭素数１〜８のアルキル基およびフェニル基、トリル基、アニシル基などのアリル基も含み、−メタ−アクリレートとはアクリレートとメタクリレートの両方を指し、ジカルボン酸とは蓚酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸などの有機酸を指す。
【００５２】
脂肪族ポリエーテルの例としては、ポリアルキレングリコール−メタ−アクリレート、ポリアルキレングリコールジ−メタ−アクリレート、ポリアルキレングリコールアルキルエーテル−メタ−アクリレート、ポリアルキレングリコールビニルエーテル、ポリアルキレングリコールジビニルエーテル、ポリアルキレングリコールアルキルエーテルビニルエーテル、ポリアルキレングリコールグリシジルエーテル、ポリアルキレングリコールジグリシジルエーテル、ポリアルキレングリコールアルキルエーテルグリシジルエーテルなどに代表される、末端にアクリレート基、メタクリレート基、ビニル基、グリシジル基などの重合可能な官能基をもつ脂肪族ポリエーテルが挙げられる。当然、前述した２元以上の直鎖または分岐状のポリエーテルブロックコポリマーをこれらの官能基で修飾したポリマーも含まれる。
【００５３】
脂肪族ポリエステルの例としては、ポリカプロラクトン−メタ−アクリレート、ポリカプロラクトンビニルエーテル、ポリカプロラクトングリシジルエーテル、ポリカプロラクトンビニルエステル、ポリカプロラクトングリシジルエステル、ポリカプロラクトンビニルエステル−メタ−アクリレート、ポリカプロラクトングリシジルエステル−メタ−アクリレート、ポリカプロラクトンビニルエステルビニルエーテル、ポリカプロラクトングリシジルエステルビニルエーテル、ポリカプロラクトンビニルエステルグリシジルエーテル、ポリカプロラクトングリシジルエステルグリシジルエーテル、さらに、ポリカプロラクトントリオールの−メタ−アクリレート、ジ−メタ−アクリレート、トリ−メタ−アクリレート、ビニルエーテル、ジビニルエーテル、トリビニルエーテル、グリシジルエーテル、ジグリシジルエーテル、トリグリシジルエーテルの各末端修飾ポリマーなどに代表される、片末端あるいは両末端にアクリレート基、メタクリレート基、ビニル基、グリシジル基等の重合可能な官能基をもつポリカプロラクトンやジカルボン酸とアルキレングリコールとの重合体であり、片末端あるいは両末端にアクリレート基、メタクリレート基、ビニル基、グリシジル基などの重合可能な官能基をもつ脂肪族ポリエステルを挙げることができる。
【００５４】
片末端あるいは両末端にアクリレート基、メタクリレート基、ビニル基、グリシジル基等の重合可能な官能基をもつ脂肪族ポリアルキレンカーボネートや、ジカルボン酸無水物の重合体であり、末端にアクリレート基、メタクリレート基、ビニル基、グリシジル基等の重合可能な官能基をもつ脂肪族ポリアンハイドライドも本発明で使用する有機ポリマーとして有効である。
これらの他に、ポリグリシジル−メタ−アクリレート、ポリアリル−メタ−アクリレート、ポリビニル−メタ−アクリレート等、側鎖にビニル基、グリシジル基、アリル基等の官能基を有するポリアクリル酸エステルやポリメタクリル酸エステルや、ポリケイ皮酸ビニル、ポリビニルアジドベンザル、エポキシ樹脂等の添加も場合によっては有効である。ただし、これらの例示によって本発明で使用される有機ポリマーが限定されるものではない。
【００５５】
また、本発明で用いられる有機ポリマーの末端基は特に限定されないが水酸基はじめ、炭素数１〜８の直鎖状、分岐状および環状のアルキルエーテル基、アルキルエステル基、アルキルアミド基、アルキルカーボネート基、ウレタン基およびトリアルキルシリル基変性したものを用いることができる。以下に、その具体的一例として、脂肪族ポリエーテルの末端基を変性した例を記載する。
すなわち、上記アルキレングリコール類の少なくとも一つの末端をアルキルエーテル化した例として、例えばメチルエーテル、エチルエーテル、プロピルエーテル、グリシジルエーテルなどでエーテル化したものが挙げられ、具体的には例えば、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル、ポリエチレングリコールジメチルエーテル、ポリプロピレングリコールジメチルエーテル、ポリイソブチレングリコールジメチルエーテル、ポリエチレングリコールジエチルエーテル、ポリエチレングリコールモノエチルエーテル、ポリエチレングリコールジブチルエーテル、ポリエチレングリコールモノブチルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリエチレンポリプロピレングリコールジメチルエーテル、グリセリンポリエチレングリコールトリメチルエーテル、ペンタエリスリトールポリエチレングリールテトラメチルエーテル、ペンチトールポリエチレングリコールペンタメチルエーテル、ソルビトールポリエチレングリコールヘキサメチルエーテルなどが特に好ましく用いられる。
【００５６】
末端にエステル基を持つ脂肪族ポリエーテル類としては、上記アルキレングリコール類の少なくとも一つの末端を例えば、酢酸エステル、プロピオン酸エステル、アクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、安息香酸エステルとしたものなどが挙げられる。また、アルキレングリコール類の末端をカルボキシメチルエーテル化し、この末端のカルボキシル基をアルキルエステル化したものも好適に用いられる。具体的には例えば、ポリエチレングリコールモノ酢酸エステル、ポリエチレングリコールジ酢酸エステル、ポリプロピレングリコールモノ酢酸エステル、ポリプロピレングリコールジ酢酸エステル、ポリエチレングリコールジ安息香酸エステル、ポリエチレングリコールジアクリル酸エステル、ポリエチレングリコールモノメタクリル酸エステル、ポリエチレングリコールジメタクリル酸エステル、ポリエチレングリコールビスカルボキシメチルエーテルジメチルエステル、ポリプロピレングリコールビスカルボキシメチルエーテルジメチルエステル、グリセリンポリエチレングリコールトリ酢酸エステル、ペンタエリスリトールポリエチレングリコールテトラ酢酸エステル、ペンチトールポリエチレングリコールペンタ酢酸エステル、ソルビトールポリエチレングリコールヘキサ酢酸エステルなどが好ましい例として挙げられる。
【００５７】
末端にアミド基を持つ脂肪族ポリエーテル類としては、上記のアルキレングリコール類の少なくとも一つの末端をカルボキシメチルエーテル化し、そのあとでアミド化する方法、ヒドロキシ末端をアミノ基変性したあとにアミド化する方法、などが挙げられ、具体的には、ポリエチレングリコールビス（カルボキシメチルエーテルジメチルアミド）、ポリプロピレングリコールビス（カルボキシメチルエーテルジメチルアミド）、ポリエチレングリコールビス（カルボキシメチルエーテルジエチルアミド）、グリセリンポリエチレングリコールトリカルボキシメチルエーテルジメチルアミド、ペンタエリスリトールポリエチレングリコールテトラカルボキシメチルエーテルジメチルアミド、ペンチトールポリエチレングリコールペンタカルボキシメチルエーテルジメチルアミド、ソルビトールポリエチレングリコールヘキサカルボキシメチルエーテルジメチルアミドなどが好適に用いられる。
【００５８】
末端にアルキルカーボネート基を持つ脂肪族ポリエーテル類としては、例えば上記アルキレングリコール類の少なくとも一つの末端に、ホルミルエステル基をつける方法が挙げられ、具体的には、ビスメトキシカルボニルオキシポリエチレングリコール、ビスエトキシカルボニルオキシポリエチレングリコール、ビスエトキシカルボニルオキシポリプロピレングリコール、ビスｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシポリエチレングリコールなどが挙げられる。
さらに末端にウレタン基やトリアルキルシリル基で変性した脂肪族ポリエーテル類も使用することができる。トリアルキルシリル変性ではトリメチルシリル変性が特に好ましく、これはトリメチルクロロシランやトリメチルクロロシリルアセトアミドまたはヘキサメチルジシラザンなどによって変性できる
さらに本発明に用いられる有機ポリマーは部分的または全体が環状であるポリマーを用いても良く、環状ポリエーテル、環状ポリエステルなどを用いることができる。
【００５９】
以上、本発明に用いることのできる有機ポリマーについて説明したが、有機ポリマーの分子量は数平均で１００〜１００万、好ましくは１００〜３０万、より好ましくは２００〜５万である。
分子量が１００以下であると、有機ポリマーがシリカ／有機ポリマー複合体から除去されるのが速すぎて、所望するような空孔率を持った多孔性シリカ薄膜が得られないし、ポリマー分子量が１００万を越えると、今度はポリマーが除去される速度が遅すぎて、ポリマーが残存するので好ましくない。特に、より好ましいポリマーの分子量は２００〜５万であり、この場合には、低温でかつ短時間に所望するような高い空孔率を持った多孔性シリカ薄膜がきわめて容易に得られる。
【００６０】
ここで注目すべきことは、多孔性シリカの空孔の大きさは、ポリマーの分子量にあまり依存せずに、きわめて小さくかつ均一なことである。
特に有機ポリマーとして前述したような直鎖状または分岐状の２元以上のポリエーテルブロックコポリマーを使用する場合には、該ブロックコポリマーの各ブロックの分子量は１００〜１０万、好ましくは１００〜５万、より好ましくは２００〜２万である。分子量が１００以下でも１０万以上でも、シリカ前駆体とポリマー間で適度な相溶性が得らないので、多孔性シリカ薄膜の機械強度が発現されない。
【００６１】
本発明における有機ポリマーの添加量は、出発原料であるアルコキシシランの仕込み全量が加水分解および縮合反応したと仮定して得られるシロキサン１重量部に対し０．０１〜１０重量部、好ましくは０．０５〜５重量部、さらに好ましくは０．５〜３重量部である。有機ポリマーの添加量が０．０１重量部より少ないと十分な空孔を有する多孔体が得られず、また１０重量部より多くても、十分な機械強度を有する多孔性シリカが得られず、実用性に乏しい。
尚、アルコキシシランの仕込み全量が加水分解および縮合反応したと仮定して得られるシロキサンとは一般式（１）、（２）のＳｉＯＲ^２基、ＳｉＯＲ^４基やＳｉＯＲ^５基が１００％加水分解されてＳｉＯＨになり、さらに１００％縮合してシロキサン構造になったものを言う。
【００６２】
さらに本発明では特に、（Ｄ）成分である有機ポリマーが、上述した直鎖状または分岐状の２元以上のポリエーテルブロックコポリマーを含み、さらにその含有量が、塗布組成物中に含有する全有機ポリマーに対して１０重量％以上、好ましくは３０重量％以上、さらに好ましくは５０重量％以上であれば、より好適に絶縁薄膜製造用の塗布組成物を得ることができる。
本発明において、直鎖または分岐状の２元以上のブロックコポリマーが特に（Ｄ）成分として相応しいのは、後述するような加熱焼成によって塗膜が多孔薄膜に変換する場合に、熱分解温度が低く、かつシリカ前駆体およびシリカとの相溶性が適度に良好であるためである。直鎖状または分岐状の２元以上のブロックコポリマーで、ブロック部が炭素数１〜８の直鎖状および環状のオキシアルキレン基を繰り返し単位とする有機ポリマーであり、該ブロックコポリマー単位を１本のポリマー鎖中に６０重量％以上含むものである。
【００６３】
ここで、相溶性が適度に良好であるとは、本発明で使用するブロックコポリマーが、シリカ前駆体およびシリカとの親和性が良好なもののことを言う。両者の親和性が適度に良好であると、シリカ前駆体とポリマー間での相分離状態が制御され、その後の工程でブロックコポリマーがシリカから抜き去られて多孔体が形成される場合に極端に大きなまたは小さな孔径を持つ孔がなく、孔径が均一になるので、得られた薄膜の表面平滑性がさらに向上するし、また機械強度も高くなる。また、本発明の有機ポリマー中に占める直鎖状または分岐状の２元以上のポリエーテルブロックコポリマーの含有率が１０重量％未満であると、比誘電率が十分に下がらないので望ましくない。
また本発明では、ポリマーの代わりに、重合性有機モノマーを出発原料として用いることもできる。このとき、有機モノマーの中に重合可能な官能基が２つ以上含まれている場合や、前述したように重合可能な官能基を有する有機ポリマーが該モノマーと共存しているような場合には、本発明の塗布液に熱処理等の処理を施すことによって、得られる複合体の中の有機ポリマーは３次元網目及び／又はグラフト状の構造となる。
【００６４】
このような例として好適に用いることができるものは、アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、エチレンビスアクリレート、エチレンビスメタクリレート、α−シアノアクリル酸、α−シアノアクリル酸エステルなどのアクリル酸およびメタクリル酸誘導体、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、クロトン酸ビニル、安息香酸ビニル、クロロギ酸ビニルなどの酸ビニルエステル類、アクリルアミド、メタクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジアルキルアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジアルキルメタクリルアミド、Ｎ−アルキルアクリルアミド、Ｎ−アルキルメタクリルアミド、Ｎ，Ｎ’−メチレンビスアクリルアミド、Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−ビニルホルムアミド、Ｎ−ビニルアセトアミドなどのアミド類、スチレン、α−メチルスチレン、ｐ−メトキシスチレン、ジフェニルエチレン、ビニルナフタレン、ビニルアントラセン、ビニルシクロペンタン、ビニルシクロヘキサン、５−ビニル−２−ノルボルネンなどのビニル基含有炭化水素類、アクリロニトリル、メタクリロニトリルなどのアクリロニトリル誘導体、Ｎ−ビニルピリジン、Ｎ−ビニルカルバゾール、Ｎ−ビニルイミダゾールなどのビニルアミン類、ビニルアルキルエーテル、ビニルアルキルケトン、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、エポキシ樹脂などである。これらの重合性有機モノマーは、単独で用いても２種以上を併用しても構わない。
【００６５】
次に本発明の塗布組成物に用いることのできる有機溶媒（Ｅ）について説明する。
（Ｅ）成分は本発明の塗布組成物に有機ポリマーを使用する場合に、該組成物中でのポリマーの分散状態を制御する成分として重要である。
有機溶媒は、上述した（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）成分の塗布組成物中での安定な溶解あるいは分散を阻害しないものであれば特に限定されないが、その中でも、アルコール系溶媒、ケトン系溶媒、アミド系溶媒およびエステル系溶媒の群から選ばれた少なくとも１種の有機溶媒を使用することが好ましい。
【００６６】
ここで、アルコール系溶媒としては、メタノール、エタノール、ｎ−プロパノール、ｉ−プロパノール、ｎ−ブタノール、ｉ−ブタノール、ｓｅｃ−ブタノール、ｔ−ブタノール、ｎ−ペンタノール、ｉ−ペンタノール、２−メチルブタノール、ｓｅｃ−ペンタノール、ｔ−ペンタノール、３−メトキシブタノール、ｎ−ヘキサノール、２−メチルペンタノール、ｓｅｃ−ヘキサノール、２−エチルブタノール、ｓｅｃ−ヘプタノール、ヘプタノール−３、ｎ−オクタノール、２−エチルヘキサノール、ｓｅｃ−オクタノール、ｎ−ノニルアルコール、２，６−ジメチルヘプタノール−４、ｎ−デカノール、ｓｅｃ−ウンデシルアルコール、トリメチルノニルアルコール、ｓｅｃ−テトラデシルアルコール、ｓｅｃ−ヘプタデシルアルコール、フェノール、シクロヘキサノール、メチルシクロヘキサノール、３，３，５−トリメチルシクロヘキサノール、ベンジルアルコール、ジアセトンアルコールなどのモノアルコール系溶媒、およびエチレングリコール、１，２−プロピレングリコール、１，３−ブチレングリコール、ペンタンジオール−２，４、２−メチルペンタンジオール−２，４、ヘキサンジオール−２，５、ヘプタンジオール−　２，４、２−エチルヘキサンジオール−１，３、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、トリエチレングリコール、トリプロピレングリコールなどの多価アルコール系溶媒、
【００６７】
およびエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、エチレングリコールモノ−２−エチルブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノプロピルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテルなどの多価アルコール部分エーテル系溶媒などを挙げることができる。これらのアルコール系溶媒は、１種あるいは２種以上を同時に使用してもよい。
【００６８】
これらアルコールのうち、ｎ−プロパノール、ｉ−プロパノール、ｎ−ブタノール、ｉ−ブタノール、ｓｅｃ−ブタノール、ｔ−ブタノール、ｎ−ペンタノール、ｉ−ペンタノール、２−メチルブタノール、ｓｅｃ−ペンタノール、ｔ−ペンタノール、３−メトキシブタノール、ｎ−ヘキサノール、２−メチルペンタノール、ｓｅｃ−ヘキサノール、２−エチルブタノール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテルなどが好ましい。
【００６９】
ケトン系溶媒としては、アセトン、メチルエチルケトン、メチル−ｎ−プロピルケトン、メチル−　ｎ−ブチルケトン、ジエチルケトン、メチル−ｉ−ブチルケトン、メチル−ｎ−ペンチルケトン、エチル−ｎ−ブチルケトン、メチル−ｎ−ヘキシルケトン、ジ−ｉ−　ブチルケトン、トリメチルノナノン、シクロヘキサノン、２−ヘキサノン、メチルシクロヘキサノン、２，４−ペンタンジオン、アセトニルアセトン、アセトフェノン、フェンチョンなどのほか、アセチルアセトン、２，４−ヘキサンジオン、２，４−ヘプタンジオン、３，５　−ヘプタンジオン、２，４−オクタンジオン、３，５−　オクタンジオン、２，４−ノナンジオン、３，５−ノナンジオン、５−メチル−２，４−ヘキサンジオン、２，２，６，６−テトラメチル−３，５−ヘプタンジオン、１，１，１，５，５，５−ヘキサフルオロ−２，４−ヘプタンジオンなどのβ−ジケトン類などが挙げられる。これらのケトン系溶媒は、１種あるいは２種以上を同時に使用してもよい。
【００７０】
アミド系溶媒としては、ホルムアミド、Ｎ−メチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ−エチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルホルムアミド、アセトアミド、Ｎ−メチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−エチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルアセトアミド、Ｎ−メチルプロピオンアミド、Ｎ−メチルピロリドン、Ｎ−ホルミルモルホリン、Ｎ−ホルミルピペリジン、Ｎ−ホルミルピロリジン、Ｎ−アセチルモルホリン、Ｎ−アセチルピペリジン、Ｎ−アセチルピロリジンなどが挙げられる。これらアミド系溶媒は、１種あるいは２種以上を同時に使用してもよい。
【００７１】
エステル系溶媒としては、ジエチルカーボネート、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、炭酸ジエチル、酢酸メチル、酢酸エチル、γ−ブチロラクトン、γ−バレロラクトン、酢酸ｎ−プロピル、酢酸ｉ−プロピル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸ｉ−ブチル、酢酸ｓｅｃ−ブチル、酢酸ｎ−ペンチル、酢酸ｓｅｃ−ペンチル、酢酸３−メトキシブチル、酢酸メチルペンチル、酢酸２−エチルブチル、酢酸２−エチルヘキシル、酢酸ベンジル、酢酸シクロヘキシル、酢酸メチルシクロヘキシル、酢酸ｎ−ノニル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、酢酸エチレングリコールモノメチルエーテル、酢酸エチレングリコールモノエチルエーテル、酢酸ジエチレングリコールモノメチルエーテル、酢酸ジエチレングリコールモノエチルエーテル、酢酸ジエチレングリコールモノ−　ｎ−ブチルエーテル、
