JP2004031549A - 不良解析方法及び不良解析システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】任意のデバイスプロセス完了後に、微小試料摘出装置102でウェーハ108の一部を、1繰返しパターン以上のサイズの微小試料110として、プローブで摘出して微小試料保管具109に載せ替え、微小試料保管装置103に保管される。保管試料のデータは保管試料データ記録装置104で管理される。ウェーハ108が後プロセスを経た後の不良解析要求120から観察所望場所が決定された後、微小試料追加工装置105で微小試料保管具109から微小試料110を取り出し、観察試料ホルダへ載せ替えて観察所望場所の追加工により不良解析試料113を作製し、不良解析装置106で解析された解析情報118が出力される。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品等の不良解析を行う不良解析技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
ダイナミックランダムアクセスメモリ(Dynamic Random Access Memory、DRAM)に代表される半導体メモリやマイクロプロセッサ、半導体レーザなど半導体デバイス、および磁気ヘッドなど電子部品の製造においては、高歩留り製造が求められる。
【0003】
すなわち、不良発生による製品歩留りの低下は、採算の悪化を招く。このため、不良の原因となる欠陥や異物、加工不良の早期発見および早期対策が大きな課題となる。例えば、半導体デバイスの製造現場では、入念な検査による不良発見、およびその発生原因の解析に注力されている。ウェーハを用いた実際の電子部品製造工程では、工程途中のウェーハを検査して、回路パターンの欠陥や異物など異常箇所の原因を追及して対策方法が検討される。
【0004】
通常、試料の微細構造観察には高分解能の走査型電子顕微鏡(以下、SEMと略記)が用いられるが、半導体の高集積化に伴い、対象物がSEMの分解能では観察できなくなっており、SEMに代ってさらに観察分解能が高い透過型電子顕微鏡(以下、TEMと略記)が用いられる。
【0005】
従来のTEM試料作製には劈開や切断などで試料基板を小片にする作業が伴い、試料基板がウェーハの場合は、ほとんどの場合にはウェーハを割断せざるを得なかった。
【0006】
最近では、イオンビームを試料基板に照射し、スパッタ作用によって試料基板を構成する粒子が試料基板から放出される作用を応用した微小領域の加工方法、すなわち集束イオンビーム(以下、FIBと略記)加工を利用する例がある。
【0007】
これは、まずダイシング装置等を用いてウェーハ等の試料基板から観察すべき領域を含む厚さサブミリメートルの短冊状ペレットに切り出す。次に、この短冊状ペレットの一部をFIBによって薄壁状に加工してTEM試料とする。ここでFIB加工されたTEM観察用の試料の特徴は、試験片の一部がTEM観察用に、厚さが約100nmの薄膜に加工してあることにある。この方法によって、所望の観察部をマイクロメートルレベルの精度で位置出しして観察することが可能になったが、やはりウェーハを割断しなければならない。
【0008】
このように、半導体デバイス等の製造途中で、ある工程の結果を監視することは、歩留まり管理上、その利点は大きいが、既に述べたような試料作製ではウェーハは割断され、ウェーハの破片は次のプロセスに進むことなく廃棄される。特に近年では、ウェーハは、半導体デバイスの製造単価を下げるため大口径化が進んでいる。すなわち、1枚のウェーハで製造できる半導体デバイスの個数を増やして、単価を低減する。しかし、逆にウェーハそのものの価格が高価となり、また、製造工程が進むに従い付加価値が増し、さらには、ウェーハの破棄によって失われる半導体デバイスの個数も増大する。従って、従来のウェーハの割断を伴うような検査方法は非常に不経済であった。
【0009】
これに対して、ウェーハを割断することなく試料作製できる方法がある。この方法は、特開平05ー52721号公報(従来例1)に開示されている。
【0010】
この方法は、図2(a)〜(g)に示されるように、まず、試料基板202の表面に対しFIB201が直角に照射するように試料基板202の姿勢を保ち、試料基板上でFIB201を矩形に走査させ、試料表面に所要の深さの角穴207を形成する(図2(a))。次に、試料基板202を傾斜させ、底穴208を形成する。試料基板202の傾斜角の変更は、試料ステージ(図示せず)によって行われる(図2(b))。試料基板202の姿勢を変更し、試料基板202の表面がFIB201に対して再び垂直になるように試料基板202を設置し、切り欠き溝209を形成する(図2(c))。マニピュレータ(図示せず)を駆動し、マニピュレータ先端のプローブ203の先端を、試料基板202を分離する部分に接触させる(図2(d))。次に、ガスノズル210から堆積性ガス205を供給し、 FIB201をプローブ203の先端部を含む領域に局所的に照射し、イオンビームアシストデポジション膜204を形成する。接触状態にある試料基板202の分離部分とプローブ203の先端はイオンビームアシストデポジション膜204で接続される(図2(e))。FIB201で残りの部分を切り欠き加工し(図2(f))、試料基板202から分離試料である微小試料206を切り出す。切り出された微小試料206は、接続されたプローブ203で支持された状態になる(図2(g))。
【0011】
この微小試料206を、FIB201で加工し、観察しようとする領域を薄膜加工するとTEM試料(図示せず)となる。この方法で分離した微小試料を各種解析装置に導入することで解析することができる。
【0012】
また、以上は試料作製装置で微小試料を取り出す方法を採用した例であるが、試料作製装置で、断面試料薄膜の形状を加工し、試料作製装置から試料基板を取り出して、大気中で別の機構で断面試料薄膜を取り出す方法もある。例えば、「Material Research Society、Symposium Proceedings、vol.480、1997、pp.19−27」(従来例2)の文献に記載されている。また、同様に「Proceedings of the 22nd International Symposium for Testing and Failure Analysis、18−22 November 1996、pp.199−205」(従来例3)の文献に記載されている。
【0013】
これは、図3の(a)に示すように、ウェーハ308上の目標位置の両側を階段状にFIB301で加工して断面試料薄膜307を作製し、次に試料ステージを傾斜することによって、FIB301と試料表面とのなす角度を変えて、試料基板に照射し、図3の(b)に示すようにFIB301で試料薄膜周辺を切り、試料薄膜307をウェーハと分離する。そして、FIB装置からウェーハを取りだし、大気中でガラス棒を加工部分に接近させ、静電気を利用して試料薄膜307をガラス棒に吸着させてウェーハから取り出し、このガラス棒をメッシュ309に移動させ、メッシュ上に静電吸着させるか、透明接着物に加工面を面するように設置する。このように、加工を施した断面試料薄膜を装置内で取り出さなくとも、断面試料薄膜の外形のほとんどをイオンビームによって加工しても、分離した断面試料薄膜をTEMに導入することで解析することができる。
【0014】
また、従来例1と類似の手法をプロセス管理に利用したデバイス製造方法としては、例えば、特開2000−156393号公報(従来例4)に記載されている。
【0015】
