JP2004063684A - 沸騰冷却装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】平板部材が積層されて密閉容器が形成されるものにおいて、受熱壁に対する発熱体の占める割合が大きい場合でも、冷媒のスムーズな循環を形成できる沸騰冷却装置を提供する。
【解決手段】密閉容器110内に、中間プレート140a〜140hにおける複数の開口部141a〜141e間の板厚部142が積層されることで複数の壁部115を形成し、且つ、受熱プレート120と複数の壁部115との間、および上側プレート130と複数の壁部115との間に隙間部111、112を形成し、複数の壁部115のうち、最外方に位置する最外方壁部115aは、開口部141a〜141eの開口面積を調整して、発熱体10の外周部近傍に対応する位置から、上側プレート130の中心側に向けて傾斜するように形成する。
【選択図】 図3
【解決手段】密閉容器110内に、中間プレート140a〜140hにおける複数の開口部141a〜141e間の板厚部142が積層されることで複数の壁部115を形成し、且つ、受熱プレート120と複数の壁部115との間、および上側プレート130と複数の壁部115との間に隙間部111、112を形成し、複数の壁部115のうち、最外方に位置する最外方壁部115aは、開口部141a〜141eの開口面積を調整して、発熱体10の外周部近傍に対応する位置から、上側プレート130の中心側に向けて傾斜するように形成する。
【選択図】 図3
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、冷媒の沸騰熱伝達により半導体素子等の発熱体を冷却する沸騰冷却装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の沸騰冷却装置として、特開平10−308486号公報に示されるものが知られている。即ち、冷媒が封入される密閉容器は、発熱体が取り付けられる受熱壁と、この受熱壁に対して間隔を置いて対向する放熱壁と、受熱壁および放熱壁の間に介在されて両壁を熱的に連結する伝熱部とから構成されている。そして、この伝熱部は、開口部を有する1枚以上の平板部材が受熱壁と放熱壁との間に積層されて、開口部間の板厚部が連なることで形成されるようにしている。
【0003】
これにより、開口部を有する平板部材を積層することで伝熱部を容易に形成でき、低コストで、量産性の高い沸騰冷却装置を提供できるようにしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この沸騰冷却装置においては、発熱体に対して受熱壁を大きく取ることによって、発熱体の取付け部位に対応する領域(沸騰領域)で内部の冷媒が沸騰上昇し、沸騰領域から外れた領域(凝縮領域)で外部に放熱した冷媒が凝縮下降し、自然発生的に冷媒の循環が形成されるようにしているので、受熱壁に対する発熱体の占める割合が大きく設定されると、凝縮領域が減少され、冷媒の沸騰上昇および凝縮下降が同一領域内で生じ、スムーズな冷媒の循環が形成できなくなる。即ち、冷却性能が低下することになる。
【0005】
本発明の目的は、上記問題に鑑み、平板部材が積層されて密閉容器が形成されるものにおいて、受熱壁に対する発熱体の占める割合が大きい場合でも、冷媒のスムーズな循環を形成できる沸騰冷却装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するために、以下の技術的手段を採用する。
【0007】
請求項1に記載の発明では、下側面に発熱体(10)が取り付けられる受熱プレート(120)と、受熱プレート(120)の上側に配置される上側プレート(130)と、複数の開口部(141a〜141e)を有し、受熱プレート(120)および上側プレート(130)間に積層される複数の中間プレート(140a〜140h)とから成る密閉容器(110)を有し、密閉容器(110)内に封入される冷媒が発熱体(10)の熱を受けて沸騰気化し、凝縮液化する際に外部に放熱することで発熱体(10)を冷却する沸騰冷却装置において、密閉容器(110)内には、中間プレート(140a〜140h)における複数の開口部(141a〜141e)間の板厚部(142)が積層方向に重なることで複数の壁部(115)が形成され、且つ、受熱プレート(120)と複数の壁部(115)との間、および上側プレート(130)と複数の壁部(115)との間には隙間部(111、112)が形成されており、複数の壁部(115)のうち、最外方に位置する最外方壁部(115a)は、開口部(141a〜141e)の開口面積が調整されることによって、発熱体(10)の外周部近傍に対応する位置から、上側プレート130の中心側に向けて傾斜して形成されたことを特徴としている。
【0008】