【００７２】
酢酸プロピレングリコールモノメチルエーテル、酢酸プロピレングリコールモノエチルエーテル、酢酸プロピレングリコールモノプロピルエーテル、酢酸プロピレングリコールモノブチルエーテル、酢酸ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、酢酸ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジ酢酸グリコール、酢酸メトキシトリグリコール、プロピオン酸エチル、プロピオン酸ｎ−ブチル、プロピオン酸ｉ−アミル、シュウ酸ジエチル、シュウ酸ジ−ｎ−ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ｎ−ブチル、乳酸ｎ−アミル、マロン酸ジエチル、フタル酸ジメチル、フタル酸ジエチルなどが挙げられる。これらエステル系溶媒は、１種あるいは２種以上を同時に使用してもよい。
なお、有機溶媒（Ｅ）として、アルコール系溶媒及び／又はエステル系溶媒を用いると、塗布性が良好で、かつ貯蔵安定性に優れた組成物が得られる点で好ましい。
【００７３】
本発明の塗布組成物は、上記の有機溶媒（Ｅ）を含有するが、（Ａ）成分として用いるシリカ前駆体を加水分解及び／又は縮合する際に、同様の溶媒を追加添加することができる。
さらに、本発明ではシリカ前駆体（Ａ）の加水分解及び／又は脱水縮合の速度を制御する目的で酸性化合物、塩基性化合物、金属キレート化合物のうち少なくとも一つの成分を添加物として添加することによっても、好適な半導体絶縁被膜前駆組成物を得る。該成分はシラノール基の縮合反応（重合）の触媒として作用する。これらのうち、特に以下に具体的に記載する酸化合物は、反応液に対する溶解性が良好であるので有効である。
【００７４】
本発明で用いることができる酸性化合物の具体例としては、塩酸、硝酸、硫酸、リン酸、フッ酸、トリポリリン酸、ホスフィン酸、ホスフォン酸などの無機酸を挙げることができる。有機酸としては、例えば、酢酸、プロピオン酸、ブタン酸、ペンタン酸、ヘキサン酸、ヘプタン酸、オクタン酸、ノナン酸、デカン酸、シュウ酸、マレイン酸、メチルマロン酸、アジピン酸、セバシン酸、没食子酸、酪酸、メリット酸、アラキドン酸、シキミ酸、２−エチルヘキサン酸、オレイン酸、ステアリン酸、リノール酸、リノレイン酸、サリチル酸、安息香酸、ｐ−アミノ安息香酸、ｐ−トルエンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、モノクロロ酢酸、ジクロロ酢酸、トリクロロ酢酸、トリフルオロ酢酸、ギ酸、マロン酸、スルホン酸、フタル酸、フマル酸、クエン酸、酒石酸、コハク酸、イソニコチン酸などを挙げることができる。これらの酸性化合物は１種あるいは２種以上を同時に使用しても良い。
【００７５】
また、塩基性化合物の例としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム、ピリジン、ピロール、ピペラジン、ピロリジン、ピペリジン、ピコリン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、ジメチルモノエタノールアミン、モノメチルジエタノールアミン、トリエタノールアミン、ジアザビシクロオクタン、ジアザビシクロノナン、ジアザビシクロウンデセン、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、テトラエチルアンモニウムハイドロオキサイド、テトラプロピルアンモニウムハイドロオキサイド、テトラブチルアンモニウムハイドロオキサイド、アンモニア、メチルアミン、エチルアミン、プロピルアミン、ブチルアミン、ペンチルアミン、ヘキシルアミン、ペンチルアミン、オクチルアミン、ノニルアミン、デシルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジプロピルアミン、Ｎ，Ｎ−ジブチルアミン、トリメチルアミン、トリエチルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、シクロヘキシルアミン、トリメチルイミジン、１−アミノ−３−メチルブタン、ジメチルグリシン、３−アミノ−３−アミノメチルブタンなどを挙げることができ、より好ましくは有機アミンであり、アンモニア、アルキルアミンおよびテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドがシリカ系膜の基板への密着性の点から特に好ましい。これらの塩基性化合物は１種あるいは２種以上を同時に使用しても良い。
【００７６】
さらに金属キレート化合物の例としては、トリエトキシ・モノ（アセチルアセトナート）チタン、トリ−ｎ−プロポキシ・モノ（アセチルアセトナート）チタン、トリ−ｉ−プロポキシ・モノ（アセチルアセトナート）チタン、トリ−ｎ−ブトキシ・モノ（アセチルアセトナート）チタン、トリ−ｓｅｃ−ブトキシ・モノ（アセチルアセトナート）チタン、トリ−ｔ−ブトキシ・モノ（アセチルアセトナート）チタン、ジエトキシ・ビス（アセチルアセトナート）チタン、ジ−ｎ−プロポキシ・ビス（アセチルアセトナート）チタン、ジ−ｉ−プロポキシ・ビス（アセチルアセトナート）チタン、ジ−ｎ−ブトキシ・ビス（アセチルアセトナート）チタン、ジ−ｓｅｃ−ブトキシ・ビス（アセチルアセトナート）チタン、ジ−ｔ−ブトキシ・ビス（アセチルアセトナート）チタン、モノエトキシ・トリス（アセチルアセトナート）チタン、モノ−ｎ−プロポキシ・トリス（アセチルアセトナート）チタン、モノ−ｉ−プロポキシ・トリス（アセチルアセトナート）チタン、モノ−ｎ−ブトキシ・トリス（アセチルアセトナート）チタン、
【００７７】
モノ−ｓｅｃ−ブトキシ・トリス（アセチルアセトナート）チタン、モノ−ｔ−ブトキシ・トリス（アセチルアセトナート）チタン、テトラキス（アセチルアセトナート）チタン、トリエトキシ・モノ（エチルアセトアセテート）チタン、トリ−ｎ−プロポキシ・モノ（エチルアセトアセテート）チタン、トリ−ｉ−プロポキシ・モノ（エチルアセトアセテート）チタン、トリ−ｎ−ブトキシ・モノ（エチルアセトアセテート）チタン、トリ−ｓｅｃ−ブトキシ・モノ（エチルアセトアセテート）チタン、トリ−ｔ−ブトキシ・モノ（エチルアセトアセテート）チタン、ジエトキシ・ビス（エチルアセトアセテート）チタン、ジ−ｎ−プロポキシ・ビス（エチルアセトアセテート）チタン、ジ−ｉ−プロポキシ・ビス（エチルアセトアセテート）チタン、ジ−ｎ−ブトキシ・ビス（エチルアセトアセテート）チタン、ジ−ｓｅｃ−ブトキシ・ビス（エチルアセトアセテート）チタン、ジ−ｔ−ブトキシ・ビス（エチルアセトアセテート）チタン、
【００７８】
モノエトキシ・トリス（エチルアセトアセテート）チタン、モノ−ｎ−プロポキシ・トリス（エチルアセトアセテート）チタン、モノ−ｉ−プロポキシ・トリス（エチルアセトアセテート）チタン、モノ−ｎ−ブトキシ・トリス（エチルアセトアセテート）チタン、モノ−ｓｅｃ−ブトキシ・トリス（エチルアセトアセテート）チタン、モノ−ｔ−ブトキシ・トリス（エチルアセトアセテート）チタン、テトラキス（エチルアセトアセテート）チタン、モノ（アセチルアセトナート）トリス（エチルアセトアセテート）チタン、ビス（アセチルアセトナート）ビス（エチルアセトアセテート）チタン、トリス（アセチルアセトナート）モノ（エチルアセトアセテート）チタンなどのチタンキレート化合物；
【００７９】
トリエトキシ・モノ（アセチルアセトナート）ジルコニウム、トリ−ｎ−プロポキシ・モノ（アセチルアセトナート）ジルコニウム、トリ−ｉ−プロポキシ・モノ（アセチルアセトナート）ジルコニウム、トリ−ｎ−ブトキシ・モノ（アセチルアセトナート）ジルコニウム、トリ−ｓｅｃ−ブトキシ・モノ（アセチルアセトナート）ジルコニウム、トリ−ｔ−ブトキシ・モノ（アセチルアセトナート）ジルコニウム、ジエトキシ・ビス（アセチルアセトナート）ジルコニウム、ジ−ｎ−プロポキシ・ビス（アセチルアセトナート）ジルコニウム、ジ−ｉ−プロポキシ・ビス（アセチルアセトナート）ジルコニウム、ジ−ｎ−ブトキシ・ビス（アセチルアセトナート）ジルコニウム、ジ−ｓｅｃ−ブトキシ・ビス（アセチルアセトナート）ジルコニウム、ジ−ｔ−ブトキシ・ビス（アセチルアセトナート）ジルコニウム、モノエトキシ・トリス（アセチルアセトナート）ジルコニウム、モノ−ｎ−プロポキシ・トリス（アセチルアセトナート）ジルコニウム、
【００８０】
モノ−ｉ−プロポキシ・トリス（アセチルアセトナート）ジルコニウム、モノ−ｎ−ブトキシ・トリス（アセチルアセトナート）ジルコニウム、モノ−ｓｅｃ−ブトキシ・トリス（アセチルアセトナート）ジルコニウム、モノ−ｔ−ブトキシ・トリス（アセチルアセトナート）ジルコニウム、テトラキス（アセチルアセトナート）ジルコニウム、トリエトキシ・モノ（エチルアセトアセテート）ジルコニウム、トリ−ｎ−プロポキシ・モノ（エチルアセトアセテート）ジルコニウム、トリ−ｉ−プロポキシ・モノ（エチルアセトアセテート）ジルコニウム、トリ−ｎ−ブトキシ・モノ（エチルアセトアセテート）ジルコニウム、トリ−ｓｅｃ−ブトキシ・モノ（エチルアセトアセテート）ジルコニウム、トリ−ｔ−ブトキシ・モノ（エチルアセトアセテート）ジルコニウム、
【００８１】
ジエトキシ・ビス（エチルアセトアセテート）ジルコニウム、ジ−ｎ−プロポキシ・ビス（エチルアセトアセテート）ジルコニウム、ジ−ｉ−プロポキシ・ビス（エチルアセトアセテート）ジルコニウム、ジ−ｎ−ブトキシ・ビス（エチルアセトアセテート）ジルコニウム、ジ−ｓｅｃ−ブトキシ・ビス（エチルアセトアセテート）ジルコニウム、ジ−ｔ−ブトキシ・ビス（エチルアセトアセテート）ジルコニウム、モノエトキシ・トリス（エチルアセトアセテート）ジルコニウム、モノ−ｎ−プロポキシ・トリス（エチルアセトアセテート）ジルコニウム、モノ−ｉ−プロポキシ・トリス（エチルアセトアセテート）ジルコニウム、モノ−ｎ−ブトキシ・トリス（エチルアセトアセテート）ジルコニウム、モノ−ｓｅｃ−ブトキシ・トリス（エチルアセトアセテート）ジルコニウム、モノ−ｔ−ブトキシ・トリス（エチルアセトアセテート）ジルコニウム、
【００８２】
テトラキス（エチルアセトアセテート）ジルコニウム、モノ（アセチルアセトナート）トリス（エチルアセトアセテート）ジルコニウム、ビス（アセチルアセトナート）ビス（エチルアセトアセテート）ジルコニウム、トリス（アセチルアセトナート）モノ（エチルアセトアセテート）ジルコニウムなどのジルコニウムキレート化合物；トリス（アセチルアセトナート）アルミニウム、トリス（エチルアセトアセテート）アルミニウムなどのアルミニウムキレート化合物；などを挙げることができ、好ましくはチタンまたはアルミニウムのキレート化合物、特に好ましくはチタンのキレート化合物を挙げることができる。これらの金属キレート化合物は、１種あるいは２種以上を同時に使用しても良い。
【００８３】
また、本発明の触媒群の化合物には、本発明の塗布溶液を基板上に塗布した後でシリカ前駆体（Ａ）の加水分解及び／又は脱水縮合の速度を制御するように機能する酸・塩基・金属キレートの前駆体化合物も含まれる。このような化合物の例として芳香族スルホン酸エステルやカルボン酸エステルのような、加熱または光により分解して酸を発生する化合物が挙げられる。
さらに酸性化合物と金属キレート、塩基性化合物と金属キレートの組み合わせで併用することも可能である。
これら触媒成分を添加する場合には、その添加量は、出発原料として仕込まれる加水分解性シランにおけるアルコキシシラン基の全モル数に対して５モル％以下、好ましくは１モル％以下、さらに好ましくは０．５モル％以下が適当である。５モル％より多いと沈殿物が生成し、均質な多孔質のケイ素酸化物からなる塗膜が得られ難くなったり、比誘電率の低い塗膜が得られない場合がある。
その他、所望であれば、たとえばコロイド状シリカや、イオン性、非イオン性の界面活性剤などの成分を添加してもよいし、感光性付与のための光触媒発生剤、基板との密着性を高めるための密着性向上剤、長期保存のための安定剤など任意の添加物を、本発明の趣旨を損なわない範囲で本発明の塗布組成物に添加することも可能である。
【００８４】
次に本発明の塗布組成物の製造方法について説明する。
本発明の塗布組成物の製造方法としては、アルコキシシランを出発原料として仕込んだ後、水を添加して加水分解、縮合反応を行った後で、有機ポリマーまたは溶媒を加えても良いし、アルコキシシランにあらかじめ、有機ポリマーまたは溶媒を添加しておいてから、加水分解、重縮合反応を行ってもよい。
本発明において、アルコキシシランの加水分解には前述したように水が必要である。アルコキシシランに対する水の添加は液体のまま、あるいはアルコールや水溶液として加えるのが一般的であるが、水蒸気の形で加えても構わない。水の添加を急激に行うと、アルコキシシランの種類によっては加水分解と縮合が速すぎて沈殿を生じる場合があるため、水の添加に充分な時間をかける、均一化させるためにアルコールなどの溶媒を共存させる、５０℃以下の温度で添加するなどの手法が単独または組み合わせて用いられるのが好ましい。
【００８５】
添加された水は一旦アルコキシシランの加水分解のために消費されるが、その後の縮合反応時に副生成物として精製してくるので、本発明の塗布組成物中には適当量存在する。水は加水分解、重縮合反応中に全量または断続的に加えてもよい。また、重縮合反応終了後に上記の含有量になるように追加して添加しても構わない。
アルコキシシランは水の存在下、加水分解してシラノールになり、次にシラノール基間の縮合反応によりシロキサン結合を有するオリゴマー状のシリカ前駆体へと生長する。
本発明の塗布組成物では予めアルコキシシランをオリゴマー状にしておくほうが、（ｌ）塗布液粘度が適度に上がるので、塗膜の保形性が確保でき膜厚を均一にできる、（２）さらにシリカ前駆体がゲル化する場合に、シリカ骨格の形成がマイルドに起こるので、膜収縮が起こり難く、より好ましい。
【００８６】
本発明において、アルコキシシランを加水分解するときの温度は通常０〜１５０℃、好ましくは０〜１００℃、より好ましくは０℃〜５０℃である。０℃よりも低いと加水分解の進行が十分でないし、逆に１５０℃を超えると反応が急激に進行しすぎて、溶液のゲル化が起こる場合があり好ましくない。
本発明の塗布組成物に含有されるシリカ前駆体の縮合率は１０〜９０％、好ましくは２０〜８５％、より好ましくは３０〜８５％である。縮合率が１０％よりも低いと、上記の（１）および（２）が達成されないので、好ましくない。縮合率が９０％を超えると塗布組成物全体がゲル化してしまう。
尚、シリカ前駆体の縮合率は後述するシリカ組成比を求める場合と同様の測定法により算出される。
【００８７】
本発明における酸等の触媒成分やその他の添加物の添加は、アルコシシランの加水分解、縮合反応時に全量添加しても良いし、その前後に段階的に添加しても良い。また、触媒成分以外の添加物については塗布組成物の塗布する直前に添加しても良い。
本発明における有機化合物（Ｂ）、有機ポリマー（Ｄ）及び有機溶媒（Ｅ）の添加は、アルコシシランの加水分解、縮合反応時に全量添加しても良いし、その前後に段階的に添加しても良い。また、塗布組成物の塗布する直前に添加しても良い。
また、塗布組成物中のナトリウム、カリウムなどのアルカリ金属および鉄の含量が、１５ｐｐｂ以下、特に１０ｐｐｂ以下であることが絶縁性塗膜の低リーク電流の観点から好ましい。アルカリ金属および鉄は、使用する原料から混入する場合があるため、すべての原材料成分は蒸留や再沈殿などにより高純度に精製したものを用いることが好ましい。
【００８８】
次に本発明の塗布組成物を塗布して薄膜を製造する方法、および薄膜をゲル化させて複合体薄膜とする方法、さらに複合体薄膜から有機ポリマーを除去させる方法について詳細に説明する。
本発明における塗布組成物の固形分濃度は、２〜３０重量％が好ましいが、使用目的に応じて適宜調整される。塗布組成物の固形分濃度が２〜３０重量％であると、塗膜の膜厚が適当な範囲となり、保存安定性もより優れるものである。なお、この固形分濃度の調整は、必要であれば、濃縮または上記有機溶媒（Ｅ）による希釈によって行われる。
固形分濃度は既知量の塗布組成物に対するアルコキシシランの全量が加水分解さらに縮合反応して得られるシロキサン化合物の重量として求められる。
【００８９】
本発明において、薄膜の形成は基板上に本発明の塗布組成物を塗布することによって行う。塗布方法としては流延、浸漬、スピンコートなどの周知の方法で行うことができるが、半導体素子の多層配線構造体用の絶縁層の製造に用いるにはスピンコートが好適である。薄膜の厚さは塗布組成物の粘度や回転速度を変えることによって０．１μｍ〜１００μｍの範囲で制御できる。１００μｍより厚いとクラックが発生する場合がある。半導体素子の多層配線構造体用の絶縁層としては、通常０．１μｍ〜５μｍの範囲で用いられる。
スピンコートをなどによって本発明の塗布組成物を塗布する際に、溶媒の乾燥に伴い薄膜の表面均一性が低下する場合が見られる。特にスピンコートの場合にはストリエーションと呼ばれる放射状のムラの発現を抑制することが重要な課題であり、そのために溶媒の種類、濃度、温度、湿度などの塗布環境を経験的に制御する必要が生じる。この際、成分（Ｂ）が本発明の塗布組成物中に含有することにより、理由は定かではないがストリエーションの発現が極めて良好に抑制され、均一な塗布薄膜が得られやすくなる。
塗布組成物中の溶媒を除去する方法として、先述したようなスピンコート法に加えて、加熱すると効果がより顕著になるので好ましい。加熱条件、たとえば加熱温度や加熱時間については、溶媒の除去量が上記範囲に制御されるならば、特に限定されない。
【００９０】
基板としては、シリコン、ゲルマニウム等の半導体基板、ガリウム−ヒ素、インジウム−アンチモン等の化合物半導体基板等を用いこともできるし、これらの表面に他の物質の薄膜を形成したうえで用いることも可能である。この場合、薄膜としてはアルミニウム、チタン、クロム、ニッケル、銅、銀、タンタル、タングステン、オスミウム、白金、金などの金属の他に、二酸化ケイ素、フッ素化ガラス、リンガラス、ホウ素−リンガラス、ホウケイ酸ガラス、多結晶シリコン、アルミナ、チタニア、ジルコニア、窒化シリコン、窒化チタン、窒化タンタル、窒化ホウ素、水素化シルセスキオキサン等の無機化合物、メチルシルセスキオキサン、アモルファスカーボン、フッ素化アモルファスカーボン、ポリイミド、その他任意のブロックコポリマーからなる薄膜を用いることができる。
【００９１】
薄膜の形成に先立ち、上記基板の表面を、あらかじめ密着向上剤で処理してもよい。この場合の密着向上剤としてはいわゆるシランカップリング剤として用いられるものやアルミニウムキレート化合物などを使用することができる。特に好適に用いられるものとして、３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、ビニルトリクロロシラン、ビニルトリエトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジクロロシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジエトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、ヘキサメチルジシラザン、エチルアセトアセテートアルミニウムジイソプロピレート、アルミニウムトリス（エチルアセトアセテート）、アルミニウムビス（エチルアセトアセテート）モノアセチルアセトネート、アルミニウムトリス（アセチルアセトネート）などが挙げられる。これらの密着向上剤を塗布するにあたっては必要に応じて他の添加物を加えたり、溶媒で希釈して用いてもよい。密着向上剤による処理は公知の方法で行う。
【００９２】