この方法では、図4に示すようなフローによりプロセス管理を行う。プロセスm1に投入されたロット401はプロセスm1の完了後、ロット401のうち所定の枚数を検査用試料402として選別し、残された試料403は待機する。選別した検査用試料402検査すべき箇所404を微小試料405として摘出する。微小試料405を摘出された検査用試料402は再び上記残された試料403に組み込まれ、ロット401Aとして次のプロセスm2に投入する。ここで、微小試料405は各種解析装置406に対応できるように加工を施し、経路fを通って解析装置406に送り、微小試料405の注目する部分を解析する。解析結果は計算処理機407に送りデータベースとして保存する。蓄えられたデータベースは必要に応じて通信経路hを通ってプロセスm1もしくはプロセスm2に伝達し、プロセス条件の変更等の指示を行う。
【0016】
このように、プロセスm1からプロセスm2に至る間に、ウェーハは経路a、b、c、dを経て、その間、解析すべき微小試料が摘出されることが大きな特徴である。また、検査によって試料基板が減少することはなく、プロセスm1に投入するロット401とプロセスm2に投入するロット401の試料基板数は同じである。従って、これまでのようにウェーハの分断によって失われる半導体デバイスはなくなり、トータルの半導体デバイスの製造歩留りを高め、製造コストを低減することができる。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】
不良解析では、別の検査装置、例えばプローブ検査やEBテスタ等で、不良モードが発見された場合に、その原因プロセスを究明する。ここで、本発明での不良解析は、ウェーハ内の特異的な位置にのみ存在する不良ではなく、加工プロセスを根本原因としてウェーハ全面、または、ある範囲の領域に広がって存在する不良を主なターゲットとしている。
【0018】
不良解析手順として、検査で不良が発見された後に所望領域を決定してから、従来例1、従来例2、従来例3のような手段を用いて、観察、分析試料を作製する場合には、以下のような課題が残される。
【0019】
デバイス形成後に作製した観察試料で異常部が発見できたとしても、場合によってはその原因プロセスが究明できないことがある。この例について、図5(a)〜(d)を用いて説明する。
【0020】
図5(a)は、ある配線プロセスを終了したデバイスの断面を示している。この例では、デュアルダマシンプロセスでの金属配線形成を示しており、絶縁層502に形成された配線用穴領域に金属配線501が形成される。この時点では、金属配線501は正常に形成されている。次に形成される配線キャップ層503の形成プロセスでは、300〜400℃程度の熱工程が入る。これにより、図5(b)に示すように、金属配線501の接続孔部分に空隙不良部504が形成される場合がある。もしくは、図5(b)で不良が発生しなかった場合でも、図5(c)に示す絶縁層505形成時の400〜500℃の熱工程により、やはり空隙不良部504が発生する場合もある。
【0021】
しかし、最終工程まで終了した後に、例えば、プローブ検査により断線や高抵抗部が判明してから観察すべき場所を決定し、従来例1〜3のような方法で断面を形成して配線工程を調べる場合には、図5(d)のような空隙不良部504が観察はされても、どのプロセスが直接空隙形成の原因となったかを判明させるのは大変困難である。このため、後のプロセスよる影響の無い情報からの原因究明が重要となる。
【0022】
先述の従来例4は、予めモニタすべき領域が決定されており、その領域を観察用の薄膜や断面に加工すれば良い加工プロセスモニタには大変有効である。しかし、不良解析として使用するためには以下のような課題が残されていた。
【0023】
不良解析では、観察、分析すべき場所は予め特定できない。このため、各プロセス、または複数のプロセス終了時に微小試料を摘出し、TEM試料等に予め加工してしまうと、後の検査で観察したい領域が決定され、その領域が作製したTEM試料位置と異なる場合には、その所望位置はすでに加工で消滅している可能性が大きく、観察できない。また、不良解析の場合には位置のみならず、観察したい面の方向も重要である。例えば、DRAMの場合、ワード線に平行な断面、垂直な断面、また、試料表面に平行な面等の方向が有り得る。これらの位置や方向の組合せを考えると、予め作製したTEM薄膜位置(または他の観察、分析用の断面位置)が不良解析の所望領域と一致する可能性はかなり低い。このため、不良解析では、観察、分析用の試料加工は検査後の不良データに基づき決定された位置の加工が必要である。
【0024】
本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたものであり、デバイス等の不良解析において、後になって検査により確定される任意の観察所望場所に対応可能な観察試料を確保できる不良解析技術を提供することを目的とする。
【0025】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明では、所定の処理プロセス終了毎に微小試料(または、試料)を摘出、保管し、後の不良データに基づいて決定された観察、分析位置に微小試料の追加工を行う。すなわち、基板に所望とするパターンを形成するための任意の処理プロセス終了毎に、加工ビームを用いて前記基板からその一部を試料として摘出する微小試料摘出装置(または、試料摘出装置)と、摘出した前記試料を保管する微小試料保管装置(または、試料保管装置)と、前記試料に関する管理情報をデータベースとして統括する保管試料データ記録装置と、不良解析要求に従い保管していた前記試料を解析可能な形態に加工する微小試料追加工装置(または、試料追加工装置)と、加工された前記試料を解析する不良解析装置とを具備することを基本的な構成とする。
【0026】
以下、本発明による不良解析システムの代表的な構成例を列挙する。
【0027】
(1)基板に所望とするパターンを形成するための任意の処理プロセス終了毎に、イオンビーム加工により前記基板からその一部を試料として摘出し、前記試料を保管する試料保管具(または、微小試料保管具)に搬送する試料摘出装置と、前記基板の少なくとも製品名、基板名、処理プロセス名と前記試料の保管位置とを対応させたデータベースを構築する保管試料データ記録装置と、前記試料保管具を前記保管試料データ記録装置のデータベースに対応して保管する試料保管装置と、選別された前記試料を前記試料保管具から取り出して追加工情報に基づき追加工を行う試料追加工装置と、追加工された前記試料を解析する不良解析装置とを具備するよう構成する。
【0028】
これにより、後工程で判明した不良に対して工程を遡って不良原因を特定することができるため、原因究明が効率的になる。
(2)基板に所望の回路パターンを形成するための異なる2つ以上の処理プロセスのそれぞれの後に、イオンビーム加工により前記基板からそれぞれその一部を試料として摘出し、前記試料を保管する試料保管具に搬送する試料摘出装置と、前記基板の少なくとも製品名、基板名、処理プロセス名と前記試料の保管位置とを対応させたデータベースを構築する保管試料データ記録装置と、前記試料保管具を前記保管試料データ記録装置のデータベースに対応して保管し、前記試料の製品完成後の任意の製品指定に対応する前記試料を選別する試料保管装置と、不良解析要求に従い選別された前記試料を取り出して追加工情報に基づき追加工を行う試料追加工装置と、追加工された前記試料を解析する不良解析装置とを具備するよう構成する。
【0029】
これにより、製品出荷後に判明した不良デバイスに対して不良原因を特定することができ、顧客に対する説明に有効である。
【0030】
(3)前記構成の不良解析システムにおいて、前記試料保管装置が、前記試料保管具を前記保管試料データ記録装置のデータベースに対応して保管し、かつ、少なくとも2つの処理プロセスを経た後の不良検査において予め設定した閾値から不良と判断された前記基板に対応する前記試料を選別するよう構成されていることを特徴とする。さらに、前記不良解析装置から得られる前記試料の構造観察もしくは分析データを、前記処理プロセスのプロセスパラメータと対応させて不良試料データとして記録する不良データベース記録装置を有することを特徴とする。
【0031】