これにより、発熱体(10)の大きさに応じて設定された最外方壁部(115a)によって沸騰領域を区画することができるので、沸騰気化した冷媒を最外方壁部(115a)間で上昇させることができる。また、上側プレート(130)近傍においては、最外方壁部(115a)の傾斜によってその外方が広く開口するように形成されるので、凝縮液化した冷媒が流入しやすくなり、上昇後の冷媒を連続的に下降させることができる。このように受熱プレート(120)に対する発熱体(10)の占める割合が大きくなっても、発熱体(10)の領域外に対応する密閉容器(110)を大きくすること無く、沸騰気化により冷媒が上昇する領域と凝縮後に下降する領域とを明確に区分けして冷媒のスムーズな流れが形成できる。
【0009】
請求項2に記載の発明では、受熱プレート(120)および最外方壁部(115a)間の隙間部(111)は、発熱体(10)によって沸騰気化した冷媒の流通を抑制するように小さく形成されたことを特徴としている。
【0010】
これにより、沸騰気化した冷媒が直接、下降する側の領域に流入することが抑えられるので、更にスムーズな冷媒流れを形成できる。
【0011】
請求項3に記載の発明では、受熱プレート(120)の発熱体(10)が取り付けられる領域は、発熱体(10)側に膨出するように形成されたことを特徴としている。
【0012】
これにより、膨出部(121)の内周壁(121a)が沸騰気化した冷媒が上昇する際のガイドとなり、積極的な冷媒上昇および下降領域側への流入抑制を図ることができ、スムーズな冷媒流れを形成できる。
【0013】
尚、請求項4に記載の発明のように、壁部(115)内には、冷却水が流通する冷却水通路(116)が形成されており、発熱体(10)によって沸騰気化した冷媒は、冷却水によって凝縮液化するようにした水冷式の沸騰冷却装置(100)に適用して好適であり、空冷のような放熱フィンを不要として、沸騰冷却装置(100)全体の体積を小さくできる。
【0014】
また、請求項5に記載の発明のように、上記請求項1に記載の発明に対して、複数の壁部(115)のうち、最外方に位置する最外方壁部(115a)は、発熱体(10)の外周部近傍に対応する位置に配置され、且つ、受熱プレート(120)側に延ばされて受熱プレート(120)および最外方壁部(115a)間の隙間部(111)が発熱体(10)によって沸騰気化した冷媒の流通を抑制するように小さく形成されるようにしても良い。
【0015】
これにより、最外方壁部(115a)間に発熱体(10)の大きさに応じた沸騰領域を形成し、またその外側に凝縮液化した冷媒が下降する下降領域を形成できる。更には、沸騰気化した冷媒が直接、下降領域側に流入することが抑えられるので、受熱プレート(120)に対する発熱体(10)の占める割合が大きくなっても、発熱体(10)の領域外に対応する密閉容器(110)を大きくすること無く、沸騰領域と下降領域とを明確に区分けして冷媒のスムーズな流れが形成できる。
【0016】
尚、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【0017】
【発明の実施の形態】
(第1実施形態)
次に、本発明の沸騰冷却装置の第1実施形態を図1〜図6に基づいて説明する。沸騰冷却装置100は、例えば半導体素子等の発熱体10の熱によって内部に封入される冷媒が沸騰気化し、外部から供給される冷却水によって冷媒が凝縮液化する際にその凝縮潜熱を冷却水に放出することで発熱体10を冷却する水冷式の沸騰冷却装置としている。
【0018】
沸騰冷却装置100は、下側の受熱プレート120と上側に配置される上側プレート130との間に、それぞれ複数の開口部141a〜141eを有する中間プレート140a〜140hが複数積層されて形成される密閉容器110を有している。そして、この密閉容器110には入口パイプ150、出口パイプ160、冷媒封入パイプ170が設けられている。尚、上記各部材は、熱伝導性に優れるアルミニウムあるいはアルミニウム合金から成り、これら部材が一体でろう付けされることによって沸騰冷却装置100は形成される。
【0019】
密閉容器110内には、以下説明する中間プレート140a〜140hの組み合わせによって、受熱プレート120側に沸騰部111、上側プレート130側に拡散部112、そして沸騰部111と拡散部112との間に熱交換部113が形成されている。
【0020】
沸騰部111は、図4中(a)に示す長方形の受熱プレート120の上側に中間プレート140a、140bが交互に積層されて形成されている。中間プレート140aは図4中(c)に示すように縦方向に延びるの開口部141aが複数形成されており、また中間プレート140bは図4中(d)に示すように横方向に延びるの開口部141bが複数形成されており、互いの開口部141a、141bが交差する位置で連通して空間(隙間部)を形成している。尚、中間プレート140a、140bの開口部141a、141bは、切削加工、プレス加工、エッチング加工等により形成されている。また、以下説明する中間プレート140c〜140hの開口部141c〜141e、冷却水開口部143も同様の加工により形成される。