以上のように、本発明の塗布組成物を２回塗布して得られた塗膜を、引き続き硬化（ゲル化）する場合の温度は特に限定されないが、通常は１００〜３００℃、好ましくは１５０〜３００℃、ゲル化反応に要する時間は熱処理温度、触媒添加量や溶媒種および量によっても異なるが、通常数秒間から１０時間の範囲である。好ましくは３０秒〜５時間、より好ましくは１分〜２時間である。この操作により、塗布組成物中のシリカ前駆体のゲル化反応が十分に進行しシリカとなる。シリカの縮合率として１００％近くまで達する場合がある。通常は約９０％である。この場合の縮合率は、^２９Ｓｉ−ＮＭＲ析で求めることができる。温度が１００℃よりも低いと、後工程であるポリマー除去工程において、ゲル化が十分に進行する前にポリマーが除去され始めるので、その結果、塗膜の高密度化が起こってしまう。また３００℃よりも高いと、巨大なボイドが生成しやすく、後述するシリカ／有機ポリマー複合体薄膜の均質性が低下する。
【００９３】
このようにして得られたシリカ／有機ポリマー複合体薄膜は、誘電率も低く、膜質の均一性が極めて高いので、このままで配線の絶縁部分として用いることもできるし、薄膜以外の用途、たとえば光学的膜や構造材料、フィルム、コーティング材などとして使用することも可能である。しかし、ＬＳＩ多層配線の絶縁物としてさらに誘電率の低い材料を得ることを目的として、高絶縁性の多孔性シリカ薄膜に変換して使用することが最も好ましい。
シリカ／有機ポリマー複合体薄膜から絶縁性の多孔性シリカ薄膜へは、シリカ／有機ポリマー複合体薄膜からポリマーを除去することによって行う。この時に、シリカ前駆体のゲル化反応が十分に進行していれば、シリカ／有機ポリマー複合体薄膜中の有機ポリマーが占有していた領域が、多孔性シリカ薄膜中の空孔としてつぶれずに残る。その結果、空隙率が高く、誘電率の低い多孔性シリカ薄膜を得ることができる。
【００９４】
有機ポリマーを除去する方法としては、加熱、プラズマ処理、溶媒抽出などが挙げられるが、現行の半導体素子製造プロセスにおいて容易に実施可能であるという観点からは、加熱がもっとも好ましい。この場合、加熱温度は用いる有機ポリマーの種類に依存し、薄膜状態下で単に蒸散除去されるもの、有機ポリマーの分解を伴って焼成除去されるもの、およびその混合した場合があるが、通常の加熱温度は３００〜４５０℃、好ましくは３５０〜４００℃の範囲である。３００℃よりも低いと有機ポリマーの除去が不充分で、有機物の不純物が残るため、誘電率の低い多孔性シリカ薄膜が得られない危険がある。また汚染ガス発生量も多い。逆に４５０℃よりも高い温度で処理することは、有機ポリマーの除去の点では好ましいが、半導体製造プロセスで用いるのは極めて困難である。
【００９５】
加熱時間は１０秒〜２４時間の範囲で行うことが好ましい。好ましくは１０秒〜５時間、特に好ましくは１分〜２時間である。１０秒より短いと有機ポリマーの蒸散や分解が十分進行しないので、得られる多孔性シリカ薄膜に不純物として有機物が残存し、誘電率が低くならない。また通常熱分解や蒸散は２４時間以内に終了するので、これ以上長時間の加熱はあまり意味をなさない。加熱は窒素、アルゴン、ヘリウムなどの不活性雰囲気下で行うのが好ましい。空気または酸素ガスを混入させたりといった酸化性雰囲気下で行うことも可能であるが、この場合には該酸化性ガスの濃度を、シリカ前駆体がゲル化する前に有機ポリマーが実質的に分解しないような濃度に制御することが好ましい。また雰囲気中にアンモニア、水素などを存在させ、シリカ中に残存しているシラノール基を失活させることによって多孔性シリカ薄膜の吸湿性を低減させ、誘電率の上昇を抑制することもできる。
【００９６】
以上の加熱条件下で本発明の有機ポリマーを除去した後の多孔性シリカ薄膜中の残渣ポリマー量は著しく低減されるので、先述したような有機ポリマーの分解ガスによる上層膜の接着力の低下や剥離などの現象がおこらない。尚、本発明の塗布組成物中の有機ポリマーが前述したポリエーテルブロックコポリマーを含有するような場合には、さらにその効果が顕著になる。
本発明は、シリカ／有機ポリマー複合体薄膜を形成するステップを経た後ポリマーを除去するステップを上記条件下で行うものであれば、そのステップの前後に任意の温度や雰囲気によるステップを経ても問題はない。
本発明において加熱は、半導体素子製造プロセス中で通常使用される枚葉型縦型炉あるいはホットプレート型の焼成システムを使用することができる。もちろん、本発明の製造工程を満足すれば、これらに限定されるものではない。
【００９７】
以上、本発明の多孔性シリカ薄膜を用いることにより、機械強度が高く、かつ誘電率が充分に低いＬＳＩ用の多層配線用絶縁膜が成膜できる。
本発明の多孔性シリカ薄膜の比誘電率は、本発明の製造法により２．８〜１．２を達成できる。この比誘電率は本発明の塗布組成物中の有機ポリマー成分（Ｄ）の含有量により調節することができる。
また、本発明の多孔性薄膜中には、ＢＪＨ法による細孔分布測定において、２０ｎｍ以上の空孔は実質上認められず、層間絶縁膜として好適である。
本発明により得られる多孔性シリカ薄膜は、薄膜以外のバルク状の多孔性シリカ体、たとえば反射防止膜や光導波路のような光学的膜や触媒担体はじめ断熱材、吸収剤、カラム充填材、ケーキング防止剤、増粘剤、顔料、不透明化剤、セラミック、防煙剤、研磨剤、歯磨剤などとして使用することも可能である。
【００９８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を実施例および比較例をもって具体的に説明するが、本発明の範囲はこれら実施例などにより何ら限定されるものではない。
多孔性シリカ薄膜製造用の塗布組成物および薄膜の評価は下記の方法により行った。
（１）シリカ組成比
本発明では塗布組成物中に含まれる官能性基数の異なるアルコキシシラン等に由来する珪素原子を各々^２９Ｓｉ−ＮＭＲによるシグナルの面積から算出した数値で表し、それらを対比することで塗布組成物中に含まれるアルコキシシラン等の組成比としている。また、その塗布組成物を用いて製造される絶縁性薄膜中のアルコキシシラン等から得られるシリカの組成比も同様の測定方法で得ている。
【００９９】
一例として、アルコキシシランとしてテトラエトキシシラン（ＴＥＯＳ）、ジメチルジエトキシシラン（ＤＭＤＥＳ）及びビス（トリエトキシシリル）エタン（ＢＳＥ）を用いた場合の薄膜中のＤＭＤＥＳ起因のＳｉ原子のモル％（シリカ組成比）の算出法を説明する。
装置：ＪＥＯＬ−ラムダ４００
測定モード：ＮＮＥ
試料管：外径１０ｍｍ、内径３ｍｍ
（塗布組成物、薄膜ともＤ化エタノール、ＴＭＳを少量添加）
積算回数：１３００回
ＰＤ（パルスディレー）：２５０秒
ＢＦ（ブロードニングファクター）：３０Ｈｚ
【０１００】
以上の測定装置および測定条件から得られた数値を用いて以下に示す計算式より算出する。
ＤＭＤＥＳのモル％＝１００×（Ｄ０＋Ｄ１＋Ｄ２）／｛（Ｔ０＋Ｔ１＋Ｔ２＋Ｔ３＋Ｔ４）＋（Ｄ０＋Ｄ１＋Ｄ２）＋２（Ｂ０＋Ｂ１＋Ｂ２＋Ｂ３）｝
（式中、Ｔ０、Ｄ０及びＢ０はそれぞれ上記の装置で原料のＴＥＯＳ、ＤＭＤＥＳ及びＢＳＥ中のエトキシ基が少なくとも一部加水分解されて水酸基となった化合物に帰属されるシグナル積分強度を表し、Ｔ１、Ｄ１及びＢ１はＴＥＯＳ、ＤＭＤＥＳ及びＢＳＥ中の各Ｓｉの一箇所が隣接のＳｉ原子と酸素原子を介して結合して形成される基に帰属されるシグナルの積分強度を表し、Ｔ２、Ｄ２及びＢ２はＴＥＯＳ、ＤＭＤＥＳ、及びＢＳＥ中の各Ｓｉの二箇所が隣接のＳｉ原子と酸素原子を介して結合して形成される基に帰属されるシグナルの積分強度を表し、Ｔ３及びＢ３はＴＥＯＳ及びＢＳＥ中のＳｉの三箇所が隣接のＳｉ原子と酸素原子を介して結合して形成される基に帰属されるシグナルの積分強度を表し、Ｔ４はＴＥＯＳ中のＳｉの四箇所が隣接のＳｉ原子と酸素原子を介して結合して形成される基に帰属されるシグナルの積分強度を表す）。
【０１０１】
（２）比誘電率
ソリッドステートメジャーメント社製ＳＳＭ４９５型自動水銀ＣＶ測定装置を用いて測定した。
（３）比誘電率の安定性
本発明の多孔性シリカ薄膜を２３℃で相対湿度が６０％の雰囲気下に１週間放置した前後の薄膜の比誘電率の変化割合が１０％未満の場合は○、１０％以上の場合を×と評価した。
（４）膜厚測定
理学電機製ＲＩＮＴ　２５００を用いて測定した。測定条件は、発散スリット：１／６°、散乱スリット：１／６°、受光スリット：０．１５ｍｍで検出器（シンチレーションカウンタ）の前にグラファイトモノクロメータをセットした。管電圧と管電流は、それぞれ４０ｋＶと５０ｍＡで測定したが、必要に応じて変えることができる。また、ゴニオメータの走査法は２θ／θ走査法で、走査ステップは０．０２°とした。
【０１０２】
（５）ヤングモジュラス
ＭＴＳ　Ｓｙｓｔｅｍｓ　Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ社製ナノインデンターＤＣＭで測定した。測定方法は、バーコビッチ型のダイヤモンド製圧子を試料に押し込み、一定荷重に達するまで負荷したのちそれを除き、変位をモニターすることにより荷重−変位曲線を求めた。表面はコンタクトスティフネスが２００Ｎ／ｍになる条件で認識した。硬度の算出は、以下の式による。
Ｈ＝Ｐ／Ａ
ここで、Ｐは印加した荷重であり、接触面積Ａは接触深さｈｃの関数で次式により、実験的に求めた。
Ａ＝２４．５６ｈｃ^２
この接触深さは圧子の変位ｈと次の関係にある。
ｈｃ　＝ｈ−εＰ／Ｓ
ここでεは０．７５、Ｓは除荷曲線の初期勾配である。
ヤングモジュラスの算出はスネドンの式によって求めた。
Ｅｒ＝（√π・Ｓ）／２　√Ａ
ここで、複合弾性率Ｅｒは次式で表される。
Ｅｒ　＝［（１−νｓ^２）／Ｅｓ　＋　（１−νｉ^２）／Ｅｉ　］^−１
ここで、νはポアソン比、添字Ｓはサンプル、ｉは圧子を表す。本発明ではνｉ　＝０．０７、Ｅｉ　＝１１４１ＧＰａ、また本材料のポアッソン比は未知であるがνｓ　＝０．１８としてサンプルのヤングモジュラスＥｓ　を算出した。尚、本発明におけるヤングモジュラスは、０．８μ〜１．２μｍの膜厚で測定した。
【０１０３】
（６）薄膜の表面平滑性
まず、基板の円周方向に約５ｍｍ間隔に切り込みを入れ、その切り込みに対して垂直な方向に、米国、Ｓｌｏａｎ社製ＤＥＫＴＡＫ３型表面粗さ測定装置を用いて７０００μｍ走査し、シリコンウエハー表面に対して水平あわせを行う（測定速度：３５秒）。走査した中の３０００μｍの範囲をとり、その部分における表面粗度（Ｒａ）を以下の数式（１）より算出した。
【数１】

【０１０４】
【実施例１】
テトラエトキシシラン１２．５ｇ、ビス（トリエトキシシリル）エタン１２．８ｇ、メチルトリエトキシシラン９．６ｇ、エタノール５７．１ｇ、水４０．８ｇ、ポリエチレングリコール−ポリ（α−ブチレン）グリコール−ポリエチレングリコールジメチルエーテル（数平均分子量２０００、ポリ（α−ブチレン）グリコール部分の数平均分子量は１０００）４．８ｇ、ポリエチレングリコールジメチルエーテル（数平均分子量６００）１．２ｇ、０．９％しゅう酸水溶液０．０６ｇを混合し、５０℃にて６時間攪拌し反応させた。該一次反応溶液を、５０℃、５０ｍｍＨｇにて溶媒を留去し、３９．８ｇまで濃縮した。
【０１０５】
得られた濃縮液に水２０ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル１０ｇを加え、塗布原液を得た。３３ｇの該塗布原液を取り、水６．７ｇ、エタノール０．２２ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテル７．０ｇ、０．２％テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液０．４８ｇ、１０％酢酸水溶液０．４８ｇ、２，４，７，９−テトラメチル−５−デシン−４，７−ジオール（日信科学工業株式会社製、商品名オルフィンＡＫ−０２）を加え、撹拌した後、本発明の塗布溶液を得た。該溶液中の３官能性アルコキシシラン由来のＳｉ原子は３０モル％であった。また、該溶液中ポリエーテルブロックコポリマーが全有機ポリマーに対して８０重量％であった。当溶液を６インチシリコンウェハー上に３ｍｌ滴下し、１４００ｒｐｍにて６０秒間回転塗布した。その後空気中１２０℃にて１分間、窒素雰囲気下２００℃にて１時間、続いて窒素雰囲気下４００℃にて１時間加熱焼成して、膜厚が１．０３μｍの多孔性シリカ薄膜を得た。得られた薄膜の１ＭＨｚにおける比誘電率は２．２８でその安定性は○、ヤングモジュラスは８．１６ＧＰａであった。また表面粗度は７Ａ　と極めて表面平滑性が良好であった。
【０１０６】
【実施例２】
テトラエトキシシラン８．３ｇ、メチルトリエトキシシラン１２．８ｇで置き換えた以外には実施例１と同一の操作を行い、２，４，７，９−テトラメチル−５−デシン−４，７−ジオールの代わりに２，５，８，１１−テトラメチル−６−ドデシン−５，８−ジオール（日信科学工業株式会社製、商品名サーフィノールＤＦ−１１０）を加え、撹拌した後、本発明の塗布溶液を得、該溶液中の３官能性アルコキシシラン由来のＳｉ原子は４０モル％であった。膜厚が１．０５μｍの多孔性シリカ薄膜を得た。得られた薄膜の１ＭＨｚにおける比誘電率は２．２６でその安定性は○、ヤングモジュラスは６．７１ＧＰａであった。また表面粗度は９Ａ　と極めて表面平滑性が良好であった。
【０１０７】
【実施例３】
ポリエチレングリコール−ポリ（α−ブチレン）グリコール−ポリエチレングリコールジメチルエーテル（数平均分子量２０００、ポリ（α−ブチレン）グリコール部分の数平均分子量は１０００）７．２ｇで置き換えた以外に実施例２と同一の操作を行った。膜厚が１．０１μｍの多孔性シリカ薄膜を得た。得られた薄膜の１ＭＨｚにおける比誘電率は２．１５でその安定性は○、ヤングモジュラスは４．３３ＧＰａであった。また表面粗度は１０Ａ　と極めて表面平滑性が良好であった。
【０１０８】
【比較例１】
実施例１において、２，４，７，９−テトラメチル−５−デシン−４，７−ジオールを使用せずに、塗布組成物を調製した以外には実施例１と同一の操作を行い、膜厚が１．０３μｍの多孔性シリカ薄膜を得た。得られた薄膜の１ＭＨｚにおける比誘電率は２．３８、ヤングモジュラスは８．１２ＧＰａであり、実施例１と比較して機械強度は同程度であるが、比誘電率はやや高め、また表面粗度は３５Ａ　と表面平滑性が低下した。
【０１０９】
【比較例２】
実施例３において、ポリエチレングリコール−ポリプロピレングリコール−ポリエチレングリコールジメチルエーテル（数平均分子量６４００）７．２ｇで置き換え、２，５，８，１１−テトラメチル−６−ドデシン−５，８−ジオールを添加しない以外には実施例３と同一操作を行い、膜厚が１．０７μｍの多孔性シリカ薄膜を得た。得られた薄膜の１ＭＨｚにおける比誘電率は２．２１、ヤングモジュラスは４．５８ＧＰａであり、実施例３と比較してモジュラスは同程度であるにもかかわらず、比誘電率は実施例３に比べて相対的に高く、表面粗度は４１Ａ　と表面平滑性と劣る結果となった。
【０１１０】
【発明の効果】
本発明の絶縁性薄膜製造用の塗布組成物を使用することにより、塗布時の流延性に優れると同時にストリエーションがほとんど起こらない。これによって、低い比誘電率を有し膜質の均一性に優れた絶縁性薄膜を得ることができるため、ＬＳＩ多層配線用基板や半導体素子の絶縁薄膜として最適である。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an insulating thin film used for a wiring structure of a semiconductor or the like having a low dielectric constant and a high strength, and at the same time, having extremely high film quality uniformity, and a coating composition as a raw material thereof.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, a dense silica film has been generally used as an insulating thin film for a multilayer wiring structure of a semiconductor element such as a semiconductor integrated circuit. However, in recent years, the wiring density of semiconductor integrated circuits has been steadily miniaturized, and accordingly, the distance between adjacent wirings on a substrate has been reduced. When the distance between the wirings is reduced, the capacitance is increased even in the case of the conventional dense silica film, which causes a problem that the delay of an electric signal transmitted through the wiring, that is, the so-called wiring delay becomes remarkable.
In order to solve such a problem, a method of using copper having a low electric resistance as a wiring material has been proposed, but the wiring delay has not been sufficiently solved.
[0003]
Therefore, a method has been proposed in which a conventionally dense silica thin film is made porous. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-85762 and International Publication (WO) No. 99/03926 disclose that a general mixed system of an alkoxysilane and an organic polymer has a very low dielectric constant and a uniform pore and pore distribution. A method for obtaining porous silica having the property is disclosed. JP-A-4-285081 discloses a method in which a sol-gel reaction of alkoxysilane is carried out in the presence of a specific organic polymer to obtain porous silica having a uniform pore size.
[0004]
Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-49184 discloses that a charged amount of a bifunctional, trifunctional or tetrafunctional alkoxysilane is determined to be a 4, 5, or 6-functional alkoxysilane having two silicon atoms in a molecule. And using a block copolymer as the organic polymer to form a low-density film having excellent dielectric properties and water absorption and a small void size.