これにより、不良が生じやすいプロセスパラメータを特定しやすくなるため、先端プロセス制御でパラメータを振るべき方向が限定でき、効率化に繋がる。
【0032】
(4)前記構成の不良解析システムにおいて、前記イオンビーム加工を制御するイオンビーム制御系を有し、かつ、前記イオンビーム制御系は、摘出する前記試料の大きさを、前記基板上に形成された回路パターンの繰返し間隔よりも大きく設定するよう構成されていることを特徴とする。
【0033】
これにより、後の追加工により1デバイスパターン内の任意位置での不良解析が可能となる。
【0034】
(5)前記構成の不良解析システムにおいて、前記試料保管具が、前記基板の少なくとも製品名、基板名、処理プロセス名と前記試料の保管位置とを対応させたデータベースを格納した読み書き可能なICメモリを有することを特徴とする。
【0035】
これにより、プロセス履歴と微小試料位置を容易に対応付けすることができる。
【0036】
(6)前記構成の不良解析システムにおいて、前記試料保管具が、前記基板の少なくとも製品名、基板名、処理プロセス名と前記試料の保管位置とを対応させたデータベースと、前記試料とを1対1で対応可能な数値を格納した非接触ICチップを有することを特徴とする。
【0037】
これにより、プロセス履歴と微小試料を1対1で容易に対応付けすることができる。
【0038】
(7)前記構成の不良解析システムにおいて、前記試料摘出装置と前記試料保管装置、または前記試料保管装置と前記試料追加工装置とが、大気に暴露することなく前記試料保管具を授受できるように接続可能に構成されていることを特徴とする。
【0039】
これにより、微小試料の汚染が抑制され、不良解析の信頼性が向上する。
【0040】
(8)前記構成の不良解析システムにおいて、前記試料保管具の形成材料が、シリコンであることを特徴とする。
【0041】
これにより、基板がシリコンのデバイスにおいて微小試料の汚染が抑制され、不良解析の信頼性が向上する。
【0042】
(9)前記構成の不良解析システムにおいて、前記試料加工装置が、前記試料の摘出前に摘出座標を顕在化するためのマークを前記試料に加工するためのイオンビームマーク加工機能を有することを特徴とする。
【0043】
これにより、摘出後の微小試料の元基板に対応する座標を容易に識別することができる。
【0044】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施例について、図面を用いて詳述する。
【0045】
図1は、本発明による不良解析システムの一実施例の構成を示す。この不良解析システム101は、数ミクロンから数十ミクロン程度のサイズの微小試料を、ウェーハを割断せずに直接摘出可能な微小試料摘出装置102と、摘出した微小試料を保管する微小試料保管装置103と、微小試料の管理データを統括する保管試料データ記録装置104と、不良解析要求に従い保管しておいた微小試料を解析可能な形態に加工する微小試料追加工装置105と、加工された微小試料を解析する不良解析装置106から構成される。
【0046】
以下、不良解析システムの概要について説明する。まず始めに、デバイス製造プロセスの中で、不良解析が後に必要となる可能性があると予想されるプロセスを選択する。
【0047】
図6に示す601〜607は、デバイス製造の各プロセスであり、例えば、露光やドライエッチングやCVD(化学気相成長)やウェットエッチングやCMP(化学機械研磨)等に相当するものである。その中で、例えば、プロセス602とプロセス605を微小試料摘出プロセスとして選択したとすると、摘出スケジュールと摘出位置の情報119として予め保管試料データ記録装置104に入力しておく。
【0048】
図1において、例えば、プロセス602を処理する装置がプロセス装置107であるとすると、この情報に従い、プロセス装置107でプロセスが終了したウェーハ108は不良解析システム101内の微小試料摘出装置102に導入される。このとき、保管試料データ記録装置104は、プロセス装置107(もしくはプロセス装置107のプロセス条件を管理するデータベース)からプロセス情報114を受け取り、微小試料摘出装置102にウェーハ内の微小試料を摘出すべき位置と、微小試料を保管すべき微小試料保管具の位置等の情報115を送信する。この摘出位置情報と保管位置情報を元に、微小試料摘出装置102はウェーハ108から微小試料110を摘出し、微小試料保管具109の指定位置に保管する。ここで、微小試料保管装置103が微小試料摘出装置102に接続され、微小試料保管具109は微小試料保管装置103に保管される。この微小試料保管装置103内の保管位置情報116は保管試料データ記録装置104に送られる。
【0049】
こうして、微小試料はデータとして保管試料データ記録装置104で管理され、ハードとして微小試料保管装置103に保管される。微小試料110を摘出されたウェーハ108は、図6に示すように、その後のプロセス603にまわされ、次は、プロセス605が終了したウェーハが不良解析システム101内の微小試料摘出装置102に導入されて微小試料を摘出されることになる。このようにしてプロセスの要所要所で、同様に微小試料が微小試料保管装置103に保管される。
【0050】
この微小試料摘出時点(微小試料が微小試料保管具に収まっている時点)で保管試料データ記録装置104に記録されている情報の例としては、プロセスフロー、各プロセス条件(温度、時間等)、プロセス日時、ウェーハロットナンバー、微小試料摘出プロセス、微小試料摘出ロット、微小試料摘出ウェーハ、微小試料摘出チップ、微小試料摘出ビットアドレス、微小試料摘出方向、微小試料保管具ナンバー、微小試料保管穴ナンバー等である。
【0051】
その後、例えば、検査工程後に、不良解析すべきプロセスと不良解析内容が決定されると、その不良解析要求120が保管試料データ記録装置104に入力される。保管試料データ記録装置104はデータベースから対応する微小試料110の保管位置を検索する。微小試料保管装置103は、この保管位置情報を受け取り、接続された微小試料追加工装置105に対応する微小試料保管具109を導入する。微小試料追加工装置105は保管試料データ記録装置104から微小試料保管具109内の微小試料110の保管位置と追加工位置の情報117を受け取り、対応する微小試料110を取出し、試料ホルダ上に載せ替え、薄膜加工等の追加工(例えばゲート垂直断面等)を行う。こうして追加工された不良解析試料113は、不良解析装置106に導入されて不良解析され、解析情報118が保管試料データ記録装置104に送信されて保存され、プロセス情報等と結合した不良解析情報121として出力される。このようにして、不良解析要求に対して不良解析データ(画像データを含む)が出力される。
【0052】
このようなシステムとすることで、任意のプロセス直後の微小試料を保管しておくことができるため、後になって判明する不良解析要求に対して、不良を直接解析することが可能となり、効率のよい解析が実現できる。
【0053】
次に、本発明の不良解析システムを構成する装置の中で、キー装置となる微小試料摘出装置の具体的構成について、図7を用いて説明する。
【0054】
微小試料摘出装置102は、半導体ウェーハ108等の試料基板を載置する可動の試料台702と、ウェーハ108の観察、加工位置を特定するため試料台702の位置を制御する試料位置制御装置703と、ウェーハ108にイオンビーム704を照射して加工を行うイオンビーム光学系705と、ウェーハ108の近傍を観察するための電子ビーム706を照射する電子ビーム光学系707と、ウェーハ108からの2次電子を検出する2次電子検出器708を有する。
【0055】