【0021】
拡散部112は、上記沸騰部111と同様に、図4(b)に示す長方形の上側プレート130の下側に中間プレート140a、140b(図4(c)、(d))が交互に積層されて、互いの開口部141a、141bが連通して空間(隙間部)を形成している。尚、上側プレート130の図4(b)中の右上側には、冷媒孔131が設けられており、拡散部112内の空間と連通するように冷媒封入パイプ170が接続されている。
【0022】
熱交換部113は、図5、図6に示す中間プレート140c〜140hが沸騰部111側から順次拡散部112側に向けて積層されて形成されている。中間プレート140c〜140hにはそれぞれ縦方向を基本とする開口部141c〜141eが設けられており、これら開口部141c〜141eの間には板厚部142が形成されている。
【0023】
中間プレート140cにおいては、板厚部142のうち、最外方に位置する板厚部142の内側端部142aは、発熱体10の外周位置に対応するように配置されている。そして、最外方の開口部141cの幅寸法c1は、凝縮液化した冷媒が流通可能となる最小の値に設定し、また、内側端部142aを共有する開口部141dの幅寸法d1は、開口部141aの幅寸法c1よりも大きく設定している。
【0024】
そして、中間プレート140d〜140hにおいては、開口部141cの幅寸法c1が順次大きくなるように、且つ開口部141dの幅寸法d1が順次小さくなるように設定している。
【0025】
尚、中間プレート140d〜140gの板厚部142においては、更に冷却水が流通するための冷却水開口部143が複数設けられている。また、中間プレート140hの左右の対角線上には入口孔144、出口孔145が設けられ、それぞれに入口パイプ150、出口パイプ160が接続されている。
【0026】
これらの中間プレート140c〜140hが積層されることにより、図3に示すように、板厚部142によって複数の壁部115が形成され、開口部141c〜141eによって複数の冷媒通路113a、113bが形成される。そして、この冷媒通路113a、113bは、沸騰部111、拡散部112の空間と連通する。また、壁部115の内部には冷却水開口部143が互いに連通して、冷却水通路116が形成されることになる。尚、冷却水通路116は、入口パイプ150および出口パイプ160と連通する。
【0027】
そして、壁部115のうち、最外方の壁部115aは、受熱プレート120側において、発熱体10の外周部近傍に対応する位置から上側プレート130の中心側に向けて傾斜した壁部として形成されることになる。
【0028】
このように形成された密閉容器110には、冷媒封入パイプ170から所定量の冷媒が封入され、その後、冷媒封入パイプ170は先端開口部が溶接等により封止される。冷媒は、水、アルコール、フロロカーボン、フロン等が用いられる。また、受熱プレート120の下側の面には、発熱体10がボルト等により締結されて固定される。尚、ここでは発熱体10は、受熱プレート120に占める割合が大きなものとして設定されている。
【0029】
次に、本実施形態の作動および作用効果に付いて説明する。沸騰部111における冷媒は、発熱体10の熱を受けて沸騰気化し、熱交換部113側に上昇する。そして、壁部115内の冷却水通路116を流通する冷却水によって冷却されて凝縮液化していく。上昇した冷媒は、拡散部112で外方に拡散し、冷媒通路113b側に流入していき、自重によって下降し液化冷媒として再び沸騰部111に戻る。このように、沸騰冷却装置100は、発熱体10の熱を沸騰気化により輸送し、凝縮液化時の凝縮潜熱を冷却水側に放出することで発熱体10を冷却する。
【0030】
本発明においては、発熱体10の大きさに応じて設定された最外方壁部115aによって沸騰領域を区画することができるので、沸騰気化した冷媒を冷媒通路113a側に上昇させることができる。また、上側プレート130近傍においては、最外方壁部115aの傾斜によって冷媒通路113bが広く開口するように形成されるので、凝縮液化した冷媒が流入しやすくなり、上昇後の冷媒を連続的に下降させることができる。このように受熱プレート120に対する発熱体10の占める割合が大きくなっても、発熱体10の領域外に対応する密閉容器110を大きくすること無く、沸騰気化により冷媒が上昇する領域と凝縮後に下降する領域とを明確に区分けして冷媒のスムーズな流れが形成できる。
【0031】
尚、本実施形態では、沸騰気化した冷媒を冷却水によって凝縮液化する水冷式の沸騰冷却装置100としているので、空冷のような放熱フィンを不要として、沸騰冷却装置100全体の体積を小さくできる。
【0032】
(第2実施形態)