However, the above-mentioned method is not suitable for spin-coating, which is used in the process of forming a thin film. Is not necessarily good, it is possible to achieve a decrease in relative dielectric constant and a certain degree of mechanical strength, but it is difficult to ensure uniformity of the thin film surface.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
That is, an object of the present invention is to provide an insulating thin film which solves the above-mentioned problems and simultaneously achieves high mechanical strength, low relative dielectric constant, and surface uniformity.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The present inventors have conducted intensive studies to solve the above problems, and found that the silica precursor and the general formula
R⁸(CH₃) C (OR⁹) -C≡CC (OR^{9 '}) (CH₃) R^{8 '}
(Where R⁸And R^{8 '}May be the same or different and each represents hydrogen or an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, R⁹And R^{9 '}May be the same or different and are each hydrogen, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, (CH₂CH₂O)_xH represents one of the substituents represented by H (x is an integer of 20 or less). )
It has been found that a coating composition containing the organic compound represented by the formula (1) in an amount of 0.01 wt% or more and 2 wt% or less with respect to the total amount of the coating solution solves the above-mentioned problems, and completed the present invention.
That is, the coating composition obtained by the present invention is excellent in stability at the time of coating (no castability and no occurrence of striation), and furthermore, by this, the relative dielectric constant is remarkably low and the uniformity of the film quality is high. An insulating thin film having a simple structure can be obtained.
[0007]
The above and other objects, features and advantages of the present invention will be apparent from the following detailed description and claims.
That is, the present invention is as follows.
1. A silica precursor containing at least one or more compounds selected from 1 to 6 functional alkoxysilanes represented by the following general formulas (1) and / or (2) and hydrolyzates and polycondensates thereof And the ratio of the total number of 1-3-functional alkoxysilanes and their hydrolysates and silicon atoms derived from the polycondensate to the total silicon atoms derived from the alkoxysilanes and hydrolysates and polycondensates thereof Contains 5 mol% to 80 mol% of a silica precursor (A), an organic compound (B) represented by the following general formula (3), and water (C). Coating composition.
[0008]
R¹ _n(Si) (OR²)_4-n(1)
(Where R¹, R²May be the same or different and each represents hydrogen or a monovalent organic group, and n is an integer of 0 to 3.)
R³ _m(R⁴O)_3-mSi- (R⁷)_p-Si (OR⁵)_3-qR⁶ _q(2)
(Where R³, R⁴, R⁵And R⁶May be the same or different and each represents hydrogen or a monovalent organic group, and m and q may be the same or different and represent a number of 0 to 2, and R⁷Is an oxygen atom or (CH₂)_rWherein r represents 1 to 6 and p represents 0 or 1. )
R⁸(CH₃) C (OR⁹) -C≡CC (OR^{9 '}) (CH₃) R^{8 '}(3)
(Where R⁸And R^{8 '}May be the same or different and each represents hydrogen or an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, R⁹And R^{9 '}May be the same or different and are each hydrogen, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, (CH₂CH₂O)_xH represents one of the substituents represented by H (x is an integer of 20 or less). )
[0009]
2. The coating composition contains the silica precursor (A) in an amount of 2 wt% to 30 wt% based on the total weight of the coating composition, the organic compound (B) in an amount of 0.01 wt% to 2 wt% based on the total weight of the coating composition, and water (C). ) Based on the total amount of the coating composition, in an amount of 10 wt% or more and 70 wt% or less, and 0.01 wt% or more and 10 wt% or less of the organic polymer (D) based on the silica precursor, and an alcohol-based, ketone-based solvent, or amide-based solvent. 2. The coating composition for producing an insulating thin film according to 1, wherein at least one selected from the group consisting of a solvent and an ester solvent is contained as an organic solvent (E).
3. The organic polymer (D) contains a linear or branched binary polyether block copolymer, and the content is 10% by weight or more based on the total organic polymer contained in the coating composition. 3. The coating composition for producing an insulating thin film according to 2, wherein:
After coating the coating composition for producing an insulating thin film according to any of 4.1 to 3 on a substrate, an organic polymer is removed from a silica / organic polymer composite thin film obtained by gelling a silica precursor. An insulating thin film made of porous silica, comprising:
A wiring structure using the thin film according to 5.4 as an insulator.
A semiconductor device including the wiring structure according to 6.5.
[0010]
It should be noted that the porous silica referred to in the present invention is characterized in that it is a porous silica whose main component is represented by the following formula (4).
R_xH_ySiO_z(4)
(Wherein, R represents a linear, branched or cyclic alkyl group or aryl group having 1 to 8 carbon atoms, and 0 ≦ x <2, 0 ≦ y <2, 0 ≦ (x + y) <2, 1 <Z ≦ 2) In the present invention, in the alkoxysilane represented by the general formula (1), Si (OR²)₄Is referred to as a tetrafunctional alkoxysilane, and when n is 1 in the general formula (1), ie, R¹(Si) (OR²)₃Is a trifunctional alkoxysilane, when n is 2, ie, R¹ ₂(Si) (OR²)₂Is a bifunctional alkoxysilane, when n is 3, ie, R¹ ₃(Si) (OR²) Is a monofunctional alkoxysilane.
[0011]
Further, in the alkoxysilane represented by the general formula (2), for example, when m = q = 1, R³(R⁴O)₂Si- (R⁷)_p-Si (OR⁵)₂R⁶Is a tetrafunctional alkoxysilane, m = 0, q = 1 or m = 1, q = 0, and (R⁴O)₃Si- (R⁷)_p-Si (OR⁵)₂R⁶Is a pentafunctional alkoxysilane, m = q = 0 and (R⁴O)₃Si- (R⁷)_p-Si (OR⁵)₃Is a hexafunctional alkoxysilane, m = q = 2 in the general formula (2), that is, R³ ₂(R⁴O) Si- (R⁷)_p-Si (OR⁵) R⁶ ₂Is a 2-functional alkoxysilane, m = 2, q = 1 or m = 1, q = 2 and R³ ₂(R⁴O) Si- (R⁷)_p-Si (OR⁵)₂R⁶Is a trifunctional alkoxysilane.
In the present invention, alkoxysilane is hydrolyzed and polycondensed, and the condensation ratio of which exceeds 90% is referred to as silica in the present invention.
[0012]
The coating composition for producing an insulating thin film used in the present invention (hereinafter, referred to as a coating composition) will be described below.
First, the silica precursor (A) which is one of the essential components in the present invention will be described.
The alkoxysilane represented by the general formula (1) and its hydrolyzate and polycondensate contained in the silica precursor that can be used in the present invention are those in which the starting material alkoxysilane has 4, 3, 2 or 1 functionality. Sex. The alkoxysilane and its hydrolyzate and polycondensate are hereinafter referred to as alkoxysilane and the like.
As specific examples of the tetrafunctional alkoxysilane represented by the general formula (1), tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetra-n-propoxysilane, tetra-i-propoxysilane, tetra-n-butoxysilane , Tetra-sec-butoxysilane, tetra-i-butoxysilane, tetra-tert-butoxysilane and the like.
[0013]
Specific examples of the trifunctional alkoxysilane represented by the general formula (1) include trimethoxysilane, triethoxysilane, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, ethyltrimethoxysilane, ethyltriethoxysilane, Propyltrimethoxysilane, propyltriethoxysilane, isobutyltriethoxysilane, cyclohexyltrimethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, aryltrimethoxysilane, aryltriethoxysilane, Methyl tri-n-propoxy silane, methyl tri-iso-propoxy silane, methyl tri-n-butoxy silane, methyl tri-i-butoxy silane, methyl tri-sec-butoxy silane Methyl tri -tert- butoxysilane,
[0014]
Ethyl tri-n-propoxy silane, ethyl tri-iso-propoxy silane, ethyl tri-n-butoxy silane, ethyl tri-i-butoxy silane, ethyl tri-sec-butoxy silane, ethyl tri-tert-butoxy silane, n-propyl tri-n-propoxy Silane, n-propyltri-iso-propoxysilane, n-propyltri-n-butoxysilane, n-propyltri-i-butoxysilane, n-propyltri-sec-butoxysilane, n-propyltri-tert-butoxy Silane, i-propyltrimethoxysilane, i-propyltriethoxysilane, i-propyltri-n-propoxysilane, i-propyltri-iso-propoxysilane, i-propyltri-n-butoxysilane, i-propyltri -Sec Butoxysilane, i-propyltri-tert-butoxysilane, n-butyltrimethoxysilane, n-butyltriethoxysilane, n-butyltri-n-propoxysilane, n-butyltri-iso-propoxysilane, n-butyltri-n -Butoxysilane, n-butyltri-sec-butoxysilane, n-butyltri-tert-butoxysilane, n-butyltriphenoxysilane, sec-butyltrimethoxysilane, sec-butyl-tri-n-propoxysilane, sec-butyl -Tri-iso-propoxysilane,
[0015]
sec-butyl-tri-n-butoxysilane, sec-butyl-tri-sec-butoxysilane, sec-butyl-tri-tert-butoxysilane, t-butyltrimethoxysilane, t-butyltriethoxysilane, t-butyltrisilane -N-propoxysilane, t-butyltri-iso-propoxysilane, t-butyltri-n-butoxysilane, t-butyltri-sec-butoxysilane, t-butyltri-tert-butoxysilane, phenyltri-n-propoxysilane, Examples include phenyltri-iso-propoxysilane, phenyltri-n-butoxysilane, phenyltri-sec-butoxysilane, and phenyltri-tert-butoxysilane.
[0016]
A partially hydrolyzed product of alkoxysilanes may be used as a raw material.
Of these tetrafunctional and trifunctional alkoxysilanes, particularly preferred are tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, trimethoxysilane, triethoxysilane, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, ethyltrimethoxysilane, ethyltrimethoxysilane. Ethoxysilane, propyltrimethoxysilane, propyltriethoxysilane, butyltrimethoxysilane, butyltriethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, and phenyltriethoxysilane.
Further, a trifunctional alkylsilane in which a vinyl group is bonded to a silicon atom is also preferable. Specifically, vinyl trimethoxy silane, vinyl triethoxy silane, vinyl tri-n-propoxy silane, vinyl tri-i-propoxy silane, vinyl tri-n-butoxy silane, vinyl tri-sec-butoxy silane, vinyl tri-tert-butoxy silane, And the like.
[0017]
Specific examples of the bifunctional alkoxysilane represented by the general formula (1) include dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, dimethyldi-n-propoxysilane, dimethyldi-i-propoxysilane, and dimethyldi-n-butoxy. Silane, dimethyldi-sec-butoxysilane, dimethyldi-tert-butoxysilane, diethyldimethoxysilane, diethyldiethoxysilane, diethyldi-n-propoxysilane, diethyldi-i-propoxysilane, diethyldi-n-butoxysilane, diethyldi-sec- Butoxysilane, diethyldi-tert-butoxysilane, diphenyldimethoxysilane, diphenyldiethoxysilane, diphenyldi-n-propoxysilane, diphenyldi-i-propoxysilane, diphenyldi-n- Tokishishiran, diphenyl -sec- butoxysilane, diphenyl di -tert- butoxysilane, methyl ethyl dimethoxy silane, methyl ethyl diethoxy silane, Mechiruechiruji -n- propoxysilane, Mechiruechiruji -i- propoxysilane, Mechiruechiruji -n- butoxysilane,
[0018]
Methylethyldi-sec-butoxysilane, methylethyldi-tert-butoxysilane, methylpropyldimethoxysilane, methylpropyldiethoxysilane, methylpropidin-n-propoxysilane, methylpropyldi-i-propoxysilane, methylpropyldi-n-butoxysilane, Methylpropyldi-sec-butoxysilane, methylpropyldi-tert-butoxysilane, methylphenyldimethoxysilane, methylphenyldiethoxysilane, methylphenyldi-n-propoxysilane, methylphenyldi-i-propoxysilane, methylphenyldi -N-butoxysilane, methylphenyldi-sec-butoxysilane, methylfaildi-tert-butoxysilane, ethylphenyldimethoxysilane, ethylphenyldie Silicon such as xysilane, ethylphenyldi-n-propoxysilane, ethylphenyldi-i-propoxysilane, ethylphenyldi-n-butoxysilane, ethylphenyldi-sec-butoxysilane, ethylphenyldi-tert-butoxysilane, etc. Examples include alkylsilane in which two alkyl groups or aryl groups are bonded to an atom.
[0019]
In addition, methylvinyldimethoxysilane, methylvinyldiethoxysilane, methylvinyldi-n-propoxysilane, methylvinyldi-i-propoxysilane, methylvinyldi-n-butoxysilane, methylvinyldi-sec-butoxysilane, methylvinyldi-tert-butoxysilane, divinyldimethoxy Silane, divinyldiethoxysilane, divinyldi-n-propoxysilane, divinyldi-i-propoxysilane, divinyldi-n-butoxysilane, divinyldi-sec-butoxysilane, divinyldi-tert-butoxysilane, etc. Alkyl silanes having two vinyl groups bonded thereto are also suitable.
[0020]
Specific examples of the monofunctional alkoxysilane represented by the general formula (1) include trimethylmethoxysilane, trimethylethoxysilane, trimethyl-n-propoxysilane, trimethyl-i-propoxysilane, trimethyl-n-butoxysilane, and trimethyl. -Sec-butoxysilane, trimethyl-tert-butoxysilane, triethylmethoxysilane, triethylethoxysilane, triethyl-n-propoxysilane, triethyl-i-propoxysilane, triethyl-n-butoxysilane, triethyl-sec-butoxysilane, triethyl -Tert-butoxysilane, tripropylmethoxysilane, tripropylethoxysilane, tripropyl-n-propoxysilane, tripropyl-i-propoxysilane, tripropyl-n-but Shishiran, tripropylamine -sec- butoxysilane, tripropylamine -tert- butoxysilane, triphenyl methoxy silane,
[0021]
Triphenylethoxysilane, triphenyl-n-propoxysilane, triphenyl-i-propoxysilane, triphenyl-n-butoxysilane, triphenyl-sec-butoxysilane, triphenyl-tert-butoxysilane, methyldiethylmethoxysilane, Methyldiethylethoxysilane, methyldiethyl-n-propoxysilane, methyldiethyl-i-propoxysilane, methyldiethyl-n-butoxysilane, methyldiethyl-sec-butoxysilane, methyldiethyl-tert-butoxysilane, methyldipropylmethoxysilane , Methyldipropylethoxysilane, methyldipropyl-n-propoxysilane, methyldipropyl-i-propoxysilane, methyldipropyl-n-butoxysilane, methyldipropyl- ec-butoxysilane, methyldipropyl-tert-butoxysilane, methyldiphenylmethoxysilane, methyldiphenylethoxysilane, methyldiphenyl-n-propoxysilane, methyldiphenyl-i-propoxysilane, methyldiphenyl-n-butoxysilane, methyldiphenyl -Sec-butoxysilane, methyldiphenyl-tert-butoxysilane, ethyldimethylmethoxysilane, ethyldimethylethoxysilane, ethyldimethyl-n-propoxysilane, ethyldimethyl-i-propoxysilane, ethyldimethyl-n-butoxysilane, ethyldimethyl -Sec-butoxysilane, ethyldimethyl-tert-butoxysilane, ethyldipropylmethoxysilane, ethyldipropylethoxysilane, ethyldipro Le -n- propoxysilane, ethyl dipropyl -i- propoxysilane, ethyl dipropyl -n- butoxysilane,
[0022]
Ethyldipropyl-sec-butoxysilane, ethyldipropyl-tert-butoxysilane, ethyldiphenylmethoxysilane, ethyldiphenylethoxysilane, ethyldiphenyl-n-propoxysilane, ethyldiphenyl-i-propoxysilane, ethyldiphenyl-n-butoxy Silane, ethyldiphenyl-sec-butoxysilane, ethyldiphenyl-tert-butoxysilane, propyldimethylmethoxysilane, propyldimethylethoxysilane, propyldimethyl-n-propoxysilane, propyldimethyl-i-propoxysilane, propyldimethyl-n-butoxy Silane, propyldimethyl-sec-butoxysilane, propyldimethyl-tert-butoxysilane, propyldiethylmethoxysilane, propyldie Luethoxysilane, propyldiethyl-n-propoxysilane, propyldiethyl-i-propoxysilane, propyldiethyl-n-butoxysilane, propyldiethyl-sec-butoxysilane, propyldiethyl-tert-butoxysilane, propyldiphenylmethoxysilane, propyl Diphenylethoxysilane, propyldiphenyl-n-propoxysilane,
[0023]
Propyldiphenyl-i-propoxysilane, propyldiphenyl-n-butoxysilane, propyldiphenyl-sec-butoxysilane, propyldiphenyl-tert-butoxysilanephenyldimethylmethoxysilane, phenyldimethylethoxysilane, phenyldimethyl-n-propoxysilane, phenyl Dimethyl-i-propoxysilane, phenyldimethyl-n-butoxysilane, phenyldimethyl-sec-butoxysilane, phenyldimethyl-tert-butoxysilane, phenyldiethylmethoxysilane, phenyldiethylethoxysilane, phenyldiethyl-n-propoxysilane, phenyl Diethyl-i-propoxysilane, phenyldiethyl-n-butoxysilane, phenyldiethyl-sec-butoxysilane, Diethyl-tert-butoxysilane, phenyldipropylmethoxysilane, phenyldipropylethoxysilane, phenyldipropyl-n-propoxysilane, phenyldipropyl-i-propoxysilane, phenyldipropyl-n-butoxysilane, phenyldipropyl- sec-butoxysilane, phenyldipropyl-tert-butoxysilane and the like.
[0024]
Alkyl silanes having 1 to 3 vinyl groups bonded to silicon atoms are also suitable. Specifically, trivinylmethoxysilane, trivinylethoxysilane, trivinyl-n-propoxysilane, trivinyl-i-propoxysilane, trivinyl-n-butoxysilane, trivinyl-sec-butoxysilane, trivinyl-tert-butoxysilane, Vinyldimethylmethoxysilane, vinyldimethylethoxysilane, vinyldimethyl-n-propoxysilane, vinyldimethyl-i-propoxysilane, vinyldimethyl-n-butoxysilane, vinyldimethyl-sec-butoxysilane, vinyldimethyl-tert-butoxysilane, Vinyldiethylmethoxysilane, vinyldiethylethoxysilane, vinyldiethyl-n-propoxysilane, vinyldiethyl-i-propoxysilane, vinyldiethyl-n-butoxysilane, Diethyl-sec-butoxysilane, vinyldiethyl-tert-butoxysilane, vinyldipropylmethoxysilane, vinyldipropylethoxysilane, vinyldipropyl-n-propoxysilane, vinyldipropyl-i-propoxysilane, vinyldipropyl-n -Butoxysilane, vinyldipropyl-sec-butoxysilane, vinyldipropyl-tert-butoxysilane and the like.
[0025]
As the monofunctional and bifunctional alkoxysilanes of the present invention, the above-mentioned alkoxysilanes are used. Among them, more preferred are trimethylmethoxysilane, trimethylethoxysilane, triethylmethoxysilane, and triethylethoxysilane. , Alkyl silanes such as tripropyl methoxy silane, tripropyl methoxy silane, tripropyl ethoxy silane, triphenyl methoxy silane, triphenyl ethoxy silane, phenyl dimethyl methoxy silane, phenyl dimethyl ethoxy silane, diphenyl methyl methoxy silane, diphenyl methyl ethoxy silane, Dimethyldiethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, diethyldiethoxysilane, diphenyldiethoxysilane, methylethyldiethoxysilane, methylphenol Sulfonyl diethoxy silane, ethyl phenyl diethoxy silane, dimethyl dimethoxy silane, dimethyl dimethoxy silane, diethyl dimethoxy silane, diphenyl dimethoxy silane, methyl ethyl dimethoxy silane, methyl phenyl dimethoxy silane, and that such ethylphenyl dimethoxysilane.