イオンビーム光学系705の構成は以下の通りである。イオンを発生するイオン源715は、加速電源716により接地電位に対して加速電圧が印加される。イオン源715のイオン放出が不安定な場合には、通電加熱電源717により通電加熱を行い、イオン源715の状態改善をする。イオンの引出し電界を形成する引き出し電極718は、引き出し電源719によりイオン源715に対して引出し電圧が印加される。これにより引き出されたイオンビームは、アパーチャ720によりビーム広がりが制限される。このアパーチャ720は、引き出し電極718と同電位である。このアパーチャ720を通過したイオンビームは、集束電源721により集束電圧を印加された集束レンズ722により集束される。集束されたイオンビームは、偏向電源723が印加される偏向器724により、走査、偏向が行われる。偏向されたイオンビームは、対物電源725により対物電圧を印加された対物レンズ726によりウェーハ108表面上に集束される。上記の加速電源716、引き出し電源719、集束電源721、偏向電源723、対物電源725は、イオンビーム光学系制御装置727により制御される。
【0056】
イオンビーム704により加工されたウェーハ108内の微小試料を摘出するプローブ728は、プローブ位置制御装置730で制御されるプローブ駆動装置729で駆動される。プローブ728と微小試料の固定等に使用されるイオンビームアシストデポジション膜を形成するためのデポジションガスを供給するデポジションガス源731はデポジションガス源制御装置732により、その位置、ヒータ温度、バルブ開閉等を制御される。摘出された微小試料を保管する穴を複数個有する微小試料保管具109は、試料台702の脇に配置されている。
【0057】
電子ビーム光学系707は、電子ビーム光学系制御装置733により電子ビーム照射条件、位置等を制御される。イオンビーム光学系制御装置727、試料位置制御装置703、プローブ位置制御装置730、二次電子検出器708の検出情報を表示する表示装置734等は、中央処理装置735により制御される。試料台702、微小試料保管具109、イオンビーム光学系705、電子ビーム光学系707、二次電子検出器708、プローブ728等は、真空容器737内に配置される。中央処理装置735は、保管試料データ記録装置104と微小試料の摘出位置情報や保管位置情報のやり取りを行う。
【0058】
ここで、具体的な微小試料の微小試料保管具109への保管法について、図8(a)〜(i)を用いて説明する。ここでは、あるデバイスプロセス終了後にウェーハ108が、図7に示す微小試料摘出装置102に導入された状態から説明する。
【0059】
始めに、微小試料摘出予定部の両外側に矩形穴801、802をイオンビーム704によりウェーハ108に形成する(図8(a))。次にイオンビーム704により矩形溝806を形成する(図8(b))。次に、試料台702を傾けてイオンビーム704を試料表面に斜めから照射することにより、斜溝808を形成し、ウェーハ108と一部の支持部805のみで接続された微小試料110を形成する。(図8(c))。試料台傾斜を戻し、プローブ駆動装置729をプローブ位置制御装置730により制御し、プローブ728を微小試料110の一部に接触させる。接触させたプローブ728と微小試料110をイオンビームアシストデポジションを用いて固定する(図8(d))。イオンビームアシストデポジション膜809が形成された後、支持部805をイオンビーム704で切断する(図8(e))。
【0060】
こうして、微小試料110を切り出し、プローブ728をプローブ駆動装置729によって上昇させ摘出する(図8(f))。次に、この切り出された微小試料110を微小試料保管具109内の保管穴811へ挿入する(図8(g))。こうして挿入した後、イオンビーム704によりプローブ728先端を切断し微小試料110を分離する(図8(h))。こうして、微小試料保管具109に微小試料110が保管される。(図8(i))。そのプロセスから複数箇所の微小試料を摘出する場合にはこの工程を繰返し、別の保管穴812へ保管する。
【0061】
以上の微小試料摘出は、試料台702が傾斜する、図7のような微小試料摘出装置で説明した。しかし、図15に示すように、試料台1501が非傾斜で、イオンビーム光学系1502が試料面に対して傾斜して配置された装置構成において、試料台1501の試料表面法線を回転軸とする回転制御により、上述のような微小試料摘出加工を実現することが可能である。
【0062】
ちなみに、図15を構成する機構等は、上述の傾斜配置構成を除いて、図1に示すものと同様であり、また、図15では、図示の関係上、プローブ関係機構とデポジションガス源関係機構等は省略しているが、実際は存在している。
【0063】
ここで、ウェーハ108は、微小試料摘出装置102から取り出され、次のデバイスプロセス(図6の場合では、プロセス603)へと回される。ただし、ウェーハ108は、このままでは微小試料摘出用の加工穴が空いた状態であり、この後のプロセスにおいてこの加工穴がプロセス不良の原因となる可能性がある。このため、この加工穴を埋め戻すことが望まれる。図9(a)〜(c)に埋め戻し手法の一例を示す。
【0064】
図9(a)は、ウェーハ108から、微小試料110をプローブ728により摘出したところを示しており、加工穴901が空いた状態である。この加工穴901に対して、図9(b)に示すように、デポジションガス源731からデポジションガス902(例えば、フェナントレンやタングステンヘキサカルボニルやテトラエトキシシラン等)を供給しながらイオンビーム704を走査することで、図9(c)に示すように、堆積物903により穴埋めを行うことができる。こうして埋め戻されたウェーハ108を次のプロセスに戻すことで、加工穴に起因するプロセス不良を抑制することができる。
【0065】
一方、摘出した微小試料110を保管する微小試料保管具109は、複数の微小試料保管具を保管可能な微小試料保管装置103に保管される。微小試料保管装置103は、例えば、図10のような構成をしており、任意の微小試料保管具109をロード、アンロード可能なロード/アンロード機構1001を有し、装置接続部1002で微小試料摘出装置102や微小試料追加工装置105に接続可能であり、微小試料保管具109は大気に暴露されることなくロード、アンロードが可能である。
【0066】
このようにして保管されている微小試料に対して、ウェーハ108の後工程での検査等で観察、分析すべき箇所が決定される。例えば、プローブ検査では、ショート、断線、書き込み、読み出し等の不良情報等が得られる。この不良情報を元に、観察すべき場所、例えば、金属配線断線が多発している場合は金属配線形成プロセス後の数プロセス分の断面観察を、また、例えば、プラグ、コンタクト等の高抵抗の場合には、プラグ用エッチング穴の残膜やプラグ断面、または接続部の平面観察等を、というように実際観察すべきプロセスと領域、方向等が決定される。
【0067】
こうして決定された情報に基づき、対応するウェーハロット、ウェーハ、プロセス、チップが決定され、その微小試料保管具109が微小試料追加工装置105に導入され、対応する保管穴から微小試料(例えば、ここでは微小試料110)を取り出す。この取り出しについては、図11(a)〜(e)により説明する。
【0068】
図11(a)に示すように、微小試料110をプローブ1105を用いて取り出す。ここで、図では手前側に保管穴811等が露出しているように描写されているが、実際は側面には露出していない孤立した穴である。この取り出し方は、前述したイオンビームアシストでポジション膜を使用する固定でも良いし、後述するピンセット形でも良い。
【0069】
検査結果から決定された観察、分析(以後、記述を簡易化するために観察とのみ表記)領域が、例えば、元ウェーハ108の試料表面に垂直な断面の場合には、その観察断面が、図11(b)に示すように、観察装置に導入するための微小試料ホルダ1101の微小試料固定面1102の長手方向1103に平行で、且つ微小試料固定面1102に垂直になるような姿勢になるように固定する。この固定は、例えばイオンビームアシストデポジション膜1104等により行う。この後、プローブ1105を除去し(例えば、プローブ1105固定にイオンビームアシストでポジションを使用した場合には、イオンビーム1106によるプローブ1105先端の切断等を利用)、その後、目標位置を断面加工、または厚さ100nm程度の薄膜加工することで、図11(c)に示すように、所望位置のSEMやTEMの断面観察が可能となる。