本発明の第2実施形態を図7に示す。第2実施形態は、上記第1実施形態に対して、受熱プレート120および最外方壁部115a間の隙間(沸騰部111のスペース)を更に小さくして、発熱体10によって沸騰気化した冷媒が直接、冷媒通路113b側に流入するのを抑制するようにしたものである。具体的には、沸騰部111の中間プレート140bの最外方壁部115aに対応する位置に板厚部142を追加し、最下段の中間プレート140aにおいては最外方の開口部141aを広げて、冷媒通路113bと113aを連通させるようにしている。
【0033】
これにより、沸騰気化した冷媒が直接、冷媒通路113b側に流入することが抑えられるので、更にスムーズな冷媒流れを形成できる。
【0034】
(第3実施形態)
本発明の第3実施形態を図8に示す。第3実施形態は、上記第2実施形態に対して、受熱プレート120の発熱体10が取り付けられる領域に、発熱体10側に膨出する膨出部121を設けたものである。
【0035】
これにより、膨出部121の内周壁121aが沸騰気化した冷媒が上昇する際のガイドとなり、積極的な冷媒上昇および冷媒通路113bへの流入抑制を図ることができ、スムーズな冷媒流れを形成できる。
【0036】
(第4実施形態)
本発明の第4実施形態を図9に示す。第4実施形態は、第1実施形態に対して、最外方壁部115aの傾斜を廃止し、受熱プレート120との隙間を小さく設定したものである。
【0037】
これにより、最外方壁部115a間に発熱体10の大きさに応じた沸騰領域(冷媒流路113a)を形成し、またその外方に凝縮液化した冷媒が下降する下降領域(冷媒通路113b)を形成できる。更には、沸騰気化した冷媒が直接、冷媒通路113b側に流入することが抑えられるので、受熱プレート120に対する発熱体10の占める割合が大きくなっても、発熱体10の領域外に対応する密閉容器110を大きくすること無く、沸騰領域と下降領域とを明確に区分けして冷媒のスムーズな流れが形成できる。
【0038】
(その他の実施形態)
上記第1〜第4実施形態では、壁部115内に冷却水通路116を設けて、冷媒を冷却水によって凝縮液化するものとして説明したが、冷却水通路116を廃止し、例えば上側プレート130に放熱フィンを設けた空冷式の沸騰冷却装置100としても良い。
【0039】
更には、上側プレート130の上側にチューブとヘッダとを設け、チューブによって冷媒通路113aとヘッダとを連通させ、ヘッダと冷媒通路113bとを連通させたものとしても良い。この時、チューブ間には放熱フィンを設けるようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の沸騰冷却装置の外観を示す正面図である。
【図2】図1におけるA方向からの矢視図である。
【図3】第1実施形態における図1のB−B部を示す断面図である。
【図4】図3における密閉容器の沸騰部および拡散部を形成するプレートを示す平面図である。
【図5】図3における密閉容器の熱交換部を形成する中間プレートを示す平面図である。
【図6】図3における密閉容器の熱交換部を形成する中間プレートを示す平面図である。
【図7】第2実施形態における図1のB−B部を示す断面図である。
【図8】第3実施形態における図1のB−B部を示す断面図である。
【図9】第4実施形態における図1のB−B部を示す断面図である。
【符号の説明】
10 発熱体
100 沸騰冷却装置
110 密閉容器
111 沸騰部(隙間部)
112 拡散部(隙間部)
115 壁部
115a 最外方壁部
116 冷却水壁部
120 受熱プレート
130 上側プレート
140a〜140h 中間プレート
141a〜141e 開口部
142 板厚部
【発明の属する技術分野】
本発明は、冷媒の沸騰熱伝達により半導体素子等の発熱体を冷却する沸騰冷却装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の沸騰冷却装置として、特開平10−308486号公報に示されるものが知られている。即ち、冷媒が封入される密閉容器は、発熱体が取り付けられる受熱壁と、この受熱壁に対して間隔を置いて対向する放熱壁と、受熱壁および放熱壁の間に介在されて両壁を熱的に連結する伝熱部とから構成されている。そして、この伝熱部は、開口部を有する1枚以上の平板部材が受熱壁と放熱壁との間に積層されて、開口部間の板厚部が連なることで形成されるようにしている。
【0003】
これにより、開口部を有する平板部材を積層することで伝熱部を容易に形成でき、低コストで、量産性の高い沸騰冷却装置を提供できるようにしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この沸騰冷却装置においては、発熱体に対して受熱壁を大きく取ることによって、発熱体の取付け部位に対応する領域(沸騰領域)で内部の冷媒が沸騰上昇し、沸騰領域から外れた領域(凝縮領域)で外部に放熱した冷媒が凝縮下降し、自然発生的に冷媒の循環が形成されるようにしているので、受熱壁に対する発熱体の占める割合が大きく設定されると、凝縮領域が減少され、冷媒の沸騰上昇および凝縮下降が同一領域内で生じ、スムーズな冷媒の循環が形成できなくなる。即ち、冷却性能が低下することになる。