In addition, methyl dimethoxy silane, methyl diethoxy silane, ethyl dimethoxy silane, ethyl diethoxy silane, propyl dimethoxy silane, propyl diethoxy silane, phenyl dimethoxy silane, phenyl diethoxy silane, etc. It can also be used.
[0026]
Next, the alkoxysilane represented by the general formula (2) which can be used in the present invention has a starting material of alkoxysilane having 6, 5, 4, 3 and bifunctionality.
Among the alkoxysilanes represented by the general formula (2), R⁷Is-(CH₂)_nAs specific examples of the 6,5,4,3, and bifunctional alkoxysilanes, bis (trimethoxysilyl) methane, bis (triethoxysilyl) methane, Bis (triphenoxysilyl) methane, bis (trimethoxysilyl) ethane, bis (triethoxysilyl) ethane, bis (triphenoxysilyl) ethane, 1,3-bis (trimethoxysilyl) propane, 1,3-bis ( Triethoxysilyl) propane, 1,3-bis (triphenoxysilyl) propane, 1,4-bis (trimethoxysilyl) benzene, 1,4-bis (triethoxysilyl) benzene, and the like.
[0027]
As pentafunctional alkoxysilanes, 1- (dimethoxymethylsilyl) -1- (trimethoxysilyl) methane, 1- (diethoxymethylsilyl) -1- (triethoxysilyl) methane, 1- (di-n- Propoxymethylsilyl) -1- (tri-n-propoxysilyl) methane, 1- (di-i-propoxymethylsilyl) -1- (tri-i-propoxysilyl) methane, 1- (di-n-butoxymethyl) (Silyl) -1- (tri-n-butoxysilyl) methane, 1- (di-sec-butoxymethylsilyl) -1- (tri-sec-butoxysilyl) methane, 1- (di-t-butoxymethylsilyl) -1- (tri-t-butoxysilyl) methane, 1- (dimethoxymethylsilyl) -2- (trimethoxysilyl) ethane, 1- (diethoxymethylsilyl) -2- (triethoxysilyl) ethane, 1- (di-n-propoxymethylsilyl) -2- (tri-n-propoxysilyl) ethane, 1- (di-i-propoxymethylsilyl) -2- (tri -I-propoxysilyl) ethane, 1- (di-n-butoxymethylsilyl) -2- (tri-n-butoxysilyl) ethane, 1- (di-sec-butoxymethylsilyl) -2- (tri-sec -Butoxysilyl) ethane, 1- (di-t-butoxymethylsilyl) -2- (tri-t-butoxysilyl) ethane and the like.
[0028]
Examples of tetrafunctional alkoxysilanes include bis (dimethoxymethylsilyl) methane, bis (diethoxymethylsilyl) methane, bis (dimethoxyphenylsilyl) methane, bis (diethoxyphenylsilyl) methane, bis (dimethoxymethylsilyl) Ethane, bis (diethoxymethylsilyl) ethane, bis (dimethoxyphenylsilyl) ethane, bis (diethoxyphenylsilyl) ethane, 1,3-bis (dimethoxymethylsilyl) propane, 1,3-bis (diethoxymethylsilyl) ) Propane, 1,3-bis (dimethoxyphenylsilyl) propane, 1,3-bis (diethoxyphenylsilyl) propane and the like.
[0029]
As trifunctional alkoxysilanes, 1- (dimethoxymethylsilyl) -1- (methoxydimethylsilyl) methane, 1- (diethoxymethylsilyl) -1- (ethoxydimethylsilyl) methane, 1- (di-n- Propoxymethylsilyl) -1- (n-propoxydimethylsilyl) methane, 1- (di-i-propoxymethylsilyl) -1- (i-propoxydimethylsilyl) methane, 1- (di-n-butoxymethylsilyl) ) -1- (n-butoxydimethylsilyl) methane, 1- (di-sec-butoxymethylsilyl) -1- (sec-butoxydimethylsilyl) methane, 1- (di-tert-butoxymethylsilyl) -1- (T-butoxydimethylsilyl) methane, 1- (dimethoxymethylsilyl) -2- (methoxydimethylsilyl) ethane, 1- (di Toximethylsilyl) -2- (ethoxydimethylsilyl) ethane, 1- (di-n-propoxymethylsilyl) -2- (n-propoxydimethylsilyl) ethane, 1- (di-i-propoxymethylsilyl) -2 -(I-propoxydimethylsilyl) ethane, 1- (di-n-butoxymethylsilyl) -2- (n-butoxydimethylsilyl) ethane, 1- (di-sec-butoxymethylsilyl) -2- (sec- Butoxydimethylsilyl) ethane, 1- (di-t-butoxymethylsilyl) -2- (t-butoxydimethylsilyl) ethane and the like.
[0030]
Specific examples of the bifunctional alkoxysilane include bis (methoxydimethylsilyl) methane, bis (ethoxydimethylsilyl) methane, bis (methoxydiphenylsilyl) methane, bis (ethoxydiphenylsilyl) methane, and bis (methoxydimethylsilyl) ethane , Bis (ethoxydimethylsilyl) ethane, bis (methoxydiphenylsilyl) ethane, bis (ethoxydiphenylsilyl) ethane, 1,3-bis (methoxydimethylsilyl) propane, 1,3-bis (ethoxydimethylsilyl) propane, , 3-bis (methoxydiphenylsilyl) propane, 1,3-bis (ethoxydiphenylsilyl) propane, and the like.
[0031]
In general formula (2), R⁷Is a compound having an oxygen atom, and hexamethoxydisiloxane, hexaethoxydisiloxane, hexaphenoxydisiloxane, 1,1,1,3,3-pentamethoxy-3-methyldisiloxane, 1,1,1,3,3-pentaethoxy-3-methyldisiloxane, 1,1,1,3,3-pentamethoxy-3-phenyldisiloxane, 1,1,1, 3,3-pentaethoxy-3-phenyldisiloxane, tetrafunctional alkoxysilanes such as 1,1,3,3-tetramethoxy-1,3-dimethyldisiloxane, 1,1,3,3-tetraethoxy- 1,3-dimethyldisiloxane, 1,1,3,3-tetramethoxy-1,3'-diphenyldisiloxane, 1,1,3,3-tetraeth 1,3-diphenyldisiloxane, 1,1,3-trimethoxy-1,3,3-trimethyldisiloxane as trifunctional alkoxysilane, 1,1,3-triethoxy-1,3,3-trimethyl Disiloxane, 1,1,3-trimethoxy-1,3,3-triphenyldisiloxane, 1,1,3-triethoxy-1,3,3-triphenyldisiloxane,
[0032]
1,3-dimethoxy-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane, 1,3-diethoxy-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane, 1,3-dimethoxy as bifunctional alkoxysilane -1,1,3,3-tetraphenyldisiloxane, 1,3-diethoxy-1,1,3,3-tetraphenyldisiloxane, 3-dimethoxy-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane, 1,3-diethoxy-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane, 1,3-dimethoxy-1,1,3,3-tetraphenyldisiloxane, 1,3-diethoxy-1,1,3, Examples thereof include 3-tetraphenyldisiloxane.
[0033]
In the general formula (2), p is 0, and as specific examples of 6,5,4,3, and bifunctional alkoxysilanes, specific examples of hexafunctional alkoxysilanes are hexamethoxydisilane, hexaethoxydisilane, Specific examples of hexaphenoxydisilane and pentafunctional alkoxysilane include 1,1,1,2,2-pentamethoxy-2-methyldisilane and 1,1,1,2,2-pentaethoxy-2-methyldisilane 1,1,1,2,2-pentamethoxy-2-phenyldisilane, 1,1,1,2,2-pentaethoxy-2-phenyldisilane, and 1,1 as specific examples of tetrafunctional alkoxysilane 1,2,2-tetramethoxy-1,2-dimethyldisilane, 1,1,2,2-tetraethoxy-1,2-dimethyldisilane, 1,1,2,2-tetramethoxy-1 Specific examples of 2-diphenyldisilane, 1,1,2,2-tetraethoxy-1,2-diphenyldisilane and trifunctional alkoxysilane include 1,1,2-trimethoxy-1,2,2} -trimethyldisilane, 1,1,2-triethoxy- {1,2,2-trimethyldisilane, 1,1,2-trimethoxy-1,2,2-triphenyldisilane, 1,1,2-triethoxy-1,2,2-tri Specific examples of phenyldisilane and bifunctional alkoxysilane include 1,2-dimethoxy-1,1,2,2-tetramethyldisilane, 1,2-diethoxy-1,1,2,2-tetramethyldisilane, , 2-dimethoxy-1,1,2,2-tetraphenyldisilane, 1,2-diethoxy-1,1,2,2-tetraphenyldisilane and the like.
[0034]
The above-mentioned alkoxysilanes are used as the mono-, bi- and trifunctional alkoxysilanes of the present invention. Among them, trimethylethoxysilane, triethylethoxysilane, tripropylethoxysilane, tripropylethoxysilane, and the like are more preferable. Alkyl silanes such as phenylethoxysilane, phenyldimethylethoxysilane, diphenylmethylethoxysilane, and the like, in which three alkyl groups or aryl groups are directly bonded to a silicon atom, dimethyldiethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, diethyldiethoxysilane, diphenyldisilane Alkoxysilanes such as ethoxysilane, methylethyldiethoxysilane, methylphenyldiethoxysilane, and ethylphenyldiethoxysilane in which two alkyl or aryl groups are directly bonded to a silicon atom. And the one alkyl group or an aryl group directly to the silicon atom include alkoxysilanes bound.
[0035]
Further, those in which a hydrogen atom is directly bonded to a silicon atom, such as methyldiethoxysilane, dimethylvinylmethoxysilane, and dimethylvinylethoxysilane, can also be used.
Further, bis (ethoxydimethylsilyl) methane, bis (ethoxydiphenylsilyl) methane, bis (ethoxydimethylsilyl) ethane, bis (ethoxydiphenylsilyl) ethane, 1,3-bis (ethoxydimethylsilyl) propane, 1,3- Bis (ethoxydiphenylsilyl) propane, 3-diethoxy-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane, 1,3-diethoxy {-1,1,3,3-tetraphenyldisiloxane, 1,2-diethoxy- 1,1,2,2-tetramethyldisilane, 1,2-diethoxy-1,1,2,2-tetraphenyldisilane and the like can be suitably used.
[0036]
Among them, particularly preferred alkoxysilanes include trimethylethoxysilane, triethylethoxysilane, tripropylethoxysilane, triphenylethoxysilane, phenyldimethylethoxysilane, diphenylmethylethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, diethyldiethoxysilane, and diphenyldiethoxysilane. Ethoxysilane, methylethyldiethoxysilane, methylphenyldiethoxysilane, ethylphenyldiethoxysilane are exemplified.
The silica precursor of the present invention contains at least one of the above-mentioned alkoxysilanes and their hydrolyzed and polycondensed ones.
[0037]
The hydrolyzate also includes a partial hydrolyzate. For example, in the case of a tetrafunctional alkoxysilane used for the silica precursor (A), it is not necessary that all four alkoxys are hydrolyzed, for example, only one is hydrolyzed, May be hydrolyzed, or a mixture thereof may be present.
The polycondensate contained in the silica precursor (A) in the present invention is a polycondensate in which a silanol group of a hydrolyzate of the silica precursor (A) is condensed to form a Si—O—Si bond. However, it is not necessary that all of the silanol groups are condensed, and a mixture of some of the silanol groups condensed and those having different degrees of condensation are represented.
[0038]
The silica precursor contained in the coating composition of the present invention is the total of silicon atoms derived from 1-3 functional alkoxysilanes among the alkoxysilanes represented by the general formulas (1) and (2). Is characterized by being contained in an amount of 5 mol% to 80 mol% based on the total silicon atoms derived from the 1-6 functional alkoxysilane. Preferably it is 10 mol% to 70 mol%, more preferably 20 mol% to 60 mol%. If the silicon atom derived from the 1-3-functional alkoxysilane is less than 5 mol%, the relative permittivity of the thin film will not decrease, while if it exceeds 80 mol%, the mechanical strength of the thin film will decrease, which is not preferable.
The content of the silica precursor (siloxane obtained by subjecting the entire amount of the charged alkoxysilane to hydrolysis and condensation reaction) in the coating composition of the present invention can be expressed as the total solid concentration. The total solid content concentration is preferably 2 to 30% by weight, although it depends on the intended thickness of the insulating thin film, and the storage stability is excellent.
[0039]
Next, the coating composition of the present invention needs to contain the organic compound (B) represented by the following general formula in an amount of 0.01% by weight or more and 2% by weight or less based on the total amount of the coating composition.
R⁸(CH₃) C (OR⁹) -C≡CC (OR^{9 '}) (CH₃) R^{8 '}
Where R⁸And R^{8 '}May be the same or different and each represents H or an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, R⁹And R^{9 '}May be the same or different and are each H or (OCH₂CH₂)_xAnd a substituent represented by H (x is an integer of 20 or less).
[0040]
The component significantly improves the stability of the composition in the coating composition of the present invention, and enables formation of a highly uniform coating film that does not cause striation during coating such as spin coating. Although the reason is not clear, it is presumed that the action of the compound as a nonionic surfactant is involved. Naturally, although it depends on the type and composition of other components, the content of the component (B) with respect to the total amount of the coating composition is preferably 0.02 wt% or more and 1 wt% or less, more preferably 0.03 wt% or more. When the content is within the range of 0.1 wt% or less, it is possible to obtain a coating composition of the present invention in which stability during coating is higher, that is, generation of aggregates and striations is further suppressed. In particular, when the content of the component (B) is less than 0.01% by weight, it is difficult to obtain the effects of the present invention. When the content exceeds 2% by weight, the quality of the film is significantly reduced due to the generation of aggregates at the time of coating. Undesirable.
[0041]
Next, the structure of the component (B) will be described in detail.
R⁸And R^{8 '}Is hydrogen or an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, and the alkyl group is more specifically a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an iso-propyl group, an n-butyl group, an iso-butyl group. Group, sec-butyl group, tert-butyl group, n-pentyl group, and all hydrocarbon groups having 1 to 10 carbon atoms and containing no unsaturated bond. R⁸And R^{8 '}May be the same or different.
Also, R⁹And R^{9 '}Is hydrogen, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, (CH₂CH₂O)_xAnd OH (x is an integer of 20 or less). The alkyl group having 1 to 10 carbon atoms is represented by R⁸, R^{8 '}As in the case of the above, methyl group, ethyl group, n-propyl group, iso-propyl group, n-butyl group, iso-butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, n-pentyl group, etc. Includes all hydrocarbon groups from 1 to 10 that do not contain unsaturated bonds. R⁹And R^{9 '}Is further (CH₂CH₂O)_xIt may be an oxyethylene chain represented by H (x is an integer of 20 or less). R⁹And R^{9 '}May be the same or different. When a compound satisfying the above conditions is used as the component (B), several effects described above in the present invention are exhibited.
[0042]
Specific examples of the component (B) include 2,4,7,9-tetramethyl-5-decyne-4,7-diol, 3,6-dimethyl-4-octyne-3,6-diol, and 3,5- Dimethyl-1-hexyne-3-diol, 2,5,8,11-tetramethyl-6-dodecine-5,8-diol, 2,5-dimethyl-3-hexyne-2,5-diol, 3-methyl -1-butyne-3-diol, 3-methyl-1-pentyne-3-diol, and ethylene oxide adducts thereof. Of these, particularly preferred are 2,4,7,9-tetramethyl-5-decyne-4,7-diol and 2,5,8,11-tetramethyl-6-dodecine-5,8-diol. And their ethylene oxide adducts.
[0043]
The coating composition of the present invention needs to contain water (C) in addition to the components (A) and (B). The reason why water is required in the present invention is that the formation reaction of the silica precursor is a hydrolysis reaction of alkoxysilane. Usually, since water (C) acts not only as a reactant of hydrolysis but also as a solvent, the amount of water contained in the coating composition is preferably from 10 wt% to 70 wt%, and more preferably from 10 wt% to the total weight of the coating composition. Needs to be 20 wt% to 60 wt%. If it is less than 10 wt%, no mechanical strength is exhibited, and if it is more than 70 wt%, the silica precursor is likely to precipitate in the coating composition, which is not desirable.
As described above, the coating composition of the present invention is a coating composition composed of the components (A) and (B) and water, and is mixed with the organic polymer (D) and the organic solvent (E). Thereby, a more suitable coating composition of the present invention can be obtained.
[0044]
Next, the organic polymer (D) which is particularly preferable in the present invention will be described.
The organic polymer as the component (D) forms a hole in the insulating thin film by volatilizing or generating a gas by heat during or after the curing of the component (A) and preferably volatilizing out of the system. Is a component that acts to lower the relative dielectric constant of the insulating film. The temperature at which the component (D) volatilizes or generates a gas is in the range of 0 to 500 ° C., preferably 25 to 400 ° C. under atmospheric pressure.
Further, the organic polymer is required to be stably dissolved in the coating composition obtained according to the present invention. However, aliphatic polyethers, aliphatic polyesters, aliphatic polycarbonates, aliphatic A polymer containing polyanhydride as a main component can be used. Among these, those having an aliphatic polyether chain in the skeleton structure are particularly preferable. The organic polymer may be used alone, or two or more kinds may be used in combination.The main chain of the organic polymer is a polymer having any repeating unit other than the above, as long as the effects of the present invention are not impaired. It may contain chains.
[0045]
Specific examples of aliphatic polyethers include polyethylene glycol, polypropylene glycol, polyisobutylene glycol, polytrimethylene glycol, polytetramethylene glycol, polypentamethylene glycol, polyhexamethylene glycol, polydioxolan, and polydioxepane. . In addition to these, there may be mentioned the above-mentioned linear binary block copolymer comprising a polyether chain, a linear ternary block copolymer, and a branched binary or higher polyether block copolymer.
In the present invention, among these, a more preferable coating composition of the present invention can be obtained by using a linear or branched polyether block copolymer of two or more elements.
[0046]
Specific linear binary block copolymers include polyethylene glycol polypropylene glycol and polyethylene glycol polybutylene glycol, and linear linear block copolymers include polyethylene glycol polypropylene glycol polyethylene glycol, polypropylene glycol polyethylene glycol polypropylene glycol, Examples include, but are not limited to, polyethylene glycol, polybutylene glycol, and polyethylene glycol.
Further, as a branched block copolymer, a structure in which at least three of hydroxyl groups contained in a sugar chain represented by glycerol, erythritol, pentaerythritol, pentitol, pentose, hexitol, hexose, heptose, and the like are bonded to a polymer chain. And / or a structure in which at least three of a hydroxyl group and a carboxyl group contained in a hydroxyl acid are bonded to a block copolymer chain.
[0047]
Other than the sugar chain used to obtain the above-mentioned branched block copolymer, for example, sorbitol, mannitol, xylitol, threitol, maltitol, arabitol, lactitol, adonitol, celloitol, glucose, fructose, sucrose, lactose, mannose, galactose, A branched block copolymer containing erythrose, xylulose, allulose, ribose, sorbose, xylose, arabinose, isomaltose, dextrose, and glucoheptose as a branched skeleton can also be used. Specific examples of the hydroxyl acid as a branched skeleton include citric acid, malic acid, tartaric acid, gluconic acid, glucuronic acid, glucoheptonic acid, glucooctanoic acid, threonic acid, saccharic acid, galactonic acid, galactic acid, and galacturonic acid. Glyceric acid, hydroxysuccinic acid and the like. Specific examples of such branched polymers include, but are not limited to, glycerol polyethylene glycol polypropylene glycol, erythritol polyethylene glycol polypropylene glycol polyethylene glycol, and the like.