【0070】
検査結果から決定された観察領域が、元ウェーハ108の試料表面に平行な面の場合には、その観察平面が、図11(d)に示すように、微小試料ホルダ1101の微小試料固定面1102の長手方向1103に平行で、且つ微小試料固定面1102に垂直になるような姿勢になるように固定する。この図11(d)に示すような固定は、プローブ1105が回転機構を有し、微小試料110の姿勢を取り出し時から90°回転できる場合に可能である。もし、プローブ1105に回転機構がない場合には、図11(d’)に示すように、予め微小試料ホルダ1101の方を90°傾斜させておき、それに対して微小試料110を固定する。その後、プローブ1105を垂直断面の場合と同様に除去し、図11(d’)の場合は姿勢を90°戻す。そして、目標平面位置を断面加工、または薄膜加工することで、図11(e)に示すように、所望位置の平面観察が可能となる。
【0071】
ここでは、微小試料摘出装置102と微小試料追加工装置105は別装置として説明したが、同一の装置を微小試料摘出と追加工に使用しても問題ない。
【0072】
ここで、摘出すべき微小試料110のサイズについて説明する。本発明で目的としているのは、デバイス検査後に決定された任意の観察面を提供できることであるから、デバイスの最低繰返しパターンを確保する必要がある。当然大きな周期の繰返しパターンも存在するが、ここではプロセスに影響無く、且つイオンビーム加工により現実的時間で加工可能な100μm程度以下のサイズの繰返しパターンを対象とする。
【0073】
例えば、図12(a)に示すようなデバイスパターン1201、1202、1203、1204が繰返しパターンになっているとすると、その中で、最低でも1パターン1201が含まれるようなサイズ微小試料110を摘出するようにする。ここで、この繰返しパターンは、試料表面は当然のこと、試料内部(深さ方向)に関しても、1パターンを含むようにする。
【0074】
図12(a)では、例えば、DRAMのような1パターンにトランジスタやキャパシタが1個ずつあるような単純構成の場合を説明したが、例えば、SRAM(Static Random Access Memory)の場合は、1パターンに6トランジスタが存在する場合もあり、このような時はこれらを全て含むサイズを摘出する必要がある。
【0075】
図12(b)は、あるSRAMの配線工程後の表面を示した例であるが、その中で1ビット記憶に相当する繰返しパターンは、図12(c)に示すもの(図12(b)では点線で境界を示している。)である。このため、例えばこれを摘出するイオンビーム加工としては、図12(d)中の1205で示すような領域を取る必要がある。摘出する微小試料のサイズを以上のように確保することで、パターン中の任意の場所の追加工が可能となる。
【0076】
次に、ウェーハ108内での微小試料を摘出する座標について説明する。本システムで解析対象としているのは、特異点的に存在する異常よりも、プロセス自身の問題による異常である。プロセス自身の異常は、ウェーハの中心や周辺等の位置で異なる場合が多いため、1つのプロセスにつきウェーハ108面内で、図13(a)に示す点1302や1303のような9点を保管することが望ましい。
【0077】
このため、次の微小試料摘出プロセスでは、やはり同様に9点摘出するのであるが、図13(b)に示す点1304や1305のように前回の摘出位置(点1302、1303等)と異なる位置を選択する。これ以降の摘出も同様に摘出位置をずらして設定する。図13(c)は、例えば、4種類のプロセス後に解析すべき点(点1306、1307、1308、1309等)を示したものである。この図では、見易くするためにウェーハサイズに対して解析すべき位置の表示を大きく描写しているが、実際は解析すべき領域は充分に小さい。このため、例えば、図13(d)のように、全ての解析すべき点が一つのチップ1310に収まる場合が多く、不良解析のために犠牲となるチップは少量で済むので効率的である。ただし、摘出部(前述の加工穴の埋め戻し加工を含む)の極近傍では、摘出加工部の変質に伴う影響を受けた異常が発生している可能性があるので、プロセス毎の解析点はあまり近づけ過ぎないようにする必要もある。
【0078】
また、微小試料として一旦ウェーハから摘出すると、元ウェーハ内での座標と微小試料内の座標を一致させることが難しくなる。この座標を一致させるためには、以下に説明するようなマーキングが有効である。
【0079】
ウェーハ108内の座標系を、図14(a)に示すように、ノッチ1402を下にして、その外周接線の交点を座標原点1403とする。このため、解析位置1401の座標は、横(X)方向座標1404、縦(Y)方向座標1405で表現される。この解析位置1401は図示の関係上Xで描写しているが、実際はこのような目印は存在しない。このため、この解析位置1401を識別するために、図14(b)で示すように、マーク1407、1408をイオンビーム加工で形成する。
【0080】
ここで、内側の四角枠が摘出する微小試料の領域1409であり、2つの四角に囲まれた領域がイオンビーム加工予定領域1406である。このため、マーク1407、1408は少なくとも領域1409内にかかるように形成する。ただし、摘出位置の目印をウェーハ108にも残すという意味では、加工予定領域1406の外側にまで残るようにマーク1407、1408を形成することが望ましい。図14(c)は、摘出用のイオンビーム加工後を表しており、イオンビーム加工領域1410で切断され、図14(d)に示すように摘出されても、マーク1408、1407位置により解析位置1401が識別が可能である。
【0081】
以上のように、本発明の微小試料を任意のプロセス毎に摘出し保管する不良解析システムにより、以前に終了してしまったプロセスに対し、その場の試料を確保しておくことができるため、その後のプロセス影響を受けない目的位置の観察像の取得が可能であり、不良原因究明の効率化が可能な不良解析システムが実現できる。
【0082】
次に、本発明における試料保管具の形状例について、図16により説明する。
【0083】
図16(a)は、ウェーハ108を載置する試料台102に対し、スライド式に脱着可能な微小試料保管具109を示す例である。図16(b)は、この微小試料保管具109を拡大した図である。保管穴811、812等の複数の穴を有する。ここでは図の記載の関係上、保管穴811のサイズをかなり大きめに図示しているが、実際には微小試料保管具109のサイズが数mmから数cmに対して、保管穴811は数10μm程度の大きさである。ここで、溝1602でスライド式に試料台102に装着される。微小試料保管具のみの形状は、図16(c)に示す。この微小試料保管具は、ウェーハ108の取り出しと同時、または引き続いて取り出すことが可能である。そして、次の別のウェーハに対しては、新たな微小試料保管具を導入する。
【0084】
さらに、保管穴の形状としては、図11に示した保管穴811で示した摘出微小試料110の楔型形状に対応した形状が理想ではあるが、このような形状はイオンビームやレーザビーム等の加工に頼らざるを得ない可能性が高く、大量に作製するためには効率的でない。このため、ホトリソとエッチング等を利用して形成可能な形状が望ましい。
【0085】
この保管穴の断面形状の例を、図17に示す。図17(a)は、矩形穴形状の保管穴1701の例である。この場合、微小試料110の再取り出しを考慮し、深さは微小試料110よりも少し浅めに形成されている。こうすることで、微小試料110の姿勢を保つことができる。また、微小試料の垂直面でなく面積の大きい傾斜面を接触面とし、より安定な保管を可能にするのが、図17(b)に示すような平行四辺形型の保管穴1702である。この場合も保管穴1702の深さは、微小試料110よりも浅くして、姿勢を保持できるようにしている。また、微小試料110の最上面が微小試料保管具109の面よりも飛び出しており、危険な場合には、図17(c)のように微小試料110の最上面よりも上を保護する形で、ガード部1703が存在することが望ましい。こうすることで、容易に安全な微小試料保管具を形成することができる。