【0005】
本発明の目的は、上記問題に鑑み、平板部材が積層されて密閉容器が形成されるものにおいて、受熱壁に対する発熱体の占める割合が大きい場合でも、冷媒のスムーズな循環を形成できる沸騰冷却装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するために、以下の技術的手段を採用する。
【0007】
請求項1に記載の発明では、下側面に発熱体(10)が取り付けられる受熱プレート(120)と、受熱プレート(120)の上側に配置される上側プレート(130)と、複数の開口部(141a〜141e)を有し、受熱プレート(120)および上側プレート(130)間に積層される複数の中間プレート(140a〜140h)とから成る密閉容器(110)を有し、密閉容器(110)内に封入される冷媒が発熱体(10)の熱を受けて沸騰気化し、凝縮液化する際に外部に放熱することで発熱体(10)を冷却する沸騰冷却装置において、密閉容器(110)内には、中間プレート(140a〜140h)における複数の開口部(141a〜141e)間の板厚部(142)が積層方向に重なることで複数の壁部(115)が形成され、且つ、受熱プレート(120)と複数の壁部(115)との間、および上側プレート(130)と複数の壁部(115)との間には隙間部(111、112)が形成されており、複数の壁部(115)のうち、最外方に位置する最外方壁部(115a)は、開口部(141a〜141e)の開口面積が調整されることによって、発熱体(10)の外周部近傍に対応する位置から、上側プレート130の中心側に向けて傾斜して形成されたことを特徴としている。
【0008】
これにより、発熱体(10)の大きさに応じて設定された最外方壁部(115a)によって沸騰領域を区画することができるので、沸騰気化した冷媒を最外方壁部(115a)間で上昇させることができる。また、上側プレート(130)近傍においては、最外方壁部(115a)の傾斜によってその外方が広く開口するように形成されるので、凝縮液化した冷媒が流入しやすくなり、上昇後の冷媒を連続的に下降させることができる。このように受熱プレート(120)に対する発熱体(10)の占める割合が大きくなっても、発熱体(10)の領域外に対応する密閉容器(110)を大きくすること無く、沸騰気化により冷媒が上昇する領域と凝縮後に下降する領域とを明確に区分けして冷媒のスムーズな流れが形成できる。
【0009】
請求項2に記載の発明では、受熱プレート(120)および最外方壁部(115a)間の隙間部(111)は、発熱体(10)によって沸騰気化した冷媒の流通を抑制するように小さく形成されたことを特徴としている。
【0010】
これにより、沸騰気化した冷媒が直接、下降する側の領域に流入することが抑えられるので、更にスムーズな冷媒流れを形成できる。
【0011】
請求項3に記載の発明では、受熱プレート(120)の発熱体(10)が取り付けられる領域は、発熱体(10)側に膨出するように形成されたことを特徴としている。
【0012】
これにより、膨出部(121)の内周壁(121a)が沸騰気化した冷媒が上昇する際のガイドとなり、積極的な冷媒上昇および下降領域側への流入抑制を図ることができ、スムーズな冷媒流れを形成できる。
【0013】
尚、請求項4に記載の発明のように、壁部(115)内には、冷却水が流通する冷却水通路(116)が形成されており、発熱体(10)によって沸騰気化した冷媒は、冷却水によって凝縮液化するようにした水冷式の沸騰冷却装置(100)に適用して好適であり、空冷のような放熱フィンを不要として、沸騰冷却装置(100)全体の体積を小さくできる。
【0014】
また、請求項5に記載の発明のように、上記請求項1に記載の発明に対して、複数の壁部(115)のうち、最外方に位置する最外方壁部(115a)は、発熱体(10)の外周部近傍に対応する位置に配置され、且つ、受熱プレート(120)側に延ばされて受熱プレート(120)および最外方壁部(115a)間の隙間部(111)が発熱体(10)によって沸騰気化した冷媒の流通を抑制するように小さく形成されるようにしても良い。
【0015】
これにより、最外方壁部(115a)間に発熱体(10)の大きさに応じた沸騰領域を形成し、またその外側に凝縮液化した冷媒が下降する下降領域を形成できる。更には、沸騰気化した冷媒が直接、下降領域側に流入することが抑えられるので、受熱プレート(120)に対する発熱体(10)の占める割合が大きくなっても、発熱体(10)の領域外に対応する密閉容器(110)を大きくすること無く、沸騰領域と下降領域とを明確に区分けして冷媒のスムーズな流れが形成できる。
【0016】
尚、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【0017】
【発明の実施の形態】
(第1実施形態)