[0048]
Next, aliphatic polyesters, aliphatic polycarbonates, aliphatic polyanhydrides and other polymers which are polymers other than the aliphatic polyether which can be added to the coating composition of the present invention are specifically exemplified.
Examples of the aliphatic polyester include polyglycolide, polycaprolactone, polycondensates of hydroxycarboxylic acids such as polypivalolactone and ring-opening polymers of lactones, and polyethylene oxalate, polyethylene succinate, polyethylene adipate, polyethylene Polycondensates of dicarboxylic acids such as sebacate, polypropylene adipate, polyoxydiethylene adipate and alkylene glycol, and ring-opening copolymers of epoxides and acid anhydrides.
[0049]
Examples of the aliphatic polycarbonate include polycarbonate such as polyethylene carbonate, polypropylene carbonate, polypentamethylene carbonate, and polyhexamethylene carbonate as the main chain portion.
Examples of aliphatic polyanhydrides include polycondensation of dicarboxylic acids such as polymalonyl oxide, polyadipoyl oxide, polypimeloyl oxide, polysuberoyl oxide, polyazela oil oxide, and polysebacoil oxide as the main chain portion. Things can be mentioned.
Further, in the present invention, an organic polymer having at least one polymerizable functional group in a molecule can also be used. The use of such a polymer improves the strength of the porous silica thin film, although the reason is not clear.
[0050]
Examples of the polymerizable functional group include vinyl group, vinylidene group, vinylene group, glycidyl group, allyl group, acrylate group, methacrylate group, acrylamide group, methacrylamide group, carboxyl group, hydroxyl group, isocyanate group, amino group, and imino group. And a halogen group. These functional groups may be in the main chain, at the terminal, or in the side chain of the polymer. Further, it may be directly bonded to the polymer chain, or may be bonded via a spacer such as an alkylene group or an ether group. The same polymer molecule may have one type of functional group, or may have two or more types of functional groups. Among the functional groups listed above, a vinyl group, a vinylidene group, a vinylene group, a glycidyl group, an allyl group, an acrylate group, a methacrylate group, an acrylamide group, and a methacrylamide group are preferably used.
As the basic skeleton of the polymer having a polymerizable functional group, similar to the above-described examples of the polymer, aliphatic polyether having a low thermal decomposition temperature, aliphatic polyester, aliphatic polycarbonate, aliphatic polyanhydride as a main component and It is particularly preferable to use one that does.
[0051]
The basic skeleton of the organic polymer having a polymerizable functional group that can be used in the present invention will be described more specifically.
Hereinafter, alkylene refers to methylene, ethylene, propylene, trimethylene, tetramethylene, pentamethylene, hexamethylene, isopropylidene, 1,2-dimethylethylene, 2,2-dimethyltrimethylene, and the like. C1-C8 alkyl group and phenyl group, tolyl group, also include allyl group such as anisyl group, -meth-acrylate refers to both acrylate and methacrylate, dicarboxylic acid is oxalic acid, malonic acid, succinic acid, Refers to organic acids such as glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid and sebacic acid.
[0052]
Examples of the aliphatic polyether include polyalkylene glycol-meth-acrylate, polyalkylene glycol di-meth-acrylate, polyalkylene glycol alkyl ether-meth-acrylate, polyalkylene glycol vinyl ether, polyalkylene glycol divinyl ether, and polyalkylene glycol. Polymerizable functional groups such as acrylate group, methacrylate group, vinyl group and glycidyl group at the terminal represented by alkyl ether vinyl ether, polyalkylene glycol glycidyl ether, polyalkylene glycol diglycidyl ether, polyalkylene glycol alkyl ether glycidyl ether, etc. And aliphatic polyethers having the formula: Naturally, a polymer obtained by modifying the above-mentioned two or more linear or branched polyether block copolymers with these functional groups is also included.
[0053]
Examples of the aliphatic polyester include polycaprolactone-meth-acrylate, polycaprolactone vinyl ether, polycaprolactone glycidyl ether, polycaprolactone vinyl ester, polycaprolactone glycidyl ester, polycaprolactone vinyl ester-meth-acrylate, polycaprolactone glycidyl ester-meta- Acrylate, polycaprolactone vinyl ester vinyl ether, polycaprolactone glycidyl ester vinyl ether, polycaprolactone vinyl ester glycidyl ether, polycaprolactone glycidyl ester glycidyl ether, and polycaprolactone triol-meta-acrylate, di-meth-acrylate, tri-meth-acrylate , Vinyl ether, dibi Polymerizable functional groups such as acrylate group, methacrylate group, vinyl group, glycidyl group, etc. at one end or both ends, as represented by a terminal-modified polymer such as triether, trivinyl ether, glycidyl ether, diglycidyl ether, and triglycidyl ether. Is a polymer of polycaprolactone or dicarboxylic acid and an alkylene glycol having a acrylate group, a methacrylate group, a vinyl group, an aliphatic polyester having a polymerizable functional group such as a glycidyl group at one or both ends. it can.
[0054]
Aliphatic polyalkylene carbonate having a polymerizable functional group such as an acrylate group, a methacrylate group, a vinyl group, or a glycidyl group at one or both terminals, or a polymer of a dicarboxylic anhydride, and an acrylate group or a methacrylate group at a terminal. An aliphatic polyanhydride having a polymerizable functional group such as a vinyl group and a glycidyl group is also effective as the organic polymer used in the present invention.
In addition to these, polyglycidyl-meth-acrylate, polyallyl-meth-acrylate, polyvinyl-meth-acrylate, and the like, polyacrylates and polymethacrylic acids having a functional group such as a vinyl group, a glycidyl group, or an allyl group in a side chain. The addition of esters, polyvinyl cinnamate, polyvinyl azidobenzal, epoxy resin, etc. is also effective in some cases. However, these examples do not limit the organic polymer used in the present invention.
[0055]
The terminal group of the organic polymer used in the present invention is not particularly limited, but includes a hydroxyl group, a linear, branched and cyclic alkyl ether group having 1 to 8 carbon atoms, an alkyl ester group, an alkyl amide group, and an alkyl carbonate group. And those modified with a urethane group and a trialkylsilyl group. Hereinafter, as a specific example, an example in which the terminal group of an aliphatic polyether is modified will be described.
That is, examples of the alkylene glycols in which at least one terminal is alkyl-etherified include, for example, those etherified with methyl ether, ethyl ether, propyl ether, glycidyl ether, and the like.Specifically, for example, polyethylene glycol monomethyl Ether, polyethylene glycol dimethyl ether, polypropylene glycol dimethyl ether, polyisobutylene glycol dimethyl ether, polyethylene glycol diethyl ether, polyethylene glycol monoethyl ether, polyethylene glycol dibutyl ether, polyethylene glycol monobutyl ether, polyethylene glycol diglycidyl ether, polyethylene polypropylene glycol dimethyl ether, glycerin polyether Glycol trimethyl ether, pentaerythritol polyethylene grayed reel tetramethyl ether, pentitol polyethylene glycol pentamethyl ether, sorbitol polyethylene glycol hexamethyl ether is particularly preferably used.
[0056]
Examples of the aliphatic polyethers having an ester group at the terminal include those in which at least one terminal of the above-described alkylene glycols is, for example, acetate, propionate, acrylate, methacrylate, or benzoate. Can be Also, alkylene glycols whose terminals are converted to carboxymethyl ether and the terminal carboxyl groups are alkylesterified are preferably used. Specifically, for example, polyethylene glycol monoacetate, polyethylene glycol diacetate, polypropylene glycol monoacetate, polypropylene glycol diacetate, polyethylene glycol dibenzoate, polyethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol monomethacrylate , Polyethylene glycol dimethacrylate, polyethylene glycol biscarboxymethyl ether dimethyl ester, polypropylene glycol biscarboxymethyl ether dimethyl ester, glycerin polyethylene glycol triacetate, pentaerythritol polyethylene glycol tetraacetate, pentitol polyethylene glycol pentaacetate, sol And tall polyethylene glycol hexa acetate are preferred examples.
[0057]
As the aliphatic polyethers having an amide group at the terminal, at least one terminal of the above-mentioned alkylene glycols is subjected to carboxymethyl etherification, followed by amidation, and the hydroxy terminal is amidated after amino group modification. And the like. Specifically, polyethylene glycol bis (carboxymethyl ether dimethylamide), polypropylene glycol bis (carboxymethyl ether dimethylamide), polyethylene glycol bis (carboxymethyl ether diethylamide), glycerin polyethylene glycol tricarboxymethyl Ether dimethylamide, pentaerythritol polyethylene glycol tetracarboxymethyl ether dimethylamide, pentitol polyethylene glycol pentacarbo Shi ether dimethylamide, sorbitol polyethylene glycol hexa carboxymethyl ether dimethylamide is preferably used.
[0058]
Examples of the aliphatic polyethers having an alkyl carbonate group at a terminal include a method of attaching a formyl ester group to at least one terminal of the above-mentioned alkylene glycols.Specifically, bismethoxycarbonyloxy polyethylene glycol, Ethoxycarbonyloxy polyethylene glycol, bisethoxycarbonyloxy polypropylene glycol, bis tert-butoxycarbonyloxy polyethylene glycol and the like can be mentioned.
Further, aliphatic polyethers modified with a urethane group or a trialkylsilyl group at the terminal can also be used. In the trialkylsilyl modification, a trimethylsilyl modification is particularly preferable, and this can be modified with trimethylchlorosilane, trimethylchlorosilylacetamide, hexamethyldisilazane, or the like.
Further, as the organic polymer used in the present invention, a polymer partially or wholly cyclic may be used, and a cyclic polyether, a cyclic polyester, or the like can be used.
[0059]
As described above, the organic polymer that can be used in the present invention has been described. The molecular weight of the organic polymer is 100 to 1,000,000, preferably 100 to 300,000, and more preferably 200 to 50,000 in number average.
When the molecular weight is 100 or less, the organic polymer is removed from the silica / organic polymer composite too quickly, and a porous silica thin film having a desired porosity cannot be obtained. If it exceeds 10,000, the rate at which the polymer is removed is too slow, and the polymer remains undesirably. Particularly, the molecular weight of the polymer is more preferably 200 to 50,000, and in this case, a porous silica thin film having a desired high porosity can be obtained very easily at a low temperature in a short time.
[0060]
It should be noted that the pore size of the porous silica is very small and uniform, independent of the molecular weight of the polymer.
In particular, when a linear or branched binary polyether block copolymer as described above is used as the organic polymer, the molecular weight of each block of the block copolymer is 100 to 100,000, preferably 100 to 50,000. And more preferably 200 to 20,000. If the molecular weight is 100 or less or 100,000 or more, appropriate compatibility between the silica precursor and the polymer cannot be obtained, so that the mechanical strength of the porous silica thin film is not exhibited.
[0061]
The amount of the organic polymer to be added in the present invention is 0.01 to 10 parts by weight, preferably 0.1 to 10 parts by weight, based on 1 part by weight of the siloxane obtained assuming that the whole charged amount of the starting material alkoxysilane has undergone hydrolysis and condensation reaction. It is from 0.5 to 5 parts by weight, more preferably from 0.5 to 3 parts by weight. If the amount of the organic polymer is less than 0.01 part by weight, a porous body having sufficient pores cannot be obtained, and if it is more than 10 parts by weight, porous silica having sufficient mechanical strength cannot be obtained, Poor practicality.
The siloxane obtained by assuming that the whole charged amount of the alkoxysilane has undergone hydrolysis and condensation reactions is defined as SiOR of the general formulas (1) and (2).²Group, SiOR⁴Group and SiOR⁵A group in which a group is hydrolyzed 100% to form SiOH and further condensed 100% to form a siloxane structure.
[0062]
Furthermore, in the present invention, particularly, the organic polymer as the component (D) includes the linear or branched binary polyether block copolymer described above, and the content thereof is determined based on the total amount contained in the coating composition. When the amount is 10% by weight or more, preferably 30% by weight or more, more preferably 50% by weight or more based on the organic polymer, a coating composition for producing an insulating thin film can be more suitably obtained.
In the present invention, the linear or branched binary or higher block copolymer is particularly suitable as the component (D) because the thermal decomposition temperature is low when the coating film is converted into a porous thin film by heating and baking as described below. The reason is that the compatibility with the silica precursor and the silica is appropriately good. A linear or branched block copolymer of two or more binary units, wherein the block portion is an organic polymer having a linear or cyclic oxyalkylene group having 1 to 8 carbon atoms as a repeating unit; Is contained in a polymer chain of 60% by weight or more.
[0063]
Here, that the compatibility is appropriately good means that the block copolymer used in the present invention has good affinity with the silica precursor and silica. If the affinity between the two is appropriately good, the state of phase separation between the silica precursor and the polymer is controlled, and when the block copolymer is removed from the silica in a subsequent step to form a porous body, it is extremely difficult. Since there is no pore having a large or small pore diameter and the pore diameter is uniform, the surface smoothness of the obtained thin film is further improved, and the mechanical strength is also increased. Further, when the content of the linear or branched binary or higher polyether block copolymer in the organic polymer of the present invention is less than 10% by weight, the relative dielectric constant is not sufficiently lowered, which is not desirable.
In the present invention, a polymerizable organic monomer can be used as a starting material instead of a polymer. At this time, when two or more polymerizable functional groups are contained in the organic monomer, or when an organic polymer having a polymerizable functional group coexists with the monomer as described above, By subjecting the coating solution of the present invention to a treatment such as heat treatment, the organic polymer in the obtained composite has a three-dimensional network and / or graft-like structure.
[0064]
Those that can be suitably used as such examples include acrylic acid, methacrylic acid, acrylic acid ester, methacrylic acid ester, ethylene bis acrylate, ethylene bis methacrylate, α-cyano acrylic acid, α-cyano acrylic acid ester and the like. Acrylic acid and methacrylic acid derivatives, vinyl acetates such as vinyl acetate, vinyl propionate, vinyl crotonate, vinyl benzoate and vinyl chloroformate, acrylamide, methacrylamide, N, N-dialkylacrylamide, N, N-dialkylmethacryl Amides such as amide, N-alkylacrylamide, N-alkylmethacrylamide, N, N′-methylenebisacrylamide, N-vinylpyrrolidone, N-vinylformamide, N-vinylacetamide, styrene, α Methylstyrene, p-methoxystyrene, diphenylethylene, vinylnaphthalene, vinylanthracene, vinylcyclopentane, vinylcyclohexane, vinyl group-containing hydrocarbons such as 5-vinyl-2-norbornene, acrylonitrile, acrylonitrile derivatives such as methacrylonitrile, Vinyl amines such as N-vinyl pyridine, N-vinyl carbazole, N-vinyl imidazole, vinyl alkyl ether, vinyl alkyl ketone, glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, and epoxy resin. These polymerizable organic monomers may be used alone or in combination of two or more.
[0065]
Next, the organic solvent (E) that can be used in the coating composition of the present invention will be described.
When an organic polymer is used in the coating composition of the present invention, the component (E) is important as a component for controlling the dispersion state of the polymer in the composition.
The organic solvent is not particularly limited as long as it does not inhibit the stable dissolution or dispersion of the components (A), (B), (C) and (D) in the coating composition. It is preferable to use at least one organic solvent selected from the group consisting of a system solvent, a ketone solvent, an amide solvent and an ester solvent.
[0066]
Here, as the alcohol solvent, methanol, ethanol, n-propanol, i-propanol, n-butanol, i-butanol, sec-butanol, t-butanol, n-pentanol, i-pentanol, 2-methyl Butanol, sec-pentanol, t-pentanol, 3-methoxybutanol, n-hexanol, 2-methylpentanol, sec-hexanol, 2-ethylbutanol, sec-heptanol, heptanol-3, n-octanol, 2- Ethylhexanol, sec-octanol, n-nonyl alcohol, 2,6-dimethylheptanol-4, n-decanol, sec-undecyl alcohol, trimethylnonyl alcohol, sec-tetradecyl alcohol, sec-heptadecyl alcohol Phenol, cyclohexanol, methylcyclohexanol, 3,3,5-trimethylcyclohexanol, benzyl alcohol, monoalcohol solvents such as diacetone alcohol, and ethylene glycol, 1,2-propylene glycol, 1,3-butylene glycol, Pentanediol-2,4,2-methylpentanediol-2,4, hexanediol-2,5, heptanediol- 2,4,2-ethylhexanediol-1,3, diethylene glycol, dipropylene glycol, triethylene glycol , Polyhydric alcohol solvents such as tripropylene glycol,
[0067]
And ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol monohexyl ether, ethylene glycol monophenyl ether, ethylene glycol mono-2-ethylbutyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol mono Ethyl ether, diethylene glycol monopropyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monohexyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monopropyl ether, propylene glycol monobutyl ether, dipropylene Glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, and polyhydric alcohol partial ether solvents such as dipropylene glycol monopropyl ether. One or more of these alcohol solvents may be used at the same time.
[0068]
Among these alcohols, n-propanol, i-propanol, n-butanol, i-butanol, sec-butanol, t-butanol, n-pentanol, i-pentanol, 2-methylbutanol, sec-pentanol, t-pentanol -Pentanol, 3-methoxybutanol, n-hexanol, 2-methylpentanol, sec-hexanol, 2-ethylbutanol, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monopropyl ether, propylene glycol monobutyl ether, etc. Is preferred.
[0069]
Examples of the ketone solvent include acetone, methyl ethyl ketone, methyl-n-propyl ketone, methyl- ブチル n-butyl ketone, diethyl ketone, methyl-i-butyl ketone, methyl-n-pentyl ketone, ethyl-n-butyl ketone, and methyl-n-hexyl. In addition to ketone, di-i-dibutyl ketone, trimethylnonanone, cyclohexanone, 2-hexanone, methylcyclohexanone, 2,4-pentanedione, acetonylacetone, acetophenone, and fenchone, acetylacetone, 2,4-hexanedione, 2,4-heptanedione, 3,5'-heptanedione, 2,4-octanedione, 3,5-dioctanedione, 2,4-nonanedione, 3,5-nonanedione, 5-methyl-2,4-hexanedione, 2,2,6,6-tetramethi 3,5-heptanedione, 1,1,1,5,5,5 beta-diketones such as hexafluoro-2,4-heptane dione and the like. These ketone solvents may be used alone or in combination of two or more.
[0070]
Examples of the amide solvent include formamide, N-methylformamide, N, N-dimethylformamide, N-ethylformamide, N, N-diethylformamide, acetamide, N-methylacetamide, N, N-dimethylacetamide, and N-ethylacetamide. , N, N-diethylacetamide, N-methylpropionamide, N-methylpyrrolidone, N-formylmorpholine, N-formylpiperidine, N-formylpyrrolidine, N-acetylmorpholine, N-acetylpiperidine, N-acetylpyrrolidine and the like. No. One or more of these amide solvents may be used simultaneously.
[0071]
Examples of the ester solvent include diethyl carbonate, ethylene carbonate, propylene carbonate, diethyl carbonate, methyl acetate, ethyl acetate, γ-butyrolactone, γ-valerolactone, n-propyl acetate, i-propyl acetate, n-butyl acetate, and i-acetic acid. -Butyl, sec-butyl acetate, n-pentyl acetate, sec-pentyl acetate, 3-methoxybutyl acetate, methylpentyl acetate, 2-ethylbutyl acetate, 2-ethylhexyl acetate, benzyl acetate, cyclohexyl acetate, methylcyclohexyl acetate, n-acetic acid -Nonyl, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethyl acetate Glycol mono-Δn-butyl ether,
[0072]
Propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, dipropylene glycol monoethyl ether acetate, glycol diacetate, methoxytriglycol acetate, Ethyl propionate, n-butyl propionate, i-amyl propionate, diethyl oxalate, di-n-butyl oxalate, methyl lactate, ethyl lactate, n-butyl lactate, n-amyl lactate, diethyl malonate, phthalic acid Dimethyl, diethyl phthalate and the like. These ester solvents may be used alone or in combination of two or more.