【0086】
この微小試料保管具の材質としては、微小試料を汚染しないものが望ましい。このため、例えば試料基板がシリコンウェーハであれば、微小試料保持具もシリコンで作製すれば、汚染を抑制することができる。またシリコンはホトリソとエッチングによる微細加工にも適するため、上記のような保管穴の形成にも最適である。
【0087】
この微小試料保管具109(微小試料110)は、1枚のウェーハ(もしくは1つのロット)に対して同一微小試料保管具で管理する方が効率的であることから、プロセス装置間を移動する元ウェーハと同一管理されることが望ましい。この一形態としてウェーハケース(カセット)に付属して管理する形態例を、図18により説明する。
【0088】
ウェーハカセット1802は、同一ロットでプロセス処理するウェーハ群1801を保管、移動するためのものである。この側面に微小試料保管具109を設置可能な保管具固定部1803を有する構成とする。このようにすることで、ウェーハプロセスと微小試料の対応付けが容易となる。
【0089】
また、微小試料110(微小試料保管具)を元ウェーハと同一管理する別の方法として、図19に示すウェーハ型の試料保管具について説明する。
【0090】
図19(a)は、ウェーハ108から微小試料110をプローブ728により摘出したところを示す。ウェーハ108には微小試料を取り出した加工痕1902が存在する。このウェーハ108をウェーハカセット1802に戻すわけであるが、このウェーハカセット1802の中の一つは、ウェーハではなく、ウェーハと同形状をした微小試料保管具1901である。ウェーハ108が戻った後、次に試料台702には、この微小試料保管具1901が導入される。
【0091】
この微小試料保管具1901には、微小試料の保管穴1903等が形成されている。この穴のサイズについては、図16に示した場合と同様で、図示の関係上、大きなサイズで描写しているが、実際は、ウェーハサイズ、例えば200mmや300mmに対して数10μmである。図19(b)に示すように、この保管穴1903に微小試料110を保管する。この後、微小試料保管具1901は、図19(c)に示すように、ウェーハカセット1802の所定の位置に戻される。もちろん、プロセス装置にセットする場合、この微小試料保管具1901は間違ってプロセス装置に導入されないように管理する。
【0092】
このウェーハ型の微小試料保管具は、1ウェーハからあるプロセス後に数箇所から微小試料を摘出する場合には、摘出毎にウェーハのロード、アンロードを介するため、時間的に不利であるが、1箇所のみ摘出する場合にはウェーハと同一に管理しやすいという点で有効である。
【0093】
以上のように、穴形状の選択により微小試料保管具の量産性が向上し、また、ウェーハと同一に微小試料保管具を搬送できる形態とすることで、管理が容易となる。
【0094】
次に、本発明による不良解析システムでのプロセス、微小試料データの管理法について説明する。
【0095】
先述した実施例でも説明したように、微小試料を識別するために微小試料保管具109にナンバーを振るわけであるが、これは、例えば、図20のように微小試料保管具109の表面に、対応ウェーハロットナンバー2001、例えば「Lot#0123」を刻印されていても良いし、独自のナンバーを振っていても良い。また、保管穴毎に、例えば、保管穴811に微小試料保管穴ナンバー2002として「01」等を刻印していると管理しやすい。
【0096】
また、微小試料保管具109のデータ管理法としては、図21に示すような方法もある。図21(a)は、微小試料保管具109自身にプロセス情報と何処で微小試料を摘出すべきか等を記載したプロセスタグ2101をとりつけるプロセスタグ保持具2102を有する形態としたものである。これにより、どのプロセス後に微小試料を摘出すべきかがプロセスオペレータに一目で分かるようにできる。
【0097】
また、微小試料保管具109に直接でなく、図21(b)のように、保管具固定部1803にプロセスタグ保持具2103を有する形態にすると、直接真空に入らない領域であり、汚染の面で安全となる。また、微小試料保管具をウェーハカセットと同一管理できる場合には、図21(c)に示すように、このプロセスタグ2101はウェーハカセット1802にプロセスタグ保持具2104で固定できるようにしても良い。
【0098】
また、プロセスタグの代わりにフラッシュメモリのようなメモリカードにプロセスタグに相当する情報を書き込み、図21(a)、(b)、(c)の形態にそれぞれ対応する図22(a)、(b)、(c)のメモリカード2201を保持するメモリカード保持具2202、2203、2204を有する形態としても良い。この場合、メモリカード2201のプロセス情報等の読み書きが可能なリーダ、ライタ等の端末をプロセスオペレータがアクセス可能なところに用意しておく。
【0099】
また同様に、図21(a)、(b)、(c)の形態にそれぞれ対応して、図23(a)、(b)、(c)の非接触ICチップ2301を使用する方法もある。この非接触ICチップは0.4mm程度のサイズで高周波アナログ回路とメモリを集積されたチップである。この非接触ICチップには単一の(重複の無い)数値が記録されており、この数値と微小試料情報(プロセスフロー、各プロセス条件(温度、時間等)、プロセス日時、ウェーハロットナンバー、微小試料摘出プロセス、微小試料摘出ロット、微小試料摘出ウェーハ、微小試料摘出チップ、微小試料摘出ビットアドレス、微小試料摘出方向、微小試料保管具ナンバー、微小試料保管穴ナンバー等)を保管試料データ記録装置104で対応したデータベースを構築しておく。こうすることで、非接触ICチップに書き込まれている数値を読み出すだけで、微小試料の情報を即座に取り出すことができる。
【0100】
この非接触型ICは、小さく、安価であるため、図24に示すように1つの微小試料保管具2403に対して1つではなく、各微小試料(例えば110)に対して微小試料保管部(例えば2401)を設け、この微小試料保管部毎に非接触ICチップ(例えば2402)が付属した形態にすることも可能である。この場合は、微小試料と保管データがハードとデータとして1対1で対応するため、管理が確実となる。
【0101】
以上のように、ウェーハプロセス情報と微小試料摘出情報を管理し、検査情報による観察位置を決定して、観察試料を作製することで、不良解析データ管理の確実性が増し、不良原因究明が容易となる。
【0102】
次に、本発明による不良解析システムにおいて、微小試料を搬送するプローブの効率的形状について説明する。
【0103】
先述した例では、プローブと微小試料の固定にイオンビームアシストデポジションを利用した場合について説明したが、この場合、分離時にイオンビームスパッタによりプローブが損傷する。これに対し、非破壊で、より効率的なプローブ形態として図25のピンセット型プローブ2501がある。このプローブは先端が分かれた形態をしており、この弾性変形により微小試料を挟むものである。
【0104】
こうして、図25(a)に示すように摘出された微小試料110は、図25(b)に示す微小試料保管具109に搬送され、保管穴811に挿入される。ここでこのピンセット型プローブ2501を矢印2502の方向に引き抜くことにより分離し、微小試料110は保管穴811に残る。微小試料110を再度取り出しするときには、再度ピンセット型プローブ2501の先端の弾性変形で保持し、微小試料ホルダへ搬送する。
【0105】
このようにピンセット型プローブを利用することで、プローブも非破壊で効率良く微小試料の保管、再取り出しが可能となる。
【0106】