次に、本発明の沸騰冷却装置の第1実施形態を図1〜図6に基づいて説明する。沸騰冷却装置100は、例えば半導体素子等の発熱体10の熱によって内部に封入される冷媒が沸騰気化し、外部から供給される冷却水によって冷媒が凝縮液化する際にその凝縮潜熱を冷却水に放出することで発熱体10を冷却する水冷式の沸騰冷却装置としている。
【0018】
沸騰冷却装置100は、下側の受熱プレート120と上側に配置される上側プレート130との間に、それぞれ複数の開口部141a〜141eを有する中間プレート140a〜140hが複数積層されて形成される密閉容器110を有している。そして、この密閉容器110には入口パイプ150、出口パイプ160、冷媒封入パイプ170が設けられている。尚、上記各部材は、熱伝導性に優れるアルミニウムあるいはアルミニウム合金から成り、これら部材が一体でろう付けされることによって沸騰冷却装置100は形成される。
【0019】
密閉容器110内には、以下説明する中間プレート140a〜140hの組み合わせによって、受熱プレート120側に沸騰部111、上側プレート130側に拡散部112、そして沸騰部111と拡散部112との間に熱交換部113が形成されている。
【0020】
沸騰部111は、図4中(a)に示す長方形の受熱プレート120の上側に中間プレート140a、140bが交互に積層されて形成されている。中間プレート140aは図4中(c)に示すように縦方向に延びるの開口部141aが複数形成されており、また中間プレート140bは図4中(d)に示すように横方向に延びるの開口部141bが複数形成されており、互いの開口部141a、141bが交差する位置で連通して空間(隙間部)を形成している。尚、中間プレート140a、140bの開口部141a、141bは、切削加工、プレス加工、エッチング加工等により形成されている。また、以下説明する中間プレート140c〜140hの開口部141c〜141e、冷却水開口部143も同様の加工により形成される。
【0021】
拡散部112は、上記沸騰部111と同様に、図4(b)に示す長方形の上側プレート130の下側に中間プレート140a、140b(図4(c)、(d))が交互に積層されて、互いの開口部141a、141bが連通して空間(隙間部)を形成している。尚、上側プレート130の図4(b)中の右上側には、冷媒孔131が設けられており、拡散部112内の空間と連通するように冷媒封入パイプ170が接続されている。
【0022】
熱交換部113は、図5、図6に示す中間プレート140c〜140hが沸騰部111側から順次拡散部112側に向けて積層されて形成されている。中間プレート140c〜140hにはそれぞれ縦方向を基本とする開口部141c〜141eが設けられており、これら開口部141c〜141eの間には板厚部142が形成されている。
【0023】
中間プレート140cにおいては、板厚部142のうち、最外方に位置する板厚部142の内側端部142aは、発熱体10の外周位置に対応するように配置されている。そして、最外方の開口部141cの幅寸法c1は、凝縮液化した冷媒が流通可能となる最小の値に設定し、また、内側端部142aを共有する開口部141dの幅寸法d1は、開口部141aの幅寸法c1よりも大きく設定している。
【0024】
そして、中間プレート140d〜140hにおいては、開口部141cの幅寸法c1が順次大きくなるように、且つ開口部141dの幅寸法d1が順次小さくなるように設定している。
【0025】
尚、中間プレート140d〜140gの板厚部142においては、更に冷却水が流通するための冷却水開口部143が複数設けられている。また、中間プレート140hの左右の対角線上には入口孔144、出口孔145が設けられ、それぞれに入口パイプ150、出口パイプ160が接続されている。
【0026】
これらの中間プレート140c〜140hが積層されることにより、図3に示すように、板厚部142によって複数の壁部115が形成され、開口部141c〜141eによって複数の冷媒通路113a、113bが形成される。そして、この冷媒通路113a、113bは、沸騰部111、拡散部112の空間と連通する。また、壁部115の内部には冷却水開口部143が互いに連通して、冷却水通路116が形成されることになる。尚、冷却水通路116は、入口パイプ150および出口パイプ160と連通する。
【0027】
そして、壁部115のうち、最外方の壁部115aは、受熱プレート120側において、発熱体10の外周部近傍に対応する位置から上側プレート130の中心側に向けて傾斜した壁部として形成されることになる。
【0028】
このように形成された密閉容器110には、冷媒封入パイプ170から所定量の冷媒が封入され、その後、冷媒封入パイプ170は先端開口部が溶接等により封止される。冷媒は、水、アルコール、フロロカーボン、フロン等が用いられる。また、受熱プレート120の下側の面には、発熱体10がボルト等により締結されて固定される。尚、ここでは発熱体10は、受熱プレート120に占める割合が大きなものとして設定されている。