The use of an alcohol-based solvent and / or an ester-based solvent as the organic solvent (E) is preferable in that a composition having good coatability and excellent storage stability can be obtained.
[0073]
The coating composition of the present invention contains the above-mentioned organic solvent (E). When the silica precursor used as the component (A) is hydrolyzed and / or condensed, a similar solvent can be additionally added. .
Furthermore, in the present invention, for the purpose of controlling the rate of hydrolysis and / or dehydration condensation of the silica precursor (A), at least one of an acidic compound, a basic compound and a metal chelate compound is added as an additive. In addition, a suitable semiconductor insulating film precursor composition is obtained. This component acts as a catalyst for the condensation reaction (polymerization) of the silanol group. Among these, the acid compounds specifically described below are effective because they have good solubility in the reaction solution.
[0074]
Specific examples of the acidic compound that can be used in the present invention include inorganic acids such as hydrochloric acid, nitric acid, sulfuric acid, phosphoric acid, hydrofluoric acid, tripolyphosphoric acid, phosphinic acid, and phosphonic acid. Examples of organic acids include acetic acid, propionic acid, butanoic acid, pentanoic acid, hexanoic acid, heptanoic acid, octanoic acid, nonanoic acid, decanoic acid, oxalic acid, maleic acid, methylmalonic acid, adipic acid, sebacic acid, and gallic Acid, butyric acid, melitic acid, arachidonic acid, shikimic acid, 2-ethylhexanoic acid, oleic acid, stearic acid, linoleic acid, linoleic acid, salicylic acid, benzoic acid, p-aminobenzoic acid, p-toluenesulfonic acid, benzenesulfone Examples thereof include acids, monochloroacetic acid, dichloroacetic acid, trichloroacetic acid, trifluoroacetic acid, formic acid, malonic acid, sulfonic acid, phthalic acid, fumaric acid, citric acid, tartaric acid, succinic acid, and isonicotinic acid. These acidic compounds may be used alone or in combination of two or more.
[0075]
Examples of the basic compound include sodium hydroxide, potassium hydroxide, lithium hydroxide, pyridine, pyrrole, piperazine, pyrrolidine, piperidine, picoline, monoethanolamine, diethanolamine, dimethylmonoethanolamine, monomethyldiethanolamine, and triethanol. Amine, diazabicyclooctane, diazabicyclononane, diazabicycloundecene, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, tetrapropylammonium hydroxide, tetrabutylammonium hydroxide, ammonia, methylamine, ethylamine, propylamine , Butylamine, pentylamine, hexylamine, pentylamine, octylamine, nonylamido , Decylamine, N, N-dimethylamine, N, N-diethylamine, N, N-dipropylamine, N, N-dibutylamine, trimethylamine, triethylamine, tripropylamine, tributylamine, cyclohexylamine, trimethylimidine, -Amino-3-methylbutane, dimethylglycine, 3-amino-3-aminomethylbutane and the like, more preferably organic amines, wherein ammonia, alkylamine and tetramethylammonium hydroxide are silica-based film substrates. It is particularly preferable from the viewpoint of adhesiveness to the substrate. One or more of these basic compounds may be used simultaneously.
[0076]
Examples of metal chelate compounds further include triethoxy mono (acetylacetonate) titanium, tri-n-propoxy mono (acetylacetonate) titanium, tri-i-propoxy mono (acetylacetonate) titanium, tri-n -Butoxy mono (acetylacetonate) titanium, tri-sec-butoxy mono (acetylacetonate) titanium, tri-t-butoxy mono (acetylacetonate) titanium, diethoxybis (acetylacetonate) titanium, -N-propoxybis (acetylacetonato) titanium, di-i-propoxybis (acetylacetonato) titanium, di-n-butoxybis (acetylacetonato) titanium, di-sec-butoxybis (acetyl) Acetonate) titanium, di-t-butoxy (Acetylacetonate) titanium, monoethoxy tris (acetylacetonate) titanium, mono-n-propoxy tris (acetylacetonate) titanium, mono-i-propoxy tris (acetylacetonate) titanium, mono-n -Butoxy-tris (acetylacetonate) titanium,
[0077]
Mono-sec-butoxy tris (acetylacetonate) titanium, mono-t-butoxy tris (acetylacetonate) titanium, tetrakis (acetylacetonate) titanium, triethoxy mono (ethylacetoacetate) titanium, tri-n- Propoxy mono (ethyl acetoacetate) titanium, tri-i-propoxy mono (ethyl acetoacetate) titanium, tri-n-butoxy mono (ethyl acetoacetate) titanium, tri-sec-butoxy mono (ethyl acetoacetate) Titanium, tri-t-butoxy mono (ethyl acetoacetate) titanium, diethoxy bis (ethyl acetoacetate) titanium, di-n-propoxy bis (ethyl acetoacetate) titanium, di-i-propoxy bis (ethyl acetoacetate) Acetate ) Titanium, di -n- butoxy bis (ethylacetoacetate) titanium, di -sec- butoxy-bis (ethylacetoacetate) titanium, di -t- butoxy bis (ethylacetoacetate) titanium,
[0078]
Monoethoxy tris (ethyl acetoacetate) titanium, mono-n-propoxy tris (ethyl acetoacetate) titanium, mono-i-propoxy tris (ethyl acetoacetate) titanium, mono-n-butoxy tris (ethyl acetoacetate) ) Titanium, mono-sec-butoxy tris (ethyl acetoacetate) titanium, mono-t-butoxy tris (ethyl acetoacetate) titanium, tetrakis (ethyl acetoacetate) titanium, mono (acetyl acetonate) tris (ethyl acetoacetate) ) Titanium chelate compounds such as titanium, bis (acetylacetonate) bis (ethylacetoacetate) titanium, tris (acetylacetonate) mono (ethylacetoacetate) titanium;
[0079]
Triethoxy mono (acetylacetonato) zirconium, tri-n-propoxy mono (acetylacetonato) zirconium, tri-i-propoxy mono (acetylacetonato) zirconium, tri-n-butoxy mono (acetylacetonate) Zirconium, tri-sec-butoxy mono (acetylacetonate) zirconium, tri-t-butoxy mono (acetylacetonate) zirconium, diethoxybis (acetylacetonate) zirconium, di-n-propoxybis (acetylacetonate) Nato) zirconium, di-i-propoxybis (acetylacetonato) zirconium, di-n-butoxybis (acetylacetonato) zirconium, di-sec-butoxybis (acetylacetonato) zil Chloride, di -t- butoxy bis (acetylacetonate) zirconium, monoethoxy-tris (acetylacetonato) zirconium, mono -n- propoxy tris (acetylacetonato) zirconium,
[0080]
Mono-i-propoxy tris (acetylacetonate) zirconium, mono-n-butoxy tris (acetylacetonate) zirconium, mono-sec-butoxy tris (acetylacetonate) zirconium, mono-t-butoxy tris ( Acetylacetonate) zirconium, tetrakis (acetylacetonate) zirconium, triethoxymono (ethylacetoacetate) zirconium, tri-n-propoxymono (ethylacetoacetate) zirconium, tri-i-propoxymono (ethylacetoacetate) Zirconium, tri-n-butoxy mono (ethyl acetoacetate) zirconium, tri-sec-butoxy mono (ethyl acetoacetate) zirconium, tri-t-butoxy mono (ethyl acetate) Preparative acetate) zirconium,
[0081]
Diethoxy bis (ethyl acetoacetate) zirconium, di-n-propoxy bis (ethyl acetoacetate) zirconium, di-i-propoxy bis (ethyl acetoacetate) zirconium, di-n-butoxy bis (ethyl acetoacetate) Zirconium, di-sec-butoxybis (ethylacetoacetate) zirconium, di-t-butoxybis (ethylacetoacetate) zirconium, monoethoxytris (ethylacetoacetate) zirconium, mono-n-propoxytris (ethyl) (Acetoacetate) zirconium, mono-i-propoxytris (ethylacetoacetate) zirconium, mono-n-butoxytris (ethylacetoacetate) zirconium, mono-sec-butoxytris Ethyl acetoacetate) zirconium, mono -t- butoxy tris (ethylacetoacetate) zirconium,
[0082]
Tetrakis (ethylacetoacetate) zirconium, mono (acetylacetonate) tris (ethylacetoacetate) zirconium, bis (acetylacetonate) bis (ethylacetoacetate) zirconium, tris (acetylacetonate) mono (ethylacetoacetate) zirconium, etc. Zirconium chelate compounds; aluminum chelate compounds such as tris (acetylacetonate) aluminum and tris (ethylacetoacetate) aluminum; and the like; preferably titanium or aluminum chelate compounds, particularly preferably titanium chelate compounds. Can be mentioned. These metal chelate compounds may be used alone or in combination of two or more.
[0083]
In addition, the compounds of the catalyst group of the present invention include an acid which functions to control the rate of hydrolysis and / or dehydration condensation of the silica precursor (A) after coating the coating solution of the present invention on a substrate. Precursor compounds of base / metal chelates are also included. Examples of such compounds include compounds that generate an acid upon decomposition by heating or light, such as aromatic sulfonic acid esters and carboxylic acid esters.
It is also possible to use a combination of an acidic compound and a metal chelate, or a combination of a basic compound and a metal chelate.
When these catalyst components are added, the amount added is 5 mol% or less, preferably 1 mol% or less, more preferably 1 mol% or less, based on the total number of moles of alkoxysilane groups in the hydrolyzable silane charged as a starting material. 0.5 mol% or less is appropriate. If it is more than 5 mol%, a precipitate is formed, and it may be difficult to obtain a homogeneous porous silicon oxide coating film, or a coating film having a low relative dielectric constant may not be obtained.
In addition, if desired, for example, components such as colloidal silica, ionic and nonionic surfactants may be added, and a photocatalyst generator for imparting photosensitivity and adhesion to a substrate may be added. It is also possible to add optional additives such as an adhesion enhancer for increasing the content and a stabilizer for long-term storage to the coating composition of the present invention as long as the purpose of the present invention is not impaired.
[0084]
Next, a method for producing the coating composition of the present invention will be described.
As a method for producing the coating composition of the present invention, after charging an alkoxysilane as a starting material, adding water, and performing a hydrolysis and condensation reaction, an organic polymer or a solvent may be added. After adding an organic polymer or a solvent to the silane in advance, the hydrolysis and the polycondensation reaction may be performed.
In the present invention, water is required for the hydrolysis of alkoxysilane as described above. Water is generally added to the alkoxysilane as a liquid or as an alcohol or aqueous solution, but may be added in the form of water vapor. If the addition of water is carried out rapidly, hydrolysis and condensation may be too fast depending on the type of alkoxysilane to cause precipitation, so take sufficient time to add water, and use a solvent such as alcohol for homogenization. Are preferably used alone or in combination, such as coexisting at a temperature of 50 ° C. or lower.
[0085]
The added water is once consumed for the hydrolysis of the alkoxysilane, but is purified as a by-product during the subsequent condensation reaction, and therefore is present in an appropriate amount in the coating composition of the present invention. Water may be added in whole or intermittently during the hydrolysis and polycondensation reactions. Further, after the completion of the polycondensation reaction, it may be additionally added so as to have the above-mentioned content.
The alkoxysilane is hydrolyzed to silanol in the presence of water, and then grows into an oligomeric silica precursor having a siloxane bond by a condensation reaction between silanol groups.
In the coating composition of the present invention, it is better that the alkoxysilane is in the form of an oligomer beforehand (1) since the viscosity of the coating liquid is appropriately increased, the shape retention of the coating film can be secured and the film thickness can be made uniform. When the silica precursor gels, the formation of the silica skeleton occurs mildly, so that film shrinkage hardly occurs, which is more preferable.
[0086]
In the present invention, the temperature at which the alkoxysilane is hydrolyzed is usually 0 to 150 ° C, preferably 0 to 100 ° C, more preferably 0 ° C to 50 ° C. When the temperature is lower than 0 ° C., the progress of hydrolysis is not sufficient. On the other hand, when the temperature is higher than 150 ° C., the reaction proceeds too rapidly, and the solution may gel, which is not preferable.
The condensation ratio of the silica precursor contained in the coating composition of the present invention is 10 to 90%, preferably 20 to 85%, more preferably 30 to 85%. If the condensation ratio is lower than 10%, the above-mentioned (1) and (2) are not achieved, which is not preferable. If the condensation ratio exceeds 90%, the entire coating composition will gel.
In addition, the condensation rate of the silica precursor is calculated by the same measuring method as that for obtaining the silica composition ratio described later.
[0087]
In the present invention, the catalyst component such as an acid and other additives may be added in the whole amount during the hydrolysis and condensation reaction of the alkoxysilane, or may be added stepwise before and after the addition. Further, additives other than the catalyst component may be added immediately before the application of the coating composition.
In the present invention, the organic compound (B), the organic polymer (D) and the organic solvent (E) may be added in the entire amount during the hydrolysis or condensation reaction of the alkoxysilane, or may be added stepwise before or after the addition. good. Further, it may be added immediately before the application of the coating composition.
Further, the content of an alkali metal such as sodium or potassium and iron in the coating composition is preferably 15 ppb or less, particularly preferably 10 ppb or less, from the viewpoint of low leakage current of the insulating coating film. Since the alkali metal and iron may be mixed in from the raw materials to be used, it is preferable to use all the raw material components that have been purified to a high purity by distillation, reprecipitation, or the like.
[0088]
Next, a method for producing a thin film by applying the coating composition of the present invention, a method for gelling the thin film into a composite thin film, and a method for removing an organic polymer from the composite thin film will be described in detail.
The solid content concentration of the coating composition in the present invention is preferably from 2 to 30% by weight, but is appropriately adjusted according to the purpose of use. When the solid content concentration of the coating composition is 2 to 30% by weight, the thickness of the coating film is in an appropriate range, and the storage stability is more excellent. The solid content concentration is adjusted by concentration or dilution with the organic solvent (E), if necessary.
The solid content concentration is determined as the weight of the siloxane compound obtained by hydrolysis and condensation of the total amount of the alkoxysilane with respect to a known amount of the coating composition.
[0089]
In the present invention, the thin film is formed by applying the coating composition of the present invention on a substrate. The coating method can be performed by a known method such as casting, dipping, and spin coating. However, spin coating is suitable for use in manufacturing an insulating layer for a multilayer wiring structure of a semiconductor element. The thickness of the thin film can be controlled in the range of 0.1 μm to 100 μm by changing the viscosity and rotation speed of the coating composition. If the thickness is more than 100 μm, cracks may occur. As an insulating layer for a multilayer wiring structure of a semiconductor element, it is usually used in a range of 0.1 μm to 5 μm.
When applying the coating composition of the present invention by spin coating or the like, the surface uniformity of the thin film may be reduced with drying of the solvent. Particularly in the case of spin coating, it is important to suppress the occurrence of radial unevenness called striation, and therefore it is necessary to empirically control the coating environment such as the type, concentration, temperature, and humidity of the solvent. Occurs. At this time, when the component (B) is contained in the coating composition of the present invention, although the reason is not clear, the occurrence of striation is extremely well suppressed, and a uniform coated thin film is easily obtained.
As a method for removing the solvent in the coating composition, in addition to the spin coating method described above, heating is preferable because the effect becomes more remarkable. The heating conditions, such as the heating temperature and the heating time, are not particularly limited as long as the amount of solvent removed is controlled within the above range.
[0090]
As the substrate, a semiconductor substrate such as silicon or germanium, a compound semiconductor substrate such as gallium-arsenic, indium-antimony, or the like can be used, or a thin film of another substance can be formed on these surfaces before use. It is. In this case, in addition to metals such as aluminum, titanium, chromium, nickel, copper, silver, tantalum, tungsten, osmium, platinum, and gold, silicon dioxide, fluorinated glass, phosphorus glass, boron-phosphorus glass, borosilicate Acid glass, polycrystalline silicon, alumina, titania, zirconia, silicon nitride, titanium nitride, tantalum nitride, boron nitride, inorganic compounds such as hydride silsesquioxane, methyl silsesquioxane, amorphous carbon, fluorinated amorphous carbon, A thin film made of polyimide or any other block copolymer can be used.
[0091]
Prior to the formation of the thin film, the surface of the substrate may be treated with an adhesion enhancer in advance. In this case, as the adhesion improver, those used as so-called silane coupling agents, aluminum chelate compounds, and the like can be used. Particularly preferably used are 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, N- (2-aminoethyl)- 3-aminopropylmethyldimethoxysilane, vinyltrichlorosilane, vinyltriethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldichlorosilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldiethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropylmethyldi Tokishishiran, hexamethyldisilazane, ethylacetoacetate aluminum diisopropylate, aluminum tris (ethylacetoacetate), aluminum bis (ethylacetoacetate) monoacetylacetonate, aluminum tris (acetylacetonate) and the like. When applying these adhesion improvers, other additives may be added as necessary, or they may be diluted with a solvent before use. The treatment with the adhesion improver is performed by a known method.
[0092]
As described above, the temperature at which the coating composition obtained by applying the coating composition of the present invention twice is successively cured (gelled) is not particularly limited, but is usually 100 to 300 ° C, preferably 150 ° C. The time required for the gelling reaction at ~ 300 ° C depends on the heat treatment temperature, the amount of catalyst added, the type of solvent and the amount, but is usually in the range of several seconds to 10 hours. Preferably it is 30 seconds to 5 hours, more preferably 1 minute to 2 hours. By this operation, the gelation reaction of the silica precursor in the coating composition proceeds sufficiently to form silica. In some cases, the condensation ratio of silica reaches nearly 100%. Usually about 90%. The condensation rate in this case is²⁹It can be determined by Si-NMR precipitation. When the temperature is lower than 100 ° C., in the subsequent polymer removing step, the polymer starts to be removed before the gelation sufficiently proceeds, and as a result, the coating film has a high density. On the other hand, when the temperature is higher than 300 ° C., huge voids are easily generated, and the homogeneity of a silica / organic polymer composite thin film described later decreases.
[0093]
The thus-obtained silica / organic polymer composite thin film has a low dielectric constant and extremely high uniformity of the film quality, so that it can be used as it is as an insulating portion of wiring, and can be used for other purposes than thin film, such as optical It can be used as a target film, a structural material, a film, a coating material and the like. However, for the purpose of obtaining a material having a lower dielectric constant as an insulator of the LSI multilayer wiring, it is most preferable to convert the material into a highly insulating porous silica thin film and use it.
The conversion from the silica / organic polymer composite thin film to the insulating porous silica thin film is performed by removing the polymer from the silica / organic polymer composite thin film. At this time, if the gelling reaction of the silica precursor has sufficiently proceeded, the region occupied by the organic polymer in the silica / organic polymer composite thin film does not collapse as a void in the porous silica thin film. Will remain. As a result, a porous silica thin film having a high porosity and a low dielectric constant can be obtained.
[0094]
Examples of the method for removing the organic polymer include heating, plasma treatment, and solvent extraction, and heating is most preferable from the viewpoint that it can be easily performed in the current semiconductor device manufacturing process. In this case, the heating temperature depends on the type of the organic polymer to be used, and may be simply evaporated and removed in a thin film state, may be removed by calcination with decomposition of the organic polymer, and may be a mixture thereof. The heating temperature is in the range of 300 to 450C, preferably 350 to 400C. When the temperature is lower than 300 ° C., the removal of the organic polymer is insufficient, and impurities of organic substances remain, so that there is a risk that a porous silica thin film having a low dielectric constant cannot be obtained. The amount of polluting gas generated is also large. Conversely, treatment at a temperature higher than 450 ° C. is preferable in terms of removing organic polymers, but is extremely difficult to use in a semiconductor manufacturing process.