以下、本発明による不良解析システムを、製品履歴調査に適用する手順について説明する。
【0107】
図26に、不良解析システムの構成と情報の流れを示す。構成は図1と同じであるが、本例の場合は製品出荷後の不良を対象としているため、微小試料保管装置103には製品として既に出荷したチップの元ウェーハから摘出した微小試料も全て保管しておく。この製品デバイスにおいて出荷後に不良が判明した場合、製品不良情報2602が製品データベース2601に入力されると、対応する製品とウェーハ名、更に不良原因の可能性が高いプロセスと観察位置(例えば、配線工程プロセス後のゲート垂直断面等)が決定され、この選別情報2603を保管試料データ記録装置104に入力する。保管試料データ記録装置104は微小試料データベースから対応する微小試料の保管位置を割出す。
【0108】
こうして、本発明による実施例と同様に不良解析され、不良原因特定が行われる。この解析情報(画像等も含む)も保管試料データ記録装置104に送信され、保存される。この解析情報2604は、製品データベース2601に送信され、始めの製品不良情報2602と結合されて管理される。このようにして特定された不良原因を製品顧客への説明に使用する。
【0109】
このように、本不良解析システムにより、製品出荷後でも対応するプロセスの不良原因究明が可能であり、顧客への状況説明に有効である。
【0110】
次に、本発明による不良解析システムを、先端プロセス制御のサポートデータ取得に適用する手順について説明する。
【0111】
先端プロセス制御(APC、Advanced Process Control)は、多変数のプロセスパラメータを振ることにより歩留り変化を管理し、歩留りが向上するプロセス条件を予測して最適化を行う方法である。この場合、パラメータの振り方によっては、最適条件から大幅に外れて、有効な先端プロセス制御に到達しない可能性がある。このため、プロセスパラメータの振るべき方向や範囲を限定するために、本不良解析システムにより、以下に説明する通りサポートデータを取得する。
【0112】
図27に、不良解析システムの構成と情報の流れを示す。微小試料の保管までの流れは、先述した実施例と同様である。その後、ウェーハは検査装置2701で検査され、予め設定された閾値から不良と判定されたウェーハ、プロセスと更に不良が観察される可能性が高い観察位置が決定され、この選別情報2703を保管試料データ記録装置104に入力する。保管試料データ記録装置104はデータベースから対応する微小試料の保管位置を割出す。
【0113】
こうして、先述した実施例と同様に不良解析され、不良原因特定が行われる。この解析情報(画像等も含む)も保管試料データ記録装置104に送信され、保存される。この解析情報2704は不良試料のプロセス情報114、検査情報2705と共に不良データベース記録装置2702に送信され、保存される。この不良データベース2702から不良が生じやすいプロセスパラメータを特定が容易となる。
【0114】
このように、本不良解析システムにより、不良が生じやすいプロセスパラメータを特定しやすくなるため、先端プロセス制御でパラメータを振るべき方向が限定でき、効率化に繋がる。
【0115】
次に、初期的なウェーハ検査により異常部と判明した位置が、その後のプロセスで不良原因となる経緯をモニタするための不良解析システムの例について説明する。
【0116】
図28に、不良解析システムの構成と情報の流れを示す。先述した実施例では、微小試料の摘出位置は、図13で説明したように予め適当な位置を設定しておくわけであるが、本例の場合は摘出位置を検査装置2805の検査結果から決定する。
【0117】
この位置決定については、図29で説明する。例えば、図29(a)はウェーハの異物検査結果であり、点2901、2902等のX印は異物が観察された位置である。ここでは、特に形状、サイズ等の観点から同様のものと考えられる異物に絞っている。これらの位置をその後の選択プロセス後に微小試料を摘出する位置として、情報119を保管試料データ記録装置104に入力しておく。この情報に従い、例えば、あるプロセス後のウェーハからは、図29(b)に示すように、点2901を含む領域2903を摘出する。次の選択プロセス後のウェーハからは、図29(c)に示すように、点2902を含む領域2904を摘出する。こうして、順次微小試料を保管しておく。その後、不良解析要求2801に従い、微小試料の選別情報2803を保管試料データ記録装置104に入力する。保管試料データ記録装置104は、データベースから対応する微小試料の保管位置を割出す。
【0118】
こうして、先述した実施例と同様に不良解析され、不良原因特定が行われる。この解析情報(画像等も含む)も保管試料データ記録装置104に送信され、保存される。この解析情報2804は、不良データベース記録装置2802に送信され、保存される。この不良データベース2802から初期検査の異常部が対応プロセスにおいてどのような不良を引き起こすかの情報を得ることができる。
【0119】
このように、本不良解析システムにより、初期異常部を注目した不良発生原因の特定が可能となるため、プロセス管理条件の把握が容易となる。
【0120】
以上、詳述したように、本発明は、以前に終了してしまったプロセスに対し、その場の試料を確保しておくことができるため、その後のプロセスの影響を受けない目的位置の観察像の取得が可能であり、不良原因究明の効率化が可能である。
【0121】
【発明の効果】
本発明によれば、デバイス等の不良解析において、後になって検査により確定される任意の観察所望場所に対応可能な観察試料を確保できる不良解析技術を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による不良解析システムの一実施例の全体構成を説明する図。
【図2】従来の試料分離法(従来例1)を説明する図。
【図3】従来の試料分離法(従来例2、3)を説明する図。
【図4】従来のプロセス毎に微小試料を摘出する方法(従来例4)を説明する図。
【図5】後プロセスによる観察断面構造への影響を説明する図。
【図6】デバイスプロセスフローの内の微小試料摘出選択プロセスを説明する図。
【図7】微小試料摘出装置の構成例を説明する図。
【図8】微小試料摘出フローの一例を説明する図。
【図9】加工穴の埋め戻し法の一例を説明する図。
【図10】微小試料保管装置の別の構成例を説明する図。
【図11】微小試料の保管具からの取り出しと追加工の一例を説明する図。
【図12】デバイス繰返しパターンに対して微小試料に必要なサイズの一例を説明する図。
【図13】ウェーハ内の微小試料摘出位置例を説明する図。
【図14】座標識別用マーキングの一例を説明する図。
【図15】傾斜イオンビーム光学系による微小試料摘出装置の構成を説明する図。
【図16】微小試料保管具の形状の一例を説明する図。
【図17】微小試料保管具の保管穴形状の一例を説明する図。
【図18】微小試料保管具をウェーハカセットと同一管理する例を説明する図。
【図19】ウェーハ型微小試料保管具の一例を説明する図。
【図20】微小試料保管具の管理番号刻印の一例を説明する図。
【図21】プロセスタグによる微小試料保管具の情報管理の一例を説明する図。
【図22】メモリカードによる微小試料保管具の情報管理の一例を説明する図。
【図23】非接触ICチップによる微小試料保管具の情報管理の一例を説明する図。
【図24】非接触ICチップによる個別微小試料管理の一例を説明する図。
【図25】ピンセット型プローブによる微小試料搬送の一例を説明する図。
【図26】製品履歴調査に適用する場合における不良解析システムの構成例を説明する図。
【図27】プロセスコントロールサポートデータベース作成に適用する場合における不良解析シシステムの構成例を説明する図。
【図28】異常部を注目して不良原因となる経緯をモニタする場合における不良解析システムの構成例を説明する図。
【図29】異常部を注目して微小試料を摘出する場合における微小試料摘出位置の選択を説明する図。
【符号の説明】