【0029】
次に、本実施形態の作動および作用効果に付いて説明する。沸騰部111における冷媒は、発熱体10の熱を受けて沸騰気化し、熱交換部113側に上昇する。そして、壁部115内の冷却水通路116を流通する冷却水によって冷却されて凝縮液化していく。上昇した冷媒は、拡散部112で外方に拡散し、冷媒通路113b側に流入していき、自重によって下降し液化冷媒として再び沸騰部111に戻る。このように、沸騰冷却装置100は、発熱体10の熱を沸騰気化により輸送し、凝縮液化時の凝縮潜熱を冷却水側に放出することで発熱体10を冷却する。
【0030】
本発明においては、発熱体10の大きさに応じて設定された最外方壁部115aによって沸騰領域を区画することができるので、沸騰気化した冷媒を冷媒通路113a側に上昇させることができる。また、上側プレート130近傍においては、最外方壁部115aの傾斜によって冷媒通路113bが広く開口するように形成されるので、凝縮液化した冷媒が流入しやすくなり、上昇後の冷媒を連続的に下降させることができる。このように受熱プレート120に対する発熱体10の占める割合が大きくなっても、発熱体10の領域外に対応する密閉容器110を大きくすること無く、沸騰気化により冷媒が上昇する領域と凝縮後に下降する領域とを明確に区分けして冷媒のスムーズな流れが形成できる。
【0031】
尚、本実施形態では、沸騰気化した冷媒を冷却水によって凝縮液化する水冷式の沸騰冷却装置100としているので、空冷のような放熱フィンを不要として、沸騰冷却装置100全体の体積を小さくできる。
【0032】
(第2実施形態)
本発明の第2実施形態を図7に示す。第2実施形態は、上記第1実施形態に対して、受熱プレート120および最外方壁部115a間の隙間(沸騰部111のスペース)を更に小さくして、発熱体10によって沸騰気化した冷媒が直接、冷媒通路113b側に流入するのを抑制するようにしたものである。具体的には、沸騰部111の中間プレート140bの最外方壁部115aに対応する位置に板厚部142を追加し、最下段の中間プレート140aにおいては最外方の開口部141aを広げて、冷媒通路113bと113aを連通させるようにしている。
【0033】
これにより、沸騰気化した冷媒が直接、冷媒通路113b側に流入することが抑えられるので、更にスムーズな冷媒流れを形成できる。
【0034】
(第3実施形態)
本発明の第3実施形態を図8に示す。第3実施形態は、上記第2実施形態に対して、受熱プレート120の発熱体10が取り付けられる領域に、発熱体10側に膨出する膨出部121を設けたものである。
【0035】
これにより、膨出部121の内周壁121aが沸騰気化した冷媒が上昇する際のガイドとなり、積極的な冷媒上昇および冷媒通路113bへの流入抑制を図ることができ、スムーズな冷媒流れを形成できる。
【0036】
(第4実施形態)
本発明の第4実施形態を図9に示す。第4実施形態は、第1実施形態に対して、最外方壁部115aの傾斜を廃止し、受熱プレート120との隙間を小さく設定したものである。
【0037】
これにより、最外方壁部115a間に発熱体10の大きさに応じた沸騰領域(冷媒流路113a)を形成し、またその外方に凝縮液化した冷媒が下降する下降領域(冷媒通路113b)を形成できる。更には、沸騰気化した冷媒が直接、冷媒通路113b側に流入することが抑えられるので、受熱プレート120に対する発熱体10の占める割合が大きくなっても、発熱体10の領域外に対応する密閉容器110を大きくすること無く、沸騰領域と下降領域とを明確に区分けして冷媒のスムーズな流れが形成できる。
【0038】
(その他の実施形態)
上記第1〜第4実施形態では、壁部115内に冷却水通路116を設けて、冷媒を冷却水によって凝縮液化するものとして説明したが、冷却水通路116を廃止し、例えば上側プレート130に放熱フィンを設けた空冷式の沸騰冷却装置100としても良い。
【0039】
更には、上側プレート130の上側にチューブとヘッダとを設け、チューブによって冷媒通路113aとヘッダとを連通させ、ヘッダと冷媒通路113bとを連通させたものとしても良い。この時、チューブ間には放熱フィンを設けるようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の沸騰冷却装置の外観を示す正面図である。
【図2】図1におけるA方向からの矢視図である。
【図3】第1実施形態における図1のB−B部を示す断面図である。
【図4】図3における密閉容器の沸騰部および拡散部を形成するプレートを示す平面図である。
【図5】図3における密閉容器の熱交換部を形成する中間プレートを示す平面図である。
【図6】図3における密閉容器の熱交換部を形成する中間プレートを示す平面図である。
【図7】第2実施形態における図1のB−B部を示す断面図である。
【図8】第3実施形態における図1のB−B部を示す断面図である。