[0095]
The heating time is preferably in the range of 10 seconds to 24 hours. It is preferably from 10 seconds to 5 hours, particularly preferably from 1 minute to 2 hours. If the time is shorter than 10 seconds, evaporation and decomposition of the organic polymer do not proceed sufficiently, so that an organic substance remains as an impurity in the obtained porous silica thin film and the dielectric constant does not decrease. Further, since thermal decomposition and transpiration are usually completed within 24 hours, heating for a longer time does not make much sense. Heating is preferably performed in an inert atmosphere such as nitrogen, argon, and helium. It is also possible to carry out the reaction in an oxidizing atmosphere such as by mixing air or oxygen gas, but in this case, the concentration of the oxidizing gas is substantially decomposed before the silica precursor gels. It is preferable to control the concentration so that it does not occur. In addition, the presence of ammonia, hydrogen or the like in the atmosphere to deactivate the silanol groups remaining in the silica can reduce the hygroscopicity of the porous silica thin film and suppress an increase in the dielectric constant.
[0096]
Since the amount of residual polymer in the porous silica thin film after removing the organic polymer of the present invention under the above heating conditions is significantly reduced, a decrease in the adhesive force of the upper layer film due to the decomposition gas of the organic polymer as described above and Phenomena such as peeling do not occur. When the organic polymer in the coating composition of the present invention contains the above-mentioned polyether block copolymer, the effect becomes more remarkable.
The present invention is not limited to a method in which a step of forming a silica / organic polymer composite thin film and then a step of removing a polymer are performed under the above-mentioned conditions, even if a step at an arbitrary temperature or atmosphere is performed before and after the step. There is no.
In the present invention, for heating, a single-wafer type vertical furnace or a hot plate type baking system usually used in a semiconductor device manufacturing process can be used. Of course, as long as the manufacturing process of the present invention is satisfied, the present invention is not limited thereto.
[0097]
As described above, by using the porous silica thin film of the present invention, it is possible to form an insulating film for multilayer wiring for LSI having high mechanical strength and sufficiently low dielectric constant.
The relative dielectric constant of the porous silica thin film of the present invention can achieve 2.8 to 1.2 by the production method of the present invention. This relative dielectric constant can be adjusted by the content of the organic polymer component (D) in the coating composition of the present invention.
Further, in the porous thin film of the present invention, pores of 20 nm or more are not substantially observed in the pore distribution measurement by the BJH method, and thus the porous thin film is suitable as an interlayer insulating film.
The porous silica thin film obtained by the present invention is a bulk porous silica body other than a thin film, for example, an optical film such as an antireflection film or an optical waveguide, a catalyst carrier, a heat insulating material, an absorbent, a column packing material, and a caking material. It can also be used as an inhibitor, thickener, pigment, opacifier, ceramic, smoke suppressant, abrasive, dentifrice, and the like.
[0098]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be described specifically with reference to Examples and Comparative Examples, but the scope of the present invention is not limited by these Examples and the like.
The coating composition for producing a porous silica thin film and the thin film were evaluated by the following methods.
(1) Silica composition ratio
In the present invention, each silicon atom derived from alkoxysilane or the like having a different number of functional groups contained in the coating composition²⁹It is represented by a numerical value calculated from the area of the signal by Si-NMR, and by comparing them, the composition ratio of the alkoxysilane and the like contained in the coating composition is obtained. Further, the composition ratio of silica obtained from alkoxysilane or the like in the insulating thin film manufactured using the coating composition is obtained by the same measurement method.
[0099]
As an example, in the case where tetraethoxysilane (TEOS), dimethyldiethoxysilane (DMDES), and bis (triethoxysilyl) ethane (BSE) are used as alkoxysilane, mol% of a silicon atom caused by DMDES in a thin film (silica composition The ratio is calculated.
Equipment: JEOL-Lambda 400
Measurement mode: NNE
Sample tube: outer diameter 10mm, inner diameter 3mm
(A small amount of ethanol and TMS are added to both the coating composition and the thin film.)
Number of integration: 1,300
PD (pulse delay): 250 seconds
BF (Broadening Factor): 30Hz
[0100]
It is calculated from the following formula using the numerical values obtained from the above measuring apparatus and measuring conditions.
% Mole of DMDES = 100 × (D0 + D1 + D2) / {(T0 + T1 + T2 + T3 + T4) + (D0 + D1 + D2) +2 (B0 + B1 + B2 + B3)}
(In the formula, T0, D0 and B0 respectively represent the signal integrated intensity attributable to the compound in which the ethoxy group in the raw material TEOS, DMDES and BSE was at least partially hydrolyzed into a hydroxyl group by the above-mentioned apparatus, and T1 , D1 and B1 represent the integrated intensities of the signals attributable to the group formed by one position of each Si in TEOS, DMDES and BSE bonded to an adjacent Si atom via an oxygen atom, and T2, D2 and B2 represents the integrated intensity of a signal attributed to a group formed by bonding two places of each Si in TEOS, DMDES and BSE via an adjacent Si atom and an oxygen atom, and T3 and B3 represent TEOS and The integrated intensity of a signal attributed to a group formed by bonding three Si atoms in the BSE to adjacent Si atoms via an oxygen atom represents T4, Of four places represent integrated intensities of the signal attributable to a group formed by bonding via Si atoms and oxygen atoms of adjacent).
[0101]
(2) dielectric constant
The measurement was performed using an SSM495 type automatic mercury CV measuring device manufactured by Solid State Measurement.
(3) Stability of relative permittivity
When the change ratio of the relative dielectric constant of the porous silica thin film before and after leaving the porous silica thin film of the present invention at 23 ° C. in an atmosphere having a relative humidity of 60% for one week is less than 10%, the result is x. Was evaluated.
(4) Film thickness measurement
The measurement was performed using RINT # 2500 manufactured by Rigaku Denki. The measurement conditions were as follows: a divergence slit: 1/6 °, a scattering slit: 1/6 °, a light receiving slit: 0.15 mm, and a graphite monochromator was set in front of a detector (scintillation counter). The tube voltage and tube current were measured at 40 kV and 50 mA, respectively, but can be varied as needed. The goniometer scanning method was a 2θ / θ scanning method, and the scanning step was 0.02 °.
[0102]
(5) Young modulus
It was measured with a nanoindenter DCM manufactured by MTS Systems, Corporation. As a measuring method, a Berkovich diamond indenter was pushed into a sample, and a load was applied until a constant load was reached. Then, the load was removed, and the displacement was monitored to obtain a load-displacement curve. The surface was recognized under the condition that the contact stiffness was 200 N / m. The hardness is calculated by the following equation.
H = P / A
Here, P is the applied load, and the contact area A is a function of the contact depth hc and was experimentally obtained by the following equation.
A = 24.56hc²
This contact depth has the following relationship with the displacement h of the indenter.
hc = h-εP / S
Here, ε is 0.75, and S is the initial slope of the unloading curve.
The Young's modulus was calculated by the Sneddon's equation.
Er = (√π · S) / 2 √A
Here, the composite elastic modulus Er is represented by the following equation.
Er = [(1-νs²) / Es + (1-νi²) / Ei]^-1
Here, ν represents Poisson's ratio, subscript S represents a sample, and i represents an indenter. In the present invention, the Young's modulus Es of the sample was calculated assuming that ν = 0.07, Ei = 1141 GPa, and the Poisson's ratio of this material is unknown, but ν 0.18. In addition, the Young's modulus in the present invention was measured at a film thickness of 0.8 μm to 1.2 μm.
[0103]
(6) Surface smoothness of thin film
First, a cut is made in the circumferential direction of the substrate at an interval of about 5 mm, and a 7000 μm scan is performed in a direction perpendicular to the cut using a DEKTAK3 type surface roughness measuring device manufactured by Sloan, USA, to the silicon wafer surface. To perform horizontal alignment (measurement speed: 35 seconds). A range of 3000 μm was taken in the scanning, and the surface roughness (Ra) at that portion was calculated by the following equation (1).
(Equation 1)

[0104]
Embodiment 1
12.5 g of tetraethoxysilane, 12.8 g of bis (triethoxysilyl) ethane, 9.6 g of methyltriethoxysilane, 57.1 g of ethanol, 40.8 g of water, polyethylene glycol-poly (α-butylene) glycol-polyethylene glycol dimethyl ether (Number average molecular weight 2000, number average molecular weight of poly (α-butylene) glycol portion is 1000) 4.8 g, polyethylene glycol dimethyl ether (number average molecular weight 600) 1.2 g, and 0.9% oxalic acid aqueous solution 0.06 g are mixed. Then, the mixture was stirred and reacted at 50 ° C. for 6 hours. The solvent of the primary reaction solution was distilled off at 50 ° C. and 50 mmHg, and concentrated to 39.8 g.
[0105]
20 g of water and 10 g of propylene glycol monomethyl ether were added to the obtained concentrate to obtain a coating stock solution. Take 33 g of the coating stock solution, 6.7 g of water, 0.22 g of ethanol, 7.0 g of propylene glycol monomethyl ether, 0.48 g of a 0.2% aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide, 0.48 g of a 10% aqueous solution of acetic acid, 4,7,9-Tetramethyl-5-decyne-4,7-diol (trade name: Olfin AK-02, manufactured by Nissin Kagaku Kogyo Co., Ltd.) was added, and the mixture was stirred to obtain a coating solution of the present invention. The content of Si atoms derived from trifunctional alkoxysilane in the solution was 30 mol%. Further, the content of the polyether block copolymer in the solution was 80% by weight based on the total organic polymer. 3 ml of the solution was dropped on a 6-inch silicon wafer and spin-coated at 1400 rpm for 60 seconds. Thereafter, the resultant was heated and baked in air at 120 ° C. for 1 minute, in a nitrogen atmosphere at 200 ° C. for 1 hour, and subsequently in a nitrogen atmosphere at 400 ° C. for 1 hour to obtain a porous silica thin film having a thickness of 1.03 μm. . The relative permittivity of the obtained thin film at 1 MHz was 2.28, the stability was ○, and the Young's modulus was 8.16 GPa. The surface roughness was 7 A７, and the surface smoothness was extremely good.
[0106]
Embodiment 2
The same operation as in Example 1 was carried out except that 8.3 g of tetraethoxysilane and 12.8 g of methyltriethoxysilane were used, and 2,4,7,9-tetramethyl-5-decyne-4,7-diol was used. Instead of 2,5,8,11-tetramethyl-6-dodecine-5,8-diol (trade name: Surfynol DF-110, manufactured by Nissin Kagaku Kogyo Co., Ltd.), followed by stirring. A coating solution was obtained, and the content of Si atoms derived from trifunctional alkoxysilane in the solution was 40 mol%. A porous silica thin film having a thickness of 1.05 μm was obtained. The relative permittivity of the obtained thin film at 1 MHz was 2.26, the stability was ○, and the Young's modulus was 6.71 GPa. Further, the surface roughness was 9A, and the surface smoothness was extremely good.
[0107]
Embodiment 3
Same operation as in Example 2 except that 7.2 g of polyethylene glycol-poly (α-butylene) glycol-polyethylene glycol dimethyl ether (number average molecular weight: 2,000, number average molecular weight of poly (α-butylene) glycol portion is 1,000) was replaced. Was done. A porous silica thin film having a thickness of 1.01 μm was obtained. The relative permittivity of the obtained thin film at 1 MHz was 2.15, the stability was ○, and the Young's modulus was 4.33 GPa. In addition, the surface roughness was 10 A, and the surface smoothness was extremely good.
[0108]
[Comparative Example 1]
In Example 1, the same operation as in Example 1 was performed except that the coating composition was prepared without using 2,4,7,9-tetramethyl-5-decyne-4,7-diol. A porous silica thin film having a thickness of 1.03 μm was obtained. The relative permittivity at 1 MHz of the obtained thin film was 2.38, and the Young's modulus was 8.12 GPa. The mechanical strength was almost the same as that of Example 1, but the relative permittivity was slightly higher and the surface roughness was higher. The degree was 35 A, and the surface smoothness was lowered.
[0109]
[Comparative Example 2]
In Example 3, polyethylene glycol-polypropylene glycol-polyethylene glycol dimethyl ether (number average molecular weight 6400) was replaced with 7.2 g, and 2,5,8,11-tetramethyl-6-dodecine-5,8-diol was not added. The same operation as in Example 3 was performed to obtain a porous silica thin film having a thickness of 1.07 μm. The relative permittivity at 1 MHz of the obtained thin film was 2.21 and the Young's modulus was 4.58 GPa. Although the modulus was almost the same as that of Example 3, the relative permittivity was equal to that of Example 3. The surface roughness was relatively high, and the surface roughness was 41 A, resulting in poor surface smoothness.
[0110]
【The invention's effect】
By using the coating composition for producing an insulating thin film of the present invention, the casting property is excellent at the time of coating, and at the same time, striation hardly occurs. As a result, an insulating thin film having a low relative dielectric constant and excellent film quality uniformity can be obtained, and thus is optimal as an insulating thin film for an LSI multilayer wiring substrate or a semiconductor element.

Claims

少なくとも下記一般式（１）及び／又は一般式（２）で表される１〜６官能性のアルコキシシランおよびその加水分解物、重縮合物から選ばれる少なくとも１種以上の化合物を含有するシリカ前駆体であって、アルコキシシランおよびその加水分解物、重縮合物に由来する珪素原子の合計に対する１〜３官能性のアルコキシシランおよびその加水分解物、重縮合物に由来する珪素原子の合計の割合が５ｍｏｌ％〜８０ｍｏｌ％であるシリカ前駆体（Ａ）と、下記一般式（３）で表される有機化合物（Ｂ）と水（Ｃ）とを含有することを特徴とする絶縁性薄膜製造用塗布組成物。
Ｒ^１ _ｎ（Ｓｉ）（ＯＲ^２）_４−ｎ　　　　　　（１）
（式中、Ｒ^１、Ｒ^２は同一でも異なっていてもよく、それぞれ水素または１価の有機基を表し、ｎは０〜３の整数である）
Ｒ^３ _ｍ（Ｒ^４Ｏ）_３−ｍＳｉ−（Ｒ^７）_ｐ−Ｓｉ（ＯＲ^５）_３−ｑＲ^６ _ｑ　（２）
（式中、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５およびＲ^６は、同一でも異なっていてもよく、それぞれ水素または１価の有機基を示し、ｍおよびｑは、同一でも異なっていてもよく、０〜２の数を示し、Ｒ^７は酸素原子または（ＣＨ_２）_ｒで表される基を示し、ｒは１〜６を、ｐは０または１を示す。）
Ｒ^８（ＣＨ_３）Ｃ（ＯＲ^９）−Ｃ≡Ｃ−Ｃ（ＯＲ^９’）（ＣＨ_３）Ｒ^８’　　（３）
（式中、Ｒ^８とＲ^８’は同一でも異なっていてもよく、それぞれ水素または炭素数１〜１０のアルキル基、Ｒ^９とＲ^９’は同一でも異なっていてもよく、それぞれ水素、炭素数１〜１０のアルキル基、（ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ）_ｘＨ（ｘは２０以下の整数）で表される置換基のいずれかを示す。）A silica precursor containing at least one or more compounds selected from 1 to 6 functional alkoxysilanes represented by the following general formulas (1) and / or (2) and hydrolyzates and polycondensates thereof And the ratio of the total of silicon atoms derived from 1-3-functional alkoxysilane and its hydrolyzate and polycondensate to the total of silicon atoms derived from alkoxysilane and its hydrolyzate and polycondensate Contains 5 mol% to 80 mol% of a silica precursor (A), an organic compound (B) represented by the following general formula (3), and water (C). Coating composition.
R ¹ _n (Si) (OR ² ) _4-n (1)
(In the formula, R ¹ and R ² may be the same or different and each represents hydrogen or a monovalent organic group, and n is an integer of 0 to 3.)
^{_{^{_{R 3 m (R 4 O)}}}} 3-m Si- (R 7) p -Si (OR 5) 3-q R 6 q (2)
(Wherein, R ³ , R ⁴ , R ⁵ and R ⁶ may be the same or different and each represents hydrogen or a monovalent organic group; m and q may be the same or different; And R ⁷ represents an oxygen atom or a group represented by (CH ₂ ) _r , _r represents 1 to 6, and p represents 0 or 1.)
R ⁸ (CH ₃ ) C (OR ⁹ ) -C≡CC (OR ^{9 ′} ) (CH ₃ ) R ^{8 ′} (3)
(Wherein, R ⁸ and R ^{8 ′} may be the same or different; hydrogen or an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms; R ⁹ and R ^{9 ′} may be the same or different; An alkyl group represented by Formulas 1 to 10, and any one of substituents represented by (CH ₂ CH ₂ O) _x H (x is an integer of 20 or less)

塗布組成物がシリカ前駆体（Ａ）を塗布組成物全重量に対し２ｗｔ％以上３０ｗｔ％以下、有機化合物（Ｂ）を塗布組成物の全量に対し０．０１ｗｔ％以上２ｗｔ％以下、水（Ｃ）を塗布組成物の全量に対し１０ｗｔ％以上７０ｗｔ％以下、さらに、有機ポリマー（Ｄ）をシリカ前駆体に対し０．０１ｗｔ％以上１０ｗｔ％以下含み、かつ、アルコール系、ケトン系溶媒、アミド系溶媒およびエステル系溶媒の群から選ばれた少なくとも１種を有機溶媒（Ｅ）として含有することを特徴とする請求項１に記載の絶縁性薄膜製造用塗布組成物。The coating composition contains the silica precursor (A) in an amount of 2 wt% to 30 wt% based on the total weight of the coating composition, the organic compound (B) in an amount of 0.01 wt% to 2 wt% based on the total weight of the coating composition, and water (C). ) Based on the total amount of the coating composition, in an amount of 10 wt% or more and 70 wt% or less, further, 0.01 wt% or more and 10 wt% or less of the organic polymer (D) based on the silica precursor, and an alcohol-based, ketone-based solvent, or amide-based solvent. The coating composition for producing an insulating thin film according to claim 1, comprising at least one selected from the group consisting of a solvent and an ester solvent as an organic solvent (E).

有機ポリマー（Ｄ）が直鎖状または分岐状の２元以上のポリエーテルブロックコポリマーを含み、かつ、その含有量が、塗布組成物中に含有する全有機ポリマーに対して１０重量％以上含まれることを特徴とする請求項２に記載の絶縁性薄膜製造用塗布組成物。The organic polymer (D) contains a linear or branched binary polyether block copolymer, and the content is 10% by weight or more based on the total organic polymer contained in the coating composition. The coating composition for producing an insulating thin film according to claim 2, characterized in that:

請求項１〜３のいずれかに記載の絶縁性薄膜製造用塗布組成物を基板上に塗布した後に、シリカ前駆体をゲル化することにより得られるシリカ／有機ポリマー複合薄膜から有機ポリマーを除去してなることを特徴とする多孔性のシリカからなることを特徴とする絶縁性薄膜。An organic polymer is removed from a silica / organic polymer composite thin film obtained by applying a coating composition for producing an insulating thin film according to any one of claims 1 to 3 on a substrate and then gelling a silica precursor. An insulating thin film comprising porous silica characterized by comprising:

請求項４に記載の薄膜を絶縁物として用いることを特徴とする配線構造体。A wiring structure using the thin film according to claim 4 as an insulator.

請求項５に記載の配線構造体を包含してなる半導体素子。A semiconductor device comprising the wiring structure according to claim 5.