101…不良解析システム、102…微小試料摘出装置、103…微小試料保管装置、104…保管試料データ記録装置、105…微小試料追加工装置、106…不良解析装置、107…プロセス装置、108…ウェーハ、109…微小試料保管具、110…微小試料、113…不良解析試料、114…プロセス情報、115…情報、116…保管位置情報、117…情報、118…解析情報、119…情報、120…不良解析要求、121…不良解析情報、201…FIB、202…試料基板、203…プローブ、204…イオンビームアシストデポジション膜、205…堆積性ガス、206…微小試料、207…角穴、208…底穴、209…切り欠き溝、210…ガスノズル、301…FIB、307…試料薄膜、308…ウェーハ、309…メッシュ、401…ロット、402…検査用試料、403…残された試料、404…検査すべき場所、405…微小試料、406…各種解析装置、407…計算処理機、501…金属配線、502…絶縁層、503…キャップ層、504…空隙不良部、505…絶縁層、601〜607…プロセス、702…試料台、703…試料位置制御装置、704…イオンビーム、705…イオンビーム光学系、706…電子ビーム、707…電子ビーム光学系、708…二次電子検出器、715…イオン源、716…加速電源、717…通電加熱電源、718…引き出し電極、719…引き出し電源、720…アパーチャ、721…集束電源、722…集束レンズ、723…偏向電源、724…偏向器、725…対物電源、726…対物レンズ、727…イオンビーム光学系制御装置、728…プローブ、729…プローブ駆動装置、730…プローブ位置制御装置、731…デポジションガス源、732…デポジションガス源制御装置、733…電子ビーム光学系制御装置、734…表示装置、735…中央処理装置、737…真空容器、801、802…矩形穴、805…支持部、806…矩形溝、808…斜溝、809…イオンビームアシストデポジション膜、811、812…保管穴、901…加工穴、902…デポジションガス、903…堆積物、1001…ロード/アンロード機構、1002…装置接続部、1101…微小試料ホルダ、1102…微小試料固定面、1103…長手方向、1104…イオンビームアシストデポジション膜、1105…プローブ、1106…イオンビーム、1201、1202、1203、1204…デバイスパターン、1205…イオンビーム加工領域、1302〜1309…点、1310…チップ、1401…解析位置、1402…ノッチ、1403…座標原点、1404…横方向座標、1405…縦方向座標、1406…加工予定領域、1407、1408…マーク、1409…領域、1410…イオンビーム加工領域、1501…試料台、1502…イオンビーム光学系、1602…溝、1701、1702…保管穴、1703…ガード部、1801…ウェーハ群、1802…ウェーハカセット、1803…保管具固定部、1901…微小試料保管具、1902…加工痕、1903…保管穴、2001…ウェーハロットナンバー、2002…微小試料保管穴ナンバー、2101…プロセスタグ、2102、2103、2104…プロセスタグ保持具、2201…メモリカード、2202、2203、2204…メモリカード保持具、2301…非接触ICチップ、2401…微小試料保管部、2402…非接触ICチップ、2403…微小試料保管具、2501…ピンセット型プローブ、2502…矢印、2601…製品データベース、2602…製品不良情報、2603…選別情報、2604…解析情報、2701…検査装置、2702…不良データベース記録装置、2703…選別情報、2704…解析情報、2705…検査情報、2801…不良解析要求、2802…不良データベース記録装置、2803…選別情報、2804…解析情報、2805…検査装置、2901、2902…点、2903、2904…領域。
Claims (12)
- 基板に所望とするパターンを形成するための任意の処理プロセス終了毎に、加工ビームを用いて前記基板からその一部を試料として摘出する工程と、摘出した前記試料を保管する工程と、前記試料に関する管理情報をデータベースとして統括する工程と、不良解析要求に従い保管していた前記試料を解析可能な形態に加工する工程と、加工された前記試料を解析する工程とを具備してなることを特徴とする不良解析方法。
- 基板に所望とするパターンを形成するための任意の処理プロセス終了毎に、イオンビーム加工により前記基板からその一部を試料として摘出し、前記試料を保管する試料保管具に搬送する試料摘出装置と、前記基板の少なくとも製品名、基板名、処理プロセス名と前記試料の保管位置とを対応させたデータベースを構築する保管試料データ記録装置と、前記試料保管具を前記保管試料データ記録装置のデータベースに対応して保管する試料保管装置と、選別された前記試料を前記試料保管具から取り出して追加工情報に基づき追加工を行う試料追加工装置と、追加工された前記試料を解析する不良解析装置とを具備してなることを特徴とする不良解析システム。
- 基板に所望の回路パターンを形成するための異なる2つ以上の処理プロセスのそれぞれの後に、イオンビーム加工により前記基板からそれぞれその一部を試料として摘出し、前記試料を保管する試料保管具に搬送する試料摘出装置と、前記基板の少なくとも製品名、基板名、処理プロセス名と前記試料の保管位置とを対応させたデータベースを構築する保管試料データ記録装置と、前記試料保管具を前記保管試料データ記録装置のデータベースに対応して保管し、前記試料の製品完成後の任意の製品指定に対応する前記試料を選別する試料保管装置と、不良解析要求に従い選別された前記試料を取り出して追加工情報に基づき追加工を行う試料追加工装置と、追加工された前記試料を解析する不良解析装置とを具備してなることを特徴とする不良解析システム。
- 前記試料保管装置が、前記試料保管具を前記保管試料データ記録装置のデータベースに対応して保管し、かつ、少なくとも2つの処理プロセスを経た後の不良検査において予め設定した閾値から不良と判断された前記基板に対応する前記試料を選別するよう構成されていることを特徴とする請求項2記載の不良解析システム。
- 前記不良解析装置から得られる前記試料の構造観察もしくは分析データを、前記処理プロセスのプロセスパラメータと対応させて不良試料データとして記録する不良データベース記録装置を有することを特徴とする請求項4記載の不良解析システム。
- 前記イオンビーム加工を制御するイオンビーム制御系を有し、かつ、前記イオンビーム制御系は、摘出する前記試料の大きさを、前記基板上に形成された回路パターンの繰返し間隔よりも大きく設定するよう構成されていることを特徴とする請求項2記載の不良解析システム。
- 前記試料保管具が、前記基板の少なくとも製品名、基板名、処理プロセス名と前記試料の保管位置とを対応させたデータベースを格納した読み書き可能なICメモリを有することを特徴とする請求項2記載の不良解析システム。
- 前記試料保管具が、前記基板の少なくとも製品名、基板名、処理プロセス名と前記試料の保管位置とを対応させたデータベースと、前記試料とを1対1で対応可能な数値を格納した非接触ICチップを有することを特徴とする請求項2記載の不良解析システム。
- 前記試料摘出装置と前記試料保管装置、または前記試料保管装置と前記試料追加工装置とが、大気に暴露することなく前記試料保管具を授受できるように接続可能に構成されていることを特徴とする請求項2記載の不良解析システム。
- 前記試料摘出装置と前記試料追加工装置とを、同一の装置で構成したことを特徴とする請求項2記載の不良解析システム。
- 前記試料保管具の形成材料が、シリコンであることを特徴とする請求項2記載の不良解析システム。
- 前記試料摘出装置が、前記試料の摘出前に摘出座標を顕在化するためのマークを前記試料に加工するためのイオンビームマーク加工機能を有することを特徴とする請求項2記載の不良解析システム。
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