【図9】第4実施形態における図1のB−B部を示す断面図である。
【符号の説明】
10 発熱体
100 沸騰冷却装置
110 密閉容器
111 沸騰部(隙間部)
112 拡散部(隙間部)
115 壁部
115a 最外方壁部
116 冷却水壁部
120 受熱プレート
130 上側プレート
140a〜140h 中間プレート
141a〜141e 開口部
142 板厚部
Claims (5)
- 下側面に発熱体(10)が取り付けられる受熱プレート(120)と、
前記受熱プレート(120)の上側に配置される上側プレート(130)と、
複数の開口部(141a〜141e)を有し、前記受熱プレート(120)および前記上側プレート(130)間に積層される複数の中間プレート(140a〜140h)とから成る密閉容器(110)を有し、
前記密閉容器(110)内に封入される冷媒が前記発熱体(10)の熱を受けて沸騰気化し、凝縮液化する際に外部に放熱することで前記発熱体(10)を冷却する沸騰冷却装置において、
前記密閉容器(110)内には、前記中間プレート(140a〜140h)における前記複数の開口部(141a〜141e)間の板厚部(142)が積層方向に重なることで複数の壁部(115)が形成され、
且つ、前記受熱プレート(120)と前記複数の壁部(115)との間、および前記上側プレート(130)と前記複数の壁部(115)との間には隙間部(111、112)が形成されており、
前記複数の壁部(115)のうち、最外方に位置する最外方壁部(115a)は、前記開口部(141a〜141e)の開口面積が調整されることによって、前記発熱体(10)の外周部近傍に対応する位置から、前記上側プレート(130)の中心側に向けて傾斜して形成されたことを特徴とする沸騰冷却装置。 - 前記受熱プレート(120)および前記最外方壁部(115a)間の前記隙間部(111)は、前記発熱体(10)によって沸騰気化した冷媒の流通を抑制するように小さく形成されたことを特徴とする請求項1に記載の沸騰冷却装置。
- 前記受熱プレート(120)の前記発熱体(10)が取り付けられる領域は、前記発熱体(10)側に膨出するように形成されたことを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載の沸騰冷却装置。
- 前記壁部(115)内には、冷却水が流通する冷却水通路(116)が形成されており、
前記発熱体(10)によって沸騰気化した冷媒は、前記冷却水によって凝縮液化するようにしたことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の沸騰冷却装置。 - 下側面に発熱体(10)が取り付けられる受熱プレート(120)と、
前記受熱プレート(120)の上側に配置される上側プレート(130)と、
複数の開口部(141a〜141e)を有し、前記受熱プレート(120)および前記上側プレート(130)間に積層される複数の中間プレート(140a〜140h)とから成る密閉容器(110)を有し、
前記密閉容器(110)内に封入される冷媒が前記発熱体(10)の熱を受けて沸騰気化し、凝縮液化する際に外部に放熱することで前記発熱体(10)を冷却する沸騰冷却装置において、
前記密閉容器(110)内には、前記中間プレート(140a〜140h)における前記複数の開口部(141a〜141e)間の板厚部(142)が積層方向に重なることで複数の壁部(115)が形成され、
且つ、前記受熱プレート(120)と前記複数の壁部(115)との間、および前記上側プレート(130)と前記複数の壁部(115)との間には隙間部(111、112)が形成されており、
前記複数の壁部(115)のうち、最外方に位置する最外方壁部(115a)は、前記発熱体(10)の外周部近傍に対応する位置に配置され、且つ、前記受熱プレート(120)側に延ばされて前記受熱プレート(120)および前記最外方壁部(115a)間の前記隙間部(111)が前記発熱体(10)によって沸騰気化した冷媒の流通を抑制するように小さく形成されたことを特徴とする沸騰冷却装置。
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US10881021B2 (en) | 2015-09-03 | 2020-12-29 | Fujitsu Limited | Loop heat pipe and fabrication method therefor, and electronic device |
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2002
- 2002-07-26 JP JP2002218615A patent/JP2004063684A/ja active Pending
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